JPH1019840A - Manufacture of co gas sensor - Google Patents

Manufacture of co gas sensor

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JPH1019840A
JPH1019840A JP8170115A JP17011596A JPH1019840A JP H1019840 A JPH1019840 A JP H1019840A JP 8170115 A JP8170115 A JP 8170115A JP 17011596 A JP17011596 A JP 17011596A JP H1019840 A JPH1019840 A JP H1019840A
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JP
Japan
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zirconia element
gas sensor
ceramic case
cylindrical ceramic
zirconia
Prior art date
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Application number
JP8170115A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Hosoya
昌宏 細谷
Gen Mimura
玄 三村
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a CO gas sensor in which a gold wire can be bonded automatically in a state that a zironia element is inserted into, and fixed to, a ceramic case, whose mass productivity is excellent and whose bonding strength is stable. SOLUTION: A zirconia element 8 is inserted into, and fixed to, nearly the central part inside a cylindrical ceramic case 7, this assembly is sent to, and positioned in, a conductor bonding position by a component conveyance apparatus, a conductor is bonded to one side of the zirconia element 8, the conductor is cut, the cylindrical ceramic case 7 is then reversed, the above process is repeated again, and a conductor is bonded to the opposite side of the zirconia element 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ジルコニア素子を
筒状セラミックケース内に挿入したCOガスセンサの製
造法に係り、特にジルコニア素子への導線の接続方法を
改善したCOガスセンサの製造法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a CO gas sensor in which a zirconia element is inserted into a cylindrical ceramic case, and more particularly to a method for manufacturing a CO gas sensor in which a method for connecting a conductor to a zirconia element is improved.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のCOガスセンサは、ジルコニア素
子を筒状セラミックケース内のほぼ中央部に挿入、固定
する前に、ジルコニア素子の両面に既存の足踏み式スポ
ット溶接機を用いて一対の金線を溶接した後、筒状セラ
ミックケースに金線の一方から挿入し、筒状セラミック
ケースの両端開口部より、それぞれ1本の金線を引出し
た状態で挿入、固定していた。
2. Description of the Related Art A conventional CO gas sensor has a pair of gold wires on both sides of a zirconia element using an existing foot-operated spot welder before inserting and fixing the zirconia element substantially in the center of a cylindrical ceramic case. After welding, one of the gold wires was inserted into the cylindrical ceramic case, and one gold wire was inserted and fixed from the opening at both ends of the cylindrical ceramic case.

【0003】しかしながら、上記の方法では金線の取扱
い、筒状セラミックケース内への組込みが非常に困難で
あり、量産に対応した自動化のための製造法については
配慮されていなかった。なお、COガスセンサを製造す
るのにワイヤボンディングを応用した例としては、特開
平6−347431号公報などが挙げられるが、これら
従来のワイヤボンディングではCOガスセンサの製造に
は対応はできないという問題点がある。
However, in the above-mentioned method, it is very difficult to handle the gold wire and to incorporate it into a cylindrical ceramic case, and no consideration has been given to a manufacturing method for automation corresponding to mass production. Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-347431 discloses an example of applying wire bonding to manufacture a CO gas sensor. However, there is a problem that the conventional wire bonding cannot cope with the manufacture of a CO gas sensor. is there.

