JPH10176702A - Screw motion cylinder and screw motion output device - Google Patents
Screw motion cylinder and screw motion output deviceInfo
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- JPH10176702A JPH10176702A JP33522296A JP33522296A JPH10176702A JP H10176702 A JPH10176702 A JP H10176702A JP 33522296 A JP33522296 A JP 33522296A JP 33522296 A JP33522296 A JP 33522296A JP H10176702 A JPH10176702 A JP H10176702A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ピストンの摺動を
螺旋運動に変換して出力する螺旋運動シリンダ及びその
螺旋運動シリンダを有する螺旋運動出力装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a helical motion cylinder which converts a sliding of a piston into a helical motion and outputs the helical motion, and a helical motion output device having the helical motion cylinder.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、回転運動と直進運動とを同時
に行う螺旋運動を出力する螺旋運動シリンダが、ロボッ
トハンド或いは攪拌装置等の各種装置に使用されてい
る。その一従来例としては、特公昭49−41550号
に開示されている技術を挙げることができる。図12及
び図13は、この公報に開示された螺旋運動シリンダを
示した断面図であり、ロボットハンドに使用されたもの
である。ロボットハンド102は、シリンダ内を摺動す
るピストン103と一体的に設けられ、そのピストン1
03は、中空状のシリンダチューブ104内に摺動自在
に装填されている。シリンダチューブ104の中心に
は、ガイド棒105が固設され、そのガイド棒105の
外周には、ガイド溝106が形成されている。ピストン
103の内面には、ガイド溝106に対して回転可能な
状態でガイドボール109が保持されている。そのガイ
ドボール109は、ピストン103に対して常に定位置
にある。また、ピストン103は、復帰バネ107によ
り上方向に付勢され、そのピストン103より上側の位
置に油圧供給ポート108が形成されている。2. Description of the Related Art Hitherto, a spiral motion cylinder which outputs a spiral motion for simultaneously performing a rotary motion and a linear motion has been used for various devices such as a robot hand or a stirrer. As a conventional example, there is a technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 49-41550. FIG. 12 and FIG. 13 are cross-sectional views showing a spiral movement cylinder disclosed in this publication, and are used for a robot hand. The robot hand 102 is provided integrally with a piston 103 that slides in a cylinder.
Numeral 03 is slidably loaded in a hollow cylinder tube 104. A guide rod 105 is fixed at the center of the cylinder tube 104, and a guide groove 106 is formed on the outer periphery of the guide rod 105. A guide ball 109 is held on the inner surface of the piston 103 so as to be rotatable with respect to the guide groove 106. The guide ball 109 is always at a fixed position with respect to the piston 103. The piston 103 is urged upward by a return spring 107, and a hydraulic pressure supply port 108 is formed at a position above the piston 103.
【0003】そこで、このような構成の従来の螺旋運動
シリンダ101は、次のように作用する。先ず、図12
に示すように油圧供給ポート108に作動油が供給され
ていない状態では、ピストン103が復帰バネ107に
付勢されてシリンダチューブ104の中空部の上側に位
置している。このとき、ロボットハンド102は、シリ
ンダチューブ104から最も離間した位置にある。ま
た、ガイドボール109がガイド溝106の上端部にあ
って、ロボットハンド102は図示するようにその平面
上にある。The conventional spiral motion cylinder 101 having such a structure operates as follows. First, FIG.
When the hydraulic oil is not supplied to the hydraulic pressure supply port 108, the piston 103 is biased by the return spring 107 and is positioned above the hollow portion of the cylinder tube 104 as shown in FIG. At this time, the robot hand 102 is at a position farthest from the cylinder tube 104. The guide ball 109 is located at the upper end of the guide groove 106, and the robot hand 102 is on the plane as shown in the figure.
【0004】次に、図13に示すように油圧供給ポート
108に作動油が供給された状態では、ピストン103
が下向へ加圧される。このとき、ロボットハンド102
はシリンダチューブ104に最も近い位置にある。ま
た、ガイドボール109がガイド溝106の下端部にあ
り、ロボットハンド102は図と垂直な位置に回転して
いる。ここで、ロボットハンド102が、図12の位置
から図13の位置に移動する場合に、ロボットハンド1
02の上下方向の位置、及びロボットハンド102の回
転方向の位置は、共にガイド溝106とガイドボール1
09とにより一義的に決定されるため、ロボットハンド
102の上下運動と回転運動とは、正確に同期されてい
る。Next, as shown in FIG. 13, when hydraulic oil is supplied to the hydraulic pressure supply port 108, the piston 103
Is pressed downward. At this time, the robot hand 102
Is located closest to the cylinder tube 104. Further, the guide ball 109 is at the lower end of the guide groove 106, and the robot hand 102 is rotated to a position perpendicular to the figure. Here, when the robot hand 102 moves from the position of FIG. 12 to the position of FIG.
02 in the vertical direction and the position in the rotational direction of the robot hand 102 are both the guide groove 106 and the guide ball 1.
09, the vertical movement and the rotational movement of the robot hand 102 are accurately synchronized.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
螺旋運動シリンダには、次のような問題点があった。す
なわち、ガイドボール109が、ピストン103の内面
孔で回転し、かつガイド溝106に沿って転動するの
で、転動部等で摩耗粉が発生し、その摩耗粉により孔や
溝が削られたり、またガイドボール109に傷が付いた
りすることがあり、それによってロボットハンド102
の回転運動及び上下運動、すなわち螺旋運動がスムーズ
でなくなるなどの問題があった。更に、本従来例のもの
は摩耗粉が発生するということで、半導体製造装置など
のクリーンな状態での作業が要求されるものへの使用に
は適さないといった使用上制限もあった。However, the conventional helical cylinder has the following problems. That is, since the guide ball 109 rotates in the inner hole of the piston 103 and rolls along the guide groove 106, abrasion powder is generated at a rolling portion or the like, and the abrasion powder cuts the hole or groove. Also, the guide ball 109 may be scratched, and the robot hand 102
However, there has been a problem that the rotational motion and the vertical motion, that is, the helical motion is not smooth. Further, since the conventional example generates abrasion powder, there is also a limitation in use such that it is not suitable for use in a semiconductor manufacturing apparatus or the like requiring work in a clean state.
【0006】そこで、本発明は、かかる問題点を解決す
べく、スムーズな螺旋運動の出力を可能とし、また使用
用途の拡大を図った螺旋運動シリンダ及びそのような螺
旋運動シリンダを備えた螺旋運動出力装置を提供するこ
とを目的とする。In order to solve the above problems, the present invention provides a spiral motion cylinder capable of smoothly outputting a spiral motion and expanding its use, and a spiral motion cylinder having such a spiral motion cylinder. It is an object to provide an output device.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく考
案された本発明の螺旋運動シリンダは、シリンダチュー
ブ内にピストンが摺動自在に装填されたピストンシリン
ダと、前記シリンダチューブの一端から突出するように
して前記ピストンに固着された中空円筒形状のロッドパ
イプと、前記ロッドパイプ内に回転自在に装填された回
転ロッドと、前記回転ロッドの外周に形成された螺旋状
の着磁帯からなる雄磁気ネジと、前記ロッドパイプが貫
通した前記シリンダチューブの端部貫通孔内周面に形成
された螺旋状の着磁帯からなる雌磁気ネジとを有し、前
記ピストンが前記シリンダチューブ内を摺動することに
よって、前記回転ロッドが螺旋運動を行うことを特徴と
する。また、本発明の螺旋運動シリンダは、前記シリン
ダチューブ内に前記ピストンを摺動方向に貫通した廻止
めロッドを有することが望ましい。A helical motion cylinder according to the present invention devised to solve the above-mentioned problem comprises a piston cylinder in which a piston is slidably mounted in a cylinder tube, and a cylinder projecting from one end of the cylinder tube. A rod-shaped hollow cylindrical rod pipe fixed to the piston, a rotatable rod rotatably mounted in the rod pipe, and a helical magnetized band formed on the outer periphery of the rotatable rod. A male magnetic screw, and a female magnetic screw consisting of a helical magnetized band formed on the inner peripheral surface of an end through hole of the cylinder tube through which the rod pipe has penetrated, and the piston passes through the inside of the cylinder tube. The sliding rod performs a spiral movement by sliding. It is preferable that the helical motion cylinder of the present invention has a detent rod that penetrates the piston in the sliding direction in the cylinder tube.
【0008】また、本発明の螺旋運動出力装置は、前記
シリンダチューブ内の前記ピストンによって摺動方向に
2分割された各圧力室に接続され、作動流体供給源から
の作動流体の供給を前記一つの圧力室へ切り換える2位
置切換弁と、前記ピストンの摺動位置を検出して前記2
位置切換弁の弁の切り換えを制御する切換スイッチとを
有することを特徴とする。また、螺旋運動出力装置は、
前記2位置切換弁が、パイロット形の4ポート弁又は5
ポート弁であって、前記切換スイッチが、前記ピストン
の摺動位置を検出して前記2位置切換弁のパイロットポ
ートへの作動流体の切り換えを行う3ポート弁を有する
ものであることが望ましい。The helical motion output device according to the present invention is connected to each of the pressure chambers divided in the sliding direction by the piston in the cylinder tube, and supplies the working fluid from the working fluid supply source to the pressure chamber. A two-position switching valve for switching between two pressure chambers;
A changeover switch for controlling switching of the position changeover valve. In addition, the spiral motion output device,
The two-position switching valve is a pilot type four-port valve or a five-port valve.
