JPH10227980A - 落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ - Google Patents
落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズInfo
- Publication number
- JPH10227980A JPH10227980A JP9042887A JP4288797A JPH10227980A JP H10227980 A JPH10227980 A JP H10227980A JP 9042887 A JP9042887 A JP 9042887A JP 4288797 A JP4288797 A JP 4288797A JP H10227980 A JPH10227980 A JP H10227980A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- dark
- dark field
- field illumination
- objective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 暗視野落射照明を行うことができる高ＮＡな
液侵系対物レンズを提供すること。 【解決手段】 媒質中に侵された物体を観察するための
落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズにおいて、前
記対物レンズは、０．９５よりも大きな物体側開口数を
有しており、前記対物レンズの光路の外側から前記物体
を照明するために、少なくとも前記媒質に接して配置さ
れて前記物体へ照明光を導く暗視野照明用光学部材を有
することを特徴とする。
液侵系対物レンズを提供すること。 【解決手段】 媒質中に侵された物体を観察するための
落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズにおいて、前
記対物レンズは、０．９５よりも大きな物体側開口数を
有しており、前記対物レンズの光路の外側から前記物体
を照明するために、少なくとも前記媒質に接して配置さ
れて前記物体へ照明光を導く暗視野照明用光学部材を有
することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属顕微鏡などの
落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ、特に物体側
の開口数ＮＡ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒ
ｅ）が０．９５を越える高ＮＡな対物レンズに関する。
落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ、特に物体側
の開口数ＮＡ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒ
ｅ）が０．９５を越える高ＮＡな対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】金属材料などの不透明な物体の表面を観
察する場合は、垂直落射照明の暗視野照明などの反射照
明が用いられる。暗視野照明では、標本面からの直接反
射光が存在しないため、金属表面の傷等が極めてコント
ラスト良く観察する事が可能である。
察する場合は、垂直落射照明の暗視野照明などの反射照
明が用いられる。暗視野照明では、標本面からの直接反
射光が存在しないため、金属表面の傷等が極めてコント
ラスト良く観察する事が可能である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】また、顕微鏡観察にお
いて、分解能を小さくするには開口数ＮＡを大きくする
必要がある。ここで、開口数ＮＡは次式 ＮＡ＝ｎ・ｓｉｎθ で与えられる。ただし、θは軸上物点から出る光線のう
ち、最大の開きをもつ光線の光軸となす角度であり、ｎ
は物点のが存在する媒質の屈折率である。
いて、分解能を小さくするには開口数ＮＡを大きくする
必要がある。ここで、開口数ＮＡは次式 ＮＡ＝ｎ・ｓｉｎθ で与えられる。ただし、θは軸上物点から出る光線のう
ち、最大の開きをもつ光線の光軸となす角度であり、ｎ
は物点のが存在する媒質の屈折率である。
【０００４】分解能を小さくするためには、ｓｉｎθは
１を越えることが出来ないから、ｎを１．０以上にする
ことが考えられる。すなわち、物点のある媒質の屈折率
を高くするとともに物点から対物レンズの第１面にいた
る間に空気層が全くないようにすればよい。このため
に、物点とレンズとの間に屈折率のなるべく高い液体を
満たした、液侵系顕微鏡対物レンズが知られている。
１を越えることが出来ないから、ｎを１．０以上にする
ことが考えられる。すなわち、物点のある媒質の屈折率
を高くするとともに物点から対物レンズの第１面にいた
る間に空気層が全くないようにすればよい。このため
に、物点とレンズとの間に屈折率のなるべく高い液体を
満たした、液侵系顕微鏡対物レンズが知られている。
