JPH10134953A - High frequency thawing device - Google Patents

High frequency thawing device

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JPH10134953A
JPH10134953A JP8284821A JP28482196A JPH10134953A JP H10134953 A JPH10134953 A JP H10134953A JP 8284821 A JP8284821 A JP 8284821A JP 28482196 A JP28482196 A JP 28482196A JP H10134953 A JPH10134953 A JP H10134953A
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JP
Japan
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impedance
matching
tap
load
frequency
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Application number
JP8284821A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirotsugu Yano
裕嗣 矢野
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/46Dielectric heating
    • H05B6/48Circuits
    • H05B6/50Circuits for monitoring or control
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/46Dielectric heating
    • H05B6/52Feed lines
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/46Dielectric heating
    • H05B6/62Apparatus for specific applications

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably perform thawing independently of material and mass of a material to be thawed by matching a load impedance of a material to be thawed to an output impedance of a high frequency amplifier circuit with an impedance converting coil transformer. SOLUTION: An impedance converting coil transformer 6 is connected to output of a high frequency oscillator 5 through an input matching detecting circuit 15, and a matching coil 7 and a variable capacitor 8 are connected in series through a tap switching unit 6a so as to supply the high frequency power to an upper and a lower electrodes 2, 3, and a material 4 to be thawed as a load is heated by induction heating. In this high frequency thawing device, the switching unit 6a operates plural switching devices corresponding to each tap of the coil through a control device so as to match the output impedance of the high frequency amplifier circuit to the impedance of the material 4 to be thawed. Furthermore, matching of the impedance of each tap and the load impedance to each other is adjusted through the coil 7 and the variable capacitor 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、冷凍食品などを誘
電加熱によって解凍する高周波解凍装置における、高周
波増幅回路の出力インピーダンスと非解凍物の負荷イン
ピーダンスとの整合に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to matching between the output impedance of a high-frequency amplifier circuit and the load impedance of a non-thawed product in a high-frequency thawing apparatus for thawing frozen food or the like by dielectric heating.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6は、誘電加熱による高周波解凍装置
の概略構成図を示す。装置筺体1の中に上部電極板2と
下部電極板3が設置され、両電極板の間に被解凍物4が
置かれる。そして両電極板間には高周波発振器5から高
周波電力が供給される。この装置において、高周波発振
器5の出力インピーダンスと被解凍物4の負荷インピー
ダンスとが整合していないと、反射波の電力を高周波発
振器5で消費しなければならならないため、高周波発振
器5を破損するおそれがある。このため増幅回路の出力
インピーダンスと負荷インピーダンスとを整合する必要
がある。
2. Description of the Related Art FIG. 6 is a schematic diagram showing a high-frequency thawing apparatus using dielectric heating. An upper electrode plate 2 and a lower electrode plate 3 are installed in an apparatus housing 1, and an object to be thawed 4 is placed between the two electrode plates. Then, high-frequency power is supplied from the high-frequency oscillator 5 between the two electrode plates. In this device, if the output impedance of the high-frequency oscillator 5 does not match the load impedance of the object 4 to be defrosted, the high-frequency oscillator 5 must consume the power of the reflected wave, and the high-frequency oscillator 5 may be damaged. There is. Therefore, it is necessary to match the output impedance of the amplifier circuit with the load impedance.

【0003】ところで工業用の誘電加熱を用いた高周波
解凍装置では、解凍する負荷の材質が一定であるため負
荷インピーダンスも一定となり、負荷によるインピーダ
ンスの調整を必要としていなかった。
[0003] In an industrial high-frequency defroster using dielectric heating, the load impedance to be defrosted is constant because the material of the load to be defrosted is constant, and it is not necessary to adjust the impedance by the load.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、解凍す
る冷凍食品などが一定でないものは、増幅回路の出力イ
ンピーダンスを可変できないため、冷凍食品の負荷イン
ピーダンスと整合することが非常に困難である。また、
増幅回路の出力インピーダンスと整合するように冷凍食
品の量および材質を調整することはそれ以上に困難であ
る。さらに冷凍食品が解凍されていくと、材質などが不
均一となり、負荷インピーダンスの変動があるため、イ
ンピーダンス整合の調整が必要となる。
However, if the frozen food to be thawed is not constant, it is very difficult to match the load impedance of the frozen food because the output impedance of the amplifier circuit cannot be varied. Also,
It is even more difficult to adjust the quantity and material of the frozen food to match the output impedance of the amplifier circuit. Further, as the frozen food is thawed, the material and the like become non-uniform and the load impedance fluctuates, so that it is necessary to adjust the impedance matching.

【0005】そこで本発明は、被解凍物の負荷インピー
ダンスと高周波増幅回路の出力インピーダンスとをイン
ピーダンス変換トランスによって整合させて、被解凍物
の材質や量にかかわらず、解凍処理のできる高周波解凍
装置を提供することを目的とする。
Accordingly, the present invention provides a high-frequency decompression device capable of performing a decompression process irrespective of the material and amount of the decompression object by matching the load impedance of the decompression object with the output impedance of the high-frequency amplification circuit by using an impedance conversion transformer. The purpose is to provide.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明の請求項1に記載の高周波解凍装置は、冷凍
物を誘電加熱によって解凍する高周波解凍装置におい
て、高周波増幅回路の出力インピーダンスを被解凍物の
負荷インピーダンスと整合するためのタップ切り換え部
を有するインピーダンス変換用コイルトランスと、この
インピーダンス変換用コイルトランスのタップ切り替え
部におけるインピーダンスを前記負荷インピーダンスと
整合するために、各タップのインピーダンス値に基づ
き、前記タップ切り替え部を切り替える切替制御部と、
前記インピーダンス変換用コイルトランスの各タップに
おけるインピーダンスと前記負荷インピーダンスとの整
合を調整するためのコイルおよび可変容量コンデンサと
を具備することを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a high-frequency thawing apparatus for thawing a frozen product by dielectric heating. And an impedance conversion coil transformer having a tap switching unit for matching the load impedance of the object to be defrosted, and an impedance of each tap for matching the impedance in the tap switching unit of the impedance conversion coil transformer with the load impedance. A switching control unit that switches the tap switching unit based on the value,
A coil and a variable capacitor for adjusting the matching between the impedance at each tap of the impedance transformer and the load impedance are provided.

