JPH10127078A - Linear servo system and method for detecting pole position - Google Patents

Linear servo system and method for detecting pole position

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JPH10127078A
JPH10127078A JP8280603A JP28060396A JPH10127078A JP H10127078 A JPH10127078 A JP H10127078A JP 8280603 A JP8280603 A JP 8280603A JP 28060396 A JP28060396 A JP 28060396A JP H10127078 A JPH10127078 A JP H10127078A
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JP
Japan
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linear
magnetic pole
data
speed
servo system
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JP8280603A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsuyasu Kachi
光康 加知
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Control Of Linear Motors (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attain high resolution by employing a positional signal outputted from a linear scale, i.e., pulses of phases A and B, as a positional feedback amount and employing a speed data calculated through an interpolation/data generating means as a speed feedback amount for speed control. SOLUTION: A command voltage is applied through a position control means 11, a speed control means 12 and a current control means 13 to a linear motor 6 which is thereby driven and the shifted position thereof is detected by means of a linear scale 1. A position feedback amount for positional control employs a positional signal outputted from the linear scale 1, i.e., pulses of A, B pulses, whereas a speed feedback amount for speed control employs a data obtained by interpolating an analog sine and cosine signals outputted from the linear scale 1 through an interpolation/data generating means 14. Since positional resolution is not limited, speed and acceleration components can be detected with high resolution and a servo system excellent in response can be configured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、リニアモータと
リニアスケールとを備えたリニアサーボシステムおよび
そのリニアサーボシステムの磁極位置検出方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear servo system having a linear motor and a linear scale, and a method of detecting a magnetic pole position of the linear servo system.

【0002】[0002]

【従来の技術】図22は従来のリニアサーボ制御装置の
制御ブロックを示す図である。図において、101は、
上位コントローラ等(図示せず)から与えられた位置指
令P.CMDとリニアスケール(図示せず)が出力する
位置フィードバック量P.FBとを比較し、その差分量
を基に速度指令V.CMDを演算し、出力する位置制御
手段、102は、この速度指令V.CMDとリニアスケ
ール(図示せず)からの位置フィードバック量P.FB
を微分して得られる速度フィードバック量V.FBとの
差分量を基に電流指令I.CMDを作成する速度制御手
段、103は、この電流指令I.CMDとサーボモータ
(図示せず)に流れている電流をサンプリングした電流
フィードバック量I.FBとの差分量を基に電流制御を
行なう電流制御手段である。
2. Description of the Related Art FIG. 22 is a diagram showing control blocks of a conventional linear servo control device. In the figure, 101 is
A position command P.S given from a host controller or the like (not shown). CMD and a position feedback amount P. output by a linear scale (not shown). FB and the speed command V.V. The position control means 102 for calculating and outputting the CMD outputs the speed command V.V. CMD and a position feedback amount P. from a linear scale (not shown). FB
Of the velocity feedback obtained by differentiating FB based on the amount of difference from the current command I.FB. The speed control means 103 for generating the CMD generates the current command I.D. I. Current feedback amount obtained by sampling the current flowing through the CMD and a servo motor (not shown). This is current control means for performing current control based on the difference from FB.

【0003】電流制御手段103で、電圧指令を作成
し、サーボモータに電圧印可することにより、実際の電
流(以下、実電流と記す)が流れるが、この時の発生ト
ルクは電流に比例するので、トルク定数Ktを乗算した
ものが実際の発生トルク(以下、実トルクと記す)であ
り、これをサーボモータと負荷の重量Mで割ったものが
加速度、これを2回積分したものが実際の位置(以下、
実位置と記す)となる。上述の位置制御・速度制御・電
流制御は、通常マイクロプロセッサ等を用いたソフトウ
エアにより、ある周期毎に実行される。
The current control means 103 generates a voltage command and applies a voltage to the servomotor, so that an actual current (hereinafter, referred to as an actual current) flows. However, the generated torque at this time is proportional to the current. Multiplied by the torque constant Kt is the actual generated torque (hereinafter, referred to as the actual torque). This is divided by the weight M of the servo motor and the load, and the acceleration is obtained. Location (hereafter,
Actual position). The above-described position control, speed control, and current control are usually executed at regular intervals by software using a microprocessor or the like.

【0004】上述では位置フィードバック量P.FBを
微分して速度フィードバック量V.FBを得ている例を
示したが、ここで速度分解能について考えてみると、位
置分解能が低いほど、また処理周期が短いほど、速度分
解能は粗くなる。例えば、分解能が低い位置検出器を使
用した場合、またサーボ性能を上げようとして演算周期
を短くしていった場合に、速度分解能は粗くなる。
In the above description, the position feedback amount P. FB is differentiated to obtain the speed feedback amount V.V. An example in which the FB is obtained has been described. Here, considering the speed resolution, the lower the position resolution and the shorter the processing cycle, the coarser the speed resolution becomes. For example, when a position detector having a low resolution is used, or when the calculation cycle is shortened in order to increase the servo performance, the speed resolution becomes coarse.

【0005】一般に工作機械で使用される回転型モータ
用エンコーダにおいて、一般に1回転の分解能が10万
パルスのものが使用され、ボールネジ10mmで直結の
機械で、この10万パルスエンコーダを使用し、速度演
算周期を222μsecとすると、位置フィードバック
1パルス当たりの速度フィードバックの分解能は27m
m/minとなる。
In general, a rotary motor encoder used in a machine tool has a resolution of 100,000 pulses per rotation, and is a machine directly connected with a ball screw of 10 mm. Assuming that the operation cycle is 222 μsec, the resolution of velocity feedback per position feedback pulse is 27 m.
m / min.

【0006】これに対し、リニアスケールでは1μmの
分解能のものが一般に使用されるが、速度演算周期を上
述と同様に222μsecとすると、速度分解能は27
0mm/minと、回転型モータ用エンコーダと比べて
1桁大きな値となっていた。
On the other hand, a linear scale having a resolution of 1 μm is generally used. If the speed calculation cycle is set to 222 μsec as described above, the speed resolution becomes 27 μm.
The value was 0 mm / min, which is an order of magnitude larger than that of the rotary motor encoder.

【0007】図23は外乱補正を含む従来のリニアサー
ボ制御装置の制御ブロックを示す図である。ただし、位
置制御・速度制御については図22と同様であり、説明
を省略する。リニアサーボではボールネジ駆動と異な
り、外乱Td成分が直にモータに加わる構成のため、イ
ンパクト負荷等の抑制性能の向上が必須であり、以下の
処理を行っていた。
FIG. 23 is a diagram showing control blocks of a conventional linear servo controller including disturbance correction. However, the position control and the speed control are the same as in FIG. 22, and the description is omitted. Unlike the ball screw drive, the linear servo has a configuration in which a disturbance Td component is directly applied to the motor. Therefore, it is essential to improve the performance of suppressing the impact load and the like, and the following processing is performed.

【0008】トルク制御を行なうために加速度を演算す
る必要があることから、位置フィードバック量P.FB
を2回微分し、さらに予想されるトルク定数Ktc、重
量Mcを逆算することにより、トルク外乱Tdを取り除
いた電流値Icを得る。この電流値Icと電流指令I.
CMDとを比較し、差分量に補正用のゲインKdを乗算
して、電流指令に加算するという外乱補正を行ってい
た。しかし、加速度を演算するために2回微分を行なう
ので、機械に対し加振源として扱わねばならなかった。
Since it is necessary to calculate the acceleration to perform the torque control, the position feedback amount P. FB
Is differentiated twice and the expected torque constant Ktc and weight Mc are back-calculated to obtain a current value Ic from which the torque disturbance Td has been removed. The current value Ic and the current command I.I.
CMD is compared, the difference amount is multiplied by a correction gain Kd, and added to the current command to perform disturbance correction. However, since the differential is performed twice in order to calculate the acceleration, the machine must be treated as an excitation source.

【0009】ギヤなどの減速機構によりイナーシャ量を
小さくでき、ワークの重量の影響の少ないボールネジ駆
動と異なり、リニアサーボではワークの重量が速度ルー
プゲインに直接関係してくるので、速度ループゲインを
従来のボールネジ駆動に比べて大きくしなければならな
いが、速度分解能が粗い場合、電流指令に速度分解能分
のトルクリップルが発生し、実トルクにもリップルが発
生するので、振動が発生し易くなり、位置ゲイン・速度
ゲインを上げることができなかった。
[0009] Unlike a ball screw drive, in which the amount of inertia can be reduced by a reduction mechanism such as a gear, and the influence of the weight of the work is small, in a linear servo, the weight of the work is directly related to the speed loop gain. However, when the speed resolution is coarse, torque ripple corresponding to the speed resolution occurs in the current command, and ripple also occurs in the actual torque. The gain / speed gain could not be increased.

【0010】さらに、回転型モータ用エンコーダにおい
ては1回転の分解能が100万パルスのものも使用され
るようになってきており、リニアサーボにおいて超高速
・超加速度システム実現のためサーボ性能の向上が望ま
れていた。
[0010] Furthermore, encoders for rotary motors having a resolution of one million pulses per rotation have come to be used. In order to realize an ultra-high-speed and ultra-acceleration system in a linear servo, the servo performance has been improved. Was desired.

【0011】図24は、従来のリニアサーボシステムに
おける磁極位置検出の位置関係を示す図である。図は固
定子側を磁石、可動子側をコイルとした例を示したもの
で、固定子側に何らかの信号発生源を、可動子側にこの
発生信号を受信する機構あるいは電気的な装置を設け、
サーボ制御装置に伝達する。固定子の磁極をa,b,c
の3種のパルス信号を用いて可動子側で検出するもの
で、磁極位置検出の精度は図に示すように電気角360
°を6分割した電気角60°となる。ただし、この信号
は位置のフィードバック用の信号とは別の信号である。
FIG. 24 is a diagram showing a positional relationship for magnetic pole position detection in a conventional linear servo system. The figure shows an example in which the stator side is a magnet and the mover side is a coil.A certain signal generation source is provided on the stator side, and a mechanism or an electrical device for receiving this generated signal is provided on the mover side. ,
Transmit to servo controller. Let the magnetic poles of the stator be a, b, c
The detection is performed on the mover side using the three types of pulse signals described above. The accuracy of magnetic pole position detection is as shown in FIG.
The electrical angle is 60 °, which is obtained by dividing ° into six. However, this signal is different from the position feedback signal.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】速度フィードバック量
V.FBを位置フィードバック量P.FBを微分して得
ているので、速度分解能が粗くなるという問題点があっ
た。
SUMMARY OF THE INVENTION FB is the position feedback amount P. Since the FB is obtained by differentiating the FB, there is a problem that the speed resolution becomes coarse.

【0013】永久磁石を用いた同期型サーボモータで
は、磁極の位置を検出する必要がある。回転型のモータ
では、モータとこのモータの背後に取り付けるエンコー
ダ等の検出器との基準パルス位置を製造時に合せること
により、磁極位置が自動で検出できる。しかし、リニア
モータではモータとスケール(検出器)との距離が長
く、またモータとスケールとが一体でないため、スケー
ルの位置とモータの磁極とが一致せず、磁極検出用の特
別な検出機構および回路が必要であるという問題点があ
った。
In a synchronous servomotor using a permanent magnet, it is necessary to detect the position of a magnetic pole. In a rotary motor, the magnetic pole position can be automatically detected by adjusting the reference pulse positions of the motor and a detector such as an encoder attached behind the motor at the time of manufacturing. However, in the case of a linear motor, the distance between the motor and the scale (detector) is long, and the motor and the scale are not integrated. Therefore, the position of the scale does not match the magnetic pole of the motor, and a special detection mechanism for magnetic pole detection and There is a problem that a circuit is required.

