JPH09327669A - Steam cleaning apparatus - Google Patents

Steam cleaning apparatus

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Publication number
JPH09327669A
JPH09327669A JP14957096A JP14957096A JPH09327669A JP H09327669 A JPH09327669 A JP H09327669A JP 14957096 A JP14957096 A JP 14957096A JP 14957096 A JP14957096 A JP 14957096A JP H09327669 A JPH09327669 A JP H09327669A
Authority
JP
Japan
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cleaned
cleaning
steam
cooling
steam cleaning
Prior art date
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Pending
Application number
JP14957096A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Izume
裕之 井爪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
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Publication of JPH09327669A publication Critical patent/JPH09327669A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small-sized steam cleaning apparatus large in the selection width of a cooling medium, low in cost and excellent in cleaning efficiency. SOLUTION: A steam cleaning apparatus cleaning an article 18 to be cleaned with steam of a cleaning soln. W is equipped with a cooling jacket as a cooling means. The cooling jacket indirectly brings a cooling medium into contact with the article 18 to be cleaned at a time of cooling to cool the article 18 to be cleaned. The cooling jacket 22 has function holding the article 18 to be cleaned in a state impossible to fall off.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被洗浄物を洗浄液
の蒸気で洗浄する蒸気洗浄装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a steam cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned with a cleaning liquid vapor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、被洗浄物の表面に付着した油
等の汚れを除去するための装置として、蒸気を利用した
各種の蒸気洗浄装置が提案されている。まず図7にその
一例を挙げ、簡単にその構成・作用を説明する。
2. Description of the Related Art Conventionally, various steam cleaning devices using steam have been proposed as a device for removing dirt such as oil adhering to the surface of an object to be cleaned. First, FIG. 7 shows an example thereof, and its configuration and action will be briefly described.

【0003】同図に示される従来の蒸気洗浄装置41
は、浸漬洗浄槽42、蒸気洗浄槽43、蒸留槽44、乾
燥室45、取り出し口46等を備えている。この装置4
1の最も前段に配置されている浸漬洗浄槽42内には、
沸点よりも10℃ほど低い温度の洗浄液が満たされてい
る。この洗浄液には、超音波発生器47により超音波振
動が加えられるようになっている。被洗浄物55はここ
で洗浄液に浸漬されることにより冷却される。
A conventional steam cleaning device 41 shown in FIG.
Is provided with an immersion cleaning tank 42, a steam cleaning tank 43, a distillation tank 44, a drying chamber 45, an outlet 46, and the like. This device 4
In the immersion cleaning tank 42 arranged at the most front stage of 1,
The cleaning liquid having a temperature about 10 ° C. lower than the boiling point is filled. Ultrasonic vibration is applied to the cleaning liquid by the ultrasonic generator 47. The cleaning object 55 is cooled by being immersed in the cleaning liquid here.

【0004】浸漬洗浄槽42から引き上げられた被洗浄
物55は、次に蒸気洗浄槽43に移送される。大半の汚
れはシャワーによって落とされ、かつワーク温度が冷却
される。蒸気洗浄槽43に通じる蒸留槽44ではヒータ
48の熱により洗浄液が気化しており、蒸気洗浄槽43
内はその蒸気で満たされている。従って、洗浄液の蒸気
中に置かれた被洗浄物55の表面には、蒸気温度と被洗
浄物55の表面温度との差に起因して結露が生じる。そ
の結果、結露した洗浄液内に汚れが落下する。
The object 55 to be cleaned which has been lifted from the immersion cleaning tank 42 is then transferred to the steam cleaning tank 43. Most of the dirt is removed by the shower and the work temperature is cooled. In the distillation tank 44 leading to the steam cleaning tank 43, the cleaning liquid is vaporized by the heat of the heater 48.
The inside is filled with the steam. Therefore, dew condensation occurs on the surface of the object to be cleaned 55 placed in the vapor of the cleaning liquid due to the difference between the vapor temperature and the surface temperature of the object to be cleaned 55. As a result, dirt drops into the dew condensation cleaning liquid.

【0005】洗浄された被洗浄物55は、次に乾燥室4
5に移送される。蒸気洗浄槽43と乾燥室45との間に
は、洗浄液の蒸気を液化するための冷却ジャケット50
及び冷却コイル51が設けられている。そこで冷却され
た洗浄液は、水分離槽52及びシャワー槽53を経てシ
ャワーノズル49に供給されるようになっている。そし
て、乾燥室45内に載置された被洗浄物55は冷却フィ
ン54により冷却された後、取り出し口46から搬出さ
れるようになっている。
The cleaned object 55 is next dried in the drying chamber 4.
Transferred to 5. A cooling jacket 50 for liquefying the vapor of the cleaning liquid is provided between the steam cleaning tank 43 and the drying chamber 45.
And a cooling coil 51 are provided. The cooled cleaning liquid is supplied to the shower nozzle 49 via the water separation tank 52 and the shower tank 53. Then, the cleaning object 55 placed in the drying chamber 45 is cooled by the cooling fins 54 and then carried out from the take-out port 46.

