JPH10187064A - Manufacture of liquid crystal display element, and manufacturing device used for the same - Google Patents

Manufacture of liquid crystal display element, and manufacturing device used for the same

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JPH10187064A
JPH10187064A JP34604196A JP34604196A JPH10187064A JP H10187064 A JPH10187064 A JP H10187064A JP 34604196 A JP34604196 A JP 34604196A JP 34604196 A JP34604196 A JP 34604196A JP H10187064 A JPH10187064 A JP H10187064A
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JP
Japan
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spacer
substrate
liquid crystal
spraying
electric field
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Withdrawn
Application number
JP34604196A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroki Onishi
裕樹 大西
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a liquid crystal display element that has none of defective image display such as display irregularity, color irregularity, etc., due to variance of substrate interval in screen. SOLUTION: Negative charges that a spacer 1 has, while the distribution is controlled in the parallel direction to an electric field produced by a linear electrode 10, i.e., in the horizontal direction, are fallen and dispersed over a substrate 13 in uniform distribution. At this time, control of a dispersing state of the spacer 1 can be conducted by adjusting the values (i.e., potential) of voltages applied individually to plural linear electrodes 10.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示素子の製造
方法およびそれに用いられる製造装置に係り、特にスペ
ーサ材の散布を均一に行なう製造方法および製造装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display element and a manufacturing apparatus used for the same, and more particularly to a manufacturing method and a manufacturing apparatus for uniformly dispersing a spacer material.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶表示素子は、軽量、低消費電
力の特長を生かして、テレビジョン用あるいはOA用の
ディスプレイデバイスとして各種分野で利用されてい
る。
2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal display elements have been used in various fields as display devices for television or OA, taking advantage of their features of light weight and low power consumption.

【0003】液晶表示素子は、間隙を保持して対向配置
され互いに直交する電極群がそれぞれ配設された 2枚の
基板とこの両基板どうしの間隙に挟持された液晶組成物
の液晶層とからその主要部が形成された単純マトリクス
タイプ、あるいは各表示画素ごとに信号電圧の書き込み
を制御するスイッチング素子が設けられたアクティブマ
トリクスタイプ等がある。
[0003] A liquid crystal display element is composed of two substrates, each of which is opposed to each other with a gap therebetween, and in which mutually orthogonal electrode groups are provided, and a liquid crystal layer of a liquid crystal composition sandwiched between the two substrates. There are a simple matrix type in which the main part is formed, and an active matrix type in which a switching element for controlling writing of a signal voltage is provided for each display pixel.

【0004】ところで、液晶表示素子では、いずれも電
極基板間隔を一定に維持するために基板間にスペーサが
できるたげ均一に配置されている。
In all liquid crystal display elements, spacers are arranged as uniformly as possible between substrates in order to maintain a constant electrode substrate spacing.

【0005】従来、基板間にスペーサ材を配置する工程
において、そのスペーサ材の散布方法としては湿式配置
方法あるいは乾式配置方法が用いられていた。
Conventionally, in a process of disposing a spacer material between substrates, a wet disposition method or a dry disposition method has been used as a method of dispersing the spacer material.

【0006】湿式散布方法は、最も多く利用される方法
であって、スペーサ材をフレオン等の分散溶媒中に均一
に分散させ、スプレーガン(ノズル)より圧搾空気とと
もに液晶表示パネルを構成する基板上に吹き付ける。溶
媒はその基板上に到達するまでの飛程で完全に乾燥する
ように調整されている。
[0006] The wet spraying method is the most widely used method, in which a spacer material is uniformly dispersed in a dispersion solvent such as freon, and is sprayed from a spray gun (nozzle) together with compressed air on a substrate constituting a liquid crystal display panel. Spray. The solvent is adjusted so as to be completely dried in a range until it reaches the substrate.

【0007】アクティブマトリックス型液晶表示素子の
場合には、対向基板上にスペーサ材を散布することが一
般的である。
[0007] In the case of an active matrix type liquid crystal display device, it is common to spray a spacer material on the opposing substrate.

【0008】一方、乾式散布方法は、例えば特開昭61
−107222号公報、特開平1−225919号公報
等に開示されているように、上述したような分散溶媒を
用いないでスペーサ材を散布する方法である。
On the other hand, a dry spraying method is disclosed in, for example,
As disclosed in JP-A-107222 and JP-A-1-225919, a method of spraying a spacer material without using a dispersion solvent as described above.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶表示素
子で白黒表示あるいは階調表示を行なう場合、従来では
問題とならなかったスペーサ材の配置むらが、液晶表示
素子の高精細化、多画素化に伴って大きな問題となって
きた。
When monochrome display or gradation display is performed on a liquid crystal display element, unevenness in the arrangement of the spacer material, which has not been a problem in the past, is due to the increase in the definition of the liquid crystal display element and the increase in the number of pixels. Has become a major problem.

