JPH10156168A - Intermittent ozone feeder - Google Patents

Intermittent ozone feeder

Info

Publication number
JPH10156168A
JPH10156168A JP32259996A JP32259996A JPH10156168A JP H10156168 A JPH10156168 A JP H10156168A JP 32259996 A JP32259996 A JP 32259996A JP 32259996 A JP32259996 A JP 32259996A JP H10156168 A JPH10156168 A JP H10156168A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ozone
adsorption
cooling
intermittent
desorption tower
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP32259996A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3604245B2 (en
Inventor
Shingo Mine
慎吾 峯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP32259996A priority Critical patent/JP3604245B2/en
Publication of JPH10156168A publication Critical patent/JPH10156168A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3604245B2 publication Critical patent/JP3604245B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Agricultural Chemicals And Associated Chemicals (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify the subject feeder, to reduce cost and to secure the stability when the feeder is operated by using the pipeline of an ozone adsorbing and desorbing tower for the cooling water and heating water. SOLUTION: The ozonized oxygen generated in an ozonizer 1 is introduced into an ozone adsorbing and desorbing tower 2, and only the ozone is adsorbed. Since the amt. of ozone adsorbed in the ozone adsorbing and desorbing tower 2 is increased as the temp. of an adsorbent lowers, the cooling water by a cooler 7 flows into the tower 2 in the ozone adsorption period to cool the adsorbent to -30 deg.C. In the ozone desorption period, a brine preheated by a heater 6a in a brine tank 6 flows into the tower 2 to heat the adsorbent cooled to a low temp. in the adsorption period, and the desorption of ozone is promoted. The pipeline of the tower 2 is used for the cooling water and heating water in this case, and a circulating pump 9 is used in common. Consequently, the constitution of the whole feeder as well as the structure of the tower 2 is simplified, and the assembling cost is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、間欠オゾン供給
装置に関するものである。
[0001] The present invention relates to an intermittent ozone supply device.

【0002】[0002]

【従来の技術】オゾンは強力な酸化力を持ちかつ無公害
なため、環境及び化学分野等で広く適用されるようにな
っている。このオゾンを使用する方法として、連続的に
使用する方法と間欠的に使用する方法がある。以下、間
欠的オゾン使用方法を採用するに至った過程について簡
単に説明する。
2. Description of the Related Art Ozone has a strong oxidizing power and is non-polluting, and thus has been widely applied in the fields of environment and chemistry. As a method of using this ozone, there are a method of using continuously and a method of using it intermittently. Hereinafter, a brief description will be given of a process leading to the adoption of the intermittent ozone use method.

【0003】発電所や化学工場などの冷却水系では、水
管路内壁や熱交換器に藻類、貝類などの微生物が付着
し、送水量の低下、冷却水配管の閉塞及び熱交換効率の
低下を引き起こし、そのメンテナンスに多大の労力を費
やすとともに、大量のエネルギー損失が生じている。ま
た、半導体関連の超純水製造ラインにおいても微生物が
発生し、製品の不良率を高める要因の一つとなってい
る。
[0003] In a cooling water system such as a power plant or a chemical plant, microorganisms such as algae and shellfish adhere to the inner wall of a water pipe and a heat exchanger, causing a decrease in water supply, a blockage of cooling water piping, and a decrease in heat exchange efficiency. In addition, a great deal of energy is spent on maintenance, and a large amount of energy is lost. Microorganisms also occur in semiconductor-related ultrapure water production lines, which is one of the factors that increase the product defect rate.

【0004】このような異物付着を防止するために、従
来は塩素系殺菌剤を大量に投与する方法が行われてきた
が、この方法は残留塩素系殺菌剤の流出による環境汚染
等の副次的な問題が派生し、分解後も系内に塩素イオン
が残るといった問題がある。
[0004] In order to prevent such foreign matter from adhering, a method of administering a large amount of a chlorine-based disinfectant has conventionally been performed. Problems arise, and chlorine ions remain in the system after decomposition.

【0005】一方、オゾンは塩素よりも強力な殺菌剤で
あり、しかも水中で比較的短時間に無害な酸素分子に分
解するため、付着防止剤として優れている。しかしなが
ら、オゾンの生成コストは塩素に比べて高価である。そ
こで、高濃度のオゾンを例えば1日数回(1〜2回)、
短時間(各5分間)で間欠的に注入することにより微生
物付着を防止できることが見い出され、この目的に沿っ
た間欠オゾン供給装置が開発されるに至った。
On the other hand, ozone is a stronger disinfectant than chlorine and decomposes into harmless oxygen molecules in water in a relatively short time, so that it is an excellent antiadhesion agent. However, the cost of producing ozone is higher than that of chlorine. Therefore, high-concentration ozone is applied several times a day (1-2 times), for example.
It has been found that the intermittent injection in a short time (5 minutes each) can prevent the adhesion of microorganisms, and an intermittent ozone supply device for this purpose has been developed.

【0006】図15は従来のこの種の間欠オゾン供給装
置を示す構成図である。図において、酸素を原料として
オゾンを発生するオゾン発生機31と、このオゾン発生
機31により発生したオゾンを吸着剤(例:シリカゲ
ル)により吸着し、加温により脱着するオゾン吸脱着塔
32と、このオゾン吸脱着塔32によって吸着できなか
ったオゾン化酸素を循環する循環ブロワ33により循環
系が構成されており、オゾン発生機31は冷却装置31
aにより冷却されている。酸素供給源34によりオゾン
発生のための酸素が供給され、オゾン化酸素循環時電動
弁35a,35bが開となり、そしてオゾン吸脱着塔3
2を減圧し、オゾンを脱着するときに電動弁35cが開
となる。温ブラインタンク36はオゾン吸脱着塔32を
加温するためのブラインを保有しており、ヒータ36a
は、当該ブラインを加温するために設けられ、電磁接触
器の接点36bは、ブライン温度を調整するため、商用
電源36cを入、切している。冷凍機37はオゾン吸着
時、オゾン吸脱着塔32を冷却するものであり、エゼク
タ38はオゾン脱着時、当該オゾン吸脱着塔32を減圧
するものである。
FIG. 15 is a block diagram showing a conventional intermittent ozone supply apparatus of this kind. In the figure, an ozone generator 31 that generates ozone using oxygen as a raw material, an ozone adsorption / desorption tower 32 that adsorbs ozone generated by the ozone generator 31 with an adsorbent (eg, silica gel) and desorbs by heating, A circulation system is configured by a circulation blower 33 that circulates ozonized oxygen that could not be adsorbed by the ozone adsorption / desorption tower 32, and the ozone generator 31 includes a cooling device 31.
a. Oxygen for generating ozone is supplied by the oxygen supply source 34, the electric valves 35a and 35b are opened during the circulation of ozonized oxygen, and the ozone adsorption / desorption tower 3 is opened.
2 is depressurized and the electric valve 35c is opened when desorbing ozone. The warm brine tank 36 has a brine for heating the ozone adsorption / desorption tower 32, and has a heater 36a.
Is provided to heat the brine, and a contact 36b of the electromagnetic contactor turns on and off the commercial power supply 36c to adjust the brine temperature. The refrigerator 37 cools the ozone adsorption / desorption tower 32 during ozone adsorption, and the ejector 38 depressurizes the ozone adsorption / desorption tower 32 during ozone desorption.

