JPH10258544A - Multi-beam recorder - Google Patents

Multi-beam recorder

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JPH10258544A
JPH10258544A JP8608997A JP8608997A JPH10258544A JP H10258544 A JPH10258544 A JP H10258544A JP 8608997 A JP8608997 A JP 8608997A JP 8608997 A JP8608997 A JP 8608997A JP H10258544 A JPH10258544 A JP H10258544A
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light
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image
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Hisashi Miyoshi
久司 三好
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely plot by using a projection lens having an aberration by forming a plotting region by a first moving means, sorting a light source into a plurality of groups parallel to a first direction, and changing a moving amount of the plotted region at the time of switching based on a second moving means perpendicular to a first direction. SOLUTION: Data from buffers 104a, 104b are respectively written in image memories 106a, 106b of an LED controller 106 via an arithmetic processor 103 and a data writer 104. In this case, in a light source part 42 where a plurality of light sources are arrayed in two-dimensional manner. Non-light emitting data is written in a partition in the memory corresponding to the group of one side and the other side not used for plotting, and plotting data is written in a partition used for plotting. The processor 103 outputs it to a moving controller 110, and plots it while moving a table in a Y direction by a table moving motor 2M. Then, an optical head is moved by an optical system driving motor 5M, and next region is plotted.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、二次元に配列した複
数の光源を有する光源部からの光束を投影レンズにより
描画面上に投影すると共に、この光源像と描画面とを相
対的に走査させることにより画像を描画するマルチビー
ム記録装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention projects a light beam from a light source section having a plurality of light sources arranged two-dimensionally on a drawing surface by a projection lens, and relatively scans the light source image and the drawing surface. The present invention relates to a multi-beam recording apparatus that draws an image by causing the apparatus to draw an image.

【0002】[0002]

【従来の技術】特開平6−186490号公報には、二
次元行列として配列された半導体レーザーと対応するア
パーチャーとを備える光源部を有し、このアパーチャー
の像を投影光学系により描画面上にドットとして形成す
るマルチビーム記録装置が開示されている。この装置
は、描画面とアパーチャー像とを相対的に走査させつつ
半導体レーザーを制御して、走査方向に対して直交する
方向に離散的に配列した各行のアパーチャー像を所定ピ
ッチづつずらしながら複数行分重ねることにより、描画
面上に二次元の画像を形成する。
2. Description of the Related Art Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-186490 has a light source unit having a semiconductor laser arrayed as a two-dimensional matrix and a corresponding aperture, and an image of this aperture is projected onto a drawing surface by a projection optical system. A multi-beam recording device that forms dots is disclosed. This apparatus controls the semiconductor laser while relatively scanning the drawing surface and the aperture image, and shifts the aperture images of each row discretely arranged in a direction orthogonal to the scanning direction by a predetermined pitch at a plurality of rows. By overlapping, a two-dimensional image is formed on the drawing surface.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
のマルチビーム記録装置は、アパーチャーのパターンを
描画面上に縮小投影するために大口径の投影レンズを用
いているため、レンズの周辺部での収差の発生量が比較
的大きくなり、光軸から離れた周辺部のアパーチャーに
ついては、描画面上に投影されたアパーチャーの像(ド
ット)の形状が歪み、あるいは、ドットの位置が予定位
置からずれる。このようなアパーチャー像の歪みやズレ
は、形成される画像の解像度が低い場合には問題となら
ないが、解像度が高い場合には精密な描画を妨げるた
め、問題となる。
However, this type of multi-beam recording apparatus uses a large-diameter projection lens for reducing and projecting the aperture pattern on the drawing surface, so that the peripheral portion of the lens has a large aperture. The amount of aberration is relatively large, and for apertures in the peripheral part away from the optical axis, the shape of the image (dot) of the aperture projected on the drawing surface is distorted, or the position of the dot deviates from the expected position . Such distortion or displacement of the aperture image does not pose a problem when the resolution of the formed image is low, but poses a problem when the resolution is high because it hinders precise drawing.

【0004】この発明は、上記の従来技術の課題に鑑
み、収差のある投影レンズを使用する場合にも精密な描
画が可能なマルチビーム記録装置の提供を目的とする。
An object of the present invention is to provide a multi-beam recording apparatus capable of performing precise drawing even when a projection lens having an aberration is used, in view of the above-mentioned problems of the prior art.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明にかかるマルチ
ビーム記録装置は、上記の目的を達成させるため、二次
元に配列した複数の光源のうち描画に使用する光源を選
択することにより走査の幅を変更可能としたことを特徴
とする。このような構成によれば、解像度が低い場合に
は全部の光源を用いて一走査で広範囲にパターンを形成
できると共に、解像度が高い場合には投影光学系の光軸
から離れた周辺の光源を使用せずに、収差の影響が小さ
い中心部の光源のみを用いて描画することにより、精度
の高いパターンを形成することができる。
In order to achieve the above object, a multi-beam recording apparatus according to the present invention selects a light source used for drawing from among a plurality of light sources arranged two-dimensionally, thereby obtaining a scanning width. Can be changed. According to such a configuration, when the resolution is low, a pattern can be formed in a wide range by one scan using all the light sources, and when the resolution is high, peripheral light sources distant from the optical axis of the projection optical system can be formed. By drawing using only the light source at the central portion where the influence of aberration is small without using it, a highly accurate pattern can be formed.

【0006】すなわち、この発明にかかるマルチビーム
記録装置は、有効な面積を持つ複数の光源が離散的に2
次元配列された光源部と、光源から発する光束により描
画面上にドットを形成する投影光学系と、描画期間中に
光源部と描画面とを第1の方向に沿って相対的に直線移
動させることにより描画面上に帯状の描画領域を形成す
る第1の移動手段と、非描画期間中に光源部と描画面と
を第1の方向に対して垂直な第2の方向に沿って相対的
に移動させることにより、第1の移動手段による描画領
域を切り換える第2の移動手段と、光源部の光源を第1
の方向と平行な境界線により複数のグループに分類し、
描画に使用される光源と使用されない光源とをグループ
単位で選択することにより描画領域の幅を設定すると共
に、描画に使用されないグループの光源を点灯させず、
入力される描画データに基づいて描画に使用されるグル
ープの光源の発光、非発光を制御する描画制御手段と、
描画領域の幅に応じて第2の移動手段による描画領域の
切り換え時の移動量を変更する移動量変更手段とを備え
ることを特徴とする。
That is, in the multi-beam recording apparatus according to the present invention, a plurality of light sources having an effective area
A light source unit arranged in a dimension, a projection optical system for forming dots on a drawing surface by a light beam emitted from the light source, and a light source unit and a drawing surface relatively linearly moved along a first direction during a drawing period. A first moving unit for forming a band-shaped drawing area on the drawing surface, and a light source unit and the drawing surface being relatively moved along a second direction perpendicular to the first direction during a non-drawing period. The second moving means for switching the drawing area by the first moving means by moving the
Classified into multiple groups by borders parallel to the direction of,
By setting the width of the drawing area by selecting the light source used for drawing and the light source not used for each group, the light source of the group not used for drawing is not turned on,
Drawing control means for controlling light emission and non-light emission of a group of light sources used for drawing based on input drawing data;
A moving amount changing unit configured to change a moving amount of the second moving unit when the drawing region is switched according to the width of the drawing region.