【0010】特に、液晶表示素子においては対向する一
対の基板間隔のわずかな変化でも、しきい値電圧や点灯
状態の変化や、干渉現象による画面の色の顕著な変化が
発生して、表示品位の安定性(画面内均一性)が著しく
損なわれる。
In particular, in a liquid crystal display element, even a slight change in the distance between a pair of substrates facing each other causes a change in threshold voltage, a lighting state, and a remarkable change in screen color due to an interference phenomenon, resulting in display quality. (Uniformity within the screen) is significantly impaired.

【0011】このため、画面内での基板間隔のばらつき
を±0.05μm以内という高い精度に保つことが要求され
る。
For this reason, it is required that the variation of the substrate interval within the screen be maintained at a high accuracy of ± 0.05 μm or less.

【0012】これを実現するためには、スペーサ材の散
布分布密度を± 5個/mm2 以内に制御する必要がある
ことが近年の研究から判ってきた。
In order to realize this, it has been found from recent research that it is necessary to control the distribution density of the spacer material within ± 5 pieces / mm 2 .

【0013】しかしながら、湿式散布方法では、分散溶
媒中にスペーサ材を均一かつ凝集なく分散させることは
できても、これを基板上に噴霧する段階において液滴が
大きいため一滴の液滴に含まれるスペーサ材の数が多い
ので、その噴霧中にスペーサ材が凝集して団塊状となっ
て基板上に配置され、これがセルギャップのばらつきを
生じさせることになり、液晶表示素子の表示品位を著し
く低下させるという問題があった。
However, in the wet spraying method, even though the spacer material can be dispersed uniformly and without aggregation in the dispersion solvent, the droplet is large in the stage of spraying the spacer material onto the substrate, so that it is included in one droplet. Due to the large number of spacer materials, the spacer materials aggregate during the spraying and form aggregates, which are then placed on the substrate, causing variations in the cell gap, which significantly reduces the display quality of the liquid crystal display device. There was a problem of letting it.

【0014】しかもこの湿式散布方法では、溶媒として
一般に有機溶媒が用いられるが、この有機溶媒を用いる
作業雰囲気における作業者らの人体に対する悪影響が極
めて強く、公害問題にさえ発展する場合さえあるという
欠点もある。
In addition, in this wet spraying method, an organic solvent is generally used as a solvent, but the working atmosphere in which the organic solvent is used has a very bad influence on the human body of the workers, which may cause even a pollution problem. There is also.

【0015】一方、乾式散布方法では、スペーサ材どう
しの衝突や摩擦等によってスペーサ材自体に静電気が発
生し、この帯電したスペーサ材どうしで凝集して団塊状
となって基板上に配置され、これがセルギャップのばら
つきを生じさせるという問題があった。
[0015] On the other hand, in the dry spraying method, static electricity is generated in the spacer material itself due to collision or friction between the spacer materials, and the charged spacer materials are aggregated to form a cluster and are arranged on the substrate. There has been a problem that the cell gap varies.

【0016】そしてこの問題を解決する方策として、イ
オン化した空気流を用いる乾式散布方法が提案されてい
るが、この方法ではスペーサ材の凝集をある程度軽減す
ることは可能であるが、空気流の方向および分散性を制
御することが困難で、散布分布密度を± 5個/mm2
内にするには程遠く、したがって基板間隔を±0.05μm
以内に抑えることは実際上極めて困難であった。
As a measure to solve this problem, a dry spraying method using an ionized air flow has been proposed. This method can reduce the aggregation of the spacer material to some extent, however, the direction of the air flow can be reduced. And it is difficult to control the dispersibility, and it is far from keeping the distribution density within ± 5 pieces / mm 2 , so that the substrate spacing is ± 0.05 μm.
It was practically very difficult to keep it within.