【0007】次に、上記装置の動作について説明する。
図16は本装置の動作シーケンスを示す図である。この
動作はオゾン吸着動作とオゾン脱着動作に分けられる。
まずオゾン吸着動作について説明すると、オゾン発生機
31、オゾン吸脱着塔32、循環ブロワ33はこの順に
循環系を構成しており、電動弁35a,35bは開、電
動弁35cは閉である。オゾン発生機31で生成したオ
ゾン化酸素は吸脱着塔32へ導入され、ここでオゾンの
みが吸着剤で吸着される。オゾン発生機31は、オゾン
化酸素を生成している期間(オゾン発生中)、冷却装置
31aにより冷却される。オゾン吸脱着塔32で吸着さ
れるオゾン量は吸着剤(例:シリカゲル)が低温である
ほど大となるので、オゾン吸着期間には冷凍機37によ
り−30℃以下に冷却される。
Next, the operation of the above device will be described.
FIG. 16 is a diagram showing an operation sequence of the present apparatus. This operation is divided into an ozone adsorption operation and an ozone desorption operation.
First, the ozone adsorption operation will be described. The ozone generator 31, the ozone adsorption / desorption tower 32, and the circulation blower 33 constitute a circulation system in this order, and the electric valves 35a and 35b are open and the electric valve 35c is closed. Ozonized oxygen generated by the ozone generator 31 is introduced into the adsorption / desorption tower 32, where only ozone is adsorbed by the adsorbent. The ozone generator 31 is cooled by the cooling device 31a while ozonized oxygen is being generated (during ozone generation). The amount of ozone adsorbed in the ozone adsorption / desorption tower 32 increases as the temperature of the adsorbent (eg, silica gel) decreases, and is cooled to −30 ° C. or less by the refrigerator 37 during the ozone adsorption period.

【0008】次にオゾン脱着動作について説明する。オ
ゾンの脱着動作に入ると、電動弁35a,35bは閉と
なり、電動弁35cが開となって、温ブラインタンク3
6内のブラインが吸脱着塔32に流れ、吸着動作時低温
に冷却されていた吸着剤を予め設定された時間だけ昇温
させてオゾンの脱着を促進する。該ブラインは、ヒータ
36aによって加温され、さらに、該ブラインの温度を
調整するため、商用電源36cを図16で示すように電
磁接触器の接点36bで入、切する。
Next, the ozone desorbing operation will be described. When the ozone desorbing operation starts, the electric valves 35a and 35b are closed, the electric valve 35c is opened, and the warm brine tank 3 is opened.
The brine in 6 flows into the adsorption / desorption tower 32, and the temperature of the adsorbent, which has been cooled to a low temperature during the adsorption operation, is raised for a preset time to promote the desorption of ozone. The brine is heated by a heater 36a, and a commercial power supply 36c is turned on and off at a contact 36b of an electromagnetic contactor as shown in FIG. 16 to adjust the temperature of the brine.

【0009】オゾン脱着のための温ブラインによる加温
動作が完了すると、エゼクタ38に水が流れ、回路を減
圧吸引して、電動弁35cが開となってオゾンを吸脱着
塔32より脱着し、オゾン水を生成する。なお上記のよ
うにオゾン吸脱着塔32を減圧吸引して、オゾンを脱着
するためには、本装置の外部よりエゼクタ38に水が流
れている条件を本装置へ入力することが必要である。脱
着終了後は酸素充填動作を行ない再度吸着動作が開始す
る。
When the heating operation by the warm brine for desorption of ozone is completed, water flows to the ejector 38, the circuit is suctioned under reduced pressure, the electric valve 35c is opened, and ozone is desorbed from the adsorption / desorption tower 32, Generates ozone water. In order to desorb ozone by depressurizing and sucking the ozone adsorption / desorption tower 32 as described above, it is necessary to input the conditions under which water flows from the outside of the apparatus to the ejector 38 to the apparatus. After the desorption, the oxygen charging operation is performed, and the adsorption operation is started again.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】従来の間欠オゾン供給
装置は、以上のように構成されているので、冷凍機から
オゾン吸脱着塔につながる冷却用配管と、温ブラインタ
ンクからオゾン吸脱着塔につながる加温用配管の2種類
の配管を設置する必要があり、構造が複雑となる等の問
題点があった。
Since the conventional intermittent ozone supply apparatus is constructed as described above, the cooling pipe from the refrigerator to the ozone adsorption / desorption tower and the hot brine tank from the ozone adsorption / desorption tower are connected to the cooling pipe. It is necessary to install two types of pipes, ie, heating pipes to be connected, and there is a problem that the structure becomes complicated.

【0011】又、オゾン吸脱着塔は、冷凍機の冷媒(例
えばフロン)で直接冷却されているので、オゾン吸脱着
塔の所用冷却容量に対し、冷凍機の冷却能力が大き過ぎ
る場合、当該冷凍機が頻繁に運転、停止を繰り返すこと
になり、冷凍機の安定な動作を保つことが難しかった。
Further, since the ozone adsorption / desorption tower is directly cooled by the refrigerant (eg, chlorofluorocarbon) of the refrigerator, if the cooling capacity of the refrigerator is too large with respect to the required cooling capacity of the ozone adsorption / desorption tower, the refrigeration is not performed. Since the machine repeatedly starts and stops, it is difficult to maintain stable operation of the refrigerator.

【0012】更に、オゾン脱着動作時間は、タイマーに
よって予め設定されているため、オゾン吸脱着塔の吸着
剤によるオゾンの吸着状態を確認することができないの
で、オゾン吸脱着塔によるオゾンの吸着が、既に飽和状
態であるにもかかわらず、オゾン発生機がその後も継続
してオゾンを発生し続けるという無駄な動作が生じる欠
点があった。
Further, since the ozone desorption operation time is set in advance by a timer, it is impossible to confirm the state of ozone adsorption by the adsorbent of the ozone adsorption / desorption tower. There is a drawback that the ozone generator continues to generate ozone even after that, even though it is already in a saturated state, a useless operation occurs.

【0013】又、温ブラインの温度制御は、電磁接触器
の接点を入、切することにより行なっていたため、ヒー
タの容量が大容量の場合、電磁接触器の接点開放時のア
ークにより、接点が摩耗するという問題点、及び電磁接
触器の接点の入、切での瞬時の商用電源の加圧によるス
トレスのため、ヒータの断線等が生じる問題点があっ
た。更に、オゾン吸脱着塔を冷凍機の冷媒(フロン)で
直接冷却していたため、オゾン発生機を冷却するために
は別に冷却装置を設ける必要があった。
Further, since the temperature control of the warm brine is performed by turning on and off the contacts of the electromagnetic contactor, when the capacity of the heater is large, the contacts at the time of opening the contacts of the electromagnetic contactor cause the contacts to be broken. There was a problem that the heater was broken due to stress caused by instantaneous pressurization of the commercial power supply when the contacts of the electromagnetic contactor were turned on and off. Furthermore, since the ozone adsorption / desorption tower was directly cooled by the refrigerant (Freon) of the refrigerator, a separate cooling device had to be provided to cool the ozone generator.

【0014】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、オゾン吸脱着塔だけでな
く、間欠オゾン供給装置全体の構成をより簡単にし、コ
ストの低減と装置運転時の安定性を確保することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and can simplify not only the structure of the ozone adsorption / desorption tower but also the entire structure of the intermittent ozone supply apparatus, thereby reducing the cost and the operation time of the apparatus. The purpose is to ensure the stability of

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
る間欠オゾン供給装置は、オゾンの吸着時にオゾン吸脱
着塔を冷却する冷却手段から供給される冷却水、及びオ
ゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段から
供給される加温水が流される共通配管を設けたものであ
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an intermittent ozone supply apparatus, comprising: cooling water supplied from a cooling means for cooling an ozone adsorption / desorption tower when adsorbing ozone; and ozone absorption when ozone is desorbed. A common pipe is provided in which heating water supplied from a heating means for heating the desorption tower flows.

