JPH10170962A - Liquid crystal display device and defect correction method for the device - Google Patents
Liquid crystal display device and defect correction method for the deviceInfo
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- JPH10170962A JPH10170962A JP35903397A JP35903397A JPH10170962A JP H10170962 A JPH10170962 A JP H10170962A JP 35903397 A JP35903397 A JP 35903397A JP 35903397 A JP35903397 A JP 35903397A JP H10170962 A JPH10170962 A JP H10170962A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、一対の透明基板間
に液晶が封入され、表示用の絵素がマトリクス状に配列
された透過型液晶パネルと、該透過型液晶パネルの背面
方向より表示用の照明光を照射する光源手段とを有する
液晶表示装置および該液晶表示装置の液晶パネルに発生
する輝点欠陥を修正する欠陥修正方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transmissive liquid crystal panel in which liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates and picture elements for display are arranged in a matrix, and a display is performed from the back of the transmissive liquid crystal panel. The present invention relates to a liquid crystal display device having light source means for irradiating illumination light for use in a liquid crystal display, and a defect correction method for correcting a bright spot defect generated in a liquid crystal panel of the liquid crystal display device.
【0002】[0002]
【従来の技術】この種の液晶表示装置の一例として、プ
ロジェクション装置に使用されるアクティブマトリクス
駆動方式の液晶パネルがある。この液晶パネルは貼り合
わされる一対のガラス基板の内の一方のガラス基板上に
マトリクス状に配設される絵素電極にTFT(薄膜トラ
ンジスタ)を接続し、該TFTのスイッチング動作によ
り各絵素電極の選択、非選択を行って表示動作を行う。
このため、単純マトリクスの欠点である非選択時のクロ
ストークを発生せず、高画質のディスプレイを実現でき
る。2. Description of the Related Art As an example of this type of liquid crystal display device, there is an active matrix drive type liquid crystal panel used for a projection device. In this liquid crystal panel, a TFT (thin film transistor) is connected to pixel electrodes arranged in a matrix on one of a pair of glass substrates to be bonded, and the switching operation of the TFT causes each pixel electrode to be connected. The display operation is performed by selecting or not selecting.
For this reason, a high-quality display can be realized without generating crosstalk at the time of non-selection which is a disadvantage of the simple matrix.
【0003】ところで、TFTはガラス基板上にゲート
電極やソース電極およびドレイン電極等を積層した多層
構造であるため、これらの金属薄膜をガラス基板上に積
層する工程と、該金属薄膜をパターニングする工程が繰
り返し行われる。このため欠陥のない完全なTFTを作
製するには、製造工程において各種条件を維持、管理す
るために非常な努力を要する。Since a TFT has a multilayer structure in which a gate electrode, a source electrode, a drain electrode and the like are laminated on a glass substrate, a step of laminating these metal thin films on a glass substrate and a step of patterning the metal thin film Is repeatedly performed. Therefore, in order to manufacture a complete TFT without any defect, a great effort is required to maintain and control various conditions in the manufacturing process.
【0004】それ故、場合によっては正常なTFT特性
が得られていない欠陥TFTを発生することもあり、欠
陥が修復可能なものはその欠陥内容により、それぞれの
修正技術を用いて修復が図られる。このようなTFTの
欠陥の一例として、回路形成パターン上での修復ができ
ず、表示駆動した場合に、TFTに接続された絵素電極
に相当する絵素が輝点となって表示画面上で認識される
輝点欠陥がある。[0004] Therefore, in some cases, defective TFTs for which normal TFT characteristics are not obtained may occur. If a defect can be repaired, it is repaired using each repair technique according to the content of the defect. . As an example of such a defect of the TFT, a pixel corresponding to a pixel electrode connected to the TFT becomes a luminescent spot on the display screen when the display cannot be repaired and the display is driven. There are perceived bright spot defects.
【0005】この輝点欠陥の修正方法の一従来例として
図7および図8に示される方法があり、この方法は表示
パネル1の輝点絵素5に対応するガラス基板2の表面に
不透明遮光膜6を形成し、これにより光源(図示せ
ず))から輝点絵素5に入射される光を減光して輝点絵
素を目立たないように修正する手法をとる。FIGS. 7 and 8 show an example of a conventional method of correcting the bright spot defect. The method shown in FIGS. 7 and 8 is based on the method of opaque light shielding on the surface of the glass substrate 2 corresponding to the bright spot picture element 5 of the display panel 1. A method of forming a film 6 and reducing the light incident on the bright spot picture element 5 from a light source (not shown) to correct the bright spot picture element inconspicuously is adopted.
【0006】ここで、不透明遮光膜6が形成されるガラ
ス基板2上の輝点絵素5に対応する部分、すなわち修正
箇所は輝点絵素5と光源からの照明光の入射経路が同一
になるガラス基板2の表面位置が選定される。より具体
的には、コンデンサレンズ7を通して光源から表示パネ
ル1に入射され、投影レンズ8に収束される光束の内の
輝点絵素5を通過する経路A上にあるガラス基板2の表
面位置をいう。図8は、輝点絵素5と不透明遮光膜6が
同一経路上にあることを模式的に示している。なお、ガ
ラス基板2は貼り合わされる2枚のガラス基板2、3の
内の入射側に位置するガラス基板であり、両基板間に表
示媒体としての液晶が封入される。Here, the portion corresponding to the bright spot picture element 5 on the glass substrate 2 on which the opaque light-shielding film 6 is formed, that is, the correction location, is the same as the bright spot picture element 5 and the incident path of the illumination light from the light source. The surface position of the glass substrate 2 is selected. More specifically, the surface position of the glass substrate 2 on the path A passing through the bright spot picture element 5 in the light flux that is incident on the display panel 1 from the light source through the condenser lens 7 and converged on the projection lens 8 is determined. Say. FIG. 8 schematically shows that the bright spot picture element 5 and the opaque light shielding film 6 are on the same path. The glass substrate 2 is a glass substrate located on the incident side of the two glass substrates 2 and 3 to be bonded, and a liquid crystal as a display medium is sealed between the two substrates.
