JPH0963012A - Magnetic head, its production and production apparatus therefor - Google Patents

Magnetic head, its production and production apparatus therefor

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JPH0963012A
JPH0963012A JP21438195A JP21438195A JPH0963012A JP H0963012 A JPH0963012 A JP H0963012A JP 21438195 A JP21438195 A JP 21438195A JP 21438195 A JP21438195 A JP 21438195A JP H0963012 A JPH0963012 A JP H0963012A
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JP
Japan
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core half
track
magnetic head
manufacturing
gap
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Application number
JP21438195A
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Japanese (ja)
Inventor
Tatsuyuki Tomioka
辰行 富岡
Toru Hori
徹 堀
Yoshinori Yoshiji
慶記 吉次
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a process for production which is capable of independently and most adequately designing a track aligning device and a gap forming device by introduction of a temporally fixing stage to a process for producing magnetic heads and simultaneously satisfying the track alignment accuracy and track length accuracy of a large-area substrate and is high in production efficiency. SOLUTION: A first core half body block 1 and a second core half body block 7 are brought into pressurized contact with each other in the state of aligning the tracks of both core half body blocks 1, 7 on the track aligning device. Next, the ends of both core half body blocks 1, 7 brought into pressurized contact are temporally fixed to each other. The core half body blocks 1, 7 temporally fixed to each other are then taken out of the track aligning device. The temporally fixed core half body blocks 1, 7 are thereafter placed on a gap forming device and are pressurized. The core half body blocks are heated in a heating furnace in the stage of pressurizing these blocks, by which gaps are formed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド、その製造法
及びその製造装置に関するもので、いわゆるプレート工
法による磁気ヘッドの製造法および製造装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, a method for manufacturing the same, and a manufacturing apparatus therefor, and more particularly to a method and a manufacturing apparatus for a magnetic head by a so-called plate method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年磁気記録技術は高密度化の方向にあ
り、磁気ヘッドには高いトラック合わせ精度とギャップ
長精度を満足することが要求されている。またVTR等
の普及に伴い、より低価格の磁気ヘッドが要求されてい
る。しかし従来の磁気ヘッド製造法ではトラック合わせ
精度とギャップ長精度を満足させようとすると量産性に
問題があった。磁気ヘッドの製造法にはいわゆるバー工
法とプレート工法とが実用されているが、磁気ヘッドが
1次元に配置されたバー工法よりも、磁気ヘッドが2次
元に配置されたプレート工法の方が、より多数個取りが
可能で量産性に優れている。しかしプレート工法で実用
されている基板寸法は一辺が20〜30mm程度であ
り、基板寸法を一辺が50mm以上のように大きくして
量産性を上げようとすると、トラック合わせ精度とギャ
ップ長精度の両者を同時に満足することが困難であっ
た。
2. Description of the Related Art In recent years, magnetic recording technology has been in the direction of higher density, and it is required for magnetic heads to satisfy high track alignment accuracy and gap length accuracy. Further, with the spread of VTRs and the like, there is a demand for magnetic heads of lower cost. However, in the conventional magnetic head manufacturing method, there was a problem in mass productivity when trying to satisfy the track alignment accuracy and the gap length accuracy. The so-called bar method and plate method have been put into practical use as magnetic head manufacturing methods. However, the plate method in which the magnetic heads are arranged two-dimensionally is better than the bar method in which the magnetic heads are arranged one-dimensionally. It is possible to take a larger number of pieces and is excellent in mass productivity. However, the board size that is practically used in the plate construction method is about 20 to 30 mm on a side, and if the board size is increased to 50 mm or more on a side to increase mass productivity, both track alignment accuracy and gap length accuracy are increased. Was difficult to satisfy at the same time.

【0003】以下に従来の磁気ヘッド製造法を図13〜
15を用いて説明する。図13は溝加工後の第1のコア
半体ブロック44を示すもので、45はMn−Zn単結
晶フェライト等からなる基板、46はガラス溝、47は
巻線溝、48はトラック幅規制溝、49はギャップ面で
ある。なお基板寸法は一般に25mm×25mm程度で
ある。
A conventional magnetic head manufacturing method will be described below with reference to FIGS.
15 will be described. FIG. 13 shows the first core half block 44 after the groove processing, wherein 45 is a substrate made of Mn-Zn single crystal ferrite or the like, 46 is a glass groove, 47 is a winding groove, and 48 is a track width regulating groove. , 49 are gap surfaces. The dimensions of the substrate are generally about 25 mm × 25 mm.

