JPH10194769A - Production of optical fiber - Google Patents

Production of optical fiber

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JPH10194769A
JPH10194769A JP567397A JP567397A JPH10194769A JP H10194769 A JPH10194769 A JP H10194769A JP 567397 A JP567397 A JP 567397A JP 567397 A JP567397 A JP 567397A JP H10194769 A JPH10194769 A JP H10194769A
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optical fiber
core
burner
porous
refractive index
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佳生 横山
Akira Urano
章 浦野
Toshio Danzuka
俊雄 彈塚
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    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B2207/50Multiple burner arrangements
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B2207/60Relationship between burner and deposit, e.g. position
    • C03B2207/64Angle

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a producing method of optical fiber provided with such a structure as to effectively restrain any influences due to a non-linear optical effect with increased MFD and downsize the diameter of the inside core of the optical fiber. SOLUTION: This method is to make an interference between a flame from the second burner 552 for forming the second porous glass 652 bound to become the outside core and another flame from the first burner 551 for forming the first porous glass 651 bound to become the inside core, and to dispose the second burner 552 in a specific position so as to enable downsizing the diameter of the first porous glass 651 viz. the inside core of the resulting optical fiber.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、長距離大容量光
通信システムに適用可能な光ファイバであって、特に、
波長分割多重(WDM)通信方式に好適でかつその零分
散波長が所望範囲範囲内に設定された分散シフトファイ
バの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber applicable to a long-distance, large-capacity optical communication system.
The present invention relates to a method of manufacturing a dispersion-shifted fiber suitable for a wavelength division multiplexing (WDM) communication system and having a zero dispersion wavelength set within a desired range.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、伝送路としてシングルモード
光ファイバ(以下、SM光ファイバという)が適用され
た光通信システムでは、通信用信号光として1.3μm
波長帯あるいは1.55μm波長帯の光が利用されるこ
とが多かった。ただし、最近では、伝送路中における伝
送損失低減の観点から1.55μm波長帯の光の使用が
増しつつある。特に、1.55μm波長帯の光の伝送路
に適用されるSM光ファイバ(以下、1.55μm用S
M光ファイバという)は、石英系SM光ファイバの伝送
損失が1.55μm波長帯の光に対して最小になること
から、その波長分散(波長によって光の伝搬速度が異な
るためパルス波が広がる現象)も1.55μm波長帯の
光に対してゼロになるよう設計されている。このよう
に、ゼロ分散波長が1.55μm波長帯付近にシフトし
た1.55μm用SM光ファイバは、一般に分散シフト
ファイバと呼ばれる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical communication system to which a single mode optical fiber (hereinafter referred to as SM optical fiber) is applied as a transmission line, a signal light for communication is 1.3 μm.
In many cases, light in the wavelength band or the 1.55 μm wavelength band is used. However, recently, use of light in a 1.55 μm wavelength band has been increasing from the viewpoint of reducing transmission loss in a transmission line. In particular, an SM optical fiber (hereinafter referred to as 1.55 μm S
Since the transmission loss of a silica-based SM optical fiber is minimized with respect to light in the 1.55 μm wavelength band, the chromatic dispersion (a phenomenon in which a pulse wave spreads because the light propagation speed varies depending on the wavelength). ) Is also designed to be zero for light in the 1.55 μm wavelength band. The 1.55 μm SM optical fiber having the zero dispersion wavelength shifted to the vicinity of the 1.55 μm wavelength band as described above is generally called a dispersion shifted fiber.

【0003】従来の分散シフトファイバとしては、例え
ば特許番号第2533083号公報(第1従来例)に、
その零分散波長が1.55μm付近にシフトされた分散
シフトファイバの断面構造、組成及びその製造方法が開
示されている。この第1従来例の分散シフトファイバ
は、GeO2−SiO2(ゲルマニウムを含むSiO2
からなる内側コアと、SiO2からなる外側コアと、F
−SiO2(フッ素を含むSiO2)からなるクラッドと
を備えている。ただし、この第1従来例の分散シフトフ
ァイバの屈折率プロファイルは、クラッドに相当する部
分に凹みを持たない、いわゆるMatched 型プロファイル
であり、このMatched 型プロファイルを有する光ファイ
バをこの明細書ではMatched 型ファイバという。一方、
クラッドに相当する部分に凹みが設けられた屈折率プロ
ファイルは、Depressed cladding型プロファイルと言わ
れ、特にこの明細書では、このDepressed cladding 型
プロファイルを有する光ファイバをDepressed 型ファイ
バという。なお、この第1従来例の分散シフトファイバ
の構造では、1.55μm付近の零分散波長の設定のみ
が実現可能である。
A conventional dispersion-shifted fiber is disclosed in, for example, Japanese Patent No. 2533083 (first conventional example).
A cross-sectional structure, a composition, and a manufacturing method of a dispersion-shifted fiber whose zero-dispersion wavelength is shifted to around 1.55 μm are disclosed. The dispersion-shifted fiber of the first conventional example is GeO 2 —SiO 2 (SiO 2 containing germanium).
An inner core made of SiO 2 , an outer core made of SiO 2 , and F
A cladding made of SiO 2 (SiO 2 containing fluorine). However, the refractive index profile of the dispersion-shifted fiber of the first conventional example is a so-called Matched type profile in which a portion corresponding to a clad does not have a depression, and an optical fiber having this Matched type profile is referred to as a Matched type profile in this specification. It is called fiber. on the other hand,
A refractive index profile in which a concave portion is provided in a portion corresponding to the clad is called a depressed cladding type profile. In this specification, an optical fiber having this depressed cladding type profile is called a depressed type fiber. In the structure of the dispersion-shifted fiber of the first conventional example, only the setting of the zero-dispersion wavelength near 1.55 μm can be realized.

【0004】また、特開昭63−208005号公報
(第2従来例)には、コアの外周に該コアよりも低い屈
折率を有する第1クラッドと、該第1クラッドの外周に
該第1クラッドよりも高い屈折率を有する第2クラッド
を備えた、Depressed cladding型プロファイルを有する
分散シフトファイバが開示されている。この第2従来例
の分散シフトファイバの目的は、1.3μm〜1.5μ
m波長帯の広範囲に渡って波長分散を抑えることにあ
る。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-208005 (second conventional example) discloses a first clad having a lower refractive index than the core, and a first clad having a lower refractive index than the core. Dispersion shifted fibers having a depressed cladding type profile with a second cladding having a higher refractive index than the cladding are disclosed. The purpose of the dispersion-shifted fiber of the second conventional example is 1.3 μm to 1.5 μm.
The object is to suppress chromatic dispersion over a wide range of m wavelength bands.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】近年、高速かつ大容量
の伝送システムの構築が盛んに研究されているが、その
うち、特に、波長分割多重(WDM)方式の伝送システ
ムが注目を集めている。この方式は、互いに波長の異な
る複数の信号光を同時に1つの伝送路で伝送する方式で
あり、伝送可能な情報量を飛躍的に増加させる技術であ
る。
In recent years, construction of a high-speed and large-capacity transmission system has been actively studied, and among them, a transmission system of a wavelength division multiplexing (WDM) system has been particularly noticed. This method is a method for simultaneously transmitting a plurality of signal lights having different wavelengths through one transmission line, and is a technique for dramatically increasing the amount of information that can be transmitted.

【0006】このような伝送システムを実現するため、
伝送路として適用される光ファイバには様々な新しい仕
様が要求されており、上述したような従来の分散シフト
ファイバでは既に対応できない状況となってきている。
In order to realize such a transmission system,
Various new specifications are required for an optical fiber used as a transmission line, and the conventional dispersion-shifted fiber as described above cannot meet such requirements.

【0007】特に、従来の分散シフトファイバのモード
フィールド径(MFD)は8μm程度であり、信号光の
パワーが大きくなると非線形光学効果による影響が発生
しやすくなる。また、伝送システムに適用される各分散
シフトファイバ間では波長分散のバラツキが大きいた
め、信号光波長とそれらの零分散波長とが一致してしま
うと、非線形光学効果の一つである四光波混合によるノ
イズが発生しやすくなるなどの課題があった。
Particularly, the mode field diameter (MFD) of the conventional dispersion-shifted fiber is about 8 μm, and the influence of the nonlinear optical effect is likely to occur as the power of the signal light increases. Also, since the dispersion of the chromatic dispersion is large among the dispersion-shifted fibers applied to the transmission system, if the signal light wavelength and their zero-dispersion wavelengths match, four-wave mixing, one of the nonlinear optical effects, occurs. There is a problem that noise due to noise is easily generated.

