JPH0933516A - Inspection equipment for nonmetallic inclusion - Google Patents
Inspection equipment for nonmetallic inclusionInfo
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- JPH0933516A JPH0933516A JP7179282A JP17928295A JPH0933516A JP H0933516 A JPH0933516 A JP H0933516A JP 7179282 A JP7179282 A JP 7179282A JP 17928295 A JP17928295 A JP 17928295A JP H0933516 A JPH0933516 A JP H0933516A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、画像処理技術を用
いた非金属介在物の検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device for non-metallic inclusions using image processing technology.
【０００２】[0002]
【従来の技術】金属材料中に存在する非金属介在物（例
えば、ＭｎＳなどの硫化物、Ａｌ2 Ｏ3 などの酸化物や
Ｔｉ（ＣＮ）などの炭窒化物）は金属材料の機械的諸特
性に大きな影響を及ぼすため、これらの定量解析を行う
ことが金属材料の品質管理を行う上で非常に重要とな
る。2. Description of the Related Art Non-metallic inclusions (for example, sulfides such as MnS, oxides such as Al 2 O 3 and carbonitrides such as Ti (CN)) existing in metal materials are mechanical materials of metal materials. Since these properties have a great influence, it is very important to carry out these quantitative analyzes for quality control of metal materials.
【０００３】金属材料中に存在する非金属介在物の検査
方法としては、ＡＳＴＭ法、ＪＩＳ法や仏国のＭＩＣＨ
ＥＬＩＮ（ミシュラン）社が開発したＭＩＣＨＥＬＩＮ
法などが知られている。しかし、これらの従来法はいず
れも光学顕微鏡による目視検査であるため、検査速度が
遅く、また測定の精度や誤差の面で問題があった。更
に、作業者の健康保持という面から、作業の内容・環境
を改善したいとする要望も生じている。このため最近で
は、画像処理技術を用いて金属材料中の非金属介在物を
自動的に検査する検査装置が開発されている。[0003] As a method of inspecting nonmetallic inclusions present in a metal material, there are ASTM method, JIS method and MICH of France.
MICHELIN developed by ELIN (Michelin)
The law is known. However, since all of these conventional methods are visual inspections using an optical microscope, the inspection speed is slow, and there are problems in terms of measurement accuracy and error. Further, from the viewpoint of maintaining the health of workers, there has been a demand for improving the contents and environment of work. For this reason, recently, an inspection apparatus for automatically inspecting non-metallic inclusions in a metal material using an image processing technique has been developed.
【０００４】しかしながら、従来の画像処理技術を用い
た非金属介在物の検査装置では、被検査体の表面（以
下、「被検面」ともいう）に存在する「塵埃」、「し
み」や「錆」などの非金属介在物とは異なるものを非金
属介在物と誤認してしまい（以下、これらの「塵埃」、
「しみ」や「錆」などをまとめて「非金属介在物誤認要
因」という）、被検面中の非金属介在物の定量解析が正
確には行い難いという問題があった。However, in the conventional non-metallic inclusion inspection apparatus using the image processing technique, "dust", "stain", and "dust" existing on the surface of the inspection object (hereinafter, also referred to as "inspection surface"). We mistakenly identify non-metallic inclusions such as "rust" as non-metallic inclusions (hereinafter, these "dust",
"Stains" and "rust" are collectively referred to as "non-metallic inclusion misidentification factors"), and there is a problem that it is difficult to accurately perform quantitative analysis of non-metallic inclusions in the surface to be inspected.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記現状に
鑑みなされたもので、被検面上の非金属介在物と非金属
介在物誤認要因とを自動的に分別することができ、非金
属介在物の定量解析を正確に行うことが可能な非金属介
在物の検査装置を提供することを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above situation, and it is possible to automatically discriminate a non-metallic inclusion on a surface to be inspected from a non-metallic inclusion erroneous factor. An object of the present invention is to provide an inspection device for non-metallic inclusions capable of accurately performing quantitative analysis of metallic inclusions.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、下記（１）の
非金属介在物の検査装置を要旨とする。SUMMARY OF THE INVENTION The gist of the present invention is the following (1) non-metallic inclusion inspection apparatus.
