JPH0968473A - Thermal cathode type vacuum gage - Google Patents

Thermal cathode type vacuum gage

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Publication number
JPH0968473A
JPH0968473A JP22323395A JP22323395A JPH0968473A JP H0968473 A JPH0968473 A JP H0968473A JP 22323395 A JP22323395 A JP 22323395A JP 22323395 A JP22323395 A JP 22323395A JP H0968473 A JPH0968473 A JP H0968473A
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JP
Japan
Prior art keywords
electrode
grid
ions
vacuum gauge
collector electrode
Prior art date
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Application number
JP22323395A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nozomi Takagi
望 高木
Original Assignee
Ulvac Japan Ltd
日本真空技術株式会社
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate adverse effect of a photo-electron by providing a repeller electrode for reversing the direction of drawn-out ions, setting a collector elec trode on the grid side and the opposed side of an extraction electrode on the counter position thereto and collecting ions. SOLUTION: Electrons generated on a filament 2 are attracted on a grid 1 at higher potential, and reciprocate in and out of the grid 1 along a spiral orbit. The electrons collide with gas molecular of a space therebetween, it is ionized, ions fly downward from the opening of an extraction electrode 4 of lower potential than the grid 1. The ions reverse the orbit on the repeller electrode 5 and collide with a collector electrode 3. The number of the ions, namely, ion current is measured and pressure of a vacuum vessel is found. An X-ray generated on the grid 1 is shielded by the electrode 4 and does not irradiate the electrode 3, and photo-electron current therefor is not allowed to flow. Photo-electrons generated on the electrode 5 by the X-ray through the openings of the electrodes 3, 4 are returned to the electrode 5, reach the electrode 3, and do not adversely affect.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、超高真空及び極高
真空を測定する熱陰極型真空計に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hot cathode vacuum gauge for measuring ultrahigh vacuum and ultrahigh vacuum.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の熱陰極型真空計の概念を図4〜図
9に示し、図4に示すものは超高真空測定に一般的に使
用される真空計の例である。図示真空計は真空容器に備
えられたフランジAに固定するようにされたフランジB
上に、螺旋状に巻いたグリッドC、線状のフィラメント
D及び線状のコレクター電極Eを有し、これらの構成要
素C、D、Eは各々図示してない電気配線でフランジB
に固定されている。図4に示す従来技術の真空計の動作
を図5を用いて説明する。フィラメントDで発生した電
子は、フィラメントDより高い電圧が加わったグリッド
Cに引き寄せられてFで示す軌道で、グリッドC内外を
往復する。その間、空間の気体分子と衝突して気体分子
をイオン化する。グリッドC内でイオン化された気体イ
オンはグリッドCよりも低い電圧が加わったコレクター
電極Eに引き寄せられて衝突する。Gはイオンの軌道を
示す。イオンの個数、ひいてはイオン電流値は真空計が
取り付けられた真空容器の圧力に比例するので、コレク
ター電極Eのイオン電流を測定することによって真空容
器の圧力を知ることができる。
2. Description of the Related Art The concept of a conventional hot cathode type vacuum gauge is shown in FIGS. 4 to 9, and the one shown in FIG. 4 is an example of a vacuum gauge generally used for ultrahigh vacuum measurement. The illustrated vacuum gauge has a flange B which is fixed to a flange A provided in the vacuum container.
A spirally wound grid C, a linear filament D, and a linear collector electrode E are provided on the upper part, and these constituent elements C, D, and E are flanges B formed by electric wiring (not shown).
It is fixed to. The operation of the prior art vacuum gauge shown in FIG. 4 will be described with reference to FIG. The electrons generated in the filament D are attracted to the grid C to which a voltage higher than that of the filament D is applied, and reciprocate in and out of the grid C in the trajectory indicated by F. Meanwhile, the gas molecules in the space collide with each other and ionize the gas molecules. The gas ions ionized in the grid C are attracted to and collide with the collector electrode E to which a voltage lower than that of the grid C is applied. G indicates the trajectory of ions. Since the number of ions, and thus the ion current value, is proportional to the pressure of the vacuum container to which the vacuum gauge is attached, the pressure of the vacuum container can be known by measuring the ion current of the collector electrode E.