It is preferable that the changeover switch has a three-port valve that detects a sliding position of the piston and switches the working fluid to a pilot port of the two-position changeover valve.
【0009】また、本発明の螺旋運動出力装置は、前記
切換スイッチが、前記ピストン外周に固着されたマグネ
ットに対するマグネットを保持し、前記シリンダチュー
ブ外周部に軸方向への移動自在に配設されたアウタスラ
イダと、前記ピストンの摺動に追従する前記アウタスラ
イダとの接触に連動して弁の切り換えが行われるメカニ
カル3ポート弁又は3ポート電磁弁とを有するものであ
ることが望ましい。また、本発明の螺旋運動出力装置
は、前記ピストンの摺動方向に前記アウタスライダを貫
通した支持ロッドを有することことが望ましい。In the helical motion output device of the present invention, the changeover switch holds a magnet for the magnet fixed to the outer periphery of the piston, and is disposed on the outer periphery of the cylinder tube so as to be movable in the axial direction. It is desirable to have an outer slider and a mechanical three-port valve or a three-port solenoid valve that switches the valve in conjunction with the contact of the outer slider that follows the sliding of the piston. It is preferable that the helical motion output device of the present invention has a support rod that penetrates the outer slider in a sliding direction of the piston.
【0010】かかる構成をなす本発明の螺旋運動シリン
ダでは、シリンダチューブ内に供給される作動流体の圧
力を受けてピストンが摺動すると、そのピストンに固着
されたロッドパイプが軸方向に移動するが、その際、ロ
ッドパイプ内に装填された回転ロッドには、その外周に
形成された雄磁気ネジとシリンダチューブの端部貫通孔
内周面に形成された雌磁気ネジとの間で生じる磁力によ
って回転が与えられ、それによってピストンによる軸方
向の移動と磁気ネジによる回転によって回転ロッドから
のスムーズな螺旋運動出力が可能となる。また、シリン
ダチューブ内へ供給される作動流体によってその螺旋運
動が出力されるため、揮発性液体などの攪拌にも安全で
あり、加えて摩耗粉の発生もほとんどないためクリーン
な作業にも適し、その使用用途の拡大を図ることができ
る。また、本発明の螺旋運動シリンダでは、ピストンを
貫通した廻止めロッドを有することで、ピストンは回転
することなくシリンダチューブ内を摺動するので、それ
によって回転ロッドによるよりスムーズな螺旋運動出力
が得られる。[0010] In the helical motion cylinder of the present invention having such a configuration, when the piston slides under the pressure of the working fluid supplied into the cylinder tube, the rod pipe fixed to the piston moves in the axial direction. At this time, the rotating rod loaded in the rod pipe has a magnetic force generated between a male magnetic screw formed on the outer periphery thereof and a female magnetic screw formed on the inner peripheral surface of the through hole at the end of the cylinder tube. Rotation is provided, which allows a smooth helical motion output from the rotating rod by axial movement by the piston and rotation by the magnetic screw. In addition, since the helical motion is output by the working fluid supplied into the cylinder tube, it is safe to agitate volatile liquids, etc. In addition, there is almost no generation of abrasion powder, so it is suitable for clean work. Its use can be expanded. Further, in the spiral motion cylinder of the present invention, since the piston slides in the cylinder tube without rotating by having the rotation stopping rod penetrating the piston, a smoother spiral motion output by the rotating rod is obtained. Can be
【0011】一方、かかる構成を有する螺旋運動出力装
置では、切換スイッチによってピストンの摺動位置が所
定の位置で検出されて2位置切換弁が切り換えられ、そ
の切り換えられた2位置切換弁によって前記構成を有す
る螺旋運動シリンダの一の圧力室に対して作動流体供給
源からの作動流体が供給されて、その螺旋運動シリンダ
の螺旋運動出力が制御される。On the other hand, in the helical motion output device having such a configuration, the sliding position of the piston is detected at a predetermined position by the changeover switch, and the two-position switching valve is switched, and the switched two-position switching valve is used by the switched two-position switching valve. The working fluid from the working fluid supply source is supplied to one pressure chamber of the spiral movement cylinder having the spiral movement cylinder, and the spiral movement output of the spiral movement cylinder is controlled.
【0012】また、本発明の螺旋運動出力装置では、そ
の切換スイッチにおける3ポート弁、特にメカニカル3
ポート弁又は3ポート電磁弁が、例えばマグネットによ
ってピストンに追従するアウタスライダとの接触によっ
てそのピストンの摺動位置を検出することで弁が切り換
えられ、その3ポート弁の切り換えによって作動流体供
給源からの流体が2位置切換弁である4ポート又は5ポ
ート弁の所定のパイロットポートへ供給され、そして、
その2位置切換弁を介して螺旋運動シリンダの一の圧力
室に対して作動流体供給源からの作動流体が供給され、
その螺旋運動シリンダの螺旋運動出力が制御される。ま
た、本発明の螺旋運動出力装置では、アウタスライダ
が、ピストンの摺動方向に貫通した支持ロッドに支持さ
れて安定した移動を行うことにより、ピストンの位置が
正確に検出され、螺旋運動シリンダの螺旋運動出力が制
御される。Further, in the spiral motion output device of the present invention, a three-port valve, particularly, a mechanical
The valve is switched by detecting the sliding position of the piston by contact of the port valve or the 3-port solenoid valve with the outer slider that follows the piston by, for example, a magnet, and by switching the 3-port valve, the valve is switched from the working fluid supply source. Is supplied to a predetermined pilot port of a four-port or five-port valve which is a two-position switching valve, and
A working fluid from a working fluid supply source is supplied to one pressure chamber of the spiral motion cylinder via the two-position switching valve,
The spiral movement output of the spiral movement cylinder is controlled. In the spiral movement output device of the present invention, the outer slider is supported by the support rod penetrating in the sliding direction of the piston to perform stable movement, whereby the position of the piston is accurately detected, and the outer cylinder of the spiral movement cylinder is moved. The helical motion output is controlled.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる螺旋運動シ
リンダの一実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。図1乃至図3は、螺旋運動シリンダの第1実施の形
態を示した断面図であり、特に図1及び図2は、図4に
示すシリンダ端面のA―A断面であり、図3は、そのB
―B断面である。また、図1は螺旋運動シリンダの一の
動作状態を示し、図2は、他の動作状態を示した図であ
る。螺旋運動シリンダ1は、シリンダチューブ2内には
ピストン3が摺動自在に装填されている。そして、シリ
ンダチューブ2は、その一端にはロッドカバー4が、他
端にはヘッドカバー5が固着されて塞がれている。その
ため、シリンダチューブ2内に装填されたピストン3と
によって2分割された加圧室6,7が形成されている。
その加圧室6,7へは作動流体として圧縮空気が供給さ
れるが、そのための加圧ポート8,9がロッドカバー4
とヘッドカバー5にそれぞれ形成されている。ところ
で、シリンダチューブ2の両端に固着されたロッドカバ
ー4とヘッドカバー5は、ともに図4に示すように四角
形状の板材からなり、両カバー4,5にタイロッド1
0,10…が掛け渡され、その四隅の位置でそれぞれボ
ルト11,11…で固定されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment of a spiral movement cylinder according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 to 3 are cross-sectional views showing a first embodiment of a spiral motion cylinder. In particular, FIGS. 1 and 2 are cross-sectional views taken along the line AA of the cylinder end surface shown in FIG. 4, and FIG. That B
-It is a B section. FIG. 1 shows one operation state of the spiral movement cylinder, and FIG. 2 shows another operation state. The spiral movement cylinder 1 has a piston 3 slidably mounted in a cylinder tube 2. The cylinder tube 2 has a rod cover 4 fixed at one end and a head cover 5 fixed at the other end, and is closed. Therefore, the pressurizing chambers 6 and 7 divided into two by the piston 3 loaded in the cylinder tube 2 are formed.
Compressed air is supplied to the pressurizing chambers 6 and 7 as a working fluid.
And the head cover 5. The rod cover 4 and the head cover 5 fixed to both ends of the cylinder tube 2 are both made of a rectangular plate as shown in FIG.
., And are fixed at four corners thereof with bolts 11, 11.
【0014】シリンダチューブ2内に装填された円盤形
状をなすピストン3は、加圧室6側には円筒状の保持部
3aが形成され、加圧室7側には雌ねじの切られた固定
部3bが形成されている。そのピストン3の円周上には
ピストンパッキン14及びマグネットリング16が嵌装
され、そのマグネットリング16を押さえるようにして
固定部3bに補助ピストン12が嵌合されナット13に
よって固定されている。また、その補助ピストン12の
円周上には、マグネットリング16に無理な面圧が加わ
るのを避けるため無給油軸受材でつくられたウエアリン
グ15が嵌装されている。そして、このピストン3及び
補助ピストン12は、図3に示すよう軸方向に一対の廻
止めロッド17,17に貫通され、シリンダチューブ2
内での回転が防止されている。この廻止めロッド17,
17は、その端部がロッドカバー4及びヘッドカバー5
に固定されてる。The disc-shaped piston 3 loaded in the cylinder tube 2 has a cylindrical holding portion 3a formed on the pressurizing chamber 6 side, and a female threaded fixed portion formed on the pressurizing chamber 7 side. 3b is formed. A piston packing 14 and a magnet ring 16 are fitted around the circumference of the piston 3, and the auxiliary piston 12 is fitted to the fixing portion 3 b so as to press the magnet ring 16 and is fixed by a nut 13. A wear ring 15 made of an oil-free bearing material is fitted on the circumference of the auxiliary piston 12 in order to avoid applying excessive surface pressure to the magnet ring 16. The piston 3 and the auxiliary piston 12 are axially penetrated by a pair of detent rods 17, 17, as shown in FIG.
