JPH10160525A - 光学的計測装置 - Google Patents

光学的計測装置

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JPH10160525A
JPH10160525A JP32192896A JP32192896A JPH10160525A JP H10160525 A JPH10160525 A JP H10160525A JP 32192896 A JP32192896 A JP 32192896A JP 32192896 A JP32192896 A JP 32192896A JP H10160525 A JPH10160525 A JP H10160525A
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克彦 横濱
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祥啓 出口
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、計測装置本体が計測孔を形成する流
路を介して計測を行なう光学的計測装置に於いて、前記
計測孔と計測装置本体を連結する流路の形状更には構造
に特徴をもたせることで、被計測部から計測装置本体
(計測器)が設けられた計測装置側に、媒塵・ゴミ・燃
焼ガス等が流入して計測装置本体側が汚染される不具合
を解消した実用性の高い経済的にも有利な構成をなす光
学的計測装置を提供することを課題とする。 【解決手段】計測装置本体12が計測孔11bを形成す
る流路11dを介して計測を行なう光学的計測装置に於
いて、前記計測孔11bと計測装置本体12を連結する
流路11bの形状を光路形状に沿い、被計測部側流路断
面積を計測装置本体側流路断面積より小さくしたことを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば焼却炉、石
炭炉等の配管から光学的計測を行なうレーザ計測装置に
適用して好適な光学的計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】焼却炉、石炭炉等に於いて、その配管か
らレーザ計測装置により光学的計測を行なう場合、被計
測部から計測装置本体(計測器)が設けられた計測装置
側に、媒塵・ゴミ・燃焼ガス等が流入して、計測装置本
体が汚染され、これによって計測精度の悪化が発生し、
強いては計測装置本体の故障発生を招くという問題が生
じる。
【0003】このような不具合を解決するために、従来
では、図13に示すように、計測装置本体02を収めた
炉の壁面01aに設けられた計測孔01bから、炉内に
ガスを噴出する方法、あるいは図14に示すように、計
測孔01bに窓03を設置する方法、あるいは図15に
示すように、炉内へのガスの噴出と窓03の設置を組み
合わせた方法等が実施されている。
【0004】ここで、図13〜図15に示す従来例に於
いては、計測孔を構成する流路の横断面が、被計測部側
と計測装置本体側とで同一の断面積形状を有する。上記
図13に示す従来例の方法は、被計測部と計測装置が、
大きな開口(開口面積の大きな流路)で連結されている
ので、計測装置側への粒子・燃焼ガスの侵入を確実に防
止することが困難である。又、防止効果を高めるために
は流路での通気ガス流速を大きくとる必要がある。この
ような通気ガス流速の増加は、被計測部の状態を変化さ
せるのみならず、通気ガス量の増加を引き起こし、運用
上の不具合を発生する。
【0005】上記図14に示す従来例の方法は、被計測
部から計測装置本体側への、粒子・燃焼ガス等の侵入は
発生しないが、窓部に粒子の付着、あるいは燃焼ガスの
成分の凝集等が発生し、光学的計測を阻害する。
【0006】上記図15に示す従来例の方法は、上記図
13に示す従来例の課題であった、計測装置本体側への
粒子・燃焼ガス等の侵入を防止することができるが、流
路での通気ガス流速を大きく取る必要がある。かつこの
ような条件でも工業的に実施可能な流速範囲では、窓部
の汚れを確実に防止することが困難である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
の光学的計測装置に於いては、被計測部から計測装置本
体(計測器)が設けられた計測装置側に、媒塵・ゴミ・
燃焼ガス等が流入して、計測装置本体が汚染される不具
合を解消する有効な手段が存在しなかった。
【0008】即ち、上記図13に示す従来例の方法に於
いては、被計測部と計測装置が、大きな開口(開口面積
の大きな流路)で連結されているので、計測装置側への
粒子・燃焼ガスの侵入を確実に防止することが困難であ
り、又、防止効果を高めるためには流路での通気ガス流
速を大きくとる必要があるが、このような通気ガス流速
の増加は被計測部の状態を変化させるのみならず通気ガ
ス量の増加を引き起こし、運用上の不具合を発生すると
いう問題があった。
【0009】又、上記図14に示す従来例の方法に於い
ては、被計測部から計測装置本体側への、粒子・燃焼ガ
ス等の侵入は発生しないが、窓部に粒子の付着、あるい
は燃焼ガスの成分の凝集等が発生し、光学的計測を阻害
するという問題があった。
【0010】又、上記図15に示す従来例の方法に於い
ては、上記図13に示す従来例の課題であった、計測装
置本体側への粒子・燃焼ガス等の侵入を防止することが
できるが、流路での通気ガス流速を大きく取る必要があ
り、工業的に実施可能な流速範囲では窓部の汚れを確実
に防止することが困難であるという問題があった。
【0011】本発明は上記実情に鑑みなされたもので、
計測装置本体が計測孔を形成する流路を介して計測を行
なう光学的計測装置に於いて、前記計測孔と計測装置本
体を連結する流路の形状更には構造に特徴をもたせるこ
