JPH0996805A - Projection type display device and liquid crystal panel - Google Patents

Projection type display device and liquid crystal panel

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JPH0996805A
JPH0996805A JP8192448A JP19244896A JPH0996805A JP H0996805 A JPH0996805 A JP H0996805A JP 8192448 A JP8192448 A JP 8192448A JP 19244896 A JP19244896 A JP 19244896A JP H0996805 A JPH0996805 A JP H0996805A
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JP
Japan
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liquid crystal
crystal panel
light
thin film
substrate
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JP8192448A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirosada Horiguchi
宏貞 堀口
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the degradation in image grade and to obtain high quality, high luminance and high contrast by forming an antireflection film where the wavelength of light to minimize reflectivity exists on the surface of a polarizing plate, thereby lessening the light incident by the return light from the exit side of a TFT liquid crystal panel to the panel. SOLUTION: The luminous flux radiated from a light source 1 transmits the incident side polarizing plate 4 via a reflection plate 2 and is made into linearly polarized light which is then made incident on the TFT liquid crystal panel 5. The exit side polarizing plate 6 is stuck to the exit surface of the TFT liquid crystal panel 5 so as to come optically into tight contact therewith. The light transmitted through the TFT liquid crystal panel 5 is projected via an optical system 8 for projection to a screen. An antireflection film (the film in which the wavelength of the light to minimize the reflectivity exists between 400 to 500nm) which emphatically prevents the reflection of the surface reflection on the short wavelength side is formed on the surface of the exit side polarizing plate 6. As a result, the irradiation of the TFT panel with the light of the high sensitivity is made possible.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一対の基板間に液
晶を封入し、一方の基板内面に薄膜トランジスタ、それ
に接続された画素電極が形成されてなる液晶パネル(以
下、TFT液晶パネル)に関する。また、このTFT液
晶パネルをライトバルブとして用いた投写型表示装置に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal panel (hereinafter referred to as a TFT liquid crystal panel) in which liquid crystal is sealed between a pair of substrates and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are formed on the inner surface of one substrate. The present invention also relates to a projection display device using the TFT liquid crystal panel as a light valve.

【0002】[0002]

【従来の技術】TFT液晶パネルを用いてカラー画像を
投写表示するための投写型液晶表示装置としては、各種
のものが知られている。
2. Description of the Related Art Various types of projection type liquid crystal display devices for projecting and displaying a color image using a TFT liquid crystal panel are known.

【0003】図1には、一般的に使用されている投写型
液晶表示装置の光学系の構成を示してある。図におい
て、1は光源ランプであり、ここからの光は反射板2を
介して色分離光学系3の側に向けて出射される。色分離
光学系3は、ダイクロイックミラー31、32とミラー
33を備えている。ダイクロイックミラー31は、赤色
光束Rを透過するが、緑および青色光束G、Bを反射す
るものであり、他方のダイクロイックミラー32は緑色
光束Gを反射するが、青色光束Bを透過するものであ
る。これらの2枚のダイクロイックミラー31、32に
よって白色光束Wは、赤、緑、青の各色光束R、G、B
に分離される。分離された後の各色光束は、それぞれ入
射側偏光板41、42、43を透過し直線偏光になって
から各色に対応する3枚のTFT液晶パネル51、5
2、53に入射する。
FIG. 1 shows the configuration of an optical system of a projection type liquid crystal display device which is generally used. In the figure, 1 is a light source lamp, and the light from this is emitted toward the color separation optical system 3 side via a reflection plate 2. The color separation optical system 3 includes dichroic mirrors 31, 32 and a mirror 33. The dichroic mirror 31 transmits the red light flux R but reflects the green and blue light fluxes G and B, and the other dichroic mirror 32 reflects the green light flux G but transmits the blue light flux B. . These two dichroic mirrors 31 and 32 convert the white light flux W into the red, green, and blue color fluxes R, G, and B.
Is separated into The separated luminous fluxes of the respective colors are transmitted through the incident-side polarization plates 41, 42, 43 and become linearly polarized light, and then the three TFT liquid crystal panels 51, 5 corresponding to the respective colors.
It is incident on 2, 53.

【0004】各TFT液晶パネル51、52、53の出
射面にはそれぞれ出射側偏光板61、62、63が光学
的に密着するように貼り付けてあり、与えられた画像情
報に基づき、入射した光束を変調する。変調後の各色の
光束R、G、Bは、ダイクロイックミラー71、72と
ミラー73を備えた色合成光学系7に入射し、ここにお
いて合成される。合成された変調光束は投写レンズ光学
系8を介して、装置の外のスクリーンの表面に拡大投写
される。図1では、3枚のTFT液晶パネルと投写レン
ズ光学系との光学的距離が各色で異なっているように描
かれているが、実際の投写型表示装置ではそれらの距離
を等しくしている。なお、色合成光学系としては、図1
に示すようなダイクロイックミラーの代わりに、ダイク
ロイックプリズムを用いたプリズム光学系を用いたもの
も知られている。
Emission side polarization plates 61, 62 and 63 are attached to the emission surfaces of the respective TFT liquid crystal panels 51, 52 and 53 so as to be in close optical contact with each other, and the light is incident on the basis of given image information. Modulate the luminous flux. The modulated light fluxes R, G, and B of the respective colors enter the color combining optical system 7 including the dichroic mirrors 71 and 72 and the mirror 73, and are combined there. The combined modulated light flux is enlarged and projected on the surface of the screen outside the device via the projection lens optical system 8. In FIG. 1, the three TFT liquid crystal panels and the projection lens optical system are depicted as having different optical distances for each color, but in an actual projection display device, the distances are made equal. The color combining optical system shown in FIG.
It is also known that a prism optical system using a dichroic prism is used instead of the dichroic mirror as shown in FIG.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】TFT液晶パネルの各
画素の表示状態を制御するTFTに強い光が照射される
と、その光が照射されたTFTはリーク電流が増大す
る。TFTのリーク電流が増大すると、与えられた画像
信号に対応した正確な変調が実現できずスクリーン上に
拡大投写された画像の品位が著しく低下することにな
る。そのため、TFTより光源側にブラックマトリクス
等の光遮蔽手段が施され、TFTには光源からの光が直
接照射されないようになっている。
When the TFT for controlling the display state of each pixel of the TFT liquid crystal panel is irradiated with intense light, the TFT irradiated with the light has an increased leak current. If the leak current of the TFT increases, accurate modulation corresponding to a given image signal cannot be realized, and the quality of the image enlarged and projected on the screen is significantly deteriorated. Therefore, a light shielding means such as a black matrix is provided on the light source side of the TFT so that the TFT is not directly irradiated with the light from the light source.

【0006】しかしながら、TFT液晶パネルの出射側
表面で光が界面反射されるとTFTに光が照射されてし
まう。図2を参照して説明すると、TFT液晶パネル5
1の出射面には偏光板61が貼り合わされているが、こ
の偏光板61の出射面は空気界面となり、屈折率が大幅
に変化する界面なので、この面で、偏光板61から色合
成光学系のダイクロイックミラー71に向かう光束の一
部が反射されてしまう。この反射光R1はTFT液晶パ
ネル51の出射側からパネル内に入射する。これはTF
T液晶パネル52、TFT液晶パネル53でも同様であ
る。
However, if the light is interface-reflected on the emission side surface of the TFT liquid crystal panel, the TFT is irradiated with the light. Referring to FIG. 2, the TFT liquid crystal panel 5 will be described.
A polarizing plate 61 is attached to the exit surface of No. 1, but the exit surface of this polarizing plate 61 is an air interface, and the refractive index changes significantly. A part of the light beam traveling toward the dichroic mirror 71 is reflected. The reflected light R1 enters the panel from the emission side of the TFT liquid crystal panel 51. This is TF
The same applies to the T liquid crystal panel 52 and the TFT liquid crystal panel 53.

