JPH10194836A - Production of glassy carbon material - Google Patents

Production of glassy carbon material

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JPH10194836A
JPH10194836A JP8357898A JP35789896A JPH10194836A JP H10194836 A JPH10194836 A JP H10194836A JP 8357898 A JP8357898 A JP 8357898A JP 35789896 A JP35789896 A JP 35789896A JP H10194836 A JPH10194836 A JP H10194836A
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JP
Japan
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thermosetting resin
resin
glassy carbon
carbon material
water
Prior art date
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Pending
Application number
JP8357898A
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Japanese (ja)
Inventor
Takahiro Sato
孝洋 佐藤
Yoshihiro Yamazaki
由博 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the mold releasability of a molded body, to reduce strain in the molded body, to narrow the density distribution of the molded body and to obtain a glassy carbon material having narrow density distribution and almost free from microprores by curing a thermosetting resin mixed with a water-soluble salt and carrying out firing. SOLUTION: A mixture is prepd. by mixing at least one kind of thermosetting resin selected from among furan resin, phenolic resin and phenol modified furan resin with 0.0005-0.025mol water-soluble salt based on 1g of the resin. The salt is selected from among alkali metallic salts of org. acids, alkaline earth metallic salts of org. acids and transmission metallic salts of org. acids. The mixture is poured into a mold 1 consisting of a pair of flat plates 2, 3 confronting each other at 0.5-5mm interval and a sealing material 4, the thermosetting resin is cured by heating at 50-90 deg.C for 5-100hr and the resultant molded body 5 is released from the mold 1. A substrate 6 obtd. by working the molded body 5 in a prescribed shape is fired at 1,000-1,500 deg.C for 35-200hr in an inert gaseous atmosphere.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス状炭素製品
の製造方法に関する。さらに詳しくは、記録媒体用基板
をはじめ、磁気ヘッド、流体噴射用ノズル、滑り軸受、
スパッタリングターゲット等の素材に好適に使用しうる
ガラス状炭素材料の製造方法に関する。
[0001] The present invention relates to a method for producing a glassy carbon product. More specifically, including a recording medium substrate, a magnetic head, a nozzle for fluid ejection, a sliding bearing,
The present invention relates to a method for producing a glassy carbon material that can be suitably used for a material such as a sputtering target.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ハードディスク(HD)用基板に
代表される記録媒体用基板の耐衝撃性の向上、薄板化に
よる軽量化、軽量化によるモーター消費電力の低減等を
図るために、かかる基板の素材として、三次元網目構造
を有するガラス状炭素(Glass-like Carbon)材料が用い
られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in order to improve the impact resistance of a substrate for a recording medium represented by a substrate for a hard disk (HD), to reduce the weight by reducing the thickness, and to reduce the motor power consumption by reducing the weight, such a substrate is used. Glass-like carbon (Glass-like Carbon) material having a three-dimensional network structure is used as a material for the above.

【0003】前記ガラス状炭素材料は、熱硬化性樹脂を
型内で縮合反応により硬化させ、得られた硬化樹脂を焼
成することによって製造されている(特公昭63−44
684号公報、特公昭63−46004号公報)。
The above-mentioned glassy carbon material is produced by curing a thermosetting resin by a condensation reaction in a mold and baking the obtained cured resin (Japanese Patent Publication No. 63-44).
684, JP-B-63-46004).

【0004】また、前記ガラス状炭素材料を用いて記録
媒体用基板を製造する方法としては、まずフェノール変
性フラン樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂等の液状の
熱硬化性樹脂を調製し、この液状の熱硬化性樹脂と硬化
剤とを混合した後、平板状の硬化樹脂を成形するための
型内に注入し、その型内で熱硬化性樹脂を硬化させて平
板状の硬化樹脂を成形し、ついで該平板状の硬化樹脂か
ら所定の製品形状に対応した中央孔を有する硬化樹脂基
板を切り抜き、該硬化樹脂基板を焼成炉内で焼成して炭
素化させてガラス状炭素材料とし、しかる後に両面研磨
機によるラッピング、内外周面の砥石による研削、両面
研磨機によるポリッシング等を行ない、所定の平坦度、
表面粗さおよび寸法精度を有するガラス状炭素材料から
なる記録媒体用基板を製造する方法が知られている。
As a method of manufacturing a recording medium substrate using the glassy carbon material, first, a liquid thermosetting resin such as a phenol-modified furan resin, a phenol resin, and a furan resin is prepared, and the liquid thermosetting resin is prepared. After mixing the thermosetting resin and the curing agent, it is poured into a mold for molding a flat cured resin, and the thermosetting resin is cured in the mold to form a flat cured resin, Next, a cured resin substrate having a central hole corresponding to a predetermined product shape is cut out from the plate-shaped cured resin, and the cured resin substrate is fired in a firing furnace to be carbonized to obtain a glassy carbon material. Lapping with a polisher, grinding the inner and outer peripheral surfaces with a grindstone, polishing with a double-side polisher, etc.
2. Description of the Related Art A method for manufacturing a recording medium substrate made of a glassy carbon material having surface roughness and dimensional accuracy is known.

【0005】前記記録媒体用基板を製造する方法におい
て、型内で熱硬化性樹脂を硬化させる際には、一般に、
液状の熱硬化性樹脂と硬化剤とを混合し、減圧脱気させ
た後、常圧開放系の型内やバット内で注液後に縮合反応
により硬化させる方法が採られている。
In the method of manufacturing a recording medium substrate, when a thermosetting resin is cured in a mold, generally,
A method has been adopted in which a liquid thermosetting resin and a curing agent are mixed, degassed under reduced pressure, injected into a mold or vat of a normal pressure release system, and then cured by a condensation reaction.

