JPH10239609A - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

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JPH10239609A
JPH10239609A JP9043249A JP4324997A JPH10239609A JP H10239609 A JPH10239609 A JP H10239609A JP 9043249 A JP9043249 A JP 9043249A JP 4324997 A JP4324997 A JP 4324997A JP H10239609 A JPH10239609 A JP H10239609A
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JP
Japan
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optical system
optical
light
scanning
light beam
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Application number
JP9043249A
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English (en)
Inventor
Koji Masuda
浩二 増田
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ハウジングへの組付けが容易で、偏向光束を被
走査面上に集光する第2光学系の大口径化をもたらすこ
とが無く、コンパクトな光走査装置を実現する。 【解決手段】光源部10からの光束を第1光学系11
a,11bによりカップリングして光偏向部に導き、光
偏向器による偏向光束を第2光学系130で被走査面1
4上に光スポットとして集光して光走査を行なう。書込
開始位置Aへと向かう偏向光束を第3光学系15を介し
て光検出器17により検出し、書込開始のための同期信
号を発生する。第1〜第3光学系が互いに機械的に干渉
せず、コンパクトに配置できる条件を定めた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は光走査装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】デジタルの複写装置や光プリンタに関連
して良く知られた光走査装置では、光走査開始位置へと
向かう偏向光束を光検出器で検出し、光走査による書込
開始位置を決定するための同期信号を発生させることが
行なわれている。光検出器による検出を行なうのに、偏
向光束をfθレンズの有効画角外の部分を介して光検出
器に導く方法が知られている(特開平3−221913
号公報)が、この方法では、光走査に必要な有効画角外
に、偏向光束を光検出器に導くための部分を必要とする
ため、fθレンズの画角を光書込みに必要な画角よりも
大きく取る必要があり、fθレンズの大口径化をもたら
してしまう。また光検出器は必然的にfθレンズの結像
面に位置することになるので、光検出器を配備するため
「他の光学系のレイアウト上の自由度」を制限すること
になり易い。
【0003】また、特開平5−19186号公報には、
fθレンズに相当する走査用レンズ部と、偏向光束を光
検出器に導くBD結像用レンズ部とを一体に構成した光
学系が開示されており、特開平7−281113号公報
には、光源側からの光束を光偏向器の偏向反射面位置に
線像に結像させるためのシリンダレンズと偏向光束を光
検出器に導くアナモフィックなレンズとを一体に構成し
た光学系が開示されている。このように2つのレンズを
一体として構成すると、一体化されたレンズは一般に形
状が複雑と成るため、これをプラスチックで成形加工す
る場合、金駒加工が複雑化し、それぞれのレンズを別体
に成形加工する場合よりもコスト高になりかねない。ま
た、一体化された2つのレンズが異なる結像性能を持つ
ため、2つのレンズを別個に取り付けるよりも取付けの
精度が厳しくなりがちであり、わずかな取付け誤差があ
っても、一方もしくは双方の結像性能が劣化してしまう