【0014】さらに、磁極位置検出の精度が電気角60
°と粗いという問題点があった。
Further, the accuracy of magnetic pole position detection is 60 electrical angles.
° and coarse.

【0015】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、第1の目的は、高分解能のリニ
アサーボシステムを得るものである。
The present invention has been made to solve the above-described problems, and a first object is to obtain a high-resolution linear servo system.

【0016】また、第2の目的は、磁極検出が容易なリ
ニアサーボシステムを得るものである。
A second object is to provide a linear servo system that can easily detect a magnetic pole.

【0017】さらに、、第3の目的は、磁極位置検出の
精度の高いリニアサーボシステムを得るものである。
Further, a third object is to obtain a linear servo system with a high accuracy of magnetic pole position detection.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】この発明に係るリニアサ
ーボシステムは、位置信号としてのA,B相パルスおよ
びアナログの正余弦波を出力するリニアスケールと、こ
のリニアスケールから出力されるアナログの正余弦波を
内挿し、速度データを算出するデータ内挿/データ化手
段と、を備え、位置フィードバック量は、リニアスケー
ルから出力される位置信号としてのA,B相パルスを使
用し、速度制御用の速度フィードバック量は、内挿/デ
ータ化手段で算出した速度データを使用するものであ
る。
A linear servo system according to the present invention comprises a linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, and an analog positive output from the linear scale. Data interpolation / data conversion means for interpolating a cosine wave and calculating velocity data, wherein the position feedback amount uses an A / B-phase pulse as a position signal output from a linear scale and is used for velocity control. The velocity feedback amount uses velocity data calculated by interpolation / data conversion means.

【0019】また、位置信号としてのA,B相パルスお
よびアナログの正余弦波を出力するリニアスケールと、
このリニアスケールから出力されるアナログの正余弦波
を内挿し、速度データを算出すると共にこの速度データ
と前記リニアスケールから出力される位置信号としての
A,B相パルスをカウントした位置データとから位置デ
ータを合成する速度検出/位置データ合成手段と、を備
え、位置フィードバック量として速度検出/位置データ
合成手段の合成した位置データを、また、速度制御用の
速度フィードバック量として速度検出/位置データ合成
手段の算出した速度データを使用するものである。
A linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave;
The analog positive cosine wave output from the linear scale is interpolated to calculate the speed data, and the position is calculated from the speed data and the position data obtained by counting the A and B-phase pulses as the position signals output from the linear scale. Speed detection / position data synthesizing means for synthesizing data, the position data synthesized by the speed detection / position data synthesizing means as the position feedback amount, and the speed detection / position data synthesizing as the speed feedback amount for speed control. The speed data calculated by the means is used.

【0020】さらに、速度データを累積した速度累積位
置と位置データを累積した位置累積位置との累積値の差
を常に監視し、この累積値の差が一定値を越えた場合に
アラームとするものである。
Further, the difference between the accumulated value of the speed accumulated position where the speed data is accumulated and the accumulated position of the position accumulated where the position data is accumulated is always monitored, and an alarm is generated when the difference between the accumulated values exceeds a certain value. It is.

【0021】さらにまた、リニアモータと、位置信号と
してのA,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力
するリニアスケールと、リニアモータを制御するサーボ
制御装置と、アナログの正余弦波を内挿して高分解能な
速度データを得ると共にこの速度データとリニアスケー
ルから出力される位置信号としてのA,B相パルスをカ
ウントした位置データとから位置データを合成する速度
検出/位置データ合成手段を備え、この速度データおよ
び位置データをシリアルデータ化して、サーボ制御装置
に伝送すると共に、温度サーマルなどのモータ情報の入
力部と機械情報の入力部とを有し、モータ情報および機
械情報をシリアルデータ化して、サーボ制御装置伝送す
るリニアサーボI/F装置と、を備えたものである。
Further, a linear motor, a linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, a servo control device for controlling the linear motor, and an analog positive cosine wave are interpolated. Speed detection / position data synthesizing means for synthesizing position data from speed data with high resolution and synthesizing position data from the speed data and position data obtained by counting A and B phase pulses as position signals output from the linear scale; The speed data and the position data are converted into serial data and transmitted to the servo control device.The motor data and the machine information are input into a serial data. , A servo control device, and a linear servo I / F device for transmission.

【0022】この発明に係るリニアサーボシステムの磁
極位置検出方法は、リニアモータと、絶対位置データ、
位置信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余
弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備え
たリニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、
機械負荷に応じてリニアモータに印可する直流電圧指令
を変化させるものである。
A magnetic pole position detecting method for a linear servo system according to the present invention comprises a linear motor, absolute position data,
An absolute position detection linear scale that outputs A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave;
The DC voltage command applied to the linear motor is changed according to the mechanical load.

【0023】また、リニアモータと、絶対位置データ、
位置信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余
弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備え
たリニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、
電源投入時に、一定の電圧指令で直流励磁する段階と、
停止した位置の絶対位置を基に磁極位置を作成する段階
と、再び励磁し、右側および左側へ移動させる段階と、
停止した位置の絶対位置を記憶する段階と、この記憶し
た右側移動時の絶対位置と左側移動時の絶対位置との中
心を真の磁極位置を作成する段階と、を有するものであ
る。
Also, a linear motor, absolute position data,
An absolute position detection linear scale that outputs A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave;
When power is turned on, DC excitation is performed with a constant voltage command,
Creating a magnetic pole position based on the absolute position of the stopped position, energizing again, and moving to the right and left,
The method includes a step of storing the absolute position of the stopped position, and a step of creating a true magnetic pole position with the center of the stored absolute position when moving to the right and the absolute position when moving to the left.

【0024】さらに、上下軸として使用されるリニアモ
ータと、このリニアモータを制動するブレーキと、絶対
位置データ、位置信号としてのA,B相パルスおよびア
ナログの正余弦波を出力する絶対位置検出リニアスケー
ルと、を備えたリニアサーボシステムの磁極位置検出方
法において、上下軸のブレーキはかけたままでブレーキ
の保持力よりも小さな励磁力の電圧指令による一定の直
流励磁のパターンにより励磁を行なう段階と、q軸電流
の方向を確認し、下降方向の場合は、励磁相を逆転する
段階と、を有するものである。
Further, a linear motor used as a vertical axis, a brake for braking the linear motor, an absolute position detecting linear motor for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave. A scale and a magnetic pole position detection method of a linear servo system comprising: a step of performing excitation by a constant DC excitation pattern by a voltage command of an excitation force smaller than a holding force of the brake while applying a brake on the vertical axis, confirming the direction of the q-axis current, and reversing the excitation phase in the case of a descending direction.

【0025】さらにまた、リニアモータと、絶対位置デ
ータ、位置信号としてのA,B相パルスおよびアナログ
の正余弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、
を備えたリニアサーボシステムの磁極位置検出方法にお
いて、一定の電圧指令で直流励磁を行ない、検出した相
電流が規定値より大きい場合は、励磁用電圧指令を減少
し、再度直流励磁を行なうようにするものである。
Further, a linear motor, an absolute position detecting linear scale for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave,
In the magnetic pole position detection method of the linear servo system provided with, the DC excitation is performed at a constant voltage command, and if the detected phase current is larger than a specified value, the excitation voltage command is reduced and the DC excitation is performed again. Is what you do.

【0026】リニアモータと、位置信号としてのA,B
相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する相対位置
検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシステム
の磁極位置検出方法において、電源投入時に、一定の電
圧指令で直流励磁する段階と、リニアモータの移動方向
をチェックする段階と、停止した位置のインクリメンタ
ルのカウント値を記憶する段階と、励磁パターンを変更
し、異なる電圧指令で直流励磁する段階と、リニアモー
タの移動方向をチェックする段階と、リニアモータの移
動方向が励磁パターン変更前のリニアモータの移動方向
と反対方向であれば、前記記憶した停止位置を基に磁極
位置を検出する段階と、また、リニアモータの移動方向
が励磁パターン変更前のリニアモータの移動方向と同じ
であれば、停止位置のインクリメンタルのカウント値を
記憶し、この記憶停止位置のインクリメンタルのカウン
ト値を基に磁極位置を検出する段階と、を有するもので
ある。
A linear motor and A and B as position signals
A relative position detection linear scale that outputs a phase pulse and an analog positive cosine wave, and a magnetic pole position detection method for a linear servo system, the method comprising: Checking the direction, storing the incremental count value of the stopped position, changing the excitation pattern and performing DC excitation with different voltage commands, checking the moving direction of the linear motor, and controlling the linear motor. If the moving direction of the linear motor is opposite to the moving direction of the linear motor before the excitation pattern is changed, a step of detecting the magnetic pole position based on the stored stop position, and If the moving direction is the same as the moving direction of the linear motor, the incremental count value of the stop position is stored, and this storage is performed. And detecting the magnetic pole position based on incremental count value of the stop position, and has a.

【0027】また、リニアモータと、位置信号としての
A,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する相
対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシ
ステムの磁極位置検出方法において、直流励磁により磁
極基準位置を算出する段階と、往復運転を行ない、加減
速に必要なピーク電流のバランスを見ながら基準位置を
補正するする段階と、を有し、数回の加減速運転により
収束した時点で、適正な磁極基準位置とすることを特徴
とするものである。
In a magnetic pole position detecting method of a linear servo system comprising a linear motor and a relative position detecting linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, a direct current excitation is used. A step of calculating the magnetic pole reference position, and a step of performing reciprocating operation and correcting the reference position while checking the balance of the peak current required for acceleration / deceleration. And an appropriate magnetic pole reference position.