【0006】しかしながら、前記方法を採用した場合に
は、前記熱硬化性樹脂は、型材との密着性が大きいた
め、特に極性が高い樹脂型や金属型と接着してしまうと
いう欠点がある。従って、前記方法によれば、前記熱硬
化性樹脂を硬化させることによって型どおりの成形体を
得ることができるが、離型させることが困難となるた
め、生産性が大きく低下するのみならず、離型させる際
に、成形体に歪みや密度分布が生じる。これらの歪みや
密度分布は、該成形体を焼成したときに密度分布や微小
孔を発生させることになるため、特に、高度な無孔性が
要求される、例えばハードディスク(HD)用基板に代
表される記録媒体用基板を安定的に製造するうえで大き
な障害となっている。
[0006] However, when the above method is adopted, the thermosetting resin has a disadvantage that it adheres to a resin mold or a metal mold having a particularly high polarity because the thermosetting resin has a high adhesion to a mold material. Therefore, according to the method, a molded article can be obtained according to the mold by curing the thermosetting resin, but it is difficult to release the mold, so that not only productivity is significantly reduced, Upon release from the mold, distortion and density distribution occur in the molded body. Since these strains and density distributions generate density distributions and micropores when the molded body is fired, particularly, for example, a substrate for a hard disk (HD) that requires a high degree of nonporosity is required. This is a major obstacle in stably manufacturing a recording medium substrate to be manufactured.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術に鑑みてなされたものであり、熱硬化性樹脂を型内で
成形させて得られた成形体を脱型させる際の離型性を向
上させ、ひいては生産性を向上させ、また該成形体に生
じる歪みや密度分布を低減させることにより、密度分布
や微小孔の発生が低減されたガラス状炭素材料の製造方
法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned prior art, and has a releasability in removing a molded article obtained by molding a thermosetting resin in a mold. To provide a method for producing a glassy carbon material in which the density distribution and the generation of micropores are reduced by improving strain, thereby improving the productivity and reducing the strain and density distribution generated in the molded body. Aim.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、熱硬化
性樹脂を硬化させ、得られた硬化樹脂を焼成してガラス
状炭素材料を製造する方法であって、前記熱硬化性樹脂
を硬化させる前に、前記熱硬化性樹脂に水に可溶の塩を
熱硬化性樹脂1gあたり0.0005〜0.025mo
lの割合で混合することを特徴とするガラス状炭素材料
の製造方法に関する。
The gist of the present invention is a method of producing a glassy carbon material by curing a thermosetting resin and baking the obtained cured resin. Before curing, a salt soluble in water is added to the thermosetting resin in an amount of 0.0005 to 0.025 mol per gram of the thermosetting resin.
The present invention relates to a method for producing a glassy carbon material, which comprises mixing at a ratio of 1.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明のガラス状炭素材料の製造
方法は、前記したように、熱硬化性樹脂を硬化させ、得
られた硬化樹脂を焼成してガラス状炭素材料を製造する
方法であり、前記熱硬化性樹脂を硬化させる前に、前記
熱硬化性樹脂に水に可溶の塩を熱硬化性樹脂1gあたり
0.0005〜0.025molの割合で混合すること
を特徴とする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The method for producing a glassy carbon material according to the present invention is, as described above, a method for producing a glassy carbon material by curing a thermosetting resin and firing the obtained cured resin. In addition, before curing the thermosetting resin, a salt soluble in water is mixed with the thermosetting resin at a ratio of 0.0005 to 0.025 mol per 1 g of the thermosetting resin.

【0010】本発明に用いられる熱硬化性樹脂として
は、縮合反応によって硬化するものであればよく、特に
限定がない。前記熱硬化性樹脂としては、例えば、フラ
ン樹脂、フェノール樹脂およびフェノール変性フラン樹
脂から選ばれた少なくと1種等を用いることができる。
The thermosetting resin used in the present invention is not particularly limited as long as it can be cured by a condensation reaction. As the thermosetting resin, for example, at least one selected from a furan resin, a phenol resin, and a phenol-modified furan resin can be used.

【0011】前記熱硬化性樹脂の代表例としては、例え
ば、フェノールまたはフルフリルアルコールとホルムア
ルデヒドまたはパラホルムアルデヒドとを共縮合させた
もの等があげられる。
A typical example of the thermosetting resin is a resin obtained by co-condensing phenol or furfuryl alcohol with formaldehyde or paraformaldehyde.

【0012】また、前記熱硬化性樹脂の具体例として
は、例えば、特公昭63−44684号公報に記載のフ
ェノール変性フラン樹脂等があげられる。
Specific examples of the thermosetting resin include, for example, a phenol-modified furan resin described in JP-B-63-44684.

【0013】なお、本発明においては、前記熱硬化性樹
脂の硬化剤は、該熱硬化性樹脂の種類に応じて適宜選択
して用いればよい。その一例として、例えば、熱硬化性
樹脂としてフェノール変性フラン樹脂を用いる場合に
は、特公昭63−44684号公報に記載されたパラト
ルエンスルホン酸、水およびグリコールの混合物等をあ
げることができる。
In the present invention, the curing agent for the thermosetting resin may be appropriately selected and used according to the type of the thermosetting resin. As an example, when a phenol-modified furan resin is used as the thermosetting resin, a mixture of paratoluenesulfonic acid, water and glycol described in JP-B-63-44684 can be exemplified.

【0014】前記硬化剤の使用量は、特に限定がない
が、通常、前記熱硬化性樹脂100重量部に対して5重
量部程度以下、なかんづく0.2〜1重量部程度であれ
ばよい。
The amount of the curing agent used is not particularly limited, but is usually about 5 parts by weight or less, preferably about 0.2 to 1 part by weight, per 100 parts by weight of the thermosetting resin.

【0015】本発明においては、前記熱硬化性樹脂に水
に可溶の塩を熱硬化性樹脂1gあたり0.0005〜
0.025molの割合で混合する点に、1つの大きな
特徴がある。
In the present invention, a water-soluble salt is added to the thermosetting resin in an amount of 0.0005 to 1 g per thermosetting resin.
One major feature is that mixing is performed at a rate of 0.025 mol.