【0007】図9はコプラナー型のポリシリコンTFT
を用いたTFT液晶パネルの断面を示す図である。TF
T液晶パネルのTFT素子側基板501の上には、TF
Tのソース・ドレイン・チャネルとなるポリシリコン薄
膜504が形成され、このシリコン薄膜504上にはゲ
ート絶縁膜を介してゲート電極503が形成される。シ
リコン膜膜504のソースにはソース配線502が接続
され、ドレインには画素電極505が接続される。TF
T素子側基板と対向して配置されるガラス基板507に
は光を遮蔽するブラックマトリクス508と透明導電膜
(ITO)の対向電極509が形成されており、画素電
極505と対向電極509により液晶層506に電気信
号を印加することができるようになっている。投射型表
示装置の場合には液晶パネルへの入射光束はガラス基板
507側から液晶パネルに入射させるので。ブラックマ
トリクス508により遮光してTFTのチャネル部50
4には直接光は照射されない構造であるが、TFT素子
側基板からはチャネル部504は露出している。このた
め、TFT液晶パネルの出射面での反射光及び偏光板6
1の出射面での反射光が屈折して入射すると、TFTの
チャンネル部504に光が照射されるのでTFTのリー
ク電流が増大する。
FIG. 9 shows a coplanar type polysilicon TFT.
It is a figure which shows the cross section of the TFT liquid crystal panel using. TF
On the TFT element side substrate 501 of the T liquid crystal panel, TF
A polysilicon thin film 504 to be a source / drain channel of T is formed, and a gate electrode 503 is formed on the silicon thin film 504 via a gate insulating film. The source wiring 502 is connected to the source of the silicon film 504, and the pixel electrode 505 is connected to the drain. TF
A black matrix 508 that shields light and a counter electrode 509 of a transparent conductive film (ITO) are formed on a glass substrate 507 that is arranged to face the T element side substrate, and the pixel electrode 505 and the counter electrode 509 form a liquid crystal layer. An electric signal can be applied to 506. In the case of the projection type display device, the light flux incident on the liquid crystal panel is incident on the liquid crystal panel from the glass substrate 507 side. The channel portion 50 of the TFT is shielded by the black matrix 508.
4 is not directly irradiated with light, but the channel portion 504 is exposed from the TFT element side substrate. Therefore, the reflected light on the emission surface of the TFT liquid crystal panel and the polarizing plate 6
When the reflected light on the exit surface of No. 1 is refracted and enters, the channel portion 504 of the TFT is irradiated with the light, so that the leak current of the TFT increases.

【0008】一方、逆スタガー型のアモルファスシリコ
ンTFT液晶パネルは図10に示すような断面をしてい
る。TFT液晶パネルのTFT素子側基板501の上に
は、TFTのゲート電極503が形成され、このゲート
電極上にはゲート絶縁膜を介してチャネルとなるアモル
ファスシリコン膜504が形成されている。さらに、こ
のシリコン膜にはソース・ドレインとなるアモルファス
シリコン薄膜が形成され、ソースにはソース配線502
が接続され、ドレインには画素電極505が接続され
る。TFT素子側基板と対向して配置されるガラス基板
507には光を遮蔽するブラックマトリクス508と透
明導電膜(ITO)の対向電極509が形成されてお
り、画素電極505と対向電極509により液晶層50
6に電気信号を印加することができるようになってい
る。このタイプのTFTでは、ゲート電極503は光を
遮蔽する金属を用いているのが普通である。このため、
TFT液晶パネルの出射面及び偏光板61の出射面から
の反射光が入射しても、チャネル部504には直接光が
照射されない構造をしている。しかしながら、このよう
な場合であっても、反射光が屈折してTFTのソース・
ゲート端部には光が照射されるので、強い光がTFT液
晶パネルの出射面から入射するとTFTのリーク電流は
増大する。
On the other hand, an inverted stagger type amorphous silicon TFT liquid crystal panel has a cross section as shown in FIG. A TFT gate electrode 503 is formed on a TFT element side substrate 501 of a TFT liquid crystal panel, and an amorphous silicon film 504 which serves as a channel is formed on this gate electrode via a gate insulating film. Further, an amorphous silicon thin film serving as a source / drain is formed on this silicon film, and a source wiring 502 is formed on the source.
, And the pixel electrode 505 is connected to the drain. A black matrix 508 that shields light and a counter electrode 509 of a transparent conductive film (ITO) are formed on a glass substrate 507 that is arranged to face the TFT element side substrate. The pixel electrode 505 and the counter electrode 509 form a liquid crystal layer. Fifty
An electric signal can be applied to 6. In this type of TFT, the gate electrode 503 normally uses a metal that blocks light. For this reason,
Even if the reflected light from the emission surface of the TFT liquid crystal panel and the emission surface of the polarizing plate 61 enters, the channel portion 504 is not directly irradiated with the light. However, even in this case, the reflected light is refracted and the TFT source
Since light is irradiated to the end of the gate, the leak current of the TFT increases when strong light enters from the emission surface of the TFT liquid crystal panel.

【0009】どちらのTFTにおいても、TFTの下に
光遮蔽手段を形成する方法も提案されているが、プロセ
スの複雑化をさけ、開口率を確保する観点から種々の制
約を受け、ほとんどの投写型表示装置においては、TF
T液晶パネルの出射側表面での界面反射光を完全に防止
することはできていないのが現状である。
Although a method of forming a light shielding means under the TFT has been proposed for both TFTs, most projections are subject to various restrictions from the viewpoint of avoiding complication of the process and ensuring the aperture ratio. Type display device, TF
At present, it is not possible to completely prevent the interface reflected light on the emission side surface of the T liquid crystal panel.

【0010】このような界面反射を防止するために、一
般に、光学素子の界面に反射防止膜の表面処理が施され
る。ところで、投射型表示装置においては光源からの光
は液晶パネルに入射する前に赤外線や紫外線などの可視
光以外の成分は光学フィルターで除去されるのが普通で
ある。また、偏光板は400nmよりも短波長の光は殆
ど吸収してしまうので、反射防止膜は400nmよりも
長波長の可視光の全波長領域に対して反射率が零に近く
なるような特性にすることが望ましい。しかし、実際に
は可視光の全波長領域で反射率が零に近い反射防止膜を
作成することは非常に困難である。ところで、人間の目
の視感度は図3に示すような波長依存性を持つ。視感度
は550nmにピークがあり、これよりも短波長や長波
長では感度が低くなる。同じ光量の反射光でも視感度の
高い波長の光は目立ち易く、視感度の低い波長の光は目
立ち難い。このため、従来の反射防止膜の特性は目に見
える反射光が最少になるように、すなわち視感度の最も
高い550nm付近での反射率が最小になるように設計
されていた。このような反射防止膜は500nm付近か
ら600nm付近の波長の光に対しては反射防止の効果
が高いので界面反射を防止できるが、視感度が低い短波
長や長波長の光に対しては反射防止の効果が低く十分な
界面反射の防止ができなかった。
In order to prevent such interface reflection, the interface of the optical element is generally surface-treated with an antireflection film. By the way, in the projection type display device, it is usual that components other than visible light such as infrared rays and ultraviolet rays are removed by an optical filter before the light from the light source enters the liquid crystal panel. Further, since the polarizing plate almost absorbs light having a wavelength shorter than 400 nm, the antireflection film has a characteristic that the reflectance is close to zero in the whole wavelength region of visible light having a wavelength longer than 400 nm. It is desirable to do. However, in practice, it is very difficult to form an antireflection film having a reflectance close to zero in the entire visible wavelength region. By the way, the visibility of human eyes has wavelength dependence as shown in FIG. The visual sensitivity has a peak at 550 nm, and the sensitivity becomes lower at shorter wavelengths and longer wavelengths. Even with the same amount of reflected light, light having a wavelength with high visibility is easily noticeable, and light with a wavelength having low visibility is less noticeable. Therefore, the characteristics of the conventional antireflection film have been designed so that the visible reflected light is minimized, that is, the reflectance in the vicinity of 550 nm where the visibility is highest is minimized. Since such an antireflection film has a high antireflection effect for light with a wavelength of about 500 nm to about 600 nm, it can prevent interfacial reflection, but it does not reflect light with a short wavelength or a long wavelength with low visibility. The effect of prevention was low and it was not possible to sufficiently prevent interface reflection.