【0006】以上のような従来の蒸気洗浄装置41のほ
か、例えば特開平4−122024号公報において蒸気
洗浄装置が開示されている。前記公報の蒸気洗浄装置の
洗浄槽は、板状の被洗浄物(例えば半導体ウェハ等)を
洗浄槽中央部に保持するための支持台を備えている。こ
の支持台に板状被洗浄物を支持した場合、洗浄槽が気密
な2つの室に仕切られる。そして、第1の室側に洗浄液
の蒸気を供給しかつ第2の室側に冷却媒体(例えば純水
等)を供給すると、板状被洗浄物の一方側面が冷却媒体
に触れることによって同板状被洗浄物が直接的に冷却さ
れる。この結果、板状被洗浄物の他方側面に結露が生じ
ることで、まずその面の汚れが除去される。その後、バ
ルブを切り換ることにより、第1の室側に冷却媒体を供
給しかつ第2の室側に洗浄液の蒸気を供給する。その結
果、反対側面に結露が生じることで、残りの面の汚れが
除去されるようになっている。
In addition to the conventional steam cleaning apparatus 41 as described above, a steam cleaning apparatus is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-122024. The cleaning tank of the vapor cleaning apparatus disclosed in the above publication is equipped with a support for holding a plate-shaped object to be cleaned (for example, a semiconductor wafer) at the center of the cleaning tank. When the plate-like object to be cleaned is supported on this support base, the cleaning tank is partitioned into two airtight chambers. Then, when the vapor of the cleaning liquid is supplied to the first chamber side and the cooling medium (for example, pure water etc.) is supplied to the second chamber side, one side surface of the plate-shaped object to be cleaned comes into contact with the cooling medium and the plate is cleaned. The object to be cleaned is directly cooled. As a result, dew condensation occurs on the other side surface of the plate-like object to be cleaned, so that the dirt on the surface is first removed. Then, by switching the valve, the cooling medium is supplied to the first chamber side and the cleaning liquid vapor is supplied to the second chamber side. As a result, dew condensation occurs on the opposite side surface, so that the dirt on the remaining surface is removed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術には次のような欠点があった。まず、図7の従来技術
の欠点を列挙する。
However, the above-mentioned prior art has the following drawbacks. First, the drawbacks of the conventional technique shown in FIG. 7 will be listed.

【0008】i)蒸気との温度差がなくなると被洗浄物5
5の表面に結露が生じなくなり、その時点で蒸気洗浄が
ストップしてしまう。よって、連続的に蒸気洗浄するこ
とができず効率が悪い。また、この方法は被洗浄物55
の熱容量の大小によって洗浄度が変化しやすいものであ
るため、特に比熱が低い物のときに不利になる。
I) The object to be cleaned 5 when the temperature difference from the steam disappears
Condensation does not occur on the surface of No. 5, and steam cleaning stops at that point. Therefore, steam cleaning cannot be performed continuously, resulting in poor efficiency. In addition, this method
Since the degree of cleaning tends to change depending on the heat capacity of the product, it is disadvantageous especially for products having a low specific heat.

【0009】ii) 被洗浄物55が大物であると、浸漬洗
浄槽42から蒸気洗浄槽43への被洗浄物の移動が難し
くなる。また、浸漬洗浄槽42と蒸気洗浄槽43とをそ
れぞれ別個に設ける必要があり、装置の大型化につなが
る。
Ii) If the object to be cleaned 55 is large, it becomes difficult to move the object to be cleaned from the immersion cleaning tank 42 to the steam cleaning tank 43. Further, it is necessary to separately provide the immersion cleaning tank 42 and the steam cleaning tank 43, which leads to an increase in size of the apparatus.

【0010】次に、特開平4−122024号公報の技
術の欠点を列挙する。 i)この方法では洗浄槽を2室に仕切る必要があるため、
板状の被洗浄物にしか適用することができない。
Next, the drawbacks of the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-122024 will be listed. i) In this method, it is necessary to divide the cleaning tank into two chambers,
It can be applied only to a plate-shaped object to be cleaned.

【0011】ii) 冷却媒体が被洗浄物に直接的に当たる
ので、被洗浄物に対する影響の小さな冷却媒体の使用が
不可欠となり、冷却媒体の選択の幅がおのずと狭くな
る。 iii)直接冷却であると冷却媒体が汚染されやすいため、
冷却媒体の交換を頻繁に行う必要がある。従って、コス
ト高になりやすい。
Ii) Since the cooling medium directly contacts the object to be cleaned, it is indispensable to use the cooling medium having a small effect on the object to be cleaned, and the range of selection of the cooling medium is naturally narrowed. iii) Since the cooling medium is easily contaminated with direct cooling,
Frequent replacement of the cooling medium is required. Therefore, the cost tends to increase.

【0012】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、その目的は、小型で冷却媒体の選択の幅
が広く、しかも低コストで洗浄効率にも優れた蒸気洗浄
装置を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a steam cleaning apparatus which is small in size, has a wide range of selection of a cooling medium, is low in cost, and has excellent cleaning efficiency. Especially.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明では、被洗浄物を洗浄液の
蒸気で洗浄する蒸気洗浄装置において、洗浄時に前記被
洗浄物に対して冷却媒体を間接的に接触させることによ
り同被洗浄物を冷却する冷却手段を備えたことを特徴と
する蒸気洗浄装置をその要旨とする。
In order to solve the above problems, according to the invention of claim 1, in a steam cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned with a steam of a cleaning liquid, the object to be cleaned is cleaned at the time of cleaning. A vapor cleaning device is characterized in that it is provided with a cooling means for cooling the object to be cleaned by indirectly contacting a cooling medium with the cooling device.

【0014】請求項2に記載の発明は、請求項1におい
て、前記冷却手段は中空状のパイプを略格子状に屈曲形
成してなる冷却ジャケットであって、前記被洗浄物は洗
浄時においてその冷却ジャケットの格子部に脱落不能に
保持されるとしている。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the cooling means is a cooling jacket formed by bending a hollow pipe into a substantially lattice shape, and the object to be cleaned is cleaned at the time of cleaning. It is said that the cooling jacket is held on the lattice part so that it cannot fall off.

【0015】請求項3に記載の発明は、請求項1または
2において、前記冷却手段は洗浄時に揺動されるとして
いる。以下、本発明の「作用」を説明する。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the cooling means is swung during cleaning. Hereinafter, the "action" of the present invention will be described.

【0016】請求項1に記載の発明によると、洗浄時に
おいて冷却手段を被洗浄物に対して接触させた場合、被
洗浄物と冷却媒体との間で熱交換が行われる。具体的に
いうと、被洗浄物の熱が冷却手段の内部を流れる冷却媒
体によって奪われる。従って、被洗浄物の温度が周囲に
ある蒸気の温度よりも相対的に低くなり、この温度差に
よって被洗浄物の表面に結露が生じ、もって表面の汚れ
が除去される。
According to the first aspect of the invention, when the cooling means is brought into contact with the object to be cleaned during cleaning, heat exchange is performed between the object to be cleaned and the cooling medium. Specifically, the heat of the object to be cleaned is taken by the cooling medium flowing inside the cooling means. Therefore, the temperature of the object to be cleaned becomes relatively lower than the temperature of the surrounding steam, and the temperature difference causes dew condensation on the surface of the object to be cleaned, thereby removing the dirt on the surface.