【0007】本発明の請求項2に記載の高周波解凍装置
は、請求項1に記載の高周波解凍装置を構成する手段に
加えて、前記インピーダンス変換用コイルトランスの全
てのタップにおける可変容量コンデンサの容量を変化さ
せた場合の整合データを記憶した記憶手段を備え、その
整合データを参照して最適な整合位置を検出する整合検
出手段を具備する。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a high frequency decompression device according to the first aspect of the present invention, wherein the capacitance of the variable capacitor at all taps of the impedance conversion coil transformer is added. And storage means for storing matching data in the case of changing the data, and matching detecting means for detecting an optimum matching position by referring to the matching data.

【0008】本発明の請求項3に記載の高周波解凍装置
は、請求項1に記載の高周波解凍装置を構成する手段に
加えて、前のタップのインピーダンスと現在のタップの
インピーダンスとの平均値から、次のタップのインピー
ダンスと現在のタップのインピーダンスとの平均値まで
の間を、可変容量コンデンサの容量を変化させて整合す
る可変容量制御手段を具備する。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a high-frequency decompression device according to the first aspect of the present invention, wherein the high-frequency decompression device according to the first aspect further includes means for calculating the average value of the impedance of the previous tap and the current tap. , A variable capacitance control unit that changes the capacitance of the variable capacitance capacitor to match the impedance up to the average value of the impedance of the next tap and the impedance of the current tap.

【0009】本発明の請求項4に記載の高周波解凍装置
は、請求項1に記載の高周波解凍装置を構成する手段に
加えて、インピーダンス変換用コイルトランスのタップ
を切り替える際に、前記高周波増幅回路の出力を絞る高
周波調整手段を具備する。
According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the high frequency decompression device according to the first aspect, the high frequency amplifying circuit is used when a tap of an impedance conversion coil transformer is switched. And a high-frequency adjusting means for narrowing the output.

【0010】本発明の請求項5に記載の高周波解凍装置
は、請求項1に記載の高周波解凍装置を構成する手段に
加えて、インピーダンス変換用コイルトランスの出力側
と負荷の間に、負荷インピーダンスとの整合状態を監視
する負荷整合監視手段を具備する。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a high-frequency decompression device according to the first aspect of the present invention, wherein a load impedance is provided between an output side of the impedance conversion coil transformer and the load. A load matching monitoring means for monitoring a matching state with the load.

【0011】本発明の請求項6に記載の高周波解凍装置
は、請求項1に記載の高周波解凍装置を構成する手段に
加えて、負荷インピーダンスの変動に対応して虚数成分
を極小にするように、可変容量コンデンサの調整時の容
量変化と逆方向に変化させる可変容量コンデンサの容量
調整手段を具備する。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a high-frequency decompression device according to the first aspect of the present invention, wherein an imaginary component is minimized in response to a change in load impedance. A variable capacitance capacitor adjusting means for changing the capacitance in a direction opposite to the capacitance change at the time of adjusting the variable capacitance capacitor.

【0012】上記の構成によって、本発明の請求項1に
記載の高周波解凍装置は、インピーダンス変換用コイル
トランスのタップ切り替え部を切り替えることによっ
て、負荷インピーダンスと高周波発振回路の出力インピ
ーダンスとを整合させ、高周波電力を効率良く被解凍物
に印加できる。
According to the above configuration, the high-frequency decompression device according to the first aspect of the present invention matches the load impedance with the output impedance of the high-frequency oscillation circuit by switching the tap switching unit of the impedance conversion coil transformer. High frequency power can be efficiently applied to the object to be thawed.

【0013】本発明の請求項2に記載の高周波解凍装置
は、全てのタップにおける可変容量コンデンサの容量変
化に対応する整合データを参照することによって、整合
位置を確実に検出できる。
The high-frequency decompression device according to the second aspect of the present invention can reliably detect a matching position by referring to matching data corresponding to a change in the capacitance of the variable capacitor at all taps.

【0014】本発明の請求項3に記載の高周波解凍装置
は、整合調整を行うインピーダンス範囲を明確に決定す
ることで、用いる可変容量コンデンサの容量を最小の値
に設定できる。
In the high frequency decompression apparatus according to the third aspect of the present invention, the capacitance of the variable capacitor to be used can be set to the minimum value by clearly determining the impedance range in which the matching adjustment is performed.

【0015】本発明の請求項4に記載の高周波解凍装置
は、タップ切り替えの際に、高周波増幅回路の出力を絞
ることによって、負荷側回路からの高周波電力の反射を
無くし、高周波発振回路の破損を防止する。
In the high-frequency decompression apparatus according to the fourth aspect of the present invention, the reflection of the high-frequency power from the load-side circuit is eliminated by reducing the output of the high-frequency amplifier circuit at the time of tap switching, and the high-frequency oscillation circuit is damaged. To prevent

【0016】本発明の請求項5に記載の高周波解凍装置
は、負荷インピーダンスとの整合状態を監視することに
よって、被解凍物のインピーダンスの虚数成分を無くす
ことができ、高周波電力を効率よく消費することができ
る。
The high-frequency decompression apparatus according to the fifth aspect of the present invention can eliminate the imaginary component of the impedance of the object to be decompressed by monitoring the matching state with the load impedance, and efficiently consumes high-frequency power. be able to.