【0007】また、不透明遮光膜6は具体的には以下の
ようにして形成される。すなわち、UV硬化型樹脂(紫
外線硬化型樹脂)インクをマーキング針の先端微小R
(アール)の箇所に付着させ、これを上記修正箇所に転
写した後、紫外線を照射して硬化させ、これによりガラ
ス基板2の表面に接着する。なお、この不透明遮光膜6
の大きさは液晶パネルの機種により若干異なるが、直径
が約100〜250μm、厚みが10μm程度の非常に
微小なものである。The opaque light-shielding film 6 is specifically formed as follows. That is, the UV curable resin (ultraviolet curable resin) ink is applied to the fine tip R of the marking needle.
After being adhered to the location (R) and transferred to the above-mentioned repaired location, it is cured by irradiating it with ultraviolet light, thereby bonding to the surface of the glass substrate 2. The opaque light-shielding film 6
Although the size slightly varies depending on the type of liquid crystal panel, it is very small with a diameter of about 100 to 250 μm and a thickness of about 10 μm.
【0008】但し、上記した修正方法が適用されるのは
輝点絵素5と修正箇所の光軸が常に一定となるプロジェ
クション装置用の液晶パネル等に限られ、直視型のよう
に視角が一定でないものには適用することができない。However, the above-described correction method is applied only to a bright spot picture element 5 and a liquid crystal panel for a projection apparatus in which the optical axis of the correction point is always constant. It cannot be applied to those that are not.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た修正方法は以下に示す欠点があるため、液晶表示装置
における輝点欠陥の悪影響を完全に排除するには限界が
ある。However, the above-described repair method has the following drawbacks, and therefore, there is a limit in completely eliminating the adverse effect of a bright spot defect in a liquid crystal display device.
【0010】不透明遮光膜6は表面が非常に平滑なガラ
ス面に対する接着力が十分でないため、塵埃等の汚れを
除去するために表面を拭きとる等の清掃作業を行うと、
ガラス基板2の表面から剥離したり、欠損を生じたりす
る不具合を生じ易く、信頼性の面で劣る欠点がある。Since the opaque light-shielding film 6 does not have a sufficient adhesive force to a glass surface having a very smooth surface, if a cleaning operation such as wiping the surface is performed to remove dirt such as dust,
There is a drawback that the glass substrate 2 is liable to be peeled off from the surface of the glass substrate 2 or to be damaged, and is inferior in reliability.
【0011】遮光特性において、この不透明遮光膜6は
ほぼ完全に透過光を遮断するので、表示画面が明るい映
像場面の場合に、該不透明遮光膜6が黒点となって視認
されるため、修正箇所がディスプレイの端部位置に限定
される欠点がある。In the light-shielding characteristic, the opaque light-shielding film 6 almost completely blocks transmitted light, so that when the display screen is a bright video scene, the opaque light-shielding film 6 is visually recognized as a black dot. Has the disadvantage that it is limited to the end positions of the display.
【0012】本発明は、このような従来技術の欠点を解
決するものであり、修正に対する信頼性の向上および修
正位置が限定されることがない液晶表示装置およびその
欠陥修正方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device in which the reliability of repair is improved and the repair position is not limited, and a method of repairing the defect. Aim.
【0013】本発明の他の目的は、輝点絵素を透過する
照明光の減光効果を更に一層向上でき、輝点絵素を周囲
の正常絵素に対して目立たなく修正できる液晶表示装置
およびその欠陥修正方法を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device capable of further improving the dimming effect of illumination light passing through a bright spot picture element and correcting the bright spot picture element with respect to surrounding normal picture elements inconspicuously. And a method for repairing the defect.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置
は、一対の透明基板間に液晶が封入され、表示用の絵素
がマトリクス状に配列された透過型液晶パネルと、該透
過型液晶パネルの背面方向より表示用の照明光を照射す
る光源手段とを有する液晶表示装置において、輝点欠陥
が発生している該絵素を照射する該照明光の照射経路上
に位置する透明基板の表面に底面側に向けて狭幅になっ
た凹陥加工部が形成され、且つ該凹陥加工部の側面およ
び底面を光散乱特性を示す粗面形状に形成してなり、そ
のことにより上記目的が達成される。A liquid crystal display device according to the present invention comprises a transmissive liquid crystal panel in which liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates and picture elements for display are arranged in a matrix. A light source means for irradiating illumination light for display from the rear side of the panel, wherein a transparent substrate positioned on the irradiation path of the illumination light for irradiating the picture element having a bright spot defect The surface has a recessed portion narrowed toward the bottom surface side, and the side surface and the bottom surface of the recessed portion are formed into a rough surface shape exhibiting light scattering characteristics, thereby achieving the above object. Is done.