虞れがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、ハウジン
グへの組付けが容易で、偏向光束を被走査面上に集光す
る第2光学系の大口径化をもたらすことが無く、光学系
のコンパクトな配備が可能な光走査装置の実現を課題と
する。
【0005】この発明は、ハウジングへの組付けが容易
で、偏向光束を被走査面上に集光する第2光学系の大口
径化をもたらすことが無く、光学系のコンパクトな配備
が可能で、尚且つ、光学性能の良好な光走査装置の実現
を別の課題とする。
【0006】この発明はさらに、ハウジングへの組付け
が容易で、偏向光束を被走査面上に集光する第2光学系
の大口径化をもたらすことが無く、光学系のコンパクト
な配備が可能で、尚且つ、光学性能が良好で、光源に半
導体レーザを用いた場合の波長変動の影響を受けにくい
光走査装置の実現を他の課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の光走査装置
は、光源部と、第1〜第3光学系と、光偏向器および光
検出器を有する(請求項1,2)。「光源部」は光走査
用の光束を放射するもので、半導体レーザや発光ダイオ
ード等を光源とするものを好適に用いることができ、ま
たマルチビーム用に複数の発光部を持つものを用いるこ
ともできる。「第1光学系」は、光源部からの光束をカ
ップリングして光偏向部に導くための光学系であり、結
像素子として、カップリングレンズと、このカップリン
グレンズによりカップリングされた光束を、後述の走査
対応方向に長い線像として、光偏向部に結像させる線像
結像光学系を有する。カップリングレンズにより以下の
光学系にカップリングされる光束は、「平行光束」もし
くは「弱い集束性の光束」あるいは「弱い発散性の光
束」となる。
【0008】「光偏向器」は、光偏向部の近傍に偏向反
射面を有し、この偏向反射面により第1光学系からの光
束を反射させ、反射光束を偏向させる。従って、偏向光
束は上記光偏向部を「偏向の起点」として偏向する。
【0009】光偏向器により理想的に偏向された偏向光
束に直交する面を任意に想定し、この面上において、偏
向光束の変位する方向を「走査方向」とよび、光源部か
らの光偏向部に到る光路上で、走査方向に対応する方向
を「走査対応方向」とよび、上記面内で走査方向に直交
する方向を「走査直交方向」、上記光源部から光偏向部
に到る光路上で走査直交方向と対応する方向を「走査直
交対応方向」と呼ぶ。被走査面上では「走査方向が主走
査方向」で「走査直交方向が副走査方向」であることは
容易に理解されるであろう。光偏向器としては周知の
「ポリゴンミラーや回転2面鏡、回転単面鏡等」を用い
ることができる。
【0010】「第2光学系」は、光偏向器により偏向さ
れた光束を被走査面上に光スポットとして集光させる光
学系であり、2以上の結像素子を有し、その内の少なく
とも1つは、走査直交方向により強い正のパワーを持つ
結像素子である。第1光学系からの光束が走査対応方向
において平行光束であれば第2光学系は、所謂「fθレ
ンズ」として構成される。第1光学系からの光束が光偏
向部に走査対応方向に長い線像に結像するので、走査直
交方向に発散性である偏向光束を被走査面に光スポット
として集光するために、1以上の結像素子として「走査
直交方向により強い正のパワーを持つ結像素子」が用い
られる。「光検出器」は、光走査開始位置へと向かう偏
向光束を検出して出力を発し、この出力に基づき、光走
査開始位置、即ち、光走査による書込開始位置を決定す
るための同期信号が生成される。「第3光学系」は、光
走査開始位置へと向かう偏向光束を光検出器に導くため
の光学系であり、走査直交方向により強い正のパワーを
持つアナモフィックな単一の結像素子である。即ち、前
述の如く、偏向光束は、走査直交方向に発散性であるの
で、これを光検出器に良好に集光させるため、第3光学
系を「走査直交方向により強い正のパワーを持つアナモ
フィックな単一の結像素子」とするのである。第1、第
2および第3光学系は互いに別体で、第3光学系は、第
1光学系と第2光学系の間に配置される。即ち、光偏向
器により偏向された偏向光束は、上記光偏向部を偏向の
起点として、第1光学系の光軸から遠ざかる方向へ偏向