【0017】本発明の請求項6に記載の高周波解凍装置
は、可変容量コンデンサを調整時と逆方向に容量変化さ
せることによって、容量結合がはずれた場合における制
御不能を防止する。
The high-frequency decompression device according to the sixth aspect of the present invention prevents the loss of control when the capacitive coupling is lost by changing the capacity of the variable capacitor in the direction opposite to that at the time of adjustment.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の第1の実施の形
態の高周波解凍装置の概略回路図である。高周波発振器
5の出力に入力整合検出回路15を介してインピーダン
ス変換用コイルトランス6が接続されている。そしてタ
ップ切り換え部6aを介して整合用コイル7および可変
容量コンデンサ(バリコン)8が直列に接続され、上部
および下部電極板2,3に高周波電力が供給される。
FIG. 1 is a schematic circuit diagram of a high-frequency decompression device according to a first embodiment of the present invention. The output of the high-frequency oscillator 5 is connected to the coil transformer 6 for impedance conversion via the input matching detection circuit 15. The matching coil 7 and the variable capacitor (varicon) 8 are connected in series via the tap switching section 6a, and high frequency power is supplied to the upper and lower electrode plates 2 and 3.

【0019】ここで、インピーダンスの整合を行う目的
は、高周波解凍装置の電極板間の負荷に対して実効電力
を最大限に印加させるためである。被解凍物を負荷とし
て等価回路にて表すと、図2のようになる。この場合被
解凍物に印加される電力Wは、L成分とC成分で合成さ
れるリアクタンス分ZiとR成分による抵抗分Zrと、
被解凍物に印加される電圧Vより、
Here, the purpose of impedance matching is to maximize the effective power applied to the load between the electrode plates of the high-frequency decompression device. FIG. 2 shows an equivalent circuit of the object to be defrosted as a load. In this case, the power W applied to the object to be decompressed includes a reactance component Zi composed of the L component and the C component, a resistance component Zr due to the R component, and
From the voltage V applied to the object to be thawed,

【数1】 となる。ここで、Ziがなくなれば被解凍物で消費され
る電力は最大となる。
(Equation 1) Becomes Here, if Zi disappears, the electric power consumed by the object to be thawed becomes maximum.

【0020】図1の回路において、L成分とC成分とを
互いに相殺する際、冷凍食品をR成分とC成分との等価
回路で考えて冷凍食品中のC成分も相殺しなければなら
ない。このため、整合用コイル7とバリコン8にて、回
路全体のインピーダンスの虚数成分が0となるようにL
成分とC成分とを調整する。これにより、回路全体の中
で、抵抗成分は被解凍物の中にのみ存在することにな
る。したがって、入力電圧は全て被解凍物の抵抗成分に
印加されるため、効率よく被解凍物を解凍することがで
きる。
In the circuit of FIG. 1, when the L component and the C component cancel each other, the C component in the frozen food must also be canceled by considering the frozen food in an equivalent circuit of the R component and the C component. For this reason, the matching coil 7 and the variable condenser 8 are controlled so that the imaginary component of the impedance of the entire circuit becomes zero.
Adjust the components and the C component. As a result, in the entire circuit, the resistance component exists only in the object to be defrosted. Therefore, all the input voltage is applied to the resistance component of the object to be defrosted, so that the object to be defrosted can be efficiently defrosted.

【0021】負荷インピーダンスは、虚数成分が0にな
るように整合を行った場合、Zrとなる。この値は冷凍
食品の大きさや材質によって決まるため、冷凍食品など
の被解凍物が一定のものでなければ一定の値に決まらな
い。このため、インピーダンス変換用トランスコイル6
のタップを切り替え、冷凍食品などの被解凍物に応じて
負荷インピーダンスの変換を行う。
The load impedance becomes Zr when matching is performed so that the imaginary component becomes zero. Since this value is determined by the size and material of the frozen food, the fixed value is not determined unless the object to be thawed such as the frozen food is constant. Therefore, the impedance conversion transformer coil 6
Is switched to convert the load impedance according to the object to be thawed such as frozen food.

【0022】次に図3は、タップ切り換え部6aの詳細
を示す。最適な整合ポイントを検索するために、インピ
ーダンス変換用コイルトランス6から引き出されたタッ
プ11には制御装置10からの信号によって切り替えら
れる切り替え装置9が複数個設けられている。切り替え
装置9はリレーなどによって構成され、制御装置10は
マイクロコンピュータなどによって構成される。
Next, FIG. 3 shows details of the tap switching section 6a. In order to search for the optimum matching point, the tap 11 drawn from the impedance conversion coil transformer 6 is provided with a plurality of switching devices 9 that can be switched by a signal from the control device 10. The switching device 9 is configured by a relay or the like, and the control device 10 is configured by a microcomputer or the like.

【0023】図4は、バリコン8の制御機構を示し、制
御装置10からの信号により制御される駆動装置13に
て、絶縁型のシャフト12を介して接続されたバリコン
8の容量を変化させる。駆動装置13はステッピングモ
ータなどによって構成される。制御装置10は、インピ
ーダンス変換用コイルトランス6から取り出される全て
のタップにて、バリコン8の容量を最小容量から最大容
量の範囲で変化させ、各タップ位置とバリコン容量の全
領域について被解凍物の負荷インピーダンスとの整合度
をあらかじめメモリに記憶しておく。そして、このメモ
リの内容と比較することによって、一番最適なタップ位
置とバリコンの容量を検索する。
FIG. 4 shows a control mechanism of the variable condenser 8, in which a drive unit 13 controlled by a signal from the control unit 10 changes the capacity of the variable condenser 8 connected through the insulating shaft 12. The driving device 13 is configured by a stepping motor or the like. The control device 10 changes the capacity of the variable condenser 8 in a range from the minimum capacity to the maximum capacity at all the taps taken out from the coil transformer 6 for impedance conversion. The degree of matching with the load impedance is stored in a memory in advance. Then, by comparing with the contents of this memory, the most optimal tap position and the variable capacitor capacity are searched.