【０００７】（１）被検査体を撮像する撮像装置と、そ
の撮像装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介
在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置と、
その分別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成さ
れる非金属介在物の検査装置であって、上記分別装置
が、前記撮像装置により撮像された画像データから対象
物の形状度としての形状係数Ｋおよび周囲点外角標準偏
差σを算出する算出手段、ならびにこれら算出した形状
係数Ｋおよび周囲点外角標準偏差σを、予め設定してお
いた非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する
敷居値ＫC0、σC0と比較することにより非金属介在物で
あるか非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判
定手段を備えることを特徴とする非金属介在物の検査装
置。(1) An imaging device for imaging an object to be inspected, and a separation device for separating non-metallic inclusions and non-metallic inclusion erroneous factors in the object to be inspected based on the imaging result of the imaging device,
An inspection device for non-metallic inclusions, comprising: an output device that outputs a classification result of the classification device, wherein the classification device has a shape as a shape degree of an object from image data captured by the imaging device. The calculation means for calculating the coefficient K and the standard deviation σ of the surrounding point outside angle, and the calculated shape coefficient K and the standard deviation σ of the surrounding point outside the non-metal inclusion and the non-metal inclusion erroneous factor set in advance. An inspection apparatus for non-metallic inclusions, comprising comparison determination means for determining whether the non-metal inclusions or the non-metal inclusions are erroneous recognition factors by comparing with threshold values K C0 and σ C0 to be separated. .
【０００８】本発明の非金属介在物の検査装置の「分別
装置」は、撮像装置により撮像された画像データから
対象物の形状度としての形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏
差σを算出する算出手段、およびこれら算出した形状
係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σを、予め設定しておいた
非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する敷居
値ＫC0、σC0と比較することにより非金属介在物である
か非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手
段を備えている。前記非金属介在物と前記非金属介在物
誤認要因との形状度にはそれぞれ差異があるので、被検
面上の非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを容易、
且つ自動的に分別し得る。この結果、前記の非金属介在
物誤認要因を除外し、非金属介在物のみに関して測定お
よび分類できることとなり、定量解析を高速、且つ正確
に実施し得るのである。The "sorting device" of the inspection device for non-metallic inclusions of the present invention calculates the shape coefficient K as the shape factor of the object and the standard deviation σ of the surrounding points from the image data picked up by the image pickup device. The means, and the calculated shape factor K and the outside standard angle σ of the surrounding points are compared with preset thresholds K C0 and σ C0 for discriminating non-metallic inclusions and non-metallic inclusion misidentification factors. Therefore, there is provided a comparison / determination means for determining whether it is a non-metal inclusion or a non-metal inclusion misidentification factor. Since the shape factors of the non-metallic inclusions and the non-metal inclusion misidentification factors are different from each other, the non-metal inclusions and the non-metal inclusion misidentification factors on the surface to be inspected can be easily identified.
And it can be sorted automatically. As a result, the above-mentioned non-metal inclusion erroneous recognition factors can be excluded, and measurement and classification can be performed only on non-metal inclusions, and quantitative analysis can be performed quickly and accurately.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明に係る非金属介在物の検査装置
の実施例を図面に基づいて説明する。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of an apparatus for inspecting non-metallic inclusions according to the present invention.
【００１０】図１は本発明に係る非金属介在物の検査装
置の一実施例を示すブロック図である。この非金属介在
物の検査装置１は、被検査体１０を撮像する撮像装置
２、撮像装置２の撮像結果に基づいて被検査体１０中の
非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別
装置３および分別装置３の分別結果を出力する出力装置
４とで構成されている。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an inspection apparatus for non-metallic inclusions according to the present invention. The inspection device 1 for non-metallic inclusions includes an imaging device 2 for imaging the inspection object 10, and a non-metallic inclusion in the inspection object 10 and a non-metallic inclusion erroneous recognition factor based on the imaging result of the imaging device 2. It comprises a sorting device 3 for sorting and an output device 4 for outputting the sorting result of the sorting device 3.
