JPH0991644A - 磁気ヘッドスライダの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドスライダの製造方法Info
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- JPH0991644A JPH0991644A JP24157195A JP24157195A JPH0991644A JP H0991644 A JPH0991644 A JP H0991644A JP 24157195 A JP24157195 A JP 24157195A JP 24157195 A JP24157195 A JP 24157195A JP H0991644 A JPH0991644 A JP H0991644A
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- head slider
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- sliders
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リード線の導通不良がなく、信頼性の高い磁
気ヘッドスライダを提供する。 【解決手段】 複数の磁気ヘッドスライダ１のＡＢＳ
（空気軸受面）５に保護膜を堆積する磁気ヘッドスライ
ダの製造方法において、ある磁気ヘッドスライダ１のト
レーリング面３と他の磁気ヘッドスライダ１のトレーリ
ング面３とが互いに接した状態で配置し、チャンファ４
による段差をなくする。そして、スパッタ法、蒸着法も
しくはＣＶＤ法によりＡＢＳ５に保護膜を堆積する。こ
れにより、トレーリング面３への保護膜の回り込みがな
くなるため、信頼性の高い磁気ヘッドスライダが得られ
る。
気ヘッドスライダを提供する。 【解決手段】 複数の磁気ヘッドスライダ１のＡＢＳ
（空気軸受面）５に保護膜を堆積する磁気ヘッドスライ
ダの製造方法において、ある磁気ヘッドスライダ１のト
レーリング面３と他の磁気ヘッドスライダ１のトレーリ
ング面３とが互いに接した状態で配置し、チャンファ４
による段差をなくする。そして、スパッタ法、蒸着法も
しくはＣＶＤ法によりＡＢＳ５に保護膜を堆積する。こ
れにより、トレーリング面３への保護膜の回り込みがな
くなるため、信頼性の高い磁気ヘッドスライダが得られ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドスライ
ダの製造方法に関し、特に、薄膜磁気ヘッドスライダの
空気軸受面上に保護膜を被着する方法に関する。
ダの製造方法に関し、特に、薄膜磁気ヘッドスライダの
空気軸受面上に保護膜を被着する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜形成技術を用いて製作される薄膜磁
気ヘッドスライダ（以下、磁気ヘッドスライダという）
は、多年にわたって磁気ディスク装置等に使用されてい
る。図３を参照すると、この磁気ヘッドスライダ１１の
製造方法は、まず、非磁性基板（以下、基板という）上
に磁性材料および電気絶縁材料の層を堆積して、磁気記
録媒体（図示せず）上の磁性膜の情報を読み書きするの
に必要な周知の電磁変換素子１８を形成する。また、電
磁変換素子１８に電流を供給するリード線を接着するた
めの導電性パタン１９は、電磁変換素子１８の近傍に電
磁変換素子１８と同様の堆積プロセスによって形成す
る。
気ヘッドスライダ（以下、磁気ヘッドスライダという）
は、多年にわたって磁気ディスク装置等に使用されてい
る。図３を参照すると、この磁気ヘッドスライダ１１の
製造方法は、まず、非磁性基板（以下、基板という）上
に磁性材料および電気絶縁材料の層を堆積して、磁気記
録媒体（図示せず）上の磁性膜の情報を読み書きするの
に必要な周知の電磁変換素子１８を形成する。また、電
磁変換素子１８に電流を供給するリード線を接着するた
めの導電性パタン１９は、電磁変換素子１８の近傍に電
磁変換素子１８と同様の堆積プロセスによって形成す
る。
【０００３】これにより、基板上には複数の電磁変換素
子が列をなして形成される。次に、この基板を電磁変換
素子が一列に並んだ棒状の状態に切断する。このとき、
棒状に切断したものを、通常、ロー（Ｒｏｗ）と呼んで
いる。また、磁気ヘッドスライダ１１の電磁変換素子１