【0024】実際に全領域について被解凍物の負荷イン
ピーダンスとの整合度の検索を行った場合に、本来の最
適なタップの近傍にあるタップにおいても、SWR(定
在波比)メータによって反射波が小さくなるようにイン
ピーダンスの整合が行われていれば、整合度は良くな
る。ここで、負荷側のインピーダンスZは下記の式
(2)にて示される。
When the matching degree with the load impedance of the object to be defrosted is actually searched for all the regions, the reflected wave is detected by the SWR (standing wave ratio) meter even at the tap near the original optimum tap. If the impedance matching is performed so that is smaller, the matching degree is improved. Here, the impedance Z on the load side is represented by the following equation (2).

【数2】 (Equation 2)

【0025】したがって、インピーダンス変換用コイル
トランス6の出力側インピーダンスと負荷側のインピー
ダンスZが同じ値になれば反射波が無くなるためSWR
値は1となる。しかし負荷によって消費されている電力
は虚数成分が0になっていなければ最大値より小さくな
るため、求めようとしている整合位置とは違うものにな
る。このため、入力整合検出回路15は入力電力につい
て監視を行い、バリコン8の整合位置を複数個記憶し、
全領域における検索後に最適位置の検出処理を行い整合
位置の検索を行う。
Therefore, if the output impedance of the impedance converting coil transformer 6 and the impedance Z on the load side have the same value, there is no reflected wave.
The value is 1. However, since the power consumed by the load is smaller than the maximum value unless the imaginary component is 0, it differs from the matching position to be obtained. Therefore, the input matching detection circuit 15 monitors the input power, stores a plurality of matching positions of the variable capacitor 8,
After the search in all areas, the optimum position is detected, and the matching position is searched.

【0026】次に冷凍食品などの被解凍物を解凍するに
連れ、氷が水に変化することや材質の温度変化などによ
り負荷インピーダンスが変化する。このためインピーダ
ンス変換コイルトランス6の出力側インピーダンスと負
荷インピーダンスとの整合が悪化し、負荷に対する実効
電力が小さくなる。このため、負荷追従を行って常に整
合状態になるように制御する必要がある。
Next, as the object to be thawed, such as frozen food, is thawed, the load impedance changes due to the change of ice into water, a change in the temperature of the material, and the like. Therefore, the matching between the output impedance of the impedance conversion coil transformer 6 and the load impedance deteriorates, and the effective power to the load decreases. For this reason, it is necessary to perform load follow-up and control so as to always be in a matching state.

【0027】インピーダンス変換用のコイルトランスの
入力側と出力側において入力側の電力をE、インピーダ
ンス変換用コイルトランスの現在のN番目のタップ出力
インピーダンスをZNとし被解凍物の負荷インピーダン
スをZLとすれば、負荷にかかる電力は、
On the input side and output side of the coil transformer for impedance conversion, the input power is E, the output impedance of the current Nth tap of the coil transformer for impedance conversion is Z N, and the load impedance of the object to be decompressed is Z L. Then the power on the load is

【数3】 となる。このため、制御装置10は、各タップにおける
整合制御範囲であるインピーダンス値を超えた場合に、
すなわちPN<PN+1となるような電力となったときにタ
ップを切り替えることで負荷に対する実効電力が大きく
なるようにする。
(Equation 3) Becomes For this reason, the control device 10, when exceeding the impedance value that is the matching control range in each tap,
That is, the effective power to the load is increased by switching the tap when the power becomes P N <P N + 1 .

【0028】いま、電力値は式(3)に示す通りとな
る。したがってバリコン8によるインピーダンス調整の
範囲は前のタップのインピーダンス値から次のタップの
インピーダンス値の間あれば十分であるが、PN<PN+1
のときにタップを切り替える条件でインピーダンスの調
整を行えば、必要となるバリコンの容量は小さくて済
む。タップ出力インピーダンスをZN、次のタップでの
出力インピーダンスをZN+1とし、負荷インピーダンス
をZLとすると、
Now, the power value is as shown in equation (3). Therefore, the range of the impedance adjustment by the variable condenser 8 is sufficient if it is between the impedance value of the previous tap and the impedance value of the next tap, but P N <P N + 1
If the impedance is adjusted under the condition of switching the tap at the time of, the required variable capacitor capacity can be reduced. If the tap output impedance is Z N , the output impedance at the next tap is Z N + 1 , and the load impedance is Z L ,

【数4】 となり、負荷インピーダンスZLは、(Equation 4) And the load impedance Z L is

【数5】 となる。(Equation 5) Becomes

【0029】したがってバリコンによる制御範囲は以下
の式(6)の範囲内となる。
Therefore, the control range of the variable condenser falls within the range of the following equation (6).

【数6】 このため、ZN-1とZN+1の差が一番大きくなるタップ間
を制御できるバリコン容量があれば全ての範囲で制御を
行うことができる。
(Equation 6) For this reason, if there is a variable condenser capacity capable of controlling between taps at which the difference between Z N−1 and Z N + 1 is the largest, control can be performed in all ranges.

