JPH10221660A - Wavelength selection filter and resonance wavelength selection control method used for the filter - Google Patents

Wavelength selection filter and resonance wavelength selection control method used for the filter

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JPH10221660A
JPH10221660A JP2084897A JP2084897A JPH10221660A JP H10221660 A JPH10221660 A JP H10221660A JP 2084897 A JP2084897 A JP 2084897A JP 2084897 A JP2084897 A JP 2084897A JP H10221660 A JPH10221660 A JP H10221660A
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JP
Japan
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resonance
wavelength selection
fabry
wavelength
capacitance
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Withdrawn
Application number
JP2084897A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeo Yago
栄郎 矢後
Atsushi Nakada
敦 中田
Yasutaka Hasegawa
靖高 長谷川
Takashi Kurokawa
隆志 黒川
Tetsuo Yoshizawa
鐵夫 吉澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Yazaki Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Yazaki Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wavelength selection filter capable of attaining the temp. stabilization of a resonance wavelength in a Fabry-perot etalon type resonator without correctly maintaining a parallel flat plate structure in an etalon structure with an optical accuracy with respect to a temp. change, and to provide a resonance wavelength selection control method used for the filter. SOLUTION: A driving means 30(40) for executing a control holding a resonance wavelength λ1 constantly by impressing a wavelength selection voltage holding the capacitance of a Fabry-perot etalon type resonator 20 constantly on an etalon medium 208 interposed between electrodes for controlling a refractive index is provided and at the time of the capacitance of the resonator 20 is fluctuated, a resonance wavelength selection process executing a control holding the resonance wavelength λ1 constantly by selecting an impression voltage in an inductive resonance area in the resonance characteristic of an electric resonance system and by impressing it as a wavelength selection voltage on the medium is executed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学装置及びその
調整方法に関し、特に、入射された光信号の中から所望
の波長の光信号を選択的に出射できる分光機能を有する
波長選択フィルタ、及びこれに用いられる共振波長選択
制御方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical device and a method for adjusting the same, and more particularly, to a wavelength selection filter having a spectral function capable of selectively emitting an optical signal of a desired wavelength from incident optical signals, and The present invention relates to a resonance wavelength selection control method used for this.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は、従来の波長選択フィルタを説明
するための配置図である。従来この種の波長選択フィル
タ9は、エタロン媒質にTN(TwistedNema
tic)配向構造の液晶材料を用いたファブリ・ペロー
・エタロン型共振器3と入射側光ファイバ4Aと出射側
光ファイバ4Bとを有していた。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a layout diagram for explaining a conventional wavelength selection filter. Conventionally, this type of wavelength selection filter 9 has a TN (Twisted Nema) in the etalon medium.
tic) It had a Fabry-Perot etalon resonator 3 using a liquid crystal material having an alignment structure, an incident side optical fiber 4A, and an outgoing side optical fiber 4B.

【0003】ファブリ・ペロー・エタロン型共振器3
は、図7に示すように、ITO透明電極B、誘電体多層
反射膜C、及びラビング処理されたポリイミド配向膜D
がこの順番で一対の透明基板A,Aの各々の上に形成さ
れ、更に、この一対の透明基板A,Aが球形状のスペー
サF,F(球直径=約10[μm])を介して光学的精
度で正確に平行平板に配置されることに依り、共振長
(光路長nd1)を有するエタロン構造を実現してい
た。
[0003] Fabry-Perot etalon resonator 3
Is, as shown in FIG. 7, an ITO transparent electrode B, a dielectric multilayer reflective film C, and a rubbed polyimide alignment film D.
Are formed on each of the pair of transparent substrates A, A in this order, and the pair of transparent substrates A, A are further interposed via spherical spacers F, F (sphere diameter = about 10 [μm]). An etalon structure having a resonance length (optical path length nd1) has been realized by being accurately arranged on a parallel plate with optical precision.

【0004】また、透明基板Aと入射側光ファイバ4A
との界面、及び透明基板Aと出射側光ファイバ4Bとの
界面には、各々ARコート膜(反射防止膜)Eが設けら
れていた。またラビング処理が行われたポリイミド(P
I)配向膜D,Dの間には、ポリイミド配向膜D,D間
でねじり角ψが光学的精度で正確に90度に配向された
状態のTN液晶Gが複屈折性エタロン媒質として注入さ
れていた。
A transparent substrate A and an incident side optical fiber 4A
And an interface between the transparent substrate A and the emission side optical fiber 4B, an AR coat film (antireflection film) E was provided. The rubbed polyimide (P
I) Between the alignment films D, D, a TN liquid crystal G in which the twist angle ψ between the polyimide alignment films D, D is precisely 90 degrees with optical precision is injected as a birefringent etalon medium. I was

【0005】また入射側光ファイバ4Aは、光信号(図
7中の入射光1、波長λ)を伝播すると共に、ファブリ
・ペロー・エタロン型共振器3に共振器3の入射面に垂
直な中心軸に沿って(則ち、光学的精度で正確に中心軸
と平行に)光信号(入射光1)を入射するように配置さ
れていた。
The incident side optical fiber 4A propagates an optical signal (incident light 1, wavelength λ in FIG. 7) and has a center in the Fabry-Perot etalon type resonator 3 perpendicular to the plane of incidence of the resonator 3. The optical signal (incident light 1) was arranged to be incident along the axis (that is, precisely parallel to the central axis with optical precision).

【0006】また出射側光ファイバ4Bは、ファブリ・
ペロー・エタロン型共振器3から出射面(入射面と光学
的精度で正確に平行に成っている出射面)に垂直な中心
軸に沿って(則ち、光学的精度で正確に中心軸と平行
に)出射される光信号(図中の出射光2、共振波長λ1
(単位は[μm]))を受信すると共に、受信した光信
号(出射光2)を伝播するように配置されていた。
The output side optical fiber 4B is made of
Along the central axis perpendicular to the exit plane (the exit plane that is exactly parallel to the entrance plane with optical precision) from the Perot etalon resonator 3 (that is, exactly parallel to the central axis with the optical precision) Outgoing light signal (outgoing light 2 in the figure, resonance wavelength λ1)
(Unit: [μm])), and was arranged to propagate the received optical signal (outgoing light 2).

【0007】このような構成を有する波長選択フィルタ
9は、TN液晶材料の屈折率をドライバHを用いて制御
して誘電体反射膜C,C間の共振長(屈折率と波長に依
って決定される光路長)を選択することに依り、入射側
光ファイバ4Aから垂直に入射された光信号(入射光
1)の中から所定の共振波長λ1の光信号を選択的に出
射側光ファイバに出射する共振波長選択制御方法が用い
られていた。
The wavelength selection filter 9 having such a configuration controls the refractive index of the TN liquid crystal material by using a driver H to control the resonance length between the dielectric reflection films C (determined based on the refractive index and the wavelength). The optical signal having a predetermined resonance wavelength λ1 is selectively transmitted from the optical signal (incident light 1) perpendicularly incident from the incident side optical fiber 4A to the emitting side optical fiber by selecting the optical path length to be emitted. A method of controlling the selection of the resonance wavelength to be emitted has been used.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】このような構造の波長
選択フィルタ9、及びこれに用いられる共振波長選択制
御方法では、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器3の
光路Aにおける共振波長λ1の温度安定化を図るために
は、図7に示すエタロン構造における平行平板構造を温
度変化に対して光学的精度で正確に維持することが要求
される。
In the wavelength selection filter 9 having such a structure and the resonance wavelength selection control method used in the filter, the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the optical path A of the Fabry-Perot etalon resonator 3 is performed. In order to achieve this, it is required that the parallel plate structure in the etalon structure shown in FIG. 7 be accurately maintained with optical precision against a temperature change.

【0009】則ち、エタロン構造における複屈折性エタ
ロン媒質GやスペーサF等の熱膨張や熱収縮、又はこの
ような熱膨張や熱収縮に起因する誘電体反射膜C,C間
の共振長(則ち、共振長(光路長nd1))の変化(則
ち、熱膨張や熱収縮)を補償することが要求される。
That is, the thermal expansion and thermal contraction of the birefringent etalon medium G and the spacer F in the etalon structure, or the resonance length between the dielectric reflective films C and C caused by such thermal expansion and thermal contraction ( That is, it is required to compensate for a change in the resonance length (optical path length nd1) (that is, thermal expansion or thermal contraction).

【0010】しかしながら、このような従来の波長選択
フィルタ9、及びこれに用いられる共振波長選択制御方
法では、複屈折性エタロン媒質GやスペーサF等の熱膨
張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜C,C間の共振長
(則ち、共振長(光路長nd1))が変化(則ち、伸
縮)した場合、これらの変化に対して共振波長を補償す
る手段を有していなかったため、1つの共振波長λ1の
選択状態を安定に維持すること(則ち、共振波長の温度
安定性を維持すること)が難しいという技術的課題があ
った。
However, in such a conventional wavelength selection filter 9 and the resonance wavelength selection control method used in the conventional filter, the dielectric material is caused by thermal expansion and contraction of the birefringent etalon medium G and the spacer F. When the resonance length between the reflection films C (ie, the resonance length (optical path length nd1)) changes (ie, expands and contracts), there is no means for compensating the resonance wavelength for these changes. There is a technical problem that it is difficult to stably maintain the selected state of one resonance wavelength λ1 (that is, to maintain the temperature stability of the resonance wavelength).

【0011】更に、複屈折性エタロン媒質Gの屈折率
(則ち、常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依
存性を有することに起因して、共振長(光路長nd1)
も同様の温度依存性を持ってしまう結果、温度変化に対
して安定な波長選択特性(則ち、温度無依存性を有する
波長選択特性)を実現することが難しいという技術的課
題があった。
Further, since the refractive index of the birefringent etalon medium G (that is, the ordinary light refractive index no and the extraordinary light refractive index ne) has temperature dependence, the resonance length (optical path length nd1)
Has the same temperature dependence, and as a result, there is a technical problem that it is difficult to realize a wavelength selection characteristic stable with respect to a temperature change (that is, a wavelength selection characteristic having temperature independence).

【0012】本発明は、このような従来の問題点を解決
することを課題としており、特に、複屈折性エタロン媒
質の屈折率を電気的に制御して所定の共振波長を選択可
能なファブリ・ペロー・エタロン型共振器を有する波長
選択フィルタにおいて、ファブリ・ペロー・エタロン型
共振器の静電容量を一定に保持する波長選択電圧を屈折
率制御用の電極間のエタロン媒質に印加して共振波長を
一定に保持する制御を実行する駆動手段を設け、ファブ
リ・ペロー・エタロン型共振器の静電容量が変動した際
に、電気的共振系の共振特性における誘導性共振領域内
で印加電圧を選択して波長選択電圧として印加して共振
波長を一定に保持する制御を実行する共振波長選択工程
を実行することに依り、エタロン構造における平行平板
構造を温度変化に対して光学的精度で正確に維持するこ
と無しに、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器におけ
る共振波長の温度安定化を図ることができる波長選択フ
ィルタ、及びこれに用いられる共振波長選択制御方法を
提供することを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such a conventional problem. In particular, the present invention is intended to electrically control a refractive index of a birefringent etalon medium to select a predetermined resonance wavelength. In a wavelength selection filter having a Perot etalon resonator, a wavelength selection voltage for maintaining a constant capacitance of a Fabry-Perot etalon resonator is applied to an etalon medium between electrodes for controlling a refractive index, and a resonance wavelength is applied. A drive means for executing control to keep the voltage constant is selected, and when the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator fluctuates, the applied voltage is selected within the inductive resonance region in the resonance characteristics of the electric resonance system. The parallel plate structure in the etalon structure is subjected to the temperature change by executing the resonance wavelength selection step of controlling the resonance wavelength to be kept constant by applying it as a wavelength selection voltage. And a wavelength selection filter capable of stabilizing the temperature of a resonance wavelength in a Fabry-Perot etalon type resonator without accurately maintaining the optical accuracy with the optical precision, and a resonance wavelength selection control method used in the filter. The task is to

【0013】則ち、エタロン構造における複屈折性エタ
ロン媒質やスペーサ等の熱膨張や熱収縮、又はこのよう
な熱膨張や熱収縮に起因する誘電体反射膜間の共振長
(共振長)の変化(熱膨張や熱収縮)を補償できるよう
になり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器における
共振波長の温度安定化を図ることができる波長選択フィ
ルタ、及びこれに用いられる共振波長選択制御方法を提
供することを課題とする。
That is, the thermal expansion and thermal contraction of the birefringent etalon medium and the spacer in the etalon structure, or the change of the resonance length (resonance length) between the dielectric reflective films due to such thermal expansion and thermal contraction. (Thermal expansion and thermal contraction) can be compensated, and a wavelength selection filter capable of stabilizing the temperature of a resonance wavelength in a Fabry-Perot etalon resonator and a resonance wavelength selection control method used for the filter are provided. The task is to

【0014】具体的には、複屈折性エタロン媒質やスペ
ーサ等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜間の
共振長(則ち、共振長)が変化(則ち、伸縮)した場
合、これらの変化に対して共振波長を補償する駆動手段
及び共振波長選択工程を設けることに依り、1つの共振
波長の選択状態を安定に維持すること(共振波長の温度
安定性を維持すること)ができる波長選択フィルタ、及
びこれに用いられる共振波長選択制御方法を提供するこ
とを課題とする。
More specifically, the resonance length (ie, resonance length) between the dielectric reflective films changes (ie, expansion and contraction) due to thermal expansion and contraction of the birefringent etalon medium, spacers, and the like. In this case, by providing a drive unit and a resonance wavelength selection step for compensating the resonance wavelength for these changes, it is possible to stably maintain the selected state of one resonance wavelength (maintain the temperature stability of the resonance wavelength). And a resonance wavelength selection control method used for the wavelength selection filter.