し、第2光学系への入射に先立って第3光学系に入射す
る。
【0011】請求項1記載の光走査装置は、このような
「基本的な光学系構成」において以下の如き特徴を有す
る。即ち、第1光学系光軸と第3光学系光軸とがなす角
をθ13、第3光学系光軸と「書込開始位置に集光するべ
く第2光学系へ向かう偏向光束の主光線」とのなす角を
θ32とする。また、第1光学系を構成する結像素子のう
ちで最も光偏向部側の結像素子に就いて、その走査対応
方向における「光軸から第3光学系側」の素子幅を
13、光偏向器側の面から光偏向部までの距離をL11
する。さらに、第3光学系を構成する結像素子(走査直
交方向により強い正のパワーを持つアナモフィックな単
一の結像素子)の、走査対応方向における「光軸から第
1光学系側」の素子幅をS31、「上記光軸から第2光学
系側」の素子幅をS32、光偏向器側の面から光偏向部ま
での距離をL31とする。
【0012】このとき、上記角:θ13,θ32、距離:L
11,L31、素子幅:S13,S32は、条件: (1) θ13>max{S13/L11,S31/L31} (2) θ32>S32/L31 を満足する。条件(1)において、max{S13
11,S31/L31}は、S13/L11とS31/L31のうち
で大なる方を意味する。条件(1)は、第1光学系と第
3光学系とが干渉しないための条件であり、条件(2)
は、第2光学系と第3光学系が干渉しないための条件で
ある。
【0013】請求項2記載の光走査装置は、上記基本的
な光学系構成において、以下の如き特徴を有する。即
ち、光偏向部から第2光学系の最も光偏向器側の面に到
る(第2光学系の)光軸上の距離をL21、光偏向部から
(第2光学系光軸に沿うて)被走査面に到る距離をL22
とし、光偏向部から第3光学系の光偏向部側の面に到る
光軸上の距離をL31、光偏向部から(第3光学系光軸に
沿うて)光検出器の受光面に到る距離をL32とすると
き、これらは条件: (3)√2・L21<L31<L22 (4)√2・L21<L32<L22 を満足する。これら条件(3),(4)は安定な同期信
号を得るのに適正な位置に第3光学系と光検出器を配備
するための条件である。
【0014】請求項3記載の光走査装置は、上記基本的
な光学系構成において、上記の条件(1),(2),
(3),(4)が満足されることを特徴とする。
【0015】請求項4記載の光走査装置は、上記請求項
1または2または3記載の光走査装置において、光源部
から第1光学系を介して光偏向部に到る距離をL12、光
偏向部から第3光学系を介して光検出器の受光面に到る
距離をL32とするとき、これらが条件: (5) 4/5<L32/L12<6/5 を満足することを特徴とする。
【0016】条件(5)を満足すると、光源部と光検出
器とを互いに近接させることができるので、「光源部
と、光源部を駆動する光源用駆動回路と、光検出器と、
光検出器を制御する検出器用駆動回路とを、同一基板に
配置する(請求項5)」ことが可能になる。
【0017】請求項1〜5に記載した光走査装置では、
第2光学系は2以上の結像素子を有し、その内の少なく
とも1つは走査直交方向により強い正のパワーを持つ結
像素子であるが、このような第2光学系を「2つのレン
ズ」で構成することもできるし(請求項6)、2以上の
結像素子のうち少なくとも一つを、結像機能を持つミラ
ー即ち「結像ミラー」とすることができる(請求項
7)。
【0018】なお、請求項7の光走査装置のように「結
像ミラー」を用いる場合、前記光偏向部から第2光学系
の最も光偏向器側の面に到る光軸上の距離:L21、光偏
向部から被走査面に到る距離:L22は、「結像ミラーと
他の光学系の配置を走査直交方向から見た射影状態にお
ける上記光偏向部から第2光学系の最も光偏向器側の面
に到る距離」および「光偏向部から被走査面に到る距
離」を意味するものとする。
【0019】
【発明の実施の形態】図1において、「半導体レーザ」
を光源として用いる光源部10から放射された発散性の
光束は、カップリングレンズ11aにより平行光束また
は弱い集束性もしくは弱い発散性の光束に変換されて以
後の光学系にカップリングされ、シリンダレンズ11b
により走査直交対応方向にのみ集束傾向を与えられ「ポ
リゴンミラー」である光偏向器12の偏向反射面12a