【0028】さらに、リニアモータと、位置信号として
のA,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する
相対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボ
システムの磁極位置検出方法において、直流励磁により
磁極基準位置を算出する段階と、両方向に加減速する段
階と、加減速時のピーク電流を測定する段階と、測定し
たこの加減速時のピーク電流を基準ピーク値とを比較す
る段階と、測定したこの加減速時のピーク電流が基準ピ
ーク値より小さければ、前記磁極基準位置を磁極基準位
置とする段階と、また、測定したこの加減速時のピーク
電流が基準ピーク値より大きければ、前記磁極基準位置
に定数を加算し、再度両方向に加減速する段階に戻す段
階と、を有し、測定したこの加減速時のピーク電流が基
準ピーク値より小さくなるまで、前記段階を繰り返すよ
うにしたものである。
Further, in a magnetic pole position detecting method of a linear servo system including a linear motor and a relative position detecting linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, a direct current excitation is used. Calculating a magnetic pole reference position, accelerating and decelerating in both directions, measuring a peak current during acceleration and deceleration, comparing the measured peak current during acceleration and deceleration with a reference peak value, and measuring If the peak current at the time of acceleration / deceleration is smaller than the reference peak value, the magnetic pole reference position is set to the magnetic pole reference position; and if the measured peak current at the time of acceleration / deceleration is larger than the reference peak value, the magnetic pole Adding a constant to the reference position and returning to the step of accelerating and decelerating in both directions again, wherein the measured peak current during acceleration / deceleration is smaller than the reference peak value. To Kunar, in which to repeat the steps.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】 実施の形態1.図1は、この発明の一実施の形態である
アナログの正余弦波を内挿して速度フィードバック量を
得るサーボ制御装置の制御ブロックを示す図である。図
において、1は機械位置を検出すると共にアナログの正
余弦波原信号を出力するリニアスケール、3はアナログ
の正余弦波原信号を伝送するアナログ波伝送路、4は位
置信号としてのA,B相パルスを伝送するA,B相パル
ス伝送路、6はリニアモータ、10はリニアモータ6お
よびリニアスケール1を搭載したリニアサーボ機械、1
1は位置制御手段、12は速度制御手段、13は電流制
御手段、14はアナログの正余弦波を内挿して速度フィ
ードバック量を得る内挿/データ化手段である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiment 1 FIG. 1 is a diagram showing a control block of a servo control device for obtaining a speed feedback amount by interpolating an analog positive cosine wave according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a linear scale that detects a mechanical position and outputs an analog positive cosine wave original signal, 3 is an analog wave transmission line that transmits an analog positive cosine wave original signal, and 4 is A and B as position signals. A and B phase pulse transmission lines for transmitting phase pulses, 6 is a linear motor, 10 is a linear servo machine equipped with the linear motor 6 and the linear scale 1, 1
1 is a position control means, 12 is a speed control means, 13 is a current control means, and 14 is an interpolation / data conversion means for obtaining an amount of speed feedback by interpolating an analog positive cosine wave.

【0030】位置制御手段11、速度制御手段12、電
流制御手段13を経てリニアモータ6に指令電圧が印可
され、リニアモータ6が駆動されて、動いた位置がリニ
アスケール1によって検出される。位置制御用の位置フ
ィードバック量は、リニアスケール1から出力される位
置信号としてのA,B相パルスを使用し、速度制御用の
速度フィードバック量は、リニアスケール1から出力さ
れるアナログの正余弦波を内挿/データ化手段14で内
挿したデータを使用する。
A command voltage is applied to the linear motor 6 via the position control means 11, the speed control means 12, and the current control means 13, the linear motor 6 is driven, and the moved position is detected by the linear scale 1. The position feedback amount for position control uses A and B phase pulses as a position signal output from the linear scale 1, and the speed feedback amount for speed control is an analog positive cosine wave output from the linear scale 1. Is used by the interpolation / data conversion means 14.

【0031】図2はこの発明の一実施の形態であるサー
ボ制御装置のブロック図である。図において、1はリニ
アスケール、2はアナログの正余弦波を内挿し高分解能
な速度検出を行なう速度検出手段、3はアナログ波伝送
路、4はA,B相パルス伝送路、5は絶対位置データ伝
送路、6はリニアモータ、7aはリニアモータ6を位置
制御するサーボ制御装置、8は位置指令をサーボ制御装
置7に出力する数値制御装置、10はリニアサーボ機械
である。
FIG. 2 is a block diagram of a servo control device according to an embodiment of the present invention. In the drawing, 1 is a linear scale, 2 is a speed detecting means for performing high-resolution speed detection by interpolating an analog positive cosine wave, 3 is an analog wave transmission line, 4 is an A and B phase pulse transmission line, and 5 is an absolute position. A data transmission path, 6 is a linear motor, 7a is a servo controller for controlling the position of the linear motor 6, 8 is a numerical controller for outputting a position command to the servo controller 7, and 10 is a linear servo machine.

【0032】次にフィードバック量の処理について説明
する。電源投入時に、絶対位置データ伝送路5で伝送さ
れる絶対位置データを読み込む。その後は、A,B相パ
ルス伝送路4で伝送されるインクリメンタル信号のA,
B相パルス出力をカウントし、加算することにより、上
述の電源投入時に絶対位置データ伝送路5で伝送された
絶対位置を、更新して位置フィードバック量を演算す
る。また、速度についてはアナログ波伝送路3で伝送さ
れるアナログの正余弦波を速度検出手段2で内挿して速
度フィードバック量を得る。
Next, the processing of the feedback amount will be described. When the power is turned on, the absolute position data transmitted through the absolute position data transmission line 5 is read. Thereafter, the incremental signals A, B transmitted through the A, B phase pulse transmission path 4
By counting and adding the B-phase pulse outputs, the absolute position transmitted through the absolute position data transmission line 5 at the time of turning on the power is updated to calculate the position feedback amount. As for the speed, an analog positive cosine wave transmitted through the analog wave transmission line 3 is interpolated by the speed detecting means 2 to obtain a speed feedback amount.

【0033】図3は、この発明の一実施の形態である内
挿/データ化手段14でアナログの正余弦波を内挿して
速度フィードバック量を得るフローチャートである。ス
テップS101で、アナログ正弦波/余弦波を同時サン
プリングし、A/D変換する。ステップS102で、そ
れぞれのオフセット補正データSIN(OF),COS
(OF)を除去したデータSIN’θ,COS’θを得
る。ステップS103で、振幅補正ゲインSIN(A
M),COS(AM)をSIN’θ,COS’θに乗算
し、振幅差のない理想振幅の正弦波/余弦波SIN”
θ,COS”θを得る。ステップS104で、余弦波側
を次式加法定理によりrだけずらしてSIN”θ,CO
S”θを基準にCOS''' θを得る。(ここで、rはS
INθとのずれ角で、SINθとCOSθとの位相差が
90°からrずれていることを示す。) COS''' θ=COS”θ・COSr−SIN”θ・S
INr ステップS105で、SIN”θとCOS''' θとから
tan−1θを演算する。
FIG. 3 is a flowchart for obtaining an amount of speed feedback by interpolating an analog positive cosine wave by the interpolation / data conversion means 14 according to an embodiment of the present invention. In step S101, an analog sine wave / cosine wave is simultaneously sampled and A / D converted. In step S102, the respective offset correction data SIN (OF), COS
Data SIN'θ and COS'θ from which (OF) has been removed are obtained. In step S103, the amplitude correction gain SIN (A
M), COS (AM) is multiplied by SIN'θ, COS'θ, and a sine / cosine wave SIN "of ideal amplitude having no amplitude difference
In step S104, the cosine wave side is shifted by r according to the following addition theorem, and SIN "θ, COS
COS ′ ″ θ is obtained based on S ″ θ (where r is S
It indicates that the phase difference between SINθ and COSθ deviates from 90 ° by r in the deviation angle from INθ. ) COS ′ ″ θ = COS ”θ · COSr−SIN” θ · S
INr In step S105, tan-1? Is calculated from SIN "? And COS"'?.

【0034】このtan−1θにより、1周期内角度θ
nを算出し、前回までの速度累積位置Σθn−1に今回
のθnを加算し、今回の速度累積位置を算出する
By this tan-1θ, the angle θ within one cycle is obtained.
n is calculated, and the current speed accumulated position is calculated by adding the current θn to the previous speed accumulated position Σθn-1.

【0035】ここで、上述のフローチャートにより得ら
れる速度フィードバック量の分解能を求める。例えば、
A,B相パルス出力の4逓倍後の分解能が1μmに対し
アナログ原信号の1周期が40μmで、8ビットA/D
コンバータを使用して内挿し、tan−1θを求めた場
合、9ビットの精度まで分割することが可能であり、4
0/512=0.080μmの分解能となるので、従来
の約10倍の分解能が得られたことになる。これは、回
転型モータを使用した直結のボールネジ10mmの機械
の場合と比較すると、12万パルス/回転となる。
Here, the resolution of the speed feedback amount obtained by the above-described flowchart is obtained. For example,
The resolution after quadrupling the A and B phase pulse outputs is 1 μm, while one cycle of the analog original signal is 40 μm and the 8-bit A / D
When tan-1θ is obtained by interpolation using a converter, it is possible to divide up to 9-bit accuracy.
Since the resolution is 0/512 = 0.080 μm, the resolution is about ten times that of the related art. This is 120,000 pulses / rotation as compared with the case of a direct-coupled ball screw 10 mm machine using a rotary motor.

【0036】実施の形態2.図4は、この発明の一実施
の形態に係るサーボ制御装置のブロック図である。図に
おいて、1、3〜6、10は、実施の形態1の図2と同
様のものであり、その説明を省略する。7bはリニアモ
ータ6を位置制御するサーボ制御装置、15はアナログ
の正余弦波を内挿して高分解能な速度データを得ると共
にこのデータをシリアルデータ化して、サーボ制御装置
7bに伝送するリニアサーボI/F装置である。前述の
実施の形態1では、内挿/データ化手段14を速度検出
手段2としてサーボ制御装置7aに内蔵した例を示した
が、この実施の形態ではリニアサーボI/F装置15で
アナログの正余弦波を内挿して高分解能な速度データを
得ると共にこのデータをシリアルデータ化して、サーボ
制御装置7bに伝送するようにしたものである。
Embodiment 2 FIG. 4 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention. In the figure, 1, 3 to 6, and 10 are the same as those in FIG. 2 of the first embodiment, and a description thereof will be omitted. Reference numeral 7b denotes a servo control device for controlling the position of the linear motor 6, and 15 denotes a linear servo I / O which interpolates an analog positive cosine wave to obtain high-resolution speed data, converts this data into serial data, and transmits the serial data to the servo control device 7b. / F device. In the above-described first embodiment, an example is shown in which the interpolation / data conversion means 14 is incorporated in the servo control device 7a as the speed detection means 2, but in this embodiment, the linear servo I / F device 15 performs analog positive A high-resolution speed data is obtained by interpolating a cosine wave, and this data is converted into serial data and transmitted to the servo controller 7b.

【0037】この実施の形態では、リニアサーボI/F
装置15によりアナログの正余弦波を内挿して高分解能
な速度データを得ると共にこのデータをシリアルデータ
化して、サーボ制御装置7aに伝送するようにしたの
で、専用のサーボ制御装置を使用する図2と異なり、標
準のサーボ制御装置を使用することができ、また、アナ
ログ伝送路を短くすることができるので、信頼性の高い
速度データを得ることができる。
In this embodiment, the linear servo I / F
Since a high-resolution velocity data is obtained by interpolating an analog positive cosine wave by the device 15 and this data is converted into serial data and transmitted to the servo control device 7a, a dedicated servo control device is used. Unlike this, a standard servo controller can be used and the analog transmission path can be shortened, so that highly reliable speed data can be obtained.

【0038】実施の形態3.図5は、この発明の一実施
の形態に係るサーボ制御装置の制御ブロック図である。
図において、1、3、4、6、10〜14は、実施の形
態1の図2と同様のものであり、その説明を省略する。
16は、内挿/データ化手段14により算出された速度
データとリニアスケール1から出力される位置信号とし
てのA,B相パルスをカウントした位置データとから位
置データを合成する位置データ合成手段である。
Embodiment 3 FIG. 5 is a control block diagram of the servo control device according to the embodiment of the present invention.
In the figure, 1, 3, 4, 6, and 10 to 14 are the same as those in FIG. 2 of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.
Numeral 16 denotes a position data synthesizing means for synthesizing position data from the velocity data calculated by the interpolation / data conversion means 14 and position data obtained by counting the A and B phase pulses as position signals output from the linear scale 1. is there.

