JPH1010167A - Spectrum analyzer for measuring s parameter - Google Patents

Spectrum analyzer for measuring s parameter

Info

Publication number
JPH1010167A
JPH1010167A JP18112696A JP18112696A JPH1010167A JP H1010167 A JPH1010167 A JP H1010167A JP 18112696 A JP18112696 A JP 18112696A JP 18112696 A JP18112696 A JP 18112696A JP H1010167 A JPH1010167 A JP H1010167A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
input
signal
frequency
terminal
spectrum analyzer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18112696A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Tanabe
武 田辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP18112696A priority Critical patent/JPH1010167A/en
Priority to TW86104043A priority patent/TW320685B/en
Publication of JPH1010167A publication Critical patent/JPH1010167A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the reflection factor and the transmission factor with high accuracy using a spectrum analyzer provided with a TG (tracking generator). SOLUTION: An RF front end 51 comprising a directional coupler 52 and an input switch 53 is provided at the I/O section of a conventional spectrum analyzer provided with a TG. Output frequency from the TG section 40 is introduced through the directional coupler to the output terminal 57 of a measuring unit and a reflection signal is introduced from the output terminal 57 to the input switch 53. The input switch 53 switches the input signal to the spectrum analyzer between a signal from the input terminal 58 of the measuring unit and a signal from the directional coupler 52. An operating means is provided for the analytical data processing of the spectrum analyzer and an analytical data is processed while taking account of a correction data at the RF front end 51. The processed data is delivered to a display section so that S (scattering matrix) parameters can also be displayed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、トラッキングジ
ェネレータ(以下「TG」という)付のスペクトラムア
ナライザにおいて、散乱行列(Scattering Matrix )パ
ラメータ(以下「Sパラメータ」という)の測定が出来
るSパラメータ測定用スペクトラムアナライザに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectrum analyzer with a tracking generator (hereinafter referred to as "TG") for measuring S-parameters (hereinafter referred to as "S-parameters"). About the analyzer.

【0002】[0002]

【従来の技術】Sマトリックスは振幅に着眼し、主にマ
イクロ波分野での部品の伝達特性の表示等に用いられ、
Sパラメータとは[S]行列のそれぞれの要素をいう。
Sパラメータの物理的な意味は次のようなものである。
例えば、N開口を有する導波管等において、第i開口か
ら振幅値1の波が入るとし、他の開口は全て無反射終端
されているとする。このとき第i開口での反射係数がS
iiを、第j開口の伝達(出力)係数がSjiを表す。
2. Description of the Related Art An S-matrix focuses on amplitude, and is mainly used to display the transfer characteristics of components in the microwave field.
The S parameter refers to each element of the [S] matrix.
The physical meaning of the S parameter is as follows.
For example, in a waveguide or the like having an N aperture, it is assumed that a wave having an amplitude value of 1 enters from the i-th aperture and all other apertures are non-reflection terminated. At this time, the reflection coefficient at the i-th opening is S
ii , and the transmission (output) coefficient of the j-th aperture represents Sji .

【0003】2つの開口を有するアッテネータのような
部品では、第1開口から振幅値1の波を入力し他の第2
開口は無反射終端とすると、S11は反射係数を意味し、
21は第2開口への伝達係数を意味する。逆に第2開口
から振幅値1の波を入力し第1開口を無反射終端とする
と、S22が第2開口での反射係数を、S12が第1開口へ
の伝達係数を意味する。よって例えば入出力が整合時で
は、S11=S22=0値である。
In a component such as an attenuator having two openings, a wave having an amplitude value of 1 is input from a first opening and the other second
If the aperture is a non-reflective end, S 11 means the reflection coefficient,
S 21 denotes a transfer coefficient to the second opening. When the second opening in the opposite to the reflection-free termination of the first opening to enter the wave amplitude values 1, S 22 is the reflection coefficient at the second opening, S 12 means the transfer coefficient to the first opening. Therefore, for example, when the input and output are matched, the value of S 11 = S 22 = 0.