【００１１】被検査体１０はＸ−Ｙステージ２１上に載
置され、Ｘ−Ｙステージ２１はＸ−Ｙステージコントロ
ーラ２２に接続されている。Ｘ−Ｙステージコントロー
ラ２２の制御により、Ｘ−Ｙステージ２１を介して被検
査体１０をＸ軸またはＹ軸の方向に所定距離移動させる
ことができる。一方、Ｘ−Ｙステージ２１の上方には被
検査体１０の表面（被検面）を光学的に拡大する光学顕
微鏡２３が配設され、光学顕微鏡２３の上には被検面を
光学顕微鏡２３の光軸と同軸で照射する照明光源２４を
介して工業用テレビカメラ（以下、ＩＴＶカメラとい
う）２５が接続されている。照明光源２４によって照射
された被検面は光学顕微鏡２３によって所定の倍率に拡
大され、この画像がＩＴＶカメラ２５によって撮像さ
れ、映像信号に変換されるようになっている。また光学
顕微鏡２３はオートフォーカスコントローラ２６に接続
されており、このオートフォーカスコントローラ２６の
制御によって、被検面に関する光学顕微鏡２３の焦点が
自動調整されるようになっている。すなわち、本発明に
係る非金属介在物の検査装置１の撮像装置２は、前記の
Ｘ−Ｙステージ２１、光学顕微鏡２３、ＩＴＶカメラ２
５などから構成されたものである。The object 10 to be inspected is placed on an XY stage 21, and the XY stage 21 is connected to an XY stage controller 22. By the control of the XY stage controller 22, the device under test 10 can be moved by a predetermined distance in the X-axis or Y-axis direction via the XY stage 21. On the other hand, an optical microscope 23 for optically enlarging the surface (inspection surface) of the inspection object 10 is arranged above the XY stage 21, and the inspection surface is arranged above the optical microscope 23. An industrial television camera (hereinafter referred to as ITV camera) 25 is connected via an illumination light source 24 that irradiates the optical axis coaxially with the optical axis of the. The test surface illuminated by the illumination light source 24 is enlarged to a predetermined magnification by the optical microscope 23, and this image is captured by the ITV camera 25 and converted into a video signal. The optical microscope 23 is connected to an autofocus controller 26, and the focus of the optical microscope 23 on the surface to be inspected is automatically adjusted by the control of the autofocus controller 26. That is, the imaging device 2 of the inspection device 1 for non-metallic inclusions according to the present invention includes the XY stage 21, the optical microscope 23, and the ITV camera 2.
5 and the like.
【００１２】ＩＴＶカメラ２５はＡ／Ｄ変換器３１ａな
どを含んで構成された画像処理装置３１に接続されてお
り、ＩＴＶカメラ２５により撮像・変換された画面単位
における一連のアナログ信号が画像処理装置３１におい
て多値化された一連のデジタル信号に変換される。画像
処理装置３１はコンピュータ３２ａ、メモリ３２ｂ、算
出手段３２ｃ、比較判定手段３２ｄなどを含んで構成さ
れた情報処理装置３２に接続され、情報処理装置３２は
Ｘ−Ｙステージコントローラ２２とオートフォーカスコ
ントローラ２６にも接続している。そして情報処理装置
３２によって上記のＸ−Ｙステージコントローラ２２と
オートフォーカスコントローラ２６が制御され、また画
像処理装置３１からの映像信号の取り込み指示が行われ
ると共に、画面単位における一連のデジタル信号デー
タ、予め設定された非金属介在物の分類データ、敷居値
ＫC0、σC0などが記憶されるようになっている。The ITV camera 25 is connected to an image processing device 31 including an A / D converter 31a and the like, and a series of analog signals in screen units imaged and converted by the ITV camera 25 are image processing devices. At 31, it is converted into a series of multi-valued digital signals. The image processing device 31 is connected to an information processing device 32 including a computer 32a, a memory 32b, a calculation means 32c, a comparison determination means 32d, etc., and the information processing device 32 is connected to the XY stage controller 22 and the autofocus controller 26. Is also connected to. Then, the information processing device 32 controls the XY stage controller 22 and the autofocus controller 26 described above, and an instruction to capture a video signal from the image processing device 31 is given, and a series of digital signal data in a screen unit, in advance. The set classification data of non-metallic inclusions, threshold values K C0 , σ C0, etc. are stored.