【0017】本発明は、このような問題を解決するため
に成されたもので、その目的は、スペーサ材どうしが凝
集して団塊状となることを解消し、均一に基板上に配置
させることを可能にして、基板間隔の画面内ばらつきに
起因した表示むらあるいは色むらなどの画像表示不良の
無い、優れた画像表示性能を備えた液晶表示素子を実現
することにある。
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to solve the problem that the spacer materials are prevented from agglomerating into a cluster and are uniformly arranged on the substrate. It is an object of the present invention to realize a liquid crystal display element having excellent image display performance without image display defects such as display unevenness or color unevenness due to in-screen variations in substrate spacing.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示素子の
製造方法は、セルギャップ保持用の細粒状粉体または細
棒状粉体のスペーサを、画像表示用電極を備えた基板上
に散布するスペーサ散布工程と、画像表示用電極を備え
た基板を、前記スペーサで間隙を保持しつつ前記基板に
対向配置する工程と、前記基板どうしの間隙に液晶層を
封入し前記両基板の周囲を封止する工程とを有する液晶
表示素子の製造方法において、前記スペーサを前記基板
上に散布する際に、前記スペーサの落下方向に対して略
垂直方向の電界を該スペーサに作用させて、該スペーサ
の散布状態を制御しつつ該スペーサを前記基板上に散布
する工程を具備することを特徴としている。
According to a method of manufacturing a liquid crystal display element of the present invention, a spacer of fine granular powder or fine rod powder for maintaining a cell gap is sprayed on a substrate provided with an image display electrode. A spacer dispersing step, a step of disposing a substrate provided with an image display electrode on the substrate while maintaining a gap with the spacer, and enclosing a liquid crystal layer in a gap between the substrates and sealing the periphery of both substrates. Stopping the step of dispersing the spacers on the substrate, by applying an electric field substantially perpendicular to the direction in which the spacers fall on the spacers. A step of spraying the spacer on the substrate while controlling a spraying state.

【0019】また、セルギャップ保持用の細粒状粉体ま
たは細棒状粉体のスペーサを、画像表示用電極を備えた
基板上に鉛直方向上方から下方に向けて散布するスペー
サ散布工程と、画像表示用電極を備えた基板を、前記ス
ペーサで間隙を保持しつつ前記基板に対向配置する工程
と、前記基板どうしの間隙に液晶層を封入し前記両基板
の周囲を封止する工程とを有する液晶表示素子の製造方
法において、前記スペーサを前記基板に散布する際に、
前記スペーサの落下方向に対して略平行に張られた複数
本の線状電極に電圧を印加して前記スペーサの落下方向
に対して略垂直方向の電界を発生し、該電界を前記スペ
ーサに作用させて前記スペーサの水平方向の分布を制御
しつつ該スペーサを前記基板上に散布する工程を具備す
ることを特徴としている。
A spacer dispersing step of dispersing a fine-grained powder or a fine rod-shaped powder spacer for maintaining a cell gap on a substrate provided with an image display electrode from a vertical upper side to a lower side; A liquid crystal comprising: a step of disposing a substrate provided with electrodes for use in opposition to the substrate while maintaining a gap with the spacer; and a step of enclosing a liquid crystal layer in a gap between the substrates and sealing the periphery of the two substrates. In the method for manufacturing a display element, when the spacer is sprayed on the substrate,
A voltage is applied to a plurality of linear electrodes stretched substantially parallel to the falling direction of the spacer to generate an electric field substantially perpendicular to the falling direction of the spacer, and the electric field acts on the spacer. And distributing the spacers on the substrate while controlling the horizontal distribution of the spacers.

【0020】また、本発明の液晶表示素子の製造装置
は、画像表示用電極を備えた基板を収納するチャンバ
と、セルギャップ保持用の細粒状粉体または細棒状粉体
のスペーサを帯電させるスペーサ帯電手段と、前記帯電
したスペーサを前記チャンバ内で前記基板上に鉛直方向
上方から下方に向けて散布するスペーサ散布手段と、前
記スペーサを前記基板上に散布する際の前記スペーサの
落下方向に対して略垂直方向の電界を発生し、該電界を
前記スペーサに作用させて該スペーサの水平方向の散布
状態を制御しつつ該スペーサを前記基板上に散布する電
界発生手段と、を具備することを特徴としている。
Further, in the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element according to the present invention, there is provided a chamber for accommodating a substrate provided with an electrode for image display, and a spacer for charging a fine-grained powder or fine-rod-shaped powder for maintaining a cell gap. A charging means, a spacer spraying means for spraying the charged spacer on the substrate in the chamber vertically downward from above, and a dropping direction of the spacer when the spacer is sprayed on the substrate. Electric field generating means for generating an electric field in a substantially vertical direction, and applying the electric field to the spacer to spray the spacer on the substrate while controlling the state of the spacer in the horizontal direction. Features.