【0004】これらのSパラメータを測定するのに、従
来からネットワークアナライザを用いてきた。ネットワ
ークアナライザは、高周波用アナログ回路網の伝達特性
と反射特性とを解析する専用測定器である。図2にネッ
トワークアナライザを用いた測定の説明図を示す。図2
(A)は測定の概念図を、図2(B)は伝達特性の測定
方法を、図2(C)は反射特性の測定方法を示す。測定
の概念は、DUT(被測定物)15に入力した正弦波信
号がDUT出力にどのように変化して現れるかを解析す
るものである。
A network analyzer has been conventionally used to measure these S parameters. The network analyzer is a dedicated measuring device for analyzing the transfer characteristics and the reflection characteristics of the high-frequency analog network. FIG. 2 is an explanatory diagram of measurement using a network analyzer. FIG.
2A shows a conceptual diagram of the measurement, FIG. 2B shows a method for measuring a transfer characteristic, and FIG. 2C shows a method for measuring a reflection characteristic. The concept of measurement is to analyze how a sine wave signal input to the DUT (device under test) 15 changes and appears in the DUT output.

【0005】図2(A)について説明する。ネットッワ
ークアナライザは掃引正弦波を出力する掃引信号源10
と、基準信号入力と応答信号入力を比較する解析部11
とから構成される。掃引正弦波は出力端子12から出力
され分岐されて、一方は解析部11の基準信号入力端子
13に基準信号として入力され、他方はDUT(被測定
物)を経て応答信号入力端子14に応答信号として入力
される。解析部11では基準信号と応答信号とを比較解
析し、種々の伝達特性や反射特性を算出し表示する。
FIG. 2A will be described. The network analyzer is a swept signal source 10 that outputs a swept sine wave.
And an analysis unit 11 for comparing a reference signal input and a response signal input
It is composed of The swept sine wave is output from the output terminal 12 and branched, one of which is input as a reference signal to a reference signal input terminal 13 of the analyzer 11, and the other is a response signal input to a response signal input terminal 14 via a DUT (DUT). Is entered as The analysis unit 11 compares and analyzes the reference signal and the response signal, and calculates and displays various transfer characteristics and reflection characteristics.

【0006】伝達特性の測定方法を、図2(B)を用い
て説明する。掃引信号源10の出力端子12からの出力
信号をパワースプリッタ16で2分割し、一方を解析部
の基準信号入力端子13に与え、他方をDUT15に与
え、DUT15の出力信号を応答信号入力端子14に与
える。解析部11ではそれぞれ入力された基準信号と応
答信号とを比較解析し、SパラのS21、S12の他、振幅
特性、位相特性や群遅延時間特性等を求めることができ
る。
A method of measuring the transfer characteristics will be described with reference to FIG. The output signal from the output terminal 12 of the sweep signal source 10 is divided into two by the power splitter 16, one of which is supplied to the reference signal input terminal 13 of the analysis unit, the other is supplied to the DUT 15, and the output signal of the DUT 15 is supplied to the response signal input terminal 14. Give to. The analysis unit 11 compares and analyzes the input reference signal and response signal, and can obtain amplitude characteristics, phase characteristics, group delay time characteristics, and the like, in addition to S parameters S 21 and S 12 .

【0007】反射特性の測定方法を、図2(C)を用い
て説明する。掃引信号源10の出力端子12からの出力
信号をパワースプリッタ16で2分割し、一方を解析部
の基準信号入力端子13に与える。他方を方向性結合器
(リフレクションブリッジ)17を経てDUT15に与
える。方向性結合器17とはa端子からの入力信号はb
端子に伝送し、b端子からの入力信号はc端子に伝送す
るものである。DUT15の他の開口は無反射終端させ
ておく。すると、2分割された他方の測定信号は、方向
性結合器17のa端子からb端子に伝送されてDUT1
5に与えられ、DUT15からの反射波が方向性結合器
17のb端子からc端子に伝送されて解析部11の応答
信号入力端子14に与えられる。解析部11では入力さ
れた基準信号と応答信号とを比較解析し、Sパラメータ
のS11、S22の他、リターンロス、不整合減衰量や定在
波比等を求めることができる。
A method for measuring the reflection characteristics will be described with reference to FIG. The output signal from the output terminal 12 of the sweep signal source 10 is divided into two by the power splitter 16, and one of the two is supplied to the reference signal input terminal 13 of the analysis unit. The other is supplied to the DUT 15 via a directional coupler (reflection bridge) 17. The input signal from terminal a is b
The signal is transmitted to the terminal, and the input signal from the terminal b is transmitted to the terminal c. The other openings of the DUT 15 are non-reflectively terminated. Then, the other of the two divided measurement signals is transmitted from the terminal a to the terminal b of the directional coupler 17 and the DUT 1
5, the reflected wave from the DUT 15 is transmitted from the b terminal to the c terminal of the directional coupler 17, and is supplied to the response signal input terminal 14 of the analysis unit 11. The analysis unit 11 compares and analyzes the input reference signal and response signal, and obtains return loss, mismatch attenuation, standing wave ratio, and the like in addition to S parameters S 11 and S 22 .