【0007】また、描画制御手段は、入力される描画デ
ータに基づいてビットマップを形成する演算処理回路
と、単一の走査領域に対応する光源の全数についての制
御データを記憶する画像メモリと、描画に使用されるグ
ループの光源の制御データとしてビットマップの描画デ
ータを画像メモリに書き込むと共に、描画に使用されな
いグループの光源の制御データとして非発光のデータを
画像メモリに書き込むデータ書き込み回路と、画像メモ
リに書き込まれたデータに基づいて光源部を駆動する光
源駆動回路とを備えることが望ましい。
The drawing control means includes an arithmetic processing circuit for forming a bit map based on input drawing data, an image memory for storing control data for all light sources corresponding to a single scanning area, A data writing circuit which writes bitmap drawing data to an image memory as control data of a group of light sources used for drawing, and writes non-light-emitting data to an image memory as control data of a group of light sources not used for drawing; It is preferable to include a light source driving circuit that drives the light source unit based on data written in the memory.

【0008】さらに、この場合、データ書き込み回路
は、1つの走査領域に含まれる制御データを光源のグル
ープ単位で記憶する2つのバッファを備え、ビットマッ
プのデータおよび非発光のデータの書き込みとこれらの
データのメモリへの吐き出しとを2つのバッファで交互
に実行するように構成することができる。
Further, in this case, the data writing circuit includes two buffers for storing the control data contained in one scanning area for each light source group, to write bitmap data and non-light emission data and to write these data. It is possible to configure so that the data output to the memory and the data output to the memory are alternately executed by the two buffers.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、この発明にかかるマルチビ
ーム記録装置の実施形態について説明する。図1は、実
施形態のマルチビーム記録装置100の外観を示す斜視
図である。実施形態のマルチビーム記録装置100は、
プリント基板を作成するための、露光焼き付け用のマス
クに回路パターンを記録する装置である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a multi-beam recording apparatus according to the present invention will be described below. FIG. 1 is a perspective view illustrating an appearance of the multi-beam recording apparatus 100 according to the embodiment. The multi-beam recording apparatus 100 according to the embodiment includes:
This is an apparatus for recording a circuit pattern on a mask for exposure printing for producing a printed circuit board.

【0010】マルチビーム記録装置100は、装置本体
ベース1と、回路パターンが作画される描画面としての
感光フィルム3を載置し、装置本体ベース1に対してY
方向にスライド可能なテーブル2と、感光フィルム3上
に投影パターンを形成する光学ヘッド4と、この光学ヘ
ッド4を本体ベース1に対してY方向に垂直なX方向に
スライド可能に支持する光学ベース5とから概略構成さ
れている。
In the multi-beam recording apparatus 100, an apparatus main body base 1 and a photosensitive film 3 as a drawing surface on which a circuit pattern is formed are placed.
Table 2 slidable in the direction, optical head 4 for forming a projection pattern on photosensitive film 3, and optical base for supporting optical head 4 slidably in the X direction perpendicular to the Y direction with respect to main body base 1. 5 are schematically constituted.

【0011】テーブル2は、その下面がY方向に延びる
一対のレール2Rに沿ってガイドされた状態で、ボール
ねじ2Bを図示しないテーブル駆動モータにより回転さ
せることによって、光学ヘッド4により形成される光源
像に対して感光フィルム3をY方向に走査させる。これ
らのボールねじ2Bとテーブル駆動モータとにより、描
画期間中に描画面である感光フィルム3を光源像に対し
て第1の方向であるY方向に相対的に直線移動させる第
1の移動手段が構成される。
The table 2 has a lower surface guided along a pair of rails 2R extending in the Y direction. The table 2 is rotated by a table driving motor (not shown) to rotate the ball screw 2B to form a light source formed by the optical head 4. The photosensitive film 3 is scanned with respect to the image in the Y direction. By means of these ball screws 2B and the table drive motor, a first moving means for linearly moving the photosensitive film 3, which is the drawing surface, relative to the light source image in the Y direction, which is the first direction, during the drawing period. Be composed.

【0012】光学ベース5は、X方向に延びる一対のガ
イドレール5RにガイドされてX方向に移動可能となっ
ており、光学系駆動モータ5Mによってボールねじ5B
を回転させることにより、光学ヘッド4をX方向に移動
させる。これらの光学系駆動モータ5Mとボールねじ5
Bとにより、光源の像と描画面とをY方向とは異なる方
向に沿って相対的に移動させる第2の移動手段が構成さ
れる。第2の移動手段は、非描画期間中に光学ヘッド4
を第1の方向(Y方向)と直交する第2の方向(X方向)に
直線移動させることにより、第1の移動手段による描画
領域を切り換える機能を有している。
The optical base 5 is movable in the X direction by being guided by a pair of guide rails 5R extending in the X direction.
Is rotated to move the optical head 4 in the X direction. These optical system drive motor 5M and ball screw 5
B constitutes a second moving means for relatively moving the image of the light source and the drawing surface along a direction different from the Y direction. The second moving means is an optical head 4 during a non-drawing period.
Is linearly moved in a second direction (X direction) orthogonal to the first direction (Y direction) to switch the drawing area by the first moving means.

【0013】光学ヘッド4には、装置本体ベース1に設
けられた位置検出用リニアスケール5Kを検出するスケ
ール検出ヘッド5Dが設けられており、光学系駆動モー
タ5Mはスケール検出ヘッド5Dの検出信号に基づいて
フィードバック制御される。なお、図示していないが、
テーブル2も同様の検出機構を備え、テーブル駆動モー
タは検出結果に基づいてフィードバック制御される。
The optical head 4 is provided with a scale detection head 5D for detecting a linear scale 5K for position detection provided on the apparatus main body base 1, and an optical system drive motor 5M receives a detection signal from the scale detection head 5D. Feedback control is performed based on the feedback control. Although not shown,
The table 2 also has a similar detection mechanism, and the table drive motor is feedback-controlled based on the detection result.