【0039】図6は、この発明の一実施の形態に係る位
置データ合成手段16の位置データ合成方法を示すフロ
ーチャートである。ステップS201で、アナログの正
余弦波を内挿して高分解能な速度データPvを得る。ス
テップS202で、アナログの正余弦波のサンプリング
と同時にサンプリングしたA,B相パルス出力をカウン
トした位置データP.FBを参照する。ステップS20
3で、位置データP.FBに基準誤差量Pbeを加算し
た位置補正データPcを得る。(ここで、基準誤差量P
beは位置と速度とのデータ差であり、リニアスケール
を初めて使用した時に測定し、予め不揮発性メモリ等に
格納しておく。) Pc=P.FB+Pbe ステップS204で、位置補正データPcと速度データ
Pvとを重ね合わせ、この重ね合わせで発生する誤差を
Peとする。(この場合の基準は、精度の高い速度側と
する。) 続けて、位置補正データPcに誤差Peを加算して、高
分解能の位置データPc’を得る。 Pe=Pc−Pv (ただし、位置データP.FBの1パルスを基準とし
て、|Pe|=<1/2パルス) Pc’=Pc+Pe この位置データは、位置制御・速度制御毎に毎回作成
し、位置情報・速度情報として使用する。
FIG. 6 is a flowchart showing a position data synthesizing method of the position data synthesizing means 16 according to one embodiment of the present invention. In step S201, an analog positive cosine wave is interpolated to obtain high-resolution speed data Pv. In step S202, the position data P.A. and the A.B-phase pulse outputs sampled simultaneously with the sampling of the analog positive cosine wave are counted. Refer to FB. Step S20
3, the position data P. Position correction data Pc obtained by adding the reference error amount Pbe to FB is obtained. (Here, the reference error amount P
be is a data difference between the position and the speed, measured when the linear scale is used for the first time, and stored in a nonvolatile memory or the like in advance. ) Pc = P. FB + Pbe In step S204, the position correction data Pc and the speed data Pv are superimposed, and an error generated by the superimposition is Pe. (The criterion in this case is the high-precision speed side.) Subsequently, an error Pe is added to the position correction data Pc to obtain high-resolution position data Pc ′. Pe = Pc−Pv (However, | Pe | = <1 / pulse based on one pulse of position data P.FB) Pc ′ = Pc + Pe This position data is created every time position control / speed control is performed. Used as position information and speed information.

【0040】図7は、この発明の一実施の形態に係るサ
ーボ制御装置のブロック図である。図において、1、
3、4、6、10は、実施の形態1の図2と同様のもの
であり、その説明を省略する。7cはサーボ制御装置、
17はアナログの正余弦波を内挿して高分解能な速度デ
ータを得ると共に位置データ合成をする速度検出/位置
データ合成手段である。内挿/データ化手段14および
位置データ合成手段16を速度検出/位置データ合成手
段17としてサーボ制御装置7cに内蔵したものであ
る。
FIG. 7 is a block diagram of a servo control device according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1,
3, 4, 6, and 10 are the same as those in FIG. 2 of the first embodiment, and a description thereof will be omitted. 7c is a servo control device,
A speed detecting / position data synthesizing means 17 obtains high-resolution speed data by interpolating an analog positive cosine wave and synthesizes position data. The interpolation / data converting means 14 and the position data synthesizing means 16 are built in the servo control device 7c as the speed detecting / position data synthesizing means 17.

【0041】図8は、この発明の一実施の形態に係るサ
ーボ制御装置のブロック図である。図において、1、
3、4、6、10は、実施の形態1の図1と同様のもの
であり、その説明を省略する。7dはサーボ制御装置、
18はアナログの正余弦波を内挿して高分解能な速度デ
ータを得、位置データ合成をすると共にこのデータをシ
リアルデータ化して、サーボ制御装置7dに伝送するリ
ニアサーボI/F装置である。
FIG. 8 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention. In the figure, 1,
3, 4, 6, and 10 are the same as those in FIG. 1 of the first embodiment, and a description thereof will be omitted. 7d is a servo control device,
Reference numeral 18 denotes a linear servo I / F device that obtains high-resolution speed data by interpolating an analog positive cosine wave, synthesizes position data, converts this data into serial data, and transmits the serial data to the servo control device 7d.

【0042】リニアサーボI/F装置18によりアナロ
グの正余弦波を内挿して高分解能な速度データを得ると
共に位置データ合成をし、このシリアルデータ化した位
置データを、サーボ制御装置7dに伝送するようにした
ので、専用のサーボ制御装置を使用する図7cと異な
り、標準のサーボ制御装置を使用することができ、ま
た、アナログ伝送路を短くすることができ、信頼性の高
い位置データを得ることができる。
An analog positive cosine wave is interpolated by the linear servo I / F device 18 to obtain high-resolution speed data and synthesize position data, and the serialized position data is transmitted to the servo control device 7d. Thus, unlike FIG. 7C which uses a dedicated servo control device, a standard servo control device can be used, and the analog transmission path can be shortened to obtain highly reliable position data. be able to.

【0043】実施の形態4.図9は、この発明の一実施
の形態に係る速度累積位置と位置累積位置との関係を示
す図である。速度データと位置データとを累積し、この
累積値の差を常に監視し、この累積値の差が一定値を越
えた場合にアラームとするものである。
Embodiment 4 FIG. FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the speed accumulation position and the position accumulation position according to the embodiment of the present invention. The speed data and the position data are accumulated, and the difference between the accumulated values is constantly monitored. When the difference between the accumulated values exceeds a certain value, an alarm is issued.

【0044】実施の形態5.図10は、この発明の一実
施の形態に係るサーボ制御装置のブロック図である。図
において、1、3、4、6、10は、実施の形態1の図
1と同様のものであり、その説明を省略する。7eはサ
ーボ制御装置、21は温度サーマルなどのモータ情報用
の伝送路、22は機械情報用の伝送路、23はリニアサ
ーボI/F装置である。
Embodiment 5 FIG. FIG. 10 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention. In the figure, 1, 3, 4, 6, and 10 are the same as those in FIG. 1 of the first embodiment, and a description thereof will be omitted. 7e is a servo control device, 21 is a transmission path for motor information such as temperature thermal, 22 is a transmission path for mechanical information, and 23 is a linear servo I / F device.

【0045】リニアサーボI/F装置23は,アナログ
の正余弦波を内挿して高分解能な速度データを得ると共
に位置データ合成をする速度検出/位置データ合成手段
を備え、位置データをシリアルデータ化して、サーボ制
御装置7cに伝送すると共に、温度サーマルなどのモー
タ情報の入力部と機械情報の入力部とを備え、モータ情
報および機械情報をシリアルデータ化して、サーボ制御
装置7eに伝送する。
The linear servo I / F device 23 is provided with speed detecting / position data synthesizing means for obtaining high-resolution speed data by interpolating an analog positive cosine wave and synthesizing position data, and converting the position data into serial data. In addition to the transmission to the servo control device 7c, the device includes an input portion for motor information such as temperature thermal and an input portion for machine information. The motor information and the machine information are converted into serial data and transmitted to the servo control device 7e.

【0046】実施の形態6.図11は、この発明の一実
施の形態に係るサーボ制御装置のブロック図である。図
において、1aは絶対位置検出リニアスケール、6はリ
ニアモータ、7fはサーボ制御装置、24は機械負荷、
25は直流電圧指令可変手段である。リニアモータの磁
極位置を検出するために行なう直流励磁は実機において
は、機械負荷25に応じて変化させる必要があり、直流
電圧指令可変手段25は、パラメータによりサーボ制御
装置7fがリニアモータ6に印可する直流電圧指令を可
変するので、常に適正な位置に停止させる。
Embodiment 6 FIG. FIG. 11 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention. In the figure, 1a is an absolute position detection linear scale, 6 is a linear motor, 7f is a servo control device, 24 is a mechanical load,
25 is a DC voltage command varying means. In the actual machine, the DC excitation performed to detect the magnetic pole position of the linear motor needs to be changed according to the mechanical load 25, and the DC voltage command varying means 25 applies the servo control device 7f to the linear motor 6 according to the parameter. Since the DC voltage command is varied, the motor is always stopped at an appropriate position.

【0047】図12は、この発明の一実施の形態に係る
直流電圧パターンをパラメータで可変に調整する場合の
各相に印可する電圧指令の比を示した図である。図のN
O.1はU相にMAX電圧を加え、他のV相,W相には
その−1/2の電圧を加える例である。直流励磁に対
し、リニアモータ6は磁気的に吸引される位置で停止す
るが、機械によっては調整位置が制限される場合が想定
され、図では3相のパターン6個の例を示したが、更に
細かい角度レベルで任意に選べるようにして、なるべく
少ない移動距離で停止できるようにしてもよい。
FIG. 12 is a diagram showing the ratio of the voltage command applied to each phase when the DC voltage pattern according to the embodiment of the present invention is variably adjusted with parameters. N in the figure
O. Reference numeral 1 denotes an example in which a MAX voltage is applied to the U phase, and a voltage of -1/2 is applied to the other V and W phases. For DC excitation, the linear motor 6 stops at the position where it is magnetically attracted, but it is assumed that the adjustment position may be limited depending on the machine. In the figure, an example of six three-phase patterns is shown. It is also possible to make it possible to arbitrarily select at a finer angle level so that the vehicle can be stopped with a minimum moving distance.

【0048】図13は、この発明の一実施の形態に係る
駆動時の磁極検出方法(初期調整時)を示すフローチャ
ートである。ステップS301で、同期型リニアサーボ
モータ(LSM)の磁極位置を検出するために、モータ
をあるパターンの直流励磁をする。ステップS302
で、モータは直流励磁のパターンにより所定の電気角で
停止するので、この位置における絶対位置カウンタを基
準磁極位置(MPBP)として、サーボ制御装置あるい
はその上位のコントローラに記憶する。
FIG. 13 is a flowchart showing a magnetic pole detection method at the time of driving (at the time of initial adjustment) according to an embodiment of the present invention. In step S301, in order to detect the magnetic pole position of the synchronous linear servo motor (LSM), the motor is DC-excited in a certain pattern. Step S302
Since the motor stops at a predetermined electrical angle according to the DC excitation pattern, the absolute position counter at this position is stored as a reference magnetic pole position (MPBP) in the servo control device or its higher-level controller.