【００１３】算出手段３２ｃによって対象物（測定物）
の形状度としての形状係数Ｋと周囲点外角標準偏差σと
が算出され、比較判定手段３２ｄにより前記の算出され
た形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σが敷居値ＫC0、σ
C0とそれぞれ比較され、対象物が非金属介在物であるか
非金属介在物誤認要因であるかが判定される。すなわ
ち、本発明に係る非金属介在物の検査装置１の分別装置
３は、前記の画像処理装置３１、情報処理装置３２など
から構成されている。Object (measurement object) by the calculating means 32c
The shape factor K as the degree of shape and the ambient point outside angle standard deviation σ are calculated, and the calculated shape factor K and the surrounding point outside angle standard deviation σ are calculated by the comparison and determination means 32d as the threshold values K C0 and σ.
Each is compared with C0 to determine whether the object is a non-metal inclusion or a non-metal inclusion misidentification factor. That is, the sorting device 3 of the inspection device 1 for non-metallic inclusions according to the present invention includes the image processing device 31, the information processing device 32, and the like.
【００１４】画像処理装置３１はそこで画像処理された
画像の表示を行う画像モニタ４１および画像処理された
画像のハードコピーを出力するビデオプリンタ４２に接
続されており、撮像装置２によって撮像された映像が画
像モニタ４１およびビデオプリンタ４２に出力されるよ
うになっている。また情報処理装置３２はそこで処理さ
れたデータの表示を行うモニタディスプレイ４３および
処理された測定データなどの印字を行うプリンタ４４に
接続され、情報処理装置３２によって処理された検査結
果などが出力されるようになっている。すなわち、本発
明に係る非金属介在物の検査装置１の出力装置４は、前
記の画像モニタ４１、モニタディスプレイ４３などから
構成されたものである。The image processing device 31 is connected to an image monitor 41 for displaying the image-processed image and a video printer 42 for outputting a hard copy of the image-processed image. Are output to the image monitor 41 and the video printer 42. Further, the information processing device 32 is connected to a monitor display 43 for displaying the data processed therein and a printer 44 for printing the processed measurement data etc., and outputs inspection results etc. processed by the information processing device 32. It is like this. That is, the output device 4 of the inspection device 1 for non-metallic inclusions according to the present invention comprises the image monitor 41, the monitor display 43 and the like.
【００１５】そして前記撮像装置２、分別装置３、出力
装置４により非金属介在物の検査装置１が構成されてい
る。The image pickup device 2, the sorting device 3, and the output device 4 constitute a nonmetal inclusion inspection device 1.
【００１６】次に、上記のように構成された非金属介在
物の検査装置１を用いて被検査体１０の表面（被検面）
を撮像し、撮像された対象物が非金属介在物であるか、
あるいは非金属介在物誤認要因であるかを分別した後、
非金属介在物の定量解析を行う際の基本動作を下記〜
で説明する。このうち特に、分別装置３を構成する情
報処理装置３２の動作手順を取り出し、図２にフローチ
ャート化して示す。なお、図２中のなどの数字は、下
記の説明の番号と対応するものである。Next, the surface (inspection surface) of the object 10 to be inspected by using the nonmetallic inclusion inspection apparatus 1 configured as described above.