【0008】高周波部品の専用測定器であるネットワー
クアナライザに対して、高周波機器から放射される電波
のスペクトラムを解析する測定器にスペクトラムアナラ
イザがある。更にTG(トラッキングジェネレータ)を
付加したTG付スペクトラムアナライザがある。TG付
スペクトラムアナライザは、スペクトラムを解析すると
共に、高周波部品の振幅特性をも測定できるものであ
る。
[0008] In contrast to a network analyzer which is a dedicated measuring device for high-frequency components, there is a spectrum analyzer as a measuring device for analyzing a spectrum of a radio wave radiated from a high-frequency device. There is also a spectrum analyzer with TG (tracking generator) to which a TG is added. The TG-equipped spectrum analyzer can analyze the spectrum and also measure the amplitude characteristics of the high-frequency component.

【0009】図3に従来のTG付スペクトラムアナライ
ザの構成を示す。始めにスペクトラムアナライザの構成
について簡単に説明する。外来信号f7は入力端子21
を経て、ATT(アッテネータ)22で適切なレベルの
信号f70に減衰され、第1ミキサ23に入力される。
第1ミキサ23の他の入力端子にはYTO(YIG発振
器)から成る掃引発振器33からの掃引信号f71が入
力されて、その差信号f72が第1中間周波数としてB
PF(バンドパスフィルタ)24から取り出される。
FIG. 3 shows the configuration of a conventional spectrum analyzer with TG. First, the configuration of the spectrum analyzer will be briefly described. The external signal f7 is input terminal 21
, The signal is attenuated by an ATT (attenuator) 22 to a signal f70 of an appropriate level, and input to the first mixer 23.
A sweep signal f71 from a sweep oscillator 33 composed of a YTO (YIG oscillator) is input to the other input terminal of the first mixer 23, and the difference signal f72 is used as a first intermediate frequency as B1.
It is extracted from a PF (bandpass filter) 24.

【0010】この第1中間周波数f72を第2ミキサ2
5で第2中間周波数f74に変換し、更に信号処理が容
易な約3MHz前後の第3中間周波数f76に変換して
BPF27から取り出し、ログアンプ28で対数変換し
て増幅し、検波器29で検波して、A/D変換器30で
デジタル値に変換した後、表示器31にY軸信号として
与える。ランプ電圧発生器32は鋸歯状波電圧を発生さ
せて、掃引発振器33と表示器31に与え、掃引発振器
33ではランプ電圧に相当するマイクロ周波数を発振
し、表示器31ではX軸の掃引信号として用いる。
The first intermediate frequency f72 is transmitted to the second mixer 2
5, the signal is converted to the second intermediate frequency f74, further converted to a third intermediate frequency f76 of about 3 MHz, which is easy to perform signal processing, extracted from the BPF 27, logarithmically converted by the log amplifier 28, amplified, and detected by the detector 29. Then, after being converted into a digital value by the A / D converter 30, the digital value is given to the display 31 as a Y-axis signal. The ramp voltage generator 32 generates a saw-tooth waveform voltage and supplies it to the sweep oscillator 33 and the display 31. The sweep oscillator 33 oscillates a micro frequency corresponding to the ramp voltage, and the display 31 generates an X-axis sweep signal. Used.

【0011】ところで、TG部40の出力端子46から
は、スペクトラムアナライザの被解析周波数、つまり入
力端子21に入力する有効周波数と同一周波数を出力し
ている。このTG出力周波数を生成するのにスペクトラ
ムアナライザの局部発振器の発振周波数を利用して、周
波数ドリフトがあっても一致させるようにしている。発
振器41では、ログアンプ28に入力される周波数と同
一の周波数f76を発振して第4ミキサ42に与え、第
4ミキサ42で第3局部発振器35からの周波数f75
と混合してその和周波数f74を第5ミキサ43に与え
る。第5ミキサ43では第2局部発振器34からの周波
数f73を受けて、その和周波数f72を第6ミキサ4
4に送出する。
The output terminal 46 of the TG section 40 outputs the frequency to be analyzed by the spectrum analyzer, that is, the same frequency as the effective frequency input to the input terminal 21. The TG output frequency is generated by using the oscillation frequency of the local oscillator of the spectrum analyzer so as to match even if there is a frequency drift. The oscillator 41 oscillates the same frequency f76 as the frequency input to the log amplifier 28 and supplies the same to the fourth mixer 42. The fourth mixer 42 outputs the frequency f75 from the third local oscillator 35.
And the sum frequency f74 is given to the fifth mixer 43. The fifth mixer 43 receives the frequency f73 from the second local oscillator 34 and outputs the sum frequency f72 to the sixth mixer 4
4

