JPH10123475A - Device and method of pasting liquid crystal panel - Google Patents

Device and method of pasting liquid crystal panel

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JPH10123475A
JPH10123475A JP27433696A JP27433696A JPH10123475A JP H10123475 A JPH10123475 A JP H10123475A JP 27433696 A JP27433696 A JP 27433696A JP 27433696 A JP27433696 A JP 27433696A JP H10123475 A JPH10123475 A JP H10123475A
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JP
Japan
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liquid crystal
crystal panel
sealing material
bonding
panel
Prior art date
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Pending
Application number
JP27433696A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Yoshikawa
隆 吉川
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To save the liquid crystal panel which is warped and projected more than a reference value and is discriminated as a rejected product in accordance with a conventional rule and to improve the yield by pressing the panel, which is warped, so as to put the projection within the value, photoirradiation is conducted and the panel is pasted. SOLUTION: The pasting device is provided with a pressure adding seal 11 which is provided on a liquid crystal panel 51 side of a photomask 41 to harden a seal member 52 that pastes the panel 51 by radiating light beams through the photomask 41 to the panel 51 and a liquid crystal panel pressing mechanism 10 which is located on the bottom surface side of the panel 51 and has a pressure adding stage 12 that freely goes up and down in an approximately vertical direction against the panel 51.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの貼り
合わせ装置およびその貼り合わせ方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and a method for bonding liquid crystal panels.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の液晶パネルの貼り合わせは、以下
のような装置により行っていた。すなわち、液晶パネル
をはり合わせるシール材の一部分に光照射を行う仮止め
露光装置によって、液晶パネルを仮止めする。その後、
ニュートンリングを発生させることにより液晶パネルの
ギャップの不均一性を検査するニュートンリング検査装
置により、仮止めした液晶パネルのギャップ状態、すな
わち各パネルの反りの状態を検査する。
2. Description of the Related Art A conventional liquid crystal panel has been bonded by the following apparatus. That is, the liquid crystal panel is temporarily fixed by a temporary fixing exposure device that irradiates light to a part of the sealing material for bonding the liquid crystal panels. afterwards,
The gap state of the temporarily fixed liquid crystal panel, that is, the warp state of each panel is inspected by a Newton ring inspection device which inspects the nonuniformity of the gap of the liquid crystal panel by generating a Newton ring.

【0003】その結果、例えば、液晶パネルに生じるニ
ュートンリングの本数が3本までの場合には、その液晶
パネルの反りは基準内であるので合格とする。一方、ニ
ュートンリングが3本を越える状態で発生した場合に
は、その液晶パネルの反りは基準を越えるので不合格と
する。したがって、上記不合格になった液晶パネルは廃
棄され製品とはならない。そして、液晶パネルのシール
材の全域に光照射を行ってシール材を硬化させる本露光
装置によって、上記合格した液晶パネルに対して本露光
を行って、液晶パネルを貼り合わせる。上記本露光装置
は、通常の平坦な面を有するテーブル上に載置された液
晶パネルにフォトマスクを介して光を照射することで液
晶パネルを貼り合わせるためのシール材を硬化させるも
のである。
As a result, for example, when the number of Newton rings generated in the liquid crystal panel is three or less, the warpage of the liquid crystal panel is within the standard, so the test is passed. On the other hand, when the number of Newton rings exceeds three, the rejection is made because the warpage of the liquid crystal panel exceeds the standard. Therefore, the rejected liquid crystal panel is discarded and does not become a product. Then, the exposed liquid crystal panel is subjected to main exposure by a main exposure apparatus that irradiates light to the entire area of the seal member of the liquid crystal panel to cure the seal member, and the liquid crystal panels are bonded to each other. The present exposure apparatus irradiates light through a photomask to a liquid crystal panel mounted on a table having a normal flat surface to cure a sealing material for bonding the liquid crystal panels.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記液
晶パネルの貼り合わせ方法では、例えばニュートンリン
グが3本を越える状態で発生した液晶パネルは不良品と
して廃棄されてることになるので、歩留りを大きく低下
させる要因になっていた。また上記液晶パネルの貼り合
わせ装置における本露光装置は、単に、平坦な載置面を
有するテーブル上に液晶パネルを載置して露光する構成
であるため、例えばニュートンリングが3本を越える状
態に発生したために不良品となる液晶パネルを補正して
貼り合わせることはできない。
However, according to the above-mentioned method of bonding liquid crystal panels, a liquid crystal panel generated when more than three Newton rings, for example, is discarded as a defective product, so that the yield is greatly reduced. It was a factor to make it. In addition, the present exposure apparatus in the above-described liquid crystal panel bonding apparatus is configured such that the liquid crystal panel is simply mounted on a table having a flat mounting surface to perform exposure. It is not possible to correct and bond a liquid crystal panel which is defective because it has occurred.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされた液晶パネルの貼り合わせ装置およ
びその貼り合わせ方法である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a liquid crystal panel bonding apparatus and a bonding method for solving the above-mentioned problems.

【0006】すなわち第1の液晶パネルの貼り合わせ装
置は、液晶パネルにフォトマスクを介して光を照射する
ことで液晶パネルを貼り合わせるためのシール材を硬化
させるものであり、液晶パネル押圧機構が設けられてい
る。この液晶パネル押圧機構は、液晶パネルの上面側に
配置されるフォトマスクの液晶パネル側に設けた加圧用
シールと、液晶パネルの下面側に設けたもので液晶パネ
ル面に対してほぼ垂直方向に昇降自在な加圧ステージと
からなる。
That is, the first liquid crystal panel bonding apparatus irradiates a liquid crystal panel with light through a photomask to cure a sealing material for bonding the liquid crystal panels. Is provided. The liquid crystal panel pressing mechanism includes a pressure seal provided on the liquid crystal panel side of a photomask disposed on the upper surface side of the liquid crystal panel, and a pressure seal provided on the lower surface side of the liquid crystal panel, and is provided in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel surface. It consists of a pressure stage that can be raised and lowered.