【0021】また、画像表示用電極を備えた基板を収納
するチャンバと、セルギャップ保持用の細粒状粉体また
は細棒状粉体のスペーサを帯電させるスペーサ帯電手段
と、前記帯電したスペーサを前記チャンバ内で前記基板
上に鉛直方向上方から下方に向けて散布するスペーサ散
布手段と、前記スペーサを前記基板上に散布する際の前
記スペーサの落下方向に対して略平行に張られた複数本
の線状電極であって、電圧が印加されて前記スペーサの
落下方向に対して略垂直方向の電界を発生し、該電界を
前記スペーサに作用させて該スペーサの水平方向の散布
状態を制御しつつ該スペーサを前記基板上に散布する線
状電極と、を具備することを特徴としている。
A chamber for accommodating a substrate provided with an image display electrode; a spacer charging means for charging a fine-grained powder or a fine bar-shaped powder spacer for maintaining a cell gap; And a plurality of lines extending substantially parallel to a drop direction of the spacers when the spacers are scattered on the substrate. A voltage is applied to generate an electric field in a direction substantially perpendicular to the falling direction of the spacer, and the electric field is applied to the spacer to control a horizontal spraying state of the spacer. And a linear electrode for spraying a spacer on the substrate.

【0022】上記の線状電極およびそれに印加する電圧
は、例えば、チャンバ内に載置される基板を囲むように
複数本配置し、これに負の電圧を印加して、個々の線状
電極を中心軸としてそれぞれ同心円状に水平方向に広が
る電界を形成する一方、スペーサを散布直前に負に帯電
させて噴出ノズルのようなスペーサ散布手段から噴射し
て、スペーサの持つ負電荷が線状電極の作る電界によっ
てその電界と平行方向つまり水平方向での分布を制御さ
れながら基板上に落下散布されるようにしてもよい。
A plurality of the linear electrodes and the voltage applied thereto are arranged, for example, so as to surround the substrate placed in the chamber, and a negative voltage is applied to the linear electrodes to apply each of the linear electrodes. While forming an electric field which spreads concentrically in the horizontal direction as a central axis, the spacer is charged negatively just before spraying and is ejected from spacer spraying means such as a jet nozzle, and the negative charge of the spacer is applied to the linear electrode. The distribution may be controlled in a direction parallel to the electric field, that is, in a horizontal direction by the electric field to be formed, and the electric field may be dropped and dispersed on the substrate.

【0023】本発明によれば、スペーサの落下方向に対
して垂直な方向の複数の電界を作用させることによりス
ペーサを基板上に均一に散布させることができる。
According to the present invention, the spacers can be uniformly dispersed on the substrate by applying a plurality of electric fields in a direction perpendicular to the direction in which the spacers fall.

【0024】すなわち、例えばチャンバ内に載置される
基板401の周囲を囲むように線状電極402を複数本
それぞれ鉛直方向に立たせて配置し、これに負の電圧を
印加して、個々の線状電極402を中心軸としてそれぞ
れ同心円状に水平方向に広がって全体としては電場中に
置かれた負に帯電した粒子403を基板401主面に対
して水平な中心方向へと向かわせる、図4に概念的に曲
面404で示したような電界(電場)を形成する。(こ
こで、図4においてはx−y平面は基板4に対して水平
な方向の位置(座標)を、z軸は線状電極全体が作る電
界のポテンシャルを示している。従って、電場中に存在
する負に帯電した粒子403は、図中に曲面404で示
すようなポテンシャルの斜面に沿ってその中心の最低位
置405に向かって移動する力を受ける。) 一方、スペーサを散布前に負に帯電させて噴出ノズルの
ようなスペーサ散布手段から噴射することにより、スペ
ーサの持つ負電荷が線状電極の作る電界によってその電
界と平行方向つまり水平方向での分布を制御されながら
基板上に均一な分布で落下散布される。
That is, for example, a plurality of linear electrodes 402 are arranged in a vertical direction so as to surround the periphery of a substrate 401 placed in a chamber, and a negative voltage is applied to each of the linear electrodes 402 to apply each of the linear electrodes. Each of the negatively charged particles 403 spread concentrically in the horizontal direction about the electrode 402 as a central axis and directed toward the central direction horizontal to the main surface of the substrate 401 as a whole, as shown in FIG. An electric field (electric field) is conceptually formed as shown by the curved surface 404. (Here, in FIG. 4, the xy plane indicates the position (coordinate) in the direction horizontal to the substrate 4, and the z-axis indicates the potential of the electric field generated by the entire linear electrode. The existing negatively charged particles 403 receive a force moving toward the lowest position 405 at the center thereof along the potential slope as shown by the curved surface 404 in the drawing.) On the other hand, the spacer becomes negative before spraying. By charging and spraying from a spacer spraying means such as a spray nozzle, the negative charge of the spacer is uniformly distributed on the substrate while the distribution in the horizontal direction is controlled by the electric field created by the linear electrode. Drops are scattered in distribution.

