JPH10267907A - 被検水中の超微量ケイ酸イオンの自動測定方法 - Google Patents
被検水中の超微量ケイ酸イオンの自動測定方法Info
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- JPH10267907A JPH10267907A JP10800797A JP10800797A JPH10267907A JP H10267907 A JPH10267907 A JP H10267907A JP 10800797 A JP10800797 A JP 10800797A JP 10800797 A JP10800797 A JP 10800797A JP H10267907 A JPH10267907 A JP H10267907A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定精度を向上させた超微量ケイ酸イオンの
迅速な自動測定法を提供する。 【解決手段】 被検水中のケイ酸イオンを反応触媒下で
モリブデン酸アンモニウムと反応させヘテロケイモリブ
デン（黄）を生成し、さらに該生成物を還元してヘテロ
ケイモリブデン（青）を生成するフローインジェグショ
ン法と、該ヘテロケイモリブデン（青）と第４級アンモ
ニウムイオンとから形成される疎水性イオン対を、高分
子ポリマー担体を充填した濃縮カラムに吸着保持させた
のち、有機溶媒と水との混合溶媒で溶出し、該ケイ酸イ
オン濃度を測定するイオン対濃縮・溶離法とを組み合わ
せた。
迅速な自動測定法を提供する。 【解決手段】 被検水中のケイ酸イオンを反応触媒下で
モリブデン酸アンモニウムと反応させヘテロケイモリブ
デン（黄）を生成し、さらに該生成物を還元してヘテロ
ケイモリブデン（青）を生成するフローインジェグショ
ン法と、該ヘテロケイモリブデン（青）と第４級アンモ
ニウムイオンとから形成される疎水性イオン対を、高分
子ポリマー担体を充填した濃縮カラムに吸着保持させた
のち、有機溶媒と水との混合溶媒で溶出し、該ケイ酸イ
オン濃度を測定するイオン対濃縮・溶離法とを組み合わ
せた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程に使用される超純水中のケイ酸イオンの測定方法に
関する。
工程に使用される超純水中のケイ酸イオンの測定方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程に使用される超純
水中のケイ酸イオンの濃度は０．１ｐｐｂ以下であるこ
とが規格化され、純水プラントはその規格内であるよう
に制御されている。
水中のケイ酸イオンの濃度は０．１ｐｐｂ以下であるこ
とが規格化され、純水プラントはその規格内であるよう
に制御されている。
【０００３】このケイ酸イオン濃度の確認方法として、
現在専らグラファイトアトマイザー原子吸光分析法が用
いられている。しかし、この方法では分析感度は十分で
あるが、分析時間に長時間を要するため、もしプラント
にトラブルが起こって高濃度のケイ酸が製品の製造工程
に流入しても検出・対処ができない場合が多い。そのた
めより迅速な自動測定法が必要とされている。
現在専らグラファイトアトマイザー原子吸光分析法が用
いられている。しかし、この方法では分析感度は十分で
あるが、分析時間に長時間を要するため、もしプラント
にトラブルが起こって高濃度のケイ酸が製品の製造工程
に流入しても検出・対処ができない場合が多い。そのた
めより迅速な自動測定法が必要とされている。
【０００４】また、ケイ酸イオンの測定法としては、Ｊ
ＩＳ−Ｋ０５５５に準拠したモリブデン（黄）、モリブ
デン（青）吸光光度法があるが、いずれも検出限界が１
０ｐｐｂ程度であり分析感度が足りない欠点がある。
ＩＳ−Ｋ０５５５に準拠したモリブデン（黄）、モリブ
デン（青）吸光光度法があるが、いずれも検出限界が１
０ｐｐｂ程度であり分析感度が足りない欠点がある。
【０００５】また、最近イオン交換樹脂法を用いて予め
ケイ酸イオンを濃縮した後、モリブデン（青）による吸
光光度法で測定する方法も開示されている（特開昭６２