Rotation inside is prevented. This detent rod 17,
17 is a rod cover 4 and a head cover 5
It is fixed to
【0015】一方、ピストン3の保持部3aの外周に
は、ロッドカバー4を貫通したロッドパイプ21の一端
部が固着されている。このロッドパイプ21は、0.2
mmの肉厚の非磁性材から形成されたものであり、本実
施の形態ではステンレス鋼が使用されている。また、ロ
ッドカバー4から突出したロッドパイプ21先端には、
管状のパイプエンド22が取り付けられている。そし
て、このようなロッドパイプ21の中空内部には、回転
ロッド23が装填されている。回転ロッド23は、保持
部3a内周及びパイプエンド22内周に嵌装されたベア
リング24,25に支持され、ロッドパイプ21内で回
転できるよう構成されている。また、ロッドパイプ21
内に装填された回転ロッド23は、その端部がパイプエ
ンド22から突出し、例えば螺旋運動を伝達すべくアー
ムやプロペラ等を取り付けるための取付端23aが形成
されている。On the other hand, one end of a rod pipe 21 penetrating the rod cover 4 is fixed to the outer periphery of the holding portion 3a of the piston 3. This rod pipe 21 has 0.2
It is formed of a non-magnetic material having a thickness of mm, and in the present embodiment, stainless steel is used. Also, at the tip of the rod pipe 21 protruding from the rod cover 4,
A tubular pipe end 22 is attached. A rotating rod 23 is loaded in the hollow interior of such a rod pipe 21. The rotating rod 23 is supported by bearings 24 and 25 fitted on the inner periphery of the holding portion 3 a and the inner periphery of the pipe end 22, and is configured to be rotatable within the rod pipe 21. In addition, the rod pipe 21
The rotating rod 23 loaded therein has an end protruding from the pipe end 22, and has a mounting end 23a for mounting an arm, a propeller or the like to transmit, for example, a helical motion.
【0016】ところで、本実施の形態の螺旋運動シリン
ダ1では、その特徴的な構成としてピストン3の軸方向
の移動を螺旋運動へ変換すべく磁気ネジが採用され、そ
の磁気ネジを構成する雄磁気ネジ26は回転ロッド23
に形成され、一方の雌磁気ネジ27はロッドカバー4に
形成されている。次に、この雄磁気ネジ26及び雌磁気
ネジ27の構成を詳細に説明する。ここで、図5は、雄
磁気ネジ26及び雌磁気ネジ27の構成を示す分解斜視
図である。但し、本来この雄磁気ネジ26及び雌磁気ネ
ジ27との間には図1に示すようにロッドパイプ21が
配設されているが、図面上では省略する。The helical motion cylinder 1 of the present embodiment employs a magnetic screw as a characteristic configuration for converting the axial movement of the piston 3 into a helical motion. Screw 26 is rotating rod 23
And one female magnetic screw 27 is formed on the rod cover 4. Next, the configurations of the male magnetic screw 26 and the female magnetic screw 27 will be described in detail. Here, FIG. 5 is an exploded perspective view showing the configuration of the male magnetic screw 26 and the female magnetic screw 27. However, the rod pipe 21 is originally arranged between the male magnetic screw 26 and the female magnetic screw 27 as shown in FIG. 1, but is omitted in the drawing.
【0017】雄磁気ネジ26は、図5に示すように、回
転ロッド23及び回転ロッド23の外周に嵌合され接着
された雄円筒磁石28より構成されている。回転ロッド
23は、高透磁性の材料(例えば鉄、酸化鉄、ニッケ
ル、コバルト若しくはこれらを主成分とする合金その他
の化合物等)より成形されている。雄円筒磁石28は、
螺旋状に形成された複数本の着磁帯29から構成されて
いる。隣接する着磁帯29同士は、着磁の極性が逆向き
となっている。すなわち、ある着磁帯29において外面
にN極が着磁されていれば、その隣の着磁帯29におい
ては外面にS極が着磁されている。そこで雄磁気ネジ2
6の表面には、図5に示すように螺旋状にN極とS極と
が交互に着磁された着磁帯29が整然と形成されてい
る。As shown in FIG. 5, the male magnetic screw 26 is composed of a rotating rod 23 and a male cylindrical magnet 28 fitted and adhered to the outer periphery of the rotating rod 23. The rotating rod 23 is formed of a material having high magnetic permeability (for example, iron, iron oxide, nickel, cobalt, or an alloy or other compound containing these as a main component). The male cylindrical magnet 28
It is composed of a plurality of magnetized bands 29 formed in a spiral. Adjacent magnetization bands 29 have opposite magnetization polarities. That is, if the N pole is magnetized on the outer surface of a certain magnetized band 29, the S pole is magnetized on the outer surface of the adjacent magnetized band 29. Then male magnetic screw 2
As shown in FIG. 5, a magnetized band 29 in which N-poles and S-poles are alternately magnetized in a spiral shape is formed on the surface of 6 in an orderly manner.
【0018】一方、ロッドカバー4には、シリンダチュ
ーブ2の同軸上に円筒形状のガイド部4aが外側に突設
し、そのガイド部4a内周面には雄磁気ネジ26に対応
する雌磁気ネジ27が係設されている。雌磁気ネジ27
は、図5に示すように、中空円筒状の雌円筒磁石30
が、高透磁性材料(例えば鉄、酸化鉄、ニッケル、コバ
ルト若しくはこれらを主成分とする合金その他化合物
等)から成形される磁気ガイド31の内周に固着される
ことにより構成されている。そして、雌磁気ネジ27の
内周には、図5に示すように、螺旋状にN極とS極とが
交互に着磁された着磁帯32が形成されている。On the other hand, the rod cover 4 has a cylindrical guide portion 4a projecting outward on the same axis as the cylinder tube 2, and a female magnetic screw corresponding to the male magnetic screw 26 is formed on the inner peripheral surface of the guide portion 4a. 27 are provided. Female magnetic screw 27
Is a hollow cylindrical female cylindrical magnet 30 as shown in FIG.
Is fixed to the inner periphery of a magnetic guide 31 formed from a highly magnetically permeable material (for example, iron, iron oxide, nickel, cobalt, or an alloy or compound containing these as a main component). On the inner circumference of the female magnetic screw 27, as shown in FIG. 5, a magnetized band 32 in which N poles and S poles are alternately magnetized in a spiral shape is formed.
【0019】なお、このような構成を有する雄円筒磁石
28及び雌円筒磁石30は、以下の特徴を有している。
すなわち、機械的強度に優れる。中空部分に強度部材を
挿入するか、又は周囲を強度部材で覆うことができるか
らである。図5の磁気ネジでは、回転ロッド23及び磁
気ガイド31が、かかる強度部材に相当する。この強度
部材により機械的強度が確保されるので、雄円筒磁石2
8及び雌円筒磁石30として、磁石材料としては優れる
が材質的に脆いフェライト系や希土類系の材料で形成し
ても問題はない。そして、強度部材を高透磁性の材料で
構成すれば、雄円筒磁石28及び雌円筒磁石30の強い
磁力を更に有効に利用することができる。The male cylindrical magnet 28 and female cylindrical magnet 30 having such a configuration have the following features.
That is, the mechanical strength is excellent. This is because the strength member can be inserted into the hollow portion or the periphery can be covered with the strength member. In the magnetic screw of FIG. 5, the rotating rod 23 and the magnetic guide 31 correspond to such a strength member. Since the mechanical strength is secured by this strength member, the male cylindrical magnet 2
The magnet 8 and the female cylindrical magnet 30 are excellent as a magnet material, but may be formed of a ferritic or rare earth-based material which is brittle in terms of material. If the strength member is made of a material having high magnetic permeability, the strong magnetic force of the male cylindrical magnet 28 and the female cylindrical magnet 30 can be used more effectively.