【0025】このとき、スペーサ散布状態の制御は、例
えば複数の線状電極の個々に印加する電圧の値(つまり
電位)を調節して行なうことができる。
At this time, the control of the state of dispersing the spacers can be performed, for example, by adjusting the value (that is, the potential) of the voltage applied to each of the plurality of linear electrodes.

【0026】また、電界発生手段としては、上記のよう
な線状電極の他にも、例えば長手方向がスペーサの落下
方向にほぼ平行な円筒状の電極を用いることもできる。
Further, as the electric field generating means, for example, a cylindrical electrode whose longitudinal direction is substantially parallel to the falling direction of the spacer can be used in addition to the linear electrode as described above.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る液晶表示素子
の製造方法およびそれに用いられる製造装置の一実施形
態を、図面に基づいて詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention and a manufacturing apparatus used therefor will be described in detail with reference to the drawings.

【0028】図1は本発明に係る液晶表示素子の製造装
置の構造の概要を示す図である。
FIG. 1 is a view showing an outline of the structure of a device for manufacturing a liquid crystal display element according to the present invention.

【0029】乾燥状態のスペーサ1(本実施例では一例
として平均粒径約φ6 μmのものを用いた)は自動供給
器2内に収納される。
The spacer 1 in a dry state (one having an average particle size of about φ6 μm as an example in the present embodiment) is stored in the automatic feeder 2.

【0030】その自動供給器2に投入されるスペーサの
量は、 1回の散布に用いられるスペーサの種類およびそ
の粒径や、製造される液晶表示素子の基板面積や液晶表
示素子としての種類等によってそれぞれ異なるが、一般
には 1回の使用量として15〜30mg程度が投入される。
The amount of the spacer to be supplied to the automatic feeder 2 includes the type and size of the spacer used for one application, the substrate area of the liquid crystal display element to be manufactured, and the type of the liquid crystal display element. Generally, about 15 to 30 mg is used as a single dose.

【0031】そして自動供給器2には、外部の供給装置
(図示省略)から気体供給口3を通って例えば乾燥した
清浄な空気又は窒素ガスのような噴射ガスが所定の圧力
で供給され、この噴射ガスとともにスペーサ1は搬送パ
イプ4を通って噴射ガン5に送られて、この噴射ガン5
の先端のノズル6から噴出される。
The automatic supply device 2 is supplied with an injection gas such as dry clean air or nitrogen gas at a predetermined pressure from an external supply device (not shown) through a gas supply port 3. The spacer 1 is sent to the spray gun 5 through the transport pipe 4 together with the spray gas.
Is ejected from the nozzle 6 at the tip of the nozzle.

【0032】このとき、噴射ガン5には配線7を介して
印加電圧発生装置8から電圧が印加されて定電位に保た
れており、従ってスペーサ1は噴射ガン5を通る際に負
の電位に帯電する。また印加電圧発生装置8は配線9を
介して自動供給器2に対しても電圧を印加しており、こ
の自動供給器2内に収納されているスペーサ1にも帯電
させる。
At this time, a voltage is applied to the spray gun 5 from the applied voltage generator 8 via the wiring 7 and is maintained at a constant potential. Therefore, when the spacer 1 passes through the spray gun 5, the spacer 1 becomes a negative potential. Charges. The applied voltage generator 8 also applies a voltage to the automatic supply 2 via the wiring 9, and also charges the spacer 1 housed in the automatic supply 2.

【0033】そして、電界発生手段として線状電極10
が、チャンバ11内のステージ12上に載置される基板
13の周囲を囲むように複数本配列されている。この線
状電極10は、印加電圧発生装置8から配線14を介し
て負の電圧が印加されて、この線状電極10を中心軸と
して同心円状に水平方向に広がる電界を形成する。
The linear electrode 10 is used as an electric field generating means.
Are arranged so as to surround the periphery of the substrate 13 mounted on the stage 12 in the chamber 11. A negative voltage is applied to the linear electrode 10 from the applied voltage generator 8 via the wiring 14 to form an electric field that extends concentrically in the horizontal direction with the linear electrode 10 as a central axis.