−３９７６９、特開平１−２６７４５６、特開平３−１
５７５４）。しかし、この方法では、イオン交換樹脂の
劣化による濃縮度の低下を防ぐため定期的に樹脂を交換
する必要があること、ケイ酸イオンとモリブデン酸アン
モニウムとを反応させたとき、ヘテロケイモリブデン
（黄）が生成すると同時にモリブデンが重合してイソポ
リモリブデン酸が副生し、この副生物が測定波長の吸光
度において干渉をもたらすため、イソポリモリブデン酸
を同時に計量するという誤差により信頼性に劣ること等
の欠点がある。
ケイ酸イオンを濃縮した後、モリブデン（青）による吸
光光度法で測定する方法も開示されている（特開昭６２
−３９７６９、特開平１−２６７４５６、特開平３−１
５７５４）。しかし、この方法では、イオン交換樹脂の
劣化による濃縮度の低下を防ぐため定期的に樹脂を交換
する必要があること、ケイ酸イオンとモリブデン酸アン
モニウムとを反応させたとき、ヘテロケイモリブデン
（黄）が生成すると同時にモリブデンが重合してイソポ
リモリブデン酸が副生し、この副生物が測定波長の吸光
度において干渉をもたらすため、イソポリモリブデン酸
を同時に計量するという誤差により信頼性に劣ること等
の欠点がある。
【０００６】また、濃縮法を用いずに吸光セルを長くし
て分析感度を稼ぐ方法も考えられるが、やはりイソポリ
モリブデン酸の干渉は避けられず正確度において問題が
残っている。このように超低濃度域におけるモリブデン
（黄）の生成反応の反応機構が余り考慮されていないた
め測定精度に問題を残している。
て分析感度を稼ぐ方法も考えられるが、やはりイソポリ
モリブデン酸の干渉は避けられず正確度において問題が
残っている。このように超低濃度域におけるモリブデン
（黄）の生成反応の反応機構が余り考慮されていないた
め測定精度に問題を残している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の種々
の欠点を克服したものであって、測定精度を向上させた
超微量ケイ酸イオンの迅速な自動測定法を提供すること
を目的とする。
の欠点を克服したものであって、測定精度を向上させた
超微量ケイ酸イオンの迅速な自動測定法を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、被検水中のケ
イ酸イオンを反応触媒下でモリブデン酸アンモニウムと
反応させへテロケイモリブデン（黄）を生成し、さらに
該生成物を還元してへテロケイモリブデン（青）を生成
するフローインジェクション法と、該へテロケイモリブ
デン（青）と第４級アンモニウムイオンとから形成され
る疎水性イオン対を、高分子ポリマー担体を充填した濃
縮カラムに吸着保持させたのち、有機溶媒と水との混合
溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を測定するイオン対
濃縮・溶離法とを組み合わせたものである。
イ酸イオンを反応触媒下でモリブデン酸アンモニウムと
反応させへテロケイモリブデン（黄）を生成し、さらに
該生成物を還元してへテロケイモリブデン（青）を生成
するフローインジェクション法と、該へテロケイモリブ
デン（青）と第４級アンモニウムイオンとから形成され
る疎水性イオン対を、高分子ポリマー担体を充填した濃
縮カラムに吸着保持させたのち、有機溶媒と水との混合
溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を測定するイオン対
濃縮・溶離法とを組み合わせたものである。
【０００９】また、本発明は、被検水中のケイ酸イオン
を反応触媒下でモリブデン酸アンモニウムと反応させへ
テロケイモリブデン（黄）を生成し、さらに該生成物を
還元してへテロケイモリブデン（青）を生成した後、該
へテロケイモリブデン（青）と第４級アンモニウムイオ
ンとから形成される疎水性イオン対を、高分子ポリマー
担体を充填した濃縮カラムに吸着保持させたのち、有機
溶媒と水との混合溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を