【0015】好ましくは、前記側面を鋸歯状の粗面に形
成し、前記底面をメッシュ状の粗面に形成する。[0015] Preferably, the side surface is formed in a saw-toothed rough surface, and the bottom surface is formed in a mesh-shaped rough surface.
【0016】また、本発明の液晶表示装置の欠陥修正方
法は、一対の透明基板間に液晶が封入され、表示用の絵
素がマトリクス状に配列された透過型液晶パネルと、該
透過型液晶パネルの背面方向より表示用の照明光を照射
する光源手段とを有する液晶表示装置の欠陥修正方法に
おいて、該照明光を該透過型液晶パネルに照射して該絵
素に発生している輝点欠陥を検出する工程と、該輝点欠
陥が発生している該絵素を照射する該照明光の照射経路
上に位置する透明基板の表面付近に底面側に向けて狭幅
になった凹陥加工部を形成する工程と、該凹陥加工部の
側面および底面を粗面化処理して光散乱領域を形成する
工程とを含んでなり、そのことにより上記目的が達成さ
れる。Further, according to the defect correcting method for a liquid crystal display device of the present invention, there is provided a transmissive liquid crystal panel in which liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates and picture elements for display are arranged in a matrix. A light source means for irradiating illumination light for display from the rear side of the panel, wherein the illuminating light is applied to the transmissive liquid crystal panel and the bright spots generated in the picture elements are illuminated. A step of detecting a defect, and a recess process narrowing toward a bottom surface near a surface of a transparent substrate located on an irradiation path of the illumination light for irradiating the picture element in which the bright spot defect has occurred. Forming a light scattering region by roughening the side and bottom surfaces of the recessed portion, thereby achieving the above object.
【0017】好ましくは、前記側面に鋸歯状の粗面を形
成し、前記底面にメッシュ状の粗面を形成する粗面化処
理を行う。Preferably, a roughening process is performed to form a saw-toothed rough surface on the side surface and form a mesh-like rough surface on the bottom surface.
【0018】また、好ましくは、エキシマレーザビーム
を用いたレーザエッチングにより前記凹陥加工部を形成
し、且つ粗面化処理を行う。Preferably, the recessed portion is formed by laser etching using an excimer laser beam, and the surface is roughened.
【0019】以下に本発明による作用について説明す
る。The operation of the present invention will be described below.
【0020】上記のように透明基板の輝点絵素に対応す
る表面に底面側に向けて狭幅になった凹陥加工部を形成
し、且つ該凹陥加工部の側面および底面に光散乱特性を
示す粗面化処理を行うと、この部分に入射する照明光が
周囲方向に拡散されるので、輝点絵素を透過し表示画面
上に結像される照明光を減光できる。このような減光効
果は透明基板の表面付近に角穴状の凹陥加工部を形成
し、該凹陥加工部の底面に粗面を形成する場合にも発揮
されるが、前者によれば、照明光の同一の光束当りの散
乱面を後者よりも大きくできるので、その分、照明光を
周囲方向に拡散できる光散乱効果を向上できる。従っ
て、前者によれば減光効果を更に一層向上できる。As described above, the recessed portion narrowed toward the bottom surface is formed on the surface of the transparent substrate corresponding to the bright spot picture element, and the light scattering characteristics are provided on the side and bottom surfaces of the recessed portion. When the roughening process shown is performed, the illumination light incident on this portion is diffused in the peripheral direction, so that the illumination light transmitted through the bright spot picture element and formed on the display screen can be reduced. Such a dimming effect is also exhibited when a square-hole-shaped recessed portion is formed near the surface of the transparent substrate and a rough surface is formed on the bottom surface of the recessed portion. Since the scattering surface per light beam of the same light can be made larger than the latter, the light scattering effect that can diffuse the illumination light in the peripheral direction can be improved accordingly. Therefore, according to the former, the dimming effect can be further improved.
【0021】このように輝点絵素を透過する照明光を減
光すると、輝点欠陥の輝度レベルが周囲の絵素に対して
目立たなくなるレベルに迄減光される。また、照明光が
拡散されるため、該照明光の一部が輝点欠陥を発生して
いる絵素に隣接する周囲の絵素を透過する。更に拡散光
は液晶層を透過する際に液晶層より若干の散乱効果を受
ける。従って、表示画面上において輝点欠陥を発生して
いる絵素の濃淡度と周囲の絵素の濃淡度が近似したもの
になると同時に周囲の絵素が輝点欠陥発生絵素に対して
いわば“にじんだ”状態になる。この結果、輝点絵素の
存在が周囲の正常絵素に対して目立たない状態になる。
すなわち、輝点絵素が修正されたことになる。As described above, when the illumination light passing through the bright spot picture element is reduced, the luminance level of the bright spot defect is reduced to a level at which it becomes less noticeable with respect to the surrounding picture elements. In addition, since the illumination light is diffused, a part of the illumination light passes through a peripheral pixel adjacent to the pixel having the bright spot defect. Further, when the diffused light passes through the liquid crystal layer, the diffused light is slightly scattered by the liquid crystal layer. Therefore, on the display screen, the density of the picture element having a bright spot defect and the density of the surrounding picture elements become similar to each other, and at the same time, the surrounding picture elements are so-called “ It will be in a "smeared" state. As a result, the presence of the bright spot picture element becomes inconspicuous with respect to surrounding normal picture elements.