【0014】図2は、光学ヘッド4の光学系の概略を示
す側面図である。光学ヘッド4は、有効な面積を持つ複
数の光源が離散的に2次元配列された光源部と、光源の
像を描画面上に形成する投影光学系とを備えている。光
源部は、プリント基板41に取り付けられた発光素子で
あるLED(発光ダイオード)42と、各LED42に対
応してその前面に位置するアパーチャーAPが形成され
たアパーチャー板43とから構成される。投影光学系
は、アパーチャー板43側から順に配列した第1レンズ
群44、および第2レンズ群45からなる倍率1/25
の縮小光学系であり、アパーチャー板43を透過したビ
ームによりアパーチャーAPの像をドットとして感光フ
ィルム3の表面に形成する。
FIG. 2 is a side view schematically showing an optical system of the optical head 4. The optical head 4 includes a light source section in which a plurality of light sources having an effective area are discretely arranged two-dimensionally, and a projection optical system that forms an image of the light source on a drawing surface. The light source unit includes an LED (light emitting diode) 42 as a light emitting element mounted on a printed circuit board 41, and an aperture plate 43 in which an aperture AP is formed in front of the LED 42 in correspondence with each LED 42. The projection optical system includes a first lens group 44 and a second lens group 45 arranged in order from the aperture plate 43 side and has a magnification of 1/25.
The beam transmitted through the aperture plate 43 is used to form an image of the aperture AP as dots on the surface of the photosensitive film 3.

【0015】図3は、LED42およびアパーチャパネ
ル43に形成されたアパーチャの配置を説明するため
の、アパーチャパネル43を光学ヘッド4の上面側から
見た図(図2における上方から下方を見た図)である。
なお、LED42の位置は破線で示されている。本実施
形態では、2048個のLED42が、2次元に配列さ
れている。Y方向には32個のLED42が並べられて
いる(以下、Y方向に並んだLED42をY列のLED
42と呼ぶ)。同様にY方向に配列されたLED42の
列がX方向に64列配置される。X方向の一つのライン
に注目すると、64個のLED42はX方向に沿って一
直線に並んでいる(以下、X方向に一直線に並んだLE
DをX行のLEDと呼ぶ)。LED42は感光フィルム
3に平行な平面上で、最大3.8mmの直径を有している。
これを互いに接触しないよう配置するため、図3に示す
ように、LED42はX方向、Y方向それぞれにおい
て、4mmの間隔で配置される。Y列のLEDは、図3の
Y1〜Y32に示されるように、アパーチャAPの直径
分だけずれた位置に順に配置され、アパーチャAPも同
様な配置で形成されている。Y1とY33との距離は4m
m、アパーチャAPの径は0.125mmとなっている。
FIG. 3 is a diagram showing the aperture panel 43 viewed from the upper surface side of the optical head 4 (a diagram viewed from the upper side to the lower side in FIG. 2) for explaining the arrangement of the apertures formed in the LED 42 and the aperture panel 43. ).
Note that the position of the LED 42 is indicated by a broken line. In the present embodiment, 2048 LEDs 42 are two-dimensionally arranged. 32 LEDs 42 are arranged in the Y direction (hereinafter, the LEDs 42 arranged in the Y direction are referred to as Y-row LEDs).
42). Similarly, 64 rows of the LEDs 42 arranged in the Y direction are arranged in the X direction. Focusing on one line in the X direction, 64 LEDs 42 are aligned in a straight line along the X direction (hereinafter, LEs aligned in the X direction).
D is called X row LED). The LED 42 has a maximum diameter of 3.8 mm on a plane parallel to the photosensitive film 3.
As shown in FIG. 3, the LEDs 42 are arranged at an interval of 4 mm in each of the X direction and the Y direction in order to arrange them so as not to contact each other. The LEDs in the Y column are sequentially arranged at positions shifted by the diameter of the aperture AP, as shown by Y1 to Y32 in FIG. 3, and the aperture AP is also formed in a similar arrangement. The distance between Y1 and Y33 is 4m
m, the diameter of the aperture AP is 0.125 mm.

【0016】図4は、感光フィルム3上の各ビームに対
応するドット、すなわちアパーチャパネル43の像を示
す図である。図中黒点が、ビームによりフィルム3が露
光されるドットである。なお、図4はドットの配置を示
すための図であり、各部のサイズは正しい縮尺では図示
されていない。感光フィルム3上でのドットの形成範囲
は、X方向においては10.24mm、Y方向は4.96mmとな
る。
FIG. 4 is a view showing dots corresponding to each beam on the photosensitive film 3, ie, an image of the aperture panel 43. The black dots in the figure are dots on which the film 3 is exposed by the beam. FIG. 4 is a diagram showing the arrangement of dots, and the size of each part is not shown on the correct scale. The formation range of the dots on the photosensitive film 3 is 10.24 mm in the X direction and 4.96 mm in the Y direction.

【0017】描画の際には、Y方向にテーブル2を移動
しつつLEDを発光制御して感光フィルム3の表面にY
方向に延びる帯状の領域に画像を形成する。これによ
り、あるライン(X方向に沿ったライン)に注目した場
合に、一回の走査で全てのLEDビームの像(ドット)が
中心間の距離5μmのピッチで一列に並ぶ。全てのLE
Dを描画に使用すれば、テーブルの走査により感光フィ
ルム3上に10.24mm幅の帯状の描画領域が形成さ
れる。ただし、実施形態の装置では、この帯状の描画領
域の幅を変更することができる。
At the time of drawing, the light emission of the LED is controlled while moving the table 2 in the Y direction so that the Y
An image is formed in a band-like region extending in the direction. Thus, when focusing on a certain line (a line along the X direction), the images (dots) of all the LED beams are arranged in a line at a pitch of 5 μm between the centers in one scan. All LE
If D is used for drawing, a 10.24 mm wide strip-shaped drawing area is formed on the photosensitive film 3 by scanning the table. However, in the apparatus of the embodiment, the width of the band-shaped drawing area can be changed.

【0018】描画領域の幅を変更するため、すなわち、
描画に用いられるLEDを選択するために、全てのLE
DはY方向の境界線により複数のグループに分類され
る。分類は、処理装置が一回で処理できる描画データの
最小単位である8MBを基準に、解像度に応じて変更さ
れる。実施形態の装置は、解像度を標準密度であるドッ
ト間ピッチ5μmと、その倍密度である2.5μmとの
間で選択できるよう構成されている。
In order to change the width of the drawing area,
To select the LED used for drawing, all LEs
D is classified into a plurality of groups by a boundary line in the Y direction. The classification is changed according to the resolution based on 8 MB, which is the minimum unit of drawing data that can be processed by the processing device at one time. The device of the embodiment is configured so that the resolution can be selected between a standard density of 5 μm between dots and a double density of 2.5 μm.