【0034】そしてその一方で、前記の如くスペーサ1
を散布前に負に帯電させて噴射ガン5のノズル6から噴
射することで、スペーサ1の持つ負電荷が線状電極10
の作る電界によってその電界と平行方向つまり水平方向
での分布を制御されながら、基板13上に均一な分布に
落下散布される。
On the other hand, as described above, the spacer 1
Is charged negatively before spraying and sprayed from the nozzle 6 of the spray gun 5 so that the negative charge of the spacer 1 is reduced to the linear electrode 10.
While the distribution in the direction parallel to the electric field, that is, in the horizontal direction, is controlled by the electric field generated by the above, the liquid crystal is dropped and dispersed on the substrate 13 in a uniform distribution.

【0035】このとき、スペーサ散布状態の制御は、複
数の線状電極10の個々に印加する電圧の値(つまり電
位)を調節して行なうことができる。
At this time, the state of the spacers being scattered can be controlled by adjusting the value (that is, the potential) of the voltage applied to each of the plurality of linear electrodes 10.

【0036】即ち、例えば図2に概念的に示す如くスペ
ーサ1の散布状態が均一でない場合には、スペーサ1の
分布が少ない部分(図中右下の分布密度75の部分)に最
寄りの線状電極10a、10bに印加する電圧(値)
を、それ以外の周囲の線状電極10c、d、e…に比べ
て高くすることにより、図2(b)に示すようにほぼ均
一な散布状態に制御することができる。
That is, for example, as shown conceptually in FIG. 2, when the state of distribution of the spacers 1 is not uniform, the linear shape closest to the portion where the distribution of the spacers 1 is small (the portion with the distribution density 75 at the lower right in the figure). Voltage (value) applied to electrodes 10a and 10b
Are set higher than the other surrounding linear electrodes 10c, d, e,..., So that the spraying state can be controlled to be substantially uniform as shown in FIG.

【0037】ここで、線状電極10の配列本数が余りに
も少ない場合には、隣り合う線状電極10どうしの間で
の電界のポテンシャルの谷間が大きくなって、その部分
でのスペーサの散布状態に偏りが生じる確率が高くなる
ので好ましくない。一方、線状電極10の配列本数が余
りにも少ない場合には、電界の全体としての強度つまり
電界のポテンシャルの傾斜が強くなり過ぎてしまい、ス
ペーサの散布状態が基板中心方向に大きく偏る確率が高
くなるので、やはり好ましくない。従って、この線状電
極10の好適な配列本数および配列形態は、線状電極1
0の太さやチャンバ11内のガスの種類や、印加する電
圧の値などの条件に依存して異なるものの、一般に、ス
ペーサ1を少なくとも基板13上に均一に分布するよう
な配列本数および配列形態に設定することが望ましいこ
とは言うまでもない。例えば本実施例では、線状電極1
0として、直径3mmの銅製あるいはSUS製のワイヤ
ーを12本、基板13の周囲を均等に囲むようにピッチ
20cmで配列し、このワイヤーからなる線状電極10
の各々に約3KVの負の定電圧を印加した。また散布前
のスペーサ1には−70KVの電圧を印加した。
Here, if the number of the linear electrodes 10 is too small, the valley of the electric field potential between adjacent linear electrodes 10 becomes large, and the distribution of the spacers at that portion becomes large. This is not preferable because the probability of occurrence of bias increases. On the other hand, if the number of the linear electrodes 10 is too small, the intensity of the electric field as a whole, that is, the inclination of the electric field potential becomes too strong, and there is a high probability that the dispersed state of the spacer is largely biased toward the substrate center. Is not preferred. Therefore, the preferred number and arrangement of the linear electrodes 10 are determined by the linear electrodes 1
In general, the number and arrangement of the spacers 1 are at least uniformly distributed on the substrate 13, although they vary depending on conditions such as the thickness of 0, the type of gas in the chamber 11, and the value of the applied voltage. It is needless to say that setting is desirable. For example, in the present embodiment, the linear electrode 1
0, 12 copper or SUS wires each having a diameter of 3 mm are arranged at a pitch of 20 cm so as to evenly surround the periphery of the substrate 13.
Was applied with a negative constant voltage of about 3 KV. A voltage of -70 KV was applied to the spacer 1 before spraying.