【0015】更に、複屈折性エタロン媒質の屈折率(常
光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性を有す
ることに起因して、共振長(共振長)が同様の温度依存
性を持つ場合であっても、温度変化に対して安定な波長
選択特性(温度無依存性を有する波長選択特性)を実現
できる波長選択フィルタ、及びこれに用いられる共振波
長選択制御方法を提供することを課題とする。
Further, the resonance length (resonance length) of the birefringent etalon medium has the same temperature dependence due to the temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne) of the birefringent etalon medium. Provided is a wavelength selection filter capable of realizing a wavelength selection characteristic (wavelength selection characteristic having temperature independence) that is stable against temperature changes even when it has a filter, and a resonance wavelength selection control method used for the filter. Make it an issue.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、複屈折性エタロン媒質208の屈折率を電気的に制
御して所定の共振波長λ1を選択可能なファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20を有する波長選択フィルタに
おいて、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20の静
電容量を一定に保持する波長選択電圧を屈折率制御用の
電極間のエタロン媒質208に印加して共振波長λ1を
一定に保持する制御を実行する駆動手段30(40)を
有する、ことを特徴とする波長選択フィルタ10であ
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a Fabry-Perot etalon type resonance apparatus capable of electrically controlling a refractive index of a birefringent etalon medium 208 to select a predetermined resonance wavelength λ1. In the wavelength selection filter having the device 20, a wavelength selection voltage for keeping the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant is applied to the etalon medium 208 between the electrodes for controlling the refractive index to thereby set the resonance wavelength λ1. The wavelength selection filter 10 includes a driving unit 30 (40) for executing control for keeping the wavelength selection filter constant.

【0017】請求項1に記載の発明に依れば、このよう
な駆動手段30(40)を設けることに依り、エタロン
構造における平行平板構造を温度変化に対して光学的精
度で正確に維持すること無しに、ファブリ・ペロー・エ
タロン型共振器20における共振波長λ1の温度安定化
を図ることができる効果を奏する。
According to the first aspect of the present invention, by providing such a driving means 30 (40), the parallel plate structure in the etalon structure is accurately maintained with optical accuracy against a temperature change. Without this, there is an effect that the temperature of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be stabilized.

【0018】則ち、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20の静電容量を一定に保持するように波長選択電圧
を制御することに依り、エタロン構造における複屈折性
エタロン媒質208やスペーサ207等の熱膨張や熱収
縮、又はこのような熱膨張や熱収縮に起因する誘電体反
射膜205間の共振長(光路長nd1)の変化(熱膨張
や熱収縮)を補償できるようになり、ファブリ・ペロー
・エタロン型共振器20における共振波長λ1の温度安
定化を図ることができる効果を奏する。
That is, by controlling the wavelength selection voltage so as to keep the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant, the birefringent etalon medium 208 and the spacer 207 in the etalon structure are controlled. It is possible to compensate for thermal expansion or thermal contraction or a change (thermal expansion or thermal contraction) in the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films 205 due to such thermal expansion or thermal contraction. There is an effect that the temperature of the resonance wavelength λ1 in the Perot etalon type resonator 20 can be stabilized.

【0019】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1を補償するように波長選択電圧を制
御することに依り、1つの共振波長λ1の選択状態を安
定に維持すること(共振波長λ1の温度安定性を維持す
ること)ができる効果を奏する。
Specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
1)) changes (that is, expands or contracts), and the selection state of one resonance wavelength λ1 is stably maintained by controlling the wavelength selection voltage so as to compensate the resonance wavelength λ1 for these changes. (Maintaining the temperature stability of the resonance wavelength λ1).

【0020】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の静電容量を一定に保持する
ように波長選択電圧を制御することに依り、温度変化に
対して安定な波長選択特性(温度無依存性を有する波長
選択特性)を実現できる効果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium 208 has a temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even in the case of having a characteristic, by controlling the wavelength selection voltage so as to keep the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant, the wavelength selection characteristic ( This has the effect of realizing a wavelength selection characteristic having temperature independence.

【0021】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の波長選択フィルタ10において、前記駆動手段30
は、前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20に接
続された状態で、当該ファブリ・ペロー・エタロン型共
振器20の抵抗及び前記静電容量と共に電気的共振系を
形成する誘導性素子306と、前記静電容量が変動した
際に、前記電気的共振系の共振特性に応じた印加電圧を
前記波長選択電圧として印加するための交流電源302
とを有する、ことを特徴とする波長選択フィルタ10で
ある。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the wavelength selecting filter according to the first aspect, wherein the driving means includes:
Is connected to the Fabry-Perot etalon resonator 20 and forms an electric resonance system together with the resistance and the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20; An AC power supply 302 for applying an applied voltage according to the resonance characteristic of the electric resonance system as the wavelength selection voltage when the capacitance fluctuates;
And a wavelength selection filter 10 having the following.

【0022】請求項2に記載の発明に依れば、請求項1
に記載の効果に加えて、このような誘導性素子306を
駆動手段30(40)に設けることに依り、エタロン構
造における平行平板構造を温度変化に対して光学的精度
で正確に維持すること無しに、ファブリ・ペロー・エタ
ロン型共振器20における共振波長λ1の温度安定化を
簡便な回路構成で実現することができる効果を奏する。
According to the invention described in claim 2, according to claim 1,
In addition to the effects described in the above, by providing such an inductive element 306 in the driving means 30 (40), the parallel plate structure in the etalon structure is not accurately maintained with optical accuracy against a temperature change. Furthermore, there is an effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon type resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration.

【0023】則ち、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20の静電容量と誘導性素子306とに基づくファブ
リ・ペロー・エタロン型共振器20の共振特性に従っ
て、波長選択電圧の制御を実行することに依り、エタロ
ン構造における複屈折性エタロン媒質208やスペーサ
207等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱
収縮に起因する誘電体反射膜205間の共振長(光路長
nd1)の変化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で
補償できるようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型
共振器20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な
回路構成で実現することができる効果を奏する。
That is, control of the wavelength selection voltage is performed according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator 20 based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20 and the inductive element 306. , The thermal expansion and thermal contraction of the birefringent etalon medium 208 and the spacer 207 in the etalon structure, or the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films 205 due to such thermal expansion and thermal contraction. The change (thermal expansion or thermal contraction) can be compensated for with a simple circuit configuration, and the effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration is achieved. Play.

【0024】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1を補償するように波長選択電圧を簡
便な回路構成で制御できることに依り、1つの共振波長
λ1の選択状態を安定に維持すること(共振波長λ1の温
度安定性を維持すること)ができる効果を奏する。
Specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
1)) changes (that is, expands or contracts), the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for the resonance wavelength λ1 with respect to these changes. Can be stably maintained (the temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained).

【0025】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の静電容量と誘導性素子30
6とに基づくファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
の共振特性に従って、波長選択電圧を簡便な回路構成で
制御できることに依り、温度変化に対して安定な波長選
択特性(温度無依存性を有する波長選択特性)を実現で
きる効果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium 208 has a temperature-dependent refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even in the case of having the inductive property, the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 and the inductive element 30
6 and Fabry-Perot etalon resonator 20
Since the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics of (1) and (2), there is an effect that a wavelength selection characteristic (wavelength selection characteristic having temperature independence) that is stable against a temperature change can be realized.

【0026】請求項3に記載の発明は、請求項2に記載
の波長選択フィルタ10において、前記誘導性素子30
6は、前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20に
並列に接続された状態で、前記電気的共振系を構成して
いる、ことを特徴とする波長選択フィルタ10である。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the wavelength selecting filter according to the second aspect, wherein the inductive element is provided.
Numeral 6 is a wavelength selection filter 10 characterized in that it is connected to the Fabry-Perot etalon resonator 20 in parallel and constitutes the electric resonance system.

【0027】請求項3に記載の発明に依れば、請求項2
と同様の効果を奏する。請求項4に記載の発明は、請求
項1に記載の波長選択フィルタ10において、前記駆動
手段40は、前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器
20に接続された状態で、当該ファブリ・ペロー・エタ
ロン型共振器20の前記抵抗及び前記静電容量と共に前
記電気的共振系を形成するキャパシタンスを変更可能な
可変容量性素子404と、前記ファブリ・ペロー・エタ
ロン型共振器20に接続された状態で、当該ファブリ・
ペロー・エタロン型共振器20の前記抵抗及び前記静電
容量と共に前記電気的共振系を形成する抵抗量を変更可
能な可変抵抗素子402と、前記ファブリ・ペロー・エ
タロン型共振器20に接続された状態で、当該ファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の抵抗及び前記静電容
量と共に前記電気的共振系を形成するインダクタンスを
変更可能な誘導性素子306と、所定のインダクタンス
を有するトランス406を介して前記電気的共振系と電
磁気的に結合され、前記静電容量が変動した際に、前記
電気的共振系の共振特性に応じた印加電圧を前記波長選
択電圧として印加するための交流電源302とを有す
る、ことを特徴とする波長選択フィルタ10である。
According to the invention of claim 3, according to claim 2,
It has the same effect as. According to a fourth aspect of the present invention, in the wavelength selective filter according to the first aspect, the driving unit is connected to the Fabry-Perot etalon type resonator 20 in a state where the Fabry-Perot etalon is connected. A variable capacitive element 404 that can change the capacitance forming the electric resonance system together with the resistance and the capacitance of the resonator 20, and connected to the Fabry-Perot etalon resonator 20, The fabric
A variable resistance element 402 that can change the amount of resistance forming the electric resonance system together with the resistance and the capacitance of the Perot etalon resonator 20 and the Fabry-Perot etalon resonator 20 are connected. In this state, the inductance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 can be changed by forming an electric resonance system together with the resistance and the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 and the transformer 406 having a predetermined inductance. An AC power supply 302 for electromagnetically coupling to the electric resonance system and applying an applied voltage according to the resonance characteristic of the electric resonance system as the wavelength selection voltage when the capacitance fluctuates. A wavelength selection filter 10 characterized by having:

【0028】請求項4に記載の発明に依れば、請求項1
に記載の効果に加えて、ファブリ・ペロー・エタロン型
共振器20の静電容量に対して可変容量性素子404と
可変抵抗素子402と誘導性素子306とを用いた簡便
な回路構成で共振特性を変更可能な電気的共振系を設け
ることに依り、エタロン構造における平行平板構造を温
度変化に対して光学的精度で正確に維持すること無し
に、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20における
共振波長λ1の温度安定化を更に簡便に実現することが
できる効果を奏する。
According to the invention described in claim 4, according to claim 1 of the present invention,
In addition to the effects described in the above, the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 are improved by using a simple circuit configuration using the variable capacitive element 404, the variable resistance element 402, and the inductive element 306 with respect to the capacitance of the resonator 20 The resonance wavelength in the Fabry-Perot etalon type resonator 20 can be obtained without providing the parallel plate structure in the etalon structure accurately with optical accuracy with respect to a temperature change by providing an electric resonance system capable of changing the resonance wavelength. This has the effect of stabilizing the temperature of λ1 more easily.

【0029】また、可変容量性素子404の静電容量値
を変更することに依り、ファブリ・ペロー・エタロン型
共振器20の静電容量を選択可能となる。また、可変抵
抗素子402の抵抗値を変更することに依り、電気的共
振系の共振せん鋭度が選択可能となる結果、印加電圧−
静電容量特性の傾きを調整できるようになる。また、印
加電圧−静電容量特性の傾きを調整できる結果、可変容
量性素子404の静電容量の精度を調整できるようにな
る。
Further, by changing the capacitance value of the variable capacitance element 404, the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 can be selected. Further, by changing the resistance value of the variable resistance element 402, the resonance sharpness of the electric resonance system can be selected, and as a result, the applied voltage −
The inclination of the capacitance characteristic can be adjusted. In addition, as a result of being able to adjust the slope of the applied voltage-capacitance characteristic, it is possible to adjust the accuracy of the capacitance of the variable capacitance element 404.

【0030】また、トランス406を介して電気的共振
系と電磁気的に結合することに依り、電気的共振系の共
振特性を乱すことなく、交流電源302の印加電圧をフ
ァブリ・ペロー・エタロン型共振器20に与えることが
できるようになる。則ち、ファブリ・ペロー・エタロン
型共振器20の静電容量と可変容量性素子404と可変
抵抗素子402と誘導性素子306とに基づくファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の共振特性に従って、
波長選択電圧の制御を実行することに依り、エタロン構
造における複屈折性エタロン媒質208やスペーサ20
7等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱収縮
に起因する誘電体反射膜205間の共振長(光路長nd
1)の変化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で補償
できるようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路
構成で実現することができる効果を奏する。
Also, by applying electromagnetic coupling to the electric resonance system via the transformer 406, the voltage applied to the AC power supply 302 can be applied to the Fabry-Perot etalon type resonance without disturbing the resonance characteristics of the electric resonance system. Can be given to the vessel 20. That is, according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator 20 based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20, the variable capacitance element 404, the variable resistance element 402, and the inductive element 306,
By controlling the wavelength selection voltage, the birefringent etalon medium 208 and the spacer 20 in the etalon structure are controlled.
7 or a resonance length (optical path length nd) between the dielectric reflection films 205 due to such thermal expansion or thermal contraction.
1) (thermal expansion and thermal contraction) can be compensated for with a simple circuit configuration, and the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration. The effect that can be performed.

【0031】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1を補償するように波長選択電圧を簡
便な回路構成で制御できることに依り、1つの共振波長
λ1の選択状態を安定に維持すること(共振波長λ1の温
度安定性を維持すること)ができる効果を奏する。
Specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
1)) changes (that is, expands or contracts), the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for the resonance wavelength λ1 with respect to these changes. Can be stably maintained (the temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained).

【0032】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の静電容量と可変容量性素子
404と可変抵抗素子402と誘導性素子306とに基
づくファブリ・ペロー・エタロン型共振器20の共振特
性に従って、波長選択電圧を簡便な回路構成で制御でき
ることに依り、温度変化に対して安定な波長選択特性
(温度無依存性を有する波長選択特性)を実現できる効
果を奏する。
Further, the birefringent etalon medium 208 has a temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), so that the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even when the resonator has a characteristic, the Fabry-Perot etalon resonator 20 based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20, the variable capacitance element 404, the variable resistance element 402, and the inductive element 306 is used. Since the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics of (1) and (2), there is an effect that a wavelength selection characteristic (wavelength selection characteristic having temperature independence) that is stable against a temperature change can be realized.

【0033】請求項5に記載の発明は、請求項4に記載
の波長選択フィルタ10において、前記可変容量性素子
404は、前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器2
0に並列に接続された状態で、前記電気的共振系を形成
する、ことを特徴とする波長選択フィルタ10である。
According to a fifth aspect of the present invention, in the wavelength selective filter according to the fourth aspect, the variable capacitive element 404 includes the Fabry-Perot etalon type resonator 2.
The wavelength selection filter 10 is characterized in that the electrical resonance system is formed in a state where the wavelength selection filter is connected in parallel with the zero.