【0016】一般に、熱硬化性樹脂を用いた場合には、
該熱硬化性樹脂の硬化時に縮合反応が生じ、その際には
水を生成する。この生成した水は、成形体と型との界面
にブリードアウトするので、離型性がある程度付与され
る場合があるが、その離型性は不十分であり、また型材
の種類によっては、却って離型性が格段に低下する場合
がある。
Generally, when a thermosetting resin is used,
During the curing of the thermosetting resin, a condensation reaction occurs, in which case water is generated. Since the generated water bleeds out to the interface between the molded body and the mold, the releasability may be given to some extent, but the releasability is insufficient, and depending on the type of the mold material, The releasability may be significantly reduced.

【0017】これに対して、本発明においては、熱硬化
性樹脂に水に可溶の塩を熱硬化性樹脂1gあたり0.0
005〜0.025molの割合で混合するという手段
が採られていることにより、以下に示すような優れた作
用が発現される。
On the other hand, in the present invention, a water-soluble salt is added to the thermosetting resin in an amount of 0.03 g / g of the thermosetting resin.
By adopting the means of mixing at a ratio of 005 to 0.025 mol, the following excellent effects are exhibited.

【0018】すなわち、本発明に用いられる熱硬化性樹
脂は、縮合反応によって硬化し、その際に生成した水の
量が、硬化樹脂に対して約10〜20重量%にもなる。
かかる生成水は、ある程度は硬化樹脂外へブリードアウ
トするが、硬化樹脂の硬度(ビッカース硬度)Hvが1
程度になるまで硬化しても、多い場合には硬化樹脂中に
10重量%近くも水分が存在する。熱硬化性樹脂の硬化
が進むと、熱硬化性樹脂がより疎水性になることによ
り、水が凝集し、水滴が生じ、かかる水滴が硬化樹脂に
微小孔をつくるようになる。
That is, the thermosetting resin used in the present invention is cured by a condensation reaction, and the amount of water generated at that time is about 10 to 20% by weight based on the cured resin.
Although the generated water bleeds out of the cured resin to some extent, the hardness (Vickers hardness) Hv of the cured resin is 1
Even if the resin is cured to a degree, if it is large, moisture is present in the cured resin as much as about 10% by weight. As the curing of the thermosetting resin progresses, the thermosetting resin becomes more hydrophobic, so that water aggregates and water droplets are formed, and the water droplets form micropores in the cured resin.

【0019】ところが、本発明においては、熱硬化性樹
脂に水に可溶の塩を熱硬化性樹脂1gあたり0.000
5〜0.025molの割合で混合するという手段が採
られており、かかる水に可溶の塩が水滴の核となるの
で、かかる水滴が硬化樹脂に微小孔を生じさせがたくす
るため、微小孔の発生のないガラス状炭素材料が安定的
に得られるようになる。
However, in the present invention, a water-soluble salt is added to the thermosetting resin in an amount of 0.000 g / g of the thermosetting resin.
A means of mixing at a rate of 5 to 0.025 mol is employed, and such a salt soluble in water becomes a nucleus of water droplets. A glassy carbon material without pores can be stably obtained.

【0020】また、本発明おいては、熱硬化性樹脂の縮
合反応によって生成した水が、硬化樹脂と型材との界面
にある程度ブリードアウトし、離型性が発現されるが、
それだけでは、離型性は不充分である。さらに、型材の
種類によっては、かえって離型性が格段に低下すること
がある。
In the present invention, the water generated by the condensation reaction of the thermosetting resin bleeds out to an interface between the cured resin and the mold material to some extent, thereby exhibiting the releasability.
If it is used alone, the releasability is insufficient. Further, the releasability may be significantly reduced depending on the type of the mold material.

【0021】ところが、本発明においては、熱硬化性樹
脂の縮合反応によって生成した水と、かかる水に溶解し
ていた塩の析出との相乗効果によって、脱型性が顕著に
向上する。
However, in the present invention, the releasability is remarkably improved by a synergistic effect of water generated by the condensation reaction of the thermosetting resin and precipitation of the salt dissolved in the water.

【0022】このように、塩の存在下で硬化することに
より、安定して無孔性の成形体が得られ、しかも得られ
た成形体は型材との脱型性に優れるため、脱型時の負荷
が大幅に低減される。このことにより、生産性が向上す
るばかりでなく、成形体内部に生じる硬化歪みが小さく
なるため、割れ等が起こり難くなり、成形体収率および
焼成収率が向上し、さらには焼成して得られたガラス状
炭素材料は均一で、研磨後の収率も高くなるため品質的
に安定するといういくつもの優れた性質が発現されるの
である。
As described above, by curing in the presence of a salt, a non-porous molded product can be obtained stably, and the obtained molded product has excellent removability from a mold material. Is greatly reduced. This not only improves the productivity, but also reduces the hardening strain generated inside the molded product, so that cracks and the like are less likely to occur, the molded product yield and the firing yield are improved, and further, the product is obtained by firing. The obtained glassy carbon material is uniform and has a high yield after polishing, so that several excellent properties such as stable quality are exhibited.

【0023】本発明において、水に可溶の塩の熱硬化性
樹脂1gあたりの量は、脱型性を向上させ、また得られ
る成形体に微小孔が発生しないようにするために、0.
0005mol以上、好ましくは0.001mol以
上、さらに好ましくは0.0025mol以上とされ、
また塩に含まれる金属により、得られる成形体に微小孔
が発生しないようにし、また焼成炉の金属汚染や研磨収
率の低下を防ぐために、0.025mol以下、好まし
くは0.015mol以下、さらに好ましくは0.01
mol以下とされる。
In the present invention, the amount of the salt soluble in water per 1 g of the thermosetting resin is set at 0.1 to improve the releasability and to prevent the formation of micropores in the obtained molded article.
0005 mol or more, preferably 0.001 mol or more, more preferably 0.0025 mol or more,
Further, in order to prevent micropores from being generated in the obtained molded article due to the metal contained in the salt, and to prevent metal contamination of the firing furnace and a reduction in polishing yield, 0.025 mol or less, preferably 0.015 mol or less, Preferably 0.01
mol or less.