【0016】この発明の請求項2に係る間欠オゾン供給
装置は、共通配管に冷却水および加温水を循環させるた
めのポンプを設けたものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an intermittent ozone supply apparatus, wherein a pump for circulating cooling water and heated water is provided in a common pipe.

【0017】この発明の請求項3に係る間欠オゾン供給
装置は、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷
却手段の吐出側に冷却水用タンクを設けたものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided an intermittent ozone supply apparatus, wherein a cooling water tank is provided on a discharge side of a cooling means for cooling an ozone adsorption / desorption tower when ozone is adsorbed.

【0018】この発明の請求項4に係る間欠オゾン供給
装置は、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷
却手段の入口側及び出口側にそれぞれ2方弁を設けると
共に、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温
手段の入口側及び出口側にもそれぞれ2方弁を設けたも
のである。
In the intermittent ozone supply apparatus according to a fourth aspect of the present invention, a two-way valve is provided on each of an inlet side and an outlet side of a cooling means for cooling the ozone adsorption / desorption tower when adsorbing ozone, and the ozone is supplied when ozone is desorbed. Two-way valves are also provided on the inlet side and the outlet side of the heating means for heating the adsorption / desorption tower.

【0019】この発明の請求項5に係る間欠オゾン供給
装置は、冷却手段及び加温手段と共通配管との間にコモ
ン側を共通配管側に接続した3方弁を設けたものであ
る。
The intermittent ozone supply apparatus according to a fifth aspect of the present invention is provided with a three-way valve having the common side connected to the common pipe side between the cooling means and the heating means and the common pipe.

【0020】この発明の請求項6に係る間欠オゾン供給
装置は、オゾン吸脱着塔の入口側及び出口側にそれぞれ
オゾン濃度計を設けると共に、オゾン濃度計の出力信号
を差動比較する差動比較器を設けたものである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an intermittent ozone supply device, wherein an ozone densitometer is provided on each of an inlet side and an outlet side of an ozone adsorption / desorption tower, and a differential comparison for differentially comparing output signals of the ozone densitometer is provided. A vessel is provided.

【0021】この発明の請求項7に係る間欠オゾン供給
装置は、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却
手段の吐出側に冷却手段制御用温度検出器を設けたもの
である。
The intermittent ozone supply apparatus according to claim 7 of the present invention is provided with a cooling means controlling temperature detector on the discharge side of the cooling means for cooling the ozone adsorption / desorption tower during ozone adsorption.

【0022】この発明の請求項8に係る間欠オゾン供給
装置は、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加
温手段におけるヒータと電源との間に半導体素子で構成
された電力制御装置を設けたものである。
An intermittent ozone supply device according to claim 8 of the present invention is a power control device comprising a semiconductor element between a heater and a power supply in a heating means for heating an ozone adsorption / desorption tower at the time of desorption of ozone. It is provided.

【0023】この発明の請求項9に係る間欠オゾン供給
装置は、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却
手段とオゾン発生機との間に冷却水用配管を設けたもの
である。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an intermittent ozone supply apparatus in which a cooling water pipe is provided between a cooling means for cooling an ozone adsorption / desorption tower during ozone adsorption and an ozone generator.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による間
欠オゾン供給装置の構成を示したものである。図におい
て、酸素を原料として無声放電等によってオゾンを生成
するオゾン発生機1と、このオゾン発生機1により発生
したオゾンを吸着剤(例:シリカゲル)により吸着する
とともに加温によって該オゾンを脱着するオゾン吸脱着
塔2と、このオゾン吸脱着塔2によって吸着出来なかっ
たオゾン化酸素を循環する循環ブロワ3により循環系が
構成されている。酸素供給源4によりオゾン発生のため
の酸素が供給され、オゾン化酸素循環時電動弁5a,5
bが開となり、そしてオゾン吸脱着塔2を減圧し、オゾ
ンを脱着するときに電動弁5cが開となる。温ブライン
タンク6はオゾン吸脱着塔2を加温するためのブライン
を保有しており、ヒータ6aは、当該ブラインを加温す
るために設けられ、電磁接触器の接点6bは、ブライン
温度を調整するため、商用電源6cを入、切している。
冷却装置7はオゾン吸着時、オゾン吸脱着塔2を冷却す
るものであり、エゼクタ8はオゾン脱着時、当該オゾン
吸脱着塔2を減圧するものである。冷却水および加温水
は循環ポンプ9により循環されると共に、冷却水および
加温水はオゾン吸着時及びオゾン脱着時に共通配管10
a,10bを介して流される。
Embodiment 1 FIG. FIG. 1 shows the configuration of an intermittent ozone supply device according to Embodiment 1 of the present invention. In the figure, an ozone generator 1 that generates ozone by silent discharge or the like using oxygen as a raw material, and the ozone generated by the ozone generator 1 is adsorbed by an adsorbent (eg, silica gel) and desorbed by heating. A circulation system is constituted by the ozone adsorption / desorption tower 2 and a circulation blower 3 for circulating ozonized oxygen that could not be adsorbed by the ozone adsorption / desorption tower 2. Oxygen for generating ozone is supplied from the oxygen supply source 4 and the electric valves 5a, 5
b is opened, and the pressure of the ozone adsorption / desorption tower 2 is reduced, and the electric valve 5c is opened when desorbing ozone. The warm brine tank 6 has a brine for heating the ozone adsorption / desorption tower 2, a heater 6a is provided for heating the brine, and a contact 6b of the electromagnetic contactor adjusts the brine temperature. Therefore, the commercial power supply 6c is turned on and off.
The cooling device 7 cools the ozone adsorption / desorption tower 2 during ozone adsorption, and the ejector 8 depressurizes the ozone adsorption / desorption tower 2 during ozone desorption. The cooling water and the warming water are circulated by a circulation pump 9, and the cooling water and the warming water are supplied to a common pipe 10 at the time of ozone adsorption and ozone desorption.
a, 10b.

【0025】次に動作について説明する。図2は本実施
形態1の動作シーケンスを示す図であり、この動作はオ
ゾン吸着動作、オゾン脱着動作とに分けられる。まずオ
ゾン吸着動作について説明する。オゾン発生機1、オゾ
ン吸脱着塔2、循環ブロワ3をそれぞれ運転させ、電動
弁5a,5bを開とし、電動弁5cを閉とする。この
時、オゾン発生機1、オゾン吸脱着塔2、循環ブロワ3
はこの順に酸素の循環系を構成しており、酸素供給源4
からは循環系内圧が一定(0.7kg/cm2G)になるよう
酸素が供給される。
Next, the operation will be described. FIG. 2 is a diagram showing an operation sequence of the first embodiment, and this operation is divided into an ozone adsorption operation and an ozone desorption operation. First, the ozone adsorption operation will be described. The ozone generator 1, the ozone adsorption / desorption tower 2, and the circulation blower 3 are respectively operated to open the electric valves 5a and 5b and close the electric valve 5c. At this time, the ozone generator 1, the ozone adsorption / desorption tower 2, the circulation blower 3
Constitutes an oxygen circulation system in this order, and the oxygen supply source 4
Is supplied from the reactor so that the internal pressure of the circulation system becomes constant (0.7 kg / cm 2 G).