【0034】請求項5に記載の発明に依れば、請求項4
に記載の効果に加えて、可変容量性素子404の静電容
量値を変更することに依り、ファブリ・ペロー・エタロ
ン型共振器20の静電容量を選択可能となる。請求項6
に記載の発明は、請求項4又は5に記載の波長選択フィ
ルタ10において、前記可変抵抗素子402は、前記フ
ァブリ・ペロー・エタロン型共振器20に並列に接続さ
れた状態で、前記電気的共振系を形成する、ことを特徴
とする波長選択フィルタ10である。
According to the invention described in claim 5, according to claim 4,
In addition to the effects described in the above, the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be selected by changing the capacitance of the variable capacitive element 404. Claim 6
In the wavelength selection filter 10 according to the fourth or fifth aspect, the variable resistance element 402 is connected to the Fabry-Perot etalon type resonator 20 in parallel with the electric resonance element. A wavelength selection filter 10 which forms a system.

【0035】請求項6に記載の発明に依れば、請求項4
又は5に記載の効果に加えて、可変抵抗素子402の抵
抗値を変更することに依り、電気的共振系の共振せん鋭
度が選択可能となる結果、印加電圧−静電容量特性の傾
きを調整できるようになる。また、印加電圧−静電容量
特性の傾きを調整できる結果、可変容量性素子404の
静電容量の精度を調整できるようになる。
According to the invention described in claim 6, according to claim 4,
Or, in addition to the effect described in 5, the resonance sharpness of the electric resonance system can be selected by changing the resistance value of the variable resistance element 402. As a result, the slope of the applied voltage-capacitance characteristic is reduced. Be able to adjust. In addition, as a result of being able to adjust the slope of the applied voltage-capacitance characteristic, it is possible to adjust the accuracy of the capacitance of the variable capacitance element 404.

【0036】請求項7に記載の発明は、請求項4乃至6
に記載の波長選択フィルタ10において、前記誘導性素
子306は、前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器
20に並列に接続された状態で、前記電気的共振系を形
成する、ことを特徴とする波長選択フィルタ10であ
る。
The invention according to claim 7 is the invention according to claims 4 to 6
, The inductive element 306 forms the electrical resonance system in a state where the inductive element 306 is connected in parallel to the Fabry-Perot etalon resonator 20. The selection filter 10.

【0037】請求項7に記載の発明に依れば、請求項4
乃至6に記載の効果と同様の効果を奏する。請求項8に
記載の発明は、請求項4乃至7に記載の波長選択フィル
タ10において、前記トランス406は、前記誘導性素
子306と直列に接続された状態で前記電気的共振系と
電磁気的に結合されている、ことを特徴とする波長選択
フィルタ10である。
According to the invention of claim 7, according to claim 4,
The same effects as the effects described in 1 to 6 are achieved. According to an eighth aspect of the present invention, in the wavelength selection filter according to any one of the fourth to seventh aspects, the transformer 406 is electromagnetically connected to the electrical resonance system while being connected in series with the inductive element 306. The wavelength selection filter 10 is coupled to the wavelength selection filter 10.

【0038】請求項8に記載の発明に依れば、請求項4
乃至7に記載の効果に加えて、トランス406を介して
電気的共振系と電磁気的に結合することに依り、電気的
共振系の共振特性を乱すことなく、交流電源302の印
加電圧をファブリ・ペロー・エタロン型共振器20に与
えることができるようになる。
According to the invention described in claim 8, according to claim 4,
In addition to the effects described in any one of (1) to (7), the voltage applied to the AC power supply 302 can be controlled by the electromagnetic coupling with the electric resonance system via the transformer 406 without disturbing the resonance characteristics of the electric resonance system. This can be applied to the Perot etalon type resonator 20.

【0039】請求項9に記載の発明は、請求項1乃至8
に記載の波長選択フィルタ10に用いられる共振波長選
択制御方法において、前記ファブリ・ペロー・エタロン
型共振器20の前記静電容量を一定に保持する前記波長
選択電圧を屈折率制御用の電極間のエタロン媒質208
に印加して共振波長λ1を一定に保持する制御を実行す
る共振波長選択工程を有する、ことを特徴とする波長選
択フィルタ10に用いられる共振波長選択制御方法であ
る。
The ninth aspect of the present invention is the first aspect of the present invention.
In the resonance wavelength selection control method used in the wavelength selection filter 10 according to the above, the wavelength selection voltage for keeping the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20 constant is applied between the electrodes for controlling the refractive index. Etalon medium 208
A resonance wavelength selection control method for use in the wavelength selection filter 10, comprising a resonance wavelength selection step of executing control for keeping the resonance wavelength λ1 constant by applying the control to the resonance wavelength λ1.

【0040】請求項9に記載の発明に依れば、請求項1
乃至8に記載の効果に加えて、共振波長選択工程を設け
ることに依り、エタロン構造における平行平板構造を温
度変化に対して光学的精度で正確に維持すること無し
に、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20における
共振波長λ1の温度安定化を更に簡便に実現することが
できる効果を奏する。
According to the ninth aspect of the present invention, a first aspect is provided.
In addition to the effects described in Nos. 1 to 8, the Fabry-Perot etalon type without maintaining the parallel plate structure in the etalon structure accurately with optical accuracy with respect to a temperature change by providing a resonance wavelength selecting step. There is an effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the resonator 20 can be more easily realized.

【0041】則ち、共振波長選択工程に基づくファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の共振特性に従って、
波長選択電圧の制御を実行することに依り、エタロン構
造における複屈折性エタロン媒質208やスペーサ20
7等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱収縮
に起因する誘電体反射膜205間の共振長(光路長nd
1)の変化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で補償
できるようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路
構成で実現することができる効果を奏する。
That is, according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 based on the resonance wavelength selecting step,
By controlling the wavelength selection voltage, the birefringent etalon medium 208 and the spacer 20 in the etalon structure are controlled.
7 or a resonance length (optical path length nd) between the dielectric reflection films 205 due to such thermal expansion or thermal contraction.
1) (thermal expansion and thermal contraction) can be compensated for with a simple circuit configuration, and the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration. The effect that can be performed.

【0042】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1を補償するように波長選択電圧を簡
便な回路構成で制御できることに依り、1つの共振波長
λ1の選択状態を安定に維持すること(共振波長λ1の温
度安定性を維持すること)ができる効果を奏する。
Specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
1)) changes (that is, expands or contracts), the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for the resonance wavelength λ1 with respect to these changes. Can be stably maintained (the temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained).

【0043】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、共振波長選択工
程に基づく共振特性に従って、波長選択電圧を簡便な回
路構成で制御できることに依り、温度変化に対して安定
な波長選択特性(温度無依存性を有する波長選択特性)
を実現できる効果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium 208 has temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even if it has a characteristic, the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics based on the resonance wavelength selection step, so that the wavelength selection characteristics (which have temperature independence Wavelength selection characteristics)
Is achieved.

【0044】請求項10に記載の発明は、請求項9に記
載の共振波長選択制御方法において、前記静電容量が変
動した際に、前記電気的共振系の共振特性における誘導
性共振領域内で前記印加電圧を選択して前記波長選択電
圧として印加して共振波長λ1を一定に保持する制御を
実行する共振波長選択工程を有する、ことを特徴とする
共振波長選択制御方法である。
According to a tenth aspect of the present invention, in the resonance wavelength selection control method according to the ninth aspect, when the capacitance fluctuates, the resonance wavelength falls within an inductive resonance region in a resonance characteristic of the electric resonance system. A resonance wavelength selecting step of performing a control of selecting the applied voltage and applying the selected voltage as the wavelength selection voltage to keep the resonance wavelength λ1 constant.

【0045】請求項10に記載の発明に依れば、請求項
9に記載の効果に加えて、電気的共振系の共振特性にお
ける誘導性共振領域内で共振波長選択工程を実行するこ
とに依り、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20の
静電容量の変化に対して印加電圧を用いたネガティブフ
ィードバック効果が得られる結果、エタロン構造におけ
る平行平板構造を温度変化に対して光学的精度で正確に
維持すること無しに、ファブリ・ペロー・エタロン型共
振器20における共振波長λ1の温度安定化を更に簡便
に実現することができる効果を奏する。
According to the tenth aspect of the present invention, in addition to the effect of the ninth aspect, it is possible to execute the resonance wavelength selecting step in the inductive resonance region in the resonance characteristics of the electric resonance system. As a result, a negative feedback effect using an applied voltage is obtained with respect to a change in capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20. As a result, the parallel plate structure in the etalon structure can be accurately adjusted with optical accuracy with respect to a temperature change. There is an effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized more easily without maintaining the temperature.

【0046】則ち、共振波長選択工程に基づくファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の誘導性共振領域内に
おける共振特性に従って、波長選択電圧のネガティブフ
ィードバック制御を実行することに依り、エタロン構造
における複屈折性エタロン媒質208やスペーサ207
等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱収縮に
起因する誘電体反射膜205間の共振長(光路長nd
1)の変化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で補償
できるようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路
構成で実現することができる効果を奏する。
In other words, by performing negative feedback control of the wavelength selection voltage in accordance with the resonance characteristics in the inductive resonance region of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 based on the resonance wavelength selection step, the etalon structure has multiple Refractive etalon medium 208 and spacer 207
Or the thermal expansion or contraction of the dielectric reflection film 205 due to such thermal expansion or contraction (optical path length nd)
1) (thermal expansion and thermal contraction) can be compensated for with a simple circuit configuration, and the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration. The effect that can be performed.

【0047】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1をネガティブフィードバック効果を
用いて補償するように波長選択電圧を簡便な回路構成で
制御できることに依り、1つの共振波長λ1の選択状態
を安定に維持すること(共振波長λ1の温度安定性を維
持すること)ができる効果を奏する。
Specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
When 1)) changes (that is, expands and contracts), the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so that the resonance wavelength λ1 can be compensated for these changes by using a negative feedback effect. This has the effect of stably maintaining the selected state of the resonance wavelength λ1 (maintaining the temperature stability of the resonance wavelength λ1).

【0048】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、電気的共振系の
誘導性共振領域内で共振波長選択工程に基づく共振特性
に従って、波長選択電圧を簡便な回路構成でネガティブ
フィードバック制御できることに依り、温度変化に対し
て更に安定な波長選択特性(温度無依存性を有する波長
選択特性)を実現できる効果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium 208 has a temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even in the case of having a characteristic, the wavelength selection voltage can be negatively controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristic based on the resonance wavelength selection step in the inductive resonance region of the electric resonance system, so that the temperature change In addition, it is possible to achieve more stable wavelength selection characteristics (wavelength selection characteristics having temperature independence).

【0049】[0049]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の各種
実施形態を説明する。図1は、本発明の波長選択フィル
タ10の基本構成を説明するための配置図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Various embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an arrangement diagram for explaining a basic configuration of a wavelength selection filter 10 of the present invention.

【0050】本波長選択フィルタ10は、入射された入
射光11aの中から所望の波長の出射光12a(単位は
[nm])を選択的に出射できる分光機能を有し、図1
に示すように、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器2
0とねじり角ψ(単位は[度又はラジアン(ra
d)])の電圧制御を行うための駆動手段30(40)
と光送信手段としての入射光側光ファイバ11と光受信
手段としての出力側光ファイバ12とを有し、複屈折性
を有する液晶材料(エタロン媒質)208の屈折率n
e,noを制御すると共に、光路Aにおけるねじり角ψ
(単位は[度(又はrad)])を制御して、入射側光
ファイバ11から垂直に入射された入射光11aの中か
ら所定の光路Aにおける共振波長λ1(単位は[n
m])の出射光12aを出力側光ファイバ12に出射す
るように構成されている。
The wavelength selection filter 10 has a spectral function of selectively emitting outgoing light 12a (unit: [nm]) having a desired wavelength from the incident light 11a.
As shown in the figure, the Fabry-Perot etalon resonator 2
0 and torsion angle ψ (unit is [degree or radian (ra
d) The driving unit 30 (40) for performing the voltage control of [1]
And an incident optical fiber 11 as an optical transmitting means and an output optical fiber 12 as an optical receiving means, and a refractive index n of a birefringent liquid crystal material (etalon medium) 208
e, no, and the torsion angle 光 in the optical path A
(The unit is [degree (or rad)]) and the resonance wavelength λ1 (the unit is [n]) in the predetermined optical path A from the incident light 11a vertically incident from the incident side optical fiber 11.
m]) is emitted to the output-side optical fiber 12.

【0051】このような波長選択フィルタ10は、光通
信分野(特に、光ファイバ通信分野)において、波長多
重伝送システムを構成するのに有効なコンポーネントで
ある。ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20は、複
屈折性(具体的には、常光屈折率noと異常光屈折率n
e)を有するエタロン媒質208を用い、その屈折率n
e,noを連続的に電気的に制御可能な可変波長フィルタ
である。
Such a wavelength selection filter 10 is an effective component for configuring a wavelength division multiplexing transmission system in the field of optical communication (in particular, in the field of optical fiber communication). The Fabry-Perot etalon resonator 20 has a birefringence (specifically, an ordinary refractive index no and an extraordinary refractive index n).
e) using the etalon medium 208 having the refractive index n
This is a variable wavelength filter capable of continuously and electrically controlling e and no.

【0052】エタロン媒質208としては、電圧を印加
することによって屈折率が変化する材料として、液晶材
料(例えば、ホモジニアス配向を有する液晶材料である
TN液晶材料、TN:Twisted Nemati
c)や電気光学材料であるLiNbO3,PLZT等を
用いることが望ましい。
As the etalon medium 208, as a material whose refractive index changes when a voltage is applied, a liquid crystal material (for example, a TN liquid crystal material which is a liquid crystal material having a homogeneous alignment, TN: Twisted Nemati) is used.
It is desirable to use c) and electro-optical materials such as LiNbO3 and PLZT.

【0053】ここでTN配向構造とは、透明基板20
3,203間の液晶材料208の分子がそれぞれ90度
ねじれた関係(x軸方向,y軸方向)になるようにポリ
イミド配向膜206,206に表面処理を施すことによ
って、液晶セル内部の液晶分子がエタロン共振器20の
厚さ方向に一様にねじれて分布した構造である。
Here, the TN alignment structure means the transparent substrate 20
By subjecting the polyimide alignment films 206 and 206 to a surface treatment so that the molecules of the liquid crystal material 208 between the liquid crystal materials 3 and 203 are twisted by 90 degrees (x-axis direction and y-axis direction), the liquid crystal molecules inside the liquid crystal cell are formed. Are structures that are uniformly twisted and distributed in the thickness direction of the etalon resonator 20.