【0004】図14は溝加工後の第2のコア半体ブロッ
ク50を示すもので、51はMn−Zn単結晶フェライ
ト等からなる基板、52はトラック幅規制溝、53はギ
ャップ面である。図15はトラック合わせ兼ギャップ形
成装置を示す。両コア半体ブロック44、50のギャッ
プ面にギャップ材を成膜後、ギャップ面を対向させてト
ラック合わせおよびギャップ形成を行う従来の装置の一
例を示し、詳細は特開平6−349021号公報に記載
されている。54は装置本体を示し、ギャップ面が対向
した両コア半体ブロック44、50の一方の背面に雲母
等の塑性変形が容易な塑性変形材55が配設され、これ
に対向する方向に押圧板56と、耐熱皿ばね57と、皿
ばね受け板58と、押圧ねじ59とが配設されている。
また、コア半体ブロック50のトラック幅規制溝に平行
な両側面には、トラック位置調整ねじ60、61が配設
されている。その状態で押圧ねじ59の先端が皿ばね受
け板58に接するまで押圧ねじ59を回すことで、耐熱
皿ばね57の弾性力が押圧板56を介して両コア半体ブ
ロック44、50に伝わり、両コア半体ブロック44、
50は矢印D方向に摺動が可能な程度に固定される。次
に塑性変形材55とこれに接するコア半体ブロック44
とを互いに接着剤62で固定した後、トラック位置調整
ねじ60、61を用い、コア半体ブロック50を矢印D
方向に摺動させてトラックを所定の位置にトラック合わ
せする。さらに押圧ねじ59で所定の圧力に押圧する。
次に、所定の圧力を加えた装置全体をギャップ形成する
作業温度に保持することでギャップ形成が可能となる。
FIG. 14 shows a second core half block 50 after groove processing. Reference numeral 51 is a substrate made of Mn-Zn single crystal ferrite or the like, 52 is a track width regulating groove, and 53 is a gap surface. FIG. 15 shows a track alignment and gap forming device. An example of a conventional apparatus for performing track alignment and gap formation by forming a gap material on the gap surfaces of both core half blocks 44 and 50 and then facing the gap surfaces will be described in detail in JP-A-6-349021. Has been described. Reference numeral 54 denotes an apparatus main body, in which a plastic deformable material 55 such as mica that is easily plastically deformed is disposed on one of the rear surfaces of the core half blocks 44 and 50 whose gap surfaces face each other. 56, a heat-resistant disc spring 57, a disc spring receiving plate 58, and a pressing screw 59 are arranged.
Track position adjusting screws 60 and 61 are provided on both side surfaces of the core half block 50 parallel to the track width regulating groove. In that state, by rotating the pressing screw 59 until the tip of the pressing screw 59 contacts the disc spring receiving plate 58, the elastic force of the heat resistant disc spring 57 is transmitted to both the core half blocks 44 and 50 via the pressing plate 56. Both core half blocks 44,
50 is fixed so that it can slide in the direction of arrow D. Next, the plastically deformable material 55 and the core half block 44 in contact therewith
After fixing and to each other with the adhesive 62, the core half block 50 is moved to the arrow D by using the track position adjusting screws 60 and 61.
Slide in the direction to align the track in place. Further, the pressing screw 59 is pressed to a predetermined pressure.
Next, the gap can be formed by maintaining the entire apparatus to which a predetermined pressure is applied at the working temperature for forming the gap.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の製造法では、トラック合わせ工程とギャップ形成工
程とが同一装置で実施されるため制約が多い。すなわち
量産性を上げるため基板寸法を大きくするとトラック合
わせ精度とギャップ長精度を同時に満足することが困難
であった。例えば50mm角の大型基板を用いて1μm
以下のトラック合わせ精度を得ることは上記従来例の装
置では不可能であった。この問題を改善するためにより
高精度の装置を設計すると、装置の構造が繊細で複雑と
なり、ギャップ形成の作業温度、例えば750℃の高温
および高温での数十kgの加圧力に装置の耐熱性が不十
分となり、繰り返し使用に耐える装置を実現することが
困難であった。
However, in the above-mentioned conventional manufacturing method, there are many restrictions because the track aligning step and the gap forming step are carried out by the same apparatus. That is, if the size of the substrate is increased to improve mass productivity, it is difficult to simultaneously satisfy the track alignment accuracy and the gap length accuracy. For example, using a 50 mm square large substrate, 1 μm
It was impossible to obtain the following track alignment accuracy with the above-mentioned conventional device. When a more precise device is designed to improve this problem, the structure of the device becomes delicate and complicated, and the heat resistance of the device is not affected by the working temperature of gap formation, for example, high temperature of 750 ° C and pressure of several tens of kg at high temperature. Was insufficient, and it was difficult to realize a device that can withstand repeated use.

【0006】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、トラック合わせ精度とギャップ長精度とを同時に満
足する製造法および製造装置を提供することを目的とす
る。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a manufacturing method and a manufacturing apparatus which simultaneously satisfy the track alignment accuracy and the gap length accuracy.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気ヘッドの製造法では、ギャップ形成工程
で両コア半体ブロックをギャップ形成し完全に接合する
までは、両コア半体ブロックをトラック合わせした状態
に一時的に保持するために、新たに仮固定工程を設ける
ことによりトラック合わせ工程とギャップ形成工程とを
独立させた点がポイントである。すなわち第1のコア半
体ブロックのトラックと第2のコア半体ブロックのトラ
ックとをトラック合わせ装置上にてトラック合わせした
状態で、両コア半体ブロックを圧接する工程と、圧接さ
れた両コア半体ブロックの端部を互いに仮固定させる工
程と、互いに仮固定された両コア半体ブロックをトラッ
ク合わせ装置から取り出す工程と、仮固定された両コア
半体ブロックをギャップ形成装置に載置して加圧する工
程と、加圧した状態で加熱炉中で加熱してギャップ形成
する工程とを備える。
In order to achieve this object, according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, both core halves are formed until a gap is formed in both core half blocks in the gap forming step and they are completely joined. The point is that the track alignment step and the gap formation step are made independent by newly providing a temporary fixing step in order to temporarily hold the blocks in the track aligned state. That is, in a state where the tracks of the first core half block and the tracks of the second core half block are track-aligned on the track alignment device, a step of press-contacting both core half-blocks and both cores press-contacted A step of temporarily fixing the ends of the half blocks to each other, a step of taking out both core half blocks temporarily fixed to each other from the track aligning device, and placing both of the temporarily fixed core half blocks on the gap forming device. And pressurizing, and heating in a heating furnace in a pressurized state to form a gap.

【0008】[0008]

【作用】このように仮固定工程を導入することによりト
ラック合わせ工程とギャップ形成工程とを独立させるこ
とができ、上記従来の問題点を解決することができる。
つまりトラック合わせ工程とギャップ形成工程とを従来
例のように同一装置で実施せず、各々最適設計した装置
を用いることにより、トラック合わせ精度とギャップ長
精度とを同時に満足させることができる。
By introducing the temporary fixing step in this way, the track aligning step and the gap forming step can be made independent, and the above conventional problems can be solved.
That is, the track aligning process and the gap forming process are not performed by the same device as in the conventional example, but by using the optimally designed devices, the track aligning accuracy and the gap length accuracy can be satisfied at the same time.

【0009】[0009]

【実施例】【Example】

(実施例1)以下本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。図1は溝加工後の第1のコア半体ブ
ロック1を示すもので、2はMn−Zn単結晶フェライ
ト等からなる基板、3はガラス溝、4は巻線溝、5はト
ラック幅規制溝、6は第1のコア半体ブロックギャップ
面である。なお基板寸法は50mm×50mmである。
図2は溝加工後の第2のコア半体ブロック7を示すもの
で、8はMn−Zn単結晶フェライト等からなる基板、
9はトラック幅規制溝、10は第2のコア半体ブロック
ギャップ面である。ここで第2のコア半体ブロック7の
トラック幅規制溝9に平行な方向の長さは50mmであ
るが、直角方向の長さは48mmで、第1のコア半体ブ
ロック1のトラック幅規制溝5に直角方向の長さ50m
mよりも短くしておくことが望ましい。以上の両コア半
体ブロック1、7のギャップ面にギャップ材を成膜後の
主要工程であるガラス棒挿入工程、トラック合わせ工
程、仮固定工程、ギャップ形成工程の順に説明する。
(Embodiment 1) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a first core half block 1 after groove processing, 2 is a substrate made of Mn-Zn single crystal ferrite or the like, 3 is a glass groove, 4 is a winding groove, 5 is a track width regulating groove. , 6 are the first core half block gap surfaces. The substrate size is 50 mm × 50 mm.
FIG. 2 shows the second core half block 7 after grooving, and 8 is a substrate made of Mn-Zn single crystal ferrite or the like,
Reference numeral 9 is a track width regulation groove, and 10 is a second core half block gap surface. Here, the length of the second core half block 7 in the direction parallel to the track width regulating groove 9 is 50 mm, but the length in the perpendicular direction is 48 mm, and the track width regulation of the first core half block 1 is 48 mm. 50m in the direction perpendicular to the groove 5
It is desirable to make it shorter than m. The glass rod inserting step, the track aligning step, the temporary fixing step, and the gap forming step, which are the main steps after forming the gap material on the gap surfaces of both core half blocks 1 and 7, are described in this order.

