JPH10231365A - Purification of polysilanes - Google Patents

Purification of polysilanes

Info

Publication number
JPH10231365A
JPH10231365A JP9364153A JP36415397A JPH10231365A JP H10231365 A JPH10231365 A JP H10231365A JP 9364153 A JP9364153 A JP 9364153A JP 36415397 A JP36415397 A JP 36415397A JP H10231365 A JPH10231365 A JP H10231365A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polysilane
polysilanes
solvent
solution
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9364153A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Mori
滋 森
Eiichi Tabei
栄一 田部井
Kazumi Noda
和美 野田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP9364153A priority Critical patent/JPH10231365A/en
Publication of JPH10231365A publication Critical patent/JPH10231365A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Silicon Polymers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently purify polysilanes by certainly removing components insoluble to organic solvent, through dissolving the polysilanes in an organic solvent as good solvent followed by addition as a poor solvent, and then conducting a filtration treatment. SOLUTION: Components, which are insoluble in organic solvent, and microgel both of which exist in component A as impurities are coagulated, and the coagulum thus formed is filtered off, by dissolving (A) polysilanes in (B) an organic solvent as good solvent followed by adding (C) a poor solvent for the component A to the system to effect deposition of trace amounts of high- molecular-weight polysilanes. The component A is obtained b reacting at least one kind of polyvalent halosilanes of formulas I-III [R<1> and R<2> are each (non) substituted monovalent hydrocarbon group; R<3> -R<6> are each H, OH, a halogen, or the like; Q is a (non)substituted divalent hydrocarbon group or the like; 1<=(a)<=2, 0<=(b)<=1, 1<=(a+b)<=2; 0<=(c)<=2, 0<=(d)<=1, 0<=(c+d)<=2; 0<=(p)<=1, 0<=(q)<=1, 0<=(p+q)<=2], with an alkali metal.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ポリシラン類中に
存在する有機溶剤に不溶性の成分及びミクロゲルを満足
に除去してポリシラン類を効率良く精製することができ
るポリシラン類の精製方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for purifying polysilanes capable of efficiently purifying polysilanes by satisfactorily removing components and microgels insoluble in organic solvents present in the polysilanes.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ポリシ
ラン類の最も一般的な合成法は、アルカリ金属等による
多価ハロシラン類の縮重合反応を利用した方法である
が、この反応によって生成する重合物は、不純物として
有機溶剤に不溶性の成分やミクロゲルを含む場合があ
る。特に原料として三官能以上のハロシラン類を用いた
場合は、多量の不溶物を生成する。更に、得られたポリ
シラン類は、長期の保存中に不溶化物が更に生成してく
る場合もある。
2. Description of the Related Art The most common method for synthesizing polysilanes is a method utilizing a polycondensation reaction of polyvalent halosilanes with an alkali metal or the like. The substance may include a component insoluble in an organic solvent or a microgel as an impurity. In particular, when a trifunctional or higher-functional halosilane is used as a raw material, a large amount of insolubles is generated. Furthermore, the obtained polysilanes may further generate insolubilized substances during long-term storage.

【0003】また、ポリシラン類の製造工程において
は、副生成物のアルカリハライドを除去するため、水洗
を行う必要があるが、上記のような不溶成分が存在する
と水層の分離が困難になり、収率の低下や製造効率低下
の原因となっている。
[0003] In the production process of polysilanes, it is necessary to wash with water in order to remove alkali halide as a by-product. However, the presence of the insoluble components as described above makes it difficult to separate the aqueous layer. This causes a reduction in yield and a reduction in production efficiency.

【0004】一方、ポリシラン類をフォトレジスト、感
光体、有機素子等に応用する場合、ポリマー溶液から均
一で平滑な膜を形成することが望まれている。このた
め、収率及び製造効率や膜形成性の向上という点から、
反応生成物中に存在する不溶成分やミクロゲルを除去す
る必要がある。
On the other hand, when polysilanes are applied to photoresists, photoreceptors, organic elements, etc., it is desired to form a uniform and smooth film from a polymer solution. For this reason, from the viewpoint of improving the yield, production efficiency and film formability,
It is necessary to remove insoluble components and microgels present in the reaction product.

【0005】これまで上記不溶成分を除去する方法とし
ては、ポリシラン類を良溶媒性の有機溶剤に溶解し、得
られた溶液に対して遠心分離や濾紙等を用いて濾過する
方法が採用されていた。
Hitherto, as a method for removing the insoluble components, a method has been adopted in which polysilanes are dissolved in a good solvent organic solvent, and the obtained solution is subjected to centrifugation or filtration using a filter paper or the like. Was.

【0006】しかし、遠心分離法は不溶物の完全除去が
困難であるため、平滑なフィルムを得ることは難しく、
フォトレジスト等への応用には適していない。また、濾
紙や濾過板を用いた濾過法に関しては、粒子の大きな不
溶物は除去することが可能であるが、微小な不溶物(ミ
クロゲル)を除去することはできず、ポリマー溶液は微
濁した状態となる。更に、濾過助剤等を併用することも
考えられるが、この方法によってもミクロゲルを除去す
ることは不可能である。このため、このような微濁の溶
液から作成されたポリシラン類の膜は、透明度が低く、
表面平滑度に劣るなどいくつかの問題点を有する。
[0006] However, it is difficult to completely remove insoluble matter by the centrifugal separation method, so that it is difficult to obtain a smooth film.
It is not suitable for application to photoresists and the like. In addition, with respect to a filtration method using a filter paper or a filter plate, large insolubles of particles can be removed, but fine insolubles (microgel) cannot be removed, and the polymer solution becomes slightly turbid. State. Furthermore, it is conceivable to use a filter aid or the like in combination, but it is impossible to remove the microgel by this method. For this reason, films of polysilanes made from such turbid solutions have low transparency,
It has several problems such as poor surface smoothness.

【0007】また、メンブランフィルターを用いた場合
は、不溶成分やミクロゲルが溶剤により膨潤し、目詰ま
りを起こすため濾過分離が非常に困難であるか、あるい
は実質上不可能となる。この場合、濾過助剤等を併用す
ることにより改善は見られるが、それでも非常に長い濾
過時間を必要とするため実用的な方法とは言い難い。
When a membrane filter is used, insoluble components and microgels are swollen by a solvent and cause clogging, so that filtration and separation are extremely difficult or practically impossible. In this case, improvement can be seen by using a filter aid in combination, but it is still not a practical method because a very long filtration time is required.