【0054】ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
は、図1に示すように、第1透明電極204A(又は第
2透明電極204B)(膜厚=0.5μm以下シート抵
抗数kΩ/□〜数MΩ/□)、誘電体多層反射膜205
(具体的には、反射率=80〜99.9%以上)、及び
ラビング処理されたポリイミド(PI)配向膜206
(膜厚=数μm以下)がこの順番で一対の透明基板20
3,203の各々の上に形成され、更に、この一対の透
明基板203,203がスペーサ207,207を介し
て光学的精度(具体的には、サブμm〜μmの精度)で
正確に平行平板に配置されたエタロン構造に依り、光学
的共振器20を形成する。
Fabry-Perot etalon resonator 20
As shown in FIG. 1, the first transparent electrode 204A (or the second transparent electrode 204B) (film thickness = 0.5 μm or less, sheet resistance several kΩ / □ to several MΩ / □), dielectric multilayer reflective film 205
(Specifically, the reflectance is 80 to 99.9% or more), and the rubbed polyimide (PI) alignment film 206
(Film thickness = several μm or less) in this order.
3, 203, and the pair of transparent substrates 203, 203 are formed into parallel flat plates with optical precision (specifically, sub-μm-μm precision) via spacers 207, 207. The optical resonator 20 is formed according to the etalon structure arranged in the above.

【0055】また、透明基板203と入射側光ファイバ
11との界面、及び透明基板203と出力側光ファイバ
12との界面には、各々ARコート膜(無反射コート
膜)202が設けられる。また、ラビング処理が行われ
たポリイミド配向膜206,206の間には、ポリイミ
ド配向膜206,206間で光路Aにおけるねじり角ψ
(単位は[度(又はrad)])が略90度に配向され
た状態の複屈折性を有するTN液晶208が注入されて
いる。
An AR coating film (anti-reflection coating film) 202 is provided on each of the interface between the transparent substrate 203 and the incident side optical fiber 11 and the interface between the transparent substrate 203 and the output side optical fiber 12. Further, the twist angle in the optical path A between the polyimide alignment films 206, 206 between the rubbed polyimide alignment films 206, 206 is set.
A TN liquid crystal 208 having a birefringent property in which (the unit is [degree (or rad)]) is oriented at approximately 90 degrees is injected.

【0056】このようなTN液晶を用いることにより、
高フィネス、低消費電力等の特長を有し、複屈折率を電
気的に制御できる波長選択フィルタを容易に実現できる
ようになる。駆動手段30(40)は、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の静電容量を一定に保持する
波長選択電圧を屈折率制御用の電極間のエタロン媒質2
08に印加して共振波長λ1を一定に保持する制御を実
行する機能を有する。
By using such a TN liquid crystal,
A wavelength selective filter having features such as high finesse and low power consumption and capable of electrically controlling the birefringence can be easily realized. The driving means 30 (40) applies a wavelength selection voltage for keeping the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant to the etalon medium 2 between the electrodes for controlling the refractive index.
08 to perform control to keep the resonance wavelength λ1 constant.

【0057】次に、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20の具体的な作製プロセスを説明する。ファイバを
集積化することを前提とした場合、入射側光ファイバ1
1−出力側光ファイバ12間の回折損失を低減するため
に、波長選択フィルタ10の構造には素子長が短いこと
が要求される。
Next, a specific fabrication process of the Fabry-Perot etalon resonator 20 will be described. Assuming that the fibers are integrated, the incident side optical fiber 1
In order to reduce the diffraction loss between 1 and the output side optical fiber 12, the structure of the wavelength selection filter 10 is required to have a short element length.

【0058】この透明基板203上にスパッタリング法
でSiO2を成膜し、続いて、フォトリソグラフィによ
りスペーサ207を形成する。スペーサ207のない部
分には、第1透明電極(第2透明電極)204A(又は
204B)(膜厚=0.5μm以下シート抵抗数kΩ/
□〜数MΩ/□)、誘電体多層反射膜205(膜厚=1
0μm以下)、ポリイミド(PI)配向膜206の順序
に成膜し、さらにポリイミド配向膜206の表面にラビ
ング処理を施す。このようにして作製したもの2枚を互
いに平行になるように貼り合わせ、最後に、液晶材料2
08(例えば、メルク社製)を注入して波長選択フィル
タ10を作製する。
An SiO 2 film is formed on the transparent substrate 203 by a sputtering method, and subsequently, a spacer 207 is formed by photolithography. The first transparent electrode (second transparent electrode) 204A (or 204B) (film thickness = 0.5 μm or less, sheet resistance several kΩ /
□ to several MΩ / □), dielectric multilayer reflective film 205 (film thickness = 1)
0 μm or less), a polyimide (PI) alignment film 206 is formed in this order, and a rubbing process is performed on the surface of the polyimide alignment film 206. The two pieces thus produced are bonded so as to be parallel to each other.
08 (for example, manufactured by Merck & Co.) to produce the wavelength selection filter 10.

【0059】次に、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20の動作を説明する。波長選択フィルタ10の選択
波長(則ち、光路Aにおける共振波長λ1)は、光路長
(=厚さ×屈折率)に比例するので、入射偏波の違いに
より光路長が大きく異なると、選択波長も大きく異なる
ことになる。
Next, the operation of the Fabry-Perot etalon resonator 20 will be described. The selection wavelength of the wavelength selection filter 10 (that is, the resonance wavelength λ1 in the optical path A) is proportional to the optical path length (= thickness × refractive index). Will also differ greatly.

【0060】駆動手段30(40)の電界が液晶材料2
08層に印加された場合、共振器20の内部では透明基
板203,203の表面から離れたセル中央の液晶分子
ほど、電界の影響を大きく受け、ディレクタと電界ベク
トルとの内積が大きくなるように傾く。そして厚さ方向
に一様であったねじれは、異方性の小さくなるセル中央
領域に集中する。
The electric field of the driving means 30 (40) is
When applied to the 08 layer, the liquid crystal molecules at the center of the cell farther from the surface of the transparent substrate 203 inside the resonator 20 are more affected by the electric field, and the inner product of the director and the electric field vector is increased. Lean. And the twist which was uniform in the thickness direction concentrates on the cell central region where the anisotropy becomes small.

【0061】液晶材料208層へ印加する電界をさらに
大きくすると、遷移領域が狭くなるので、異常光の感じ
る屈折率(異常光屈折率ne)を小さくでき、フィルタ
の光路Aにおける共振波長λ1が短波長側へ変化する。
以上説明したような構造と機能を有する波長選択フィル
タ10において、透過率=60〜70%、フィネス=
9.4、同調幅=14[nm](但し、印加電圧≧3.
5[Vrms])、偏波依存度=3[nm](但し、印
加電圧≧3.5[Vrms])という良好な結果が得ら
れた。
If the electric field applied to the liquid crystal material 208 layer is further increased, the transition region becomes narrower, so that the refractive index felt by extraordinary light (extraordinary refractive index ne) can be reduced, and the resonance wavelength λ1 in the optical path A of the filter becomes shorter. It changes to the wavelength side.
In the wavelength selection filter 10 having the structure and function as described above, the transmittance = 60 to 70%, the finesse =
9.4, tuning width = 14 [nm] (however, applied voltage ≧ 3.
5 [Vrms]) and the polarization dependence = 3 [nm] (provided that the applied voltage ≧ 3.5 [Vrms]).

【0062】次に、図面に基づき駆動手段30の実施形
態を説明する。図2は、図1の波長選択フィルタ10に
用いられる駆動回路の第1実施形態を説明するための回
路図である。本駆動手段30は、図2に示すように、誘
導性素子306と交流電源302とを有する。
Next, an embodiment of the driving means 30 will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a circuit diagram for explaining a first embodiment of a drive circuit used in the wavelength selection filter 10 of FIG. The driving means 30 includes an inductive element 306 and an AC power supply 302 as shown in FIG.

【0063】ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
の静電容量(単位は[pF])の電気的等価回路は、図
2に示すように、容量性素子(C[F])308と抵抗
素子(R[Ω])304との直列回路で表現することが
できる。誘導性素子(L1[H])306は、ファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の電気的等価回路に対
して並列に接続された状態で、ファブリ・ペロー・エタ
ロン型共振器20の抵抗(単位は[Ω])及び静電容量
(単位は[F])と共に電気的共振系を形成する機能を
有する。具体的には、コイルによって実現することが望
ましい。
Fabry-Perot etalon resonator 20
The electrical equivalent circuit of the capacitance (unit: [pF]) is a series circuit of a capacitive element (C [F]) 308 and a resistive element (R [Ω]) 304 as shown in FIG. Can be expressed. The inductive element (L 1 [H]) 306 is connected in parallel to the electrical equivalent circuit of the Fabry-Perot etalon resonator 20 and has a resistance (unit) of the Fabry-Perot etalon resonator 20. Has a function of forming an electrical resonance system with [Ω]) and capacitance (unit is [F]). Specifically, it is desirable to be realized by a coil.

【0064】交流電源302は、ファブリ・ペロー・エ
タロン型共振器20の静電容量が温度変化等に起因して
変動した際に、電気的共振系の共振特性に応じた印加電
圧(単位は[Vrms])を波長選択電圧として印加す
る機能を有する交流信号源である。
When the capacitance of the Fabry-Perot etalon-type resonator 20 fluctuates due to a temperature change or the like, the AC power supply 302 applies an applied voltage (unit: [ Vrms]) as a wavelength selection voltage.

【0065】交流電源402から出力された印加電圧の
波形は、具体的には、正弦波形又はパルス波形であるこ
とが望ましい。次に、図面に基づき、駆動手段30の動
作を説明する。図3は、図1の波長選択フィルタ10に
おける共振波長λ1−静電容量特性を説明するためのグ
ラフである。図4は、図1の波長選択フィルタ10にお
ける共振特性を説明するためのグラフである。図5は、
図1の波長選択フィルタ10における印加電圧−静電容
量特性を説明するためのグラフである。
Specifically, it is desirable that the waveform of the applied voltage output from AC power supply 402 be a sine waveform or a pulse waveform. Next, the operation of the driving means 30 will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a graph for explaining the resonance wavelength λ 1 -capacitance characteristic in the wavelength selection filter 10 of FIG. FIG. 4 is a graph for explaining the resonance characteristics of the wavelength selection filter 10 of FIG. FIG.
2 is a graph for explaining an applied voltage-capacitance characteristic in the wavelength selection filter 10 of FIG.

【0066】ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
の静電容量は、図3の共振特性に示すように、152
[pF]〜160[pF]の範囲において、1530
[nm]〜1560[nm]の範囲の共振波長λ1とほ
ぼ線形関数の関係にあるため、静電容量を一定値に制御
することに依って、共振波長λ1を一意的に一定値に保
持することができる。
Fabry-Perot etalon resonator 20
Has a capacitance of 152 as shown in the resonance characteristics of FIG.
1530 in the range of [pF] to 160 [pF].
Since the resonance wavelength λ1 in the range of [nm] to 1560 [nm] has a substantially linear function, the resonance wavelength λ1 is uniquely maintained at a constant value by controlling the capacitance to a constant value. be able to.

【0067】ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
に印加される印加電圧と静電容量とは、図4の印加電圧
−静電容量特性に示すように、ある静電容量で印加電圧
値がピークとなる共振特性を有する。駆動手段30は、
ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20の静電容量を
一定に保持する波長選択電圧(印加電圧)を屈折率制御
用の電極間のエタロン媒質208に印加して共振波長λ
1を一定に保持する制御を実行している。
Fabry-Perot etalon resonator 20
As shown in the applied voltage-capacitance characteristic in FIG. 4, the applied voltage and the capacitance applied to the EMI have a resonance characteristic in which the applied voltage value has a peak at a certain capacitance. The driving means 30
A wavelength selection voltage (applied voltage) for keeping the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant is applied to the etalon medium 208 between the electrodes for controlling the refractive index, and the resonance wavelength λ
The control that keeps 1 constant is executed.

【0068】具体的には、駆動手段30は、ファブリ・
ペロー・エタロン型共振器20の静電容量が温度変化等
に起因して変動した際に、電気的共振系の共振特性にお
ける誘導性共振領域内(図4において矢印で示された使
用領域を参照)で印加電圧を選択して波長選択電圧とし
て印加して共振波長λ1を一定に保持する制御を実行す
る。
Specifically, the driving means 30
When the capacitance of the Perot etalon type resonator 20 fluctuates due to a temperature change or the like, in the inductive resonance region in the resonance characteristics of the electric resonance system (see the use region indicated by an arrow in FIG. 4). The control is performed to select the applied voltage and apply it as a wavelength selection voltage to keep the resonance wavelength λ1 constant.

【0069】例えば、ファブリ・ペロー・エタロン型共
振器20の静電容量が小さくなった場合(則ち、C[p
F]がC−ΔC[pF]に減少した場合)、図4の共振
特性に示すように、駆動手段30の印加電圧はV1[V
rms](>V2[Vrms])へと増加する。印加電
圧はV1(>V2)へと増加すると、図5の印加電圧−静
電容量特性に示すように、ファブリ・ペロー・エタロン
型共振器20の静電容量が大きくなる力(則ち、ネガテ
ィブフィードバック量)が作用して元に戻る(則ち、C
−ΔCからCへと戻る)。
For example, when the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20 becomes small (that is, C [p
F] is reduced to C-ΔC [pF]), and as shown in the resonance characteristic of FIG. 4, the applied voltage of the driving means 30 is V1 [V
rms] (> V2 [Vrms]). When the applied voltage increases to V1 (> V2), as shown in the applied voltage-capacitance characteristics in FIG. 5, a force (that is, a negative force) at which the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 increases. (The amount of feedback) acts to return to the original state (that is, C
-Return from C to C).

【0070】同様の主旨で、ファブリ・ペロー・エタロ
ン型共振器20の静電容量が大きくなった場合(則ち、
CがC+ΔC[pF]に増加した場合)、図4の共振特
性に示すように、駆動手段30の印加電圧はV2(>V
1)へと減少する。印加電圧はV2へと減少すると、図5
の印加電圧−静電容量特性に示すように、ファブリ・ペ
ロー・エタロン型共振器20の静電容量が小さくなる力
(則ち、ネガティブフィードバック量)が作用して元に
戻る(則ち、C+ΔCからCへと戻る)。
For the same reason, when the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 is increased (that is,
When C is increased to C + ΔC [pF]), the applied voltage of the driving means 30 is V2 (> V
Decreases to 1). As the applied voltage decreases to V2, FIG.
As shown in the applied voltage-capacitance characteristics, a force (that is, a negative feedback amount) that reduces the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 acts to return to the original state (that is, C + ΔC). Back to C).