【0019】標準密度の場合には、1つの帯状の領域を
上記のように一回の走査で描画する。また、この場合に
は、Y方向についても、ドット間ピッチが5μmとなる
よう各LEDの発光タイミングが定められる。標準密度
では、一回の走査のデータ量は32MB(メガバイト)と
なり、8MBのデータ容量でY列16列分、すなわち3
2×16=512個のLEDを1走査分制御することが
できる。したがって、この場合には、LEDは4つのグ
ループG1〜G4に分類される。これらのグループのう
ち、中央のグループG2,G3のいずれか一方は常に描画
に使用され、外側のグループG1,G4は選択により描画
に使用され、あるいは使用されない。したがって、以下
の表1に示すA〜Jの10通りの組み合わせが考えられ
る。表1では、使用されるグループが○、使用しないグ
ループが×で表わされており、描画に使用しない光源の
グループの数が番号m,nで表される。ここで、mは描
画領域の幅方向の一方の側の描画に使用されない光源の
グループの数であり、外側からm番目のグループが描画
に使用されない。nは同様に描画領域の幅方向の他方の
側の描画に使用されない光源のグループの数である。
In the case of the standard density, one band-like area is drawn by one scan as described above. In this case, the light emission timing of each LED is determined so that the dot pitch is also 5 μm in the Y direction. At the standard density, the data amount of one scan is 32 MB (megabyte), and the data capacity of 8 MB is equivalent to 16 columns of Y columns, that is, 3 MB.
2 × 16 = 512 LEDs can be controlled for one scan. Therefore, in this case, the LEDs are classified into four groups G1 to G4. Of these groups, one of the center groups G2 and G3 is always used for drawing, and the outer groups G1 and G4 are used for drawing or not depending on selection. Therefore, ten combinations of A to J shown in Table 1 below can be considered. In Table 1, groups to be used are indicated by ○, groups not used are indicated by ×, and the number of light source groups not used for drawing is indicated by numbers m and n. Here, m is the number of light source groups not used for drawing on one side in the width direction of the drawing area, and the m-th group from the outside is not used for drawing. Similarly, n is the number of light source groups that are not used for drawing on the other side in the width direction of the drawing area.

【0020】[0020]

【表1】 グループ A B C D E F G H I J G1 ○ × ○ × ○ × × × ○ × G2 ○ ○ ○ × ○ ○ ○ × × × G3 ○ ○ ○ ○ × ○ × ○ × × G4 ○ ○ × ○ × × × × × ○ m 0 1 0 2 0 1 1 2 0 3 n 0 0 1 0 2 1 2 1 3 0 描画幅 10.24 7.68 7.68 5.12 5.12 5.12 2.56 2.56 2.56 2.56 [Table 1] Group ABCDEFGHIJG1 ○ × ○ × ○ × × × × × G2 ○ ○ ○ × ○ ○ ○ × × × G3 ○ ○ ○ ○ × ○ × ○ × × G4 ○ × ○ × × × × × ○ ○

【0021】描画幅の変更には、高い描画精度が要求さ
れる場合に、投影レンズの外側の収差の影響が大きい領
域を利用する光を利用せず投影レンズの中心部を通る光
のみを利用するという第1の目的と、いずれかのLED
が断線等の原因により発光不能となったときに、そのL
EDを含むグループを使用せずに描画することによりド
ットの抜けを防止するという第2の目的とがある。第1
の目的を達成するためには、幅方向の外側の領域に対応
するLEDを使用せず、中央の領域に対応するLEDの
みを利用して描画する必要がある。この場合には、Aと
Fとの2通りの組み合わせが選択できれば十分である。
ただし、第2の目的を達成するためには、他のB〜E,
G〜Jの組み合わせも選択できることが望ましい。
When a high drawing accuracy is required for changing the drawing width, only the light passing through the center of the projection lens is used instead of the light that uses the region outside the projection lens where the influence of aberration is large. The first purpose of doing and any LED
When light emission becomes impossible due to disconnection or the like,
A second object is to prevent missing dots by drawing without using a group including ED. First
In order to achieve the above object, it is necessary to draw using only the LED corresponding to the central region without using the LED corresponding to the region outside in the width direction. In this case, it is sufficient if two combinations of A and F can be selected.
However, in order to achieve the second object, other B to E,
It is desirable that a combination of G to J can be selected.

【0022】標準密度で描画する場合、感光フィルム3
の描画領域のY方向における端部から他の端部まで帯状
に画像が形成されると、光学ヘッド4を上記の使用され
るグループの数に応じた描画幅分だけX方向に移動す
る。そして、光学ヘッド4の移動後にテーブル2を前回
とは逆方向に(Y方向に沿って)移動することにより、
同様にして、感光フィルム3にY方向に延びた帯状の画
像を先に形成した領域に隣接して形成する。標準密度の
場合、光学へッドはテーブルがいずれの方向に走査する
場合にも走査が終了する毎に10.24−(m+n)×
2.56mmX方向に送られる。
When drawing at a standard density, the photosensitive film 3
When an image is formed in a band shape from the end in the Y direction to the other end of the drawing area of the drawing area, the optical head 4 is moved in the X direction by the drawing width corresponding to the number of the groups used. Then, by moving the table 2 in the opposite direction (along the Y direction) from the previous time after the movement of the optical head 4,
Similarly, a band-shaped image extending in the Y direction is formed on the photosensitive film 3 adjacent to the previously formed region. In the case of the standard density, the optical head is 10.24- (m + n) .times. Each time scanning is completed, regardless of whether the table scans in any direction.
It is sent in the 2.56 mm X direction.

【0023】一方、倍密度の場合には、一方向の走査の
後、半ピッチ分、すなわち2.5μm分X方向にヘッド
を移動させて逆向きに走査することにより、前回の走査
により形成されたドットとドットとの間をドットで埋め
てゆく。このように半ピッチずらしてインターレースの
手法で往復走査することにより1つの帯状の領域にパタ
ーンを描画する。全てのLEDが描画に使用される場
合、10.24mmの幅に対して4096ドットの密度
でデータを描画できる。走査方向に対しても2.5μm
ピッチでドットを形成する場合、一往復の走査のデータ
量は標準密度の4倍の128MBとなり、8MBのデー
タ容量でY列4列分、すなわち32×4=128個のL
EDを往復走査分制御することができる。倍密度の記録
をする場合、描画データを送る側から見ると、1回の走
査で4048個のLEDを制御するのと等価であり、そ
のように考えると、8MBのデータ容量でY列8列分、
すなわち32×8=256個のLEDを一走査分制御す
ることとなる。
On the other hand, in the case of double density, after scanning in one direction, the head is moved in the X direction by half a pitch, that is, 2.5 μm, and scanning is performed in the opposite direction, thereby forming the image by the previous scanning. The gap between the dots is filled with dots. In this manner, a pattern is drawn in one band-shaped area by reciprocating scanning by an interlace method with a half pitch shift. When all the LEDs are used for drawing, data can be drawn at a density of 4096 dots for a width of 10.24 mm. 2.5 μm also in the scanning direction
When dots are formed at a pitch, the data amount of one round trip scan is 128 MB, which is four times the standard density, and a data capacity of 8 MB is equivalent to four Y columns, that is, 32 × 4 = 128 Ls.
The ED can be controlled for the reciprocating scanning. When double-density recording is performed, it is equivalent to controlling 4048 LEDs in one scan when viewed from the side where the drawing data is sent. In view of this, 8 columns of Y columns with a data capacity of 8 MB are considered. Minutes,
That is, 32 × 8 = 256 LEDs are controlled for one scan.