【0038】このように、本発明によれば、有機溶剤を
使用せずにスペーサを散布する乾式散布方法を採用して
いるため、有機溶剤の使用に起因した公害の発生を解消
することができる。そして本発明によれば、スペーサを
基板上に均一に散布することができるので、高精度で均
一なセルギャップ制御を実現することができる。
As described above, according to the present invention, since the dry spraying method in which the spacers are sprayed without using an organic solvent is employed, it is possible to eliminate the occurrence of pollution caused by the use of the organic solvent. . According to the present invention, since the spacers can be evenly spread on the substrate, highly accurate and uniform cell gap control can be realized.

【0039】なお、本発明に係る電界発生手段として
は、上記のような線状電極10の他にも、例えば図3に
示すような長手方向がスペーサの落下方向にほぼ平行な
円筒状(a)あるいはロ字型枠状(b)のような形状の
電極を用いることもできる。
As the electric field generating means according to the present invention, in addition to the linear electrode 10 as described above, for example, a cylindrical shape (a) whose longitudinal direction is substantially parallel to the falling direction of the spacer as shown in FIG. ) Or an electrode shaped like a square frame (b).

【0040】[0040]

【発明の効果】以上、詳細な説明で明示したように、本
発明によれば、スペーサ材どうしが凝集して団塊状とな
ることを解消し、均一に基板上に配置させることを可能
にして、基板間隔の画面内ばらつきに起因した表示むら
や色むらなどの画像表示不良の無い、優れた画像表示性
能を備えた液晶表示素子を実現することができる。
As described above, according to the present invention, according to the present invention, it is possible to solve the problem that the spacer materials are prevented from agglomerating into a conglomerate and can be uniformly disposed on the substrate. In addition, it is possible to realize a liquid crystal display device having excellent image display performance without image display defects such as display unevenness and color unevenness due to in-screen variations in substrate spacing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る液晶表示素子の製造装置の構造の
概要を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an outline of the structure of a liquid crystal display element manufacturing apparatus according to the present invention.

【図2】本発明に係る液晶表示素子の製造装置におけ
る、スペーサ散布状態の制御方法の一例を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing an example of a method of controlling a spacer scattering state in the liquid crystal display element manufacturing apparatus according to the present invention.

【図3】本発明に係る液晶表示素子の製造装置に適用可
能なである、スペーサの落下方向にほぼ平行な円筒状
(a)あるいはロ字型枠状(b)のような形状の電極を
示す図である。
FIG. 3 shows an electrode having a cylindrical shape (a) or a rectangular frame shape (b) substantially parallel to the direction in which a spacer is dropped, which is applicable to the apparatus for manufacturing a liquid crystal display element according to the present invention. FIG.

【図4】本発明に係る線状電極が形成する電界全体のポ
テンシャル分布を概念的に示す図である。
FIG. 4 is a diagram conceptually showing a potential distribution of an entire electric field formed by a linear electrode according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1………スペーサ 2………自動供給器 3………気体供給口 4………搬送パイプ 5………噴射ガン 6………ノズル 7………配線 8………印加電圧発生装置 9………配線 10………線状電極 11………チャンバ 12………ステージ 13………基板 14………配線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Spacer 2 ... Automatic supply device 3 ... Gas supply port 4 ... Conveying pipe 5 ... Injection gun 6 ... Nozzle 7 ... Wiring 8 ... Applied voltage generator 9 ...... Wiring 10 ... Linear electrode 11 ... Chamber 12 ... Stage 13 ... Substrate 14 ... Wiring