【0012】第6ミキサ44では掃引発振器33からの
掃引周波数f71を受けて混合し、その和周波数f70
を出力する。その出力信号f70はATT45で適切な
レベルにされて、スペクトラムアナライザの解析周波数
と同一の周波数f7を出力端子46から出力する。従っ
て、図3に示しているように、TG部40の出力端子4
6とスペクトラムアナライザの入力端子21の間にDU
T15を接続することにより、図3の表示器31にはD
UT15の振幅特性が表示される。
The sixth mixer 44 receives and mixes the sweep frequency f71 from the sweep oscillator 33, and sums the sum frequency f70.
Is output. The output signal f70 is set to an appropriate level by the ATT 45, and outputs the same frequency f7 as the analysis frequency of the spectrum analyzer from the output terminal 46. Therefore, as shown in FIG.
6 and the input terminal 21 of the spectrum analyzer
By connecting T15, the display 31 of FIG.
The amplitude characteristics of the UT 15 are displayed.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】このTG付スペクトラ
ムアナライザは高周波機器の周波数調整のために、調整
現場には数多く用いられている。ネットワークアナライ
ザは高周波部品の専用測定器であり、本来スペクトラム
アナライザとは使用目的が異なるので、高周波機器の調
整現場には無いことが多い。そこで高周波機器の調整者
は、使用する高周波部品の諸特性を見るために、TG付
スペクトラムアナライザを用いて高周波部品の振幅特性
のみならず、Sパラメータ、特に反射特性を見ることが
ある。この場合には方向性結合器を外付けして測定する
必要があった。
The TG-equipped spectrum analyzer is widely used for adjusting the frequency of a high-frequency device at an adjustment site. A network analyzer is a dedicated measuring device for high-frequency components, and originally has a different purpose of use from a spectrum analyzer. Therefore, an adjuster of a high-frequency device sometimes uses a spectrum analyzer with a TG to view not only the amplitude characteristics of the high-frequency component but also the S parameter, particularly the reflection characteristic, in order to check various characteristics of the high-frequency component to be used. In this case, the measurement had to be performed with an external directional coupler.

【0014】しかしながら、測定精度を向上させるため
には測定に使用する高周波部品の校正が必要であり、ま
た外付けであるので測定毎にTGout/inputの
接続を変更する必要も有り、精度も取れず不便であっ
た。この発明はTG付スペクトラムアナライザを用い
て、通常のスペクトラム解析はもとより、高周波部品の
振幅特性、反射特性並びに伝達特性をも測定できるSパ
ラメータ測定用スペクトラムアナライザを提供するもの
である。
However, in order to improve the measurement accuracy, it is necessary to calibrate the high-frequency components used for the measurement, and since it is an external device, it is necessary to change the connection of TGout / input for each measurement, and the accuracy is improved. It was inconvenient. The present invention provides a spectrum analyzer for S-parameter measurement that can measure not only ordinary spectrum analysis but also amplitude characteristics, reflection characteristics, and transfer characteristics of high-frequency components using a spectrum analyzer with TG.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明はTG付スペクトラムアナライザの入出力
部分に広帯域の方向性結合器と入力切換スイッチとを設
けてRFフロントエンド部とし、信号処理部に演算手段
と予め測定したRFフロントエンド部の高周波特性を記
憶するメモリを設けて、入力切換スイッチの切換1つで
種々の特性を高精度に測定するものである。ここで方向
性結合器とは入力信号を、例えばa端子からb端子に、
b端子からc端子に導くものであり、リフレクションブ
リッジ等のブリッジを含むこととする。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides an RF front-end section by providing a broadband directional coupler and an input selector switch at the input / output portion of a spectrum analyzer with TG. The processing section is provided with arithmetic means and a memory for storing high-frequency characteristics of the RF front-end section measured in advance, and various characteristics are measured with high accuracy by one input switch. Here, a directional coupler refers to an input signal, for example, from terminal a to terminal b,
It leads from the terminal b to the terminal c and includes a bridge such as a reflection bridge.

