JPH10110849A - ガスユニット - Google Patents
ガスユニットInfo
- Publication number
- JPH10110849A JPH10110849A JP28474196A JP28474196A JPH10110849A JP H10110849 A JPH10110849 A JP H10110849A JP 28474196 A JP28474196 A JP 28474196A JP 28474196 A JP28474196 A JP 28474196A JP H10110849 A JPH10110849 A JP H10110849A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reduced
- block
- gas
- valve
- gas unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Valve Housings (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】継手の使用箇所を少なくし、デッドスペースを
少なくし、作業工数やリークも少なくすることのできる
ガスユニットを提供する。 【解決手段】複数のシングルバルブを１つのブロックバ
ルブ３２にまとめた。ブロックバルブ３２のブロック４
０内にガス通路５０を枝分かれして設けた。このガス通
路５０を開閉する複数のエアーバルブ６０をブロック４
０に取り付けた。これにより、ガス流路のデッドスペー
スが小さくなり、配管作業工数も低減され、またリーク
の原因となる箇所も低減される。さらに複数のエアーバ
ルブ６０を１つのブロック４０にまとめているので省ス
ペース化も図れる。そして、このようなブロックバルブ
３２等を使用してガスユニットを組み立てれば、ガスユ
ニット全体として、デッドスペースが小さくなり、配管
作業工数も低減され、またリークの原因となる箇所も低
減され、省スペース化も図れる。
少なくし、作業工数やリークも少なくすることのできる
ガスユニットを提供する。 【解決手段】複数のシングルバルブを１つのブロックバ
ルブ３２にまとめた。ブロックバルブ３２のブロック４
０内にガス通路５０を枝分かれして設けた。このガス通
路５０を開閉する複数のエアーバルブ６０をブロック４
０に取り付けた。これにより、ガス流路のデッドスペー
スが小さくなり、配管作業工数も低減され、またリーク
の原因となる箇所も低減される。さらに複数のエアーバ
ルブ６０を１つのブロック４０にまとめているので省ス
ペース化も図れる。そして、このようなブロックバルブ
３２等を使用してガスユニットを組み立てれば、ガスユ
ニット全体として、デッドスペースが小さくなり、配管
作業工数も低減され、またリークの原因となる箇所も低
減され、省スペース化も図れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスユニットに関
し、特に、ガスの圧力や流量を調整する部品と共にガス
の流れのオン・オフを制御するバルブを組み込んだガス
ユニットに関するものである。
し、特に、ガスの圧力や流量を調整する部品と共にガス
の流れのオン・オフを制御するバルブを組み込んだガス
ユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来においては、図１に示すガスユニッ
トを構成するために、その配管の一部１０を例にとる
と、図８に示すように、シングルバルブであるエアーバ
ルブＡＶ１５〜１９に各々継手を設け、さらに分岐部に
も継手を設ける必要があった。その結果、継手の数が多
くなり、溶接箇所やナットの締め付け箇所が増え、それ
がリークの可能性のある部分の増加及び作業工数の増加
につながっていた。また、継手部にガスの滞留部（デッ
ドスペース：図８のＡ部参照。）ができてしまう為、ガ
スの置換特性に悪影響を及ぼすという問題があった。
トを構成するために、その配管の一部１０を例にとる
と、図８に示すように、シングルバルブであるエアーバ
ルブＡＶ１５〜１９に各々継手を設け、さらに分岐部に
も継手を設ける必要があった。その結果、継手の数が多
くなり、溶接箇所やナットの締め付け箇所が増え、それ
がリークの可能性のある部分の増加及び作業工数の増加
につながっていた。また、継手部にガスの滞留部（デッ
ドスペース：図８のＡ部参照。）ができてしまう為、ガ
スの置換特性に悪影響を及ぼすという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術における継手の使用箇所が多いという問題を解決
し、それによってデッドスペースを少なくし、かつ、作
業工数やリークも少なくすることのできるガスユニット
を提供することにある。
技術における継手の使用箇所が多いという問題を解決
し、それによってデッドスペースを少なくし、かつ、作
業工数やリークも少なくすることのできるガスユニット
を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、１つの
ブロック内に枝分かれして設けられたガス通路を開閉す
る複数のバルブが前記ブロックに取り付けられたブロッ
クバルブを用いることを特徴とするガスユニットが提供
される。
ブロック内に枝分かれして設けられたガス通路を開閉す
る複数のバルブが前記ブロックに取り付けられたブロッ
クバルブを用いることを特徴とするガスユニットが提供
される。
【０００５】本発明においては、枝分かれしたガス通路
を１つのブロック内に設けているので、その分、個別部
品を用いて配管を組み立てる必要がなくなり、その結
果、ガス流路のデッドスペースが小さくなり、配管作業
工数も低減され、またリークの原因となる箇所も低減さ
れる。さらに、このガス通路を開閉する複数のバルブも
このブロックに取り付けているので、その分、バルブの
配管作業工数も低減され、また、バルブ周辺のガス流路
のデッドスペースも小さくなり、バルブ周辺のリークの
原因となる箇所も低減される。さらに複数のバルブを１
つのブロックにまとめるているので、省スペース化も図
