JPH10249560A - Laser beam machining method and equipment therefor - Google Patents

Laser beam machining method and equipment therefor

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JPH10249560A
JPH10249560A JP9056537A JP5653797A JPH10249560A JP H10249560 A JPH10249560 A JP H10249560A JP 9056537 A JP9056537 A JP 9056537A JP 5653797 A JP5653797 A JP 5653797A JP H10249560 A JPH10249560 A JP H10249560A
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JP
Japan
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cutting
light
laser processing
cutting condition
light amount
Prior art date
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JP9056537A
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Japanese (ja)
Inventor
Makoto Irie
真 入江
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Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam machining method and an equipment therefor which detects a defective cut during machining and at the same time, changes it to a wall cut machining condition automatically. SOLUTION: A light generating from a machining part in the laser beam machining time is detected with an optical sensor 19, the quantity level of the detected light and the level range of the quantity of light in the well cutting time of a cutting condition data base 31 registered in a controller 15 to control the laser beam machining equipment are compared, when the quantity level of light detected with the above optical sensor is made out of the level range of the quantity of light in the well cutting time, it is judged as a defective cut, and at least, one of cutting condition being matched to a suitable cutting is selected among the cutting condition data base, and it is changed to the selected suitable cutting condition and machining is executed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はレーザー加工方法お
よび装置に関する。
[0001] The present invention relates to a laser processing method and apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザー加工機で切断加工を行う際、切
断加工条件が適切でない場合には不良切断となる。この
不良切断には完全な切断ができないガウジング、または
熱量過多のときに生じるバーニング現象と呼ばれるもの
などがある。後者のバーニングにおいては、切断幅が正
常な切断に比較して大きく、また切断面が不整になると
共に被加工材の裏面にドロスといわれる酸化生成物が多
量に付着する。
2. Description of the Related Art When cutting is performed by a laser beam machine, if cutting conditions are not appropriate, defective cutting will occur. The defective cutting includes a gouging that cannot be completely cut or a so-called burning phenomenon that occurs when the amount of heat is excessive. In the latter burning, the cutting width is larger than a normal cutting, the cut surface becomes irregular, and a large amount of oxidation product called dross adheres to the back surface of the workpiece.

【0003】前述のドロスの生成は、必ずしもバーニン
グ現象のときに限られるものではなく切断加工条件が適
切でない場合には発生することが多い。したがって、切
断加工が終了し、製品をとりだして製品の裏面を見て始
めてドロスの生成に気付く場合が多い。ドロスが裏面に
付着した製品の多くは不良品となるので、作業者は経験
によって習得した切断加工条件に変更して再度切断加工
を行い、切断状況を確認するという作業の繰返しによっ
て対処しているのが現状である。
[0003] The generation of the dross described above is not necessarily limited to the burning phenomenon, and often occurs when cutting conditions are not appropriate. Therefore, after the cutting process is completed, it is often the case that the user begins to take out the product and look at the back surface of the product and notice the generation of dross. Many of the products with dross adhered to the back surface are defective products, so the operator has to deal with it by repeating the work of changing the cutting conditions learned through experience, cutting again, and checking the cutting status is the current situation.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前述のごとく従来のレ
ーザー切断加工においては、切断終了後に製品の裏面を
見て始めて不良切断であることが判明するので、不良切
断発生後に適切な切断加工条件に変更することになる。
したがって、不良切断を未然に防止することができな
い。また、発生した不良切断品のドロス除去のための後
工程が必要である。さらに、ドロスの付着状況によって
はドロスを除去しても製品価値が低下したり製品として
使用できなくなる場合もある。
As described above, in the conventional laser cutting process, it is determined that the product is defective only when the back surface of the product is cut after the cutting is completed. Will change.
Therefore, defective cutting cannot be prevented beforehand. In addition, a post-process for removing dross of the defective cut product that has occurred is required. Further, depending on the state of dross adhesion, even if the dross is removed, the product value may be reduced or the product cannot be used as a product.