【0008】なお、非線形光学効果とは、光強度の密度
等の増大とともに信号光パルスが歪む現象であり、伝送
速度の大きな制約要因となる。
The nonlinear optical effect is a phenomenon in which a signal light pulse is distorted with an increase in the density of light intensity and the like, and is a major limiting factor of the transmission speed.

【0009】一方、従来のように内側コアと外側コアか
らなるデュアル・コア・シェイプ(Dual Core Shape)
型構造を備えた分散シフトファイバの製造において、内
側コアの外径に対して外側コアの外径を十分に大きくす
る場合(例えば、5倍〜10倍程度)、必然的に内側コ
アの外径に依存して外側コアの外径も大きくせざるを得
ない。特に、この外側コアに屈折率を増加させるために
GeO2を添加すると、該外側コアにおける屈折率プロ
ファイルの径方向の平坦化が難しくなる。このため、外
側コアにゲルマニウムを添加して屈折率を調整する場
合、内側コアと外側コアの外径比を所望の値に維持した
状態で該外側コアにおける屈折率プロファイルの径方向
の平坦化を実現するためには、内側コアのさらなる細径
化が望まれる。また、この内側コアの細径化は、コア領
域(内側コア及び外側コアを含む)の中心領域における
信号パワーの集中を避け、非線形光学効果の影響を効果
的に抑えるためにも重要な技術課題である。
[0009] On the other hand, a conventional dual core shape comprising an inner core and an outer core is used.
In manufacturing a dispersion-shifted fiber having a mold structure, if the outer diameter of the outer core is made sufficiently larger than the outer diameter of the inner core (for example, about 5 to 10 times), the outer diameter of the inner core is inevitable. Therefore, the outer diameter of the outer core has to be increased. In particular, if GeO 2 is added to the outer core to increase the refractive index, it becomes difficult to flatten the refractive index profile of the outer core in the radial direction. For this reason, when adjusting the refractive index by adding germanium to the outer core, radially flattening the refractive index profile in the outer core in a state where the outer diameter ratio of the inner core and the outer core is maintained at a desired value. To achieve this, it is desired to further reduce the diameter of the inner core. In addition, reducing the diameter of the inner core is an important technical problem in order to avoid concentration of signal power in the central region of the core region (including the inner core and the outer core) and to effectively suppress the influence of the nonlinear optical effect. It is.

【0010】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、MFDを大きくし、非線形光学効
果による影響を効果的に抑える構造を備えた光ファイバ
を得るための製造方法であって、該光ファイバにおける
内側コアの細径化を実現するための光ファイバの製造方
法を提供することを目的としている。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is a manufacturing method for obtaining an optical fiber having a structure in which the MFD is increased and the effect of the nonlinear optical effect is effectively suppressed. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an optical fiber for realizing a reduction in the diameter of an inner core of the optical fiber.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明に係る光ファイ
バの製造方法は、MFDが8.6μm以上、好ましくは
9μm以上であり、かつその零分散波長を代表的な信号
光波長である1.55μmよりも長波長側あるいは短波
長側にシフトさせた分散シフトファイバであって、石英
ガラスを主成分とするシングルモード光ファイバを得る
ための製造方法である。特に、この分散シフトファイバ
では、その零分散波長を信号光波長から所定量ずらすこ
とにより、故意に波長分散を発生させ、非線形光学効果
の影響を抑えているので、各分散シフトファイバ間での
零分散波長のバラツキを許容した伝送システムの構築を
可能にしている。
According to a method for manufacturing an optical fiber according to the present invention, the MFD is at least 8.6 μm, preferably at least 9 μm, and its zero-dispersion wavelength is a typical signal light wavelength. This is a manufacturing method for obtaining a single-mode optical fiber which is a dispersion-shifted fiber shifted to a longer wavelength side or a shorter wavelength side than 55 μm and mainly composed of quartz glass. In particular, in this dispersion-shifted fiber, the chromatic dispersion is intentionally generated by shifting the zero-dispersion wavelength from the signal light wavelength by a predetermined amount to suppress the influence of the nonlinear optical effect. It is possible to construct a transmission system that allows dispersion wavelength dispersion.

【0012】当該製造方法により得られる光ファイバ1
は、例えば図1に示されたように、石英ガラスを主成分
とし、かつ所定の屈折率n1を有する第1コア10(内
側コア)と、該内側コア10の外周に設けられかつ屈折
率n2(<n1)を有する第2コア20(外側コア)と、
該外側コア20の外周に設けられかつ屈折率n3(<
2)を有するクラッド30と、該クラッド30の外周
に設けられたジャケット部40とを備えている。なお、
このジャッケット部40は、信号光の伝搬には実質的に
寄与しないガラス領域(該信号光がほとんど伝搬しない
ガラス領域)であって、主に内側コア10、外側コア2
0、及びクラッド30を物理的に補強するために設けら
れている。このため、該ジャケット部40を物理クラッ
ドということもある。
Optical fiber 1 obtained by the manufacturing method
As shown in FIG. 1, for example, a first core 10 (inner core) mainly composed of quartz glass and having a predetermined refractive index n 1, and a first core 10 provided on the outer periphery of the inner core 10 and having a refractive index a second core 20 (outer core) having n 2 (<n 1 );
It is provided on the outer periphery of the outer core 20 and has a refractive index n 3 (<
n 2 ) and a jacket 40 provided on the outer periphery of the clad 30. In addition,
The jacket portion 40 is a glass region that does not substantially contribute to signal light propagation (a glass region where the signal light hardly propagates), and is mainly composed of the inner core 10 and the outer core 2.
0, and are provided to physically reinforce the cladding 30. For this reason, the jacket part 40 may be called a physical clad.

【0013】以上の構成を備えた光ファイバを得るた
め、この発明に係る光ファイバの製造方法は、上記内側
コア10となるべき第1多孔質ガラス体651と、該第
1多孔質ガラス体651の外周に設けられた、上記外側
コア20となるべき第2多孔質ガラス体652と、該第
2多孔質ガラス体652の外周に設けられた、上記クラ
ッド30となるべき第3多孔質ガラス体653とを備え
た多孔質母材50(スート・プリフォーム)を得るため
の第1工程を備える。
In order to obtain an optical fiber having the above-described structure, the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention comprises the steps of: forming a first porous glass body 651 to be the inner core 10; A second porous glass body 652 provided on the outer periphery of the outer core 20 and serving as the outer core 20, and a third porous glass body provided on the outer periphery of the second porous glass body 652 and serving as the clad 30 And a first step for obtaining a porous preform 50 (soot preform) comprising

【0014】上記第1工程では、例えば図2及び図3に
示されたように、回転する出発棒501の先端から該出
発棒501の長手方向に沿って上記第1〜第3多孔質ガ
ラス体651〜653を構成するためのガラス微粒子が
それぞれ堆積することにより、上記多孔質母材50が該
出発棒501の長手方向に沿って成長する。なお、この
第1工程では、各多孔質ガラス体651〜653を構成
するためのガラス微粒子をそれぞれ合成するため、第1
〜第3バーナー551〜553が所定位置に設置されて
いる。
In the first step, as shown in FIGS. 2 and 3, for example, the first to third porous glass bodies extend from the tip of the rotating starting rod 501 along the longitudinal direction of the starting rod 501. By depositing the glass fine particles for constituting 651 to 653 respectively, the porous base material 50 grows along the longitudinal direction of the starting rod 501. In the first step, glass particles for forming each of the porous glass bodies 651 to 653 are synthesized.
To the third burners 551 to 553 are installed at predetermined positions.