【0008】従って、上記問題点がなく、より効率良い
ポリシラン類の精製方法の開発が望まれる。
Therefore, it is desired to develop a more efficient method for purifying polysilanes without the above-mentioned problems.

【0009】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、ポリシラン類中に存在する有機溶剤に不溶性の成分
及びミクロゲルを確実に除去し得てポリシラン類を効率
良く精製することができるポリシラン類の精製方法を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a polysilane which can surely remove components and microgels insoluble in an organic solvent present in the polysilane and can purify the polysilane efficiently. It is intended to provide a purification method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結
果、不溶物(有機溶剤に不溶性の成分、ミクロゲル)を
含有するポリシラン類を良溶媒性の有機溶剤に溶解し、
得られたポリシラン類溶液に該ポリシラン類に対し貧溶
媒性の溶剤を添加し、微量の高分子量ポリシランを析出
させることで系中に存在する不溶成分及びミクロゲルを
凝集させた後、濾過処理して前記凝集物を分離、除去す
ることにより、ポリシラン類中に存在する不溶成分及び
ミクロゲルを確実に除去し得、ポリシラン類を効率良く
精製することができることを知見し、本発明をなすに至
った。
Means for Solving the Problems and Embodiments of the Invention As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that polysilanes containing insolubles (components insoluble in organic solvents, microgels) are obtained. Dissolves in good solvent organic solvent,
To the obtained polysilanes solution, a solvent having poor solvent for the polysilanes is added, and a small amount of a high molecular weight polysilane is precipitated to aggregate insoluble components and microgels present in the system, and then subjected to a filtration treatment. The inventors have found that by separating and removing the aggregates, insoluble components and microgels present in the polysilanes can be surely removed and the polysilanes can be efficiently purified, and the present invention has been accomplished.

【0011】本発明のポリシラン類の精製方法によれ
ば、ポリシラン類中に存在する不溶成分及びミクロゲル
を凝集物として析出させることで濾紙濾過等の簡単な濾
過を行うことにより短時間に濾別することができ、不溶
成分及びミクロゲルが完全に除去された高純度のポリシ
ランポリマー溶液を容易に得ることができるものであ
る。また、本発明の精製方法は、長期保存中に生成した
不溶物の除去にも有効である。
According to the method for purifying polysilanes of the present invention, the insoluble components and microgels present in the polysilanes are precipitated as agglomerates, so that a simple filtration such as filtration with a filter paper is performed, whereby the polysilanes are separated in a short time. Thus, a high-purity polysilane polymer solution from which insoluble components and microgels are completely removed can be easily obtained. Further, the purification method of the present invention is also effective for removing insolubles generated during long-term storage.

【0012】更に、アルカリ金属と多価ハロシラン類と
を反応させるポリシラン製造法において、副生するアル
カリハライドを水洗除去する工程に先立って上記精製工
程を実施した場合、不溶成分及びミクロゲルが完全に除
去されることで前記水洗工程が非常に容易になり、工程
時間の短縮、収率向上に寄与し得るものである。
Furthermore, in the polysilane production method in which an alkali metal is reacted with a polyvalent halosilane, when the above-mentioned purification step is carried out prior to the step of washing and removing by-product alkali halide, insoluble components and microgels are completely removed. By doing so, the water washing step becomes very easy, which can contribute to shortening of the process time and improvement of the yield.

【0013】このような本発明の精製方法により得られ
るポリシラン類は、不溶成分及びミクロゲルを含まない
ため、透明度の高い膜を作成することが可能で、表面平
滑性に優れた膜を与えるものであり、種々の用途へ応用
が可能である。
Since the polysilanes obtained by the purification method of the present invention do not contain insoluble components and microgels, a film having high transparency can be prepared and a film having excellent surface smoothness can be obtained. Yes, it can be applied to various uses.

【0014】従って、本発明は、ポリシラン類を良溶媒
性の有機溶剤に溶解し、得られたポリシラン類溶液に該
ポリシラン類に対し貧溶媒性の溶剤を添加し、微量の高
分子量ポリシランを析出させることによりポリシラン類
中に不純物として存在する不溶成分及びミクロゲルを凝
集させた後、濾過処理して前記凝集物を分離、除去する
ことを特徴とするポリシラン類の精製方法、及びアルカ
リ金属と多価ハロシラン類とを反応させるポリシラン製
造法において副生するアルカリハライドを水洗除去する
工程に先立って上記精製方法を実施するポリシラン類の
精製方法を提供する。
Accordingly, the present invention provides a method for dissolving polysilanes in a good solvent organic solvent, adding a poor solvent to the polysilanes solution to the obtained polysilanes solution, and depositing a trace amount of high molecular weight polysilanes. And then agglomerating the insoluble components and microgels present as impurities in the polysilanes, separating the aggregates by filtration, and removing the aggregates. Provided is a method for purifying polysilanes, wherein the above purification method is carried out prior to a step of washing and removing alkali halide by-produced in a method for producing polysilane in which halosilane is reacted.

【0015】以下、本発明につき更に詳細に説明する
と、本発明のポリシラン類の精製方法において、使用す
るポリシラン類は、特に限定されないが、通常、ポリシ
ラン類の最も一般的な合成法であるアルカリ金属と多価
ハロシラン類との反応により得られたものなどが使用さ
れる。
Now, the present invention will be described in further detail. The polysilanes used in the method for purifying polysilanes of the present invention are not particularly limited. And those obtained by the reaction of polyhydric halosilanes.

【0016】この場合、多価ハロシラン類としては、下
記一般式(1),(2)及び(3)で示される化合物の
1種又は2種以上が用いられる。
In this case, one or more of the compounds represented by the following general formulas (1), (2) and (3) are used as the polyvalent halosilanes.

