JPH101177A - Disk case - Google Patents

Disk case

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JPH101177A
JPH101177A JP15706196A JP15706196A JPH101177A JP H101177 A JPH101177 A JP H101177A JP 15706196 A JP15706196 A JP 15706196A JP 15706196 A JP15706196 A JP 15706196A JP H101177 A JPH101177 A JP H101177A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk
polycarbonate
disk case
case
fluororesin
Prior art date
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Pending
Application number
JP15706196A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiko Nishigori
和彦 錦織
Akira Yoshimura
晁 吉村
Naoto Nawa
直人 名和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Plast Co Ltd
Original Assignee
Nihon Plast Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Plast Co Ltd filed Critical Nihon Plast Co Ltd
Priority to JP15706196A priority Critical patent/JPH101177A/en
Publication of JPH101177A publication Critical patent/JPH101177A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress generation of fine particles due to contact with a disk to improve sizing stability and impact resistance by molding a disk case of polymer blend comprising a main material of polycarbonate and a predetermined quantity of fluorine resin blended. SOLUTION: A disk case having at least one opening face 1 and equipped with a support groove 6 for supporting a disk 4 on an inner face of opposite side walls 2 is molded of polymer blend comprising 97 to 65wt.% of polycarbonate and 3 to 35wt.% of fluororesin. Thus the disk case is excellent in sizing stability and impact resistance by a simple means of selecting, as its molding material, polymer blend with a specific quantity of fluororesin blended to polycarbonate without a troublesome method, wherein its hardness can be adjusted so that it may not damage a disk, and especially generation of fine particles which attach to the disk and adversely affect a performance of a precision electronic part can be remarkably suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク基
板、半導体ウェハーなどのディスクに研磨、薬品処理、
焼鈍処理、メッキなどの各種の処理を施す際に使用され
るとともにディスクを搬送、保管するのに特に好適な、
間隔を介して多数のディスクを保持するディスクケース
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to polishing, chemical treatment, and the like of a disk such as a hard disk substrate and a semiconductor wafer.
Annealing treatment, used in carrying out various treatments such as plating and transporting the disk, particularly suitable for storage,
The present invention relates to a disk case for holding a large number of disks through an interval.

【0002】[0002]

【従来の技術】シリコンウェハー、ハードディスク基板
などのディスクは、集積回路、ハードディスク等の動作
の信頼性を得るために、その表面平滑性を確保すること
が重要である。しかし、ディスクは、傷を受け易く又厚
みも0.6〜1.5mmと薄いので、その取扱中に相互
のあるいは他のものとの接触により損傷を受けないよう
に数十枚のディスクを間隔をあけて保持するディスクケ
ースに収容されて移動、保管、処理されている。このよ
うなケースとして、すでに各種のものが提案されてい
る。例えば、実開平4−13938号、特公平3−50
0713号、実開昭61−49450号がある。
2. Description of the Related Art It is important to ensure surface smoothness of disks such as silicon wafers and hard disk substrates in order to obtain reliable operation of integrated circuits and hard disks. However, the discs are easily damaged and the thickness is as thin as 0.6 to 1.5 mm, so dozens of discs are spaced so that they will not be damaged by mutual contact or contact with others during handling. It is housed in a disk case that holds it open, moved, stored, and processed. Various such cases have already been proposed. For example, Japanese Utility Model Laid-Open No. 4-13938, Tokuhei 3-50
No. 0713 and Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 61-49450.