【0015】特に、上記第2バーナー552は、第1多
孔質ガラス体651の最大外径を2Rc(出発棒501
の回転軸AX1に沿ってその外径が一定になっている定
常部分の外径)、前記第2多孔質ガラス体の最大外径を
2Rs(出発棒501の回転軸AX1に沿ってその外径
が一定になっている定常部分の外径)とするとき、その
中心軸AX2が、0.3×(Rs−Rc)+Rc以上、
かつ0.5×(Rs−Rc)+Rc以下で定義される、
上記第2多孔質ガラス体652のガラス微粒子堆積領域
660a(第2多孔質ガラス体652における成長領域
660の表面)と交差するよう設置される。なお、成長
領域とは、各多孔質ガラス体において、ガラス微粒子が
その表面に堆積することで該多孔質ガラス体自体の外径
が時間経過とともに変化している領域である。また、ガ
ラス微粒子堆積領域とは、該成長領域の表面である。
In particular, the second burner 552 sets the maximum outer diameter of the first porous glass body 651 to 2Rc (the starting rod 501).
The outer diameter of the second porous glass body is set to 2Rs (the outer diameter along the rotation axis AX1 of the starting rod 501). Is constant), the central axis AX2 is equal to or more than 0.3 × (Rs−Rc) + Rc,
And 0.5 × (Rs−Rc) + Rc or less,
The second porous glass body 652 is provided so as to intersect with the glass particle deposition area 660a (the surface of the growth area 660 in the second porous glass body 652). The growth region is a region in each porous glass body in which the outer diameter of the porous glass body itself changes with time due to the deposition of glass particles on the surface. Further, the glass particle deposition region is the surface of the growth region.

【0016】以上のように、外側コア20となるべき第
2多孔質ガラス体652を形成するための第2バーナー
552を上述の特定位置に設置することにより、内側コ
ア10となるべき第1多孔質ガラス体651を形成する
ための第1バーナー551からの火炎と、該第2バーナ
ー552からの火炎とを干渉させ、第1多孔質ガラス体
651、すなわち内側コア10の細径化を可能にしてい
る。加えて、内側コア10の細径化により外側コア20
の外径も小さくすることが可能となり(内側コア10と
外側コア20の外径比は一定)、ゲルマニウムが該外側
コア20に添加された場合であっても、該外側コア20
の径方向の屈折率プロファイルの平坦化を実現すること
ができる。また、この内側コア10の細径化により、コ
ア領域(内側コア10及び外側コア20を含む)の中心
領域における信号パワーの集中を避け、非線形光学効果
の影響を効果的に抑えることもできる。
As described above, by installing the second burner 552 for forming the second porous glass body 652 to be the outer core 20 at the above-mentioned specific position, the first porous glass to be the inner core 10 is formed. The flame from the first burner 551 for forming the porous glass body 651 and the flame from the second burner 552 interfere with each other, and the diameter of the first porous glass body 651, that is, the inner core 10 can be reduced. ing. In addition, the outer core 20
Can also be reduced (the ratio of the outer diameter of the inner core 10 to the outer core 20 is constant), and even if germanium is added to the outer core 20,
Flattening of the refractive index profile in the radial direction can be realized. Also, by reducing the diameter of the inner core 10, the concentration of signal power in the central region of the core region (including the inner core 10 and the outer core 20) can be avoided, and the effect of the nonlinear optical effect can be effectively suppressed.

【0017】加えて、この発明に係る光ファイバの製造
方法では、成長中の多孔質母材50へのガラス微粒子の
堆積効率の観点から、上記第2バーナ−552は、その
中心軸AX2が出発棒501の回転軸AX1(成長中の
多孔質母材50の回転軸)に対し、所定角度θ(50゜
〜70゜)傾くよう設置されている。
In addition, in the method of manufacturing an optical fiber according to the present invention, the second burner 552 starts at the central axis AX2 from the viewpoint of the efficiency of depositing the glass particles on the growing porous preform 50. The rod 501 is set to be inclined at a predetermined angle θ (50 ° to 70 °) with respect to the rotation axis AX1 of the rod 501 (the rotation axis of the growing porous base material 50).

【0018】また、上述の第1工程において、クラッド
30となるべき第3多孔質ガラス体653を形成するた
めの第3バーナー553には、該クラッド30の屈折率
を調整するために、少なくともフッ素系ガスが供給され
ており、特に、該第3バーナー553に供給されるフッ
素系ガスの供給量は、当該製造方法により得られる光フ
ァイバ1のクラッド30の、純石英に対する比屈折率差
が0.03%〜0.1%となるよう調節されている。
In the above-mentioned first step, the third burner 553 for forming the third porous glass body 653 to be the clad 30 has at least fluorine for adjusting the refractive index of the clad 30. In particular, the supply amount of the fluorine-based gas supplied to the third burner 553 is such that the relative refractive index difference of the clad 30 of the optical fiber 1 obtained by the manufacturing method with respect to pure quartz is zero. 0.03% to 0.1%.

【0019】また、この発明に係る光ファイバの製造方
法において、第1工程は、さらに、得られた多孔質母材
50を焼結して中間ガラス母材51を得る工程を備えて
いる(図5参照)。
In the method of manufacturing an optical fiber according to the present invention, the first step further includes a step of sintering the obtained porous preform 50 to obtain an intermediate glass preform 51 (FIG. 5).

【0020】さらに、この発明に係る光ファイバの製造
方法は、上記ジャケット部40を形成するため、図6〜
図8に示されたように、第1工程で得られた中間ガラス
母材51を所定の外径に延伸した後、VAD(Vapor ph
ase axial deposition)法、OVD(Outside vapor ph
ase deposition)法等の気相合成法により該延伸された
中間ガラス母材51の外周に、上記クラッド30の外周
を覆うジャッケット部40となるべき第4多孔質ガラス
体654を形成して複合母材52を得、そして、該複合
母材52を焼結して光ファイバ母材53を得る第2工程
を備えている。
Further, in the method of manufacturing an optical fiber according to the present invention, since the above-described jacket portion 40 is formed, FIGS.
As shown in FIG. 8, after stretching the intermediate glass base material 51 obtained in the first step to a predetermined outer diameter, VAD (Vapor ph) is applied.
ase axial deposition), OVD (Outside vapor ph
A fourth porous glass body 654 to be the jacket portion 40 covering the outer periphery of the clad 30 is formed on the outer periphery of the stretched intermediate glass base material 51 by a vapor phase synthesis method such as ase deposition) method. A second step of obtaining a material 52 and sintering the composite preform 52 to obtain an optical fiber preform 53;

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、この発明に係る光ファイバ
の製造方法を図1〜図9を用いて説明する。なお、図中
同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for manufacturing an optical fiber according to the present invention will be described below with reference to FIGS. In the drawings, the same portions are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0022】図1は、当該製造方法により得られる光フ
ァイバ(分散シフトファイバ)の断面構造及びその屈折
率プロファイルを示す図である。特に、この光ファイバ
1は、モードフィールド径(MFD)が8.6μm以上
(好ましくは9μm以上)かつその零分散波長が1.5
5μmよりも長波長側あるいは短波長側にシフトされた
分散シフトファイバであって、石英ガラスを主成分とす
るシングルモード光ファイバである。
FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional structure of an optical fiber (dispersion shift fiber) obtained by the manufacturing method and a refractive index profile thereof. In particular, the optical fiber 1 has a mode field diameter (MFD) of 8.6 μm or more (preferably 9 μm or more) and a zero dispersion wavelength of 1.5.
This is a dispersion-shifted fiber shifted to a longer wavelength side or a shorter wavelength side than 5 μm, and is a single mode optical fiber mainly composed of silica glass.

【0023】この図において、光ファイバ1は、コア領
域として、第1の屈折率n1を有する、外径aの内側コ
ア10と、該内側コア10の外周に設けられかつ第1の
屈折率n1よりも低い第2の屈折率n2を有する外側コア
20を備えている。また、外側コア20(外径b)に対
する内側コア10(外径a)の外径比Ra(=a/b)
は0.1〜0.2である。
In this figure, an optical fiber 1 has, as a core region, an inner core 10 having an outer diameter a having a first refractive index n 1 and a first refractive index provided on the outer periphery of the inner core 10. It includes an outer core 20 having a lower second refractive index n 2 than n 1. Further, the outer diameter ratio Ra (= a / b) of the inner core 10 (outer diameter a) to the outer core 20 (outer diameter b).
Is 0.1 to 0.2.