Is imaged, whether the imaged object is a non-metallic inclusion,
Or, after identifying whether it is a misidentification factor of non-metallic inclusions,
The basic operations for quantitative analysis of nonmetallic inclusions are as follows:
Will be described. Of these, in particular, the operation procedure of the information processing device 32 constituting the sorting device 3 is extracted and shown in the form of a flowchart in FIG. The numbers such as in FIG. 2 correspond to the numbers described below.
【００１７】先ず、撮像装置２により被検査体１０の
被検面が撮像され、画素単位でサンプリングされた多値
画像が分別装置３の構成要素である画像処理装置３１に
転送される。First, the image pickup device 2 picks up an image of the surface to be inspected of the object 10 to be inspected, and the multivalued image sampled in pixel units is transferred to the image processing device 31 which is a component of the sorting device 3.
【００１８】画像処理装置３１では撮像データがＡ／
Ｄ変換器３１ａによって、例えば８ビット（２５６階
調）で量子化され、対象物（１つの非金属介在物あるい
は非金属介在物誤認要因）のデジタル画像が分別装置３
を構成する情報処理装置３２のメモリ３２ｂに入力され
る。In the image processing device 31, the image pickup data is A /
The digital image of the object (one non-metallic inclusion or a non-metallic inclusion misidentification factor) is quantized by, for example, 8 bits (256 gradations) by the D converter 31a.
Is input to the memory 32b of the information processing device 32 constituting
【００１９】情報処理装置３２を構成するコンピュー
タ３２ａにおいて、メモリ３２ｂに入力された対象物の
デジタル画像（デジタル信号）が取り出される。In the computer 32a constituting the information processing device 32, the digital image (digital signal) of the target object input to the memory 32b is taken out.
【００２０】次いで、情報処理装置３２の算出手段３
２ｃによって、対象物デジタル画像から形状係数Ｋが算
出される。なお、ここでいう形状係数Ｋとは凸凹の度合
いを表す形状係数のことをいい、下記の式によって求め
られる「等周不等式による円形度係数の逆数」のことで
ある。Next, the calculation means 3 of the information processing device 32
2c calculates the shape factor K from the digital image of the object. The shape factor K referred to here is a shape factor that represents the degree of unevenness, and is the "reciprocal of the circularity coefficient according to the isoperimetric inequality" that is obtained by the following equation.
【００２１】Ｋ＝（周囲長）2 ／（４π×面積の和） 図３に示すように、Ｋが１にほとんど等しい（ニヤリイ
コール）場合は円、Ｋが１より大きい場合は楕円、Ｋが
１より非常に大きい場合は不規則形状であって、Ｋの値
が１から離れるほど凸凹の度合いは大きくなる。K = (perimeter) 2 / (4π × sum of areas) As shown in FIG. 3, when K is almost equal to 1 (grinly equal), it is a circle, when K is larger than 1, an ellipse, and K is When the value is much larger than 1, the shape is irregular and the degree of unevenness increases as the value of K deviates from 1.
【００２２】同じく情報処理装置３２を構成する算出
手段３２ｃによって、対象物デジタル画像から周囲点外
角Ａ1 、Ａ2 、・・・が求められ、次いでその周囲点外
角の標準偏差σが算出される。図４に周囲点外角の概念
図を示す。Similarly, the calculating means 32c constituting the information processing device 32 obtains the peripheral point outside angles A 1 , A 2 , ... From the object digital image, and then calculates the standard deviation σ of the surrounding point outside angles. . FIG. 4 shows a conceptual diagram of the outside angle of the surrounding points.
【００２３】なお、周囲点外角Ａn は下記（ａ）〜
（ｅ）の手順によって求められる（図４参照）。The outside angle A n of the surrounding points is defined by the following (a)-
It is obtained by the procedure of (e) (see FIG. 4).
【００２４】（ａ）対象物における最大間隔（最大長
さ）を直径とする円を求め、前記の最大間隔となる２点
を通る直径をＸ軸と定める。(A) A circle whose diameter is the maximum distance (maximum length) in the object is determined, and the diameter passing through the two points having the maximum distance is defined as the X axis.