【0030】インピーダンス変換用コイルトランス6の
タップ出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整
合していない場合、タップを切り替えると反射電力が大
きくなる。反射電力が大きくなると、反射波分の電力消
費を高周波発振回路において消費しなければならなくな
るため高周波発振回路の破損のおそれがある。したがっ
て、制御装置10がタップを切り替える際に電力制御部
(図示せず)を制御し、高周波出力電力を絞った後、高
周波電力を徐々に印加することにより高周波発振回路の
破損を防止する。
When the tap output impedance of the impedance converting coil transformer 6 does not match the load impedance, the reflected power increases when the tap is switched. If the reflected power becomes large, the power consumption of the reflected wave must be consumed in the high-frequency oscillation circuit, so that the high-frequency oscillation circuit may be damaged. Therefore, the control device 10 controls the power control unit (not shown) when switching the taps, narrows the high-frequency output power, and gradually applies the high-frequency power to prevent the high-frequency oscillation circuit from being damaged.

【0031】次に図5は、本発明の第2の実施の形態の
高周波解凍装置の概略回路図である。前述の第1の実施
の形態で示したように、インピーダンス変換コイルトラ
ンス6の出力インピーダンスと負荷側のインピーダンス
が等しくなるように調整しても、負荷である被解凍物に
最大電力を印加できなければ電力を有効に活用できな
い。このため、インピーダンス変換用コイルトランス6
の出力側のコイルに接続されたバリコン8と負荷との間
に図5に示すように負荷整合監視回路14を設ける。こ
の負荷整合監視回路14からの整合度監視信号を受け
て、制御装置10は、バリコン8を調整して被解凍物の
負荷インピーダンスの虚数成分を無くし、実数成分のみ
にする。これにより、負荷に高周波電力を効率よく入力
することができる。
FIG. 5 is a schematic circuit diagram of a high-frequency decompression device according to a second embodiment of the present invention. As described in the first embodiment, even if the output impedance of the impedance conversion coil transformer 6 is adjusted to be equal to the impedance on the load side, the maximum power cannot be applied to the object to be defrosted as the load. Power cannot be used effectively. Therefore, the impedance transformation coil transformer 6
The load matching monitoring circuit 14 is provided between the variable condenser 8 connected to the output side coil and the load as shown in FIG. In response to the matching degree monitoring signal from the load matching monitoring circuit 14, the control device 10 adjusts the variable condenser 8 to eliminate the imaginary component of the load impedance of the object to be defrosted, and to reduce the load impedance to only the real component. Thereby, high-frequency power can be efficiently input to the load.

【0032】次に他の実施の形態として、上記の負荷整
合監視回路14を設けることなく被解凍物のインピーダ
ンスの虚数成分を無くす方法を以下に示す。いま被解凍
物の実負荷インピーダンスZLより小さくなるようにコ
イルトランス6の出力インピーダンスZNを選択する。
すると以下に示す関係式(7)が成り立つ。
Next, as another embodiment, a method for eliminating the imaginary component of the impedance of the object to be thawed without providing the load matching monitoring circuit 14 will be described below. Now select the output impedance Z N of the coil transformer 6 so as to be smaller than the actual load impedance Z L of the thawed.
Then, the following relational expression (7) holds.

【数7】 (Equation 7)

【0033】この式(7)を満足するように制御装置1
0がバリコン8を制御することによって、被解凍物の負
荷インピーダンスZLとコイルトランス6の出力インピ
ーダンスZNの差が一番小さくなったときに、高周波電
力を被解凍物に印加する。このためインピーダンスの虚
数項が極小となる。これにより負荷整合監視回路14を
設けることなく、第1の実施の形態と同様の回路構成に
て、最適な整合位置を検出することができる。この場
合、制御過程の増加による整合時間の増加となるが、負
荷整合監視回路14を設けた場合に比べ、低コストで被
解凍物のインピーダンスの虚数成分を無くすことでき、
高周波電力を効率よく消費することができる。
The control device 1 satisfies the expression (7).
By 0 controls the variable capacitor 8, when the difference of the load impedance Z L and the output impedance Z N of the coil transformer 6 of the thawed becomes smallest, high-frequency power is applied to the object to be thawed. For this reason, the imaginary term of the impedance is minimized. Thus, the optimum matching position can be detected with the same circuit configuration as in the first embodiment without providing the load matching monitoring circuit 14. In this case, the matching time increases due to an increase in the number of control processes. However, compared to the case where the load matching monitoring circuit 14 is provided, the imaginary component of the impedance of the object to be thawed can be eliminated at lower cost,
High frequency power can be efficiently consumed.

【0034】高周波解凍装置では構造上、高周波電力が
印加される電極板とアース接地された筐体間では結合容
量やその他浮遊容量が発生する。このうち浮遊容量など
制御に関して定数項として扱えるものは、変動要因を考
えなくても良い。しかし結合容量などの変動項として扱
わなくてはならないものが発生した場合、結合中と結合
が離れた場合とでは、整合によって入力される高周波電
力の大きさが大きく異なる。このため結合が離れた場合
にはバリコン8により調整してきた方向とは逆方向に大
きく容量を変化させなければ、反射波で高周波発振回路
の破損が起こる可能性がある。そのために制御装置10
は、入力整合検出回路15からの検出信号に基づきバリ
コン8の容量を急速に変化させる。すなわち容量結合が
離れたことにより整合が大きくずれた場合にバリコン8
の調整時の容量変化と逆方向に大きく変化させること
で、整合の再調整を迅速に行う。
In the high-frequency decompression device, due to its structure, coupling capacitance and other stray capacitance are generated between the electrode plate to which high-frequency power is applied and the case grounded. Among them, those that can be treated as constant terms for control, such as stray capacitance, need not consider variation factors. However, when a variable that needs to be treated as a variation term such as a coupling capacitance occurs, the magnitude of the input high-frequency power greatly differs depending on the matching between during coupling and when coupling is separated. Therefore, when the coupling is separated, unless the capacitance is largely changed in the direction opposite to the direction adjusted by the variable condenser 8, the reflected wave may damage the high-frequency oscillation circuit. The control device 10
Quickly changes the capacitance of the variable condenser 8 based on the detection signal from the input matching detection circuit 15. That is, when the matching is largely deviated due to the separation of the capacitive coupling, the variable capacitor 8
By making a large change in the direction opposite to the change in capacitance at the time of adjustment, readjustment of the matching can be performed quickly.