【0017】この装置の構成であると、被洗浄物を冷却
しつつ被洗浄物に洗浄液の蒸気を当てることが可能であ
るため、蒸気と被洗浄物表面との温度差を保つことがで
きる。従って、被洗浄物の表面に結露が生じなくなり、
その時点で蒸気洗浄がストップしてしまうようなことが
ない。即ち、連続的に蒸気洗浄することが可能となり、
洗浄効率も向上する。また、被洗浄物の熱容量の大小に
よって洗浄度が変化しにくくなり、大物・小物を問わず
蒸気洗浄が可能となる。
According to this apparatus, the cleaning liquid vapor can be applied to the cleaning object while cooling the cleaning object, so that the temperature difference between the vapor and the surface of the cleaning object can be maintained. Therefore, dew condensation does not occur on the surface of the object to be cleaned,
At that point, steam cleaning will not stop. That is, it becomes possible to continuously perform steam cleaning,
Cleaning efficiency is also improved. In addition, the degree of cleaning is less likely to change depending on the heat capacity of the object to be cleaned, and steam cleaning is possible regardless of whether it is large or small.

【0018】さらに、この装置であると、浸漬洗浄槽と
蒸気洗浄槽とを別個に設ける必要がないため、装置の小
型化を達成することができる。加えて、洗浄時において
被洗浄物の移動を伴わないので、大物の蒸気洗浄が可能
となる。
Further, with this apparatus, it is not necessary to separately provide the immersion cleaning tank and the steam cleaning tank, so that the apparatus can be downsized. In addition, since the object to be cleaned does not move during cleaning, it is possible to clean large steam.

【0019】また、この装置では洗浄槽を仕切る必要が
ないため、板状の被洗浄物以外のものについても適用す
ることができる。さらに、この装置では冷却媒体が被洗
浄物に直接的に当たらないので、被洗浄物に対する影響
の小さな冷却媒体を敢えて使用する必要もない。ゆえ
に、冷却媒体の選択の幅が広くなる。また、この装置で
は冷却媒体が被洗浄物に直接的に当たらないので、冷却
媒体が汚染されにくい。そのため、冷却媒体の交換を頻
繁に行う必要がなく、確実にコスト高を防止することが
できる。
Further, since it is not necessary to partition the cleaning tank in this apparatus, it is possible to apply it to something other than the plate-like object to be cleaned. Further, in this apparatus, since the cooling medium does not directly contact the object to be cleaned, it is not necessary to intentionally use the cooling medium which has a small influence on the object to be cleaned. Therefore, the selection range of the cooling medium is widened. Further, in this device, the cooling medium does not directly contact the object to be cleaned, so that the cooling medium is less likely to be contaminated. Therefore, it is not necessary to frequently replace the cooling medium, and it is possible to reliably prevent cost increase.

【0020】請求項2に記載の発明によると、冷却ジャ
ケットの格子部によって被洗浄物が脱落不能に保持され
た状態で、洗浄溶媒の蒸気がその被洗浄物に対して処理
される。このとき、被洗浄物の熱は格子部を構成するパ
イプの周面を介して内部を流れる冷却媒体に伝導し、結
果として被洗浄物が冷却される。また、前記冷却ジャケ
ットはパイプを略格子状に屈曲形成してなるものである
ため、形成も比較的簡単でありかつ低コスト化に向いて
いる。加えて、冷却ジャケットが略格子状であると洗浄
液の蒸気を殆ど遮らないため、被洗浄物全体に蒸気が当
たりやすくなる。ゆえに、未洗浄部が生じにくくなり、
高度な蒸気洗浄が実現される。
According to the second aspect of the present invention, the cleaning solvent vapor is treated with respect to the object to be cleaned while the object to be cleaned is held by the lattice portion of the cooling jacket so as not to fall off. At this time, the heat of the object to be cleaned is conducted to the cooling medium flowing inside through the peripheral surface of the pipe forming the lattice, and as a result, the object to be cleaned is cooled. Further, since the cooling jacket is formed by bending the pipe in a substantially lattice shape, it is relatively easy to form and is suitable for cost reduction. In addition, if the cooling jacket has a substantially lattice shape, the vapor of the cleaning liquid is hardly blocked, and the vapor is likely to hit the entire object to be cleaned. Therefore, unwashed parts are less likely to occur,
A high degree of steam cleaning is realized.

【0021】請求項3に記載の発明によると、冷却手段
を洗浄時に揺動すると、汚れを含んだ洗浄液が被洗浄物
の表面から流れ落ちる。ゆえに、被洗浄物に対する汚れ
の再付着が防止され、より高度な蒸気洗浄を達成するこ
とができる。なお、前記請求項2の発明において、揺動
時に被洗浄物と格子部との接触点が変更しうるように構
成されていることが好ましい。この構成であると、洗浄
液の蒸気が被洗浄物に対して満遍なく当たるため、未洗
浄部がよりいっそう生じにくくなる。
According to the third aspect of the present invention, when the cooling means is swung during cleaning, the cleaning liquid containing dirt flows down from the surface of the object to be cleaned. Therefore, reattachment of dirt to the object to be cleaned can be prevented, and more advanced steam cleaning can be achieved. In the invention of the second aspect, it is preferable that the contact point between the object to be cleaned and the lattice portion can be changed when swinging. With this configuration, the vapor of the cleaning liquid hits the object to be cleaned evenly, so that the uncleaned portion is more difficult to occur.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態の連続蒸気洗浄装置1を図1〜図4に基づき詳細に
説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A continuous steam cleaning apparatus 1 embodying the present invention will be described in detail below with reference to FIGS.