【0020】次に、上記構成を有する螺旋運動シリンダ
1の動作について説明する。図1は、加圧ポート8から
加圧室6に作動流体である圧縮空気が供給され、ピスト
ン3及び補助ピストン12(以下、まとめてピストン
3,12と記す)が図面右側(E方向)に加圧された状
態が示されている。このようにE方向に加圧されたと
き、シリンダチューブ2から突出したロッドパイプ21
が後退する状態にある。そこで、ピストン3,12がE
方向へ所定位置まで摺動すると、螺旋運動シリンダ1
は、図示しない切換弁によってエアポンプからの圧縮空
気の供給が加圧ポート8から反対の加圧ポート9へ切り
換えられる。このような切り換えには、例えば、ピスト
ン3に嵌装されたマグネットリング16の位置を磁気セ
ンサで検出し、電磁式の2位置切換弁を駆動を制御する
ことによって実現することが可能である。Next, the operation of the spiral motion cylinder 1 having the above configuration will be described. In FIG. 1, compressed air as a working fluid is supplied from a pressurizing port 8 to a pressurizing chamber 6, and a piston 3 and an auxiliary piston 12 (hereinafter, collectively referred to as pistons 3 and 12) move rightward in the drawing (direction E). The pressurized state is shown. When pressurized in the direction E in this way, the rod pipe 21 protruding from the cylinder tube 2
Is in a state of retreat. Then, pistons 3 and 12
When it slides to the predetermined position in the direction, the spiral motion cylinder 1
The supply of compressed air from the air pump is switched from the pressurizing port 8 to the opposite pressurizing port 9 by a switching valve (not shown). Such switching can be realized, for example, by detecting the position of the magnet ring 16 fitted on the piston 3 with a magnetic sensor and controlling the drive of an electromagnetic two-position switching valve.
【0021】作動流体の圧縮空気が加圧ポート9から加
圧室7へ供給されてピストン3,12が加圧されると、
そのピストン3,12は、F方向(図2)に加圧されシ
リンダチューブ2内を摺動することとなる。このとき、
シリンダチューブ2内を摺動するピストン3,12は、
廻止めロッド17,17によって貫通されているため回
転することはない。ピストン3,12がシリンダチュー
ブ2内をF方向に摺動すると、それに一体のロッドパイ
プ21もF方向に移動し、あわせて、そのロッドパイプ
21内に装填された回転ロッド23も同じようにF方向
へ移動する。そこで、回転ロッド23に形成された雄磁
気ネジ26が軸方向に移動し、その一部がガイド部4a
に設けられた雌磁気ネジ27を横切ることで、両者に働
く磁力によって回転が与えられ、回転ロッド23から
は、直進運動と回転運動との組み合わせによる螺旋運動
が発生することとなる。When the compressed air of the working fluid is supplied from the pressurizing port 9 to the pressurizing chamber 7 and the pistons 3 and 12 are pressurized,
The pistons 3 and 12 are pressurized in the F direction (FIG. 2) and slide in the cylinder tube 2. At this time,
The pistons 3 and 12 that slide in the cylinder tube 2 are:
Since it is penetrated by the detent rods 17, 17, it does not rotate. When the pistons 3 and 12 slide in the F direction in the cylinder tube 2, the rod pipe 21 integrated therewith also moves in the F direction, and the rotating rod 23 loaded in the rod pipe 21 also moves in the F direction. Move in the direction. Then, the male magnetic screw 26 formed on the rotating rod 23 moves in the axial direction, and a part thereof is
Is rotated by the magnetic force acting on both of them, and a helical motion is generated from the rotary rod 23 by a combination of the linear motion and the rotary motion.
【0022】回転ロッド23の回転は、雄磁気ネジ26
と雌磁気ネジ27の着磁帯29,32との間で磁力が生
じ、固定された雌円筒磁石30に対して回転自在な雄円
筒磁石28がならうように作用するためである。つま
り、雄磁気ネジ26及び雌磁気ネジ27は、ともにN極
とS極との螺旋状の着磁帯29,32が交互に着磁され
て逆極性の着磁帯同士が吸引し合っているため、雄磁気
ネジ26に軸方向への移動が与えられると、両着磁帯2
9,32の各磁極に生じるズレを修正しようと両者に働
く磁力によって雄磁気ネジ26に回転が与えられる。そ
こで、ベアリング24,25に回転自在に支持された回
転ロッド23は、その雄磁気ネジ26の回転によってG
方向(図2)に回転運動が与えられる。なお、このとき
雄磁気ネジ26と雌磁気ネジ27との間のロッドパイプ
21は、薄肉の非磁性材から構成されており回転を発生
させる磁力には影響しない。The rotation of the rotating rod 23 is controlled by the male magnetic screw 26.
This is because a magnetic force is generated between the magnetic tape and the magnetized bands 29 and 32 of the female magnetic screw 27, and the rotatable male cylindrical magnet 28 acts on the fixed female cylindrical magnet 30. That is, in the male magnetic screw 26 and the female magnetic screw 27, the spiral magnetized bands 29 and 32 of the N pole and the S pole are alternately magnetized, and the magnetized bands of opposite polarities are attracted to each other. Therefore, when the male magnetic screw 26 is moved in the axial direction, the two magnetized bands 2
The male magnetic screw 26 is rotated by the magnetic force acting on both of the magnetic poles 9 and 32 in order to correct the displacement. Therefore, the rotating rod 23 rotatably supported by the bearings 24 and 25 is rotated by the male magnetic screw 26 to rotate the G rod.
A rotational movement is provided in the direction (FIG. 2). At this time, the rod pipe 21 between the male magnetic screw 26 and the female magnetic screw 27 is made of a thin nonmagnetic material and does not affect the magnetic force that causes rotation.
【0023】その後、ピストン3,12がF方向へ所定
位置まで摺動したところで、その位置が検出され図示し
ない切換弁が駆動し、エアポンプからの圧縮空気の供給
が再び加圧ポート9から反対の加圧ポート8へ切り換え
られる。従って、作動流体である圧縮空気が加圧ポート
8から加圧室6へ供給されてピストン3,12が加圧さ
れる一方、加圧室7内の圧縮空気は放出されるため、ピ
ストン3,12はシリンダチューブ2内をE方向に摺動
することとなる。このときも、前述したと同様回転ロッ
ド23には、E方向の直進運動と磁気ネジ26,27の
H方向の回転運動によって先の場合とは逆方向の螺旋運
動が発生することとなる。そのため、本実施の形態の螺
旋運動シリンダ1は、加圧ポート8,9内へ供給される
圧縮空気によってピストン3,12が摺動することで、
回転ロッド23に往復の螺旋運動が与えられることとな
る。これによって、回転ロッド23先端の取付端23a
に装着された不図示のアームやプロペラ等を介して螺旋
運動が出力され、前述した従来例のようにロボットハン
ドとしての使用や、攪拌装置として使用することが可能
となった。Thereafter, when the pistons 3 and 12 slide in the direction F to a predetermined position, the position is detected and a switching valve (not shown) is driven, and the supply of compressed air from the air pump is again returned from the pressurizing port 9 to the opposite side. The pressure is switched to the pressure port 8. Accordingly, the compressed air as the working fluid is supplied from the pressurizing port 8 to the pressurizing chamber 6 to pressurize the pistons 3 and 12, while the compressed air in the pressurizing chamber 7 is released. Reference numeral 12 slides in the cylinder tube 2 in the direction E. Also at this time, as described above, the helical motion in the direction opposite to the previous case is generated in the rotary rod 23 by the linear motion in the E direction and the rotary motion in the H direction of the magnetic screws 26 and 27. Therefore, in the spiral motion cylinder 1 of the present embodiment, the pistons 3 and 12 slide by the compressed air supplied into the pressurizing ports 8 and 9,
The reciprocating spiral movement is given to the rotating rod 23. Thereby, the mounting end 23a at the tip of the rotating rod 23
The helical motion is output via an arm, a propeller, or the like (not shown) mounted on the device, so that it can be used as a robot hand or as a stirring device as in the above-described conventional example.
【0024】よって、このような構成をなす本実施の形
態の螺旋運動シリンダ1によれば、ピストン3,12が
シリンダチューブ2内を摺動することにより、回転ロッ
ド23に螺旋運動が与えられるが、回転力を伝達する手
段が雄磁気ネジ26及び雌磁気ネジ27で構成され非接
触であるため、長期間使用した場合でも、摩耗粉等が発
生せず、直進運動と回転運動との螺旋運動を常にスムー
ズに出力することが可能となった。また、螺旋運動を発
生させる回転ロッド23をロッドパイプ21内に装填し
画設した構成としたため、液槽内に浸漬させた場合でも
回転ロッド23が安定した回転を行うことができ、液体
の攪拌装置として使用価値が高まった。Therefore, according to the spiral motion cylinder 1 of the present embodiment having such a configuration, the piston 3, 3 slides in the cylinder tube 2, whereby the rotary rod 23 is given a spiral motion. Since the means for transmitting the rotational force is constituted by the male magnetic screw 26 and the female magnetic screw 27 and is non-contact, even when used for a long period of time, no abrasion powder or the like is generated, and the helical motion between the linear motion and the rotary motion is not generated. Can always be output smoothly. Further, since the rotating rod 23 for generating the spiral movement is loaded and provided in the rod pipe 21, the rotating rod 23 can perform a stable rotation even when immersed in the liquid tank, and the liquid is stirred. Use value has increased as a device.
