JPH10209257A5 - - Google Patents

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WO2002037541A2 (en) * 2000-11-01 2002-05-10 Applied Materials, Inc. Etch chamber for etching dielectric layer with expanded process window
FR2875054B1 (fr) * 2004-09-08 2006-12-01 Cit Alcatel Support de substrats minces
US7544251B2 (en) * 2004-10-07 2009-06-09 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for controlling temperature of a substrate
US7648914B2 (en) 2004-10-07 2010-01-19 Applied Materials, Inc. Method for etching having a controlled distribution of process results
US7436645B2 (en) 2004-10-07 2008-10-14 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for controlling temperature of a substrate
US9275887B2 (en) 2006-07-20 2016-03-01 Applied Materials, Inc. Substrate processing with rapid temperature gradient control
JP5557164B2 (ja) * 2010-03-24 2014-07-23 Ｔｏｔｏ株式会社 静電チャック

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