【0005】本発明は上述の如き問題に鑑みてなされた
ものであり、本発明の課題は、不良切断を加工中に検出
すると同時に、良好切断が得られる適切な切断加工条件
に自動的に変更するレーザー加工方法および装置を提供
することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to detect a defective cut during processing and, at the same time, automatically change to appropriate cutting processing conditions for obtaining good cutting. To provide a laser processing method and apparatus.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載のレーザ
ー加工方法は、レーザー加工時に加工部から発生する光
を光センサーで検出し、該検出光の光量レベルと、レー
ザー加工装置を制御する制御装置に登録されている切断
条件データベースの良好切断時における光量レベル範囲
とを比較し、前記光センサーが検出した光量レベルが前
記良好切断時における光量レベル範囲外のときは不良切
断と判断し、前記切断条件データベースの中から良好切
断に適合する少なくとも一つの切断条件を選択し、該選
択した良好切断条件に変更して加工することを要旨とす
るものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser processing method, wherein light generated from a processing portion during laser processing is detected by an optical sensor, and a light amount level of the detected light and a laser processing apparatus are controlled. Compare the light amount level range at the time of good cutting of the cutting condition database registered in the control device, and when the light amount level detected by the optical sensor is out of the light amount level range at the time of good cutting, determine that the cutting is defective, The gist of the present invention is to select at least one cutting condition suitable for good cutting from the cutting condition database, change the selected good cutting condition, and perform processing.

【0007】したがって、不良切断を加工中に検出する
と同時に切断加工条件を良好切断が得られる適切な切断
加工条件に自動的に変更することができる。
[0007] Therefore, it is possible to automatically change the cutting processing conditions to appropriate cutting processing conditions for obtaining good cutting while detecting a defective cutting during processing.

【0008】請求項2に記載のレーザー加工装置は、レ
ーザー発振器と被加工材に対して相対的に位置決め自在
のレーザー加工ヘッドを備えたレーザー加工装置におい
て、レーザー加工時に加工部から発生する光の光量レベ
ルを検出する光センサーと、該光センサーが検出した光
量レベルと、前記レーザー加工装置を制御する制御装置
に登録されている切断条件データベーの良好切断時にお
ける光量レベル範囲とを比較して切断状態の良否を判断
する判断手段と、該判断手段によって不良切断と判断さ
れたときには、前記切断条件データベースの中から良好
切断に適合する少なくとも一つの切断条件を選択し、該
選択した良好切断条件に変更する変更手段とを有するこ
とを要旨とするものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser processing apparatus having a laser oscillator and a laser processing head which can be positioned relative to a workpiece. The light sensor for detecting the light amount level, the light amount level detected by the light sensor is compared with the light amount level range at the time of good cutting of the cutting condition database registered in the control device for controlling the laser processing device. Judging means for judging the quality of the cutting state, and when the judging means judges that the cutting is defective, at least one cutting condition suitable for good cutting is selected from the cutting condition database, and the selected good cutting condition is selected. And a change means for changing the number to the above.

【0009】したがって、請求項1に記載の発明と同様
に不良切断を加工中に検出すると同時に切断加工条件を
良好切断が得られる適切な切断加工条件に自動的に変更
することができる。
Therefore, similarly to the first aspect of the present invention, it is possible to detect a defective cut during processing and, at the same time, automatically change the cutting processing conditions to appropriate cutting processing conditions capable of obtaining good cutting.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
によって説明する。図1は本発明に係わるレーザー加工
装置1の制御システムの概略を示したものである。図1
に示す様に、レーザー発振器3から出力されたレーザー
ビームLBは、レーザー加工ヘッド5のベンドミラー7
によって反射された後、集光レンズ9によって集光され
て被加工材Wの加工部に照射されると共に、レーザー加
工ヘッド5の下端部に設けたノズル11からアシストガ
スが被加工材Wに噴射されるようになっている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows a control system of a laser processing apparatus 1 according to the present invention. FIG.
As shown in the figure, the laser beam LB output from the laser oscillator 3 is applied to the bend mirror 7 of the laser processing head 5.
After being reflected by the laser beam, the light is condensed by the condenser lens 9 and irradiated to the processing portion of the workpiece W, and assist gas is jetted onto the workpiece W from the nozzle 11 provided at the lower end of the laser processing head 5. It is supposed to be.

【0011】被加工材Wは加工テーブル13上に載置し
てあり、この加工テーブル13は、レーザー加工装置1
全体を制御する制御装置(CNC)15からの位置決め
指令信号17によって、サーボモーター(図示省略)を
駆動して被加工材Wを所望する位置(X,Y)に移動位
置決めできる様になっている。なお、被加工材Wに対す
る移動位置決めは相対的なものであり、被加工材Wを載
置した前記加工テーブル13を固定し、レーザー加工ヘ
ッド5を前記制御装置(CNC)15の位置決め指令信
号17’の下に、被加工材W上の所望する位置(X,
Y)に移動位置決めする様にしても構わない。
A workpiece W is placed on a processing table 13.
A servo motor (not shown) is driven to move and position the workpiece W to a desired position (X, Y) by a positioning command signal 17 from a control device (CNC) 15 for controlling the whole. . Note that the movement positioning with respect to the workpiece W is relative, and the processing table 13 on which the workpiece W is mounted is fixed, and the laser processing head 5 is driven by a positioning command signal 17 of the controller (CNC) 15. Under the desired position (X,
The movement and positioning may be performed in Y).

