JPH10153464A - 流量測定装置およびそれを用いた処理液供給装置 - Google Patents
流量測定装置およびそれを用いた処理液供給装置Info
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- JPH10153464A JPH10153464A JP8327547A JP32754796A JPH10153464A JP H10153464 A JPH10153464 A JP H10153464A JP 8327547 A JP8327547 A JP 8327547A JP 32754796 A JP32754796 A JP 32754796A JP H10153464 A JPH10153464 A JP H10153464A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 管路を流れる流体に所定位置で振動を発生さ
せてその振動を所定位置だけ離れた位置で受信すること
により流体の流量を測定する方式において、流量測定に
おける必要な精度を確保しつつ、管体および複数の振動
子から構成される計測部の設置スペースを小さくできる
流量測定装置を提供する。 【解決手段】 管体３６に、管内を流れる流体にパルス
的に振動を発生させおよび流体の振動を受信する一対の
振動子４０、４２を互いに所定の距離を隔てて取着した
装置において、第１振動子４０の取着位置と第２振動子
４２の取着位置との間の管体３６を螺旋状に形成した。
せてその振動を所定位置だけ離れた位置で受信すること
により流体の流量を測定する方式において、流量測定に
おける必要な精度を確保しつつ、管体および複数の振動
子から構成される計測部の設置スペースを小さくできる
流量測定装置を提供する。 【解決手段】 管体３６に、管内を流れる流体にパルス
的に振動を発生させおよび流体の振動を受信する一対の
振動子４０、４２を互いに所定の距離を隔てて取着した
装置において、第１振動子４０の取着位置と第２振動子
４２の取着位置との間の管体３６を螺旋状に形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、管路を流れる流
体に所定位置で振動を発生させ、その位置から所定距離
だけ離れた位置で当該振動を受信することにより、流体
の流量、特に微小流量を測定する流量測定装置、ならび
に、その流量測定装置を使用して処理液の流量を制御
し、処理装置、例えば半導体、液晶用ガラス基板等の基
板の表面へ所定の処理液を供給して基板の所定の処理を
行う基板処理装置の処理液吐出手段へ処理液を供給する
処理液供給装置に関する。
体に所定位置で振動を発生させ、その位置から所定距離
だけ離れた位置で当該振動を受信することにより、流体
の流量、特に微小流量を測定する流量測定装置、ならび
に、その流量測定装置を使用して処理液の流量を制御
し、処理装置、例えば半導体、液晶用ガラス基板等の基
板の表面へ所定の処理液を供給して基板の所定の処理を
行う基板処理装置の処理液吐出手段へ処理液を供給する
処理液供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】管路を流れる流体に所定位置で振動を発
生させてその振動を所定距離だけ離れた位置で受信する
ことにより流体の流量、特に微小流量を測定する従来の
流量測定装置は、図８に示すように、流路の一部を構成
している所定の内径で直線状の管体１に外嵌された一対
のリング状振動子２、３を備えた構成を有している。振
動子２、３は、それぞれ圧電素子からなり、第１振動子
２と第２振動子３とは、所定の距離だけ離れた位置に取
着されている。直管１は、例えば内径２〜４ｍｍ程度の
フッ化樹脂チューブ（テフロンＰＦＡ（登録商標）チュ
ーブ）で形成されている。
生させてその振動を所定距離だけ離れた位置で受信する
ことにより流体の流量、特に微小流量を測定する従来の
流量測定装置は、図８に示すように、流路の一部を構成
している所定の内径で直線状の管体１に外嵌された一対
のリング状振動子２、３を備えた構成を有している。振
動子２、３は、それぞれ圧電素子からなり、第１振動子
２と第２振動子３とは、所定の距離だけ離れた位置に取
着されている。直管１は、例えば内径２〜４ｍｍ程度の
フッ化樹脂チューブ（テフロンＰＦＡ（登録商標）チュ
ーブ）で形成されている。
【０００３】この流量測定装置により流体の流量を測定
するには、まず、流体の流動方向における上流側に配置
された圧電素子からなる第１振動子２にステップ状電圧
を印加することにより、第１振動子２を振動させ、この
振動を、直管１の管壁を介して流体に伝達し、管内を流
れる流体にパルス的に振動を励起させる。そして、流体
の流動方向における下流側に配置された圧電素子からな
る第２振動子３により、流体の当該振動を検出して電気
信号に変え、第１振動子２への電圧の印加時点（流体の
振動の発生時点）から第２振動子３による流体の振動の
受信時点までの時間ｔ1を計測する。次に、流体の流動
方向における下流側に配置された第２振動子３にステッ
プ状電圧を印加することにより、第２振動子３を振動さ
せ、この振動を、直管１の管壁を介して流体に伝達し、
管内を流れる流体にパルス的に振動を励起させる。そし
て、流体の流動方向における上流側に配置された第１振
動子２により、流体の当該振動を検出して電気信号に変
え、第２振動子３への電圧の印加時点（流体の振動の発
生時点）から第１振動子２による流体の振動の受信時点
までの時間ｔ2を計測する。ここで、上流側の第１振動
子２からの流体を媒介として下流側の第２振動子３へ振
動が伝播する速度は、静止液中を振動が伝播する速度と
流体の流速とを合成した速度となり、下流側の第２振動
子３から流体を媒介として上流側の第１振動子２へ振動
が伝播する速度は、静止液中を振動が伝播する速度から
流体の流速分を差し引いた速度となる。従って、第１振
動子２への電圧の印加時点から第２振動子３による流体
の振動の受信時点までの時間ｔ1と、第２振動子３への
電圧の印加時点から第１振動子２による流体の振動の受
信時点までの時間ｔ2との差から、管内を流れる流体の
流速を求めることができ、その流速から流体の流量を求
めることができることとなる。
するには、まず、流体の流動方向における上流側に配置
された圧電素子からなる第１振動子２にステップ状電圧
を印加することにより、第１振動子２を振動させ、この
振動を、直管１の管壁を介して流体に伝達し、管内を流
れる流体にパルス的に振動を励起させる。そして、流体
の流動方向における下流側に配置された圧電素子からな
る第２振動子３により、流体の当該振動を検出して電気
信号に変え、第１振動子２への電圧の印加時点（流体の
振動の発生時点）から第２振動子３による流体の振動の
受信時点までの時間ｔ1を計測する。次に、流体の流動
方向における下流側に配置された第２振動子３にステッ
プ状電圧を印加することにより、第２振動子３を振動さ
せ、この振動を、直管１の管壁を介して流体に伝達し、
管内を流れる流体にパルス的に振動を励起させる。そし
て、流体の流動方向における上流側に配置された第１振
動子２により、流体の当該振動を検出して電気信号に変
え、第２振動子３への電圧の印加時点（流体の振動の発
生時点）から第１振動子２による流体の振動の受信時点
までの時間ｔ2を計測する。ここで、上流側の第１振動
子２からの流体を媒介として下流側の第２振動子３へ振
動が伝播する速度は、静止液中を振動が伝播する速度と
流体の流速とを合成した速度となり、下流側の第２振動
子３から流体を媒介として上流側の第１振動子２へ振動
が伝播する速度は、静止液中を振動が伝播する速度から
流体の流速分を差し引いた速度となる。従って、第１振
動子２への電圧の印加時点から第２振動子３による流体
の振動の受信時点までの時間ｔ1と、第２振動子３への
電圧の印加時点から第１振動子２による流体の振動の受
信時点までの時間ｔ2との差から、管内を流れる流体の
流速を求めることができ、その流速から流体の流量を求
めることができることとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記したような構成お
よび測定原理の流量測定装置では、第１振動子２と第２
振動子３との間での振動の伝播時間はマイクロ秒（μ
ｓ）のオーダーであるため、一対の振動子２、３の取着
位置間の管路の長さが短いと、振動の伝播時間ｔ1、ｔ2
の計測が困難になる。従って、流体の流量を正確に測定
するためには、少なくとも数百ｍｍ程度の管路長さが必
要であり、一対の振動子２、３の取着位置間の管路長さ
が長くなる程、測定精度が高くなる。しかしながら、従
来の流量測定装置では、振動子２、３の取着位置間の管
路長さを長くすると、管体１および振動子２、３からな
る計測部４を設置するためのスペースを多く必要とする
ことになる。そして、場所的な制約から、管体１および
振動子２、３からなる計測部４の設置が困難になる場合
もある。
よび測定原理の流量測定装置では、第１振動子２と第２
振動子３との間での振動の伝播時間はマイクロ秒（μ
ｓ）のオーダーであるため、一対の振動子２、３の取着
位置間の管路の長さが短いと、振動の伝播時間ｔ1、ｔ2
の計測が困難になる。従って、流体の流量を正確に測定
するためには、少なくとも数百ｍｍ程度の管路長さが必
要であり、一対の振動子２、３の取着位置間の管路長さ
が長くなる程、測定精度が高くなる。しかしながら、従
来の流量測定装置では、振動子２、３の取着位置間の管
路長さを長くすると、管体１および振動子２、３からな
る計測部４を設置するためのスペースを多く必要とする
ことになる。そして、場所的な制約から、管体１および
振動子２、３からなる計測部４の設置が困難になる場合
もある。