【0023】本実施形態の連続蒸気洗浄装置1は、大ま
かにいって、洗浄カゴ2、洗浄カゴ支持フレーム3、揺
動装置としてエアシリンダ4、不凍液・温水供給機5、
蒸気発生機6、洗浄液噴射用ノズル7、洗浄液圧送ポン
プ8、汚液ケース9等を備えている。
The continuous steam cleaning apparatus 1 of the present embodiment roughly includes a cleaning basket 2, a cleaning basket support frame 3, an air cylinder 4 as an oscillating device, an antifreeze / hot water supply device 5,
It is provided with a steam generator 6, a cleaning liquid injection nozzle 7, a cleaning liquid pressure feed pump 8, a waste liquid case 9, and the like.

【0024】まず、冷却媒体等循環系について説明す
る。図2に示されるように、不凍液・温水供給機5は、
配管としての樹脂製ホース10,11を介して洗浄カゴ
2と連結されている。従って、不凍液・温水供給機5内
の不凍液または温水は、樹脂製ホース10→洗浄カゴ2
→樹脂製ホース11という順に移動して、再び不凍液・
温水供給機5内に戻ってくる。なお、不凍液は蒸気洗浄
時において洗浄カゴ2に供給され、温水は蒸気洗浄完了
後において洗浄カゴ2に供給される。
First, the circulation system for the cooling medium will be described. As shown in FIG. 2, the antifreeze / hot water feeder 5 is
It is connected to the cleaning basket 2 via resin hoses 10 and 11 as pipes. Therefore, the antifreeze liquid or the hot water in the antifreeze liquid / hot water supply device 5 is supplied from the resin hose 10 to the cleaning basket 2
→ Move in the order of the resin hose 11 and
It returns to the inside of the hot water supplier 5. The antifreeze liquid is supplied to the cleaning basket 2 during the steam cleaning, and the hot water is supplied to the cleaning basket 2 after the steam cleaning is completed.

【0025】次に、洗浄液循環系について説明する。図
2に示されるように、蒸気発生機6の出口側は、配管1
2を介して複数本のノズル7に連結されている。本実施
形態では、途中で分岐しているフレキシブルな金属製チ
ューブ12が前記配管12として使用されている。各ノ
ズル7の先端は、支持フレーム3の下端に揺動可能に設
けられた洗浄カゴ2に向けられている。前記ノズル7の
下方には、汚液ケース9が設置されている。この汚液ケ
ース9は、配管としての金属製チューブ13を介して蒸
気発生機6の入口側に連結されている。また、前記チュ
ーブ13の途上にはポンプ8が設けられている。
Next, the cleaning liquid circulation system will be described. As shown in FIG. 2, the outlet side of the steam generator 6 is connected to the pipe 1
It is connected to the plurality of nozzles 7 via 2. In the present embodiment, a flexible metal tube 12 branched in the middle is used as the pipe 12. The tip of each nozzle 7 is directed to the cleaning basket 2 that is swingably provided on the lower end of the support frame 3. Below the nozzle 7, a waste liquid case 9 is installed. The waste liquid case 9 is connected to the inlet side of the steam generator 6 via a metal tube 13 as a pipe. A pump 8 is provided on the way of the tube 13.

【0026】蒸気発生機6内には、液状の洗浄液W1 を
加熱によって気化するヒータ17が設けられている。本
実施形態では、代替フロン「HCFC−225」(商品
名,AK−225旭硝子社製)が洗浄液W1 として使用
されている。勿論、HCFC−225以外の代替フロ
ン、例えばPFC,HFC,HCFC−141b等を洗
浄液W1 として使用することも可能である。さらには、
IPA(イソプロピルアルコール)等のアルコール類
や、炭化水素系溶剤を使用することもできる。
Inside the steam generator 6, there is provided a heater 17 for vaporizing the liquid cleaning liquid W1 by heating. In this embodiment, an alternative CFC "HCFC-225" (trade name, manufactured by AK-225 Asahi Glass Co., Ltd.) is used as the cleaning liquid W1. Of course, it is also possible to use an alternative CFC other than HCFC-225, such as PFC, HFC, HCFC-141b, etc., as the cleaning liquid W1. Furthermore,
Alcohols such as IPA (isopropyl alcohol) and hydrocarbon solvents can also be used.

【0027】ヒータ17の加熱により蒸気となった洗浄
液W1 は、チューブ12を通り抜けた後、各ノズル7の
先端から噴射される。その結果、洗浄カゴ2及びそれに
保持されている被洗浄物18に対して、洗浄液W1 が処
理される。図3,図4には、円筒状のスリーブ部材18
aと段付きのディスク状部材18bとによって構成され
た被洗浄物18が例示されている。洗浄カゴ2等から滴
り落ちる汚れた洗浄液W1 は、汚液ケース9によって回
収される。回収された洗浄液W1 は、チューブ13上の
ポンプ8によって圧送されることにより、再び蒸気発生
機6内に戻される。
The cleaning liquid W1 which has been vaporized by heating the heater 17 passes through the tube 12 and is then jetted from the tip of each nozzle 7. As a result, the cleaning liquid W1 is processed on the cleaning basket 2 and the object to be cleaned 18 held therein. 3 and 4, the cylindrical sleeve member 18 is shown.
An object to be cleaned 18 composed of a and a stepped disc-shaped member 18b is illustrated. The dirty cleaning liquid W1 dripping from the cleaning basket 2 or the like is collected by the dirty liquid case 9. The collected cleaning liquid W1 is pumped by the pump 8 on the tube 13 to be returned into the steam generator 6 again.