【０００５】開口数ＮＡの大きい液侵系対物レンズにお
いて暗視野照明をする場合、対物レンズが取り込める光
束の最大開き角度よりも大きい角度で物体を照明しなけ
ればならない。例えば、対物レンズの物体側の開口数Ｎ
Ａが０．９５の場合、照明光のＮＡは１．０より大きい
ことが必要となる。
いて暗視野照明をする場合、対物レンズが取り込める光
束の最大開き角度よりも大きい角度で物体を照明しなけ
ればならない。例えば、対物レンズの物体側の開口数Ｎ
Ａが０．９５の場合、照明光のＮＡは１．０より大きい
ことが必要となる。
【０００６】しかしながら、光学的に密な液侵用の媒質
中から光学的に粗な空気（屈折率ｎ＝１．０）中へ光が
出る場合を考えると、物体から出て行く光の開口数ＮＡ
が１．０を越える場合、図１に示すように全反射を起こ
してしまう。換言すると、空気中から媒質中の物体に対
して、開口数ＮＡが１．０より大きい値で光を入射、す
なわち照明することは不可能となる。
中から光学的に粗な空気（屈折率ｎ＝１．０）中へ光が
出る場合を考えると、物体から出て行く光の開口数ＮＡ
が１．０を越える場合、図１に示すように全反射を起こ
してしまう。換言すると、空気中から媒質中の物体に対
して、開口数ＮＡが１．０より大きい値で光を入射、す
なわち照明することは不可能となる。
【０００７】従って、液侵系対物レンズの物体側の開口
数ＮＡが０．９５を越えるような高ＮＡの場合に、暗視
野落射照明を行うことは不可能であり問題であった。
数ＮＡが０．９５を越えるような高ＮＡの場合に、暗視
野落射照明を行うことは不可能であり問題であった。
【０００８】本発明は、かかる問題を鑑みてなされたも
のであり、開口数ＮＡが０．９５を越えるような高ＮＡ
液侵系対物レンズであって、暗視野落射照明を行うこと
が可能な対物レンズを提供することを目的とする。
のであり、開口数ＮＡが０．９５を越えるような高ＮＡ
液侵系対物レンズであって、暗視野落射照明を行うこと
が可能な対物レンズを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ
は、媒質中に侵された物体を観察するための落射照明用
の液侵系暗視野照明対物レンズにおいて、前記対物レン
ズは、０．９５よりも大きな物体側開口数を有し、前記
対物レンズの光路の外側から前記物体を照明するため
に、少なくとも前記媒質に接して配置されて前記物体へ
照明光を導く暗視野照明用光学部材を有することを特徴
としている。かかる特徴により、例えば、照明光の開口
数ＮＡが１．０よりも大きい場合でも、照明光を対物レ
ンズの外側から媒質中の物体へ導くことができ、大きな
ＮＡの、すなわち分解能の小さい液侵系の暗視野照明観
察を良好に行うことができる。
に、本発明の落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ
は、媒質中に侵された物体を観察するための落射照明用
の液侵系暗視野照明対物レンズにおいて、前記対物レン
ズは、０．９５よりも大きな物体側開口数を有し、前記
対物レンズの光路の外側から前記物体を照明するため
に、少なくとも前記媒質に接して配置されて前記物体へ
照明光を導く暗視野照明用光学部材を有することを特徴
としている。かかる特徴により、例えば、照明光の開口
数ＮＡが１．０よりも大きい場合でも、照明光を対物レ
ンズの外側から媒質中の物体へ導くことができ、大きな
ＮＡの、すなわち分解能の小さい液侵系の暗視野照明観
察を良好に行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施例を添付図
面に基づいて説明する。本発明の第１実施例を図２に示
す。暗視野照明用の円環状（いわゆるドーナツ状）の反
射鏡を液侵用のオイル内に入れている。オイルは例えば
ｄ線（λ＝５８７．９ｎｍ）に対する屈折率ｎが１．５
１５，アッベ数が４１のものを使用する。かかる反射鏡
を使用しているため、対物レンズの光軸と照明光の光軸
のなす角度をθとした場合に、ｎ・ｓｉｎθ（すなわち
照明光の開口数ＮＡ）が１．０を越える場合でも暗視野
照明を行うことが可能となる。
面に基づいて説明する。本発明の第１実施例を図２に示
す。暗視野照明用の円環状（いわゆるドーナツ状）の反
射鏡を液侵用のオイル内に入れている。オイルは例えば
ｄ線（λ＝５８７．９ｎｍ）に対する屈折率ｎが１．５
１５，アッベ数が４１のものを使用する。かかる反射鏡
を使用しているため、対物レンズの光軸と照明光の光軸
のなす角度をθとした場合に、ｎ・ｓｉｎθ（すなわち
照明光の開口数ＮＡ）が１．０を越える場合でも暗視野
照明を行うことが可能となる。
【００１１】本発明の第２実施例を図３に示す。上記第
１実施例では、液侵用のオイルの液面が振動などにより
乱れた場合に、かかる乱れに応じて照明光が揺らぐこと
となる。従って、高ＮＡな暗視野照明を液侵系で行うこ
とはできても、良好な観察を行い難い場合もある。第２
実施例はかかる点に鑑みてなされたものである。
１実施例では、液侵用のオイルの液面が振動などにより
乱れた場合に、かかる乱れに応じて照明光が揺らぐこと
となる。従って、高ＮＡな暗視野照明を液侵系で行うこ
とはできても、良好な観察を行い難い場合もある。第２
