JPH0945097A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JPH0945097A
JPH0945097A JP7193709A JP19370995A JPH0945097A JP H0945097 A JPH0945097 A JP H0945097A JP 7193709 A JP7193709 A JP 7193709A JP 19370995 A JP19370995 A JP 19370995A JP H0945097 A JPH0945097 A JP H0945097A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a stable operation in a wide voltage range and at a high voltage by switching over a potential level of logical conversion in response to supply of a high voltage test signal being activated in correspondence to an excess over a set voltage value of a supply voltage. SOLUTION: A redundant memory selecting circuit comprises a redundant memory address setting circuit 2, a precharge circuit 3, an inverter 11, transistors Q5 and Q6, a contact MS and a burn-in test signal BT. The redundant memory address setting circuit 2 is activated in correspondence to an excess over a set value of a supply voltage Vcc. The precharge circuit 3 switches over an operation level of logical conversion of the potential of an inversion memory signal (ms) into the potential of a memory selection signal(msb), in response to supply of the burn-in test signal BT. By this constitution, a stable operation is obtained in a wide voltage range and at a high voltage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体メモリに関
し、特に冗長メモリセルアレイを備えた半導体メモリに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory, and more particularly to a semiconductor memory having a redundant memory cell array.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体メモリは高集積化が進み、
歩留まり向上のため製造欠陥による不良セルと交換する
ための冗長メモリセルアレイを有するのが一般的であ
る。
2. Description of the Related Art In recent years, semiconductor memories have been highly integrated,
It is common to have a redundant memory cell array for replacing defective cells due to manufacturing defects in order to improve yield.

【0003】電子通信学会編,LSIハンドブック,第
495〜496頁(オーム社,昭和59年)に記載され
ているように、通常この種の冗長構成では、行(ロウ)
または列(カラム)単位で冗長メモリセルアレイをも
つ。これは単一欠陥でもライン状の不良を起す場合が多
いためと、回路上でもレイアウト上でもこの方が扱いや
すいためである。またセルアレイのブロック単位で切替
を行うものもある。
As described in the LSI Handbook, edited by the Institute of Electronics and Communication Engineers, pp. 495-496 (Ohm Co., Ltd., 1984), this type of redundant configuration usually includes a row.
Alternatively, each column has a redundant memory cell array. This is because line defects often occur even with a single defect, and this is easier to handle on a circuit and a layout. There is also one that switches in block units of the cell array.

【0004】カラム単位で冗長メモリセルアレイを有す
る場合を例にとると、正規のメモリセルアレイ(正規メ
モリセルアレイ)の各ラインにヒューズを設け、冗長メ
モリセルアレイ対応のカラム(冗長カラム)に切替るべ
き欠陥を含む不良ラインのヒューズを切断することによ
り切離すとともに、そのアドレスをチップ上に設けられ
たROMにプログラムする。同時に冗長カラムのデコー
ダもヒューズROM等を用いてプログラムする。メモリ
動作時に、アドレスが上記ROMの内容と比較され、上
記不良ラインのアドレスと一致した場合には上記冗長カ
ラムを動作させ、同時に正規メモリセルアレイへのアク
セスを禁止する。
Taking a case where a redundant memory cell array is provided for each column as an example, a defect is to be provided in each line of the regular memory cell array (regular memory cell array), and the column should be switched to a column corresponding to the redundant memory cell array (redundant column). The fuse of the defective line including is cut off by cutting, and its address is programmed in the ROM provided on the chip. At the same time, the decoder of the redundant column is also programmed by using the fuse ROM or the like. During memory operation, the address is compared with the contents of the ROM, and if the address matches the address of the defective line, the redundant column is operated and at the same time access to the normal memory cell array is prohibited.

【0005】従来のこの種の一般的な冗長メモリセルと
この冗長メモリセルを選択するためのカラム選択線を選
択する選択回路を有する第1の半導体メモリの冗長メモ
リ選択回路の回路図を示す図9(A)を参照すると、こ
の従来の第1の半導体メモリは、アドレス信号の供給に
応答して選択すべき冗長メモリセルアレイのアドレス情
報を設定する冗長メモリアドレス設定回路2と、節点M
Sと電源との間に挿入され冗長メモリアドレス設定回路
2のヒューズF1〜F4の接断の状態とアドレス信号と
により反転メモリ選択信号msを節点MSに発生するプ
リチャージ回路1と、入力端が節点MSに接続され反転
メモリ選択信号msを反転してメモリ選択信号msbを
出力するインバータI1とを備える。
A diagram showing a circuit diagram of a conventional redundant memory cell of this type and a redundant memory selection circuit of a first semiconductor memory having a selection circuit for selecting a column selection line for selecting the redundant memory cell. Referring to FIG. 9 (A), the conventional first semiconductor memory includes a redundant memory address setting circuit 2 for setting address information of a redundant memory cell array to be selected in response to supply of an address signal, and a node M.
The precharge circuit 1 which is inserted between S and the power supply and which generates the inverted memory selection signal ms at the node MS by the connection state of the fuses F1 to F4 of the redundant memory address setting circuit 2 and the address signal, and the input terminal are An inverter I1 connected to the node MS for inverting the inverted memory selection signal ms and outputting the memory selection signal msb.

【0006】プリチャージ回路1は、ドレインを節点M
Sにソースを電源Vccに接続し反転メモリ選択信号m
sを出力するトランジスタQ5を備える。
In the precharge circuit 1, the drain has a node M.
The source of S is connected to the power source Vcc and the inverted memory selection signal m
A transistor Q5 that outputs s is provided.

【0007】冗長メモリアドレス設定回路2は、各々の
ゲートにアドレス信号A1,A2の各ビットの真補の信
号A1a,A1b,A2a,A2bの各々の供給を受け
るトランジスタQ1〜Q4と、各々の一端をこれらトラ
ンジスタQ1〜Q4の各々のドレインにそれぞれ接続し
各々の他端を節点MSとして共通接続したヒューズF1
〜F4とを備える。
Redundant memory address setting circuit 2 has transistors Q1 to Q4 to which respective gates are respectively supplied with signals A1a, A1b, A2a and A2b which are true complements of respective bits of address signals A1 and A2, and one end of each of them. Is connected to the respective drains of the transistors Q1 to Q4, and the other end of each is commonly connected as a node MS to form a fuse F1.
To F4.

【0008】次に、図9(A)を参照して、従来の半導
体メモリの動作について説明すると、冗長メモリアドレ
ス設定回路2では上記正規メモリセルアレイ(図示省
略)に不良のメモリセルが存在するとき、この不良のメ
モリセルのアドレスにしたがってヒューズF1〜F4の
うちの所定のヒューズを切断する。アドレス信号A1,
A2が上記主メモリセルアレイの正常メモリセルのアド
レスを指定するときは上記正規メモリセルアレイを動作
状態、上記冗長メモリセルアレイ(図示省略)を非動作
状態とする。逆に、アドレス信号A1,A2が不良のメ
モリセルのアドレスを指定するときは上記正規メモリセ
ルアレイを非動作状態、上記冗長メモリセルアレイを動
作状態とする。
Next, the operation of the conventional semiconductor memory will be described with reference to FIG. 9A when the defective memory cell exists in the normal memory cell array (not shown) in the redundant memory address setting circuit 2. A predetermined fuse among the fuses F1 to F4 is cut according to the address of the defective memory cell. Address signal A1,
When A2 designates the address of a normal memory cell of the main memory cell array, the normal memory cell array is in the operating state and the redundant memory cell array (not shown) is in the non-operating state. On the contrary, when the address signals A1 and A2 specify the address of the defective memory cell, the normal memory cell array is set to the non-operating state and the redundant memory cell array is set to the operating state.

【0009】例えば、正規メモリセルアレイのアドレス
信号A1,A2対応のアドレス01に不良メモリセルが
存在する場合、値が’1’となるアドレス信号A1b,
A2aが入力されるヒューズF2,F3を切断すればよ
い。
For example, when there is a defective memory cell at the address 01 corresponding to the address signals A1 and A2 of the normal memory cell array, the address signal A1b, whose value is "1",
The fuses F2 and F3 to which A2a is input may be cut off.

【0010】このようにヒューズF1〜F4の切断を行
なうことにより、正常なメモリセルのアドレスのときは
反転メモリ選択信号msはLレベルすなわちメモリ選択
信号msbはHレベルに、逆に不良のメモリセルのアド
レスのときはLレベルとなる。このようにして、正規メ
モリセルアレイに不良のメモリセルが存在する場合、メ
モリ選択信号msbの供給に応答して冗長メモリセルア
レイを選択する。
By thus cutting the fuses F1 to F4, the inverted memory selection signal ms is at the L level, that is, the memory selection signal msb is at the H level at the address of the normal memory cell, and conversely, the defective memory cell is defective. , The L level is set. In this way, when a defective memory cell exists in the normal memory cell array, the redundant memory cell array is selected in response to the supply of the memory selection signal msb.

【0011】反転メモリ選択信号msのHレベルの電圧
値はヒューズF2,F3が切断され、アドレス信号A1
a,A2bが’0’であるため電源Vccレベルとな
る。しかし、信号msのLレベルの電圧値Vlはアドレ
ス信号A1,A2の組合せによっては1組のみのヒュー
ズとトランジスタとの組合せで信号msを引抜く場合が
存在するのでGNDレベルにはならず、この場合のLレ
ベル電圧値すなわち最高Lレベル電圧VLはトランジス
タQ5のオン抵抗RpとヒューズF1〜F4,トランジ
スタQ1〜Q4のうちの1組のヒューズの抵抗Rfおよ
びトランジスタのオン抵抗Rqから成る直列抵抗(Rf
+Rq)との分圧で決まりVL=Vcc・(Rf+R
q)/(Rf+Rq+Rp)となる。この最高Lレベル
電圧VLを次段のインバータI1がLレベルと判断して
いる。したがって、電圧VLがインバータI1のしきい
値電圧を十分下回りこれを遮断するように、トランジス
タQ5,Q1〜Q4の各々の電流能力対応のサイズをオ
ン抵抗Rpと直列抵抗(Rf+Rq)との比を最適とす
るように設定する。
At the H level voltage value of the inverted memory selection signal ms, the fuses F2 and F3 are cut and the address signal A1 is generated.
Since a and A2b are "0", the power supply is at Vcc level. However, the L-level voltage value Vl of the signal ms does not reach the GND level because the signal ms may be pulled out by a combination of only one fuse and transistor depending on the combination of the address signals A1 and A2. In this case, the L level voltage value, that is, the maximum L level voltage VL, is a series resistance composed of the on resistance Rp of the transistor Q5, the resistances Rf of one of the fuses F1 to F4 and the transistors Q1 to Q4, and the on resistance Rq of the transistor. Rf
+ Rq) and partial pressure VL = Vcc · (Rf + R
q) / (Rf + Rq + Rp). This highest L level voltage VL is judged by the next stage inverter I1 to be L level. Therefore, the size corresponding to the current capability of each of the transistors Q5, Q1 to Q4 is set so that the ratio of the on resistance Rp to the series resistance (Rf + Rq) is set so that the voltage VL is sufficiently lower than the threshold voltage of the inverter I1 and cut off. Set it to be optimal.

【0012】従来の第2の冗長メモリ選択回路のプリチ
ャージ回路1Aおよびワンショット回路6の回路図を示
す図9(B),(C)を参照すると、このプリチャージ
回路1Aの上述の第1の従来の回路との相違点は、トラ
ンジスタQ5AのゲートをLレベルに固定せずワンショ
ット回路6によりアドレス信号A1,A2の変化に同期
したワンショット信号であるプリチャージ信号φを供給
することである。
Referring to FIGS. 9 (B) and 9 (C) showing circuit diagrams of the precharge circuit 1A and the one-shot circuit 6 of the conventional second redundant memory selection circuit, the above-mentioned first precharge circuit 1A is referred to. Is different from the conventional circuit in that the gate of the transistor Q5A is not fixed to the L level and the one-shot circuit 6 supplies the precharge signal φ which is a one-shot signal synchronized with the change of the address signals A1 and A2. is there.

【0013】この回路の場合は、プリチャージ信号φが
非活性化対応のHレベルの場合は信号msのLレベルは
GNDレベルになるが、一般的に信号msの負荷抵抗に
対し、ヒューズとトランジスタQ1〜Q4の直列抵抗値
(Rf+Rq)が大きいためトランジスタQ5Aがオフ
してから信号msがGNDレベルになるまでには次のよ
うに遅延が生じる。すなわち、メモリ選択信号msbを
選択状態から非選択状態へと変化させる時、節点MSで
電源レベルVccから中間電位であるLレベル電圧Vl
への変化によりデータ伝達を行なうので、この電圧Vl
が高い場合ほど、つまり共に導通状態となるヒューズF
1〜F4,トランジスタQ1〜Q4の組の数が少ない場
合ほど、インバータI1のしきい値電圧以下としてこれ
を遮断することが遅れ、その結果メモリ選択信号msb
のリセットが遅れてしまう。
In the case of this circuit, when the precharge signal φ is at the H level for inactivation, the L level of the signal ms becomes the GND level, but in general, the fuse and the transistor are connected to the load resistance of the signal ms. Since the series resistance value (Rf + Rq) of Q1 to Q4 is large, the following delay occurs from the turning off of the transistor Q5A until the signal ms reaches the GND level. That is, when the memory selection signal msb is changed from the selected state to the non-selected state, the power supply level Vcc is changed to the intermediate level L level voltage Vl at the node MS.
Since the data is transmitted by the change to
The higher the voltage, the more the fuse F becomes conductive
As the number of sets of 1 to F4 and transistors Q1 to Q4 is smaller, it is delayed to cut off the threshold voltage of the inverter I1 below the threshold voltage, and as a result, the memory selection signal msb.
Reset will be delayed.

【0014】このため、高速アクセスを目指す半導体メ
モリ回路は、トランジスタQ5Aとヒューズおよびトラ
ンジスタQ1〜Q4のうちの1つの分圧であるレベルV
Lで、MSのロウレベルを判断しなくてはならない。
Therefore, the semiconductor memory circuit aiming at high speed access has a level V which is a voltage division of one of the transistor Q5A, the fuse and the transistors Q1 to Q4.
With L, the low level of MS must be judged.

【0015】近年は高集積化にともない半導体メモリの
低電圧化が進んでおり、動作保証電圧の下限は2.5V
付近まで低下している。一方、劣化要因を有する不良メ
モリセルを早期にリジェクトするバーンインテストにお
いては、動作推奨電圧を超える高電圧(5〜6V)を印
加しており、またテスト時間短縮のためバーンインテス
ト中の動作試験すなわちモニタバーンインテストも行わ
れている。したがって、冗長メモリセル選択回路は2.
5V〜6Vという電圧範囲で安定動作する必要がある。
In recent years, the voltage of semiconductor memories has been lowered with the high integration, and the lower limit of the guaranteed operation voltage is 2.5V.
It has fallen to the vicinity. On the other hand, in the burn-in test for early rejecting a defective memory cell having a deterioration factor, a high voltage (5 to 6 V) exceeding the recommended operation voltage is applied, and the operation test during the burn-in test, namely A monitor burn-in test is also being conducted. Therefore, the redundant memory cell selection circuit is 2.
It is necessary to stably operate in the voltage range of 5V to 6V.

【0016】反転メモリ選択信号msをCMOSレベル
のメモリ選択信号msbに変換するインバータI1のし
きい値Vtと最高Lレベル電圧VLとの電源電圧Vcc
の変化に対する特性の一例を示す図10を参照すると、
高電圧例えば5V以上の領域では電圧MLの方がしきい
値Vtよりも高くなってしまい正しくLレベルを判定で
きない。このような場合、プリチャージトランジスタQ
5の電流能力の低減あるいはヒューズドライバトランジ
スタQ1〜Q4の電流能力の増大などの微妙な調整を要
する。
The power supply voltage Vcc of the threshold value Vt of the inverter I1 for converting the inverted memory selection signal ms into the CMOS level memory selection signal msb and the maximum L level voltage VL.
Referring to FIG. 10 showing an example of the characteristic with respect to the change of
In the high voltage region, for example, 5 V or more, the voltage ML becomes higher than the threshold value Vt, and the L level cannot be correctly determined. In such a case, the precharge transistor Q
Subtle adjustments such as reduction of the current capacity of No. 5 or increase of the current capacity of the fuse driver transistors Q1 to Q4 are required.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
メモリは、冗長メモリ選択回路がプリチャージトランジ
スタのオン抵抗と1組のヒューズの抵抗およびその直列
接続ドライバトランジスタのオン抵抗から成る直列抵抗
との分圧で決まる反転メモリ選択信号の最高Lレベル電
圧を次段のインバータでLレベルと判断しCMOSレベ
ルに変換しているので、上記プリチャージトランジスタ
の電流能力が大きすぎるとバーンインテスト等のように
印加電源電圧が高くなる場合には上記最高Lレベル電圧
が上記インバータのしきい値を超えてしまい正しくLレ
ベルを判定できず誤動作を生じるという欠点があった。
In the conventional semiconductor memory described above, the redundant memory selection circuit includes the on-resistance of the precharge transistor, the series resistance including the resistance of the pair of fuses and the on-resistance of the series-connected driver transistor thereof. Since the maximum L level voltage of the inverted memory selection signal determined by the voltage division is determined to be the L level by the next stage inverter and converted to the CMOS level, if the current capacity of the precharge transistor is too large, a burn-in test is performed. When the applied power supply voltage becomes high, the maximum L level voltage exceeds the threshold value of the inverter, and the L level cannot be correctly determined, which causes a malfunction.

【0018】一方、高電圧時にも正しく判定できるよう
に上記プリチャージトランジスタの電流能力を低減する
と、反転メモリ選択信号のLレベルからHレベルへの遷
移時に遅延が生じるため、上記プリチャージトランジス
タとヒューズドライバトランジスタとのサイズ比の調整
に詳細な検討を要し、煩雑であるという欠点があった。
On the other hand, if the current capacity of the precharge transistor is reduced so that correct determination can be made even at a high voltage, a delay occurs when the inverted memory selection signal changes from the L level to the H level. There is a drawback in that the size ratio with the driver transistor needs detailed examination and is complicated.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体メモリ
は、不良セルを列または行の予め定めたアレイ単位で交
換するための冗長メモリセルアレイと、前記冗長メモリ
セルアレイの所定の1つを選択するための冗長メモリセ
ルアレイ選択線と、非選択時に第1の電源電圧対応の第
1の電位を予め定めた節点に発生するプリチャージ回路
と選択時に前記第1の電源電圧と第2の電源電圧との中
間の第2の電位を前記節点に発生する冗長メモリアドレ
ス設定回路と前記第1,第2の電位の各々をそれぞれ第
1,第2の選択電位に変換する論理変換回路とを備え外
部アドレス信号の供給に応答して前記非選択時および選
択時の各々がそれぞれ前記第1,第2の選択電位の選択
信号を発生して前記冗長メモリセルアレイ選択線を選択
する冗長メモリ選択回路とを備える半導体メモリにおい
て、前記冗長メモリ選択回路が、前記第1の電源電圧の
予め定めた電圧値の超過に応答して活性化する高電圧試
験信号の供給に応答して前記第2の電位の前記第2の選
択電位への論理変換の動作レベルを切替る論理変換電位
切替手段を備えて構成されている。
In a semiconductor memory of the present invention, a redundant memory cell array for replacing defective cells in a predetermined array unit of columns or rows, and a predetermined one of the redundant memory cell arrays are selected. Redundant memory cell array selection line, a precharge circuit that generates a first potential corresponding to the first power supply voltage at a predetermined node when not selected, and the first power supply voltage and the second power supply voltage when selected. A redundant memory address setting circuit for generating an intermediate second potential at the node and a logic conversion circuit for converting each of the first and second potentials into a first and a second selection potential, respectively. Redundant memory selection for selecting the redundant memory cell array selection line by generating selection signals of the first and second selection potentials respectively in the non-selection and in the selection in response to signal supply. A redundant memory selection circuit is responsive to the supply of a high voltage test signal that is activated in response to an excess of a predetermined voltage value of the first power supply voltage. A logic conversion potential switching means for switching the operation level of the logic conversion of the potential to the second selection potential is provided.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】次に、本発明の第1の実施の形態
を図3と共通の構成要素は共通の文字を付して同様に回
路図で示す図1を参照すると、この図に示す本実施の形
態の半導体メモリの冗長メモリ選択回路は、従来と共通
の冗長メモリアドレス設定回路2と、インバータI1と
に加えて、プリチャージ回路1の代りにトランジスタQ
5に加えてドレインを節点MSに接続しバーンインテス
トモード信号BTの供給に応答してオンオフするトラン
ジスタQ6をさらに備えるプリチャージ回路3を備え
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, referring to FIG. 1, which is a circuit diagram of the first embodiment of the present invention, the components common to those in FIG. The redundant memory selection circuit of the semiconductor memory of the present embodiment shown in the figure has a redundant memory address setting circuit 2 common to the conventional one, an inverter I1, and a transistor Q instead of the precharge circuit 1.
In addition to 5, the precharge circuit 3 further includes a transistor Q6 having a drain connected to the node MS and turned on / off in response to the supply of the burn-in test mode signal BT.

【0021】次に、図1を参照して本実施の形態の動作
について説明すると、まず、電源電圧Vccが動作推奨
電圧内の場合は、バーンインテスト信号BTは’0’で
あり、トランジスタQ6はオン状態となるので節点MS
の最高Lレベル電圧VLNはトランジスタQ5とQ6の
各々のオン抵抗Rp,Rbの並列値RP=(Rp+R
q)/RpRbと、ヒューズF1〜F4,トランジスタ
Q1〜F4,のうちのいずれか1組の直列抵抗(Rq+
Rf)との分圧で決まり、電圧VLN=Vcc・(Rf
+Rq)/(Rf+Rq+Rp)となる。インバータI
1は、この電圧VLNをLレベルと判断してメモリ選択
信号Msb=’1’とする。一方、電源電圧Vccが動
作推奨電圧をある程度以上超える場合には信号BTが’
1’になるため、トランジスタQ6はカットオフしプリ
チャージ回路3のオン抵抗はトランジスタQ5のオン抵
抗値Rpのみとなるので、節点MSの最高Lレベル電圧
VLBは従来の電圧VLと同様、すなわち、VLB=V
cc・(Rf+Rq)/(Rf+Rq+Rp)となり、
トランジスタQ6のオンの場合より低い値に設定され
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to FIG. 1. First, when the power supply voltage Vcc is within the recommended operation voltage, the burn-in test signal BT is "0" and the transistor Q6 is Since it is turned on, the node MS
Is a maximum L level voltage VLN of the parallel value RP = (Rp + R) of the on resistances Rp and Rb of the transistors Q5 and Q6.
q) / RpRb and the series resistance (Rq +) of any one of the fuses F1 to F4 and the transistors Q1 to F4.
Rf) and the voltage division, and the voltage VLN = Vcc. (Rf
+ Rq) / (Rf + Rq + Rp). Inverter I
1 determines that the voltage VLN is at the L level and sets the memory selection signal Msb = '1'. On the other hand, when the power supply voltage Vcc exceeds the recommended operation voltage to some extent or more, the signal BT is'
Since it becomes 1 ′, the transistor Q6 is cut off and the on-resistance of the precharge circuit 3 is only the on-resistance value Rp of the transistor Q5. Therefore, the maximum L level voltage VLB of the node MS is the same as the conventional voltage VL, that is, VLB = V
cc · (Rf + Rq) / (Rf + Rq + Rp),
It is set to a lower value than when the transistor Q6 is on.

【0022】これにより、節点MSの最高Lレベル電圧
VLとインバータI1のしきい値Vtの電源電圧Vcc
依存特性は図2のようになり、電圧Vccが高電圧でも
安定動作することができる。
As a result, the maximum L level voltage VL of the node MS and the power supply voltage Vcc of the threshold value Vt of the inverter I1.
The dependency characteristic is as shown in FIG. 2, and stable operation can be performed even when the voltage Vcc is high.

【0023】また、プリチャージトランジスタQ5,Q
6の各々のサイズは電源電圧Vccに対する動作推奨電
圧の最小値からバーンインテスト信号BTを活性化すな
わち’1’とする電圧までの間の最適値に対応して設定
すれば良く、高電圧領域までケアする必要がないので、
サイズの設計も容易になる。
Further, the precharge transistors Q5, Q
Each size of 6 may be set corresponding to an optimum value between the minimum value of the recommended operation voltage with respect to the power supply voltage Vcc and the voltage at which the burn-in test signal BT is activated, that is, "1", up to the high voltage region. I do n’t need to care,
The size can be easily designed.

【0024】ここで、バーンインテスト信号BTは外部
のピンから与えても良いし、電源電圧から自動発生して
もよい。
The burn-in test signal BT may be given from an external pin or may be automatically generated from the power supply voltage.

【0025】バーンインテスト信号BTを電源電圧に応
じて自動発生するバーンインテスト信号発生回路の一例
を示す図3を参照すると、このバーンインテスト信号発
生回路は、電源Vccと接地GNDとの間に直列接続し
て挿入した抵抗R1,R2と、電源Vccと節点N2と
の間に直列接続しダイオード接続されたトランジスタQ
7,Q8と、節点N2と接地GNDとの間に挿入された
トランジスタQ9と、節点N2と出力端子間に接続され
た2段のインバータI2,I3とを備える。
Referring to FIG. 3 showing an example of a burn-in test signal generating circuit for automatically generating a burn-in test signal BT according to a power supply voltage, this burn-in test signal generating circuit is connected in series between a power supply Vcc and a ground GND. Connected between the power supply Vcc and the node N2 and the diode-connected transistor Q.
7 and Q8, a transistor Q9 inserted between the node N2 and the ground GND, and two-stage inverters I2 and I3 connected between the node N2 and the output terminal.

【0026】動作について説明すると、抵抗R1,R2
の接続点である節点N1の電位はR1とR2の分圧すな
わちVccR2/(R1+R2)となる。仮にR2=2
R1とすると節点N1の電位は2/3Vccとなる。節
点N2は電源Vccが低い時はトランジスタQ9によっ
てGNDレベルに保持され、信号BTもLレベルであ
る。
To explain the operation, the resistors R1 and R2 are
The potential of the node N1 which is the connection point of V1 becomes the partial voltage of R1 and R2, that is, VccR2 / (R1 + R2). If R2 = 2
When R1 is set, the potential of the node N1 becomes 2/3 Vcc. The node N2 is held at the GND level by the transistor Q9 when the power supply Vcc is low, and the signal BT is also at the L level.

【0027】電源Vccが、VN1+2VTP(VN
1:N1の電位=2/3Vcc,VTP:トランジスタ
Q7,Q8のスレッショルド電圧)以上になるとトラン
ジスタQ7,Q8はオンし、節点N2に電流が流れ込
む。トランジスタQ9はトランジスタQ7,Q8に比べ
電流能力が小さいように設定しておくので、節点N2は
ハイレベルとなり、出力信号BTは’1’となる。この
例ではVcc>2/3Vcc+2VTP:1/6Vcc
>VTPの時にBT=’1’となる。
The power supply Vcc is VN1 + 2VTP (VN
1: potential of N1 = 2/3 Vcc, VTP: threshold voltage of transistors Q7 and Q8), the transistors Q7 and Q8 are turned on, and current flows into the node N2. Since the transistor Q9 is set to have a smaller current capacity than the transistors Q7 and Q8, the node N2 becomes high level and the output signal BT becomes "1". In this example, Vcc> 2 / 3Vcc + 2VTP: 1 / 6Vcc
When> VTP, BT = '1'.

【0028】次に、本発明の第2の実施の形態を図1と
共通の構成要素は共通の文字を付して同様に回路図で示
す図4を参照すると、この図に示す本実施の形態の上述
の第1の実施の形態との相違点は、プリチャージ回路3
の代りに従来の第2の半導体メモリと同様のプリチャー
ジ信号φの供給に応答して動作するプリチャージ回路3
Aを備えることである。
Next, referring to FIG. 4, which is a circuit diagram in which components common to those of the second embodiment of the present invention are denoted by common characters, the same components as those of FIG. 1 are referred to. The difference between this embodiment and the first embodiment is that the precharge circuit 3
Instead of the precharge circuit 3 that operates in response to the supply of the precharge signal φ similar to that of the conventional second semiconductor memory.
A is provided.

【0029】プリチャージ回路3Aは、トランジスタQ
5A,Q6に加えて、プリチャージ信号φとバーンイン
テスト信号BTとの論理和をとりトランジスタQ6のゲ
ートに供給するORゲートG1を備える。
The precharge circuit 3A includes a transistor Q
In addition to 5A and Q6, there is provided an OR gate G1 which takes the logical sum of the precharge signal φ and the burn-in test signal BT and supplies it to the gate of the transistor Q6.

【0030】動作については、プリチャージ信号φ以外
については作用効果が上述の第1の実施の形態と同一で
あるので省略する。
With respect to the operation, except for the precharge signal φ, the operation and effect are the same as those in the above-described first embodiment, and therefore the description thereof will be omitted.

【0031】次に、本発明の第3の実施の形態を図1と
共通の構成要素は共通の文字を付して同様に回路図で示
す図5を参照すると、この図に示す本実施の形態の上述
の第1の実施の形態との相違点は、プリチャージ回路3
の代りにゲートにバーンインテスト信号BTの供給を受
けるトランジスタQ5BとトランジスタQ6Aのソース
側に直列接続しゲートとVccとを共通接続したNチャ
ネルトランジスタQ10とトランジスタのゲートに信号
BTを反転し信号BTbを供給するインバータI5とを
備えるプリチャージ回路4を備えることである。
Next, referring to FIG. 5, which is a circuit diagram in which the same components as those of FIG. 1 according to the third embodiment of the present invention are designated by common characters, the present embodiment shown in FIG. The difference between this embodiment and the first embodiment is that the precharge circuit 3
Instead of, the gate of the transistor Q5B and the transistor Q6A receiving the burn-in test signal BT are connected in series to the source side of the transistor Q5 and the gate and Vcc are commonly connected, and the signal BT is inverted and the signal BTb is inverted to the gate of the transistor. It is to be provided with a precharge circuit 4 provided with an inverter I5 to be supplied.

【0032】図4を参照して本実施の形態の動作につい
て説明すると、プリチャージ回路4において、トランジ
スタQ5Bは信号BT=’0’の時のみオンし、トラン
ジスタQ6Aは信号BT=’1’の時のみオンする。し
たがって、BT=’0’の時は、最高Lレベル電圧VL
は、トランジスタQ5Bのオン抵抗値Rpとヒューズ抵
抗Rfおよびそのドライバトランジスタのオン抵抗Rq
との直列抵抗値(Rf+Rq)との分圧値Vcc(Rf
+Rq)/(Rf+Rq+Rp)となる。一方、BT
=’1’の時は、トランジスタQ5Bはカットオフしト
ランジスタQ6Aのオン抵抗Rbとヒューズ抵抗Rfお
よびそのドライバトランジスタのオン抵抗Rqとの直列
抵抗値(Rf+Rq)とによってVcc−VTN(VT
N:Q10のスレッショルド電圧)を分圧したレベルV
L=Vcc−VTN(Rf+Rq)/(Rf+Rq+R
b)が最高Lレベル電圧となる。
The operation of the present embodiment will be described with reference to FIG. 4. In the precharge circuit 4, the transistor Q5B turns on only when the signal BT = '0' and the transistor Q6A outputs the signal BT = '1'. Only turn on. Therefore, when BT = '0', the maximum L level voltage VL
Is the on resistance value Rp of the transistor Q5B, the fuse resistance Rf, and the on resistance Rq of its driver transistor.
And the series resistance value (Rf + Rq) and the divided voltage value Vcc (Rf
+ Rq) / (Rf + Rq + Rp). On the other hand, BT
When = '1', the transistor Q5B is cut off, and the series resistance value (Rf + Rq) of the ON resistance Rb of the transistor Q6A, the fuse resistance Rf, and the ON resistance Rq of the driver transistor thereof causes Vcc-VTN (VT
N: threshold voltage of Q10) level V
L = Vcc-VTN (Rf + Rq) / (Rf + Rq + R
b) is the maximum L level voltage.

【0033】本実施の形態を用いることにより、最高L
レベル電圧VLおよびインバータI1のしきい値Vtの
各々の電圧依存特性は図2と同様になり、高電圧でも安
定動作可能となる。
By using this embodiment, the maximum L
The voltage dependence characteristics of the level voltage VL and the threshold value Vt of the inverter I1 are similar to those in FIG. 2, and stable operation is possible even at a high voltage.

【0034】次に、本発明の第4の実施の形態を図4と
共通の構成要素は共通の文字を付して同様に回路図で示
す図6を参照すると、この図に示す本実施の形態の上述
の第3の実施の形態との相違点は、プリチャージ回路4
の代りにプリチャージ信号φの供給に応答して動作する
プリチャージ回路4Aを備えることである。
Next, referring to FIG. 6 which is a circuit diagram in which the components common to those of the fourth embodiment of the present invention are given the common characters, the components of the fourth embodiment of the present invention shown in FIG. The difference between this embodiment and the third embodiment is that the precharge circuit 4
Instead of the above, a precharge circuit 4A that operates in response to the supply of the precharge signal φ is provided.

【0035】プリチャージ回路4Aは、トランジスタQ
5B,Q6Aに加えて、プリチャージ信号φと反転バー
ンインテスト信号BTbとの論理和をとりトランジスタ
Q6Aのゲートに供給するORゲートG1を備える。
The precharge circuit 4A includes a transistor Q
In addition to 5B and Q6A, there is provided an OR gate G1 which takes the logical sum of the precharge signal φ and the inverted burn-in test signal BTb and supplies it to the gate of the transistor Q6A.

【0036】動作については、プリチャージ信号φ以外
については作用効果が上述の第3の実施の形態と同一で
あるので省略する。
With respect to the operation, except for the precharge signal φ, the function and effect are the same as those in the above-described third embodiment, and therefore the description thereof will be omitted.

【0037】次に、本発明の第5の実施の形態を図1と
共通の構成要素は共通の文字を付して同様に回路図で示
す図7を参照すると、この図に示す本実施の形態の上述
の第1の実施の形態との相違点は、従来と同様のプリチ
ャージ回路1と、入力端をインバータI1の入力端と並
列接続ししきい値Vt2がインバータI1のしきい値V
tと異なる(この例では高い)インバータI2と、バー
ンインテスト信号BTの値に応答してインバータI1,
I2のいずれか一方の出力をメモリ選択信号msbとし
て選択するセレクタS1とを備えることである。
Next, referring to FIG. 7, which is a circuit diagram in which the same components as those of FIG. 1 are designated by the common characters, the fifth embodiment of the present invention is described. The difference between the first embodiment and the first embodiment is that the precharge circuit 1 is the same as the conventional one, the input end is connected in parallel with the input end of the inverter I1, and the threshold Vt2 is the threshold V of the inverter I1.
Inverter I2 different from t (high in this example), and inverter I1, in response to the value of burn-in test signal BT.
And a selector S1 for selecting one of the outputs I2 as the memory selection signal msb.