【0024】前記水に可溶の塩としては、水に可溶のも
のであればとくに限定がない。かかる水に可溶の塩の具
体例としては、例えば、有機酸アルカリ金属塩、有機酸
アルカリ土類金属塩、有機酸遷移金属塩等が挙げられ
る。かかる水に可溶の塩は、単独でまたは2種以上を混
合して用いられる。これらのなかでは、パラトルエンス
ルホン酸塩、パラフェノールスルホン酸塩等のベンゼン
環を有する有機酸アルカリ金属塩は、熱硬化性樹脂の硬
化時に生成した水での分散性に優れるので、本発明にお
いては、好適に使用しうるものである。
The water-soluble salt is not particularly limited as long as it is soluble in water. Specific examples of such water-soluble salts include, for example, organic acid alkali metal salts, organic acid alkaline earth metal salts, and organic acid transition metal salts. Such water-soluble salts are used alone or in combination of two or more. Among these, paratoluenesulfonic acid salts, organic acid alkali metal salts having a benzene ring such as paraphenolsulfonic acid salts are excellent in dispersibility in water generated at the time of curing of a thermosetting resin. Is preferably used.

【0025】次に、本発明のガラス状炭素材料の製造方
法を図面に基づいて説明する。
Next, the method for producing the glassy carbon material of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0026】図1は、本発明のガラス状炭素材料の製造
方法の一実施態様及び得られたガラス状炭素材料から、
例えば、記録媒体用基材を製造する方法の一実施態様を
示す概略説明図である。
FIG. 1 shows one embodiment of the method for producing a glassy carbon material of the present invention and the obtained glassy carbon material.
For example, it is a schematic explanatory view showing one embodiment of a method for producing a base material for a recording medium.

【0027】図1(a)において、1は、熱硬化性樹脂
の成形を行なうための型である。型1は、所定の間隙を
開けて対向する一対の平板2、3と、該平板2、3の隙
間の周囲を封止するためのシール材4とからなる。
In FIG. 1A, reference numeral 1 denotes a mold for molding a thermosetting resin. The mold 1 includes a pair of flat plates 2 and 3 facing each other with a predetermined gap therebetween, and a sealing material 4 for sealing the periphery of the gap between the flat plates 2 and 3.

【0028】平板2、3の素材としては、例えば、ガラ
ス、ステンレス鋼、アルミニウム、各種樹脂等があげら
れるが、本発明は、かかる例示のみに限定されるもので
はない。
Examples of the material for the flat plates 2 and 3 include glass, stainless steel, aluminum, and various resins, but the present invention is not limited to the above examples.

【0029】また、シール材4の材質としては、例え
ば、シリコーン、塩化ビニル樹脂等の樹脂、各種ゴム等
の平板2、3との密着性に優れ、気体の透過性が低い素
材等があげられる。
Examples of the material of the sealing material 4 include materials such as silicone, vinyl chloride resin and the like, various rubbers and the like which have excellent adhesion to the flat plates 2 and 3 and have low gas permeability. .

【0030】平板2、3の間隙は、ガラス状炭素材料の
用途等に応じて適宜調整すればよく、特に限定がない
が、通常、0.5〜5mm程度であればよい。
The gap between the flat plates 2 and 3 may be appropriately adjusted according to the use of the glassy carbon material and the like, and is not particularly limited, but is usually about 0.5 to 5 mm.

【0031】平板2、3の間隙には、前記したように、
通常、熱硬化性樹脂と硬化剤とを混合し、ついでこの混
合物に水に可溶の塩を混合したのち、得られた混合液を
注液すればよい。
In the gap between the flat plates 2 and 3, as described above,
Usually, a thermosetting resin and a curing agent are mixed, then a water-soluble salt is mixed into the mixture, and the resulting mixed solution may be poured.

【0032】次に、平板2、3の間で熱硬化性樹脂を硬
化させることにより、平板状の硬化樹脂からなる成形体
が得られる。
Next, the thermosetting resin is cured between the flat plates 2 and 3 to obtain a molded product made of the flat cured resin.

【0033】前記熱硬化性樹脂を硬化させる際の加熱温
度および加熱時間には、特に限定がなく、該熱硬化性樹
脂の種類等に応じて適宜設定すればよい。通常、加熱温
度は50〜90℃、また加熱時間は5〜100時間の範
囲内から選択される。
The heating temperature and the heating time for curing the thermosetting resin are not particularly limited, and may be appropriately set according to the type of the thermosetting resin. Usually, the heating temperature is selected from the range of 50 to 90 ° C, and the heating time is selected from the range of 5 to 100 hours.

【0034】次に、硬化終了後、図1(b)に示される
ように、型1から脱型した成形体5から、互いに同心に
配置された大小一対の環状切れ刃を有する工具や旋盤等
により、所定の最終形状を有する硬化樹脂基板6を切り
抜く。硬化樹脂基板6は、それぞれ中央孔を有するディ
スクである。
Next, after the curing is completed, as shown in FIG. 1 (b), a tool, a lathe or the like having a pair of large and small annular cutting blades concentrically arranged from the molded body 5 removed from the mold 1. Thereby, the cured resin substrate 6 having a predetermined final shape is cut out. The cured resin substrate 6 is a disk having a central hole.