実施例はかかる点に鑑みてなされたものである。
【００１２】第２実施例では、円環状のプリズムまたは
レンズをオイルに接して配置している。かかる構成によ
り、オイル液面の乱れ（揺らぎ）に依存しない良好な暗
視野照明を行うことが出来る。
レンズをオイルに接して配置している。かかる構成によ
り、オイル液面の乱れ（揺らぎ）に依存しない良好な暗
視野照明を行うことが出来る。
【００１３】また、開口数ＮＡの大きな暗視野照明で
は、角度θが大きいので、物体に対して斜め方向から照
明することとなる。このため、物体面における照明光束
の径（すなわち照明される領域）が大きくなりすぎるの
で、物体以外の領域も照明してしまうこととなり、照明
光を有効に使用出来ない場合もある。このため、図３の
プリズム等の照明光が透過または反射する面の少なくと
も１面に曲率を持たせて、照明光を収束させることも可
能である。
は、角度θが大きいので、物体に対して斜め方向から照
明することとなる。このため、物体面における照明光束
の径（すなわち照明される領域）が大きくなりすぎるの
で、物体以外の領域も照明してしまうこととなり、照明
光を有効に使用出来ない場合もある。このため、図３の
プリズム等の照明光が透過または反射する面の少なくと
も１面に曲率を持たせて、照明光を収束させることも可
能である。
【００１４】図４は、第２実施例の変形例であり、平面
鏡または曲面ミラーと円環形状のレンズまたはプリズム
を組み合わせたものである。かかる変形例においては、
ドーナツ状のプリズム等の面に曲率を持たせなくとも、
曲率ミラーで照明光を物体上の必要な領域に集光させる
ことが可能である。
鏡または曲面ミラーと円環形状のレンズまたはプリズム
を組み合わせたものである。かかる変形例においては、
ドーナツ状のプリズム等の面に曲率を持たせなくとも、
曲率ミラーで照明光を物体上の必要な領域に集光させる
ことが可能である。
【００１５】さらに、プリズムなどは、必ずしも、円環
形状である必要はなく、円周上に所定間隔で離隔的に配
置される複数のプリズム等であってもよい。
形状である必要はなく、円周上に所定間隔で離隔的に配
置される複数のプリズム等であってもよい。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、物体側開口数ＮＡが
０．９５を越えるような高ＮＡ液侵系対物レンズで暗視
野落射照明による良好な観察が可能となる。また、液侵
用のオイルなどの媒質の乱れ（揺らぎ）に影響されない
暗視野観察も行うことが出来る。さらに、高開口数ＮＡ
な照明光を物体に対して有効に集光させることができる
ので、効率のよい照明で暗視野照明観察が可能である。
０．９５を越えるような高ＮＡ液侵系対物レンズで暗視
野落射照明による良好な観察が可能となる。また、液侵
用のオイルなどの媒質の乱れ（揺らぎ）に影響されない
暗視野観察も行うことが出来る。さらに、高開口数ＮＡ
な照明光を物体に対して有効に集光させることができる
ので、効率のよい照明で暗視野照明観察が可能である。
【図１】液侵系における暗視野照明を説明する図であ
る。
る。
【図２】本発明の第１実施例である光学系を示す図であ
る。
る。
【図３】本発明の第２実施例である光学系を示す図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２実施例の変形例である光学系を示
す図である。
す図である。
ＯＢＪ 物体 Ｐ プリズム ＩＬ 照明光 Ｏ 液侵用オイル Ｍ ミラー
Claims (4)
- 【請求項１】 媒質中に侵された物体を観察するための
落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズにおいて、 前記対物レンズは、０．９５よりも大きな物体側開口数
を有し、 前記対物レンズの光路の外側から前記物体を照明するた
めに、少なくとも前記媒質に接して配置されて前記物体
へ照明光を導く暗視野照明用光学部材を有することを特
徴とする落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ。 - 【請求項２】 前記暗視野照明用光学部材は円環形状の
光学部材であることを特徴とする請求項１に記載の落射
照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ。 - 【請求項３】 前記暗視野照明用光学部材は所定角度間
隔をもって同一円周上に離隔的に配置されている複数の
光学部材を有することを特徴とする請求項１に記載の落
射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ。 - 【請求項４】 前記暗視野照明用光学部材の少なくとも
一面は曲率を有することを特徴とする請求項１乃至３の
いずれか１項に記載の落射照明用の液侵系暗視野照明対