【0024】倍密度の場合には、LEDは16のグルー
プg1〜g16に分類される。この場合、前述の第2の目
的を達成するためには、136通りの組み合わせが考え
られる。ただし、光源部の中心と投影レンズの光軸とが
一致していることを前提にすると、第1の目的のために
は以下の表2に示すa〜hの8通りの組み合わせが選択
できればよい。
In the case of double density, the LEDs are classified into 16 groups g1 to g16. In this case, 136 combinations are conceivable to achieve the second object. However, assuming that the center of the light source unit and the optical axis of the projection lens coincide with each other, it is only necessary to select eight combinations of a to h shown in Table 2 below for the first purpose. .

【0025】[0025]

【表2】 グループ a b c d e f g h g1 ○ × × × × × × × g2 ○ ○ × × × × × × g3 ○ ○ ○ × × × × × g4 ○ ○ ○ ○ × × × × g5 ○ ○ ○ ○ ○ × × × g6 ○ ○ ○ ○ ○ ○ × × g7 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × g8 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ g9 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ g10 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × g11 ○ ○ ○ ○ ○ ○ × × g12 ○ ○ ○ ○ ○ × × × g13 ○ ○ ○ ○ × × × × g14 ○ ○ ○ × × × × × g15 ○ ○ × × × × × × g16 ○ × × × × × × × m 0 1 2 3 4 5 6 7 n 0 1 2 3 4 5 6 7 描画幅(mm) 10.24 8.96 7.68 6.40 5.12 3.84 2.56 1.28[Table 2] Group abcdeffghg1 ○ × × × × × × × g2 ○ ○ × × × × × × g3 ○ ○ ○ × × × × × g4 ○ ○ ○ ○ × × × × g5 ○ ○ ○ ○ ○ × × × g6 ○ ○ ○ ○ ○ ○ × × g7 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × g8 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ g9 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ g10 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × g11 ○ ○ ○ ○ ○ ○ × × g12 ○ ○ ○ ○ ○ × × × g13 ○ ○ ○ ○ × × × × g14 ○ ○ ○ × × × × × g15 ○ ○ × × × × × × g16 ○ × × × × × × × m 0 1 2 3 4 4 5 6 7 n 0 1 2 3 4 4 5 6 7 Drawing width (mm) 10.24 8.96 7.68 6.40 5.12 3.84 2.56 1.28

【0026】なお、光源部の中心と投影レンズの光軸と
が一致しない場合には、不使用領域を表2に示すように
左右対称(m=n)だけではなく、非対称(m≠n)に定め
てもよい。例えば、m=2,n=1としてグループg
1,g2,g16を使用しないよう選択することができる。
When the center of the light source unit does not coincide with the optical axis of the projection lens, the unused area is not only symmetrical (m = n) but also asymmetrical (m ≠ n) as shown in Table 2. May be determined. For example, if m = 2 and n = 1, the group g
You can choose not to use 1, g2, g16.

【0027】倍密度で描画する場合、感光フィルム3の
描画領域のY方向における端部から他の端部まで往復走
査して帯状に画像が形成されると、光学ヘッド4を上記
の使用されるグループの数に応じた描画幅分だけX方向
に移動する。そして、光学ヘッド4の移動後にテーブル
2をY方向に沿って移動することにより、同様にして、
感光フィルム3にY方向に延びた帯状の画像を先に形成
した領域に隣接して形成する。倍密度の場合、光学へッ
ドはテーブルが一方の方向に走査する場合には走査が終
了する毎に2.5μmX方向に送られ、他方の方向に走
査する場合には走査が終了する毎に10.24−(m+
n)×0.64mmX方向に送られる。
In the case of drawing at double density, when an image is formed in a belt shape by reciprocating scanning from the end in the Y direction of the drawing area of the photosensitive film 3 to the other end, the optical head 4 is used as described above. It moves in the X direction by the drawing width according to the number of groups. Then, by moving the table 2 along the Y direction after the movement of the optical head 4, similarly,
A belt-shaped image extending in the Y direction is formed on the photosensitive film 3 adjacent to the previously formed region. In the case of double density, the optical head is sent in the 2.5 μm X direction every time the table is scanned when the table scans in one direction, and every time the table is scanned in the other direction. 10.24- (m +
n) × 0.64 mm Sent in the X direction.

【0028】図5は、実施形態の記録装置100の制御
系を示すブロック図である。記録装置100は、イーサ
ネットのネットワークによりワークステーションWSと
接続されており、ワークステーションWSから送られる
描画データと制御情報とにしたがって感光フイルム3上
にパターンを露光、描画する。ワークステーションWS
から送られる描画データはベクトルデータであり、制御
情報はドット間ピッチ、すなわち解像度と描画に使用し
ない光源のグループの番号m,nとを含む。
FIG. 5 is a block diagram showing a control system of the recording apparatus 100 of the embodiment. The recording apparatus 100 is connected to the workstation WS via an Ethernet network, and exposes and draws a pattern on the photosensitive film 3 according to the drawing data and control information sent from the workstation WS. Workstation WS
Is control data including the pitch between dots, that is, the resolution and the numbers m and n of the light source groups not used for drawing.

【0029】描画装置100の制御系は、イーサネット
を介して入力されるワークステーションWSからのデー
タを受けるデータ入力インターフェイス(I/F)101
と、この入力インターフェイスを介してベクトルデータ
として入力される1画像分の全面の画像データが記憶さ
れる容量を持つバッファ102と、バッファ102に書
き込まれたベクトルデータをビットマップのラスタデー
タに変換する演算処理回路103と、演算処理回路10
3により変換されたビットマップのデータが交互に書き
込まれるそれぞれ8MBの容量を持つ2つのバッファ1
04a,104bを備えるデータ書き込み回路104
と、感光フィルム3上に形成される画像がポジ画像かネ
ガ画像かにより描画データのビットを非反転または反転
させるビット反転処理回路105と、走査により形成さ
れる1つの帯状の領域の描画データを保持するための1
28MBの容量を持つ2つの画像メモリ106a,10
6bを備え、光学ヘッド4のLEDの発光を制御する光
源制御回路106とを備えている。
The control system of the drawing apparatus 100 includes a data input interface (I / F) 101 for receiving data from the workstation WS input via the Ethernet.
And a buffer 102 having a capacity for storing the entire image data of one image input as vector data via the input interface, and converting the vector data written in the buffer 102 into bitmap raster data. The arithmetic processing circuit 103 and the arithmetic processing circuit 10
2. Two buffers 1 each having a capacity of 8 MB, in which bitmap data converted by 3 are written alternately.
Data writing circuit 104 including data lines 04a and 104b
And a bit inversion processing circuit 105 for non-inverting or inverting the bits of the drawing data depending on whether the image formed on the photosensitive film 3 is a positive image or a negative image, and drawing data of one band-like region formed by scanning. 1 to hold
Two image memories 106a and 106 each having a capacity of 28 MB
6b, and a light source control circuit 106 for controlling light emission of the LED of the optical head 4.