【0024】さらに、上記コア領域(内側コア10及び
外側コア20を含む)の外周には、第2の屈折率n2
りも低い第3の屈折率n3を有する、外径cのクラッド
30が設けられ、さらに、該内側クラッド30の外周
は、第3の屈折率n3よりも高くかつ第2の屈折率n2
りも低い第4の屈折率n4を有する、外径dのジャケッ
ト部40が設けられている。なお、このジャケット部4
0は、信号光がほとんど伝搬しないガラス領域であっ
て、主に、上述の内側コア10、外側コア20、及びク
ラッド30を物理的に補強するために設けられたガラス
領域であるため、一般に物理クラッドと呼ばれている。
Further, on the outer periphery of the core region (including the inner core 10 and the outer core 20), a clad 30 having an outer diameter c having a third refractive index n 3 lower than the second refractive index n 2 is provided. And an outer periphery of the inner cladding 30 has a fourth refractive index n 4 higher than the third refractive index n 3 and a fourth refractive index n 4 lower than the second refractive index n 2. A part 40 is provided. In addition, this jacket part 4
0 is a glass region where signal light hardly propagates, and is a glass region provided mainly for physically reinforcing the inner core 10, the outer core 20, and the clad 30 described above. It is called cladding.

【0025】なお、図1に示された屈折率プロファイル
150の横軸は、光ファイバ1の断面(伝搬する信号光
の進行方向に対して垂直な面)における線L上の各位置
に相当している。さらに、この屈折率プロファイル15
0において、領域101は上記内側コア10の線L上の
各部位の屈折率(n1)、領域102は上記外側コア2
0の線L上の各部位の屈折率(n2)、領域103は上
記クラッド30の線L上の各部位の屈折率(n3)、領
域104は上記ジャケット部40の線L上の各部位の屈
折率(n4)に対応している。
The horizontal axis of the refractive index profile 150 shown in FIG. 1 corresponds to each position on the line L in the cross section of the optical fiber 1 (a plane perpendicular to the traveling direction of the propagating signal light). ing. Further, the refractive index profile 15
0, the area 101 is the refractive index (n 1 ) of each part on the line L of the inner core 10, and the area 102 is the outer core 2
0, the refractive index (n 2 ) of each part on the line L, the area 103 is the refractive index (n 3 ) of each part on the line L of the clad 30, and the area 104 is each refractive index (n 2 ) It corresponds to the refractive index (n 4 ) of the site.

【0026】光ファイバ1の基本組成は、内側コア10
がGeO2−SiO2、外側コア20がGeO2−Si
2、クラッド30がF−SiO2である。また、ジャケ
ット部40は、実質的に信号光の伝搬に寄与しないた
め、SiO2(故意には不純物を含まないガラス領域)
である。
The basic composition of the optical fiber 1 is as follows.
Is GeO 2 —SiO 2 , and the outer core 20 is GeO 2 —Si
O 2 and the cladding 30 are F-SiO 2 . Further, since the jacket portion 40 does not substantially contribute to the propagation of the signal light, the jacket portion 40 is made of SiO 2 (a glass region intentionally containing no impurities).
It is.

【0027】ただし、光ファイバ1は、後述するように
内側コア10、外側コア20、及びクラッド30には塩
素が含まれるため、実際の組成は以下のようになる。な
お、塩素(Cl)は屈折率を上げる添加物として知られ
ており、該Clによる屈折率変化は、該Clの濃度10
00ppm当たり0.01%である。
However, in the optical fiber 1, since the inner core 10, the outer core 20, and the clad 30 contain chlorine as described later, the actual composition is as follows. Incidentally, chlorine (Cl) is known as an additive for increasing the refractive index, and the change in the refractive index due to the Cl is caused by a concentration of the Cl of 10%.
0.01% per 00 ppm.

【0028】 内側コア :SiO2+GeO2+Cl 外側コア :SiO2+GeO2+Cl クラッド :SiO2+F+Cl ジャケット部:SiO2 また、この明細書において、各ガラス領域の比屈折率差
Δは純石英ガラスを基準にして以下のように定義されて
いる。
Inner core: SiO 2 + GeO 2 + Cl Outer core: SiO 2 + GeO 2 + Cl Clad: SiO 2 + F + Cl Jacket portion: SiO 2 In this specification, the relative refractive index difference Δ of each glass region is pure quartz glass. It is defined as follows on the basis of:

【0029】 Δ=(nt 2−n0 2)/2n0 2≒(nt−n0)/n0 ここで、n0は基準となる純石英ガラスの屈折率、nt
各ガラス領域の屈折率を示す。従って、フッ素等が添加
され、その屈折率が純石英ガラスよりも低下したガラス
領域の比屈折率差は負の値として表される。また、この
明細書において各ガラス領域間の比屈折率差は、それぞ
れの純石英ガラスに対する比屈折率差の差分(大きい方
の値から小さい方の値を引いた正の値)で以下のように
表される。
[0029] Δ = (n t 2 -n 0 2) / 2n 0 2 ≒ (n t -n 0) / n 0 , where, n 0 is the refractive index of pure silica glass as a reference, n t is the glass Indicates the refractive index of the region. Therefore, the relative refractive index difference in a glass region to which fluorine or the like is added and the refractive index of which is lower than that of pure silica glass is expressed as a negative value. Further, in this specification, the relative refractive index difference between the respective glass regions is a difference (a positive value obtained by subtracting a smaller value from a larger value) of a relative refractive index difference with respect to each pure silica glass as follows. Is represented by

【0030】内側コアと外側コアの比屈折率差 :
0.7%〜0.8% 外側コアとクラッドの比屈折率差 :0.1%〜0.
25% クラッドとジャケット部の比屈折率差:0.03%〜
0.1% なお、ジャケット部40の、純石英ガラスに対する比屈
折率差は0%である。
The relative refractive index difference between the inner core and the outer core:
0.7% -0.8% Relative refractive index difference between outer core and clad: 0.1% -0.
25% relative refractive index difference between clad and jacket: 0.03% ~
0.1% The relative refractive index difference between the jacket portion 40 and the pure quartz glass is 0%.

【0031】次に、上述の構造を備えた光ファイバ1の
得るための、当該製造方法について、図2〜図9を用い
て説明する。
Next, the manufacturing method for obtaining the optical fiber 1 having the above-described structure will be described with reference to FIGS.

【0032】当該製造方法では、第1工程で内側コア1
0及び外側コア20を含むコア領域と、クラッド30と
なるべき多孔質母材50をVAD(Vapor phase axial
deposition)法により形成し、得られた該多孔質母材5
0を焼結して中間ガラス母材51を得る。
In the manufacturing method, the inner core 1 is formed in the first step.
The core region including the outer core 20 and the outer core 20 and the porous base material 50 to be the clad 30 are formed by VAD (Vapor phase axial).
The porous base material 5 formed and obtained by the deposition method
0 is sintered to obtain an intermediate glass base material 51.

【0033】図2は上記VAD法による第1工程の多孔
質母材50の製造を説明するための図であり、図3は図
2に示された第1工程における、バーナー設置位置を説
明するための図である。
FIG. 2 is a view for explaining the production of the porous preform 50 in the first step by the VAD method, and FIG. 3 is a view for explaining a burner installation position in the first step shown in FIG. FIG.

【0034】まず、第1工程では、図2に示されたスス
付け装置は、出発棒501の先端部分に該出発棒501
の長手方向に沿って伸びた多孔質母材50を製造する。
このスス付け装置は、少なくとも排気口504を備えた
容器500と、多孔質母材50を支持するための支持機
構503を備えている。また、支持機構503には回転
可能な支持棒502が設けられており、この支持棒50
2の先端には多孔質母材50を成長させるための出発棒
501が取り付けられている。
First, in the first step, the soot forming apparatus shown in FIG.
To produce a porous base material 50 extending along the longitudinal direction.
This soot forming apparatus includes a container 500 having at least an exhaust port 504 and a support mechanism 503 for supporting the porous base material 50. The support mechanism 503 is provided with a rotatable support rod 502.
A starting rod 501 for growing the porous base material 50 is attached to the tip of the second.

【0035】図2のスス付け装置には、さらに内側コア
10となるべき第1多孔質ガラス体651(スス体)を
堆積させるための第1バーナー551と、外側コア20
となるべき第2多孔質ガラス体652(スス体)を堆積
させるための第2バーナー552と、クラッド30とな
るべき第3多孔質ガラス体653(スス体)を堆積させ
るための第3バーナー553とが、それぞれ所定位置に
設置されており、ガス供給システム600からは各バー
ナー551、552、553に対して所望の原料ガス
(例えばGeCl4、SiCl4等)、燃焼ガス(H2
びO2)、及びArやHe等のキャリアガスが供給され
る。
The soot forming apparatus shown in FIG. 2 further includes a first burner 551 for depositing a first porous glass body 651 (soot body) to be the inner core 10 and an outer core 20.
A second burner 552 for depositing a second porous glass body 652 (soot body) to be formed, and a third burner 553 for depositing a third porous glass body 653 (soot body) to be the clad 30. Are provided at predetermined positions, and the gas supply system 600 supplies desired burner gases (for example, GeCl 4 , SiCl 4, etc.) and combustion gases (H 2 and O 2 ) to the burners 551, 552, 553. ), And a carrier gas such as Ar or He is supplied.