【００２５】（ｂ）上記の円の中心座標を（Ｘ0 、
Ｙ0 ）とし、円を中心座標（Ｘ0 、Ｙ0 ）を通る線でｎ
等分し、円周と交わる点Ｂn のＸ座標Ｘn を求める。こ
こで、ｎの値は任意に設定して良いが、大きすぎると処
理時間が長くなるし、逆に小さすぎると精度が悪くなる
ので、１２〜１６程度の値とすれば良い。以下、本明細
書においては、一例としてｎ＝１２とした場合について
述べることにする。(B) The center coordinates of the above circle are (X 0 ,
Y 0 ), and a circle is a line passing through the center coordinates (X 0 , Y 0 ) and n
Divide into equal parts and obtain the X coordinate X n of the point B n that intersects the circumference. Here, the value of n may be set arbitrarily, but if it is too large, the processing time becomes long, and if it is too small, the accuracy deteriorates. Therefore, a value of about 12 to 16 may be set. Hereinafter, in this specification, a case where n = 12 will be described as an example.
【００２６】（ｃ）点Ｂn からＸ軸に垂線を下ろし、対
象物と交わった点Ｃn のＹ座標Ｙn を求める（ｎ＝１〜
１２）。(C) A perpendicular line is drawn from the point B n to the X axis to obtain the Y coordinate Y n of the point C n intersecting with the object (n = 1 to 1).
12).
【００２７】（ｄ）対象物座標である点Ｃn （Ｘn 、Ｙ
n ）における対象物の接線が上記の点Ｂn からＸ軸に下
ろした垂線となす角度Ａn を順次求める（ｎ＝１〜１
２）。ここで点Ｃn の存在する象限に拘らず角度Ａn と
して、０〜９０度の値を採用する。(D) Point C n (X n , Y) which is the coordinates of the object
The angle A n formed by the tangent to the object in ( n ) and the perpendicular drawn from the point B n to the X axis is sequentially obtained (n = 1 to 1).
2). As here regardless of the presence quadrant at point C n angle A n, to adopt a value of 0 to 90 degrees.
【００２８】（ｅ）得られた１２点の角度Ａn （ｎ＝１
〜１２）から標準偏差σを求める。(E) The obtained 12 points of angles A n (n = 1
１２12) to find the standard deviation σ.
【００２９】上記のとで得られた形状係数Ｋと周
囲点外角標準偏差σが、情報処理装置３２を構成する比
較判定手段３２ｄによって、予め設定しておかれた非金
属介在物と非金属介在物誤認要因を分別する敷居値
ＫC0、σC0と比較されることにより、対象物は金属介在
物と非金属介在物誤認要因とに分別される。The non-metallic inclusions and non-metallic inclusions, which have been preset by the comparison / determination means 32d constituting the information processing device 32, of the shape coefficient K and the standard deviation σ of the peripheral point outside angle obtained in the above By comparing the threshold values K C0 and σ C0 for discriminating the factor of misidentification of the object, the object is discriminated into the factor of misidentification of the metallic inclusion and the non-metallic inclusion.
【００３０】すなわち、メモリ３２ｂに予め設定・記憶
された敷居値ＫC0、σC0が取り出された後、図２に示す
ように比較判定手段３２ｄにおいて形状係数Ｋが敷居値
ＫC0以上であるか否かが判定され、敷居値ＫC0以上でな
い、換言すれば敷居値ＫC0を下回ると判定されると、撮
像された対象物は非金属介在物誤認要因と見なされて検
査対象から除外される。一方、敷居値ＫC0以上であると
判定されると、次に周囲点外角標準偏差σが敷居値σC0
以上であるか否かが判定される。そして敷居値σC0以上
であると判定されると、撮像された対象物は介在物の特
徴が強いとして通常の検査が行われる。他方、敷居値σ
C0未満であると判定されると、撮像された対象物は非金
属介在物誤認要因と見なされて検査対象から除外され
る。That is, after the threshold values K C0 and σ C0 preset and stored in the memory 32b are retrieved, whether the shape coefficient K is equal to or more than the threshold value K C0 in the comparison and determination means 32d as shown in FIG. When it is determined whether or not the threshold value is not equal to or higher than the threshold value K C0 , in other words, it is determined that the threshold value is lower than the threshold value K C0 , the imaged object is regarded as a non-metal inclusion misidentification factor and excluded from the inspection target. . On the other hand, if it is determined that the threshold value is equal to or higher than the threshold value K C0 , the surrounding point outside angle standard deviation σ is determined to be the threshold value σ C0.