測定する方法において、生成した疎水性イオン対を時間
規制により定量的に濃縮カラムヘ送液するものである。
を反応触媒下でモリブデン酸アンモニウムと反応させへ
テロケイモリブデン（黄）を生成し、さらに該生成物を
還元してへテロケイモリブデン（青）を生成した後、該
へテロケイモリブデン（青）と第４級アンモニウムイオ
ンとから形成される疎水性イオン対を、高分子ポリマー
担体を充填した濃縮カラムに吸着保持させたのち、有機
溶媒と水との混合溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を
測定する方法において、生成した疎水性イオン対を時間
規制により定量的に濃縮カラムヘ送液するものである。
【００１０】また、本発明は、被検水中のケイ酸イオン
を反応触媒下でモリブデン酸アンモニウムと反応させへ
テロケイモリブデン（黄）を生成し、さらに該生成物を
還元してへテロケイモリブデン（青）を生成した後、該
へテロケイモリブデン（青）と第４級アンモニウムイオ
ンとから形成される疎水性イオン対を、高分子ポリマー
担体を充填した濃縮カラムに吸着保持させたのち、有機
溶媒と水との混合溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を
測定する方法において、予め所定容量の計量管に疎水性
イオン対を採取した後、キャリヤにて濃縮カラムへ送液
するものである。
を反応触媒下でモリブデン酸アンモニウムと反応させへ
テロケイモリブデン（黄）を生成し、さらに該生成物を
還元してへテロケイモリブデン（青）を生成した後、該
へテロケイモリブデン（青）と第４級アンモニウムイオ
ンとから形成される疎水性イオン対を、高分子ポリマー
担体を充填した濃縮カラムに吸着保持させたのち、有機
溶媒と水との混合溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を
測定する方法において、予め所定容量の計量管に疎水性
イオン対を採取した後、キャリヤにて濃縮カラムへ送液
するものである。
【００１１】本発明は、前記反応触媒としては、メタノ
ール、エタノール、アセトン、アセトニトリル等の低分
子量の水溶性有機溶媒を用いるものである。
ール、エタノール、アセトン、アセトニトリル等の低分
子量の水溶性有機溶媒を用いるものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】ケイ酸イオンの濃度が１０ｐｐｂ
以下でのケイ酸イオンとモリブデン酸アンモニウムとの
反応で生成するヘテロケイモリブデン（黄）の反応速度
は極端に遅く、反応温度を高くしてもなお長い反応時間
を必要とする。しかしながら、計測時間を最小限にし、
なおかつ測定装置の安全性を考慮すると、反応温度は最
高８０℃、反応時間は１０〜２０分が限度である。その
ためには反応を促進させる触媒が有効であり、本発明者
等はメタノールなどの低分子量の水溶性有機溶媒が触媒
としての効果が大きいことを見い出し、検水の５〜７ｖ
ｏｌ％のメタノールなどを検水に添加し反応速度の向上
を計っている。
以下でのケイ酸イオンとモリブデン酸アンモニウムとの
反応で生成するヘテロケイモリブデン（黄）の反応速度
は極端に遅く、反応温度を高くしてもなお長い反応時間
を必要とする。しかしながら、計測時間を最小限にし、
なおかつ測定装置の安全性を考慮すると、反応温度は最
高８０℃、反応時間は１０〜２０分が限度である。その
ためには反応を促進させる触媒が有効であり、本発明者
等はメタノールなどの低分子量の水溶性有機溶媒が触媒
としての効果が大きいことを見い出し、検水の５〜７ｖ
ｏｌ％のメタノールなどを検水に添加し反応速度の向上
を計っている。
【００１３】ヘテロケイモリブデン（黄）はＬ−アスコ
ルビン酸を作用させることによってヘテロケイモリブデ
ン（青）に還元される。ヘテロケイモリブデン（青）と
第４級アンモニウムイオンとの疎水性イオン対の形成に
用いられる第４級アンモニウムイオンとしては、例えば
オクチルトリメチルアンモニウム臭化物塩等が用いられ
る。
ルビン酸を作用させることによってヘテロケイモリブデ