That is, the bright spot picture element is corrected.
【0022】[0022]
【実施例】以下本発明の一実施例を説明する。図1は本
発明の一実施例にかかる欠陥の修正方法を模式的に示し
ており、エキシマレーザ発振器9から出射されたレーザ
ビーム10はスリットパターン11を通り、紫外線反射
ミラー12で反射された後、レンズ13を経て載置台1
4上にセットされた液晶パネル1の輝点修正部16に集
光されて照射される。図2に斜線で示すように、この輝
点修正部16は照射光に対して輝点を発生している輝点
絵素5と同一の照射経路上にある。また、本実施例の輝
点修正部16は、図3に示すように貼り合わされる一対
のガラス基板の内、光源からの照明光40が液晶パネル
1に入射される側のガラス基板2の表面付近に選定され
る。入射側のガラス基板2の内面にはカラーフィルタ2
4およびブラックストライプ25が絵素に対応して配列
され、液晶に電圧を印加するための対向電極26が設け
られている。An embodiment of the present invention will be described below. FIG. 1 schematically shows a defect correcting method according to an embodiment of the present invention. A laser beam 10 emitted from an excimer laser oscillator 9 passes through a slit pattern 11 and is reflected by an ultraviolet reflecting mirror 12. , Mounting table 1 via lens 13
The light is condensed and radiated to the bright spot correction unit 16 of the liquid crystal panel 1 set on the liquid crystal panel 4. As shown by oblique lines in FIG. 2, the bright spot correction unit 16 is on the same irradiation path as the bright spot picture element 5 that generates a bright spot with respect to the irradiation light. In addition, the bright spot correction unit 16 of the present embodiment is configured such that the surface of the glass substrate 2 on the side where the illumination light 40 from the light source is incident on the liquid crystal panel 1 among the pair of glass substrates bonded as shown in FIG. Selected near. A color filter 2 is provided on the inner surface of the glass substrate 2 on the incident side.
4 and a black stripe 25 are arranged corresponding to the picture elements, and a counter electrode 26 for applying a voltage to the liquid crystal is provided.
【0023】一方、照明光40が出射される側のガラス
基板27の内面にはマトリクス状に配列された絵素電極
28と該絵素電極28への給電をスイッチングするTF
T29が形成され、両ガラス基板2、27間には90度
またはそれ以上ねじれ配向されたツィステッドネマティ
ック液晶層30が封入されている。尚、この実施例では
液晶パネル1として3枚パネル方式の投影型液晶表示装
置に用いられる液晶パネル1を例示している。この場
合、液晶パネル1に組み込まれるカラーフィルタ24は
パネル内で同色となり、3枚の液晶パネル1が合成され
て三原色フルカラー表示が行われることになる。また、
カラーフィルタ24はガラス基板2の外方に設置する構
成としてもよい。レーザビーム10の入射方向は液晶パ
ネル1に対する照明光40の入射方向に一致している。On the other hand, on the inner surface of the glass substrate 27 on the side from which the illumination light 40 is emitted, there are arranged pixel electrodes 28 arranged in a matrix and a TF for switching the power supply to the pixel electrodes 28.
T29 is formed, and a twisted nematic liquid crystal layer 30 twisted and oriented 90 degrees or more is sealed between the two glass substrates 2 and 27. In this embodiment, a liquid crystal panel 1 used in a three-panel projection type liquid crystal display device is exemplified as the liquid crystal panel 1. In this case, the color filters 24 incorporated in the liquid crystal panel 1 have the same color in the panel, and the three liquid crystal panels 1 are combined to perform three primary color full-color displays. Also,
The color filter 24 may be provided outside the glass substrate 2. The incident direction of the laser beam 10 coincides with the incident direction of the illumination light 40 on the liquid crystal panel 1.
【0024】なお、スリットパターン11には輝点修正
部16の外形サイズが拡大された形状のパターンが形成
されており、該スリットパターン11を通した縮小スリ
ット露光によりレーザビーム10が輝点修正部16の位
置に精度よく照射されるようになっている。加えて、こ
のようなスリットパターン11を用いれば、次に説明す
る粗面17を種々の凹凸段差で形成できる利点がある。
また、載置台14は、例えば水平面内において、X−Y
直交2軸方向に移動可能になっており、該載置台14の
移動によりレーザビーム10を所望の輝点修正部16に
照射できるようになっている。The slit pattern 11 is formed with a pattern having a shape in which the outer size of the bright spot correcting section 16 is enlarged, and the laser beam 10 is emitted by the reduced slit exposure through the slit pattern 11. Irradiation is accurately performed at 16 positions. In addition, if such a slit pattern 11 is used, there is an advantage that the rough surface 17 described below can be formed with various uneven steps.
The mounting table 14 is, for example, in a horizontal plane, XY.
The laser beam 10 can be irradiated to a desired bright spot correction unit 16 by moving the mounting table 14 in two orthogonal directions.
【0025】なお、輝点絵素5の検出は、前工程におい
て、液晶パネル1に光源より照明光を照射し、駆動状態
にある液晶パネル1の表示画像を表示画面上に投影し、
この投影像を検査員が視認して行われる。The bright spot picture element 5 is detected by irradiating the liquid crystal panel 1 with illumination light from a light source in a previous process, and projecting a display image of the liquid crystal panel 1 in a driving state on a display screen.
This projection image is visually recognized by an inspector.