【0035】次に、得られた硬化樹脂基板6を焼成炉内
に入れ、例えば、窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガ
ス雰囲気中で、5〜30℃/時間程度の昇温速度で10
00〜1500℃程度の温度に昇温させ、所望の時間、
例えば、35〜200時間程度焼成することによって炭
素化させたのち冷却することにより、例えば、図1
(c)に示される形状を有するガラス状炭素材料7を得
ることができる。
Next, the obtained cured resin substrate 6 is placed in a firing furnace, and is heated at a rate of 5 to 30 ° C./hour in an inert gas atmosphere such as nitrogen gas or argon gas.
The temperature is raised to a temperature of about 00 to 1500 ° C. for a desired time,
For example, by carbonizing by baking for about 35 to 200 hours and then cooling, for example, FIG.
The glassy carbon material 7 having the shape shown in (c) can be obtained.

【0036】次に、ガラス状炭素材料7から、例えば、
記録媒体用基材を製造する場合には、ガラス状炭素材料
7を両面研磨機等でラッピングし、砥石等により該ガラ
ス状炭素材料7の外周面と内周面とを研削し、その直径
を整えるとともに角部の面取りを行ない、両面研磨機等
によりポリッシングを行なうことにより、最終製品に要
求される所要の平坦度、面粗さおよび寸法精度を有する
記録媒体用基材を得ることができる。
Next, from the glassy carbon material 7, for example,
When manufacturing a recording medium substrate, the glassy carbon material 7 is wrapped with a double-side polishing machine or the like, and the outer and inner peripheral surfaces of the glassy carbon material 7 are ground with a grindstone or the like, and the diameter thereof is reduced. By trimming and chamfering the corners and polishing with a double-side polishing machine or the like, it is possible to obtain a recording medium substrate having the required flatness, surface roughness and dimensional accuracy required for the final product.

【0037】[0037]

【実施例】次に、本発明のガラス状炭素材料の製造方法
を実施例に基づいて説明するが、本発明はかかる実施例
のみに限定されるものではない。
EXAMPLES Next, the method for producing the glassy carbon material of the present invention will be described based on examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0038】製造例1 フルフリルアルコール500重量部にパラホルムアルデ
ヒド470重量部および水190重量部の混合物を添加
し、攪拌しながら80℃にまで昇温させた。
Production Example 1 A mixture of 470 parts by weight of paraformaldehyde and 190 parts by weight of water was added to 500 parts by weight of furfuryl alcohol, and the mixture was heated to 80 ° C. while stirring.

【0039】次に、得られた混合物に、フェノール67
0重量部と水酸化カルシウム18重量部との混合物を8
0℃で攪拌しながら滴下させた後、80℃で3時間熟成
させ、室温にまで冷却し、パラトルエンスルホン酸でp
Hを3〜5に調整した。
Next, phenol 67 was added to the obtained mixture.
8 parts by weight of a mixture of 0 parts by weight and 18 parts by weight of calcium hydroxide
After dropwise addition with stirring at 0 ° C, the mixture was aged at 80 ° C for 3 hours, cooled to room temperature, and p-toluenesulfonic acid was added.
H was adjusted to 3-5.

【0040】次に、これをフルフリルアルコール500
重量部で希釈した後、60℃で5〜25mmHgの減圧
下で水200重量部を脱水することにより、熱硬化性樹
脂として、25℃における粘度が300cPのフェノー
ル変性フラン樹脂を得た。
Next, this was added to furfuryl alcohol 500
After dilution with parts by weight, 200 parts by weight of water was dehydrated under reduced pressure of 5 to 25 mmHg at 60 ° C. to obtain a phenol-modified furan resin having a viscosity of 300 cP at 25 ° C. as a thermosetting resin.

【0041】実施例1 製造例1で得られたフェノール変性フラン樹脂を攪拌し
ながら、該フェノール変性フラン樹脂1gあたり0.0
025molの割合で水に可溶の塩としてパラトルエン
スルホン酸カルシウム塩を添加し、充分に混合したの
ち、これにパラトルエンスルホン酸70重量%、水20
重量%およびグリコール10重量%からなる硬化剤を該
フェノール変性フラン樹脂100重量部に対して0.5
重量部の割合で添加した。
Example 1 While stirring the phenol-modified furan resin obtained in Production Example 1, 0.0 g / g of the phenol-modified furan resin was stirred.
Calcium paratoluenesulfonate as a salt soluble in water was added at a rate of 025 mol, and the mixture was thoroughly mixed.
% By weight of a phenol-modified furan resin and 0.5% by weight of a glycol,
It was added in parts by weight.

【0042】次に、得られた混合物を減圧脱泡させた
後、得られた混合液を2枚のガラス板(400×400
×6mm)の端部にシリコーンチューブ(外径4mm、
内径2mm)が挟まれ、シールされた有効厚さが2mm
の型内に注型した。
Next, after the obtained mixture was degassed under reduced pressure, the obtained mixture was placed on two glass plates (400 × 400).
X6mm) to the end of silicone tube (outer diameter 4mm,
(2mm inside diameter) is sandwiched and the sealed effective thickness is 2mm
Cast in the mold.

【0043】次に、この型を常圧下で、乾燥機の中に入
れ、80℃で48時間加熱することにより、硬化反応を
行なった。
Next, the mold was placed in a drier under normal pressure and heated at 80 ° C. for 48 hours to carry out a curing reaction.

【0044】硬化終了後、得られた成形体の脱型を行な
ったが、脱型は非常にスムーズで、得られた成形体の型
材への付着がなく、該成形体には割れの発生がまったく
なかった。
After the curing was completed, the obtained molded article was demolded. The demolding was very smooth, there was no adhesion of the obtained molded article to the mold material, and cracks occurred in the molded article. Not at all.