【0035】以上述べたように、高周波増幅回路の出力
インピーダンスを冷凍食品の負荷インピーダンスに整合
するため、インピーダンス変換コイルトランス6を用い
る。すなわち、増幅回路の出力インピーダンスと負荷イ
ンピーダンスとが整合する位置のインピーダンス変換コ
イルトランス6のタップ出力に負荷回路を接続すること
によってインピーダンスの変換を行う。また、負荷イン
ピーダンスとの整合のためにインピーダンスの虚数成分
を極小にするように、可変容量コンデンサの容量を変化
させ、実効電力を最大に保つ。また、冷凍食品の解凍に
伴う負荷インピーダンスの変化を、可変容量コンデンサ
の容量を変化させることにより調整し、実効電力を最大
に保つ。
As described above, the impedance conversion coil transformer 6 is used to match the output impedance of the high-frequency amplifier circuit to the load impedance of the frozen food. That is, impedance conversion is performed by connecting the load circuit to the tap output of the impedance conversion coil transformer 6 at a position where the output impedance of the amplifier circuit matches the load impedance. Further, the capacitance of the variable capacitor is changed so that the imaginary component of the impedance is minimized for matching with the load impedance, and the effective power is kept at the maximum. Further, the change in load impedance accompanying the thawing of the frozen food is adjusted by changing the capacitance of the variable capacitor to keep the effective power at a maximum.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
に記載の高周波解凍装置は、インピーダンス変換用コイ
ルトランスのタップ切り替え部を切り替えることによっ
て、負荷インピーダンスと高周波発振回路の出力インピ
ーダンスとを整合させ、高周波電力を効率良く被解凍物
に印加でき、高周波電力の有効利用ができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention,
The high-frequency decompression device described in 1) can match the load impedance with the output impedance of the high-frequency oscillation circuit by switching the tap switching unit of the impedance conversion coil transformer, and can efficiently apply the high-frequency power to the object to be defrosted. Can be used effectively.

【0037】請求項2に記載の高周波解凍装置は、全て
のタップにおける可変容量コンデンサの容量変化に対応
する整合データを参照することによって、整合位置を確
実に検出することができる。
The high-frequency decompression device according to the second aspect can reliably detect a matching position by referring to matching data corresponding to a change in the capacitance of the variable capacitor at all taps.

【0038】請求項3に記載の高周波解凍装置は、整合
調整を行うインピーダンス範囲を明確に決定すること
で、用いる可変容量コンデンサの容量を最小の値に設定
することができると共に、整合時間を短縮することがで
きる。
In the high-frequency decompression apparatus according to the third aspect, by clearly determining the impedance range for performing the matching adjustment, the capacity of the variable capacitor to be used can be set to the minimum value, and the matching time is shortened. can do.

【0039】請求項4に記載の高周波解凍装置は、タッ
プ切り替えの際に、高周波増幅回路の出力を絞ることに
よって、負荷側回路からの高周波電力の反射を無くし、
高周波発振回路の破損を防止する。
In the high-frequency decompression device according to the fourth aspect, when the tap is switched, the output of the high-frequency amplifier circuit is reduced to eliminate reflection of high-frequency power from the load-side circuit,
Prevents damage to the high-frequency oscillation circuit.

【0040】請求項5に記載の高周波解凍装置は、負荷
インピーダンスとの整合状態を監視することによって、
被解凍物のインピーダンスの虚数成分を無くすことがで
き、高周波電力を効率よく消費することができる。
The high-frequency decompression device according to the fifth aspect monitors the matching state with the load impedance,
The imaginary component of the impedance of the object to be thawed can be eliminated, and high-frequency power can be efficiently consumed.

【0041】請求項6に記載の高周波解凍装置は、可変
容量コンデンサを調整時と逆方向に容量変化させること
によって、容量結合がはずれた場合における制御不能を
防止すると共に再調整時の調整時間を短縮することがで
きる。
In the high-frequency decompression apparatus according to the sixth aspect, by changing the capacity of the variable capacitor in the opposite direction to that at the time of the adjustment, it is possible to prevent the loss of control when the capacitive coupling is lost and to reduce the adjustment time at the time of readjustment. Can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態の高周波解凍装置の
概略回路図である。
FIG. 1 is a schematic circuit diagram of a high-frequency decompression device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】被解凍物の等価回路図である。FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of an object to be defrosted.

【図3】タップ切り換え部6aの詳細を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing details of a tap switching unit 6a.

【図4】バリコン8の制御機構を示す図である。FIG. 4 is a view showing a control mechanism of a variable condenser 8;

【図5】本発明の第2の実施の形態の高周波解凍装置の
概略回路図である。
FIG. 5 is a schematic circuit diagram of a high-frequency decompression device according to a second embodiment of the present invention.