【0071】以上説明したように、第1実施形態の駆動
手段30に依れば、このような誘導性素子306を駆動
手段30に設けることに依り、エタロン構造における平
行平板構造を温度変化に対して光学的精度で正確に維持
すること無しに、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器
20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路構
成で実現することができる効果を奏する。
As described above, according to the driving means 30 of the first embodiment, by providing such an inductive element 306 in the driving means 30, the parallel plate structure in the etalon structure can be changed with respect to temperature change. Without maintaining the optical precision accurately, the temperature of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be stabilized with a simple circuit configuration.

【0072】則ち、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20の静電容量と誘導性素子306とに基づくファブ
リ・ペロー・エタロン型共振器20の共振特性に従っ
て、波長選択電圧の制御を実行することに依り、エタロ
ン構造における複屈折性エタロン媒質208やスペーサ
207等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱
収縮に起因する誘電体反射膜205間の共振長(光路長
nd1)の変化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で
補償できるようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型
共振器20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な
回路構成で実現することができる効果を奏する。具体的
には、複屈折性エタロン媒質208やスペーサ207等
の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜205間の
共振長(則ち、共振長(光路長nd1))が変化(則
ち、伸縮)した場合、これらの変化に対して共振波長λ
1を補償するように波長選択電圧を簡便な回路構成で制
御できることに依り、1つの共振波長λ1の選択状態を
安定に維持すること(共振波長λ1の温度安定性を維持
すること)ができる効果を奏する。
That is, the control of the wavelength selection voltage is performed in accordance with the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator 20 based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20 and the inductive element 306. , The thermal expansion and thermal contraction of the birefringent etalon medium 208 and the spacer 207 in the etalon structure, or the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films 205 due to such thermal expansion and thermal contraction. The change (thermal expansion or thermal contraction) can be compensated for with a simple circuit configuration, and the effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration is achieved. Play. Specifically, the resonance length (that is, resonance length (optical path length nd1)) between the dielectric reflective films 205 changes due to thermal expansion and thermal contraction of the birefringent etalon medium 208, the spacer 207, and the like ( In other words, when it expands and contracts, the resonance wavelength λ
Depends on the fact that the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for 1 so that the selected state of one resonance wavelength λ1 can be maintained stably (temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained). To play.

【0073】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の静電容量と誘導性素子30
6とに基づくファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
の共振特性に従って、波長選択電圧を簡便な回路構成で
制御できることに依り、温度変化に対して安定な波長選
択特性(温度無依存性を有する波長選択特性)を実現で
きる効果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium 208 has a temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even in the case of having the inductive property, the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 and the inductive element 30
6 and Fabry-Perot etalon resonator 20
Since the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics of (1) and (2), there is an effect that a wavelength selection characteristic (wavelength selection characteristic having temperature independence) that is stable against a temperature change can be realized.

【0074】次に、図面に基づき波長選択フィルタ10
の第2実施形態の実施形態を説明する。図6は、本発明
の波長選択フィルタ10の第2実施形態を説明するため
の配置図である。なお、第1実施形態において既に記述
したものと同一の部分については、同一符号を付し、重
複した説明は省略する。
Next, the wavelength selection filter 10 will be described with reference to the drawings.
An embodiment of the second embodiment will be described. FIG. 6 is an arrangement diagram for explaining a second embodiment of the wavelength selection filter 10 of the present invention. Note that the same parts as those already described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0075】ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
の静電容量(単位は[pF])の電気的等価回路は、図
6に示すように、容量性素子(C[F])308と抵抗
素子(R[Ω])304との直列回路で表現することが
できる。駆動手段40は、可変容量性素子404と可変
抵抗素子402と誘導性素子306とトランス406と
交流電源302とを有する。
The Fabry-Perot etalon resonator 20
The electrical equivalent circuit of the capacitance (unit: [pF]) is a series circuit of a capacitive element (C [F]) 308 and a resistance element (R [Ω]) 304 as shown in FIG. Can be expressed. The driving means 40 has a variable capacitance element 404, a variable resistance element 402, an inductive element 306, a transformer 406, and an AC power supply 302.

【0076】図6に示す可変容量性素子404は、ファ
ブリ・ペロー・エタロン型共振器20の電気的等価回路
に対して並列に接続された状態で、ファブリ・ペロー・
エタロン型共振器20の電気的等価回路と可変抵抗素子
402と誘導性素子306と共に電気的共振系を形成す
る容量性の電子素子であって、そのキャパシタンス(静
電容量)(単位は[F])を外部から随時変更可能な構
成を有する。具体的には、コンデンサー(可変静電容量
=Cv)によって実現することが望ましい。
The variable capacitive element 404 shown in FIG. 6 is connected in parallel to the electrical equivalent circuit of the Fabry-Perot etalon resonator 20 and is connected to the Fabry-Perot etalon.
It is a capacitive electronic element that forms an electrical resonance system with the electrical equivalent circuit of the etalon-type resonator 20, the variable resistance element 402, and the inductive element 306, and its capacitance (capacitance) (unit: [F] ) Can be changed from outside at any time. Specifically, it is desirable to realize this by a capacitor (variable capacitance = Cv).

【0077】可変容量性素子404の静電容量値を変更
することに依り、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器
20の静電容量を選択可能となる。更に、後述するよう
に、可変容量性素子404の可変静電容量Cvを制御す
ることに依って、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器
20の静電容量を一定に保持する制御が可能となる。
By changing the capacitance value of the variable capacitance element 404, the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 can be selected. Further, as will be described later, by controlling the variable capacitance Cv of the variable capacitive element 404, it is possible to control to keep the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20 constant.

【0078】図6に示す可変抵抗素子402は、ファブ
リ・ペロー・エタロン型共振器20の電気的等価回路に
対して並列に接続された状態で、ファブリ・ペロー・エ
タロン型共振器20の電気的等価回路と可変容量性素子
404と誘導性素子306と共に電気的共振系を形成す
る電子素子であって、その抵抗量を外部から随時変更可
能な構成を有する。具体的には、抵抗素子(可変抵抗量
=Rv)によって実現することが望ましい。
The variable resistance element 402 shown in FIG. 6 is connected in parallel to the electrical equivalent circuit of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 and is electrically connected to the Fabry-Perot etalon type resonator 20. An electronic element that forms an electrical resonance system together with the equivalent circuit, the variable capacitive element 404, and the inductive element 306, and has a configuration in which the resistance can be changed from the outside at any time. Specifically, it is desirable to realize this using a resistive element (variable resistance = Rv).

【0079】可変抵抗素子402の抵抗値を変更するこ
とに依り、電気的共振系の共振せん鋭度が選択可能とな
る結果、印加電圧−静電容量特性の傾きを調整できるよ
うになる。また、印加電圧−静電容量特性の傾きを調整
できる結果、可変容量性素子404の静電容量の精度を
調整できるようになる。
By changing the resistance value of the variable resistance element 402, the resonance sharpness of the electric resonance system can be selected, so that the slope of the applied voltage-capacitance characteristic can be adjusted. In addition, as a result of being able to adjust the slope of the applied voltage-capacitance characteristic, it is possible to adjust the accuracy of the capacitance of the variable capacitance element 404.

【0080】更に、可変抵抗素子402の可変抵抗量R
vを制御することに依って、図4の共振特性に示す電気
的共振系の共振せん鋭度を調節することができ、その結
果、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20の静電容
量が温度変化等に対する安定性や前述のネガティブフィ
ードバック量を調整することが可能となる。
Further, the variable resistance R of the variable resistance element 402
By controlling v, the resonance sharpness of the electric resonance system shown in the resonance characteristic of FIG. 4 can be adjusted, and as a result, the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 becomes temperature-dependent. It becomes possible to adjust stability against changes and the like and the above-described amount of negative feedback.

【0081】図6に示す誘導性素子306は、ファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の電気的等価回路に対
して並列に接続された状態で、ファブリ・ペロー・エタ
ロン型共振器20の電気的等価回路と可変容量性素子4
04と可変抵抗素子402と共に電気的共振系を形成す
る誘導性の電子素子であって、そのインダクタンス(単
位は[H])を外部から随時変更可能な構成を有する。
具体的には、コイルによって実現することが望ましい。
The inductive element 306 shown in FIG. 6 is connected in parallel to an electrical equivalent circuit of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 and is electrically connected to the Fabry-Perot etalon type resonator 20. Equivalent circuit and variable capacitive element 4
This is an inductive electronic element that forms an electrical resonance system together with the variable resistance element 04 and the variable resistance element 402, and has a configuration in which its inductance (unit: [H]) can be changed from the outside at any time.
Specifically, it is desirable to be realized by a coil.

【0082】図6に示すトランス406は、所定のイン
ダクタンス(L2[H])を有し、誘導性素子306に
直列に接続されている。トランス406を介して電気的
共振系と電磁気的に結合することに依り、電気的共振系
の共振特性を乱すことなく、交流電源302の印加電圧
をファブリ・ペロー・エタロン型共振器20に与えるこ
とができるようになる。
The transformer 406 shown in FIG. 6 has a predetermined inductance (L 2 [H]), and is connected in series with the inductive element 306. Applying the voltage applied to the AC power supply 302 to the Fabry-Perot etalon type resonator 20 without disturbing the resonance characteristics of the electric resonance system by electromagnetically coupling with the electric resonance system via the transformer 406 Will be able to

【0083】交流電源302は、トランス406を介し
て電気的共振系と電磁気的に結合され、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の電気的等価回路の静電容量
が温度変化等に起因して変動した際に、電気的共振系の
共振特性に応じた印加電圧を波長選択電圧としてファブ
リ・ペロー・エタロン型共振器20の電気的等価回路に
印加するための交流信号源である。
The AC power supply 302 is electromagnetically coupled to the electric resonance system via the transformer 406, and the capacitance of the electric equivalent circuit of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 is changed due to a temperature change or the like. This is an AC signal source for applying an applied voltage according to the resonance characteristics of the electrical resonance system as a wavelength selection voltage to the electrical equivalent circuit of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 when it fluctuates.

【0084】次に、図3乃至図5に基づき、駆動手段4
0の動作を説明する。ファブリ・ペロー・エタロン型共
振器20の静電容量は、図4の共振特性に示すように、
152[pF]〜160[pF]の範囲において、15
30[nm]〜1560[nm]の範囲の共振波長λ1
とほぼ線形関数の関係にあるため、静電容量を一定値に
制御することに依って、共振波長λ1を一意的に一定値
に保持することができる。
Next, the driving means 4 will be described with reference to FIGS.
The operation of 0 will be described. The capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20 is, as shown in the resonance characteristics of FIG.
In the range of 152 [pF] to 160 [pF], 15
Resonance wavelength λ1 in the range of 30 [nm] to 1560 [nm]
, The resonance wavelength λ1 can be uniquely maintained at a constant value by controlling the capacitance to a constant value.

【0085】ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
に印加される印加電圧と静電容量とは、図5の印加電圧
−静電容量特性に示すように、ある静電容量で印加電圧
値がピークとなる共振特性を有する。駆動手段40は、
ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20の静電容量を
一定に保持する波長選択電圧(印加電圧)を屈折率制御
用の電極間のエタロン媒質208に印加して共振波長λ
1を一定に保持する制御を実行している。
Fabry-Perot etalon resonator 20
As shown in the applied voltage-capacitance characteristics in FIG. 5, the applied voltage and the capacitance applied to the IGBT have a resonance characteristic in which the applied voltage peaks at a certain capacitance. The driving means 40
A wavelength selection voltage (applied voltage) for keeping the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant is applied to the etalon medium 208 between the electrodes for controlling the refractive index, and the resonance wavelength λ
The control that keeps 1 constant is executed.

【0086】具体的には、駆動手段40においては、フ
ァブリ・ペロー・エタロン型共振器20の静電容量が温
度変化等に起因して変動した際に、可変容量性素子40
4の容量値Cvを調整することによって、電気的共振系
の共振特性における誘導性共振領域内(図4において矢
印で示された使用領域を参照)で選択された印加電圧が
波長選択電圧として印加された共振波長λ1を一定に保
持する制御が実行される。
Specifically, in the driving means 40, when the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 fluctuates due to a temperature change or the like, the variable capacitance element 40
By adjusting the capacitance value Cv of FIG. 4, the applied voltage selected within the inductive resonance region in the resonance characteristics of the electric resonance system (see the use region indicated by the arrow in FIG. 4) is applied as the wavelength selection voltage. Control is performed to keep the resonance wavelength λ1 constant.

【0087】例えば、ファブリ・ペロー・エタロン型共
振器20の静電容量が小さくなった場合(則ち、C[p
F]がC−ΔC[pF]に減少した場合)、図4の共振
特性に示すように、変容量性素子404の容量値Cvを
調整することによって、駆動手段40の印加電圧をV1
[Vrms](>V2[Vrms])へと増加させる制
御が実行される。印加電圧をV1(>V2)へと増加させ
る制御が実行されると、図5の印加電圧−静電容量特性
に示すように、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器2
0の静電容量が大きくなる力(則ち、ネガティブフィー
ドバック量)が作用して元に戻る(則ち、C−ΔCから
Cへと戻る)。
For example, when the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 becomes small (that is, C [p
F] is reduced to C-ΔC [pF]), the voltage applied to the driving means 40 is adjusted to V1 by adjusting the capacitance value Cv of the variable capacitance element 404 as shown in the resonance characteristics of FIG.
Control to increase to [Vrms] (> V2 [Vrms]) is performed. When the control for increasing the applied voltage to V1 (> V2) is executed, as shown in the applied voltage-capacitance characteristics in FIG. 5, the Fabry-Perot etalon type resonator 2
A force (that is, a negative feedback amount) at which the electrostatic capacitance of 0 increases acts to return to the original state (that is, return from C-ΔC to C).