【0026】オゾン発生機1で生成したオゾン化酸素
は、オゾン吸脱着塔2へ導入され、ここでオゾンのみが
吸着剤(例:シリカゲル)により吸着される。オゾン発
生機1でオゾン化されなかった酸素は、循環ブロワ3に
より再度、オゾン発生機1へ返還されて循環使用され
る。オゾン吸脱着塔2で吸着されるオゾン量は吸着剤
(例:シリカゲル)が低温であるほど大となるので、オ
ゾン吸着期間には冷却装置7による冷却水が、循環ポン
プ9、配管10a、オゾン吸脱着塔2、配管10bの経
路でオゾン吸脱着塔2に流れ、−30℃以下に冷却す
る。このように予め設定された時間、オゾンをオゾン吸
脱着塔2に吸着させて、オゾンの吸着動作を完了する。
The ozonized oxygen generated by the ozone generator 1 is introduced into an ozone adsorption / desorption tower 2, where only ozone is adsorbed by an adsorbent (eg, silica gel). Oxygen that has not been ozonized by the ozone generator 1 is returned to the ozone generator 1 again by the circulation blower 3 and is reused. The amount of ozone adsorbed in the ozone adsorption / desorption tower 2 increases as the temperature of the adsorbent (eg, silica gel) becomes lower. Therefore, during the ozone adsorption period, the cooling water from the cooling device 7 supplies the circulating pump 9, the pipe 10a, and the ozone. It flows into the ozone adsorption / desorption tower 2 through the path of the adsorption / desorption tower 2 and the pipe 10b, and is cooled to −30 ° C. or lower. As described above, ozone is adsorbed to the ozone adsorption / desorption tower 2 for a preset time, and the ozone adsorption operation is completed.

【0027】次にオゾンの脱着動作について説明する。
オゾンの脱着動作に入ると、電動弁5a,5bは閉、電
動弁5cが開となり、予めヒータ6aで昇温(通常40
℃)された温ブラインタンク6内のブライン(加温水)
が、循環ポンプ9、配管10a、オゾン吸脱着塔2、配
管10bの経路でオゾン吸脱着塔2に流れ、吸着動作時
低温に冷却されていた吸着剤を予め設定された時間だけ
昇温させてオゾンの脱着を促進する。オゾン脱着のため
の加温水による加温動作が完了すると、エゼクタ8に水
が流れ、回路を減圧吸引して、オゾンをオゾン吸脱着塔
2より脱着し、オゾン水を生成する。
Next, the operation of desorbing ozone will be described.
When the desorption operation of ozone is started, the electric valves 5a and 5b are closed, the electric valve 5c is opened, and the temperature is raised in advance by the heater 6a (normally 40).
° C) brine (warmed water) in the heated brine tank 6
Flows through the circulation pump 9, the pipe 10a, the ozone adsorption / desorption tower 2, and the pipe 10b into the ozone adsorption / desorption tower 2, and the adsorbent cooled to a low temperature during the adsorption operation is heated for a preset time. Promotes ozone desorption. When the heating operation using the heated water for desorption of ozone is completed, water flows into the ejector 8, the circuit is suctioned under reduced pressure, and ozone is desorbed from the ozone adsorption / desorption tower 2 to generate ozone water.

【0028】オゾンの吸着動作は長時間(11〜23時
間)かけて行なうが、オゾンの脱着は上記のようにオゾ
ン吸脱着塔2の昇温(30〜60分)、減圧(約5分)
により短時間で行なわれる。脱着終了後は酸素充填動作
を行ない再度上記吸着動作が開始する。
The operation of adsorbing ozone is performed over a long period of time (11 to 23 hours). Desorption of ozone is performed by raising the temperature of the ozone adsorption / desorption tower 2 (30 to 60 minutes) and reducing the pressure (about 5 minutes) as described above.
In a shorter time. After the desorption is completed, the oxygen charging operation is performed, and the adsorption operation is started again.

【0029】本実施の形態1では、オゾン吸脱着塔2の
冷却水用配管及び加温水用配管とを共用すると共に、冷
却水および加温水を循環させるための循環ポンプ9をも
共用にしたことにより、オゾン吸脱着塔2の構造だけで
なく、間欠オゾン供給装置全体の構成が簡単になり、組
立コストの低減が図れる効果がある。
In the first embodiment, the cooling water pipe and the heating water pipe of the ozone adsorption / desorption tower 2 are shared, and the circulation pump 9 for circulating the cooling water and the heated water is also shared. Accordingly, not only the structure of the ozone adsorption / desorption tower 2 but also the structure of the entire intermittent ozone supply device is simplified, and the effect of reducing the assembly cost is obtained.

【0030】実施の形態2.上記実施の形態1では、オ
ゾン吸脱着塔2の冷却水及び加温水用配管10a,10
bと該冷却水及び加温水の循環ポンプ9を共用化する場
合について述べたが、本実施の形態2では、上記実施の
形態1の構成に加えて、冷却装置7の吐出配管側に、冷
却水用タンク11を設けた場合について述べる。
Embodiment 2 FIG. In the first embodiment, the cooling water and heating water pipes 10 a and 10
b, the cooling water and the warming water circulation pump 9 are shared. In the second embodiment, in addition to the configuration of the first embodiment, a cooling pipe is provided on the discharge pipe side of the cooling device 7. The case where the water tank 11 is provided will be described.

【0031】図3は本実施の形態2による間欠オゾン供
給装置を示す構成図である。図において、冷却水用タン
ク11が冷却装置7の吐出側に設置されており、オゾン
吸脱着塔2の所要冷却容量が大きい場合には、この冷却
水用タンク11から多量の冷却水を排出するようにし、
反対に、当該オゾン吸脱着塔2の所要冷却容量が小さい
場合には、この冷却水用タンク11から少量の冷却水を
排出するようにする。このように冷却水用タンク11の
水量を調整することにより、オゾン吸脱着塔2の所要冷
却容量と冷却装置7の冷却能力の平衡を保つことが容易
となる。
FIG. 3 is a configuration diagram showing an intermittent ozone supply device according to the second embodiment. In the figure, a cooling water tank 11 is provided on the discharge side of the cooling device 7, and when the required cooling capacity of the ozone adsorption / desorption tower 2 is large, a large amount of cooling water is discharged from the cooling water tank 11. So that
Conversely, when the required cooling capacity of the ozone adsorption / desorption tower 2 is small, a small amount of cooling water is discharged from the cooling water tank 11. By adjusting the amount of water in the cooling water tank 11 in this way, it is easy to maintain a balance between the required cooling capacity of the ozone adsorption / desorption tower 2 and the cooling capacity of the cooling device 7.

【0032】実施の形態3.上記実施の形態1,2で
は、温ブラインタンク6と冷却装置7とを隔離するバル
ブが取り付けられていないため、オゾンの吸着及び脱着
動作時に、加温水と冷却水が混合し、加温水の温度低下
及び冷却水の温度上昇が生じることがある。そこで実施
の形態3においては、加温水と冷却水が混合しないよう
にバルブを設けた。
Embodiment 3 FIG. In the first and second embodiments, since the valve for isolating the warm brine tank 6 and the cooling device 7 is not attached, the heating water and the cooling water are mixed during the ozone adsorption and desorption operations, and the temperature of the heating water is reduced. A decrease and an increase in the temperature of the cooling water may occur. Therefore, in the third embodiment, a valve is provided so that the heating water and the cooling water do not mix.

【0033】図4は本実施の形態3による間欠オゾン供
給装置を示す構成図、図5は動作シーケンスを示す図で
ある。図4においては図3の構成に加えて、冷却装置7
の入口側及び出口側に2方電動弁12a,12bが取り
付けられており、更に温ブラインタンク6の入口側及び
出口側にも2方電動弁12c,12dが取り付けられて
いる。
FIG. 4 is a configuration diagram showing an intermittent ozone supply device according to the third embodiment, and FIG. 5 is a diagram showing an operation sequence. In FIG. 4, in addition to the configuration of FIG.
The two-way electric valves 12a and 12b are mounted on the inlet side and the outlet side, respectively, and the two-way electric valves 12c and 12d are further mounted on the inlet side and the outlet side of the warm brine tank 6.