【0030】ワークステーションWSから入力される描
画データの単位は、全領域をカバーする。この全領域は
テーブル2を走査することにより形成される帯状の領域
を複数合わせることによりカバーされる。バッファ10
2には、この全領域分の描画データが記憶される。
The unit of drawing data input from the workstation WS covers the entire area. This entire area is covered by combining a plurality of band-shaped areas formed by scanning the table 2. Buffer 10
2 stores the drawing data for the entire area.

【0031】演算処理回路103は、変換したデータを
2つのバッファ104a,104bに交互に書き込み、
データ書き込み回路104は、演算処理回路103から
のデータの転送が完了した一方のバッファのデータを光
源制御回路106に出力し、その間他方のバッファには
演算回路103からのデータが転送される。演算処理回
路103から出力される描画データは、例えば感光フィ
ルム上でプリント基板の導体パターンが形成される位置
に対応するドットが「1」、他の領域が「0」となるよ
う定義づけられたポジ画像を基準とした二値データであ
り、光源制御回路106は、例えばデータが「1」のド
ットに対してはLEDを発光させ、「0」のドットに対
しては発光させない。
The arithmetic processing circuit 103 writes the converted data alternately in the two buffers 104a and 104b,
The data writing circuit 104 outputs to the light source control circuit 106 the data in one buffer, for which the data transfer from the arithmetic processing circuit 103 has been completed, while the data from the arithmetic circuit 103 is transferred to the other buffer. The drawing data output from the arithmetic processing circuit 103 is defined such that, for example, the dot corresponding to the position where the conductor pattern of the printed board is formed on the photosensitive film is “1”, and the other areas are “0”. This is binary data based on a positive image, and the light source control circuit 106 causes the LED to emit light for a dot with data “1” and does not emit light for a dot with data “0”.

【0032】ビット反転処理回路105は、形成される
画像がポジ画像である場合にはデータ書き込み回路10
4から出力される描画データをそのままLED制御回路
106に伝達し、ネガ画像である場合にはデータのビッ
トを反転させて、すなわち、「1」のドットを「0」、
「0」のドットを「1」に反転させて伝達する。
If the image to be formed is a positive image, the bit inversion processing circuit 105
4 is transmitted to the LED control circuit 106 as it is, and in the case of a negative image, the data bit is inverted, that is, the dot of “1” is changed to “0”,
The dot “0” is inverted to “1” and transmitted.

【0033】なお、演算処理回路103は、上記のよう
にデータを変換する機能のみでなく、他の回路を制御す
るCPUとしての機能を有している。また、演算処理回
路103は、グループ番号m,nに基づいて求められる
走査の描画幅と、描画データに含まれる位置情報とに基
づいてテーブル2と光学ヘッド4との移動量を求める機
能を有しており、求められた移動量データは、移動制御
回路110へ出力され、移動量制御回路110はテーブ
ル用ACサーボ回路111と光学ヘッド用サーボ回路1
12とを介して光学系駆動モータ5Mとテーブル移動モ
ータ2Mモータとを駆動して光学ヘッドとテーブルとを
移動させる。駆動中は、スケール検出ヘッド5Dおよび
2Dの出力が移動量制御回路110に入力されており、
各モータ5M,2Mは検出される移動量に基づいてフィ
ードバック制御される。
The arithmetic processing circuit 103 has not only a function of converting data as described above, but also a function as a CPU for controlling other circuits. Further, the arithmetic processing circuit 103 has a function of calculating the amount of movement between the table 2 and the optical head 4 based on the scanning width determined based on the group numbers m and n and the position information included in the rendering data. The movement amount data thus obtained is output to the movement control circuit 110. The movement amount control circuit 110 converts the table AC servo circuit 111 and the optical head servo circuit 1
Then, the optical system driving motor 5M and the table moving motor 2M are driven via the motor 12 to move the optical head and the table. During driving, the outputs of the scale detection heads 5D and 2D are input to the movement amount control circuit 110,
Each of the motors 5M and 2M is feedback-controlled based on the detected movement amount.

【0034】図6は、上記の制御系に含まれる画像メモ
リ106aのメモリ空間を示す説明図である。標準密度
の場合には、図6(a)に示されるように、8MBづつに
分割された4つのパーティションと呼ばれる領域により
一走査に用いられる32MBのバンドと呼ばれる領域が
構成される。この32MBの描画データにより、標準密
度における一回の走査で2048個のLEDが制御され
る。1つのパーティションは、512個のLEDを一走
査制御するための描画データを有し、各パーティション
がLEDの各グループG1〜G4に対応する。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a memory space of the image memory 106a included in the control system. In the case of the standard density, as shown in FIG. 6A, an area called a 32 MB band used for one scan is constituted by four areas called partitions divided into 8 MB. With this 32 MB of drawing data, 2048 LEDs are controlled in one scan at the standard density. One partition has drawing data for one-scan control of 512 LEDs, and each partition corresponds to each of the groups G1 to G4 of the LEDs.

【0035】一方、倍密度の場合には、図6(b)に示さ
れるように、8MBづつに分割された16のパーティシ
ョンにより往復走査に用いられる128MBのバンドが
構成される。この場合、1つのパーティションは128
個のLEDを往復走査するために必要な描画データを保
持し、各パーティションがLEDの各グループg1〜g1
6に対応する。
On the other hand, in the case of double density, as shown in FIG. 6B, a 128 MB band used for reciprocal scanning is constituted by 16 partitions divided into 8 MB. In this case, one partition is 128
The drawing data necessary for reciprocally scanning the LEDs is held, and each partition is composed of a group of LEDs g1 to g1.
Corresponds to 6.

【0036】データ書き込み回路104は、2つのバッ
ファ104a,104bからデータを交互に出力してパ
ーティション単位で描画データをLED制御回路106
の画像メモリ106a,106bに書き込む。なお、特
定のグループのLEDを描画に使用しないことは、これ
らのLEDにより形成され得る全ドットに対して「非発
光」というデータを入力することに等しい。そこで、
m,nの数値に応じ、使用されない光源のグループに対
応するデータが書き込まれるパーティションには、演算
処理回路103から入力される描画データではなく、
「非発光」を意味する一定のデータが書き込まれる。た
だし、データ書き込み回路104から出力されるデータ
は、形成される画像がネガ画像の場合にはビット反転回
路105により反転されるため、いずれの場合にも画像
メモリ106a,106bに書き込まれるデータが「非
発光」を意味する「0」となるように、ポジ画像の場合
には該当するパーティションに転送されるべきバッファ
104a,104bの全てのビットが「0」で埋めら
れ、ネガ画像の場合には「1」で埋められる。
The data writing circuit 104 alternately outputs data from the two buffers 104a and 104b and writes drawing data in units of partitions to the LED control circuit 106.
Is written to the image memories 106a and 106b. Note that not using a specific group of LEDs for drawing is equivalent to inputting data “non-light emitting” for all dots that can be formed by these LEDs. Therefore,
According to the numerical values of m and n, the partition where the data corresponding to the unused light source group is written is not the drawing data input from the arithmetic processing circuit 103,
Certain data meaning "non-light emission" is written. However, since the data output from the data writing circuit 104 is inverted by the bit inversion circuit 105 when the image to be formed is a negative image, the data written to the image memories 106a and 106b is " In the case of a positive image, all bits of the buffers 104a and 104b to be transferred to the corresponding partition are filled with "0" so as to be "0" meaning "non-light emission", and in the case of a negative image, Filled with "1".