とで、被計測部から計測装置本体(計測器)が設けられ
た計測装置側に、媒塵・ゴミ・燃焼ガス等が流入して計
測装置本体側が汚染される不具合を解消した実用性の高
い経済的にも有利な構成をなす光学的計測装置を提供す
ることを目的とする。
【0012】又、本発明は、上記流路の形状に特徴をも
たせることで、少量の通気ガス量で粒子・燃焼ガス等の
計測孔への流入を防止できる光学的計測装置を提供する
ことを目的とする。
【0013】又、本発明は、上記流路の形状及び構造の
組み合わせに特徴をもたせることで、計測装置本体側へ
の粒子・燃料ガスの流入を確実に防止して、計測装置本
体の性能劣化を軽減できる光学的計測装置を提供するこ
とを目的とする。
【0014】又、本発明は、上記流路の形状及び構造の
組み合わせに特徴をもたせることで、長期間に亘り安定
した視野を確保できる光学的計測装置を提供することを
目的とする。
【0015】又、本発明は、上記流路の形状及び構造の
組み合わせに特徴をもたせることで、計測装置本体側に
侵入する粉塵を被計測部側に戻すことができ常に安定し
た視野を確保できる光学的計測装置を提供することを目
的とする。
【0016】又、本発明は、上記流路の形状及び構造の
組み合わせに特徴をもたせることで、計測装置本体側に
侵入した粉塵が計測装置本体側に堆積して再び舞った
り、計測装置本体の視野を阻害することなく、侵入した
粉塵を確実に回収することができる光学的計測装置を提
供することを目的とする。又、本発明は、上記流路の形
状及び構造の組み合わせに特徴をもたせることで、流路
に入り込もうとする勢いのある粉塵を少ないガス流量で
効率よく押し戻すことができる光学的計測装置を提供す
ることを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】光学的計測法に於いて、
光軸上に焦点を結ぶ必要がある手法では、被計測部で集
光させる手法であっても計測を阻害しない。そこで本発
明に於いては、計測部流路形状を光路形状に沿ってガス
流れ方向に流路横断面積が小さくなるように開口を絞る
構造とした。又、流路に設置する窓に関しては、汚れを
除去する装置を設置する構造とした。又、除去した汚れ
を取り除き易いように、ガス流れ方向に流路を下向きに
する構造とした。
【0018】即ち、本発明は、計測装置本体が計測孔を
形成する流路を介して計測を行なう光学的計測装置に於
いて、前記計測孔と計測装置本体を連結する流路の形状
を光路形状に沿い、被計測部側流路断面積を計測装置本
体側流路断面積より小さくしたことを特徴とする。
【0019】又、上記光学的計測装置に於いて、流路に
1個以上の窓部を設けてなることを特徴とする。又、上
記光学的計測装置に於いて、流路に、計測装置本体側か
ら被計測部側へガスを流通する手段を設けたことを特徴
とする。
【0020】又、上記光学的計測装置に於いて、流路に
設けられた1個以上の窓部と、当該窓部に付着した計測
を阻害する物質を除去するためにガス若しくは粉体若し
くは液体を前記窓部へ噴出する手段とを具備してなるこ
とを特徴とする。
【0021】又、上記光学的計測装置に於いて、流路に
設けられた1個以上の窓部と、当該窓部に付着した計測
を阻害する物質を除去するために前記窓部に振動を与え
る加振機とを具備してなることを特徴とする。
【0022】又、上記光学的計測装置に於いて、被計測
部側が計測装置本体側より低位となるように流路を下向
きに取り付けたことを特徴とする。又、上記光学的計測
装置に於いて、被計測部側のガスを通すための流路が計
測装置本体側よりも狭くなり、かつ流路の下側が被計測
部側に近い部分で下向きに拡がる形状の計測孔を有して
なることを特徴とする。
【0023】又、上記光学的計測装置に於いて、流路の
被計測部側近傍に、計測孔に向けた小口径の複数のガス
噴出口を設けてなることを特徴とする。又、上記光学的
計測装置に於いて、流路の被計測部側と計測装置本体側
との間に窓を設け、当該窓で仕切られた被計測部側流路
内壁部から被計測部側に向かって、プラス及びマイナス
のイオンを含ませたガスを流すことを特徴とする。又、
上記光学的計測装置に於いて、流路の被計測部と計測装
置側との間に、塵埃を受ける容器を設けたことを特徴と
する。
【0024】
【作用】上記したように、光学的計測法で、光軸上に焦
点を結ぶ必要がある手法では、被計測部で集光させる手
法であっても計測を阻害しない。円形流路を例にとり、
集光レンズ径をD、流路出口径をD1、集光レンズと流
路出口距離をL、集光する角度をθとする。
【0025】ここで、従来例では、流路径は集光レンズ
径の寸法で一定であるので、必要な外流速をvとしたと
き、その通気ガス量:Q0 は以下に示される。 Q0 =π/4・D2 ・ρ・v …(1) ここで、流路出口でのガス流速を一致させることによ
り、同様の防止効果が得られるので、本発明の流路での
通気ガス量:Q1 は以下の式で表される。
【0026】 Q1 =π/4・(D−2・L・tan θ)2 ・ρ・v …(2) つまり、通気ガス量を以下の割合で低減することが可能
である。 Q1 /Q0 =((D−2・L・tan θ)/D)2 …(3) 即ち、集光レンズ部の断面積をA0 、本発明の計測孔の
断面積をA1 とすると、通気ガス量は、以下の割合で低
減可能である。
【0027】Q1 /Q0 =A1 /A0 …(4) また、窓部に付着した汚れを流体の噴射により取り除く
ためには、付着力よりも流体による除去力が大きくなる
ような流速Vで流体を付けることにより汚れの除去が可
能である。
【0028】また、振動による除去の場合は、振動によ
る除去力が付着力よりも大きくなるように、付着力と反
対方向に振動による加速度を作用させることにより汚れ
の除去が可能である。また、流路を下向きに設置し開口
部流路形状をガス流れ方向に小さくすることにより、出
口側のガス流速を高くすることが可能である。
【0029】また、流路を水平あるいは下向きに(重力
方向)に設置することにより、流路に侵入し流路の下部
に堆積した物質や、窓に付着して除去された物質を被計
測部側に除去することが可能である。
【0030】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
形態を説明する。図1乃至図3は計測孔と計測装置本体
を連結する流路の形状更には構造に特徴をもたせてい
る。
【0031】図1は本発明の第1実施形態を示す図であ
り、ここでは光軸方向断面(縦断面)の構成を示してい
る。図1に於いて、10は容器、11aは被計測部側の
壁面、11bは計測孔、11cはシールガス導入口、1
1dは流路、12は容器10に体納された計測装置本体
(計測器)である。
【0032】被計測部側の壁面11aに設けられた計測
孔11bは流路11dを介して計測装置本体12を収納
した容器10の内部に連通される。容器10内の計測装
置本体12は流路11d及び壁面11aに設けられた計
測孔11bを介して被計測部の光学的計測を行なう。
【0033】ここで、計測孔11bと計測装置本体12
を連結する流路11dは、光路形状に沿い、被計測部側
流路断面積を計測装置本体側流路断面積より小さくした
形状となっている。
【0034】上記した構成の光学的計測装置を用いるこ
とにより、より少ない通気ガス量で流路11d出口のガ
ス流速を速め、流路11dに入り込もうとする勢いのあ
る粉塵等を流速で押し戻すことができることから、効率
良く粒子・燃焼ガス等の計測孔11bへの流入を防止で
きる。
【0035】これにより、長期間に亘り安定した視野を
確保することができ、安定した精度の高い光学的計測が
維持できる。図2は本発明の第2実施形態を示す縦断面
図である。
【0036】図2に於いて、20は容器、21aは被計
測部側の壁面、21bは計測孔、21cはシールガス導
入口、21dは流路、22は容器20に体納された計測
装置本体(計測器)であり、ここでは、被計測部側の壁
面21aに設けられた計測孔21bが被計測部側の壁面
21aより突出した構造となっている。
【0037】被計測部側の壁面21aに設けられた計測
孔21bは流路21dを介して計測装置本体22を収納
した容器20の内部に連通され、容器20内の計測装置
本体22が流路21d及び壁面21aに設けられた計測
孔21bを介して被計測部の光学的計測を行なう。
【0038】このような実施形態に於いても上記第1実
施形態と同様に計測孔21bと計測装置本体22を連結
する流路21dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断
面積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状と
なっており、従って、より少ない通気ガス量で流路21
d出口のガス流速を速め、流路21dに入り込もうとす
る勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができること
から、粒子・燃焼ガス等の計測孔21bへの流入を防止
できる。
【0039】図3は本発明の第3実施形態を示す縦断面
図である。図3に於いて、30は容器、31aは被計測
部側の壁面、31bは計測孔、31cはシールガス導入
口、31dは流路、32は容器30に体納された計測装
置本体(計測器)であり、ここでは、被計測部側の壁面
31aに設けられた計測孔31bが被計測部側の壁面3
1aより凹んだ構造となっている。
【0040】被計測部側の壁面31aに設けられた計測
孔31bは流路31dを介して計測装置本体32を収納
した容器30の内部に連通され、容器30内の計測装置
本体32が流路31d及び壁面31aに設けられた計測
孔31bを介して被計測部の光学的計測を行なう。
【0041】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔31bと計測装置本体32を連結す
る流路31dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路31d
出口のガス流速を速め、流路31dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、粒子・燃焼ガス等の計測孔31bへの流入を防止で
きる。
【0042】上記した各実施形態は、流路(11d,2
1d,31d)が、計測装置本体(12,22,32)
から被計測部方向に向けて光路形状に沿い断面積が縮小
する形状である。
【0043】図4は本発明の第4実施形態を示す縦断面
図であり、計測孔と計測装置本体を連結する流路の形状
及び構造の組み合わせに特徴をもつ。図4に於いて、4
0は容器、41aは被計測部側の壁面、41bは計測
孔、41cはシールガス導入口、41dは流路、42は
容器40に体納された計測装置本体(計測器)であり、
ここでは、流路41dの断面積が、上記第1〜第3実施
形態のように光路形状に沿い縮小する形状ではなく、被
計測部方向に向けて段階状に減少する形状となってい
る。尚、この際、流路41dは光路を阻害しないような
形状である必要がある。
【0044】被計測部側の壁面41aに設けられた計測
孔41bは流路41dを介して計測装置本体42を収納
した容器40の内部に連通され、容器40内の計測装置
本体42が流路41d及び壁面41aに設けられた計測
孔41bを介して被計測部の光学的計測を行なう。
【0045】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔41bと計測装置本体42を連結す
る流路41dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路41d
出口のガス流速を速め、流路41dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、粒子・燃焼ガス等の計測孔41bへの流入を防止で
きる。
【0046】上記した図1〜図4に示す各実施形態に於
いて、流路(11d,21d,31d,41d)の横断
面形状は、円形、楕円形、多角形形状のいずれであって
もよい。また、図1〜図4に示す各実施形態に於いて
は、シールガスの導入口を容器の1か所のみに設けてい
るように示しているが、複数個所に設置してもよい。ま
た、流路に複数個設置してもよい。
【0047】図5は本発明の第5実施形態を示す縦断面
図であり、計測孔と計測装置本体を連結する流路の形状
及び構造の組み合わせに特徴をもつ。図5に於いて、5
0は容器、51aは被計測部側の壁面、51bは計測
孔、51cはシールガス導入口、51dは流路、52は
容器50に体納された計測装置本体(計測器)、53は
流路51d内に設けられた、流路51dを被計測部側と
計測装置本体側とに仕切る窓である。
【0048】被計測部側の壁面51aに設けられた計測
孔51bは流路51d、及び流路51d内に設けられた
窓53を介して、計測装置本体52を収納した容器50
に連通され、計測装置本体52が流路51d内に設けら
れた窓53、及び壁面51aに設けられた計測孔51b
を介して被計測部の光学的計測を行なう。
【0049】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔51bと計測装置本体52を連結す
る流路51dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路51d
出口のガス流速を速め、流路51dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、粒子・燃焼ガス等の計測孔51bへの流入を防止で
きる。
【0050】更に、この図5に示す実施形態では、シー
ルガスの導入口51cに供給されたガスが容器50内及
び配管を経由して、流路51d内の窓53の被計測部側
に導出され、その噴出ガスにより、窓53に付着した計
測を阻害する塵挨等の物質が除去される。
【0051】これにより、計測装置本体52側への粒
子、燃料ガス等の流入を窓53により確実に防止するこ
とができ、計測装置本体52の性能劣化を防止できると
ともに、窓53の汚れを常に除去して、長期間に亘り安
定した視野を確保することができ、安定した高い計測精
度を維持することができる。
【0052】この第5実施形態に於いて、シールガスの
導入口51cより容器50内に導入されるガスは、例え
ば複数の系統から供給する構成であってもよく、又、シ
ールガス導入口51c、ガス噴出口等も1箇所に限らず
複数箇所設けた構成であってもよい。
【0053】又、この第5実施形態では、ガスにより窓
53に付着した計測を阻害する塵挨等の物質を除去して
いるが、ガス以外に、粉体若しくは液体を窓53へ噴出
することにより窓53を清掃することも可能である。
又、流路51dの横断面形状は、上記各実施形態と同様
に円形、楕円形、多角形形状のいずれであってもよい。
【0054】又、この第5実施形態では、計測孔51b
が被計測部側の壁面51aに設けられた構成としている
が、例えば上記第2実施形態に示すような壁面51aよ
り突出した構造、又は第3実施形態に示すような壁面5
1aより凹んだ構造であってもよい。
【0055】又、この第5実施形態では、計測孔51b
と計測装置本体52を連結する流路51dが、光路形状
に沿い、被計測部側流路断面積を計測装置本体側流路断
面積より小さくした形状となっているが、例えば緩やか
に断面積が減少する流路形状とせず、上記第4実施形態
に示すように、段階的に断面積が減少する流路形状であ
ってもよいが、光路を阻害しないような流路形状である
必要がある。この際も流路の横断面形状は、円形、楕円
形・多角形形状のいずれであってもよい。
【0056】図6は本発明の第6実施形態を示す縦断面
図であり、計測孔と計測装置本体を連結する流路の形状
及び構造の組み合わせに特徴をもつもので、上記図5に
示す第5実施形態をより発展させた構成としている。
【0057】図6に於いて、60は容器、61aは被計
測部側の壁面、61bは計測孔、61cはシールガス導
入口、61dは流路、62は容器60に体納された計測
装置本体(計測器)、63は流路61d内に設けられ
た、流路61dを被計測部側と計測装置本体側とに仕切
る窓である。61eは流路61d内を被計測部側と計測
装置本体側とに仕切る窓63の被計測部側に汚れ除去用
ガスを吹付けるための汚れ除去用ガス導入口であり、窓
63の周辺部から窓63の被計測部側の面部へ汚れ除去
用ガスを噴射して窓63へ付着する塵挨を除去する。
【0058】被計測部側の壁面61aに設けられた計測
孔61bは流路61d、及び流路61d内に設けられた
窓63を介して、計測装置本体62を収納した容器60
に連通され、計測装置本体62が流路61d内に設けら
れた窓63、及び壁面61aに設けられた計測孔61b
を介して被計測部の光学的計測を行なう。
【0059】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔61bと計測装置本体62を連結す
る流路61dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路61d
出口のガス流速を速め、流路61dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、粒子・燃焼ガス等の計測孔61bへの流入を防止で
きる。
【0060】更に、この図6に示す実施形態では、シー
ルガスの導入口61cに供給されたガスが容器60内及
び配管を経由して、流路61d内の窓63の被計測部側
に導出され、その噴出ガスにより、窓63に付着した計
測を阻害する塵挨等の物質が除去されるとともに、汚れ
除去用ガス導入口61eからの噴出ガスを窓63の周辺
部から窓63の被計測部側の面部に吹き付け、窓63の
被計測部側の面部に付着する塵挨等を除去して窓63を
クリーンな状態に保つ。
【0061】これにより、計測装置本体62側への粒
子、燃料ガス等の流入を窓63により確実に防止するこ
とができ、計測装置本体62の性能劣化を防止できると
ともに、窓63の汚れを常に除去して、長期間に亘り安
定した視野を確保することができ、安定した高い計測精
度を維持することができる。
【0062】この第6実施形態に於いても上記図5に示
す第5実施形態と同様の変形・拡張構造が可能である。
図7は本発明の第7実施形態を示す縦断面図であり、計
測孔と計測装置本体を連結する流路の形状及び構造の組
み合わせに特徴をもつもので、上記図5に示す第5実施
形態をより発展させた構成としている。
【0063】図7に於いて、70は容器、71aは被計
測部側の壁面、71bは計測孔、71cはシールガス導
入口、71dは流路、72は容器70に体納された計測
装置本体(計測器)、73は流路71d内に設けられ
た、流路71dを被計測部側と計測装置本体側とに仕切
る窓である。74は窓73に振動を与えて窓73の汚れ
を除去するための加振機であり、連結棒等の連結機構を
介して窓73に連結される。
【0064】被計測部側の壁面71aに設けられた計測
孔71bは流路71d、及び流路71d内に設けられた
窓73を介して、計測装置本体72を収納した容器70
に連通され、計測装置本体72が流路71d内に設けら
れた窓73、及び壁面71aに設けられた計測孔71b
を介して被計測部の光学的計測を行なう。
【0065】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔71bと計測装置本体72を連結す
る流路71dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路71d
出口のガス流速を速め、流路71dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、粒子・燃焼ガス等の計測孔71bへの流入を防止で
きる。
【0066】更に、この図7に示す実施形態では、シー
ルガスの導入口71cに供給されたガスが容器70内及
び配管を経由して、流路71d内の窓73の被計測部側
に導出され、その噴出ガスにより、窓73に付着した計
測を阻害する塵挨等の物質が除去されるとともに、加振
機74と窓73が連結棒等の連結機構により連結され、
加振機74によって窓73に振動が加えられて、計測を
阻害する塵挨等の物質の窓73への付着が防止される。
【0067】これにより、計測装置本体72側への粒
子、燃料ガス等の流入を窓73により確実に防止するこ
とができ、計測装置本体72の性能劣化を防止できると
ともに、塵挨等の物質が窓73へ付着する不具合を排除
して、長期間に亘り安定した視野を確保することがで
き、安定した高い計測精度を維持することができる。
【0068】この第7実施形態に於いても上記図5に示
す第5実施形態と同様の変形・拡張構造が可能である。
図8は本発明の第8実施形態を示す縦断面図であり、計
測孔と計測装置本体を連結する流路の形状及び構造の組
み合わせに特徴をもつもので、ここでは計測孔を下向き
に配置した構成としている。
【0069】図8に於いて、80は容器、81aは被計
測部側の壁面、81bは下向きに配置した計測孔、81
cはシールガス導入口、81dはガス流れ方向に下向き
に設けた流路、82は容器80に体納された計測装置本
体(計測器)である。
【0070】被計測部側の壁面81aに設けられた下向
きの計測孔81bは流路81d、及び流路81d内に設
けられた窓83を介して、計測装置本体82を収納した
容器80に連通され、計測装置本体82が流路81d、
及び壁面81aに設けられた下向きの計測孔81bを介
して被計測部の光学的計測を行なう。
【0071】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に下向きの計測孔81bと計測装置本体82
を連結する流路81dが、光路形状に沿い、被計測部側
流路断面積を計測装置本体側流路断面積より小さくした
形状となっており、従って、より少ない通気ガス量で流
路81d出口のガス流速を速め、流路81dに入り込も
うとする勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができ
ることから、塵挨、粉塵、粒子等の計測孔81bへの流
入を防止できる。
【0072】更に、この図8に示す第8実施形態では、
計測孔81b、及び流路81dが下向きとなっているた
め、上記した各実施形態より更に少ないガス流量で、塵
挨、粉塵、粒子等の計測孔81bへの流入を防止でき
る。又、流路81dの下部に粒子等の物質が堆積して
も、その粒子等の物質を容易に炉内側に除去することが
できる。
【0073】これにより、長期間に亘り安定した視野を
確保することができ、安定した精度の高い光学的計測が
維持できる。この第8実施形態に於いても上記した図4
乃至図7に示す実施形態と同様の変形・拡張構造が可能
である。
【0074】図9は本発明の第9実施形態を示す縦断面
図であり、計測孔と計測装置本体を連結する流路の形状
及び計測孔の形状に特徴をもつもので、ここでは計測孔
を下向きに配置した構成としている。
【0075】図9に於いて、90は容器、91aは被計
測部側の壁面、91bは計測孔、91cはシールガス導
入口、91dは流路、92は容器90に体納された計測
装置本体(計測器)である。
【0076】91fは被計測部側の計測孔91bを形成
する流路91d出口を被計測部側に開くように傾斜をつ
けて下側部分のみ一部開口した開口部であり、流路91
dに入り込もうとする被計測部側の粉塵、ごみ等を被計
測部側に戻すための傾斜路を形成している。
【0077】被計測部側の壁面91aに設けられた計測
孔91bは流路91dを介して、計測装置本体92を収
納した容器90に連通され、計測装置本体92が流路9
1d、及び壁面91aに設けられた計測孔91bを介し
て被計測部の光学的計測を行なう。
【0078】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔91bと計測装置本体92を連結す
る流路91dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路91d
出口のガス流速を速め、流路91dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、塵挨、粉塵、粒子等の計測孔91bへの流入を防止
できる。
【0079】更に、この図9に示す第9実施形態では、
被計測部側の計測孔91bを形成する流路91d出口
に、被計測部側に開くように斜めに拡がった開口部(傾
斜路)91fを設け、ガスの流れに打ち勝って流路91
dに入り込もうとする被計測部側の粉塵、ごみ等が、こ
の開口部(傾斜路)91fを伝って被計測部側に落ちる
構造としていることから、塵挨、粉塵、粒子等の計測孔
91bへの流入防止効果を高めることができる。
【0080】この第9実施形態に於いても上記した図4
乃至図7に示す実施形態と同様の変形・拡張構造が可能
である。図10は本発明の第10実施形態を示す縦断面
図であり、計測孔と計測装置本体を連結する流路の形状
及び計測孔の形状に特徴をもつもので、ここでは流路の
被計測部側近傍に、計測孔に向けた小口径の複数のガス
噴出口を設けてなる構成としている。
【0081】図10に於いて、X0は容器、X1aは被
計測部側の壁面、X1bは計測孔、X1cはシールガス
導入口、X1dは流路、X2は容器X0に体納された計
測装置本体(計測器)である。
【0082】X3は流路X1d内の被計測部側近傍に、
計測孔X1bに向けて設けられた小口径の複数のガス噴
出口であり、計測孔X1bを形成する流路X1d出口に
於いて、流路X1dに入り込もうとする被計測部側の粉
塵、ごみ等を被計測部側に戻すためのガスを噴出する。
【0083】被計測部側の壁面X1aに設けられた計測
孔X1bは流路X1dを介して、計測装置本体X2を収
納した容器X0に連通され、計測装置本体X2が流路X
1d、及び壁面X1aに設けられた計測孔X1bを介し
て被計測部の光学的計測を行なう。
【0084】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔X1bと計測装置本体X2を連結す
る流路X1dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路X1d
出口のガス流速を速め、流路X1dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、塵挨、粉塵、粒子等の計測孔X1bへの流入を防止
できる。
【0085】更に、この図10に示す第10実施形態で
は、被計測部側の計測孔X1bを形成する流路X1d出
口に、流路X1dに入り込もうとする被計測部側の粉
塵、ごみ等を被計測部側に戻すためのガスを計測孔X1
bに向けて噴出する小口径の複数のガス噴出口X3を設
けていることから、塵挨、粉塵、粒子等の計測孔X1b
への流入防止効果をより高めることができる。
【0086】この第10実施形態に於いても上記した図
4乃至図7、及び図9に示す実施形態と同様の変形・拡
張構造が可能である。図11は本発明の第11実施形態
を示す縦断面図であり、計測孔と計測装置本体を連結す
る流路の形状及び計測孔の形状に特徴をもつもので、こ
こでは、窓で仕切られた被計測部側流路内壁部から被計
測部側に向かって、プラス及びマイナスのイオンを含ま
せたガスを流す構成としている。
【0087】図11に於いて、Y0は容器、Y1aは被
計測部側の壁面、Y1bは計測孔、Y1cはイオンガス
導入口、Y1dは流路、Y2は容器Y0に体納された計
測装置本体(計測器)、Y3は流路Y1d内に設けられ
た、流路Y1dを被計測部側と計測装置本体側とに仕切
る窓である。
【0088】被計測部側の壁面Y1aに設けられた計測
孔Y1bは流路Y1d、及び流路Y1d内の窓Y3を介
して、計測装置本体Y2を収納した容器Y0に連通さ
れ、計測装置本体Y2が流路Y1d、窓Y3、及び壁面
Y1aに設けられた計測孔Y1bを介して被計測部の光
学的計測を行なう。
【0089】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔Y1bと計測装置本体Y2を連結す
る流路Y1dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路Y1d
出口のガス流速を速め、流路Y1dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、塵挨、粉塵、粒子等の計測孔Y1bへの流入を防止
できる。
【0090】更に、この図11に示す第11実施形態で
は、イオンガス導入口Y1cから導入されたイオンガス
を窓Y3で仕切られた被計測部側流路内壁部から被計測
部側に向かって噴出する構成としていることから、帯電
した粉塵、ごみ等が、静電気力によって窓Y3に引き寄
せられる不具合を解消できる。
【0091】即ち、被計測部と計測装置本体Y2の間の
流路Y1dには、窓Y3で仕切られた被計測部側流路内
壁部から被計測部側に向かって、イオンガス導入口Y1
cから導入されプラス及びマイナスのイオンを含ませた
ガスが吹出される。
【0092】この際、窓Y3の被計測部側周囲からプラ
ス及びマイナスに帯電したイオンをもつガスが流れ、当
該ガスが流路Y1dkの口径が狭くなるに連れて加速さ
れ、被計測部側に吹き出される。
【0093】この実現手段としては、イオンガス導入口
Y1c、又はイオンガス導入口Y1cに連通して窓Y3
の周囲に設けられるガス吹出口に、イオン発生装置を取
り付けておき、イオン発生装置で電極間に高電圧を印加
することによってイオン発生させることができる。これ
により窓Y3の被計測部側周囲からプラス及びマイナス
に帯電したイオンをもつガスが流れ、被計測部側に向か
って吹出されることから、例えば摩擦等、種々の現象に
より帯電した粉塵、ごみ等が、窓Y3の周囲から吹き出
すイオンを含んだガスによって中和され、静電気力を失
って、流路Y1d内に沈降したり、ガスの流れに押され
て被計測部側に流れてゆき、静電気力によって窓Y3に
引き寄せられ付着する等の不具合を解消できる。
【0094】この第11実施形態に於いても上記した図
4乃至図10に示す実施形態と同様の変形・拡張構造が
可能である。図12は本発明の第12実施形態を示す縦
断面図であり、計測孔と計測装置本体を連結する流路の
形状及び計測孔の形状に特徴をもつもので、ここでは、
流路の被計測部と計測装置側との間に、塵埃、粉塵等の
ごみを受ける容器を設けた構成としている。
【0095】図12に於いて、Z0は容器、Z1aは被
計測部側の壁面、Z1bは計測孔、Z1cはシールガス
導入口、Z1dは流路、Z2は容器Z0に体納された計
測装置本体(計測器)、Z4はごみ回収容器、Z5は流
路Z1dとごみ回収容器Z4をとの間に設けられた仕切
り板、Z6はごみ回収容器Z4に回収された塵埃、粉塵
等のごみである。
【0096】被計測部側の壁面Z1aに設けられた計測
孔Z1bは流路Z1dを介して、計測装置本体Z2を収
納した容器Z0に連通され、計測装置本体Z2が流路Z
1d、及び壁面Z1aに設けられた計測孔Z1bを介し
て被計測部の光学的計測を行なう。
【0097】このような実施形態に於いても上記各実施
形態と同様に計測孔Z1bと計測装置本体Z2を連結す
る流路Z1dが、光路形状に沿い、被計測部側流路断面
積を計測装置本体側流路断面積より小さくした形状とな
っており、従って、より少ない通気ガス量で流路Z1d
出口のガス流速を速め、流路Z1dに入り込もうとする
勢いのある粉塵等を流速で押し戻すことができることか
ら、塵挨、粉塵、粒子等の計測孔Z1bへの流入を防止
できる。
【0098】更に、この図12に示す第12実施形態で
は、流路Z1d途中の下側に、流路Z1dの中に入って
きた塵埃、粉塵等のごみを回収する、ごみ回収容器Z4
を取付けており、流路Z1dに入り込んだ塵埃、粉塵等
のごみは、流路Z1dの底に落ち、ごみ回収容器Z4容
器に落ちて計測装置本体Z2に届かない。又、ごみ回収
容器Z4には、途中に仕切り板Z5が設けられ、更に容
器底部にごみの取り出し穴が設けられているので、内部
のガスの流れを乱すことなく容器内に堆積した塵埃、粉
塵等のごみを取り出すことができる。
【0099】これにより、例え塵埃、粉塵等のごみが流
路Z1dに入り込んでも流路Z1dと中でごみ回収容器
Z4に回収され、更に、流路Z1dに入り込んだ塵埃、
粉塵等のごみが流路Z1d内に堆積したり、堆積した塵
埃、粉塵等のごみがガスの流れによって再び舞う等の不
具合も解消できる。
【0100】上記したように上記した各実施形態によれ
ば、少ない通気ガス量で塵埃、粉塵、粒子等の計測孔へ
の流入を防止できる。又、上記機能に加えて計測装置本
体側への粒子、燃料ガス等の流入を防止する窓を設置す
ることにより、計測装置本体の性能劣化を軽減すること
ができる。
【0101】又、窓の汚れを除去する装置を付け加える
ことにより、長期間にわたり、安定した視野を確保する
ことができる。又、流路内にに侵入した塵埃、粉塵等を
被計測部側に戻すことができる。
【0102】又、流路内に侵入した塵埃、粉塵等を流路
内で回収することによって、塵埃、粉塵等が流路内に堆
積し再び舞ったり計測視野を阻害するという不具合を招
くことなく、流路内に侵入した塵埃、粉塵等を確実に回
収することができる。
【0103】又、窓を汚すことなく、常にクリーンな状
態で計測することができる。又、比較的少ない流量で、
流路に入り込もうとする勢いのある塵埃、粉塵等を流速
で押し戻すことができる。
【0104】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、計
測装置本体が計測孔を形成する流路を介して計測を行な
う光学的計測装置に於いて、前記計測孔と計測装置本体
を連結する流路の形状更には構造に特徴をもたせること
で、被計測部から計測装置本体(計測器)が設けられた
計測装置側に、媒塵・ゴミ・燃焼ガス等が流入して計測
装置本体側が汚染される不具合を解消した実用性の高い
経済的にも有利な構成をなす光学的計測装置が提供でき
る。
【0105】又、本発明によれば、上記流路の形状に特
徴をもたせることで、少量の通気ガス量で粒子・燃焼ガ
ス等の計測孔への流入を防止できる光学的計測装置が提
供できる。
【0106】又、本発明によれば、上記流路の形状及び
構造の組み合わせに特徴をもたせることで、計測装置本
体側への粒子・燃料ガスの流入を確実に防止して、計測
装置本体の性能劣化を軽減できる光学的計測装置が提供
できる。
【0107】又、本発明によれば、上記流路の形状及び
構造の組み合わせに特徴をもたせることで長期間に亘り
安定した視野を確保できる光学的計測装置が提供でき
る。又、本発明によれば、上記流路の形状及び構造の組
み合わせに特徴をもたせることで、計測装置本体側に侵
入する粉塵を被計測部側に戻すことができ常に安定した
視野を確保できる光学的計測装置が提供できる。
【0108】又、本発明によれば、上記流路の形状及び
構造の組み合わせに特徴をもたせることで、計測装置本
体側に侵入した粉塵が計測装置本体側に堆積して再び舞
ったり、計測装置本体の視野を阻害することなく、侵入
した粉塵を確実に回収できる光学的計測装置が提供でき
る。又、本発明によれば、上記流路の形状及び構造の組
み合わせに特徴をもたせることで、流路に入り込もうと
する勢いのある粉塵を少ないガス流量で効率よく押し戻
すことができる光学的計測装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図2】本発明の第2実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図3】本発明の第3実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図4】本発明の第4実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図5】本発明の第5実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図6】本発明の第5実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図7】本発明の第7実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図8】本発明の第8実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図9】本発明の第9実施形態による光学的計測装置の
構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図10】本発明の第10実施形態による光学的計測装
置の構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図11】本発明の第11実施形態による光学的計測装
置の構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図12】本発明の第12実施形態による光学的計測装
置の構成を示す光軸方向に沿う断面図。
【図13】従来技術1による光学的計測装置の構成を示
す光軸方向に沿う断面図。
【図14】従来技術2による光学的計測装置の構成を示
す光軸方向に沿う断面図。
【図15】従来技術3による光学的計測装置の構成を示
す光軸方向に沿う断面図。
【符号の説明】
10,20,30,40,50,60,70,80,9
0,X0,Y0,Z0…容器 11a,21a,31a,41a,51a,61a,7
1a,81a,91a,X1a,Y1a,Z1a…壁面 11b,21b,31b,41b,51b,61b,7
1b,81b,91b,X1b,Y1b,Z1b…計測
孔 11c,21c,31c,41c,51c,61c,7
1c,81c,91c,X1c,Y1c,Z1c…シー
ルガス導入口 11d,21d,31d,41d,51d,61d,7
1d,81d,91d,X1d,Y1d,Z1d…流路 12,22,32,42,52,62,72,82,9
2,X2,Y2,Z2…計測装置本体(計測器) 53,63,73,83,Y3…窓 61e…汚れ除去用ガス導入口 74…加振機 91f…開口部(傾斜路) X3…ガス噴出口 Y1c…イオンガス導入口 Z4…ごみ回収容器 Z5…仕切り板 Z6…塵埃、粉塵等のごみ。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 計測装置本体が計測孔を形成する流路を
    介して計測を行なう光学的計測装置に於いて、前記計測
    孔と計測装置本体を連結する流路の形状を光路形状に沿
    い、被計測部側流路断面積を計測装置本体側流路断面積
    より小さくしたことを特徴とする光学的計測装置。
  2. 【請求項2】 流路に1個以上の窓部を設けてなる請求
    項1記載の光学的計測装置。
  3. 【請求項3】 流路に、計測装置本体側から被計測部側
    へガスを流通する手段を設けた求項1記載の光学的計測
    装置。
  4. 【請求項4】 流路に設けられた1個以上の窓部と、当
    該窓部に付着した計測を阻害する物質を除去するために
    ガス若しくは粉体若しくは液体を前記窓部へ噴出する手
    段とを具備してなることを特徴とする請求項1記載の光
    学的計測装置。
  5. 【請求項5】 流路に設けられた1個以上の窓部と、当
    該窓部に付着した計測を阻害する物質を除去するために
    前記窓部に振動を与える加振機とを具備してなることを
    特徴とする請求項1記載の光学的計測装置。
  6. 【請求項6】 被計測部側が計測装置本体側より低位と
    なるように流路を下向きに取り付けたことを特徴とする
    請求項1記載の光学的計測装置。
  7. 【請求項7】 被計測部側のガスを通すための流路が計
    測装置本体側よりも狭くなり、かつ流路の下側が被計測
    部側に近い部分で下向きに拡がる形状の計測孔を有して
    なる請求項1記載の光学的計測装置。
  8. 【請求項8】 流路の被計測部側近傍に、計測孔に向け
    た小口径の複数のガス噴出口を設けてなることを特徴と
    する請求項1記載の光学的計測装置。
  9. 【請求項9】 流路の被計測部側と計測装置本体側との
    間に窓を設け、当該窓で仕切られた被計測部側流路内壁
    部から被計測部側に向かって、プラス及びマイナスのイ
    オンを含ませたガスを流すことを特徴とする請求項1記
    載の光学的計測装置。
  10. 【請求項10】 流路の被計測部と計測装置側との間
    に、塵埃を受ける容器を設けたことを特徴とする請求項
    1記載の光学的計測装置。
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