【0034】本実施の形態の動作については、図5にお
ける動作タイムチャートに示すように、オゾン吸着時
に、バルブ12a,12bを開とすると共に、バルブ1
2c,12dを閉とし、更にオゾンの脱着時にはバルブ
12a,12bを閉とすると共に、バルブ12c,12
dを開とすることにより、加温水と冷却水が混合するこ
とによる、加温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生
じることを抑制できる。
In the operation of this embodiment, as shown in the operation time chart of FIG. 5, the valves 12a and 12b are opened and the valve 1
2c and 12d are closed, and when ozone is desorbed, the valves 12a and 12b are closed.
By opening d, it is possible to prevent the temperature of the warming water from decreasing and the temperature of the cooling water from rising due to the mixing of the warming water and the cooling water.

【0035】実施の形態4.図6は本実施の形態4によ
る間欠オゾン供給装置を示す構成図、図7は動作シーケ
ンスを示す図である。図6においては、図3の構成に加
えて、コモン側をオゾン吸脱着塔2を循環する冷却水及
び加温水の共通配管側に接続した3方電動弁13a,1
3bが設けられている。
Embodiment 4 FIG. FIG. 6 is a configuration diagram illustrating an intermittent ozone supply device according to the fourth embodiment, and FIG. 7 is a diagram illustrating an operation sequence. In FIG. 6, in addition to the configuration of FIG. 3, a three-way electric valve 13a, 1 having a common side connected to a common piping side of cooling water and warming water circulating in the ozone adsorption / desorption tower 2 is shown.
3b is provided.

【0036】本実施の形態の動作については、図7の動
作タイムチャートに示すように、オゾン吸着時には、3
方電動弁13a及び13bの冷却装置7側のみ開とし、
温ブラインタンク6側を閉とすることにより、冷却水を
循環ポンプ9によりオゾン吸脱着塔2に流し、更にオゾ
ン脱着時には温ブラインタンク6側のみ開とし、冷却装
置7側を閉とすることにより、加温水を循環ポンプ9に
よりオゾン脱着塔に流すことができる。以上のように構
成することによる、加温水と冷却水が混合することによ
り、加温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生じるこ
とを抑制でき、さらに実施の形態3の場合に比較して、
バルブの個数を低減できる効果がある。
As shown in the operation time chart of FIG. 7, the operation of this embodiment is performed at the time of ozone adsorption.
Open only the cooling device 7 side of the one-way electric valves 13a and 13b,
By closing the warm brine tank 6 side, the cooling water is caused to flow to the ozone adsorption / desorption tower 2 by the circulation pump 9, and when the ozone is desorbed, only the warm brine tank 6 side is opened and the cooling device 7 side is closed. The heated water can be flowed to the ozone desorption tower by the circulation pump 9. With the configuration as described above, by mixing the warming water and the cooling water, it is possible to suppress a decrease in the temperature of the warming water and an increase in the temperature of the cooling water, and further, as compared with the case of Embodiment 3,
This has the effect of reducing the number of valves.

【0037】実施の形態5.上記実施の形態1〜4また
は従来技術においては、オゾン吸着動作時間は、タイマ
ーによってあらかじめ設定されているため、オゾン吸脱
着塔2の吸着剤によるオゾンの吸着状態を確認すること
が出来なかった。このため、オゾン吸脱着塔2によるオ
ゾンの吸着が、すでに飽和状態であるにもかかわらず、
オゾン発生機1がその後も継続してオゾンを発生し続け
るという無駄な動作が生じる欠点があった。
Embodiment 5 In the first to fourth embodiments or the related art, the ozone adsorption operation time is set in advance by the timer, and therefore, the ozone adsorption state of the ozone adsorption / desorption tower 2 by the adsorbent cannot be confirmed. Therefore, although the ozone adsorption by the ozone adsorption / desorption tower 2 is already in a saturated state,
There is a disadvantage that the ozone generator 1 continues to generate ozone even after that, causing an unnecessary operation.

【0038】そこで本実施の形態5では、図8の構成図
に示すように、オゾン吸脱着塔2の入口側及び出口側に
オゾン濃度計14a及び14bを取り付け、該オゾン濃
度計14a及び14bの出力信号(電気信号)を差動比
較する差動比較器15を取り付けることとした。
Therefore, in the fifth embodiment, as shown in the block diagram of FIG. 8, ozone concentration meters 14a and 14b are attached to the inlet side and the outlet side of the ozone adsorption / desorption tower 2, and the ozone concentration meters 14a and 14b are A differential comparator 15 for differentially comparing output signals (electric signals) is provided.

【0039】図9は本実施の形態5における動作シーケ
ンスを示す図であり、図9の動作タイムチャートに示す
ように、オゾン濃度計14a及び14bの出力信号を差
動比較器15で比較し、オゾン濃度計14a及び14b
の出力信号の差が、規定値以下になった時点で、差動比
較器15によりパルス信号を出力し、オゾン吸着動作を
終了し、脱着動作を開始することとする。以上のように
構成することにより、オゾン吸脱着塔2によるオゾンの
吸着が、飽和状態となった時点で、オゾン発生機1によ
るオゾン発生を停止できる効果がある。
FIG. 9 is a diagram showing an operation sequence in the fifth embodiment. As shown in the operation time chart of FIG. 9, the output signals of the ozone concentration meters 14a and 14b are compared by the differential comparator 15, Ozone concentration meters 14a and 14b
When the difference between the output signals becomes equal to or less than the specified value, a pulse signal is output from the differential comparator 15 to terminate the ozone adsorption operation and start the desorption operation. With the above configuration, the ozone generation by the ozone generator 1 can be stopped when the adsorption of ozone by the ozone adsorption / desorption tower 2 becomes saturated.

【0040】実施の形態6.図10は実施の形態6によ
る間欠オゾン供給装置を示す構成図であり、図10に示
すように、冷却用タンク11の出口側に温度検出器16
を取り付け、更に当該温度検出器16からの信号に基づ
き、冷却装置7の操作を制御する制御装置17を設置す
る。上記のような構成において、冷却装置7は、常に冷
却用タンク11の出口温度が一定(通常−30℃)とな
るように制御装置17によって制御されるため、冷却装
置7の安定した動作を得ることができる効果がある。
Embodiment 6 FIG. FIG. 10 is a configuration diagram showing an intermittent ozone supply device according to the sixth embodiment. As shown in FIG.
And a control device 17 for controlling the operation of the cooling device 7 based on the signal from the temperature detector 16. In the above-described configuration, the cooling device 7 is controlled by the control device 17 so that the outlet temperature of the cooling tank 11 is always constant (usually −30 ° C.), so that stable operation of the cooling device 7 is obtained. There is an effect that can be.

【0041】実施の形態7.上記実施の形態1〜6また
は従来技術においては、温ブラインの温度制御は、電磁
接触器の接点6bを入、切することにより行なっていた
ため、ヒータ6aの容量が大容量の場合、該電磁接触器
の接点6b開放時のアークにより、接点が摩耗するとい
う不具合、及び電磁接触器の接点6bの入、切によるス
トレスのため、ヒータの断線等が生じるという不具合が
発生することがあった。
Embodiment 7 FIG. In the above-described first to sixth embodiments or the related art, the temperature control of the warm brine is performed by turning on and off the contact 6b of the electromagnetic contactor. Therefore, when the capacity of the heater 6a is large, When the contact 6b of the contactor was opened, there was a problem that the contact was worn, and that the heater was disconnected due to the stress caused by turning on and off the contact 6b of the electromagnetic contactor.