【0026】図3に矢印Iで示す方向から輝点修正部1
6にレーザビーム10を照射すると、照射部がレーザエ
ッチングされ、ガラス基板2のエッチング部底面、すな
わち凹部18の底面に微小な凹凸からなる粗面17が形
成される。従って、以後、この粗面化処理部に光源より
光を照射すると、粗面17により照射光(照明光)が拡
散され、同一の経路上にある輝点絵素5の輝度レベルが
表示画面上において、周囲の正常絵素50の輝度レベル
と差のないレベル迄低下される。加えて、照射光が拡散
され、且つ拡散された光が液晶層30で若干の散乱作用
を受けるため、該照明光の一部が輝点絵素5に隣接する
周囲の絵素50を透過し、更に再度輝点絵素5方向へ帰
還する成分が生じる。従って、表示画面上において輝点
絵素5の濃淡度と周囲の絵素50の濃淡度が近似したも
のになり、且つ、周囲の絵素50からの光の侵入によっ
て周囲の絵素50の色が輝点絵素5に対していわば“に
じんだ”状態になる。従って、上記した理由により、輝
点絵素5として認識されなくなる。すなわち、輝点絵素
が修正されたことになる。In the direction indicated by arrow I in FIG.
When the laser beam 10 is irradiated on the laser beam 6, the irradiated portion is laser-etched, and a rough surface 17 having minute unevenness is formed on the bottom surface of the etched portion of the glass substrate 2, that is, on the bottom surface of the concave portion 18. Therefore, when light is emitted from the light source to the surface roughening processing unit, the irradiation light (illumination light) is diffused by the rough surface 17 and the luminance level of the bright spot picture element 5 on the same path is displayed on the display screen. In this case, the brightness level is reduced to a level that is not different from the luminance level of the surrounding normal picture elements 50. In addition, since the irradiated light is diffused and the diffused light is slightly scattered by the liquid crystal layer 30, a part of the illuminating light passes through the surrounding picture element 50 adjacent to the bright spot picture element 5. Then, a component which returns to the bright spot picture element 5 again occurs. Therefore, on the display screen, the gray level of the bright picture element 5 and the gray level of the surrounding picture elements 50 are approximated, and the color of the surrounding picture elements 50 due to the intrusion of light from the surrounding picture elements 50. Becomes “smeared” with respect to the bright spot picture element 5. Therefore, for the above-mentioned reason, it is not recognized as the bright spot picture element 5. That is, the bright spot picture element is corrected.
【0027】上記の輝度低減効果を光量で表現すると、
粗面化後の光量をレーザビーム10照射前の80%〜1
0%程度の範囲に適宜制御することが可能である。本実
施例ではレーザビーム10照射前の光量の50%±10
%程度に低減させて良好な輝点欠陥の修正効果を得てい
る。When the above-mentioned luminance reduction effect is expressed by the amount of light,
Light intensity after roughening is 80% to 1 before irradiation with laser beam 10.
It can be appropriately controlled within a range of about 0%. In this embodiment, 50% ± 10% of the light amount before the laser beam 10 irradiation.
% To obtain an excellent effect of correcting bright spot defects.
【0028】上記した粗面化処理はCO2レーザによる
レーザエッチングで行ってもよいし、あるいはダイヤモ
ンド針や超硬合金製の針を用いた触刻によって行うこと
もできるが、エキシマレーザエッチングによればこれら
の方法に比して以下に示す利点がある。The above surface roughening treatment may be performed by laser etching using a CO2 laser, or by engraving using a diamond needle or a needle made of cemented carbide. There are the following advantages over these methods.
【0029】まず、触彫法と比較すると、粗面加工が容
易になると共に、凹凸形状の精度がよい粗面17を形成
できる利点がある。First, as compared with the tactile engraving method, there is an advantage that the rough surface processing is facilitated and the rough surface 17 with high accuracy of the uneven shape can be formed.
【0030】一方、CO2レーザと比較すると、CO2レ
ーザエッチングは熱加工であるため、輝点修正部16周
囲のガラスに熱的ダメージを与えることになるが、エキ
シマレーザエッチングによればこのような熱的ダメージ
を与えることがないという利点がある。従って、以上の
理由によりエキシマレーザエッチングにより粗面17を
形成する修正方法が実施する上で最も好ましいものにな
る。On the other hand, when compared with CO 2 lasers, since CO 2 laser etching is thermal processing, but will give thermal damage to the glass surrounding the bright point correction section 16, thus according to the excimer laser etching There is an advantage that no significant thermal damage is caused. Therefore, for the above reasons, the repairing method for forming the rough surface 17 by excimer laser etching is the most preferable in implementing the method.
【0031】更に、エキシマレーザエッチングは封入ガ
スとして、発振波長193nmのArF、発振波長24
8nmのKrF、発振波長308nmのXeCl等が使
用され、該封入ガスの種類によってエキシマレーザ発振
器9のパルスエネルギーが異なり、粗面18の表面粗さ
も異なることになるが、本発明者等による以下の実験結
果により、封入ガスとしてKrFを使用したエキシマレ
ーザエッチング加工が最も好ましい修正方法であること
を確認できた。In the excimer laser etching, ArF having an oscillation wavelength of 193 nm and an oscillation wavelength of 24
KrF having a wavelength of 8 nm, XeCl having an oscillation wavelength of 308 nm, or the like is used. The pulse energy of the excimer laser oscillator 9 and the surface roughness of the rough surface 18 differ depending on the type of the sealing gas. From the experimental results, it was confirmed that excimer laser etching using KrF as the sealing gas is the most preferable correction method.