物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9042887A JPH10227980A (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | 落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9042887A JPH10227980A (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | 落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10227980A true JPH10227980A (ja) | 1998-08-25 |
Family
ID=12648555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9042887A Withdrawn JPH10227980A (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | 落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10227980A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486807B1 (ko) * | 2001-04-06 | 2005-05-03 | 샤프 가부시키가이샤 | 대물 렌즈, 그 제조 오차의 보정 방법 및 그 대물 렌즈를이용한 광 픽업 장치 |
-
1997
- 1997-02-13 JP JP9042887A patent/JPH10227980A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486807B1 (ko) * | 2001-04-06 | 2005-05-03 | 샤프 가부시키가이샤 | 대물 렌즈, 그 제조 오차의 보정 방법 및 그 대물 렌즈를이용한 광 픽업 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3563800B2 (ja) | 観察光学装置 | |
| EP1941313B1 (en) | An optical system for illumination of an evanescent field | |
| KR20070039169A (ko) | 마이너스 굴절을 나타내는 매질로 형성된 광학 소자를구비한 광학 장치 | |
| WO1999049346A8 (en) | High na system for multiple mode imaging | |
| US5859727A (en) | Objective unit | |
| US4386828A (en) | Telecentric illumination system | |
| JP2000019412A (ja) | 暗視野照明装置および暗視野照明方法 | |
| JP5039307B2 (ja) | 対物レンズおよび顕微鏡 | |
| JP2002365555A (ja) | 顕微鏡用照明光学系 | |
| US5657166A (en) | Condenser lens system for use in a microscope | |
| US7430075B2 (en) | Condenser arrangement for brightfield illumination and/or darkfield illumination for optical microscopes | |
| US4232937A (en) | Bright field-dark field illumination system | |
| JPH10227980A (ja) | 落射照明用の液侵系暗視野照明対物レンズ | |
| CA1073714A (en) | Illumination system for vertical fluorescent microscopy | |
| US5636058A (en) | Microscope objective lens and microscope using the same | |
| JP2010257585A (ja) | 照明装置及びこの照明装置を備えた光学装置 | |
| JP2002031762A (ja) | 顕微鏡用照明装置 | |
| JP3511690B2 (ja) | テレセントリック照明光学装置 | |
| US2785604A (en) | Microscope objective with two spherical reflecting surfaces | |
| JP2004229963A (ja) | 走査型光学系 | |
| JP3181943B2 (ja) | 対物レンズ | |
| JP2004133341A (ja) | ズーム対物レンズ | |
| JPS60217325A (ja) | エピダ−ク用対物レンズ | |
| JP3321870B2 (ja) | 液浸用コンデンサーレンズ | |
| JPH0241603Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040511 |