【0016】そのために、TG部の出力信号を方向性結
合器のa端子に接続して、b端子を出力端子に接続す
る。DUTの反射波はb端子からc端子に導き、c端子
は入力切替スイッチのy端子に接続される。入力切換ス
イッチのz端子は入力端子と接続され、共通端子のx端
子からスペクトラムアナライザの入力側に導かれる。
For this purpose, the output signal of the TG section is connected to the terminal a of the directional coupler, and the terminal b is connected to the output terminal. The reflected wave of the DUT is guided from the terminal b to the terminal c, and the terminal c is connected to the terminal y of the input switch. The z terminal of the input switch is connected to the input terminal, and is guided from the x terminal of the common terminal to the input side of the spectrum analyzer.

【0017】信号処理部では、予め測定した既知のRF
フロントエンド部の高周波特性を補正データとしてメモ
リに記憶させ、被測定信号をA/D変換した後の解析デ
ータに演算手段で補正データを加味して演算し、Sパラ
メータやその他の測定結果値を表示器に表示させる。
In the signal processing section, a known RF signal measured in advance is used.
The high-frequency characteristics of the front-end unit are stored in a memory as correction data, and the A / D conversion of the signal under measurement is performed by adding the correction data to the analysis data, and the S parameter and other measurement result values are calculated. Display on the display.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を実
施例と共に詳細に説明する。TG付スペクトラムアナラ
イザの入出力部、つまりRFフロントエンド部を方向性
結合器と入力切替スイッチとで構成し、方向性結合器は
TG部からの出力信号を測定器の出力端子に導き、出力
端子からの反射波は入力切替スイッチに導く。つまり、
TG部からの出力信号は全て測定器の出力端子から外部
に出力する。外部からの反射波がありその反射係数の測
定を行うときには、その反射波を入力切替スイッチに導
き、被測定入力信号とする。従って、高精度に測定する
には、方向性結合器と入力切換スイッチ、つまりRFフ
ロントエンド部の高周波特性を予め測定して補正データ
として用いる必要がある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The embodiments of the present invention will be described below in detail with examples. The input / output part of the spectrum analyzer with TG, that is, the RF front end part is composed of a directional coupler and an input changeover switch. The directional coupler guides the output signal from the TG part to the output terminal of the measuring instrument, and the output terminal The reflected wave from is guided to the input changeover switch. That is,
All the output signals from the TG unit are output to the outside from the output terminals of the measuring instrument. When there is a reflected wave from the outside and the reflection coefficient is measured, the reflected wave is guided to an input changeover switch to be used as an input signal to be measured. Therefore, in order to perform the measurement with high accuracy, it is necessary to measure in advance the high-frequency characteristics of the directional coupler and the input changeover switch, that is, the RF front-end section, and use the measured data as correction data.

【0019】入力切換スイッチはスペクトラム解析部へ
の入力を、測定器の入力端子からと方向性結合器からと
に切り替える。測定器の入力端子からの入力は、通常の
スペクトラム解析の外来周波数や伝達係数のS21やS12
の測定時に用いられる。方向性結合器からの入力信号
は、反射係数のS11測定あるいはS22測定時に用いられ
る。
The input changeover switch switches the input to the spectrum analyzer from the input terminal of the measuring instrument and from the directional coupler. Input from the input terminal of the instrument, S 21 foreign frequency or transmission coefficient of a normal spectrum analysis and S 12
It is used at the time of measurement. Input signal from the directional coupler is used at S 11 measured or S 22 measurements of the reflection coefficient.

【0020】入力された被解析周波数は、数段のダウン
コンバータで信号処理が容易な約3MHz前後の周波数
に変換され、ログアンプ、検波器、A/D変換器を経
て、解析デジタルデータに変換する。この解析データを
演算手段でメモリに記憶されている補正データ、つまり
RFフロントエンド部の高周波特性を加味して補正し、
演算して、スペクトラム解析の場合にはスペクトラム
を、伝達係数や反射係数の測定の場合にはS11、S21
12、S22、等を表示器に表示させる。従って、演算手
段はμCPU(マイクロコンピュータ)で構成するのが
望ましい。以下実施例について説明する。
The input analyzed frequency is converted into a frequency of about 3 MHz, which is easy for signal processing by several stages of downconverters, and is converted into analysis digital data via a log amplifier, a detector, and an A / D converter. I do. The analysis data is corrected by the calculation means in consideration of the correction data stored in the memory, that is, the high-frequency characteristics of the RF front end unit,
Calculate the spectrum for spectrum analysis, and S 11 , S 21 ,
S 12 , S 22 , etc. are displayed on the display. Therefore, it is desirable that the arithmetic means is constituted by a μCPU (microcomputer). Hereinafter, embodiments will be described.