【0003】図6には超高、極高真空測定に使用される
真空計の例を示す。この真空計は螺旋状に巻いたグリッ
ドH、円形のフィラメントI、線状のコレクター電極
J、平板に穴を設けた引出し電極K及び半球殻に穴を設
けたリペラ電極Lを有し、これらの構成要素は各々図示
されていない電気配線でフランジBに固定されている。
この真空計は真空容器に備えられたフランジAに固定し
て用いられる。図6に示す真空計の動作について図7を
用いて説明する。この真空計は、グリッドHからグリッ
ドHの外側にあるコレクター電極Jに向かって引出し電
極Kを用いてイオンを引出す、エキストラクター型と呼
ばれる真空計である。フィラメントIで発生した電子
は、フィラメントIより高い電圧が加わったグリッドH
に引き寄せられてMで示す軌道に沿って、グリッドH内
外を往復する。その間、空間の気体分子と衝突して気体
分子をイオン化する。グリッドH内でイオン化された気
体イオンはグリッドHよりも低い電圧が加わった引出し
電極Kの穴を通って図の下方に飛行する。気体イオンは
リペラ電極Lによって軌道を曲げられてコレクター電極
Jに引き寄せられて衝突する。Nはイオンの軌道を示
す。イオンの個数、ひいてはイオン電流値は真空計が取
り付けられた真空容器の圧力に比例するのでコレクター
電極Jのイオン電流を測定することによって真空容器の
圧力を知ることができる。
FIG. 6 shows an example of a vacuum gauge used for ultra-high and ultra-high vacuum measurements. This vacuum gauge has a spirally wound grid H, a circular filament I, a linear collector electrode J, a lead electrode K having a hole in a flat plate, and a repeller electrode L having a hole in a hemispherical shell. Each of the components is fixed to the flange B by electric wiring not shown.
This vacuum gauge is used by being fixed to a flange A provided in the vacuum container. The operation of the vacuum gauge shown in FIG. 6 will be described with reference to FIG. This vacuum gauge is a vacuum gauge called an extractor type in which ions are extracted from a grid H toward a collector electrode J outside the grid H by using an extraction electrode K. The electrons generated in the filament I are generated by the grid H to which a voltage higher than that of the filament I is applied.
And is reciprocated in and out of the grid H along an orbit indicated by M. Meanwhile, the gas molecules in the space collide with each other and ionize the gas molecules. The gas ions ionized in the grid H fly downward in the figure through the holes of the extraction electrode K to which a voltage lower than that of the grid H is applied. The gas ions have their trajectories bent by the repeller electrode L and are attracted to the collector electrode J to collide with them. N indicates the trajectory of ions. Since the number of ions, and thus the ion current value, is proportional to the pressure of the vacuum container to which the vacuum gauge is attached, the pressure of the vacuum container can be known by measuring the ion current of the collector electrode J.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の技術において
は、測定されるイオン電流値は正確なものではなかっ
た。すなわち、フィラメントで発生した電子は、フィラ
メントより高い電圧が加わったグリッドに引き寄せられ
てグリッド内外を往復するが、最後にはグリッドに衝突
する。衝突した電子はグリッドでX線を発生することが
あり、そのX線の一部はコレクター電極に衝突して光電
子を発生する。この光電子がコレクター電極から逃げる
ために、測定されるコレクター電流値はイオン電流値と
光電子による電流の和となり、そのために正確な圧力を
計ることができなかった。光電子の圧力測定への悪影響
の度合いは圧力が低いほど大きくなる。このことは熱陰
極型真空計の圧力測定限界いわゆるX線限界として知ら
れている。図8及び図9には図4及び図6に示すような
従来の技術による真空計のX線照射及び光電子発生の概
念を示す。O、Pは各々X線及び光電子を示す。図8に
示すように図4の構成の真空計では長いコレクター電極
EがグリッドCの中心にあるのでX線に照射されやす
く、そのために、光電子の圧力測定への悪影響は大き
い。図6に示す真空計では図9に示すように、コレクタ
ー電極JはグリッドHから離して、しかも短く構成され
ているので、図4の構成の真空計に比べて光電子の圧力
測定への悪影響は小さいが、圧力の正確な測定に対する
影響は避けることができない。
In the prior art, the measured ionic current value was not accurate. That is, the electrons generated in the filament are attracted to the grid to which a voltage higher than that of the filament is applied and reciprocate inside and outside the grid, but finally collide with the grid. The colliding electrons may generate X-rays in the grid, and some of the X-rays collide with the collector electrode to generate photoelectrons. Since the photoelectrons escaped from the collector electrode, the measured collector current value was the sum of the ionic current value and the current due to the photoelectrons, so that accurate pressure could not be measured. The lower the pressure, the greater the degree of adverse effect of photoelectrons on the pressure measurement. This is known as the pressure measurement limit of the hot cathode vacuum gauge, the so-called X-ray limit. 8 and 9 show the concept of X-ray irradiation and photoelectron generation of a vacuum gauge according to the conventional technique as shown in FIGS. 4 and 6. O and P represent X-rays and photoelectrons, respectively. As shown in FIG. 8, since the long collector electrode E is located in the center of the grid C in the vacuum gauge having the configuration of FIG. 4, X-rays are easily irradiated, and therefore, the adverse effect on the pressure measurement of photoelectrons is large. In the vacuum gauge shown in FIG. 6, as shown in FIG. 9, the collector electrode J is separated from the grid H and has a short length. Therefore, compared to the vacuum gauge having the configuration shown in FIG. Although small, the effect on the accurate measurement of pressure is unavoidable.
【0005】そこで、本発明は、エキストラクター型と
呼ばれる真空計に伴う上記の問題点を解決して、X線の
発生に伴う光電子の圧力測定への悪影響を無くした熱陰
極型真空計を提供することを目的としている。
Therefore, the present invention solves the above problems associated with a vacuum gauge called an extractor type, and provides a hot cathode vacuum gauge in which the adverse effect on the pressure measurement of photoelectrons due to the generation of X-rays is eliminated. The purpose is to do.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による熱陰極型真空計は、引き出されるイ
オンの進行方向を反転させるリペラ電極を設け、このリ
ペラ電極と対向する位置で引出し電極のグリッド側と反
対の側にイオンを補集するコレクター電極を設けたこと
を特徴としている。すなわち、本発明による熱陰極型真
空計においては、X線が照射しない場所にコレクター電
極が設けられ、しかもコレクター電極にイオンが衝突す
るように、リペラ電極が配置される。好ましくは、引出
し電極は、中央の開口と、この開口の内周縁からコレク
ター電極の穴の縁部を覆うようにのびた円筒状部とを備
えることができる。また、リペラ電極の電位は引出し電
極及びコレクター電極の電位よりも高く維持され得る。
In order to achieve the above object, the hot cathode vacuum gauge according to the present invention is provided with a repeller electrode for reversing the traveling direction of the extracted ions, and at a position facing the repeller electrode. A collector electrode for collecting ions is provided on the side of the extraction electrode opposite to the grid side. That is, in the hot-cathode vacuum gauge according to the present invention, the collector electrode is provided at a place where the X-ray is not irradiated, and the repeller electrode is arranged so that the ions collide with the collector electrode. Preferably, the extraction electrode can include a central opening and a cylindrical portion extending from the inner peripheral edge of the opening so as to cover the edge of the hole of the collector electrode. Also, the potential of the repeller electrode can be maintained higher than the potentials of the extraction electrode and the collector electrode.
【0007】[0007]
【作用】このように構成した本発明の熱陰極型真空計に
おいては、X線が照射しない場所にコレクター電極を設
けているのでX線照射に伴う光電子はコレクター電極に
入らないようになる。またコレクター電極にイオンが入
るように、リペラ電極を配置しているので、コレクター
電流として測定される電流は、従来ではイオン電流と光
電子電流の和であったものがイオン電流のみとなり、圧
力測定を正確に行うことができるようになる。
In the thus constructed hot cathode vacuum gauge of the present invention, since the collector electrode is provided at a position where X-ray irradiation is not performed, photoelectrons due to X-ray irradiation do not enter the collector electrode. Since the repeller electrode is arranged so that the ions enter the collector electrode, the current measured as the collector current is the sum of the ionic current and the photoelectron current in the past, but only the ionic current is measured. You will be able to do it accurately.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下、図1〜図3に示す実施例に
基き本発明の実施の形態について説明する。図1には超
高、極高真空測定に使用される本発明の真空計の一実施
例を示す。図示真空計はエキストラクター型のものであ
り、1は中心軸線上に沿って伸びる螺旋状に巻いたグリ
ッドであり、このグリッド1の軸線に方向に平行にかつ
その全高にわたって線状のフィラメント2が配置されて
いる。グリッド1及び線状のフィラメント2の下側すな
わち基部側には、穴のあいたリング状の平板コレクター
電極3が中心軸線に対して垂直な方向に配置されてい
る。このリング状の平板コレクター電極3とグリッド1
及び線状のフィラメント2の下端との間には、中央に開
口を備えた引出し電極4が設けられ、この引出し電極4
は、その中央の開口の端部から平板コレクター電極3の
穴のレベル付近までのびた円筒状部4aを備えている。さ
らにリング状の平板コレクター電極3の下側には、円盤
状リペラ電極5が設けられ、このリペラ電極5はその周
端からリング状の平板コレクター電極3の周端に向かっ
てのびる円筒状部5aと中央から平板コレクター電極3の
穴及び引出し電極4の中央の開口へ向かってのびる針状
または棒状突起部5bとを備えている。このようにして組
立てられた各構成要素は図示してない電気配線を介して
フランジ6に固定されて真空計を構成している。そして
グリッド1にはフィラメント2より高い電圧が印加さ
れ、またリペラ電極5の電位は、引出し電極4及びコレ
クター電極3の電位よりも高く維持されるようにされて
いる。この真空計は、フランジ6を真空容器に設けられ
た取付用フランジ7に固定することにより使用される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below based on the embodiments shown in FIGS. FIG. 1 shows an embodiment of the vacuum gauge of the present invention used for ultra-high and ultra-high vacuum measurement. The illustrated vacuum gauge is of the extractor type, 1 is a spirally wound grid extending along the central axis, and a linear filament 2 is parallel to the axis of the grid 1 and over the entire height thereof. It is arranged. On the lower side of the grid 1 and the linear filaments 2, that is, on the base side, a ring-shaped flat plate collector electrode 3 with holes is arranged in a direction perpendicular to the central axis. This ring-shaped flat collector electrode 3 and grid 1
An extraction electrode 4 having an opening in the center is provided between the linear electrode 2 and the lower end of the linear filament 2.
Has a cylindrical portion 4a extending from the end of the central opening to the vicinity of the level of the hole of the plate collector electrode 3. Further, a disc-shaped repeller electrode 5 is provided below the ring-shaped flat plate collector electrode 3, and the repeller electrode 5 has a cylindrical portion 5a extending from its peripheral end toward the peripheral end of the ring-shaped flat plate collector electrode 3. And a needle-shaped or rod-shaped protrusion 5b extending from the center toward the hole of the flat plate collector electrode 3 and the center opening of the extraction electrode 4. The respective components assembled in this way are fixed to the flange 6 via electric wiring (not shown) to form a vacuum gauge. A voltage higher than that of the filament 2 is applied to the grid 1, and the potential of the repeller electrode 5 is kept higher than the potentials of the extraction electrode 4 and the collector electrode 3. This vacuum gauge is used by fixing the flange 6 to a mounting flange 7 provided on the vacuum container.
【0009】このように構成した図示真空計の動作につ
いて図2を参照して説明する。フィラメント2で発生し
た電子は、フィラメント2より高い電圧が印加されたグ
リッド1に引き寄せられて8で示す軌道に沿って、グリ
ッド1の内外を往復する。その間、空間の気体分子と衝
突して気体分子をイオン化する。グリッド1内の空間で
イオン化された気体イオンはグリッド1よりも低い電圧
が印加された引出し電極4の開口を通って下方に飛行す
る。そして気体イオンは軌道9で示すようにリペラ電極
5によって軌道を反転させられ、コレクター電極3に引
き寄せれて衝突する。イオンの個数、ひいてはイオン電
流値は真空計の取付けられた真空容器の圧力に比例する
ので、コレクター電極3のイオン電流を測定することに
よって真空容器内の圧力を知ることができる。
The operation of the illustrated vacuum gauge thus constructed will be described with reference to FIG. The electrons generated in the filament 2 are attracted to the grid 1 to which a voltage higher than that of the filament 2 is applied, and reciprocate in and out of the grid 1 along the trajectory indicated by 8. Meanwhile, the gas molecules in the space collide with each other and ionize the gas molecules. The gas ions ionized in the space inside the grid 1 fly downward through the opening of the extraction electrode 4 to which a voltage lower than that of the grid 1 is applied. Then, the gas ions have their orbits reversed by the repeller electrode 5 as shown by the orbit 9, and are attracted to and collide with the collector electrode 3. Since the number of ions, and thus the ion current value, is proportional to the pressure of the vacuum container to which the vacuum gauge is attached, the pressure in the vacuum container can be known by measuring the ion current of the collector electrode 3.