【0036】多孔質母材50の製造中、第1バーナー5
51、第2バーナー552及び第3バーナー553の火
炎中では、ガス供給システム600から供給された原料
ガスの加水分解反応によりガラス微粒子が生成され、こ
れらガラス微粒子が出発棒501の先端部分に堆積して
いく。この間、支持機構503は、その先端に設けられ
た支持棒502を矢印S1で示された方向に回転させな
がら矢印S2で示された方向(多孔質母材50の長手方
向及び出発棒501の長手方向は、それぞれS2の方向
と一致している)に沿って引き上げる動作を行ってい
る。この動作により、多孔質ガラス体が出発棒501か
ら下方(該出発棒501の長手方向)に向かって成長し
ていき、該出発棒501の長手方向に沿ってその中央部
分に内側コア10となるべき第1多孔質ガラス体651
が、該中央部分を取り囲む周辺領域に外側コア20とな
るべき第2多孔質ガラス体652が、そして該第2多孔
質ガラス体652の外周を取り囲む周辺領域にクラッド
となるべき第3多孔質ガラス体653が、それぞれ成長
し、多孔質母材50(スート・プリフォーム)が得られ
る。なお、成長中の多孔質母材50は出発棒501によ
り直接保持されているので、該出発棒501の回転とと
もに回転軸AX1を中心に回転している。
During the production of the porous preform 50, the first burner 5
In the flame of 51, the second burner 552, and the third burner 553, glass fine particles are generated by a hydrolysis reaction of the raw material gas supplied from the gas supply system 600, and these glass fine particles are deposited on the tip of the starting rod 501. To go. During this time, the support mechanism 503 rotates the support rod 502 provided at the tip thereof in the direction indicated by the arrow S1 (the longitudinal direction of the porous preform 50 and the longitudinal direction of the starting rod 501) while rotating the support rod 502 in the direction indicated by the arrow S1. (The directions respectively correspond to the directions of S2). By this operation, the porous glass body grows downward from the starting rod 501 (in the longitudinal direction of the starting rod 501), and becomes the inner core 10 at the central portion along the longitudinal direction of the starting rod 501. First porous glass body 651 to be used
A second porous glass body 652 to be the outer core 20 in a peripheral region surrounding the central portion, and a third porous glass to be a clad in a peripheral region surrounding the outer periphery of the second porous glass body 652. The bodies 653 grow respectively, and the porous preform 50 (soot preform) is obtained. Since the growing porous base material 50 is directly held by the starting rod 501, it rotates about the rotation axis AX1 with the rotation of the starting rod 501.

【0037】また、上記第2バーナー552は、第1多
孔質ガラス体651の最大外径を2Rc(出発棒501
の回転軸AX1に沿ってその外径が一定になっている定
常部分の外径)、前記第2多孔質ガラス体の最大外径を
2Rs(出発棒501の回転軸AX1に沿ってその外径
が一定になっている定常部分の外径)とするとき、その
中心軸AX2が、0.3×(Rs−Rc)+Rc以上、
かつ0.5×(Rs−Rc)+Rc以下で定義される、
上記第2多孔質ガラス体652のガラス微粒子堆積領域
660a(第2多孔質ガラス体652における成長領域
660の表面)と交差するよう設置されている(図3参
照)。加えて、成長中の多孔質母材50へのガラス微粒
子の堆積効率の観点から、上記第2バーナ−552は、
その中心軸AX2が、出発棒501の回転軸AX1(成
長中の多孔質母材50の回転軸)に対し、所定角度θ
(50゜〜70゜)傾くよう設置されている。ここで、
成長領域(特に、第2多孔質ガラス体652の成長領域
660は図中の斜線部分である)とは、各多孔質ガラス
体において、ガラス微粒子がその表面に堆積することで
該多孔質ガラス体自体の外径が時間経過とともに変化し
ている領域である。また、ガラス微粒子堆積領域とは、
該成長領域の表面である。
The second burner 552 sets the maximum outer diameter of the first porous glass body 651 to 2Rc (the starting rod 501).
The outer diameter of the second porous glass body is set to 2Rs (the outer diameter along the rotation axis AX1 of the starting rod 501). Is constant), the central axis AX2 is equal to or more than 0.3 × (Rs−Rc) + Rc,
And 0.5 × (Rs−Rc) + Rc or less,
The second porous glass body 652 is provided so as to intersect with the glass particle deposition region 660a (the surface of the growth region 660 in the second porous glass body 652) (see FIG. 3). In addition, from the viewpoint of the deposition efficiency of the glass microparticles on the growing porous base material 50, the second burner-552 includes:
The center axis AX2 is at a predetermined angle θ with respect to the rotation axis AX1 of the starting rod 501 (the rotation axis of the growing porous base material 50).
(50 ° to 70 °). here,
The growth region (especially, the growth region 660 of the second porous glass body 652 is a hatched portion in the figure) is a porous glass body in which the fine glass particles are deposited on the surface of each porous glass body. This is a region where the outer diameter of itself changes over time. In addition, the glass particle deposition area is:
The surface of the growth region.

【0038】以上のように、外側コア20となるべき第
2多孔質ガラス体652を形成するための第2バーナー
552を上述の特定位置に設置することにより、内側コ
ア10となるべき第1多孔質ガラス体651を形成する
ための第1バーナー551からの火炎と、該第2バーナ
ー552からの火炎とを干渉させ、第1多孔質ガラス体
651、すなわち得られる光ファイバ1の内側コア10
の細径化を可能にしている。加えて、内側コア10の細
径化により外側コア20の外径も小さくすることが可能
となり(内側コア10と外側コア20の外径比Raは一
定)、ゲルマニウムが該外側コア20に添加された場合
であっても、該外側コア20の径方向の屈折率プロファ
イルの径方向の平坦化を実現することができる。また、
この内側コア10の細径化により、コア領域(内側コア
10及び外側コア20を含む)の中心領域における信号
パワーの集中を避け、非線形光学効果の影響を効果的に
抑えることができる。
As described above, by installing the second burner 552 for forming the second porous glass body 652 to be the outer core 20 at the above-described specific position, the first porous glass to be the inner core 10 can be formed. The flame from the first burner 551 for forming the porous glass body 651 and the flame from the second burner 552 interfere with each other to form the first porous glass body 651, that is, the inner core 10 of the obtained optical fiber 1.
The diameter can be reduced. In addition, by reducing the diameter of the inner core 10, the outer diameter of the outer core 20 can be reduced (the outer diameter ratio Ra of the inner core 10 and the outer core 20 is constant), and germanium is added to the outer core 20. Even in such a case, it is possible to realize the radial flattening of the refractive index profile of the outer core 20 in the radial direction. Also,
By reducing the diameter of the inner core 10, concentration of signal power in the central region of the core region (including the inner core 10 and the outer core 20) can be avoided, and the effect of the nonlinear optical effect can be effectively suppressed.

【0039】なお、この第1工程において、クラッド3
0となるべき第3多孔質ガラス体653を形成するため
の第3バーナー553には、該クラッド30の屈折率を
調整するために、少なくともフッ素系ガス(具体的には
CF4)が供給されており、特に、該第3バーナー55
3に供給されるフッ素系ガスの供給量は、当該製造方法
により得られる光ファイバ1のクラッド30の、純石英
に対する比屈折率差が0.03%〜0.1%となるよう
調節されている。
In the first step, the cladding 3
In order to adjust the refractive index of the clad 30, at least a fluorine-based gas (specifically, CF 4 ) is supplied to the third burner 553 for forming the third porous glass body 653 to be zero. In particular, the third burner 55
The supply amount of the fluorine-based gas supplied to the optical fiber 3 is adjusted such that the relative refractive index difference of the clad 30 of the optical fiber 1 obtained by the manufacturing method with respect to pure quartz is 0.03% to 0.1%. I have.