【0042】そこで、本実施の形態7では、図11の構
成図に示すように、ヒータ6aと商用電源6c間に、電
磁接触器の接点6bの代わりにサイリスタレギュレータ
18等の半導体素子で構成された電力制御装置を接続す
ると共に、このサイリスタレギュレータ18に温度信号
を送出する温度検出器19を温ブラインタンク6内に設
ける。
Therefore, in the seventh embodiment, as shown in the configuration diagram of FIG. 11, a semiconductor element such as a thyristor regulator 18 is provided between the heater 6a and the commercial power supply 6c instead of the contact 6b of the electromagnetic contactor. And a temperature detector 19 for sending a temperature signal to the thyristor regulator 18 is provided in the hot brine tank 6.

【0043】図12は本実施の形態7の動作シーケンス
を示す図であり、図12の動作タイムチャートに従い、
動作について説明する。温ブラインタンク6のブライン
温度が上昇したことを温度検出器19が検出すれば、温
度検出器19からサイリスタレギュレータ18に温度信
号が送られ、サイリスタレギュレータ18によって、ヒ
ータ6aへの印加電圧が小さくなるように制御し、逆
に、温ブラインタンク6のブライン温度が下降したこと
を温度検出器19が検出した場合は、サイリスタレギュ
レータ18によって、ヒータ6aへの印加電圧が大きく
なるように制御し、常にブラインの温度を設定温度とな
るように制御することができる。
FIG. 12 is a diagram showing an operation sequence of the seventh embodiment. In accordance with the operation time chart of FIG.
The operation will be described. If the temperature detector 19 detects that the brine temperature of the warm brine tank 6 has risen, a temperature signal is sent from the temperature detector 19 to the thyristor regulator 18, and the voltage applied to the heater 6a is reduced by the thyristor regulator 18. On the contrary, when the temperature detector 19 detects that the brine temperature of the warm brine tank 6 has dropped, the thyristor regulator 18 controls the voltage applied to the heater 6a to be large, and always controls the temperature. The temperature of the brine can be controlled to be equal to the set temperature.

【0044】以上のように、本実施の形態によれば、サ
イリスタレギュレータ18が半導体素子で構成されてい
るため、電磁接触器接点の摩耗をなくし、更に、瞬時に
商用電源を印加することが無くなるため、ヒータの断線
等が生じる不具合を防止できる効果がある。
As described above, according to the present embodiment, since the thyristor regulator 18 is composed of a semiconductor element, the contact of the electromagnetic contactor is prevented from being worn, and further, the instantaneous application of commercial power is eliminated. Therefore, there is an effect that it is possible to prevent a problem that the heater is disconnected or the like.

【0045】実施の形態8. 従来例においては、オゾ
ン吸脱着塔を冷凍機の冷媒(フロン)で直接冷却してい
たため、オゾン発生機を冷却するためには、冷却装置を
別に設ける必要があった。そこで、本実施の形態8で
は、図13の構成図に示すように、オゾン発生機1の冷
却水入口側に電動弁21aを介して冷却水用配管20a
を設け、当該配管20aをオゾン吸脱着塔2につながる
冷却水配管10aに接続し、さらに該オゾン発生機1の
冷却水出口側に電動弁21bを介して冷却水用配管20
bを設け、当該配管20bをオゾン吸脱着塔2につなが
る冷却水配管10bに接続する。
Embodiment 8 FIG. In the conventional example, since the ozone adsorption / desorption tower was directly cooled by the refrigerant (CFC) of the refrigerator, a separate cooling device had to be provided to cool the ozone generator. Therefore, in the eighth embodiment, as shown in the configuration diagram of FIG. 13, the cooling water pipe 20a is connected to the cooling water inlet side of the ozone generator 1 via the electric valve 21a.
Is connected to a cooling water pipe 10a connected to the ozone adsorption / desorption tower 2, and a cooling water pipe 20 is connected to a cooling water outlet side of the ozone generator 1 via an electric valve 21b.
b, and connect the pipe 20b to a cooling water pipe 10b connected to the ozone adsorption / desorption tower 2.

【0046】図14は本実施の形態8の動作シーケンス
を示す図であり、図14の動作タイムチャートに従い、
動作について説明する。オゾン吸着時は、オゾン発生機
1がオゾンを発生しているため、電動弁21a及び21
bを開とし、冷却装置7からオゾン発生機1へ冷却水が
流れ、オゾン発生機1を冷却する。次にオゾン脱着時に
は、オゾン発生機1がオゾン発生を停止しているため、
電動弁21a及び21bを閉とし、オゾン吸脱着塔2に
のみ加温水を提供する。
FIG. 14 is a diagram showing an operation sequence of the eighth embodiment. In accordance with the operation time chart of FIG.
The operation will be described. When ozone is adsorbed, the electric valves 21a and 21a are generated because the ozone generator 1 is generating ozone.
When b is opened, cooling water flows from the cooling device 7 to the ozone generator 1 to cool the ozone generator 1. Next, at the time of ozone desorption, since the ozone generator 1 has stopped generating ozone,
The motor-operated valves 21a and 21b are closed, and the heated water is supplied only to the ozone adsorption / desorption tower 2.

【0047】以上のように、本実施の形態によれば、オ
ゾン発生機1を冷却するための冷却水をオゾン吸脱着塔
2を冷却するための冷却装置7より供給できるため、オ
ゾン発生機専用の冷却装置が削除できる効果がある。
As described above, according to the present embodiment, the cooling water for cooling the ozone generator 1 can be supplied from the cooling device 7 for cooling the ozone adsorption / desorption tower 2. This has the effect that the cooling device can be eliminated.

【0048】[0048]

【発明の効果】この発明の請求項1における間欠オゾン
供給装置によれば、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を
冷却する冷却手段から供給される冷却水の配管と、オゾ
ンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段から供
給される加温水の配管とを、共通配管で構成したので、
オゾン吸脱着塔の構造だけでなく、間欠オゾン供給装置
全体の構成が簡単になり、組立コストの低減が図れる効
果がある。
According to the intermittent ozone supply apparatus according to the first aspect of the present invention, a pipe of cooling water supplied from cooling means for cooling the ozone adsorption / desorption tower at the time of adsorption of ozone, and ozone adsorption / desorption at the time of desorption of ozone Because the piping of the heating water supplied from the heating means for heating the tower was configured with a common piping,
Not only the structure of the ozone adsorption / desorption tower, but also the structure of the entire intermittent ozone supply device is simplified, which has the effect of reducing assembly costs.

【0049】この発明の請求項2における間欠オゾン供
給装置によれば、共通配管に冷却水および加温水を循環
させるためのポンプを設けたので、簡単な構成で冷却水
及び加温水を有効に送出することができる。
According to the intermittent ozone supply apparatus according to the second aspect of the present invention, since the pump for circulating the cooling water and the heating water is provided in the common pipe, the cooling water and the heating water can be effectively sent out with a simple configuration. can do.

【0050】この発明の請求項3における間欠オゾン供
給装置によれば、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷
却する冷却手段の吐出側に冷却水用タンクを設けたの
で、冷却水用タンクの水量を調整することにより、オゾ
ン吸脱着塔の所要冷却容量と冷却装置の冷却能力の平衡
を保つことが容易となる。
According to the intermittent ozone supply apparatus according to the third aspect of the present invention, since the cooling water tank is provided on the discharge side of the cooling means for cooling the ozone adsorption / desorption tower when adsorbing ozone, the amount of water in the cooling water tank is reduced. By adjusting the temperature, it becomes easy to maintain the balance between the required cooling capacity of the ozone adsorption / desorption tower and the cooling capacity of the cooling device.