の近傍の「光偏向部」に「走査対応方向に長い線像」と
して結像する。カップリングレンズ11aとシリンダレ
ンズ11bは「第1光学系」を構成するが、第1光学系
はこの形態に限らず「他のレンズ構成」とすることも可
能である。
【0020】偏向反射面12aにより反射された光束
は、光偏向器12の矢印方向への等速回転に伴い等角速
度的に時計回りに偏向する偏向光束となる。偏向光束
は、第2光学系130により被走査面14上に光スポッ
トとして集光し、被走査面14を光走査する。第2光学
系130は「光スポットの走査速度を等速化する機能」
を有する。
【0021】上記線像は偏向反射面12aの近傍の光偏
向部に結像し、第2光学系130は走査直交方向に関し
て上記線像を物点として光スポットを被走査面上に結像
させるから、図1の光走査装置は偏向反射面12aの
「面倒れ」を補正する機能を有している。
【0022】第2光学系130は、2枚のレンズ13
A,13Bで構成されている(請求項6)。第2光学系
130を構成する2枚のレンズ13A,13Bのうち、
レンズ13Bは「走査直交方向により強い正のパワーを
持つ結像素子」であるトロイダルレンズである。このよ
うに、第2光学系を2枚のレンズにより構成すると、第
2光学系を「単玉構成」とする場合よりも、第2光学系
に必要な等速特性や像面湾曲の良好な補正が容易で、良
好な光走査が容易に可能になる。第2光学系130を構
成するレンズ13A,13Bは何れも「プラスチックに
より成形されたレンズ」とすることも可能である。
【0023】偏向光束は、第2光学系130により被走
査面14を光走査するのに先立ち、第3光学系15を介
して光検出器17に入射する。「受光素子」である光検
出器17はこのようにして偏向光束を受光すると検出出
力を発し、この検出出力に基き「光走査開始位置」即
ち、光走査による「書込開始位置」を決定するための同
期信号が生成される。この同期信号に基づき、偏向光束
による光走査が被走査面14における書込開始位置Aか
ら開始される。図1の実施の形態では、第2光学系13
0、第3光学系15は共に、プラスチックにより成形さ
れたレンズである。
【0024】書込開始位置Aを一定に保つためには、上
記同期信号が安定していなければならない。このため第
3光学系は、書込開始位置Aへ向かう偏向光束を、ある
程度小さいスポット径を持つ光スポットとして光検出器
の受光面に形成しなければならない。安定した同期信号
を生成するには、光検出器の出力が時間的に急峻である
ほど良いが、光検出器17の受光面上に形成される光ス
ポットの径が大きくなると、光検出器17の出力の時間
的な急峻性が悪くなり、同期信号が不安定になるからで
ある。
【0025】このため光検出器17の受光面は、第3光
学系15による「偏向光束の結像位置近傍」に位置され
ることになる。必要に応じて、上記受光面と第3光学系
15との間にナイフエッジやスリットを設けて受光面に
入射する偏向光束を制限することにより、光検出器の出
力の「時間的な急峻性」を高めても良く、これらスリッ
トやナイフエッジを光走査装置のハウジングに一体に設
けることもできる。
【0026】偏向光束は、走査方向には平行光束または
弱い集束性もしくは弱い発散性の光束であるが、「走査
直交方向には発散性」であるから、光検出器の受光面に
適当なスポット径を持つ光スポットとして偏向光束を結
像させるために、第3光学系は「走査直交方向により強
い正のパワーを持つアナモフィックなレンズ」である必
要がある。
【0027】図1に示すように、第1光学系11a,1
1bの光軸と第3光学系15の光軸とがなす角をθ13
第3光学系15の光軸と、書込開始位置Aに集光するべ
く第2光学系13へ向かう偏向光束の主光線のなす角を
θ32、第1光学系を構成する結像素子のうちで最も光偏
向部側の結像素子11bに就いて、その走査対応方向に
おける「光軸から第3光学系側」の素子幅をS13、光偏
向器側の面から光偏向部までの距離をL11、第3光学系
15に就いて「光軸から第1光学系側」の素子幅を
31、光軸から第2光学系側の素子幅をS32、光偏向器
側の面から光偏向部までの距離をL31とする。これらは
前述の条件(1),(2)を満足する。
【0028】条件(1)が満足されないと、シリンダレ
ンズ11bが第3光学系15の光軸を遮ったり、第3光