【0049】図14は、この発明の一実施の形態に係る
駆動時の磁極検出方法を示すフローチャートである。初
期調整時に図13に示す磁極検出を1回実行すれば、次
回の電源投入時からは、以下のフローチャートにより、
自動で磁極位置を検出する。ステップS311で、電源
投入時絶対位置カウンタ(ABS0)を読み込む。ステ
ップS312で、初期調整時に記憶した基準磁極位置
(MPBP)とサーボパラメータのリニアスケール分解
能(SKP(p/mm))、磁極ピッチ(MPIT(m
m))を基に、次式により現在のモータ電気角θを得
る。 A=余り((ABS0−MPBP)/(SKP*MPI
T)) θ=(A*360)/(SKP*MPIT) ステップS313で、モータ電気角θを使用して電流制
御を行なう。
FIG. 14 is a flowchart showing a magnetic pole detection method during driving according to an embodiment of the present invention. If the magnetic pole detection shown in FIG. 13 is executed once at the time of the initial adjustment, the following flow chart is used from the next power-on.
Automatically detects magnetic pole position. In step S311, the power-on absolute position counter (ABS0) is read. In step S312, the reference magnetic pole position (MPBP) stored during the initial adjustment, the linear scale resolution (SKP (p / mm)) of the servo parameter, and the magnetic pole pitch (MPIT (m
m)), the current motor electric angle θ is obtained by the following equation. A = Remainder ((ABS0-MPBP) / (SKP * MPI)
T)) θ = (A * 360) / (SKP * MPIT) In step S313, current control is performed using the motor electrical angle θ.

【0050】実施の形態7.図15は、この発明の一実
施の形態に係る駆動時の磁極検出方法(初期調整時)を
示すフローチャートである。ステップS321で、自動
で一定の直流励磁のパターンにより励磁を行なう。ステ
ップS322で、停止位置の絶対位置(MPBP0)を
記憶する。ステップS323で、上述の図14のフロー
チャートにより絶対位置(MPBP0)を基に作成され
た磁極位置から、モータを例えば左側へ電気角で30°
程度ずらした位置に移動した後、再び励磁し停止した位
置の絶対位置(MPBPL)を記憶する。ステップS3
24で、モータを右側(ステップS323と逆方向)へ
電気角で30°程度ずらした位置に移動した後、再び励
磁し停止した位置の絶対位置(MPBPR)を記憶す
る。ステップS325で、ステップS323で記憶した
絶対位置(MPBPL)とステップS324で記憶した
絶対位置(MPBPR)との中心を真の磁極位置とす
る。 真の磁極位置 MPBP=(MPBPL+MPBPR)
/2
Embodiment 7 FIG. FIG. 15 is a flowchart showing a magnetic pole detection method at the time of driving (at the time of initial adjustment) according to an embodiment of the present invention. In step S321, excitation is automatically performed according to a constant DC excitation pattern. In step S322, the absolute position of the stop position (MPBP0) is stored. In step S323, the motor is moved, for example, to the left by an electrical angle of 30 ° from the magnetic pole position created based on the absolute position (MPBP0) according to the flowchart of FIG.
After moving to a position shifted by about a degree, the absolute position (MPBPL) of the position where the excitation is stopped again and stopped is stored. Step S3
At 24, the absolute position (MPBPR) of the position where the motor is moved to the right (in the opposite direction to step S323) by an electrical angle of about 30 ° and then excited and stopped again is stored. In step S325, the center between the absolute position (MPBPL) stored in step S323 and the absolute position (MPBPR) stored in step S324 is set as a true magnetic pole position. True magnetic pole position MPBP = (MPBPL + MPBPR)
/ 2

【0051】実施の形態8.図16は、この発明の一実
施の形態に係る上下軸の駆動時の磁極検出方法(初期調
整時)を示すフローチャートである。ステップS331
で、上下軸のブレーキはかけたままとする。ステップS
332で、ブレーキの保持力よりも小さな励磁力の電圧
指令Vpによる一定の直流励磁のパターンにより励磁を
行なう。ステップS333で、q軸電流の方向を確認
し、この方向が上昇方向の場合はステップS335に進
む。q軸電流の方向が下降方向の場合は、ステップS3
34で励磁相を逆転する。ステップS335で、電圧指
令Vpを徐々に大きくし、動き出すのを確認した後、ブ
レーキを解除する。ステップS336で、停止位置の絶
対位置(MPBPP)を記憶する。
Embodiment 8 FIG. FIG. 16 is a flowchart showing a magnetic pole detection method (at the time of initial adjustment) at the time of driving the vertical axis according to an embodiment of the present invention. Step S331
Therefore, the brakes of the vertical axis are kept applied. Step S
At 332, the excitation is performed according to a constant DC excitation pattern by a voltage command Vp of an excitation force smaller than the holding force of the brake. In step S333, the direction of the q-axis current is confirmed. If the direction is the rising direction, the flow proceeds to step S335. If the direction of the q-axis current is the descending direction, step S3
At 34, the excitation phase is reversed. In step S335, the voltage command Vp is gradually increased, and after confirming that it starts moving, the brake is released. In step S336, the absolute position of the stop position (MPBPP) is stored.

【0052】以後の処理は、上述の図13、図14によ
り電流制御を行なう。この実施の形態では、重力が影響
する上下軸などでブレーキをかけながら直流励磁パター
ンを決定し、初期調整時には必ず上方向に移動して停止
する。
In the subsequent processing, current control is performed according to FIGS. In this embodiment, the DC excitation pattern is determined while applying a brake on the vertical axis or the like affected by gravity, and during the initial adjustment, it always moves upward and stops.

【0053】実施の形態9.図17は、この発明の一実
施の形態に係る駆動時の磁極検出方法(初期調整時)を
示すフローチャートである。ステップS341で、一定
の電圧指令Vpで直流励磁する。ステップS342で、
相電流を検出する。 Iu,Iv,Iw(=−(Iu+Iv)) ステップS343で、検出した相電流を規定値と比較す
る。検出した相電流が規定値より大きい場合は、ステッ
プS344で電圧指令Vpを減少し、ステップS343
に戻る。検出した相電流が規定値より小さい場合は、ス
テップS345で停止位置の絶対位置(MPBP)を記
憶する。
Embodiment 9 FIG. FIG. 17 is a flowchart showing a magnetic pole detection method at the time of driving (at the time of initial adjustment) according to an embodiment of the present invention. In step S341, DC excitation is performed with a constant voltage command Vp. In step S342,
Detect phase current. Iu, Iv, Iw (= − (Iu + Iv)) In step S343, the detected phase current is compared with a specified value. If the detected phase current is larger than the specified value, the voltage command Vp is decreased in step S344, and step S343 is performed.
Return to If the detected phase current is smaller than the specified value, the absolute position of the stop position (MPBP) is stored in step S345.

【0054】以後の処理は、上述の図13、図14によ
り電流制御を行なう。この実施の形態では、初期調整時
の相電流を監視し、過大な電流が検出された場合には励
磁用電圧指令を小さく絞って、モータを減磁から保護す
る。
In the subsequent processing, current control is performed according to FIGS. In this embodiment, the phase current at the time of the initial adjustment is monitored, and when an excessive current is detected, the excitation voltage command is narrowed down to protect the motor from demagnetization.

【0055】実施の形態10.図18は、この発明の一
実施の形態に係る相対位置検出リニアスケールを使用し
た場合の磁極検出方法を示すフローチャートである。ス
テップS401で、サーボ制御装置の電源を投入する。
ステップS402で、一定の電圧指令Vpで直流励磁す
る。ステップS403で、停止位置のインクリメンタル
のカウント値(MPOS)を記憶する。ステップS40
4で、リニアスケール分解能(SKP(p/mm))と
磁極ピッチ(MPIT(mm))と停止位置のインクリ
メンタルのカウント値(MPOS)と現在のフィードバ
ックカウンタ位置MPAMとを基に、次式により現在の
モータ電気角θを得る。 A=余り((MPAM−MPOS)/(SKP*MPI
T)) θ=(A*360)/(SKP*MPIT) ステップS405で、モータ電気角θを使用して電流制
御を行なう。
Embodiment 10 FIG. FIG. 18 is a flowchart showing a magnetic pole detection method when the relative position detection linear scale according to one embodiment of the present invention is used. In step S401, the power of the servo control device is turned on.
In step S402, DC excitation is performed with a constant voltage command Vp. In step S403, the incremental count value (MPOS) of the stop position is stored. Step S40
4, based on the linear scale resolution (SKP (p / mm)), the magnetic pole pitch (MPIT (mm)), the incremental count value (MPOS) of the stop position, and the current feedback counter position MPAM, Is obtained. A = Remainder ((MPAM-MPOS) / (SKP * MPI)
T)) θ = (A * 360) / (SKP * MPIT) In step S405, current control is performed using the motor electrical angle θ.

【0056】図19は、この発明の一実施の形態に係る
相対位置検出リニアスケールを使用した場合の磁極検出
方法を示すフローチャートである。上述の図18では、
一定の電圧指令での直流励磁の例を示したが、図19は
直流励磁のパターンを自動で変化させ、磁極検出をする
ものである。ステップS411で、一定の電圧指令Vp
1で直流励磁する。ステップS412で、モータの動き
出す方向をチェックする。このフローチャートでは、最
初に左側へ動いたかチェックする例で以下説明する。モ
ータの動き出す方向が左側の場合、ステップS418へ
進む。
FIG. 19 is a flowchart showing a magnetic pole detection method using a relative position detection linear scale according to one embodiment of the present invention. In FIG. 18 described above,
Although an example of DC excitation with a constant voltage command has been described, FIG. 19 shows a case in which the pattern of DC excitation is automatically changed to detect a magnetic pole. In step S411, the constant voltage command Vp
Excitation at 1 with DC. In step S412, the direction in which the motor starts to move is checked. In this flowchart, an example will be described below in which it is first checked whether the user has moved to the left. If the direction in which the motor starts to move is on the left, the process proceeds to step S418.

【0057】モータの動き出す方向が右側の場合、ステ
ップS413で、停止した位置を記憶し、電圧指令Vp
6の励磁パターンに変更する。ステップS414で、左
側に移動したかチェックし、左側に移動した場合、この
位置を記憶し、ステップS421へ進む。右側に移動し
た場合、ステップS415で、停止した位置を記憶し、
電圧指令Vp5の励磁パターンに変更する。ステップS
416で、左側に移動したかチェックし、左側に移動し
た場合、この位置を記憶し、ステップS421へ進む。
右側に移動した場合、ステップS415で、電圧指令V
p4の励磁パターンに変更し、停止した位置を記憶し、
ステップS421へ進む。
If the direction in which the motor starts moving is on the right side, the stopped position is stored in step S413 and the voltage command Vp
Change the excitation pattern to 6. In step S414, it is checked whether the camera has moved to the left. If the camera has moved to the left, this position is stored, and the process proceeds to step S421. If it has moved to the right, the stop position is stored in step S415,
Change to the excitation pattern of voltage command Vp5. Step S
At 416, it is checked whether the user has moved to the left. If the user has moved to the left, this position is stored, and the process proceeds to step S421.
If it has moved to the right, in step S415, the voltage command V
Change to the excitation pattern of p4, memorize the stop position,
Proceed to step S421.

【0058】ステップS412のチェックで、モータの
動き出す方向が左側の場合、ステップS418で、停止
した位置を記憶し、電圧指令Vp2の励磁パターンに変
更する。ステップS419で、左側に移動かチェック
し、右側に移動した場合、この位置を記憶し、ステップ
S421へ進む。左側に移動した場合、ステップS42
0で、電圧指令Vp3の励磁パターンに変更し、停止し
た位置を記憶し、ステップS421へ進む。
If it is determined in step S412 that the direction in which the motor starts moving is on the left side, the stopped position is stored in step S418, and the excitation pattern is changed to the voltage command Vp2 excitation pattern. In step S419, it is checked whether the position has moved to the left. If the position has moved to the right, this position is stored and the process proceeds to step S421. If it has moved to the left, step S42
At 0, the excitation pattern is changed to the excitation pattern of the voltage command Vp3, the stopped position is stored, and the process proceeds to step S421.