【0003】ところで、半導体ウェハーやハードディス
クなどの製造工程は、研摩工程、薬品処理工程、焼鈍工
程、さらにはメッキ工程、洗浄工程など多くの工程から
なる。そのため、これらのディスクを収納して各処理工
程を経るディスクケースには、耐薬品性、耐熱性、耐衝
撃性が当然要求される。さらに、デイスクは、精密さが
要求されるので、微細なものであっても傷がついたり、
ゴミが付着するとその性能に大きな影響を及ぼすことに
なる。しかし、ディスクケースは、ディスク収納時、あ
るいは移動中にディスクとの接触により、摩耗して微細
な粒子を発生する。この微細粒子はディスクに微細な傷
をつけたり、付着したりする。そこで、ディスクケース
には上記の要求性能の他にこうしたディスクなどとの接
触により微細粒子の発生の少ない材質であることも重要
な性能となる。
[0003] The manufacturing process of a semiconductor wafer, a hard disk or the like includes many processes such as a polishing process, a chemical treatment process, an annealing process, a plating process, and a cleaning process. Therefore, the disk case which accommodates these disks and undergoes each processing step is naturally required to have chemical resistance, heat resistance and impact resistance. In addition, discs require precision, so even if they are fine,
The adhesion of dust has a great effect on its performance. However, the disk case is worn and generates fine particles due to contact with the disk during storage or movement of the disk. These fine particles scratch or adhere to the disk. Therefore, in addition to the above-mentioned required performance, it is also important that the disk case be made of a material that does not generate fine particles upon contact with such a disk.

【0004】従来、ディスクケースの構成材料としては
ポリプロピレン、フッ素樹脂、ポリカーボネート等が使
用されているが、ポリプロピレンは安価ではあるが耐熱
性、耐衝撃性が低く、また収縮率が大きく寸法安定性も
劣る。さらにディスクとの接触部からの微細粒子の発生
もある。ポリカーボネートは寸法安定性、耐衝撃性には
優れているが、ディスクなどとの接触により微細粒子の
発生があり、また硬いためディスクを傷つけるおそれも
ある。またフッ素樹脂は、耐熱性、耐薬品性に優れ、ま
た微細粒子の発生のおそれも少ないが、成形時の収縮が
大きく、寸法精度を得にくく、強度も不十分であり、ま
た高価である。
Hitherto, polypropylene, fluororesin, polycarbonate, and the like have been used as constituent materials of the disk case. Polypropylene is inexpensive but has low heat resistance and impact resistance, and has a large shrinkage and high dimensional stability. Inferior. Further, fine particles may be generated from a contact portion with the disk. Polycarbonate is excellent in dimensional stability and impact resistance, but fine particles are generated by contact with a disk or the like, and the disk may be damaged due to its hardness. Fluororesins are also excellent in heat resistance and chemical resistance and are less likely to generate fine particles, but have a large shrinkage during molding, are difficult to obtain dimensional accuracy, have insufficient strength, and are expensive.

【0005】こうしたことから、工程間の移送や高い耐
熱性、耐薬品性を要求されない研摩工程などは安価なポ
リプロピレンやポリカーボネート製のディスクケースが
使用され、高耐熱性、高耐薬品性の要求される工程には
フッ素樹脂系あるいは液晶ポリマー製などのディスクケ
ースが使用されている。
[0005] For this reason, inexpensive polypropylene or polycarbonate disk cases are used in the transfer between processes and in the polishing step where high heat resistance and chemical resistance are not required, and high heat resistance and high chemical resistance are required. In this process, a disk case made of fluororesin or liquid crystal polymer is used.