【0032】すなわち、輝点修正部16への入射光を拡
散させる粗面化に最適なエキシマレーザガス種類を検討
するため、封入ガスの種類を変え、同一のパルスショッ
ト条件で実験したところ、粗面17の表面粗さはKrF
が最も粗く、次いでArFであった。一方、封入ガスと
してXeClを使用した場合は、レーザビーム10がガ
ラス面を透過するため粗面化処理はできなかった。そし
て、表面粗さを最も粗面化できたKrFによる粗面17
を顕微鏡で観察すると、粗面17が砂粒状を呈し、透過
照明の透過が十分に抑制されることが確認できた。That is, in order to examine the optimal excimer laser gas type for roughening the surface to diffuse the light incident on the bright spot correction unit 16, the type of the sealing gas was changed and the experiment was performed under the same pulse shot conditions. 17 has a surface roughness of KrF
Was the coarsest, followed by ArF. On the other hand, when XeCl was used as the sealing gas, the surface roughening process could not be performed because the laser beam 10 transmitted through the glass surface. Then, the rough surface 17 by KrF, whose surface roughness was the most roughened, was obtained.
By observing the sample with a microscope, it was confirmed that the rough surface 17 had a sand-like shape and transmission of transmitted illumination was sufficiently suppressed.
【0033】従って、このKrFを用いて図2に示す輝
点修正部16の全域に一様にレーザビームを照射して輝
点消失効果を確認したところ、輝点の輝度レベルが正常
絵素の輝点レベルと差のない低いレベル迄減光されてい
ることが確認できた。Therefore, when the entire area of the bright spot correction section 16 shown in FIG. 2 was uniformly irradiated with a laser beam using the KrF to confirm the bright spot disappearing effect, the brightness level of the bright spot was the same as that of the normal picture element. It was confirmed that the light was dimmed to a low level not different from the bright spot level.
【0034】ところで、この種のプロジェクション装置
の今後の技術動向として、光源となるメタルハライドラ
ンプの高輝度化が進むことが予想されるため、これに対
応すべく粗面化処理部における輝点輝度の減光効果を更
に一層向上させる必要があり、上記の粗面化処理では限
界がある。By the way, as a future technical trend of this type of projection device, it is expected that a metal halide lamp, which is a light source, will have a higher brightness. It is necessary to further improve the dimming effect, and there is a limit in the above-described roughening treatment.
【0035】そこで、本発明では図4および図5に示す
ように、底面に向けて狭幅になった四角錘状をなす凹部
18Aを輝点絵素5に対応するガラス基板2の表面部
分、すなわち輝点修正部16に形成し、且つ該凹部18
Aの底面および側面(傾斜面)に粗面17A、17Bを
それぞれ形成し、これにより輝点絵素5を透過する照明
光を更に一層減光する。このような凹部18A、粗面1
7A、17Bはエキシマレーザを用いたエッチング加工
により以下のようにして形成される。Therefore, in the present invention, as shown in FIGS. 4 and 5, a concave portion 18A in the shape of a quadrangular pyramid narrowing toward the bottom is formed on the surface portion of the glass substrate 2 corresponding to the bright spot picture element 5, That is, it is formed in the bright spot correcting portion 16 and the concave portion 18
The rough surfaces 17A and 17B are formed on the bottom surface and the side surface (inclined surface) of A, respectively, so that the illumination light transmitted through the bright spot picture element 5 is further reduced. Such recess 18A, rough surface 1
7A and 17B are formed as follows by etching using an excimer laser.
【0036】まず、スリットパターン11を通して縮小
露光されるレーザビーム10の縮小率およびレーザビー
ム10のエネルギ−密度を適宜の値に設定した上でエキ
シマレーザ発振器9からレーザビーム10を輝点修正部
16に照射し、これにより凹部18Aを形成する。次い
で、スリットパターン11に図6に示されるように丸穴
61が形成されたメッシュ状のスリットパターンマスク
60を挿入し、この状態でレーザビーム10を凹部18
Aに照射する。これにより、凹部18Aの側面に鋸歯状
の粗面17Bが形成され、同時に底面にメッシュ状の粗
面17Aが形成される。First, after setting the reduction ratio of the laser beam 10 to be reduced and exposed through the slit pattern 11 and the energy density of the laser beam 10 to appropriate values, the excimer laser oscillator 9 applies the laser beam 10 to the luminescent spot correcting section 16. To thereby form the concave portion 18A. Next, as shown in FIG. 6, a mesh-shaped slit pattern mask 60 having round holes 61 formed therein is inserted into the slit pattern 11, and in this state, the laser beam 10 is irradiated with the concave portions 18.
A is irradiated. As a result, a sawtooth-shaped rough surface 17B is formed on the side surface of the recess 18A, and at the same time, a mesh-shaped rough surface 17A is formed on the bottom surface.
【0037】このような凹部18Aを形成し、且つ粗面
17A、17Bを形成すると、輝点修正部16に入射す
る照明光の同一光束当りの散乱面を図3に示される凹部
18および粗面17による場合に比較して大きくできる
ので、その分、照明光を周囲方向に拡散できる光散乱効
果を向上できる。従って、減光効果を向上できる。When the concave portion 18A is formed and the rough surfaces 17A and 17B are formed, the scattering surface of the illumination light incident on the bright spot correcting portion 16 per the same light flux is changed to the concave portion 18 and the rough surface shown in FIG. 17, the light scattering effect can be improved by that amount, which can diffuse the illumination light in the peripheral direction. Therefore, the dimming effect can be improved.