【0004】詳しくは、従来技術は、先ず金線をジルコ
ニア素子に接合し、金線付きのジルコニア素子を筒状セ
ラミックケース内に挿入、固定するための金線の取扱
い、組込み作業が困難であり、自動化による量産対応技
術の点についての配慮がなされておらず、また人手によ
る組立のため作業性が悪く、その上接合強度も不安定で
製品性能がばらつくなどの問題点があった。
[0004] In detail, in the prior art, it is difficult to firstly join a gold wire to a zirconia element, and to handle and assemble the gold wire for inserting and fixing the zirconia element with the gold wire into a cylindrical ceramic case. However, no consideration has been given to the technology for mass production by automation, and the workability is poor due to manual assembly, and the bonding strength is also unstable, resulting in problems such as variations in product performance.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】請求項1及び2記載の
発明は、ジルコニア素子を筒状セラミックケース内に挿
入、固定した状態で、自動的に導線の接合を行うことが
可能で、かつ量産性に優れ、接合強度の安定なCOガス
センサの製造法を提供するものである。
According to the first and second aspects of the present invention, it is possible to automatically join conductors in a state where a zirconia element is inserted and fixed in a cylindrical ceramic case, and mass production is possible. An object of the present invention is to provide a method for producing a CO gas sensor having excellent bonding properties and stable bonding strength.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、筒状セラミッ
クケース内に、ジルコニア素子を挿入し、これに、導線
を接続した後、該ジルコニア素子の両側に触媒を充填す
ることを特徴とするCOガスセンサの製造法に関する。
また、本発明は、筒状セラミックケース内に、両側面に
電極を形成したジルコニア素子が挿入、固定され、その
両側の部屋には触媒が充填され、かつこの両端を多孔質
のセラミック板で封着し、このセラミック板から前記ジ
ルコニア素子に接合された導線を引出し、さらに筒状セ
ラミックケースの外周に加熱用ヒータを取付けたCOガ
スセンサを製造する方法において、ジルコニア素子を筒
状セラミックケース内のほぼ中央部に挿入、固定し、こ
れを部品搬送装置で導線ボンディング位置に送り位置決
めした後、ジルコニア素子の片側への導線の接合を行
い、導線を切断した後、筒状セラミックケースを反転さ
せ、再度上記の工程を繰り返して上記と反対側のジルコ
ニア素子への導線の接合を行うことを特徴とするCOガ
スセンサの製造法に関する。
The present invention is characterized in that a zirconia element is inserted into a cylindrical ceramic case, a conductor is connected to the zirconia element, and a catalyst is filled on both sides of the zirconia element. The present invention relates to a method for manufacturing a CO gas sensor.
Further, according to the present invention, a zirconia element having electrodes formed on both sides is inserted and fixed in a cylindrical ceramic case, a catalyst is filled in chambers on both sides thereof, and both ends are sealed with a porous ceramic plate. In a method of manufacturing a CO gas sensor in which a lead wire connected to the zirconia element is drawn out of the ceramic plate and a heater for heating is attached to the outer periphery of the cylindrical ceramic case, the zirconia element is disposed substantially in the cylindrical ceramic case. After inserting and fixing it in the center, sending it to the wire bonding position with the component transfer device and positioning it, joining the wire to one side of the zirconia element, cutting the wire, inverting the cylindrical ceramic case, and again A method for manufacturing a CO gas sensor, comprising repeating the above steps and joining a conducting wire to a zirconia element on the opposite side to the above. To.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】本発明になるCOガスセンサは、
例えば、両側面に一対の電極を設けたジルコニア素子を
筒状セラミックケース内のほぼ中央部に挿入、固定し
て、筒状セラミックケース内に筒状セラミックケースの
両端面から長手方向に二つの部屋を設け、この後、ジル
コニア素子に自動的に導線を接合し、次いで一方の部屋
にはCOガスを含む可燃ガスを酸化する触媒の粒子を充
填し、他方の部屋にはCOガス以外の可燃ガスを酸化す
る触媒の粒子を充填して、筒状セラミックケースの両端
を多孔質のセラミック板で封着すると共に、この多孔質
のセラミック板から先端がジルコニア素子の電極に接合
した導線を引出し、さらに筒状セラミックケースの外周
に加熱用ヒータを取付けることにより得られる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A CO gas sensor according to the present invention is:
For example, a zirconia element provided with a pair of electrodes on both side surfaces is inserted and fixed at a substantially central portion in a cylindrical ceramic case, and two chambers are longitudinally inserted from both end surfaces of the cylindrical ceramic case into the cylindrical ceramic case. After that, a conductor is automatically joined to the zirconia element, then one of the chambers is filled with particles of a catalyst for oxidizing a combustible gas containing CO gas, and the other chamber is filled with a combustible gas other than CO gas. The catalyst particles are oxidized, and both ends of the cylindrical ceramic case are sealed with a porous ceramic plate, and a lead wire having a tip joined to the electrode of the zirconia element is drawn from the porous ceramic plate. It is obtained by attaching a heater for heating to the outer periphery of the cylindrical ceramic case.