学系15が第1光学系の光軸を遮ったりする。条件
(2)が満足されないと、第2光学系130のレンズ1
3Aと第3光学系15が互いに干渉しあい、第3光学系
15への入射偏向光束が第2光学系130のレンズ13
Aによりケラれたり、書込開始位置Aへ向かう偏向光束
が第3光学系15にケラれたりする。
【0029】なお、第3光学系は「単一の結像素子」で
あり、図1の実施の形態においては、アナモフィックな
単レンズであるが、レイアウトに応じて、アナモフィッ
クな単一のミラー(凹面鏡)としてもよい。第3光学系
を単一の結像素子とすることによりコスト的なメリット
が得られる。
【0030】図2において、図1におけると同一の符号
は、図1におけると同じものを示している。この実施の
形態では、第2光学系130’は、結像ミラー13aと
長尺トロイダルレンズ13bで構成されている(請求項
7)。このように、第2光学系内に、色収差の影響を受
けない結像ミラー13aを用いると、光源に用いられる
半導体レーザの波長変動の光走査への影響を有効に軽減
することができる。
【0031】図2に示す、光偏向部から第2光学系13
0’の結像ミラー13aに到る(光スポットの像高が0
のときの)距離:L21、光偏向部から被走査面に到る
(上記像高0のときの、図2の面への射影の)距離:L
22(図示されず)、光偏向部から第3光学系15の光偏
向部側の面に至る光軸上の距離:L31、光偏向部から光
検出器17の受光面に到る(第3光学系15の光軸に沿
った)距離:L32は条件(3),(4)を満足する(請
求項2)。
【0032】光走査装置では一般に、第2光学系に入射
する偏向光束の偏向角は大略±90度程度が限度であ
る。従って、√2・L21は、第2光学系の「書込開始側
の実質的な端部」と光偏向部との間の距離を示す。条件
(3),(4)の下限を越えることは、第3光学系と光
検出器とを共に、光偏向部と第2光学系(図2の形態で
は結像ミラー130’)との間に配備することを意味
し、第3光学系・光偏向器により結像ミラー130’の
結像光束がケラれないような配備を行おうとするとレイ
アウトの自由度が著しく制限されることになる。
【0033】条件(3),(4)の上限を越えること
は、第3光学系および光検出器を共に、被走査面より遠
方に配備することを意味し、これは光走査光学系を配備
するハウジングの大型化を招来し、結果的に光走査装置
の大型化につながる。
【0034】また、光検出器17を偏向光束が走査する
とき、走査位置が走査直交方向に変動して「偏向光束の
走査直交方向の一部が受光面に入射しない」ようなこと
があると、光検出器の信号が適正なものにならず同期信
号に誤差が発生し、ジターの原因になる。これを避ける
ためには、第3光学系15の横倍率を小さくするのがよ
く、このためには第3光学系15を光検出器側に近付け
ることが望ましい。
【0035】また、安定した同期信号を生成するには、
光検出器の出力が時間的に急峻であるほど良いから、第
3光学系15の走査方向の焦点距離を大きくし、光検出
器17の受光面に集光する光スポットの走査速度が大き
くなるようにするのがよく、この目的のためには、第3
光学系15をなるべく光偏向器12側に近付けるのが望
ましい。上記条件(3),(4)を満足することで、第
3光学系15、光検出器17の好ましい配設が可能であ
る。
【0036】勿論、図2の実施の形態においても、前述
の条件(1),(2)は満足されており、図1の実施の
形態においても、条件(3),(4)は満足されている
(請求項3)。
【0037】図2に示すように、光源部10から第1光
学系11a,11bを介して光偏向部に到る距離をL12
とするとき、これと前述の距離:L32は前述の条件
(5)を満足する(請求項4)。条件(5)が満足され
ると、図2に示すように、光偏向器12による偏向の起
点である光偏向部から、光源部10、光検出器17に到
る距離が互いに近くなるので、光源部10と光検出器1
7とを同一の基板18に配備することができる。条件
(5)の範囲外では、光源部10と光検出器17とを同
一基板に配備することは難しく、各々を配備した別基板
を接続するための「ハーネス等」が必要になる。
【0038】図3に示すように、基板18には光源部1
0と光検出器17のほかに、光源部10を駆動する光源