【0011】ところが、TFT液晶パネルのTFTのリ
ーク電流が増大しやすい波長の光と人間の目に見えやす
い光とは異なる。図4にトランジスタを構成するポリシ
リコンの吸収係数の波長依存性を示す。ここで紫外線を
含む400nmよりも短波長の光は偏光板が殆ど吸収し
てしまい、実際には問題にならないので図に記載してな
い。図4より吸収係数は短波長の光ほど大きく、波長が
長くなるにしたがって単調に小さくなっている。このこ
とから、TFTは短波長ほど少ない光量でリーク電流が
増大することがわかる。
However, light having a wavelength that tends to increase the leak current of the TFT of the TFT liquid crystal panel is different from light that is easily visible to human eyes. FIG. 4 shows the wavelength dependence of the absorption coefficient of polysilicon forming the transistor. Here, since light having a wavelength shorter than 400 nm including ultraviolet rays is absorbed by the polarizing plate and does not actually pose a problem, it is not shown in the figure. From FIG. 4, the absorption coefficient increases as the wavelength of light decreases, and decreases monotonically as the wavelength increases. From this, it is understood that the shorter the wavelength of the TFT, the more the leak current increases with a smaller amount of light.

【0012】したがって、従来の反射防止膜では視感度
が低い短波長の光に対しては反射防止の効果が小さいの
で、光によるTFT液晶パネルのトランジスタのリーク
電流が増大する不具合を防止するための効果的な反射防
止ができないのが実状である。
Therefore, since the conventional antireflection film has a small antireflection effect for light of short wavelength having low luminosity, it is possible to prevent the problem that the leak current of the transistor of the TFT liquid crystal panel increases due to the light. The reality is that effective antireflection is not possible.

【0013】ここで、このような反射光R1の量は、当
然ではあるが、TFT液晶パネルへの照射照度が高まれ
ば、それに応じて多くなる。光源の光強度を高めてTF
T液晶パネルの照射照度を高めれば、それだけスクリー
ン上での投写画像の照度が高まるので、明るい室内等に
おいても高輝度及び高コントラスト比の画像を投写する
ことができる。したがって、スクリーン照度を高めるた
めにも、TFT液晶パネルに対して短波長の光の逆方向
からの入射を防止する必要がある。
Here, the amount of such reflected light R1 naturally increases as the irradiation illuminance on the TFT liquid crystal panel increases. TF by increasing the light intensity of the light source
The higher the irradiation illuminance of the T liquid crystal panel, the higher the illuminance of the projected image on the screen, so that an image with high brightness and high contrast ratio can be projected even in a bright room. Therefore, in order to increase the screen illuminance, it is necessary to prevent short wavelength light from entering the TFT liquid crystal panel from the opposite direction.

【0014】本発明の課題は、この点に着目して、TF
T液晶パネルに対してその出射側からの戻り光による光
入射を低減させて画像品位の低下を防止することのでき
る高品位の投写型液晶表示装置を提案することにある。
The problem of the present invention is to pay attention to this point,
It is an object of the present invention to propose a high-quality projection liquid crystal display device capable of preventing the deterioration of image quality by reducing the incidence of light on the T liquid crystal panel due to the return light from its emission side.

【0015】また、本発明の課題は、TFT液晶パネル
に対してその出射側からの戻り光による光入射のうちT
FTのリーク電流を増大させる効果の高い短波長の波長
成分の光を重点的に低減させて、高輝度及び高コントラ
スト比の投写画像を実現することのできる投写型液晶表
示装置を提案することにある。
Another object of the present invention is to provide a T liquid crystal panel with T out of the light incident on the TFT liquid crystal panel due to the return light from its emission side.
To propose a projection-type liquid crystal display device capable of realizing a projected image with high brightness and high contrast ratio by intensively reducing light having a short wavelength component having a high effect of increasing the leak current of FT. is there.

【0016】さらに、本発明の課題は、そのような高品
位、高輝度、高コントラストの投写型表示装置のライト
バルブとして最適な液晶パネルを提案することにある。
A further object of the present invention is to propose a liquid crystal panel which is optimal as a light valve for such a high quality, high brightness, high contrast projection display device.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、光源と、該光源からの入射光束を変調して出射光
束として出射する液晶パネルと、該出射光束をスクリー
ン上に拡大投写するための投写光学手段とを有する投写
型表示装置において、前記液晶パネルは、一対の基板間
に液晶が封入され、一方の該基板の内面に薄膜トランジ
スタと、該薄膜トランジスタに接続された画素電極とを
配置してなり、且つ出射側の該基板の外側に偏光板を配
置してなり、前記液晶パネルは、前記偏光板の表面に、
反射率が最小となる光の波長が400nmから500n
mの間に存在する反射防止膜が形成されてなることを特
徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a light source, a liquid crystal panel which modulates an incident light beam from the light source and emits it as an outgoing light beam, and the outgoing light beam is enlarged and projected on a screen. In the projection type display device having a projection optical means for the liquid crystal panel, liquid crystal is sealed between a pair of substrates, and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of one of the substrates. And a polarizing plate is arranged outside the substrate on the exit side, and the liquid crystal panel is provided on the surface of the polarizing plate.
The wavelength of light for which the reflectance is minimum is 400 nm to 500 n
It is characterized in that an antireflection film existing between m is formed.

【0018】また、光源と、該光源からの入射光束を変
調して出射光束として出射する液晶パネルと、該出射光
束をスクリーン上に拡大投写するための投写光学手段と
を有する投写型表示装置において、前記液晶パネルは、
一対の基板間に液晶が封入され、出射側の該基板の内面
に薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続され
た画素電極とを配置してなり、且つ該出射側の基板の外
側に偏光板を配置してなり、前記液晶パネルは、前記偏
光板の表面に、反射率が最小となる光の波長が400n
mから500nmの間に存在する反射防止膜が形成され
てなることを特徴とする。
Further, in a projection type display device having a light source, a liquid crystal panel which modulates an incident light flux from the light source and emits it as an outgoing light flux, and projection optical means for enlarging and projecting the outgoing light flux on a screen. , The liquid crystal panel,
A liquid crystal is sealed between a pair of substrates, a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of the substrate on the emission side, and a polarizing plate is arranged on the outside of the substrate on the emission side. In the liquid crystal panel, the wavelength of light having the minimum reflectance is 400 n on the surface of the polarizing plate.
It is characterized in that an antireflection film existing between m and 500 nm is formed.

【0019】さらに、光源と、該光源からの入射光束を
変調して出射光束として出射する液晶パネルと、該出射
光束をスクリーン上に拡大投写するための投写光学手段
とを有する投写型表示装置において、前記液晶パネル
は、一対の基板間に液晶が封入され、一方の該基板の内
面に薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続さ
れた画素電極とを配置してなり、且つ出射側の該基板の
外表面に、反射率が最小となる光の波長が400nmか
ら500nmの間に存在する反射防止膜が形成されてな
ることを特徴とする。
Further, in a projection display device having a light source, a liquid crystal panel that modulates an incident light beam from the light source and emits it as an emitted light beam, and projection optical means for enlarging and projecting the emitted light beam on a screen. In the liquid crystal panel, liquid crystal is sealed between a pair of substrates, a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on an inner surface of the one substrate, and an outer surface of the substrate on the emission side. In addition, it is characterized in that an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm is formed.

