JPH0970739A - Dynamic thermal displacement correcting method - Google Patents
Dynamic thermal displacement correcting methodInfo
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- JPH0970739A JPH0970739A JP23158595A JP23158595A JPH0970739A JP H0970739 A JPH0970739 A JP H0970739A JP 23158595 A JP23158595 A JP 23158595A JP 23158595 A JP23158595 A JP 23158595A JP H0970739 A JPH0970739 A JP H0970739A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、主軸等の回転機構
部を有する数値制御工作機械において加工中の熱変位を
リアルタイムで補正して高精度加工を可能にするダイナ
ミック熱変位補正方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dynamic thermal displacement correction method which enables real-time correction of thermal displacement during machining in a numerically controlled machine tool having a rotating mechanism such as a spindle to enable highly accurate machining.
【0002】[0002]
【従来の技術】工作機械等ににおいては主軸の回転に伴
って各部が発熱し、X,Y,Z方向に熱変位が生じる。
この熱変位は主軸に装着される加工具に影響が及ぶ。そ
のため、加工具の加工部位を熱変位分だけX,Y,Z方
向に補正しないと加工寸法がその分だけ狂う。従来技術
では各種の冷却手段等を採用して前記回転機構部等の温
度上昇を抑えて熱変化を極力小さくすると共に温度セン
サ等の検出機による情報を基にして機械の各部を熱変位
補正する方法が採用されていた。2. Description of the Related Art In a machine tool or the like, each part generates heat as the main shaft rotates, causing thermal displacement in the X, Y, and Z directions.
This thermal displacement affects the processing tool mounted on the spindle. Therefore, if the processing part of the processing tool is not corrected in the X, Y, and Z directions by the amount of thermal displacement, the processing size is deviated by that amount. In the prior art, various cooling means or the like are adopted to suppress the temperature rise of the rotating mechanism section or the like to minimize the heat change, and at the same time, the thermal displacement of each part of the machine is corrected based on the information from the detector such as the temperature sensor. The method was adopted.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】工作機械等において回
転機構部の1つである主軸台は複雑な構造からなり、発
熱体となる。この冷却手段としては各種型式のものが採
用されているが、いずれのものも高価なものである。ま
た、冷却手段によって主軸台内を常に常温状態に保持す
ることは困難である。一方、温度センサ等により主軸の
発熱状態を把握し、これに見合う熱変位補正をすること
により加工精度を向上させることは可能である。然し乍
ら、この方法は間歇的な補正であり、多様に変化する加
工部位における熱変位をその都度補正することはできな
い。従って、所定レベル以上の高精度加工ができない問
題点がある。In a machine tool or the like, a headstock, which is one of the rotating mechanism parts, has a complicated structure and serves as a heating element. Various types of cooling means have been adopted, but all of them are expensive. Further, it is difficult to keep the inside of the headstock always at room temperature by the cooling means. On the other hand, it is possible to improve the working accuracy by grasping the heat generation state of the spindle with a temperature sensor or the like and performing thermal displacement correction corresponding to this. However, this method is an intermittent correction, and it is not possible to correct the thermal displacement in the machining site that changes in various ways. Therefore, there is a problem that high-precision processing of a predetermined level or higher cannot be performed.
【0004】本発明は、以上の問題点を解決するもの
で、熱変位補正がリアルタイムで行われ、従来技術の数
分の1の高精度加工が可能なダイナミック熱変位補正方
法を提供することを目的とする。The present invention solves the above problems, and provides a dynamic thermal displacement correction method in which thermal displacement correction is performed in real time and which is capable of high precision machining of a fraction of the prior art. To aim.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、対象の加工機
械においてある回転数である時間回転する際の熱変位の
変化や、回転停止後における熱変位の変化が一定である
という機械の特性に基づき創案されたものであり、具体
的には、回転機構部の回転し、又は停止による温度変化
により少なくとも機械の加工部位がX,Y,Z方向に熱
変位する加工機械における熱変位補正方法であって、前
記加工機械を各種回転数(RPM)で適宜時間回転又は
回転後停止せしめて前記加工部位におけるX,Y,Z方
向の時間経過毎の熱変位を計測し回転数−時間の熱変位
テーブルを予め作成し、前記加工部位の座標位置をコン
トロールする制御部に記録せしめた後、前記加工機械を
適宜の加工条件で所定の加工を実施させ、当該加工中に
おける回転数およびその回転における経過時間や回転停
止後の経過時間および回転数変化を検出し、前記回転数
−時間の熱変位テーブルを基に所定の時間ピッチでその
回転数および時間に見合う熱変位分の補正をリアルタイ
ムで行いながら前記加工を続行するダイナミック熱変位
補正方法を特徴とする。また、前記制御部による熱変位
補正が、ワーク座標系を変化させるか、又は前記加工部
位におけるX,Y,Z軸の移動量を補正するかを選択的
に切換え可能に行うダイナミック熱変位補正方法を特徴
とするものである。According to the present invention, there is provided a characteristic of a machine in which a change in thermal displacement when rotating for a certain number of revolutions in a target processing machine and a change in thermal displacement after stopping rotation are constant. A method for correcting thermal displacement in a processing machine in which at least the machined part of the machine is thermally displaced in the X, Y, and Z directions due to temperature changes caused by rotation or stop of the rotation mechanism section. That is, the processing machine is rotated at various rotational speeds (RPMs) for an appropriate period of time, or stopped after rotation, and the thermal displacement of the processed portion in each of the X, Y, and Z directions is measured to measure the thermal speed-time of heat. After creating a displacement table in advance and recording it in the control unit that controls the coordinate position of the machining site, the machining machine is caused to perform predetermined machining under appropriate machining conditions, and the rotation speed and The elapsed time in the rotation, the elapsed time after the rotation is stopped, and the change in the number of revolutions are detected, and the thermal displacement corresponding to the number of revolutions and the time is corrected at a predetermined time pitch based on the thermal displacement table of the number of revolutions-time. It is characterized by a dynamic thermal displacement correction method in which the processing is continued while being performed in real time. Further, a dynamic thermal displacement correction method for selectively switching the thermal displacement correction by the control unit between changing the work coordinate system and correcting the movement amounts of the X, Y, and Z axes in the processing region. It is characterized by.
【0006】対象の加工機械ごとに予めある回転数にお
ける経過時間熱変位テーブルを予め作成すると共に、そ
の回転で回転した後、回転停止した場合の経過時間熱変
位テーブルを作成し、前記両テーブルを制御部に記録す
る。次に、実際の加工時における回転数やその回転にお
ける経過時間や回転停止後の経過時間および回転数の変
化の状態を求め、前記テーブルを基にして前記状態に対
応する熱変位量を求めて補正を行う。この補正は所定時
間ピッチでリアルタイムで行われる。その結果、加工機
械の加工部位のX,Y,Z方向の熱変位がリアルタイム
で補正され高精度加工が行われる。An elapsed time thermal displacement table at a certain number of rotations is created in advance for each target processing machine, and an elapsed time thermal displacement table is created when the rotation is stopped at that rotation and then both tables are created. Record in the controller. Next, the number of revolutions during actual machining, the elapsed time in that revolution, the elapsed time after the rotation is stopped, and the state of change in the number of revolutions are obtained, and the thermal displacement amount corresponding to the state is obtained based on the table. Make a correction. This correction is performed in real time at a predetermined time pitch. As a result, the thermal displacements in the X, Y, and Z directions of the processing portion of the processing machine are corrected in real time, and high-precision processing is performed.
【0007】[0007]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るダイナミック
熱変位補正方法を図面を参照して詳述する。図1に示す
ようにマシニングセンタ等の数値制御工作機械1はベッ
ド2上に載置されるコラム3およびテーブル4と、コラ
ム3にY方向に沿って移動自在に支持される主軸台5等
からなる。なお、コラム3はZ方向に沿って移動し、テ
ーブル4はX方向に沿って移動する。主軸台5には主軸
6が装着され、テーブル4上には図略のワークが搭載さ
れる。該ワークは主軸6に装着される加工具(図略)等
により加工される。以上の構造から主軸6の加工具の装
着位置Bとテーブル4上のワークの搭載位置Aとの間の
熱変位状態を計測することにより加工部位における熱変
位にほぼ等しい熱変位量を推定することができる。実際
にこの加工部位における熱変位を計測する方法としては
次のようにして行う。即ち、装着位置Bにボール7を装
着し、それと相対向する位置にギャップセンサのフラッ
ト面8を設け、フラット面8を搭載位置Aと関連させて
セットする。ボール7とフラット面8間のギャップδの
変化を検出し、計測装置9で計測することにより熱変位
を求めることができる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a dynamic thermal displacement correction method according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, a numerically controlled machine tool 1 such as a machining center comprises a column 3 and a table 4 placed on a bed 2, and a headstock 5 supported by the column 3 so as to be movable in the Y direction. . The column 3 moves along the Z direction, and the table 4 moves along the X direction. A spindle 6 is mounted on the spindle stock 5, and a work (not shown) is mounted on the table 4. The work is processed by a processing tool (not shown) attached to the spindle 6. From the above structure, by estimating the thermal displacement state between the mounting position B of the processing tool on the spindle 6 and the mounting position A of the work on the table 4, a thermal displacement amount substantially equal to the thermal displacement at the processing site can be estimated. You can The method for actually measuring the thermal displacement at this processed portion is as follows. That is, the ball 7 is mounted at the mounting position B, the flat surface 8 of the gap sensor is provided at a position opposite to the ball 7, and the flat surface 8 is set in association with the mounting position A. The thermal displacement can be obtained by detecting the change in the gap δ between the ball 7 and the flat surface 8 and measuring it with the measuring device 9.
【0008】数値制御工作機械1の熱変位特性は次のよ
うにして予め求められる。主軸6を例えば回転数20,
000RPM,18,000RPM,16,000RP
M,14,000RPM・・・で回転し、時間経過ごと
の熱変位δの値を測定する。本例では5分毎に行う。次
に、熱変位δの値が飽和状態(安定状態)に到達した時
点で主軸6の回転を停止し、前記と同様に時間経過毎の
熱変位δの変化を求める。以上の測定方法により図2お
よび図3に示すような回転数−時間の熱変位テーブルが
作成される。このテーブルは数値制御工作機械1の主軸
6のX,Y,Z方向の位置制御を行う制御部に入力され
て記録される。The thermal displacement characteristics of the numerically controlled machine tool 1 are obtained in advance as follows. For example, the spindle 6 has a rotational speed of 20,
000RPM, 18,000RPM, 16,000RP
Rotate at M, 14,000 RPM ... And measure the value of thermal displacement δ with the passage of time. In this example, it is performed every 5 minutes. Next, when the value of the thermal displacement δ reaches the saturated state (stable state), the rotation of the main shaft 6 is stopped, and the change in the thermal displacement δ with the lapse of time is obtained as in the above. By the above measuring method, the thermal displacement table of rotation speed-time as shown in FIGS. 2 and 3 is created. This table is input to and recorded in the control unit that controls the position of the spindle 6 of the numerically controlled machine tool 1 in the X, Y, and Z directions.
【0009】図2は主軸6の回転中における熱変位δを
示す回転中熱変位補正テーブルである。図示のように主
軸6が20,000RPMで回転している場合には経過
時間5分ではaの熱変位があり、次の10分ではb,以
下、次の15分,20分,25分,30分・・・では
c,d,e,f・・・の熱変位が生じる。同様に、主軸
6の回転数RPMが18,000RPM、16,000
RPM、14,000RPMの場合の経過時間5分乃至
30分・・・毎の熱変位はg,h,i,j,k,l・・
・、m,n,o,p,q,r・・・、s,t,u,v,
w,x・・・となる。FIG. 2 is a rotational thermal displacement correction table showing thermal displacement δ during rotation of the main shaft 6. When the main shaft 6 is rotating at 20,000 RPM as shown in the figure, there is a thermal displacement of a at the elapsed time of 5 minutes, b at the next 10 minutes, below, the next 15 minutes, 20 minutes, 25 minutes, At 30 minutes ..., Thermal displacement of c, d, e, f ... occurs. Similarly, the rotation speed RPM of the spindle 6 is 18,000 RPM, 16,000 RPM.
In the case of RPM, 14,000 RPM, the elapsed time is 5 minutes to 30 minutes ... The thermal displacement is g, h, i, j, k, l ...
., M, n, o, p, q, r ..., s, t, u, v,
w, x ...
【0010】図3は主軸6がある時間だけ一定のRPM
で回転し、熱変位が飽和状態になった状態で主軸6の回
転を停止し、そのまま放置した場合の停止中熱変位補正
テーブルを示す。図示のように、回転数20,000R
PMで回転していた主軸6が停止した後における5分毎
の熱変位δの値がa′,b′,c′,d′,e′,f′
・・・で示される。同様に、18,000RPM、1
6,000RPM、14,000RPM・・・にわける
時間経過毎の熱変位δの値が、g′,h′,i′,
j′,k′,l′・・・、m′,n′,o′,p′,
q′,r′・・・s′,t′,u′,v′,w′,x′
・・・で示される。なお、図5には20,000RPM
と15,000RPMにおける時間−熱変位曲線が示さ
れている。FIG. 3 shows that the spindle 6 has a constant RPM for a certain time.
The following table shows a thermal displacement correction table during stop when the main shaft 6 is rotated in a state where the thermal displacement is saturated and the rotation of the main shaft 6 is stopped and left as it is. Rotation speed 20,000R as shown
The values of the thermal displacement δ every 5 minutes after the spindle 6 rotating at PM stopped are a ', b', c ', d', e ', f'.
Indicated by. Similarly, 18,000 RPM, 1
The value of the thermal displacement δ for each elapsed time divided into 6,000 RPM, 14,000 RPM, ... Is g ′, h ′, i ′,
j ', k', l '..., m', n ', o', p ',
q ', r' ... s ', t', u ', v', w ', x'
Indicated by. In addition, in FIG. 5, 20,000 RPM
And the time-thermal displacement curve at 15,000 RPM is shown.
【0011】次に、本例の作用を説明する。ワークの加
工においては主軸6の回転数RPMは加工物の形状,寸
法,加工方法に対応して変化し、且つ一定の回転数にお
ける加工時間(経過時間)もまちまちである。従って、
実際の加工時における本例の作用を示すことは複雑であ
り理解しにくい。そこで、図5に本例の作用を説明する
ための模擬的のパターンを示す。即ち、主軸6の回転開
始(t0)から主軸6は20,000RPMで回転をし
始め、t1だけ時間経過した時点で回転を停止する。次
に、t2だけ経過した時点で再び主軸6を15,000
RPMで回転する。次に、t3だけ時間経過した時点で
再び主軸6の回転を停止し放置する。経過時間t4にお
いて主軸6はもとの回転開始時間における状態に戻る。
以上のパターンにおいて加工部位における熱変位δの値
を求めることにより、図2,図3に示したような熱変位
テーブルを作成することができる。前記パターンに基づ
く実際の加工においては、例えば数値制御工作機械1の
制御部により図5に示した熱変位δの分だけ加工部位に
おけるX,Y,Z方向の変位補正を行うことにより熱変
位の生じない状態でワーク加工が行われ高精度加工がで
きる。なお、制御方法としては、前記したようにワーク
座標系を補正分だけ変化させるか、又はX,Y,Z軸の
移動量を補正分だけ補正するかのいずれの制御方法を用
いてもよい。Next, the operation of this example will be described. In machining a workpiece, the RPM RPM of the spindle 6 changes depending on the shape, size, and machining method of the workpiece, and the machining time (elapsed time) at a constant revolution also varies. Therefore,
It is complicated and difficult to understand to show the operation of this example in actual processing. Therefore, FIG. 5 shows a simulated pattern for explaining the operation of this example. That is, the spindle 6 starts to rotate at 20,000 RPM from the start of rotation (t 0 ) of the spindle 6, and stops after a lapse of time t 1 . Next, when t 2 has passed, the spindle 6 is again rotated by 15,000.
Rotate at RPM. Then, when the time t 3 has elapsed, the rotation of the spindle 6 is stopped again and the spindle 6 is left standing. At the elapsed time t 4 , the spindle 6 returns to the state at the original rotation start time.
By obtaining the value of the thermal displacement δ in the processed portion in the above pattern, the thermal displacement table as shown in FIGS. 2 and 3 can be created. In the actual machining based on the pattern, for example, the controller of the numerically controlled machine tool 1 corrects the displacement in the X, Y and Z directions in the machining portion by the thermal displacement δ shown in FIG. Workpiece machining is performed in a state where it does not occur, and high precision machining is possible. As the control method, either of the control methods of changing the work coordinate system by the correction amount as described above or correcting the movement amounts of the X, Y, and Z axes by the correction amount may be used.
【0012】次に、図6のフローチャートにより本例の
熱変位補正方法のプロセスを説明する。まず、加工状態
における経過時間および回転数RPMがその都度求めら
れる(ステップ100,101)。次に、主軸の回転が
確認され(ステップ102)、回転中の場合(yes)
には停止中フラグオフの設定(ステップ103)が行わ
れる。一方、回転中でない場合(no)には回転中フラ
グオフ設定(ステップ104)に進む。停止中フラグオ
フ確認がなされたら回転中フラグオフのyes又はno
が判別され(ステップ105)、yesの場合は時間リ
セット(ステップ106)に進み時間計測が行われる
(ステップ107)。noの場合には直接ステップ10
7の時間計測が行われる。次に、それまでのRPMと現
在のRPMが比較され(ステップ108)、一致する場
合(yes)には前記の補正データに基づく熱変位補正
が行われる(ステップ109)。一方、一致していない
場合(no)には回転中フラグオンで現在のRPMをリ
セットし(ステップ110)、再びステップ108に戻
る。一方、回転中フラグオフ確認のステップ104を行
った場合には引き続き停止中フラグオフのyes,no
が判別され(ステップ111)、yesの場合には時間
リセット(ステップ112)し、時間計測が行われる
(ステップ113)。noの場合には直接ステップ11
3の時間計測を行う。次に、停止中熱変位補正データに
よる熱変位補正を行う(ステップ114)。Next, the process of the thermal displacement correction method of this embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the elapsed time and the rotation speed RPM in the processing state are calculated each time (steps 100 and 101). Next, it is confirmed that the spindle is rotating (step 102), and if it is rotating (yes).
The stop flag is set to OFF (step 103). On the other hand, if it is not rotating (no), the process proceeds to the rotation flag OFF setting (step 104). If it is confirmed that the flag during stop is off, yes or no that the flag during rotation is off
Is determined (step 105), and if yes, the process proceeds to time reset (step 106) and time measurement is performed (step 107). If no, step 10 directly
Time measurement of 7 is performed. Next, the previous RPM and the current RPM are compared (step 108), and if they match (yes), thermal displacement correction based on the correction data is performed (step 109). On the other hand, if they do not match (no), the current RPM is reset by turning on the rotating flag (step 110), and the process returns to step 108 again. On the other hand, if the step 104 for confirming that the rotation flag is off is performed, the stop flag is continuously turned off yes, no.
Is determined (step 111), and if yes, the time is reset (step 112) and the time is measured (step 113). If no, step 11 directly
Measure the time of 3. Next, the thermal displacement correction based on the thermal displacement correction data during stop is performed (step 114).
【0013】具体的には本例によれば1/3程度の加工
制度の向上が実証された。また、熱変位補正の時間ピッ
チは本例では10秒毎であったが、これに限定するもの
ではない。Specifically, according to this example, it was verified that the processing system was improved by about 1/3. Further, the time pitch of the thermal displacement correction is every 10 seconds in this example, but it is not limited to this.
【0014】[0014]
【発明の効果】本発明に係るダイナミック熱変位補正方
法によれば次のような顕著な効果を奏する。 1)加工態様に応じた熱変位補正が予め計測された記録
テーブルによってリアルタイムで行われるため、高精度
加工が可能になる。 2)実際の加工機械そのものを作動させて加工部位にお
いて熱変位補正テーブルを作成し、この補正テーブルを
基にして加工中に適宜時間間隔で補正を行うため、従来
の方法に較べて極めて効果的な補正が行われる。 3)温度センサやこの検出信号に基づく作動する制御装
置等が不要になり、制御系のコストダウンが図れる。 4)加工機械のすべてのものに適用可能であり適用範囲
が広い。The dynamic thermal displacement correction method according to the present invention has the following remarkable effects. 1) Since the thermal displacement correction according to the processing mode is performed in real time by the recording table that is measured in advance, high-precision processing becomes possible. 2) The actual processing machine itself is operated to create a thermal displacement correction table at the processing site, and corrections are made at appropriate time intervals during processing based on this correction table, which is extremely effective compared to conventional methods. Correction is performed. 3) A temperature sensor, a control device that operates based on the detection signal, and the like are unnecessary, and the cost of the control system can be reduced. 4) It is applicable to all kinds of processing machines and has a wide range of applications.
【図1】工作機械における本発明の回転数−時間の熱変
位テーブルを予め作成するため計測方法を説明するため
の説明図。FIG. 1 is an explanatory view for explaining a measuring method for creating a thermal speed-time thermal displacement table of the present invention in a machine tool in advance.
【図2】本発明における回転中熱変位補正テーブルの一
例を示す図表。FIG. 2 is a diagram showing an example of a thermal displacement correction table during rotation according to the present invention.
【図3】本発明における停止中熱変位補正テーブルの一
例を示す図表。FIG. 3 is a table showing an example of a thermal displacement correction table during stop in the present invention.
【図4】本発明における時間−熱変位曲線を示す線図。FIG. 4 is a diagram showing a time-thermal displacement curve in the present invention.
【図5】本発明における時間−熱変位曲線を示す線図。FIG. 5 is a diagram showing a time-thermal displacement curve in the present invention.
【図6】本発明の熱変位補正を説明するためのフローチ
ャート。FIG. 6 is a flowchart for explaining thermal displacement correction of the present invention.
1 数値制御工作機械 2 ベッド 3 コラム 4 テーブル 5 主軸台 6 主軸 7 ボール 8 フラット面 9 計測装置 1 Numerical control machine tool 2 Bed 3 Column 4 Table 5 Spindle base 6 Spindle 7 Ball 8 Flat surface 9 Measuring device
Claims (2)
化により少なくとも機械の加工部位がX,Y,Z方向に
熱変位する加工機械における熱変位補正方法であって、
前記加工機械を各種回転数(RPM)で適宜時間回転
し、又は回転後停止せしめて前記加工部位におけるX,
Y,Z方向の時間経過毎の熱変位を計測し回転数−時間
の熱変位テーブルを予め作成し、前記加工部位の座標位
置をコントロールする制御部に記録せしめた後、前記加
工機械を適宜の加工条件で所定の加工を実施させ、当該
加工中における回転数およびその回転における経過時間
や回転停止後の経過時間および回転数変化を検出し、前
記回転数−時間の熱変位テーブルを基に所定の時間ピッ
チでその回転数および時間に見合う熱変位分の補正をリ
アルタイムで行いながら前記加工を続行することを特徴
とするダイナミック熱変位補正方法。1. A method for correcting thermal displacement in a processing machine, wherein at least a machined part of the machine is thermally displaced in X, Y, and Z directions due to a temperature change caused by rotation or stop of a rotating mechanism.
The processing machine is rotated at various rotational speeds (RPM) for an appropriate period of time, or stopped after the rotation so that X, X
After measuring the thermal displacement in each of the Y and Z directions with time, a thermal displacement-time thermal displacement table is created in advance, and the thermal displacement table is recorded in the control unit that controls the coordinate position of the machining site. Perform predetermined processing under the processing conditions, detect the number of revolutions during the machining, the elapsed time in the rotation, the elapsed time after rotation stop and the change in the number of revolutions, and determine based on the thermal displacement table of the number of revolutions-time. A dynamic thermal displacement correction method, characterized in that the machining is continued while correcting the amount of thermal displacement commensurate with the rotational speed and time in real time at the time pitch of.
座標系を変化させるか、又は前記加工部位におけるX,
Y,Z軸の移動量を補正するかを選択的に切換え可能に
行うものである請求項1に記載のダイナミック熱変位補
正方法。2. The thermal displacement correction by the control unit changes the work coordinate system, or X,
2. The dynamic thermal displacement correction method according to claim 1, wherein whether or not to correct the movement amounts of the Y and Z axes is selectively switchable.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23158595A JPH0970739A (en) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | Dynamic thermal displacement correcting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23158595A JPH0970739A (en) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | Dynamic thermal displacement correcting method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0970739A true JPH0970739A (en) | 1997-03-18 |
Family
ID=16925829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23158595A Pending JPH0970739A (en) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | Dynamic thermal displacement correcting method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0970739A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012071404A (en) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Howa Mach Ltd | Thermal displacement correction method for machine tool and machine tool |
KR101420259B1 (en) * | 2006-09-27 | 2014-07-16 | 비아 메카닉스 가부시키가이샤 | Machining method of printed circuit boards |
-
1995
- 1995-09-08 JP JP23158595A patent/JPH0970739A/en active Pending
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