JPH0990882A - Emissive display element - Google Patents

Emissive display element

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JPH0990882A
JPH0990882A JP7266322A JP26632295A JPH0990882A JP H0990882 A JPH0990882 A JP H0990882A JP 7266322 A JP7266322 A JP 7266322A JP 26632295 A JP26632295 A JP 26632295A JP H0990882 A JPH0990882 A JP H0990882A
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JP
Japan
Prior art keywords
antiferroelectric
surface electrode
electrode
phosphor layer
display
Prior art date
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Pending
Application number
JP7266322A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Yamamoto
浩 山本
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Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
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Priority to PCT/JP1996/002684 priority patent/WO1997011476A1/en
Publication of JPH0990882A publication Critical patent/JPH0990882A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30Cold cathodes
    • H01J2201/306Ferroelectric cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00Electron emission display panels, e.g. field emission display panels

Landscapes

  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an emissive display element with which the constitution of a lightweight and small-sized plane display having a large display area is possible, discharge current is hardly affected by a working environment, large current is stably obtainable and uniform characteristics and improved durability are obtainable. SOLUTION: This emissive display element has an antiferroelectric substance 2, a front surface electrode 3 and rear surface electrode 4 for impressing AC electric fields on the antiferroelectric substance 2 and a phosphor layer 6 for emitting light by the cold electrons radiated when the alternate electric fields are impressed on the antiferroelectric substance 2. The front surface electrode 3 and rear surface electrode 4 are respectively disposed above and below the antiferroelectric substance 2 and at least one of both electrodes may be a comb-shaped or holed electrode. Glass 7 is disposed in the upper part of the antiferroelectric substance 2. The phosphor layer 6 and the front surface electrode 3 are disposed between the glass 7 and the antiferroelectric substance 2. At least either of vacuum gas, insulator or (n) type semiconductor may be disposed between the antiferroelectric substance 2 and the phosphor layer 6. The cold electron release side of the antiferroelectric substance 2 may be approximately flat.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、反強誘電体の冷電
子放出を利用して蛍光体を発光させる発光表示素子に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting display device in which cold electrons emitted from an antiferroelectric material are used to cause a phosphor to emit light.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータとのマンマシンインターフ
ェース用の表示器として、小型で使いやすい液晶表示
器、プラズマ表示器等の平面表示器が良く使用されるよ
うになって来ている。この平面表示器の一つとして、低
消費電力駆動に適し、またカラー表示化にも対応が容易
である電界放出表示素子を用いたものが研究されるよう
になっている。
2. Description of the Related Art As a display for a man-machine interface with a computer, a flat display such as a liquid crystal display or a plasma display, which is small and easy to use, is often used. As one of the flat panel displays, one using a field emission display element suitable for driving with low power consumption and easily adapted to color display has been studied.

【0003】このような電界放出表示素子に関して、例
えば特開平7−64490号の公報に記載されているも
のがあり、図12にその電界放出表示素子のセルの代表
的な構造を示している。以下、図12に基づいて説明す
る。セル81内の下部に絶縁体基板82が設けられ、絶
縁体基板82の上部表面には、下部電極層83、強誘電
体層84及び上部電極層85が順に積層して形成されて
いる。セル81内の上部にはガラスセル86が設けら
れ、上部電極層85の対向するガラスセル86の内側に
は蛍光体層87が形成されている。また、下部電極層8
3には電源88が接続され、上部電極層85はアース
(接地)に接続されている。さらに、好ましくは蛍光体
層87とガラスセル86との間にはバイアス電極89が
形成され、バイアス電極89には正のバイアス電源90
が接続されている。そして、セル81内は真空状態に保
持されている。
Such a field emission display device is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 7-64490, and FIG. 12 shows a typical structure of a cell of the field emission display device. Hereinafter, description will be given with reference to FIG. An insulator substrate 82 is provided in the lower portion of the cell 81, and a lower electrode layer 83, a ferroelectric layer 84, and an upper electrode layer 85 are sequentially laminated on the upper surface of the insulator substrate 82. A glass cell 86 is provided above the cell 81, and a phosphor layer 87 is formed inside the glass cell 86 facing the upper electrode layer 85. In addition, the lower electrode layer 8
A power source 88 is connected to 3, and the upper electrode layer 85 is connected to ground. Further, preferably, a bias electrode 89 is formed between the phosphor layer 87 and the glass cell 86, and a positive bias power source 90 is formed on the bias electrode 89.
Is connected. The inside of the cell 81 is kept in a vacuum state.

【0004】このようなセル81において、下部電極層
83に電源88によって所定電圧以上の交番パルス電圧
を印加すると、強誘電体層84内で強誘電体の残留分極
が反転させられ、この反転によって強電界が生じる。強
誘電体層84に対して所定値以上の強電界を印加する
と、トンネル効果によって強誘電体中の電子が上部電極
層85によって引き出され、外界に放出される。(これ
が、いわゆる電界電子放出現象と呼ばれる。)この上部
電極層85から放出された電子が蛍光体層87に照射さ
れることにより、蛍光体が発光するようになっている。
このとき、バイアス電極89に所定値以上の正のバイア
ス電圧を印加すると、上部電極層85から放出された電
子が加速されて蛍光体層87に照射されるので、蛍光体
の発光を増大するすることができる
In such a cell 81, when an alternating pulse voltage of a predetermined voltage or more is applied to the lower electrode layer 83 by the power source 88, the remanent polarization of the ferroelectric substance is inverted in the ferroelectric layer 84, and this inversion causes the remanent polarization. A strong electric field is generated. When a strong electric field of a predetermined value or more is applied to the ferroelectric layer 84, the electrons in the ferroelectric substance are extracted by the upper electrode layer 85 by the tunnel effect and are emitted to the outside. (This is called a so-called field electron emission phenomenon.) When the phosphor layer 87 is irradiated with the electrons emitted from the upper electrode layer 85, the phosphor emits light.
At this time, when a positive bias voltage of a predetermined value or more is applied to the bias electrode 89, the electrons emitted from the upper electrode layer 85 are accelerated and irradiated on the phosphor layer 87, so that the emission of the phosphor is increased. be able to

【0005】このような構成にしたので、比較的低電圧
で発光させることができると共に、積層体の薄膜化及び
セルの小型化ができるので、表示素子の精細化ができ、
また平面で薄型の表示素子を製造することができる。ま
た、蛍光体層の種類を変えることによって、容易にカラ
ー表示化にも対応できる。
With such a structure, it is possible to emit light at a relatively low voltage, and it is possible to reduce the thickness of the laminated body and the size of the cell.
Further, a flat and thin display element can be manufactured. Moreover, color display can be easily achieved by changing the type of the phosphor layer.

【0006】また、特開平7−57620号の公報にお
いては、p−n接合の半導体を用いた電界放出表示素子
の提案がなされている。図13に、このような電界放出
表示素子のチップ部の構造を示している。p型半導体基
板91の上部に、ピラミッド状に形成されたチップ部9
5を設けられ、さらにこのチップ部95を含んだp型半
導体基板91の上部表面にはp型不純物領域92が形成
されている。p型不純物領域92の上部には、n型不純
物領域93が形成されている。そして、前記チップ部9
5の表面部分にはn型不純物93で浅い接合領域98が
形成され、チップ部95自体がp−n接合を有してい
る。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-57620 proposes a field emission display device using a pn junction semiconductor. FIG. 13 shows the structure of the chip portion of such a field emission display device. A chip portion 9 formed in a pyramid shape on the p-type semiconductor substrate 91.
5, a p-type impurity region 92 is formed on the upper surface of the p-type semiconductor substrate 91 including the chip portion 95. An n-type impurity region 93 is formed on the p-type impurity region 92. And the tip portion 9
A shallow junction region 98 is formed of the n-type impurity 93 on the surface portion of 5, and the chip portion 95 itself has a pn junction.