【0020】さらに、光源と、該光源からの入射光束を
変調して出射光束として出射する液晶パネルと、該出射
光束をスクリーン上に拡大投写するための投写光学手段
とを有する投写型表示装置において、前記液晶パネル
は、一対の基板間に液晶が封入され、出射側の該基板の
内面に薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続
された画素電極とを配置してなり、且つ該出射側の基板
の外表面に、反射率が最小となる光の波長が400nm
から500nmの間に存在する反射防止膜が形成されて
なることを特徴とする。
Further, in a projection display device having a light source, a liquid crystal panel which modulates an incident light beam from the light source and emits it as an emitted light beam, and projection optical means for enlarging and projecting the emitted light beam on a screen. In the liquid crystal panel, liquid crystal is sealed between a pair of substrates, a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of the substrate on the emission side, and the substrate on the emission side is outside. The wavelength of the light with the minimum reflectance is 400 nm on the surface.
To 500 nm, an antireflection film is formed.

【0021】また、互いに対向するように配置された一
対の基板間に液晶が封入され、一方の該基板の内面には
薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続された
画素電極とを配置してなり、出射側の該基板の外側の面
に偏光板を有する液晶パネルにおいて、前記偏光板の表
面には、反射率が最小となる光の波長が400nmから
500nmの間に存在する反射防止膜が形成されてなる
ことを特徴とする。
Liquid crystal is sealed between a pair of substrates arranged so as to face each other, and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of one of the substrates to emit light. In a liquid crystal panel having a polarizing plate on the outer surface of the substrate, an antireflection film having a minimum reflectance of 400 nm to 500 nm is formed on the surface of the polarizing plate. It is characterized by

【0022】さらに、互いに対向するように配置された
一対の基板間に液晶が封入され、一方の該基板の内面に
は薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続され
た画素電極とを配置し、該一対の基板の外側の面には偏
光板を配置してなる液晶パネルにおいて、前記偏光板の
表面には、反射率が最小となる光の波長が400nmか
ら500nmの間に存在する反射防止膜が形成されてな
ることを特徴とする。
Further, liquid crystal is sealed between a pair of substrates arranged so as to face each other, and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of one of the substrates, and the pair of substrates are connected to each other. In a liquid crystal panel in which a polarizing plate is arranged on the outer surface of the substrate, an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm is formed on the surface of the polarizing plate. It is characterized by

【0023】さらにまた、互いに対向するように配置さ
れた一対の基板間に液晶が封入され、一方の該基板の内
面には薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続
された画素電極とを配置してなる液晶パネルにおいて、
前記一方の基板の外表面には、反射率が最小となる光の
波長が400nmから500nmの間に存在する反射防
止膜が形成されてなることを特徴とする。
Furthermore, liquid crystal is enclosed between a pair of substrates arranged so as to face each other, and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of one of the substrates. In the panel,
On the outer surface of the one of the substrates, an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm is formed.

【0024】さらにまた、前記薄膜トランジスタは、前
記基板内面にチャネルとなるシリコン薄膜が形成され、
該シリコン薄膜上にゲート絶縁膜を介してゲート電極が
形成されて構成であることを特徴とする。
Further, in the thin film transistor, a silicon thin film serving as a channel is formed on the inner surface of the substrate,
It is characterized in that a gate electrode is formed on the silicon thin film via a gate insulating film.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明を
説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings.

【0026】(実施例1)図5は、本発明の第1の実施
例として、図9又は図10に示す1枚の透過型TFT液
晶パネルを用いた投写型液晶表示装置を示す図である。
本装置では、光源1から放射される光束は、反射板2を
介して入射側偏光板4を透過し直線偏光になったのちに
TFT液晶パネル5に入射する。TFT液晶パネル5の
出射面には出射側偏光板6を光学的に密着するように貼
り合わせてある。TFT液晶パネルを透過した光は投写
用光学系8を介してスクリーンに投影される。TFT液
晶パネル5の出射面は出射側偏光板6の出射面であり空
気との界面である。この界面に反射防止の処理を行わな
いときは、その表面反射は図6に示すように可視光全域
で平均約4.5%であった。スクリーンに投影される画
像を調べたところ、この状態ではTFT液晶パネル5の
照射照度が約60万ルクス以上になると界面反射による
TFT液晶パネル5への戻り光によりTFTのリーク電
流が増大し映像に不具合が発生することが確認された。
(Embodiment 1) FIG. 5 is a diagram showing a projection type liquid crystal display device using a single transmission type TFT liquid crystal panel shown in FIG. 9 or 10 as a first embodiment of the present invention. .
In this device, the light flux emitted from the light source 1 passes through the incident side polarization plate 4 via the reflection plate 2 to become linearly polarized light, and then enters the TFT liquid crystal panel 5. An emission side polarization plate 6 is attached to the emission surface of the TFT liquid crystal panel 5 so as to be in close optical contact. The light transmitted through the TFT liquid crystal panel is projected on the screen via the projection optical system 8. The emission surface of the TFT liquid crystal panel 5 is the emission surface of the emission side polarization plate 6 and is the interface with the air. When no antireflection treatment was applied to this interface, the surface reflection was about 4.5% on average in the entire visible light range, as shown in FIG. When the image projected on the screen was examined, when the irradiation illuminance of the TFT liquid crystal panel 5 was about 600,000 lux or more in this state, the leak current of the TFT increased due to the returning light to the TFT liquid crystal panel 5 due to the interface reflection, and the image was displayed. It was confirmed that a defect would occur.

【0027】次に出射側偏光板6を従来の一般的な反射
防止膜を出射面に形成した偏光板に取り替えて同様の確
認を行った。この偏光板表面の反射率は図7に示すよう
に視感度の高い550nmの周辺の波長の光に対しては
反射率がほとんど0.2%以下に抑えられている。しか
し、視感度の低い短波長や長波長の光に対しては反射防
止の効果が低い。スクリーンに投影される画像を調べた
ところ、TFT液晶パネル5の照射照度が約200万ル
クス以上になると界面反射によるTFT液晶パネル5へ
の戻り光によりTFTのリーク電流が増大し画像に不具
合が発生することが確認された。
Then, the outgoing side polarizing plate 6 was replaced with a polarizing plate having a conventional general antireflection film formed on the outgoing surface, and the same confirmation was carried out. As shown in FIG. 7, the reflectance of the surface of the polarizing plate is suppressed to almost 0.2% or less with respect to the light having a wavelength of 550 nm around which visibility is high. However, the effect of preventing reflection is low for short-wavelength and long-wavelength light having low visibility. When the image projected on the screen was examined, when the illumination intensity of the TFT liquid crystal panel 5 became about 2,000,000 lux or more, the leak current of the TFT increased due to the returning light to the TFT liquid crystal panel 5 due to the interface reflection, and the image defect occurred. It was confirmed to do.

【0028】次に出射側偏光板6を表面反射が図8に示
すように短波長側の反射を重点的に防止する反射防止膜
(反射率が最小となる光の波長が400nm〜500n
mの間に存在する膜)を、光出射面に形成した偏光板に
取り替えて同様の確認を行った。この偏光板表面の反射
率は図7に示す反射防止膜の特性に比べて視感度の高い
550nmの周辺の波長の光に対しては反射防止の効果
が低いが、スクリーンに投影される画像を調べたとこ
ろ、TFT液晶パネル5の照射照度が約330万ルクス
まで界面反射によるTFT液晶パネルへの戻り光による
TFTのリーク電流の増大による画像の不具合は確認さ
れなかった。なお、TFT素子側基板501と出射側偏
光板6との界面での反射が問題になる場合には、偏光板
の光入射面側表面又は基板501の出射側表面に上記反
射防止膜を形成してもよい。
Next, as shown in FIG. 8, the output side polarizing plate 6 is provided with an antireflection film for mainly preventing reflection on the short wavelength side (light having a minimum reflectance of 400 nm to 500 n).
The film existing between m) was replaced with a polarizing plate formed on the light emitting surface, and the same confirmation was performed. The reflectance of the surface of the polarizing plate has a lower anti-reflection effect for light having a peripheral wavelength of 550 nm, which has higher visibility than the characteristics of the anti-reflection film shown in FIG. As a result of the examination, no defect in the image due to an increase in the leak current of the TFT due to the returning light to the TFT liquid crystal panel due to the interface reflection up to the irradiation illuminance of the TFT liquid crystal panel 5 of about 3.3 million lux was not confirmed. When reflection at the interface between the TFT element side substrate 501 and the emission side polarization plate 6 poses a problem, the antireflection film is formed on the light incident surface side surface of the polarization plate or the emission side surface of the substrate 501. May be.