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セルギャップ保持用の細粒状粉体または
細棒状粉体のスペーサを、画像表示用電極を備えた基板
上に散布するスペーサ散布工程と、画像表示用電極を備
えた基板を、前記スペーサで間隙を保持しつつ前記基板
に対向配置する工程と、前記基板どうしの間隙に液晶層
を封入し前記両基板の周囲を封止する工程とを有する液
晶表示素子の製造方法において、 前記スペーサを前記基板上に散布する際に、前記スペー
サの落下方向に対して略垂直方向の電界を該スペーサに
作用させて、該スペーサの散布状態を制御しつつ該スペ
ーサを前記基板上に散布する工程を具備することを特徴
とする液晶表示素子の製造方法。
A spacer dispersing step of dispersing a fine-grained powder or a fine rod-shaped powder spacer for maintaining a cell gap on a substrate provided with an image display electrode; A method for manufacturing a liquid crystal display element, comprising: a step of disposing the liquid crystal layer opposite to the substrate while maintaining a gap with the spacer; and a step of enclosing a liquid crystal layer in a gap between the substrates and sealing a periphery of the two substrates. When the spacers are sprayed on the substrate, an electric field substantially perpendicular to the drop direction of the spacers is applied to the spacers, and the spacers are sprayed on the substrate while controlling the spraying state of the spacers. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising the steps of:
【請求項2】 セルギャップ保持用の細粒状粉体または
細棒状粉体のスペーサを、画像表示用電極を備えた基板
上に鉛直方向上方から下方に向けて散布するスペーサ散
布工程と、画像表示用電極を備えた基板を、前記スペー
サで間隙を保持しつつ前記基板に対向配置する工程と、
前記基板どうしの間隙に液晶層を封入し前記両基板の周
囲を封止する工程とを有する液晶表示素子の製造方法に
おいて、 前記スペーサを前記基板に散布する際に、前
記スペーサの落下方向に対して略平行に張られた複数本
の線状電極に電圧を印加して前記スペーサの落下方向に
対して略垂直方向の電界を発生し、該電界を前記スペー
サに作用させて前記スペーサの水平方向の分布を制御し
つつ該スペーサを前記基板上に散布する工程を具備する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
2. A spacer dispersing step of dispersing a fine-grained powder or a fine rod-shaped powder spacer for maintaining a cell gap on a substrate provided with an image display electrode from vertically upward to downward. A step of disposing a substrate provided with electrodes for facing the substrate while maintaining a gap with the spacer;
Enclosing a liquid crystal layer in a gap between the substrates and sealing the periphery of the two substrates, the method comprising the steps of: A voltage is applied to a plurality of linear electrodes stretched substantially in parallel to generate an electric field in a direction substantially perpendicular to the falling direction of the spacer, and the electric field is applied to the spacer to cause a horizontal direction of the spacer. A step of spraying the spacers on the substrate while controlling the distribution of the liquid crystal display element.
【請求項3】 画像表示用電極を備えた基板を収納する
チャンバと、 セルギャップ保持用の細粒状粉体または細棒状粉体のス
ペーサを帯電させるスペーサ帯電手段と、 前記帯電したスペーサを前記チャンバ内で前記基板上に
鉛直方向上方から下方に向けて散布するスペーサ散布手
段と、 前記スペーサを前記基板上に散布する際の前記スペーサ
の落下方向に対して略垂直方向の電界を発生し、該電界
を前記スペーサに作用させて該スペーサの水平方向の散
布状態を制御しつつ該スペーサを前記基板上に散布する
電界発生手段と、を具備することを特徴とする液晶表示
素子の製造装置。
A chamber for accommodating a substrate having an electrode for image display; a spacer charging means for charging a fine-grained powder or a fine rod-shaped powder spacer for maintaining a cell gap; A spacer spraying means for spraying the substrate downward from above in the vertical direction, and generating an electric field substantially perpendicular to the falling direction of the spacer when spraying the spacer on the substrate; An apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: an electric field generating means for spraying the spacer on the substrate while controlling a horizontal spray state of the spacer by applying an electric field to the spacer.
【請求項4】 画像表示用電極を備えた基板を収納する
チャンバと、 セルギャップ保持用の細粒状粉体または細棒状粉体のス
ペーサを帯電させるスペーサ帯電手段と、 前記帯電したスペーサを前記チャンバ内で前記基板上に
鉛直方向上方から下方に向けて散布するスペーサ散布手
段と、 前記スペーサを前記基板上に散布する際の前記スペーサ
の落下方向に対して略平行に張られた複数本の線状電極
であって、電圧が印加されて前記スペーサの落下方向に
対して略垂直方向の電界を発生し、該電界を前記スペー
サに作用させて該スペーサの水平方向の散布状態を制御
しつつ該スペーサを前記基板上に散布する線状電極と、
を具備することを特徴とする液晶表示素子の製造装置。
4. A chamber for accommodating a substrate provided with an electrode for image display, a spacer charging means for charging a fine-grained powder or a fine rod-shaped powder spacer for maintaining a cell gap; A spacer spraying means for spraying the substrate downward from above in the vertical direction, and a plurality of lines stretched substantially in parallel to a falling direction of the spacer when spraying the spacer on the substrate. A voltage is applied to generate an electric field in a direction substantially perpendicular to the falling direction of the spacer, and the electric field is applied to the spacer to control a horizontal spraying state of the spacer. Linear electrodes for dispersing spacers on the substrate,
An apparatus for manufacturing a liquid crystal display element, comprising:
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