【0028】次に、洗浄カゴ2の構成等について述べ
る。図1(a),図1(b)に示されるように、本実施
形態の洗浄カゴ2は、固定フレーム21と、冷却手段と
しての冷却ジャケット22とによって構成されている。
冷却ジャケット22は、冷却媒体循環用のパイプP1 を
略格子状に屈曲形成してなるものである。本実施形態で
は、直径3mmで肉厚0.3mmの中空状ステンレス製のパ
イプP1 を使用し、それを縦240mm×横270mmとな
るように屈曲形成している。冷却ジャケット22は、複
数箇所に正方形状の格子部G1 を有している。これらの
格子部G1 内には、図4に示されるように、被洗浄物1
8のスリーブ部材18aが遊嵌されるようになってい
る。その結果、被洗浄物18が洗浄時においてその冷却
ジャケット22に脱落不能に保持される。ただし、被洗
浄物18と格子部G1 との接触点は、揺動時においてあ
る程度変更するようになっている(図4参照)。
Next, the structure of the cleaning basket 2 will be described. As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), the cleaning basket 2 of the present embodiment is composed of a fixed frame 21 and a cooling jacket 22 as cooling means.
The cooling jacket 22 is formed by bending a pipe P1 for circulating a cooling medium into a substantially lattice shape. In the present embodiment, a hollow stainless steel pipe P1 having a diameter of 3 mm and a wall thickness of 0.3 mm is used, and is bent to have a length of 240 mm and a width of 270 mm. The cooling jacket 22 has square lattice portions G1 at a plurality of locations. As shown in FIG. 4, the object to be cleaned 1 is placed in these grid portions G1.
The eight sleeve members 18a are loosely fitted. As a result, the object to be cleaned 18 is held in the cooling jacket 22 so as not to fall off during cleaning. However, the contact point between the object to be cleaned 18 and the lattice portion G1 is changed to some extent during swinging (see FIG. 4).

【0029】ここで、中空状としたのは、内部に冷却媒
体等の流体を循環させることができるからである。パイ
プP1 用の材料としてステンレスを選択した理由は、加
工性、コスト性及び強度に優れるばかりでなく、各種の
液体に対する耐性にも優れるからである。また、ステン
レス等といった金属を選択した理由は、樹脂等に比べて
熱伝導性が高いため熱伝導効率の向上を図ることができ
るからである。さらに、洗浄カゴ2を格子状にした理由
は、複数の格子部G1 に被洗浄物18を確実に保持する
ことができるとともに、被洗浄物18との接触面積を極
力少なくすることができるからである。
Here, the reason why it is hollow is that a fluid such as a cooling medium can be circulated inside. The reason why stainless steel is selected as the material for the pipe P1 is not only excellent workability, cost performance and strength, but also excellent resistance to various liquids. The reason for selecting a metal such as stainless steel is that the heat conductivity is higher than that of the resin and the like, so that the heat conduction efficiency can be improved. Further, the reason why the cleaning basket 2 is formed in a lattice shape is that the object 18 to be cleaned can be reliably held in the plurality of lattice portions G1 and the contact area with the object 18 to be cleaned can be minimized. is there.

【0030】前記冷却ジャケット22は、固定フレーム
21の下側に固定されている。固定フレーム21の中央
部両側には、揺動中心となる支軸23が突設されてい
る。これらの支軸23は、支持フレーム3の下端に設け
られた軸受部分に支承されている。また、固定フレーム
21の両端部には、冷却カゴ2の移送の際に使用される
把手24がそれぞれ設けられている。固定フレーム21
の一方の端部にはロッド取付片25が設けられており、
このロッド取付片25にはロッド4aの先端が固定され
ている。従って、エアシリンダ4が伸縮すると、冷却カ
ゴ2全体が支軸23を中心として揺動するようになって
いる。本実施形態では、揺動角が±45°に設定されて
いる。
The cooling jacket 22 is fixed to the lower side of the fixed frame 21. On both sides of the central portion of the fixed frame 21, support shafts 23 serving as swing centers are provided in a protruding manner. These support shafts 23 are supported by bearing portions provided at the lower end of the support frame 3. Further, handles 24 used when the cooling basket 2 is transferred are provided at both ends of the fixed frame 21, respectively. Fixed frame 21
A rod mounting piece 25 is provided at one end of
The tip of the rod 4a is fixed to the rod mounting piece 25. Therefore, when the air cylinder 4 expands and contracts, the entire cooling basket 2 swings around the support shaft 23. In this embodiment, the swing angle is set to ± 45 °.

【0031】このように構成された連続蒸気洗浄装置1
の使用方法について説明する。まず最初に、冷却カゴ2
に複数個の被洗浄物18をセットした後、エアシリンダ
4を駆動して冷却カゴ2を揺動させておく。
A continuous steam cleaning apparatus 1 constructed in this way
How to use is explained. First of all, the cooling basket 2
After setting a plurality of objects 18 to be cleaned, the air cylinder 4 is driven to rock the cooling basket 2.

【0032】次に、冷却媒体等循環系を駆動することに
より、冷却ジャケット22内に不凍液(本実施形態で
は、エチレングリコール50%,水50%の液)を供給
する。不凍液の温度は、洗浄液W1 の沸点よりも数十℃
ほど低い温度に設定される。その結果、冷却ジャケット
22を構成するパイプP1 の温度が低くなる。
Next, the antifreeze liquid (50% ethylene glycol and 50% water in this embodiment) is supplied into the cooling jacket 22 by driving the circulation system such as the cooling medium. The temperature of the antifreeze liquid is several tens of degrees Celsius higher than the boiling point of the cleaning liquid W1.
It is set to a low temperature. As a result, the temperature of the pipe P1 forming the cooling jacket 22 becomes low.

【0033】そして、この冷えたパイプP1 と被洗浄物
18とは接触した状態にあるため、両者の間で熱交換が
行われる。具体的にいうと、被洗浄物18の熱が冷却ジ
ャケット22の内部を流れる不凍液によって奪われる。
Since the cold pipe P1 and the object to be cleaned 18 are in contact with each other, heat is exchanged between them. Specifically, the heat of the object to be cleaned 18 is taken by the antifreeze liquid flowing inside the cooling jacket 22.

【0034】続いて、洗浄液循環系を駆動することによ
りノズル7から洗浄液W1 の蒸気を噴射させ、蒸気を被
洗浄物18の外表面に付着させる。このとき、被洗浄物
18の外表面温度と蒸気温との間にはいくらかの温度差
がある。そして、この温度差に起因して被洗浄物18の
外表面に結露が生じ、もって外表面の汚れが除去される
ようになっている。
Then, by driving the cleaning liquid circulation system, the steam of the cleaning liquid W1 is jetted from the nozzle 7 to adhere the steam to the outer surface of the object to be cleaned 18. At this time, there is some temperature difference between the outer surface temperature of the object to be cleaned 18 and the steam temperature. Then, due to this temperature difference, dew condensation occurs on the outer surface of the object to be cleaned 18, so that the dirt on the outer surface is removed.