ン（青）に還元される。ヘテロケイモリブデン（青）と
第４級アンモニウムイオンとの疎水性イオン対の形成に
用いられる第４級アンモニウムイオンとしては、例えば
オクチルトリメチルアンモニウム臭化物塩等が用いられ
る。
【００１４】疎水性イオン対の濃縮カラムに充填する高
分子ポリマー担体としては、例えばビニールベンゼン共
重合体、スチレン重合体、アクリル酸塩重合体等を用い
ることができ、その粒子サイズは５０〜１５０μｍ程度
が好ましい。
分子ポリマー担体としては、例えばビニールベンゼン共
重合体、スチレン重合体、アクリル酸塩重合体等を用い
ることができ、その粒子サイズは５０〜１５０μｍ程度
が好ましい。
【００１５】濃縮カラムに吸着保持された疎水性イオン
対を溶出させる溶出液は、アセトニトリル、アセトン、
メタノール、エタノールなどの有機溶媒と水との混合溶
媒が好ましい。使用する混合溶媒量は濃縮度の関係から
できるだけ少量であることが好ましい。この場合、操作
条件を最適に設定することにより、ヘテロケイモリブデ
ン（青）とイソポリモリブデン酸とを分離溶出すること
ができる。この分離によってへデロケイモリブデン
（青）の測定精度を向上させることができる。また、溶
出液による溶出によって濃縮用担体は再生されて元に戻
る。この工程を繰り返すことにより濃縮用担体（濃縮カ
ラム）は半永久的に使用可能である。
対を溶出させる溶出液は、アセトニトリル、アセトン、
メタノール、エタノールなどの有機溶媒と水との混合溶
媒が好ましい。使用する混合溶媒量は濃縮度の関係から
できるだけ少量であることが好ましい。この場合、操作
条件を最適に設定することにより、ヘテロケイモリブデ
ン（青）とイソポリモリブデン酸とを分離溶出すること
ができる。この分離によってへデロケイモリブデン
（青）の測定精度を向上させることができる。また、溶
出液による溶出によって濃縮用担体は再生されて元に戻
る。この工程を繰り返すことにより濃縮用担体（濃縮カ
ラム）は半永久的に使用可能である。
【００１６】
【実施例】図１は本発明になる自動測定方法のシステム
ブロック図である。 （１）直接導入方式 図１において、２４、２５は各々ポート数６の六方自動
切り替えバルブであり、２５のバルブのポート２と５に
は濃縮カラム２０が５を入口、２を出口として接続され
ている。濃縮カラム２０は内径３φ×外径４φ×長さ３
０ｍｍのテトラフロロエチレン樹脂製のパイプ内に高分
子ポリマー担体を充填したものである。
ブロック図である。 （１）直接導入方式 図１において、２４、２５は各々ポート数６の六方自動
切り替えバルブであり、２５のバルブのポート２と５に
は濃縮カラム２０が５を入口、２を出口として接続され
ている。濃縮カラム２０は内径３φ×外径４φ×長さ３
０ｍｍのテトラフロロエチレン樹脂製のパイプ内に高分
子ポリマー担体を充填したものである。
【００１７】反応に供する試薬や対イオンや溶離液等は
３１〜３６のボトルに貯蔵されていて、プランジャー型
ポンプ３９〜４４によって吸引されボトルを出た後、デ
ガッサーを通り脱気される。被検水は常にプランジャー
型ポンプ３８により系内に送液され、反応が停止してい
る間は系内を洗浄する役割を果たす。
３１〜３６のボトルに貯蔵されていて、プランジャー型
ポンプ３９〜４４によって吸引されボトルを出た後、デ
ガッサーを通り脱気される。被検水は常にプランジャー
型ポンプ３８により系内に送液され、反応が停止してい
る間は系内を洗浄する役割を果たす。
【００１８】システムがスタートすると初めに被検水と
０．４５Ｍ硫酸水溶液が混ざり、その後０．６％モリブ
デン酸アンモニウム水溶液が混ざったのち反応管４５に
導かれ、６０〜８０℃の温度で１０〜２０分間の間の所
定時間反応することによりヘテロケイモリブデン（黄）
が生成する。この場合、予め硫酸水溶液もしくはモリブ
デン酸アンモニウム水溶液には相当量の触媒溶媒を添加
しておく。次に４．５Ｍ硫酸水溶液、０．１Ｍ Ｌ−ア
スコルビン酸水溶液の順に混ざり反応管４６へ導かれヘ
テロケイモリブデン（青）が生成する。
０．４５Ｍ硫酸水溶液が混ざり、その後０．６％モリブ
デン酸アンモニウム水溶液が混ざったのち反応管４５に