It is determined whether or not this is the case. Then, when it is determined that the threshold value is not less than σ C0 , the imaged target object is considered to have a strong feature of the inclusion and a normal inspection is performed. On the other hand, the threshold value σ
If it is determined to be less than C0 , the imaged object is regarded as a non-metal inclusion misidentification factor and excluded from the inspection object.
【００３１】なお、表１に種々の対象物に関する形状係
数Ｋと周囲点外角標準偏差σの算出結果の一例を示す。Table 1 shows an example of the calculation results of the shape coefficient K and the standard deviation of the outside angle of the surrounding points σ for various objects.
【００３２】全対象物の内、非金属介在物に関するデ
ータだけが情報処理装置３２に入力され、非金属介在物
の定量解析が行われ、情報処理装置３２によって処理さ
れたその検査結果が出力装置４に出力される。Of all the objects, only data relating to non-metallic inclusions are input to the information processing device 32, quantitative analysis of non-metallic inclusions is performed, and the inspection results processed by the information processing device 32 are output devices. 4 is output.
【００３３】[0033]
【表１】 [Table 1]
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る非金
属介在物の検査装置にあっては、撮像装置により撮像さ
れた画像データから対象物の形状度としての形状係数
Ｋ、周囲点外角標準偏差σを算出する算出手段、および
これら算出した形状係数Ｋ、周囲点外角標準偏差σを、
予め設定しておいた非金属介在物と非金属介在物誤認要
因とを分別する敷居値ＫC0、σC0と比較することにより
非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを
判定する比較判定手段を含んで分別装置が構成されてお
り、前記非金属介在物と前記非金属介在物誤認要因との
形状度にはそれぞれ差異があるので、被検面上の非金属
介在物と非金属介在物誤認要因とを容易、且つ、自動的
に分別することができる。この結果、前記の非金属介在
物誤認要因を除外し、非金属介在物のみに関する測定お
よび分類が可能となり、定量解析を高速、且つ、正確に
実施することができる。As described above, in the inspection apparatus for non-metallic inclusions according to the present invention, the shape factor K as the degree of shape of the object and the outside angle of the surrounding point from the image data picked up by the image pickup device. The calculation means for calculating the standard deviation σ, the calculated shape coefficient K, and the outside-angle standard deviation σ of the surrounding points are
By comparing the preset threshold values K C0 and σ C0 for discriminating the non-metal inclusions and the non-metal inclusion misidentification factors, it can be determined whether the non-metal inclusions or the non-metal inclusions are misidentification factors. The sorting device is configured to include the comparison and determination means for making a determination, and since the non-metallic inclusions and the non-metallic inclusions have different shape factors, the non-metallic inclusions on the surface to be inspected are different. It is possible to easily and automatically discriminate the non-metal inclusion misidentification factor. As a result, it is possible to exclude the above-mentioned non-metal inclusion erroneous recognition factors and measure and classify only non-metal inclusions, so that quantitative analysis can be performed quickly and accurately.
【図１】本発明の検査装置の一例を示すブロック図であ
る。FIG. 1 is a block diagram illustrating an example of an inspection device according to the present invention.
【図２】本発明による検査手順を示すフロー図である。FIG. 2 is a flowchart showing an inspection procedure according to the present invention.
【図３】形状係数Ｋの概念図である。FIG. 3 is a conceptual diagram of a shape coefficient K.
【図４】周囲点外角の概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of a peripheral point outside angle.