【０００５】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、管路を流れる流体に所定位置で振動
を発生させてその振動を所定位置だけ離れた位置で受信
することにより流体の流量を測定する方式において、流
量測定における必要な精度を確保しながら、管体および
複数の振動子から構成される計測部の設置スペースを小
さくすることができる流量測定装置を提供すること、な
らびに、そのような流量測定装置を使用して処理液の供
給流量を制御する処理液供給装置を提供することを目的
とする。
されたものであり、管路を流れる流体に所定位置で振動
を発生させてその振動を所定位置だけ離れた位置で受信
することにより流体の流量を測定する方式において、流
量測定における必要な精度を確保しながら、管体および
複数の振動子から構成される計測部の設置スペースを小
さくすることができる流量測定装置を提供すること、な
らびに、そのような流量測定装置を使用して処理液の供
給流量を制御する処理液供給装置を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
所定の内径を有する管体に取着され、管内を流れる流体
にパルス的に振動を発生させおよび流体の振動を受信す
る第１振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着位
置から所定の距離を隔てた位置で取着され、管内を流れ
る流体にパルス的に振動を発生させおよび振動を受信す
る第２振動子と、前記第１振動子により流体に振動を発
生させた時点から前記第２振動子に流体の当該振動が受
信された時点までの時間と、前記第２振動子により流体
に振動を発生させた時点から前記第１振動子に流体の当
該振動が受信された時点までの時間との差により、前記
管体の管内を流れる流体の流速を求めて流体の流量を算
出する演算手段とを備え、前記第１振動子の取着位置と
前記第２振動子の取着位置との間の前記管体を、螺旋
状、Ｕ字状または蛇行状に形成したことを特徴とする。
所定の内径を有する管体に取着され、管内を流れる流体
にパルス的に振動を発生させおよび流体の振動を受信す
る第１振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着位
置から所定の距離を隔てた位置で取着され、管内を流れ
る流体にパルス的に振動を発生させおよび振動を受信す
る第２振動子と、前記第１振動子により流体に振動を発
生させた時点から前記第２振動子に流体の当該振動が受
信された時点までの時間と、前記第２振動子により流体
に振動を発生させた時点から前記第１振動子に流体の当
該振動が受信された時点までの時間との差により、前記
管体の管内を流れる流体の流速を求めて流体の流量を算
出する演算手段とを備え、前記第１振動子の取着位置と
前記第２振動子の取着位置との間の前記管体を、螺旋
状、Ｕ字状または蛇行状に形成したことを特徴とする。
【０００７】請求項２に係る発明は、所定の内径を有す
る管体に取着され、管内を流れる流体にパルス的に振動
を発生させる第１振動子と、前記管体に、前記第１振動
子の取着位置から流体の流動方向へ所定の管路長さだけ
離れた位置で取着され、管内を流れる流体の振動を受信
する第２振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着
位置から流体の流動方向と反対の方向へ前記所定の管路
長さと同等の管路長さだけ離れた位置で取着され、管内
を流れる流体の振動を受信する第３振動子と、前記第１
振動子により流体に振動を発生させた時点から前記第２
振動子に流体の当該振動が受信された時点までの時間
と、前記第１振動子により流体に振動を発生させた時点
から前記第３振動子に流体の当該振動が受信された時点
までの時間との差により、前記管体の管内を流れる流体
の流速を求めて流体の流量を算出する演算手段とを備
え、前記第２振動子の取着位置と前記第３振動子の取着
位置との間の前記管体を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状
に形成したことを特徴とする。
る管体に取着され、管内を流れる流体にパルス的に振動
を発生させる第１振動子と、前記管体に、前記第１振動
子の取着位置から流体の流動方向へ所定の管路長さだけ
離れた位置で取着され、管内を流れる流体の振動を受信
する第２振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着
位置から流体の流動方向と反対の方向へ前記所定の管路
長さと同等の管路長さだけ離れた位置で取着され、管内
を流れる流体の振動を受信する第３振動子と、前記第１
振動子により流体に振動を発生させた時点から前記第２
振動子に流体の当該振動が受信された時点までの時間
と、前記第１振動子により流体に振動を発生させた時点
から前記第３振動子に流体の当該振動が受信された時点
までの時間との差により、前記管体の管内を流れる流体
の流速を求めて流体の流量を算出する演算手段とを備
え、前記第２振動子の取着位置と前記第３振動子の取着
位置との間の前記管体を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状
に形成したことを特徴とする。
【０００８】請求項３に係る発明は、所定の内径を有す
る管体に取着され、管内を流れる流体の振動を受信する
第１振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着位置
から流体の流動方向へ所定の管路長さだけ離れた位置で
取着され、管内を流れる流体にパルス的に振動を発生さ
せる第２振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着
位置から流体の流動方向と反対の方向へ前記所定の管路
長さと同等の管路長さだけ離れた位置で取着され、管内
を流れる流体にパルス的に振動を発生させる第３振動子
と、前記第２振動子により流体に振動を発生させた時点
から前記第１振動子に流体の当該振動が受信された時点
までの時間と、前記第３振動子により流体に振動を発生
させた時点から前記第１振動子に流体の当該振動が受信
された時点までの時間との差により、前記管体の管内を
流れる流体の流速を求めて流体の流量を算出する演算手
段とを備え、前記第２振動子の取着位置と前記第３振動
子の取着位置との間の前記管体を、螺旋状、Ｕ字状また
は蛇行状に形成したことを特徴とする。
る管体に取着され、管内を流れる流体の振動を受信する
第１振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着位置
から流体の流動方向へ所定の管路長さだけ離れた位置で
取着され、管内を流れる流体にパルス的に振動を発生さ
せる第２振動子と、前記管体に、前記第１振動子の取着
位置から流体の流動方向と反対の方向へ前記所定の管路
長さと同等の管路長さだけ離れた位置で取着され、管内
を流れる流体にパルス的に振動を発生させる第３振動子
と、前記第２振動子により流体に振動を発生させた時点
から前記第１振動子に流体の当該振動が受信された時点
までの時間と、前記第３振動子により流体に振動を発生
させた時点から前記第１振動子に流体の当該振動が受信
された時点までの時間との差により、前記管体の管内を
流れる流体の流速を求めて流体の流量を算出する演算手
段とを備え、前記第２振動子の取着位置と前記第３振動
子の取着位置との間の前記管体を、螺旋状、Ｕ字状また
は蛇行状に形成したことを特徴とする。
【０００９】請求項４に係る発明は、請求項１ないし請
求項３のいずれかに記載の各流量測定装置において、演
算手段によって算出された流体の流量を表示する表示手
段および／または流体の流量を記録する記録手段を設け
たことを特徴とする。
求項３のいずれかに記載の各流量測定装置において、演
算手段によって算出された流体の流量を表示する表示手
段および／または流体の流量を記録する記録手段を設け
たことを特徴とする。
【００１０】請求項５に係る発明は、被処理体へ処理液
を供給して被処理体を処理する処理装置に設けられた処
理液吐出手段に流路接続された配管と、この配管内を流
れる処理液の流量を調節する流量調節手段と、前記配管
の途中に取着され、配管内を流れる処理液にパルス的に
振動を発生させおよび処理液の振動を受信する第１振動
子と、前記配管の途中に、前記第１振動子の取着位置か
ら所定の距離を隔てた位置で取着され、配管内を流れる
処理液にパルス的に振動を発生させおよび処理液の振動
を受信する第２振動子と、前記第１振動子により処理液
に振動を発生させた時点から前記第２振動子に処理液の
当該振動が受信された時点までの時間と、前記第２振動
子により処理液に振動を発生させた時点から前記第１振
動子に処理液の当該振動が受信された時点までの時間と
の差により、前記配管内を流れる処理液の流速を求めて
処理液の流量を算出する演算手段と、この演算手段から
の信号を受けて、前記配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように前記流量調節手段へ制御信
号を送る流量制御手段とを備え、前記流量測定装置の第
１振動子の取着位置と第２振動子の取着位置との間の前
記配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成したこと
を特徴とする。
を供給して被処理体を処理する処理装置に設けられた処
理液吐出手段に流路接続された配管と、この配管内を流
れる処理液の流量を調節する流量調節手段と、前記配管
の途中に取着され、配管内を流れる処理液にパルス的に
振動を発生させおよび処理液の振動を受信する第１振動