【0007】上記第1の液晶パネルの貼り合わせ装置で
は、液晶パネル押圧機構として、フォトマスクの液晶パ
ネル側に加圧用シールを設け、液晶パネル面に対して垂
直方向に昇降自在な加圧ステージを液晶パネルの下面側
に設けたことから、上記加圧ステージにより凸状に反っ
た液晶パネルを上記加圧用シールに押圧することによ
り、その反りが補正される。そして補正された状態でシ
ール材が露光されて硬化される。そのため、基準値より
も反りの大きな液晶パネルであってもその反りを基準値
の範囲内に補正して貼り合わされる。
In the first liquid crystal panel bonding apparatus, a pressure seal is provided as a liquid crystal panel pressing mechanism on the liquid crystal panel side of the photomask, and the pressure stage is vertically movable with respect to the liquid crystal panel surface. Since the liquid crystal panel is provided on the lower surface side of the liquid crystal panel, the liquid crystal panel warped in a convex shape by the pressure stage is pressed against the pressure seal to correct the warpage. Then, the sealing material is exposed and cured in the corrected state. Therefore, even if the liquid crystal panels have a larger warpage than the reference value, the warpage is corrected to be within the range of the reference value, and the liquid crystal panels are bonded.

【0008】第2の液晶パネルの貼り合わせ装置は、以
下のような構成を成す。すなわち、液晶パネルをシール
材により貼り合わせる際に、このシール材の一部分に光
照射を行って液晶パネルを仮止めする仮止め露光装置が
備えられている。また、仮止めした液晶パネルのギャッ
プの均一性を検査する検査装置が備えられ、検査した液
晶パネルのシール材に光照射を行ってそのシール材を硬
化させることで液晶パネルを貼り合わせる本露光装置が
備えられ、この本露光装置には液晶パネル押圧機構が備
えられている。この液晶パネル押圧機構は、上記本露光
装置に設置されるフォトマスクの液晶パネル側に設けた
加圧用シールと、液晶パネルを載置するテーブルと、こ
のテーブル側に設けたものでこのテーブルに載置される
液晶パネルのパネル面に対してほぼ垂直方向に昇降自在
な加圧ステージとからなる。さらに上記検査装置の検査
結果に基づいて上記加圧ステージの動作量を指示する制
御装置が備えられている。
[0008] The second liquid crystal panel bonding apparatus has the following configuration. That is, a temporary fixing exposure device for temporarily fixing the liquid crystal panel by irradiating a part of the seal material with light when the liquid crystal panels are bonded with the seal material is provided. In addition, there is provided an inspection device for inspecting the uniformity of the gap of the temporarily fixed liquid crystal panel, and a light exposure device that irradiates the sealing material of the inspected liquid crystal panel with light and cures the sealing material to bond the liquid crystal panel. The present exposure apparatus is provided with a liquid crystal panel pressing mechanism. The liquid crystal panel pressing mechanism includes a pressure seal provided on the liquid crystal panel side of the photomask installed in the main exposure apparatus, a table on which the liquid crystal panel is mounted, and a table provided on the table side. And a pressure stage that can move up and down in a direction substantially perpendicular to the panel surface of the liquid crystal panel to be placed. Further, there is provided a control device for instructing the operation amount of the pressure stage based on the inspection result of the inspection device.

【0009】上記第2の液晶パネルの貼り合わせ装置で
は、上記第1の液晶パネルの貼り合わせ装置と同様に、
上記加圧ステージにより凸状に反った液晶パネルを上記
加圧用シールに押圧することにより、その反りが補正さ
れるのでギャップの不均一性が解消される。そしてギャ
ップが均一になっている状態でシール材が露光されて硬
化される。そのため、基準値よりも反りの大きな液晶パ
ネルであっても、その反りは基準値の範囲内に補正され
て、この液晶パネルは貼り合わされる。さらに上記検査
装置によって調べた液晶パネルの反り量に基づいて、上
記制御装置により上記加圧ステージの動作量が指示され
ることから、液晶パネルの反りは自動的に加圧ステージ
の駆動量が決定されることにより補正される。
In the second liquid crystal panel bonding apparatus, similar to the first liquid crystal panel bonding apparatus,
By pressing the convexly warped liquid crystal panel against the pressing seal by the pressing stage, the warpage is corrected, and the non-uniformity of the gap is eliminated. Then, the sealing material is exposed and cured in a state where the gap is uniform. Therefore, even if the liquid crystal panel has a larger warp than the reference value, the warp is corrected within the range of the reference value and the liquid crystal panels are bonded. Further, the operation amount of the pressure stage is instructed by the control device based on the amount of warpage of the liquid crystal panel checked by the inspection device, so that the drive amount of the pressure stage is automatically determined for the warpage of the liquid crystal panel. It is corrected by being performed.

【0010】液晶パネルの貼り合わせ方法は、シール材
の一部分を硬化させて仮止めした液晶パネルのシール材
に光照射を行うことでそのシール材を硬化させて液晶パ
ネルを貼り合わせる方法である。上記液晶パネルを仮止
めした後、この液晶パネルのパネル間のギャップ状態を
検査する。その結果、液晶パネルの外側に向かって各パ
ネルが凸状に反ったパネル間の反りが基準値よりも大き
い場合に、パネル間の全面にわたって反りが基準値内に
なるように液晶パネルを押圧し、その状態で上記光照射
を行うという液晶パネルの貼り合わせ方法である。
The method of bonding the liquid crystal panels is a method in which a part of the sealing material is cured and the sealing material of the temporarily fixed liquid crystal panel is irradiated with light to cure the sealing material and bond the liquid crystal panels. After temporarily fixing the liquid crystal panel, a gap state between the panels of the liquid crystal panel is inspected. As a result, when the warpage between panels where each panel warps convexly toward the outside of the liquid crystal panel is larger than a reference value, the liquid crystal panel is pressed so that the warpage is within the reference value over the entire surface between the panels. In this state, the light irradiation is performed in this state.