【0010】図3はガラス棒挿入工程を説明する図であ
る。第1のコア半体ブロック1を図7〜9で後述のトラ
ック合わせ装置の下真空吸引台上にギャップ面6を上に
して真空吸着固定した後に、ガラス棒11を各ガラス溝
3に挿入する。図4はトラック合わせ工程を説明する図
である。トラック合わせ装置の上真空吸引台上に真空吸
着固定された第2のコア半体ブロック7をギャップ面を
下にして、ガラス棒11の挿入された第1のコア半体ブ
ロック1のギャップ面に対向して近づける。そして両コ
ア半体ブロックのギャップ面間の距離を数μmとする。
第1のコア半体ブロック1を第2のコア半体ブロック7
に対して相対的にX−Y−θ調整することにより両コア
半体ブロック間のトラック合わせを実施し、次に両コア
半体ブロック1、7を互いに圧接する。なお図2で述べ
たように、第2のコア半体ブロック7のトラック幅規制
溝9に直角方向の長さは、第1のコア半体ブロック1の
トラック幅規制溝5に直角方向の長さよりも短くしてあ
るので、両コア半体ブロック1、7が圧接した状態では
図4のように、第1のコア半体ブロック1のギャップ面
6の一部が第2のコア半体ブロック7よりはみ出した状
態となる。
FIG. 3 is a diagram for explaining the glass rod inserting step. After the first core half block 1 is vacuum-adsorbed and fixed with the gap surface 6 facing upward on the lower vacuum suction table of the track alignment device described later with reference to FIGS. 7 to 9, the glass rod 11 is inserted into each glass groove 3. . FIG. 4 is a diagram for explaining the track alignment process. The second core half block 7 vacuum-adsorbed and fixed on the upper vacuum suction table of the track aligning device is placed on the gap surface of the first core half block 1 into which the glass rod 11 is inserted with the gap surface facing down. Face and face each other. The distance between the gap surfaces of both core half blocks is set to several μm.
The first core half block 1 is replaced with the second core half block 7
Track alignment between both core half blocks is performed by adjusting X-Y- [theta] relative to each other, and then both core half blocks 1 and 7 are pressed against each other. As described with reference to FIG. 2, the length of the second core half block 7 in the direction perpendicular to the track width restricting groove 9 is the length in the direction perpendicular to the track width restricting groove 5 of the first core half block 1. Since both core half blocks 1 and 7 are in pressure contact with each other, a part of the gap surface 6 of the first core half block 1 is part of the second core half block 1 as shown in FIG. It is in a state of protruding from 7.

【0011】図5は仮固定工程を説明する図である。両
コア半体ブロック1、7がトラック合わせ装置の下真空
吸引台と上真空吸引台との間で圧接された状態で、第2
のコア半体ブロック7よりはみ出した第1のコア半体ブ
ロック1のギャップ面6と第2のコア半体ブロック7の
端面12との間に接着剤13を塗布し硬化させる。この
工程で注意すべき点は、接着剤が両コア半体ブロックの
ギャップ面でない平面に付着しないようにすることであ
る。もしも付着すると、後のギャップ形成工程で接着剤
の突起が均一な加圧を妨げ、接着剤突起部近傍のギャッ
プ長の精度が悪くなる。この点からも第2のコア半体ブ
ロック7のトラック幅規制溝に直角方向の長さが第1の
コア半体ブロック1のトラック幅規制溝に直角方向の長
さよりも短いことは、接着作業スペースに余裕があり狭
い範囲に塗布するために好都合である。
FIG. 5 is a diagram for explaining the temporary fixing step. In a state in which both core half blocks 1 and 7 are pressed against each other between the lower vacuum suction table and the upper vacuum suction table of the track aligning device,
The adhesive 13 is applied between the gap surface 6 of the first core half block 1 and the end surface 12 of the second core half block 7 protruding from the core half block 7 and cured. A point to be noted in this step is to prevent the adhesive from adhering to a plane other than the gap surface of both core half blocks. If adhered, the protrusions of the adhesive impede uniform pressing in the subsequent gap forming step, and the accuracy of the gap length in the vicinity of the protrusions of the adhesive deteriorates. From this point as well, the fact that the length in the direction perpendicular to the track width regulating groove of the second core half block 7 is shorter than the length in the direction perpendicular to the track width regulating groove of the first core half block 1 means that the bonding work is performed. This is convenient because there is room in space and it can be applied in a narrow area.

【0012】ここで接着剤を用いた仮固定法の場合に配
慮すべき点は、接着剤のギャップ面への侵入、接着剤か
ら発生するガスの影響、作業性等である。接着剤のギャ
ップ面への侵入に関しては、ギャップ面を圧接し加圧し
た状態でも接着剤がギャップ間に侵入し、接着剤侵入箇
所近傍のギャップ長精度が確保できない問題が発生す
る。ギャップ間への侵入について各種の接着剤を検討し
た結果、粘度が400P以下では接着剤のギャップ界面
への侵入は0.5mm以上に達し、接着剤侵入箇所近傍
のギャップ長精度不合格発生範囲が広く実用には無理が
あった。粘度が3,000P以上では接着剤のギャップ
界面への侵入は0.2mm以下となり、接着剤侵入箇所
近傍のギャップ長精度の不合格発生範囲は実用上問題な
い程度であった。粘度400〜3,000Pの範囲では
接着剤の種類により使用可能なものと、使用不可のもの
とがあった。次にギャップ形成時の高温で接着剤から発
生するガスの影響について検討した結果、接着剤によっ
てはこのガスがギャップ面およびトラック溝壁に付着
し、ガラス充填が不十分となったり気泡が発生したりの
不都合が生じ歩留が悪い場合があったが、粘度3,00
0P以上であればガス発生量も少ないと思われる結果が
得られた。しかしUV硬化型ではガスの影響が小さく、
実用上ほとんど問題のない程度であった。さらに作業性
に関しては、熱硬化型は硬化時間が長いためトラック合
わせ装置を長時間占有し、またトラック合わせ装置上で
加熱するので不都合である。瞬間接着剤とUV硬化接着
剤は硬化時間が短く作業性が良好である。以上を総合す
ると、粘度3,000P以上のUV硬化型接着剤が最適
であった。
Here, points to be taken into consideration in the case of the temporary fixing method using the adhesive are the penetration of the adhesive into the gap surface, the influence of the gas generated from the adhesive, the workability and the like. Regarding the invasion of the adhesive into the gap surface, there is a problem that the adhesive intrudes into the gap even when the gap surface is pressed and pressed and the accuracy of the gap length in the vicinity of the intrusion portion of the adhesive cannot be ensured. As a result of investigating various adhesives for penetration into the gap, when the viscosity is 400 P or less, the penetration of the adhesive into the gap interface reaches 0.5 mm or more, and the gap length precision rejection range near the adhesive penetration point is It was impossible to put it into practical use. When the viscosity was 3,000 P or more, the penetration of the adhesive into the gap interface was 0.2 mm or less, and the range of failure occurrence of the gap length accuracy in the vicinity of the location where the adhesive penetrated was within a practically acceptable level. In the viscosity range of 400 to 3,000 P, some were usable and some were not usable depending on the type of adhesive. Next, as a result of examining the effect of the gas generated from the adhesive at high temperature during gap formation, depending on the adhesive, this gas adheres to the gap surface and the track groove wall, resulting in insufficient glass filling and bubbles. There was a case where the yield was poor due to inconveniences such as
When the pressure was 0 P or more, the result that the amount of gas generated was considered to be small was obtained. However, the effect of gas is small in the UV curing type,
There was almost no problem in practical use. Further, in terms of workability, the thermosetting type is inconvenient because it takes a long curing time to occupy the track aligning device for a long time and heats the track aligning device. Instant adhesives and UV curable adhesives have a short curing time and good workability. Summing up the above, the UV curable adhesive having a viscosity of 3,000 P or more was optimum.

【0013】次にギャップ形成工程を説明する。仮固定
済みの両コア半体ブロック1、7を図15に類似のギャ
ップ形成装置に載置し、両面より加圧し、ギャップ形成
装置全体をギャップ形成する作業温度に保持すること
で、ギャップ形成を実施する。以後は通常の工程により
磁気ヘッドを製造する。なお以上の説明ではガラス棒挿
入工程は必ずしもトラック合わせ工程の前に実施する必
要はなく、トラック合わせ工程、仮固定工程を順次実施
した後でガラス棒を挿入してもよい。しかし1辺が50
mm程度の大型基板ではガラス棒が長くなるので、20
〜30本のガラス棒を狭いガラス溝に挿入することは作
業性が悪く、上記の図1〜5の工程順序の方が優れてい
る。
Next, the gap forming step will be described. Both core half blocks 1 and 7 that have been temporarily fixed are placed on a gap forming device similar to that shown in FIG. 15, and pressure is applied from both sides, and the entire gap forming device is maintained at a working temperature for forming a gap, thereby forming a gap. carry out. After that, the magnetic head is manufactured by a normal process. In the above description, the glass rod inserting step does not necessarily have to be performed before the track aligning step, and the glass rod may be inserted after sequentially performing the track aligning step and the temporary fixing step. But one side is 50
Since a glass rod becomes long on a large substrate of about mm, 20
Inserting ~ 30 glass rods into a narrow glass groove is poor in workability, and the above process sequence of FIGS. 1 to 5 is superior.

【0014】また工程順序を上記図1〜5のようにガラ
ス棒挿入工程を仮固定工程よりも前に実施するために
は、図3のように、第1のコア半体ブロック1をトラッ
ク合わせ装置の下真空吸引台上にギャップ面6を上にし
て真空吸着固定した後に、ガラス棒11を各ガラス溝3
に挿入する必要がある。もしも第2のコア半体ブロック
7をトラック合わせ装置の下真空吸引台上にギャップ面
10を上にして真空吸着固定した場合には、ガラスの配
列位置を正確に制御する必要があり困難な作業となる。
In order to carry out the glass rod inserting step before the temporary fixing step as shown in FIGS. 1 to 5, the first core half block 1 is track-aligned as shown in FIG. After vacuum adsorption and fixing with the gap surface 6 facing upward on the lower vacuum suction table of the apparatus, the glass rod 11 is attached to each glass groove 3
Need to be inserted into. If the second core half block 7 is vacuum-adsorbed and fixed on the lower vacuum suction table of the track aligning device with the gap surface 10 facing up, it is necessary to accurately control the arrangement position of the glass, which is a difficult task. Becomes

【0015】(実施例2)次に本発明の第2の実施例に
ついて説明する。トラック合わせ工程までは第1の実施
例と同様なものである。第1の実施例と異なるのは仮固
定法として接着剤を用いず、レーザービームを用いる点
が異なる。第1の実施例で接着剤を塗布する位置にガラ
ス棒を供給しながら、レーザービームを照射しガラスを
溶かすと同時に、ガラス供給箇所付近の基板もレーザー
ビームで加熱しながら両者を溶着し、仮固定する方法で
ある。レーザーの種類としては炭酸ガスレーザーが最適
であった。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described. The process up to the track alignment process is the same as in the first embodiment. The difference from the first embodiment is that a laser beam is used as a temporary fixing method without using an adhesive. In the first embodiment, while supplying the glass rod to the position where the adhesive is applied, the glass is irradiated with the laser beam to melt the glass, and at the same time, the substrate in the vicinity of the glass supply place is also heated by the laser beam to weld the both, and It is a method of fixing. The carbon dioxide laser was the most suitable type of laser.

【0016】(実施例3)次に本発明の第3の実施例に
ついて説明する。第2の実施例を改良したもので、基板
を500℃以上に予備加熱しながらレーザービーム照射
する仮固定法である。第2の実施例の方法では、レーザ
ービームでガラスを融点以上の温度に加熱することが必
要であるのみならず、基板温度もガラスと互いに解け合
う温度まで高温に加熱することが必要である。予備加熱
なしでレーザービーム加熱のみで溶着による仮固定をし
ようとすると、フェライト基板の場合には基板にクラッ
クが入り、割れを生じやすい問題があることが分かっ
た。基板割れを防ぐには基板温度を予備加熱で500℃
以上に保持しながらレーザービーム照射することが必要
であった。トラック合わせ装置のような精密な装置の一
部に予備加熱装置を設けると、装置部材の膨張が発生す
るので1μm以下のトラック合わせ精度を確保するため
に、設計上十分配慮することが必要である。
(Embodiment 3) Next, a third embodiment of the present invention will be described. It is a modification of the second embodiment and is a temporary fixing method in which a laser beam is irradiated while preheating the substrate to 500 ° C. or higher. In the method of the second embodiment, not only it is necessary to heat the glass to a temperature equal to or higher than the melting point with a laser beam, but it is also necessary to heat the substrate temperature to a high temperature at which the glass and the glass melt each other. It has been found that when temporary fixing by welding is performed only by laser beam heating without preheating, the ferrite substrate has a problem that cracks easily occur in the substrate. To prevent substrate cracking, preheat the substrate temperature to 500 ° C.
It was necessary to irradiate the laser beam while maintaining the above. If a preheating device is provided in a part of a precision device such as a track alignment device, expansion of the device member occurs, so it is necessary to give sufficient consideration to the design in order to ensure a track alignment accuracy of 1 μm or less. .

【0017】(実施例4)次に本発明の第4の実施例に
ついて説明する。トラック合わせ工程までは第1の実施
例と同様なものである。第1の実施例と異なる点は、工
程順序をガラス棒挿入工程を仮固定工程の後に実施する
方法である。具体的には上下が囲まれたガラス溝内へガ
ラスを側面から挿入する。第1の実施例ではガラス棒挿
入工程を仮固定工程よりも前に実施する例を説明した
が、この順序を逆にし、仮固定後にガラス棒を挿入する
ことも可能である。この場合ガラス断面積に比べてガラ
ス溝断面積が小さいとガラス棒の挿入が困難で、ガラス
棒が割れる場合があるので注意が必要である。
(Fourth Embodiment) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. The process up to the track alignment process is the same as in the first embodiment. The difference from the first embodiment is that the glass rod insertion step is performed after the temporary fixing step in the order of steps. Specifically, the glass is inserted into the glass groove surrounded by the upper and lower sides from the side surface. In the first embodiment, the example in which the glass rod insertion step is performed before the temporary fixing step has been described, but it is also possible to reverse this order and insert the glass rod after the temporary fixing. In this case, if the glass groove cross-sectional area is smaller than the glass cross-sectional area, it is difficult to insert the glass rod, and the glass rod may be broken, so care must be taken.

【0018】(実施例5)次に本発明の第5の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。ガラス棒挿入工程
までは第1の実施例と同様なものである。第1の実施例
と異なるのは、両コア半体ブロック1、7の各トラック
幅規制溝5、9に直角方向の長さが同一である点であ
る。
(Fifth Embodiment) Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The steps up to the glass rod insertion step are the same as those in the first embodiment. The difference from the first embodiment is that the lengths of the core half blocks 1 and 7 in the direction perpendicular to the track width regulating grooves 5 and 9 are the same.

【0019】図6はこの場合の仮固定工程を説明する図
である。14は第1のコア半体ブロックの端面を示す。
両コア半体ブロック1、7の端面12、14間にまたが
るように接着剤13を塗布し硬化させればよい。 (実施例6)次に本発明の第6の実施例であるトラック
合わせ装置について図7〜9を参照しながら説明する。
図7は図4〜5で言及したトラック合わせ装置の説明図
である。1は第1のコア半体ブロック、7は第2のコア
半体ブロック、21は下真空吸引台、22は上真空吸引
台、23はX−Y−Z−θ微動テーブル、24はX軸微
動つまみ、25はY軸微動つまみ、26はZ軸微動つま
み、27はθ軸微動つまみ、28は装置全体を支える定
盤である。
FIG. 6 is a diagram for explaining the temporary fixing step in this case. Reference numeral 14 denotes an end face of the first core half block.
The adhesive 13 may be applied and cured so as to straddle the end faces 12 and 14 of both core half blocks 1 and 7. (Embodiment 6) Next, a track aligning apparatus according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 7 is an explanatory diagram of the track aligning device referred to in FIGS. Reference numeral 1 is a first core half block, 7 is a second core half block, 21 is a lower vacuum suction table, 22 is an upper vacuum suction table, 23 is an XYZ-θ fine movement table, and 24 is an X axis. A fine movement knob, 25 is a Y axis fine movement knob, 26 is a Z axis fine movement knob, 27 is a θ axis fine movement knob, and 28 is a surface plate which supports the entire apparatus.

【0020】次に図7の装置の動作を説明する。上真空
吸引台22にギャップ面を下にして真空吸着固定された
第2のコア半体ブロック7を、下真空吸引台21にギャ
ップ面を上にして真空吸着固定された第1のコア半体ブ
ロック1を配置する。次にZ軸微動つまみ26を回して
両コア半体ブロック1、7のギャップ面間距離を数μm
に調整し、図8の対物レンズからの像を像を見ながら、
第1のコア半体ブロック1を第2のコア半体ブロック7
に対して相対的にX−Y−θ調整することにより両コア
半体ブロック間のトラック合わせを実施する。次にZ軸
微動つまみ26を回して両コア半体ブロック1、7を互
いに圧接する。もちろん圧接機構として空気圧を用いる
こともできる。また図7ではX−Y−Z−θ微動機構が
すべて下真空吸引台に備えられた例を述べたが、例えば
Z微動機構は上真空吸引台に備えられ、X−Y−θ微動
機構は下真空吸引台に備えられていてもよいことはもち
ろんである。さらに基板厚不均一や上下の真空吸引台の
平行度不足に対応するため下真空吸引台には球面座を設
けることも可能である。
Next, the operation of the apparatus shown in FIG. 7 will be described. The second core half block 7 vacuum-adsorbed and fixed on the upper vacuum suction table 22 with the gap surface facing down, and the first core half body vacuum-fixed on the lower vacuum suction table 21 with the gap surface facing up Place block 1. Next, turn the Z-axis fine adjustment knob 26 to set the gap surface distance between the core half blocks 1 and 7 to several μm.
Adjust to, while watching the image from the objective lens in Figure 8,
The first core half block 1 is replaced with the second core half block 7
Track alignment between both core half blocks is performed by adjusting X-Y- [theta] relatively. Next, the Z-axis finely moving knob 26 is rotated to press the core half blocks 1 and 7 into pressure contact with each other. Of course, air pressure can also be used as the pressure contact mechanism. Further, in FIG. 7, an example in which all the XYZ-θ fine movement mechanisms are provided in the lower vacuum suction table has been described. For example, the Z fine movement mechanism is provided in the upper vacuum suction table, and the XY-θ fine movement mechanism is provided. Of course, it may be provided in the lower vacuum suction table. Further, a spherical seat can be provided on the lower vacuum suction table in order to cope with uneven substrate thickness and lack of parallelism between the upper and lower vacuum suction tables.

【0021】図8は図7のトラック合わせ装置の要部を
説明する図で、両コア半体ブロック1、7付近の平面図
を示す。29〜32は4本の対物レンズを示し、その光
軸はトラック幅規制溝に平行で、その位置は両コア半体
ブロックのトラック断面の輪郭が見える2端面の左右に
配置し、かつなるべく距離が離れたトラック断面の輪郭
が見えるように左前、左後、右後、右前の4個所に配置
される。各対物レンズには対物レンズを保持する専用顕
微鏡・照明装置・テレビカメラ・画像合成装置・測微装
置等が接続され、その出力はモニターに映し出される。
FIG. 8 is a view for explaining a main part of the track aligning device of FIG. 7, and is a plan view of the vicinity of both core half blocks 1 and 7. Reference numerals 29 to 32 denote four objective lenses, the optical axes of which are parallel to the track width regulating groove, and their positions are arranged on the left and right sides of the two end faces where the contours of the track cross sections of both core half blocks can be seen, and as far as possible from each other. Are placed at four locations, front left, rear left, rear right, and front right, so that the contours of the track sections separated from each other can be seen. Each objective lens is connected to a dedicated microscope, an illumination device, a TV camera, an image synthesizing device, a microscopic device, etc., which holds the objective lens, and the output is displayed on a monitor.

【0022】図9は4本の対物レンズの各モニター上の
画像の1例を示すものである。33は第2のコア半体ブ
ロックのトラック断面の輪郭像、34は第1のコア半体
ブロックのトラック断面の輪郭像である。図7のトラッ
ク合わせ装置では第2のコア半体ブロック7は固定され
ているので、X−Y−θ微動つまみ24、25、27の
操作により第1のコア半体ブロック1を動かして、両ト
ラックが一致するように各微動つまみを調整し所定の精
度内にトラック合わせし、Z軸微動つまみ26の操作に
より両コア半体ブロックを圧接し加圧する。対物レンズ
の一例としては例えば作動距離が4.8mmの超長作動
距離の100倍対物レンズを使用すれば顕微鏡・テレビ
カメラ・モニターの総合倍率で約2,000倍となり1
μm以下の精度は十分確保できる。
FIG. 9 shows an example of an image on each monitor of four objective lenses. 33 is a contour image of the track cross section of the second core half block, and 34 is a contour image of the track cross section of the first core half block. Since the second core half block 7 is fixed in the track aligning device of FIG. 7, the first core half block 1 is moved by operating the XY-θ fine movement knobs 24, 25, 27. The fine movement knobs are adjusted so that the tracks coincide with each other, the tracks are aligned within a predetermined accuracy, and the Z-axis fine movement knob 26 is operated to press and press both core half blocks. As an example of the objective lens, for example, if a 100 × objective lens with a working distance of 4.8 mm and an ultra-long working distance is used, the total magnification of a microscope, a TV camera, and a monitor is about 2,000 times.
The accuracy of less than μm can be sufficiently secured.

【0023】以上図7〜9のトラック合わせ装置では基
板の4隅のトラック断面の輪郭像を4本の対物レンズで
常時同時に各モニター上に映し出すことができ、精度向
上と作業性の向上に寄与するものである。 (実施例7)次に本発明の第7の実施例であるレーザー
ビーム照射装置付きトラック合わせ装置について図10
を用いて説明する。装置の基本構成は図7〜9と同じで
あるが、レーザー装置を備えている点が異なる。図10
の35はレーザー装置、36はミラー、37はレーザー
ビームを示し、仮固定すべき端面にレーザービームを照
射することができ、実施例2〜3で述べたようにレーザ
ービーム照射によるガラス溶着で仮固定させることが出
来る。
In the track alignment apparatus shown in FIGS. 7 to 9, the contour images of the track cross sections at the four corners of the substrate can be simultaneously projected on each monitor by the four objective lenses, which contributes to improvement in accuracy and workability. To do. (Embodiment 7) Next, a track alignment apparatus with a laser beam irradiation apparatus according to a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. The basic configuration of the device is the same as in FIGS. 7 to 9, except that a laser device is provided. FIG.
Reference numeral 35 denotes a laser device, 36 denotes a mirror, and 37 denotes a laser beam, which can irradiate the laser beam to the end face to be temporarily fixed. It can be fixed.

【0024】(実施例8)次に本発明の第8の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図9の画面でトラ
ック断面の輪郭像がシャープに観察できるように工夫し
たものである。図11、図12は本実施例を説明するた
めの図である。図11は改良した第1のコア半体ブロッ
ク38を示す。39、40はトラック幅規制溝に直角
で、端面近傍にダイサーを用いて形成された鏡面加工溝
である。加工深さはトラックのギャップ面に直角な深さ
まであれば十分である。ダイサーに用いる砥石としては
例えば#1,000のダイアモンド砥粒を含むレジンボ
ンド砥石で加工すれば、その加工面は鏡面に近い面が得
られる。
(Embodiment 8) Next, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. This is devised so that the contour image of the track cross section can be observed sharply on the screen of FIG. 11 and 12 are diagrams for explaining the present embodiment. FIG. 11 shows a modified first core half block 38. Numerals 39 and 40 are mirror-finished grooves which are formed at right angles to the track width regulation groove and near the end face by using a dicer. The processing depth is sufficient if it is a depth perpendicular to the track gap surface. As a grindstone used for the dicer, for example, a resin-bonded grindstone containing # 1,000 diamond abrasive grains is used to obtain a processed surface close to a mirror surface.

【0025】図12は同じく図9の画面でトラック断面
の輪郭像がシャープに観察できるように改良した第2の
コア半体ブロック41を示す。42、43はトラックに
直角に上記の砥石を用いて、端面近傍に形成された鏡面
加工溝である。一般にプレート工法に用いられる基板の
端面は切断したままであり、平滑性が悪く、図9のよう
にシャープなトラック断面の輪郭像が得られない。基板
に溝加工を実施する前に端面を鏡面研磨しておくことに
より、図9のようにシャープなトラック断面の輪郭像が
得られる。しかし鏡面研磨した端面は、その後の溝加工
その他の工程を経るに従い、端面にきずや欠けを生じ、
図9のようにシャープなトラック断面の輪郭像が得られ
ない場合がしばしばである。
FIG. 12 shows a second core half block 41 which has been improved so that the contour image of the track cross section can be sharply observed on the screen of FIG. Reference numerals 42 and 43 denote mirror-finished grooves formed near the end faces by using the above-mentioned grindstone at right angles to the tracks. Generally, the end face of the substrate used in the plate method is still cut, the smoothness is poor, and a sharp contour image of the track cross section as shown in FIG. 9 cannot be obtained. By mirror-polishing the end surface before performing the groove processing on the substrate, a sharp contour image of the track cross section as shown in FIG. 9 can be obtained. However, the mirror-polished end surface has flaws and chips on the end surface as it undergoes subsequent groove processing and other steps,
It is often the case that a sharp contour image of the track cross section cannot be obtained as shown in FIG.