【0012】前記レーザー加工ヘッド5の集光レンズ9
の上方斜め位置には、被加工材Wからの光を捕らえる光
センサー19が設けてある。この光センサー19は検出
した光の強さに、すなわち光量に比例した電圧または電
流などの電気的信号出力が出る様な構成のものならばよ
く、例えばフォトダイオード、フォトトランジスター、
CCDなどを使用することができる。なお、この光セン
サーの設置位置は、レーザー加工部からの光を捕捉でき
る位置に設置すればよく、集光レンズ9の上方に限定さ
れるものではない。例えばレーザー加工ヘッド5の側方
位置に光センサー19’を設けても構わない。
The condenser lens 9 of the laser processing head 5
An optical sensor 19 for catching light from the workpiece W is provided at an oblique position above. The optical sensor 19 may have any configuration such that an electrical signal output such as a voltage or a current is output in proportion to the detected light intensity, that is, a light amount. For example, a photodiode, a phototransistor,
A CCD or the like can be used. In addition, the installation position of this optical sensor should just be installed in the position which can catch the light from a laser processing part, and is not limited above the condenser lens 9. For example, an optical sensor 19 'may be provided at a side position of the laser processing head 5.

【0013】前記制御装置(CNC)15は、前記レー
ザー発振器3の電源装置21に対して出力指令信号23
をだして、レーザー発振器3の出力を制御することがで
きる様になっている。
The control unit (CNC) 15 sends an output command signal 23 to a power supply 21 of the laser oscillator 3.
Thus, the output of the laser oscillator 3 can be controlled.

【0014】前記光センサー19に捕捉された光は光の
強さに比例した、すなわち光量に比例した電圧または電
流などの電気的信号出力25に変換され、この信号出力
25は増幅器27で増幅され、さらにA/D変換器29
でデジタル信号に変換されて前記制御装置(CNC)1
5に入力される。
The light captured by the optical sensor 19 is converted into an electrical signal output 25 such as a voltage or current proportional to the intensity of the light, ie, proportional to the amount of light, and the signal output 25 is amplified by an amplifier 27. , And the A / D converter 29
Is converted into a digital signal by the controller (CNC) 1
5 is input.

【0015】前記制御装置(CNC)15の記憶装置
(図示省略)には、レーザー切断条件に関するデータベ
ースが蓄積登録してある。このレーザー切断条件データ
ベース31の内容は、例えば、切断速度(mm/mi
n)、レーザー出力(W)、アシストガス圧力(MP
a)、加工部からの光の光量レベル(V)、などから構
成してある。
A database relating to laser cutting conditions is stored and registered in a storage device (not shown) of the control device (CNC) 15. The contents of the laser cutting condition database 31 include, for example, the cutting speed (mm / mi).
n), laser power (W), assist gas pressure (MP
a), the light amount level (V) of the light from the processing section, and the like.

【0016】図2は、上述の如きレーザー加工装置1で
被加工材Wを切断加工したときの状態を示したものであ
る。この加工例は、被加工材Wの裏面の切断溝部33の
近傍にドロス(酸化生成物)35が多量に付着した状態
であり、典型的な不良切断である。
FIG. 2 shows a state where the workpiece W is cut by the laser processing apparatus 1 as described above. This processing example is a state where a large amount of dross (oxidation product) 35 adheres to the vicinity of the cutting groove 33 on the back surface of the workpiece W, which is a typical defective cutting.

【0017】上述の如き不良切断においては、溶融スパ
ッター37が切断加工部から効率よく飛散せず、ドロス
(酸化生成物)35として被加工材裏面の切断溝部33
の両側近傍に付着する。また、ドロス(酸化生成物)3
5が付着する様な不良切断時においては、良好切断時に
比較して、被加工材の裏面で発生する溶融スパッター3
7の量が変化するため、前記光センサーで検出した光量
は、図3のグラフに示す様に良好切断時のレベル(V
g)に対して高い場合と低い場合のケースが生じる。な
お、良好切断時の溶融スパッター37の量は、同一切断
条件の場合には常に一定であることが実験の結果判明し
ている。
In the above-described defective cutting, the molten spatter 37 does not efficiently scatter from the cut processing portion, and becomes a dross (oxidation product) 35 in the cutting groove 33 on the back surface of the workpiece.
Adheres on both sides near. In addition, dross (oxidation product) 3
In the case of defective cutting, such as the case where adhesion occurs, the melt spatter 3 generated on the back surface of the workpiece is smaller than that in the case of good cutting.
7, the light amount detected by the optical sensor changes to the level (V) at the time of good cutting as shown in the graph of FIG.
For g), there are cases of high and low cases. Experiments have shown that the amount of the molten spatter 37 during good cutting is always constant under the same cutting conditions.