【0025】特に、本実施の形態の螺旋運動シリンダ1
は、螺旋運動を出力するものであって、回転ロッド23
先端に装着したプロペラが液槽内の上面から下面まで移
動するため、液体の攪拌が非常に効率良く行うことが可
能である。また、螺旋運動シリンダ1は、シリンダチュ
ーブ2内に供給される圧縮空気のみで螺旋運動が出力さ
れるため、爆発する危険のおそれがある揮発性の液体に
も安全に使用することが可能である。更に、本実施の形
態の螺旋運動シリンダ1は、出力される螺旋運動に対し
て過負荷が加わったとしても、機械的に螺旋運動を出力
するもののようにこじれて摩耗粉を大量に発生すること
なく、また電気モータのように加熱発火などの心配もな
い。In particular, the spiral motion cylinder 1 of the present embodiment
Outputs a helical motion, and the rotation rod 23
Since the propeller mounted on the tip moves from the upper surface to the lower surface in the liquid tank, the liquid can be stirred very efficiently. Further, since the spiral motion cylinder 1 outputs a spiral motion only by the compressed air supplied into the cylinder tube 2, it can be used safely even for volatile liquids that may explode. . Furthermore, the spiral motion cylinder 1 of the present embodiment can generate a large amount of abrasion powder by being twisted like a mechanical spiral output even if an overload is applied to the output spiral motion. There is no need to worry about heating and ignition as in electric motors.
【0026】次に、螺旋運動シリンダの第2実施の形態
とその螺旋運動シリンダを有す螺旋運動出力装置につい
て説明する。図6及び図7は、第2実施の形態の螺旋運
動シリンダ及び切換スイッチを示した断面図であり、図
6は螺旋運動シリンダの一の動作状態を示し、図7は、
他の動作状態を示した図である。本実施の形態の螺旋運
動シリンダ41も前記第1実施の形態のものとほぼ同様
な構成をなすものである。両端のロッドカバー42及び
ヘッドカバー43に密閉されたシリンダチューブ44内
には、ピストン45が摺動自在に装填されている。その
ピストン45によって2分割されたシリンダチューブ4
4内には加圧室46,47が形成され、作動流体である
圧縮空気を供給するための点線で示した加圧ポート4
8,49がロッドカバー42とヘッドカバー43の図6
上面(図7には不図示)にそれぞれ形成されている。Next, a second embodiment of the spiral motion cylinder and a spiral motion output device having the spiral motion cylinder will be described. 6 and 7 are cross-sectional views illustrating a spiral movement cylinder and a changeover switch according to the second embodiment. FIG. 6 illustrates one operation state of the spiral movement cylinder, and FIG.
FIG. 11 is a diagram showing another operation state. The helical motion cylinder 41 of the present embodiment has substantially the same configuration as that of the first embodiment. A piston 45 is slidably mounted in a cylinder tube 44 sealed by the rod cover 42 and the head cover 43 at both ends. Cylinder tube 4 divided into two by its piston 45
Pressurizing chambers 46 and 47 are formed in the pressurizing port 4, and pressurizing ports 4 indicated by dotted lines for supplying compressed air as a working fluid.
8 and 49 show the rod cover 42 and the head cover 43 in FIG.
It is formed on the upper surface (not shown in FIG. 7).
【0027】ここで、図6のC―C断面を図8に示す。
この図に示されるようロッドカバー42とヘッドカバー
43はともに四角形状の板材からなり、その四隅の位置
でタイロッド50,50…が掛け渡されてボルトで固定
されている。シリンダチューブ44内に装填されたピス
トン45は円柱形状をなしたものであり、加圧室46側
端面には円筒状の保持部45aが形成されている。ま
た、ピストン45は、加圧室47側にかけて縮径した段
差が形成され、大径部にはピストンパッキン51及びウ
エアリング52が嵌装され、中径部には強力なマグネッ
ト53が嵌装され小径部に切られた雄ねじに螺合したナ
ット54によって固定されている。Here, FIG. 8 shows a cross section taken along the line CC of FIG.
As shown in this figure, both the rod cover 42 and the head cover 43 are made of a rectangular plate material, and tie rods 50, 50... The piston 45 loaded in the cylinder tube 44 has a cylindrical shape, and a cylindrical holding portion 45a is formed on the end surface on the pressurizing chamber 46 side. Further, the piston 45 has a step with a reduced diameter toward the pressurizing chamber 47 side, a piston packing 51 and a wear ring 52 are fitted in a large diameter part, and a strong magnet 53 is fitted in a middle diameter part. It is fixed by a nut 54 screwed into a male screw cut into a small diameter portion.
【0028】一方、ピストン45端面に形成されたの保
持部45aの外周には、ロッドカバー42を貫通したロ
ッドパイプ55の一端部が固着されている。このロッド
パイプ55は、0.2mmの肉厚の非磁性材から形成さ
れたものであり、ステンレス鋼が使用されている。ロッ
ドカバー42から突出したロッドパイプ55先端には、
パイプエンド56が取り付けられている。そして、ロッ
ドパイプ55の中空内部には、両端部がベアリング5
7,58に支持された回転ロッド59が回転自在に装填
されている。また、回転ロッド59は、パイプエンド5
6から突出した一端部に取付端59aが形成されてい
る。ところで、本実施の形態の螺旋運動シリンダ41に
も、磁気ネジを構成する雄磁気ネジ60が回転ロッド5
9外周に形成される一方、雌磁気ネジ61がロッドカバ
ー42のガイド部42a内周に形成されている。但し、
本実施の形態の雄磁気ネジ60及び雌磁気ネジ61は、
第1実施の形態で示したものと同様な構成をなすため
(図5参照)、その詳細な説明は省略する。On the other hand, one end of a rod pipe 55 penetrating the rod cover 42 is fixed to the outer periphery of the holding portion 45a formed on the end face of the piston 45. The rod pipe 55 is made of a non-magnetic material having a thickness of 0.2 mm, and is made of stainless steel. At the tip of the rod pipe 55 protruding from the rod cover 42,
A pipe end 56 is attached. In the hollow interior of the rod pipe 55, both ends are bearings 5.
A rotating rod 59 supported by 7, 58 is rotatably mounted. The rotating rod 59 is connected to the pipe end 5.
A mounting end 59a is formed at one end protruding from 6. Incidentally, the male magnetic screw 60 constituting the magnetic screw is also provided in the spiral movement cylinder 41 of the present embodiment.
The female magnetic screw 61 is formed on the inner circumference of the guide portion 42 a of the rod cover 42 while being formed on the outer circumference of the rod cover 9. However,
The male magnetic screw 60 and the female magnetic screw 61 of the present embodiment
Since the configuration is similar to that shown in the first embodiment (see FIG. 5), a detailed description thereof is omitted.
【0029】続いて、以上の構成をなす螺旋運動シリン
ダ41から螺旋運動を出力する螺旋運動出力装置につい
て説明する。先ず、この螺旋運動シリンダ41は螺旋運
動が往復して出力されるものであり、ピストン45の摺
動位置によって往復運動の切り換えを行う次のような切
換スイッチが構成されている。シリンダチューブ44外
周には、図9で示すようなアウタスライダ71が設けら
れている。アウタスライダ71は、その下面がシリンダ
チューブ44の外周面にそって湾曲した形状をなし(図
8参照)、上面には軸線方向前後に傾斜面をもった突起
部71aが形成されている。また、このアウタスライダ
71下面には、図6に示すようにピストン45に固設し
たと同様の強力なマグネット72が装着されている。ア
ウタスライダ71は、その両端に軸線方向に沿って形成
された貫通孔に軸受が装填され、そこをタイロッド5
0,50が貫通するようにして設けられている。Next, a description will be given of a helical motion output device for outputting helical motion from the helical motion cylinder 41 having the above configuration. First, the helical motion cylinder 41 outputs the helical motion in a reciprocating manner, and comprises the following changeover switch for switching the reciprocating motion in accordance with the sliding position of the piston 45. An outer slider 71 as shown in FIG. 9 is provided on the outer circumference of the cylinder tube 44. The lower surface of the outer slider 71 is curved along the outer peripheral surface of the cylinder tube 44 (see FIG. 8), and the upper surface is formed with a protrusion 71a having an inclined surface in the axial direction. On the lower surface of the outer slider 71, a strong magnet 72 similar to that fixed to the piston 45 is mounted as shown in FIG. The outer slider 71 has bearings mounted in through holes formed at both ends thereof along the axial direction, and the outer slider 71 is provided with a tie rod 5.
0 and 50 are provided so as to penetrate.
【0030】また、螺旋運動シリンダ41のロッドカバ
ー42及びヘッドカバー43には支持板75,76が立
設されている。そして、この支持板75,76には支持
梁77が橋設され、そこへ先のアウタスライダ71に関
係する3ポート弁81,82が支持されている。ここ
で、図10は、3ポート弁81を示した外観斜視図であ
る。この3ポート弁81,82は、先端のアウタスライ
ダ71の突起部71aに接触するローラ83,84を有
するレバー85,86が軸着され、そのレバー85,8
6の上方への揺動によって押圧されるピン87,88が
下方に突設されている。本実施の形態の3ポート弁8
1,82は、メカニカル駆動によって弁の開閉が切り換
えられるものであって、ピン87,88が不図示の弁に
連動するよう構成され、そのピン87,88の昇降によ
って各ポートが切り換えられるものである。なお、3ポ
ート弁81,82の構造については、一般的なメカニカ
ルバルブであるためその詳細な説明は省略し、図11に
記号でのみ示す。そして、この3ポート弁81,82
は、ピストン45の方向切り換え位置に配設されてい
る。Further, support plates 75 and 76 are provided upright on the rod cover 42 and the head cover 43 of the spiral movement cylinder 41. A support beam 77 is bridged between the support plates 75 and 76, and three-port valves 81 and 82 related to the outer slider 71 are supported there. Here, FIG. 10 is an external perspective view showing the three-port valve 81. The three-port valves 81 and 82 are pivotally mounted with levers 85 and 86 having rollers 83 and 84 that come into contact with the protrusion 71a of the outer slider 71 at the tip.