【0029】本発明の投写型に晶表示装置は、従来の一
般的な装置と比較してTFT液晶パネルの照射照度を約
1.5倍にしても、TFTパネルへの反射光による悪影
響を防止できることが確認された。本発明の実施例では
従来よりも高照度の光をTFTパネルに照射することが
可能となり、これにより従来よりも高輝度かつ高コント
ラスト比の投写画像をスクリーン上に再現することが可
能となった。
The projection type crystal display device of the present invention prevents the adverse effect of reflected light on the TFT panel even when the irradiation illuminance of the TFT liquid crystal panel is increased by about 1.5 times as compared with the conventional general device. It was confirmed that it was possible. In the embodiment of the present invention, it is possible to irradiate the TFT panel with light having a higher illuminance than before, and thus it is possible to reproduce on the screen a projected image having higher brightness and higher contrast ratio than before. .

【0030】(実施例2)図1は、本発明の第2の実施
例として、図9又は図10に示す透過型TFT液晶パネ
ルを3枚用いた投写型液晶表示を示す図である。図にお
いて、1は光源ランプであり、ここからの光は反射板2
を介して色分離光学系3の側に向けて出射される。色分
離光学系3は、ダイクロイックミラー31、32とミラ
ー33を備えている。ダイクロイックミラー31は、赤
色光束Rを透過するが、緑および青色光束G、Bを反射
するものであり、他方のダイクロイックミラー32は緑
色光束Gを反射するが、青色光束Bを透過するものであ
る。これらの2枚のダイクロイックミラー31、32に
よって白色光束Wは、赤、緑、青の各色光束R、G、B
に分離される。分離された後の各色光束は、それぞれ入
射側偏光板41、42、43を透過し直線偏光になって
から各色に対応する3枚のTFT液晶パネル51、5
2、53に入射する。
(Embodiment 2) FIG. 1 is a diagram showing a projection type liquid crystal display using three transmission type TFT liquid crystal panels shown in FIG. 9 or 10 as a second embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a light source lamp, and the light from this is a reflector plate 2.
The light is emitted toward the color separation optical system 3 side via. The color separation optical system 3 includes dichroic mirrors 31, 32 and a mirror 33. The dichroic mirror 31 transmits the red light flux R but reflects the green and blue light fluxes G and B, and the other dichroic mirror 32 reflects the green light flux G but transmits the blue light flux B. . These two dichroic mirrors 31 and 32 convert the white light flux W into the red, green, and blue color fluxes R, G, and B.
Is separated into The separated luminous fluxes of the respective colors are transmitted through the incident-side polarization plates 41, 42, 43 and become linearly polarized light, and then the three TFT liquid crystal panels 51, 5 corresponding to the respective colors.
It is incident on 2, 53.

【0031】各TFT液晶パネル51、52、53の出
射面にはそれぞれ表面反射が図8に示すように短波長側
の反射を重点的に防止する反射防止膜(反射率が最小と
なる光の波長が400nm〜500nmの間に存在する
膜)を、光出射面に形成した出射側偏光板61、62、
63が光学的に密着するように貼り付けてあり、与えら
れた画像情報に基づき、入射した光束を変調する。変調
後の各色の光束R、G、Bは、ダイクロイックミラー7
1、72とミラー73を備えた色合成光学系7に入射
し、ここにおいて合成される。合成された変調光束は投
写レンズ光学系8を介して、装置の外のスクリーンの表
面に拡大投写される。なお、TFT素子側基板501と
出射側偏光板6との界面での反射が問題になる場合に
は、偏光板の光入射面側表面又は基板501の出射側表
面に上記反射防止膜を形成してもよい。
As shown in FIG. 8, the emission surfaces of the TFT liquid crystal panels 51, 52 and 53 each have an antireflection film (surface of reflection) which mainly prevents reflection on the short wavelength side (light having a minimum reflectance). A film existing in the wavelength range of 400 nm to 500 nm) is formed on the light emission surface, and the emission side polarization plates 61, 62,
63 is attached so as to be optically in close contact with each other, and the incident light flux is modulated based on the given image information. The modulated light fluxes R, G, B of the respective colors are transmitted to the dichroic mirror 7.
The light enters the color combining optical system 7 including the mirrors 1, 72 and the mirror 73 and is combined there. The combined modulated light flux is enlarged and projected on the surface of the screen outside the device via the projection lens optical system 8. When reflection at the interface between the TFT element side substrate 501 and the emission side polarization plate 6 poses a problem, the antireflection film is formed on the light incident surface side surface of the polarization plate or the emission side surface of the substrate 501. May be.

【0032】従来の投写型液晶表示装置では光源1の光
量を大きくしていくと、TFT液晶パネルへの反射光が
原因となり表示に不具合が発生する。この不具合は短波
長側の光を有する青色光束を変調するTFT液晶パネル
53が最初に発生する。このため光源1の光量はTFT
液晶パネル53で不具合の発生しない範囲で制限する必
要があった。
In the conventional projection type liquid crystal display device, if the light amount of the light source 1 is increased, the display light is defective due to the reflected light to the TFT liquid crystal panel. This defect first occurs in the TFT liquid crystal panel 53 that modulates the blue light flux having the light on the short wavelength side. Therefore, the light amount of the light source 1 is
It was necessary to limit the liquid crystal panel 53 to the extent that no problem occurred.

【0033】本発明の投写型液晶表示装置ではTFT液
晶パネル53の照射照度を従来の約3倍にしても、反射
光による悪影響を防止できることが確認された。このた
め従来よりも高照度の光をTFT液晶パネルに照射する
ことが可能となり、従来よりも高輝度かつ高コントラス
ト比の投写画像をスクリーン上に再現することが可能と
なった。なお、本発明では、短波長側の光を変調する液
晶パネルによって問題が発生しやすいので、青色光を変
調するTFT液晶パネル53の出射側偏光板63だけに
上記反射防止膜を形成することにより、コストダウンを
図ることもできる。
It was confirmed that in the projection type liquid crystal display device of the present invention, even if the irradiation illuminance of the TFT liquid crystal panel 53 is about three times as high as the conventional one, the adverse effect of reflected light can be prevented. Therefore, it is possible to irradiate the TFT liquid crystal panel with light having a higher illuminance than before, and it is possible to reproduce a projected image with higher brightness and higher contrast ratio on the screen than before. In the present invention, since a liquid crystal panel that modulates light on the short wavelength side easily causes a problem, by forming the antireflection film only on the exit side polarization plate 63 of the TFT liquid crystal panel 53 that modulates blue light. It is also possible to reduce the cost.

【0034】なお、以上の実施例では、TFT液晶パネ
ルとしてその出射側の表面に偏光板が形成されているも
のを例にとって説明したが、出射側偏光板(検光子)が
TFT液晶パネルと分離して構成されている投写型表示
装置や偏光板を用いない投写型表示装置などの場合に
は、TFT液晶パネルの基板の出射側の表面に、反射率
が最小となる光の波長が400nmから500nmの間
に存在する反射防止膜を形成することにより、同様の効
果を有する。
In the above embodiments, the TFT liquid crystal panel having a polarizing plate formed on its output side surface has been described as an example, but the output side polarizing plate (analyzer) is separated from the TFT liquid crystal panel. In the case of a projection type display device or a projection type display device that does not use a polarizing plate, the surface of the TFT liquid crystal panel substrate on the emission side has a wavelength of light with a minimum reflectance of 400 nm. The same effect can be obtained by forming the antireflection film existing between 500 nm.