【0035】所定時間のあいだ蒸気洗浄を行った後、不
凍液の供給及び洗浄液W1 の供給をストップし、被洗浄
物18を乾燥させる。このとき、不凍液・温水供給機5
内の図示しないバルブを切り換えることにより、不凍液
に代えて温水を洗浄カゴ2に供給する。その結果、被洗
浄物18の温度が高くなり、乾燥時間の短縮化が図られ
る。
After the steam cleaning is performed for a predetermined time, the supply of the antifreeze liquid and the supply of the cleaning liquid W1 are stopped, and the object to be cleaned 18 is dried. At this time, the antifreeze / hot water feeder 5
By switching a valve (not shown) therein, hot water is supplied to the cleaning basket 2 in place of the antifreeze liquid. As a result, the temperature of the object to be cleaned 18 rises, and the drying time can be shortened.

【0036】以下、上記の連続蒸気洗浄装置1を用いて
行った洗浄試験の結果を説明する。ここでは、外表面に
加工油や加工屑が付着した状態であって比較的小物の被
洗浄物18(ディスク状部材18bの直径が約40mm)
を用いた。なお、蒸気洗浄の条件は下記の通りである。
The results of the cleaning test conducted using the continuous steam cleaning apparatus 1 will be described below. Here, a relatively small object to be cleaned 18 (the diameter of the disk-shaped member 18b is about 40 mm) with the processing oil and processing waste attached to the outer surface.
Was used. The conditions for steam cleaning are as follows.

【0037】・蒸気温度 50℃(但しHCF
C−225の沸点は54℃), ・蒸気の処理時間 30分, ・蒸気の供給量 10リットル/時間, ・ヒータの容量 1kW, ・不凍液の温度 0℃, ・冷却時間 30分, ・不凍液の供給量 3リットル/分, ・温水の温度 60℃, ・乾燥時間 5分 ・温水の供給量 3リットル/分. 上記の条件で試験的に蒸気洗浄を行ったところ、被洗浄
物18の外表面には絶えず結露が生じることが確認され
た。よって、従来とは異なり長時間にわたる蒸気洗浄が
可能であった。そして、蒸気洗浄された被洗浄物18を
観察したところ、未洗浄部の発生は認められなかった。
また、四塩化炭素、純水で汚れの度合いを測定した結
果、以下の通りであった。
-Steam temperature 50 ° C (however, HCF
The boiling point of C-225 is 54 ° C) ・ Steam processing time 30 minutes ・ Steam supply amount 10 liters / hour ・ Heater capacity 1 kW ・ Antifreeze temperature 0 ° C ・ Cooling time 30 minutes ・ Antifreeze Supply amount 3 liters / minute, -Hot water temperature 60 ° C, -Drying time 5 minutes-Hot water supply amount 3 liters / minute. When steam cleaning was carried out on a trial basis under the above conditions, it was confirmed that dew was constantly generated on the outer surface of the object to be cleaned 18. Therefore, unlike the prior art, it was possible to perform steam cleaning for a long time. Then, when the object 18 to be cleaned that had been steam-cleaned was observed, no uncleaned portion was found.
Further, the results of measuring the degree of contamination with carbon tetrachloride and pure water were as follows.

【0038】・加工油 洗浄前において付着量が50
0mg/個であったのに対して、洗浄後においては0.
12mg/個に減少。 ・加工屑 洗浄後には全く検出されず。
Processing oil: Adhesion amount is 50 before cleaning
While it was 0 mg / piece, it was 0.
Reduced to 12 mg / piece.・ Processing waste No detection after cleaning.

【0039】以上の結果からも明らかなように、被洗浄
物18は確実に洗浄されていることが確認されるに到っ
た。さて、本実施形態において特徴的な作用効果を列挙
する。
As is clear from the above results, it has been confirmed that the object to be cleaned 18 is certainly cleaned. Now, the characteristic effects of the present embodiment will be listed.

【0040】(イ)この連続蒸気洗浄装置1では、被洗
浄物18を冷却しつつ被洗浄物18に洗浄液W1 の蒸気
を当てることが可能であり、蒸気と被洗浄物18の外表
面との温度差を保つことができる。従って、被洗浄物1
8の外表面に結露が生じなくなり、その時点で蒸気洗浄
がストップしてしまうようなことがない。即ち、連続的
に蒸気洗浄することが可能となり、洗浄効率の向上が図
られる。また、被洗浄物18の熱容量の大小によって洗
浄度が変化しにくくなることから、大物・小物を問わず
蒸気洗浄が可能となる。
(A) In the continuous steam cleaning apparatus 1, it is possible to apply the steam of the cleaning liquid W1 to the object to be cleaned 18 while cooling the object to be cleaned 18, and the steam and the outer surface of the object to be cleaned 18 are separated. The temperature difference can be maintained. Therefore, the object to be cleaned 1
Condensation does not occur on the outer surface of 8, and steam cleaning does not stop at that point. That is, the steam cleaning can be continuously performed, and the cleaning efficiency can be improved. Further, since the degree of cleaning is less likely to change depending on the size of the heat capacity of the object to be cleaned 18, it is possible to perform steam cleaning regardless of whether it is large or small.

【0041】(ロ)この装置1であると、従来とは異な
り浸漬洗浄槽と蒸気洗浄槽とを別個に設ける必要がない
ため、装置1の小型化を達成することができる。加え
て、洗浄時において被洗浄物18の移動を伴わないの
で、たとえ大物であってもその蒸気洗浄が可能となる。
なお、本実施形態の装置1では、洗浄カゴ2に対して不
凍液を供給した後、バルブ切換によってそのままの状態
で温水を供給することとしている。ゆえに、乾燥室を別
個に設ける必要がなくなり、その点に関しても小型化に
適した構成となっている。
(B) With this device 1, it is not necessary to separately provide an immersion cleaning tank and a steam cleaning tank, which is different from the conventional case, so that the apparatus 1 can be downsized. In addition, since the object to be cleaned 18 does not move during cleaning, even a large object can be steam cleaned.
In the apparatus 1 of the present embodiment, after supplying the antifreeze liquid to the cleaning basket 2, the hot water is supplied in that state by switching the valve. Therefore, it is not necessary to separately provide a drying chamber, and in this respect also, the configuration is suitable for downsizing.