１：非金属介在物の検査装置、 １０：被検査体、 ２：撮像装置、 ２１：Ｘ−Ｙステージ、２２：Ｘ−Ｙステージコントロ
ーラ、 ２３：光学顕微鏡、２４：照明光源、２５：ＩＴＶカメ
ラ、 ２６：オートフォーカスコントローラ、 ３：分別装置、 ３１：画像処理装置、 ３１ａ：Ａ／Ｄ変換器、 ３２：情報処理装置、 ３２ａ：コンピュータ、３２ｂ：メモリ、３２ｃ：算出
手段、 ３２ｄ：比較判定手段、 ４：出力装置、 ４１：画像モニタ、４２：ビデオプリンタ、４３：モニ
タディスプレイ、 ４４：プリンタ、1: Inspection device for non-metallic inclusions, 10: Object to be inspected, 2: Imaging device, 21: XY stage, 22: XY stage controller, 23: Optical microscope, 24: Illumination light source, 25: ITV camera , 26: Autofocus controller, 3: Sorting device, 31: Image processing device, 31a: A / D converter, 32: Information processing device, 32a: Computer, 32b: Memory, 32c: Calculation means, 32d: Comparison determination means , 4: output device, 41: image monitor, 42: video printer, 43: monitor display, 44: printer,
Claims (1)
装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介在物と
非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置と、その分
別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成される非
金属介在物の検査装置であって、上記分別装置が、前記
撮像装置により撮像された画像データから対象物の形状
度としての形状係数Ｋおよび周囲点外角標準偏差σを算
出する算出手段、ならびにこれら算出した形状係数Ｋお
よび周囲点外角標準偏差σを、予め設定しておいた非金
属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する敷居値Ｋ
C0、σC0と比較することにより非金属介在物であるか非
金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手段を
備えることを特徴とする非金属介在物の検査装置。1. An image pickup apparatus for picking up an image of an object to be inspected, a sorting apparatus for discriminating non-metallic inclusions and a non-metallic inclusion erroneous factor in the object to be inspected based on an image pickup result of the image pickup apparatus, and the sorting thereof. An inspection device for non-metallic inclusions, comprising: an output device that outputs a classification result of the device, wherein the classification device uses a shape factor K as a shape factor of an object from image data captured by the imaging device. And a calculating means for calculating the outside standard angle σ of the surrounding points, and the calculated shape factor K and the outside standard angle σ of the surrounding points are used to discriminate a preset nonmetal inclusion and a nonmetal inclusion erroneous factor. Threshold K
An apparatus for inspecting non-metallic inclusions, comprising: comparison determining means for determining whether a non-metal inclusion or a non-metal inclusion erroneous factor by comparing with C0 and σ C0 .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7179282A JP2924718B2 (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Inspection equipment for non-metallic inclusions |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP7179282A JP2924718B2 (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Inspection equipment for non-metallic inclusions |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0933516A true JPH0933516A (en) | 1997-02-07 |
| JP2924718B2 JP2924718B2 (en) | 1999-07-26 |
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|---|---|---|---|
| JP7179282A Expired - Fee Related JP2924718B2 (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Inspection equipment for non-metallic inclusions |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8530790B2 (en) | 2005-09-12 | 2013-09-10 | Lincoln Global, Inc. | Method for extracting non-metallic weld metal inclusions |
| CN114558881A (en) * | 2022-03-10 | 2022-05-31 | 广东省车汇莱再生物资回收有限公司 | New energy scraped car resource recovery system based on it is intelligent |
-
1995
- 1995-07-17 JP JP7179282A patent/JP2924718B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114558881A (en) * | 2022-03-10 | 2022-05-31 | 广东省车汇莱再生物资回收有限公司 | New energy scraped car resource recovery system based on it is intelligent |
| CN114558881B (en) * | 2022-03-10 | 2022-12-09 | 广东省车汇莱再生物资回收有限公司 | New energy scraped car resource recovery system based on it is intelligent |
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| JP2924718B2 (en) | 1999-07-26 |
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