【0017】[0017]

【化2】 Embedded image

【0018】上記式(1)において、R1,R2はそれぞ
れ置換もしくは非置換の好ましくは炭素数1〜12、特
に1〜6のアルキル基、アリール基又はアラルキル基で
あり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル
基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、フェニル基、トリ
ル基、ナフチル基、ベンジル基などや、これらの非置換
炭化水素基の水素原子の一部又は全部を、アルコキシ
基、アミノ基、アルキルアミノ基、トリアルキルシリル
基などの置換基で置換したものが挙げられる。
In the above formula (1), each of R 1 and R 2 is a substituted or unsubstituted alkyl group, aryl group or aralkyl group having preferably 1 to 12 carbon atoms, particularly 1 to 6 carbon atoms. Ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group, cyclohexyl group, phenyl group, tolyl group, naphthyl group, benzyl group and the like, and part or all of hydrogen atoms of these unsubstituted hydrocarbon groups, alkoxy group, amino And those substituted with a substituent such as an alkylamino group or a trialkylsilyl group.

【0019】R3,R4,R5,R6はそれぞれ水素原子、
水酸基、塩素やフッ素等のハロゲン原子、アルコキシ
基、アミノ基、置換もしくは非置換の一価炭化水素基で
あり、アルコキシ基としてはメトキシ基、エトキシ基、
プロポキシ基、ブトキシ基、フェノキシ基等の炭素数1
〜6のものが挙げられる。また、置換もしくは非置換の
一価炭化水素基としては炭素数1〜12、特に1〜6の
上記R1,R2で説明したアルキル基、アリール基、アラ
ルキル基と同様のものが挙げられる。
R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each a hydrogen atom,
Hydroxyl group, a halogen atom such as chlorine or fluorine, an alkoxy group, an amino group, a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group, and as the alkoxy group, a methoxy group, an ethoxy group,
1 carbon atoms such as propoxy, butoxy, phenoxy, etc.
To 6 are mentioned. Examples of the substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group include the same as the alkyl group, aryl group and aralkyl group having 1 to 12 carbon atoms, particularly 1 to 6 as described for R 1 and R 2 above.

【0020】Qは、置換もしくは非置換の二価炭化水素
基、又は下記の基である。
Q is a substituted or unsubstituted divalent hydrocarbon group, or the following groups.

【0021】[0021]

【化3】 Embedded image

【0022】二価炭化水素基としては、好ましくは炭素
数1〜12、特に1〜6のアルキレン基、アリーレン
基、アルキレン基とアリーレン基とが結合した基が挙げ
られ、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、
ブチレン基、ヘキシレン基、シクロヘキシレン基、フェ
ニレン基、トリレン基、ナフチレン基や、下記の基を挙
げることができる。
The divalent hydrocarbon group is preferably an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms, especially 1 to 6 carbon atoms, an arylene group, or a group in which an alkylene group and an arylene group are bonded. , Propylene group,
Examples thereof include a butylene group, a hexylene group, a cyclohexylene group, a phenylene group, a tolylene group, a naphthylene group, and the following groups.

【0023】[0023]

【化4】 Embedded image

【0024】また、上記非置換の二価炭化水素基の水素
原子の一部又は全部をアルコキシ基、アミノ基、アルキ
ルアミノ基、トリアルキルシリル基などの置換基で置換
した置換二価炭化水素基であってもよい。
A substituted divalent hydrocarbon group in which part or all of the hydrogen atoms of the unsubstituted divalent hydrocarbon group is substituted with a substituent such as an alkoxy group, an amino group, an alkylamino group or a trialkylsilyl group. It may be.

【0025】Zは、S,O又はN−R7で示される基で
あり、R7は置換もしくは非置換の炭素数1〜12、特
に1〜6のアルキル基であり、上記と同様のものを例示
し得る。
Z is a group represented by S, O or NR 7 , wherein R 7 is a substituted or unsubstituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, particularly 1 to 6 carbon atoms, Can be exemplified.

【0026】a,b,c,d,p,qは上記式を満足す
る数であるが、好ましくは、1≦a+b≦2、0≦c+
d≦2、0≦p+q≦2である。
A, b, c, d, p, and q are numbers satisfying the above expression, but preferably 1 ≦ a + b ≦ 2, 0 ≦ c +
d ≦ 2 and 0 ≦ p + q ≦ 2.

【0027】なお、ポリシラン類の重合度は10以上で
あり、また上記式(3)の多価ハロシランを用いて得ら
れたポリシラン類の場合、−Si−Q−Si−単位(ポ
リカルボシラン単位)は50モル%以下の含有量である
ことが好ましい。
The degree of polymerization of the polysilanes is 10 or more. In the case of the polysilanes obtained by using the polyvalent halosilane of the above formula (3), -Si-Q-Si- units (polycarbosilane units) ) Is preferably not more than 50 mol%.

【0028】具体的には、ポリシラン類として下記一般
式(4)で示されるものが挙げられる。
Specifically, the polysilanes include those represented by the following general formula (4).

【0029】[0029]

【化5】 (式中、n≧1、m≧0、k≧0、n+m+k>10で
あり、好ましくはn≧1、m≧1、k≧0である。ま
た、n+m+k>10であるが、好ましくはn+m+k
≧20、より好ましくはn+m+k≧50であり、その
上限は特に制限されない。好ましくはk/(n+m+
k)≦0.5である。なお、R1,R2,R3,R4
5,R6,Q,a,b,c,d,p,qは上記と同様の
意味を示す。)
Embedded image (Where n ≧ 1, m ≧ 0, k ≧ 0, n + m + k> 10, preferably n ≧ 1, m ≧ 1, k ≧ 0. Also, n + m + k> 10, but preferably n + m + k
≧ 20, more preferably n + m + k ≧ 50, and the upper limit is not particularly limited. Preferably k / (n + m +
k) ≦ 0.5. Note that R 1 , R 2 , R 3 , R 4 ,
R 5 , R 6 , Q, a, b, c, d, p, and q have the same meaning as described above. )

【0030】なお、上記ポリシラン類を精製する場合、
ポリシランは合成直後のものでも、あるいは長期保存後
のものでもよい。
When purifying the above polysilanes,
The polysilane may be immediately after synthesis or after long-term storage.