【0042】(ハ)この装置1では、従来とは異なり洗
浄槽を仕切って2室に区画する必要がないため、図3に
示されるような板状でない被洗浄物18についても適用
することができる。従って、基本的には被洗浄物18の
形状を問わないという利点がある。
(C) In this device 1, unlike the prior art, it is not necessary to partition the cleaning tank into two chambers, so that it can be applied to a non-plate-shaped object to be cleaned 18 as shown in FIG. it can. Therefore, there is basically an advantage that the shape of the object to be cleaned 18 does not matter.

【0043】(ニ)この装置1では冷却媒体である不凍
液が被洗浄物18に直接的に当たらないので、被洗浄物
18に対する影響の小さな冷却媒体を敢えて使用する必
要もない。ゆえに、冷却媒体の選択の幅が確実に広くな
る。また、この装置1では冷却媒体が被洗浄物18に直
接的に当たらないので、冷却媒体が汚染されにくい。そ
のため、冷却媒体の交換を頻繁に行う必要がなく、確実
にコスト高を防止することができる。
(D) In this device 1, since the antifreezing liquid, which is the cooling medium, does not directly contact the object to be cleaned 18, it is not necessary to intentionally use a cooling medium that has a small effect on the object to be cleaned 18. Therefore, the selection range of the cooling medium is surely widened. Further, in this device 1, the cooling medium does not directly contact the object to be cleaned 18, so that the cooling medium is less likely to be contaminated. Therefore, it is not necessary to frequently replace the cooling medium, and it is possible to reliably prevent cost increase.

【0044】(ホ)この装置1によると、冷却ジャケッ
ト22の格子部G1 によって被洗浄物18が脱落不能に
保持された状態で、洗浄液W1 の蒸気がその被洗浄物1
8に対して処理される。このとき、被洗浄物18の熱は
格子部G1 を構成するパイプP1 の周面を介して不凍液
に伝導し、結果として被洗浄物18が冷却される。ま
た、冷却ジャケット22はパイプP1 を略格子状に屈曲
形成してなるものであるため、形成も比較的簡単であり
かつ低コスト化に向いている。加えて、冷却ジャケット
22が略格子状であると洗浄液W1 の蒸気を殆ど遮らな
いため、被洗浄物18全体に蒸気が当たりやすくなる。
ゆえに、未洗浄部が生じにくくなり、高度な蒸気洗浄を
実現することができる。
(E) According to this apparatus 1, the vapor of the cleaning liquid W1 is kept in a state in which the object to be cleaned 18 is held by the lattice portion G1 of the cooling jacket 22 so as not to fall off.
8 are processed. At this time, the heat of the object to be cleaned 18 is conducted to the antifreeze through the peripheral surface of the pipe P1 forming the lattice portion G1, and as a result, the object to be cleaned 18 is cooled. Further, since the cooling jacket 22 is formed by bending the pipe P1 into a substantially lattice shape, the cooling jacket 22 is relatively easy to form and is suitable for cost reduction. In addition, when the cooling jacket 22 has a substantially lattice shape, the vapor of the cleaning liquid W1 is hardly blocked, so that the vapor can easily hit the entire object to be cleaned 18.
Therefore, an uncleaned portion is less likely to occur, and advanced steam cleaning can be realized.

【0045】(ヘ)この装置1によると、洗浄時に冷却
カゴ2が洗浄時に揺動するようになっているため、汚れ
を含んだ洗浄液W1 の結露が被洗浄物18の外表面から
流れ落ちる。ゆえに、被洗浄物18に対する汚れの再付
着が防止され、より高度な蒸気洗浄を達成することがで
きる。また、この実施形態では、揺動時に被洗浄物18
と格子部G1 との接触点が変更するように構成されてい
る。ゆえに、洗浄液W1 の蒸気が被洗浄物18に対して
満遍なく当たる。このことも未洗浄部の発生防止に役立
っている。
(F) According to this apparatus 1, since the cooling basket 2 is swung during cleaning, dew condensation of the cleaning liquid W1 containing dirt flows down from the outer surface of the object to be cleaned 18. Therefore, reattachment of dirt to the object to be cleaned 18 is prevented, and a higher degree of steam cleaning can be achieved. Further, in this embodiment, the object to be cleaned 18 is shaken at the time of rocking.
The contact point between the grid portion G1 and the grid portion G1 is changed. Therefore, the vapor of the cleaning liquid W1 hits the object to be cleaned 18 evenly. This also helps prevent the generation of uncleaned portions.

【0046】なお、本発明は例えば次のように変更する
ことが可能である。 (1)図5,図6に示される別例の連続蒸気洗浄装置3
1は、大物の被洗浄物(同図ではチューブ状部材)32
を洗浄するのに特に適した構造となっている。冷却手段
としての冷却ジャケット33は、被洗浄物18の周面の
半分に沿うような形状となるように前記パイプP1 を屈
曲形成してなるものである。かかる構成であっても、被
洗浄物18を冷却しつつそれに洗浄液W1 の蒸気を当て
ることが可能であるため、連続的に蒸気洗浄することが
可能である。
The present invention can be modified, for example, as follows. (1) Another example of continuous steam cleaning apparatus 3 shown in FIGS.
1 is a large object to be cleaned (a tubular member in the figure) 32
The structure is particularly suitable for cleaning the. The cooling jacket 33 as cooling means is formed by bending the pipe P1 so as to have a shape that extends along a half of the peripheral surface of the object to be cleaned 18. Even with such a configuration, since it is possible to apply the steam of the cleaning liquid W1 to the object to be cleaned 18 while cooling it, it is possible to continuously perform the steam cleaning.