【0088】同様の主旨で、ファブリ・ペロー・エタロ
ン型共振器20の静電容量が大きくなった場合(則ち、
CがC+ΔC[pF]に増加した場合)、図4の共振特
性に示すように、変容量性素子404の容量値Cvを調
整することによって、駆動手段40の印加電圧をV2
(>V1)へと減少させる制御が実行される。印加電圧
をV2へと減少させる制御が実行されると、図5の印加
電圧−静電容量特性に示すように、ファブリ・ペロー・
エタロン型共振器20の静電容量が小さくなる力(則
ち、ネガティブフィードバック量)が作用して元に戻る
(則ち、C+ΔCからCへと戻る)。
For the same purpose, when the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 is increased (that is,
When C increases to C + ΔC [pF]), the voltage applied to the driving means 40 is adjusted to V2 by adjusting the capacitance value Cv of the variable capacitance element 404 as shown in the resonance characteristics of FIG.
(> V1). When the control for reducing the applied voltage to V2 is executed, as shown in the applied voltage-capacitance characteristics in FIG.
A force that reduces the capacitance of the etalon-type resonator 20 (that is, the amount of negative feedback) acts to return to the original state (that is, return from C + ΔC to C).

【0089】以上説明したように、ファブリ・ペロー・
エタロン型共振器20の電気的等価回路に対して、可変
容量性素子404と可変抵抗素子402と誘導性素子3
06とを用いた簡便な回路構成で共振特性を変更可能な
電気的共振系を設けると共に、これを駆動手段40を用
いて制御することに依り、エタロン構造における平行平
板構造を温度変化に対して光学的精度で正確に維持する
こと無しに、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
における共振波長λ1の温度安定化を更に簡便に実現す
ることができる効果を奏する。
As described above, Fabry-Perot
For the electrical equivalent circuit of the etalon resonator 20, the variable capacitance element 404, the variable resistance element 402, and the inductive element 3
In addition, by providing an electric resonance system capable of changing the resonance characteristics with a simple circuit configuration using the driving circuit 40, and controlling the resonance system using the driving means 40, the parallel plate structure in the etalon structure can be changed with respect to temperature change. Without maintaining optical precision, the Fabry-Perot etalon resonator 20
In this case, the temperature of the resonance wavelength λ1 can be more easily stabilized.

【0090】また、可変容量性素子404の静電容量値
を変更することに依り、ファブリ・ペロー・エタロン型
共振器20の静電容量を選択可能となる。また、可変抵
抗素子402の抵抗値を変更することに依り、電気的共
振系の共振せん鋭度が選択可能となる結果、印加電圧−
静電容量特性の傾きを調整できるようになる。また、印
加電圧−静電容量特性の傾きを調整できる結果、可変容
量性素子404の静電容量の精度を調整できるようにな
る。
By changing the capacitance value of the variable capacitance element 404, the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 can be selected. Further, by changing the resistance value of the variable resistance element 402, the resonance sharpness of the electric resonance system can be selected, and as a result, the applied voltage −
The inclination of the capacitance characteristic can be adjusted. In addition, as a result of being able to adjust the slope of the applied voltage-capacitance characteristic, it is possible to adjust the accuracy of the capacitance of the variable capacitance element 404.

【0091】また、トランス406を介して電気的共振
系と電磁気的に結合することに依り、電気的共振系の共
振特性を乱すことなく、交流電源302の印加電圧をフ
ァブリ・ペロー・エタロン型共振器20に与えることが
できるようになる。則ち、ファブリ・ペロー・エタロン
型共振器20の静電容量と可変容量性素子404と可変
抵抗素子402と誘導性素子306とに基づくファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の共振特性に従って、
波長選択電圧の制御を実行することに依り、エタロン構
造における複屈折性エタロン媒質208やスペーサ20
7等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱収縮
に起因する誘電体反射膜205間の共振長(光路長nd
1)の変化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で補償
できるようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路
構成で実現することができる効果を奏する。
Further, by applying electromagnetic coupling to the electric resonance system via the transformer 406, the voltage applied to the AC power source 302 can be changed without disturbing the resonance characteristics of the electric resonance system by the Fabry-Perot etalon type resonance. Can be given to the vessel 20. That is, according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator 20 based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20, the variable capacitance element 404, the variable resistance element 402, and the inductive element 306,
By controlling the wavelength selection voltage, the birefringent etalon medium 208 and the spacer 20 in the etalon structure are controlled.
7 or a resonance length (optical path length nd) between the dielectric reflection films 205 due to such thermal expansion or thermal contraction.
1) (thermal expansion and thermal contraction) can be compensated for with a simple circuit configuration, and the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration. The effect that can be performed.

【0092】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1を補償するように波長選択電圧を簡
便な回路構成で制御できることに依り、1つの共振波長
λ1の選択状態を安定に維持すること(共振波長λ1の温
度安定性を維持すること)ができる効果を奏する。
Specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
1)) changes (that is, expands or contracts), the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for the resonance wavelength λ1 with respect to these changes. Can be stably maintained (the temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained).

【0093】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の静電容量と可変容量性素子
404と可変抵抗素子402と誘導性素子306とに基
づくファブリ・ペロー・エタロン型共振器20の共振特
性に従って、波長選択電圧を簡便な回路構成で制御でき
ることに依り、温度変化に対して安定な波長選択特性
(温度無依存性を有する波長選択特性)を実現できる効
果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium 208 has temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even when the resonator has a characteristic, the Fabry-Perot etalon resonator 20 based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator 20, the variable capacitance element 404, the variable resistance element 402, and the inductive element 306 is used. Since the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics of (1) and (2), there is an effect that a wavelength selection characteristic (wavelength selection characteristic having temperature independence) that is stable against a temperature change can be realized.

【0094】以上説明したように、本波長選択フィルタ
10に依れば、このような駆動手段30(40)を設け
ることに依り、エタロン構造における平行平板構造を温
度変化に対して光学的精度で正確に維持すること無し
に、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20における
共振波長λ1の温度安定化を図ることができる効果を奏
する。
As described above, according to the present wavelength selection filter 10, by providing such a driving means 30 (40), the parallel plate structure in the etalon structure can be formed with optical accuracy with respect to temperature change. There is an effect that the temperature of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be stabilized without maintaining it accurately.

【0095】則ち、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20の静電容量を一定に保持するように波長選択電圧
を制御することに依り、エタロン構造における複屈折性
エタロン媒質208やスペーサ207等の熱膨張や熱収
縮、又はこのような熱膨張や熱収縮に起因する誘電体反
射膜205間の共振長(光路長nd1)の変化(熱膨張
や熱収縮)を補償できるようになり、ファブリ・ペロー
・エタロン型共振器20における共振波長λ1の温度安
定化を図ることができる効果を奏する。
That is, by controlling the wavelength selection voltage so as to keep the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant, the birefringent etalon medium 208 and the spacer 207 in the etalon structure are controlled. It is possible to compensate for thermal expansion or thermal contraction or a change (thermal expansion or thermal contraction) in the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films 205 due to such thermal expansion or thermal contraction. There is an effect that the temperature of the resonance wavelength λ1 in the Perot etalon type resonator 20 can be stabilized.

【0096】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1を補償するように波長選択電圧を制
御することに依り、1つの共振波長λ1の選択状態を安
定に維持すること(共振波長λ1の温度安定性を維持す
ること)ができる効果を奏する。
More specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
1)) changes (that is, expands or contracts), and the selection state of one resonance wavelength λ1 is stably maintained by controlling the wavelength selection voltage so as to compensate the resonance wavelength λ1 for these changes. (Maintaining the temperature stability of the resonance wavelength λ1).

【0097】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器20の静電容量を一定に保持する
ように波長選択電圧を制御することに依り、温度変化に
対して安定な波長選択特性(温度無依存性を有する波長
選択特性)を実現できる効果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium 208 has temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even in the case of having a characteristic, by controlling the wavelength selection voltage so as to keep the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20 constant, the wavelength selection characteristic ( This has the effect of realizing a wavelength selection characteristic having temperature independence.

【0098】次に、上述した波長選択フィルタ10に用
いられる共振波長選択制御方法の実施形態を説明する。
なお、既に記述したものと同一の部分については、同一
符号を付し、重複した説明は省略する。本共振波長選択
制御方法は、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器20
の静電容量を一定に保持する波長選択電圧を屈折率制御
用の電極間のエタロン媒質208に印加して共振波長λ
1を一定に保持する制御を実行する共振波長選択工程を
有する。
Next, an embodiment of a resonance wavelength selection control method used in the above-described wavelength selection filter 10 will be described.
The same portions as those already described are denoted by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted. The present resonance wavelength selection control method uses the Fabry-Perot etalon type resonator 20.
Is applied to the etalon medium 208 between the electrodes for controlling the refractive index by applying a wavelength selection voltage for keeping the capacitance of
A resonance wavelength selecting step of executing control for keeping 1 constant.

【0099】共振波長選択工程は、静電容量が温度変化
等に起因して変動した際に、電気的共振系の共振特性に
おける誘導性共振領域内(図4参照)で印加電圧を選択
して波長選択電圧として印加して共振波長λ1を一定に
保持する制御を実行することができる。
In the resonance wavelength selection step, when the capacitance fluctuates due to a temperature change or the like, an applied voltage is selected within the inductive resonance region (see FIG. 4) in the resonance characteristics of the electric resonance system. It is possible to execute control for maintaining the resonance wavelength λ1 constant by applying the same as a wavelength selection voltage.

【0100】このような共振波長選択工程を設けること
に依り、エタロン構造における平行平板構造を温度変化
に対して光学的精度で正確に維持すること無しに、ファ
ブリ・ペロー・エタロン型共振器20における共振波長
λ1の温度安定化を更に簡便に実現することができる効
果を奏する。
By providing such a resonance wavelength selecting step, the Fabry-Perot etalon type resonator 20 can be used without maintaining the parallel plate structure in the etalon structure accurately with optical accuracy against a temperature change. This has the effect of stabilizing the temperature of the resonance wavelength λ1 more easily.

【0101】更に、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20の静電容量の変化に対して印加電圧を用いたネガ
ティブフィードバック効果が得られる結果、エタロン構
造における平行平板構造を温度変化に対して光学的精度
で正確に維持すること無しに、ファブリ・ペロー・エタ
ロン型共振器20における共振波長λ1の温度安定化を
更に簡便に実現することができる効果を奏する。
Furthermore, as a result of obtaining a negative feedback effect using an applied voltage with respect to a change in the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator 20, the parallel plate structure in the etalon structure is optically affected by a change in temperature. There is an effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon-type resonator 20 can be more easily achieved without maintaining the accuracy accurately.

【0102】則ち、共振波長選択工程に基づくファブリ
・ペロー・エタロン型共振器20の共振特性に従って、
波長選択電圧の制御を実行することに依り、エタロン構
造における複屈折性エタロン媒質208やスペーサ20
7等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱収縮
に起因する誘電体反射膜205間の共振長(光路長nd
1)の変化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で補償
できるようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器20における共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路
構成で実現することができる効果を奏する。
That is, according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator 20 based on the resonance wavelength selection step,
By controlling the wavelength selection voltage, the birefringent etalon medium 208 and the spacer 20 in the etalon structure are controlled.
7 or a resonance length (optical path length nd) between the dielectric reflection films 205 due to such thermal expansion or thermal contraction.
1) (thermal expansion and thermal contraction) can be compensated for with a simple circuit configuration, and the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator 20 can be realized with a simple circuit configuration. The effect that can be performed.

【0103】具体的には、複屈折性エタロン媒質208
やスペーサ207等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電
体反射膜205間の共振長(則ち、共振長(光路長nd
1))が変化(則ち、伸縮)した場合、これらの変化に
対して共振波長λ1を補償するように波長選択電圧を簡
便な回路構成で制御できることに依り、1つの共振波長
λ1の選択状態を安定に維持すること(共振波長λ1の温
度安定性を維持すること)ができる効果を奏する。
Specifically, the birefringent etalon medium 208
Length (that is, resonance length (optical path length nd) between dielectric reflection films 205 due to thermal expansion and thermal contraction of spacers 207 and the like.
1)) changes (that is, expands or contracts), the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for the resonance wavelength λ1 with respect to these changes. Can be stably maintained (the temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained).

【0104】更に、複屈折性エタロン媒質208の屈折
率(常光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性
を有することに起因して、共振長(光路長nd1)が同
様の温度依存性を持つ場合であっても、共振波長選択工
程に基づく共振特性に従って、波長選択電圧を簡便な回
路構成で制御できることに依り、温度変化に対して安定
な波長選択特性(温度無依存性を有する波長選択特性)
を実現できる効果を奏する。
Furthermore, the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence due to the temperature dependence of the refractive index of the birefringent etalon medium 208 (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne). Even if it has a characteristic, the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics based on the resonance wavelength selection step, so that the wavelength selection characteristics (which have temperature independence Wavelength selection characteristics)
Is achieved.

【0105】[0105]

【発明の効果】請求項1に記載の発明に依れば、このよ
うな駆動手段を設けることに依り、エタロン構造におけ
る平行平板構造を温度変化に対して光学的精度で正確に
維持すること無しに、ファブリ・ペロー・エタロン型共
振器における共振波長λ1の温度安定化を図ることがで
きる効果を奏する。
According to the first aspect of the present invention, by providing such a driving means, the parallel plate structure in the etalon structure is not accurately maintained with optical accuracy against a temperature change. In addition, there is an effect that the temperature of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator can be stabilized.

【0106】則ち、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器の静電容量を一定に保持するように波長選択電圧を制
御することに依り、エタロン構造における複屈折性エタ
ロン媒質やスペーサ等の熱膨張や熱収縮、又はこのよう
な熱膨張や熱収縮に起因する誘電体反射膜間の共振長
(光路長nd1)の変化(熱膨張や熱収縮)を補償でき
るようになり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器に
おける共振波長λ1の温度安定化を図ることができる効
果を奏する。
That is, by controlling the wavelength selection voltage so as to keep the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator constant, the thermal expansion and the expansion of the birefringent etalon medium and spacers in the etalon structure can be prevented. It is possible to compensate for thermal shrinkage or a change (thermal expansion or shrinkage) in the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films due to such thermal expansion or thermal shrinkage, and it is possible to compensate for the Fabry-Perot etalon type. This has the effect of stabilizing the temperature of the resonance wavelength λ1 in the resonator.

【0107】具体的には、複屈折性エタロン媒質やスペ
ーサ等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜間の
共振長(則ち、共振長(光路長nd1))が変化(則
ち、伸縮)した場合、これらの変化に対して共振波長λ
1を補償するように波長選択電圧を制御することに依
り、1つの共振波長λ1の選択状態を安定に維持するこ
と(共振波長λ1の温度安定性を維持すること)ができ
る効果を奏する。
Specifically, the resonance length (that is, the resonance length (optical path length nd1)) between the dielectric reflective films changes due to the thermal expansion and contraction of the birefringent etalon medium and the spacer. In other words, when it expands and contracts, the resonance wavelength λ
By controlling the wavelength selection voltage to compensate for 1, there is an effect that the selected state of one resonance wavelength λ1 can be stably maintained (temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained).