【0006】さらに、上記フッ素樹脂製の強度に劣る問
題を、液晶ポリマーにフッ素樹脂を被覆することにより
改善したケースも提案されている(特開平3−9595
4号公報)。このディスクケースは耐熱性、耐薬品性、
強度に優れ、さらには微細粒子の発生も抑制されるもの
と考えられる。
Further, there has been proposed a case in which the problem of poor strength of the fluororesin is improved by coating the liquid crystal polymer with a fluororesin (Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-9595).
No. 4). This disc case has heat resistance, chemical resistance,
It is considered that the strength is excellent and the generation of fine particles is suppressed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ディスクケースは、液晶ポリマーの射出成形の後にフッ
素樹脂をコーティングするという製造工程を経るために
材料が高コストの上に製造上のコストも嵩むものであ
る。本発明は、こうした情況の下に、ディスクとの接触
による微細粒子の発生を抑制でき、またディスクを傷つ
けることがなく、寸法安定性、耐衝撃性にも優れ、かつ
安価に製造できるディスクケースを提供することを目的
とするものである。
However, since the above-mentioned disk case goes through a manufacturing process of coating a fluororesin after injection molding of a liquid crystal polymer, the material is expensive and the manufacturing cost is high. . Under these circumstances, the present invention provides a disk case that can suppress the generation of fine particles due to contact with the disk, does not damage the disk, has excellent dimensional stability and impact resistance, and can be manufactured at low cost. It is intended to provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意検討し
た結果、ディスクケースの成形材料としてポリカーボネ
ートを主体とし、これにフッ素樹脂を配合してなるポリ
マーブレンドを選択することが有効であることを見出
し、本発明に至った。
As a result of intensive studies, the present inventor has found that it is effective to select a polymer blend composed mainly of polycarbonate as a molding material of a disc case and a fluororesin mixed therewith. And found the present invention.

【0009】すなわち、本発明は、少なくとも一つの開
口面を有し、相対向する側壁の内面にディスクを支持す
る支持溝を設けたディスクケースにおいて、該ディスク
ケースがポリカーボネート97〜65重量%、およびフ
ッ素樹脂3〜35重量%からなるポリマーブレンドから
成形されてなることを特徴とするディスクケースに関す
る。
That is, according to the present invention, there is provided a disk case having at least one opening surface and provided with a support groove for supporting a disk on inner surfaces of opposing side walls, wherein the disk case has a polycarbonate content of 97 to 65% by weight, and The present invention relates to a disk case formed from a polymer blend containing 3 to 35% by weight of a fluororesin.

【0010】本発明に使用するデイスクケースの成形材
料は、上記のようにポリカーボネートが97〜65重量
%と、フッ素樹脂3〜35重量%からなる。フッ素樹脂
が3重量%未満ではディスクとの接触による微細粒子の
発生防止効果が現われず、また35重量%を越えると耐
衝撃性等強度が低下し、また重量が増大し、さらにはコ
ストも増大する。コストと性能のバランスから特に好ま
しいのはフッ素樹脂が10重量%程度配合された場合で
ある。
The molding material of the disk case used in the present invention comprises 97 to 65% by weight of polycarbonate and 3 to 35% by weight of fluororesin as described above. If the fluororesin is less than 3% by weight, the effect of preventing the generation of fine particles due to contact with the disk will not be exhibited, and if it exceeds 35% by weight, the strength such as impact resistance will decrease, the weight will increase, and the cost will increase. I do. Particularly preferred from the balance between cost and performance is a case where the fluororesin is blended at about 10% by weight.

【0011】本発明に使用するポリカーボネートは、と
くに制限はなく、成形材として使用できるものを利用す
ることができ、またフッ素樹脂についても同様である
が、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、PFA
が好ましい。本発明に使用する上記の樹脂成形材料には
必要に応じて各種の添加剤を配合することもできる。
The polycarbonate used in the present invention is not particularly limited, and those usable as a molding material can be used. The same applies to the fluororesin, but PTFE (polytetrafluoroethylene), PFA
Is preferred. Various additives can be added to the resin molding material used in the present invention, if necessary.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明のディスクケースは、上記
のように特定の成形材料を使用することが重要であり、
その構造などについては特に制限されるものではなく、
少なくとも一つの開口面と相対向する側壁の内面に間隔
を介してディスクを保持できる構造を有するケースであ
ればよい。しかし、説明のためその一例を図1に示す。
図1はディスクケースの説明図でaはそれに収納される
ディスクの斜視図、bはディスクケースの斜視図であ
る。図2は図1bに示すディスクケースを倒立させた位
置での斜視図である。図1中、1は開口面、2は一対の
側壁、6はその内面3にディスク4の端部5が係合して
保持される溝である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS It is important for the disk case of the present invention to use a specific molding material as described above.
Its structure is not particularly limited,
Any case may be used as long as it has a structure capable of holding the disk at an interval on the inner surface of the side wall facing at least one opening surface. However, an example is shown in FIG. 1 for explanation.
FIG. 1 is an explanatory view of a disk case, wherein a is a perspective view of a disk housed therein, and b is a perspective view of the disk case. FIG. 2 is a perspective view of the disk case shown in FIG. 1b in an inverted position. In FIG. 1, 1 is an opening surface, 2 is a pair of side walls, and 6 is a groove in which the end 5 of the disk 4 is engaged with the inner surface 3 and held.