導かれ、６０〜８０℃の温度で１０〜２０分間の間の所
定時間反応することによりヘテロケイモリブデン（黄）
が生成する。この場合、予め硫酸水溶液もしくはモリブ
デン酸アンモニウム水溶液には相当量の触媒溶媒を添加
しておく。次に４．５Ｍ硫酸水溶液、０．１Ｍ Ｌ−ア
スコルビン酸水溶液の順に混ざり反応管４６へ導かれヘ
テロケイモリブデン（青）が生成する。
【００１９】反応管４５、４６はいずれも内径１φ×外
径２φ×長さ２０ｍｍ程度のテトラフロロエチレン樹脂
製パイプをヒータ付き磁製管に螺旋状に巻いたもので、
室温〜１００℃の範囲で任意の温度に設定できる装置で
ある。
径２φ×長さ２０ｍｍ程度のテトラフロロエチレン樹脂
製パイプをヒータ付き磁製管に螺旋状に巻いたもので、
室温〜１００℃の範囲で任意の温度に設定できる装置で
ある。
【００２０】続いて対イオンをキャリヤとして加えイオ
ン対を形成した後、バルブ２４のポート１２、１１、さ
らにバルブ２５のポート６および５を通り濃縮カラム２
０へ直接導入される。この際、導入時間の適切な設定に
より濃縮量を最適に調節できる。
ン対を形成した後、バルブ２４のポート１２、１１、さ
らにバルブ２５のポート６および５を通り濃縮カラム２
０へ直接導入される。この際、導入時間の適切な設定に
より濃縮量を最適に調節できる。
【００２１】濃縮されたイオン対は無脈流ポンプ４４よ
り送り込まれる溶離液により溶出され、検知器２１へと
導かれ、８１０ｎｍにおける吸光度が測定された後、背
圧調整用キャピラリー管２２を通り排出される。以上は
直接導入方式であるが、次に述べる計量方式を用いても
よい。
り送り込まれる溶離液により溶出され、検知器２１へと
導かれ、８１０ｎｍにおける吸光度が測定された後、背
圧調整用キャピラリー管２２を通り排出される。以上は
直接導入方式であるが、次に述べる計量方式を用いても
よい。
【００２２】（２）計量方式 本方式では、バルブ２４のポート１１および８の間に計
量管２３（内径２ｍｍのテトラフロロエチレン管、容量
２０ｍｌ）を予め装備しておく。前記の直接導入方式と
同様にイオン対を形成した後、バルブ２４のポート１２
および１１を経て計量管２３に導入し計量管内を満た
し、そのままポート８および７を経て排出される。
量管２３（内径２ｍｍのテトラフロロエチレン管、容量
２０ｍｌ）を予め装備しておく。前記の直接導入方式と
同様にイオン対を形成した後、バルブ２４のポート１２
および１１を経て計量管２３に導入し計量管内を満た
し、そのままポート８および７を経て排出される。
【００２３】次に電磁弁４７およびバルブ２４が切り替
わり、キャリヤがバルブ２４のポート１０および１１を
経て計量管内に流れることにより、イオン対溶液全量が
キャリヤと共にバルブ２５のポート６および５を経てカ
ラム２０へと導かれ濃縮される。その後バルブ２５が切
り替わり、ポンプ４４より送られる溶離液により溶出さ
れ検知器２１へと送られ、８１０ｎｍでの吸光度が測定
される。測定後は直接導入方式と同様に排出される。
わり、キャリヤがバルブ２４のポート１０および１１を
経て計量管内に流れることにより、イオン対溶液全量が
キャリヤと共にバルブ２５のポート６および５を経てカ
ラム２０へと導かれ濃縮される。その後バルブ２５が切
り替わり、ポンプ４４より送られる溶離液により溶出さ
れ検知器２１へと送られ、８１０ｎｍでの吸光度が測定
される。測定後は直接導入方式と同様に排出される。
【００２４】以下、本実施例に使用した実施条件を示
す。 濃縮用担体 ビニールベンゼン共重合樹脂（粒径１００〜１２０μｍ） 対イオン オクチルトリメチルアンモニウムブロミド 触媒 ０．４５Ｍ硫酸中に５０ｗｔ％のメタノールを添加 反応時間 反応管４５、４６共に１０分間 濃縮量 直接導入方式、計量方式共に１０ｍｌ 流量 被検水 １．０ｍｌ／ｍｉｎ ０．４５Ｍ硫酸水溶液 ０．１ｍｌ／ｍｉｎ ０．６％モリブデン酸アンモニウム水溶液 ０ １ｍｌ／ｍｉｎ ４．５Ｍ硫酸水溶液 ０．３ｍｌ／ｍｉｎ ０．１Ｍ Ｌ−アスコルビン酸水溶液 ０．１ｍｌ／ｍｉｎ 対イオン水溶液 １．０ｍｌ／ｍｉｎ 溶離液 １．０ｍｌ／ｍｉｎ 以上の条件で計測したシグナル（クロマトグラム）を島