【0045】次に、得られた成形体を管状炉に入れ、窒
素ガス気流下で10℃/時間の昇温速度で1200℃に
まで昇温し、該温度にて2時間保持して焼成した後、冷
却し、ガラス状炭素材料を得た。
Next, the obtained compact was placed in a tubular furnace, heated to 1200 ° C. at a rate of 10 ° C./hour under a nitrogen gas stream, and calcined while maintaining the temperature for 2 hours. Thereafter, the resultant was cooled to obtain a glassy carbon material.

【0046】得られたガラス状炭素材料の物性として、
微小孔の発生状況および密度のバラツキを以下の方法に
従って調べた。その結果を表1に示す。
As physical properties of the obtained glassy carbon material,
The occurrence of micropores and the variation in density were examined according to the following methods. Table 1 shows the results.

【0047】(1)微小孔の発生状況 得られたガラス状炭素材料を#3000SiC砥粒およ
び0.5μmダイヤモンド砥粒で両面研磨機を用いて研
磨し、研磨面の1cm2 あたりの微小孔の発生状況を光
学顕微鏡(×100倍)で観察する。
(1) Generation of Micropores The obtained glassy carbon material was polished with # 3000 SiC abrasive grains and 0.5 μm diamond abrasive grains using a double-side polishing machine, and the micropores per 1 cm 2 of the polished surface were polished. The state of occurrence is observed with an optical microscope (× 100).

【0048】(2)密度のバラツキ 得られたガラス状炭素材料が均質であるかどうかを評価
するために、密度を測定する。
(2) Variation in Density In order to evaluate whether or not the obtained glassy carbon material is homogeneous, the density is measured.

【0049】得られたガラス状炭素材料2個につき、四
隅および中央部の密度(計10点)を密度勾配管(柴山
器械科学製作所(株)製、A型直読式比重測定器)を用
いて測定し、その平均値とバラツキを調べる。
With respect to the two obtained glassy carbon materials, the densities at the four corners and the central part (total of 10 points) were measured using a density gradient tube (A-type direct-reading specific gravity measuring device, manufactured by Shibayama Kikai Seisakusho Co., Ltd.). Measure and examine the average and variation.

【0050】実施例2 実施例1において、製造例1で得られたフェノール変性
フラン樹脂を攪拌しながら、該フェノール変性フラン樹
脂1gあたり0.007molの割合で水に可溶の塩と
してパラトルエンスルホン酸カルシウム塩を添加し、ま
たガラス板2枚の代わりにステンレス鋼板(300×3
00×2mm)2枚を用いた以外は、実施例1と同様に
して成形体を得た。
Example 2 In Example 1, while stirring the phenol-modified furan resin obtained in Production Example 1, a water-soluble salt of p-toluenesulfone was added in an amount of 0.007 mol per 1 g of the phenol-modified furan resin. Acid calcium salt, and stainless steel plate (300 × 3) instead of two glass plates
(00 × 2 mm) A molded article was obtained in the same manner as in Example 1 except that two sheets were used.

【0051】硬化終了後、得られた成形体の脱型を行な
ったが、脱型は非常にスムーズで、得られた成形体の型
材への付着がなく、該成形体には割れの発生がまったく
なかった。
After the curing was completed, the obtained molded article was released from the mold. The demolding was very smooth, there was no adhesion of the obtained molded article to the mold material, and cracks occurred in the molded article. Not at all.

【0052】次に、得られた成形体を実施例1と同様に
して焼成し、ガラス状炭素材料を得た。
Next, the obtained molded body was fired in the same manner as in Example 1 to obtain a glassy carbon material.

【0053】得られたガラス状炭素材料の物性として、
微小孔の発生状況及び密度のバラツキを実施例1と同様
にして調べた。その結果を表1に示す。
As physical properties of the obtained glassy carbon material,
The occurrence of micropores and variations in density were examined in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0054】実施例3 実施例1において、製造例1で得られたフェノール変性
フラン樹脂を攪拌しながら、該フェノール変性フラン樹
脂1gあたり0.0035molの割合で水に可溶の塩
としてパラフェノールスルホン酸ナトリウム塩を添加
し、またガラス板2枚の代わりにステンレス鋼板(30
0×300×2mm)2枚を用いた以外は、実施例1と
同様にして成形体を得た。
Example 3 In Example 1, while stirring the phenol-modified furan resin obtained in Production Example 1, a salt soluble in water at a ratio of 0.0035 mol per 1 g of the phenol-modified furan resin was converted to paraphenol sulfone. Acid sodium salt and a stainless steel plate (30
A molded article was obtained in the same manner as in Example 1 except that two sheets (0 × 300 × 2 mm) were used.

【0055】硬化終了後、得られた成形体の脱型を行な
ったが、脱型は非常にスムーズで、得られた成形体の型
材への付着がなく、該成形体には割れの発生がまったく
なかった。
After the curing was completed, the obtained molded article was released from the mold. The demolding was very smooth, the resulting molded article did not adhere to the mold material, and cracks occurred in the molded article. Not at all.

【0056】次に、得られた成形体を実施例1と同様に
して焼成し、ガラス状炭素材料を得た。
Next, the obtained molded body was fired in the same manner as in Example 1 to obtain a glassy carbon material.

【0057】得られたガラス状炭素材料の物性として、
微小孔の発生状況及び密度のバラツキを実施例1と同様
にして調べた。その結果を表1に示す。
As physical properties of the obtained glassy carbon material,
The occurrence of micropores and variations in density were examined in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0058】実施例4 実施例1において、製造例1で得られたフェノール変性
フラン樹脂を攪拌しながら、該フェノール変性フラン樹
脂1gあたり0.013molの割合で水に可溶の塩と
してパラトルエンスルホン酸カルシウム塩を添加し、ま
たガラス板2枚の代わりにステンレス鋼板(300×3
00×2mm)2枚を用いた以外は、実施例1と同様に
して成形体を得た。
Example 4 In Example 1, while stirring the phenol-modified furan resin obtained in Production Example 1 while stirring, para-toluene sulfone was dissolved as a salt soluble in water at a rate of 0.013 mol per 1 g of the phenol-modified furan resin. Acid calcium salt, and stainless steel plate (300 × 3) instead of two glass plates
(00 × 2 mm) A molded article was obtained in the same manner as in Example 1 except that two sheets were used.