【0010】図3は図1の真空計におけるX線照射及び
光電子発生の概念図である。図面において10、11は各々
X線及び光電子を示す。グリッド1で発生したX線10は
円筒状部4aを備えた引出し電極4により遮られ、リング
状の平板コレクター電極3には照射しない。その結果、
コレクター電極3にはX線に伴う光電子電流は流れな
い。またグリッド1で発生したX線10の一部は平板コレ
クター電極3の穴及び引出し電極4の中央の開口を通っ
てリペラ電極5を照射するが、リペラ電極5で発生した
光電子11は、リペラ電極5の電位が、引出し電極4及び
コレクター電極3の電位よりも高いためにリペラ電極5
に戻りコレクター電極3に達することはなく、従ってコ
レクター電極3によるイオン電流値の測定に悪影響を与
えることはない。
FIG. 3 is a conceptual diagram of X-ray irradiation and photoelectron generation in the vacuum gauge of FIG. In the drawing, 10 and 11 represent X-rays and photoelectrons, respectively. The X-rays 10 generated in the grid 1 are shielded by the extraction electrode 4 having the cylindrical portion 4a, and do not irradiate the ring-shaped flat plate collector electrode 3. as a result,
No photoelectron current associated with X-rays flows through the collector electrode 3. Further, a part of the X-rays 10 generated in the grid 1 irradiate the repeller electrode 5 through the hole of the flat plate collector electrode 3 and the central opening of the extraction electrode 4, but the photoelectrons 11 generated in the repeller electrode 5 are Since the potential of 5 is higher than the potentials of the extraction electrode 4 and the collector electrode 3, the repeller electrode 5
Therefore, the collector electrode 3 is not reached, and therefore the measurement of the ion current value by the collector electrode 3 is not adversely affected.
【0011】このように本発明による真空計では、従来
技術が図6に示されたように、コレクター電極に入るX
線をできるだけ少なくするよう工夫されていたのに対し
てX線がコレクター電極3に入らないようにしており、
またX線が入らないように設置されたコレクター電極3
にイオンが入るようにリペラ電極5でイオン軌道を反転
させてコレクター電極3に集めるようにしている。従っ
て、イオンが反転してコレクター電極3に入るように機
能するリペラ電極であれば、その形状は図1のものに限
定されるものではなく、例えばリペラ電極はメッシュで
もよい。またリペラ電極の突起部は半球状でもコーン状
でも構わない。また、リペラ電極周端の円筒状部5aは、
イオンがリペラ電極とコレクター電極の間を通って逃げ
るのを防ぐために設けたものである。リペラ電極とコレ
クター電極の間の隙間が小さい場合や、リペラ電極の電
圧が高く、イオンが逃げにくいようであれば円筒状部5a
はなくても構わない。さらにコレクター電極についても
イオンが入りかつX線照射がないような形状であれば円
盤状以外の形状に構成することもできる。
As described above, in the vacuum gauge according to the present invention, as shown in FIG.
The X-rays are prevented from entering the collector electrode 3 while the device was designed to minimize the number of rays.
The collector electrode 3 is installed so that X-rays do not enter.
The ion orbits are reversed by the repeller electrode 5 so that the ions enter into the collector electrode 3. Therefore, the shape of the repeller electrode is not limited to that shown in FIG. 1 as long as it functions so that the ions are inverted and enter the collector electrode 3. For example, the repeller electrode may be a mesh. The protrusions of the repeller electrode may be hemispherical or cone-shaped. Further, the cylindrical portion 5a at the peripheral edge of the repeller electrode is
It is provided to prevent ions from escaping between the repeller electrode and the collector electrode. Cylindrical part 5a if the gap between the repeller electrode and collector electrode is small, or if the voltage of the repeller electrode is high and it is difficult for ions to escape.
It doesn't matter. Further, the collector electrode may be formed in a shape other than the disk shape as long as the shape allows ions to enter and no X-ray irradiation.
【0012】[0012]
【発明の効果】以上説明してきたように本発明による真
空計においては、X線が照射しない場所にコレクター電
極を設けてX線照射に伴う光電子がコレクター電極に入
らないようにすると共に、コレクター電極にはイオンが
入るように、リペラ電極を配置して、コレクター電極電
流として測定される電流が従来技術ではイオン電流と光
電子電流の和であったものをイオン電流のみにすること
ができ、その結果圧力測定を正確に行うことができるよ
うになる。
As described above, in the vacuum gauge according to the present invention, a collector electrode is provided in a place where X-rays are not irradiated to prevent photoelectrons accompanying X-ray irradiation from entering the collector electrode, and the collector electrode is also provided. The repeller electrode is arranged so that ions enter into the current collector, and the current measured as the collector electrode current, which was the sum of the ionic current and the photoelectron current in the prior art, can be changed to only the ionic current. It enables accurate pressure measurement.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】 本発明の真空計の一実施例を示す概略線図。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a vacuum gauge of the present invention.
【図2】 図1に示す真空計の動作説明図。FIG. 2 is an operation explanatory diagram of the vacuum gauge shown in FIG.
【図3】 図1に示す真空計におけるX線照射及び光電
子発生の概念を示す説明図。
3 is an explanatory view showing the concept of X-ray irradiation and photoelectron generation in the vacuum gauge shown in FIG.
【図4】 従来の熱陰極型真空計を示す概略線図。FIG. 4 is a schematic diagram showing a conventional hot cathode type vacuum gauge.
【図5】 図4の真空計の動作説明図。5 is an explanatory view of the operation of the vacuum gauge of FIG.
【図6】 従来のエキストラクター型の熱陰極型真空計
を示す概略線図。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a conventional extractor-type hot cathode vacuum gauge.
【図7】 図6の真空計の動作説明図。FIG. 7 is an operation explanatory view of the vacuum gauge of FIG.
【図8】 図4に示す真空計におけるX線照射及び光電
子発生の概念を示す説明図。
8 is an explanatory view showing the concept of X-ray irradiation and photoelectron generation in the vacuum gauge shown in FIG.
【図9】 図6に示す真空計におけるX線照射及び光電
子発生の概念を示す説明図。
9 is an explanatory view showing the concept of X-ray irradiation and photoelectron generation in the vacuum gauge shown in FIG.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
1:グリッド 2:フィラメント 3:コレクター電極 4:引出し電極 5:リペラ電極 6:フランジ 7:真空容器のフランジ 8:電子の軌道 9:イオンの軌道 10:X線 11:光電子 1: Grid 2: Filament 3: Collector electrode 4: Extraction electrode 5: Repeller electrode 6: Flange 7: Flange of vacuum container 8: Orbit of electron 9: Orbit of ion 10: X-ray 11: Photoelectron

Claims (3)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 グリッドからコレクター電極に向かって
    引出し電極によりイオンを引出すようにしたエキストラ
    クター型の熱陰極真空計において、引き出されるイオン
    の進行方向を反転させるリペラ電極を設け、このリペラ
    電極と対向する位置で引出し電極のグリッド側と反対の
    側にイオンを補集するコレクター電極を設けたことを特
    徴とする熱陰極型真空計。
    1. An extractor-type hot cathode vacuum gauge in which ions are extracted from a grid toward a collector electrode by an extraction electrode, and a repeller electrode for reversing the traveling direction of the extracted ions is provided and opposed to the repeller electrode. A hot-cathode vacuum gauge characterized in that a collector electrode for collecting ions is provided on the side opposite to the grid side of the extraction electrode at a position where
  2. 【請求項2】 引出し電極が中央の開口と、この開口の
    内周縁からコレクター電極の穴の縁部を覆うようにのび
    た円筒状部とを備えている請求項1に記載の熱陰極型真
    空計。
    2. The hot cathode vacuum gauge according to claim 1, wherein the extraction electrode has a central opening and a cylindrical portion extending from the inner peripheral edge of the opening so as to cover the edge of the hole of the collector electrode. .
  3. 【請求項3】 リペラ電極の電位が引出し電極及びコレ
    クター電極の電位よりも高く維持されている請求項1に
    記載の熱陰極型真空計。
    3. The hot cathode vacuum gauge according to claim 1, wherein the potential of the repeller electrode is maintained higher than the potentials of the extraction electrode and the collector electrode.
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Cited By (8)

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