【0018】したがって、切断加工時に加工部からの光
を光センサー19で検出し、この検出された光量のレベ
ルと、前記レーザー切断条件データベース31に登録さ
れている良好切断時における光量レベル範囲とを制御装
置15において比較して、検出した光量レベルが前記良
好切断時における光量レベル範囲外のときは制御装置1
5において不良切断と判断する。
Therefore, the light from the processed part is detected by the optical sensor 19 during the cutting process, and the detected light amount level and the light amount level range at the time of good cutting registered in the laser cutting condition database 31 are determined. When the detected light amount level is out of the light amount level range at the time of the good cutting as compared with the control device 15, the control device 1
In 5 it is determined that the cutting is defective.

【0019】前記制御装置15において不良切断と判断
した場合には、新たな切断条件として切断条件データベ
ース31に登録されている良好切断条件の中から一つを
選択し、その選択した切断条件に変更して切断加工を続
行する。もし、選択した切断条件で万一不良切断になっ
た場合には、次の良好切断条件を選択し切断加工を実行
する。
When the controller 15 determines that the cutting is defective, one of the good cutting conditions registered in the cutting condition database 31 is selected as a new cutting condition, and the selected cutting condition is changed. And continue cutting. If the selected cutting condition results in a defective cut, the next good cutting condition is selected and cutting is performed.

【0020】したがって、上述の如き方法によれば、切
断加工中に不良切断が検出されれば、切断条件データベ
ースから良好切断が得られる切断条件を選択して、この
新しい切断条件に変更して切断加工を実行するので不良
切断を防止することができる。また、光センサーが検出
した光量レベルが切断条件データベース31の中の良好
切断条件範囲の境界線にある場合も、切断条件を良好切
断条件に変更する様にすれば、ドロスの発生する不良切
断を未然に防止することも可能である。
Therefore, according to the above-described method, if a defective cut is detected during the cutting process, a cutting condition that provides good cutting is selected from the cutting condition database, and the cutting condition is changed to the new cutting condition. Since the processing is performed, defective cutting can be prevented. Further, even when the light amount level detected by the optical sensor is on the boundary line of the good cutting condition range in the cutting condition database 31, if the cutting condition is changed to the good cutting condition, the defective cutting in which dross occurs can be prevented. It is also possible to prevent it before it happens.

【0021】図4は、切断加工時に発生するスパッター
タが出す光の周波数帯を、良好切断時(ドロスフリー)
と不良切断時(ドロス付着)とで比較したものであり、
図4(a)の良好切断時の周波数帯の方が、図4(b)
の不良切断時の周波数帯よりも高い方に移動しているこ
とが判る。
FIG. 4 shows the frequency band of light emitted by a sputter generated at the time of cutting processing, when the cutting is good (dross-free).
And the time of defective cutting (dross adhesion).
The frequency band at the time of good disconnection in FIG.
It can be seen that it has moved to a higher frequency band than the frequency band at the time of defective cutting.

【0022】したがって、この周波数帯を前述の切断条
件データベース31に登録し、前述と同様にして不良切
断を判別することが可能であると共に不良切断を未然に
防止することが可能である。また、良好切断時(ドロス
フリー)と不良切断時(ドロス付着)における加工部か
らの光の振幅の相違を利用することも可能である。本発
明はレーザー加工だけに限定されるものではなく、ガス
溶断およびプラズマ切断などにも応用することが可能で
ある。
Therefore, this frequency band is registered in the above-mentioned cutting condition database 31, so that it is possible to determine the defective cutting in the same manner as described above and to prevent the defective cutting from occurring. It is also possible to use the difference in the amplitude of the light from the processed part at the time of good cutting (dross-free) and at the time of poor cutting (dross adhesion). The present invention is not limited to laser processing alone, but can be applied to gas fusing, plasma cutting, and the like.