【0011】上記液晶パネルの貼り合わせ方法では、凸
状に反ったパネルを押圧することでその反りを基準値内
にして、その状態で光照射を行い液晶パネルを貼り合わ
せることから、凸状に基準値以上に反っていて従来は不
良品となっていた液晶パネルが救済される。
In the above-mentioned method of bonding liquid crystal panels, the convexly warped panel is pressed so that the warpage is within a reference value, and light is irradiated in that state to bond the liquid crystal panels. A liquid crystal panel that has been warped beyond the reference value and has been defective in the past is rescued.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】第1の発明に係わる第1実施形態
を、図1の要部概略構成図によって説明する。図1で
は、液晶パネルの貼り合わせ装置の核心部分の装置であ
る本露光装置の要部を示す。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment according to the first invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows a main part of the present exposure apparatus, which is an essential part of a liquid crystal panel bonding apparatus.

【0013】図1に示すように、液晶パネル51のシー
ル材52を露光する際に用いるフォトマスク41が設置
されている。このフォトマスク41は、例えば、透明な
ガラス基板42とその上面に形成した遮光膜43とから
なる。上記フォトマスク41の下面側でかつ上記遮光膜
43の下方には加圧用シール11が設けられている。一
方、上記フォトマスク41の下方には液晶パネル51を
加圧するための加圧ステージ12が設置されている。こ
の加圧ステージ12は押圧部13とその下部側に設けた
加圧用ばね14とから構成されている。そして上記加圧
ステージ12は、この押圧部13の上面13Aと上記加
圧用シール11との間に載置される液晶パネル51を加
圧用ばね14の付勢力によって押圧するべくこの液晶パ
ネル51の面に対して垂直方向に昇降自在に設けられて
いる。このように、加圧用シール11と加圧ステージ1
2とから液晶パネル押圧機構10は構成されている。
As shown in FIG. 1, a photomask 41 used when exposing a sealing material 52 of a liquid crystal panel 51 is provided. The photomask 41 includes, for example, a transparent glass substrate 42 and a light shielding film 43 formed on the upper surface thereof. The pressurizing seal 11 is provided on the lower surface side of the photomask 41 and below the light shielding film 43. On the other hand, a pressure stage 12 for pressing the liquid crystal panel 51 is provided below the photomask 41. The pressing stage 12 includes a pressing portion 13 and a pressing spring 14 provided below the pressing portion 13. The pressing stage 12 presses the liquid crystal panel 51 placed between the upper surface 13A of the pressing portion 13 and the pressing seal 11 by the urging force of the pressing spring 14. Are provided so as to be vertically movable with respect to the vertical direction. Thus, the pressure seal 11 and the pressure stage 1
2, the liquid crystal panel pressing mechanism 10 is constituted.

【0014】次に上記液晶パネル押圧機構10の動作を
説明する。液晶パネル51はシール材52の一部分を硬
化させることで仮止めされていて、凸状に反った状態に
なっている。このような液晶パネル51を上記加圧用シ
ール11と加圧ステージ12との間に載置する。
Next, the operation of the liquid crystal panel pressing mechanism 10 will be described. The liquid crystal panel 51 is temporarily fixed by curing a part of the sealing material 52, and is in a convexly warped state. Such a liquid crystal panel 51 is placed between the pressure seal 11 and the pressure stage 12.

【0015】液晶パネル押圧機構10の加圧ステージ1
2により液晶パネル51が加圧用シール11に押圧され
て凸状の反りが解消される。また加圧用シール11は、
液晶パネル51をフォトマスク41側に加圧ステージ1
2によって押し付けた際にフォトマスク41が損傷する
のを防ぐとともに液晶パネル51が損傷するのを防ぐ。
Pressing stage 1 of liquid crystal panel pressing mechanism 10
2, the liquid crystal panel 51 is pressed by the pressure seal 11, and the convex warpage is eliminated. The pressure seal 11 is
The liquid crystal panel 51 is placed on the photomask 41 side with the pressing stage 1
2 prevents the photomask 41 from being damaged when pressed and prevents the liquid crystal panel 51 from being damaged.

【0016】そして図2に示すように、加圧ステージ1
2を所定量だけ上昇させると加圧用ばね14の付勢力に
よって液晶パネル51が加圧シール側に押圧される。そ
れによって上記液晶パネル51の反りが解消される。そ
して液晶パネル51の反りが解消している状態で液晶パ
ネル51を貼り合わせるためのシール材52に光L(例
えば紫外線)を照射してこのシール材52を硬化させ
る。その際、フォトマスク41に設けた遮光膜43によ
って光Lは液晶パネル51のシール材52の部分のみに
照射される。したがって、液晶パネル51のTFT(Th
in Film Transistor)が形成されている領域には光Lは
照射されない。このようにして、液晶パネル51がシー
ル材52を硬化させることにより貼り合わされる。
Then, as shown in FIG.
When 2 is raised by a predetermined amount, the liquid crystal panel 51 is pressed toward the pressure seal by the urging force of the pressure spring 14. Thereby, the warpage of the liquid crystal panel 51 is eliminated. Then, in a state where the warpage of the liquid crystal panel 51 has been eliminated, light L (for example, ultraviolet light) is applied to the sealing material 52 for bonding the liquid crystal panel 51 to cure the sealing material 52. At this time, the light L is applied only to the sealing material 52 of the liquid crystal panel 51 by the light shielding film 43 provided on the photomask 41. Therefore, the TFT (Th
The light L is not irradiated to the region where the “In Film Transistor” is formed. Thus, the liquid crystal panel 51 is bonded by curing the sealing material 52.