【0040】続いて、上述のVAD法により得られた多
孔質母材50は、図4に示された加熱容器700内に設
置され、ハロゲンガスを含む雰囲気中で脱水処理が施さ
れる。なお、この加熱容器700には該ハロゲンガスを
供給するための導入口702と排気口701が設けられ
ている。また、この脱水処理中、支持機構503は多孔
質母材50を矢印S3で示された方向に回転させなが
ら、矢印S4で示された方向に沿って移動させるよう動
作する(この動作により、多孔質母材50全体が加熱さ
れる)。
Subsequently, the porous preform 50 obtained by the above-described VAD method is placed in the heating vessel 700 shown in FIG. 4, and is subjected to a dehydration treatment in an atmosphere containing a halogen gas. The heating container 700 is provided with an inlet 702 and an outlet 701 for supplying the halogen gas. During the dehydration process, the support mechanism 503 operates to move the porous preform 50 in the direction shown by the arrow S3 while rotating the porous preform 50 in the direction shown by the arrow S3 (by this operation, the porous base material 50 becomes porous). The entire quality preform 50 is heated).

【0041】脱水処理中の容器内温度は1000℃〜1
300℃程度であり、好ましくは1100℃〜1200
℃である。また、この実施例では濃度20000ppm
(2%)の塩素ガス(Cl2)を導入口702から供給
しながら脱水処理を行ったが、塩素ガスの濃度は100
00ppm〜50000ppm(1%〜5%)程度であ
れば十分にその効果が得られる。
The temperature in the container during the dehydration treatment is 1000 ° C. to 1 ° C.
About 300 ° C., preferably 1100 ° C. to 1200
° C. In this embodiment, the concentration is 20,000 ppm.
The dehydration process was performed while supplying chlorine gas (Cl 2 ) of (2%) from the inlet 702, but the chlorine gas concentration was 100%.
The effect can be sufficiently obtained if it is about 00 ppm to 50000 ppm (1% to 5%).

【0042】脱水処理用ガスとしては、塩素ガスの他S
iCl4等のハロゲンガスでも同様の効果が得られる。
特に、SiCl4は塩素の添加量を増加し、外側コア2
0と内側クラッド30との屈折率差を増加させる手段と
なり得る。
As the gas for dehydration treatment, chlorine gas and S
A similar effect can be obtained with a halogen gas such as iCl 4 .
In particular, SiCl 4 increases the amount of chlorine added, and the outer core 2
It can be a means for increasing the difference in the refractive index between 0 and the inner cladding 30.

【0043】なお、第1工程において、第1及び第2バ
ーナー551、552のそれぞれにに供給される原料ガ
スは、得られる光ファイバの外側コア20(外径b)に
対する内側コア10(外径a)の外径比Ra(=a/
b)が、0.1〜0.2となるよう調節されている。
In the first step, the raw material gas supplied to each of the first and second burners 551 and 552 is supplied to the inner core 10 (outer diameter b) with respect to the outer core 20 (outer diameter b) of the obtained optical fiber. a) outer diameter ratio Ra (= a /
b) is adjusted to be 0.1 to 0.2.

【0044】以上の処理を経て得られた多孔質母材50
は、引続き上述された加熱容器700内で焼結される。
すなわち、図5には図4に示された加熱容器の主要部分
のみが示されている。図示のように支持機構503が多
孔質母材50を矢印S5で示された方向に回転させなが
ら矢印S6で示された方向に沿って移動させるよう動作
する。この動作により、該多孔質母材50はその先端か
らヒーター750内に送り込まれ(焼結時の容器内温度
は1500℃〜1650℃、好ましくは1550℃〜1
650℃)、透明な中間ガラス母材51が得られる。
The porous base material 50 obtained through the above processing
Is subsequently sintered in the heating vessel 700 described above.
That is, FIG. 5 shows only a main part of the heating container shown in FIG. As shown in the drawing, the support mechanism 503 operates to move the porous preform 50 in the direction shown by the arrow S6 while rotating in the direction shown by the arrow S5. By this operation, the porous base material 50 is fed into the heater 750 from the tip thereof (the temperature in the container at the time of sintering is 1500 ° C to 1650 ° C, preferably 1550 ° C to 1 ° C).
650 ° C.), and a transparent intermediate glass base material 51 is obtained.

【0045】なお、上述した多孔質母材50の製造、脱
水処理、及び焼結処理は同一の容器内で行うことも可能
である。
The production, dehydration, and sintering of the porous base material 50 can be performed in the same container.

【0046】次に、この発明に係る光ファイバの製造方
法における第2工程では、まず上述の第1工程で得られ
た、透明な中間ガラス母材51が図6に示された延伸装
置により所望の外径(仕上り外径)に延伸される。な
お、この中間ガラス母材51は延伸に先立って、その両
端に端部処理が施され、さらに取扱を簡単にするための
棒61、62が取り付けられている。
Next, in the second step of the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention, first, the transparent intermediate glass base material 51 obtained in the above-mentioned first step is desirably processed by the stretching apparatus shown in FIG. (Finished outer diameter). Prior to stretching, the intermediate glass base material 51 is subjected to end treatments at both ends, and rods 61 and 62 are attached for easy handling.

【0047】図6の延伸装置は、矢印S7で示された方
向に沿って移動可能な上側チャック63と、矢印S8で
示された方向に沿って移動可能な下側チャック64を備
えており、これら上側チャック63及び下側チャック6
4は、駆動モータ65、66により、それぞれS7、S
8の方向に沿って動かされる。また、端部処理された中
間ガラス母材51は、棒61が上側チャック63に把持
されるとともに、棒62が下側チャック64に把持され
ることにより、図6の延伸装置に取り付けられる。
The stretching apparatus shown in FIG. 6 includes an upper chuck 63 movable in a direction indicated by an arrow S7 and a lower chuck 64 movable in a direction indicated by an arrow S8. These upper chuck 63 and lower chuck 6
4 are driven by drive motors 65 and 66 at S7 and S, respectively.
8 along. The intermediate glass preform 51 having been subjected to the edge treatment is attached to the stretching device shown in FIG. 6 by the rod 61 being gripped by the upper chuck 63 and the rod 62 being gripped by the lower chuck 64.

【0048】上記上側チャック63はS7の方向に沿っ
て移動することにより、中間ガラス母材51をヒータ6
8(例えば、縦型抵抗加熱炉)内に送り込むよう機能す
る。一方、下側チャック64はS8の方向に沿って移動
することにより、ヒータ68内から中間ガラス母材51
を引出すよう機能する。ヒータ68内に送り込まれた中
間ガラス母材51は部分的に軟化しているので、この延
伸装置では、上側チャック63の移動速度(中間ガラス
母材51をヒータ68内への送り込む速度)よりも下側
チャック64の移動速度(中間ガラス母材51をヒータ
68内から引出す速度)を大きくし、該中間ガラス母材
51の軟化部分に引っ張り応力を加えることにより、該
中間ガラス母材51を所望の仕上り外径に延伸する。
The upper chuck 63 is moved in the direction of S7, so that the intermediate glass base material 51 is
8 (for example, a vertical resistance heating furnace). On the other hand, the lower chuck 64 moves along the direction of S8, so that the intermediate glass base material 51
It works to draw out. Since the intermediate glass preform 51 sent into the heater 68 is partially softened, in this stretching apparatus, the moving speed of the upper chuck 63 (the speed at which the intermediate glass preform 51 is fed into the heater 68) is reduced. By increasing the moving speed of the lower chuck 64 (the speed at which the intermediate glass preform 51 is drawn out of the heater 68) and applying a tensile stress to the softened portion of the intermediate glass preform 51, the intermediate glass preform 51 is desirably formed. Stretched to the finished outer diameter.

【0049】なお、制御部67は、外径測定装置69に
より加熱されている軟化部分の所定部位の外径を常時モ
ニタしており、所望の仕上がり外径が得られるよう駆動
モータ65、66を制御している。
The controller 67 constantly monitors the outer diameter of a predetermined portion of the softened portion heated by the outer diameter measuring device 69, and controls the drive motors 65 and 66 to obtain a desired finished outer diameter. Controlling.

【0050】続いて、この第2工程では、以上の延伸装
置により延伸された中間ガラス母材51の外周に、さら
にジャケット部40(物理クラッド)となるべき第4多
孔質ガラス体654を堆積させ、複合母材52を得る。
なお、この複合母材52の製造は、VAD法あるいはO
VD法のいずれを適用してもよい。
Subsequently, in the second step, a fourth porous glass body 654 to be the jacket portion 40 (physical cladding) is further deposited on the outer periphery of the intermediate glass base material 51 stretched by the above stretching device. , A composite base material 52 is obtained.
The production of the composite base material 52 is performed by the VAD method or the O
Any of the VD methods may be applied.