【0021】[0021]

【実施例】図1に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図3と対応する部分には同一符号を付す。図1はDUT
15の反射係数S11及びS22を測定する場合の構成例で
ある。従って、DUT15の第2開口は無反射終端器で
終端され、第1開口は測定器の出力端子57からの出力
信号を受け、出力端子57に反射信号を送出する。伝達
係数S21及びS21を測定する場合は後述する。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
Parts corresponding to those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. Figure 1 shows the DUT
It is a configuration example in the case of measuring the reflection coefficients S 11 and S 22 of 15. Therefore, the second opening of the DUT 15 is terminated by the non-reflection terminator, and the first opening receives the output signal from the output terminal 57 of the measuring instrument and sends the reflection signal to the output terminal 57. The case where the transfer coefficients S 21 and S 21 are measured will be described later.

【0022】TG部40は従来のTG部と同じく、スペ
クトラムアナライザの被解析信号と同一信号を送出して
いる。ATT45からの出力信号は、RFフロントエン
ド部51の方向性結合器52のa端子に接続されて信号
をb端子に送出し、測定器の出力端子57に導き、振幅
値1の出力信号を送出する。DUT15からの反射信号
は方向性結合器52のb端子からc端子に導かれ、入力
切替スイッチ53のy端子からx端子を経て、スペクト
ラムアナライザのATT22に入力される。
The TG section 40 transmits the same signal as the signal to be analyzed by the spectrum analyzer, similarly to the conventional TG section. The output signal from the ATT 45 is connected to the terminal a of the directional coupler 52 of the RF front end unit 51 and sends the signal to the terminal b. The signal is guided to the output terminal 57 of the measuring instrument, and the output signal of the amplitude value 1 is sent. I do. The reflected signal from the DUT 15 is guided from the b terminal to the c terminal of the directional coupler 52, and is input to the ATT 22 of the spectrum analyzer via the y terminal and the x terminal of the input switch 53.

【0023】スペクトラムアナライザでは従来通りに第
1、第2、第3のミキサでダウンコンバートされ、BP
F27から約3MHz前後の周波数で取り出される。こ
の被解析信号をログアンプ28でログ変換されて増幅
し、検波し、A/D変換器30で被解析データに変換さ
れて演算手段54に送られる。演算手段54では、予め
メモリ55に記憶されているRFフロントエンド部51
の高周波特性の補正データを加味して反射係数S11ある
いはS22を演算し、記憶あるいは表示器31に送出して
表示する。
In the spectrum analyzer, the signal is down-converted by the first, second, and third mixers and the BP
It is extracted from F27 at a frequency of about 3 MHz. The analyzed signal is log-converted by the log amplifier 28, amplified, detected, converted to analyzed data by the A / D converter 30, and sent to the arithmetic unit 54. The arithmetic means 54 includes an RF front-end unit 51 stored in the memory 55 in advance.
Of in consideration of the correction data of the high-frequency characteristics and calculating a reflection coefficient S 11 or S 22, and displays the sent to storage or display 31.

【0024】伝達係数S21及びS21を測定する場合に
は、図示していないが、DUT15の第2開口の出力信
号を入力端子58に入力させ、入力切替スイッチ53を
z端子側、つまり測定器の入力端子58側に切り替えて
測定する。そして上述の演算手段54でRFフロントエ
ンド部51の高周波特性のデータを加味して伝達係数S
21及びS21を演算し、記憶あるいは表示器31に送出し
て表示する。
Transmission coefficient Stwenty oneAnd Stwenty oneWhen measuring
Although not shown, the output signal of the second aperture of the DUT 15 is
Signal to the input terminal 58, and the input switch 53
Switching to the z terminal side, that is, the input terminal 58 side of the measuring instrument
Measure. Then, the RF front-end is calculated by
Transfer coefficient S taking into account the data of the high frequency characteristics of the
twenty oneAnd Stwenty oneIs calculated and sent to the memory or the display 31.
To display.