Pins 87 and 88 which are pressed by the upward swing of the projection 6 project downward. Three-port valve 8 of the present embodiment
Numerals 1 and 82 are for switching the opening and closing of the valve by mechanical drive, and are configured so that pins 87 and 88 are linked to a valve (not shown), and each port is switched by raising and lowering the pins 87 and 88. is there. Since the structure of the three-port valves 81 and 82 is a general mechanical valve, a detailed description thereof is omitted, and only the symbols are shown in FIG. Then, the three-port valves 81, 82
Is disposed at a direction switching position of the piston 45.
【0031】次に、本実施の形態の螺旋運動出力装置9
1の全体的な構成について説明する。ここで、図11
は、螺旋運動出力装置91を示した空気圧回路図であ
る。本実施の形態の螺旋運動出力装置91は、図示する
ように螺旋運動シリンダ41と、螺旋運動シリンダ41
の加圧室46,47への圧縮空気の供給を行うための5
ポートの2位置切換弁92と、そして螺旋運動シリンダ
41の駆動位置を検出して2位置切換弁92の切り換え
を操作するための切換スイッチを構成する前述したアウ
タスライダ71及び3ポート弁81,82とから形成さ
れたものである。なお、2位置切換弁92は、パイロッ
ト操作ポートが設けられた一般的な複動パイロット形切
換弁なので、その詳細な説明は省略し記号でのみ示す。Next, the spiral motion output device 9 of the present embodiment
1 will be described. Here, FIG.
FIG. 2 is a pneumatic circuit diagram showing a spiral motion output device 91. The spiral motion output device 91 of the present embodiment includes a spiral motion cylinder 41 and a spiral motion cylinder 41 as shown in the drawing.
5 for supplying compressed air to the pressurizing chambers 46 and 47
The above-mentioned outer slider 71 and the three-port valves 81 and 82 which constitute a changeover switch for detecting the drive position of the helical motion cylinder 41 and operating the changeover of the two-position changeover valve 92 by detecting the drive position of the spiral movement cylinder 41. It is formed from Since the two-position switching valve 92 is a general double-acting pilot type switching valve provided with a pilot operation port, its detailed description is omitted and only the symbols are shown.
【0032】このような空気圧回路では、2位置切換弁
92は、その圧力ポートP1が作動流体供給源のエアポ
ンプ93が接続され、入出力ポートA1,B1がそれぞ
れ螺旋運動シリンダ41の加圧ポート49,48に接続
されている。一方、3ポート弁81,82は、入力ポー
トP2,P3がエアポンプ93に接続され、入出力ポー
トA2,A3が2位置切換弁92のパイロットポートp
1,p2に接続されている。そして、2位置切換弁92
及び3ポート弁81,82の各排気口R11,R12,
R21,R31はオープンな状態である。In such a pneumatic circuit, the two-position switching valve 92 has a pressure port P1 connected to an air pump 93 serving as a working fluid supply source, and input / output ports A1 and B1 connected to the pressurizing port 49 of the helical cylinder 41, respectively. , 48. On the other hand, in the three-port valves 81 and 82, the input ports P2 and P3 are connected to the air pump 93, and the input / output ports A2 and A3 are connected to the pilot port p of the two-position switching valve 92.
1, p2. And the two-position switching valve 92
And the exhaust ports R11, R12 of the three-port valves 81, 82,
R21 and R31 are open.
【0033】そこで、このような構成からなる本実施の
形態の螺旋運動出力装置91の動作について以下に説明
する。先ず、図7から図6に示すような状態に至る図面
右側(I方向)への移動の場合、アウタスライダ71が
ローラ83,84に接触していない状態では、3ポート
弁81,82は、それぞれ入力ポートP2,P3が遮断
され、入出力ポートA2,A3は排気口R21,R31
に連通した状態にある。従って、エアポンプ93からの
圧縮空気は2位置切換弁92の弁体を駆動させることが
ないため、そのときの2位置切換弁92の状態、即ち、
エアポンプ93に接続された圧力ポートP1が入出力ポ
ートB1に連通する一方、入出力ポートA1は排気口R
11に連通した状態が維持される。よって、螺旋運動シ
リンダ41においては、加圧ポート48から加圧室46
内に供給される圧縮空気によって加圧されたピストン4
5がI方向に摺動し、加圧室47内の圧縮空気は加圧ポ
ート49から2位置切換弁92へ流れ、その排気ポート
R11から放出されることとなる。The operation of the spiral motion output device 91 according to the present embodiment having such a configuration will be described below. First, when the outer slider 71 is not in contact with the rollers 83 and 84 in the case of the movement to the right side of the drawing (the direction I) from the state shown in FIG. 7 to FIG. The input ports P2 and P3 are shut off, respectively, and the input / output ports A2 and A3 are exhaust ports R21 and R31.
In communication with Therefore, since the compressed air from the air pump 93 does not drive the valve element of the two-position switching valve 92, the state of the two-position switching valve 92 at that time, that is,
The pressure port P1 connected to the air pump 93 communicates with the input / output port B1, while the input / output port A1 is connected to the exhaust port R1.
The state communicating with No. 11 is maintained. Therefore, in the spiral motion cylinder 41, the pressurizing port 46
Piston 4 pressurized by compressed air supplied to the inside
5 slides in the I direction, and the compressed air in the pressurizing chamber 47 flows from the pressurizing port 49 to the two-position switching valve 92 and is discharged from the exhaust port R11.
【0034】このようにピストン45がI方向へ摺動す
るとき、シリンダチューブ44外ではアウタスライダ7
1がマグネット53,72の吸着力により、ピストン4
5の摺動に追従することとなる。そして、図6に示すよ
うに3ポート弁82のローラ84が、アウタスライダ7
1の突起部71aの傾斜にならって転動することでレバ
ー86が揺動し、ピン88が押し上げられることとな
る。そのとき、3ポート弁82は、ピン88の押し上げ
によって弁の切り換えが行われ、入力ポートP3と入出
力ポートA3が連通して排気口R31が閉じられること
となる。従って、3ポート弁82へ流れるエアポンプ9
3の圧縮空気は、2位置切換弁92のパイロットポート
p2へと供給されて、その2位置切換弁92の弁の切り
換えが行われる。即ち、2位置切換弁92では、エアポ
ンプ93に接続された圧力ポートP1が入出力ポートB
1から入出力ポートA1への連通に切り換えられ、その
入出力ポートB1は排気口R12へ連通された状態にな
る。As described above, when the piston 45 slides in the direction I, the outer slider 7 is located outside the cylinder tube 44.
1 is the piston 4 due to the attractive force of the magnets 53 and 72.
5 will follow. Then, as shown in FIG. 6, the roller 84 of the three-port valve 82
Rolling following the inclination of the first projection 71a causes the lever 86 to swing, and the pin 88 to be pushed up. At this time, the valve of the three-port valve 82 is switched by pushing up the pin 88, and the input port P3 communicates with the input / output port A3 to close the exhaust port R31. Therefore, the air pump 9 flowing to the three-port valve 82
The compressed air of No. 3 is supplied to the pilot port p2 of the two-position switching valve 92, and the switching of the two-position switching valve 92 is performed. That is, in the two-position switching valve 92, the pressure port P1 connected to the air pump 93 is connected to the input / output port B.
1 is switched to communication with the input / output port A1, and the input / output port B1 is in a state of being connected to the exhaust port R12.
【0035】一方、3ポート弁81は、依然として入力
ポートP2が遮断され、入出力ポートA2が排気口R2
1に連通した状態にある。よって、螺旋運動シリンダ4
1においては、エアポンプ93からの圧縮空気が2位置
切換弁92を介して加圧ポート49から加圧室46内に
供給される。また、このとき加圧室46は、加圧ポート
48が2位置切換弁92の排気口R12から大気へ開放
されている。そのため、圧縮空気によって加圧されたピ
ストン45がJ方向(図7)に反転して摺動し、加圧室
47内の圧縮空気は、加圧ポート48から2位置切換弁
92へ流れ、その排気ポートR12から放出されること
となる。そして、ピストン45のJ方向の摺動に伴って
アウタスライダ71が移動し、それまで持ち上げられて
いたレバー86が揺動してピン88が降ろされると、3
ポート弁82は、再び弁が切り換えられて入力ポートP
3が遮断され入出力ポートA3は排気口R31に連通し
た状態になる。但し、2位置切換弁92の主弁は、ピス
トンパッキンの摩擦によってその位置に保持されること
となるため、圧縮空気は加圧室47内へ供給され続け、
ピストン45はJ方向に摺動し続けることとなる。On the other hand, in the three-port valve 81, the input port P2 is still shut off, and the input / output port A2 is connected to the exhaust port R2.
It is in a state of communicating with 1. Therefore, the spiral motion cylinder 4
In 1, the compressed air from the air pump 93 is supplied from the pressurizing port 49 into the pressurizing chamber 46 via the two-position switching valve 92. At this time, the pressurizing port 48 of the pressurizing chamber 46 is open to the atmosphere from the exhaust port R12 of the two-position switching valve 92. Therefore, the piston 45 pressurized by the compressed air slides in the J direction (FIG. 7) in reverse, and the compressed air in the pressurizing chamber 47 flows from the pressurizing port 48 to the two-position switching valve 92, It will be discharged from the exhaust port R12. When the outer slider 71 moves in accordance with the sliding of the piston 45 in the J direction, the lever 86 that has been lifted up to that point swings and the pin 88 is lowered,
When the valve is switched again, the input port P
3, the input / output port A3 is in communication with the exhaust port R31. However, the main valve of the two-position switching valve 92 is held at that position by the friction of the piston packing, so that the compressed air is continuously supplied into the pressurizing chamber 47,
The piston 45 continues to slide in the J direction.
【0036】そして、ピストン45がJ方向に所定距離
摺動し、それによって図7に示すように3ポート弁81
のローラ83がアウタスライダ71の突起部71aの傾
斜にならって転動すれば、レバー85が揺動してピン8
7が押し上げられることとなる。そのとき、3ポート弁
81は、ピン87の押し上げによって弁の切り換えが行
われ、入力ポートP2と入出力ポートA2が連通して排
気口R21が閉じられることとなる。従って、3ポート
弁81へ流れるエアポンプ93の圧縮空気は、2位置切
換弁92のパイロットポートp1へと供給されて、その
2位置切換弁92の弁の切り換えが行われる。即ち、2
位置切換弁92では、エアポンプ93に接続された圧力
ポートP1が入出力ポートA1から入出力ポートB1へ
の連通に切り換えられ、その入出力ポートA1は排気口
R11へ連通され状態になる。また、3ポート弁82
は、依然として入力ポートP3が遮断され、入出力ポー
トA3が排気口R31に連通した状態にある。そのた
め、前述したように、螺旋運動シリンダ41において
は、加圧室46内に圧縮空気が供給されピストン45が
I方向に再び反転して摺動し、加圧室47内の圧縮空気
が放出されることとなる。Then, the piston 45 slides in the J direction by a predetermined distance, and as a result, as shown in FIG.
When the roller 83 rolls according to the inclination of the protrusion 71a of the outer slider 71, the lever 85 swings and the pin 8
7 will be pushed up. At this time, the three-port valve 81 is switched by pushing up the pin 87, and the input port P2 and the input / output port A2 communicate with each other, so that the exhaust port R21 is closed. Therefore, the compressed air of the air pump 93 flowing to the three-port valve 81 is supplied to the pilot port p1 of the two-position switching valve 92, and the switching of the two-position switching valve 92 is performed. That is, 2
In the position switching valve 92, the pressure port P1 connected to the air pump 93 is switched to the communication from the input / output port A1 to the input / output port B1, and the input / output port A1 is connected to the exhaust port R11. Also, the 3-port valve 82
Is still in a state where the input port P3 is shut off and the input / output port A3 communicates with the exhaust port R31. Therefore, as described above, in the spiral motion cylinder 41, the compressed air is supplied into the pressurizing chamber 46, the piston 45 reverses and slides again in the I direction, and the compressed air in the pressurizing chamber 47 is discharged. The Rukoto.
【0037】このように、本実施の形態の螺旋運動出力
装置91では、切換スイッチとして構成された3ポート
弁81,82及びアウタスライダ71によって、エアポ
ンプ93から供給される圧縮空気を螺旋運動シリンダ4
1の各加圧室46,47へ切り換える2位置切換弁92
を操作するようにしたことで、ピストン45の往復運動
が自動制御されるようになったものである。ところで、
螺旋運動シリンダ41は、ピストン45がシリンダチュ
ーブ44内を摺動すると同時に、一体に形成されたロッ
ドパイプ55が軸方向に移動する。そのため、そのロッ
ドパイプ55内に回転自在に装填された回転ロッド59
は、雄磁気ネジ60及び雌磁気ネジ61の磁力によって
回転があたえられる。なお、磁気ネジの作用については
前記第1実施の形態で示したと同様であるためここでは
省略する。As described above, in the helical motion output device 91 of the present embodiment, the compressed air supplied from the air pump 93 is supplied to the helical motion cylinder 4 by the three-port valves 81 and 82 and the outer slider 71 configured as changeover switches.
2-position switching valve 92 for switching to each of the pressurizing chambers 46 and 47
, The reciprocating motion of the piston 45 is automatically controlled. by the way,
In the spiral motion cylinder 41, the rod 45 integrally formed moves in the axial direction at the same time as the piston 45 slides in the cylinder tube 44. Therefore, the rotating rod 59 rotatably loaded in the rod pipe 55
Is rotated by the magnetic force of the male magnetic screw 60 and the female magnetic screw 61. The operation of the magnetic screw is the same as that described in the first embodiment, and will not be described here.
【0038】よって、このような構成をなす本実施の形
態の螺旋運動出力装置91によれば、第1実施の形態で
記載した長期間使用した場合でも摩耗粉等が発生せずに
螺旋運動が常にスムーズに出力されること、液槽内に浸
漬させて効率良い液体の攪拌が可能となること、また、
爆発する危険のおそれがある揮発性の液体にも安全に使
用することが可能であること等の効果を発揮する螺旋運
動シリンダ41を駆動させる連続した螺旋運動出力の制
御が可能となった。特に、螺旋運動シリンダ41へ直接
圧縮空気を供給する2位置切換弁92にパイロット形5
ポート弁を使用し、その切り換えを行う切換スイッチを
アウタスライダ71及び3ポート弁81,82から構成
し、弁の切り換えを圧縮空気によって操作するようにし
たので、爆発する危険のおそれがある揮発性の液体にも
安全に使用することが可能となった。Therefore, according to the spiral motion output device 91 of the present embodiment having such a configuration, even when the device is used for a long period of time described in the first embodiment, the spiral motion is generated without generating abrasion powder and the like. That the output is always smooth, that the liquid is immersed in the liquid tank, and that efficient stirring of the liquid is possible.
It has become possible to control the continuous spiral motion output for driving the spiral motion cylinder 41 that exhibits an effect such as being able to safely use even volatile liquids that may explode. In particular, the pilot type 5 is provided for the two-position switching valve 92 for directly supplying compressed air to the spiral movement cylinder 41.
Since the port switch is used and the changeover switch for switching the valve is constituted by the outer slider 71 and the three-port valves 81 and 82, and the switching of the valve is operated by the compressed air, there is a risk of explosion. It can be used safely for liquids.
【0039】以上、本発明にかかる螺旋運動シリンダ及
び螺旋運動出力装置について説明したが、本発明は、こ
のようなものに限定されることなくその趣旨を逸脱しな
い範囲で様々な変更が可能である。例えば、前記実施の
形態では、2位置切換弁にパイロット形の5ポート弁を
例に挙げて説明したが、その他の電磁弁を備えた電磁式
であってもよく、4ポート弁であってもよい。また、実
施に形態ではアウタスライダ71及び3ポート弁81,
82から構成した切換スイッチを示したが、第1実施の
形態で示したピストンに装着したマグネットを磁気セン
サで検出して、3ポート弁81,82の代わりに設けた
3ポート電磁弁を操作する他、直接5ポート2位置電磁
弁を操作する制御回路を構成したものであってもよい。
また、アウタスライダは、シリンダチューブ全周上に設
けた円筒形状であってもよい。The helical motion cylinder and the helical motion output device according to the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to such a device, and various changes can be made without departing from the spirit of the present invention. . For example, in the above-described embodiment, a pilot type 5-port valve has been described as an example of the 2-position switching valve, but an electromagnetic type having another electromagnetic valve or a 4-port valve may be used. Good. In the embodiment, the outer slider 71 and the three-port valve 81,
Although the changeover switch composed of 82 is shown, the magnet mounted on the piston shown in the first embodiment is detected by the magnetic sensor, and the 3-port solenoid valve provided instead of the 3-port valves 81 and 82 is operated. Alternatively, a control circuit that directly operates the 5-port 2-position solenoid valve may be used.
The outer slider may have a cylindrical shape provided on the entire circumference of the cylinder tube.
【0040】[0040]
【発明の効果】本発明は、シリンダチューブ内にピスト
ンが摺動自在に装填されたピストンシリンダと、そのシ
リンダチューブの一端から突出するようにしてピストン
に固着された中空円筒形状のロッドパイプと、そのロッ
ドパイプ内に回転自在に装填された回転ロッドと、その
回転ロッドの外周に形成された螺旋状の着磁帯からなる
雄磁気ネジと、ロッドパイプが貫通したシリンダチュー
ブの端部貫通孔内周面に形成された螺旋状の着磁帯から
なる雌磁気ネジとを有するので、ピストンがシリンダチ
ューブ内を摺動することによって回転ロッドを介してス
ムーズな螺旋運動の出力を可能とし、また使用用途の拡
大が図られた螺旋運動シリンダを提供することが可能と
なった。According to the present invention, there is provided a piston cylinder in which a piston is slidably loaded in a cylinder tube, a hollow cylindrical rod pipe fixed to the piston so as to project from one end of the cylinder tube, and A rotatable rod rotatably loaded in the rod pipe, a male magnetic screw formed of a spiral magnetized band formed on the outer periphery of the rotatable rod, and an end through hole of a cylinder tube through which the rod pipe penetrates. Since it has a female magnetic screw consisting of a spiral magnetized band formed on the peripheral surface, the piston slides inside the cylinder tube, enabling smooth spiral movement output via the rotating rod, and It has become possible to provide a spiral motion cylinder whose use is expanded.
