JPH0961686A - Plastic lens - Google Patents

Plastic lens

Info

Publication number
JPH0961686A
JPH0961686A JP7237782A JP23778295A JPH0961686A JP H0961686 A JPH0961686 A JP H0961686A JP 7237782 A JP7237782 A JP 7237782A JP 23778295 A JP23778295 A JP 23778295A JP H0961686 A JPH0961686 A JP H0961686A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
plastic lens
optical axis
lens barrel
plastic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7237782A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoko Kimura
陽子 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP7237782A priority Critical patent/JPH0961686A/en
Publication of JPH0961686A publication Critical patent/JPH0961686A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily hold a plastic lens without providing a lens chamber by providing an engaging member for directly engaging with the inner periphery part of a lens barrel on the peripheries of respective incident and emitting surfaces, and causing the engaging part to covert the relative rotational force of the lens barrel and the plastic lens to driving force in the optical axis direction of the plastic lens. SOLUTION: The plastic lens L is assembled in the lens barrel 4 so that the optical axis of the lens L may be aligned with the optical axis AX of an optical system. Therefore, the engaging part of the lens L is directly engaged with the inner periphery part of the lens barrel 4, whereby the lens L is held by the lens barrel 4. As a lever 6 is rotated by a driving motor 7, the lens L is rotated around the optical axis AX with reference to the lens barrel 4. As a result, the spiral recessed and projected part 5 of the inner periphery part of the lens barrel 4 is meshed with the recessed and projecting part of the engaging part of the lens L, so that the lens L is moved along the optical axis AX while rotating.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプラスチックレンズ
に関し、特にレンズ保持およびレンズ駆動が容易なプラ
スチックレンズに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plastic lens, and more particularly to a plastic lens that can be easily held and driven.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のプラスチックレンズは、レンズ室
に固定され、このレンズ室を介してレンズ鏡筒に保持さ
れている。したがって、プラスチックレンズを光軸に沿
って駆動する場合、レンズ鏡筒を回転させることによ
り、レンズ鏡筒に設けられたヘリコイド(らせん状の凹
凸部)の案内によってレンズ室を光軸方向に移動させ
る。そして、このレンズ室の光軸方向移動に伴って、プ
ラスチックレンズを光軸方向に移動させるのが通常であ
る。
2. Description of the Related Art A conventional plastic lens is fixed in a lens chamber and is held by a lens barrel through this lens chamber. Therefore, when the plastic lens is driven along the optical axis, by rotating the lens barrel, the lens chamber is moved in the optical axis direction by the guidance of the helicoid (spiral uneven portion) provided in the lens barrel. . The plastic lens is usually moved in the optical axis direction along with the movement of the lens chamber in the optical axis direction.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
プラスチックレンズは、レンズ室に固定された状態でレ
ンズ鏡筒に保持されている。このため、レンズ鏡筒全体
の所要径が大きくなり、重量が増大する傾向がある。そ
の結果、製造コストが高くなるとともに、レンズ駆動に
おける仕事量が大きくて駆動機構に負荷がかかるという
不都合があった。
As described above, the conventional plastic lens is held in the lens barrel while being fixed in the lens chamber. Therefore, the required diameter of the entire lens barrel increases, and the weight tends to increase. As a result, the manufacturing cost becomes high, and the workload in driving the lens is large, which causes a load on the drive mechanism.

【0004】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、レンズ室を設けることなく、レンズ保持およ
びレンズ駆動が容易なプラスチックレンズを提供するこ
とを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a plastic lens which is easy to hold and drive a lens without providing a lens chamber.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、レンズ鏡筒に組み込まれるよう
になったプラスチックレンズにおいて、入射面および射
出面の周縁には、前記レンズ鏡筒の内周部と直接係合す
るための係合部が設けられ、前記係合部は、前記レンズ
鏡筒と前記プラスチックレンズとの相対回転力を前記プ
ラスチックレンズの光軸方向駆動力に変換するように形
成されていることを特徴とするプラスチックレンズを提
供する。
In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, in a plastic lens to be incorporated in a lens barrel, the lens barrel is provided on the periphery of the entrance surface and the exit surface. An engaging portion for directly engaging with the inner peripheral portion of the plastic lens is provided, and the engaging portion converts a relative rotational force between the lens barrel and the plastic lens into a driving force in the optical axis direction of the plastic lens. A plastic lens characterized by being formed as described above.