【0108】更に、複屈折性エタロン媒質の屈折率(常
光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性を有す
ることに起因して、共振長(光路長nd1)が同様の温
度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロー・エ
タロン型共振器の静電容量を一定に保持するように波長
選択電圧を制御することに依り、温度変化に対して安定
な波長選択特性(温度無依存性を有する波長選択特性)
を実現できる効果を奏する。
Furthermore, the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence due to the temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne) of the birefringent etalon medium. Even in the case of having a wavelength selection characteristic, by controlling the wavelength selection voltage so as to keep the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator constant, stable wavelength selection characteristics against temperature changes (temperatureless Dependent wavelength selection characteristics)
Is achieved.

【0109】請求項2に記載の発明に依れば、請求項1
に記載の効果に加えて、このような誘導性素子を駆動手
段に設けることに依り、エタロン構造における平行平板
構造を温度変化に対して光学的精度で正確に維持するこ
と無しに、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器におけ
る共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路構成で実現す
ることができる効果を奏する。
According to the invention described in claim 2, according to claim 1
In addition to the effects described in the above paragraph, by providing such an inductive element in the driving means, it is possible to maintain the parallel plate structure in the etalon structure accurately with optical accuracy with respect to temperature changes without using the Fabry-Perot structure. The temperature of the resonance wavelength λ1 in the etalon resonator can be stabilized with a simple circuit configuration.

【0110】則ち、ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器の静電容量と誘導性素子とに基づくファブリ・ペロー
・エタロン型共振器の共振特性に従って、波長選択電圧
の制御を実行することに依り、エタロン構造における複
屈折性エタロン媒質やスペーサ等の熱膨張や熱収縮、又
はこのような熱膨張や熱収縮に起因する誘電体反射膜間
の共振長(光路長nd1)の変化(熱膨張や熱収縮)を
簡便な回路構成で補償できるようになり、ファブリ・ペ
ロー・エタロン型共振器における共振波長λ1の温度安
定化を簡便な回路構成で実現することができる効果を奏
する。
That is, by controlling the wavelength selection voltage according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator and the inductive element, Thermal expansion or thermal contraction of the birefringent etalon medium or spacer in the etalon structure, or change in the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films due to such thermal expansion or thermal contraction (thermal expansion or thermal expansion) Shrinkage) can be compensated for with a simple circuit configuration, and there is an effect that temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator can be realized with a simple circuit configuration.

【0111】具体的には、複屈折性エタロン媒質やスペ
ーサ等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜間の
共振長(則ち、共振長(光路長nd1))が変化(則
ち、伸縮)した場合、これらの変化に対して共振波長λ
1を補償するように波長選択電圧を簡便な回路構成で制
御できることに依り、1つの共振波長λ1の選択状態を
安定に維持すること(共振波長λ1の温度安定性を維持
すること)ができる効果を奏する。
More specifically, the resonance length (that is, the resonance length (optical path length nd1)) between the dielectric reflection films changes due to the thermal expansion and contraction of the birefringent etalon medium and the spacer. In other words, when it expands and contracts, the resonance wavelength λ
Depends on the fact that the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for 1 so that the selected state of one resonance wavelength λ1 can be maintained stably (temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained). To play.

【0112】更に、複屈折性エタロン媒質の屈折率(常
光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性を有す
ることに起因して、共振長(光路長nd1)が同様の温
度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロー・エ
タロン型共振器の静電容量と誘導性素子とに基づくファ
ブリ・ペロー・エタロン型共振器の共振特性に従って、
波長選択電圧を簡便な回路構成で制御できることに依
り、温度変化に対して安定な波長選択特性(温度無依存
性を有する波長選択特性)を実現できる効果を奏する。
Furthermore, the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence due to the temperature dependence of the refractive index of the birefringent etalon medium (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne). Even in the case of having, according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon type resonator based on the capacitance and the inductive element of the Fabry-Perot etalon type resonator,
Since the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration, there is an effect that a wavelength selection characteristic (wavelength selection characteristic having temperature independence) that is stable against a temperature change can be realized.

【0113】請求項3に記載の発明に依れば、請求項2
と同様の効果を奏する。請求項4に記載の発明に依れ
ば、請求項1に記載の効果に加えて、ファブリ・ペロー
・エタロン型共振器の静電容量に対して可変容量性素子
と可変抵抗素子と誘導性素子とを用いた簡便な回路構成
で共振特性を変更可能な電気的共振系を設けることに依
り、エタロン構造における平行平板構造を温度変化に対
して光学的精度で正確に維持すること無しに、ファブリ
・ペロー・エタロン型共振器における共振波長λ1の温
度安定化を更に簡便に実現することができる効果を奏す
る。
According to the invention described in claim 3, according to claim 2
It has the same effect as. According to the fourth aspect of the present invention, in addition to the effect of the first aspect, the variable capacitance element, the variable resistance element, and the inductive element with respect to the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator are provided. By providing an electrical resonance system that can change the resonance characteristics with a simple circuit configuration using the etalon structure, the parallel plate structure in the etalon structure can be accurately maintained without optical accuracy with respect to temperature changes. The effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Perot etalon type resonator can be more easily realized.

【0114】また、可変容量性素子の静電容量値を変更
することに依り、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器
の静電容量を選択可能となる。また、可変抵抗素子の抵
抗値を変更することに依り、電気的共振系の共振せん鋭
度が選択可能となる結果、印加電圧−静電容量特性の傾
きを調整できるようになる。また、印加電圧−静電容量
特性の傾きを調整できる結果、可変容量性素子の静電容
量の精度を調整できるようになる。
By changing the capacitance value of the variable capacitance element, the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator can be selected. Further, by changing the resistance value of the variable resistance element, the resonance sharpness of the electric resonance system can be selected, so that the slope of the applied voltage-capacitance characteristic can be adjusted. In addition, as a result of being able to adjust the slope of the applied voltage-capacitance characteristic, the accuracy of the capacitance of the variable capacitive element can be adjusted.

【0115】また、トランスを介して電気的共振系と電
磁気的に結合することに依り、電気的共振系の共振特性
を乱すことなく、交流電源の印加電圧をファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器に与えることができるようにな
る。則ち、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器の静電
容量と可変容量性素子と可変抵抗素子と誘導性素子とに
基づくファブリ・ペロー・エタロン型共振器の共振特性
に従って、波長選択電圧の制御を実行することに依り、
エタロン構造における複屈折性エタロン媒質やスペーサ
等の熱膨張や熱収縮、又はこのような熱膨張や熱収縮に
起因する誘電体反射膜間の共振長(光路長nd1)の変
化(熱膨張や熱収縮)を簡便な回路構成で補償できるよ
うになり、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器におけ
る共振波長λ1の温度安定化を簡便な回路構成で実現す
ることができる効果を奏する。
Further, by applying electromagnetic coupling to the electric resonance system via a transformer, the applied voltage of the AC power supply can be applied to the Fabry-Perot etalon type resonator without disturbing the resonance characteristics of the electric resonance system. Will be able to give. That is, control of the wavelength selection voltage is performed according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator, the variable capacitance element, the variable resistance element, and the inductive element. Depending on what you do,
Thermal expansion or thermal contraction of the birefringent etalon medium or spacer in the etalon structure, or change in the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films due to such thermal expansion or thermal contraction (thermal expansion or thermal expansion) Shrinkage) can be compensated for with a simple circuit configuration, and there is an effect that temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon resonator can be realized with a simple circuit configuration.

【0116】具体的には、複屈折性エタロン媒質やスペ
ーサ等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜間の
共振長(則ち、共振長(光路長nd1))が変化(則
ち、伸縮)した場合、これらの変化に対して共振波長λ
1を補償するように波長選択電圧を簡便な回路構成で制
御できることに依り、1つの共振波長λ1の選択状態を
安定に維持すること(共振波長λ1の温度安定性を維持
すること)ができる効果を奏する。
More specifically, the resonance length (that is, the resonance length (optical path length nd1)) between the dielectric reflection films changes due to the thermal expansion and contraction of the birefringent etalon medium and the spacer. In other words, when it expands and contracts, the resonance wavelength λ
Depends on the fact that the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for 1 so that the selected state of one resonance wavelength λ1 can be maintained stably (temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained). To play.

【0117】更に、複屈折性エタロン媒質の屈折率(常
光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性を有す
ることに起因して、共振長(光路長nd1)が同様の温
度依存性を持つ場合であっても、ファブリ・ペロー・エ
タロン型共振器の静電容量と可変容量性素子と可変抵抗
素子と誘導性素子とに基づくファブリ・ペロー・エタロ
ン型共振器の共振特性に従って、波長選択電圧を簡便な
回路構成で制御できることに依り、温度変化に対して安
定な波長選択特性(温度無依存性を有する波長選択特
性)を実現できる効果を奏する。
Furthermore, the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence due to the temperature dependence of the birefringent etalon medium refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne). Even if it has, according to the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon resonator based on the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator, the variable capacitance element, the variable resistance element, and the inductive element, Since the selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration, there is an effect that a wavelength selection characteristic that is stable against a temperature change (a wavelength selection characteristic having temperature independence) can be realized.

【0118】請求項5に記載の発明に依れば、請求項4
に記載の効果に加えて、可変容量性素子の静電容量値を
変更することに依り、ファブリ・ペロー・エタロン型共
振器の静電容量を選択可能となる。請求項6に記載の発
明に依れば、請求項4又は5に記載の効果に加えて、可
変抵抗素子の抵抗値を変更することに依り、電気的共振
系の共振せん鋭度が選択可能となる結果、印加電圧−静
電容量特性の傾きを調整できるようになる。また、印加
電圧−静電容量特性の傾きを調整できる結果、可変容量
性素子の静電容量の精度を調整できるようになる。
According to the invention set forth in claim 5, according to claim 4,
In addition to the effects described in the above, the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator can be selected by changing the capacitance of the variable capacitive element. According to the invention described in claim 6, in addition to the effect described in claim 4 or 5, the resonance sharpness of the electric resonance system can be selected by changing the resistance value of the variable resistance element. As a result, the slope of the applied voltage-capacitance characteristic can be adjusted. In addition, as a result of being able to adjust the slope of the applied voltage-capacitance characteristic, the accuracy of the capacitance of the variable capacitive element can be adjusted.

【0119】請求項7に記載の発明に依れば、請求項4
乃至6に記載の効果と同様の効果を奏する。請求項8に
記載の発明に依れば、請求項4乃至7に記載の効果に加
えて、トランスを介して電気的共振系と電磁気的に結合
することに依り、電気的共振系の共振特性を乱すことな
く、交流電源の印加電圧をファブリ・ペロー・エタロン
型共振器に与えることができるようになる。
According to the invention of claim 7, according to claim 4,
The same effects as the effects described in 1 to 6 are achieved. According to the eighth aspect of the invention, in addition to the effects of the fourth to seventh aspects, the resonance characteristic of the electric resonance system is obtained by electromagnetically coupling to the electric resonance system via the transformer. Voltage can be applied to the Fabry-Perot etalon resonator without disturbing the power supply.

【0120】請求項9に記載の発明に依れば、請求項1
乃至8に記載の効果に加えて、 共振波長選択工程を設
けることに依り、エタロン構造における平行平板構造を
温度変化に対して光学的精度で正確に維持すること無し
に、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器における共振
波長λ1の温度安定化を更に簡便に実現することができ
る効果を奏する。
According to the ninth aspect of the present invention, the first aspect is provided.
In addition to the effects described in (8) to (8), by providing a resonance wavelength selecting step, the Fabry-Perot etalon type can be used without maintaining the parallel plate structure in the etalon structure accurately with optical precision against a temperature change. This has the effect of stabilizing the temperature of the resonance wavelength λ1 in the resonator more easily.

【0121】則ち、共振波長選択工程に基づくファブリ
・ペロー・エタロン型共振器の共振特性に従って、波長
選択電圧の制御を実行することに依り、エタロン構造に
おける複屈折性エタロン媒質やスペーサ等の熱膨張や熱
収縮、又はこのような熱膨張や熱収縮に起因する誘電体
反射膜間の共振長(光路長nd1)の変化(熱膨張や熱
収縮)を簡便な回路構成で補償できるようになり、ファ
ブリ・ペロー・エタロン型共振器における共振波長λ1
の温度安定化を簡便な回路構成で実現することができる
効果を奏する。
That is, by controlling the wavelength selection voltage in accordance with the resonance characteristics of the Fabry-Perot etalon type resonator based on the resonance wavelength selection step, the heat of the birefringent etalon medium and spacers in the etalon structure can be improved. It is possible to compensate for expansion (thermal expansion) or a change in the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films (thermal expansion or thermal contraction) due to such thermal expansion or thermal contraction with a simple circuit configuration. Wavelength in a Fabry-Perot etalon resonator
This has the effect that the temperature can be stabilized with a simple circuit configuration.

【0122】具体的には、複屈折性エタロン媒質やスペ
ーサ等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜間の
共振長(則ち、共振長(光路長nd1))が変化(則
ち、伸縮)した場合、これらの変化に対して共振波長λ
1を補償するように波長選択電圧を簡便な回路構成で制
御できることに依り、1つの共振波長λ1の選択状態を
安定に維持すること(共振波長λ1の温度安定性を維持
すること)ができる効果を奏する。
More specifically, the resonance length (that is, the resonance length (optical path length nd1)) between the dielectric reflection films changes due to the thermal expansion and contraction of the birefringent etalon medium and the spacer. In other words, when it expands and contracts, the resonance wavelength λ
Depends on the fact that the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so as to compensate for 1 so that the selected state of one resonance wavelength λ1 can be maintained stably (temperature stability of the resonance wavelength λ1 can be maintained). To play.

【0123】更に、複屈折性エタロン媒質の屈折率(常
光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性を有す
ることに起因して、共振長(光路長nd1)が同様の温
度依存性を持つ場合であっても、共振波長選択工程に基
づく共振特性に従って、波長選択電圧を簡便な回路構成
で制御できることに依り、温度変化に対して安定な波長
選択特性(温度無依存性を有する波長選択特性)を実現
できる効果を奏する。
Further, since the refractive index of the birefringent etalon medium (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne) has temperature dependence, the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even in the case of having a wavelength selection characteristic, the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics based on the resonance wavelength selection step, so that the wavelength selection characteristics (wavelength having temperature independence) (Selection characteristics).