【0031】上記不溶性不純物を含有するポリシラン類
の良溶媒性の有機溶剤としては、ポリシラン類を溶解し
得る有機溶剤であれば特に制限されず、例えばトルエ
ン、キシレン、テトラヒドロフラン、塩化メチレン、ク
ロロホルム等が挙げられる。なお、有機溶剤の使用量
は、ポリシラン溶液中のポリシラン類の濃度が1〜30
重量%、特に5〜15重量%となる範囲が好適である。
The organic solvent having good solvent properties of the polysilane containing the insoluble impurities is not particularly limited as long as it is an organic solvent capable of dissolving the polysilane, and examples thereof include toluene, xylene, tetrahydrofuran, methylene chloride, and chloroform. No. The amount of the organic solvent used is such that the concentration of the polysilane in the polysilane solution is 1 to 30.
%, Especially 5 to 15% by weight.

【0032】本発明方法では、上記不溶性不純物を含有
するポリシラン類を良溶媒性の有機溶剤に溶解させた溶
液に、該ポリシラン類に対し貧溶媒性の溶剤を添加す
る。この場合、ポリシラン類に対し貧溶媒性の溶剤とし
ては、ポリシラン類の置換基や重合度によって異なる
が、例えばヘキサン、メタノール、エタノール、イソプ
ロピルアルコール、アセトン等の貧溶媒が挙げられる。
上記ポリシラン類に対し貧溶媒性の溶剤の添加量は、ポ
リシラン類溶液に対して10〜500重量%、特に20
〜200重量%が好ましく、添加量が10重量%に満た
ないと高分子量ポリシラン類が有効量析出せず、系中に
存在する有機溶剤に不溶性の成分及びミクロゲルが凝集
しない場合がある。
In the method of the present invention, a poor solvent for the polysilane is added to a solution in which the polysilane containing the insoluble impurities is dissolved in a good solvent organic solvent. In this case, examples of the poor solvent for the polysilanes include poor solvents such as hexane, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and acetone, depending on the substituents and the degree of polymerization of the polysilanes.
The addition amount of the solvent having poor solvent to the polysilane is 10 to 500% by weight, particularly 20% by weight to the polysilane solution.
When the amount is less than 10% by weight, an effective amount of the high molecular weight polysilane is not precipitated, and the component insoluble in the organic solvent present in the system and the microgel may not aggregate.

【0033】本発明では、このようにポリシラン類に対
し貧溶媒性の溶剤を添加すると、微量の高分子量ポリシ
ラン類が析出し、これと共にポリシラン類中に存在する
有機溶剤に不溶性の成分及びミクロゲルが凝集するもの
で、次いで、この溶液に対して濾過を行うことで前記凝
集物を簡単に分離、除去し得る。
In the present invention, when a poor solvent is added to the polysilane as described above, a trace amount of a high molecular weight polysilane is precipitated, and at the same time, a component and a microgel insoluble in the organic solvent present in the polysilane are formed. The solution aggregates, and then the solution is filtered to easily separate and remove the aggregate.

【0034】ここで、上記濾過の方法は特に制限され
ず、濾紙を用いた濾過、濾過板を用いた加圧濾過などを
採用することができる。
Here, the method of the filtration is not particularly limited, and filtration using a filter paper, pressure filtration using a filter plate, or the like can be employed.

【0035】なお、濾過処理後は、溶媒を除去すること
により有機溶剤に不溶性の不純物及びミクロゲルを含有
しない高純度のポリシラン類を得ることができる。
After the filtration treatment, by removing the solvent, high-purity polysilanes containing no insoluble impurities or microgel in the organic solvent can be obtained.

【0036】本発明の精製方法は、上記したようにアル
カリ金属と多価ハロシラン類とを反応させるポリシラン
類製造法に対して適用可能である。この場合、アルカリ
金属を用いて多価ハロシラン類を縮重合反応させた後、
残存するアルカリ金属をアルコールを用いてクエンチ
後、加水分解を行い、多量の貧溶媒を添加し、合成され
たポリシラン類を析出させ、不純物を含有したポリシラ
ン類を濾別した後、副生するアルカリハライドを水洗除
去する工程に先立って上記精製方法を行うことが好まし
い。このように副生するアルカリハライドを水洗除去す
る工程に先立って上記精製工程を行うことにより、前記
水洗工程が非常に容易になり、工程時間の短縮、収率向
上に寄与し得るものである。
The purification method of the present invention is applicable to a method for producing a polysilane in which an alkali metal is reacted with a polyvalent halosilane as described above. In this case, after polycondensation reaction of polyvalent halosilanes using an alkali metal,
After the remaining alkali metal is quenched using alcohol, hydrolysis is performed, a large amount of poor solvent is added, the synthesized polysilanes are precipitated, and the polysilanes containing impurities are separated by filtration, and the alkali by-produced. It is preferable to perform the above-mentioned purification method prior to the step of washing and removing the halide. By performing the above-described purification step prior to the step of washing and removing the by-product alkali halide, the washing step becomes very easy, which can contribute to shortening of the process time and improvement of the yield.

【0037】[0037]

【発明の効果】本発明のポリシラン類の精製方法によれ
ば、ポリシラン類中に存在する有機溶剤に不溶性の成分
及びミクロゲルを短時間で簡単かつ満足に除去すること
ができ、透明度が高く表面平滑度に優れた膜を与える高
品質の精製ポリシラン類を工業的に有利に得ることがで
きる。
According to the method for purifying polysilanes of the present invention, components and microgels insoluble in organic solvents existing in polysilanes can be easily and satisfactorily removed in a short time, resulting in high transparency and high surface smoothness. A high-quality purified polysilane that gives a film excellent in degree can be industrially advantageously obtained.

【0038】[0038]

【実施例】以下、実施例及び比較例を示して本発明を具
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。なお、下記例でMeはメチル基、Phはフ
ェニル基を示す。
EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following examples, Me represents a methyl group and Ph represents a phenyl group.

【0039】〔実施例1〕トルエン溶媒還流中、ナトリ
ウムとメチルフェニルジクロロシランを反応させること
により得られた(MePhSi n(Mn23,00
0、Mw97,000)10gをトルエン90gに溶解
した。このポリシラン溶液の外観は微青白色であり、微
細な不溶成分を含んでいた。
[Example 1]
Of methylphenyldichlorosilane with aluminum
(MePhSi) )n(Mn 23,000
0, Mw 97000) 10 g dissolved in 90 g toluene
did. The appearance of this polysilane solution is slightly bluish white,
It contained fine insoluble components.