【0038】凹部18Aの仕様としては、最表面の縦横
寸法が250μm×250、傾斜角度が5〜20度、深
さが200μm以上のものが好ましい。因みに、かかる
仕様の凹部18Aによれば減光効果を約80%以上に設
定できることが確認できた。これに対して、図3の凹部
18による場合の減光効果は約50%であった。従っ
て、凹部18a、粗面17A、17Bによれば、プロジ
ェクション装置の今後の技術動向に対応できる。As the specifications of the concave portion 18A, it is preferable that the vertical and horizontal dimensions of the outermost surface are 250 μm × 250, the inclination angle is 5 to 20 degrees, and the depth is 200 μm or more. By the way, it was confirmed that the dimming effect can be set to about 80% or more according to the concave portion 18A having such specifications. On the other hand, the dimming effect in the case of the concave portion 18 in FIG. 3 was about 50%. Therefore, according to the concave portion 18a and the rough surfaces 17A and 17B, it is possible to cope with future technical trends of the projection device.
【0039】なお、本発明が適用される液晶パネルは3
枚パネル方式の投影型液晶表示装置に用いられるものに
限定されず、R(赤)、G(緑)、B(青)の三原色カ
ラーフィルタが交互に配列された直視型の液晶パネルで
あっても同様に実施することができる。輝点絵素に隣接
する絵素が異なる色であっても、色のにじみ現象を利用
した輝点絵素の消失効果は充分に得られることが確かめ
られている。The liquid crystal panel to which the present invention is applied is 3
The present invention is not limited to the one used for the single panel type projection type liquid crystal display device, and is a direct-view type liquid crystal panel in which three primary color filters of R (red), G (green), and B (blue) are alternately arranged. Can be similarly implemented. It has been confirmed that even if the picture elements adjacent to the bright picture element have different colors, the effect of eliminating the bright picture element using the color bleeding phenomenon can be sufficiently obtained.
【0040】[0040]
【発明の効果】以上の本発明によれば、上記従来の修正
方法に比して以下に箇条書きする利点を有する。According to the present invention described above, there are the following advantages over the above-mentioned conventional correction method.
【0041】遮光、減光特性。 従来方法によれば、修正部に入射する入射光を完全に遮
光するので、修正部が黒点となるため修正箇所がディス
プレイの端部に限定されるのに対し、本発明によれば、
入射光を拡散減光して修正するので、修正部が黒点とな
るのを防止できることはもちろんのこと、周囲の絵素が
輝点絵素に対していわば“にじんだ”状態になるので、
視覚上周囲の絵素との違和感を少なくできる。Light shielding and dimming characteristics. According to the conventional method, since the incident light incident on the correction unit is completely shielded, the correction part is limited to the end of the display because the correction unit becomes a black point, whereas according to the present invention,
Since the incident light is corrected by diffusion dimming, it is possible to prevent the correction portion from becoming a black spot, and, as a matter of course, the surrounding picture elements become “smeared” with respect to the bright spot picture elements.
It can reduce the sense of incongruity with surrounding picture elements visually.
【0042】更に、凹陥加工部を請求項1〜請求項5記
載の形状に形成すれば、減光効果を更に一層向上できる
ので、プロジェクション装置の今後の技術動向に対処で
きることになる。Further, if the recessed portion is formed in the shape described in claims 1 to 5, the dimming effect can be further improved, so that it is possible to cope with future technical trends of the projection apparatus.
【0043】修正の信頼性。 不透明遮光膜を使用しないので、当然のことながら、該
膜が清掃時等において剥離、欠落する不具合を発生する
ことがなく、信頼性の向上が図れる。Correction reliability. Since the opaque light-shielding film is not used, it is natural that the film does not peel off or drop off during cleaning or the like, and the reliability can be improved.
【0044】修正サイズ、修正形状。 従来方法によれば、安定した不透明遮光膜の接着を行わ
んとすれば、接着形状がどうしても円形のものに限定さ
れるため、方形の輝点絵素に対処しづらくなるのに対
し、請求項6記載のエキシマレーザビームを用いたエッ
チング加工において、スリットパターンを使用すれば輝
点絵素の形状に容易に対処できる。更には、多種類の凹
部形状や粗面形状を形成できるので減光度の選択が可能
になる利点がある。また、特にエキシマレーザを用いた
エッチングによれば加工精度を向上できる利点がある。Corrected size, corrected shape. According to the conventional method, if a stable bonding of the opaque light-shielding film is performed, the bonding shape is inevitably limited to a circular shape, which makes it difficult to deal with a square bright spot picture element. In the etching process using the excimer laser beam described in 6, the shape of the bright spot picture element can be easily handled by using a slit pattern. Furthermore, since various types of concave shapes and rough surface shapes can be formed, there is an advantage that the dimming degree can be selected. In addition, there is an advantage that processing accuracy can be improved particularly by etching using an excimer laser.
【図1】エキシマレーザ装置を用いた欠陥の修正方法を
模式的に示す図面。FIG. 1 is a drawing schematically showing a defect repair method using an excimer laser device.