【0006】本発明の好ましい態様によれば、前記係合
部は、前記レンズ鏡筒の内周部に形成されたらせん状の
凹凸部と噛合するように形成された凹凸部を有する。ま
た、前記係合部は、前記入射面と前記射出面とで規定さ
れるレンズ光軸に関してほぼ対称に形成されていること
が好ましい。
According to a preferred aspect of the present invention, the engaging portion has an uneven portion formed so as to mesh with a spiral uneven portion formed on the inner peripheral portion of the lens barrel. Further, it is preferable that the engaging portion is formed substantially symmetrically with respect to a lens optical axis defined by the entrance surface and the exit surface.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】たとえば、特開昭61−2155
10号公報には、入射面および射出面の周縁に外周部を
有するプラスチックレンズが開示されている。この公報
では、プラスチックレンズをその外周部を介してレンズ
鏡筒に固定することによって、間隔環やレンズ室を省略
する構成が提案されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION For example, JP-A-61-2155.
Japanese Patent Publication No. 10 discloses a plastic lens having an outer peripheral portion on the periphery of the entrance surface and the exit surface. This publication proposes a structure in which a space ring and a lens chamber are omitted by fixing a plastic lens to a lens barrel through its outer peripheral portion.

【0008】この場合、レンズ鏡筒に対してプラスチッ
クレンズが固定であってレンズ駆動の必要がなければ、
確かにレンズ室を省略することができ、有利である。し
かしながら、レンズ鏡筒に対してプラスチックレンズを
光軸方向に駆動しなければならないような場合には、レ
ンズ室を省略することができない。すなわち、プラスチ
ックレンズをレンズ室に固定し、このレンズ室をプラス
チックレンズと一体的にレンズ鏡筒に対して光軸方向に
駆動する必要がある。
In this case, if the plastic lens is fixed to the lens barrel and it is not necessary to drive the lens,
Certainly, the lens chamber can be omitted, which is advantageous. However, the lens chamber cannot be omitted when the plastic lens has to be driven in the optical axis direction with respect to the lens barrel. That is, it is necessary to fix the plastic lens in the lens chamber and drive the lens chamber integrally with the plastic lens in the optical axis direction with respect to the lens barrel.

【0009】上述したように、本発明のプラスチックレ
ンズでは、入射面および射出面の周縁にはレンズ鏡筒の
内周部と直接係合するための係合部が設けられている。
そして、この係合部がレンズ鏡筒とプラスチックレンズ
との相対回転力をプラスチックレンズの光軸方向駆動力
に変換するように形成されている。したがって、レンズ
室を設けることなくプラスチックレンズをレンズ鏡筒に
よって直接保持するとともに、レンズ鏡筒とプラスチッ
クレンズとを相対的に回転させることによってプラスチ
ックレンズを光軸方向に駆動することが可能になる。
As described above, in the plastic lens of the present invention, the engaging portions for directly engaging with the inner peripheral portion of the lens barrel are provided on the peripheral edges of the entrance surface and the exit surface.
The engaging portion is formed so as to convert the relative rotational force between the lens barrel and the plastic lens into a driving force in the optical axis direction of the plastic lens. Therefore, the plastic lens can be directly held by the lens barrel without providing the lens chamber, and the plastic lens can be driven in the optical axis direction by relatively rotating the lens barrel and the plastic lens.

【0010】このように、本発明の構成では、レンズ室
が不要となるので、レンズ保持が容易になるばかりでな
く、レンズ鏡筒全体の径およびその重量が小さくなる。
その結果、レンズ駆動における仕事量(=重量×駆動
量)が小さくなり、駆動機構に過大な負荷をかけること
なく、レンズ駆動を容易に行うことが可能となる。
As described above, in the structure of the present invention, since the lens chamber is not required, the lens can be easily held and the diameter and weight of the entire lens barrel can be reduced.
As a result, the work amount (= weight × driving amount) in driving the lens becomes small, and the lens can be easily driven without applying an excessive load to the driving mechanism.

【0011】なお、係合部の具体的な構成として、レン
ズ鏡筒の内周部に形成された外ヘリコイド(らせん状の
凹凸部)と係合部に形成された内ヘリコイド(らせん状
の凹凸部に噛合するように形成された凹凸部)とを噛合
させ、レンズ鏡筒とプラスチックレンズとの相対回転に
したがってプラスチックレンズを光軸方向に駆動する構
成が考えられる。この場合、プラスチックレンズの係合
部をレンズ光軸に関してほぼ対称に形成すれば、さらに
構成を簡素化することができる。
As a concrete structure of the engaging portion, an outer helicoid (spiral uneven portion) formed on the inner peripheral portion of the lens barrel and an inner helicoid (spiral uneven portion) formed on the engaging portion. It is conceivable that the plastic lens is driven in the optical axis direction in accordance with the relative rotation between the lens barrel and the plastic lens by engaging with the concave and convex portions formed so as to mesh with the portion. In this case, if the engaging portion of the plastic lens is formed substantially symmetrical with respect to the lens optical axis, the configuration can be further simplified.

【0012】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説
明する。図1は、本発明の第1実施例にかかるプラスチ
ックレンズの構成を概略的に示す断面図である。また、
図2は、図1のプラスチックレンズをレンズ鏡筒に組み
込んだ状態を示す断面図である。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view schematically showing the structure of a plastic lens according to the first embodiment of the present invention. Also,
FIG. 2 is a sectional view showing a state in which the plastic lens of FIG. 1 is incorporated in a lens barrel.

【0013】図1のプラスチックレンズLでは、光束が
入射する入射面1および光束が射出する射出面2の周縁
に、係合部3が形成されている。一方、図2では、図1
のプラスチックレンズLのレンズ光軸axが光学系の光
軸AXと一致するように、プラスチックレンズLがレン
ズ鏡筒に組み込まれている。この状態では、プラスチッ
クレンズLの係合部3がレンズ保持部4の内周部と直接
係合することによって、プラスチックレンズLがレンズ
鏡筒に保持されている。
In the plastic lens L of FIG. 1, an engaging portion 3 is formed on the periphery of an entrance surface 1 on which a light beam enters and an exit surface 2 on which a light beam exits. On the other hand, in FIG.
The plastic lens L is incorporated in the lens barrel so that the lens optical axis ax of the plastic lens L of (1) coincides with the optical axis AX of the optical system. In this state, the engaging portion 3 of the plastic lens L is directly engaged with the inner peripheral portion of the lens holding portion 4, so that the plastic lens L is held by the lens barrel.

【0014】なお、図2に示すように、レンズ鏡筒4
(図中斜線部で示す)の内周部には、光軸AXを中心と
するらせん状の凹凸部5が形成されている。そして、プ
ラスチックレンズLの係合部3には、レンズ鏡筒4のら
せん状の凹凸部5と噛合するようになった凹凸部3aが
形成されている。また、駆動モータ7により駆動される
レバー6の光軸AXを中心とした回転作用によって、プ
ラスチックレンズLが光軸AXを中心として回転駆動さ
れるように構成されている。
As shown in FIG. 2, the lens barrel 4
A spiral concave-convex portion 5 centered on the optical axis AX is formed on the inner peripheral portion (shown by the hatched portion in the drawing). Further, the engaging portion 3 of the plastic lens L is formed with an uneven portion 3a adapted to mesh with the spiral uneven portion 5 of the lens barrel 4. Further, the plastic lens L is configured to be rotationally driven about the optical axis AX by the rotating action of the lever 6 driven by the drive motor 7 about the optical axis AX.

【0015】こうして、駆動モータ7によるレバー6の
回転に伴ってプラスチックレンズLが光軸AXを中心と
してレンズ鏡筒4に対して回転する。その結果、レンズ
鏡筒4の内周部に形成されたらせん状の凹凸部5とプラ
スチックレンズLの係合部3に形成された凹凸部3aと
の噛合により、プラスチックレンズLは光軸AXを中心
として回転しながら、らせん状の凹凸部5に案内されて
光軸AXに沿って移動する。
Thus, the plastic lens L rotates with respect to the lens barrel 4 about the optical axis AX as the lever 6 is rotated by the drive motor 7. As a result, due to the meshing of the spiral concave-convex portion 5 formed on the inner peripheral portion of the lens barrel 4 and the concave-convex portion 3a formed on the engaging portion 3 of the plastic lens L, the plastic lens L moves along the optical axis AX. While rotating about the center, the spiral concave-convex portion 5 guides and moves along the optical axis AX.

【0016】図3は、本発明の第2実施例にかかるプラ
スチックレンズの構成を概略的に示す図であって、
(a)はプラスチックレンズの正面図であり、(b)は
(a)の線A−B−Cに沿った断面図である。図3のプ
ラスチックレンズLでは、入射面1および射出面2の周
縁に、レンズ有効面の縁部8、一対の係合部9、および
レバー10が形成されている。なお、一対の係合部9
は、レンズ光軸axに関して対称な位置に形成されてい
る。
FIG. 3 is a diagram schematically showing the construction of a plastic lens according to the second embodiment of the present invention,
(A) is a front view of a plastic lens, (b) is sectional drawing which followed the line ABC of (a). In the plastic lens L of FIG. 3, the edges 8 of the lens effective surface, the pair of engaging portions 9, and the lever 10 are formed on the periphery of the entrance surface 1 and the exit surface 2. The pair of engaging portions 9
Are formed at positions symmetrical with respect to the lens optical axis ax.

【0017】図4は、図3のプラスチックレンズLをカ
メラの実像式ファインダー光学系に接眼レンズとして組
み込んだ状態を示す図である。また、図5は、図4の実
像式ファインダー光学系の構成を概略的に示す図であ
る。図5の実像式ファインダー光学系は、物体側から順
に、対物レンズ系11と接眼レンズ13とから構成され
ている。
FIG. 4 is a diagram showing a state in which the plastic lens L of FIG. 3 is incorporated as an eyepiece lens in the real image type finder optical system of the camera. FIG. 5 is a diagram schematically showing the configuration of the real image type finder optical system of FIG. The real image type finder optical system in FIG. 5 is composed of an objective lens system 11 and an eyepiece lens 13 in order from the object side.

【0018】したがって、図5の実像式ファインダー光
学系では、被写体からの光が対物レンズ系11を介して
結像面12上に被写体の中間像を形成する。この被写体
の中間像は、図3に示すプラスチックレンズLからなる
接眼レンズ13によって肉眼で観察される。このとき、
接眼レンズ13を図中矢印F1で示すように光軸AXに
沿って適宜往復移動させることにより、視度調整を行
う。
Therefore, in the real image type finder optical system of FIG. 5, the light from the subject forms an intermediate image of the subject on the image forming surface 12 via the objective lens system 11. The intermediate image of the subject is visually observed by the eyepiece lens 13 including the plastic lens L shown in FIG. At this time,
Diopter adjustment is performed by appropriately moving the eyepiece lens 13 back and forth along the optical axis AX as indicated by arrow F1 in the figure.

【0019】図4を参照すると、プラスチックレンズL
のレンズ光軸axが実像式ファインダー光学系の光軸A
Xと一致するように、プラスチックレンズLが実像式フ
ァインダー光学系に組み込まれている。実像式ファイン
ダー光学系内において、プラスチックレンズLは、レン
ズ鏡筒15によって保持されている。レンズ鏡筒15の
内周部にはらせん状の凹凸部(不図示)が形成されてお
り、このらせん状の凹凸部に係合部9の凹凸部9aが噛
合するようになっている。
Referring to FIG. 4, the plastic lens L
Is the optical axis A of the real image type finder optical system.
A plastic lens L is incorporated in the real image type finder optical system so as to coincide with X. In the real image finder optical system, the plastic lens L is held by the lens barrel 15. A spiral concave-convex portion (not shown) is formed on the inner peripheral portion of the lens barrel 15, and the concave-convex portion 9a of the engaging portion 9 meshes with the spiral concave-convex portion.

【0020】また、レバー10の先端は、ファインダー
枠14の開口部から外方に突出している。したがって、
レバー10を図中矢印F2で示すように回動させること
によって、プラスチックレンズLを光軸AXを中心とし
て回転させることができる。その結果、レンズ鏡筒部1
5の内周部に形成されたらせん状の凹凸部とプラスチッ
クレンズLの係合部9に形成された凹凸部9aとの噛合
により、プラスチックレンズLは光軸AXを中心として
回転しながら、らせん状の凹凸部に案内されて光軸AX
に沿って移動する。
The tip of the lever 10 projects outward from the opening of the finder frame 14. Therefore,
By rotating the lever 10 as shown by an arrow F2 in the figure, the plastic lens L can be rotated about the optical axis AX. As a result, the lens barrel 1
The spiral concave and convex portions formed on the inner peripheral portion of 5 and the concave and convex portions 9a formed on the engaging portion 9 of the plastic lens L cause the plastic lens L to rotate while rotating around the optical axis AX. Axis AX
Move along.