【0040】次に、このポリシラン溶液に撹拌下でヘキ
サン60gを徐々に添加した。30分間室温にて放置す
ると、微量のポリシラン高分子量成分の析出により、凝
集した不溶物が沈澱してきた。この溶液に対して濾過板
(NA−500、保留粒子径0.5μm、直径47m
m、アドバンテック東洋株式会社製)を用いた加圧濾過
(圧力1.5kg/cm2)を行うことにより、容易に
無色透明な(MePhSi)nのトルエン溶液を得るこ
とができた。溶媒を除去することにより、9.5gの
(MePhSi)n(Mn22,200、Mw89,0
00)を回収した。
Next, 60 g of hexane was gradually added to the polysilane solution with stirring. When left at room temperature for 30 minutes, a small amount of the polysilane high molecular weight component was precipitated, and aggregated insolubles were precipitated. A filter plate (NA-500, retaining particle diameter 0.5 μm, diameter 47 m)
By performing pressure filtration (pressure 1.5 kg / cm 2 ) using Advantech Toyo Co., Ltd., a colorless and transparent (MePhSi) n toluene solution could be easily obtained. Removal of the solvent gave 9.5 g of (MePhSi) n (Mn 22,200, Mw 89,0).
00) was recovered.

【0041】上記ポリマーの10%トルエン溶液は容易
に全量が孔径0.2μmのメンブランフィルター(直径
47mm)を通過することから、微細な不溶成分が除去
されたことが確認された。
The 10% toluene solution of the above polymer easily passed through a membrane filter (diameter: 47 mm) having a pore size of 0.2 μm, confirming that fine insoluble components were removed.

【0042】〔比較例1〕実施例1と同様のポリシラン
10gをトルエン90gに溶解した。このポリシラン溶
液に対して濾過板(NA−500、保留粒子径0.5μ
m、直径47mm、アドバンテック東洋株式会社製)を
用いた加圧濾過を行ったが、得られた溶液は微青白色で
あり、微細な不溶成分を含んでいた。
Comparative Example 1 10 g of the same polysilane as in Example 1 was dissolved in 90 g of toluene. A filter plate (NA-500, retaining particle size 0.5 μm) is applied to this polysilane solution.
m, diameter 47 mm, manufactured by Advantech Toyo Co., Ltd.), and the resulting solution was pale blue-white and contained fine insoluble components.

【0043】〔比較例2〕実施例1と同様のポリシラン
10gをトルエン90gに溶解した。このポリシラン溶
液に対して孔径0.2μmのメンブランフィルター(直
径47mm)を用いた加圧濾過(圧力1.5kg/cm
2)を1時間行ったが、最終的に目詰まりが発生し、通
過した溶液の量は55gであり、この方法による完全な
不溶物除去は困難であった。
Comparative Example 2 10 g of the same polysilane as in Example 1 was dissolved in 90 g of toluene. This polysilane solution was subjected to pressure filtration using a membrane filter (diameter: 47 mm) having a pore diameter of 0.2 μm (pressure: 1.5 kg / cm).
2 ) was carried out for 1 hour, but finally clogging occurred and the amount of the solution passed was 55 g, and it was difficult to completely remove insolubles by this method.

【0044】〔実施例2〕実施例1と同様に合成され、
長期保存されていた(MePhSi)n(Mn19,0
00、Mw82,000)10gをトルエン90gに溶
解した。このポリシラン溶液の外観は多少黄色がかった
微青白色であり、微細な不溶成分を含んでいた。
Example 2 A compound was synthesized in the same manner as in Example 1,
(MePhSi) n (Mn 19,0
(00, Mw 82,000) was dissolved in 90 g of toluene. The appearance of this polysilane solution was slightly yellowish, slightly blue-white, and contained fine insoluble components.

【0045】次に、この溶液に撹拌下でイソプロピルア
ルコール45gを徐々に添加した。30分間室温にて放
置すると、微量のポリシラン高分子量成分の析出によ
り、凝集した不溶物が沈澱してきた。この溶液に対して
濾過板(NA−500、保留粒子径0.5μm、直径4
7mm、アドバンテック東洋株式会社製)を用いた加圧
濾過(圧力1.5kg/cm2)を行うことにより、容
易に無色透明な(MePhSi)nのトルエン溶液を得
ることができた。溶媒を除去することにより、9.1g
の(MePhSi)n(Mn17,800、Mw76,
000)を回収した。
Next, 45 g of isopropyl alcohol was gradually added to this solution with stirring. When left at room temperature for 30 minutes, a small amount of the polysilane high molecular weight component was precipitated, and aggregated insolubles were precipitated. A filter plate (NA-500, retaining particle diameter 0.5 μm, diameter 4
By performing pressure filtration (pressure 1.5 kg / cm 2 ) using 7 mm, manufactured by Advantech Toyo Co., Ltd., a colorless and transparent (MePhSi) n toluene solution could be easily obtained. By removing the solvent, 9.1 g
(MePhSi) n (Mn 17,800, Mw 76,
000) was recovered.

【0046】得られた上記ポリマーの10%トルエン溶
液は容易に全量が孔径0.2μmのメンブランフィルタ
ー(直径47mm)を通過することから、微細な不溶成
分が除去されたことが確認された。
Since the resulting 10% toluene solution of the above polymer easily passed through a membrane filter (diameter: 47 mm) having a pore diameter of 0.2 μm, it was confirmed that fine insoluble components were removed.

【0047】〔比較例3〕実施例2と同様のポリシラン
10gをトルエン90gに溶解した。このポリシラン溶
液に対して濾過板(NA−500、保留粒子径0.5μ
m、直径47mm、アドバンテック東洋株式会社製)を
用いた加圧濾過(圧力1.5kg/cm2)を行った
が、得られた溶液は微青白色であり、微細な不溶成分を
含んでいた。
Comparative Example 3 10 g of the same polysilane as in Example 2 was dissolved in 90 g of toluene. A filter plate (NA-500, retaining particle size 0.5 μm) is applied to this polysilane solution.
m, a diameter of 47 mm, and pressure filtration (pressure 1.5 kg / cm 2 ) using Advantech Toyo Co., Ltd., the resulting solution was pale bluish white and contained fine insoluble components. .