【0023】[0023]

【発明の効果】請求項1または請求項2に記載の発明に
よれば、不良切断を加工中に検出すると同時に切断加工
条件を良好切断が得られる適切な切断加工条件に自動的
に変更することができる。したがって、切断加工の終了
後に製品を取り外してから、始めて切断不良を発見し、
作業者の経験によって習得した切断加工条件に変更して
再度切断加工を行い、再度切断状況を確認するという作
業の繰返しによって不良切断に対処するという従来の問
題が解決され作業効率が大きく向上した。
According to the first or second aspect of the present invention, it is possible to automatically change a cutting condition to an appropriate cutting condition for obtaining a good cut while detecting a defective cut during the process. Can be. Therefore, after the cutting process is completed, the product is removed, and then a cutting defect is discovered for the first time,
The conventional problem of coping with defective cutting by repetition of the operation of changing the cutting processing conditions learned based on the experience of the operator and performing cutting again and checking the cutting status again has been solved, and the working efficiency has been greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係わるレーザー加工装置の制御システ
ムの概略図。
FIG. 1 is a schematic diagram of a control system of a laser processing apparatus according to the present invention.

【図2】図1のレーザー加工装置による不良切断加工状
態を説明する図。
FIG. 2 is a view for explaining a defective cutting processing state by the laser processing apparatus of FIG. 1;

【図3】良好切断時と不良切断時における、切断加工部
において発生する光の光量変化を示したグラフ。
FIG. 3 is a graph showing a change in the amount of light generated at a cutting portion during good cutting and bad cutting.

【図4】切断加工時に発生するスパッタータが出す光の
周波数帯を、良好切断時(ドロスフリー)と不良切断時
(ドロス付着)とで比較した図。
FIG. 4 is a diagram comparing a frequency band of light emitted by a sputter generated at the time of cutting processing between a good cut (dross-free) and a bad cut (dross adhesion).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザー加工装置 3 レーザー発振器 5 レーザー加工ヘッド 7 ベンドミラー 9 集光レンズ 11 ノズル 13 加工テーブル 15 制御装置(CNC) 17 位置決め指令信号 19 光センサー 21 電源装置 23 出力指令信号 25 電気的信号出力 27 増幅器 29 A/D変換器 31 レーザー切断条件データベース 33 切断溝部 35 ドロス(酸化生成物) 37 溶融スパッター DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser processing apparatus 3 Laser oscillator 5 Laser processing head 7 Bend mirror 9 Condensing lens 11 Nozzle 13 Processing table 15 Control device (CNC) 17 Positioning command signal 19 Optical sensor 21 Power supply device 23 Output command signal 25 Electrical signal output 27 Amplifier 29 A / D converter 31 Laser cutting condition database 33 Cutting groove 35 Dross (oxidation product) 37 Melt spatter

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザー加工時に加工部から発生する光
を光センサーで検出し、該検出光の光量レベルと、レー
ザー加工装置を制御する制御装置に登録されている切断
条件データベースの良好切断時における光量レベル範囲
とを比較し、前記光センサーが検出した光量レベルが前
記良好切断時における光量レベル範囲外のときは不良切
断と判断し、前記切断条件データベースの中から良好切
断に適合する少なくとも一つの切断条件を選択し、該選
択した良好切断条件に変更して加工することを特徴とす
るレーザー加工方法。
1. An optical sensor detects light generated from a processing portion during laser processing, and detects a light amount level of the detected light and a cutting condition database registered in a control device for controlling the laser processing device. Comparing with a light amount level range, when the light amount level detected by the optical sensor is out of the light amount level range at the time of the good cutting, it is determined that the cutting is defective, and at least one of the cutting condition databases that is suitable for the good cutting. A laser processing method comprising selecting a cutting condition, changing the selected good cutting condition, and performing processing.
【請求項2】 レーザー発振器と被加工材に対して相対
的に位置決め自在のレーザー加工ヘッドを備えたレーザ
ー加工装置において、レーザー加工時に加工部から発生
する光の光量レベルを検出する光センサーと、該光セン
サーが検出した光量レベルと、前記レーザー加工装置を
制御する制御装置に登録されている切断条件データベー
の良好切断時における光量レベル範囲とを比較して切断
状態の良否を判断する判断手段と、該判断手段によって
不良切断と判断されたときには、前記切断条件データベ
ースの中から良好切断に適合する少なくとも一つの切断
条件を選択し、該選択した良好切断条件に変更する変更
手段とを有することを特徴とするレーザー加工装置。
2. A laser processing apparatus comprising a laser oscillator and a laser processing head capable of being positioned relatively to a workpiece, an optical sensor for detecting a light amount level of light generated from a processing portion during laser processing, Judging means for judging the quality of the cutting state by comparing the light amount level detected by the optical sensor with the light amount level range at the time of good cutting of the cutting condition database registered in the control device for controlling the laser processing apparatus. And changing means for selecting at least one cutting condition suitable for good cutting from the cutting condition database when the judgment is that the cutting is defective, and changing to the selected good cutting condition. Laser processing equipment characterized by the following.
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