【0008】本発明は、上記のようなCOガスセンサを
製造する方法において、特にジルコニア素子に設けた電
極への導線の接合を自動的に行うことによって作業性の
向上を図ろうとするものである。本発明において導線
は、金線を用いることが好ましい。なお、本発明に用い
られるジルコニア素子、筒状セラミックケース等は公知
のものが用いられ特に制限はない。また筒状セラミック
ケースは筒状であれば特に制限はないが、製作及び取扱
いの面で円筒状のものが好ましい。筒状セラミックケー
ス内に挿入するジルコニア素子についても制限はない
が、円板状に成形したものを用いることが好ましい。
The present invention seeks to improve the workability in a method of manufacturing a CO gas sensor as described above, particularly by automatically connecting a conductor to an electrode provided on a zirconia element. In the present invention, it is preferable to use a gold wire as the conductive wire. The zirconia element, the cylindrical ceramic case, and the like used in the present invention are known in the art and are not particularly limited. The cylindrical ceramic case is not particularly limited as long as it is cylindrical, but is preferably cylindrical in terms of manufacture and handling. The zirconia element to be inserted into the cylindrical ceramic case is not limited, but it is preferable to use a zirconia element formed in a disk shape.

【0009】以下本発明の実施例の形態を、図面を用い
て詳述する。図1は、ジルコニア素子に金線を接合する
手段を示す斜視図であり、部品搬送装置1は、部品位置
決め治具2、部品押え機構3、金線ボンディング用キャ
ピラリ4、電気トーチ5及び金線の切断機構6から構成
され、円筒状セラミックケース内にジルコニア素子が挿
入、固定され、外周に加熱用ヒータが取付けられたCO
ガスセンサ部組品(詳細は図4に示す)11を位置決め
した後、ジルコニア素子に形成した電極に自動的に金線
10が接続される。
An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a means for bonding a gold wire to a zirconia element. A component transport device 1 includes a component positioning jig 2, a component holding mechanism 3, a gold wire bonding capillary 4, an electric torch 5, and a gold wire. A zirconia element is inserted and fixed in a cylindrical ceramic case, and a heater for heating is mounted on the outer periphery.
After positioning the gas sensor assembly (details are shown in FIG. 4) 11, the gold wire 10 is automatically connected to the electrode formed on the zirconia element.

【0010】図2の(a)及び(b)は、金線の接合状
態を示す断面図であり、金線10a及び10bが接合さ
れる手順を示すものである。図2の(a)及び(b)に
おいて、COガスセンサ部組品11は、円筒状セラミッ
クケース7、両側面に電極を形成したジルコニア素子8
及び加熱用ヒータ9から構成されている。
FIGS. 2 (a) and 2 (b) are cross-sectional views showing the bonding state of the gold wires, and show the procedure for bonding the gold wires 10a and 10b. 2A and 2B, a CO gas sensor assembly 11 is a cylindrical ceramic case 7 and a zirconia element 8 having electrodes formed on both side surfaces.
And a heater 9 for heating.