【0059】硬化終了後、得られた成形体の脱型を行な
ったが、脱型は非常にスムーズで、得られた成形体の型
材への付着がなく、該成形体には割れの発生がまったく
なかった。
After the curing was completed, the obtained molded article was released from the mold. The demolding was very smooth, there was no adhesion of the obtained molded article to the mold material, and cracks occurred in the molded article. Not at all.

【0060】次に、得られた成形体を実施例1と同様に
して焼成し、ガラス状炭素材料を得た。
Next, the obtained molded body was fired in the same manner as in Example 1 to obtain a glassy carbon material.

【0061】得られたガラス状炭素材料の物性として、
微小孔の発生状況及び密度のバラツキを実施例1と同様
にして調べた。その結果を表1に示す。
As physical properties of the obtained glassy carbon material,
The occurrence of micropores and variations in density were examined in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0062】比較例1 実施例1において、水に可溶の塩をまったく用いなかっ
た以外は、実施例1と同様にして成形体を得た。
Comparative Example 1 A molded article was obtained in the same manner as in Example 1, except that no water-soluble salt was used.

【0063】硬化終了後、得られた成形体の脱型を行な
ったが、得られた成形体が型材に付着し、該成形体の一
部に割れの発生が認められた。
After the curing was completed, the obtained molded product was demolded. The obtained molded product adhered to the mold material, and cracks were observed in a part of the molded product.

【0064】次に、得られた成形体を実施例1と同様に
して焼成し、ガラス状炭素材料を得た。
Next, the obtained molded body was fired in the same manner as in Example 1 to obtain a glassy carbon material.

【0065】得られたガラス状炭素材料の物性として、
微小孔の発生状況及び密度のバラツキを実施例1と同様
にして調べた。その結果を表1に示す。
As physical properties of the obtained glassy carbon material,
The occurrence of micropores and variations in density were examined in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0066】比較例2 実施例2において、水に可溶の塩をまったく用いなかっ
た以外は、実施例1と同様にして成形体を得た。
Comparative Example 2 A molded article was obtained in the same manner as in Example 2 except that no water-soluble salt was used.

【0067】硬化終了後、得られた成形体の脱型を行な
おうとしたが、成形体が型材に付着していたため、脱型
するのに長時間を要し、さらに該成形体の大部分に割れ
の発生が認められた。
After the curing was completed, the obtained molded article was demolded. However, since the molded article was adhered to the mold material, it took a long time to demold, and most of the molded article was removed. The occurrence of cracks was observed.

【0068】次に、得られた成形体を実施例1と同様に
して焼成し、ガラス状炭素材料を得た。
Next, the obtained molded body was fired in the same manner as in Example 1 to obtain a glassy carbon material.

【0069】得られたガラス状炭素材料の物性として、
微小孔の発生状況及び密度のバラツキを実施例1と同様
にして調べた。その結果を表1に示す。
As physical properties of the obtained glassy carbon material,
The occurrence of micropores and variations in density were examined in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0070】比較例3 実施例1において、製造例1で得られたフェノール変性
フラン樹脂を攪拌しながら、該フェノール変性フラン樹
脂1gあたり0.005molの割合で水にほとんど溶
解しない塩として炭酸カルシウム塩を添加し、またガラ
ス板2枚の代わりにステンレス鋼板(300×300×
2mm)2枚を用いた以外は、実施例1と同様にして成
形体を得た。
COMPARATIVE EXAMPLE 3 In Example 1, while stirring the phenol-modified furan resin obtained in Production Example 1, a calcium carbonate salt as a salt almost insoluble in water at a ratio of 0.005 mol per 1 g of the phenol-modified furan resin. And a stainless steel plate (300 × 300 ×
2 mm) A molded article was obtained in the same manner as in Example 1 except that two sheets were used.

【0071】硬化終了後、得られた成形体の脱型を行な
おうとしたが、成形体が型材に付着してしまい、そのた
め成形体の大部分が割れてしまった。
After the curing was completed, the obtained molded product was demolded, but the molded product adhered to the mold material, and most of the molded product was broken.

【0072】また、断面を観察すると、数μm〜数十μ
mの炭酸カルシウム塊が多数発生していた。
Further, when the cross section is observed, it is found that
m mass of calcium carbonate was generated.

【0073】次に、得られた成形体を実施例1と同様に
して焼成し、ガラス状炭素材料を得た。
Next, the obtained molded body was fired in the same manner as in Example 1 to obtain a glassy carbon material.

【0074】得られたガラス状炭素材料の物性として、
微小孔の発生状況及び密度のバラツキを実施例1と同様
にして調べた。その結果を表1に示す。
As physical properties of the obtained glassy carbon material,
The occurrence of micropores and variations in density were examined in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0075】[0075]

【表1】 [Table 1]

【0076】表1に示された結果から、実施例1〜4の
方法は、熱硬化性樹脂に水に可溶の塩が、熱硬化性樹脂
1gあたり0.0005〜0.025molの割合で用
いられていることにより、離型性能に優れ、生産性が良
好であり、また得られたガラス状炭素材料は、クラック
や微小孔の発生がほとんどなく、密度分布が小さいもの
であることがわかる。
From the results shown in Table 1, according to the methods of Examples 1 to 4, the water-soluble salt was dissolved in the thermosetting resin at a ratio of 0.0005 to 0.025 mol per gram of the thermosetting resin. By being used, it is understood that the mold release performance is excellent, the productivity is good, and the obtained glassy carbon material has little cracks and micropores and a small density distribution. .