【0013】参考例 ポリカーボネート樹脂(日本ジーイープラスチックス社
製レキサン)90重量%とポリテトラフルオロエチレン
10重量%とからなるポリマーブレンド材から試験片を
成形した。この試験片を用いてディスクケース使用中の
微細粒子の発生の可能性を評価した。なお、比較試験と
してポリテトラフルオロエチレンを含まずポリカーボネ
ートのみからなる試験片を用いた。トラバース式摩耗試
験を以下の条件で行った。アルミニウム製 厚み0.8
mm、径95mmのハードディスクをカットして重量2
50gの円弧部(ディスクカット)を負荷子として、こ
の円弧端部を前記試験片上に垂直に接触させながら、円
弧部と平行方向と円弧部と直角方向(面直方向)にそれ
ぞれ3万回往復させた。その際、往復距離60mm、速
度30往復/分とし、また試験温度は室温とした。
Reference Example A test piece was molded from a polymer blend material consisting of 90% by weight of a polycarbonate resin (Lexan manufactured by Nippon GE Plastics) and 10% by weight of polytetrafluoroethylene. Using this test piece, the possibility of generating fine particles during use of the disk case was evaluated. In addition, the test piece which does not contain polytetrafluoroethylene and consists only of polycarbonate was used as a comparative test. A traverse abrasion test was performed under the following conditions. Aluminum thickness 0.8
mm, cut a 95mm diameter hard disk and weigh 2
Using a 50 g arc portion (disc cut) as a load element, this arc end is brought into vertical contact with the test piece and reciprocated 30,000 times in a direction parallel to the arc portion and in a direction perpendicular to the arc portion (perpendicular to the plane). I let it. At that time, the reciprocation distance was 60 mm, the speed was 30 reciprocations / minute, and the test temperature was room temperature.

【0014】その結果を下記表1,2に示す。The results are shown in Tables 1 and 2 below.

【0015】 表1 水平方向試験結果 試験片材質 試験片の重量変化 表面粗さ 評価 試験前g 試験後g 減少量g RaμRmax μ ポリカーボネート 13.40136 13.39572 0.00564 0.3 26.0 × ホ゜リカーホ゛ネート /ホ゜リテトラフルオロ 13.88939 13.88798 0.00141 0.2 3.4 ○ エチレン=90/10 (重量) 表2 面直方向試験結果 試験片材質 試験片の重量変化 表面粗さ 評価 試験前g 試験後g 減少量g RaμRmax μ ポリカーボネート 13.57100 13.51572 0.05528 0.1 128.8 × ポリカーボネート/ ポリテトラフルオロ 13.76911 13.76515 0.00396 0.2 8.8 ○ エチレン=90/10 (重量) 注:表1,2中、○はディスクケース使用中微粒子発生はごくわずか、×は同 微粒子が多数発生することがそれぞれ予測されることを示す。また、Raは平均 粗さ、Rmaxは最大深さをそれぞれ示す。Table 1 Horizontal direction test results Test piece material Change in weight of test piece Surface roughness Evaluation Before test g After test g Reduction g RaμRmax μ Polycarbonate 13.40136 13.39572 0.00564 0.3 26.0 × Polycarbonate / Polytetrafluoro 13.88939 13.88798 0.00141 0.2 3.4 ○ Ethylene = 90/10 (weight) Table 2 Vertical test results Test piece material Test piece weight change Surface roughness Evaluation Before test g After test g Decrease g RaμRmax μ Polycarbonate 13.57100 13.51572 0.05528 0.1 128.8 × Polycarbonate / Polytetrafluoro 13.76911 13.76515 0.00396 0.2 8.8 ○ Ethylene = 90/10 (weight) Note: In Tables 1 and 2, ○ indicates that very few particles are generated during use of the disk case, and × indicates that many particles are expected to be generated. Show. Further, Ra indicates the average roughness, and Rmax indicates the maximum depth.