【0011】図3は、本発明の実施例によって得られた
COガスセンサの断面図であり、円筒状セラミックケー
ス7のほぼ中央部にイットリア(Y23)で安定化した
ジルコニア素子8が挿入、固定され、ジルコニア素子8
の両側面に接合された金線10a及び10bは電気信号
を取り出すためのリードピン12a及び12bにそれぞ
れ溶接され、さらに円筒状セラミックケース7の外周に
取付けられた加熱用ヒータ9は、電力供給のためのリー
ドピン13a及び13bに溶接されている。また、円筒
状セラミックケース内は、ジルコニア素子8を中心にそ
れぞれ触媒A14及び触媒B15が充填され、多孔質の
セラミック板の蓋A16および蓋B17で封着されてい
る。ここで、リードピン12a、12b及び13a及び
13bは、モールド成型されたマウンタ18に、あらか
じめ挿入されており、金線10aと10bと加熱用ヒー
タ9をそれぞれ溶接後、加熱用ヒータ9の温度調節用の
熱電対19を触媒A14中に組込み、キャップ20を装
着してCOガスセンサとしている。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a CO gas sensor obtained according to an embodiment of the present invention. A zirconia element 8 stabilized with yttria (Y 2 O 3 ) is inserted into a substantially central portion of a cylindrical ceramic case 7. Fixed, zirconia element 8
Are bonded to lead pins 12a and 12b for extracting electric signals, respectively. Further, a heating heater 9 mounted on the outer periphery of the cylindrical ceramic case 7 serves to supply electric power. Are welded to the lead pins 13a and 13b. The inside of the cylindrical ceramic case is filled with a catalyst A14 and a catalyst B15 around the zirconia element 8, respectively, and sealed with a lid A16 and a lid B17 of a porous ceramic plate. Here, the lead pins 12a, 12b and 13a and 13b are previously inserted into the molded mounter 18, and after the gold wires 10a and 10b and the heater 9 are welded, respectively, The thermocouple 19 is assembled in the catalyst A14, and the cap 20 is attached to form a CO gas sensor.

【0012】図4は、金線接合を行うCOガスセンサ部
組品の一部断面斜視図である。このCOガスセンサ部組
品11は、上記でも説明したが、円筒状セラミックケー
ス7、両側面に電極を形成したジルコニア素子8及び加
熱用ヒータ9から構成されている。
FIG. 4 is a partially sectional perspective view of a CO gas sensor assembly for performing gold wire bonding. As described above, the CO gas sensor assembly 11 includes the cylindrical ceramic case 7, zirconia elements 8 having electrodes formed on both side surfaces, and a heater 9 for heating.

【0013】[0013]

【実施例】以下本発明の実施例を説明する。図2の
(a)に示すようにCOガスセンサ部組品11は先ず、
部品位置決め治具2aの上部を、触媒B充填側のジルコ
ニア素子8に当てた後、図1に示す部品搬送装置1で金
線ボンディング位置に送られる。COガスセンサ部組品
11はボンディング位置で停止した後、部品押え機構3
で押えて位置決めを完了し、次いで金線ボンディング用
のキャピラリ4が降下し、サーモソニックボールボンデ
ィング方式でジルコニア素子8の触媒A充填側に金線1
0aを接合する。このときジルコニア素子8はキャピラ
リ4の押圧力により円筒状セラミックケース7からの脱
落を防止することができる。
Embodiments of the present invention will be described below. As shown in FIG. 2A, the CO gas sensor assembly 11 first
After the upper part of the component positioning jig 2a is brought into contact with the zirconia element 8 on the catalyst B filling side, it is sent to the gold wire bonding position by the component transport device 1 shown in FIG. After the CO gas sensor assembly 11 stops at the bonding position, the component holding mechanism 3
Then, the capillary 4 for gold wire bonding is lowered, and the gold wire 1 is placed on the catalyst A-filled side of the zirconia element 8 by a thermosonic ball bonding method.
0a is joined. At this time, the zirconia element 8 can be prevented from dropping from the cylindrical ceramic case 7 by the pressing force of the capillary 4.