【0037】図7および図8は、1画面分のパターンを
描画するための演算処理回路103による制御の手順を
示すフローチヤートである。ここでは、倍密度で記録す
る場合、すなわち、1バンドが16パーティションで構
成される場合を例にして説明する。ステップ(図中
「S.」で示す)1、2でワークステーションWSから制
御情報と描画データとを受信すると、ステップ3におい
て描画データに含まれる位置情報に基づいて光学ヘッド
4およびデーブル2の初期位置を求めて移動制御回路1
10へ出力する。移動制御回路110は、この情報に基
づいて光学系駆動モータ5Mとテーブル移動モータ2M
とを駆動する。
FIGS. 7 and 8 are flowcharts showing a control procedure by the arithmetic processing circuit 103 for drawing a pattern for one screen. Here, a case where recording is performed at double density, that is, a case where one band is composed of 16 partitions will be described as an example. When control information and drawing data are received from the workstation WS in steps (indicated by "S." in the drawing) 1 and 2, initializing of the optical head 4 and the table 2 is performed in step 3 based on positional information included in the drawing data. Movement control circuit 1 for finding position
Output to 10 The movement control circuit 110 determines the optical system drive motor 5M and the table movement motor 2M based on this information.
And drive.

【0038】ステップ4では、描画に用いられない光源
のグループ数m,nを全グループ数16から差し引いて
描画に用いられる光源のグループ数pを求める。標準密
度の場合には、pは(4−m−n)で求められる。ステッ
プ5〜10では、描画に用いられない一方側の光源グル
ープに対応する画像メモリ上のm個のパーティションに
「非発光」のデータが書き込まれる。「非発光」のデー
タは、上述のようにポジ画像を形成する場合には
「0」、ネガ画像を形成する場合には「1」となるた
め、対応する値を書き込む。
In step 4, the number of light source groups m and n not used for drawing is subtracted from the total number of groups 16 to obtain the number p of light source groups used for drawing. In the case of the standard density, p is obtained by (4-mn). In steps 5 to 10, data of "non-light emission" is written to m partitions in the image memory corresponding to the one light source group not used for drawing. As described above, the data of “non-emission” is “0” when a positive image is formed and “1” when a negative image is formed, so a corresponding value is written.

【0039】ステップ11〜14は、描画に用いられる
光源のグループに対応する画像メモリ上のパーティショ
ンに描画データを書き込む処理である。続く図8のステ
ップ15〜20では、描画に用いられない他方側の光源
グループに対応する画像メモリ上のn個のパーティショ
ンに「非発光」のデータが書き込まれる。
Steps 11 to 14 are processes for writing drawing data to partitions on the image memory corresponding to the groups of light sources used for drawing. In the subsequent steps 15 to 20 of FIG. 8, "non-light emitting" data is written to n partitions on the image memory corresponding to the other light source group not used for drawing.

【0040】上記の処理により画像メモリ106aの1
28MBの領域に倍密度の往復走査分のデータが書き込
まれると、ステップ21でテーブルをY方向に移動させ
ながら各LEDを発光制御してパターンを描画する。1
つの帯状の描画領域分の描画が終了すると、描画データ
が残っている場合にはステップ23で光学ヘッド4を移
動させて図7のステップ5に戻り、次の帯状の描画領域
の描画を開始する。描画データが終了すると1画面分の
描画が終了する。なお、このフローチャートでは、ステ
ップ21の実際の描画処理とステップ5〜20の画像メ
モリへのデータの書き込みとが時系列的に順に実行させ
るように示されているが、一方の画像メモリ106aに
記憶された描画データによりパターンが描画されている
間に、他方の画像メモリ106bへ描画データが書き込
まれる。これにより、1つの帯状の描画領域から次の領
域の描画を開始するまでの時間を短縮することができ
る。
By the above processing, one of the image memories 106a
When data for double-density reciprocal scanning is written in the area of 28 MB, in step 21, the LED is controlled to emit light while the table is moved in the Y direction to draw a pattern. 1
When the drawing for the two band-shaped drawing areas is completed, if the drawing data remains, the optical head 4 is moved in step 23 and returns to step 5 in FIG. 7 to start drawing the next band-shaped drawing area. . When the drawing data ends, drawing for one screen ends. In this flowchart, the actual drawing process in step 21 and the writing of data to the image memory in steps 5 to 20 are shown to be executed in chronological order, but are stored in one image memory 106a. While the pattern is being drawn by the drawn drawing data, the drawing data is written to the other image memory 106b. As a result, it is possible to reduce the time required to start drawing from one band-shaped drawing region to the next region.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、投影光学系の収差が大きく影響する光軸から離れた
光源を利用せずに中心部の光源のみを用いて描画するこ
とにより、各光源からの光束により形成されるドットの
位置精度を高めることができ、投影光学系の性能を高め
ることなく高い精度の描画が可能となる。また、複数の
光源の一部が断線等により発光不能となった場合には、
その光源を含む光源のグループを使用せずに描画するこ
とができ、光学ヘッドを修理、交換するまでの間も装置
を利用することが可能となる。
As described above, according to the present invention, drawing is performed by using only the central light source without using a light source distant from the optical axis where aberration of the projection optical system greatly affects. The position accuracy of the dots formed by the light beams from the respective light sources can be improved, and high-accuracy drawing can be performed without increasing the performance of the projection optical system. In addition, when a part of the plurality of light sources cannot emit light due to disconnection or the like,
Drawing can be performed without using the light source group including the light source, and the apparatus can be used even before the optical head is repaired or replaced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 実施形態にかかるマルチビーム記録装置の外
観を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view illustrating an appearance of a multi-beam recording apparatus according to an embodiment.

【図2】 光学ヘッドの構成の概略を示す側面図であ
る。
FIG. 2 is a side view schematically showing a configuration of an optical head.

【図3】 アパーチャパネルを光学ヘッドの上面側から
見た図である。
FIG. 3 is a diagram of the aperture panel viewed from the upper surface side of the optical head.