【0051】すなわち、図7に示されたように、バーナ
900の火炎中では、ガス供給システム600から供給
された原料ガスの加水分解反応によりガラス微粒子が生
成され、これらガラス微粒子が延伸された中間ガラス母
材51の外周に堆積していく。この間、該延伸された中
間ガラス母材51は矢印S9で示された方向に回転しな
がら矢印S10で示された方向に沿って移動している。
この動作により、中間ガラス母材51の外周に第4多孔
質ガラス体654(スス体)が堆積していき、複合母材
52が得られる。
That is, as shown in FIG. 7, in the flame of the burner 900, glass fine particles are generated by a hydrolysis reaction of the raw material gas supplied from the gas supply system 600, and the intermediate glass fine particles are stretched. It is deposited on the outer periphery of the glass base material 51. During this time, the stretched intermediate glass base material 51 is moving in the direction shown by the arrow S10 while rotating in the direction shown by the arrow S9.
By this operation, the fourth porous glass body 654 (soot body) is deposited on the outer periphery of the intermediate glass base material 51, and the composite base material 52 is obtained.

【0052】次に、この第2工程では、透明な光ファイ
バ母材53を得るべく、図8に示されたように、複合母
材52が焼結される。なお、この焼結処理は上述の加熱
容器700内で連続的に行われる。また、支持機構50
3は、複合母材52を矢印S11で示された方向に回転
させながら矢印S12で示された方向に沿って移動させ
るよう動作する。この動作により、該複合母材52がヒ
ータ750内に送り込まれる。
Next, in the second step, the composite preform 52 is sintered as shown in FIG. 8 in order to obtain a transparent optical fiber preform 53. This sintering process is continuously performed in the heating container 700 described above. Further, the support mechanism 50
3 operates to move the composite base material 52 along the direction indicated by the arrow S12 while rotating the composite base material 52 in the direction indicated by the arrow S11. With this operation, the composite base material 52 is fed into the heater 750.

【0053】具体的に、加熱容器700内における複合
母材52の焼結温度(容器内温度)は、1450℃〜1
650℃(好ましくは1500℃〜1600℃)であ
る。
Specifically, the sintering temperature of the composite base material 52 in the heating vessel 700 (temperature in the vessel) is 1450 ° C. to 1
650 ° C (preferably 1500 ° C to 1600 ° C).

【0054】以上のように製造された光ファイバ母材5
3は、図9に示されたように、光ファイバ1の内側コア
10となるべき内側コアガラス100と、外側コア20
となるべき外側コアガラス200と、クラッド30とな
るべきクラッドガラス300と、そして、ジャケット部
40となるべきガラス領域400を備えている。
The optical fiber preform 5 manufactured as described above
3, an inner core glass 100 to be the inner core 10 of the optical fiber 1 and an outer core 20 as shown in FIG.
An outer core glass 200 to be formed, a clad glass 300 to be the clad 30, and a glass region 400 to be the jacket 40 are provided.

【0055】最終工程(線引工程)では、ヒータ950
により、以上のような構造を備えた光ファイバ母材53
の一端を加熱しながら該光ファイバ母材53を線引する
ことにより、図1に示された外径125μmの光ファイ
バ1を得る。
In the final step (drawing step), the heater 950 is used.
The optical fiber preform 53 having the above structure
By drawing the optical fiber preform 53 while heating one end of the optical fiber 1, the optical fiber 1 having an outer diameter of 125 μm shown in FIG. 1 is obtained.

【0056】なお、上述の製造方法により得られた光フ
ァイバ1の特性を以下に示す。
The characteristics of the optical fiber 1 obtained by the above-described manufacturing method are shown below.

【0057】(組成) 内側コア :SiO2+GeO2+Cl 外側コア :SiO2+GeO2+Cl クラッド :SiO2+F+Cl ジャケット部:SiO2 (屈折率プロファイル) 外側コアと内側コアとの比屈折率差 :0.73% 外側コアとクラッドとの比屈折率差 :0.18% クラッドとジャケット部との比屈折率差:0.08% なお、ここで示された数値は、上述したように、各ガラ
ス領域における純石英ガラスに対する比屈折率差の差分
(大きい値の方から小さい値の方を引いた正の値)であ
る。
(Composition) Inner core: SiO 2 + GeO 2 + Cl Outer core: SiO 2 + GeO 2 + Cl Clad: SiO 2 + F + Cl Jacket portion: SiO 2 (Refractive index profile) Relative refractive index difference between outer core and inner core: 0 .73% Relative refractive index difference between outer core and clad: 0.18% Relative refractive index difference between clad and jacket: 0.08% It is a difference (a positive value obtained by subtracting a smaller value from a larger value) of a relative refractive index difference from pure silica glass in a region.

【0058】最終的に、得られた光ファイバ1のMFD
は8.6μm、2mの基準長でのカットオフ波長は1.
70μm、零分散波長は1.58μmであった。
Finally, the MFD of the obtained optical fiber 1
Has a cutoff wavelength of 8.6 μm and a reference length of 2 m, and has a cutoff wavelength of 1.
70 μm, and the zero dispersion wavelength was 1.58 μm.

【0059】ここで、1.55μm波長帯の光伝送用に
選択される分散シフトファイバのカットオフ波長として
は、通常、2mの基準長(CCITT−G.653によ
る測定法)で信号光波長よりも短い1.55μm以下が
選択される。
Here, the cut-off wavelength of the dispersion-shifted fiber selected for the optical transmission in the 1.55 μm wavelength band is usually less than the signal light wavelength at a reference length of 2 m (measurement method according to CCITT-G.653). 1.55 μm or less is selected.

【0060】カットオフ波長の一般的な評価の基準であ
る2mという短い長さでは、当該分散シフトファイバ
は、伝送光の基底モードばかりではなく高次モードも伝
搬することになる。しかしながら、この実施例のカット
オフ波長は信号光波長(1.55μm)よりも長いが、
高次モードの光は基底モードの光と比べて分散シフトフ
ァイバ中の伝搬における減衰率が高いので、数kmの伝
搬長であれば基底モードに比べて充分に小さくなる。し
たがって、海底通信ケーブルのように伝搬距離が数百か
ら数千kmに及ぶ場合には、高次モードによる問題が生
じることはない。
With a short length of 2 m, which is a standard for the general evaluation of the cutoff wavelength, the dispersion-shifted fiber propagates not only the fundamental mode but also higher-order modes of the transmission light. However, although the cutoff wavelength of this embodiment is longer than the signal light wavelength (1.55 μm),
Since the higher-order mode light has a higher attenuation factor in propagation in the dispersion-shifted fiber than the fundamental-mode light, a propagation length of several km is sufficiently smaller than the fundamental-mode light. Therefore, when the propagation distance ranges from several hundred to several thousand km as in the case of a submarine communication cable, the problem due to the higher-order mode does not occur.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、外側コ
アとなるべき第2多孔質ガラス体を形成するための第2
バーナーを特定位置に設置し、内側コアとなるべき第1
多孔質ガラス体を形成するための第1バーナーからの火
炎と、該第2バーナーからの火炎とを干渉させることに
より、第1多孔質ガラス体、すなわち得られる光ファイ
バの内側コアの細径化を可能にするという効果がある。
As described above, according to the present invention, the second porous glass body to be the outer core is formed.
The first place where the burner is to be installed in a specific location and is to be the inner core
By causing the flame from the first burner for forming the porous glass body to interfere with the flame from the second burner, the diameter of the first porous glass body, that is, the inner core of the obtained optical fiber is reduced. This has the effect of making it possible.

【0062】加えて、内側コアの細径化により外側コア
の外径も小さくすることが可能となり(内側コアと外側
コアの外径比は一定)、ゲルマニウムが該外側コアに添
加された場合であっても、該外側コアの径方向の屈折率
プロファイルの平坦化が実現できるという効果もある。
さらに、この内側コア10の細径化により、コア領域
(内側コア10及び外側コア20を含む)の中心領域に
おける信号パワーの集中を避け、非線形光学効果の影響
を効果的に抑えるという効果もある。
In addition, the outer diameter of the outer core can be reduced by reducing the diameter of the inner core (the outer diameter ratio of the inner core to the outer core is constant), and when germanium is added to the outer core. Even so, there is an effect that the refractive index profile in the radial direction of the outer core can be flattened.
Further, by reducing the diameter of the inner core 10, there is also an effect that signal power concentration in the central region of the core region (including the inner core 10 and the outer core 20) is avoided, and the effect of the nonlinear optical effect is effectively suppressed. .