【0048】〔比較例4〕実施例2と同様のポリシラン
10gをトルエン90gに溶解した。このポリシラン溶
液に対して孔径0.2μmのメンブランフィルター(直
径47mm)を用いた加圧濾過を1時間行ったが、最終
的に目詰まりが発生し、通過した溶液の量は25gであ
り、この方法による完全な不溶物除去は困難であった。
Comparative Example 4 10 g of the same polysilane as in Example 2 was dissolved in 90 g of toluene. The polysilane solution was subjected to pressure filtration using a membrane filter (diameter: 47 mm) having a pore diameter of 0.2 μm for 1 hour. Clogging finally occurred, and the amount of the solution passed was 25 g. It was difficult to completely remove insolubles by the method.

【0049】〔実施例3〕窒素気流下、四つ口フラスコ
に金属ナトリウム2.88g(125mmol)、キシ
レン30gを収め、140℃で加熱、撹拌してナトリウ
ムディスパージョンを形成させた後、フェニルメチルジ
クロロシラン9.6g(50mmol)を滴下したとこ
ろ、反応は発熱的に進行し、溶液が紫色に呈色した。加
熱還流、撹拌を7時間行った後、メタノール5mlを用
いてナトリウムを失活し、水50gを用いた加水分解を
行った。反応混合物は不溶物を含有するため、有機層と
水層は分離しなかった。次に、イソプロピルアルコール
100gを添加し、ポリマーを析出させ、濾紙を用いた
吸引濾過により不溶物を含有するポリシランを得た。
Example 3 Under a nitrogen stream, 2.88 g (125 mmol) of metallic sodium and 30 g of xylene were placed in a four-necked flask, and heated and stirred at 140 ° C. to form a sodium dispersion. When 9.6 g (50 mmol) of dichlorosilane was added dropwise, the reaction proceeded exothermically, and the solution turned purple. After heating under reflux and stirring for 7 hours, sodium was inactivated using 5 ml of methanol, and hydrolysis was performed using 50 g of water. Since the reaction mixture contained insolubles, the organic layer and the aqueous layer were not separated. Next, 100 g of isopropyl alcohol was added to precipitate a polymer, and suction-filtration using filter paper was performed to obtain a polysilane containing an insoluble matter.

【0050】得られたポリシランポリマーにトルエン6
0gを添加し、次にヘキサン48gを徐々に添加した。
30分間、室温に放置すると、微量のポリシラン高分子
量成分の析出により、凝集した不溶物が沈澱してきた。
この溶液に対して濾過板(NA−500、保留粒子径
0.5μm、直径47mm、アドバンテック東洋株式会
社製)を用いた加圧濾過(圧力1.5kg/cm2)を
行うことにより、容易に無色透明なポリシランのトルエ
ン溶液を得た。
Toluene 6 was added to the obtained polysilane polymer.
0 g was added, followed by the gradual addition of 48 g of hexane.
When left at room temperature for 30 minutes, a small amount of the polysilane high molecular weight component was precipitated, and aggregated insolubles precipitated.
This solution is easily subjected to pressure filtration (pressure 1.5 kg / cm 2 ) using a filter plate (NA-500, retaining particle diameter 0.5 μm, diameter 47 mm, manufactured by Advantech Toyo Co., Ltd.), so that the solution can be easily obtained. A toluene solution of colorless and transparent polysilane was obtained.

【0051】次いで、イオン性不純物を除去するために
水洗を5回行った。有機層と水層の分離は良好であり、
所要時間は1時間以内であった。得られた有機層を濃縮
することにより高分子量のメチルフェニルポリシラン
(Mn17,500、Mw60,600)を白色固体と
して収率48%で得た。
Next, washing was performed five times to remove ionic impurities. The separation of the organic and aqueous layers is good,
The required time was within one hour. By concentrating the obtained organic layer, a high molecular weight methylphenylpolysilane (Mn 17,500, Mw 60,600) was obtained as a white solid in a yield of 48%.

【0052】〔比較例5〕ポリシランポリマーに対し
て、ヘキサンを用いた不溶物除去を実施しないこと以外
は実施例3と同様にポリシランの製造を行った。不溶物
の存在のため、有機層と水層の分離は困難であり、水洗
工程の所要時間は5時間を要した。収率も40%に低下
した。
Comparative Example 5 A polysilane was produced in the same manner as in Example 3, except that insolubles were not removed from the polysilane polymer using hexane. The separation of the organic layer and the aqueous layer was difficult due to the presence of insolubles, and the time required for the water washing step required 5 hours. The yield also dropped to 40%.

【0053】〔実施例4〕窒素気流下、四つ口フラスコ
に金属ナトリウム2.88g(125mmol)、キシ
レン30gを収め、140℃で加熱、撹拌してナトリウ
ムディスパージョンを形成させた後、フェニルメチルジ
クロロシラン9.6g(50mmol)とフェニルトリ
クロロシラン0.42g(2mmol)を滴下したとこ
ろ、反応は発熱的に進行し、溶液が紫色に呈色した。加
熱還流、撹拌を7時間行った後、メタノール5mlを用
いてナトリウムを失活し、水50gを用いた加水分解を
行った。反応混合物は不溶物を含有するため、有機層と
水層は分離しなかった。次に、イソプロピルアルコール
100gを添加し、ポリマーを析出させ、濾紙を用いた
吸引濾過により不溶物を含有するポリシランを得た。
Example 4 Under a nitrogen stream, 2.88 g (125 mmol) of metallic sodium and 30 g of xylene were placed in a four-necked flask, and heated and stirred at 140 ° C. to form a sodium dispersion. When 9.6 g (50 mmol) of dichlorosilane and 0.42 g (2 mmol) of phenyltrichlorosilane were added dropwise, the reaction proceeded exothermically, and the solution turned purple. After heating under reflux and stirring for 7 hours, sodium was inactivated using 5 ml of methanol, and hydrolysis was performed using 50 g of water. Since the reaction mixture contained insolubles, the organic layer and the aqueous layer were not separated. Next, 100 g of isopropyl alcohol was added to precipitate a polymer, and suction-filtration using filter paper was performed to obtain a polysilane containing an insoluble matter.