【0025】DUT15の振幅特性を測定する場合は、
従来と同様に出力端子57と入力端子58間にDUT1
5を挿入して、測定するとよい。また外来周波数のスペ
クトラムの解析も、従来通りに入力端子58に接続して
測定するとよい。
When measuring the amplitude characteristics of the DUT 15,
The DUT 1 is connected between the output terminal 57 and the input terminal 58 as in the prior art.
5 should be inserted and measured. The spectrum of the external frequency may also be analyzed by connecting to the input terminal 58 as in the related art.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明
は、方向性結合器52と入力切替スイッチ53から成る
RFフロントエンド部51を設け、このRFフロントエ
ンド部51の高周波特性を予め測定してメモり55に記
憶させ、演算手段54では反射係数S11、S22や伝達係
数S21、S21の解析データにRFフロントエンド部51
の高周波特性を加味して演算し、表示器に表示させるの
で、スペクトラム解析と合わせてSパラメータも測定す
ることができる。
As described above in detail, according to the present invention, the RF front end unit 51 including the directional coupler 52 and the input changeover switch 53 is provided, and the high frequency characteristics of the RF front end unit 51 are measured in advance. The calculation means 54 stores the analysis data of the reflection coefficients S 11 and S 22 and the transmission coefficients S 21 and S 21 in the RF front-end section 51.
The calculation is performed in consideration of the high-frequency characteristics described above, and the calculation result is displayed on the display device, so that the S parameter can be measured together with the spectrum analysis.

【0027】従って、高周波機器の調整現場では、調整
者が周波数を調整すると同時に、高周波機器に使用する
高周波部品の諸特性も同一測定器で測定し調整すること
ができるので、その技術的効果は大である。
Therefore, at the adjustment site of the high-frequency equipment, the adjuster can adjust the frequency and at the same time measure and adjust the characteristics of the high-frequency components used in the high-frequency equipment with the same measuring instrument. Is big.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】ネットワークアナライザを用いた測定例の説明
図である。(A)は測定の概念図、(B)は伝達特性の
測定説明図、(C)は反射特性の測定説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a measurement example using a network analyzer. (A) is a conceptual diagram of measurement, (B) is an explanatory diagram of measurement of transfer characteristics, and (C) is an explanatory diagram of measurement of reflection characteristics.

【図3】TG付スペクトラムアナライザの構成図であ
る。
FIG. 3 is a configuration diagram of a spectrum analyzer with TG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 掃引信号源 11 解析部 12 出力端子 13 基準信号入力端子 14 応答信号入力端子 15 DUT(被測定物) 16 パワースプリッタ 17 方向性結合器(リフレクションブリッジ) 20 TG付スペクトラムアナライザ 21 入力端子 22 ATT(アッテネータ) 23 第1ミキサ 24 BPF(バンドパスフィルタ) 25 第2ミキサ 26 第3ミキサ 27 BPF(バンドパスフィルタ) 28 ログアンプ 29 検波器 30 A/D(アナログ・デジタル変換器) 31 表示器 32 ランプ電圧発生器 33 掃引発振器(YTO) 34、35 局部発振器 40 TG(トラッキングジェネレータ)部 41 発振器 42 第4ミキサ 43 第5ミキサ 44 第6ミキサ 45 ATT 46 出力端子 50 Sパラ測定用スペクトラムアナライザ 51 RFフロントエンド部 52 方向性結合器(リフレクションブリッジ) 53 入力切替スイッチ 54 演算手段(μCPU) 55 メモリ 57 出力端子 58 入力端子 Reference Signs List 10 Sweep signal source 11 Analysis unit 12 Output terminal 13 Reference signal input terminal 14 Response signal input terminal 15 DUT (DUT) 16 Power splitter 17 Directional coupler (reflection bridge) 20 Spectrum analyzer with TG 21 Input terminal 22 ATT ( Attenuator) 23 first mixer 24 BPF (bandpass filter) 25 second mixer 26 third mixer 27 BPF (bandpass filter) 28 log amplifier 29 detector 30 A / D (analog-to-digital converter) 31 display 32 lamp Voltage generator 33 Sweep oscillator (YTO) 34, 35 Local oscillator 40 TG (tracking generator) unit 41 Oscillator 42 Fourth mixer 43 Fifth mixer 44 Sixth mixer 45 ATT 46 Output terminal 50 S-parameter spectrum analyzer 5 RF front end unit 52 directional coupler (Reflection bridge) 53 input switches 54 computing means (MyuCPU) 55 memory 57 output terminal 58 input terminal

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 外来周波数のスペクトラムを解析する被
解析周波数と同一周波数を発振し出力するTG部(4
0)を有するTG付スペクトラムアナライザ(20)に
おいて、 TG部(40)の出力周波数を測定器の出力端子(5
7)に出力し、出力端子(57)からの反射信号を入力
切替スイッチ(53)に出力する方向性結合器(52)
と、 入力端子(58)からの入力信号と、上記方向性結合器
(52)からの入力信号とを切り換えてスペクトラムア
ナライザに入力する入力切替スイッチ(53)と、 上記方向性結合器(52)と上記入力切替スイッチ(5
3)とで構成されるRFフロントエンド部(51)の高
周波特性を記憶したメモリ(55)と、 被解析周波数のレベルをA/D変換したA/D変換器
(30)の解析データを上記RFフロントエンド部(5
1)の高周波特性の補正データで補正し演算し、Sパラ
メータを算出して表示器(31)に出力する演算手段
(54)と、 を具備することを特徴とするSパラメータ測定用スペク
トラムアナライザ。
A TG unit (4) which oscillates and outputs the same frequency as the analyzed frequency for analyzing the spectrum of an external frequency.
0), the output frequency of the TG section (40) is measured by the output terminal (5
7) A directional coupler (52) that outputs the signal from the output terminal (57) to the input switch (53).
An input switch (53) for switching between an input signal from an input terminal (58) and an input signal from the directional coupler (52) and inputting the input signal to the spectrum analyzer; and the directional coupler (52). And the input switch (5)
3) The memory (55) storing the high-frequency characteristics of the RF front-end unit (51) composed of: and the analysis data of the A / D converter (30) that A / D-converts the level of the analyzed frequency. RF front end (5
A spectrum analyzer for measuring S-parameters, comprising: a computing means (54) for compensating and computing with the high-frequency characteristic compensation data of (1), calculating S-parameters and outputting them to the display (31).
JP18112696A 1996-06-21 1996-06-21 Spectrum analyzer for measuring s parameter Pending JPH1010167A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18112696A JPH1010167A (en) 1996-06-21 1996-06-21 Spectrum analyzer for measuring s parameter
TW86104043A TW320685B (en) 1996-06-21 1997-03-28 Spectrum analyzer for measuring S parameter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18112696A JPH1010167A (en) 1996-06-21 1996-06-21 Spectrum analyzer for measuring s parameter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1010167A true JPH1010167A (en) 1998-01-16

Family

ID=16095328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18112696A Pending JPH1010167A (en) 1996-06-21 1996-06-21 Spectrum analyzer for measuring s parameter

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH1010167A (en)
TW (1) TW320685B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100627425B1 (en) * 1998-12-31 2007-03-02 주식회사 유니온금속 Method of fabricating fluid control valve
JP2009186323A (en) * 2008-02-06 2009-08-20 Advantest Corp Frequency characteristic measuring device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100627425B1 (en) * 1998-12-31 2007-03-02 주식회사 유니온금속 Method of fabricating fluid control valve
JP2009186323A (en) * 2008-02-06 2009-08-20 Advantest Corp Frequency characteristic measuring device

Also Published As

Publication number Publication date
TW320685B (en) 1997-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6529844B1 (en) Vector network measurement system
US6421624B1 (en) Multi-port device analysis apparatus and method and calibration method thereof
KR101904035B1 (en) Vectorial network analyser
US20020196033A1 (en) Probe tone S-parameter measurements
US4491783A (en) Apparatus for measuring noise factor and available gain
US6316945B1 (en) Process for harmonic measurement accuracy enhancement
US8314620B2 (en) Systems and methods for online phase calibration
US7315170B2 (en) Calibration apparatus and method using pulse for frequency, phase, and delay characteristic
EP0216941B1 (en) Apparatus for analysing two-channel transmission/reflection characteristics
US7002335B2 (en) Method for measuring a three-port device using a two-port vector network analyzer
US6448786B1 (en) Stimulus/response system and method for vector characterization of frequency translation devices
US7359814B1 (en) Multi-port analysis apparatus and method and calibration method thereof
US6608475B2 (en) Network analyzer using time sequenced measurements
US4839578A (en) Method for removing phase instabilities caused by flexure of cables in microwave network analyzer measurements
US20190391193A1 (en) An interferometric IQ-mixer/DAC solution for active, high speed vector network analyser impedance renormalization
Dunsmore Novel method for vector mixer characterization and mixer test system vector error correction
US6396287B1 (en) Process for measuring output harmonic relative to output fundamental with enhanced accuracy
EP0338333A1 (en) Spectrum analyzer having means for displaying spectrum data together with power value thereof
US6292000B1 (en) Process for harmonic measurement with enhanced phase accuracy
US6861846B2 (en) Distortion measurements with a vector network analyzer
JPH1010167A (en) Spectrum analyzer for measuring s parameter
Gaier et al. On-wafer testing of circuits through 220 GHz
Hale et al. Frequency response metrology for high-speed optical receivers
Siemann W-band vector network analyzer based on an audio lock-in amplifier
RU2039363C1 (en) Method of and device for inherent noise measurement

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20021126