【0041】一方、本発明は、シリンダチューブ内のピ
ストンによって摺動方向に2分割された各圧力室に接続
され、作動流体供給源からの作動流体の供給を前記一つ
の圧力室へ切り換える2位置切換弁と、ピストンの摺動
位置を検出して2位置切換弁の弁の切り換えを制御する
切換スイッチとを有することで、スムーズな螺旋運動の
出力を可能とし、また使用用途の拡大が図られた螺旋運
動シリンダの連続した螺旋運動出力の制御が可能な螺旋
運動出力装置の提供が可能となった。On the other hand, according to the present invention, two positions are connected to each pressure chamber divided into two in the sliding direction by a piston in a cylinder tube, and switch the supply of the working fluid from the working fluid supply source to the one pressure chamber. By having a changeover valve and a changeover switch that detects the sliding position of the piston and controls switching of the two-position changeover valve, it is possible to output a smooth helical motion and expand the use of the device. It has become possible to provide a spiral motion output device capable of controlling a continuous spiral motion output of a spiral motion cylinder.
【図1】本発明にかかる螺旋運動シリンダの第1実施の
形態を示した一の動作状態の断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an operation state of a spiral motion cylinder according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明にかかる螺旋運動シリンダの第1実施の
形態を示した他の動作状態の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the spiral motion cylinder according to the first embodiment of the present invention in another operation state.
【図3】本発明にかかる螺旋運動シリンダの一実施の形
態を示した図1とは別の方向から見た断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing one embodiment of the spiral movement cylinder according to the present invention, as viewed from a different direction from FIG. 1;
【図4】一実施の形態の螺旋運動シリンダの正面図であ
る。FIG. 4 is a front view of the spiral movement cylinder according to the embodiment.
【図5】雄磁気ネジ26及び雌磁気ネジ27の構成を示
す分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view showing a configuration of a male magnetic screw 26 and a female magnetic screw 27.
【図6】螺旋運動シリンダの第2実施の形態及び切換ス
イッチを示した一の動作状態の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a second embodiment of the spiral movement cylinder and a changeover switch in one operation state.
【図7】螺旋運動シリンダの第2実施の形態及び切換ス
イッチを示した他の動作状態の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing another embodiment of the spiral movement cylinder according to the second embodiment and the changeover switch.
【図8】図6の螺旋運動シリンダのC―C断面を示した
図である。FIG. 8 is a view showing a cross section taken along the line CC of the spiral motion cylinder of FIG. 6;
【図9】アウタスライダ71を示した斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing an outer slider 71.
【図10】3ポート弁81を示した外観斜視図である。FIG. 10 is an external perspective view showing a three-port valve 81.
【図11】螺旋運動出力装置の一実施の形態を示した空
気圧回路図である。FIG. 11 is a pneumatic circuit diagram showing an embodiment of a spiral motion output device.
【図12】従来の螺旋運動シリンダを示した一の動作状
態の断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing an operation state of a conventional spiral motion cylinder.
【図13】従来の螺旋運動シリンダを示した他の動作状
態の断面図である。FIG. 13 is a sectional view showing another operation state of the conventional spiral motion cylinder.
1 螺旋運動シリンダ 2 シリンダチューブ 3 ピストン 21 ロッドパイプ 23 回転ロッド 24,25 ベアリング 26 雄磁気ネジ 27 雌磁気ネジ 17 廻止めロッド 28 雄円筒磁石 29,32 着磁帯 30 雌円筒磁石 31 磁気ガイド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spiral motion cylinder 2 Cylinder tube 3 Piston 21 Rod pipe 23 Rotating rod 24, 25 Bearing 26 Male magnetic screw 27 Female magnetic screw 17 Rotation stop rod 28 Male cylindrical magnet 29, 32 Magnetization zone 30 Female cylindrical magnet 31 Magnetic guide
Claims (6)
在に装填されたピストンシリンダと、 前記シリンダチューブの一端から突出するようにして前
記ピストンに固着された中空円筒形状のロッドパイプ
と、 前記ロッドパイプ内に回転自在に装填された回転ロッド
と、 前記回転ロッドの外周に形成された螺旋状の着磁帯から
なる雄磁気ネジと、 前記ロッドパイプが貫通した前記シリンダチューブの端
部貫通孔内周面に形成された螺旋状の着磁帯からなる雌
磁気ネジとを有し、 前記ピストンが前記シリンダチューブ内を摺動すること
によって、前記回転ロッドが螺旋運動を行うことを特徴
とする螺旋運動シリンダ。1. A piston cylinder having a piston slidably mounted in a cylinder tube, a hollow cylindrical rod pipe fixed to the piston so as to protrude from one end of the cylinder tube, and the rod pipe A rotatable rod rotatably mounted therein, a male magnetic screw formed of a spiral magnetized band formed on the outer periphery of the rotatable rod, and an inner periphery of an end portion through-hole of the cylinder tube through which the rod pipe passes. A female magnetic screw formed of a helical magnetized band formed on the surface, wherein the rotating rod performs a helical motion by sliding the piston in the cylinder tube. Cylinder.
いて、 前記シリンダチューブ内に前記ピストンを摺動方向に貫
通した廻止めロッドを有することを特徴とする螺旋運動
シリンダ。2. The helical motion cylinder according to claim 1, further comprising a detent rod penetrating the piston in a sliding direction in the cylinder tube.
シリンダと、 前記シリンダチューブ内の前記ピストンによって摺動方
向に2分割された各圧力室に接続され、作動流体供給源
からの作動流体の供給を前記一つの圧力室へ切り換える
2位置切換弁と、 前記ピストンの摺動位置を検出して前記2位置切換弁の
弁の切り換えを制御する切換スイッチとを有することを
特徴とする螺旋運動出力装置。3. A working fluid supply source, which is connected to the helical motion cylinder according to claim 1 or 2 and each pressure chamber divided in a sliding direction by the piston in the cylinder tube. A spiral having: a two-position switching valve for switching the supply of fluid to the one pressure chamber; and a switching switch for detecting a sliding position of the piston and controlling switching of the valve of the two-position switching valve. Exercise output device.
いて、 前記2位置切換弁が、パイロット形の4ポート弁又は5
ポート弁であって、 前記切換スイッチが、前記ピストンの摺動位置を検出し
て前記2位置切換弁のパイロットポートへの作動流体の
切り換えを行う3ポート弁を有するものであることを特
徴とする螺旋運動出力装置。4. The helical motion output device according to claim 3, wherein the two-position switching valve is a pilot-type four-port valve or a five-port valve.
A port valve, wherein the changeover switch has a three-port valve that detects a sliding position of the piston and switches a working fluid to a pilot port of the two-position changeover valve. Spiral motion output device.
いて、 前記切換スイッチが、前記ピストン外周に固着されたマ
グネットに対するマグネットを保持し、前記シリンダチ
ューブ外周部に軸方向への移動自在に配設されたアウタ
スライダと、 前記ピストンの摺動に追従する前記アウタスライダとの
接触に連動して弁の切り換えが行われるメカニカル3ポ
ート弁又は3ポート電磁弁とを有するものであることを
特徴とする螺旋運動出力装置。5. The helical motion output device according to claim 4, wherein the changeover switch holds a magnet for a magnet fixed to an outer periphery of the piston, and is disposed on an outer peripheral portion of the cylinder tube so as to be movable in an axial direction. An outer slider provided, and a mechanical three-port valve or a three-port solenoid valve that performs valve switching in conjunction with contact with the outer slider that follows the sliding of the piston. Spiral motion output device.
いて、 前記ピストンの摺動方向に前記アウタスライダを貫通し
た支持ロッドを有することを特徴とする螺旋運動出力装
置。6. The helical motion output device according to claim 5, further comprising a support rod penetrating the outer slider in a sliding direction of the piston.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33522296A JPH10176702A (en) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | Screw motion cylinder and screw motion output device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33522296A JPH10176702A (en) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | Screw motion cylinder and screw motion output device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10176702A true JPH10176702A (en) | 1998-06-30 |
Family
ID=18286127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33522296A Pending JPH10176702A (en) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | Screw motion cylinder and screw motion output device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10176702A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100421062B1 (en) * | 2000-04-12 | 2004-03-03 | 에스엠시 가부시키가이샤 | Three-position stop type swing actuator |
JP2009228792A (en) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | Actuator with built-in reservoir |
JP2011095269A (en) * | 2003-05-06 | 2011-05-12 | Sri Internatl | System and method for recording piston rod positional information on magnetic layer on piston rod |
CN118601985A (en) * | 2024-08-06 | 2024-09-06 | 宁波泰鑫可精密机械科技有限公司 | Integrated cylinder |
-
1996
- 1996-12-16 JP JP33522296A patent/JPH10176702A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100421062B1 (en) * | 2000-04-12 | 2004-03-03 | 에스엠시 가부시키가이샤 | Three-position stop type swing actuator |
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JP2009228792A (en) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | Actuator with built-in reservoir |
CN118601985A (en) * | 2024-08-06 | 2024-09-06 | 宁波泰鑫可精密机械科技有限公司 | Integrated cylinder |
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