津製作所製データ処理装置クロマトパックＣ−Ｒ６Ａで
処理しピーク面積からケイ酸イオンの濃度を求めた。そ
の結果、検出限界は０．０１ｐｐｂであった。
す。 濃縮用担体 ビニールベンゼン共重合樹脂（粒径１００〜１２０μｍ） 対イオン オクチルトリメチルアンモニウムブロミド 触媒 ０．４５Ｍ硫酸中に５０ｗｔ％のメタノールを添加 反応時間 反応管４５、４６共に１０分間 濃縮量 直接導入方式、計量方式共に１０ｍｌ 流量 被検水 １．０ｍｌ／ｍｉｎ ０．４５Ｍ硫酸水溶液 ０．１ｍｌ／ｍｉｎ ０．６％モリブデン酸アンモニウム水溶液 ０ １ｍｌ／ｍｉｎ ４．５Ｍ硫酸水溶液 ０．３ｍｌ／ｍｉｎ ０．１Ｍ Ｌ−アスコルビン酸水溶液 ０．１ｍｌ／ｍｉｎ 対イオン水溶液 １．０ｍｌ／ｍｉｎ 溶離液 １．０ｍｌ／ｍｉｎ 以上の条件で計測したシグナル（クロマトグラム）を島
津製作所製データ処理装置クロマトパックＣ−Ｒ６Ａで
処理しピーク面積からケイ酸イオンの濃度を求めた。そ
の結果、検出限界は０．０１ｐｐｂであった。
【００２５】また、図２に示すように、本発明において
は、ヘテロケイモリブデン酸とイソポリモリブデン酸と
のピークが完全に分離できた。したがって、目的のヘテ
ロケイモリブデン酸だけが選択的に測定できることがわ
かった。
は、ヘテロケイモリブデン酸とイソポリモリブデン酸と
のピークが完全に分離できた。したがって、目的のヘテ
ロケイモリブデン酸だけが選択的に測定できることがわ
かった。
【００２６】
【発明の効果】実施例から明かなように、本発明は、フ
ローインジェグション法とイオン対濃縮・溶離法とを組
み合わせることによって超微量のケイ酸イオンを迅速に
自動測定することができる特徴がある。また、ヘテロケ
イモリブデン酸とイソポリモリブデン酸を分離できるの
でその干渉を除くことができ測定精度を向上させること
ができる。さらに、濃縮用樹脂担体は劣化することなく
長期にわたって使用することができる。
ローインジェグション法とイオン対濃縮・溶離法とを組
み合わせることによって超微量のケイ酸イオンを迅速に
自動測定することができる特徴がある。また、ヘテロケ
イモリブデン酸とイソポリモリブデン酸を分離できるの
でその干渉を除くことができ測定精度を向上させること
ができる。さらに、濃縮用樹脂担体は劣化することなく
長期にわたって使用することができる。
【図１】本発明になる自動測定方法のシステムブロック
図である。
図である。
【図２】本発明になる溶出液のクロマトグラムである。
２０ 濃縮カラム ２１ 検出器 ２２ 背圧調整用キャピラリー管 ２３ 計量管 ２４ 六方バルブ ＲＶ１ ２５ 六方バルブ ＲＶ２ ３１ ０．４５Ｍ硫酸水溶液 ３２ ０．６％モリブデン酸アンモニウム水溶液 ３３ ４．５Ｍ硫酸水溶液 ３４ ０．１Ｍ Ｌ−アスコルビン酸水溶液 ３５ 対イオン水溶液 ３６ 溶離液 ３７ デガッサー ３８〜４４ 送液ポンプ ４５ 反応管 Ｒｅａｃｔｅｒ１ ４６ 反応管 Ｒｅａｃｔｅｒ２ ４７ 電磁弁
フロントページの続き (72)発明者 星野 仁 宮城県仙台市太白区西の平２丁目13番17号 (72)発明者 菅原 勝嘉 宮城県黒川郡大衡村沖の平１番地 宮城沖 電気（株）内 (72)発明者 井原 忠雄 宮城県仙台市泉区泉ケ丘２丁目３番10号
Claims (4)
- 【請求項１】 被検水中のケイ酸イオンを反応触媒下で
モリブデン酸アンモニウムと反応させへテロケイモリブ
デン（黄）を生成し、さらに該生成物を還元してへテロ
ケイモリブデン（青）を生成するフローインジェクショ
ン法と、該ヘテロケイモリブデン（青）と第４級アンモ
ニウムイオンとから形成される疎水性イオン対を、高分
子ポリマー担体を充填した濃縮カラムに吸着保持させた
後、有機溶媒と水との混合溶媒で溶出し、該ケイ酸イオ
ン濃度を測定するイオン対濃縮・溶離法とを組み合わせ
たことを特徴とする被検水中の超微量ケイ酸イオンの自
動測定方法。 - 【請求項２】 被検水中のケイ酸イオンを反応触媒下で
モリブデン酸アンモニウムと反応させへテロケイモリブ
デン（黄）を生成し、さらに該生成物を還元してへテロ