【0059】ステップS421では、記憶した位置と最
終励磁パターンにより、磁極位置MPBPを算出する。
以降、上述の図18のステップS404、ステップS4
05と同様に、モータ電気角θを算出して電流制御を行
なう。この実施の形態では、励磁パターンを自動で変化
させながら一番近い位置で、磁極位置を検出するもので
ある。
In step S421, a magnetic pole position MPBP is calculated from the stored position and the final excitation pattern.
Hereinafter, steps S404 and S4 in FIG.
In the same manner as in step 05, the motor electric angle θ is calculated and the current control is performed. In this embodiment, the magnetic pole position is detected at the closest position while automatically changing the excitation pattern.

【0060】実施の形態11.図20は、この発明の一
実施の形態に係る相対位置検出リニアスケールを使用し
た場合の磁極調整時の最終微調の状況を示す図である。
直流励磁により調整された磁極位置は、機械負荷などに
より微小なずれを持っている可能性がある。そこで、磁
極調整の最後に往復運転を数回行ない、加減速に必要な
ピーク電流のバランスを見ながら基準位置を補正する。
図のように、モータ早送り加速時の電流が左方向100
%で右方向90%と10%のずれがある場合、磁極基準
位置MPBPを以下の式で算出し、 MPBP=MPBP+(A−B)*Kc (ここで、KcはMPBP調整用比例定数) 再び加減速を行なう。数回の加減速運転により収束した
時点で、適正なMPBPとする。
Embodiment 11 FIG. FIG. 20 is a diagram illustrating a state of final fine adjustment at the time of magnetic pole adjustment when the relative position detection linear scale according to one embodiment of the present invention is used.
There is a possibility that the magnetic pole position adjusted by the DC excitation has a slight shift due to a mechanical load or the like. Therefore, the reciprocating operation is performed several times at the end of the magnetic pole adjustment, and the reference position is corrected while checking the balance of the peak current required for acceleration and deceleration.
As shown in FIG.
%, There is a deviation of 90% in the right direction from 10%, and the magnetic pole reference position MPBP is calculated by the following equation: MPBP = MPBP + (AB) * Kc (where Kc is a proportional constant for MPBP adjustment) Perform acceleration / deceleration. When the convergence is achieved by several acceleration / deceleration operations, an appropriate MPBP is set.

【0061】実施の形態12.図21は、この発明の一
実施の形態に係る相対位置検出リニアスケールを使用し
た場合の磁極調整時の最終微調を示すフローチャートで
ある。ステップS501で、両方向に加減速する。ステ
ップS502で、加減速時のIdmaxを測定する。ス
テップS503で、Idmaxと基準ピーク値Ipdm
axとを比較し、Idmaxが基準ピーク値Ipdma
xより小さければ、現状の磁極基準位置MPBPでOK
とする。Idmaxが基準ピーク値Ipdmaxより大
きければ、ステップS504で、磁極基準位置MPBP
に定数kを加算し、ステップS501に戻る。
Embodiment 12 FIG. FIG. 21 is a flowchart showing the final fine adjustment at the time of magnetic pole adjustment when the relative position detection linear scale according to one embodiment of the present invention is used. In step S501, acceleration and deceleration are performed in both directions. In step S502, Idmax during acceleration / deceleration is measured. In step S503, Idmax and the reference peak value Ipdm
ad, and Idmax is equal to the reference peak value Ipdma.
If it is smaller than x, it is OK at the current magnetic pole reference position MPBP.
And If Idmax is larger than the reference peak value Ipdmax, in step S504, the magnetic pole reference position MPBP
, And returns to step S501.

【0062】[0062]

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0063】この発明に係るリニアサーボシステムは、
位置信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余
弦波を出力するリニアスケールと、このリニアスケール
から出力されるアナログの正余弦波を内挿し、速度デー
タを算出するデータ内挿/データ化手段と、を備え、位
置フィードバック量は、リニアスケールから出力される
位置信号としてのA,B相パルスを使用し、速度制御用
の速度フィードバック量は、内挿/データ化手段で算出
した速度データを使用するようにしたので、位置分解能
に制限されることなく、分解能の高い速度・加速度成分
が検出できるようになることから、速度ゲインを上げる
ことができ、応答性の良いサーボシステムが構築でき
る。
The linear servo system according to the present invention
A linear scale that outputs A and B phase pulses and an analog positive cosine wave as a position signal, and an analog positive cosine wave output from the linear scale to interpolate data to calculate velocity data. The position feedback amount uses A and B phase pulses as a position signal output from a linear scale, and the speed feedback amount for speed control uses the speed data calculated by the interpolation / data conversion means. Since it is used, a speed / acceleration component with a high resolution can be detected without being limited by the position resolution, so that a speed gain can be increased and a servo system with good response can be constructed.

【0064】また、位置信号としてのA,B相パルスお
よびアナログの正余弦波を出力するリニアスケールと、
このリニアスケールから出力されるアナログの正余弦波
を内挿し、速度データを算出すると共にこの速度データ
と前記リニアスケールから出力される位置信号としての
A,B相パルスをカウントした位置データとから位置デ
ータを合成する速度検出/位置データ合成手段と、を備
え、位置フィードバック量として速度検出/位置データ
合成手段の合成した位置データを、また、速度制御用の
速度フィードバック量として速度検出/位置データ合成
手段の算出した速度データを使用するようにしたので、
速度分解能を高めると共に位置分解能をも高めることが
でき、高精度のサーボシステムが構築できる。
A linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave;
The analog positive cosine wave output from the linear scale is interpolated to calculate the speed data, and the position is calculated from the speed data and the position data obtained by counting the A and B-phase pulses as the position signals output from the linear scale. Speed detection / position data synthesizing means for synthesizing data, the position data synthesized by the speed detection / position data synthesizing means as the position feedback amount, and the speed detection / position data synthesizing as the speed feedback amount for speed control. Since the speed data calculated by the means is used,
The speed resolution and the position resolution can be increased, and a highly accurate servo system can be constructed.

【0065】さらに、速度データを累積した速度累積位
置と位置データを累積した位置累積位置との累積値の差
を常に監視し、この累積値の差が一定値を越えた場合に
アラームとするようにしたので、位置ずれを容易に防止
できるサーボシステムが構築できる。
Further, the difference between the accumulated value of the speed accumulated position of the speed data and the accumulated position of the position accumulated position data is constantly monitored, and an alarm is issued when the difference of the accumulated value exceeds a certain value. Therefore, a servo system that can easily prevent the displacement can be constructed.

【0066】さらにまた、リニアモータと、位置信号と
してのA,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力
するリニアスケールと、リニアモータを制御するサーボ
制御装置と、アナログの正余弦波を内挿して高分解能な
速度データを得ると共にこの速度データとリニアスケー
ルから出力される位置信号としてのA,B相パルスをカ
ウントした位置データとから位置データを合成する速度
検出/位置データ合成手段を備え、この速度データおよ
び位置データをシリアルデータ化して、サーボ制御装置
に伝送すると共に、温度サーマルなどのモータ情報の入
力部と機械情報の入力部とを有し、モータ情報および機
械情報をシリアルデータ化して、サーボ制御装置伝送す
るリニアサーボI/F装置と、を備えるようにしたの
で、複数の長距離配線を追加することなく、またサーボ
制御装置側に新たな入力部や信号を処理するための回路
を設けることなく、機能の追加が容易なサーボシステム
が構築できる。
Further, a linear motor, a linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, a servo control device for controlling the linear motor, and an analog positive cosine wave are interpolated. Speed detection / position data synthesizing means for synthesizing position data from speed data with high resolution and synthesizing position data from the speed data and position data obtained by counting A and B phase pulses as position signals output from the linear scale; The speed data and the position data are converted into serial data and transmitted to the servo control device.The motor data and the machine information are input into a serial data. And a linear servo I / F device for transmitting a servo control device. The without adding, also without providing a circuit for processing a new input unit or the signal to the servo controller side, additional features can be constructed easily servo system.

【0067】この発明に係るリニアサーボシステムの磁
極位置検出方法は、リニアモータと、絶対位置データ、
位置信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余
弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備え
たリニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、
機械負荷に応じてリニアモータに印可する直流電圧指令
を変化させるようにしたので、リニアモータを直流励磁
する電圧供給装置が不要となると共に、モータ特性や重
力の有無によらず適切な磁極位置検出ができる。
A magnetic pole position detecting method for a linear servo system according to the present invention comprises a linear motor, absolute position data,
An absolute position detection linear scale that outputs A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave;
The DC voltage command applied to the linear motor is changed according to the mechanical load, eliminating the need for a voltage supply device for DC exciting the linear motor, and detecting the proper magnetic pole position regardless of the motor characteristics or the presence or absence of gravity. Can be.

【0068】また、リニアモータと、絶対位置データ、
位置信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余
弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備え
たリニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、
電源投入時に、一定の電圧指令で直流励磁する段階と、
停止した位置の絶対位置を基に磁極位置を作成する段階
と、再び励磁し、右側および左側へ移動させる段階と、
停止した位置の絶対位置を記憶する段階と、この記憶し
た右側移動時の絶対位置と左側移動時の絶対位置との中
心を真の磁極位置を作成する段階と、を有するようにし
たので、高精度な磁極位置検出ができる。
Also, a linear motor, absolute position data,
An absolute position detection linear scale that outputs A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave;
When power is turned on, DC excitation is performed with a constant voltage command,
Creating a magnetic pole position based on the absolute position of the stopped position, energizing again, and moving to the right and left,
Since it has a step of storing the absolute position of the stopped position, and a step of creating a true magnetic pole position with the center of the stored absolute position when moving to the right and the absolute position when moving to the left, Accurate magnetic pole position detection is possible.

【0069】さらに、上下軸として使用されるリニアモ
ータと、このリニアモータを制動するブレーキと、絶対
位置データ、位置信号としてのA,B相パルスおよびア
ナログの正余弦波を出力する絶対位置検出リニアスケー
ルと、を備えたリニアサーボシステムの磁極位置検出方
法において、上下軸のブレーキはかけたままでブレーキ
の保持力よりも小さな励磁力の電圧指令による一定の直
流励磁のパターンにより励磁を行なう段階と、q軸電流
の方向を確認し、下降方向の場合は、励磁相を逆転する
段階と、を有するようにしたので、初期磁極位置調整の
難しい上下軸についても容易に磁極位置の調整ができ
る。
Further, a linear motor used as a vertical axis, a brake for braking the linear motor, an absolute position detecting linear motor for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave. A scale and a magnetic pole position detection method of a linear servo system comprising: a step of performing excitation by a constant DC excitation pattern by a voltage command of an excitation force smaller than a holding force of the brake while applying a brake on the vertical axis, The step of confirming the direction of the q-axis current and reversing the excitation phase in the case of the descending direction is provided, so that the magnetic pole position can be easily adjusted even with respect to the vertical axis where initial magnetic pole position adjustment is difficult.