【図4】 感光フィルム上に結像した点像のパターンを
示す図である。
FIG. 4 is a view showing a pattern of a point image formed on a photosensitive film.

【図5】 実施形態の装置の制御系を示すブロック図で
ある。
FIG. 5 is a block diagram illustrating a control system of the apparatus according to the embodiment.

【図6】 LED制御回路に含まれる画像メモリのメモ
リ空間を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a memory space of an image memory included in the LED control circuit.

【図7】 演算処理回路の制御の手順の前半を示すフロ
ーチヤートである。
FIG. 7 is a flowchart showing the first half of the procedure of control of the arithmetic processing circuit.

【図8】 演算処理回路の制御の手順の後半を示すフロ
ーチヤートである。
FIG. 8 is a flowchart showing the latter half of the control procedure of the arithmetic processing circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 テーブル 4 光学ヘッド 42 LED 43 アパーチャー板 44,45 第1、第2レンズ群(投影光学系) 100 パターン記録装置 103 演算処理回路 104 データ書き込み回路 104a,104b バッファ 106 光源制御回路 106a,106b 画像メモリ 2 Table 4 Optical head 42 LED 43 Aperture plate 44, 45 First and second lens groups (projection optical system) 100 Pattern recording device 103 Arithmetic processing circuit 104 Data writing circuit 104a, 104b Buffer 106 Light source control circuit 106a, 106b Image memory

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 有効な面積を持つ複数の光源が離散的に
2次元配列された光源部と、 該光源からの光束により描画面上にドットを形成する投
影光学系と、 描画期間中に前記光源部と前記描画面とを第1の方向に
沿って相対的に直線移動させて前記描画面上に帯状の描
画領域を形成する第1の移動手段と、 非描画期間中に前記光源部と前記描画面とを前記第1の
方向に対して垂直な第2の方向に沿って相対的に移動さ
せることにより、第1の移動手段による描画領域を切り
換える第2の移動手段と、 前記光源部の光源を前記第1の方向と平行な境界線によ
り複数のグループに分類し、描画に使用される光源と使
用されない光源とを前記グループ単位で選択することに
より描画領域の幅を設定すると共に、描画に使用されな
いグループの光源を点灯させず、入力される描画データ
に基づいて描画に使用されるグループの光源の発光、非
発光を制御する描画制御手段と、 前記描画領域の幅に応じて前記第2の移動手段による描
画領域の切り換え時の移動量を変更する移動量変更手段
とを備えることを特徴とするマルチビーム記録装置。
A light source section in which a plurality of light sources having an effective area are discretely two-dimensionally arranged; a projection optical system for forming dots on a drawing surface by a light beam from the light source; A first moving unit that relatively linearly moves the light source unit and the drawing surface along a first direction to form a band-shaped drawing region on the drawing surface; and the light source unit during a non-drawing period. A second moving unit that switches a drawing area by a first moving unit by relatively moving the drawing surface along a second direction perpendicular to the first direction; and the light source unit. The light sources are classified into a plurality of groups by a boundary line parallel to the first direction, and the width of the drawing area is set by selecting a light source used for drawing and a light source not used in each group, Group of light sources not used for drawing Drawing control means for controlling light emission and non-light emission of a group of light sources used for drawing based on input drawing data without lighting, and a drawing area by the second moving means in accordance with a width of the drawing area And a moving amount changing means for changing a moving amount at the time of switching.
【請求項2】 前記描画制御手段は、入力される描画デ
ータに基づいてビットマップを形成する演算処理回路
と、単一の前記描画領域に対応する前記光源の全数につ
いての制御データを記憶する画像メモリと、描画に使用
されるグループの光源の制御データとして前記ビットマ
ップの描画データを前記画像メモリに書き込むと共に、
描画に使用されないグループの光源の制御データとして
非発光のデータを前記画像メモリに書き込むデータ書き
込み回路と、前記メモリに書き込まれたデータに基づい
て前記光源部を駆動する光源駆動回路とを備えることを
特徴とする請求項1に記載のマルチビーム記録装置。
2. An image processing apparatus according to claim 1, wherein said drawing control means includes a processing circuit for forming a bitmap based on input drawing data, and an image storing control data for the total number of said light sources corresponding to a single drawing area. Memory, and write the bitmap drawing data to the image memory as control data of a group of light sources used for drawing,
A data writing circuit for writing non-emission data as control data of a light source in a group not used for drawing to the image memory, and a light source driving circuit for driving the light source unit based on the data written to the memory. The multi-beam recording apparatus according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記データ書き込み回路は、1つの前記
描画領域に含まれる制御データを前記光源のグループ単
位で記憶する2つのバッファを備え、前記ビットマップ
の描画データおよび前記非発光のデータの書き込みと該
データの前記画像メモリへの吐き出しとを前記2つのバ
ッファで交互に実行することを特徴とする請求項2に記
載のマルチビーム記録装置。
3. The data writing circuit includes two buffers for storing control data included in one drawing area in units of the light sources, and writing the bitmap drawing data and the non-light emitting data. 3. The multi-beam recording apparatus according to claim 2, wherein said two buffers alternately execute and discharge of said data to said image memory.
【請求項4】 前記グループに含まれる光源の数は、該
グループ内の光源の制御に必要な描画データの大きさに
応じて変更されることを特徴とする請求項2に記載のマ
ルチビーム記録装置。
4. The multi-beam recording according to claim 2, wherein the number of light sources included in the group is changed according to the size of drawing data necessary for controlling the light sources in the group. apparatus.
【請求項5】 前記描画制御手段は、前記光源のグルー
プの少なくとも一方の外側の1つ若しくは複数のグルー
プを描画に使用しないグループとして選択することを特
徴とする請求項1に記載のマルチビーム記録装置。
5. The multi-beam recording according to claim 1, wherein the drawing control unit selects one or more groups outside at least one of the light source groups as a group not used for drawing. apparatus.
【請求項6】 前記描画制御手段は、前記光源のグルー
プの両側のそれぞれ等しい数のグループを描画に使用し
ないグループとして選択することを特徴とする請求項5
に記載のマルチビーム記録装置。
6. The drawing control unit according to claim 5, wherein the same number of groups on both sides of the light source group are selected as groups not used for drawing.
2. The multi-beam recording apparatus according to claim 1.
【請求項7】 二次元に配列した複数の光源を有する光
源部からの光束を投影レンズにより描画面上に投影する
と共に、この光源像と描画面とを相対的に走査させるこ
とにより画像を描画するマルチビーム記録装置におい
て、描画に使用する光源を選択することにより走査の幅
を変更可能としたことを特徴とするマルチビーム記録装
置。
7. An image is drawn by projecting a light beam from a light source unit having a plurality of light sources arranged two-dimensionally on a drawing surface by a projection lens and relatively scanning the light source image and the drawing surface. A multi-beam recording apparatus, wherein a scanning width can be changed by selecting a light source used for drawing.
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