８が形成されている面をトレーリング面（空気流出端
側）１３、また、その反対側の面をリーディング面（空
気流入端側）１２と呼ぶ。
子が列をなして形成される。次に、この基板を電磁変換
素子が一列に並んだ棒状の状態に切断する。このとき、
棒状に切断したものを、通常、ロー（Ｒｏｗ）と呼んで
いる。また、磁気ヘッドスライダ１１の電磁変換素子１
８が形成されている面をトレーリング面（空気流出端
側）１３、また、その反対側の面をリーディング面（空
気流入端側）１２と呼ぶ。
【０００４】次に、このローを薄膜磁気ヘッドが所定の
スロート高さの寸法になるように研磨仕上げを行う。研
磨仕上げされた面にレールのパタンを機械的加工法、も
しくは、エッチングプロセスなどの乾式処理技法を用い
て作成し、空気軸受面（以下、Air Bearing Surface ：
ＡＢＳという）１５を形成する。そして、ローを個別に
磁気ヘッドスライダとして分離し、さらに、ＡＢＳ１５
には摩耗や摩擦などの摺動性を改善するための保護膜１
６を形成する。この保護膜１６は、スパッタ装置、蒸着
装置もしくはＣＶＤ（化学気相沈積）装置などの真空製
造装置を用いて成膜する。
スロート高さの寸法になるように研磨仕上げを行う。研
磨仕上げされた面にレールのパタンを機械的加工法、も
しくは、エッチングプロセスなどの乾式処理技法を用い
て作成し、空気軸受面（以下、Air Bearing Surface ：
ＡＢＳという）１５を形成する。そして、ローを個別に
磁気ヘッドスライダとして分離し、さらに、ＡＢＳ１５
には摩耗や摩擦などの摺動性を改善するための保護膜１
６を形成する。この保護膜１６は、スパッタ装置、蒸着
装置もしくはＣＶＤ（化学気相沈積）装置などの真空製
造装置を用いて成膜する。
【０００５】図４は、磁気ヘッドスライダのＡＢＳに保
護膜を形成するための真空製造装置の一例を示す。図４
を参照すると、この真空製造装置は、反応室３０内に成
膜電極３１と、これに対向する対向電極３２とを備えて
おり、電力源３３から成膜電極３１および対向電極３２
に電力を供給し、反応室３０内を減圧状態にしてグロー
放電を発生させ、成膜電極３１上に配置した磁気ヘッド
スライダ１１（もしくはロー）上に保護膜１６を形成す
る。
護膜を形成するための真空製造装置の一例を示す。図４
を参照すると、この真空製造装置は、反応室３０内に成
膜電極３１と、これに対向する対向電極３２とを備えて
おり、電力源３３から成膜電極３１および対向電極３２
に電力を供給し、反応室３０内を減圧状態にしてグロー
放電を発生させ、成膜電極３１上に配置した磁気ヘッド
スライダ１１（もしくはロー）上に保護膜１６を形成す
る。
【０００６】また、磁気ヘッドスライダ１１（もしくは
ロー）には、リーディング面１２側にチャンファ(Chamf
er) ４と呼ばれるテーパー状の面取り部が設けられてい
る。そして、電磁変換素子１８に動作電流を印加する導
電性パタン１９にリード線を接続し、ジンバルおよび支
持ばねを取り付けて磁気ヘッドが完成する。
ロー）には、リーディング面１２側にチャンファ(Chamf
er) ４と呼ばれるテーパー状の面取り部が設けられてい
る。そして、電磁変換素子１８に動作電流を印加する導
電性パタン１９にリード線を接続し、ジンバルおよび支
持ばねを取り付けて磁気ヘッドが完成する。
【０００７】磁気ディスク装置に取り付けられた磁気ヘ
ッドは、磁気ヘッドスライダのＡＢＳに対向する磁気記
録媒体との間に狭い一様な間隙（例えば、０．２５μ
ｍ）を維持するように浮上する。しかしながら、正常動
作においても、磁気ヘッドスライダは磁気記録媒体に偶
然接触することがある。そこで、ＡＢＳを磁気ヘッドス
ライダと磁気記録媒体との間に接触によって生ずる機械
的摩耗から保護するために、各種の保護膜（層）が磁気
ヘッドスライダのＡＢＳ上に堆積する。
ッドは、磁気ヘッドスライダのＡＢＳに対向する磁気記
録媒体との間に狭い一様な間隙（例えば、０．２５μ
ｍ）を維持するように浮上する。しかしながら、正常動
作においても、磁気ヘッドスライダは磁気記録媒体に偶
然接触することがある。そこで、ＡＢＳを磁気ヘッドス
ライダと磁気記録媒体との間に接触によって生ずる機械
的摩耗から保護するために、各種の保護膜（層）が磁気
ヘッドスライダのＡＢＳ上に堆積する。
【０００８】例えば、米国特許Ｒｅ．３２４６４号公報
は、磁気記録媒体の摩耗から保護するためにカーボンの