れる。
を１つのブロック内に設けているので、その分、個別部
品を用いて配管を組み立てる必要がなくなり、その結
果、ガス流路のデッドスペースが小さくなり、配管作業
工数も低減され、またリークの原因となる箇所も低減さ
れる。さらに、このガス通路を開閉する複数のバルブも
このブロックに取り付けているので、その分、バルブの
配管作業工数も低減され、また、バルブ周辺のガス流路
のデッドスペースも小さくなり、バルブ周辺のリークの
原因となる箇所も低減される。さらに複数のバルブを１
つのブロックにまとめるているので、省スペース化も図
れる。
【０００６】なお、好ましくは、接ガス部を内面研磨さ
れた部品で構成する。
れた部品で構成する。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照して、本発明の
一実施の形態のガスユニットを説明する。
一実施の形態のガスユニットを説明する。
【０００８】図１は、本発明の一実施の形態のガスユニ
ットの配管パターン図であり、図２〜図５は、本発明の
一実施の形態で使用するブロックバルブを説明するため
の図であって、それぞれ図１の配管の一部１２、１４、
１６、１８に使用するブロックバルブを示した図であ
り、図６は、本発明の一実施の形態のガスユニットの一
部１０を説明するための斜視図であり、図７は、本発明
の一実施の形態のガスユニットを説明するための斜視図
である。
ットの配管パターン図であり、図２〜図５は、本発明の
一実施の形態で使用するブロックバルブを説明するため
の図であって、それぞれ図１の配管の一部１２、１４、
１６、１８に使用するブロックバルブを示した図であ
り、図６は、本発明の一実施の形態のガスユニットの一
部１０を説明するための斜視図であり、図７は、本発明
の一実施の形態のガスユニットを説明するための斜視図
である。
【０００９】本実施の形態においては、従来、シングル
バルブの組合せで設計していたものを、いくつかのパタ
ーンに分類し、それをブロック化した。そして、このよ
うにブロック化されたバルブとマスフローコントローラ
やフィルター等の部品を直結していくことにより継手の
数量を減少させた。
バルブの組合せで設計していたものを、いくつかのパタ
ーンに分類し、それをブロック化した。そして、このよ
うにブロック化されたバルブとマスフローコントローラ
やフィルター等の部品を直結していくことにより継手の
数量を減少させた。
【００１０】さらに詳細に説明すると、図１の配管の一
部１２を図２に示すようなブロックバルブ３２とし、図
１の配管の一部１４を図３に示すようなブロックバルブ
３４とし、図１の配管の一部１６を図４に示すようなブ
ロックバルブ３６とし、図１の配管の一部１８を図５に
示すようなブロックバルブ３８とした。各ブロックバル
ブのブロック４０内にはガス通路５０を枝分かれして設
けた。これにより、ブロック４０内にガス配管が形成さ
れ、その分、個別部品を用いて配管を組み立てる必要が
なくなり、その結果、ガス流路のデッドスペースが小さ
くなり、配管作業工数も低減され、またリークの原因と
なる箇所も低減される。さらに、このガス通路５０を開
閉する複数のエアーバルブ６０もこのブロック４０に取
り付けているので、その分、エアーバルブ６０の配管作
業工数も低減され、また、エアーバルブ６０周辺のガス
流路のデッドスペースも小さくなり、エアーバルブ６０
周辺のリークの原因となる箇所も低減される。さらに複
数のエアーバルブ６０を１つのブロック４０にまとめて
いるので省スペース化も図れる。また、接ガス部は内面
研磨された部品で構成した。
部１２を図２に示すようなブロックバルブ３２とし、図
１の配管の一部１４を図３に示すようなブロックバルブ
３４とし、図１の配管の一部１６を図４に示すようなブ
ロックバルブ３６とし、図１の配管の一部１８を図５に
示すようなブロックバルブ３８とした。各ブロックバル
ブのブロック４０内にはガス通路５０を枝分かれして設
けた。これにより、ブロック４０内にガス配管が形成さ
れ、その分、個別部品を用いて配管を組み立てる必要が
なくなり、その結果、ガス流路のデッドスペースが小さ
くなり、配管作業工数も低減され、またリークの原因と
なる箇所も低減される。さらに、このガス通路５０を開
閉する複数のエアーバルブ６０もこのブロック４０に取
り付けているので、その分、エアーバルブ６０の配管作
業工数も低減され、また、エアーバルブ６０周辺のガス
流路のデッドスペースも小さくなり、エアーバルブ６０
周辺のリークの原因となる箇所も低減される。さらに複
数のエアーバルブ６０を１つのブロック４０にまとめて
いるので省スペース化も図れる。また、接ガス部は内面
研磨された部品で構成した。
【００１１】このようにして構成されたブロックバルブ
３２とブロックバルブ３４およびマスフローコントロー
ラＭＦＣ５を使用して、図１に示すガス配管の一部１０
を組み立てると、図６に示すようになり、デッドスペー
スも小さくなり、配管作業工数も低減され、リークの原
因となる箇所も低減され、さらに、省スペース化も図れ
ている。
３２とブロックバルブ３４およびマスフローコントロー
ラＭＦＣ５を使用して、図１に示すガス配管の一部１０
を組み立てると、図６に示すようになり、デッドスペー
スも小さくなり、配管作業工数も低減され、リークの原
因となる箇所も低減され、さらに、省スペース化も図れ
ている。
【００１２】そして、このようなブロックバルブ３２、
３４、３６、３８、マスフローコントローラＭＦＣ１〜
５、ハンドバルブ２１、レギュレータ２２、フィルタ２
３等によりガスユニットを組み立てると図７のようにな
り、ガスユニット全体でデッドスペースも小さくなり、
配管作業工数も低減され、リークの原因となる箇所も低
減され、さらに、省スペース化も図れている。
３４、３６、３８、マスフローコントローラＭＦＣ１〜
５、ハンドバルブ２１、レギュレータ２２、フィルタ２
３等によりガスユニットを組み立てると図７のようにな
り、ガスユニット全体でデッドスペースも小さくなり、
配管作業工数も低減され、リークの原因となる箇所も低