【0035】また、TFT液晶パネルの基板内面に、光
出射側からの反射光を遮光する遮光膜を形成したTFT
液晶パネルであっても、遮光部は開口率を向上するため
に大きくできないので、界面からの屈折した反射光がT
FT素子まで達しやすい。従って、このようなパネルで
あっても、パネル基板の出射側表面に、反射率が最小と
なる光の波長が400nm〜500nmの間に存在する
反射防止膜を形成することにより、同様の効果を得るこ
とができる。
Further, a TFT in which a light shielding film for shielding the reflected light from the light emitting side is formed on the inner surface of the substrate of the TFT liquid crystal panel
Even in a liquid crystal panel, the light-shielding portion cannot be made large in order to improve the aperture ratio, so that the reflected light refracted from the interface is T
Easy to reach the FT element. Therefore, even in such a panel, the same effect can be obtained by forming an antireflection film on the emission side surface of the panel substrate, where the wavelength of the light having the minimum reflectance is 400 nm to 500 nm. Obtainable.

【0036】(実施例3)図11は、本発明の第3の実
施例として、図9又は図10に示すTFT液晶パネルを
3枚用いた投写型液晶表示を示す図である。図におい
て、1は光源ランプであり、ここからの光は反射板2に
より反射され、熱線カットフィルター601により赤外
域の熱線がカットされ、色分離光学系側に向けて出射さ
れる。色分離光学系は、ダイクロイックミラー602、
603を備えている。ダイクロイックミラー602は、
青色反射ダイクロイックミラーであり、青色光束(おお
むね500nm以下の波長)を反射し、その他の光(黄
色光)を透過する。反射した青色光束は反射ミラー60
4により方向を変え、青色光束を変調するTFT液晶パ
ネル53に入射される。ダイクロイックミラー602を
透過した光は、緑色反射ダイクロイックミラーに入射
し、緑色光束(おおむね500nm〜600nmの間の
波長の光)を反射し、その他の光である赤色光束(おお
むね600nm以上の波長の光)を透過する。反射した
緑色光は、緑色光束を変調するTFT液晶パネル52に
入射される。ダイクロイックミラー603を透過した赤
色光束は、反射ミラー605、606により方向を変
え、赤色光束を変調するTFT液晶パネル51に入射さ
れる。各色光は、それぞれの透過型TFT液晶パネルに
より変調され、ダイクロイックプリズムによって合成さ
れる。ダイクロイックプリズムは、青色光反射面60
7、赤色光反射面608とが互いに直交するように構成
されている。こうして合成されたカラー画像は、投写レ
ンズ8によってスクリーンに拡大投写される。
(Embodiment 3) FIG. 11 is a diagram showing a projection type liquid crystal display using three TFT liquid crystal panels shown in FIG. 9 or 10 as a third embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a light source lamp, light from which is reflected by a reflection plate 2, heat rays in the infrared region are cut by a heat ray cut filter 601, and emitted toward the color separation optical system side. The color separation optical system includes a dichroic mirror 602,
603 is provided. Dichroic mirror 602
A blue reflection dichroic mirror that reflects a blue light flux (wavelength of about 500 nm or less) and transmits other light (yellow light). The reflected blue luminous flux is reflected by the reflection mirror 60.
The incident light is incident on the TFT liquid crystal panel 53 that changes the direction by 4 and modulates the blue light flux. The light transmitted through the dichroic mirror 602 enters the green reflection dichroic mirror, reflects the green light flux (light having a wavelength of approximately 500 nm to 600 nm), and the other light, the red light flux (light having a wavelength of approximately 600 nm or more). ) Through. The reflected green light is incident on the TFT liquid crystal panel 52 that modulates the green light flux. The red light flux that has passed through the dichroic mirror 603 changes its direction by the reflection mirrors 605 and 606 and is incident on the TFT liquid crystal panel 51 that modulates the red light flux. Each color light is modulated by each transmissive TFT liquid crystal panel and combined by a dichroic prism. The dichroic prism has a blue light reflecting surface 60.
7. The red light reflection surface 608 is configured to be orthogonal to each other. The color image thus combined is enlarged and projected on the screen by the projection lens 8.

【0037】各TFT液晶パネル51、52、53の入
射側にはそれぞれ入射側偏光板41、42、43が密着
されて貼り合わされている。一方、パネルの出射面には
それぞれ表面反射が図8に示すように短波長側の反射を
重点的に防止する反射防止膜(反射率が最小となる光の
波長が400nm〜500nmの間に存在する膜)を、
光出射面に形成した出射側偏光板61、62、63が光
学的に密着するように貼り付けてあり、与えられた画像
情報に基づき、入射した光束を変調する。なお、TFT
素子側基板501と出射側偏光板6との界面での反射が
問題になる場合には、偏光板の光入射面側表面又は基板
501の出射側表面に上記反射防止膜を形成してもよ
い。
Incident-side polarization plates 41, 42, and 43 are closely attached to the incident sides of the TFT liquid crystal panels 51, 52, and 53, respectively. On the other hand, on the emission surface of the panel, as shown in FIG. 8, each surface has an antireflection film that intensively prevents reflection on the short wavelength side (the light having the minimum reflectance exists between 400 nm and 500 nm). Membrane)
The emission side polarization plates 61, 62, 63 formed on the light emission surface are attached so as to be in close optical contact with each other, and the incident light flux is modulated based on the given image information. In addition, TFT
When reflection at the interface between the element-side substrate 501 and the exit-side polarizing plate 6 poses a problem, the antireflection film may be formed on the light-incident surface of the polarizing plate or the exit-side surface of the substrate 501. .

【0038】従来の投写型液晶表示装置では光源1の光
量を大きくしていくと、TFT液晶パネルへの反射光が
原因となり表示に不具合が発生する。この不具合は短波
長側の光を有する青色光束を変調するTFT液晶パネル
53が最初に発生する。このため光源1の光量はTFT
液晶パネル53で不具合の発生しない範囲で制限する必
要があった。
In the conventional projection type liquid crystal display device, when the amount of light of the light source 1 is increased, the light reflected by the TFT liquid crystal panel causes the display defect. This defect first occurs in the TFT liquid crystal panel 53 that modulates the blue light flux having the light on the short wavelength side. Therefore, the light amount of the light source 1 is
It was necessary to limit the liquid crystal panel 53 to the extent that no problem occurred.

【0039】本発明の投写型液晶表示装置ではTFT液
晶パネル53の照射照度を従来の約3倍にしても、反射
光による悪影響を防止できることが確認された。このた
め従来よりも高照度の光をTFT液晶パネルに照射する
ことが可能となり、従来よりも高輝度かつ高コントラス
ト比の投写画像をスクリーン上に再現することが可能と
なった。なお、本発明では、短波長側の光を変調する液
晶パネルによって問題が発生しやすいので、青色光を変
調するTFT液晶パネル53の出射側偏光板63だけに
上記反射防止膜を形成することにより、コストダウンを
図ることもできる。
It has been confirmed that, in the projection type liquid crystal display device of the present invention, even if the irradiation illuminance of the TFT liquid crystal panel 53 is about three times as high as the conventional one, the adverse effect of reflected light can be prevented. Therefore, it is possible to irradiate the TFT liquid crystal panel with light having a higher illuminance than before, and it is possible to reproduce a projected image with higher brightness and higher contrast ratio on the screen than before. In the present invention, since a liquid crystal panel that modulates light on the short wavelength side easily causes a problem, by forming the antireflection film only on the exit side polarization plate 63 of the TFT liquid crystal panel 53 that modulates blue light. It is also possible to reduce the cost.

【0040】また、ダイクロイックプリズムの入射表面
に、上記反射防止膜を形成し、プリズムの入射面からの
反射光によるTFT素子での光リークを防止することも
できる。なお、この場合も、青色光を入射するダイクロ
イックプリズムの入射面だけに上記反射防止膜を形成し
て、コストダウンを図ることもできる。
Further, by forming the antireflection film on the incident surface of the dichroic prism, it is possible to prevent light leakage in the TFT element due to the reflected light from the incident surface of the prism. Also in this case, it is possible to reduce the cost by forming the antireflection film only on the incident surface of the dichroic prism on which blue light is incident.

【0041】また、以上の実施例では、TFTが出射側
基板の内側の面に形成されているものを例にとって説明
したが、TFTが入射側基板の内側の面に形成されてい
るものでも、同様の効果を有する。
Further, in the above-mentioned embodiments, the case where the TFT is formed on the inner surface of the emission side substrate has been described as an example, but even if the TFT is formed on the inner surface of the incident side substrate, It has the same effect.

【0042】また、TFT液晶パネルの基板内面に、光
出射側からの反射光を遮光する遮光膜を形成したTFT
液晶パネルであっても、遮光部は開口率を向上するため
に大きくできないので、界面からの屈折した反射光がT
FT素子まで達しやすい。従って、このようなパネルで
あっても、パネル基板の出射側表面に、反射率が最小と
なる光の波長が400nm〜500nmの間に存在する
反射防止膜を形成することにより、同様の効果を得るこ
とができる。
Further, a TFT in which a light-shielding film which shields the reflected light from the light emitting side is formed on the inner surface of the substrate of the TFT liquid crystal panel.
Even in a liquid crystal panel, the light-shielding portion cannot be made large in order to improve the aperture ratio.
Easy to reach the FT element. Therefore, even in such a panel, the same effect can be obtained by forming an antireflection film on the emission side surface of the panel substrate, where the wavelength of the light having the minimum reflectance is 400 nm to 500 nm. Obtainable.

【0043】また、以上の実施例では、TFT液晶パネ
ルとして、投写型表示装置のライトバルブとして用いる
TFT液晶パネルを例にとって説明したが、直視型のT
FT液晶パネルの場合であっても、同様の効果があり、
開口率をぎりぎりまで大きくした明るいTFT液晶パネ
ルの場合に特に効果がある。
In the above embodiments, the TFT liquid crystal panel is used as an example of a TFT liquid crystal panel used as a light valve of a projection display device.
Even in the case of FT liquid crystal panel, there are similar effects,
It is particularly effective in the case of a bright TFT liquid crystal panel whose aperture ratio is as large as possible.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の投写型表
示装置は、TFT液晶パネルの出射側の表面に、反射率
が最小となる光の波長が400nmから500nmの間
に存在する反射防止膜を形成している。したがって、T
FT液晶パネルの出射面の界面反射光が入射してTFT
のリーク電流が増大することを抑制できるので、より強
い光をTFT液晶パネルに照射することができる。これ
により、高輝度、高コントラスト比を有すると共に、色
再現性の優れた高品位の投写映像を実現することができ
る。
As described above, in the projection display device of the present invention, the reflection prevention which exists on the surface of the emission side of the TFT liquid crystal panel where the light having the minimum reflectance exists between 400 nm and 500 nm. Forming a film. Therefore, T
The light reflected from the interface of the emission surface of the FT liquid crystal panel enters the TFT.
Since it is possible to suppress an increase in the leak current, the TFT liquid crystal panel can be irradiated with stronger light. As a result, it is possible to realize a high-quality projected image having high brightness and a high contrast ratio and excellent color reproducibility.

【0045】また、本発明のTFT液晶パネルは、液晶
パネルの出射側表面には、反射率が最小となる光の波長
が400nmから500nmの間に存在する反射防止膜
が形成されている。したがって、TFT液晶パネルの出
射面の界面反射光が入射してTFTのリーク電流が増大
してしまうことを抑制できるので、より強い光をTFT
液晶パネルに照射することができる。これにより、高輝
度、高コントラスト比を有すると共に、色再現性の優れ
た高品位の画像を実現することができる。また、このT
FT液晶パネルを投写型表示装置のライトバルブに用い
た場合には、その投写型表示装置の高輝度化、高コント
ラスト化、高品位化に資することができる。
Further, in the TFT liquid crystal panel of the present invention, an antireflection film having a minimum reflectance of 400 nm to 500 nm is formed on the surface of the liquid crystal panel on the emission side. Therefore, it is possible to prevent the interface reflection light on the emission surface of the TFT liquid crystal panel from entering and increase the leak current of the TFT, so that stronger light is emitted to the TFT.
The liquid crystal panel can be illuminated. Accordingly, it is possible to realize a high-quality image having high brightness and a high contrast ratio and excellent color reproducibility. Also, this T
When the FT liquid crystal panel is used as a light valve of a projection display device, it can contribute to high brightness, high contrast, and high quality of the projection display device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 3板式の投写型液晶表示装置の光学系を示す
概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an optical system of a three-plate type projection type liquid crystal display device.

【図2】 従来における投写型液晶表示装置の問題点を
説明するための説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining a problem of a conventional projection type liquid crystal display device.

【図3】 人間の目の視感度の光の波長依存性を示す図
である。
FIG. 3 is a diagram showing the wavelength dependence of the light sensitivity of the human eye.

【図4】 ポリシリコンの光の吸収係数の波長依存性を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing wavelength dependence of light absorption coefficient of polysilicon.

【図5】 本発明を適用した投写型液晶表示装置の光学
系を示す概略構成図である。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an optical system of a projection type liquid crystal display device to which the present invention is applied.

【図6】 従来の投写型液晶表示装置の液晶パネルの出
射面の反射率を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a reflectance of an emission surface of a liquid crystal panel of a conventional projection type liquid crystal display device.

【図7】 従来の投写型液晶表示装置の液晶パネルの出
射面の反射率を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a reflectance of an emission surface of a liquid crystal panel of a conventional projection type liquid crystal display device.

【図8】 本発明を適用した投写型液晶表示装置図の液
晶パネルの出射面の反射率を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing the reflectance of the emission surface of the liquid crystal panel of the projection type liquid crystal display device diagram to which the present invention is applied.

【図9】 コプラナー型のポリシリコンTFTを用いた
TFT液晶パネルの断面を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a cross section of a TFT liquid crystal panel using a coplanar type polysilicon TFT.

【図10】 逆スタガー型のアモルファスシリコンTF
Tを用いたTFT液晶パネルの断面を示す図である。
FIG. 10: Inverse stagger type amorphous silicon TF
It is a figure which shows the cross section of the TFT liquid crystal panel which used T.

【図11】 本発明を適用した投写型液晶表示装置の光
学系を示す概略構成図である。
FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing an optical system of a projection type liquid crystal display device to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源 2 反射板 3 色分離光学系 31、32、71、72 ダイクロイックミラー 33、73 ミラー 4、41、42、43 入射側偏光板 5、51、52、53 TFT液晶パネル 6、61、62、63 出射側偏光板 7 色合成光学系 8 投写レンズ(投写光学系) R1 界面反射光 1 Light source 2 Reflector 3 Color separation optical system 31, 32, 71, 72 Dichroic mirror 33, 73 Mirror 4, 41, 42, 43 Incident side polarization plate 5, 51, 52, 53 TFT liquid crystal panel 6, 61, 62, 63 Emitting-side polarization plate 7-color synthesis optical system 8 Projection lens (projection optical system) R1 Interface reflected light