保護膜を備えている磁気記録装置を開示している。これ
は電磁変換素子を有する磁気ヘッドスライダがカーボン
で、望ましくはグラファイトライクカーボンで被覆され
て、磁気記録媒体に対して低摩擦耐摩耗接触面を形成し
ている。この被覆の厚さは２〜１０マイクロインチ（約
５００〜２５００オングストローム）の間にある。
は、磁気記録媒体の摩耗から保護するためにカーボンの
保護膜を備えている磁気記録装置を開示している。これ
は電磁変換素子を有する磁気ヘッドスライダがカーボン
で、望ましくはグラファイトライクカーボンで被覆され
て、磁気記録媒体に対して低摩擦耐摩耗接触面を形成し
ている。この被覆の厚さは２〜１０マイクロインチ（約
５００〜２５００オングストローム）の間にある。
【０００９】次に、ＩＢＭ社のTDB,DECEMBER,1912,p.31
73には、シリコンカーバイドまたはダイアモンドライク
カーボンの保護層を有する磁気ヘッドスライダについて
述べている。この保護膜の厚さは、約５００〜１０００
オングストロームの範囲である。また、ＩＢＭのTDB,JU
NE,1976,p.351 には、厚さが約２００〜５０００オング
ストロームの層をなす窒化シリコンの保護膜を有する磁
気ヘッドについて述べている。
73には、シリコンカーバイドまたはダイアモンドライク
カーボンの保護層を有する磁気ヘッドスライダについて
述べている。この保護膜の厚さは、約５００〜１０００
オングストロームの範囲である。また、ＩＢＭのTDB,JU
NE,1976,p.351 には、厚さが約２００〜５０００オング
ストロームの層をなす窒化シリコンの保護膜を有する磁
気ヘッドについて述べている。
【００１０】さらに、特開平４−２７６３６７号公報、
および特開平４−３６４２１７号公報には、厚さが約１
０〜５０オングストロームのシリコン膜と水素添加カー
ボン膜の２層の保護膜とを有する磁気ヘッドスライダ
と、この２層の保護膜にシリコン化合物からなる層を加
えた３層の保護膜を有する磁気ヘッドスライダとが開示
されている。この保護膜の厚さは、合計で２５０オング
ストロームである。
および特開平４−３６４２１７号公報には、厚さが約１
０〜５０オングストロームのシリコン膜と水素添加カー
ボン膜の２層の保護膜とを有する磁気ヘッドスライダ
と、この２層の保護膜にシリコン化合物からなる層を加
えた３層の保護膜を有する磁気ヘッドスライダとが開示
されている。この保護膜の厚さは、合計で２５０オング
ストロームである。
【００１１】ここで、従来の磁気ヘッドスライダにおい
ては、磁気ヘッドスライダ１１のＡＢＳ１５に形成する
保護膜１６は、図４に示す、成膜電極３１上に磁気ヘッ
ドスライダ１１（もしくはロー）を配置する場合、図２
に示すように、磁気ヘッドスライダ１１（もしくはロ
ー）を一方向に並べる、すなわち、ある磁気ヘッドスラ
イダのトレーリング面１３と次の磁気ヘッドスライダの
リーディング面１２とが対向させ、かつ磁気ヘッドスラ
イダのＡＢＳ１５を対向電極３２に向けて配置する方法
を採用していた。
ては、磁気ヘッドスライダ１１のＡＢＳ１５に形成する
保護膜１６は、図４に示す、成膜電極３１上に磁気ヘッ
ドスライダ１１（もしくはロー）を配置する場合、図２
に示すように、磁気ヘッドスライダ１１（もしくはロ
ー）を一方向に並べる、すなわち、ある磁気ヘッドスラ
イダのトレーリング面１３と次の磁気ヘッドスライダの
リーディング面１２とが対向させ、かつ磁気ヘッドスラ
イダのＡＢＳ１５を対向電極３２に向けて配置する方法
を採用していた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述したように製造さ
れた磁気ヘッドスライダの一例を図５に示す。これによ
ると、従来の磁気ヘッドスライダは、成膜時に隣り合う
磁気ヘッドスライダ１１（もしくはロー）で、異なる高
さを持つ面（リーディング面１２とトレーリング面１
３）を対向させて配置すると、段差を生じる箇所（図２
の段差部２０）において、ＡＢＳ１５以外の電磁変換素
子や導電性パタンが存在するトレーリング部１３の一部
に保護膜が被着し、いわゆる、回り込んだ保護膜７が形
成される。このため、導電パタン上に保護膜が堆積する
と、この導電パタンにリード線を接続する際に導通不良
が発生するという欠点がある。
れた磁気ヘッドスライダの一例を図５に示す。これによ
ると、従来の磁気ヘッドスライダは、成膜時に隣り合う
磁気ヘッドスライダ１１（もしくはロー）で、異なる高
さを持つ面（リーディング面１２とトレーリング面１
３）を対向させて配置すると、段差を生じる箇所（図２
の段差部２０）において、ＡＢＳ１５以外の電磁変換素
子や導電性パタンが存在するトレーリング部１３の一部
に保護膜が被着し、いわゆる、回り込んだ保護膜７が形
成される。このため、導電パタン上に保護膜が堆積する
と、この導電パタンにリード線を接続する際に導通不良
が発生するという欠点がある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の磁気ヘ
ッドスライダの空気軸受面に保護膜を有する磁気ヘッド
スライダの製造方法において、ある磁気ヘッドスライダ
のトレーリング面と他の磁気ヘッドスライダのトレーリ
ング面との全面が互いに接した状態で配置し、前記複数
の磁気ヘッドスライダの空気軸受面に前記保護膜を堆積
することを特徴とする。
ッドスライダの空気軸受面に保護膜を有する磁気ヘッド
スライダの製造方法において、ある磁気ヘッドスライダ
のトレーリング面と他の磁気ヘッドスライダのトレーリ
ング面との全面が互いに接した状態で配置し、前記複数
の磁気ヘッドスライダの空気軸受面に前記保護膜を堆積
することを特徴とする。
【００１４】また、前記空気軸受面への前記保護膜をス
パッタ法、蒸着法もしくはＣＶＤ法により堆積すること
を特徴とする。
パッタ法、蒸着法もしくはＣＶＤ法により堆積すること
を特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１６】図１は、本発明による磁気ヘッドスライダ
の保護膜の製造方法を示す図であって、保護膜を堆積さ
せる真空製造装置の成膜電極に磁気ヘッドスライダ（も
しくはロー）を配置する場合、図１に示すように、成膜
時に電磁変換素子およびその導電パタン上に保護膜が披
着しないように、隣り合う磁気ヘッドスライダ１（もし
くはロー）の高さを均一にする。すなわち、電磁変換素
子を形成した磁気ヘッドスライダ１（もしくはロー）の
トレーリング面３が互いに接するように配置するととも
に、チャンファ４を設けた側のリーディング面２を互い
に向い合うように配置し、かつＡＢＳ５を対向電極側に
向けて成膜を行う。
の保護膜の製造方法を示す図であって、保護膜を堆積さ
せる真空製造装置の成膜電極に磁気ヘッドスライダ（も
しくはロー）を配置する場合、図１に示すように、成膜
時に電磁変換素子およびその導電パタン上に保護膜が披
着しないように、隣り合う磁気ヘッドスライダ１（もし
くはロー）の高さを均一にする。すなわち、電磁変換素
子を形成した磁気ヘッドスライダ１（もしくはロー）の
トレーリング面３が互いに接するように配置するととも
に、チャンファ４を設けた側のリーディング面２を互い
に向い合うように配置し、かつＡＢＳ５を対向電極側に
向けて成膜を行う。
【００１７】なお、図１では、リーディング面２も互い
に接するように配置しているが、リーディング面２は、
必ずしも接する必要はない。
に接するように配置しているが、リーディング面２は、
必ずしも接する必要はない。
【００１８】これにより、チャンファ４による段差が解
消され、保護膜の回り込みがなく、磁気ヘッドスライダ
のＡＢＳのみに保護膜が形成されることにより、保護膜
の被着（回り込み）に起因する導通不良がなくなる。
消され、保護膜の回り込みがなく、磁気ヘッドスライダ
のＡＢＳのみに保護膜が形成されることにより、保護膜
の被着（回り込み）に起因する導通不良がなくなる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明を適用するこ
とにより、保護膜の回り込みによる導通不良の発生がな
く、信頼性の高い磁気ヘッドスライダが得られるという
効果がある。
とにより、保護膜の回り込みによる導通不良の発生がな
く、信頼性の高い磁気ヘッドスライダが得られるという
効果がある。
【図１】本発明による磁気ヘッドスライダの保護膜の製
造方法を示す図である。
造方法を示す図である。
【図２】従来の磁気ヘッドスライダの保護膜の製造方法
を示す図である。
を示す図である。
【図３】磁気ヘッドスライダの構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】磁気ヘッドスライダ保護膜の製造装置の概略を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図５】従来の磁気ヘッドスライダにおける保護膜の成
膜状態を示す図てある。
膜状態を示す図てある。
１，１１ 磁気ヘッドスライダ ２，１２ リーディング面 ３，１３ トレーリング面 ４，１４ チャンファ ５，１５ ＡＢＳ（空気軸受面） １６ 保護膜 １７ 回り込んだ保護膜 １８ 電磁変換素子 １９ 導電性パタン ２０ 段差部 ３０ 反応室 ３１ 成膜電極 ３２ 対向電極 ３３ 電力源
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の磁気ヘッドスライダの空気軸受面
に保護膜を有する磁気ヘッドスライダの製造方法におい
て、ある磁気ヘッドスライダのトレーリング面と他の磁
気ヘッドスライダのトレーリング面との全面が互いに接
した状態で配置し、前記複数の磁気ヘッドスライダの空
気軸受面に前記保護膜を堆積することを特徴とする磁気
ヘッドスライダの製造方法。 - 【請求項２】 前記空気軸受面への前記保護膜をスパッ
タ法、蒸着法もしくはＣＶＤ法により堆積することを特
徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24157195A JP2803604B2 (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 磁気ヘッドスライダの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24157195A JP2803604B2 (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 磁気ヘッドスライダの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0991644A true JPH0991644A (ja) | 1997-04-04 |
| JP2803604B2 JP2803604B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=17076314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24157195A Expired - Fee Related JP2803604B2 (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 磁気ヘッドスライダの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803604B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6667854B2 (en) | 1999-09-16 | 2003-12-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head having head element protected from electrostatic damage, and production method therefor |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP24157195A patent/JP2803604B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6667854B2 (en) | 1999-09-16 | 2003-12-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head having head element protected from electrostatic damage, and production method therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2803604B2 (ja) | 1998-09-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980616 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |