JPH0968564A

JPH0968564A - Ｓｑｕｉｄ磁束計

Info

Publication number: JPH0968564A
Application number: JP8157288A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Sata; 健一佐多
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1995-06-20
Filing date: 1996-06-18
Publication date: 1997-03-11
Anticipated expiration: 2016-06-18
Also published as: JP3039376B2

Abstract

(57)【要約】【目的】極低温冷凍機の最終段の冷却ステージを必要
以上に大型化することなく、ＳＱＵＩＤ磁束計をマルチ
チャンネル化する。【構成】ピックアップコイル６を最終段の冷却ステー
ジ３にねじ止めされたベース部材３ａに対して、熱伝導
体からなる線材を編成してなる布状体５ａと、熱伝導体
からなる線材により強化された繊維強化樹脂５ｂとを直
列状に有する伝熱支持部材５によりピックアップコイル
６を支持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はＳＱＵＩＤ磁束計
に関し、さらに詳細にいえば、ＳＱＵＩＤ（超伝導量子
干渉素子、ＳｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇＱＵａｎ
ｔｕｍＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅＤｅｖｉｃｅ）お
よびピックアップコイルを極低温冷凍機により極低温状
態まで冷却し、ピックアップコイルにより検出した外部
磁束をＳＱＵＩＤに導くようにしてなるＳＱＵＩＤ磁束
計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、極低温冷凍機を用いてＳＱＵ
ＩＤおよびピックアップコイルを極低温状態まで冷却
し、この状態においてピックアップコイルにより外部磁
束を検出してＳＱＵＩＤの超伝導ループに導くようにし
たＳＱＵＩＤ磁束計が提案されている。ここで、ＳＱＵ
ＩＤとしては、ｄｃ−ＳＱＵＩＤを用いることが好まし
く、この場合には、ＦＬＬ回路およびモジュレーション
コイルを用いて、ピックアップコイルにより検出された
磁束をＳＱＵＩＤの超伝導ループに導くことによる磁束
の変動を補償することが一般的である。

【０００３】また、このようなＳＱＵＩＤ磁束計におい
て、ピックアップコイルの位置は、極低温部を包囲する
ケーシングに可能な限り近い位置に設定することが好ま
しい。したがって、極低温冷凍機の複数段の冷却ステー
ジのうち、最終段の冷却ステージに対して、熱伝導体か
らなる線材を布状に編成してなる布状体により強化され
た繊維強化プラスチックなどからなる伝熱支持部材８０
を熱的に接合された状態で配置し、電熱支持部材８０の
所定位置にピックアップコイル８３を巻回してなる構成
が採用されている（図９、図１０参照）。なお、図５は
従来のＳＱＵＩＤ磁束計の構成を概略的に示しており、
内部空間の熱伝導を殆ど０にすべく真空にされたケーシ
ング８４の内部に輻射熱を遮蔽する輻射シールド８５が
配置され、輻射シールド８５により包囲される状態で最
終段の冷却ステージ（例えば、ほぼ４Ｋの冷熱を発生さ
れるステージ）８６が配置されている。この冷却ステー
ジ８６上にはＳＱＵＩＤ８７が直接伝熱可能に配置され
ているとともに、超伝導シールド８７ａによってＳＱＵ
ＩＤ８７が包囲されており、伝熱ブラケット８８を介し
て伝熱支持部材８９が配置されている。図５において
は、伝熱支持部材８９が輻射シールド８５の上部を貫通
して上方に延びており、これに対応してケーシング８４
の上部が局部的に上方に延出している。

【０００４】上記の構成を採用すれば、熱伝導体からな
る線材が金属、例えばＣｕからなるものであっても、樹
脂被膜を施された線材を用いればこの部分には電流が流
れないため、単に熱伝導部材として機能し、ピックアッ
プコイル８３を極低温にまで冷却し、ピックアップコイ
ル８３を超伝導状態に遷移させることができる。もちろ
ん、ＳＱＵＩＤ８７も超伝導状態に遷移されるので、Ｓ
ＱＵＩＤ磁束計として機能させることが可能である。ま
た、ピックアップコイル８３がケーシング８４の延出部
に位置しているのであるから、人体などの測定対象部位
にピックアップコイル８３を簡単に接近させることがで
き、測定対象部位の磁束計測を高感度、高精度に達成す
ることができる。

【０００５】また、液体ヘリウムにＳＱＵＩＤ、ピック
アップコイルを浸漬する方法ではなく、極低温冷凍機を
用いて伝熱によりこれらを極低温状態にまで冷却する方
法を採用しているので、液体ヘリウムの消費による運転
コストの増大を防止できるとともに、操作のための有資
格者が不要になる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の構成の
ＳＱＵＩＤ磁束計を用いて生体磁気計測を行う場合に
は、一般的に、ＳＱＵＩＤとピックアップコイルとの数
（以下、チャンネル数と称する）を多くする必要がある
とともに、各ピックアップコイルを生体表面に極力近づ
ける必要がある。

【０００７】そして、生体の表面は一般的に曲面である
から、伝熱支持部材８０により支持されたピックアップ
コイル８３を生体表面に対して上述のように配置しよう
とすれば、図１１に示すように、伝熱支持体８０の基部
を曲面上に配列しなければならなくなってしまう。この
結果、最終段の冷却ステージを大型化せざるを得なくな
り、同時にクライオスタットも大型化せざるを得なくな
る。この結果、輻射侵入熱が増加し、極低温冷凍機によ
る冷却効率が低下してしまう。したがって、極低温冷凍
機として大容量のものを採用しなければならなくなると
ともに、常温から極低温へのクールダウンの所要時間が
長くなってしまう。

【０００８】また、伝熱支持部材は、極低温状態に冷却
されることにより熱収縮を起こし、ピックアップコイル
がケーシングから離れてしまうので、測定対象部位の磁
束検出感度が低くなってしまう。

【０００９】

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、冷却効率の低下を抑制することができる
とともに、クールダウン所要時間の長時間化を抑制する
ことができるＳＱＵＩＤ磁束計を提供することを目的と
している。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１のＳＱＵＩＤ磁
束計は、極低温冷凍機の極低温部の所定位置にＳＱＵＩ
Ｄを伝熱可能に配置してあるとともに、極低温部の所定
位置に対して伝熱支持部材を介して伝熱可能にピックア
ップコイルを支持してあり、伝熱支持部材の一部が形状
保持部材と熱伝導体からなる線材を編成してなる布状体
とで構成され、伝熱支持部材の残部が熱伝導体からなる
線材を編成してなる布状体で構成されてなる。

【００１１】請求項２のＳＱＵＩＤ磁束計は、熱伝導体
からなる線材を編成してなる布状体に代えて、熱伝導体
からなる線材を互いに並列状に配置してなるものを採用
したものである。請求項３のＳＱＵＩＤ磁束計は、前記
伝熱支持部材の一部として、熱伝導体からなる線材を編
成してなる筒状の布状体と、この布状体の内面側に位置
する内部形状保持部材と、この布状体の外面側に位置す
る外部形状保持部材とで構成されたものを採用し、しか
も、外部形状保持部材として、内部形状保持部材よりも
熱伝導率が高い材質からなるものを採用している。

【００１２】請求項４のＳＱＵＩＤ磁束計は、内部形状
保持部材としてガラス繊維強化プラスチックからなるも
のを採用し、外部形状保持部材としてアルミナセラミッ
クスからなるものを採用している。請求項５のＳＱＵＩ
Ｄ磁束計は、前記伝熱支持部材の一部として、熱伝導体
からなる線材を編成してなる筒状の布状体と、この布状
体の内面側に位置する内部形状保持部材と、この布状体
の外面側に位置するとともに、前記布状体の端部よりも
突出するように延設されてなる外部形状保持部材とで構
成されたものを採用し、しかも、外部形状保持部材とし
て、内部形状保持部材よりも熱伝導率が高い材質からな
るものを採用している。

【００１３】請求項６のＳＱＵＩＤ磁束計は、内部形状
保持部材としてガラス繊維強化プラスチックからなるも
のを採用し、外部形状保持部材としてチッ化アルミナセ
ラミックスからなるものを採用している。

【００１４】

【作用】請求項１のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、極低温
冷凍機の極低温部の所定位置にＳＱＵＩＤを伝熱可能に
配置してあるとともに、極低温部の所定位置に対して伝
熱支持部材を介して伝熱可能にピックアップコイルを支
持してあるので、従来のＳＱＵＩＤ磁束計と同様にＳＱ
ＵＩＤおよびピックアップコイルを極低温状態にまで冷
却することができる。そして、伝熱支持部材の一部が形
状保持部材と熱伝導体からなる線材を編成してなる布状
体とで構成され、伝熱支持部材の残部が熱伝導体からな
る線材を編成してなる布状体で構成されてなるのである
から、伝熱支持部材の残部が可撓性を有することにな
り、曲面である測定対象面に対して互いにほぼ等距離に
なるようにピックアップコイルを配置する場合であって
も、伝熱支持部材の基部を平面上に配置することができ
る。したがって、多チャンネル化したことに伴なう極低
温部の大型化以上に極低温部が大型化することを防止す
ることができ、クールダウン所要時間が必要以上に長時
間化することを防止することができる。また、クライオ
スタットが必要以上に大型化することを防止することが
でき、冷却効率が必要以上に低下することを防止するこ
とができる。

【００１５】請求項２のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、熱
伝導体からなる線材を編成してなる布状体に代えて、熱
伝導体からなる線材を互いに並列状に配置してなるもの
を採用しているので、伝熱支持部材の残部の可撓性を一
層高めることができるほか、請求項１と同様の作用を達
成することができる。請求項３のＳＱＵＩＤ磁束計であ
れば、前記伝熱支持部材の一部として、熱伝導体からな
る線材を編成してなる筒状の布状体と、この布状体の内
面側に位置する内部形状保持部材と、この布状体の外面
側に位置する外部形状保持部材とで構成されたものを採
用し、しかも、外部形状保持部材として、内部形状保持
部材よりも熱伝導率が高い材質からなるものを採用して
いるので、外部形状保持部材の外面に設けられるピック
アップコイルと筒状の布状体との距離を大きくし、筒状
の布状体が発生する熱雑音がピックアップコイルを介し
てＳＱＵＩＤ磁束計に与える影響を抑制することができ
る。

【００１６】請求項４のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、内
部形状保持部材としてガラス繊維強化プラスチックから
なるものを採用し、外部形状保持部材としてアルミナセ
ラミックスからなるものを採用しているので、ピックア
ップコイルを装着するための溝の製作精度を高めること
ができる。請求項５のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、前記
伝熱支持部材の一部として、熱伝導体からなる線材を編
成してなる筒状の布状体と、この布状体の内面側に位置
する内部形状保持部材と、この布状体の外面側に位置す
るとともに、前記布状体の端部よりも突出するように延
設されてなる外部形状保持部材とで構成されたものを採
用し、しかも、外部形状保持部材として、内部形状保持
部材よりも熱伝導率が高い材質からなるものを採用して
いるので、外部形状保持部材の外面に設けられるピック
アップコイルと筒状の布状体との距離を一層大きくし、
筒状の布状体が発生する熱雑音がピックアップコイルを
介してＳＱＵＩＤ磁束計に与える影響を一層抑制するこ
とができる。

【００１７】請求項６のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、内
部形状保持部材としてガラス繊維強化プラスチックから
なるものを採用し、外部形状保持部材としてチッ化アル
ミナセラミックスからなるものを採用しているので、ピ
ックアップコイルを装着するための溝の製作精度を高め
ることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、実施例を示す添付図面によ
ってこの発明の実施の態様を詳細に説明する。図１はこ
の発明のＳＱＵＩＤ磁束計の一実施態様を示す概略図で
ある。このＳＱＵＩＤ磁束計は、熱伝導をほぼ０にすべ
く内部を真空にしたケーシング１の内部に輻射熱の影響
を排除するための輻射シールド２を有しており、この輻
射シールド２の内部に従来公知の極低温冷凍機の最終段
の冷却ステージ３を有している。そして、この冷却ステ
ージ３の所定位置に伝熱可能に複数個のＳＱＵＩＤ４を
設けてあるとともに、各ＳＱＵＩＤ４に対応させて伝熱
支持部材５を設けてある。そして、各伝熱支持部材５の
先端部にピックアップコイル６を設けてある。ただし、
図１においては、簡単化のために、１個のＳＱＵＩＤ４
と１個の伝熱支持部材５のみを示してある。

【００１９】この伝熱支持部材５は輻射シールド２の所
定位置を貫通して冷却ステージ３から離れる方向（図１
中において上方）に伸びており、ケーシング１の所定位
置も伝熱支持部材５に対応して局部的に冷却ステージ３
から離れる方向に伸びている。ただし、ケーシング３の
局部的な延長部は測定対象部位の曲面に沿うように長
さ、向きがそれぞれ設定されている。

【００２０】図２は伝熱支持部材５の一実施態様を示す
正面図、図３は側面図である。図２、図３において、最
終段の冷却ステージ３の所定位置にねじ込みなどにより
一体的に連結されるベース部材３ａが示されているが、
これは冷却ステージ３の一部として機能するものであ
り、特許請求の範囲にいう極低温部の一部を構成する。
また、図４、図５にも示すように、ベース部材３ａの所
定位置に内部空間３ｃを有する超伝導シールド３ｂが設
けられており、この空間３ｃに収容されるＳＱＵＩＤ４
に外部雑音磁束が作用することを防止する。ＳＱＵＩＤ
４などに対する配線は、ベース部材３ａ、超伝導シール
ド３ｂに形成された穴３ｄを通して引き出される。な
お、図５には、２つの超伝導シールド３ｂが設けられて
いるが、図２、図３に対応させる場合には一方の超伝導
シールド３ｂを取外せばよい。この伝熱支持部材５は、
ベース部材３ａの先端部に対してねじ止め、かしめ止め
などにより一体的に連結される布状体５ａと、この布状
体５ａの先端部に一体的に連結された筒状体５ｂとを有
しており、この筒状体５ｂの所定位置にピックアップコ
イル６が設けられている。また、図６に示すように、１
つのベース部材３ａに対して２つの布状体５ａを一体的
に連結し、ベース部材３ａを最終段の冷却ステージ３に
連結することにより、２つのＳＱＵＩＤ４および２つの
ピックアップコイル６を極低温状態にまで冷却すること
ができる。

【００２１】なお、布状体５ａは、例えば、銅などの非
磁性金属や炭素繊維からなり、樹脂等の非導電体により
被膜された線材を縦横に編成して布状にしてなるもので
ある。ここで、各線材は、布状体５ａの長手方向に伸び
るものと、長手方向と直角な方向に伸びるものとを用い
ている。したがって、図２、図３において示されている
斜線は線材の方向を示すものではない。また、筒状体５
ｂは、例えば、銅などの非磁性金属や炭素繊維からな
り、樹脂等の非導電体により被膜された線材を縦横に編
成して布状にしてなるものを強化用の繊維として採用し
て得た繊維強化プラスチックからなる筒状体である。そ
して、この布状体５ａと筒状体５ｂとを製造するに当っ
ては、布状体５ａと筒状体５ｂとの全長の和に相当する
長さの布状体を予め作成しておいて、筒状体５ｂとして
形成されるべき部分のみに合成樹脂を筒状に一体化する
方法を採用することができる。ただし、上記長さの布状
体の全範囲に対して合成樹脂を筒状に一体化した後、布
状体５ａとなるべき部分のみについて合成樹脂を除去す
るようにしてもよい。もちろん、ガラス繊維などで強化
された繊維強化樹脂からなる筒状体の外周面を覆うよう
に布状体を設けるようにしてもよく、この場合には、ク
ールダウン後にクールダウン前と比べて被測定物とピッ
クアップッコイル６との距離が増加する程度を抑制する
ことができる。上記の構成のＳＱＵＩＤ磁束計を用いて
マルチチャンネルのＳＱＵＩＤ磁束計を製造した状態を
図７に示す。

【００２２】図７においては、計測対象面が半球状であ
る場合を示している。このように測定対象面が半球状で
ある場合には、複数のピックアップコイル６のそれぞれ
の測定対象面からの距離が互いにほぼ等しく、かつ可能
な限り測定対象面に近接させることが必要になる。した
がって、各筒状体５ｂは測定対象面を基準として放射状
に配列されることになる。この場合において、従来のＳ
ＱＵＩＤ磁束計のように、伝熱支持部材が全範囲にわた
って可撓性を有していなければ、伝熱支持部材の基部ど
うしの間隔が著しく大きくなり、必然的に最終段の冷却
ステージが大型化してしまうとともに、クライオスタッ
トも大型化してしまう。しかし、この実施態様において
は、伝熱支持部材５の筒状体５ｂが可撓性を有していな
いだけであり、布状体５ａは可撓性を有しているのであ
るから、布状体５ａを自由に変形させることができ、こ
の結果、伝熱支持部材５の基部（布状体５ａの基部）ど
うしの間隔を小さくすることができる。したがって、最
終段の冷却ステージ３の大型化を大幅に抑制してクール
ダウン所要時間の長時間化を大幅に抑制することができ
るとともに、クライオスタットの大型化も大幅に抑制し
て冷却効率の低下を大幅に抑制することができる。

【００２３】ＳＱＵＩＤ４およびピックアップコイル６
が極低温（例えば、４Ｋ）にまで冷却された場合には、
従来のＳＱＵＩＤ磁束計と同様に高感度、高精度に磁束
計測を行うことができる。また、ケーシング１の延長部
の先端に対する筒状体５ｂの先端部の相対位置を一定に
保持すべく、例えば、図８に示すように、筒状体５ｂの
先端部を断熱的に真空容器に直接固定するコイル支持台
を設けておけば、極低温に冷却されることにより伝熱支
持部材５が収縮した場合であっても、ケーシング１の延
長部の先端に対する筒状体５ｂの先端部の相対位置を一
定に保持することができ、一層高感度、高精度の磁束計
測を行うことができる。

【００２４】以上には、銅などの非磁性金属や炭素繊維
からなり、樹脂等の非導電体により被膜された線材を縦
横に編成してなる布状体５ａについて説明したが、布状
体５ａの長手方向と直角な方向に伸びる線材を省略し
て、長手方向に伸びる線材のみを並列に設けてもよく、
この場合には布状体５ａの可撓性を高めることができ
る。

【００２５】図１２はこの発明のＳＱＵＩＤ磁束計のさ
らに他の構成例の要部を示す拡大正面図、図１３は中央
縦断面図、図１４は平面図である。このＳＱＵＩＤ磁束
計は、布状体５ａの先端部を筒状に形成してあるととも
に、筒状部の内面側にガラス繊維強化プラスチックから
なる内部形状保持部材５ｂ１を、外面側にアルミナセラ
ミックスなどのようにガラス繊維強化プラスチックより
も熱伝導率が高い材質からなる外部形状保持部材５ｂ２
をそれぞれ設け、内部形状保持部材５ｂ１と外部形状保
持部材５ｂ２とで布状体５ａの筒状部を挟持して一体化
してある。そして、外部形状保持部材５ｂ２の外面所定
位置にピックアップコイル６を装着するための溝５ｂ３
が形成されている。ここで、内部形状保持部材５ｂ１と
外部形状保持部材５ｂ２とが前記筒状体５ｂに相当す
る。

【００２６】この構成を採用した場合には、外部形状保
持部材５ｂ２の熱伝導率が内部形状保持部材５ｂ１の熱
伝導率よりも高いのであるから、両形状保持部材５ｂ
１，５ｂ２としてガラス繊維強化プラスチックからなる
ものを採用した場合と比較して、同程度のピックアップ
コイル冷却効果を達成するための外部形状保持部材５ｂ
２の厚さを大きくすることができる。この結果、ピック
アップコイルと布状体５ａとの距離を大きくすることが
でき、布状体５ａが発生する熱雑音がピックアップコイ
ルを介してＳＱＵＩＤ磁束計に及ぼす影響を抑制するこ
とができる。

【００２７】具体的には、外部形状保持部材５ｂ２とし
てアルミナセラミックスからなるものを採用した場合に
は、布状体５ａに含まれる線材として銅を採用した場合
における熱伝導率が約４５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であり、ガ
ラス繊維強化プラスチックからなる内部形状保持部材５
ｂ１の熱伝導率が０．７〜０．９Ｗ／（ｍ・Ｋ）である
のに対して、外部形状保持部材５ｂ２の熱伝導率が２
０．９Ｗ／（ｍ・Ｋ）になる。ただし、これらの熱伝導
率は室温下におけるものである。

【００２８】ここで、断面が一様な固体の熱流Ｑは、数
１で表される。ただし、Ａは固体の断面積（ｍ²）、Ｔ
１，Ｔ２は長さＬ（ｍ）の固体の両端での温度（Ｋ）、
λは熱伝導率｛Ｗ／（ｍ・Ｋ）｝である。

【００２９】

【数１】熱伝導率は温度に依存するので単純には計算できない
が、仮に上記の材料（ガラス繊維強化プラスチックとア
ルミナセラミックス）の熱伝導率が温度について同様な
変化をすると仮定し、同じ温度差が許容される部品につ
いて流れ込む熱量が同じだと仮定すると、各々の厚みの
許容範囲は各々の熱伝導率の比になる。つまり、ガラス
繊維強化プラスチックで０．１ｍｍの厚みが許容された
部品では、これをアルミナセラミックスで作成した場合
には２．３ｍｍの厚みが許容されることになる。したが
って、上述のように、ピックアップコイルと布状体５ａ
との距離を大きくすることができ、布状体５ａが発生す
る熱雑音がピックアップコイルを介してＳＱＵＩＤ磁束
計に及ぼす影響を抑制することができる。

【００３０】また、外部形状保持部材５ｂ２としてアル
ミナセラミックスからなるものを採用した場合には、ピ
ックアップコイルを装着するための溝の製作精度を向上
させることができる。図１５はこの発明のＳＱＵＩＤ磁
束計のさらに他の構成例の要部を示す拡大正面図、図１
６は中央縦断面図、図１７は平面図である。

【００３１】このＳＱＵＩＤ磁束計は、布状体５ａの先
端部を筒状に形成してあるとともに、筒状部の先端部の
内面側にガラス繊維強化プラスチックからなる内部形状
保持部材５ｂ１´を、外面側にチッ化アルミナセラミッ
クス（チッ化アルミ・チッ化ボロ複合セラミックスな
ど）のようにガラス繊維強化プラスチックよりも熱伝導
率が著しく高い材質からなる外部形状保持部材５ｂ２´
をそれぞれ設け、内部形状保持部材５ｂ１´と外部形状
保持部材５ｂ２´とで布状体５ａの筒状部を挟持して一
体化してある。そして、外部形状保持部材５ｂ２´のみ
を前記筒状部の先端部から延設（外部形状保持部材５ｂ
２´を筒状部の中心軸と平行な方向に延設）していると
ともに、外部形状保持部材５ｂ２´の外面所定位置にピ
ックアップコイル６を装着するための溝５ｂ３が形成さ
れている。ここで、内部形状保持部材５ｂ１´と外部形
状保持部材５ｂ２´とが前記筒状体５ｂに相当する。

【００３２】この構成を採用した場合には、外部形状保
持部材５ｂ２´の熱伝導率が内部形状保持部材５ｂ１７
の熱伝導率よりも著しく高いのであるから、両形状保持
部材５ｂ１´，５ｂ２´としてガラス繊維強化プラスチ
ックからなるものを採用した場合と比較して、外部形状
保持部材５ｂ２´の全長範囲にわたって布状体５ａを設
けることなく、布状体５ａを一部に設けるだけで同程度
のピックアップコイル冷却効果を達成することができ
る。この結果、ピックアップコイルと布状体５ａとの距
離を著しく大きくすることができ、布状体５ａが発生す
る熱雑音がピックアップコイルを介してＳＱＵＩＤ磁束
計に及ぼす影響を著しく抑制することができる。

【００３３】ここで、チッ化アルミ・チッ化ボロ複合セ
ラミックスを採用した場合には、これの熱伝導率が９
２．１Ｗ／（ｍ・Ｋ）である。したがって、前述の場合
と同様にガラス繊維強化プラスチックで０．１ｍｍの厚
みが許容された部品では、これをチッ化アルミ・チッ化
ボロ複合セラミックスで作成した場合には１０．２ｍｍ
の厚みが許容されることになる。なお、この構成例で
は、この１０．２ｍｍの厚みに相当する長さだけ外部形
状保持部材５ｂ２´を延設することができる。したがっ
て、ピックアップコイルと布状体５ａとの距離を著しく
大きくすることができ、布状体５ａが発生する熱雑音が
ピックアップコイルを介してＳＱＵＩＤ磁束計に及ぼす
影響を著しく抑制することができる。

【００３４】また、外部形状保持部材５ｂ２´としてチ
ッ化アルミナセラミックスからなるものを採用した場合
には、ピックアップコイルを装着するための溝の製作精
度を向上させることができる。

【００３５】

【発明の効果】請求項１の発明は、伝熱支持部材の残部
が可撓性を有するので、曲面である測定対象面に対して
互いにほぼ等距離になるようにピックアップコイルを配
置する場合であっても、伝熱支持部材の基部を平面上に
配置することができ、この結果、多チャンネル化したこ
とに伴なう極低温部の大型化以上に極低温部が大型化す
ることを防止して、クールダウン所要時間が必要以上に
長時間化することを防止することができ、また、クライ
オスタットが必要以上に大型化することを防止して、冷
却効率が必要以上に低下することを防止することができ
るという特有の効果を奏する。

【００３６】請求項２の発明は、伝熱支持部材の残部の
可撓性を一層高めることができるほか、請求項１と同様
の効果を奏する。請求項３の発明は、請求項１の効果に
加え、外部形状保持部材の外面に設けられるピックアッ
プコイルと筒状の布状体との距離を大きくし、筒状の布
状体が発生する熱雑音がピックアップコイルを介してＳ
ＱＵＩＤ磁束計に与える影響を抑制することができると
いう特有の効果を奏する。

【００３７】請求項４の発明は、請求項３の効果に加
え、ピックアップコイルを装着するための溝の製作精度
を高めることができるという特有の効果を奏する。請求
項５の発明は、請求項１の効果に加え、外部形状保持部
材の外面に設けられるピックアップコイルと筒状の布状
体との距離を一層大きくし、筒状の布状体が発生する熱
雑音がピックアップコイルを介してＳＱＵＩＤ磁束計に
与える影響を一層抑制することができるという特有の効
果を奏する。

【００３８】請求項６の発明は、請求項５の効果に加
え、ピックアップコイルを装着するための溝の製作精度
を高めることができるという特有の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のＳＱＵＩＤ磁束計の一実施態様を示
す概略図である。

【図２】伝熱支持部材の一実施態様を示す正面図であ
る。

【図３】同上側面図である。

【図４】ベース部材の構成を示す正面図である。

【図５】ベース部材の側面の右半部を断面図で、左半部
を外観図で示す図である。

【図６】１つのベース部材に２つの伝熱支持部材を連結
した状態を示す側面図である。

【図７】図１の構成のＳＱＵＩＤ磁束計を用いてマルチ
チャンネルのＳＱＵＩＤ磁束計を製造した状態を示す概
略図である。

【図８】この発明のＳＱＵＩＤ磁束計の他の構成例を示
す概略図である。

【図９】従来のＳＱＵＩＤ磁束計の構成を示す概略図で
ある。

【図１０】従来の伝熱支持部材の構成を概略的に示す斜
視図である。

【図１１】従来のＳＱＵＩＤ磁束計をマルチチャンネル
構成にした状態を示す概略図である。

【図１２】この発明のＳＱＵＩＤ磁束計のさらに他の構
成例の要部を示す拡大正面図である。

【図１３】同上中央縦断面図である。

【図１４】同上平面図である。

【図１５】この発明のＳＱＵＩＤ磁束計のさらに他の構
成例の要部を示す拡大正面図である。

【図１６】同上中央縦断面図である。

【図１７】同上平面図である。

【符号の説明】

３最終段の冷却ステージ３ａベース部材４ＳＱＵＩＤ５伝熱支持部材５ａ布状体５ｂ筒状体５ｂ１，５ｂ１´ 内部形状保持部材５ｂ２，５ｂ２´ 外部形状保持部材６ピックアップコイル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＳＱＵＩＤ（４）およびピックアップコ
イル（６）を極低温冷凍機により極低温状態まで冷却
し、ピックアップコイル（６）により検出した外部磁束
をＳＱＵＩＤ（４）に導くようにしてなるＳＱＵＩＤ磁
束計において、極低温冷凍機の極低温部（３）（３ａ）
の所定位置にＳＱＵＩＤ（４）を伝熱可能に配置してあ
るとともに、極低温部（３）（３ａ）の所定位置に対し
て伝熱支持部材（５）を介して伝熱可能にピックアップ
コイル（６）を支持してあり、伝熱支持部材（５）の一
部が形状保持部材（５ｂ）と熱伝導体からなる線材を編
成してなる布状体（５ａ）とで構成され、伝熱支持部材
（５）の残部が熱伝導体からなる線材を編成してなる布
状体（５ａ）で構成されてなることを特徴とするＳＱＵ
ＩＤ磁束計。
【請求項２】熱伝導体からなる線材を編成してなる布
状体（５ａ）に代えて、熱伝導体からなる線材を互いに
並列状に配置してなるものを採用する請求項１に記載の
ＳＱＵＩＤ磁束計。
【請求項３】前記伝熱支持部材の一部は、熱伝導体か
らなる線材を編成してなる筒状の布状体（５ａ）と、こ
の布状体（５ａ）の内面側に位置する内部形状保持部材
（５ｂ１）と、この布状体（５ａ）の外面側に位置する
外部形状保持部材（５ｂ２）とで構成され、しかも、外
部形状保持部材（５ｂ２）は、内部形状保持部材（５ｂ
１）よりも熱伝導率が高い材質からなるものである請求
項１に記載のＳＱＵＩＤ磁束計。
【請求項４】内部形状保持部材（５ｂ１）はガラス繊
維強化プラスチックからなるものであり、外部形状保持
部材（５ｂ２）はアルミナセラミックスからなるもので
ある請求項３に記載のＳＱＵＩＤ磁束計。
【請求項５】前記伝熱支持部材の一部は、熱伝導体か
らなる線材を編成してなる筒状の布状体（５ａ）と、こ
の布状体（５ａ）の内面側に位置する内部形状保持部材
（５ｂ１´）と、この布状体（５ａ）の外面側に位置す
るとともに、前記布状体（５ａ）の端部よりも突出する
ように延設されてなる外部形状保持部材（５ｂ２´）と
で構成され、しかも、外部形状保持部材（５ｂ２´）
は、内部形状保持部材（５ｂ１´）よりも熱伝導率が高
い材質からなるものである請求項１に記載のＳＱＵＩＤ
磁束計。
【請求項６】内部形状保持部材（５ｂ１）はガラス繊
維強化プラスチックからなるものであり、外部形状保持
部材（５ｂ２）はチッ化アルミナセラミックスからなる
ものである請求項５に記載のＳＱＵＩＤ磁束計。