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源と、該光源からの入射光束を変調し
て出射光束として出射する液晶パネルと、該出射光束を
スクリーン上に拡大投写するための投写光学手段とを有
する投写型表示装置において、 前記液晶パネルは、一対の基板間に液晶が封入され、一
方の該基板の内面に薄膜トランジスタと、該薄膜トラン
ジスタに接続された画素電極とを配置してなり、且つ出
射側の該基板の外側に偏光板を配置してなり、 前記液晶パネルは、前記偏光板の表面に、反射率が最小
となる光の波長が400nmから500nmの間に存在
する反射防止膜が形成されてなることを特徴とする投写
型表示装置。
1. A projection type display device comprising a light source, a liquid crystal panel which modulates an incident light beam from the light source and emits it as an outgoing light beam, and a projection optical means for enlarging and projecting the outgoing light beam on a screen. In the liquid crystal panel, liquid crystal is sealed between a pair of substrates, a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of the one substrate, and the liquid crystal panel is provided outside the substrate on the emission side. A polarizing plate is arranged, and the liquid crystal panel is characterized in that an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm is formed on the surface of the polarizing plate. Projection display device.
【請求項2】 光源と、該光源からの入射光束を変調し
て出射光束として出射する液晶パネルと、該出射光束を
スクリーン上に拡大投写するための投写光学手段とを有
する投写型表示装置において、 前記液晶パネルは、一対の基板間に液晶が封入され、出
射側の該基板の内面に薄膜トランジスタと、該薄膜トラ
ンジスタに接続された画素電極とを配置してなり、且つ
該出射側の基板の外側に偏光板を配置してなり、 前記液晶パネルは、前記偏光板の表面に、反射率が最小
となる光の波長が400nmから500nmの間に存在
する反射防止膜が形成されてなることを特徴とする投写
型表示装置。
2. A projection display device comprising a light source, a liquid crystal panel that modulates an incident light beam from the light source and emits it as an emitted light beam, and projection optical means for enlarging and projecting the emitted light beam on a screen. In the liquid crystal panel, liquid crystal is sealed between a pair of substrates, a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on an inner surface of the substrate on the emission side, and the outside of the substrate on the emission side. A polarizing plate is disposed on the liquid crystal panel, and the liquid crystal panel has an antireflection film formed on the surface of the polarizing plate and having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm. And a projection display device.
【請求項3】 光源と、該光源からの入射光束を変調し
て出射光束として出射する液晶パネルと、該出射光束を
スクリーン上に拡大投写するための投写光学手段とを有
する投写型表示装置において、 前記液晶パネルは、一対の基板間に液晶が封入され、一
方の該基板の内面に薄膜トランジスタと、該薄膜トラン
ジスタに接続された画素電極とを配置してなり、且つ出
射側の該基板の外表面に、反射率が最小となる光の波長
が400nmから500nmの間に存在する反射防止膜
が形成されてなることを特徴とする投写型表示装置。
3. A projection type display device comprising a light source, a liquid crystal panel which modulates an incident light beam from the light source and emits it as an outgoing light beam, and projection optical means for enlarging and projecting the outgoing light beam on a screen. In the liquid crystal panel, liquid crystal is sealed between a pair of substrates, a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on an inner surface of the one substrate, and an outer surface of the substrate on the emission side. 1. A projection display device, characterized in that an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance in the range of 400 nm to 500 nm is formed.
【請求項4】 光源と、該光源からの入射光束を変調し
て出射光束として出射する液晶パネルと、該出射光束を
スクリーン上に拡大投写するための投写光学手段とを有
する投写型表示装置において、 前記液晶パネルは、一対の基板間に液晶が封入され、出
射側の該基板の内面に薄膜トランジスタと、該薄膜トラ
ンジスタに接続された画素電極とを配置してなり、且つ
該出射側の基板の外表面に、反射率が最小となる光の波
長が400nmから500nmの間に存在する反射防止
膜が形成されてなることを特徴とする投写型表示装置。
4. A projection display device comprising a light source, a liquid crystal panel that modulates an incident light beam from the light source and emits it as an emitted light beam, and projection optical means for enlarging and projecting the emitted light beam on a screen. In the liquid crystal panel, liquid crystal is sealed between a pair of substrates, a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on an inner surface of the substrate on the emission side, and the liquid crystal panel is provided outside the substrate on the emission side. A projection display device, characterized in that an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm is formed on the surface.
【請求項5】 互いに対向するように配置された一対の
基板間に液晶が封入され、一方の該基板の内面には薄膜
トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続された画素
電極とを配置してなり、出射側の該基板の外側の面に偏
光板を有する液晶パネルにおいて、 前記偏光板の表面には、反射率が最小となる光の波長が
400nmから500nmの間に存在する反射防止膜が
形成されてなることを特徴とする液晶パネル。
5. A liquid crystal is sealed between a pair of substrates arranged so as to face each other, and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of one of the substrates to emit light. In the liquid crystal panel having a polarizing plate on the outer surface of the substrate, an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm is formed on the surface of the polarizing plate. A liquid crystal panel characterized by:
【請求項6】 互いに対向するように配置された一対の
基板間に液晶が封入され、一方の該基板の内面には薄膜
トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続された画素
電極とを配置し、該一対の基板の外側の面には偏光板を
配置してなる液晶パネルにおいて、 前記偏光板の表面には、反射率が最小となる光の波長が
400nmから500nmの間に存在する反射防止膜が
形成されてなることを特徴とする液晶パネル。
6. A liquid crystal is sealed between a pair of substrates arranged so as to face each other, and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of one of the substrates, In a liquid crystal panel in which a polarizing plate is arranged on the outer surface of a substrate, an antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm is formed on the surface of the polarizing plate. Liquid crystal panel characterized by the following.
【請求項7】 互いに対向するように配置された一対の
基板間に液晶が封入され、一方の該基板の内面には薄膜
トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続された画素
電極とを配置してなる液晶パネルにおいて、 前記一方の基板の外表面には、反射率が最小となる光の
波長が400nmから500nmの間に存在する反射防
止膜が形成されてなることを特徴とする液晶パネル。
7. A liquid crystal panel in which liquid crystal is sealed between a pair of substrates arranged to face each other, and a thin film transistor and a pixel electrode connected to the thin film transistor are arranged on the inner surface of one of the substrates. 2. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein an antireflection film is present on the outer surface of the one substrate, the antireflection film having a wavelength of light having a minimum reflectance between 400 nm and 500 nm.
【請求項8】 前記薄膜トランジスタは、前記基板内面
にチャネルとなるシリコン薄膜が形成され、該シリコン
薄膜上にゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成されて
構成であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか
に記載の投写型表示装置。
8. The thin film transistor according to claim 1, wherein a silicon thin film serving as a channel is formed on an inner surface of the substrate, and a gate electrode is formed on the silicon thin film via a gate insulating film. 5. The projection display device according to any one of 4 to 4.
【請求項9】 前記薄膜トランジスタは、前記基板内面
にチャネルとなるシリコン膜が形成され、該シリコン薄
膜上にゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成されて構
成であることを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに
記載の液晶パネル。
9. The thin film transistor according to claim 5, wherein a silicon film serving as a channel is formed on the inner surface of the substrate, and a gate electrode is formed on the silicon thin film via a gate insulating film. 8. The liquid crystal panel according to any one of 7 to 7.
【請求項10】 前記薄膜トランジスタは、前記基板内
面にゲート電極が形成され、該ゲート電極上にゲート絶
縁膜を介してチャネルとなるシリコン膜が形成される構
成であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに
記載の投写型表示装置。
10. The thin film transistor according to claim 1, wherein a gate electrode is formed on an inner surface of the substrate, and a silicon film to be a channel is formed on the gate electrode via a gate insulating film. 5. The projection display device according to any one of 4 to 4.
【請求項11】 前記薄膜トランジスタは、前記基板内
面にゲート電極が形成され、該ゲート電極上にゲート絶
縁膜を介してチャネルとなるシリコン膜が形成される構
成であることを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに
記載の液晶パネル。
11. The thin film transistor according to claim 5, wherein a gate electrode is formed on the inner surface of the substrate, and a silicon film to be a channel is formed on the gate electrode via a gate insulating film. 8. The liquid crystal panel according to any one of 7 to 7.
JP8192448A 1995-07-21 1996-07-22 Projection type display device and liquid crystal panel Pending JPH0996805A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008018201A1 (en) * 2006-08-11 2008-02-14 Sharp Kabushiki Kaisha Antireflection coating, polarizing plate, liquid crystal display element and display element
US8218108B2 (en) 2006-09-28 2012-07-10 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display panel and liquid crystal display device

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WO2008018201A1 (en) * 2006-08-11 2008-02-14 Sharp Kabushiki Kaisha Antireflection coating, polarizing plate, liquid crystal display element and display element
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