【0017】次に第1の発明に係わる第2実施形態とし
て、上記図1によって説明した液晶パネル押圧機構10
が備えられた液晶パネルの貼り合わせ装置を、図3の概
略構成図によって説明する。図3では、液晶パネルの貼
り合わせ装置の核心部分の装置である本露光装置2を示
す。
Next, as a second embodiment according to the first invention, the liquid crystal panel pressing mechanism 10 described with reference to FIG.
A device for bonding a liquid crystal panel provided with will be described with reference to the schematic configuration diagram of FIG. FIG. 3 shows the main exposure apparatus 2 which is an essential part of the liquid crystal panel bonding apparatus.

【0018】図3に示すように、本露光装置2は以下の
ような構成を成している。すなわち、ランプ21とその
ランプ21の光Lを集光して一方向に照射する反射鏡2
2とからなる光源23が設置されている。その光源23
から照射される光Lの光軸上には、この光Lを下方方向
に反射させる反射鏡24が設置されていて、さらにコン
デンサレンズ25、液晶パネル51のシール材52を露
光する際に用いるフォトマスク41が順に設置されてい
る。このフォトマスク41は、例えば、透明なガラス基
板42とその上面に形成した遮光膜43とからなる。上
記フォトマスク41の下面側でかつ上記遮光膜43の下
方には加圧用シール11が設けられている。
As shown in FIG. 3, the exposure apparatus 2 has the following configuration. That is, the lamp 21 and the reflecting mirror 2 for condensing the light L of the lamp 21 and irradiating the light in one direction.
2 is provided. The light source 23
A reflecting mirror 24 for reflecting the light L in a downward direction is provided on the optical axis of the light L emitted from the light source. Masks 41 are provided in order. The photomask 41 includes, for example, a transparent glass substrate 42 and a light shielding film 43 formed on the upper surface thereof. The pressurizing seal 11 is provided on the lower surface side of the photomask 41 and below the light shielding film 43.

【0019】一方、上記フォトマスク41の下方には液
晶パネル51を載置するための位置決めテーブル26が
設置されている。この位置決めテーブル26は、例えば
駆動装置27によってx軸,y軸,z軸方向に駆動可能
になっている。なお図面では、x軸方向の駆動部を示し
た。上記駆動装置27は、例えばステップモータ28と
このステップモータ28の回動軸(図示省略)に接続さ
れ、支持部29によって回動自在に支持された駆動ねじ
30と、この駆動ねじ30にかみ合って矢印方向に駆動
されるもので上記位置決めテーブル26に接続されてい
る駆動部31とからなる。また液晶パネル51が載置さ
れる上記位置決めテーブル26の領域のほぼ中央部に後
述する加圧ステージ12の押圧部13が挿通自在となる
開口部32が設けられている。
On the other hand, below the photomask 41, a positioning table 26 for mounting a liquid crystal panel 51 is provided. The positioning table 26 can be driven in the x-axis, y-axis, and z-axis directions by, for example, a driving device 27. In the drawings, the drive unit in the x-axis direction is shown. The driving device 27 is connected to, for example, a stepping motor 28 and a rotation shaft (not shown) of the stepping motor 28, and is rotatably supported by a support portion 29 and meshes with the driving screw 30. The drive unit 31 is driven in the direction of the arrow and is connected to the positioning table 26. In addition, an opening 32 through which a pressing portion 13 of the pressing stage 12 to be described later can be inserted is provided substantially in the center of the area of the positioning table 26 on which the liquid crystal panel 51 is mounted.

【0020】さらに上記フォトマスク41の下方には液
晶パネル51を加圧するための加圧ステージ12が設置
されている。この加圧ステージ12は、例えば押圧部1
3と、この押圧部13を上記液晶パネル51方向(上方
向)に付勢する加圧用ばね14と、押圧部13の昇降を
案内するガイドレール部15とからなる。そして上記加
圧ステージ12は、この押圧部13の上面13Aと上記
加圧用シール11との間に載置される液晶パネル51を
押圧するべくこの液晶パネル51の面に対して垂直方向
に昇降自在に設けられている。また上記加圧ステージ1
2を液晶パネル51面に対して垂直方向に昇降させる昇
降機16が備えられている。この昇降機16は、上記加
圧ステージ12を昇降させるものであればその構成は問
わない。そして上記加圧用シール11と加圧ステージ1
2と昇降機16とにより液晶パネル押圧機構10は構成
されている。
Further, below the photomask 41, a pressure stage 12 for pressing the liquid crystal panel 51 is provided. The pressure stage 12 is, for example,
3, a pressing spring 14 for urging the pressing portion 13 toward the liquid crystal panel 51 (upward), and a guide rail portion 15 for guiding the pressing portion 13 to move up and down. The pressing stage 12 is vertically movable with respect to the surface of the liquid crystal panel 51 so as to press the liquid crystal panel 51 placed between the upper surface 13A of the pressing portion 13 and the seal 11 for pressing. It is provided in. In addition, the pressurizing stage 1
An elevator 16 for raising and lowering the liquid crystal 2 in a direction perpendicular to the surface of the liquid crystal panel 51 is provided. The configuration of the lift 16 is not limited as long as the lift stage 16 is moved up and down. The pressure seal 11 and the pressure stage 1
The liquid crystal panel pressing mechanism 10 is constituted by 2 and the elevator 16.

【0021】上記本露光装置2では、液晶パネル押圧機
構10として、フォトマスク31の液晶パネル51側に
加圧用シール11が設けられ、液晶パネル面51に対し
て垂直方向に昇降自在な加圧ステージ12を位置決めテ
ーブル26側に設けたことから、上記加圧ステージ12
により凸状に反った液晶パネル51を上記加圧用シール
11に押圧することにより、その反りが補正される。そ
して補正された状態でシール材52が露光されて硬化さ
れる。そのため、基準値よりも反りの大きな液晶パネル
51であってもその反りを基準値の範囲内に補正して貼
り合わされる。
In the exposure apparatus 2, as the liquid crystal panel pressing mechanism 10, a pressure seal 11 is provided on the liquid crystal panel 51 side of the photomask 31, and the pressure stage is vertically movable with respect to the liquid crystal panel surface 51. 12 is provided on the positioning table 26 side.
By pressing the liquid crystal panel 51 warped in a convex shape against the pressing seal 11, the warpage is corrected. Then, the sealing material 52 is exposed and cured in the corrected state. Therefore, even in the case of the liquid crystal panel 51 whose warpage is larger than the reference value, the warpage is corrected to be within the range of the reference value and then bonded.

【0022】次に第2の発明の液晶パネルの貼り合わせ
装置に係わる一実施形態を、図4のブロック図によって
説明する。
Next, an embodiment of a liquid crystal panel bonding apparatus according to the second invention will be described with reference to the block diagram of FIG.

【0023】図4に示すように、液晶パネルを収納し次
工程の装置に液晶パネルを配送するローダ61が設置さ
れている。このローダ61より液晶パネルが配送されて
きて、液晶パネルをシール材により貼り合わせる際に、
そのシール材の一部分に光照射を行って液晶パネルを仮
止めする仮止め露光装置62が設置されている。この図
面では2台の仮止め露光装置62(62A,62B)が
設置されている場合を示した。
As shown in FIG. 4, a loader 61 for storing the liquid crystal panel and delivering the liquid crystal panel to the apparatus in the next process is provided. When the liquid crystal panel is delivered from the loader 61 and the liquid crystal panel is bonded with a sealing material,
A temporary fixing exposure device 62 for temporarily fixing the liquid crystal panel by irradiating light to a part of the sealing material is provided. This drawing shows a case where two temporary fixing exposure devices 62 (62A, 62B) are installed.

【0024】さらに仮止め露光装置62によって仮止め
された液晶パネルのギャップを検査する検査装置63が
設置されている。この検査装置63は、仮止めした液晶
パネルにニュートンリングを発生させることによりその
液晶パネルのギャップの不均一性を検査するもので、仮
止めした液晶パネルのギャップ状態、すなわち各パネル
の反りの状態を検査する。
Further, an inspection device 63 for inspecting the gap of the liquid crystal panel temporarily fixed by the temporary fixing exposure device 62 is provided. This inspection device 63 inspects the non-uniformity of the gap of the temporarily fixed liquid crystal panel by generating Newton rings in the temporarily fixed liquid crystal panel. The gap state of the temporarily fixed liquid crystal panel, that is, the state of the warpage of each panel. To inspect.

【0025】検査装置63による検査の結果、例えば、
液晶パネルに生じるニュートンリングの本数が3本まで
の場合には、その液晶パネルの反りは基準内であるので
合格とする。一方、ニュートンリングが3本を越える状
態で発生した場合には、その液晶パネルの反りは基準を
越えるので不合格とする。
As a result of the inspection by the inspection device 63, for example,
If the number of Newton rings generated in the liquid crystal panel is three or less, the warpage of the liquid crystal panel is within the standard, so the result is judged to be acceptable. On the other hand, when the number of Newton rings exceeds three, the rejection is made because the warpage of the liquid crystal panel exceeds the standard.

【0026】さらに上記検査装置63により検査した液
晶パネルのシール材に光照射を行ってシール材を硬化さ
せることで液晶パネルを貼り合わせる本露光装置64が
設置されている。この図面では2台の本露光装置64
(64A,64B)が設置されている場合を示した。例
えば、上記本露光装置64Aは上記検査装置63によっ
て検査した結果、正常と判定された液晶パネルを露光す
る装置であり、上記本露光装置64Bは上記検査装置6
3によって検査した結果、凸状に反った状態になってい
ると判定された液晶パネルを露光する装置である。した
がって、上記本露光装置64Aは通例のものであり、上
記本露光装置64Bは前記図3によって説明した本露光
装置2とと同様の構成を成している。本図面では簡単に
図示しているが、前記図3によって説明したのと同様
に、本露光装置64Bには、フォトマスク41の液晶パ
ネル51側に加圧用シール11が設けられている。また
位置決めテーブル26側には液晶パネル51面に対して
垂直方向に昇降自在な加圧ステージ12が設置されてい
る。
Further, there is provided a main exposure device 64 for bonding the liquid crystal panel by irradiating the sealing material of the liquid crystal panel inspected by the inspection device 63 with light to cure the sealing material. In this drawing, two main exposure apparatuses 64 are shown.
(64A, 64B) is shown. For example, the main exposure apparatus 64A is an apparatus that exposes a liquid crystal panel determined to be normal as a result of inspection by the inspection apparatus 63, and the main exposure apparatus 64B is an apparatus that exposes the inspection apparatus 6
3 is an apparatus for exposing a liquid crystal panel which is determined to be in a convexly warped state as a result of the inspection performed in Step 3. Accordingly, the main exposure apparatus 64A is a conventional one, and the main exposure apparatus 64B has the same configuration as the main exposure apparatus 2 described with reference to FIG. Although simply illustrated in the drawing, the exposure seal 64B is provided with the pressure seal 11 on the liquid crystal panel 51 side of the photomask 41, as described with reference to FIG. On the positioning table 26 side, the pressurizing stage 12 that can move up and down in the vertical direction with respect to the liquid crystal panel 51 is installed.

【0027】さらに上記検査装置63の検査結果に基づ
いて本露光装置64Bの加圧ステージ12にその動作量
を指示する制御装置65が設置されている。この制御装
置65は、上記検査装置63で検査した結果、正常な液
晶パネルを本露光装置64Aに配送することを指示し、
凸状に反った状態の液晶パネル51を本露光装置64B
に配送することを指示し、上記以外の不良となった液晶
パネルを排除するように指示する機能も備えている。
A control device 65 for instructing the operation amount of the pressure stage 12 of the exposure device 64B based on the inspection result of the inspection device 63 is provided. The control device 65 instructs to deliver a normal liquid crystal panel to the main exposure device 64A as a result of the inspection by the inspection device 63,
The liquid crystal panel 51 warped in a convex shape is exposed to the main exposure device 64B
, And a function to instruct other liquid crystal panels other than the above to be eliminated.

【0028】上記制御装置は、図示はしないが、例え
ば、上記検査装置63で示されたニュートンリングを認
識する画像処理装置と、この画像処理装置によって得ら
れたニュートンリングの本数をカウントする計数処理装
置と、計数処理装置によって計算されたニュートンリン
グの本数と予め設定しておいた基準のニュートンリング
の本数とを比較して液晶パネルの反りの状態を判断する
演算処理装置と、演算した結果を検査装置にフィードバ
ックして検査装置で検査した液晶パネルの配送先を指示
する配送指示装置と、本露光装置64Bの加圧ステージ
12の駆動量を指示する駆動制御装置とからなる。上記
の如くに液晶パネルの貼り合わせ装置1は構成されてい
る。
Although not shown, the control device includes, for example, an image processing device for recognizing the Newton ring shown by the inspection device 63, and a counting process for counting the number of Newton rings obtained by the image processing device. A device, an arithmetic processing device that compares the number of Newton rings calculated by the counting device with the number of reference Newton rings set in advance to determine the state of warpage of the liquid crystal panel, It comprises a delivery instruction device that feeds back to the inspection device to indicate a delivery destination of the liquid crystal panel inspected by the inspection device, and a drive control device that instructs a drive amount of the pressure stage 12 of the main exposure device 64B. The liquid crystal panel bonding apparatus 1 is configured as described above.

【0029】上記液晶パネルの貼り合わせ装置1では、
前記図3によって説明した本露光装置2と同様に、上記
加圧ステージ12により凸状に反った液晶パネル51を
上記加圧用シール11に押圧することにより、その液晶
パネル51の反りが補正されるのでギャップの不均一性
が解消される。そしてギャップが均一になっている状態
でシール材52が露光されて硬化される。そのため、基
準値よりも反りの大きな液晶パネル51であっても、そ
の反りは基準値の範囲内に補正されて、この液晶パネル
51は貼り合わされる。さらに上記検査装置63によっ
て検査した液晶パネル51の反り量に基づいて、上記制
御装置63により上記加圧ステージ12の動作量が指示
されることから、液晶パネル51の反りは加圧ステージ
12の駆動により自動的に補正される。
In the above-mentioned liquid crystal panel bonding apparatus 1,
As in the case of the exposure apparatus 2 described with reference to FIG. 3, the convexity of the liquid crystal panel 51 by the pressing stage 12 is pressed against the pressing seal 11, thereby correcting the warpage of the liquid crystal panel 51. Therefore, the non-uniformity of the gap is eliminated. Then, the sealing material 52 is exposed and cured in a state where the gap is uniform. Therefore, even if the liquid crystal panel 51 has a larger warp than the reference value, the warp is corrected within the range of the reference value, and the liquid crystal panel 51 is bonded. Further, the operation amount of the pressure stage 12 is instructed by the control device 63 based on the warpage amount of the liquid crystal panel 51 inspected by the inspection device 63. Is automatically corrected by

【0030】次に、本発明の液晶パネルの貼り合わせ方
法に係わる実施形態の一例を、図5のフローチャートに
よって説明する。
Next, an example of the embodiment relating to the method for bonding liquid crystal panels of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG.

【0031】図5に示すように、「液晶パネルの仮止
め」S1によって、シール材の一部分に光(例えば紫外
線)照射を行って、その照射部分のシール材を硬化さ
せ、液晶パネルを仮止めする。
As shown in FIG. 5, by the "temporary fixing of the liquid crystal panel" S1, a part of the sealing material is irradiated with light (for example, ultraviolet rays) to cure the sealing material at the irradiated part and temporarily fix the liquid crystal panel. I do.

【0032】次に、「ギャップ検査」S2によって、上
記仮止めした液晶パネルのパネル間のギャップ状態、す
なわちパネル間隔を検査する。そしてパネル間のギャッ
プ状態が規格値内であれば「正常」であるとして、その
液晶パネルを通常の本露光方法によってシール材の露光
を行うように指示し、「通常の本露光」S3を行う。こ
の「通常の本露光」S3では、液晶パネルのシール材の
光(例えば紫外線)を照射してそのシール材を硬化さ
せ、液晶パネルの貼り合わせを行う。
Next, in the "gap inspection" S2, the gap state between the temporarily fixed liquid crystal panels, that is, the panel interval is inspected. If the gap state between the panels is within the standard value, it is determined that the liquid crystal panel is "normal", and the liquid crystal panel is instructed to expose the sealing material by a normal main exposure method, and "normal main exposure" S3 is performed. . In the “normal main exposure” S3, the sealing material of the liquid crystal panel is irradiated with light (for example, ultraviolet rays) to cure the sealing material and bond the liquid crystal panels.

【0033】一方、パネル間のギャップ状態が規格値外
でかつ液晶パネルが凸状に反っている場合には「凸状の
反りあり」として、液晶パネルの反りを補正して本露光
を行うように指示し、「反りを補正した本露光」S4を
行う。この「反りを補正した本露光」S4では、液晶パ
ネルが外側に向かって凸状に反っているため、パネル間
の反り量が基準値内になるように液晶パネルを押圧す
る。そして反りを補正した状態で液晶パネルのシール材
の光(例えば紫外線)を照射してそのシール材を硬化さ
せ、液晶パネルの貼り合わせを行う。
On the other hand, when the gap state between the panels is out of the standard value and the liquid crystal panel is warped in a convex shape, it is determined that "there is a convex warp" and the main exposure is performed by correcting the warp of the liquid crystal panel. And performs “main exposure with warpage corrected” S4. In the “main exposure with corrected warpage” S4, the liquid crystal panel is pressed so that the amount of warpage between the panels is within the reference value because the liquid crystal panel is warped outward in a convex shape. Then, the liquid crystal panel is irradiated with light (for example, ultraviolet light) of the sealing material of the liquid crystal panel in a state where the warpage is corrected, and the sealing material is cured, and the liquid crystal panels are bonded.

【0034】上記以外の液晶パネルは「不良」であると
して、「廃棄」S5によってその液晶パネルを廃棄す
る。
It is determined that the liquid crystal panel other than the above is "defective", and the liquid crystal panel is discarded by "discard" S5.

【0035】上記液晶パネルの貼り合わせ方法では、凸
状に反ったパネルを押圧することでその反りを基準値内
にして、その状態で光照射を行い液晶パネルを貼り合わ
せることから、凸状に基準値以上に反っていて従来は不
良品となっていた液晶パネルが救済される。
In the method of bonding liquid crystal panels described above, a convexly warped panel is pressed to set the warp within a reference value, and light is irradiated in that state to bond the liquid crystal panels. A liquid crystal panel that has been warped beyond the reference value and has been defective in the past is rescued.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上、説明したように第1の液晶パネル
の貼り合わせ装置の発明によれば、液晶パネルの上面側
になるフォトマスク面に加圧用シールを設け、液晶パネ
ル面に対してほぼ垂直方向に昇降自在な加圧ステージを
液晶パネルの下面側に設けたので、加圧ステージにより
凸状に反った液晶パネルを加圧用シールに押圧すること
によりその反りを補正することができる。そして補正し
た状態で液晶パネルのシール材を露光することができる
ので、基準値よりも反りの大きな液晶パネルであっても
その反りを基準値の範囲内に補正して貼り合わせること
が可能になる。したがって、従来は不良品となっていた
液晶パネルを救済して良品とすることが可能になるの
で、歩留りの向上が図れる。
As described above, according to the invention of the first liquid crystal panel bonding apparatus, a pressure seal is provided on the photomask surface on the upper surface side of the liquid crystal panel, so that the liquid crystal panel surface can be substantially sealed. Since the pressurizing stage that can move up and down in the vertical direction is provided on the lower surface side of the liquid crystal panel, the warpage can be corrected by pressing the convexly warped liquid crystal panel against the pressurizing seal by the pressurizing stage. Since the sealing material of the liquid crystal panel can be exposed in the corrected state, even if the liquid crystal panel has a larger warp than the reference value, the warp can be corrected within the range of the reference value and bonded. . Therefore, it is possible to repair a liquid crystal panel which has been a defective product in the past and obtain a non-defective product, thereby improving the yield.

【0037】第2の液晶パネルの貼り合わせ装置の発明
によれば、上記第1の液晶パネルの貼り合わせ装置と同
様の効果が得られるとともに、検査装置によって調べた
液晶パネルの反り量に基づいて、制御装置により加圧ス
テージの動作量が指示されるので、液晶パネルの反りは
自動的に加圧ステージの加圧力の変化が決定されること
により補正できる。
According to the invention of the second liquid crystal panel bonding apparatus, the same effect as that of the first liquid crystal panel bonding apparatus can be obtained, and based on the amount of warpage of the liquid crystal panel examined by the inspection apparatus. Since the operation amount of the pressing stage is instructed by the control device, the warpage of the liquid crystal panel can be corrected by automatically determining the change in the pressing force of the pressing stage.

【0038】液晶パネルの貼り合わせ方法の発明によれ
ば、凸状に反ったパネルを押圧することでその反りを基
準値内にして、その状態で光照射を行い液晶パネルを貼
り合わせるので、凸状に基準値以上に反っていて従来は
不良品となっていた液晶パネルが救済される。その結
果、歩留りの向上が図れる。
According to the invention of the method for bonding liquid crystal panels, the convexly warped panel is pressed so that the warp is within a reference value, and light is irradiated in that state to bond the liquid crystal panels. A liquid crystal panel that has been warped to a value equal to or greater than the reference value and has been defective in the past is rescued. As a result, the yield can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の発明の液晶パネルの貼り合わせ装置に係
わる第1実施形態の要部概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a main part of a first embodiment of a liquid crystal panel bonding apparatus according to the first invention;

【図2】液晶パネルを補正した状態での露光の説明図で
ある。
FIG. 2 is an explanatory diagram of exposure when a liquid crystal panel is corrected.

【図3】第1の発明の液晶パネルの貼り合わせ装置に係
わる第2実施形態の概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a second embodiment of the liquid crystal panel bonding apparatus according to the first invention;

【図4】第2の発明の液晶パネルの貼り合わせ装置に係
わる一実施形態のブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram of one embodiment relating to a liquid crystal panel bonding apparatus according to a second invention.

【図5】本発明の液晶パネルの貼り合わせ方法に係わる
実施形態のフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart of an embodiment relating to a method of bonding liquid crystal panels according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 液晶パネル押圧機構 11 加圧用シール
12 加圧ステージ 41 フォトマスク 51 液晶パネル 52 シ
ール材
10 LCD panel pressing mechanism 11 Pressure seal
12 pressure stage 41 photomask 51 liquid crystal panel 52 sealing material

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶パネルを貼り合わせるためのシール
材にフォトマスクを介して光を照射し、該シール材を硬
化させる液晶パネルの貼り合わせ装置において、 前記液晶パネルの上面側に配置された前記フォトマスク
の液晶パネル側に設けた加圧用シールと、 前記液晶パネルの下面側に設けたもので該液晶パネル面
に対してほぼ垂直方向に昇降自在な加圧ステージとから
なる液晶パネル押圧機構を備えたことを特徴とする液晶
パネルの貼り合わせ装置。
1. A liquid crystal panel bonding apparatus for irradiating a sealing material for bonding a liquid crystal panel with light through a photomask and curing the sealing material, wherein the sealing material is cured on the upper surface of the liquid crystal panel. A liquid crystal panel pressing mechanism comprising a pressure seal provided on the liquid crystal panel side of the photomask, and a pressure stage provided on the lower surface side of the liquid crystal panel and capable of moving up and down in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel surface. An apparatus for bonding a liquid crystal panel, comprising:
【請求項2】 請求項1記載の液晶パネルの貼り合わせ
装置において、 前記液晶パネル押圧機構は前記加圧ステージを前記液晶
パネル面に対して垂直方向に昇降させる昇降機を備え 前記液晶パネルが載置されるテーブルを設け、 前記テーブルの液晶パネルが載置される部分のほぼ中央
部に前記加圧ステージが挿通自在となる開口部を設けた
ことを特徴とする液晶パネルの貼り合わせ装置。
2. The liquid crystal panel bonding apparatus according to claim 1, wherein the liquid crystal panel pressing mechanism includes an elevator that raises and lowers the pressure stage in a direction perpendicular to the liquid crystal panel surface. A liquid crystal panel bonding apparatus, characterized in that a table is provided, and an opening through which the pressure stage can be inserted is provided substantially at the center of a portion where the liquid crystal panel is placed on the table.
【請求項3】 液晶パネルをシール材により貼り合わせ
る際に、該シール材の一部分に光照射を行って液晶パネ
ルを仮止めする仮止め露光装置と、 仮止めした液晶パネルのギャップの均一性を検査する検
査装置と、 検査した液晶パネルのシール材に光照射を行ってシール
材を硬化させることで液晶パネルを貼り合わせる本露光
装置とからなる液晶パネルの貼り合わせ装置において、 前記本露光装置に設置されるフォトマスクの液晶パネル
側に設けた加圧用シールと、 前記本露光装置に設置されるもので液晶パネルを載置す
るテーブルと 前記テーブル側に設けたもので前記液晶パネルのパネル
面に対してほぼ垂直方向に昇降自在な加圧ステージとか
らなる液晶パネル押圧機構を備えるとともに、 前記検査装置の検査結果に基づいて前記加圧ステージの
動作量を指示する制御装置を備えたことを特徴とする液
晶パネルの貼り合わせ装置。
3. A temporary fixing exposure device for temporarily fixing a liquid crystal panel by irradiating a part of the sealing material with a liquid crystal panel when bonding the liquid crystal panel with the sealing material. A liquid crystal panel bonding apparatus comprising: an inspection apparatus for inspection; and a main exposure apparatus for bonding the liquid crystal panels by irradiating the sealing material of the inspected liquid crystal panel with light to cure the sealing material. A pressure seal provided on the liquid crystal panel side of the photomask to be installed; a table on which the liquid crystal panel is mounted in the main exposure apparatus; and a table provided on the table side, on the panel surface of the liquid crystal panel. A liquid crystal panel pressing mechanism comprising a pressing stage that can be raised and lowered in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel. What is claimed is: 1. A liquid crystal panel bonding apparatus, comprising: a control device for instructing a movement amount of a stage.
【請求項4】 請求項3記載の液晶パネルの貼り合わせ
装置において、 前記液晶パネル押圧機構は、 前記加圧ステージを前記液晶パネルに対して垂直方向に
昇降させる昇降機を備え前記液晶パネルが載置されるテ
ーブルを設け、 前記テーブルの液晶パネルが載置される部分のほぼ中央
部に前記加圧ステージが挿通自在となる貫通孔を設けた
ことを特徴とする液晶パネルの貼り合わせ装置。
4. The liquid crystal panel bonding apparatus according to claim 3, wherein the liquid crystal panel pressing mechanism includes an elevator for vertically moving the pressure stage with respect to the liquid crystal panel. And a through hole through which the pressure stage can be inserted at a substantially central portion of a portion of the table on which the liquid crystal panel is placed.
【請求項5】 シール材の一部分を硬化させて仮止めし
た液晶パネルの該シール材に光照射を行うことで該シー
ル材を硬化させて該液晶パネルを貼り合わせる液晶パネ
ルの貼り合わせ方法において、 前記液晶パネルを仮止めした後、該液晶パネルのパネル
間のギャップの均一性を検査した後、 前記検査の結果、前記ギャップが不均一であり前記液晶
パネルの外側に向かって各パネルが凸状に反っていて該
パネル間の反り量が基準値よりも大きい場合に、該パネ
ル間の全面にわたって前記反り量が基準値内になるよう
に該液晶パネルを押圧した状態で前記光照射を行うこと
を特徴とする液晶パネルの貼り合わせ方法。
5. A method for bonding a liquid crystal panel, wherein a part of the sealing material is cured and the sealing material of the temporarily fixed liquid crystal panel is irradiated with light to cure the sealing material and bond the liquid crystal panel. After temporarily fixing the liquid crystal panel, after inspecting the uniformity of the gap between the panels of the liquid crystal panel, as a result of the inspection, the gap is non-uniform and each panel is convex toward the outside of the liquid crystal panel. When the amount of warpage between the panels is larger than a reference value, the light irradiation is performed while the liquid crystal panel is pressed so that the amount of warpage is within the reference value over the entire surface between the panels. A liquid crystal panel bonding method characterized by the following.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011095695A (en) * 2009-10-30 2011-05-12 Askey Computer Corp Press method and press tool

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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