【0070】さらにまた、リニアモータと、絶対位置デ
ータ、位置信号としてのA,B相パルスおよびアナログ
の正余弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、
を備えたリニアサーボシステムの磁極位置検出方法にお
いて、一定の電圧指令で直流励磁を行ない、検出した相
電流が規定値より大きい場合は、励磁用電圧指令を減少
し、再度直流励磁を行なうようにするようにしたので、
初期磁極位置調整時にリニアモータを減磁から保護でき
る。
Further, a linear motor, an absolute position detection linear scale for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave,
In the magnetic pole position detection method of the linear servo system provided with, the DC excitation is performed at a constant voltage command, and if the detected phase current is larger than a specified value, the excitation voltage command is reduced and the DC excitation is performed again. I decided to
The linear motor can be protected from demagnetization during initial magnetic pole position adjustment.

【0071】リニアモータと、位置信号としてのA,B
相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する相対位置
検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシステム
の磁極位置検出方法において、電源投入時に、一定の電
圧指令で直流励磁する段階と、モータの移動方向をチェ
ックする段階と、停止した位置のインクリメンタルのカ
ウント値を記憶する段階と、励磁パターンを変更し、異
なる電圧指令で直流励磁する段階と、モータの移動方向
をチェックする段階と、モータの移動方向が励磁パター
ン変更前のモータの移動方向と反対方向であれば、前記
記憶した停止位置を基に磁極位置を検出する段階と、ま
た、モータの移動方向が励磁パターン変更前のモータの
移動方向と同じであれば、停止位置のインクリメンタル
のカウント値を記憶し、この記憶停止位置のインクリメ
ンタルのカウント値を基に磁極位置を検出する段階と、
を有するようにしたので、モータを大きく動かさずに磁
極位置検出ができる。
A linear motor and A and B as position signals
A relative position detection linear scale for outputting a phase pulse and an analog positive cosine wave, a magnetic pole position detection method for a linear servo system, comprising: Checking, and storing the incremental count value at the stopped position; changing the excitation pattern and performing DC excitation with a different voltage command; checking the motor moving direction; and If the direction is opposite to the moving direction of the motor before the excitation pattern is changed, a step of detecting the magnetic pole position based on the stored stop position, and the moving direction of the motor is the same as the moving direction of the motor before the excitation pattern is changed. If they are the same, the incremental count value at the stop position is stored, and the incremental count at the storage stop position is stored. And detecting the magnetic pole position based on,
The magnetic pole position can be detected without greatly moving the motor.

【0072】また、リニアモータと、位置信号としての
A,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する相
対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシ
ステムの磁極位置検出方法において、直流励磁により磁
極基準位置を算出する段階と、往復運転を行ない、加減
速に必要なピーク電流のバランスを見ながら基準位置を
補正するする段階と、を有し、数回の加減速運転により
収束した時点で、適正な磁極基準位置とするようにした
ので、磁極基準位置の誤差を容易に補正できる。
Further, in a magnetic pole position detecting method of a linear servo system comprising a linear motor and a relative position detecting linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, a DC excitation is used. A step of calculating the magnetic pole reference position, and a step of performing reciprocating operation and correcting the reference position while checking the balance of the peak current required for acceleration / deceleration. Since an appropriate magnetic pole reference position is set, an error in the magnetic pole reference position can be easily corrected.

【0073】さらに、リニアモータと、位置信号として
のA,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する
相対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボ
システムの磁極位置検出方法において、直流励磁により
磁極基準位置を算出する段階と、両方向に加減速する段
階と、加減速時のピーク電流を測定する段階と、測定し
たこの加減速時のピーク電流を基準ピーク値とを比較す
る段階と、測定したこの加減速時のピーク電流が基準ピ
ーク値より小さければ、前記磁極基準位置を磁極基準位
置とする段階と、また、測定したこの加減速時のピーク
電流が基準ピーク値より大きければ、前記磁極基準位置
に定数を加算し、再度両方向に加減速する段階に戻す段
階と、を有し、測定したこの加減速時のピーク電流が基
準ピーク値より小さくなるまで、前記段階を繰り返すよ
うにしたので、磁極基準位置の誤差を容易に補正でき
る。
Further, in a magnetic pole position detecting method of a linear servo system comprising a linear motor and a relative position detecting linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, a DC excitation is used. Calculating a magnetic pole reference position, accelerating and decelerating in both directions, measuring a peak current during acceleration and deceleration, comparing the measured peak current during acceleration and deceleration with a reference peak value, and measuring If the peak current at the time of acceleration / deceleration is smaller than the reference peak value, the magnetic pole reference position is set to the magnetic pole reference position; and if the measured peak current at the time of acceleration / deceleration is larger than the reference peak value, the magnetic pole Adding a constant to the reference position and returning to the step of accelerating and decelerating in both directions again, wherein the measured peak current during acceleration / deceleration is smaller than the reference peak value. Until Kunar. Thus repeating the above steps can be easily corrected error of the magnetic pole reference position.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の一実施の形態であるアナログの正
余弦波を内挿して速度フィードバック量を得るサーボ制
御装置の制御ブロックを示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a control block of a servo control device for obtaining a speed feedback amount by interpolating an analog positive cosine wave according to an embodiment of the present invention.

【図2】 この発明の一実施の形態であるサーボ制御装
置のブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram of a servo control device according to an embodiment of the present invention.

【図3】 この発明の一実施の形態である内挿/データ
化手段14でアナログの正余弦波を内挿して速度フィー
ドバック量を得るフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart for obtaining an amount of speed feedback by interpolating an analog positive cosine wave by an interpolation / data conversion unit 14 according to an embodiment of the present invention;

【図4】 この発明の一実施の形態に係るサーボ制御装
置のブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention.

【図5】 この発明の一実施の形態に係るサーボ制御装
置の制御ブロック図である。
FIG. 5 is a control block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention.

【図6】 この発明の一実施の形態に係る位置データ合
成手段16の位置データ合成方法を示すフローチャート
である。
FIG. 6 is a flowchart showing a position data synthesizing method of the position data synthesizing means 16 according to the embodiment of the present invention.

【図7】 この発明の一実施の形態に係るサーボ制御装
置のブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention.

【図8】 この発明の一実施の形態に係るサーボ制御装
置のブロック図である。
FIG. 8 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention.

【図9】 この発明の一実施の形態に係る速度累積位置
と位置累積位置との関係を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between a speed accumulation position and a position accumulation position according to the embodiment of the present invention.

【図10】 この発明の一実施の形態に係るサーボ制御
装置のブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention.

【図11】 この発明の一実施の形態に係るサーボ制御
装置のブロック図である。
FIG. 11 is a block diagram of a servo control device according to one embodiment of the present invention.

【図12】 この発明の一実施の形態に係る直流電圧パ
ターンをパラメータで可変に調整する場合の各相に印可
する電圧指令の比を示した図である。
FIG. 12 is a diagram showing a ratio of a voltage command applied to each phase when a DC voltage pattern according to an embodiment of the present invention is variably adjusted with a parameter.

【図13】 この発明の一実施の形態に係る駆動時の磁
極検出方法(初期調整時)を示すフローチャートであ
る。
FIG. 13 is a flowchart illustrating a magnetic pole detection method during driving (at the time of initial adjustment) according to an embodiment of the present invention.

【図14】 この発明の一実施の形態に係る駆動時の磁
極検出方法を示すフローチャートである。
FIG. 14 is a flowchart illustrating a magnetic pole detection method during driving according to an embodiment of the present invention.

【図15】 この発明の一実施の形態に係る駆動時の磁
極検出方法(初期調整時)を示すフローチャートであ
る。
FIG. 15 is a flowchart illustrating a magnetic pole detection method during driving (at the time of initial adjustment) according to an embodiment of the present invention.

【図16】 この発明の一実施の形態に係る上下軸の駆
動時の磁極検出方法(初期調整時)を示すフローチャー
トである。
FIG. 16 is a flowchart showing a magnetic pole detection method (at the time of initial adjustment) at the time of driving the vertical axis according to an embodiment of the present invention.

【図17】 この発明の一実施の形態に係る駆動時の磁
極検出方法(初期調整時)を示すフローチャートであ
る。
FIG. 17 is a flowchart illustrating a magnetic pole detection method (during initial adjustment) during driving according to an embodiment of the present invention.

【図18】 この発明の一実施の形態に係る相対位置検
出リニアスケールを使用した場合の磁極検出方法を示す
フローチャートである。
FIG. 18 is a flowchart showing a magnetic pole detection method when a relative position detection linear scale according to one embodiment of the present invention is used.

【図19】 この発明の一実施の形態に係る相対位置検
出リニアスケールを使用した場合の磁極検出方法を示す
フローチャートである。
FIG. 19 is a flowchart illustrating a magnetic pole detection method when a relative position detection linear scale according to an embodiment of the present invention is used.

【図20】 この発明の一実施の形態に係る相対位置検
出リニアスケールを使用した場合の磁極調整時の最終微
調の状況を示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing a state of final fine adjustment at the time of magnetic pole adjustment when the relative position detection linear scale according to one embodiment of the present invention is used.

【図21】 この発明の一実施の形態に係る相対位置検
出リニアスケールを使用した場合の磁極調整時の最終微
調を示すフローチャートである。
FIG. 21 is a flowchart showing final fine adjustment at the time of magnetic pole adjustment when the relative position detection linear scale according to one embodiment of the present invention is used.

【図22】 従来のリニアサーボ制御装置の制御ブロッ
クを示す図である。
FIG. 22 is a diagram showing control blocks of a conventional linear servo control device.

【図23】 外乱補正を含む従来のリニアサーボ制御装
置の制御ブロックを示す図である。
FIG. 23 is a diagram showing control blocks of a conventional linear servo control device including disturbance correction.