【図6】誘電加熱による高周波解凍装置の概略構成図で
ある。
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a high-frequency decompression device using dielectric heating.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 装置筺体 2 上部電極板 3 下部電極板 4 被解凍物 5 高周波発振器 6 インピーダンス変換用コイルトランス 6a タップ切り換え部 7 整合用コイル 8 可変容量コンデンサ(バリコン) 9 切り替え装置 10 制御装置 11 タップ 12 シャフト 13 駆動装置 14 負荷整合監視回路 15 入力整合検出回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Device housing 2 Upper electrode plate 3 Lower electrode plate 4 Thawed object 5 High frequency oscillator 6 Impedance conversion coil transformer 6a Tap switching part 7 Matching coil 8 Variable capacitance capacitor (varicon) 9 Switching device 10 Control device 11 Tap 12 Shaft 13 Drive unit 14 Load matching monitoring circuit 15 Input matching detection circuit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 冷凍物を誘電加熱によって解凍する高周
波解凍装置において、 高周波増幅回路の出力インピーダンスを被解凍物の負荷
インピーダンスと整合するためのタップ切り換え部を有
するインピーダンス変換用コイルトランスと、 このインピーダンス変換用コイルトランスのタップ切り
替え部におけるインピーダンスを前記負荷インピーダン
スと整合するために、各タップのインピーダンス値に基
づき、前記タップ切り替え部を切り替える切替制御部
と、 前記インピーダンス変換用コイルトランスの各タップに
おけるインピーダンスと前記負荷インピーダンスとの整
合を調整するためのコイルおよび可変容量コンデンサと
を具備することを特徴とする高周波解凍装置。
1. A high-frequency thawing apparatus for thawing a frozen product by dielectric heating, comprising: a coil transformer for impedance conversion having a tap switching unit for matching an output impedance of a high-frequency amplifier circuit with a load impedance of the object to be thawed; A switching control unit that switches the tap switching unit based on the impedance value of each tap to match the impedance at the tap switching unit of the conversion coil transformer with the load impedance; and an impedance at each tap of the impedance conversion coil transformer. A high-frequency decompression device comprising: a coil for adjusting the matching between the load impedance and the load impedance; and a variable capacitor.
【請求項2】 前記インピーダンス変換用コイルトラン
スの全てのタップにおける可変容量コンデンサの容量を
変化させた場合の整合データを記憶した記憶手段を備
え、その整合データを参照して最適な整合位置を検出す
る整合検出手段を具備することを特徴とする請求項1に
記載の高周波解凍装置。
2. A storage means for storing matching data when the capacitance of a variable capacitor at all taps of the coil transformer for impedance conversion is changed, and detecting an optimum matching position by referring to the matching data. 2. The high-frequency decompression device according to claim 1, further comprising a matching detection unit that performs the matching.
【請求項3】 前のタップのインピーダンスと現在のタ
ップのインピーダンスとの平均値から、次のタップのイ
ンピーダンスと現在のタップのインピーダンスとの平均
値までの間を、可変容量コンデンサの容量を変化させて
整合する可変容量制御手段を具備することを特徴とする
請求項1に記載の高周波解凍装置。
3. The variable capacitance of the variable capacitor is changed from an average value of the impedance of the previous tap and the current tap to a mean value of the impedance of the next tap and the current tap. 2. The high-frequency decompression device according to claim 1, further comprising a variable capacitance control unit that performs matching.
【請求項4】 インピーダンス変換用コイルトランスの
タップを切り替える際に、前記高周波増幅回路の出力を
絞る高周波調整手段を具備することを特徴とする請求項
1に記載の高周波解凍装置。
4. The high-frequency decompression device according to claim 1, further comprising a high-frequency adjusting unit that narrows down the output of the high-frequency amplifier circuit when switching the tap of the coil transformer for impedance conversion.
【請求項5】 インピーダンス変換用コイルトランスの
出力側と負荷の間に、負荷インピーダンスとの整合状態
を監視する負荷整合監視手段を具備することを特徴とす
る請求項1に記載の高周波解凍装置。
5. The high-frequency decompression apparatus according to claim 1, further comprising a load matching monitoring means for monitoring a matching state with a load impedance between an output side of the impedance conversion coil transformer and the load.
【請求項6】 負荷インピーダンスの変動に対応して虚
数成分を極小にするように、可変容量コンデンサの調整
時の容量変化と逆方向に変化させる可変容量コンデンサ
の容量調整手段を具備することを特徴とする請求項1に
記載の高周波解凍装置。
6. A variable capacitance capacitor adjusting means for changing a capacitance in a direction opposite to a capacitance change at the time of adjusting the variable capacitor so as to minimize an imaginary component in response to a change in load impedance. The high-frequency decompression device according to claim 1, wherein
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Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000051450A1 (en) * 1999-03-03 2000-09-08 Yamamoto Vinita Co., Ltd. High-frequency thawing device
US6246040B1 (en) * 1999-01-29 2001-06-12 Bradley R. Gunn Solid state RF generator for dielectric heating of food products
JP2003249400A (en) * 2001-11-27 2003-09-05 Alps Electric Co Ltd Plasma processing device
US6954021B2 (en) * 2002-07-12 2005-10-11 Applied Materials, Inc. Matching circuit for megasonic transducer device
JP2006502529A (en) * 2001-12-19 2006-01-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Plasma reactor for processing semiconductor workpieces
KR100756719B1 (en) 2006-02-02 2007-09-07 엘지전자 주식회사 Control apparatus for linear compressor
KR100756720B1 (en) 2006-02-02 2007-09-07 엘지전자 주식회사 Control apparatus for linear compressor
KR100756721B1 (en) 2006-02-02 2007-09-07 엘지전자 주식회사 Controlling apparatus for linear compressor
KR100783218B1 (en) * 2006-02-02 2007-12-06 엘지전자 주식회사 Control apparatus for linear compressor
US10161667B1 (en) 2017-11-15 2018-12-25 Haier Us Appliance Solutions, Inc. Refrigerator appliance having a defrost chamber
JP2019046727A (en) * 2017-09-06 2019-03-22 シャープ株式会社 High-frequency heating system
JP2019066161A (en) * 2017-09-29 2019-04-25 エヌエックスピー ユーエスエイ インコーポレイテッドNXP USA,Inc. Multifunctional radio frequency systems and methods for uv sterilization, air purification, and defrost operations
CN110535439A (en) * 2018-09-18 2019-12-03 恩智浦美国有限公司 Self-oscillation defrosting equipment and its operating method
US10616963B2 (en) 2016-08-05 2020-04-07 Nxp Usa, Inc. Apparatus and methods for detecting defrosting operation completion
US10771036B2 (en) 2017-11-17 2020-09-08 Nxp Usa, Inc. RF heating system with phase detection for impedance network tuning
US10785834B2 (en) 2017-12-15 2020-09-22 Nxp Usa, Inc. Radio frequency heating and defrosting apparatus with in-cavity shunt capacitor
US10917948B2 (en) 2017-11-07 2021-02-09 Nxp Usa, Inc. Apparatus and methods for defrosting operations in an RF heating system
US10952289B2 (en) 2018-09-10 2021-03-16 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with mass estimation and methods of operation thereof
US11039512B2 (en) 2016-08-05 2021-06-15 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with lumped inductive matching network and methods of operation thereof
US11039511B2 (en) 2018-12-21 2021-06-15 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with two-factor mass estimation and methods of operation thereof
US11166352B2 (en) 2018-12-19 2021-11-02 Nxp Usa, Inc. Method for performing a defrosting operation using a defrosting apparatus
US11382190B2 (en) 2017-12-20 2022-07-05 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus and methods of operation thereof
US11570857B2 (en) 2018-03-29 2023-01-31 Nxp Usa, Inc. Thermal increase system and methods of operation thereof
US11800608B2 (en) 2018-09-14 2023-10-24 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with arc detection and methods of operation thereof