【0077】これに対して、比較例1〜2の方法は、熱
硬化性樹脂に水に可溶の塩が添加されていないので、離
型性能が悪く、生産性に劣り、また得られたガラス状炭
素材料は、クラック、微小孔の発生が多く、密度分布の
バラツキが大きいものであることがわかる。
On the other hand, in the methods of Comparative Examples 1 and 2, the water-soluble salt was not added to the thermosetting resin, so that the mold release performance was poor, the productivity was poor, and the method was obtained. It can be seen that the glassy carbon material has many occurrences of cracks and micropores, and has a large variation in density distribution.

【0078】また、比較例3の方法は、熱硬化性樹脂に
水に不溶の塩が用いられていることにより、離型性能が
悪く、生産性に劣り、また得られたガラス状炭素材料
は、クラックや微小孔の発生が多く、密度分布のバラツ
キが大きいものであることがわかる。
In the method of Comparative Example 3, the use of a water-insoluble salt in the thermosetting resin resulted in poor mold release performance and poor productivity, and the obtained glassy carbon material was It can be seen that many cracks and micropores are generated, and that the density distribution varies greatly.

【0079】[0079]

【発明の効果】本発明のガラス状炭素材料の製造方法に
よれば、熱硬化性樹脂を型内で成形させて得られた成形
体を脱型させる際の離型性を向上させ、ひいては生産性
を向上させ、また該成形体に生じる歪みや密度分布を低
減させることができるので、密度分布や微小孔の発生が
低減されたガラス状炭素材料を生産性よく製造すること
ができるという効果が奏される。
According to the method for producing a glassy carbon material of the present invention, the releasability at the time of demolding a molded article obtained by molding a thermosetting resin in a mold is improved, and thus the production is improved. Since it is possible to improve the properties and reduce the strain and density distribution generated in the molded body, it is possible to produce a glassy carbon material with reduced density distribution and generation of micropores with high productivity. Is played.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明のガラス状炭素材料の製造方法
の一実施態様を示す概略説明図である。
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing one embodiment of a method for producing a glassy carbon material of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 型 2 平板 3 平板 4 シール材 5 成形体 6 硬化樹脂基板 7 ガラス状炭素材料 Reference Signs List 1 mold 2 flat plate 3 flat plate 4 sealant 5 molded body 6 cured resin substrate 7 glassy carbon material

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 熱硬化性樹脂を硬化させ、得られた硬化
樹脂を焼成してガラス状炭素材料を製造する方法であっ
て、前記熱硬化性樹脂を硬化させる前に、前記熱硬化性
樹脂に水に可溶の塩を熱硬化性樹脂1gあたり0.00
05〜0.025molの割合で混合することを特徴と
するガラス状炭素材料の製造方法。
1. A method for producing a glassy carbon material by curing a thermosetting resin and baking the obtained cured resin, wherein the thermosetting resin is cured before the thermosetting resin is cured. Water-soluble salt per 1 g of thermosetting resin
A method for producing a glassy carbon material, comprising mixing at a rate of from 0.05 to 0.025 mol.
【請求項2】 熱硬化性樹脂に水に可溶の塩を、熱硬化
性樹脂1gあたり0.001〜0.015molの割合
で混合する請求項1記載のガラス状炭素材料の製造方
法。
2. The method for producing a glassy carbon material according to claim 1, wherein a salt soluble in water is mixed with the thermosetting resin at a ratio of 0.001 to 0.015 mol per 1 g of the thermosetting resin.
【請求項3】 熱硬化性樹脂に水に可溶の塩を、熱硬化
性樹脂1gあたり0.0025〜0.01molの割合
で混合する請求項1記載のガラス状炭素材料の製造方
法。
3. The method for producing a glassy carbon material according to claim 1, wherein a salt soluble in water is mixed with the thermosetting resin at a ratio of 0.0025 to 0.01 mol per 1 g of the thermosetting resin.
【請求項4】 水に可溶の塩が有機酸アルカリ金属塩、
有機酸アルカリ土類金属塩または有機酸遷移金属塩であ
る請求項1〜3いずれか記載のガラス状炭素材料の製造
方法。
4. An alkali metal salt of an organic acid, wherein the salt soluble in water is
The method for producing a glassy carbon material according to any one of claims 1 to 3, which is an organic acid alkaline earth metal salt or an organic acid transition metal salt.
【請求項5】 熱硬化性樹脂がフラン樹脂、フェノール
樹脂およびフェノール変性フラン樹脂から選ばれた少な
くとも1種である請求項1〜4いずれか記載のガラス状
炭素材料の製造方法。
5. The method for producing a glassy carbon material according to claim 1, wherein the thermosetting resin is at least one selected from a furan resin, a phenol resin, and a phenol-modified furan resin.
【請求項6】 熱硬化性樹脂がフェノールまたはフルフ
リルアルコールとホルムアルデヒドまたはパラホルムア
ルデヒドとを共縮合させたものである請求項1〜5いず
れか記載のガラス状炭素材料の製造方法。
6. The method for producing a glassy carbon material according to claim 1, wherein the thermosetting resin is obtained by co-condensing phenol or furfuryl alcohol with formaldehyde or paraformaldehyde.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001278609A (en) * 2000-03-30 2001-10-10 Sumitomo Durez Co Ltd Method of producing oxygen-containing carbonaceous material
US6725526B2 (en) * 2002-01-14 2004-04-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method of forming microsuspension assemblies for direct access storage devices

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001278609A (en) * 2000-03-30 2001-10-10 Sumitomo Durez Co Ltd Method of producing oxygen-containing carbonaceous material
US6725526B2 (en) * 2002-01-14 2004-04-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method of forming microsuspension assemblies for direct access storage devices
US7170715B2 (en) 2002-01-14 2007-01-30 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Microsuspension assemblies for direct access storage devices
US7340823B2 (en) 2002-01-14 2008-03-11 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Methods for forming head suspension assemblies

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