用駆動回路19と光検出器17を制御する検出器用駆動
回路20とが設けられている(請求項5)。
【0039】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば新規な光走査装置を実現できる。この発明の光走査装
置では、同期信号発生のために偏向光束を光検出器に導
く第3光学系を、偏向光束を被走査面上に集光させる第
2光学系と別体としたので、第2光学系を介して偏向光
束を光検出器に導く場合に比して、第2光学系の口径を
小さくでき、第1〜第3光学系の個々を別個にハウジン
グに取付けるので、各光学系の取付け態位を独立に精度
良く容易に調整できる(請求項1〜7)。
【0040】また、請求項1記載の発明では条件
(1),(2)が満足されることにより、第1〜第3光
学系を、互いに干渉しあわない程度に近接させて光走査
装置のコンパクト化が可能であり、請求項2記載の発明
では条件(3),(4)が満足されることにより、第3
光学系および光検出器を適切な位置に配備でき、同期信
号の信頼性を高めることができる。請求項3記載の発明
では条件(1)〜(4)が満足されることにより、光走
査装置をコンパクトにでき、且つ、同期信号の信頼性を
高めることができる。
【0041】請求項5の発明によれば、光走査装置の電
気的系統を同一基板に組み就けることにより光走査装置
をコンパクト化できる。また、請求項6,7記載の発明
によれば、第2光学系の設計が容易になり、性能の良い
第2光学系を用いることにより、良好な光走査を実現で
きる。また請求項7記載の発明によれば、第2光学系に
結像ミラーを用いることにより、光源部における波長変
動の影響を有効に軽減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1,2,3記載の発明の光走査装置の実
施の1形態を説明するための図である。
【図2】請求項5,7記載の発明の実施の形態の特徴部
分を説明するための図である。
【図3】請求項5記載の発明の実施の形態の特徴部分を
説明するための図である。
【符号の説明】
10 光源部 11a,11b 第1光学系 12 光偏向器 12a 偏向反射面 130 第2光学系 14 被走査面 A 光走査開始位置 15 第3光学系 17 光検出器

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源部と、この光源部からの光束をカップ
    リングして光偏向部へ導く第1光学系と、上記光偏向部
    の近傍に偏向反射面を有し、第1光学系からの光束を偏
    向させる光偏向器と、偏向された光束を被走査面上に光
    スポットとして集光させる第2光学系と、光走査開始位
    置へと向かう偏向光束を検出し、書込開始位置を決定す
    るための同期信号を発生するための光検出器と、上記光
    走査開始位置へと向かう偏向光束を上記光検出器に導く
    第3光学系とを有し、 上記第1、第2および第3光学系は互いに別体であっ
    て、第3光学系が第1光学系と第2光学系の間に配置さ
    れ、 第1光学系は結像素子として、カップリングレンズと、
    このカップリングレンズによりカップリングされた光束
    を走査対応方向に長い線像として、光偏向部に結像させ
    る線像結像光学系を有し、 第2光学系は、2以上の結像素子を有し、その内の少な
    くとも1つは、走査直交方向により強い正のパワーを持
    つ結像素子であり、 第3光学系は、走査直交方向により強い正のパワーを持
    つアナモフィックな単一の結像素子であり、 第1光学系光軸と第3光学系光軸とがなす角をθ13、 第3光学系光軸と、書込開始位置に集光するべく第2光
    学系へ向かう偏向光束の主光線のなす角をθ32、 第1光学系を構成する結像素子のうちで最も光偏向部側
    の結像素子に就いて、その走査対応方向における、光軸
    から第3光学系側の素子幅をS13、光偏向器側の面から
    光偏向部までの距離をL11とし、 第3光学系を構成する結像素子に就いて、その走査方向
    における、光軸から第1光学系側の素子幅をS31、上記
    光軸から第2光学系側の素子幅をS32、光偏向器側の面