ケイモリブデン（青）を生成した後、該へテロケイモリ
ブデン（青）と第４級アンモニウムイオンとから形成さ
れる疎水性イオン対を、高分子ポリマー担体を充填した
濃縮カラムに吸着保持させたのち、有機溶媒と水との混
合溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を測定する方法に
おいて、生成した疎水性イオン対を時間規制により定量
的に濃縮カラムへ送液することを特徴とする被検水中の
超微量ケイ酸イオンの自動測定方法。 - 【請求項３】 被検水中のケイ酸イオンを反応触媒下で
モリブデン酸アンモニウムと反応させへテロケイモリブ
デン（黄）を生成し、さらに該生成物を還元してへテロ
ケイモリブデン（青）を生成した後、該ヘテロケイモリ
ブデン（青）と第４級アンモニウムイオンとから形成さ
れる疎水性イオン対を、高分子ポリマー担体を充填した
濃縮カラムに吸着保持させたのち、有機溶媒と水との混
合溶媒で溶出し、該ケイ酸イオン濃度を測定する方法に
おいて、予め所定容量の計量管に疎水性イオン対を採取
した後、キャリヤにて濃縮カラムへ送液することを特徴
とする被検水中の超微量ケイ酸イオンの自動測定方法。 - 【請求項４】 前記反応触媒が、メタノール、エタノー
ル、アセトン、アセトニトリル等の低分子量の水溶性有
機溶媒であることを特徴とする請求項１、２、３の被検
水中の超微量ケイ酸イオンの自動測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10800797A JP3240507B2 (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | 被検水中の超微量ケイ酸イオンの自動測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10800797A JP3240507B2 (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | 被検水中の超微量ケイ酸イオンの自動測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10267907A true JPH10267907A (ja) | 1998-10-09 |
| JP3240507B2 JP3240507B2 (ja) | 2001-12-17 |
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ID=14473633
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10800797A Expired - Fee Related JP3240507B2 (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | 被検水中の超微量ケイ酸イオンの自動測定方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3240507B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113155759A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-07-23 | 国合通用测试评价认证股份公司 | 一种采用分光光度法测定氮化硼中硅含量的分析测试方法 |
-
1997
- 1997-03-24 JP JP10800797A patent/JP3240507B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113155759A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-07-23 | 国合通用测试评价认证股份公司 | 一种采用分光光度法测定氮化硼中硅含量的分析测试方法 |
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