【0021】なお、上述の各実施例では、レンズ鏡筒に
形成されたらせん状凹凸部とプラスチックレンズの係合
部に形成された凹凸部とを噛合させた例を示している。
しかしながら、プラスチックレンズの係合部の構成は、
上述の各実施例に限定されるものではない。したがっ
て、たとえばプラスチックレンズの係合部にフォロアー
ピンを形成し、レンズ鏡筒内部の直進キーに合わせてカ
ムの回転にしたがってプラスチックレンズを光軸方向に
案内させてもよい。
In each of the above-described embodiments, the spiral concave and convex portions formed on the lens barrel and the concave and convex portions formed on the engaging portion of the plastic lens are engaged with each other.
However, the configuration of the engaging portion of the plastic lens is
The present invention is not limited to the above embodiments. Therefore, for example, a follower pin may be formed in the engaging portion of the plastic lens, and the plastic lens may be guided in the optical axis direction according to the rotation of the cam in accordance with the straight-ahead key inside the lens barrel.

【0022】[0022]

【効果】以上説明したように、本発明によれば、レンズ
室を設けることなく、レンズ保持およびレンズ駆動が容
易なプラスチックレンズを実現することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to realize a plastic lens that is easy to hold and drive the lens without providing a lens chamber.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例にかかるプラスチックレン
ズの構成を概略的に示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing a configuration of a plastic lens according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のプラスチックレンズをレンズ鏡筒に組み
込んだ状態を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which the plastic lens of FIG. 1 is incorporated in a lens barrel.

【図3】本発明の第2実施例にかかるプラスチックレン
ズの構成を概略的に示す図であって、(a)はプラスチ
ックレンズの正面図であり、(b)は(a)の線A−B
−Cに沿った断面図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a plastic lens according to a second embodiment of the present invention, (a) is a front view of the plastic lens, and (b) is a line A- of (a). B
It is sectional drawing along -C.

【図4】図3のプラスチックレンズLをカメラの実像式
ファインダー光学系に接眼レンズとして組み込んだ状態
を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a state in which the plastic lens L of FIG. 3 is incorporated as an eyepiece lens in a real image type finder optical system of a camera.

【図5】図4の実像式ファインダー光学系の構成を概略
的に示す図である。
5 is a diagram schematically showing a configuration of a real image type finder optical system in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 入射面 2 射出面 3,9 係合部 4,15 レンズ鏡筒 5 らせん状凹凸部 6,10 レバー 7 駆動モータ 8 縁部 11 対物レンズ系 12 結像面 13 接眼レンズ 14 ファインダー枠 L プラスチックレンズ AX 光軸 ax レンズ光軸 1 Entrance Surface 2 Exit Surface 3,9 Engagement Part 4,15 Lens Barrel 5 Spiral Concavo-convex Part 6,10 Lever 7 Drive Motor 8 Edge Part 11 Objective Lens System 12 Image Forming Surface 13 Eyepiece 14 Viewfinder Frame L Plastic Lens AX optical axis ax lens optical axis

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レンズ鏡筒に組み込まれるようになった
プラスチックレンズにおいて、 入射面および射出面の周縁には、前記レンズ鏡筒の内周
部と直接係合するための係合部が設けられ、 前記係合部は、前記レンズ鏡筒と前記プラスチックレン
ズとの相対回転力を前記プラスチックレンズの光軸方向
駆動力に変換するように形成されていることを特徴とす
るプラスチックレンズ。
1. A plastic lens adapted to be incorporated in a lens barrel, wherein an engaging portion for directly engaging with an inner peripheral portion of the lens barrel is provided on the periphery of an entrance surface and an exit surface. The plastic lens, wherein the engaging portion is formed so as to convert a relative rotational force between the lens barrel and the plastic lens into a driving force in the optical axis direction of the plastic lens.
【請求項2】 前記係合部は、前記レンズ鏡筒の内周部
に形成されたらせん状の凹凸部と噛合するように形成さ
れた凹凸部を有することを特徴とする請求項1に記載の
プラスチックレンズ。
2. The engaging portion has an uneven portion formed so as to mesh with a spiral uneven portion formed on an inner peripheral portion of the lens barrel. Plastic lens.
【請求項3】 前記係合部は、前記入射面と前記射出面
とで規定されるレンズ光軸に関してほぼ対称に形成され
ていることを特徴とする請求項1または2に記載のプラ
スチックレンズ。
3. The plastic lens according to claim 1, wherein the engaging portion is formed substantially symmetrically with respect to a lens optical axis defined by the entrance surface and the exit surface.
JP7237782A 1995-08-23 1995-08-23 Plastic lens Pending JPH0961686A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7237782A JPH0961686A (en) 1995-08-23 1995-08-23 Plastic lens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7237782A JPH0961686A (en) 1995-08-23 1995-08-23 Plastic lens

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0961686A true JPH0961686A (en) 1997-03-07

Family

ID=17020359

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7237782A Pending JPH0961686A (en) 1995-08-23 1995-08-23 Plastic lens

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0961686A (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006134910A1 (en) * 2005-06-14 2006-12-21 Nikon Corporation Optical element, optical element holding apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method
JP2007121512A (en) * 2005-10-26 2007-05-17 Enplas Corp Optical element and optical element molding die
US20130271945A1 (en) 2004-02-06 2013-10-17 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US9341954B2 (en) 2007-10-24 2016-05-17 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9423698B2 (en) 2003-10-28 2016-08-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US9678437B2 (en) 2003-04-09 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction
US9678332B2 (en) 2007-11-06 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9885872B2 (en) 2003-11-20 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light
US9891539B2 (en) 2005-05-12 2018-02-13 Nikon Corporation Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method
US10101666B2 (en) 2007-10-12 2018-10-16 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9885959B2 (en) 2003-04-09 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having deflecting member, lens, polarization member to set polarization in circumference direction, and optical integrator
US9678437B2 (en) 2003-04-09 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction
US9760014B2 (en) 2003-10-28 2017-09-12 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US9423698B2 (en) 2003-10-28 2016-08-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US10281632B2 (en) 2003-11-20 2019-05-07 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction
US9885872B2 (en) 2003-11-20 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light
US10007194B2 (en) 2004-02-06 2018-06-26 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US20130271945A1 (en) 2004-02-06 2013-10-17 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10234770B2 (en) 2004-02-06 2019-03-19 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10241417B2 (en) 2004-02-06 2019-03-26 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US9891539B2 (en) 2005-05-12 2018-02-13 Nikon Corporation Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method
WO2006134910A1 (en) * 2005-06-14 2006-12-21 Nikon Corporation Optical element, optical element holding apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method
JP2007121512A (en) * 2005-10-26 2007-05-17 Enplas Corp Optical element and optical element molding die
US10101666B2 (en) 2007-10-12 2018-10-16 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9857599B2 (en) 2007-10-24 2018-01-02 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9341954B2 (en) 2007-10-24 2016-05-17 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9678332B2 (en) 2007-11-06 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH02253210A (en) Lens barrel
US5831777A (en) Positioning adjustment mechanism for a lens incorporating a CAM/CAM follower arrangement
JP2004258302A (en) Lens barrel
JPH0961686A (en) Plastic lens
JPH0949961A (en) Lens position adjusting device for variable focal distance lens
JPH1010396A (en) Lens barrel and optical apparatus having the same
JPH1184201A (en) Zoom lens barrel
US5467227A (en) Zoom lens barrel
US6026244A (en) Focus adjustment mechanism and method for the assembly of AF compact camera
CN109188831A (en) Imaing projector
JPH10160994A (en) Lens barrel
JP2793813B2 (en) Lens barrel
JPH10115760A (en) Lens barrel
JP3655858B2 (en) Contact / separation movement mechanism and lens movement mechanism
JP2000347086A (en) Lens barrel
JP2006098486A (en) Camera
JP3776157B2 (en) Variable focus camera
JP2006098486A5 (en)
JPH087381Y2 (en) Reflective telephoto lens
JPH019937Y2 (en)
JPH08211277A (en) Zoom lens barrel and method for adjusting flange back of zoom lens barrel
JPH1184198A (en) Lens barrel
JP3793438B2 (en) Lens movement mechanism for zoom lens system switching group
JP2844594B2 (en) Zoom lens barrel
US5694254A (en) Lens barrel with a rotational motion transmitting portion