    から光偏向部までの距離をL31とするとき、 これらが条件: (1) θ13>max{S13/L11,S31/L31} (2) θ32>S32/L31 を満足することを特徴とする光走査装置。
  2. 【請求項2】光源部と、この光源部からの光束をカップ
    リングして光偏向部へ導く第1光学系と、上記光偏向部
    の近傍に偏向反射面を有し、第1光学系からの光束を偏
    向させる光偏向器と、偏向された光束を被走査面上に光
    スポットとして集光させる第2光学系と、光走査開始位
    置へと向かう偏向光束を検出し、書込開始位置を決定す
    るための同期信号を発生するための光検出器と、上記光
    走査開始位置へと向かう偏向光束を上記光検出器に導く
    第3光学系とを有し、 上記第1、第2および第3光学系は互いに別体であっ
    て、第3光学系が第1光学系と第2光学系の間に配置さ
    れ、 第1光学系は結像素子として、カップリングレンズと、
    このカップリングレンズによりカップリングされた光束
    を走査対応方向に長い線像として、光偏向部に結像させ
    る線像結像光学系を有し、 第2光学系は、2以上の結像素子を有し、その内の少な
    くとも1つは、走査直交方向により強い正のパワーを持
    つ結像素子であり、 第3光学系は、走査直交方向により強い正のパワーを持
    つアナモフィックな単一の結像素子であり、 光偏向部から第2光学系の最も光偏向器側の面に到る光
    軸上の距離をL21、上記光偏向部から被走査面に到る距
    離をL22、 上記光偏向部から第3光学系の光偏向部側面に到る光軸
    上の距離をL31、上記光偏向部から光検出器の受光面に
    到る距離をL32とするとき、これらが、条件: (3)√2・L21<L31<L22 (4)√2・L21<L32<L22 を満足することを特徴とする光走査装置。
  3. 【請求項3】請求項1記載の光走査装置において、 光偏向部から第2光学系の最も光偏向器側の面に到る光
    軸上の距離をL21、上記光偏向部から被走査面に到る距
    離をL22、 上記光偏向部から第3光学系の光偏向部側面に到る光軸
    上の距離をL31、上記光偏向部から光検出器の受光面に
    到る距離をL32とするとき、これらが、条件: (3)√2・L21<L31<L22 (4)√2・L21<L32<L22 を満足することを特徴とする光走査装置。
  4. 【請求項4】請求項1または2または3記載の光走査装
    置において、 光源部から第1光学系を介して光偏向部に到る距離をL
    12、光偏向部から第3光学系を介して光検出器の受光面
    に到る距離をL32とするとき、これらが条件: (5) 4/5<L32/L12<6/5 を満足することを特徴とする光走査装置。
  5. 【請求項5】請求項4記載の光走査装置において、 光源部と、この光源部を駆動する光源用駆動回路と、光
    検出器と、この光検出器を制御する検出器用駆動回路と
    が、同一基板に配置されていることを特徴とする光走査
    装置。
  6. 【請求項6】請求項1〜5の任意の1に記載の光走査装
    置において、 第2光学系が2つのレンズで構成されていることを特徴
    とする光走査装置。
  7. 【請求項7】請求項1〜5の任意の1に記載の光走査装
    置において、 第2光学系が、少なくとも1枚の結像ミラーを有するこ
    とを特徴とする光走査装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000131634A (ja) * 1998-10-27 2000-05-12 Ricoh Co Ltd 光走査装置
EP1585309A1 (en) * 2004-03-15 2005-10-12 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Apparatus and method for start of scan detection
JPWO2018061633A1 (ja) * 2016-09-29 2019-07-11 株式会社ニコン ビーム走査装置およびパターン描画装置

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