【0124】請求項10に記載の発明に依れば、請求項
9に記載の効果に加えて、電気的共振系の共振特性にお
ける誘導性共振領域内で共振波長選択工程を実行するこ
とに依り、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器の静電
容量の変化に対して印加電圧を用いたネガティブフィー
ドバック効果が得られる結果、エタロン構造における平
行平板構造を温度変化に対して光学的精度で正確に維持
すること無しに、ファブリ・ペロー・エタロン型共振器
における共振波長λ1の温度安定化を更に簡便に実現す
ることができる効果を奏する。
According to the tenth aspect of the present invention, in addition to the effect of the ninth aspect, it is also possible to execute the resonance wavelength selecting step in the inductive resonance region in the resonance characteristics of the electric resonance system. Obtains a negative feedback effect using applied voltage for changes in the capacitance of Fabry-Perot etalon resonators. As a result, the parallel plate structure in the etalon structure is accurately maintained with optical accuracy against temperature changes. Without doing so, there is an effect that the temperature stabilization of the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon type resonator can be more easily realized.

【0125】則ち、共振波長選択工程に基づくファブリ
・ペロー・エタロン型共振器の誘導性共振領域内におけ
る共振特性に従って、波長選択電圧のネガティブフィー
ドバック制御を実行することに依り、エタロン構造にお
ける複屈折性エタロン媒質やスペーサ等の熱膨張や熱収
縮、又はこのような熱膨張や熱収縮に起因する誘電体反
射膜間の共振長(光路長nd1)の変化(熱膨張や熱収
縮)を簡便な回路構成で補償できるようになり、ファブ
リ・ペロー・エタロン型共振器における共振波長λ1の
温度安定化を簡便な回路構成で実現することができる効
果を奏する。
That is, by performing negative feedback control of the wavelength selection voltage in accordance with the resonance characteristics in the inductive resonance region of the Fabry-Perot etalon resonator based on the resonance wavelength selection step, birefringence in the etalon structure is obtained. Thermal expansion and thermal contraction of the conductive etalon medium and spacers, or a change (thermal expansion and thermal contraction) of the resonance length (optical path length nd1) between the dielectric reflective films caused by such thermal expansion and thermal contraction. Compensation can be made by the circuit configuration, and the temperature can be stabilized at the resonance wavelength λ1 in the Fabry-Perot etalon type resonator with the effect of being able to be realized with a simple circuit configuration.

【0126】具体的には、複屈折性エタロン媒質やスペ
ーサ等の熱膨張や熱収縮に起因して、誘電体反射膜間の
共振長(則ち、共振長(光路長nd1))が変化(則
ち、伸縮)した場合、これらの変化に対して共振波長λ
1をネガティブフィードバック効果を用いて補償するよ
うに波長選択電圧を簡便な回路構成で制御できることに
依り、1つの共振波長λ1の選択状態を安定に維持する
こと(共振波長λ1の温度安定性を維持すること)がで
きる効果を奏する。
Specifically, the resonance length (that is, the resonance length (optical path length nd1)) between the dielectric reflection films changes due to the thermal expansion and thermal contraction of the birefringent etalon medium, the spacer, and the like. In other words, when it expands and contracts, the resonance wavelength λ
Because the wavelength selection voltage can be controlled with a simple circuit configuration so that 1 is compensated for using the negative feedback effect, the selected state of one resonance wavelength λ1 is maintained stably (maintaining the temperature stability of the resonance wavelength λ1 ) Can be performed.

【0127】更に、複屈折性エタロン媒質の屈折率(常
光屈折率no及び異常光屈折率ne)が温度依存性を有す
ることに起因して、共振長(光路長nd1)が同様の温
度依存性を持つ場合であっても、電気的共振系の誘導性
共振領域内で共振波長選択工程に基づく共振特性に従っ
て、波長選択電圧を簡便な回路構成でネガティブフィー
ドバック制御できることに依り、温度変化に対して更に
安定な波長選択特性(温度無依存性を有する波長選択特
性)を実現できる効果を奏する。
Further, since the birefringent etalon medium has a temperature dependence of the refractive index (ordinary refractive index no and extraordinary refractive index ne), the resonance length (optical path length nd1) has the same temperature dependence. Even in the case of having, the wavelength selection voltage can be negatively controlled with a simple circuit configuration in accordance with the resonance characteristics based on the resonance wavelength selection step within the inductive resonance region of the electric resonance system. Further, there is an effect that stable wavelength selection characteristics (wavelength selection characteristics having temperature independence) can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の波長選択フィルタの基本構成を説明す
るための配置図である。
FIG. 1 is an arrangement diagram for explaining a basic configuration of a wavelength selection filter of the present invention.

【図2】図1の波長選択フィルタに用いられる駆動回路
の第1実施形態を説明するための回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram for explaining a first embodiment of a drive circuit used in the wavelength selection filter of FIG.

【図3】図1の波長選択フィルタにおける共振波長−静
電容量特性を説明するためのグラフである。
FIG. 3 is a graph for explaining a resonance wavelength-capacitance characteristic in the wavelength selection filter of FIG. 1;

【図4】図1の波長選択フィルタにおける共振特性を説
明するためのグラフである。
FIG. 4 is a graph for explaining resonance characteristics of the wavelength selection filter of FIG. 1;

【図5】図1の波長選択フィルタにおける印加電圧−静
電容量特性を説明するためのグラフである。
FIG. 5 is a graph for explaining applied voltage-capacitance characteristics in the wavelength selection filter of FIG. 1;

【図6】本発明の波長選択フィルタの第2実施形態を説
明するための配置図である。
FIG. 6 is a layout diagram for explaining a second embodiment of the wavelength selection filter of the present invention.

【図7】従来の波長選択フィルタを説明するための配置
図である。
FIG. 7 is a layout diagram for explaining a conventional wavelength selection filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 波長選択フィルタ 11 入射側光ファイバ 11a 入射光(光信号) 12 出射側光ファイバ 12a 出射光(光信号) 20 ファブリ・ペロー・エタロン型共振器 202 ARコート膜 203 透明基板 204A 第1透明電極 204B 第2透明電極 205 反射膜 206 配向膜 207 スペーサ 208 エタロン媒質(液晶材料) 30 駆動手段 302 交流電源 304 抵抗素子 306 誘導性素子 308 容量性素子 40 駆動手段 402 可変抵抗素子 404 可変容量素子 406 トランス d1 光路Aにおける透明電極間の共振長 λ1 光路Aにおける共振波長 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Wavelength selection filter 11 Incident side optical fiber 11a Incident light (optical signal) 12 Outgoing optical fiber 12a Outgoing light (optical signal) 20 Fabry-Perot etalon type resonator 202 AR coat film 203 Transparent substrate 204A First transparent electrode 204B Second transparent electrode 205 Reflective film 206 Alignment film 207 Spacer 208 Etalon medium (liquid crystal material) 30 Driving means 302 AC power supply 304 Resistance element 306 Inductive element 308 Capacitive element 40 Driving means 402 Variable resistance element 404 Variable capacitance element 406 Trans d1 Resonance length between transparent electrodes in optical path A λ1 Resonant wavelength in optical path A

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 靖高 静岡県裾野市御宿1500 矢崎総業株式会社 内 (72)発明者 黒川 隆志 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 吉澤 鐵夫 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yasutaka Hasegawa 1500 Yazaki Sogyo Co., Ltd., Susono-shi, Shizuoka Prefecture (72) Inventor Takashi Kurokawa 3-2-1-2 Nishishinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Tetsuo Yoshizawa 3-2-1-2 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複屈折性エタロン媒質の屈折率を電気的
に制御して所定の共振波長を選択可能なファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器を有する波長選択フィルタにおい
て、 ファブリ・ペロー・エタロン型共振器の静電容量を一定
に保持する波長選択電圧を屈折率制御用の電極間のエタ
ロン媒質に印加して共振波長を一定に保持する制御を実
行する駆動手段を有する、 ことを特徴とする波長選択フィルタ。
1. A wavelength selecting filter having a Fabry-Perot etalon type resonator capable of selecting a predetermined resonance wavelength by electrically controlling a refractive index of a birefringent etalon medium. A driving means for applying a wavelength selection voltage for maintaining the capacitance of the vessel constant to the etalon medium between the electrodes for controlling the refractive index to execute control for maintaining the resonance wavelength constant. Selection filter.
【請求項2】 前記駆動手段は、 前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器に接続された
状態で、当該ファブリ・ペロー・エタロン型共振器の抵
抗及び前記静電容量と共に電気的共振系を形成する誘導
性素子と、 前記静電容量が変動した際に、前記電気的共振系の共振
特性に応じた印加電圧を前記波長選択電圧として印加す
るための交流電源とを有する、 ことを特徴とする請求項1に記載の波長選択フィルタ。
2. The driving unit, when connected to the Fabry-Perot etalon resonator, forms an electrical resonance system with the resistance and the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator. An inductive element, comprising: an AC power supply for applying an applied voltage according to a resonance characteristic of the electric resonance system as the wavelength selection voltage when the capacitance fluctuates. Item 2. The wavelength selection filter according to Item 1.
【請求項3】 前記誘導性素子は、前記ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器に並列に接続された状態で、前記
電気的共振系を構成している、 ことを特徴とする請求項2に記載の波長選択フィルタ。
3. The electric resonance system according to claim 2, wherein the inductive element is connected to the Fabry-Perot etalon resonator in parallel with the electric resonance system. Wavelength selection filter.
【請求項4】 前記駆動手段は、 前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器に接続された
状態で、当該ファブリ・ペロー・エタロン型共振器の前
記抵抗及び前記静電容量と共に前記電気的共振系を形成
するキャパシタンスを変更可能な可変容量性素子と、 前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器に接続された
状態で、当該ファブリ・ペロー・エタロン型共振器の前
記抵抗及び前記静電容量と共に前記電気的共振系を形成
する抵抗量を変更可能な可変抵抗素子と、 前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振器に接続された
状態で、当該ファブリ・ペロー・エタロン型共振器の抵
抗及び前記静電容量と共に前記電気的共振系を形成する
インダクタンスを変更可能な誘導性素子と、 所定のインダクタンスを有するトランスを介して前記電
気的共振系と電磁気的に結合され、前記静電容量が変動
した際に、前記電気的共振系の共振特性に応じた印加電
圧を前記波長選択電圧として印加するための交流電源と
を有する、 ことを特徴とする請求項1に記載の波長選択フィルタ。
4. The driving means, when connected to the Fabry-Perot etalon resonator, controls the electric resonance system together with the resistance and the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator. A variable capacitive element capable of changing a capacitance to be formed; and the electric capacity together with the resistance and the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator connected to the Fabry-Perot etalon resonator. A variable resistance element capable of changing the amount of resistance forming a resonance system, and connected to the Fabry-Perot etalon type resonator while being connected to the Fabry-Perot etalon type resonator, together with the resistance and the capacitance of the Fabry-Perot etalon type resonator. An inductive element capable of changing an inductance forming an electric resonance system; and a transformer having a predetermined inductance. And an AC power supply for applying an applied voltage according to a resonance characteristic of the electric resonance system as the wavelength selection voltage when the capacitance fluctuates. The wavelength selection filter according to claim 1.
【請求項5】 前記可変容量性素子は、前記ファブリ・
ペロー・エタロン型共振器に並列に接続された状態で、
前記電気的共振系を形成する、 ことを特徴とする請求項4に記載の波長選択フィルタ。
5. The variable capacitive element according to claim 1, wherein:
While connected in parallel to a Perot etalon resonator,
The wavelength selection filter according to claim 4, wherein the electrical resonance system is formed.
【請求項6】 前記可変抵抗素子は、前記ファブリ・ペ
ロー・エタロン型共振器に並列に接続された状態で、前
記電気的共振系を形成する、 ことを特徴とする請求項4又は5に記載の波長選択フィ
ルタ。
6. The electric resistance system according to claim 4, wherein the variable resistance element forms the electric resonance system in a state where it is connected in parallel to the Fabry-Perot etalon resonator. Wavelength selection filter.
【請求項7】 前記誘導性素子は、前記ファブリ・ペロ
ー・エタロン型共振器に並列に接続された状態で、前記
電気的共振系を形成する、 ことを特徴とする請求項4乃至6に記載の波長選択フィ
ルタ。
7. The electric resonance system according to claim 4, wherein the inductive element is connected to the Fabry-Perot etalon resonator in parallel to form the electric resonance system. Wavelength selection filter.
【請求項8】 前記トランスは、前記誘導性素子と直列
に接続された状態で前記電気的共振系と電磁気的に結合
されている、 ことを特徴とする請求項4乃至7に記載の波長選択フィ
ルタ。
8. The wavelength selector according to claim 4, wherein the transformer is electromagnetically coupled to the electric resonance system while being connected in series with the inductive element. filter.
【請求項9】 前記ファブリ・ペロー・エタロン型共振
器の前記静電容量を一定に保持する前記波長選択電圧を
屈折率制御用の電極間のエタロン媒質に印加して共振波
長を一定に保持する制御を実行する共振波長選択工程を
有する、 ことを特徴とする請求項1乃至8に記載の波長選択フィ
ルタに用いられる共振波長選択制御方法。
9. The wavelength selection voltage for maintaining the capacitance of the Fabry-Perot etalon resonator constant is applied to an etalon medium between electrodes for controlling the refractive index to maintain the resonance wavelength constant. The resonance wavelength selection control method used for the wavelength selection filter according to claim 1, further comprising a resonance wavelength selection step of performing control.
【請求項10】 前記静電容量が変動した際に、前記電
気的共振系の共振特性における誘導性共振領域内で前記
印加電圧を選択して前記波長選択電圧として印加して共
振波長を一定に保持する制御を実行する共振波長選択工
程を有する、 ことを特徴とする請求項9に記載の共振波長選択制御方
法。
10. When the capacitance fluctuates, the applied voltage is selected within the inductive resonance region in the resonance characteristics of the electric resonance system and applied as the wavelength selection voltage to keep the resonance wavelength constant. The resonance wavelength selection control method according to claim 9, further comprising a resonance wavelength selection step of executing control to hold.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20020047821A (en) * 2000-12-14 2002-06-22 김원대 Nematic liquid crystal fabry-perot wavelength tunable filter
CN103529520A (en) * 2013-10-21 2014-01-22 天津大学 Tunable wavelength division multiplexing device and multiplexing method based on microfluid regulation

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