【0007】p型半導体基板91の上部には、チップ部
95の周辺にp型半導体基板91の表面を酸化させ、か
つ、チップ部95を露出させる開口部を有する酸化膜9
4が形成され、この酸化膜94の上部には、酸化膜94
の開口部に対応するピンホールを有する絶縁膜96が形
成されている。絶縁膜96の上部には、絶縁膜96のピ
ンホールに対応する開口部を有する導電層97が形成さ
れている。
An oxide film 9 having an opening above the p-type semiconductor substrate 91 for oxidizing the surface of the p-type semiconductor substrate 91 around the chip portion 95 and exposing the chip portion 95.
4 is formed, and the oxide film 94 is formed on the oxide film 94.
An insulating film 96 having a pinhole corresponding to the opening is formed. A conductive layer 97 having an opening corresponding to a pinhole of the insulating film 96 is formed on the insulating film 96.

【0008】このような構成において、p型半導体基板
91の下部に設けられた電極(図示せず)に対して導電
層97に所定電圧値の逆バイアス電圧を印加すると、チ
ップ部95のp−n接合部からトンネル効果による電子
が放出される。この電界放出電子をチップ部95に対向
して導電層97の上部に配設された蛍光体層(図示せ
ず)に照射させることにより、発光させることができ
る。このとき、チップ部95及び蛍光体層を含む表示素
子部は真空中に保持されている。
In such a structure, when a reverse bias voltage having a predetermined voltage value is applied to the conductive layer 97 with respect to an electrode (not shown) provided under the p-type semiconductor substrate 91, the p-type chip portion 95 is exposed. Electrons are emitted from the n-junction portion due to the tunnel effect. The field emission electrons can be caused to emit light by irradiating the phosphor layer (not shown) provided on the conductive layer 97 facing the chip portion 95. At this time, the display element section including the chip section 95 and the phosphor layer is held in vacuum.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような電界放出電子を利用した発光表示素子において
は、次のような問題点を有している。強誘電体を使用す
る場合には、放出電流を蛍光体層87に能率良く到達さ
せるために、電子放出部及び蛍光体層が配設されたセル
81内を所定の真空度を満たす真空状態に保持しなけれ
ばならない。よって、ガラスにより密封するための強度
が必要となる等の構造上の制約がある。このことは、表
示面積の大きな平面表示器を製造するに当たっては、軽
量、小型化の面で不利となっている。
However, the above-described light emitting display device using field emission electrons has the following problems. When a ferroelectric substance is used, in order to efficiently reach the phosphor layer 87 with the emission current, the inside of the cell 81 in which the electron emitting portion and the phosphor layer are arranged is placed in a vacuum state satisfying a predetermined vacuum degree. Must hold. Therefore, there are structural restrictions such as the need for strength for sealing with glass. This is disadvantageous in terms of weight reduction and size reduction in manufacturing a flat panel display having a large display area.

【0010】また、交番電圧を印加する必要があるが、
図14のように強誘電体層84の上下方向に交番電界E
が印加されると、圧電効果によってこの電界に垂直な方
向には機械的な縮みが発生し、平行な方向には機械的な
伸びが発生する。強誘電体層84の上下の接合部は上部
電極層85及び下部電極層83によって拘束されている
ので、この歪みによる強誘電体層84内部の応力によっ
てストレスが溜まる。よって、強誘電体層84の耐久性
を低下させ、表示素子の寿命を劣化させている。
It is also necessary to apply an alternating voltage,
As shown in FIG. 14, an alternating electric field E is formed in the vertical direction of the ferroelectric layer 84.
Is applied, the piezoelectric effect causes mechanical contraction in the direction perpendicular to the electric field and mechanical extension in the parallel direction. Since the upper and lower junctions of the ferroelectric layer 84 are constrained by the upper electrode layer 85 and the lower electrode layer 83, stress is accumulated by the stress inside the ferroelectric layer 84 due to this strain. Therefore, the durability of the ferroelectric layer 84 is reduced and the life of the display element is deteriorated.

【0011】また、図15に示すように、強誘電体は印
加電界Eが零に戻っても残留分極Ps が残る。しかる
に、上部電極層85の直ぐ上部に蛍光体層87を配設し
て平面表示器とした場合には、蛍光体も誘電体であるの
で、強誘電体層84の上記残留分極Ps に影響を受けて
蛍光体層87にも残留分極が生じる。これによって、蛍
光体の不整発光が起きたり、応答速度が遅くなる等の問
題が生じる。このことは、真空を使用しない平面表示器
を構成するのに不利な点となる。
Further, as shown in FIG. 15, the remanent polarization Ps remains in the ferroelectric substance even when the applied electric field E returns to zero. However, when the phosphor layer 87 is disposed immediately above the upper electrode layer 85 to form a flat panel display, the phosphor is also a dielectric, so that the remanent polarization Ps of the ferroelectric layer 84 is affected. In response to this, residual polarization also occurs in the phosphor layer 87. This causes problems such as irregular light emission of the phosphor and slow response speed. This is a disadvantage in constructing a flat display that does not use vacuum.

【0012】一方、p−n接合を使用する場合には、放
出電流が小さいので、電子放出部及び蛍光体層が配設さ
れる真空中の真空度及び真空中に含まれる微量物質の性
質(以後、真空の質と呼ぶ)に放出電流が大きく影響を
受け易い。このために、表示素子部を所定の真空度及び
真空の質を満たす真空中に保持する必要がある。
On the other hand, when the pn junction is used, since the emission current is small, the degree of vacuum in the vacuum in which the electron emitting portion and the phosphor layer are disposed and the properties of the trace substances contained in the vacuum ( Hereinafter, the emission current is greatly affected by the vacuum quality). For this reason, it is necessary to hold the display element part in a vacuum satisfying a predetermined degree of vacuum and quality of vacuum.

【0013】また、電界電子を放出し易くするために、
放出部を鋭利な状態にする必要がある。このために、放
出部をピラミッド状のチップにしたり、又は四角柱状の
チップにしたりしているが、このような鋭利なチップは
微小寸法(上記従来の例では、2μmの大きさのピラミ
ッド状チップ)で形成しなければならない。ところが、
このように微小寸法で形成するには、例えばマイクロマ
シーニング等のエッチングによらなければならないの
で、形成の工程が非常に煩雑になる。この結果、表示面
積の大型化に際して、電子放出部の特性の均一性を得る
ことが困難となる。
Further, in order to facilitate the emission of field electrons,
It is necessary to make the discharge part sharp. For this reason, the emission part is formed into a pyramid-shaped chip or a rectangular column-shaped chip. However, such a sharp chip has a small size (in the above-mentioned conventional example, a pyramid-shaped chip with a size of 2 μm). ). However,
In order to form such a minute dimension, it is necessary to use etching such as micromachining, so that the forming process becomes very complicated. As a result, when the display area is increased, it becomes difficult to obtain uniform characteristics of the electron emitting portion.

【0014】また、ピラミッド状のチップ部95の先端
の鋭利な部分が真空中に存在するプラスイオンにエッチ
ングされて丸く成り易く、このため長時間の放出では放
出電流が小さくなってしまう。さらに、先端の鋭利な部
分の電流容量が小さいので、放出電流を大きくするには
限界がある。
Also, the sharp portion at the tip of the pyramid-shaped tip portion 95 is easily etched by the positive ions existing in the vacuum to be rounded, so that the emission current becomes small in long-term emission. Furthermore, since the current capacity of the sharp portion of the tip is small, there is a limit to increase the emission current.

【0015】本発明は、上記従来の問題点に着目してな
されたものであり、大きな表示面積の平面表示器を軽
量、小型に構成することが容易であり、放出電流が動作
環境の影響を受け難く安定的に大きな電流を得ることが
できると共に、特性の均一化や耐久性の向上を図れる発
光表示素子を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and it is easy to construct a flat panel display having a large display area in a lightweight and small size, and the emission current influences the operating environment. It is an object of the present invention to provide a light emitting display element that is hard to receive and can stably obtain a large current, and that can achieve uniform characteristics and improved durability.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明の発光表示素子
は、反強誘電体2と、反強誘電体2に交番電界を印加す
るための上面電極3及び裏面電極4と、反強誘電体2に
交番電界を印加したときに放射される冷電子によって発
光する蛍光体層6とを備えている。
The light emitting display device of the present invention comprises an antiferroelectric material 2, an upper surface electrode 3 and a back surface electrode 4 for applying an alternating electric field to the antiferroelectric material 2, and an antiferroelectric material. 2 is provided with a phosphor layer 6 that emits light by cold electrons emitted when an alternating electric field is applied.