【0016】実施例1 上記試験片と同じ組成のポリカーボネートとポリテトラ
フルオロエチレンとのポリマーブレンドを成形材料とし
て、これを射出成形して図1に示す構造のディスクケー
スを作製した。このディスクケースにアルミニウム製ハ
ードディスクを収納した状態で各処理工程を行ったが、
使用中に微粒子の発生はきわめて少なく、ディスクに付
着することがあっても、洗浄によって容易に除去するこ
とができた。
Example 1 A disk case having the structure shown in FIG. 1 was prepared by injection molding a polymer blend of polycarbonate and polytetrafluoroethylene having the same composition as the above-mentioned test piece. Each processing step was performed with the aluminum hard disk stored in this disk case.
The generation of fine particles during use was extremely small, and even if they adhered to the disk, they could be easily removed by washing.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のディスク
ケースは、成形品にフッ素樹脂をコーティング処理する
などといった繁雑な方法によらずに、単にその成形材料
としてポリカーボネートに対して特定量のフッ素樹脂を
配合したポリマーブレンドを選択するという簡易な手段
により、寸法安定性、耐衝撃性に優れ、硬度が調整され
てディスクを傷つけることなく、とくにディスクに付着
して精密電子部品としての性能を害する微細な粒子の発
生を顕著に抑制することができる。
As described above, the disk case of the present invention can be used as a molding material simply by using a specific amount of fluorine with respect to polycarbonate, without using a complicated method such as coating a molded article with a fluororesin. By simple means of selecting a polymer blend containing resin, it has excellent dimensional stability and impact resistance, its hardness is adjusted and it does not damage the disk, especially it adheres to the disk and impairs the performance as a precision electronic component Generation of fine particles can be significantly suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ディスクケースの説明図でaはそれに収納され
るデイスクの斜視図、bはディスクケースの斜視図、
FIG. 1 is an explanatory view of a disk case, wherein a is a perspective view of a disk stored therein, b is a perspective view of a disk case,

【図2】図1に示bに示されるデイスクケースの倒立位
置での斜視図。
FIG. 2 is a perspective view of the disk case shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 開口面 2 側壁 4 ディスク 6 ディスクを保持する溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Opening surface 2 Side wall 4 Disk 6 Disk holding groove

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 0333−3E B65D 85/38 R ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Agency reference number FI Technical display location H01L 21/68 0333-3E B65D 85/38 R

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも一つの開口面を有し、相対向
する側壁の内面にディスクを支持する支持溝を設けたデ
ィスクケースにおいて、該ディスクケースがポリカーボ
ネート97〜65重量%、およびフッ素樹脂3〜35重
量%からなるポリマーブレンドから成形されてなること
を特徴とするディスクケース。
1. A disk case having at least one opening surface and having a support groove for supporting a disk on inner surfaces of opposing side walls, wherein the disk case is made of 97 to 65% by weight of polycarbonate, and 3 to 4% of fluorocarbon resin. A disk case formed from a polymer blend comprising 35% by weight.
JP15706196A 1996-06-18 1996-06-18 Disk case Pending JPH101177A (en)

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