【0014】次にキャピラリ4は上昇しつつ先端部より
所定の長さの金線10aを送り出して停止するととも
に、金線切断機構6が前進して金線10aを切断した
後、後退する。以上でジルコニア素子8の片側への金線
接合が完了し、部品押え機構3は上昇して部品搬送装置
1は次工程へと移動し、COガスセンサ部組品11の取
り出しを可能にする。このとき、ワイヤボンダでは、キ
ャピラリ4の先端よりのぞいている状態の金線の先端に
電気トーチ5を接近させ、電子スパークにより金線を溶
融し、次のボンディングのためのボールを形成する。
Next, the capillary 4 sends out a predetermined length of the gold wire 10a from the tip while ascending and stops, and the gold wire cutting mechanism 6 advances to cut the gold wire 10a and then retreats. With the above, the gold wire bonding to one side of the zirconia element 8 is completed, the component holding mechanism 3 moves up, and the component transporting apparatus 1 moves to the next step, and the CO gas sensor assembly 11 can be taken out. At this time, in the wire bonder, the electric torch 5 is made to approach the tip of the gold wire in a state in which the wire is being viewed from the tip of the capillary 4, and the gold wire is melted by electronic spark to form a ball for the next bonding.

【0015】ジルコニア素子8の触媒A充填側へ1本目
の金線10aが接合されたCOガスセンサ部組品11
は、反転し、図2の(b)に示すように金線10aを部
品位置決め治具2bの中央部に設けられた穴に通しなが
ら位置決めする。このとき円筒状セラミックケース7は
下端を部品位置決め治具2bの段付部に当てて位置決め
される。以下、上記と同様の工程を経て反対側の金線1
0bを接合し、一連の金線接合工程を終了する。
A CO gas sensor assembly 11 having a first gold wire 10a joined to the catalyst A-filled side of the zirconia element 8
Is turned, and the gold wire 10a is positioned while passing through a hole provided at the center of the component positioning jig 2b as shown in FIG. 2 (b). At this time, the cylindrical ceramic case 7 is positioned with its lower end in contact with the stepped portion of the component positioning jig 2b. Hereinafter, the gold wire 1 on the opposite side goes through the same process as above.
0b is joined, and a series of gold wire joining steps are completed.

【0016】金線接合工程を終了した後、円筒状セラミ
ックケース内に触媒A及び触媒Bを充填し、円筒状セラ
ミックケースの両端を多孔質のセラミック板で封着し、
またジルコニア素子の両側に設けた一対の電極に接合さ
れた金線を多孔質のセラミック板の孔から外部に引出
し、次いで予めマウンタに挿入しておいたリードピンに
金線及び加熱用ヒータの先端部を接合後、加熱用ヒータ
の温度調節用の熱電対を触媒中に組込み、キャップを装
置してCOガスセンサを得た。
After completion of the gold wire bonding step, the catalyst A and the catalyst B are filled in a cylindrical ceramic case, and both ends of the cylindrical ceramic case are sealed with a porous ceramic plate.
In addition, a gold wire joined to a pair of electrodes provided on both sides of the zirconia element is drawn out from the hole of the porous ceramic plate, and then the gold wire and the tip of the heating heater are connected to a lead pin previously inserted into the mounter. After bonding, a thermocouple for adjusting the temperature of the heater for heating was incorporated into the catalyst, and a cap device was provided to obtain a CO gas sensor.

【0017】なお、上記実施例において、ジルコニア素
子はジルコニア92モル%に対し、安定化剤としてイッ
トリア8モル%含有した組成物を成形、焼成したものを
用い、また触媒Aは白金・アルミナ触媒及び触媒Bは酸
化スズ触媒を用いた。さらに加熱用ヒータには鉄−クロ
ム線を巻き付けたものを用いた。
In the above embodiment, the zirconia element used was a composition obtained by molding and firing a composition containing 8 mol% of yttria as a stabilizer with respect to 92 mol% of zirconia. Catalyst A was a platinum-alumina catalyst and Catalyst B used a tin oxide catalyst. Further, a heater wound with an iron-chrome wire was used as a heater for heating.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明は、ジルコニア素子を筒状セラミ
ックケース内に挿入、固定した状態で、自動的に金線の
接合を行うことが可能であり、量産性に優れ、接合強度
の安定なCOガスセンサを製造することができる。
According to the present invention, the gold wire can be automatically joined while the zirconia element is inserted and fixed in the cylindrical ceramic case, and the mass productivity is excellent and the joining strength is stable. A CO gas sensor can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ジルコニア素子に金線を接合する手段を示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a means for bonding a gold wire to a zirconia element.