【0054】得られたポリシランポリマーにトルエン6
0gを添加し、次にヘキサン48gを徐々に添加した。
30分間、室温に放置すると、微量のポリシラン高分子
量成分の析出により、凝集した不溶物が沈澱してきた。
この溶液に対して濾過板(NA−500、保留粒子径
0.5μm、直径47mm、アドバンテック東洋株式会
社製)を用いた加圧濾過(圧力1.5kg/cm2)を
行うことにより、容易に無色透明なポリシランのトルエ
ン溶液を得た。
[0054] Toluene 6 was added to the obtained polysilane polymer.
0 g was added, followed by the gradual addition of 48 g of hexane.
When left at room temperature for 30 minutes, a small amount of the polysilane high molecular weight component was precipitated, and aggregated insolubles precipitated.
This solution is easily subjected to pressure filtration (pressure 1.5 kg / cm 2 ) using a filter plate (NA-500, retaining particle diameter 0.5 μm, diameter 47 mm, manufactured by Advantech Toyo Co., Ltd.), so that the solution can be easily obtained. A toluene solution of colorless and transparent polysilane was obtained.

【0055】次いで、イオン性不純物を除去するために
水洗を5回行った。有機層と水層の分離は良好であり、
所要時間は1時間であった。得られた有機層を濃縮する
ことによりポリシラン(Mn18,140、Mw39,
000)を白色固体として収率44%で得た。
Next, washing was performed five times to remove ionic impurities. The separation of the organic and aqueous layers is good,
The required time was one hour. By concentrating the obtained organic layer, polysilane (Mn18, 140, Mw39,
000) as a white solid in 44% yield.

【0056】〔比較例6〕ポリシランポリマーに対し
て、ヘキサンを用いた不溶物除去を実施しないこと以外
は実施例4と同様にポリシランの製造を行った。不溶物
の存在のため、有機層と水層の分離は困難であり、水洗
工程の所要時間は5時間を要した。収率も35%に低下
した。
Comparative Example 6 A polysilane was produced in the same manner as in Example 4 except that insolubles were not removed from the polysilane polymer using hexane. The separation of the organic layer and the aqueous layer was difficult due to the presence of insolubles, and the time required for the water washing step required 5 hours. The yield also dropped to 35%.

【0057】〔実施例5〕トルエン溶媒還流中、ナトリ
ウム31.3g(1.36モル)とメチルフェニルジク
ロロシラン96.0g(0.5モル)とp−ビス(ジメ
チルクロロシリル)ベンゼン32.9g(0.125モ
ル)を反応させることにより得られた下記式 〔(MePhSi)4(Me2Si−C64−SiM
21n で示されるポリシラン(Mn11,000、Mw41,
600)10gをトルエン90gに溶解した。このポリ
シラン溶液は微濁溶液であり、微細な不溶成分を含んで
いた。
Example 5 31.3 g (1.36 mol) of sodium, 96.0 g (0.5 mol) of methylphenyldichlorosilane and 32.9 g of p-bis (dimethylchlorosilyl) benzene were refluxed in a toluene solvent. ((MePhSi) 4 (Me 2 Si—C 6 H 4 —SiM) obtained by reacting
polysilane represented by e 2) 1] n (Mn11,000, Mw41,
600) 10 g was dissolved in 90 g of toluene. This polysilane solution was a slightly turbid solution and contained fine insoluble components.

【0058】次に、この溶液を撹拌しながらヘキサン5
0gを徐々に添加した。30分間、室温にて放置する
と、微量のポリシラン高分子量成分の析出により、凝集
した不溶物が沈澱してきた。この溶液に対して濾過板
(NA−500、直径47mm、アドバンテック東洋株
式会社製)を用いた加圧濾過(圧力1.5kg/c
2)を行うことにより、容易に無色透明な〔(MeP
hSi)4(Me2Si−C64−SiMe21nのト
ルエン溶液を得ることができた。溶媒を除去することに
より、9.2gのポリマー(Mn10,500、Mw3
9,900)を回収した。このポリシランの10%トル
エン溶液は容易に全量が0.2μmのメンブランフィル
ター(直径47mm)を通過することから、微細な不溶
成分が除去されたことが確認された。
Next, hexane 5 was added while stirring this solution.
0 g was added slowly. When left at room temperature for 30 minutes, a small amount of a polysilane high molecular weight component was precipitated, and aggregated insolubles were precipitated. The solution was subjected to pressure filtration using a filter plate (NA-500, diameter 47 mm, manufactured by Advantech Toyo Co., Ltd.) (pressure 1.5 kg / c).
m 2 ), colorless and transparent [(MeP
A toluene solution of hSi) 4 (Me 2 Si—C 6 H 4 —SiMe 2 ) 1 ] n was obtained. By removing the solvent, 9.2 g of the polymer (Mn10,500, Mw3
9,900). Since the 10% toluene solution of this polysilane easily passed through a 0.2 μm membrane filter (47 mm in diameter) easily, it was confirmed that fine insoluble components were removed.

【0059】〔比較例7〕実施例5と同様のポリシラン
10gをトルエン90gに溶解した。このポリシラン溶
液に対して濾過板(NA−500、直径47mm、アド
バンテック東洋株式会社製)を用いた加圧濾過(圧力
1.5kg/cm2)を行ったが、得られた溶液は微濁
溶液であり、微細な不溶成分を含んでいた。
Comparative Example 7 10 g of the same polysilane as in Example 5 was dissolved in 90 g of toluene. The polysilane solution was subjected to pressure filtration (pressure 1.5 kg / cm 2 ) using a filter plate (NA-500, diameter 47 mm, manufactured by Advantech Toyo Co., Ltd.). And contained fine insoluble components.