【図2】輝点絵素と輝点修正部が照明光に対して同一の
照射経路上にあることを示す図面。FIG. 2 is a drawing showing that a bright spot picture element and a bright spot correction unit are on the same irradiation path for illumination light.
【図3】エキシマレーザエッチングにより形成された粗
面を備えた液晶パネルを示す断面面。FIG. 3 is a sectional view showing a liquid crystal panel having a rough surface formed by excimer laser etching.
【図4】減光効果を更に一層向上できる凹部および粗面
を備えた液晶パネルを示す一部拡大断面図。FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view showing a liquid crystal panel having a concave portion and a rough surface capable of further improving the dimming effect.
【図5】図4のA方向矢視図。FIG. 5 is a view in the direction of arrow A in FIG. 4;
【図6】エキシマレーザエッチングに使用するスリット
パターンマスクを示す図面。FIG. 6 is a view showing a slit pattern mask used for excimer laser etching.
【図7】従来方法を示す側面図。FIG. 7 is a side view showing a conventional method.
【図8】従来方法における図2同様の図面。FIG. 8 is a drawing similar to FIG. 2 in a conventional method.
1 液晶パネル 2 入射側のガラス基板 5 輝点絵素 9 エキシマレーザ発振器 10 レーザビーム 11 スリットパターン 14 載置台 16 輝点修正部 17、17A、17B 粗面 18、18A 凹部 30 液晶層 40 照明光 50 周囲の正常絵素 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal panel 2 Incident side glass substrate 5 Bright spot picture element 9 Excimer laser oscillator 10 Laser beam 11 Slit pattern 14 Mounting table 16 Bright spot correction part 17, 17A, 17B Rough surface 18, 18A Depression 30 Liquid crystal layer 40 Illumination light 50 Surrounding normal picture elements
Claims (5)
示用の絵素がマトリクス状に配列された透過型液晶パネ
ルと、該透過型液晶パネルの背面方向より表示用の照明
光を照射する光源手段とを有する液晶表示装置におい
て、 輝点欠陥が発生している該絵素を照射する該照明光の照
射経路上に位置する透明基板の表面に底面側に向けて狭
幅になった凹陥加工部が形成され、且つ該凹陥加工部の
側面および底面を光散乱特性を示す粗面形状に形成した
液晶表示装置。1. A transmissive liquid crystal panel in which liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates and picture elements for display are arranged in a matrix, and illumination light for display is illuminated from the back of the transmissive liquid crystal panel. A liquid crystal display device having a light source means that emits a bright spot defect. A liquid crystal display device in which a recessed portion is formed, and a side surface and a bottom surface of the recessed portion are formed in a rough surface shape exhibiting light scattering characteristics.
記底面がメッシュ状の粗面に形成された請求項2記載の
液晶表示装置。2. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the side surface is formed in a saw-toothed rough surface, and the bottom surface is formed in a mesh-shaped rough surface.
示用の絵素がマトリクス状に配列された透過型液晶パネ
ルと、該透過型液晶パネルの背面方向より表示用の照明
光を照射する光源手段とを有する液晶表示装置の欠陥修
正方法において、 該照明光を該透過型液晶パネルに照射して該絵素に発生
している輝点欠陥を検出する工程と、 該輝点欠陥が発生している該絵素を照射する該照明光の
照射経路上に位置する透明基板の表面に底面側に向けて
狭幅になった凹陥加工部を形成する工程と、 該凹陥加工部の側面および底面を粗面化処理して光散乱
領域を形成する工程とを含む液晶表示装置の欠陥修正方
法。3. A transmissive liquid crystal panel in which liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates and picture elements for display are arranged in a matrix, and illumination light for display is illuminated from the back of the transmissive liquid crystal panel. A defect correcting method for a liquid crystal display device having a light source means for detecting a bright spot defect occurring in the picture element by irradiating the illumination light to the transmissive liquid crystal panel; Forming a recessed portion narrowing toward the bottom side on the surface of the transparent substrate positioned on the irradiation path of the illumination light for irradiating the generated picture element; and a side surface of the recessed portion. And forming a light scattering region by roughening the bottom surface.
底面にメッシュ状の粗面を形成する粗面化処理を行う請
求項3記載の液晶表示装置の欠陥修正方法。4. The defect correcting method for a liquid crystal display device according to claim 3, wherein a roughening process for forming a saw-toothed rough surface on the side surface and forming a mesh-like rough surface on the bottom surface is performed.
ッチングにより前記凹陥加工部を形成し、且つ粗面化処
理を行う請求項3又は請求項4記載の液晶表示装置の欠
陥修正方法。5. The defect correcting method for a liquid crystal display device according to claim 3, wherein the recessed portion is formed by laser etching using an excimer laser beam, and the surface is roughened.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35903397A JPH10170962A (en) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | Liquid crystal display device and defect correction method for the device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35903397A JPH10170962A (en) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | Liquid crystal display device and defect correction method for the device |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3066503A Division JP2774701B2 (en) | 1991-03-01 | 1991-03-29 | Liquid crystal display device and defect repair method for liquid crystal display device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10170962A true JPH10170962A (en) | 1998-06-26 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35903397A Pending JPH10170962A (en) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | Liquid crystal display device and defect correction method for the device |
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Country | Link |
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JP (1) | JPH10170962A (en) |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP35903397A patent/JPH10170962A/en active Pending
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