【図2】(a)及び(b)は、金線の接合状態を示す断
面図である。
FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views showing a bonding state of gold wires.

【図3】本発明の実施例によって得られたCOガスセン
サの断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a CO gas sensor obtained according to an embodiment of the present invention.

【図4】金線接合を行うCOガスセンサ部組品の一部断
面斜視図である。
FIG. 4 is a partial cross-sectional perspective view of a CO gas sensor assembly that performs gold wire bonding.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 部品搬送装置 2a、2b 部品位置決め治具 3 部品押え機構 4 キャピラリ 5 電気トーチ 6 切断機構 7 円筒状セラミックケース 8 ジルコニア素子 9 加熱用ヒータ 10a、10b 金線 11 COガスセンサ部組品 12a、12b リードピン 13a、13b リードピン 14 触媒A 15 触媒B 16 蓋A 17 蓋B 18 マウンタ 19 熱電対 20 キャップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component conveyance apparatus 2a, 2b Component positioning jig 3 Component holding mechanism 4 Capillary 5 Electric torch 6 Cutting mechanism 7 Cylindrical ceramic case 8 Zirconia element 9 Heater 10a, 10b Gold wire 11 CO gas sensor assembly 12a, 12b Lead pin 13a, 13b Lead pin 14 Catalyst A 15 Catalyst B 16 Lid A 17 Lid B 18 Mounter 19 Thermocouple 20 Cap

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 筒状セラミックケース内に、ジルコニア
素子を挿入し、これに、導線を接続した後、該ジルコニ
ア素子の両側に触媒を充填することを特徴とするCOガ
スセンサの製造法。
1. A method for manufacturing a CO gas sensor, comprising inserting a zirconia element into a cylindrical ceramic case, connecting a conductive wire to the zirconia element, and then filling both sides of the zirconia element with a catalyst.
【請求項2】 筒状セラミックケース内に、両側面に電
極を形成したジルコニア素子が挿入、固定され、その両
側の部屋には触媒が充填され、かつこの両端を多孔質の
セラミック板で封着し、このセラミック板から前記ジル
コニア素子に接合された導線を引出し、さらに筒状セラ
ミックケースの外周に加熱用ヒータを取付けたCOガス
センサを製造する方法において、ジルコニア素子を筒状
セラミックケース内のほぼ中央部に挿入、固定し、これ
を部品搬送装置で導線ボンディング位置に送り位置決め
した後、ジルコニア素子の片側への導線の接合を行い、
導線を切断した後、筒状セラミックケースを反転させ、
再度上記の工程を繰り返して上記と反対側のジルコニア
素子への導線の接合を行うことを特徴とするCOガスセ
ンサの製造法。
2. A zirconia element having electrodes formed on both sides is inserted and fixed in a cylindrical ceramic case, and the chambers on both sides are filled with a catalyst, and both ends are sealed with a porous ceramic plate. Then, a lead wire joined to the zirconia element is drawn out of the ceramic plate, and further, a method of manufacturing a CO gas sensor in which a heater for heating is attached to the outer periphery of the cylindrical ceramic case is provided. After inserting it into the part and fixing it, sending it to the wire bonding position with the component transfer device and positioning it, then join the wire to one side of the zirconia element,
After cutting the conductor, turn the cylindrical ceramic case over,
A method for manufacturing a CO gas sensor, comprising repeating the above steps to join a conducting wire to the zirconia element on the opposite side.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006133180A (en) * 2004-11-09 2006-05-25 Fis Inc Manufacturing method of gas-detecting element

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