【図24】 従来のリニアサーボシステムにおける磁極
位置検出の構成を示す図である。
FIG. 24 is a diagram showing a configuration of magnetic pole position detection in a conventional linear servo system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リニアスケール、 2 速度検出手段、 3 アナ
ログ波伝送路、 4A,B相パルス伝送路、 5 絶対
位置データ伝送路、 6 リニアモータ、7a,7b,
7c,7d,7e,7f サーボ制御装置、 8 数値
制御装置、10リニアサーボ機械、 11 位置制御手
段、 12 速度制御手段、 13 電流制御手段、
14 内挿/データ化手段、 15 リニアサーボI/
F装置、16 位置データ合成手段、 17 速度検出
/位置データ合成手段、 18サーボ制御装置、 21
モータ情報用の伝送路、 22 機械情報用の伝送
路、 23 リニアサーボI/F装置、 24 機械負
荷、 25 直流電圧指令可変手段。
1 linear scale, 2 speed detecting means, 3 analog wave transmission path, 4A and B phase pulse transmission path, 5 absolute position data transmission path, 6 linear motor, 7a, 7b,
7c, 7d, 7e, 7f servo controller, 8 numerical controller, 10 linear servo machine, 11 position controller, 12 speed controller, 13 current controller,
14 interpolation / data conversion means, 15 linear servo I /
F device, 16 position data synthesizing means, 17 speed detection / position data synthesizing means, 18 servo control device, 21
Transmission line for motor information, 22 Transmission line for machine information, 23 Linear servo I / F device, 24 Mechanical load, 25 DC voltage command variable means.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 位置信号としてのA,B相パルスおよび
アナログの正余弦波を出力するリニアスケールと、この
リニアスケールから出力されるアナログの正余弦波を内
挿し、速度データを算出するデータ内挿/データ化手段
と、を備え、位置フィードバック量は、前記リニアスケ
ールから出力される位置信号としてのA,B相パルスを
使用し、速度制御用の速度フィードバック量は、前記内
挿/データ化手段で算出した速度データを使用すること
を特徴とするリニアサーボシステム。
1. A linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, and an analog positive cosine wave output from the linear scale are interpolated to calculate speed data. Interpolation / data conversion means, wherein the position feedback amount uses A and B phase pulses as position signals output from the linear scale, and the speed feedback amount for speed control is the interpolation / data conversion means. A linear servo system using speed data calculated by a means.
【請求項2】 位置信号としてのA,B相パルスおよび
アナログの正余弦波を出力するリニアスケールと、この
リニアスケールから出力されるアナログの正余弦波を内
挿し、速度データを算出すると共にこの速度データと前
記リニアスケールから出力される位置信号としてのA,
B相パルスをカウントした位置データとから位置データ
を合成する速度検出/位置データ合成手段と、を備え、
位置フィードバック量としてこの速度検出/位置データ
合成手段の合成した位置データを、また、速度制御用の
速度フィードバック量として前記速度検出/位置データ
合成手段の算出した速度データを使用することを特徴と
するリニアサーボシステム。
2. A linear scale that outputs A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave, and an analog positive cosine wave output from the linear scale are interpolated to calculate velocity data and A, as the speed data and the position signal output from the linear scale,
Speed detection / position data synthesizing means for synthesizing position data from position data obtained by counting the B-phase pulse,
The position data synthesized by the speed detection / position data synthesizing means is used as the position feedback amount, and the speed data calculated by the speed detection / position data synthesizing means is used as the speed feedback amount for speed control. Linear servo system.
【請求項3】 速度データを累積した速度累積位置と位
置データを累積した位置累積位置との累積値の差を常に
監視し、この累積値の差が一定値を越えた場合にアラー
ムとすることを特徴とする請求項1または請求項2に記
載のリニアサーボシステム。
3. The method according to claim 1, wherein the difference between the accumulated value of the speed accumulated at the speed data and the accumulated position of the position accumulated at the position data is constantly monitored, and an alarm is generated when the difference of the accumulated value exceeds a predetermined value. The linear servo system according to claim 1 or 2, wherein:
【請求項4】 リニアモータと、位置信号としてのA,
B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力するリニア
スケールと、前記リニアモータを制御するサーボ制御装
置と、アナログの正余弦波を内挿して高分解能な速度デ
ータを得ると共にこの速度データと前記リニアスケール
から出力される位置信号としてのA,B相パルスをカウ
ントした位置データとから位置データを合成する速度検
出/位置データ合成手段を備え、この速度データおよび
位置データをシリアルデータ化して、サーボ制御装置に
伝送すると共に、温度サーマルなどのモータ情報の入力
部と機械情報の入力部とを有し、モータ情報および機械
情報をシリアルデータ化して、前記サーボ制御装置伝送
するリニアサーボI/F装置と、を備えたリニアサーボ
システム。
4. A linear motor, and A,
A linear scale that outputs a B-phase pulse and an analog positive cosine wave; a servo control device that controls the linear motor; and an analog positive cosine wave interpolated to obtain high-resolution speed data. A speed detecting / position data synthesizing means for synthesizing position data from position data obtained by counting A and B phase pulses as position signals output from the scale, and converting the speed data and the position data into serial data to perform servo control. A linear servo I / F device that has an input section for motor information such as temperature thermal and an input section for machine information, converts the motor information and the machine information into serial data, and transmits the servo control device; , With a linear servo system.
【請求項5】 リニアモータと、絶対位置データ、位置
信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余弦波
を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備えたリ
ニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、機械
負荷に応じてリニアモータに印可する直流電圧指令を変
化させるリニアサーボシステムの磁極位置検出方法。
5. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system comprising: a linear motor; and an absolute position detecting linear scale for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave. A method of detecting a magnetic pole position of a linear servo system that changes a DC voltage command applied to a linear motor according to a mechanical load.
【請求項6】 リニアモータと、絶対位置データ、位置
信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余弦波
を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備えたリ
ニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、電源
投入時に、一定の電圧指令で直流励磁する段階と、停止
した位置の絶対位置を基に磁極位置を作成する段階と、
再び励磁し、右側および左側へ移動させる段階と、停止
した位置の絶対位置を記憶する段階と、この記憶した右
側移動時の絶対位置と左側移動時の絶対位置との中心を
真の磁極位置を作成する段階と、を有するリニアサーボ
システムの磁極位置検出方法。
6. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system comprising: a linear motor; and an absolute position detecting linear scale for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave. At the time of power-on, a step of DC excitation with a constant voltage command, and a step of creating a magnetic pole position based on the absolute position of the stopped position,
Exciting again and moving to the right and left, storing the absolute position of the stopped position, and setting the true magnetic pole position to the center of the stored absolute position when moving to the right and the absolute position when moving to the left. Creating the magnetic pole position of the linear servo system.
【請求項7】 上下軸として使用されるリニアモータ
と、このリニアモータを制動するブレーキと、絶対位置
データ、位置信号としてのA,B相パルスおよびアナロ
グの正余弦波を出力する絶対位置検出リニアスケール
と、を備えたリニアサーボシステムの磁極位置検出方法
において、上下軸のブレーキはかけたままでブレーキの
保持力よりも小さな励磁力の電圧指令による一定の直流
励磁のパターンにより励磁を行なう段階と、q軸電流の
方向を確認し、下降方向の場合は、励磁相を逆転する段
階と、を有するリニアサーボシステムの磁極位置検出方
7. A linear motor used as a vertical axis, a brake for braking the linear motor, an absolute position detection linear for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave. A scale and a magnetic pole position detection method of a linear servo system comprising: a step of performing excitation by a constant DC excitation pattern by a voltage command of an excitation force smaller than a holding force of the brake while applying a brake on the vertical axis, confirming the direction of the q-axis current and reversing the excitation phase if the current is in the descending direction.
【請求項8】 リニアモータと、絶対位置データ、位置
信号としてのA,B相パルスおよびアナログの正余弦波
を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備えたリ
ニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、一定
の電圧指令で直流励磁を行ない、検出した相電流が規定
値より大きい場合は、励磁用電圧指令を減少し、再度直
流励磁を行なうようにするリニアサーボシステムの磁極
位置検出方法。
8. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system comprising: a linear motor; and an absolute position detecting linear scale for outputting absolute position data, A and B phase pulses as position signals, and an analog positive cosine wave. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system, wherein DC excitation is performed with a constant voltage command, and if the detected phase current is larger than a specified value, the excitation voltage command is reduced and DC excitation is performed again.
【請求項9】 リニアモータと、位置信号としてのA,
B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する相対位
置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシステ
ムの磁極位置検出方法において、電源投入時に、一定の
電圧指令で直流励磁する段階と、リニアモータの移動方
向をチェックする段階と、停止した位置のインクリメン
タルのカウント値を記憶する段階と、励磁パターンを変
更し、異なる電圧指令で直流励磁する段階と、リニアモ
ータの移動方向をチェックする段階と、リニアモータの
移動方向が励磁パターン変更前のリニアモータの移動方
向と反対方向であれば、前記記憶した停止位置を基に磁
極位置を検出する段階と、また、リニアモータの移動方
向が励磁パターン変更前のリニアモータの移動方向と同
じであれば、停止位置のインクリメンタルのカウント値
を記憶し、この記憶停止位置のインクリメンタルのカウ
ント値を基に磁極位置を検出する段階と、を有するリニ
アサーボシステムの磁極位置検出方法。
9. A linear motor, and A,
A relative position detection linear scale that outputs a B-phase pulse and an analog positive cosine wave, and a magnetic pole position detection method of a linear servo system, comprising: A step of checking the moving direction, a step of storing an incremental count value at the stopped position, a step of changing the excitation pattern and performing DC excitation with a different voltage command, a step of checking the moving direction of the linear motor, and a step of If the moving direction of the motor is opposite to the moving direction of the linear motor before the excitation pattern is changed, the step of detecting the magnetic pole position based on the stored stop position, and the moving direction of the linear motor is changed before the excitation pattern is changed. If it is the same as the moving direction of the linear motor, the incremental count value at the stop position is stored, and Magnetic pole position detection method of linear servo system having the steps of detecting the magnetic pole position based on the count value of the stop position incremental, the.
【請求項10】 リニアモータと、位置信号としての
A,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する相
対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシ
ステムの磁極位置検出方法において、直流励磁により磁
極基準位置を算出する段階と、往復運転を行ない、加減
速に必要なピーク電流のバランスを見ながら基準位置を
補正するする段階と、を有し、数回の加減速運転により
収束した時点で、適正な磁極基準位置とすることを特徴
とするリニアサーボシステムの磁極位置検出方法。
10. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system comprising a linear motor and a relative position detecting linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave. A step of calculating the magnetic pole reference position, and a step of performing reciprocating operation and correcting the reference position while checking the balance of the peak current required for acceleration / deceleration. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system, wherein the magnetic pole position is set to an appropriate magnetic pole reference position.
【請求項11】 リニアモータと、位置信号としての
A,B相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する相
対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシ
ステムの磁極位置検出方法において、直流励磁により磁
極基準位置を算出する段階と、両方向に加減速する段階
と、加減速時のピーク電流を測定する段階と、測定した
この加減速時のピーク電流を基準ピーク値とを比較する
段階と、測定したこの加減速時のピーク電流が基準ピー
ク値より小さければ、前記磁極基準位置を磁極基準位置
とする段階と、また、測定したこの加減速時のピーク電
流が基準ピーク値より大きければ、前記磁極基準位置に
定数を加算し、再度両方向に加減速する段階に戻す段階
と、を有し、測定したこの加減速時のピーク電流が基準
ピーク値より小さくなるまで、前記段階を繰り返すこと
を特徴とするリニアサーボシステムの磁極位置検出方
法。
11. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system comprising: a linear motor; and a relative position detecting linear scale for outputting A and B phase pulses as position signals and an analog positive cosine wave. Calculating a magnetic pole reference position, accelerating and decelerating in both directions, measuring a peak current during acceleration and deceleration, comparing the measured peak current during acceleration and deceleration with a reference peak value, and measuring If the peak current during acceleration / deceleration is smaller than the reference peak value, the magnetic pole reference position is set to the magnetic pole reference position.If the measured peak current during acceleration / deceleration is larger than the reference peak value, the magnetic pole Adding a constant to the reference position, and returning to the stage of accelerating and decelerating in both directions again, wherein the measured peak current during acceleration / deceleration becomes smaller than the reference peak value. A magnetic pole position detecting method for a linear servo system, wherein the steps are repeated until the magnetic pole position is detected.
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