減され、さらに、省スペース化も図れている。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、継手の使用箇所が少な
くなり、また、配管内デッドスペースが減少してガスの
置換特性が向上し、配管作業工数が低減され、リークの
原因となる箇所も低減され、また、複数のバルブを１つ
のブロックにまとめることによって省スペース化も達成
される。
くなり、また、配管内デッドスペースが減少してガスの
置換特性が向上し、配管作業工数が低減され、リークの
原因となる箇所も低減され、また、複数のバルブを１つ
のブロックにまとめることによって省スペース化も達成
される。
【図１】本発明の一実施の形態のガスユニットの配管パ
ターン図である。
ターン図である。
【図２】本発明の一実施の形態で使用するブロックバル
ブを説明するための図である。
ブを説明するための図である。
【図３】本発明の一実施の形態で使用するブロックバル
ブを説明するための図である。
ブを説明するための図である。
【図４】本発明の一実施の形態で使用するブロックバル
ブを説明するための図である。
ブを説明するための図である。
【図５】本発明の一実施の形態で使用するブロックバル
ブを説明するための図である。
ブを説明するための図である。
【図６】本発明の一実施の形態のガスユニットの一部を
説明するための斜視図である。
説明するための斜視図である。
【図７】本発明の一実施の形態のガスユニットを説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図８】従来のガスユニットを説明するための斜視図で
ある。
ある。
ＡＶ１〜ＡＶ１０、６０…エアバルブ ＭＦＣ１〜ＭＦＣ５…マスフローコントローラ ２１…ハンドバルブ ２２…レギュレータ ２３…フィルタ ４０…ブロック ５０…ガス通路 ３２、３４、３６、３８…ブロックバルブ
Claims (1)
- 【請求項１】１つのブロック内に枝分かれして設けられ
たガス通路を開閉する複数のバルブが前記ブロックに取
り付けられたブロックバルブを用いることを特徴とする
ガスユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28474196A JPH10110849A (ja) | 1996-10-07 | 1996-10-07 | ガスユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28474196A JPH10110849A (ja) | 1996-10-07 | 1996-10-07 | ガスユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10110849A true JPH10110849A (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=17682401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28474196A Withdrawn JPH10110849A (ja) | 1996-10-07 | 1996-10-07 | ガスユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10110849A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004051139A1 (ja) * | 2002-12-02 | 2004-06-17 | Kabushiki Kaisha Watanabe Shoko | 気化器への原料溶液供給系及び気化器への原料溶液供給系の洗浄方法 |
| JP2005243858A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
| JP2010203067A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Inax Corp | 分岐路ユニット及び給水用バルブ装置 |
-
1996
- 1996-10-07 JP JP28474196A patent/JPH10110849A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004051139A1 (ja) * | 2002-12-02 | 2004-06-17 | Kabushiki Kaisha Watanabe Shoko | 気化器への原料溶液供給系及び気化器への原料溶液供給系の洗浄方法 |
| EP1580479A1 (en) * | 2002-12-02 | 2005-09-28 | Kabushiki Kaisha Watanabe Shoko | Raw solution feeding system for vaporizer and method of cleaning the raw solution feeding system |
| EP1580479A4 (en) * | 2002-12-02 | 2007-06-20 | Watanabe M & Co Ltd | ROOF DELIVERY SYSTEM FOR EVAPORATOR AND METHOD FOR CLEANING THE ROOF DELIVERY SYSTEM |
| JP2005243858A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
| WO2005083753A1 (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-09 | Tokyo Electron Limited | 半導体処理装置 |
| JP2010203067A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Inax Corp | 分岐路ユニット及び給水用バルブ装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040106 |