【0017】反強誘電体を使用するので、等しい大きさ
の交番電界を印加しても強誘電体に比べて分極が大きく
なり、このとき放出される冷電子の量も多い。よって、
放出電流が大きくなる。また、この放出電流は真空度等
による影響を受け難いので、真空を使用しなくても安定
した大きさの放出電流が得られる。また、交番電界によ
る圧電効果によって反強誘電体に発生する歪みは、電界
方向及びこれに直角な方向に対して共に伸びるので、反
強誘電体の内部応力は小さくなり、よって寿命が向上さ
れる。また、印加電界を零にしたとき分極が零になるの
で、反強誘電体と蛍光体を直接接触させて平面表示器を
構成したときでも、蛍光体の不整発光は生じず、蛍光体
の発光の応答性が良くなる。
Since the antiferroelectric material is used, even if an alternating electric field of equal magnitude is applied, the polarization becomes larger than that of the ferroelectric material, and the amount of cold electrons emitted at this time is large. Therefore,
The emission current becomes large. Further, since this emission current is not easily affected by the degree of vacuum, etc., a stable emission current can be obtained without using a vacuum. Further, the strain generated in the antiferroelectric substance by the piezoelectric effect due to the alternating electric field extends both in the direction of the electric field and in the direction perpendicular thereto, so that the internal stress of the antiferroelectric substance becomes small and therefore the life is improved. . In addition, since the polarization becomes zero when the applied electric field is zero, even when the flat display is constructed by directly contacting the antiferroelectric substance and the fluorescent substance, the irregular light emission of the fluorescent substance does not occur, and the emission of the fluorescent substance does not occur. Responsiveness is improved.

【0018】p−n接合の半導体を使用した場合より大
きな放射電流を真空度等に影響を受けずに得られるの
で、発光の安定性が良くなる。そして、冷電子は反強誘
電体の平坦な表面からでも容易に放射されるので、電子
放出部をピラミッド状や四角柱のように鋭利な形状に形
成する必要がなくなる。よって、表示素子の形成工程が
簡単化されるので特性の均一な素子が容易に得られ、大
面積の表示器が制作し易くなる。また、平面部から電子
を放出するので、大電流を流すことも可能となり、さら
に長時間電流を流しても放出部の形状が変化することが
無く、表示の安定性が良くなる。
Since a larger radiation current can be obtained without being affected by the degree of vacuum and the like, the stability of light emission is improved as compared with the case of using the semiconductor of pn junction. Further, since cold electrons are easily radiated from the flat surface of the antiferroelectric material, it is not necessary to form the electron emitting portion into a sharp shape such as a pyramid shape or a square pole shape. Therefore, since the process of forming the display element is simplified, an element having uniform characteristics can be easily obtained, and a large-area display device can be easily manufactured. Further, since electrons are emitted from the flat portion, it is possible to pass a large current, and the shape of the emitting portion does not change even when a current is passed for a long time, and the display stability is improved.

【0019】また、上記発光表示素子において、前記上
面電極3及び裏面電極4は前記反強誘電体2の上下にそ
れぞれ配設され、この両電極の内少なくとも一方は櫛形
又は孔開き電極であっても良い。
In the above light emitting display device, the upper surface electrode 3 and the back surface electrode 4 are arranged above and below the antiferroelectric body 2, and at least one of the electrodes is a comb-shaped or perforated electrode. Is also good.

【0020】上記構成としたので、平面表示器を構成す
るときに、各単位表示セルを平面状にマトリックス的に
配列し、反強誘電体の上下にお互いに直交して設けた上
面電極3及び裏面電極4をマトリックス的に選択して交
番電界を印加することによって、この単位表示セルの任
意の位置を発光させることが容易となる。この結果、平
面表示器を構成することが容易となる。
With the above structure, when the flat panel display is constructed, the unit display cells are arranged in a matrix in a plane and the upper surface electrodes 3 and the upper and lower surfaces of the antiferroelectric material are provided orthogonally to each other. By selecting the back surface electrode 4 in a matrix and applying an alternating electric field, it becomes easy to emit light at an arbitrary position of the unit display cell. As a result, it becomes easy to configure a flat panel display.

【0021】また、上記発光表示素子は、前記反強誘電
体2の上部に配設されたガラス7と、ガラス7及び反強
誘電体2の間に配設された蛍光体層6及び上面電極3と
を備えても良い。
In the light emitting display device, the glass 7 disposed on the antiferroelectric body 2, the phosphor layer 6 disposed between the glass 7 and the antiferroelectric body 2 and the upper surface electrode. 3 and may be provided.

【0022】上記構成としたので、反強誘電体から放出
される冷電子は蛍光体層に到達して蛍光体を発光させ
る。この発光を、蛍光体層の上部のガラスを通してセル
外部から確認される。よって、簡単な構造で発光表示素
子を構成できる。
With the above structure, the cold electrons emitted from the antiferroelectric material reach the phosphor layer and cause the phosphor to emit light. This emission is confirmed from the outside of the cell through the glass above the phosphor layer. Therefore, the light emitting display element can be configured with a simple structure.

【0023】また、上記発光表示素子は、前記反強誘電
体2と蛍光体層6との間に、少なくとも真空ガス、絶縁
体又はn型半導体のいずれか一つが設けられていても良
い。
In the light emitting display element, at least one of vacuum gas, insulator and n-type semiconductor may be provided between the antiferroelectric body 2 and the phosphor layer 6.

【0024】真空ガスを使用した場合は、反強誘電体か
ら放出された冷電子が非常に効率良く蛍光体層に到達す
るので、蛍光体の発光度を大きくできる。真空ガスの代
わりに絶縁体又はn型半導体を使用する場合は、真空度
を保つための強度を要するような構造にしなくても良い
ので構造が簡単になる。さらに、表示素子全体を半導体
によって構成できるので、構成が簡単になり、薄型、軽
量及び小型化を図れる。
When a vacuum gas is used, the cold electrons emitted from the antiferroelectric substance reach the phosphor layer very efficiently, so that the luminous intensity of the phosphor can be increased. When an insulator or an n-type semiconductor is used instead of the vacuum gas, the structure does not need to have a strength for maintaining the degree of vacuum, so that the structure is simple. Furthermore, since the entire display element can be made of a semiconductor, the structure is simple and thin, lightweight and compact.

【0025】また、上記発光表示素子は、前記反強誘電
体2の冷電子放出側は略平坦であった方が好ましい。
In the light emitting display device, it is preferable that the cold electron emission side of the antiferroelectric body 2 is substantially flat.

【0026】これによって、電流を大きくできるので発
光を明るくし易い。また、表示特性が長期間使用しても
安定する
As a result, the current can be increased and the light emission can be easily made bright. Also, the display characteristics are stable even after long-term use.

【0027】また、前記発光表示素子を1個以上並べて
平面表示器を構成しても良い。
Further, one or more light emitting display elements may be arranged to form a flat panel display.

【0028】上記構成としたので、構造の簡単で、か
つ、均一な表示特性が安定的に得られる大面積の平面表
示器が容易に構成される。
With the above structure, a large-area flat panel display having a simple structure and stably obtaining uniform display characteristics can be easily formed.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態及び実施例】以下に、図を参照しな
がら発明の実施の形態及び実施例を説明する。図1は、
第一実施例を表した発光表示素子の断面図である。発光
表示素子1は、反強誘電体2をベースにして構成されて
いる。絶縁基板8上に、順に裏面電極4、反強誘電体2
及び櫛形の上面電極3を形成している。上面電極3の上
方には所定の距離を置いてガラス7を配設しており、反
強誘電体2に対向し、かつ、ガラス7の下面には蛍光体
層6を形成している。また、本実施例では上面電極3と
ガラス7との間の空間を真空状態に保持しており、この
空間にグリッド電極5を設けている。そして、裏面電極
4をアース(接地)に接続し、上面電極3と裏面電極4
との間に正の交番電圧を印加する交番電源9を接続して
いる。また、グリッド電極5には正のバイアス電圧を印
加する電源を接続するが、本実施例では交番電源9を兼
用してグリッド電極5に接続している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments and examples of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a light emitting display device showing a first example. The light emitting display element 1 is configured based on the antiferroelectric body 2. On the insulating substrate 8, the back surface electrode 4 and the antiferroelectric material 2 are arranged in this order.
And a comb-shaped upper surface electrode 3 is formed. A glass 7 is arranged above the upper surface electrode 3 with a predetermined distance therebetween, and faces the antiferroelectric body 2, and a phosphor layer 6 is formed on the lower surface of the glass 7. Further, in this embodiment, the space between the upper surface electrode 3 and the glass 7 is kept in a vacuum state, and the grid electrode 5 is provided in this space. Then, the back surface electrode 4 is connected to the ground (ground), and the top surface electrode 3 and the back surface electrode 4 are connected.
An alternating power source 9 for applying a positive alternating voltage is connected between the and. Further, a power supply for applying a positive bias voltage is connected to the grid electrode 5, but in the present embodiment, the alternating power supply 9 is also used for connection to the grid electrode 5.

【0030】次に、図2乃至図4に基づいて作用につい
て説明する。図2は反強誘電体2の分極特性の一例を表
しており、図3は交番電源9の出力波形の例を、また図
4は反強誘電体2の電子放出特性の例をそれぞれ表して
いる。上記のような表示素子において、交番電源9によ
って上面電極3と裏面電極間4に交番電界を印加する
と、反強誘電体2には0からEmax の間で周期的な電界
が印加される。Emax の手前には、図2のように印加電
界によって分極Pが急激に誘起されるスイッチングフィ
ールドSがある。印加電界が0からスイッチングフィー
ルドSまで印加される間に、電子が反強誘電体2の上面
電極3の近傍上面に誘引される。
Next, the operation will be described with reference to FIGS. FIG. 2 shows an example of polarization characteristics of the antiferroelectric body 2, FIG. 3 shows an example of an output waveform of the alternating power source 9, and FIG. 4 shows an example of electron emission characteristics of the antiferroelectric body 2. There is. In the display element as described above, when an alternating electric field is applied between the upper surface electrode 3 and the back surface electrode 4 by the alternating power source 9, a periodic electric field between 0 and Emax is applied to the antiferroelectric body 2. Before Emax, there is a switching field S in which the polarization P is rapidly induced by the applied electric field as shown in FIG. While the applied electric field is applied from 0 to the switching field S, electrons are attracted to the upper surface of the antiferroelectric body 2 in the vicinity of the upper surface electrode 3.

【0031】このとき、スイッチングフィールドSにお
いて分極が急激に誘起されると、誘引された上記電子が
この分極に反発し、トンネル効果によって櫛形の上面電
極3の隙間の部分に位置する反強誘電体2の表面から電
子(以後、冷電子と呼ぶ)が放出されるようになる。図
4は、この冷電子が急激に発生するときの様子を示して
おり、スイッチングフィールドSの近傍の印加電界では
冷電子が急激に放出される。放出された冷電子はグリッ
ド電極5によって加速され、グリッド電極5を通過した
後に蛍光体層6に到達し、蛍光体層6は所定の色で発光
する。この発光は、ガラス7を通して外部から認識され
る。
At this time, when the polarization is rapidly induced in the switching field S, the attracted electrons repel the polarization, and the antiferroelectric material located in the gap between the comb-shaped upper surface electrodes 3 due to the tunnel effect. Electrons (hereinafter referred to as cold electrons) are emitted from the surface of 2. FIG. 4 shows how cold electrons are rapidly generated, and cold electrons are rapidly emitted in the applied electric field in the vicinity of the switching field S. The emitted cold electrons are accelerated by the grid electrode 5, reach the phosphor layer 6 after passing through the grid electrode 5, and the phosphor layer 6 emits light of a predetermined color. This light emission is recognized from the outside through the glass 7.

【0032】スイッチングフィールドSを過ぎたら上記
冷電子の放出は停止し、印加電界が0に戻って再びスイ
ッチングフィールドSの近傍になるまで冷電子の放出は
停止したままである。印加電界を所定の周波数で繰り返
すと、以上の冷電子の放出及び放出停止を繰り返し、こ
れにより蛍光体層6は発光及び発光停止の過程を繰り返
す。上記印加電界の周波数を所定の周波数以上にする
と、蛍光体層6の残留発光もあるので、人間の目には発
光が継続している如く認識される。したがって、電界の
印加及び否印加を外部のコントローラ(図示せず)等に
よって制御することによって、表示器として利用が可能
となる。
After passing the switching field S, the emission of the cold electrons is stopped, and the emission of the cold electrons is stopped until the applied electric field returns to 0 and returns to the vicinity of the switching field S again. When the applied electric field is repeated at a predetermined frequency, the emission and stoppage of emission of the cold electrons are repeated, whereby the phosphor layer 6 repeats light emission and emission stoppage processes. When the frequency of the applied electric field is equal to or higher than a predetermined frequency, there is residual light emission of the phosphor layer 6, so that the human eye recognizes that light emission continues. Therefore, it can be used as a display by controlling the application and non-application of the electric field by an external controller (not shown) or the like.

【0033】反強誘電体2としては、例えばPb −La
−Zr −Sn −Ti −O系やPb −Nb −Zr −Sn −
Ti −O系、Pb −La −Zr −Ti −O系のセラミッ
クス等を使用することができる。本実施例では、PLZ
STセラミックスと呼ばれる、「Pb0.97 La0.02 Zr
0.66 Sn0.24 Ti0.1O3 」を採用し、このセラミック
ス層の厚みL2は30μmとしている。前記図2の分極
特性は、この採用したPLZSTセラミックスの特性を
示している。
The antiferroelectric material 2 is, for example, Pb-La.
-Zr-Sn-Ti-O system and Pb-Nb-Zr-Sn-
Ti-O type, Pb-La-Zr-Ti-O type ceramics and the like can be used. In this embodiment, PLZ
"Pb0.97 La0.02 Zr" called ST ceramics
0.66 Sn0.24 Ti0.1O3 "is adopted, and the thickness L2 of this ceramic layer is 30 .mu.m. The polarization characteristic of FIG. 2 shows the characteristic of the adopted PLZST ceramics.

【0034】交番電源9の印加電界の波形は、このPL
ZSTセラミックスの分極特性に適合させている。例え
ば、図3のようにピーク電界値が45KV/cm で、100
Hzの三角波の正の交番電界を印加した。ここで、印加
するピーク電界値は反強誘電体2の前記スイッチングフ
ィールドSによって設定される。尚、交番電界の波形は
三角波に限定するものでなく、例えば矩形のパルス波形
でも良く、交番周波数は反強誘電体2の応答性等に対応
して数KHz にしても良い。
The waveform of the electric field applied to the alternating power source 9 is PL
It is adapted to the polarization characteristics of ZST ceramics. For example, as shown in Fig. 3, when the peak electric field value is 45 KV / cm,
A positive alternating electric field of a triangular wave of Hz was applied. Here, the applied peak electric field value is set by the switching field S of the antiferroelectric body 2. The waveform of the alternating electric field is not limited to the triangular wave, and may be, for example, a rectangular pulse waveform, and the alternating frequency may be several kHz depending on the response of the antiferroelectric material 2.

【0035】上面電極3及び裏面電極4は、例えばPt
、Au 、Ag-Pd ,Pd 、Al 、Cu 等で構成され
る。上面電極3と裏面電極4との間に交番電界を印加し
たとき、反強誘電体2の表面から電子が放出され易いよ
うに、上面電極3は隙間を有する構造にした方が好まし
い。よって、本実施例では図1のような櫛形の上面電極
3を採用しているが、上記の理由によってこの上面電極
3は、平面電極の内側に所定の大きさの孔状の隙間を設
けたような電極としても良い。
The upper surface electrode 3 and the back surface electrode 4 are, for example, Pt.
, Au, Ag-Pd, Pd, Al, Cu and the like. The top electrode 3 preferably has a structure so that electrons are easily emitted from the surface of the antiferroelectric body 2 when an alternating electric field is applied between the top electrode 3 and the back electrode 4. Therefore, in this embodiment, the comb-shaped upper surface electrode 3 as shown in FIG. 1 is adopted, but for the above reason, the upper surface electrode 3 is provided with a hole-shaped gap of a predetermined size inside the flat electrode. Such an electrode may be used.

【0036】そして、例えばドット表示で文字や図形を
表示するような平面表示器においては、表示セルを平面
状に縦横に行列させて並べ、マトリックス的に各表示セ
ルをアクセスして駆動する場合が多い。このときは、行
列を指定する櫛形の電極を反強誘電体2の上下にお互い
に直交させて設け、これを上面電極3及び裏面電極4と
した方が好ましい。本実施例では、上面電極3のみを櫛
形にしており、この櫛形の電極幅L5 を0.3mmとして
いる。
In a flat panel display for displaying characters or figures by dot display, for example, the display cells may be arranged in a matrix in a matrix vertically and horizontally, and each display cell may be accessed and driven in a matrix. Many. In this case, it is preferable that comb-shaped electrodes that specify a matrix are provided above and below the antiferroelectric body 2 so as to be orthogonal to each other, and these electrodes are used as the top surface electrode 3 and the back surface electrode 4. In this embodiment, only the upper surface electrode 3 has a comb shape, and the comb-shaped electrode width L5 is 0.3 mm.

【0037】また、絶縁基板8は例えばAl2O3 ,Mg
O,Si 等で構成されるが、ガラスであっても良い。蛍
光体層6が発光したときに外部からその発光が見れるよ
うに、蛍光体層6はガラス7の下面に形成しているが、
ガラス7を上記のような絶縁基板8と同様の絶縁体で構
成しても、本発明の反強誘電体による発光の作用は変わ
らない。
The insulating substrate 8 is made of, for example, Al2O3, Mg.
Although it is composed of O, Si, etc., it may be glass. The phosphor layer 6 is formed on the lower surface of the glass 7 so that the light emission can be seen from the outside when the phosphor layer 6 emits light.
Even if the glass 7 is made of the same insulator as the insulating substrate 8 as described above, the action of light emission by the antiferroelectric material of the present invention does not change.

【0038】また、本実施例では、図1のような1辺L
1 が10mmの四角形状の絶縁基板8上に上記の表示素子
1を形成し、上面電極3とグリッド電極5間の距離L3
を10mm、グリッド電極5と蛍光体層6間の距離L4 を
5mmとしている。このように、上面電極3と蛍光体層6
間の距離が長いので、放出電子が蛍光体層6に到達し易
いように、上面電極3とガラス7との間の空間を真空状
態に保持しており、この空間にグリッド電極5を設けて
いる。上記真空の真空度は10Pa より低くした程度で
良く、従来よりも真空度に影響を受け難くなっている。
これは、前記冷電子が櫛形の上面電極3の隙間の部分に
位置する反強誘電体2の表面全体から放出されるので、
放出電流が大きくなり、真空度に影響を受け難くなった
ためである。
In this embodiment, one side L as shown in FIG.
The display element 1 is formed on a rectangular insulating substrate 8 of which 1 is 10 mm, and the distance L3 between the upper surface electrode 3 and the grid electrode 5 is L3.
Is 10 mm, and the distance L4 between the grid electrode 5 and the phosphor layer 6 is 5 mm. Thus, the top electrode 3 and the phosphor layer 6 are
Since the distance between them is long, the space between the upper surface electrode 3 and the glass 7 is kept in a vacuum state so that the emitted electrons can easily reach the phosphor layer 6, and the grid electrode 5 is provided in this space. There is. The degree of vacuum of the above-mentioned vacuum may be set to be lower than 10 Pa, and is less affected by the degree of vacuum than in the past.
This is because the cold electrons are emitted from the entire surface of the antiferroelectric body 2 located in the gap between the comb-shaped upper surface electrodes 3.
This is because the emission current becomes large and it is difficult to be affected by the degree of vacuum.

【0039】次に、第二実施例を図5を参照して説明す
る。図5は、表示素子1の単位表示セルの断面を表して
いる。本実施例では、第一実施例における真空の代わり
に、次のような中間物質10を使用している。例えば、
シリコンオキサイトのような絶縁体を数百Å以下の厚さ
にして使用したり、n型半導体又は不活性ガス等を使用
する。その他の構成は、第一実施例と同様である。
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 5 shows a cross section of a unit display cell of the display element 1. In this embodiment, the following intermediate substance 10 is used instead of the vacuum in the first embodiment. For example,
An insulator such as silicon oxide is used with a thickness of several hundred Å or less, or an n-type semiconductor or an inert gas is used. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0040】この場合も、前述と同様にして上面電極3
と裏面電極4の間に交番電界を印加すると、反強誘電体
2の上部表面から冷電子が放出される。上記中間物質1
0が極めて薄い絶縁体のときは、この冷電子は、グリッ
ド電極5によって加速されて数百Å以下の厚さの絶縁体
を通過し、蛍光体層6に到達する。また、n型半導体の
ときは、上記冷電子が注入されると、この冷電子は内部
の浮遊電子と共にグリッド電極5によって加速され、蛍
光体層6に到達する。不活性ガスのときは、上記冷電子
は不活性ガス中を同様に加速され、蛍光体層6に到達す
る。
Also in this case, the upper surface electrode 3 is formed in the same manner as described above.
When an alternating electric field is applied between the back electrode 4 and the back electrode 4, cold electrons are emitted from the upper surface of the antiferroelectric body 2. Intermediate material 1
When 0 is an extremely thin insulator, the cold electrons are accelerated by the grid electrode 5 and pass through the insulator having a thickness of several hundred Å or less and reach the phosphor layer 6. In the case of an n-type semiconductor, when the cold electrons are injected, the cold electrons are accelerated by the grid electrode 5 together with the floating electrons inside, and reach the phosphor layer 6. In the case of an inert gas, the cold electrons are similarly accelerated in the inert gas and reach the phosphor layer 6.

【0041】このように、真空を使用しないので、表示
器の表示面に使用するガラス7が真空によって潰れない
ように強度を保つための構造が複雑になる等の問題が無
い。よって、表示器を大型化し易くなる。また、真空を
使用する場合に比べて、非常に薄型の表示器を構成する
ことができる。
As described above, since no vacuum is used, there is no problem such as a complicated structure for maintaining strength so that the glass 7 used for the display surface of the display is not crushed by vacuum. Therefore, it becomes easy to upsize the display. Further, it is possible to configure a very thin display device as compared with the case where a vacuum is used.

【0042】第三実施例を、図6に基づいて説明する。
図6は、表示素子1の単位表示セルの断面を表してい
る。絶縁基板8上に、上述の実施例と同様に順に裏面電
極4、反強誘電体2及び櫛形の上面電極3を形成してい
る。上面電極3の上方には所定の距離を置いてガラス7
を配設しており、ガラス7の下面にはグリッド電極5を
形成している。さらに、グリッド電極5の下面には、反
強誘電体2に対向して蛍光体層6を形成している。ま
た、本実施例では上面電極3とガラス7との間に、第2
実施例と同様の中間物質10を使用している。各電極へ
の交番電源9の接続は、これまでの実施例と同様であ
る。
The third embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 6 shows a cross section of a unit display cell of the display element 1. On the insulating substrate 8, the back surface electrode 4, the antiferroelectric material 2 and the comb-shaped top surface electrode 3 are formed in this order in the same manner as in the above-mentioned embodiment. A glass 7 is provided above the upper electrode 3 with a predetermined distance.
And the grid electrode 5 is formed on the lower surface of the glass 7. Further, a phosphor layer 6 is formed on the lower surface of the grid electrode 5 so as to face the antiferroelectric body 2. In addition, in this embodiment, the second electrode is provided between the upper electrode 3 and the glass 7.
The same intermediate material 10 as in the example is used. The connection of the alternating power source 9 to each electrode is the same as in the above-described embodiments.

【0043】この実施例の作用は、上記第二実施例と同
様になる。そして、この場合にも真空を使用しないの
で、表示器を大型化し易くなる。さらに、グリッド電極
5をガラス7と蛍光体層6の間に形成したので、蛍光体
層6と上面電極3との距離を第二実施例よりも小さくで
き、よって、さらに薄型の表示器を構成することができ
る。
The operation of this embodiment is the same as that of the second embodiment. Also in this case, since the vacuum is not used, it is easy to upsize the display. Further, since the grid electrode 5 is formed between the glass 7 and the phosphor layer 6, the distance between the phosphor layer 6 and the upper surface electrode 3 can be made smaller than that in the second embodiment, and thus a thinner display device is constructed. can do.

【0044】第四実施例を、図7に示される表示素子1
の単位表示セルの断面図に基づいて説明する。本実施例
では、絶縁基板8の上部に順に裏面電極4及び反強誘電
体2を形成している。反強誘電体2の上面には、櫛形の
上面電極3及び蛍光体層6を交互に形成している。すな
わち、櫛形の電極と電極の間に蛍光体層6が配設された
状態である。そして、上面電極3及び蛍光体層6の上面
にガラス7が配設されている。
A fourth embodiment of the display device 1 shown in FIG.
The unit display cell will be described with reference to the sectional view. In this embodiment, the back surface electrode 4 and the antiferroelectric body 2 are formed in this order on the insulating substrate 8. On the upper surface of the anti-ferroelectric body 2, comb-shaped upper surface electrodes 3 and phosphor layers 6 are alternately formed. That is, the phosphor layer 6 is disposed between the comb-shaped electrodes. Then, the glass 7 is provided on the upper surfaces of the upper surface electrode 3 and the phosphor layer 6.

【0045】前述と同様にして上面電極3と裏面電極4
の間に交番電界を印加すると、反強誘電体2の上部表面
から冷電子が放出される。この冷電子は直ぐ上面にある
蛍光体層6に照射され、外部からガラス7によって蛍光
体の発光が確認される。このように、本実施例では、反
強誘電体2と蛍光体層6とを接触させて配設しているの
で前実施例のような中間物質10が無く、表示器を構成
したとき非常に薄型にすることができる。また、真空を
使用しないので表示器を大型化し易くなる。
Similar to the above, the top surface electrode 3 and the back surface electrode 4
When an alternating electric field is applied during, cold electrons are emitted from the upper surface of the antiferroelectric body 2. The cold electrons are immediately irradiated to the phosphor layer 6 on the upper surface, and the emission of the phosphor is confirmed by the glass 7 from the outside. As described above, in this embodiment, since the antiferroelectric substance 2 and the phosphor layer 6 are arranged in contact with each other, there is no intermediate substance 10 as in the previous embodiment, and when the display is constructed, it is very much. It can be made thin. In addition, since a vacuum is not used, it is easy to upsize the display.

【0046】第五実施例を、図8を参照して説明する。
本実施例は、縦横に平面状に単位表示セルを配置して平
面表示器を構成する例を示しており、図8はその表示素
子1の断面図を表している。絶縁基板8の上部に順に裏
面電極4、反強誘電体2及び上面電極3を形成している
が、裏面電極4と上面電極3はお互いに直交している櫛
形の電極としている。例えば、図8のように平面表示器
のx−y平面のx軸と平行に裏面電極4の各櫛形電極を
配列し、また、y軸と平行に上面電極3の各櫛形電極を
配列する。各単位表示セルCには少なくとも1本の裏面
電極4の櫛型電極と、少なくとも一本の上面電極3の櫛
型電極が配設されている。本実施例では、各単位表示セ
ルCに1本の裏面電極4と2本の上面電極3を配設して
おり、2本の上面電極3の間に蛍光体層6を形成してい
る。上面電極3の内側に、図9のように所定の大きさの
孔を設け、この孔の中に蛍光体層6を形成しても良い。
上面電極3及び蛍光体層6の直ぐ上面にガラス7を設け
ている。また、隣接した各単位表示セルCの上面電極3
の間には、中間物質11を設ける。この中間物質11
は、絶縁体(気体、液体、固体を問わない)又は空気や
真空等で構成されても良い。
The fifth embodiment will be described with reference to FIG.
This embodiment shows an example in which unit display cells are arranged vertically and horizontally to form a flat display, and FIG. 8 shows a cross-sectional view of the display element 1. The back surface electrode 4, the antiferroelectric body 2 and the top surface electrode 3 are formed in this order on the insulating substrate 8, and the back surface electrode 4 and the top surface electrode 3 are comb-shaped electrodes that are orthogonal to each other. For example, as shown in FIG. 8, the comb-shaped electrodes of the back surface electrode 4 are arranged in parallel with the x-axis of the xy plane of the flat panel display, and the comb-shaped electrodes of the upper surface electrode 3 are arranged in parallel with the y-axis. Each unit display cell C is provided with at least one comb-shaped electrode of the back surface electrode 4 and at least one comb-shaped electrode of the upper surface electrode 3. In this embodiment, each unit display cell C is provided with one back surface electrode 4 and two top surface electrodes 3, and a phosphor layer 6 is formed between the two top surface electrodes 3. A hole having a predetermined size may be provided inside the upper surface electrode 3 and the phosphor layer 6 may be formed in this hole.
A glass 7 is provided immediately on the upper surface electrode 3 and the phosphor layer 6. In addition, the upper surface electrode 3 of each adjacent unit display cell C
An intermediate substance 11 is provided between them. This intermediate substance 11
May be made of an insulator (regardless of gas, liquid or solid), air, vacuum or the like.

【0047】各単位表示セルCの上面電極3と裏面電極
4との間に交番電界を印加すると、反強誘電体2の上部
表面から冷電子が放出され、この冷電子が直ぐ上面にあ
る蛍光体層6に照射されて蛍光体が発光する。このと
き、上記交番電界は上面電極3と裏面電極4との間でマ
トリックス的に制御され、所定の位置の単位表示セルC
が発光するように交番電界が印加される。すなわち、例
えば各単位表示セルC毎の裏面電極4はy軸電界制御器
15にそれぞれ電源線y1 、y2 、y3 等によって接続
され、また各単位表示セルC毎の上面電極3はx軸電界
制御器16にそれぞれ電源線x1 、x2 、x3 等によっ
て接続される。そして、このx軸電界制御器16及びy
軸電界制御器15には交番電源9が接続される。
When an alternating electric field is applied between the upper surface electrode 3 and the rear surface electrode 4 of each unit display cell C, cold electrons are emitted from the upper surface of the antiferroelectric body 2, and the cold electrons immediately illuminate the fluorescence. When the body layer 6 is irradiated, the phosphor emits light. At this time, the alternating electric field is controlled like a matrix between the upper surface electrode 3 and the back surface electrode 4, and the unit display cell C at a predetermined position is controlled.
An alternating electric field is applied so that the LED emits light. That is, for example, the back surface electrode 4 for each unit display cell C is connected to the y-axis electric field controller 15 by power lines y1, y2, y3, etc., and the top electrode 3 for each unit display cell C is controlled for x-axis electric field. Power source lines x1, x2, x3, etc., respectively. The x-axis electric field controller 16 and y
An alternating power source 9 is connected to the axial electric field controller 15.

【0048】図10は、x軸電界制御器16及びy軸電
界制御器15の電界制御の実施例を表している。y軸電
界制御器15は、所定周期でサイクリックに各電源線y
1 、y2 、y3 等を所定時間だけ交番電源9に接続す
る。電源線y1 が交番電源9に接続されているとき、x
軸電界制御器16は、電源線y1 に対応した裏面電極4
上に位置する各単位表示セルC11、C21、C31等の中
で、点灯すべきセルに対応する上面電極3の電源線x1
、x2 、x3 等を交番電源9に接続する。これによっ
て、点灯すべきセルにのみ交番電界が印加され、このセ
ルが上記所定時間のみ点灯する。このようにして、交番
電源9に順次接続された各電源線に対応して、点灯すべ
きセルに対応する電源線x1 、x2 、x3 等を交番電源
9に接続して行き、マトリックス的に所定の位置の単位
表示セルCを発光させることができる。
FIG. 10 shows an embodiment of electric field control of the x-axis electric field controller 16 and the y-axis electric field controller 15. The y-axis electric field controller 15 cyclically powers each power line y at a predetermined cycle.
1, 1, y2, y3, etc. are connected to the alternating power source 9 for a predetermined time. When the power line y1 is connected to the alternating power source 9, x
The axial electric field controller 16 uses the back surface electrode 4 corresponding to the power supply line y1.
Among the unit display cells C11, C21, C31, etc. located above, the power supply line x1 of the upper surface electrode 3 corresponding to the cell to be lit
, X2, x3, etc. are connected to the alternating power source 9. As a result, the alternating electric field is applied only to the cells to be lit, and the cells are lit only for the predetermined time. In this way, the power supply lines x1, x2, x3, etc. corresponding to the cells to be lighted are connected to the alternating power supply 9 in correspondence with the respective power supply lines sequentially connected to the alternating power supply 9, and the predetermined power is supplied in a matrix. The unit display cell C at the position can be made to emit light.

【0049】本実施例では、裏面電極4と上面電極3と
を共に櫛形の電極にして、かつ、お互いに直交するよう
に配設しているので、各単位表示セルをマトリックス的
に選択して任意に表示できる。よって、文字や図形等を
表示できる平面表示器として構成することが可能とな
る。前実施例同様に反強誘電体2と蛍光体層6とを接触
させて配設しているので、表示器が非常に薄型になる。
また、真空を使用しないときは表示器を大型化し易くな
る。上面電極3の内側に孔を設けてこの孔の中に蛍光体
層6を形成すると、各単位表示セル同士の発光の干渉が
少なくなる。
In this embodiment, since the back surface electrode 4 and the top surface electrode 3 are both comb-shaped electrodes and are arranged so as to be orthogonal to each other, each unit display cell is selected in a matrix. It can be displayed arbitrarily. Therefore, it can be configured as a flat panel display capable of displaying characters and figures. Since the antiferroelectric substance 2 and the phosphor layer 6 are disposed in contact with each other as in the previous embodiment, the display is very thin.
Further, when the vacuum is not used, the size of the display is easily increased. If a hole is provided inside the upper electrode 3 and the phosphor layer 6 is formed in this hole, interference of light emission between the unit display cells is reduced.

【0050】次に、第六実施例を図11に基づいて説明
する。図11は、第5実施例と同様に平面表示器を構成
するときの表示素子1の断面図を表している。絶縁基板
8の上部に順に裏面電極4、反強誘電体2及び上面電極
3を形成し、裏面電極4と上面電極3は前述同様にお互
いに直交している櫛形の電極としている。また、上面電
極3の上面に蛍光体層6を形成し、蛍光体層6の上面に
ガラス7を配設している。反強誘電体2とガラス7との
間は、前実施例と同様に中間物質11の絶縁体又は空気
や真空等で構成しても良い。
Next, a sixth embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 11 shows a sectional view of the display element 1 when forming a flat panel display as in the fifth embodiment. A back surface electrode 4, an antiferroelectric body 2 and a top surface electrode 3 are sequentially formed on the insulating substrate 8, and the back surface electrode 4 and the top surface electrode 3 are comb-shaped electrodes which are orthogonal to each other as described above. Further, the phosphor layer 6 is formed on the upper surface of the upper electrode 3, and the glass 7 is arranged on the upper surface of the phosphor layer 6. The space between the antiferroelectric substance 2 and the glass 7 may be made of an insulator of the intermediate substance 11 or air, vacuum or the like as in the previous embodiment.

【0051】各単位表示セルCの上面電極3と裏面電極
4の間に交番電界を印加すると、反強誘電体2の上部表
面から冷電子が放出され、この冷電子が中間物質11を
通過して蛍光体層6に照射されて蛍光体が発光する。こ
のとき、上記交番電界は前実施例同様にして、上面電極
3と裏面電極4との間でマトリックス的に制御され、所
定の位置の単位表示セルCが発光するように交番電界が
印加される。よって、任意の表示セルをマトリックス的
に選択して表示でき、文字や図形等の平面表示器として
構成することが可能となる。
When an alternating electric field is applied between the upper surface electrode 3 and the back surface electrode 4 of each unit display cell C, cold electrons are emitted from the upper surface of the antiferroelectric body 2, and these cold electrons pass through the intermediate substance 11. Then, the phosphor layer 6 is irradiated and the phosphor emits light. At this time, the alternating electric field is controlled in a matrix manner between the upper surface electrode 3 and the rear surface electrode 4 as in the previous embodiment, and the alternating electric field is applied so that the unit display cell C at a predetermined position emits light. . Therefore, it is possible to select and display arbitrary display cells in a matrix, and to configure the display cell as a flat display for characters, figures, and the like.

【0052】尚、これまで説明した発光表示素子の実施
例において、反強誘電体に交番電界を印加して冷電子を
放出させる作用を数値を参照して説明したが、本発明の
作用及び効果はこれらの数値のみに限定されるものでは
なく、使用する反強誘電体の特性に応じて、あるいは制
作する表示器の仕様、性能等によって上記数値は設定さ
れる。したがって、上記数値以外の設定によって、又は
他の特性の反強誘電体を使用して、同様の作用及び効果
を有するものを、本発明の主旨の範囲内において構成で
きることは言うまでもない。
In the embodiments of the light emitting display device described above, the action of applying an alternating electric field to the antiferroelectric substance to emit cold electrons has been described with reference to the numerical values, but the action and effect of the present invention are described. Is not limited to these numerical values, and the above numerical values are set according to the characteristics of the antiferroelectric material used, or the specifications and performances of the display device to be manufactured. Therefore, it goes without saying that a substance having the same action and effect can be configured within the scope of the present invention by setting other than the above numerical values or by using an antiferroelectric substance having other characteristics.

【0053】[0053]

【発明の効果】反強誘電体を使用したので、放出電流を
大きくできる。また、真空を使用しなくても安定した大
きさの放出電流が得られる。また、交番電界の印加によ
る圧電効果によって発生する反強誘電体の内部応力は小
さいので、表示素子の寿命を向上できる。さらに、上記
印加電界を零にしたとき分極が零になるので、平面表示
器を構成したときでも蛍光体の不整発光は無く、また蛍
光体の発光の応答性を向上できる。この結果、耐久性が
あり、表示特性が優れた明るい発光表示素子の制作が可
能となる。
As the antiferroelectric material is used, the emission current can be increased. Moreover, a stable emission current can be obtained without using a vacuum. Moreover, since the internal stress of the antiferroelectric material generated by the piezoelectric effect due to the application of the alternating electric field is small, the life of the display element can be improved. Further, since the polarization becomes zero when the applied electric field is zero, even when the flat panel display is constructed, there is no irregular light emission of the phosphor and the responsiveness of the light emission of the phosphor can be improved. As a result, it is possible to manufacture a bright light-emitting display element that is durable and has excellent display characteristics.

【0054】冷電子の放出部を精密な形成工程によって
形成する必要がなくなったので、表示素子の形成工程が
簡単化された。よって、特性の均一な素子が容易に得ら
れ、大面積の表示器が制作し易くなった。また、平面部
から電子を放出するので、大電流を流すことも可能とな
り、さらに長時間電流を流しても安定した表示が得られ
るようになった。よって、表示性能及び信頼性を向上で
きた。
Since it is not necessary to form the cold electron emitting portion by a precise forming process, the forming process of the display element is simplified. Therefore, a device having uniform characteristics can be easily obtained, and a large-area display device can be easily manufactured. Further, since electrons are emitted from the flat surface portion, a large current can be made to flow, and stable display can be obtained even if a current is made to flow for a long time. Therefore, the display performance and reliability can be improved.

【0055】平面表示器を構成するときに、各単位表示
セルを平面状にマトリックス的に配列し、反強誘電体の
上下にお互いに直交している上面電極3及び裏面電極4
を少なくとも両電極のいずれか一方を櫛形にして設け、
この両電極をマトリックス的に選択して交番電界を印加
することができる。よって、平面表示器の任意の単位表
示セルを発光させることが容易となった。このとき、上
面電極3の内側に孔を設けてこの孔に蛍光体層を形成す
ると、各単位表示セル同士の発光の干渉を少なくでき
る。この結果、平面表示器を容易に構成することが可能
となった。
When forming a flat panel display, the unit display cells are arranged in a matrix in a plane and the upper surface electrode 3 and the back surface electrode 4 which are orthogonal to each other above and below the antiferroelectric material.
At least one of the electrodes is provided in a comb shape,
An alternating electric field can be applied by selecting both electrodes in a matrix. Therefore, it becomes easy to make any unit display cell of the flat panel display emit light. At this time, if a hole is provided inside the upper electrode 3 and a phosphor layer is formed in this hole, interference of light emission between the unit display cells can be reduced. As a result, it has become possible to easily construct a flat panel display.

【0056】反強誘電体から放出される冷電子は蛍光体
層に到達して蛍光体を発光させ、この発光を蛍光体層の
上部のガラスを通してセル外部から確認できる。よっ
て、簡単な構造で発光表示素子を構成できた。
The cold electrons emitted from the antiferroelectric material reach the phosphor layer to cause the phosphor to emit light, and this emission can be confirmed from the outside of the cell through the glass above the phosphor layer. Therefore, the light emitting display device can be constructed with a simple structure.

【0057】真空ガスを使用した場合は、反強誘電体か
ら放出された冷電子が非常に効率良く蛍光体層に到達す
るので、蛍光体の発光度を大きくできる。真空ガスの代
わりに絶縁体又はn型半導体を使用した場合は、構造を
簡単にできる。このとき、表示素子全体を半導体によっ
て構成できるので、構成が簡単になり、薄型、軽量及び
小型化に容易に対応可能となった。
When the vacuum gas is used, the cold electrons emitted from the antiferroelectric substance reach the phosphor layer very efficiently, so that the luminous intensity of the phosphor can be increased. When an insulator or an n-type semiconductor is used instead of the vacuum gas, the structure can be simplified. At this time, since the entire display element can be configured by the semiconductor, the configuration is simplified, and it is possible to easily cope with thinness, light weight and downsizing.

【0058】放出電流を大きくできるので、発光を明る
くできる。また、表示特性が長期間使用しても安定して
いるので、信頼性を向上できた。
Since the emission current can be increased, the light emission can be brightened. Further, the display characteristics are stable even after long-term use, so that the reliability can be improved.

【0059】構造が簡単で、かつ、均一な表示特性が安
定的に得られる大面積の平面表示器が容易に構成できる
ようになった。
It has become possible to easily construct a large-area flat panel display having a simple structure and stably obtaining uniform display characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第一実施例に係わる表示素子の断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】第一実施例の作用を説明する反強誘電体の電界
−分極特性図である。
FIG. 2 is an electric field-polarization characteristic diagram of an antiferroelectric material for explaining the operation of the first embodiment.

【図3】第一実施例の作用を説明する交番電界の波形図
である。
FIG. 3 is a waveform diagram of an alternating electric field for explaining the operation of the first embodiment.

【図4】第一実施例の作用を説明する反強誘電体の放出
電荷特性図である。
FIG. 4 is an emission charge characteristic diagram of an antiferroelectric material for explaining the operation of the first embodiment.

【図5】本発明の第二実施例に係わる表示素子断面図で
ある。
FIG. 5 is a sectional view of a display element according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第三実施例に係わる表示素子断面図で
ある。
FIG. 6 is a sectional view of a display device according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第四実施例に係わる表示素子断面図で
ある。
FIG. 7 is a sectional view of a display device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第五実施例に係わる表示素子断面図で
ある。
FIG. 8 is a sectional view of a display device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第五実施例に係わる孔開き上面電極の
例である。
FIG. 9 is an example of a perforated upper surface electrode according to the fifth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第五実施例の作用を説明する電界制
御の例である。
FIG. 10 is an example of electric field control for explaining the operation of the fifth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第六実施例に係わる表示素子断面図
である。
FIG. 11 is a sectional view of a display device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図12】従来技術の強誘電体使用の表示素子の断面図
である。
FIG. 12 is a cross-sectional view of a conventional display device using a ferroelectric material.

【図13】従来技術のp−n接合使用の表示素子の断面
図である。
FIG. 13 is a cross-sectional view of a conventional display device using a pn junction.

【図14】従来技術の強誘電体使用の表示素子の内部ス
トレスの説明図である。
FIG. 14 is an explanatory diagram of internal stress of a display element using a ferroelectric material according to the related art.

【図15】従来技術の強誘電体の電界−分極特性図であ
る。
FIG. 15 is a field-polarization characteristic diagram of a conventional ferroelectric substance.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 発光表示素子 2 反強誘電体 3 上面電極 4 裏面電極 5 グリッド電極 6 蛍光体層 7 ガラス 8 絶縁基板 9 交番電極 10 中間物質 11 中間物質 15 y軸電界制御器 16 x軸電界制御器 81 セル 82 絶縁基板 83 下部電極層 84 強誘電体層 85 上部電極層 86 ガラスセル 87 蛍光体層 88 電源 89 バイアス電極 90 バイアス電源 91 p型半導体基板 92 p型不純物領域 93 n型不純物領域 94 酸化膜 95 チップ部 96 絶縁膜 97 導電層 98 接合領域 Emax 印加最大電界値 P 分極 S スイッチングフィールド 1 Light-Emitting Display Element 2 Antiferroelectric Material 3 Top Electrode 4 Backside Electrode 5 Grid Electrode 6 Phosphor Layer 7 Glass 8 Insulating Substrate 9 Alternate Electrode 10 Intermediate Material 11 Intermediate Material 15 y-axis Electric Field Controller 16 x-axis Electric Field Controller 81 Cell 82 insulating substrate 83 lower electrode layer 84 ferroelectric layer 85 upper electrode layer 86 glass cell 87 phosphor layer 88 power supply 89 bias electrode 90 bias power supply 91 p-type semiconductor substrate 92 p-type impurity region 93 n-type impurity region 94 oxide film 95 Chip part 96 Insulating film 97 Conductive layer 98 Junction area Emax Applied maximum electric field value P Polarization S Switching field

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 反強誘電体(2) と、 反強誘電体(2) に交番電界を印加するための上面電極
(3) 及び裏面電極(4) と、 反強誘電体(2) に交番電界を印加したときに放射される
冷電子によって発光する蛍光体層(6) とを備えたことを
特徴とする発光表示素子。
1. An antiferroelectric material (2) and an upper surface electrode for applying an alternating electric field to the antiferroelectric material (2).
(3) and a back electrode (4), and a phosphor layer (6) that emits light by cold electrons emitted when an alternating electric field is applied to the antiferroelectric substance (2). Display element.
【請求項2】 前記上面電極(3) 及び裏面電極(4) は前
記反強誘電体(2) の上下にそれぞれ配設され、この両電
極の内少なくとも一方は櫛形又は孔開き電極であること
を特徴とする請求項1に記載の発光表示素子。
2. The upper surface electrode (3) and the back surface electrode (4) are arranged above and below the antiferroelectric material (2), and at least one of the electrodes is a comb-shaped or perforated electrode. The light emitting display element according to claim 1.
【請求項3】 前記反強誘電体(2) の上部に配設された
ガラス(7) と、 ガラス(7) 及び反強誘電体(2) の間に配設された蛍光体
層(6) 及び上面電極(3) とを備えたことを特徴とする請
求項1又は2に記載の発光表示素子。
3. A glass (7) disposed on the antiferroelectric body (2), and a phosphor layer (6) disposed between the glass (7) and the antiferroelectric body (2). ) And an upper surface electrode (3) are provided, The light emitting display element of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
【請求項4】 前記反強誘電体(2) と蛍光体層(6) との
間に、少なくとも真空ガス、絶縁体又はn型半導体のい
ずれか一つが設けられていることを特徴とする請求項
1、2又は3に記載の発光表示素子。
4. At least one of a vacuum gas, an insulator, and an n-type semiconductor is provided between the antiferroelectric body (2) and the phosphor layer (6). Item 5. The light emitting display device according to item 1, 2 or 3.
【請求項5】 前記反強誘電体(2) の冷電子放出側は、
略平坦であることを特徴とする請求項1、2、3又は4
に記載の発光表示素子。
5. The cold electron emission side of the antiferroelectric material (2) is
5. It is substantially flat and is characterized by being flat.
The light emitting display device according to item 1.
【請求項6】 前記発光表示素子を1個以上並べて平面
表示器を構成したことを特徴とする請求項1、2、3、
4又は5に記載の発光表示素子。
6. A flat-panel display is constructed by arranging one or more of the light-emitting display elements.
4. The light emitting display device according to 4 or 5.
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