子と、前記配管の途中に、前記第１振動子の取着位置か
ら所定の距離を隔てた位置で取着され、配管内を流れる
処理液にパルス的に振動を発生させおよび処理液の振動
を受信する第２振動子と、前記第１振動子により処理液
に振動を発生させた時点から前記第２振動子に処理液の
当該振動が受信された時点までの時間と、前記第２振動
子により処理液に振動を発生させた時点から前記第１振
動子に処理液の当該振動が受信された時点までの時間と
の差により、前記配管内を流れる処理液の流速を求めて
処理液の流量を算出する演算手段と、この演算手段から
の信号を受けて、前記配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように前記流量調節手段へ制御信
号を送る流量制御手段とを備え、前記流量測定装置の第
１振動子の取着位置と第２振動子の取着位置との間の前
記配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成したこと
を特徴とする。
【００１１】請求項６に係る発明は、被処理体へ処理液
を供給して被処理体を処理する処理装置に設けられた処
理液吐出手段に流路接続された配管と、この配管内を流
れる処理液の流量を調節する流量調節手段と、前記配管
の途中に取着され、配管内を流れる処理液にパルス的に
振動を発生させる第１振動子と、前記配管の途中に、前
記第１振動子の取着位置から処理液の流動方向へ所定の
管路長さだけ離れた位置で取着され、配管内を流れる処
理液の振動を受信する第２振動子と、前記配管の途中
に、前記第１振動子の取着位置から処理液の流動方向と
反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路長さだけ
離れた位置で取着され、配管内を流れる処理液の振動を
受信する第３振動子と、前記第１振動子により処理液に
振動を発生させた時点から前記第２振動子に処理液の当
該振動が受信された時点までの時間と、前記第１振動子
により処理液に振動を発生させた時点から前記第３振動
子に処理液の当該振動が受信された時点までの時間との
差により、前記配管内を流れる処理液の流速を求めて処
理液の流量を算出する演算手段と、この演算手段からの
信号を受けて、前記配管内を流れる処理液の流量が所定
の流量に調節されるように前記流量調節手段へ制御信号
を送る流量制御手段とを備え、前記流量測定装置の第２
振動子の取着位置と第３振動子の取着位置との間の前記
配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成したことを
特徴とする。
を供給して被処理体を処理する処理装置に設けられた処
理液吐出手段に流路接続された配管と、この配管内を流
れる処理液の流量を調節する流量調節手段と、前記配管
の途中に取着され、配管内を流れる処理液にパルス的に
振動を発生させる第１振動子と、前記配管の途中に、前
記第１振動子の取着位置から処理液の流動方向へ所定の
管路長さだけ離れた位置で取着され、配管内を流れる処
理液の振動を受信する第２振動子と、前記配管の途中
に、前記第１振動子の取着位置から処理液の流動方向と
反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路長さだけ
離れた位置で取着され、配管内を流れる処理液の振動を
受信する第３振動子と、前記第１振動子により処理液に
振動を発生させた時点から前記第２振動子に処理液の当
該振動が受信された時点までの時間と、前記第１振動子
により処理液に振動を発生させた時点から前記第３振動
子に処理液の当該振動が受信された時点までの時間との
差により、前記配管内を流れる処理液の流速を求めて処
理液の流量を算出する演算手段と、この演算手段からの
信号を受けて、前記配管内を流れる処理液の流量が所定
の流量に調節されるように前記流量調節手段へ制御信号
を送る流量制御手段とを備え、前記流量測定装置の第２
振動子の取着位置と第３振動子の取着位置との間の前記
配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成したことを
特徴とする。
【００１２】請求項７に係る発明は、被処理体へ処理液
を供給して被処理体を処理する処理装置に設けられた処
理液吐出手段に流路接続された配管と、この配管内を流
れる処理液の流量を調節する流量調節手段と、前記配管
の途中に取着され、配管内を流れる処理液の振動を受信
する第１振動子と、前記配管の途中に、前記第１振動子
の取着位置から処理液の流動方向へ所定の管路長さだけ
離れた位置で取着され、配管内を流れる処理液にパルス
的に振動を発生させる第２振動子と、前記配管の途中
に、前記第１振動子の取着位置から処理液の流動方向と
反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路長さだけ
離れた位置で取着され、配管内を流れる処理液にパルス
的に振動を発生させる第３振動子と、前記第２振動子に
より処理液に振動を発生させた時点から前記第１振動子
に処理液の当該振動が受信された時点までの時間と、前
記第３振動子により処理液に振動を発生させた時点から
前記第１振動子に処理液の当該振動が受信された時点ま
での時間との差により、前記配管内を流れる処理液の流
速を求めて処理液の流量を算出する演算手段と、この演
算手段からの信号を受けて、前記配管内を流れる処理液
の流量が所定の流量に調節されるように前記流量調節手
段へ制御信号を送る流量制御手段とを備え、前記流量測
定装置の第２振動子の取着位置と第３振動子の取着位置
との間の前記配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする。
を供給して被処理体を処理する処理装置に設けられた処
理液吐出手段に流路接続された配管と、この配管内を流
れる処理液の流量を調節する流量調節手段と、前記配管
の途中に取着され、配管内を流れる処理液の振動を受信
する第１振動子と、前記配管の途中に、前記第１振動子
の取着位置から処理液の流動方向へ所定の管路長さだけ
離れた位置で取着され、配管内を流れる処理液にパルス
的に振動を発生させる第２振動子と、前記配管の途中
に、前記第１振動子の取着位置から処理液の流動方向と
反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路長さだけ
離れた位置で取着され、配管内を流れる処理液にパルス
的に振動を発生させる第３振動子と、前記第２振動子に
より処理液に振動を発生させた時点から前記第１振動子
に処理液の当該振動が受信された時点までの時間と、前
記第３振動子により処理液に振動を発生させた時点から
前記第１振動子に処理液の当該振動が受信された時点ま
での時間との差により、前記配管内を流れる処理液の流
速を求めて処理液の流量を算出する演算手段と、この演
算手段からの信号を受けて、前記配管内を流れる処理液
の流量が所定の流量に調節されるように前記流量調節手
段へ制御信号を送る流量制御手段とを備え、前記流量測
定装置の第２振動子の取着位置と第３振動子の取着位置
との間の前記配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする。
【００１３】請求項８に係る発明は、請求項５ないし請
求項７のいずれかに記載の各処理液供給装置において、
演算手段によって算出された処理液の流量を表示する表
示手段および／または処理液の流量を記録する記録手段
を設けたことを特徴とする。
求項７のいずれかに記載の各処理液供給装置において、
演算手段によって算出された処理液の流量を表示する表
示手段および／または処理液の流量を記録する記録手段
を設けたことを特徴とする。
【００１４】請求項９に係る発明は、請求項５ないし請
求項８のいずれかに記載の各処理液供給装置において、
配管に流路接続された処理液吐出手段を有する処理装置
が、基板の表面へ処理液を供給して基板を処理する基板
処理装置であることを特徴とする。
求項８のいずれかに記載の各処理液供給装置において、
配管に流路接続された処理液吐出手段を有する処理装置
が、基板の表面へ処理液を供給して基板を処理する基板
処理装置であることを特徴とする。
【００１５】請求項１に係る発明の流量測定装置では、
管体の管内を流れる流体に第１振動子により振動を発生
させて、その流体の振動を第２振動子により受信し、ま
た、流体に第２振動子により振動を発生させて、その流
体の振動を第２振動子により受信する。そして、演算手
段により、それぞれ流体に振動を発生させた時点からそ
の流体の振動が受信された時点までの各時間の差から管
体の管内を流れる流体の流速が求められて流体の流量が
算出される。この流量測定装置では、管体の、第１およ
び第２の各振動子の取着位置間が、螺旋状、Ｕ字状また
は蛇行状に形成されているので、管体および２個の振動
子から構成された計測部を設置するためのスペースが少
なくて済むとともに、第１および第２の各振動子の取着
位置間の管路長さを十分に確保することができるため、
両振動子間での振動の伝播時間の計測を精度良く行うこ
とが可能である。
管体の管内を流れる流体に第１振動子により振動を発生
させて、その流体の振動を第２振動子により受信し、ま
た、流体に第２振動子により振動を発生させて、その流
体の振動を第２振動子により受信する。そして、演算手
段により、それぞれ流体に振動を発生させた時点からそ
の流体の振動が受信された時点までの各時間の差から管
体の管内を流れる流体の流速が求められて流体の流量が
算出される。この流量測定装置では、管体の、第１およ
び第２の各振動子の取着位置間が、螺旋状、Ｕ字状また
は蛇行状に形成されているので、管体および２個の振動
子から構成された計測部を設置するためのスペースが少
なくて済むとともに、第１および第２の各振動子の取着
位置間の管路長さを十分に確保することができるため、
両振動子間での振動の伝播時間の計測を精度良く行うこ
とが可能である。
【００１６】請求項２に係る発明の流量測定装置では、
管体の管内を流れる流体に第１振動子により振動を発生
させて、その流体の振動を、第１振動子の取着位置から
流体の流動方向へ所定の管路長さだけ離れて配置された
第２振動子、および第１振動子の取着位置から流体の流
動方向と反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路
長さだけ離れて配置された第３振動子により、それぞれ
受信する。ここで、第１振動子からその下流側の第２振
動子へ流体を媒介として振動が伝播する速度は、静止液
中を振動が伝播する速度と流体の流速とを合成した速度
となり、第１振動子からその上流側の第３振動子へ流体
を媒介として振動が伝播する速度は、静止液中を振動が
伝播する速度から流体の流速分を差し引いた速度とな
り、また、第１振動子から第２振動子までの管路長さ
と、第１振動子が第３振動子までの管路長さとは等し
い。そこで、演算手段により、流体に振動を発生させた
時点から第２振動子および第３振動子により流体の振動
がそれぞれ受信された各時点までの時間の差から、管体
の管内を流れる流体の流速が求められて流体の流量が算
出されることとなる。そして、この流量測定装置では、
管体の、第２振動子の取着位置と第３振動子の取着位置
との間が、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成されてい
るので、管体および３個の振動子から構成された計測部
を設置するためのスペースが少なくて済むとともに、第
１および第２の各振動子の取着位置間の管路長さならび
に第１および第３の各振動子の取着位置間の管路長さを
十分に確保することができるため、それぞれの振動子間
での振動の伝播時間の計測を精度良く行うことが可能で
ある。
管体の管内を流れる流体に第１振動子により振動を発生
させて、その流体の振動を、第１振動子の取着位置から
流体の流動方向へ所定の管路長さだけ離れて配置された
第２振動子、および第１振動子の取着位置から流体の流
動方向と反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路
長さだけ離れて配置された第３振動子により、それぞれ
受信する。ここで、第１振動子からその下流側の第２振
動子へ流体を媒介として振動が伝播する速度は、静止液
中を振動が伝播する速度と流体の流速とを合成した速度
となり、第１振動子からその上流側の第３振動子へ流体
を媒介として振動が伝播する速度は、静止液中を振動が
伝播する速度から流体の流速分を差し引いた速度とな
り、また、第１振動子から第２振動子までの管路長さ
と、第１振動子が第３振動子までの管路長さとは等し
い。そこで、演算手段により、流体に振動を発生させた
時点から第２振動子および第３振動子により流体の振動
がそれぞれ受信された各時点までの時間の差から、管体
の管内を流れる流体の流速が求められて流体の流量が算
出されることとなる。そして、この流量測定装置では、
管体の、第２振動子の取着位置と第３振動子の取着位置
との間が、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成されてい
るので、管体および３個の振動子から構成された計測部
を設置するためのスペースが少なくて済むとともに、第
１および第２の各振動子の取着位置間の管路長さならび
に第１および第３の各振動子の取着位置間の管路長さを
十分に確保することができるため、それぞれの振動子間
での振動の伝播時間の計測を精度良く行うことが可能で
ある。
【００１７】請求項３に係る発明の流量測定装置では、
管体の管内を流れる流体に第２振動子および第３振動子
によりそれぞれ振動を発生させて、その流体の各振動
を、第２振動子の取着位置から流体の流動方向と反対の
方向へ所定の管路長さだけ離れかつ第３振動子の取着位
置から流体の流動方向へ前記所定の管路長さと同等の管
路長さだけ離れて配置された第１振動子によりそれぞれ
受信する。ここで、第２振動子からその上流側の第１振
動子へ流体を媒介として振動が伝播する速度は、静止液
中を振動が伝播する速度から流体の流速分を差し引いた
速度となり、第３振動子からその下流側の第１振動子へ
流体を媒介として振動が伝播する速度は、静止液中を振
動が伝播する速度と流体の流速とを合成した速度とな
り、また、第２振動子から第１振動子までの管路長さ
と、第３振動子が第１振動子までの管路長さとは等し
い。そこで、演算手段により、２振動子および第３振動
子により流体にそれぞれ振動を発生させた時点から第１
振動子により流体の各振動がそれぞれ受信された各時点
までの時間の差から、管体の管内を流れる流体の流速が
求められて流体の流量が算出されることとなる。そし
て、この流量測定装置では、管体の、第２振動子の取着
位置と第３振動子の取着位置との間が、螺旋状、Ｕ字状
または蛇行状に形成されているので、管体および３個の
振動子から構成された計測部を設置するためのスペース
が少なくて済むとともに、第１および第２の各振動子の
取着位置間の管路長さならびに第１および第３の各振動
子の取着位置間の管路長さを十分に確保することができ
るため、それぞれの振動子間での振動の伝播時間の計測
を精度良く行うことが可能である。
管体の管内を流れる流体に第２振動子および第３振動子
によりそれぞれ振動を発生させて、その流体の各振動
を、第２振動子の取着位置から流体の流動方向と反対の
方向へ所定の管路長さだけ離れかつ第３振動子の取着位
置から流体の流動方向へ前記所定の管路長さと同等の管
路長さだけ離れて配置された第１振動子によりそれぞれ
受信する。ここで、第２振動子からその上流側の第１振
動子へ流体を媒介として振動が伝播する速度は、静止液
中を振動が伝播する速度から流体の流速分を差し引いた
速度となり、第３振動子からその下流側の第１振動子へ
流体を媒介として振動が伝播する速度は、静止液中を振
動が伝播する速度と流体の流速とを合成した速度とな
り、また、第２振動子から第１振動子までの管路長さ
と、第３振動子が第１振動子までの管路長さとは等し
い。そこで、演算手段により、２振動子および第３振動
子により流体にそれぞれ振動を発生させた時点から第１
振動子により流体の各振動がそれぞれ受信された各時点
までの時間の差から、管体の管内を流れる流体の流速が
求められて流体の流量が算出されることとなる。そし
て、この流量測定装置では、管体の、第２振動子の取着
位置と第３振動子の取着位置との間が、螺旋状、Ｕ字状
または蛇行状に形成されているので、管体および３個の
振動子から構成された計測部を設置するためのスペース
が少なくて済むとともに、第１および第２の各振動子の
取着位置間の管路長さならびに第１および第３の各振動
子の取着位置間の管路長さを十分に確保することができ
るため、それぞれの振動子間での振動の伝播時間の計測
を精度良く行うことが可能である。
【００１８】請求項４に係る発明の流量測定装置では、
測定された流体の流量が表示手段に表示されおよび／ま
たは記録手段に記録されるので、流体の流量が適正であ
るかどうかのチェックを行うことが可能である。
測定された流体の流量が表示手段に表示されおよび／ま
たは記録手段に記録されるので、流体の流量が適正であ
るかどうかのチェックを行うことが可能である。
【００１９】請求項５に係る発明の処理液供給装置で
は、請求項１に係る発明の流量測定装置と同様にして、
処理装置の処理液吐出手段に流路接続された配管内を流
れる処理液の流量が測定され、その測定結果に基づいて
流量制御手段により、配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように流量調節手段が制御され、
流量調節手段により、配管内を流れて処理装置の処理液
吐出手段へ供給される処理液の供給流量が適正に調節さ
れる。そして、この処理液供給装置では、配管の、第１
および第２の各振動子の取着位置間が、螺旋状、Ｕ字状
または蛇行状に形成されているので、配管の一部および
２個の振動子から構成された計測部を設置するためのス
ペースが少なくて済み、配管の設置が容易になる。ま
た、第１および第２の各振動子の取着位置間の管路長さ
を十分に確保することができるので、両振動子間での振
動の伝播時間の計測を精度良く行うことができて、流量
の測定精度を高く保つことができ、このため、処理装置
の処理液吐出手段への処理液の供給流量が所定の流量に
精度良く調節される。
は、請求項１に係る発明の流量測定装置と同様にして、
処理装置の処理液吐出手段に流路接続された配管内を流
れる処理液の流量が測定され、その測定結果に基づいて
流量制御手段により、配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように流量調節手段が制御され、
流量調節手段により、配管内を流れて処理装置の処理液
吐出手段へ供給される処理液の供給流量が適正に調節さ
れる。そして、この処理液供給装置では、配管の、第１
および第２の各振動子の取着位置間が、螺旋状、Ｕ字状
または蛇行状に形成されているので、配管の一部および
２個の振動子から構成された計測部を設置するためのス
ペースが少なくて済み、配管の設置が容易になる。ま
た、第１および第２の各振動子の取着位置間の管路長さ
を十分に確保することができるので、両振動子間での振
動の伝播時間の計測を精度良く行うことができて、流量
の測定精度を高く保つことができ、このため、処理装置
の処理液吐出手段への処理液の供給流量が所定の流量に
精度良く調節される。
【００２０】請求項６に係る発明の処理液供給装置で
は、請求項２に係る発明の流量測定装置と同様にして、
処理装置の処理液吐出手段に流路接続された配管内を流
れる処理液の流量が測定され、その測定結果に基づいて
流量制御手段により、配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように流量調節手段が制御され、
流量調節手段により、配管内を流れて処理装置の処理液
吐出手段へ供給される処理液の供給流量が適正に調節さ
れる。そして、この処理液供給装置では、配管の、第２
振動子の取着位置と第３振動子の取着位置との間が、螺
旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成されているので、配管
の一部および３個の振動子から構成された計測部を設置
するためのスペースが少なくて済み、配管の設置が容易
になる。また、第１および第２の各振動子の取着位置間
の管路長さならびに第１および第３の各振動子の取着位
置間の管路長さを十分に確保することができるので、そ
れぞれの振動子間での振動の伝播時間の計測を精度良く
行うことができて、流量の測定精度を高く保つことがで
き、このため、処理装置の処理液吐出手段への処理液の
供給流量が所定の流量に精度良く調節される。
は、請求項２に係る発明の流量測定装置と同様にして、
処理装置の処理液吐出手段に流路接続された配管内を流
れる処理液の流量が測定され、その測定結果に基づいて
流量制御手段により、配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように流量調節手段が制御され、
流量調節手段により、配管内を流れて処理装置の処理液
吐出手段へ供給される処理液の供給流量が適正に調節さ
れる。そして、この処理液供給装置では、配管の、第２
振動子の取着位置と第３振動子の取着位置との間が、螺
旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成されているので、配管
の一部および３個の振動子から構成された計測部を設置
するためのスペースが少なくて済み、配管の設置が容易
になる。また、第１および第２の各振動子の取着位置間
の管路長さならびに第１および第３の各振動子の取着位
置間の管路長さを十分に確保することができるので、そ
れぞれの振動子間での振動の伝播時間の計測を精度良く
行うことができて、流量の測定精度を高く保つことがで
き、このため、処理装置の処理液吐出手段への処理液の
供給流量が所定の流量に精度良く調節される。
【００２１】請求項７に係る発明の処理液供給装置で
は、請求項３に係る発明の流量測定装置と同様にして、
処理装置の処理液吐出手段に流路接続された配管内を流
れる処理液の流量が測定され、その測定結果に基づいて
流量制御手段により、配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように流量調節手段が制御され、
流量調節手段により、配管内を流れて処理装置の処理液
吐出手段へ供給される処理液の供給流量が適正に調節さ
れる。そして、この処理液供給装置では、配管の、第２
振動子の取着位置と第３振動子の取着位置との間が、螺
旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成されているので、配管
の一部および３個の振動子から構成された計測部を設置
するためのスペースが少なくて済み、配管の設置が容易
になる。また、第１および第２の各振動子の取着位置間
の管路長さならびに第１および第３の各振動子の取着位
置間の管路長さを十分に確保することができるので、そ
れぞれの振動子間での振動の伝播時間の計測を精度良く
行うことができて、流量の測定精度を高く保つことがで
き、このため、処理装置の処理液吐出手段への処理液の
供給流量が所定の流量に精度良く調節される。
は、請求項３に係る発明の流量測定装置と同様にして、
処理装置の処理液吐出手段に流路接続された配管内を流
れる処理液の流量が測定され、その測定結果に基づいて
流量制御手段により、配管内を流れる処理液の流量が所
定の流量に調節されるように流量調節手段が制御され、
流量調節手段により、配管内を流れて処理装置の処理液
吐出手段へ供給される処理液の供給流量が適正に調節さ
れる。そして、この処理液供給装置では、配管の、第２
振動子の取着位置と第３振動子の取着位置との間が、螺
旋状、Ｕ字状または蛇行状に形成されているので、配管
の一部および３個の振動子から構成された計測部を設置
するためのスペースが少なくて済み、配管の設置が容易
になる。また、第１および第２の各振動子の取着位置間
の管路長さならびに第１および第３の各振動子の取着位
置間の管路長さを十分に確保することができるので、そ
れぞれの振動子間での振動の伝播時間の計測を精度良く
行うことができて、流量の測定精度を高く保つことがで
き、このため、処理装置の処理液吐出手段への処理液の
供給流量が所定の流量に精度良く調節される。
【００２２】請求項８に係る発明の処理液供給装置で
は、測定された処理液の流量が表示手段に表示されおよ
び／または記録手段に記録されるので、処理装置に設け
られた処理液吐出手段への処理液の供給流量が適正であ
るかどうかのチェックを行うことが可能である。
は、測定された処理液の流量が表示手段に表示されおよ
び／または記録手段に記録されるので、処理装置に設け
られた処理液吐出手段への処理液の供給流量が適正であ
るかどうかのチェックを行うことが可能である。
【００２３】請求項９に係る発明の処理液供給装置で
は、基板処理装置において処理される基板の表面へ所定
の流量の処理液を供給することが可能である。
は、基板処理装置において処理される基板の表面へ所定
の流量の処理液を供給することが可能である。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図１ないし図７を参照しながら説明する。
について図１ないし図７を参照しながら説明する。
【００２５】図１は、本発明に係る流量測定装置を含ん
だ処理液供給装置の概略構成を示すとともに、処理液供
給装置によって被処理体へ処理液を供給して被処理体を
処理する処理装置の要部を一部縦断面で示した図であ
る。図１に示した処理装置は、スピンコータやスピンデ
ベロッパ、スピンスクラバなどのように、半導体ウエハ
やガラス基板などの基板を水平姿勢に保持して鉛直軸回
りに回転させながら塗布液、現像液、洗浄液などの処理
液を基板表面へ供給して処理を行う基板回転式処理装置
の１例である。
だ処理液供給装置の概略構成を示すとともに、処理液供
給装置によって被処理体へ処理液を供給して被処理体を
処理する処理装置の要部を一部縦断面で示した図であ
る。図１に示した処理装置は、スピンコータやスピンデ
ベロッパ、スピンスクラバなどのように、半導体ウエハ
やガラス基板などの基板を水平姿勢に保持して鉛直軸回
りに回転させながら塗布液、現像液、洗浄液などの処理
液を基板表面へ供給して処理を行う基板回転式処理装置
の１例である。
【００２６】基板回転式処理装置１０の構成を簡単に説
明しておくと、この処理装置１０は、基板Ｗを水平姿勢
に保持するスピンチャック１２を有し、スピンチャック
１２に保持された基板Ｗは、スピンチャック１２を支持
する回転支軸１４に連結されたスピンモータ１６によっ
て鉛直軸回りに回転させられる。基板Ｗの周囲には、上
面に開口２０を有し、スピンチャック１２に保持された
基板Ｗの側方および下方を取り囲むような容器状に形成
されたカップ１８が配設されている。カップ１８の内部
には、スピンチャック１２に保持された基板Ｗの下方に
円錐台状の整流板２２が固設されており、整流板２２の
下面側とカップ１８の内底面との間に通気路２４が形成
され、整流板２２の下方位置に排気路２６が設けられて
いる。また、カップ１８の内底部は排液路２８をなして
おり、カップ１８の内底部にドレン配管３０が接続され
ている。そして、スピンチャック１２に保持された基板
Ｗの上方には、基板Ｗの表面へ処理液を供給する吐出ノ
ズル３２が配設されている。
明しておくと、この処理装置１０は、基板Ｗを水平姿勢
に保持するスピンチャック１２を有し、スピンチャック
１２に保持された基板Ｗは、スピンチャック１２を支持
する回転支軸１４に連結されたスピンモータ１６によっ
て鉛直軸回りに回転させられる。基板Ｗの周囲には、上
面に開口２０を有し、スピンチャック１２に保持された
基板Ｗの側方および下方を取り囲むような容器状に形成
されたカップ１８が配設されている。カップ１８の内部
には、スピンチャック１２に保持された基板Ｗの下方に
円錐台状の整流板２２が固設されており、整流板２２の
下面側とカップ１８の内底面との間に通気路２４が形成
され、整流板２２の下方位置に排気路２６が設けられて
いる。また、カップ１８の内底部は排液路２８をなして
おり、カップ１８の内底部にドレン配管３０が接続され
ている。そして、スピンチャック１２に保持された基板
Ｗの上方には、基板Ｗの表面へ処理液を供給する吐出ノ
ズル３２が配設されている。
【００２７】基板回転式処理装置１０に設けられた吐出
ノズル３２には、処理液供給装置３４の配管３６が接続
されており、配管３６は処理液供給源に接続されてい
る。処理液供給装置３４は、流量測定装置を含んでお
り、流量測定装置の計測部３８は、配管３６の途中に一
対の振動子４０、４２を取着して構成されている。図２
に計測部３８の斜視図を示すように、振動子４０、４２
は、それぞれリング状をなす圧電素子からなり、配管３
６に外嵌して取着されている。処理液の流動方向におけ
る上流側に配置される第１振動子４０とその下流側に配
置される第２振動子４２とは、所定の管路長さを隔てる
ように配管３６に取着されている。配管３６は、例えば
内径２〜４ｍｍ程度のフッ化樹脂チューブで形成され、
少なくとも第１振動子４０の取着位置と第２振動子４２
の取着位置との間が一定の内径に形成されている。そし
て、配管３６は、第１振動子４０の取着位置と第２振動
子４２の取着位置との間が、図２に示すように螺旋状に
形成されており、必要な管路長さが確保されるようにな
っている。
ノズル３２には、処理液供給装置３４の配管３６が接続
されており、配管３６は処理液供給源に接続されてい
る。処理液供給装置３４は、流量測定装置を含んでお
り、流量測定装置の計測部３８は、配管３６の途中に一
対の振動子４０、４２を取着して構成されている。図２
に計測部３８の斜視図を示すように、振動子４０、４２
は、それぞれリング状をなす圧電素子からなり、配管３
６に外嵌して取着されている。処理液の流動方向におけ
る上流側に配置される第１振動子４０とその下流側に配
置される第２振動子４２とは、所定の管路長さを隔てる
ように配管３６に取着されている。配管３６は、例えば
内径２〜４ｍｍ程度のフッ化樹脂チューブで形成され、
少なくとも第１振動子４０の取着位置と第２振動子４２
の取着位置との間が一定の内径に形成されている。そし
て、配管３６は、第１振動子４０の取着位置と第２振動
子４２の取着位置との間が、図２に示すように螺旋状に
形成されており、必要な管路長さが確保されるようにな
っている。
【００２８】第１振動子４０および第２振動子４２はそ
れぞれ、電圧印加装置４４および受信回路４６に電気的
に接続されており、電圧印加装置４４および受信回路４
６はマイクロコンピュータ４８に接続されている。そし
て、マイクロコンピュータ４８からの指令信号に従って
電圧印加装置４４により、第１振動子４０または第２振
動子４２に択一的にステップ状電圧が印加され、また、
第２振動子４２または第１振動子４０から振動の検出信
号が受信回路４６へ送られ、受信回路４６から受信信号
がマイクロコンピュータ４８へ入力される。
れぞれ、電圧印加装置４４および受信回路４６に電気的
に接続されており、電圧印加装置４４および受信回路４
６はマイクロコンピュータ４８に接続されている。そし
て、マイクロコンピュータ４８からの指令信号に従って
電圧印加装置４４により、第１振動子４０または第２振
動子４２に択一的にステップ状電圧が印加され、また、
第２振動子４２または第１振動子４０から振動の検出信
号が受信回路４６へ送られ、受信回路４６から受信信号
がマイクロコンピュータ４８へ入力される。
【００２９】配管３６内を流れる処理液の流量の測定原
理は、従来の流量測定装置と全く同じであり、まず、マ
イクロコンピュータ４８からの指令に従って電圧印加装
置４４により第１振動子４０にステップ状電圧が印加さ
れ、第１振動子４０が振動し、この振動が、配管３６の
管壁を介して処理液に伝達されて、管内を流れる処理液
にパルス的に振動が励起させられ、その処理液の振動が
第２振動子４２により検出されて検出信号が受信回路４
６へ送られ、受信回路４６から振動の受信信号がマイク
ロコンピュータ４８へ送られる。そして、第１振動子４
０への電圧の印加時点から第２振動子４２による振動の
受信時点までの時間ｔ1が、内部のメモリに記憶され
る。次に、マイクロコンピュータ４８からの指令に従っ
て電圧印加装置４４により第２振動子４２にステップ状
電圧が印加され、第２振動子４２が振動し、この振動が
処理液に伝達されて、管内を流れる処理液にパルス的に
振動が励起させられ、その処理液の振動が第１振動子４
０により検出されて検出信号が受信回路４６へ送られ、
受信回路４６から振動の受信信号がマイクロコンピュー
タ４８へ送られる。そして、第２振動子４２への電圧の
印加時点から第１振動子４０による振動の受信時点まで
の時間ｔ2と内部メモリから読み出された時間ｔ1との差
が算出され、その時間差から処理液の流速が求められ、
その流速から処理液の流量が算出される。
理は、従来の流量測定装置と全く同じであり、まず、マ
イクロコンピュータ４８からの指令に従って電圧印加装
置４４により第１振動子４０にステップ状電圧が印加さ
れ、第１振動子４０が振動し、この振動が、配管３６の
管壁を介して処理液に伝達されて、管内を流れる処理液
にパルス的に振動が励起させられ、その処理液の振動が
第２振動子４２により検出されて検出信号が受信回路４
６へ送られ、受信回路４６から振動の受信信号がマイク
ロコンピュータ４８へ送られる。そして、第１振動子４
０への電圧の印加時点から第２振動子４２による振動の
受信時点までの時間ｔ1が、内部のメモリに記憶され
る。次に、マイクロコンピュータ４８からの指令に従っ
て電圧印加装置４４により第２振動子４２にステップ状
電圧が印加され、第２振動子４２が振動し、この振動が
処理液に伝達されて、管内を流れる処理液にパルス的に
振動が励起させられ、その処理液の振動が第１振動子４
０により検出されて検出信号が受信回路４６へ送られ、
受信回路４６から振動の受信信号がマイクロコンピュー
タ４８へ送られる。そして、第２振動子４２への電圧の
印加時点から第１振動子４０による振動の受信時点まで
の時間ｔ2と内部メモリから読み出された時間ｔ1との差
が算出され、その時間差から処理液の流速が求められ、
その流速から処理液の流量が算出される。
【００３０】上記したようにして求められた処理液の流
量は、ディスプレイ５０に表示され、また必要により、
プリンタ５２によって印刷され、あるいは外部のメモリ
５４に記録される。また、求められた処理液の流量に基
づいて、基板回転式処理装置１０の吐出ノズル３２へ配
管３６を通して供給される処理液の流量を適正に調節し
ようとするときは、入力装置、例えばキーボード５６に
よって設定流量をマイクロコンピュータ４８に入力して
おき、その設定流量と測定流量とを比較して、配管３６
に介挿されたニードル弁５８へ制御信号を送り、配管３
６内を流れる処理液の流量が設定流量通りになるように
ニードル弁５８によって流量が調節されるようにする。
量は、ディスプレイ５０に表示され、また必要により、
プリンタ５２によって印刷され、あるいは外部のメモリ
５４に記録される。また、求められた処理液の流量に基
づいて、基板回転式処理装置１０の吐出ノズル３２へ配
管３６を通して供給される処理液の流量を適正に調節し
ようとするときは、入力装置、例えばキーボード５６に
よって設定流量をマイクロコンピュータ４８に入力して
おき、その設定流量と測定流量とを比較して、配管３６
に介挿されたニードル弁５８へ制御信号を送り、配管３
６内を流れる処理液の流量が設定流量通りになるように
ニードル弁５８によって流量が調節されるようにする。
【００３１】図２に示した計測部３８は、配管３６の、
第１振動子４０と第２振動子４２との間を螺旋状に形成
しているが、図３に斜視図を示すように、第１振動子６
４と第２振動子６６との間における配管６２の形状をＵ
字状として計測部６０を形成しても良い。この場合、配
管６２の屈曲部を、図に示したような円弧状でなく、直
管を鉤状に折曲させた形状としても、流量の測定には差
し支えない。さらに、図４に平面図を示すように、第１
振動子７２と第２振動子７４との間における配管７０の
形状を蛇行状として計測部６８を形成することもでき
る。
第１振動子４０と第２振動子４２との間を螺旋状に形成
しているが、図３に斜視図を示すように、第１振動子６
４と第２振動子６６との間における配管６２の形状をＵ
字状として計測部６０を形成しても良い。この場合、配
管６２の屈曲部を、図に示したような円弧状でなく、直
管を鉤状に折曲させた形状としても、流量の測定には差
し支えない。さらに、図４に平面図を示すように、第１
振動子７２と第２振動子７４との間における配管７０の
形状を蛇行状として計測部６８を形成することもでき
る。
【００３２】図５は、図１ないし図４に示した計測部と
は異なる構成の計測部を示す斜視図である。この計測部
７６は、配管７８に第１振動子８０、第２振動子８２お
よび第３振動子８４の３つの振動子をそれぞれ外嵌して
取着した構成を有する。中央に配置された第１振動子８
０と、その第１振動子８０より処理液の流動方向におけ
る下流側に配置された第２振動子８２との間の管路長さ
と、第１振動子８０より処理液の流動方向における上流
側に配置された第３振動子８４と第１振動子８０との間
の管路長さとは、同等にされている。そして、配管７８
の、第２振動子８２の取着位置と第３振動子８４の取着
位置との間が螺旋状に形成されている。
は異なる構成の計測部を示す斜視図である。この計測部
７６は、配管７８に第１振動子８０、第２振動子８２お
よび第３振動子８４の３つの振動子をそれぞれ外嵌して
取着した構成を有する。中央に配置された第１振動子８
０と、その第１振動子８０より処理液の流動方向におけ
る下流側に配置された第２振動子８２との間の管路長さ
と、第１振動子８０より処理液の流動方向における上流
側に配置された第３振動子８４と第１振動子８０との間
の管路長さとは、同等にされている。そして、配管７８
の、第２振動子８２の取着位置と第３振動子８４の取着
位置との間が螺旋状に形成されている。
【００３３】図５に示した計測部７６では、配管７８内
を流れる処理液に第１振動子８０によって振動を発生さ
せ、その処理液の振動を第２振動子８２および第３振動
子８４によってそれぞれ受信する。そして、第１振動子
８０により処理液に振動を発生させた時点から第２振動
子８２および第３振動子８４により処理液の振動がそれ
ぞれ受信された各時点までの時間の差から、配管７８内
を流れる処理液の流速が求められ、その流速から処理液
の流量が算出されることになる。
を流れる処理液に第１振動子８０によって振動を発生さ
せ、その処理液の振動を第２振動子８２および第３振動
子８４によってそれぞれ受信する。そして、第１振動子
８０により処理液に振動を発生させた時点から第２振動
子８２および第３振動子８４により処理液の振動がそれ
ぞれ受信された各時点までの時間の差から、配管７８内
を流れる処理液の流速が求められ、その流速から処理液
の流量が算出されることになる。
【００３４】図５に示した計測部７６は、配管７８の、
第２振動子８２と第３振動子８４との間を螺旋状に形成
しているが、図６に斜視図を示すように、第１振動子８
０と第２振動子８２との間および第１振動子８０と第３
振動子８４との間における配管８８の形状をそれぞれＵ
字状として計測部８６を形成してもよい。この場合、配
管８８の屈曲部を、図に示したような円弧状でなく、直
管を鉤状に折曲させた形状としても差し支えない。さら
に、図７に平面図を示すように、第１振動子１００と第
２振動子１０２との間および第１振動子１００と第３振
動子１０４との間における配管９８の形状をそれぞれ蛇
行状として計測部９６を形成することもできる。
第２振動子８２と第３振動子８４との間を螺旋状に形成
しているが、図６に斜視図を示すように、第１振動子８
０と第２振動子８２との間および第１振動子８０と第３
振動子８４との間における配管８８の形状をそれぞれＵ
字状として計測部８６を形成してもよい。この場合、配
管８８の屈曲部を、図に示したような円弧状でなく、直
管を鉤状に折曲させた形状としても差し支えない。さら
に、図７に平面図を示すように、第１振動子１００と第
２振動子１０２との間および第１振動子１００と第３振
動子１０４との間における配管９８の形状をそれぞれ蛇
行状として計測部９６を形成することもできる。
【００３５】なお、図５ないし図７に示した各計測部７
６、８６、９６では、配管７８、８８、９８内を流れる
処理液に第１振動子８０、９０、１００によって振動を
発生させ、その処理液の振動を第２振動子８２、９２、
１０２および第３振動子８４、９４、１０４によってそ
れぞれ受信するようにしたが、第２振動子８２、９２、
１０２および第３振動子８４、９４、１０４によって処
理液に同時にあるいは時間をずらせてそれぞれ振動を発
生させ、その処理液の各振動を第１振動子８０、９０、
１００によってそれぞれ受信するようにしてもよい。こ
の場合には、第２振動子８２、９２、１０２および第３
振動子８４、９４、１０４により処理液にそれぞれ振動
を発生させた時点から第１振動子８０、９０、１００に
より処理液の各振動がそれぞれ受信された各時点までの
時間の差から、配管７８、８８、９８内を流れる処理液
の流速が求められ、その流速から処理液の流量が算出さ
れることになる。
６、８６、９６では、配管７８、８８、９８内を流れる
処理液に第１振動子８０、９０、１００によって振動を
発生させ、その処理液の振動を第２振動子８２、９２、
１０２および第３振動子８４、９４、１０４によってそ
れぞれ受信するようにしたが、第２振動子８２、９２、
１０２および第３振動子８４、９４、１０４によって処
理液に同時にあるいは時間をずらせてそれぞれ振動を発
生させ、その処理液の各振動を第１振動子８０、９０、
１００によってそれぞれ受信するようにしてもよい。こ
の場合には、第２振動子８２、９２、１０２および第３
振動子８４、９４、１０４により処理液にそれぞれ振動
を発生させた時点から第１振動子８０、９０、１００に
より処理液の各振動がそれぞれ受信された各時点までの
時間の差から、配管７８、８８、９８内を流れる処理液
の流速が求められ、その流速から処理液の流量が算出さ
れることになる。
【００３６】
【発明の効果】請求項１、請求項２および請求項３に係
る各発明の流量測定装置は、管路を流れる流体に所定位
置で振動を発生させてその振動を所定距離だけ離れた位
置で受信することにより流体の流量を測定する場合に、
必要な測定精度を確保することができ、かつ、管体およ
び複数の振動子から構成される計測部の設置スペースが
少なくて済み、計測部の設置が容易である。
る各発明の流量測定装置は、管路を流れる流体に所定位
置で振動を発生させてその振動を所定距離だけ離れた位
置で受信することにより流体の流量を測定する場合に、
必要な測定精度を確保することができ、かつ、管体およ
び複数の振動子から構成される計測部の設置スペースが
少なくて済み、計測部の設置が容易である。
【００３７】請求項４に係る発明の流量測定装置では、
流体の流量を表示する表示手段および／または流体の流
量を記録する記録手段により、流体の流量が適正である
かどうかのチェックを行うことができる。
流体の流量を表示する表示手段および／または流体の流
量を記録する記録手段により、流体の流量が適正である
かどうかのチェックを行うことができる。
【００３８】請求項５、請求項６および請求項７に係る
各発明の処理液供給装置は、処理装置の処理液吐出手段
に流路接続された配管内を流れる処理液の流量を精度良
く測定して、処理液吐出手段へ供給される処理液の流量
が所定流量になるように適正に調節することができ、処
理装置における被処理体の処理品質の向上に寄与するこ
とができる。また、管体および複数の振動子から構成さ
れる計測部の設置スペースが少なくて済み、計測部の設
置が容易である。
各発明の処理液供給装置は、処理装置の処理液吐出手段
に流路接続された配管内を流れる処理液の流量を精度良
く測定して、処理液吐出手段へ供給される処理液の流量
が所定流量になるように適正に調節することができ、処
理装置における被処理体の処理品質の向上に寄与するこ
とができる。また、管体および複数の振動子から構成さ
れる計測部の設置スペースが少なくて済み、計測部の設
置が容易である。
【００３９】請求項８に係る発明の処理液供給装置で
は、処理液の流量を表示する表示手段および／または処
理液の流量を記録する記録手段により、処理液吐出手段
への処理液の供給流量が適正であるかどうかのチェック
を行うことができ、被処理体の処理品質の保持、管理に
役立つ。
は、処理液の流量を表示する表示手段および／または処
理液の流量を記録する記録手段により、処理液吐出手段
への処理液の供給流量が適正であるかどうかのチェック
を行うことができ、被処理体の処理品質の保持、管理に
役立つ。
【００４０】請求項９に係る発明の処理液供給装置で
は、基板処理装置において処理される基板の表面へ所定
の流量の処理液を供給することができ、基板の処理品質
の向上に寄与する。
は、基板処理装置において処理される基板の表面へ所定
の流量の処理液を供給することができ、基板の処理品質
の向上に寄与する。
【図１】本発明に係る流量測定装置を含んだ処理液供給
装置の概略構成の１例を、処理液供給装置によって被処
理体へ処理液を供給して被処理体を処理する処理装置の
要部の一部縦断面図と共に示した図である。
装置の概略構成の１例を、処理液供給装置によって被処
理体へ処理液を供給して被処理体を処理する処理装置の
要部の一部縦断面図と共に示した図である。
【図２】図１に示した流量測定装置の一部を構成する計
測部の１例を示す斜視図である。
測部の１例を示す斜視図である。
【図３】図２に示した計測部と配管の形状が異なる計測
部の例を示す斜視図である。
部の例を示す斜視図である。
【図４】図２および図３に示した計測部と配管の形状が
異なる計測部の例を示す平面図である。
異なる計測部の例を示す平面図である。
【図５】図１ないし図４に示した計測部とは異なる構成
の計測部の１例を示す斜視図である。
の計測部の１例を示す斜視図である。
【図６】図５に示した計測部と配管の形状が異なる計測
部の例を示す斜視図である。
部の例を示す斜視図である。
【図７】図５および図６に示した計測部と配管の形状が
異なる計測部の例を示す平面図である。
異なる計測部の例を示す平面図である。
【図８】従来の流量測定装置の一部を構成する計測部の
１例を示す斜視図である。
１例を示す斜視図である。
Ｗ 基板 １０ 基板回転式処理装置 ３２ 吐出ノズル ３４ 処理液供給装置 ３６、６２、７０、７８、８８、９８ 配管 ３８、６０、６８、７６、８６、９６ 計測部 ４０、６４、７２ 第１振動子 ４２、６６、７４ 第２振動子 ４４ 電圧印加装置 ４６ 受信回路 ４８ マイクロコンピュータ ５０ ディスプレイ ５２ プリンタ ５４ メモリ ５６ キーボード ５８ ニードル弁 ８０、９０、１００ 第１振動子 ８２、９２、１０２ 第２振動子 ８４、９４、１０４ 第３振動子
Claims (9)
- 【請求項１】 所定の内径を有する管体に取着され、管
内を流れる流体にパルス的に振動を発生させおよび流体
の振動を受信する第１振動子と、 前記管体に、前記第１振動子の取着位置から所定の距離
を隔てた位置で取着され、管内を流れる流体にパルス的
に振動を発生させおよび振動を受信する第２振動子と、 前記第１振動子により流体に振動を発生させた時点から
前記第２振動子に流体の当該振動が受信された時点まで
の時間と、前記第２振動子により流体に振動を発生させ
た時点から前記第１振動子に流体の当該振動が受信され
た時点までの時間との差により、前記管体の管内を流れ
る流体の流速を求めて流体の流量を算出する演算手段
と、を備え、 前記第１振動子の取着位置と前記第２振動子の取着位置
との間の前記管体を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする流量測定装置。 - 【請求項２】 所定の内径を有する管体に取着され、管
内を流れる流体にパルス的に振動を発生させる第１振動
子と、 前記管体に、前記第１振動子の取着位置から流体の流動
方向へ所定の管路長さだけ離れた位置で取着され、管内
を流れる流体の振動を受信する第２振動子と、 前記管体に、前記第１振動子の取着位置から流体の流動
方向と反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路長
さだけ離れた位置で取着され、管内を流れる流体の振動
を受信する第３振動子と、 前記第１振動子により流体に振動を発生させた時点から
前記第２振動子に流体の当該振動が受信された時点まで
の時間と、前記第１振動子により流体に振動を発生させ
た時点から前記第３振動子に流体の当該振動が受信され
た時点までの時間との差により、前記管体の管内を流れ
る流体の流速を求めて流体の流量を算出する演算手段
と、を備え、 前記第２振動子の取着位置と前記第３振動子の取着位置
との間の前記管体を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする流量測定装置。 - 【請求項３】 所定の内径を有する管体に取着され、管
内を流れる流体の振動を受信する第１振動子と、 前記管体に、前記第１振動子の取着位置から流体の流動
方向へ所定の管路長さだけ離れた位置で取着され、管内
を流れる流体にパルス的に振動を発生させる第２振動子
と、 前記管体に、前記第１振動子の取着位置から流体の流動
方向と反対の方向へ前記所定の管路長さと同等の管路長
さだけ離れた位置で取着され、管内を流れる流体にパル
ス的に振動を発生させる第３振動子と、 前記第２振動子により流体に振動を発生させた時点から
前記第１振動子に流体の当該振動が受信された時点まで
の時間と、前記第３振動子により流体に振動を発生させ
た時点から前記第１振動子に流体の当該振動が受信され
た時点までの時間との差により、前記管体の管内を流れ
る流体の流速を求めて流体の流量を算出する演算手段
と、を備え、 前記第２振動子の取着位置と前記第３振動子の取着位置
との間の前記管体を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする流量測定装置。 - 【請求項４】 演算手段によって算出された流体の流量
を表示する表示手段および／または流体の流量を記録す
る記録手段が設けられた請求項１ないし請求項３のいず
れかに記載の流量測定装置。 - 【請求項５】 被処理体へ処理液を供給して被処理体を
処理する処理装置に設けられた処理液吐出手段に流路接
続された配管と、 この配管内を流れる処理液の流量を調節する流量調節手
段と、 前記配管の途中に取着され、配管内を流れる処理液にパ
ルス的に振動を発生させおよび処理液の振動を受信する
第１振動子と、 前記配管の途中に、前記第１振動子の取着位置から所定
の距離を隔てた位置で取着され、配管内を流れる処理液
にパルス的に振動を発生させおよび処理液の振動を受信
する第２振動子と、 前記第１振動子により処理液に振動を発生させた時点か
ら前記第２振動子に処理液の当該振動が受信された時点
までの時間と、前記第２振動子により処理液に振動を発
生させた時点から前記第１振動子に処理液の当該振動が
受信された時点までの時間との差により、前記配管内を
流れる処理液の流速を求めて処理液の流量を算出する演
算手段と、 この演算手段からの信号を受けて、前記配管内を流れる
処理液の流量が所定の流量に調節されるように前記流量
調節手段へ制御信号を送る流量制御手段と、を備え、 前記第１振動子の取着位置と前記第２振動子の取着位置
との間の前記配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする処理液供給装置。 - 【請求項６】 被処理体へ処理液を供給して被処理体を
処理する処理装置に設けられた処理液吐出手段に流路接
続された配管と、 この配管内を流れる処理液の流量を調節する流量調節手
段と、 前記配管の途中に取着され、配管内を流れる処理液にパ
ルス的に振動を発生させる第１振動子と、 前記配管の途中に、前記第１振動子の取着位置から処理
液の流動方向へ所定の管路長さだけ離れた位置で取着さ
れ、配管内を流れる処理液の振動を受信する第２振動子
と、 前記配管の途中に、前記第１振動子の取着位置から処理
液の流動方向と反対の方向へ前記所定の管路長さと同等
の管路長さだけ離れた位置で取着され、配管内を流れる
処理液の振動を受信する第３振動子と、 前記第１振動子により処理液に振動を発生させた時点か
ら前記第２振動子に処理液の当該振動が受信された時点
までの時間と、前記第１振動子により処理液に振動を発
生させた時点から前記第３振動子に処理液の当該振動が
受信された時点までの時間との差により、前記配管内を
流れる処理液の流速を求めて処理液の流量を算出する演
算手段と、 この演算手段からの信号を受けて、前記配管内を流れる
処理液の流量が所定の流量に調節されるように前記流量
調節手段へ制御信号を送る流量制御手段と、を備え、 前記第２振動子の取着位置と前記第３振動子の取着位置
との間の前記配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする処理液供給装置。 - 【請求項７】 被処理体へ処理液を供給して被処理体を
処理する処理装置に設けられた処理液吐出手段に流路接
続された配管と、 この配管内を流れる処理液の流量を調節する流量調節手
段と、 前記配管の途中に取着され、配管内を流れる処理液の振
動を受信する第１振動子と、 前記配管の途中に、前記第１振動子の取着位置から処理
液の流動方向へ所定の管路長さだけ離れた位置で取着さ
れ、配管内を流れる処理液にパルス的に振動を発生させ
る第２振動子と、 前記配管の途中に、前記第１振動子の取着位置から処理
液の流動方向と反対の方向へ前記所定の管路長さと同等
の管路長さだけ離れた位置で取着され、配管内を流れる
処理液にパルス的に振動を発生させる第３振動子と、 前記第２振動子により処理液に振動を発生させた時点か
ら前記第１振動子に処理液の当該振動が受信された時点
までの時間と、前記第３振動子により処理液に振動を発
生させた時点から前記第１振動子に処理液の当該振動が
受信された時点までの時間との差により、前記配管内を
流れる処理液の流速を求めて処理液の流量を算出する演
算手段と、 この演算手段からの信号を受けて、前記配管内を流れる
処理液の流量が所定の流量に調節されるように前記流量
調節手段へ制御信号を送る流量制御手段と、を備え、 前記第２振動子の取着位置と前記第３振動子の取着位置
との間の前記配管を、螺旋状、Ｕ字状または蛇行状に形
成したことを特徴とする処理液供給装置。 - 【請求項８】 演算手段によって算出された処理液の流
量を表示する表示手段および／または処理液の流量を記
録する記録手段が設けられた請求項５ないし請求項７の
いずれかに記載の処理液供給装置。 - 【請求項９】 配管に流路接続された処理液吐出手段を
有する処理装置が、基板の表面へ処理液を供給して基板
を処理する基板処理装置である請求項５ないし請求項８
のいずれかに記載の処理液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8327547A JPH10153464A (ja) | 1996-11-21 | 1996-11-21 | 流量測定装置およびそれを用いた処理液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8327547A JPH10153464A (ja) | 1996-11-21 | 1996-11-21 | 流量測定装置およびそれを用いた処理液供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10153464A true JPH10153464A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18200300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8327547A Pending JPH10153464A (ja) | 1996-11-21 | 1996-11-21 | 流量測定装置およびそれを用いた処理液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10153464A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003083787A (ja) * | 2002-08-30 | 2003-03-19 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 超音波流量計 |
| WO2004097345A1 (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-11 | Avance Techne Accent Corp. | 衝撃流量計 |
| WO2005119182A1 (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Avance Techne Accent Corp. | 流体の流量測定方法及び流量測定装置 |
| CN110202393A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-06 | 江苏大卫精工科技有限公司 | 一种用于镗铣主轴上镗杆的静压支撑机构及其方法 |
| JP2021526642A (ja) * | 2019-03-16 | 2021-10-07 | オイル アンド ガス メータリング エクイップメント エス．アール．オー． | 特にガス用の小型超音波流量計 |
-
1996
- 1996-11-21 JP JP8327547A patent/JPH10153464A/ja active Pending
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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