【0051】この発明の請求項4における間欠オゾン供
給装置によれば、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷
却する冷却手段の入口側及び出口側にそれぞれ2方弁を
設けると共に、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温
する加温手段の入口側及び出口側にもそれぞれ2方弁を
設けたので、加温水と冷却水が混合することによる、加
温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生じることを抑
制することができる。
According to the intermittent ozone supply apparatus of the fourth aspect of the present invention, two-way valves are provided on the inlet side and the outlet side of the cooling means for cooling the ozone adsorption / desorption tower at the time of adsorption of ozone, and at the time of ozone desorption. Two-way valves are also provided on the inlet and outlet sides of the heating means for heating the ozone adsorption / desorption tower, so that the temperature of the warming water decreases and the temperature of the cooling water rises due to mixing of the warming water and the cooling water. Can be suppressed.

【0052】この発明の請求項5における間欠オゾン供
給装置によれば、冷却手段及び加温手段と共通配管との
間にコモン側を共通配管側に接続した3方弁を設けたの
で、加温水と冷却水が混合することによる、加温水の温
度低下及び冷却水の温度上昇が生じることを抑制でき、
さらに2方弁の場合に比べて、バルブの個数を低減でき
る効果がある。
According to the intermittent ozone supply apparatus according to the fifth aspect of the present invention, the three-way valve having the common side connected to the common pipe side is provided between the cooling means and the heating means and the common pipe. And the cooling water are mixed, thereby suppressing a decrease in the temperature of the heating water and an increase in the temperature of the cooling water,
Further, there is an effect that the number of valves can be reduced as compared with the two-way valve.

【0053】この発明の請求項6における間欠オゾン供
給装置によれば、オゾン吸脱着塔の入口側及び出口側に
それぞれオゾン濃度計を設けると共に、このオゾン濃度
計の出力信号を差動比較する差動比較器を設けたので、
オゾン吸脱着塔によるオゾンの吸着が飽和状態となった
時点で、オゾン発生機によるオゾン発生を停止すること
ができる。
According to the intermittent ozone supply apparatus of the present invention, an ozone densitometer is provided on each of the inlet side and the outlet side of the ozone adsorption / desorption tower, and the difference between the output signals of the ozone densitometer is compared. Since a dynamic comparator was provided,
When the adsorption of ozone by the ozone adsorption / desorption tower becomes saturated, ozone generation by the ozone generator can be stopped.

【0054】この発明の請求項7における間欠オゾン供
給装置によれば、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却
する冷却手段の吐出側に冷却手段制御用温度検出器を設
けたので、冷却手段の出口温度が一定となるように制御
され、冷却装置の安定した動作を得ることができる。
According to the intermittent ozone supply apparatus of the present invention, the cooling means controlling temperature detector is provided on the discharge side of the cooling means for cooling the ozone adsorption / desorption tower at the time of adsorbing ozone. The temperature is controlled to be constant, and a stable operation of the cooling device can be obtained.

【0055】この発明の請求項8における間欠オゾン供
給装置によれば、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加
温する加温手段におけるヒータと電源との間に半導体素
子で構成された電力制御装置を設けたので、電磁接触器
接点が摩耗することを回避でき、更にヒータの断線等が
生じる不具合を防止できる効果がある。
According to the intermittent ozone supply apparatus according to the eighth aspect of the present invention, a power control device comprising a semiconductor element between a heater and a power supply in a heating means for heating an ozone adsorption / desorption tower at the time of desorption of ozone. Is provided, there is an effect that it is possible to prevent the contact of the electromagnetic contactor from being worn, and further to prevent a problem such as disconnection of the heater.

【0056】この発明の請求項9における間欠オゾン供
給装置によれば、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却
する冷却手段とオゾン発生機との間に冷却水用配管を設
けたので、オゾン発生機専用の冷却装置が不要となる効
果がある。
According to the intermittent ozone supply apparatus of the ninth aspect of the present invention, since the cooling water pipe is provided between the cooling means for cooling the ozone adsorption / desorption tower during ozone adsorption and the ozone generator, the ozone generator is provided. This has the effect of eliminating the need for a dedicated cooling device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1による間欠オゾン供
給装置を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an intermittent ozone supply device according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 この発明の実施の形態1による間欠オゾン供
給装置の動作タイムチャート図である。
FIG. 2 is an operation time chart of the intermittent ozone supply device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 この発明の実施の形態2による間欠オゾン供
給装置を示す構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram showing an intermittent ozone supply device according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 この発明の実施の形態3による間欠オゾン供
給装置を示す構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing an intermittent ozone supply device according to Embodiment 3 of the present invention.

【図5】 この発明の実施の形態3による間欠オゾン供
給装置の動作タイムチャート図である。
FIG. 5 is an operation time chart of an intermittent ozone supply device according to Embodiment 3 of the present invention.

【図6】 この発明の実施の形態4による間欠オゾン供
給装置を示す構成図である。
FIG. 6 is a configuration diagram illustrating an intermittent ozone supply device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図7】 この発明の実施の形態4による間欠オゾン供
給装置の動作タイムチャート図である。
FIG. 7 is an operation time chart of an intermittent ozone supply device according to Embodiment 4 of the present invention.

【図8】 この発明の実施の形態5による間欠オゾン供
給装置を示す構成図である。
FIG. 8 is a configuration diagram illustrating an intermittent ozone supply device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図9】 この発明の実施の形態5による間欠オゾン供
給装置の動作タイムチャート図である。
FIG. 9 is an operation time chart of an intermittent ozone supply device according to Embodiment 5 of the present invention.

【図10】 この発明の実施の形態6による間欠オゾン
供給装置を示す構成図である。
FIG. 10 is a configuration diagram showing an intermittent ozone supply device according to Embodiment 6 of the present invention.

【図11】 この発明の実施の形態7による間欠オゾン
供給装置を示す構成図である。
FIG. 11 is a configuration diagram illustrating an intermittent ozone supply device according to a seventh embodiment of the present invention.

【図12】 この発明の実施の形態7による間欠オゾン
供給装置の動作タイムチャート図である。
FIG. 12 is an operation time chart of an intermittent ozone supply device according to Embodiment 7 of the present invention.

【図13】 この発明の実施の形態8による間欠オゾン
供給装置を示す構成図である。
FIG. 13 is a configuration diagram illustrating an intermittent ozone supply device according to an eighth embodiment of the present invention.

【図14】 この発明の実施の形態8による間欠オゾン
供給装置の動作タイムチャート図である。
FIG. 14 is an operation time chart of an intermittent ozone supply device according to Embodiment 8 of the present invention.

【図15】 従来の間欠オゾン供給装置を示す構成図で
ある。
FIG. 15 is a configuration diagram showing a conventional intermittent ozone supply device.

【図16】 従来の間欠オゾン供給装置の動作タイムチ
ャート図である。
FIG. 16 is an operation time chart of a conventional intermittent ozone supply device.