【0060】〔比較例8〕実施例5と同様のポリシラン
10gをトルエン90gに溶解した。このポリシラン溶
液に対してメンブランフィルター(直径47mm)を用
いた加圧濾過(圧力1.5kg/cm2)を1時間行っ
たが、最終的に目詰まりが発生し、通過した溶液の量は
80gであり、この方法による完全な不溶物除去は困難
であった。
Comparative Example 8 10 g of the same polysilane as in Example 5 was dissolved in 90 g of toluene. The polysilane solution was subjected to pressure filtration (pressure 1.5 kg / cm 2 ) using a membrane filter (diameter 47 mm) for 1 hour, but finally clogging occurred, and the amount of the solution passed was 80 g. Thus, it was difficult to completely remove insolubles by this method.

フロントページの続き (72)発明者 野田 和美 群馬県碓氷郡松井田町大字人見1番地10 信越化学工業株式会社シリコーン電子材料 技術研究所内Continued on the front page (72) Inventor Kazumi Noda 1-10 Hitomi, Matsuida-cho, Usui-gun, Gunma Pref. Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリシラン類を良溶媒性の有機溶剤に溶
解し、得られたポリシラン類溶液に該ポリシラン類に対
し貧溶媒性の溶剤を添加し、微量の高分子量ポリシラン
を析出させることによりポリシラン類中に不純物として
存在する不溶成分及びミクロゲルを凝集させた後、濾過
処理して前記凝集物を分離、除去することを特徴とする
ポリシラン類の精製方法。
1. A polysilane obtained by dissolving a polysilane in an organic solvent having a good solvent, adding a solvent having a poor solvent to the polysilane to a solution of the obtained polysilane, and precipitating a trace amount of a high molecular weight polysilane. A method for purifying polysilanes, comprising aggregating insoluble components and microgels present as impurities in a product, followed by filtration to separate and remove the product.
【請求項2】 ポリシラン類が、下記一般式(1),
(2)及び(3)で示される多価ハロシラン類の1種又
は2種以上とアルカリ金属との反応により得られたもの
である請求項1記載のポリシラン類の精製方法。 【化1】
2. The polysilanes represented by the following general formula (1):
The method for purifying polysilanes according to claim 1, which is obtained by reacting one or more polyvalent halosilanes represented by (2) and (3) with an alkali metal. Embedded image
【請求項3】 アルカリ金属と多価ハロシラン類とを反
応させるポリシラン製造法において副生するアルカリハ
ライドを水洗除去する工程に先立って請求項1又は2記
載の精製方法を実施するポリシラン類の精製方法。
3. A method for purifying polysilanes, wherein the purifying method according to claim 1 or 2 is carried out prior to the step of washing and removing alkali halide by-produced in the method for producing polysilane in which an alkali metal is reacted with polyvalent halosilanes. .
JP9364153A 1996-12-19 1997-12-17 Purification of polysilanes Pending JPH10231365A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9364153A JPH10231365A (en) 1996-12-19 1997-12-17 Purification of polysilanes

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8-354534 1996-12-19
JP35453496 1996-12-19
JP9364153A JPH10231365A (en) 1996-12-19 1997-12-17 Purification of polysilanes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10231365A true JPH10231365A (en) 1998-09-02

Family

ID=26580081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9364153A Pending JPH10231365A (en) 1996-12-19 1997-12-17 Purification of polysilanes

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10231365A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002167438A (en) * 2000-11-29 2002-06-11 Jsr Corp Silicon polymer, composition for forming film and material for forming insulating film
JP2007077197A (en) * 2005-09-12 2007-03-29 Osaka Gas Co Ltd Method for purifying polysilane
WO2009142161A1 (en) * 2008-05-20 2009-11-26 日本曹達株式会社 Process for production of polysilane compound
JP2011162792A (en) * 2011-04-18 2011-08-25 Osaka Gas Co Ltd Purifying method of polysilane
JP2017057310A (en) * 2015-09-17 2017-03-23 株式会社神鋼環境ソリューション Polysilane production method

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002167438A (en) * 2000-11-29 2002-06-11 Jsr Corp Silicon polymer, composition for forming film and material for forming insulating film
JP2007077197A (en) * 2005-09-12 2007-03-29 Osaka Gas Co Ltd Method for purifying polysilane
WO2009142161A1 (en) * 2008-05-20 2009-11-26 日本曹達株式会社 Process for production of polysilane compound
US8829139B2 (en) 2008-05-20 2014-09-09 Nippon Soda Co., Ltd. Process for production of polysilane compound
JP2011162792A (en) * 2011-04-18 2011-08-25 Osaka Gas Co Ltd Purifying method of polysilane
JP2017057310A (en) * 2015-09-17 2017-03-23 株式会社神鋼環境ソリューション Polysilane production method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10251407A (en) Silicone compound and its production
JP4886772B2 (en) Method for producing diorganopolysiloxane
JPH05132555A (en) Preparation of organo(poly)siloxane
JPH10231365A (en) Purification of polysilanes
JPH10265483A (en) Production of siohfunctional carbosilane dendrimer
US5905139A (en) Purification of polysilane
US6455640B2 (en) Method for producing basic amino acid-modified organopolysiloxane
US4808685A (en) Process for the preparation of polysilanes
US4826954A (en) Diorganopolysiloxane-azobenzene alternating copolymers and methods for their preparation
JP2722916B2 (en) Double-end reactive polysilane and method for producing the same
JP3353609B2 (en) Purification method of polysilane
JPH10237177A (en) Production of network polysilane
JPH10139784A (en) Production of vinylsilyl group-containing silicone compound
USH1612H (en) Method for making silarylene-siloxane polymers
JP2932143B2 (en) Method for producing polysilane
JP2803360B2 (en) Method for producing polysilane
JP2682324B2 (en) Double-ended hydroxypolysilane and method for producing the same
RU2100384C1 (en) Organosilosesquioxanes of cubic structure and method for its producing
JP3277770B2 (en) Method for producing polysilane
JP2541060B2 (en) Method for producing organosilicon compound
JP2823798B2 (en) Organosilicon compound having triazene group and method for producing the same
JPH04222835A (en) Production of polyorganosilane
JP3050058B2 (en) Method for producing polysilane
JP2003531942A (en) Curable silicone resin composition and reactive silicon compound
JP3029322B2 (en) Polysiloxane star polymer and method for producing the same