【0026】図11〜12のような鏡面加工溝を形成す
ることにより、図9のようにシャープなトラック断面の
輪郭像を得ることができた。この工法には次のような利
点があることが分かった。(1)鏡面部が基板端面より
内側に位置するため鏡面部が基板端面で保護されキズが
付きにくい。(2)ガラス溝、巻線溝、トラック幅規制
溝等の加工が終了した後に鏡面加工すればよいので、ト
ラック合わせ工程までの工程数が少なく、鏡面部にキズ
が付く機会も少ない。(3)既に加工済みのトラック幅
規制溝に直角に加工するので精度良くトラックに直角に
できる。しかも2つ鏡面部はダイサーで連続加工するの
で、鏡面の平行度はダイサーの機械精度で決まる優れた
平行度を確保することができる。この結果、トラック合
わせ工程での対物レンズの焦点合わせ作業が短時間に実
施でき、作業性に優れている。このことは100倍対物
レンズの焦点深度が0.5μmしかなく、所定の観察すべ
き領域を探すためにかなりの時間を要することを考慮す
ると実用上重要な点である。
By forming mirror-finished grooves as shown in FIGS. 11 to 12, a sharp contour image of a track cross section as shown in FIG. 9 could be obtained. It was found that this method has the following advantages. (1) Since the mirror surface portion is located inside the end surface of the substrate, the mirror surface portion is protected by the end surface of the substrate and is not easily scratched. (2) Since the mirror surface processing may be performed after the processing of the glass groove, the winding groove, the track width regulation groove, etc. is completed, the number of steps up to the track aligning step is small, and the chance of scratching the mirror surface portion is small. (3) Since the already processed track width regulation groove is processed at a right angle, the track can be accurately formed at a right angle. Moreover, since the two mirror surface portions are continuously processed by the dicer, the parallelism of the mirror surfaces can be ensured to be excellent parallelism determined by the machine accuracy of the dicer. As a result, the focusing operation of the objective lens in the track adjusting process can be performed in a short time, and the workability is excellent. This is a practically important point considering that the depth of focus of the 100 × objective lens is only 0.5 μm, and it takes a considerable time to search for a predetermined region to be observed.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上のように本発明は、第1のコア半体
ブロックのトラックと第2のコア半体ブロックのトラッ
クとをトラック合わせ装置上にてトラック合わせした状
態で、両コア半体ブロックを圧接する工程と、圧接され
た両コア半体ブロックの端部を互いに仮固定させる工程
と、互いに仮固定された両コア半体ブロックをトラック
合わせ装置から取り出す工程と、仮固定された両コア半
体ブロックをギャップ形成装置に載置して加圧する工程
と、加圧した状態で加熱炉中で加熱してギャップ形成す
る工程とを備えることにに特徴があり、このように仮固
定工程を導入することによりトラック合わせ工程とギャ
ップ形成工程とを独立させることができ、従来の問題点
を解決することができる。つまりトラック合わせ工程と
ギャップ形成工程とを従来例のように同一装置で実施せ
ず、各々最適設計した装置を用いることにより、トラッ
ク合わせ精度とギャップ長精度とを同時に満足すること
ができる優れた磁気ヘッドの製造法を実現できるもので
ある。
As described above, according to the present invention, the tracks of the first core half block and the tracks of the second core half block are track-aligned on the track alignment device, and both core halves are formed. The step of pressing the blocks together, the step of temporarily fixing the ends of the pressed core half blocks to each other, the step of taking out the core half blocks temporarily fixed to each other from the track aligning device, and the step of temporarily fixing both It is characterized in that it comprises a step of placing the core half block on the gap forming device and pressurizing it, and a step of heating the core half block in a heating furnace in a pressurized state to form a gap. By introducing the above, the track aligning step and the gap forming step can be made independent, and the conventional problems can be solved. That is, unlike the conventional example, the track aligning process and the gap forming process are not performed by the same device, but by using the optimally designed devices, the track aligning accuracy and the gap length accuracy can be simultaneously satisfied. The method of manufacturing the head can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明における溝加工後の第1のコア半体ブロ
ックを示す図
FIG. 1 is a diagram showing a first core half block after grooving according to the present invention.

【図2】本発明における溝加工後の第2のコア半体ブロ
ックを示す図
FIG. 2 is a diagram showing a second core half block after grooving in the present invention.

【図3】本発明におけるガラス棒挿入工程を説明する図FIG. 3 is a diagram illustrating a glass rod inserting step in the present invention.

【図4】本発明におけるトラック合わせ工程を説明する
FIG. 4 is a diagram illustrating a track aligning process in the present invention.

【図5】本発明における仮固定工程を説明する図FIG. 5 is a diagram illustrating a temporary fixing step in the present invention.

【図6】本発明における仮固定工程を説明する図FIG. 6 is a diagram illustrating a temporary fixing step in the present invention.

【図7】本発明におけるトラック合わせ装置の説明図FIG. 7 is an explanatory view of a track aligning device according to the present invention.

【図8】同装置の要部を説明する図FIG. 8 is a diagram illustrating a main part of the apparatus.

【図9】同装置における各対物レンズのモニター上の画
像の1例を示す図
FIG. 9 is a diagram showing an example of an image on a monitor of each objective lens in the same device.

【図10】本発明におけるレーザー照射装置付きトラッ
ク合わせ装置の説明図
FIG. 10 is an explanatory view of a track alignment device with a laser irradiation device according to the present invention.

【図11】本発明における鏡面加工溝を有する第1のコ
ア半体ブロックを示す図
FIG. 11 is a view showing a first core half block having a mirror-finished groove according to the present invention.

【図12】本発明における鏡面加工溝を有する第2のコ
ア半体ブロックを示す図
FIG. 12 is a view showing a second core half block having mirror-finished grooves according to the present invention.

【図13】溝加工後の従来の第1のコア半体ブロックを
示す図
FIG. 13 is a view showing a conventional first core half block after grooving.

【図14】溝加工後の従来の第2のコア半体ブロックを
示す図
FIG. 14 is a view showing a conventional second core half block after grooving.

【図15】従来のトラック合わせ兼ギャップ形成装置を
説明する図
FIG. 15 is a diagram illustrating a conventional track alignment / gap forming device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1のコア半体ブロック 2 基板 3 ガラス溝 4 巻線溝 5 トラック幅規制溝 6 第1のコア半体ブロックギャップ面 7 第2のコア半体ブロック 8 基板 9 トラック幅規制溝 10 第2のコア半体ブロックギャップ面 11 ガラス棒 12 第2のコア半体ブロック端面 13 接着剤 14 第1のコア半体ブロック端面 21 下真空吸引台 22 上真空吸引台 23 X−Y−Z−θ微動テーブル 24 X軸微動つまみ 25 Y軸微動つまみ 26 Z軸微動つまみ 27 θ軸微動つまみ 28 定盤 29〜32 対物レンズ 33 モニター上の第2のコア半体ブロックのトラック
断面の輪郭像像 34 モニター上の第1のコア半体ブロックのトラック
断面の輪郭像像 35 レーザー装置 36 ミラー 37 レーザービーム
1 1st core half block 2 substrate 3 glass groove 4 winding groove 5 track width regulation groove 6 1st core half body block gap surface 7 second core half body block 8 substrate 9 track width regulation groove 10 second Core half block gap surface of 11 glass rod 12 second core half block end surface 13 adhesive 14 first core half block end surface 21 lower vacuum suction table 22 upper vacuum suction table 23 XYZ-θ fine movement Table 24 X axis fine movement knob 25 Y axis fine movement knob 26 Z axis fine movement knob 27 θ axis fine movement knob 28 Surface plate 29 to 32 Objective lens 33 Contour image image of track cross section of second core half block on monitor 34 On monitor Contour image image of the track cross section of the first core half block of the laser 35 Laser device 36 Mirror 37 Laser beam

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1のコア半体ブロックと第2のコア半
体ブロックとをトラック合わせ装置上にてトラック合わ
せした状態で、両コア半体ブロックを圧接する工程と、
圧接された両コア半体ブロックの端部を互いに仮固定さ
せる工程と、互いに仮固定された両コア半体ブロックを
トラック合わせ装置から取り出す工程と、仮固定された
両コア半体ブロックをギャップ形成装置に載置して加圧
する工程と、加圧した状態で加熱炉中で加熱してギャッ
プ形成する工程とを備えた磁気ヘッドの製造法。
1. A step of press-contacting both core half blocks in a state where the first core half block and the second core half block are track-aligned on a track alignment device,
A step of temporarily fixing the end portions of both core half blocks pressed together, a step of taking out both core half blocks temporarily fixed to each other from the track aligning device, and a gap formation of both temporarily fixed core half blocks A method of manufacturing a magnetic head, comprising: a step of placing the apparatus on a device and pressurizing; and a step of heating in a heating furnace in a pressurized state to form a gap.
【請求項2】 請求項1記載の製造法で製造された磁気
ヘッド。
2. A magnetic head manufactured by the manufacturing method according to claim 1.
【請求項3】 トラック合わせ装置上にてガラス棒を第
1のコア半体ブロックのガラス溝へ挿入する工程の後
に、トラック合わせ工程、仮固定工程を実施する請求項
1記載の磁気ヘッドの製造法。
3. The manufacturing of a magnetic head according to claim 1, wherein a track aligning step and a temporary fixing step are performed after the step of inserting the glass rod into the glass groove of the first core half block on the track aligning device. Law.
【請求項4】 第2のコア半体ブロックのトラック幅規
制溝に直角方向の長さが、第1のコア半体ブロックのト
ラック幅規制溝に直角方向の長さよりも短く、第1のコ
ア半体ブロックのギャップ面が上向きで、第2のコア半
体ブロックのギャップ面が下向きに位置するように、ト
ラック合わせした状態で両コア半体ブロックが圧接され
た状態で、第2のコア半体ブロックよりはみ出した第1
のコア半体ブロックのギャップ面と第2のコア半体ブロ
ック端面との間で仮固定する請求項1記載の磁気ヘッド
の製造法。
4. The first core has a length in the direction perpendicular to the track width regulating groove of the second core half block shorter than a length in the direction perpendicular to the track width regulating groove of the first core half block. With the gap faces of the half blocks facing upward and the gap faces of the second core half blocks facing downward, the two core half blocks are pressed together in a track aligned state, and the second core half blocks are pressed. The first protruding from the body block
2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the gap surface of the core half block and the end surface of the second core half block are temporarily fixed.
【請求項5】 接着剤を用いて仮固定させる工程を備え
た請求項1記載の磁気ヘッドの製造法。
5. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, further comprising a step of temporarily fixing with an adhesive.
【請求項6】 粘度が3,000P以上の接着剤を用い
て仮固定させる工程を備えた請求項1記載の磁気ヘッド
の製造法。
6. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, further comprising a step of temporarily fixing with an adhesive having a viscosity of 3,000 P or more.
【請求項7】 粘度が3,000P以上のUV硬化型で
ある接着剤を用いて仮固定させる工程を備えた請求項1
記載の磁気ヘッドの製造法。
7. The method according to claim 1, further comprising a step of temporarily fixing using a UV-curable adhesive having a viscosity of 3,000 P or more.
A method for manufacturing the magnetic head described.
【請求項8】 レーザービーム照射によるガラス溶着で
仮固定させる工程を備えた請求項1記載の磁気ヘッドの
製造法。
8. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, further comprising the step of temporarily fixing the glass by laser beam irradiation.
【請求項9】 両コア半体ブロックを予備加熱してお
き、レーザービーム照射によるガラス溶着で仮固定させ
る工程を備えた請求項1記載の磁気ヘッドの製造法。
9. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, further comprising a step of preheating both core half blocks and temporarily fixing them by glass welding by laser beam irradiation.
【請求項10】 第1のコア半体ブロックを水平に固定
する真空吸引台と、第2のコア半体ブロックを水平に固
定する真空吸引台と、両真空吸引台を相対的にX、Y、
Z、θ軸方向に可動させる機構と、光軸がトラック幅規
制溝に平行で両コア半体ブロックのトラック断面の輪郭
が見える2端面の左右に配置される4本の対物レンズ
と、両コア半体ブロックを加圧する加圧機構とを備えた
磁気ヘッド製造装置。
10. A vacuum suction table for horizontally fixing the first core half block, a vacuum suction table for horizontally fixing the second core half block, and both vacuum suction tables relatively in X and Y. ,
A mechanism for moving in the Z and θ axis directions, four objective lenses arranged on the left and right of the two end faces where the optical axis is parallel to the track width regulating groove and the contour of the track cross section of both core half blocks can be seen, and both cores A magnetic head manufacturing apparatus comprising: a pressing mechanism for pressing a half block.
【請求項11】 両コア半体ブロックのトラック断面の
輪郭が見える2端面に、レーザービームを照射可能な炭
酸ガスレーザー装置を備えた請求項10記載の磁気ヘッ
ド製造装置。
11. The magnetic head manufacturing apparatus according to claim 10, wherein a carbon dioxide laser device capable of irradiating a laser beam is provided on two end faces where the contours of the track cross sections of both core half blocks can be seen.
【請求項12】 トラック幅規制溝に直角な端面が鏡面
研磨された両コア半体ブロックのトラック断面の輪郭
を、トラック合わせ時に観察する工程を備えた請求項1
記載の磁気ヘッドの製造法。
12. The method according to claim 1, further comprising a step of observing the contours of the track cross sections of both core half blocks having mirror-polished end faces perpendicular to the track width regulating groove during track alignment.
A method for manufacturing the magnetic head described.
【請求項13】 トラック幅規制溝に直角な端面の基板
端近くに砥石で加工された鏡面部を有する両コア半体ブ
ロックのトラック断面の輪郭を、トラック合わせ時に観
察する工程を備えた請求項1記載の磁気ヘッドの製造
法。
13. A step of observing the contour of the track cross section of both core half blocks having a mirror surface portion processed by a grindstone near the substrate end of the end surface perpendicular to the track width regulating groove at the time of track alignment. 1. The method for manufacturing a magnetic head according to 1.
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