【符号の説明】 1 オゾン発生機、2 オゾン吸脱着塔、6 温ブライ
ンタンク、7 冷却装置、8 エゼクタ、9 ポンプ、
10a,10b 共通配管、11 冷却水用タンク、1
2a,12b,12c,12d 2方弁、13a,13
b 3方弁、14a,14b オゾン濃度計、15 差
動比較器、16 温度検出器、17 制御装置、18
電力制御装置、20a,20b 冷却水用配管。
[Description of Signs] 1 ozone generator, 2 ozone adsorption / desorption tower, 6 hot brine tank, 7 cooling device, 8 ejector, 9 pump,
10a, 10b common piping, 11 cooling water tank, 1
2a, 12b, 12c, 12d Two-way valve, 13a, 13
b three-way valve, 14a, 14b ozone concentration meter, 15 differential comparator, 16 temperature detector, 17 controller, 18
Power control unit, 20a, 20b Cooling water piping.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 原料酵素からオゾン化酸素を生成するオ
ゾン発生機と、上記オゾン化酸素の供給を受けてオゾン
を吸着するオゾン吸脱着塔と、上記オゾンの吸着時に上
記オゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段と、上記オゾンの
脱着時に上記オゾン吸脱着塔を加温する加温手段と、上
記オゾン吸脱着塔を減圧して被処理水にオゾンを吸着す
るエゼクタを備えた間欠オゾン供給装置において、上記
冷却手段および加温手段から上記オゾン吸脱着塔へ供給
される冷却水及び加温水が流される共通配管を設けたこ
とを特徴とする間欠オゾン供給装置。
1. An ozone generator for generating ozonized oxygen from a raw material enzyme, an ozone adsorption / desorption tower for adsorbing ozone by receiving the supply of ozonized oxygen, and cooling the ozone adsorption / desorption tower when adsorbing the ozone An intermittent ozone supply device comprising: a cooling unit that performs heating, a heating unit that heats the ozone adsorption / desorption tower at the time of desorption of the ozone, and an ejector that depressurizes the ozone adsorption / desorption tower and adsorbs ozone to the water to be treated. And an intermittent ozone supply device provided with a common pipe through which cooling water and heating water supplied from the cooling means and the heating means to the ozone adsorption / desorption tower flow.
【請求項2】 共通配管に冷却水及び加温水を循環させ
るためのポンプを設けたことを特徴とする請求項1記載
の間欠オゾン供給装置。
2. The intermittent ozone supply device according to claim 1, wherein a pump for circulating cooling water and heated water is provided in the common pipe.
【請求項3】 冷却手段の吐出側に冷却水用タンクを設
けたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の間欠
オゾン供給装置。
3. The intermittent ozone supply device according to claim 1, wherein a cooling water tank is provided on the discharge side of the cooling means.
【請求項4】 冷却手段の入口側及び出口側にそれぞれ
2方弁を設けると共に、加温手段の入口側及び出口側に
それぞれ2方弁を設けたことを特徴とする請求項1から
請求項3のいずれか1項に記載の間欠オゾン供給装置。
4. The cooling device according to claim 1, wherein a two-way valve is provided on an inlet side and an outlet side of the cooling means, and a two-way valve is provided on each of an inlet side and an outlet side of the heating means. 3. The intermittent ozone supply device according to any one of 3.
【請求項5】 冷却手段及び加温手段と共通配管との間
にコモン側を上記共通配管側に接続した3方弁を設けた
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項
に記載の間欠オゾン供給装置。
5. A one-way valve according to claim 1, further comprising a three-way valve having a common side connected to the common pipe side between the cooling means and the heating means and the common pipe. The intermittent ozone supply device according to the paragraph.
【請求項6】 オゾン吸脱着塔の入口側及び出口側にそ
れぞれオゾン濃度計を設けると共に、上記オゾン濃度計
の出力信号を差動比較する差動比較器を設けたことを特
徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の
間欠オゾン供給装置。
6. An ozone concentration meter is provided on each of an inlet side and an outlet side of an ozone adsorption / desorption tower, and a differential comparator for differentially comparing output signals of the ozone concentration meter is provided. The intermittent ozone supply device according to any one of claims 1 to 5.
【請求項7】 冷却手段の吐出側に当該冷却手段制御用
温度検出器を設けたことを特徴とする請求項1から請求
項6のいずれか1項に記載の間欠オゾン供給装置。
7. The intermittent ozone supply device according to claim 1, wherein said cooling means controlling temperature detector is provided on the discharge side of said cooling means.
【請求項8】 加温手段におけるヒータと電源との間に
半導体素子で構成された電力制御装置を設けたことを特
徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の
間欠オゾン供給装置。
8. The intermittent ozone according to claim 1, wherein a power control device composed of a semiconductor element is provided between the heater and the power supply in the heating means. Feeding device.
【請求項9】 冷却手段とオゾン発生機との間に冷却水
用配管を設けたことを特徴とする請求項1から請求項8
のいずれか1項に記載の間欠オゾン供給装置。
9. A cooling water pipe is provided between the cooling means and the ozone generator.
The intermittent ozone supply device according to any one of the above.
JP32259996A 1996-12-03 1996-12-03 Intermittent ozone supply device Expired - Fee Related JP3604245B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32259996A JP3604245B2 (en) 1996-12-03 1996-12-03 Intermittent ozone supply device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32259996A JP3604245B2 (en) 1996-12-03 1996-12-03 Intermittent ozone supply device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10156168A true JPH10156168A (en) 1998-06-16
JP3604245B2 JP3604245B2 (en) 2004-12-22

Family

ID=18145512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32259996A Expired - Fee Related JP3604245B2 (en) 1996-12-03 1996-12-03 Intermittent ozone supply device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3604245B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002346570A (en) * 2001-05-21 2002-12-03 Kurita Water Ind Ltd Apparatus for sterilizing resistivity adjusted water
JP2006273589A (en) * 2005-03-28 2006-10-12 Iwatani Internatl Corp Method and equipment for adsorbing low-concentration ozone gas
JP2008111665A (en) * 2008-01-21 2008-05-15 Canon Anelva Corp Brine feeder
KR100881746B1 (en) * 2001-12-04 2009-02-06 케논 아네루바 가부시키가이샤 Apparatus for supplying brine
KR20190059795A (en) * 2017-11-23 2019-05-31 차태영 Device for removing residual ozone gas

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002346570A (en) * 2001-05-21 2002-12-03 Kurita Water Ind Ltd Apparatus for sterilizing resistivity adjusted water
KR100881746B1 (en) * 2001-12-04 2009-02-06 케논 아네루바 가부시키가이샤 Apparatus for supplying brine
JP2006273589A (en) * 2005-03-28 2006-10-12 Iwatani Internatl Corp Method and equipment for adsorbing low-concentration ozone gas
JP2008111665A (en) * 2008-01-21 2008-05-15 Canon Anelva Corp Brine feeder
KR20190059795A (en) * 2017-11-23 2019-05-31 차태영 Device for removing residual ozone gas

Also Published As

Publication number Publication date
JP3604245B2 (en) 2004-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6206091B1 (en) Process and apparatus for treating waste
JPH10156168A (en) Intermittent ozone feeder
CN111035788A (en) Air purification and disinfection system
JP4101316B2 (en) Intermittent ozone supply device
JP3532334B2 (en) Intermittent ozone supply method
JP4107631B2 (en) Concentrated ozone production equipment
JPH0139812B2 (en)
JPS6356163B2 (en)
JPS59193192A (en) Device for supplying ozone intermittently
CN210522260U (en) Photocatalysis device
JPS60264310A (en) Apparatus for intermittent feed of ozone
CN219848840U (en) Novel purification, activation and regeneration system for molecular sieve of air compression station
CN219194664U (en) Biochemical pond heating system
CN214693724U (en) Pure water treatment system
CN109650644B (en) Wastewater treatment system
JPH0818022B2 (en) Heat sterilization method of final filter for ultrapure water
JPS6048443B2 (en) Intermittent ozone supply device
JPH1192108A (en) Ozone adsorbing and desorbing device
KR200381825Y1 (en) Air cooling system
CN107117692B (en) High-efficiency ozone cooling water biological treatment system
JPH1192110A (en) Ozone adsorbing-desorbing unit and method for controlling temperature of the same
JP2001246395A (en) Aeration device of waste water
JP2002265204A (en) Ozone generating apparatus and its handling method
JPS60222197A (en) Methane fermentation device
CN114471077A (en) VOCs desorption device and VOCs desorption method of activated carbon assembly

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040323

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040521

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040622

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040820

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040928

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040928

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071008

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111008

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121008

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131008

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees