JPH0937573A - Ultrasonic actuator - Google Patents
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- JPH0937573A JPH0937573A JP7201845A JP20184595A JPH0937573A JP H0937573 A JPH0937573 A JP H0937573A JP 7201845 A JP7201845 A JP 7201845A JP 20184595 A JP20184595 A JP 20184595A JP H0937573 A JPH0937573 A JP H0937573A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータに
関し、特に、圧電素子を用いた振動子の超音波振動エネ
ルギーを駆動源とする超音波アクチュエータに関するも
のであり、ロボットのアームの駆動等に適用することが
できるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an actuator, and more particularly to an ultrasonic actuator which uses ultrasonic vibration energy of a vibrator using a piezoelectric element as a driving source, and is applied to driving an arm of a robot. Is something that can be done.
【0002】[0002]
【従来の技術】圧電素子の圧電効果を利用したアクチュ
エータとして、圧電素子によって弾性体のステータの表
面に進行波を形成し、この進行波によってステータと接
しているロータを摩擦駆動させる超音波アクチュエータ
が従来より知られている。2. Description of the Related Art As an actuator utilizing the piezoelectric effect of a piezoelectric element, an ultrasonic actuator for forming a traveling wave on the surface of an elastic stator by the piezoelectric element and frictionally driving a rotor in contact with the stator by the traveling wave is known. Known from the past.
【0003】図14は、超音波アクチュエータにおける
進行波の状態を説明するための図であり、進行波型モー
タの場合を示している。図14において、圧電素子より
なる2個の振動源A,Bを適当な間隔で配置し、それぞ
れ位相が異なる電圧を印加して、CsinωtおよびC
cosωtの振動を発生させる。これによって、図中の
右方向に伝播する進行波が形成される。この進行波が形
成されているステータ4の上にロータ3を置きロータに
圧力を印加すると、進行波の波頭と接触する部分でロー
タは楕円運動をよる接線方向の力を受け、ロータ3は矢
印の方向に移動する。これによって、ロータ3の駆動が
行われる。FIG. 14 is a diagram for explaining the state of the traveling wave in the ultrasonic actuator, and shows the case of the traveling wave type motor. In FIG. 14, two vibration sources A and B composed of piezoelectric elements are arranged at appropriate intervals, and voltages having different phases are applied to each of Csinωt and Csinωt.
Vibration of cos ωt is generated. As a result, a traveling wave propagating rightward in the figure is formed. When the rotor 3 is placed on the stator 4 on which the traveling wave is formed and pressure is applied to the rotor, the rotor receives a force in the tangential direction due to the elliptic motion at the portion in contact with the wave front of the traveling wave, and the rotor 3 causes the arrow Move in the direction of. As a result, the rotor 3 is driven.
【0004】図15〜図17は、進行波型モータによる
従来の超音波アクチュエータを構成するための図であ
る。図15において、従来の超音波アクチュエータは、
一対のステータ1’−1,1’−2およびロータ3’と
を基本構成要素とし、一方のステータ1’−1には圧電
素子2’を設けてロータ3’と対向させるとともに、他
方のステータ1’−2と与圧機構4’を介して対向させ
ている。また、ステータ1’−2は、軸受け5’によっ
てロータ3’に支持されている。15 to 17 are views for constructing a conventional ultrasonic actuator using a traveling wave type motor. In FIG. 15, the conventional ultrasonic actuator is
A pair of stators 1'-1, 1'-2 and a rotor 3'are used as basic constituent elements, and one stator 1'-1 is provided with a piezoelectric element 2'to face the rotor 3'and the other stator 1'-1. 1'-2 and the pressure mechanism 4'are made to oppose. The stator 1'-2 is supported by the rotor 3'by bearings 5 '.
【0005】与圧機構4’はステータ1’−1とロータ
3’との接触面に与圧を印加して、ステータ1’−1と
ロータ3’とを密着させる機構であり、この与圧による
反作用はステータ1’−2を介して軸受け5’に伝えら
れる。また、図16は図15に示した進行波型の超音波
アクチュエータを2個組み合わせた超音波アクチュエー
タの構成を説明するための図である。図16に示す超音
波アクチュエータにおいては、ロータ3’を挟んでステ
ータ1’−1を2個設けるものである。各ステータ1’
−1は、図15に示した構成と同様に、圧電素子2’を
備え、それぞれロータ3’と反対側に与圧機構4’およ
びステータ1’−2を設け、軸受け5’によって支持し
ている。The pressurizing mechanism 4'is a mechanism for applying a pressurizing force to the contact surface between the stator 1'-1 and the rotor 3'to bring the stator 1'-1 and the rotor 3 'into close contact with each other. Is transmitted to the bearing 5'via the stator 1'-2. 16 is a diagram for explaining the configuration of an ultrasonic actuator in which two traveling wave type ultrasonic actuators shown in FIG. 15 are combined. In the ultrasonic actuator shown in FIG. 16, two stators 1′-1 are provided with the rotor 3 ′ interposed therebetween. Each stator 1 '
Similar to the configuration shown in FIG. 15, -1 is provided with a piezoelectric element 2 ', a pressurizing mechanism 4'and a stator 1'-2 are provided on the opposite side of the rotor 3', and is supported by a bearing 5 '. There is.
【0006】図17は、ステータ1’の構成を説明する
ための図である。ステータ1’がロータ3’と接触する
面には放射状の溝12’が形成され、中心部に開けられ
た開口部13’を通して回転軸10’が設けられてい
る。FIG. 17 is a diagram for explaining the structure of the stator 1 '. Radial grooves 12 'are formed on the surface of the stator 1'that contacts the rotor 3', and a rotary shaft 10 'is provided through an opening 13' formed in the center.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
超音波アクチュエータでは、発生する駆動力の点と軸受
け機構が複雑である点で問題点がある。従来の超音波ア
クチュエータでは、ロータと接触するステータの数が1
個あるいは多くとも2個であるため、ロータに発生する
駆動力には制限があり、出力を増加することが困難であ
った。However, the conventional ultrasonic actuator has a problem in that the generated driving force and the bearing mechanism are complicated. In the conventional ultrasonic actuator, the number of stators in contact with the rotor is one.
Since there are two or at most two, the driving force generated in the rotor is limited and it is difficult to increase the output.
【0008】このロータとステータとを1組とする超音
波アクチュエータを複数個設けることによって、駆動力
の増加を図ることも考えられるが、ステータとロータと
の接触圧を形成するための与圧機構は各ステータに対応
して必要であるため、駆動力の増加に応じて与圧機構を
増加する必要があり、与圧機構が複雑化するという問題
が生じることになる。It is possible to increase the driving force by providing a plurality of ultrasonic actuators each including a rotor and a stator, but a pressurizing mechanism for forming a contact pressure between the stator and the rotor. Is necessary for each stator, and therefore it is necessary to increase the pressurizing mechanism as the driving force increases, which causes a problem that the pressurizing mechanism becomes complicated.
【0009】また、従来の超音波アクチュエータにおけ
る与圧機構では、ステータをロータに接触させるための
与圧力の反力が軸受けに印加される構成であるため、軸
受けは、ロータを支持するだけでなくこの与圧機構よに
る反力をも支える必要があり、十分な強度と剛性を必要
とする。そのため、与圧機構は個数の増加とともに、与
圧機構自体の構造も複雑化することになる。そこで、本
発明は前記した従来の問題点を解決して、1個の与圧機
構により十分な駆動力を得ることができる超音波アクチ
ュエータを提供することを目的とする。Further, in the conventional pressurizing mechanism of the ultrasonic actuator, the reaction force of the pressurizing force for bringing the stator into contact with the rotor is applied to the bearing, so that the bearing not only supports the rotor. It is necessary to support the reaction force of this pressurizing mechanism, and sufficient strength and rigidity are required. Therefore, as the number of pressurizing mechanisms increases, the structure of the pressurizing mechanism itself becomes complicated. Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to provide an ultrasonic actuator capable of obtaining a sufficient driving force by one pressurizing mechanism.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明の超音波アクチュ
エータは、圧電素子を用いた振動子の超音波振動エネル
ギーを駆動源とする超音波アクチュエータであり、表面
に進行波を形成される弾性体のステータと該ステータと
接触するロータとを備え、進行波によってロータを摩擦
駆動する進行波型超音波アクチュエータであって、ロー
タと圧電素子が設置されるとともに該ロータの両面を把
持して配置されるステータとを含む少なくとも1つの駆
動機構と、この駆動機構のステータに与圧を加える1つ
の与圧機構とを備えることによって、本発明の目的を達
成する。An ultrasonic actuator of the present invention is an ultrasonic actuator which uses ultrasonic vibration energy of a vibrator using a piezoelectric element as a drive source, and an elastic body having a traveling wave formed on its surface. Is a traveling wave type ultrasonic actuator that frictionally drives the rotor with a traveling wave, the rotor and the piezoelectric element being installed, and both sides of the rotor being gripped and arranged. The object of the present invention is achieved by providing at least one drive mechanism including a stator, and one pressurizing mechanism for applying a pressure to the stator of the drive mechanism.
【0011】本発明の超音波アクチュエータは、ロータ
と圧電素子を備えたステータとからなる駆動機構を駆動
単位とし、この駆動機構はロータを2つのステータで挟
持することによって、ステータとロータの接触面積を増
大させて発生トルクを増加させることができる。また、
駆動機構を複数個備え、一の駆動機構の一方のステータ
を隣接する駆動機構の他方のステータに接触させ、複数
個の駆動機構をロータの回転軸方向に積層して駆動機構
列を構成することによって、駆動機構を一駆動単位とし
て複数個積層させることによって発生トルクの増大を図
ることもできる。The ultrasonic actuator of the present invention uses a drive mechanism composed of a rotor and a stator provided with a piezoelectric element as a drive unit, and the drive mechanism holds the rotor between two stators, whereby the contact area between the stator and the rotor is increased. Can be increased to increase the generated torque. Also,
A plurality of drive mechanisms is provided, one stator of one drive mechanism is brought into contact with the other stator of an adjacent drive mechanism, and the plurality of drive mechanisms are stacked in the rotation axis direction of the rotor to form a drive mechanism row. Thus, it is possible to increase the generated torque by stacking a plurality of drive mechanisms as one drive unit.
【0012】また、ステータに形成される進行波によっ
てロータを駆動するには、ステータとロータとの接触面
に与圧を印加して密着させる必要がある。本発明の超音
波アクチュエータは1つの与圧機構によってこの与圧印
加を行うものである。1つの駆動機構において、ロータ
の両側には二つのステータが与圧機構によって密着して
接触する構成とする。これによって、ロータとステータ
との接触面積が増大し、発生トルクが増大する。また、
共通の回転軸に対して複数個の駆動機構を積層させるこ
とによって、各駆動機構から発生するトルクを加算さ
せ、駆動機構全体が発生するトルクを増大させることが
できる。Further, in order to drive the rotor by the traveling wave formed on the stator, it is necessary to apply a pressurizing force to the contact surface between the stator and the rotor to bring them into close contact with each other. The ultrasonic actuator of the present invention applies this pressurizing force by one pressurizing mechanism. In one drive mechanism, two stators are in close contact with each other on both sides of the rotor by a pressurizing mechanism. As a result, the contact area between the rotor and the stator increases, and the generated torque increases. Also,
By stacking a plurality of drive mechanisms on a common rotating shaft, the torque generated by each drive mechanism can be added, and the torque generated by the entire drive mechanism can be increased.
【0013】1つの与圧機構による与圧の印加は、例え
ば、1つの駆動機構あるいは複数個の駆動機構を積層し
た駆動機構列の両端から与圧を加えることにより実施す
ることができる。これによって、1つの与圧機構による
与圧の印加が可能となり、与圧機構の個数を減少させる
ことができる。また、ロータを与圧の終端とする構成
や、駆動機構の両端を挟持し、該端部を介して駆動機構
に互いに逆方向の与圧を加える与圧伝達機構を備える構
成とすることができる。この構成により、軸受けはロー
タのみを支持し、与圧機構からの与圧の印加を排除する
ことができる。また、ロータは回転軸に対して軸方向に
スライド可能であり、周方向に拘束される構成とするこ
とによって、与圧による軸方向の移動と、発生トルクの
回転軸への伝達を可能としている。The application of the pressurizing force by one pressurizing mechanism can be carried out, for example, by applying the pressurizing force from both ends of one drive mechanism or a drive mechanism train in which a plurality of drive mechanisms are laminated. As a result, it is possible to apply a pressurizing force by one pressurizing mechanism, and the number of pressurizing mechanisms can be reduced. Further, it is possible to adopt a configuration in which the rotor is the end of pressurization, or a configuration in which both ends of the drive mechanism are sandwiched and a pressurization transmission mechanism that applies pressurization in opposite directions to the drive mechanism via the ends is provided. . With this configuration, the bearing supports only the rotor, and the application of pressure from the pressure mechanism can be eliminated. Further, the rotor is slidable in the axial direction with respect to the rotary shaft, and is configured to be restrained in the circumferential direction, thereby enabling axial movement by pressurization and transmission of generated torque to the rotary shaft. .
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図を参照
しながら詳細に説明する。 (実施の第1の形態)図1は本発明の実施の第1の形態
を説明する図である。図1において、超音波アクチュエ
ータは、回転軸10に取り付けられた円盤状のロータ3
と、該ロータ3の両側に配置される2つの円環状のステ
ータ1(第1ステータ1a,第2ステータ1b)と、ロ
ータ3とステータ1とを接触させるための与圧機構4を
備えている。ステータ1には圧電素子2(第1圧電素子
2a,第2圧電素子2b)が設置され、ステータおよび
与圧機構4を外側から挟むようにケース9が設置されて
いる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a diagram for explaining a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, the ultrasonic actuator is a disk-shaped rotor 3 attached to a rotary shaft 10.
And two annular stators 1 (first stator 1a, second stator 1b) arranged on both sides of the rotor 3 and a pressurizing mechanism 4 for bringing the rotor 3 and the stator 1 into contact with each other. . A piezoelectric element 2 (first piezoelectric element 2a, second piezoelectric element 2b) is installed on the stator 1, and a case 9 is installed so as to sandwich the stator and the pressurizing mechanism 4 from the outside.
【0015】ステータは弾性体によって形成され、第1
ステータ1aの一方はロータ3の一方の面と対向し、第
1ステータ1aの他方は第1圧電素子2aを備えるとと
もにケース9の一端に取り付けられている。また、第2
ステータ1bの一方はロータ3の他方の面と対向し、第
2ステータ1bの他方は第2圧電素子2bを備えるとと
もに与圧ばね4の一端と接している。さらに、与圧ばね
4の他端はケース9によって保持されている。ロータ3
の回転軸10は軸受け5によって軸支されている。The stator is formed of an elastic body and has a first
One side of the stator 1a faces one surface of the rotor 3, and the other side of the first stator 1a includes a first piezoelectric element 2a and is attached to one end of a case 9. Also, the second
One of the stators 1b faces the other surface of the rotor 3, and the other of the second stators 1b includes the second piezoelectric element 2b and is in contact with one end of the pressurizing spring 4. Further, the other end of the pressurizing spring 4 is held by the case 9. Rotor 3
The rotary shaft 10 is supported by a bearing 5.
【0016】与圧機構4は与圧バネ等の弾性部材によっ
て構成することができ、一方は第2ステータ1bをロー
タ3側に付勢するとともに、ステータ1に働くトルクの
反力をケース9に伝達する。この反力は、ケース9を介
して第1ステータ1aをロータ3側に付勢する。これに
よって、ステータ1とロータ3間において、軸方向の両
者を押しつける与圧力を作用させて、ステータ1とロー
タ3との接触面を密着させる。The pressurizing mechanism 4 can be constituted by an elastic member such as a pressurizing spring. One of them presses the second stator 1b toward the rotor 3 side, and the reaction force of the torque acting on the stator 1 is applied to the case 9. introduce. This reaction force biases the first stator 1a toward the rotor 3 side via the case 9. As a result, a pressurizing force is applied between the stator 1 and the rotor 3 to press them in the axial direction, and the contact surfaces of the stator 1 and the rotor 3 are brought into close contact with each other.
【0017】ステータ1からロータ3に働く2つの与圧
力は互いに釣り合うため、軸受け5は与圧力によるスラ
スト力を支える必要がなく、ロータ3の回転軸10のみ
を支持する。圧電素子2の駆動によって、ステータ1は
周方向に進行波が循環するように振動を発生させる。こ
のステータ1の表面の振動運動により、ステータ1と接
触しているロータ3が一方向に摩擦力によって駆動し、
トルクを発生する。Since the two pressurizing forces acting on the rotor 3 from the stator 1 are balanced with each other, the bearing 5 does not need to support the thrust force due to the pressurizing force and supports only the rotating shaft 10 of the rotor 3. By driving the piezoelectric element 2, the stator 1 generates vibration so that a traveling wave circulates in the circumferential direction. Due to the vibrational movement of the surface of the stator 1, the rotor 3 in contact with the stator 1 is driven in one direction by frictional force,
Generates torque.
【0018】実施の第1の形態によれば、(1)ロータ
の両側には2つのステータが配置されているため、ステ
ータ1が1つの場合と比較して2倍のトルクを発生す
る、(2)軸受けはステータとロータの間に付与する与
圧力を支持しないため、軸受けにおける摩擦抵抗を減少
させることができ、小型とすることができるという効果
がある。According to the first embodiment, (1) since two stators are arranged on both sides of the rotor, twice the torque is generated as compared with the case where one stator 1 is provided. 2) Since the bearing does not support the pressure applied between the stator and the rotor, it is possible to reduce the frictional resistance in the bearing and to reduce the size.
【0019】図2から図5に示す構成例は、前記図1に
示す超音波アクチュエータ中のステータとロータの組を
1単位の駆動機構とし、この駆動機構を複数個用いて駆
動機構列を構成して超音波アクチュエータを構成するも
のである。In the configuration examples shown in FIGS. 2 to 5, the set of the stator and the rotor in the ultrasonic actuator shown in FIG. 1 is used as a unit drive mechanism, and a plurality of drive mechanisms are used to configure a drive mechanism array. And constitutes an ultrasonic actuator.
【0020】図2において、ロータとその両側に配置し
たステータとにより1つの駆動機構を構成し、これらの
駆動機構を複数個用いて層状に配置する。例えば、1つ
の駆動機構の一方側のステータを隣接する駆動機構の他
方側のステータに接触させ、複数個の駆動機構をロータ
の回転軸方向に積層して駆動機構列を構成し、駆動機構
列の一方の端部側のステータ6aを与圧機構4によって
ロータ3側に付勢する。また、駆動機構列の他方の端部
側のステータ6bについても、前記図1の構成例と同様
にケース9を介して与圧機構4による与圧力を伝達する
とともにロータ3側に付勢される。In FIG. 2, one drive mechanism is constituted by the rotor and the stators arranged on both sides of the rotor, and a plurality of these drive mechanisms are used to arrange them in layers. For example, a stator on one side of one drive mechanism is brought into contact with a stator on the other side of an adjacent drive mechanism, and a plurality of drive mechanisms are stacked in the rotation axis direction of the rotor to form a drive mechanism row. The stator 6a on one end side is urged toward the rotor 3 by the pressurizing mechanism 4. As for the stator 6b on the other end side of the drive mechanism row, the pressurizing force of the pressurizing mechanism 4 is transmitted through the case 9 and is biased to the rotor 3 side as in the configuration example of FIG. .
【0021】図3はステータの構成を示す図であり、円
環状の弾性体からなる構造体の中心に回転軸10が通過
する開口部13が開けられ、両面には放射状の溝12が
形成される。さらに、円環状の構造体の周面には間欠的
に突起部11が放射状に形成されている。この突起部1
1は、ケース9の内周面側に軸方向に形成されたスプラ
イン7内に位置し、これによって、ステータ1は軸方向
にはスプライン7に沿って移動可能であるが、周方向の
回転は拘束される。FIG. 3 is a view showing the structure of the stator. An opening 13 through which the rotary shaft 10 passes is formed at the center of a structure made of an annular elastic body, and radial grooves 12 are formed on both sides. It Further, projections 11 are radially formed on the circumferential surface of the annular structure intermittently. This protrusion 1
1 is located in a spline 7 formed in the axial direction on the inner peripheral surface side of the case 9, whereby the stator 1 can move along the spline 7 in the axial direction, but rotation in the circumferential direction does not occur. Be detained.
【0022】また、図4および図5はロータの構成を示
す図であり、円盤状の構造体の中心に回転軸10に取り
付けるための開口部15が開けられ、該開口部15の周
面には、中心に向かって間欠的に突起部11が放射状に
形成されている。一方、回転軸10には軸方向の溝16
によってスプライン8が形成されており、ロータ3の突
起部11が該スプライン8内に位置し、これによって、
ロータ3は軸方向にはスプライン8に沿って移動可能で
あり、周方向には回転軸10の回転に拘束される。4 and 5 are views showing the structure of the rotor. An opening 15 for attaching to the rotary shaft 10 is opened at the center of the disk-shaped structure, and the peripheral surface of the opening 15 is shown. The projections 11 are radially formed intermittently toward the center. On the other hand, the rotating shaft 10 has an axial groove 16
To form a spline 8, and the protrusion 11 of the rotor 3 is located inside the spline 8.
The rotor 3 is movable along the spline 8 in the axial direction and is restrained by the rotation of the rotary shaft 10 in the circumferential direction.
【0023】したがって、ロータ3とステータ1の接触
面が摩擦によって磨耗して、ロータ3とステータ1の軸
方向の距離が変化した場合であっても、ステータ1およ
びロータ3とステータ7,8に沿って摺動して移動する
ため、ロータ3とステータ1の間の接触は自動的に保持
される。Therefore, even if the contact surface between the rotor 3 and the stator 1 is abraded by friction and the axial distance between the rotor 3 and the stator 1 changes, the stator 1 and the rotor 3 and the stators 7, 8 are As it slides and moves along, the contact between rotor 3 and stator 1 is automatically maintained.
【0024】また、与圧力は駆動機構の両端のステータ
とケースによって支えられているため、回転軸10を支
持する軸受け5は与圧力を支える必要がない。そのた
め、軸受け5を小型とすることができるとともに、摩擦
抵抗を減少させてアクチュエータの効率を向上させるこ
とができる。Further, since the pressurizing force is supported by the stator and the case at both ends of the drive mechanism, the bearing 5 supporting the rotary shaft 10 does not need to support the pressurizing force. Therefore, the bearing 5 can be downsized, and the frictional resistance can be reduced to improve the efficiency of the actuator.
【0025】次に、実施の第1の形態の超音波アクチュ
エータをロボットアームの関節駆動機構に適用した例を
図6および図7を用いて示す。この適用例は図6に示す
ように3つの超音波アクチュエータ21〜23を組み合
わせることによってロボットアームの関節駆動機構を形
成する例である。図7は、このロボットアームの関節駆
動機構の断面図であり、第1超音波アクチュエータ21
と第3超音波アクチュエータ23については軸と平行な
方向の断面を示し、第2超音波アクチュエータ22につ
いては軸と直交する方向の断面を示している。Next, an example in which the ultrasonic actuator according to the first embodiment is applied to a joint drive mechanism of a robot arm will be described with reference to FIGS. 6 and 7. This application example is an example of forming a joint drive mechanism of a robot arm by combining three ultrasonic actuators 21 to 23 as shown in FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view of the joint drive mechanism of this robot arm, showing the first ultrasonic actuator 21.
The third ultrasonic actuator 23 shows a cross section in a direction parallel to the axis, and the second ultrasonic actuator 22 shows a cross section in a direction orthogonal to the axis.
【0026】各超音波アクチュエータ21〜23は、前
記図2に示す超音波アクチュエータと同様の駆動機構に
より構成することができ、回転軸10には回転位置等を
検出するエンコーダ等の位置検出器19を設置し、全体
をケース9内に収めてアクチュエータの一ユニットとす
る。図示する例では、3つのアクチュエータを組み合わ
せた例を示しているが、ロボットアームの関節の自由度
の個数だけ組み付けることによって、関節駆動機構を構
成することができる。Each of the ultrasonic actuators 21 to 23 can be constituted by a drive mechanism similar to the ultrasonic actuator shown in FIG. 2, and the rotary shaft 10 has a position detector 19 such as an encoder for detecting a rotational position. Is installed, and the whole is housed in the case 9 to form one unit of the actuator. In the example shown in the figure, an example in which three actuators are combined is shown, but a joint drive mechanism can be configured by assembling as many as the number of degrees of freedom of the joints of the robot arm.
【0027】実施の第1の形態をロボットアーム等の関
節駆動機構に適用した場合には、(1)減速機を用いる
ことなく十分な駆動トルクを得ることができる、(2)
減速機を用いないため、ロボットアームと位置検出器の
フィードバック信号との間に発生する減速機に起因する
誤差を除去することができ、ロボットアームの運動精度
と位置決め精度を向上させることができる、(3)進行
波型超音波アクチュエータでは、圧電素子への駆動電力
を停止した場合には、ステータとロータとは与圧力によ
って押しつけられて摩擦力が作用しているため、アーム
の位置を保持するための保持ブレーキ機構を不要とする
ことができ、ロボットアームが通常必要とする重力保持
ブレーキを不要とすることができるという効果がある。When the first embodiment is applied to a joint drive mechanism such as a robot arm, (1) a sufficient drive torque can be obtained without using a speed reducer, (2)
Since the speed reducer is not used, it is possible to eliminate an error caused by the speed reducer that occurs between the robot arm and the feedback signal of the position detector, and improve the motion accuracy and the positioning accuracy of the robot arm. (3) In the traveling wave type ultrasonic actuator, when the driving power to the piezoelectric element is stopped, the stator and the rotor are pressed by the applied pressure and the frictional force acts, so that the position of the arm is held. Therefore, there is an effect that a holding brake mechanism for that is unnecessary, and a gravity holding brake that is normally required by the robot arm can be unnecessary.
【0028】(第2の実施の形態)次に、本発明の第2
の実施の形態について、図8を用いて説明する。第2の
実施の形態は、与圧機構4の構成の点で相違しその他の
構成についてはほぼ共通であるため、以下では相違する
部分についてのみ説明する。(Second Embodiment) Next, the second embodiment of the present invention will be described.
The embodiment will be described with reference to FIG. The second embodiment is different in the structure of the pressurizing mechanism 4 and is substantially the same in the other structures, and therefore only the different parts will be described below.
【0029】図8において、ステータ1とロータ3を互
いに押しつけるための与圧機構4をロータ3側に設ける
構成とする。ステータ1は第2の実施の形態と同様にス
プライン7に沿ってケース9に対して軸方向に摺動可能
である。一方、積層されたロータ3の中で一方の端部に
ある第1ロータ3aを回転軸10に固定し、その他のロ
ータ3についてはスプライン8に沿って回転軸10に対
して軸方向に摺動可能である。また、与圧機構4の一方
は回転軸10に固定された支持部14に支持され、他方
は摺動可能なロータ3に当接している。In FIG. 8, a pressurizing mechanism 4 for pressing the stator 1 and the rotor 3 against each other is provided on the rotor 3 side. The stator 1 is slidable in the axial direction with respect to the case 9 along the splines 7 as in the second embodiment. On the other hand, the first rotor 3a at one end of the laminated rotors 3 is fixed to the rotary shaft 10, and the other rotors 3 slide axially with respect to the rotary shaft 10 along the splines 8. It is possible. Further, one of the pressurizing mechanisms 4 is supported by a supporting portion 14 fixed to the rotary shaft 10, and the other abuts on the slidable rotor 3.
【0030】これによって、与圧機構4の与圧力は、回
転軸10に固定された支持部14と第1ロータ3aとの
間で摺動可能なロータ3とステータ1との接触を行って
いる。そして、ロータ3とステータ1の接触面が摩擦に
よって磨耗して、ロータ3とステータ1の軸方向の距離
が変化した場合であっても、ステータ1およびロータ3
とステータ7,8に沿って摺動して移動するため、ロー
タ3とステータ1の間の接触は自動的に保持される。As a result, the pressurizing force of the pressurizing mechanism 4 makes contact between the rotor 3 and the stator 1 which are slidable between the support portion 14 fixed to the rotary shaft 10 and the first rotor 3a. . Even when the contact surface between the rotor 3 and the stator 1 is abraded by friction and the axial distance between the rotor 3 and the stator 1 is changed, the stator 1 and the rotor 3 are also changed.
Since it slides and moves along the stators 7 and 8, the contact between the rotor 3 and the stator 1 is automatically maintained.
【0031】また、前記第2の実施の形態と比較する
と、ステータはその全ての面をロータと接触する構成と
して、駆動トルクの発生に寄与することができる。Further, in comparison with the second embodiment, the stator has a structure in which all the surfaces thereof come into contact with the rotor, and thus it is possible to contribute to the generation of the driving torque.
【0032】実施の第2の形態は、第1の形態が持つ効
果に加えて、(1)ステータの構成を共通化することが
できる、(2)与圧機構4の与圧力は、回転軸10に取
り付けられたロータと支持部内の閉じた構成とすること
ができ、ケース9による与圧力の伝達を行う必要がな
く、構成を簡略化することができるという効果がある。In the second embodiment, in addition to the effect of the first embodiment, (1) the structure of the stator can be made common. (2) The pressurizing force of the pressurizing mechanism 4 is the rotating shaft. The rotor mounted on the rotor 10 and the inside of the supporting portion can be closed, and it is not necessary to transmit the pressurizing force by the case 9, and the structure can be simplified.
【0033】(第3の実施の形態)次に、本発明の第3
の実施の形態について、図9を用いて説明する。第3の
実施の形態は、図9において、超音波アクチュエータ
は、回転軸10に取り付けられた円盤状の2つのロータ
3(第1ロータ3a,第2ロータ3b)と、該2つのロ
ータ3間に挟まれて配置される2つの円環状のステータ
1(第1ステータ1a,第2ステータ1b)と、第1ス
テータ1aと第2ステータ1bの間に設けられるロータ
3とステータ1とを接触させるための与圧機構4を備え
ている。ステータ1aには第1圧電素子2aが設置さ
れ、ステータ1aには第2圧電素子2bが設置されてい
る。(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described.
The embodiment will be described with reference to FIG. In the third embodiment, as shown in FIG. 9, the ultrasonic actuator includes two disk-shaped rotors 3 (first rotor 3a, second rotor 3b) mounted on a rotary shaft 10 and a space between the two rotors 3. The two annular stators 1 (first stator 1a, second stator 1b) sandwiched between the rotor 1 and the rotor 3 provided between the first stator 1a and the second stator 1b are brought into contact with each other. The pressurizing mechanism 4 is provided. The first piezoelectric element 2a is installed on the stator 1a, and the second piezoelectric element 2b is installed on the stator 1a.
【0034】ステータは弾性体によって形成され、第1
ステータ1aの第1ロータ3aの一方の面と対向し、第
1ステータ1aの他方は与圧機構4の一端と当接して与
圧力を受け、また、第2ステータ1bの一方は第2ロー
タ3bの他方の面と対向し、第2ステータ1bの他方は
与圧機構4の他方と当接して与圧力を受けている。ロー
タ3の回転軸10は軸受け5によってケース9に対して
軸支されている。The stator is formed of an elastic body and has a first
The stator 1a faces one surface of the first rotor 3a, the other side of the first stator 1a abuts one end of the pressurizing mechanism 4 to receive a pressurizing force, and the other side of the second stator 1b receives the second rotor 3b. The other side of the second stator 1b is in contact with the other side of the pressurizing mechanism 4 to receive the pressurizing force. The rotary shaft 10 of the rotor 3 is supported by the bearing 5 with respect to the case 9.
【0035】与圧機構4は与圧バネ等の弾性部材によっ
て構成することができ、一方は第1ステータ1aを第1
ロータ3a側に付勢し、他方においては第2ステータ1
bを第2ロータ3b側に付勢する。これによって、第1
ステータ1aと第1ロータ3aとの接触、および第2ス
テータ1bと第2ロータ3bとの接触が行われる。The pressurizing mechanism 4 can be constituted by an elastic member such as a pressurizing spring, one of which is the first stator 1a and the first stator 1a.
The rotor 3a is urged, and the second stator 1 is urged on the other side.
B is urged to the second rotor 3b side. Thereby, the first
The contact between the stator 1a and the first rotor 3a and the contact between the second stator 1b and the second rotor 3b are performed.
【0036】圧電素子2の駆動によって、ステータ1は
周方向に進行波が循環するように振動を発生させる。こ
のステータ1の表面の振動運動により、ステータ1と接
触しているロータ3が一方向に摩擦力によって駆動し、
トルクを発生する。また、与圧機構4を経て軸方向に移
動する側のロータ3に働くトルクは、スプライン8を経
て回転軸10に伝達される。By driving the piezoelectric element 2, the stator 1 generates vibration so that a traveling wave circulates in the circumferential direction. Due to the vibrational movement of the surface of the stator 1, the rotor 3 in contact with the stator 1 is driven in one direction by frictional force,
Generates torque. Further, the torque acting on the rotor 3 on the axially moving side via the pressurizing mechanism 4 is transmitted to the rotary shaft 10 via the spline 8.
【0037】実施の第3の形態によれば、(1)ステー
タとロータとの接触面積を2倍とすることによって、従
来の超音波アクチュエータと比較して2倍のトルクを発
生する、(2)ステータとロータとの間の磨耗により両
者の間隔が変化した場合には、与圧機構4の与圧力によ
ってステータがロータ側に対して軸方向に移動するた
め、自動的に距離調整が行われる、(3)軸受けはステ
ータとロータの間に付与する与圧力を支持しないため、
軸受けにおける摩擦抵抗を減少させることができ、小型
とすることができるという効果がある。According to the third embodiment, (1) the contact area between the stator and the rotor is doubled, so that twice the torque is generated as compared with the conventional ultrasonic actuator. ) When the distance between the stator and the rotor changes due to wear between the stator and the rotor, the stator is moved in the axial direction with respect to the rotor side by the pressurizing force of the pressurizing mechanism 4, so that the distance is automatically adjusted. (3) Since the bearing does not support the pressure applied between the stator and rotor,
The frictional resistance in the bearing can be reduced, and the size can be reduced.
【0038】(第4の実施の形態)次に、本発明の第4
の実施の形態について、図10を用いて説明する。第4
の実施の形態は、図10において、超音波アクチュエー
タは、回転軸10に取り付けられた円盤状の第1ロータ
3aと、スプライン8により軸方向に移動可能な円盤状
の第2ロータ3bと、該2つのロータ3間に挟まれて配
置される1つの円環状のステータ1と、第2ロータ3b
と回転軸10に固定された支持部17との間に設けられ
るロータ3とステータ1とを接触させるための与圧機構
4を備えている。(Fourth Embodiment) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
The embodiment will be described with reference to FIG. 4th
10, the ultrasonic actuator comprises a disk-shaped first rotor 3a attached to the rotary shaft 10, a disk-shaped second rotor 3b movable axially by a spline 8, and One annular stator 1 sandwiched between the two rotors 3 and the second rotor 3b
A pressurizing mechanism 4 for contacting the rotor 3 and the stator 1 provided between the rotor 3 and the supporting portion 17 fixed to the rotating shaft 10 is provided.
【0039】ステータ1は、第1ロータ3aに向かう面
と第2ロータ3bに向かう面とは非対照の形状に形成さ
れるとともに、圧電素子2が設置されている。また、第
1ロータ3aと第2ロータ3bのステータ1と対向する
面は、ステータ1の形状に応じて非対照に形成されてい
る。また、ステータは弾性体によって形成され、その外
周側は環状に形成されたステータ支持部18を介してケ
ース9に弾性的に取り付けられている。ロータおよびス
テータが軸方向に移動した場合、このステータ支持部1
8の弾性的支持によって、この移動を補償することがで
きる。The stator 1 is formed in a shape in which the surface facing the first rotor 3a and the surface facing the second rotor 3b are not symmetrical, and the piezoelectric element 2 is installed. Further, the surfaces of the first rotor 3a and the second rotor 3b that face the stator 1 are formed in a non-symmetrical manner according to the shape of the stator 1. Further, the stator is formed of an elastic body, and the outer peripheral side thereof is elastically attached to the case 9 via a stator support portion 18 formed in an annular shape. When the rotor and the stator move in the axial direction, this stator support 1
The elastic support of 8 makes it possible to compensate for this movement.
【0040】与圧機構4は与圧バネ等の弾性部材によっ
て構成することができ、一方は第2ステータ1bをロー
タ3側に付勢し、他方は支持部17により支持されてい
る。これによって、第1ロータ3aとステータ1との接
触、および第2ロータ3bとステータ1との接触が行わ
れる。The pressurizing mechanism 4 can be constituted by an elastic member such as a pressurizing spring, one of which biases the second stator 1b toward the rotor 3 side, and the other of which is supported by the supporting portion 17. As a result, the contact between the first rotor 3a and the stator 1 and the contact between the second rotor 3b and the stator 1 are performed.
【0041】圧電素子2の圧電横効果による進行波駆動
により、ステータ1は周方向に進行波が循環するように
振動が発生する。このステータ1の表面の振動運動によ
り、ステータ1と接触しているロータ3が一方向に摩擦
力によって駆動し、トルクを発生する。また、与圧機構
4を経て軸方向に移動する側のロータ3に働くトルク
は、スプライン8を経て回転軸10に伝達される。When the traveling wave is driven by the piezoelectric transverse effect of the piezoelectric element 2, the stator 1 vibrates so that the traveling wave circulates in the circumferential direction. Due to the oscillating motion of the surface of the stator 1, the rotor 3 in contact with the stator 1 is driven in one direction by a frictional force to generate torque. Further, the torque acting on the rotor 3 on the axially moving side via the pressurizing mechanism 4 is transmitted to the rotary shaft 10 via the spline 8.
【0042】実施の第4の形態によれば、(1)ステー
タとロータとの接触面積を2倍とすることによって、従
来の超音波アクチュエータと比較して2倍のトルクを発
生する、(2)ステータとロータとの間の磨耗により両
者の間隔が変化した場合には、与圧機構の与圧力および
ステータの弾性的支持によってステータとロータの軸方
向の移動が行われ、自動的に距離調整が行われる、
(3)軸受けはステータとロータの間に付与する与圧力
を支持しないため、軸受けにおける摩擦抵抗を減少させ
ることができ、小型とすることができるという効果があ
る。According to the fourth embodiment, (1) the contact area between the stator and the rotor is doubled, so that twice the torque is generated as compared with the conventional ultrasonic actuator. ) When the gap between the stator and rotor changes due to wear, the pressure of the pressurizing mechanism and the elastic support of the stator cause axial movement of the stator and rotor, and the distance is automatically adjusted. Is done,
(3) Since the bearing does not support the pressurizing force applied between the stator and the rotor, it is possible to reduce the frictional resistance in the bearing and to reduce the size.
【0043】(第5の実施の形態)次に、本発明の第5
の実施の形態について、図11,図12を用いて説明す
る。第5の実施の形態は、前記図8に示す第2の実施の
形態とほぼ同様の構成であり、圧電素子およびステータ
の構成の点で相違している。そこで、以下では相違する
部分についてのみ説明する。(Fifth Embodiment) Next, the fifth embodiment of the present invention will be described.
The embodiment will be described with reference to FIGS. 11 and 12. The fifth embodiment has substantially the same structure as the second embodiment shown in FIG. 8 and is different in the structures of the piezoelectric element and the stator. Therefore, only different points will be described below.
【0044】第2の実施の形態における圧電素子2は圧
電横効果を利用してステータにうねり型の振動を生じさ
せている。そのため、第2の実施の形態ではステータの
両面の振動面の裏側にそれぞれ圧電素子を取付け、この
2つの圧電素子の間に空隙を設けて互いの振動を拘束し
ていよう構成としている。これに対して、第5の実施の
形態は、圧電素子2の圧電縦効果によりステータ1に生
じさせる厚み方向の振動を利用するものである。そこ
で、図11に示すように、第2の実施の形態では、ステ
ータ1の隣接するロータ3側の中間に圧電素子2を設
け、1つの圧電素子2の縦方向の振動をステータ1の両
側のロータ3に伝える構成とする。The piezoelectric element 2 according to the second embodiment utilizes the piezoelectric lateral effect to generate undulating vibrations in the stator. Therefore, in the second embodiment, piezoelectric elements are attached to the back sides of the vibrating surfaces on both sides of the stator, respectively, and a gap is provided between the two piezoelectric elements to constrain the mutual vibrations. On the other hand, the fifth embodiment utilizes the vibration in the thickness direction generated in the stator 1 by the piezoelectric vertical effect of the piezoelectric element 2. Therefore, as shown in FIG. 11, in the second embodiment, the piezoelectric element 2 is provided in the middle of the adjacent rotor 3 side of the stator 1, and the vibration in the vertical direction of one piezoelectric element 2 is applied to both sides of the stator 1. The configuration is such that it is transmitted to the rotor 3.
【0045】図12は、ステータと圧電素子との関係を
説明する図である。図12の(a)に示すように、斜線
で示される圧電素子2は、ステータ1に対して2分割し
て設置され、それぞれ図12の(d)に示すような位相
の異なる電圧A,Bによって駆動され、厚みが位相に応
じて変化する。この異なる位相電圧による駆動により、
1つのステータには図12の(b),(c)に図示され
るような振動が発生する。FIG. 12 is a diagram for explaining the relationship between the stator and the piezoelectric element. As shown in (a) of FIG. 12, the piezoelectric element 2 shown by diagonal lines is divided into two parts with respect to the stator 1, and the voltages A and B have different phases as shown in (d) of FIG. 12, respectively. Driven by, the thickness changes according to the phase. By driving with this different phase voltage,
Vibration as shown in FIGS. 12B and 12C is generated in one stator.
【0046】超音波アクチュエータは、この圧電素子2
の縦振動によってロータ3に回転トルクを発生させる。
実施の第4の形態によれば、前記第2の実施の形態の効
果の他に、(1)圧電素子の個数を減少させることがで
きる、(2)そのため、小型化や部品点数の減少を行う
ことができるという効果がある。 (その他の実施の形態)前記した実施の形態において
は、ステータおよびロータを環状に形成した例を示して
いるが、これらの形状を弧状とする構成も可能である。
図13(a)は環状のステータ1に対して弧状のロータ
3とした構成例であり、また、図13(b)は環状のロ
ータに対して弧状のステータを組み合わせた構成例であ
る。The ultrasonic actuator has the piezoelectric element 2
Rotational torque is generated in the rotor 3 by the vertical vibration of.
According to the fourth embodiment, in addition to the effects of the second embodiment, (1) it is possible to reduce the number of piezoelectric elements, and (2) therefore, it is possible to reduce the size and the number of parts. The effect is that it can be done. (Other Embodiments) In the above-described embodiments, an example in which the stator and the rotor are formed in an annular shape is shown, but a configuration in which these are arcuate is also possible.
FIG. 13A shows an example of a configuration in which the annular stator 1 is an arc-shaped rotor 3, and FIG. 13B is an example of a configuration in which an annular rotor is combined with an arc-shaped stator.
【0047】[0047]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
1個の与圧機構により十分な駆動力を得ることができる
超音波アクチュエータを提供することができる。As described above, according to the present invention,
It is possible to provide an ultrasonic actuator capable of obtaining a sufficient driving force by one pressurizing mechanism.
【図1】本発明の実施の第1の形態を説明する図であ
る。FIG. 1 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施の第1の形態における積層構成の
例を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a laminated structure according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の実施の第1の形態におけるステータの
構成を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a stator in the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の実施の第1の形態におけるロータの構
成を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of a rotor according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の実施の第1の形態におけるロータおよ
び回転軸の構成を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of a rotor and a rotary shaft according to the first embodiment of the present invention.
【図6】本発明の実施の第1の形態をロボットアームの
関節駆動機構に適用した例の概略外観図である。FIG. 6 is a schematic external view of an example in which the first embodiment of the present invention is applied to a joint drive mechanism of a robot arm.
【図7】本発明の実施の第1の形態をロボットアームの
関節駆動機構に適用した例の断面図である。FIG. 7 is a sectional view of an example in which the first embodiment of the present invention is applied to a joint drive mechanism of a robot arm.
【図8】本発明の実施の第2の形態を説明する図であ
る。FIG. 8 is a diagram illustrating a second embodiment of the present invention.
【図9】本発明の実施の第3の形態を説明する図であ
る。FIG. 9 is a diagram illustrating a third embodiment of the present invention.
【図10】本発明の実施の第4の形態を説明する図であ
る。FIG. 10 is a diagram illustrating a fourth embodiment of the present invention.
【図11】本発明の実施の第5の形態を説明する図であ
る。FIG. 11 is a diagram illustrating a fifth embodiment of the present invention.
【図12】本発明の実施の第5の形態のステータと圧電
素子との関係を説明する図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a relationship between a stator and a piezoelectric element according to a fifth embodiment of the present invention.
【図13】本発明のその他の形態を説明する図である。FIG. 13 is a diagram illustrating another mode of the present invention.
【図14】超音波アクチュエータにおける進行波の状態
を説明するための図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a state of a traveling wave in the ultrasonic actuator.
【図15】進行波型モータによる従来の超音波アクチュ
エータを構成するための図である。FIG. 15 is a diagram for configuring a conventional ultrasonic actuator using a traveling wave motor.
【図16】進行波型モータによる従来の超音波アクチュ
エータを構成するための図である。FIG. 16 is a diagram for configuring a conventional ultrasonic actuator using a traveling wave motor.
【図17】進行波型モータによる従来の超音波アクチュ
エータを構成するための図である。FIG. 17 is a diagram for configuring a conventional ultrasonic actuator using a traveling wave motor.
1,1a,1b,6a,6b ステータ 2,2a,2b 圧電素子 3,3a,3b ロータ 4 与圧機構 5 軸受け 7,8 スプライン 9 ケース 10 回転軸 11,14 突起部 12,16 溝 13,15 開口部 14,17 支持部 18 ステータ支持部 19 位置検出器 20 検出器 21,22,23 アクチュエータ 1,1a, 1b, 6a, 6b Stator 2,2a, 2b Piezoelectric element 3,3a, 3b Rotor 4 Pressurizing mechanism 5 Bearing 7,8 Spline 9 Case 10 Rotating shaft 11,14 Projection part 12,16 Groove 13,15 Opening part 14,17 Support part 18 Stator support part 19 Position detector 20 Detector 21,22,23 Actuator
Claims (5)
ータと該ステータと接触するロータとを備え、前記進行
波によってロータを摩擦駆動する進行波型超音波アクチ
ュエータにおいて、ロータと、圧電素子が設置されると
ともに該ロータの両面を把持して配置されるステータと
を含む少なくとも1つの駆動機構と、前記駆動機構のス
テータに予圧を加える1つの与圧機構とを備えたことを
特徴とする超音波アクチュエータ。1. A traveling wave type ultrasonic actuator, comprising: an elastic stator having a traveling wave formed on a surface thereof; and a rotor in contact with the stator, wherein the rotor is frictionally driven by the traveling wave. Is provided and at least one drive mechanism including a stator arranged to grip both sides of the rotor, and one pressurization mechanism for applying a preload to the stator of the drive mechanism. Ultrasonic actuator.
構の一方のステータを隣接する駆動機構の他方のステー
タに接触させ、複数個の駆動機構をロータの回転軸方向
に積層して駆動機構列を構成し、前記1つの与圧機構は
該駆動機構列の両端から与圧を加えることを特徴とする
請求項1記載の超音波アクチュエータ。2. A plurality of drive mechanisms are provided, one stator of one drive mechanism is brought into contact with the other stator of an adjacent drive mechanism, and the plurality of drive mechanisms are stacked in the rotation axis direction of the rotor to drive. The ultrasonic actuator according to claim 1, wherein a mechanism row is configured, and the one pressurizing mechanism applies pressure from both ends of the drive mechanism row.
することを特徴とする請求項1、又は2記載の超音波ア
クチュエータ。3. The ultrasonic actuator according to claim 1, wherein the pressurizing mechanism uses a rotor as an end of pressurizing.
把持し、該端部を介して駆動機構に互いに逆方向の与圧
を加える与圧伝達機構を備えたことを特徴とする請求項
1、2、又は3記載の超音波アクチュエータ。4. The pressurizing mechanism is provided with a pressurizing force transmitting mechanism that grips both ends of the drive mechanism and applies pressurizing forces in opposite directions to the drive mechanism via the end portions. Item 3. The ultrasonic actuator according to item 1, 2 or 3.
ライド可能であり、周方向に拘束されることを特徴とす
る請求項1、2、3、又は4記載の超音波アクチュエー
タ。5. The ultrasonic actuator according to claim 1, wherein the rotor is slidable in the axial direction with respect to the rotating shaft and is constrained in the circumferential direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7201845A JP2914893B2 (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Ultrasonic actuator |
Applications Claiming Priority (1)
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JP7201845A JP2914893B2 (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Ultrasonic actuator |
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JP2914893B2 JP2914893B2 (en) | 1999-07-05 |
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JP7201845A Expired - Lifetime JP2914893B2 (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Ultrasonic actuator |
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