【0063】従って、上述の製造方法により、より大き
な所望のMFDを有し、非線形光学効果による影響を効
果的に抑える構造を備えた光ファイバが得られる。
Accordingly, an optical fiber having a larger desired MFD and having a structure for effectively suppressing the influence of the nonlinear optical effect can be obtained by the above-described manufacturing method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係る製造方法により得られる光ファ
イバの断面構造及びその屈折率プロファイルを示す図で
ある。
FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional structure of an optical fiber obtained by a manufacturing method according to the present invention and a refractive index profile thereof.

【図2】この発明に係る光ファイバの製造方法における
第1工程(VAD法)を説明するための図である。
FIG. 2 is a view for explaining a first step (VAD method) in the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention.

【図3】図2に示された第1工程における、バーナー設
置位置を説明するための図である。
FIG. 3 is a view for explaining a burner installation position in a first step shown in FIG. 2;

【図4】この発明に係る光ファイバの製造方法における
第1工程中の、脱水処理を説明するための図である。
FIG. 4 is a view for explaining a dehydration treatment during a first step in the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention.

【図5】この発明に係る光ファイバの製造方法における
第1工程中の、焼結処理を説明するための図である。
FIG. 5 is a view for explaining a sintering process during a first step in the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention.

【図6】この発明に係る光ファイバの製造方法における
第2工程中の、延伸処理を説明するための図である。
FIG. 6 is a view for explaining a stretching process in a second step in the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention.

【図7】この発明に係る光ファイバの製造方法における
第2工程中の、複合母材の製造(VAD法又はOVD
法)を説明するための図である。
FIG. 7 is a diagram showing a method of manufacturing a composite preform (VAD method or OVD method) during a second step in the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention.
FIG.

【図8】この発明に係る光ファイバの製造方法における
第2工程中の、焼結処理を説明するための図である。
FIG. 8 is a view for explaining a sintering process in a second step in the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention.

【図9】この発明に係る光ファイバの製造方法における
線引工程をを説明するための図である。
FIG. 9 is a view for explaining a drawing step in the method for manufacturing an optical fiber according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…分散シフトファイバ、10…第1コア(内側コ
ア)、20…第2コア(外側コア)、30…クラッド、
40…ジャケット部(物理クラッド)、50…多孔質母
材、51…中間ガラス母材、52…複合母材、53…光
ファイバ母材、501…出発棒、551…第1バーナ
ー、552…第2バーナー、553…第3バーナー、6
51…第1多孔質ガラス体、652…第2多孔質ガラス
体、653…第3多孔質ガラス体、AX1…成長中の多
孔質母材の回転軸、AX2…第2バーナーの中心軸。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Dispersion shift fiber, 10 ... 1st core (inner core), 20 ... 2nd core (outer core), 30 ... clad,
40: jacket part (physical cladding), 50: porous base material, 51: intermediate glass base material, 52: composite base material, 53: optical fiber base material, 501: starting rod, 551: first burner, 552: No. 2 burners, 553 ... 3rd burner, 6
51: first porous glass body, 652: second porous glass body, 653: third porous glass body, AX1: rotation axis of the growing porous base material, AX2: central axis of the second burner.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも、所定の屈折率n1を有する
第1コアと、該第1コアの外周に設けられかつ屈折率n
2(<n1)を有する第2コアと、該第2コアの外周に設
けられかつ屈折率n3(<n2)を有するクラッドとを備
えた、石英ガラスを主成分とする光ファイバの製造方法
であって、 前記第1コアとなるべき第1多孔質ガラス体を形成する
ための第1バーナーと、前記第2コアとなるべき第2多
孔質ガラス体を該第1多孔質ガラス体の外周に形成する
ための第2バーナーと、前記クラッドとなるべき第3多
孔質ガラス体を該第2多孔質ガラス体の外周に形成する
ための第3バーナーとを、それぞれ所定の位置に設置
し、 前記第1〜第3バーナーからの火炎中でそれぞれ合成さ
れたガラス微粒子を回転している出発棒の先端部分に堆
積させることで、該出発棒の先端から該出発棒の長手方
向に沿って成長した、前記第1〜第3多孔質ガラス体か
らなる多孔質母材を得る第1工程を備え、 前記第2バーナーは、前記第1多孔質ガラス体の最大外
径を2Rc、前記第2多孔質ガラス体の最大外径を2R
sとするとき、その中心軸が、 0.3×(Rs−Rc)+Rc以上、かつ0.5×(R
s−Rc)+Rc以下で定義される、前記第2多孔質ガ
ラス体表面のガラス微粒子堆積領域と交差するよう設置
されることを特徴とする光ファイバの製造方法。
At least a first core having a predetermined refractive index n 1 and a refractive index n provided on an outer periphery of the first core
2 (<n 1 ) and a cladding provided around the second core and having a refractive index n 3 (<n 2 ). A method for manufacturing, comprising: a first burner for forming a first porous glass body to be the first core; and a second porous glass body for forming the second core to be the second core. And a third burner for forming a third porous glass body to be the clad on the outer circumference of the second porous glass body are respectively provided at predetermined positions. By depositing the glass fine particles synthesized in the flames from the first to third burners on the leading end portion of the rotating starting rod, the glass fine particles extend along the longitudinal direction of the starting rod from the leading end of the starting rod. The first to third porous glass bodies grown by A first step of obtaining a porous base material, wherein the second burner has a maximum outer diameter of the first porous glass body of 2Rc and a maximum outer diameter of the second porous glass body of 2Rc.
s, the central axis is 0.3 × (Rs−Rc) + Rc or more and 0.5 × (R
A method for manufacturing an optical fiber, wherein the optical fiber is installed so as to intersect a glass fine particle deposition region on the surface of the second porous glass body, defined as s-Rc) + Rc or less.
【請求項2】 前記第2バーナ−は、その中心軸が前記
出発棒の回転軸に対し、50゜〜70゜傾くよう設置さ
れることを特徴とする請求項1記載の光ファイバの製造
方法。
2. The method for manufacturing an optical fiber according to claim 1, wherein the second burner is installed such that a center axis thereof is inclined by 50 ° to 70 ° with respect to a rotation axis of the starting rod. .
【請求項3】 前記第3バーナーに、少なくともフッ素
系ガスを供給することを特徴とする請求項1又は2記載
の光ファイバの製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein at least a fluorine-based gas is supplied to the third burner.
【請求項4】 前記第3バーナーに供給されるフッ素系
ガスの供給量は、得られる光ファイバのクラッドの、純
石英に対する比屈折率差が0.03%〜0.1%となる
よう調節されることを特徴とする請求項3記載の光ファ
イバの製造方法。
4. The supply amount of the fluorine-based gas supplied to the third burner is adjusted so that the relative refractive index difference of the cladding of the obtained optical fiber with respect to pure quartz is 0.03% to 0.1%. 4. The method of manufacturing an optical fiber according to claim 3, wherein the method is performed.
【請求項5】 前記第1工程は、さらに、得られた多孔
質母材を焼結して中間ガラス母材を得る工程を含むこと
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の光ファ
イバの製造方法。
5. The method according to claim 1, wherein the first step further includes a step of sintering the obtained porous base material to obtain an intermediate glass base material. Manufacturing method of optical fiber.
【請求項6】 前記第1工程で得られた中間ガラス母材
を所定の外径に延伸した後、気相合成法により該延伸さ
れた中間ガラス母材の外周に、前記クラッドの外周を覆
うジャケット部となるべき第4多孔質ガラス体を形成し
て複合母材を得、そして、 前記複合母材を焼結して光ファイバ母材を得る第2工程
を備えたことを特徴とする請求項5記載の光ファイバの
製造方法。
6. After stretching the intermediate glass base material obtained in the first step to a predetermined outer diameter, the outer circumference of the intermediate glass base material stretched by a vapor phase synthesis method covers the outer circumference of the clad. A second step of forming a fourth porous glass body to be a jacket portion to obtain a composite preform, and sintering the composite preform to obtain an optical fiber preform. Item 6. The method for producing an optical fiber according to Item 5.
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