【0038】図7および最高Lレベル電圧VLおよびイ
ンバータI1,I2のしきい値Vt,Vt2の各々の電
圧依存特性を示す図8を参照して本実施の形態の動作に
ついて説明すると、電源電圧Vccが低く信号BTが’
0’のときはセレクタS1はインバータI1の出力を信
号msbとして選択出力する。電源電圧Vccが上昇し
信号BTが’1’に遷移する電圧VBTに達すると、セ
レクタS1はインバータI2の出力を信号msbとして
選択出力する。したがって、電源電圧Vccが高電圧で
も安定して動作することができる。
The operation of the present embodiment will be described with reference to FIG. 7 and FIG. 8 showing the voltage dependence characteristics of the maximum L level voltage VL and the threshold values Vt and Vt2 of the inverters I1 and I2. Is low and the signal BT is'
When it is 0 ', the selector S1 selectively outputs the output of the inverter I1 as the signal msb. When the power supply voltage Vcc rises and the signal BT reaches the voltage VBT at which the signal BT transits to "1", the selector S1 selectively outputs the output of the inverter I2 as the signal msb. Therefore, stable operation is possible even when the power supply voltage Vcc is high.

【0039】本本実施の形態を、プリチャージ信号φを
用いる場合に適用しても同様の効果が得られることは明
白である。
It is obvious that the same effect can be obtained by applying the present embodiment when the precharge signal φ is used.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体メ
モリは、冗長メモリ選択回路が、電源電圧の設定電圧値
の超過に応答して活性化する高電圧試験信号BTの供給
に応答して論理変換の電位レベルを切替る論理変換電位
切替手段を備えることにより、この信号BTの値に対応
して最高Lレベル電圧あるいは出力インバータ回路のし
きい値を変化させることにより、広い電圧範囲で、冗長
メモリ選択回路を高速かつ安定動作させることができる
という効果がある。
As described above, in the semiconductor memory of the present invention, the redundant memory selection circuit responds to the supply of the high voltage test signal BT which is activated in response to the excess of the set voltage value of the power supply voltage. By providing the logic conversion potential switching means for switching the potential level of the logic conversion, the maximum L level voltage or the threshold value of the output inverter circuit is changed in accordance with the value of the signal BT, so that a wide voltage range can be obtained. The redundant memory selection circuit can be operated at high speed and stably.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の半導体メモリの第1の実施の形態を示
す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a first embodiment of a semiconductor memory of the present invention.

【図2】本実施の形態の半導体メモリにおける動作の一
例を示す電源電圧対最高Lレベル電圧およびしきい値電
圧特性図である。
FIG. 2 is a power supply voltage vs. maximum L level voltage and threshold voltage characteristic diagram showing an example of the operation in the semiconductor memory of the present embodiment.

【図3】バーンインテスト信号発生回路の一例を示す回
路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram showing an example of a burn-in test signal generation circuit.

【図4】本発明の半導体メモリの第2の実施の形態を示
す回路図である。
FIG. 4 is a circuit diagram showing a second embodiment of a semiconductor memory of the present invention.

【図5】本発明の半導体メモリの第3の実施の形態を示
す回路図である。
FIG. 5 is a circuit diagram showing a third embodiment of a semiconductor memory of the present invention.

【図6】本発明の半導体メモリの第4の実施の形態を示
す回路図である。
FIG. 6 is a circuit diagram showing a fourth embodiment of a semiconductor memory of the present invention.

【図7】本発明の半導体メモリの第4の実施の形態を示
す回路図である。
FIG. 7 is a circuit diagram showing a fourth embodiment of a semiconductor memory of the present invention.

【図8】本実施の形態の半導体メモリにおける動作の一
例を示す電源電圧対最高Lレベル電圧およびしきい値電
圧特性図である。
FIG. 8 is a power supply voltage vs. maximum L level voltage and threshold voltage characteristic diagram showing an example of the operation in the semiconductor memory of the present embodiment.

【図9】従来の第1,第2の半導体メモリの一例とワン
ショット回路とを示す回路図である。
FIG. 9 is a circuit diagram showing an example of conventional first and second semiconductor memories and a one-shot circuit.

【図10】従来の半導体メモリにおける電位の一例を示
す電源電圧対最高Lレベル電圧およびしきい値電圧特性
図である。
FIG. 10 is a power supply voltage vs. maximum L level voltage and threshold voltage characteristic diagram showing an example of a potential in a conventional semiconductor memory.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1A,3,3A,4,4A プリチャージ回路 2 冗長メモリアドレス設定回路 5 バーンインテスト信号発生回路 6 ワンショット回路 F1〜F4 ヒューズ G1 ORゲート I1〜I4 インバータ Q1〜Q10 トランジスタ R1,R2 抵抗 S1 セレクタ 1, 1A, 3, 3A, 4, 4A Precharge circuit 2 Redundant memory address setting circuit 5 Burn-in test signal generation circuit 6 One-shot circuit F1 to F4 Fuse G1 OR gate I1 to I4 Inverter Q1 to Q10 Transistor R1, R2 Resistance S1 selector

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 不良セルを列または行の予め定めたアレ
イ単位で交換するための冗長メモリセルアレイと、前記
冗長メモリセルアレイの所定の1つを選択するための冗
長メモリセルアレイ選択線と、非選択時に第1の電源電
圧対応の第1の電位を予め定めた節点に発生するプリチ
ャージ回路と選択時に前記第1の電源電圧と第2の電源
電圧との中間の第2の電位を前記節点に発生する冗長メ
モリアドレス設定回路と前記第1,第2の電位の各々を
それぞれ第1,第2の選択電位に変換する論理変換回路
とを備え外部アドレス信号の供給に応答して前記非選択
時および選択時の各々がそれぞれ前記第1,第2の選択
電位の選択信号を発生して前記冗長メモリセルアレイ選
択線を選択する冗長メモリ選択回路とを備える半導体メ
モリにおいて、 前記冗長メモリ選択回路が、前記第1の電源電圧の予め
定めた電圧値の超過に応答して活性化する高電圧試験信
号の供給に応答して前記第2の電位の前記第2の選択電
位への論理変換の電位レベルを切替る論理変換電位切替
手段を備えることを特徴とする半導体メモリ。
1. A redundant memory cell array for replacing defective cells in a predetermined array unit of columns or rows, a redundant memory cell array selection line for selecting a predetermined one of the redundant memory cell arrays, and a non-selection line. A precharge circuit that sometimes generates a first potential corresponding to a first power supply voltage at a predetermined node and a second potential intermediate between the first power supply voltage and the second power supply voltage at the time of selection are used as the node. A redundant memory address setting circuit that is generated and a logic conversion circuit that converts each of the first and second potentials into first and second selection potentials, respectively. And a redundant memory selection circuit for selecting the redundant memory cell array selection line by generating selection signals of the first and second selection potentials, respectively. A redundant memory selection circuit changes the second potential to the second selection potential in response to the supply of a high voltage test signal that is activated in response to the predetermined voltage value of the first power supply voltage being exceeded. 2. A semiconductor memory, comprising: a logic conversion potential switching means for switching the potential level of the logic conversion.
【請求項2】 前記メモリアドレス設定回路が、前記ア
ドレス信号の各ビットとそれぞれ対応する複数のヒュー
ズと、前記複数のヒューズと前記第2の電源との間に挿
入されたトランジスタとを含むヒューズROMを備え、 前記論理変換回路が、前記第2の電位に応答可能な予め
定めた第1のしきい値を有する第1のインバータ回路を
備えることを特徴とする請求項1記載の半導体メモリ。
2. A fuse ROM in which the memory address setting circuit includes a plurality of fuses corresponding to respective bits of the address signal, and a transistor inserted between the plurality of fuses and the second power supply. 2. The semiconductor memory according to claim 1, further comprising: a first inverter circuit having a predetermined first threshold value capable of responding to the second potential.
【請求項3】 前記論理変換電位切替手段が、それぞれ
前記第1の電源と前記節点との間に挿入され前記高電圧
試験信号の供給と無関係に導通する第1のトランジスタ
と、前記高電圧試験信号の供給に応答して導通する第2
のトランジスタと有する前記プリチャージ回路を備える
ことを特徴とする請求項1記載の半導体メモリ。
3. The high voltage test, wherein the logic conversion potential switching means is inserted between the first power supply and the node, and conducts independently of the supply of the high voltage test signal. A second that conducts in response to the supply of a signal
2. The semiconductor memory according to claim 1, further comprising the precharge circuit having the transistor of FIG.
【請求項4】 前記論理変換電位切替手段が、前記第2
の電位に応答可能な予め定めた第1のしきい値を有する
第1のインバータ回路と、前記第1のしきい値より大き
い第2のしきい値を有する第2のインバータ回路と、前
記高電圧試験信号の供給に応答して前記第1,第2のイ
ンバータ回路のいずれか一方を選択するセレクタ回路と
を含む前記論理変換回路を備えることを特徴とする請求
項1記載の半導体メモリ。
4. The logic conversion potential switching means is the second
A first inverter circuit having a predetermined first threshold value capable of responding to the potential of the second inverter circuit, a second inverter circuit having a second threshold value larger than the first threshold value, and the high threshold value. 2. The semiconductor memory according to claim 1, further comprising: the logic conversion circuit including a selector circuit that selects one of the first and second inverter circuits in response to the supply of the voltage test signal.
【請求項5】 前記プリチャージ回路が、それぞれ前記
第1の電源と前記節点との間に挿入され所定のプリチャ
ージ信号の供給に応答して導通する第3のトランジスタ
と、前記高電圧試験信号とプリチャージ信号との論理和
値の供給に応答して導通する第4のトランジスタとを備
えることを特徴とする請求項3記載の半導体メモリ。
5. The third transistor, wherein the precharge circuit is inserted between the first power supply and the node, and rendered conductive in response to supply of a predetermined precharge signal, and the high voltage test signal. 4. The semiconductor memory according to claim 3, further comprising: a fourth transistor which is rendered conductive in response to the supply of the logical sum value of the precharge signal.
【請求項6】 前記プリチャージ回路が、前記第1の電
源と前記節点との間に挿入され前記高電圧試験信号の供
給に応答して導通する第5のトランジスタと、ダイオー
ド接続し前記第1の電源に接続した第6のトランジスタ
と、前記第6のトランジスタにソースを前記節点にドレ
インをそれぞれ接続し前記高電圧試験信号の反転信号の
供給に応答して導通する第7のトランジスタとを備える
ことを特徴とする請求項3記載の半導体メモリ。
6. The fifth transistor, which is inserted between the first power supply and the node and is conductive in response to the supply of the high-voltage test signal, is diode-connected to the first transistor and the first transistor is diode-connected. And a seventh transistor connected to the power source of the sixth transistor, and a seventh transistor which is connected to the source of the sixth transistor and the drain of the node and which conducts in response to the supply of the inverted signal of the high voltage test signal. 4. The semiconductor memory according to claim 3, wherein:
【請求項7】 前記プリチャージ回路が、前記第1の電
源と前記節点との間に挿入され前記高電圧試験信号と前
記プリチャード信号との論理和値の供給に応答して導通
する第8のトランジスタと、ダイオード接続し前記第1
の電源に接続した第6のトランジスタと、前記第6のト
ランジスタにソースを前記節点にドレインをそれぞれ接
続し前記高電圧試験信号の反転信号と前記プリチャード
信号との論理和値の供給に応答して導通する第9のトラ
ンジスタとを備えることを特徴とする請求項3記載の半
導体メモリ。
7. The eighth precharge circuit is inserted between the first power supply and the node and is turned on in response to supply of a logical sum value of the high-voltage test signal and the precharged signal. The diode is connected to the transistor of
And a source connected to the sixth transistor and a drain connected to the node to respond to the supply of the logical sum of the inverted signal of the high voltage test signal and the precharged signal. 4. The semiconductor memory according to claim 3, further comprising a ninth transistor that is turned on.
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