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6246040B1 (en) * 1999-01-29 2001-06-12 Bradley R. Gunn Solid state RF generator for dielectric heating of food products
WO2000051450A1 (en) * 1999-03-03 2000-09-08 Yamamoto Vinita Co., Ltd. High-frequency thawing device
JP2003249400A (en) * 2001-11-27 2003-09-05 Alps Electric Co Ltd Plasma processing device
JP2006502529A (en) * 2001-12-19 2006-01-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Plasma reactor for processing semiconductor workpieces
US7586235B2 (en) 2002-07-12 2009-09-08 Applied Materials, Inc. Matching circuit for megasonic transducer device
US6954021B2 (en) * 2002-07-12 2005-10-11 Applied Materials, Inc. Matching circuit for megasonic transducer device
US7190103B2 (en) 2002-07-12 2007-03-13 Applied Materials, Inc. Matching circuit for megasonic transducer device
KR100756719B1 (en) 2006-02-02 2007-09-07 엘지전자 주식회사 Control apparatus for linear compressor
KR100756721B1 (en) 2006-02-02 2007-09-07 엘지전자 주식회사 Controlling apparatus for linear compressor
KR100783218B1 (en) * 2006-02-02 2007-12-06 엘지전자 주식회사 Control apparatus for linear compressor
KR100756720B1 (en) 2006-02-02 2007-09-07 엘지전자 주식회사 Control apparatus for linear compressor
US11039512B2 (en) 2016-08-05 2021-06-15 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with lumped inductive matching network and methods of operation thereof
US10616963B2 (en) 2016-08-05 2020-04-07 Nxp Usa, Inc. Apparatus and methods for detecting defrosting operation completion
JP2019046727A (en) * 2017-09-06 2019-03-22 シャープ株式会社 High-frequency heating system
JP2019066161A (en) * 2017-09-29 2019-04-25 エヌエックスピー ユーエスエイ インコーポレイテッドNXP USA,Inc. Multifunctional radio frequency systems and methods for uv sterilization, air purification, and defrost operations
US10917948B2 (en) 2017-11-07 2021-02-09 Nxp Usa, Inc. Apparatus and methods for defrosting operations in an RF heating system
US10161667B1 (en) 2017-11-15 2018-12-25 Haier Us Appliance Solutions, Inc. Refrigerator appliance having a defrost chamber
US10771036B2 (en) 2017-11-17 2020-09-08 Nxp Usa, Inc. RF heating system with phase detection for impedance network tuning
US10785834B2 (en) 2017-12-15 2020-09-22 Nxp Usa, Inc. Radio frequency heating and defrosting apparatus with in-cavity shunt capacitor
US11382190B2 (en) 2017-12-20 2022-07-05 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus and methods of operation thereof
US11570857B2 (en) 2018-03-29 2023-01-31 Nxp Usa, Inc. Thermal increase system and methods of operation thereof
US10952289B2 (en) 2018-09-10 2021-03-16 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with mass estimation and methods of operation thereof
US11800608B2 (en) 2018-09-14 2023-10-24 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with arc detection and methods of operation thereof
CN110535439A (en) * 2018-09-18 2019-12-03 恩智浦美国有限公司 Self-oscillation defrosting equipment and its operating method
CN110535439B (en) * 2018-09-18 2023-04-28 恩智浦美国有限公司 Self-oscillating defrosting apparatus and method of operating the same
US11166352B2 (en) 2018-12-19 2021-11-02 Nxp Usa, Inc. Method for performing a defrosting operation using a defrosting apparatus
US11039511B2 (en) 2018-12-21 2021-06-15 Nxp Usa, Inc. Defrosting apparatus with two-factor mass estimation and methods of operation thereof

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