【0047】(2)冷却手段として実施形態1のような
冷却ジャケット22を使用することに代え、例えば以下
のようにしてもよい。銅板等のような高熱伝導体を冷却
手段とし、その高熱伝導体を洗浄時に被洗浄物18に対
して接触させる。この場合、銅線を材料としてカゴ状の
高熱伝導体を屈曲形成してもよい。そして、この高熱伝
導体の一部を洗浄液W1 に晒されない領域まで引き出し
て冷却する。すると、高熱伝導体の全体が冷却され、被
洗浄物18との接触部の温度も低下する。その結果、被
洗浄物18が間接的に冷却され、そこに結露を発生させ
ることができる。
(2) Instead of using the cooling jacket 22 as in the first embodiment as the cooling means, for example, the following may be performed. A high thermal conductor such as a copper plate is used as a cooling means, and the high thermal conductor is brought into contact with the object to be cleaned 18 during cleaning. In this case, a basket-shaped high thermal conductor may be formed by bending using a copper wire as a material. Then, a part of this high thermal conductor is drawn out to a region not exposed to the cleaning liquid W1 and cooled. Then, the entire high thermal conductor is cooled, and the temperature of the contact portion with the object to be cleaned 18 is also lowered. As a result, the object to be cleaned 18 is indirectly cooled and dew condensation can be generated there.

【0048】(3)エアシリンダ4以外のアクチュエー
タを用いて洗浄カゴ2を揺動させてもよい。 (4)金属製パイプP1 の外表面において被洗浄物18
と接触しうる部分は、フッ素樹脂等からなる膜で被覆さ
れていることが好ましい。このようにすると、非接触部
分における外表面温度の低下が防止され、冷却効率の向
上を図ることができる。
(3) The cleaning basket 2 may be swung by using an actuator other than the air cylinder 4. (4) The object to be cleaned 18 on the outer surface of the metal pipe P1
The part that can come into contact with is preferably covered with a film made of fluororesin or the like. By doing so, it is possible to prevent the outer surface temperature from decreasing in the non-contact portion, and to improve the cooling efficiency.

【0049】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される
技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 (1) 請求項1〜3のいずれかにおいて、前記冷却手
段において前記被洗浄物と接触しうる部分は、同冷却手
段の主形成材料に比較して熱伝導性の低い材料からなる
膜によって被覆されていることを特徴とする蒸気洗浄装
置。この構成であると、接触部分における外表面温度が
低下する反面、非接触部分における外表面温度の低下が
防止される。よって、冷却効率が向上し、ひいては低コ
スト化が図られる。
Here, in addition to the technical ideas described in the claims, the technical ideas grasped by the above-described embodiments are listed below together with their effects. (1) In any one of claims 1 to 3, a portion of the cooling means that can come into contact with the object to be cleaned is covered with a film made of a material having a lower thermal conductivity than a main forming material of the cooling means. A steam cleaning device characterized in that With this configuration, the outer surface temperature of the contact portion decreases, while the outer surface temperature of the non-contact portion is prevented from decreasing. Therefore, the cooling efficiency is improved, and eventually the cost is reduced.

【0050】(2) 被洗浄物を洗浄液の蒸気で洗浄す
る蒸気洗浄装置において、前記蒸気洗浄装置は高熱伝導
体を冷却手段として備えており、その高熱伝導体は洗浄
時に前記被洗浄物に対して接触し、間接的に同被洗浄物
を冷却するように構成されていることを特徴とする蒸気
洗浄装置。この構成であると、小型で冷却媒体の選択の
幅が広く、しかも低コストで洗浄効率にも優れた蒸気洗
浄装置を提供することができる。
(2) In a steam cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned with the steam of the cleaning liquid, the steam cleaning apparatus includes a high thermal conductor as a cooling means, and the high thermal conductor protects the object to be cleaned at the time of cleaning. The steam cleaning apparatus is configured so as to come into contact with each other and indirectly cool the object to be cleaned. With this configuration, it is possible to provide a steam cleaning device that is small in size, has a wide selection of cooling media, is low in cost, and has excellent cleaning efficiency.

【0051】(3) その内部に冷却媒体が循環されう
るパイプを略格子状に屈曲形成してなり、その格子部に
は被洗浄物が保持されうるように構成されていることを
特徴とする蒸気洗浄装置用の冷却ジャケット。このよう
な構成の冷却ジャケットを使用すれば、本発明の優れた
蒸気洗浄装置を容易にかつ確実に実現することができ
る。
(3) A pipe in which a cooling medium can be circulated is bent and formed in a substantially lattice shape, and an object to be cleaned is held in the lattice portion. Cooling jacket for steam cleaning equipment. By using the cooling jacket having such a configuration, the excellent steam cleaning apparatus of the present invention can be easily and surely realized.

【0052】(4) 被洗浄物に対して冷却媒体を間接
的に接触させることにより同被洗浄物を冷却しつつ、前
記被洗浄物を洗浄液の蒸気で洗浄することを特徴とする
蒸気洗浄方法。この方法であると、蒸気と被洗浄物表面
との温度差を保つことができるため、連続的に蒸気洗浄
することが可能となり洗浄効率も向上する。また、冷却
媒体の選択の幅の拡大及び低コスト化等も達成すること
ができる。
(4) A steam cleaning method characterized in that the object to be cleaned is cleaned with the steam of the cleaning liquid while cooling the object to be cleaned by indirectly contacting the object to be cleaned with a cooling medium. . With this method, the temperature difference between the steam and the surface of the object to be cleaned can be maintained, so that continuous steam cleaning is possible and cleaning efficiency is also improved. Further, it is possible to expand the selection range of the cooling medium and reduce the cost.

【0053】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「冷却媒体: 不凍液等のような液体をいうほか、気体
その他の流体をも含む。」
The technical terms used in this specification are defined as follows. "Cooling medium: In addition to liquids such as antifreeze, it also includes gases and other fluids."

【0054】[0054]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項1〜3に記
載の発明によれば、小型で冷却媒体の選択の幅が広く、
しかも低コストで洗浄効率にも優れた蒸気洗浄装置を提
供することができる。
As described above in detail, according to the inventions described in claims 1 to 3, the size is small and the selection range of the cooling medium is wide.
Moreover, it is possible to provide a vapor cleaning device that is low in cost and excellent in cleaning efficiency.

【0055】請求項2に記載の発明によれば、冷却ジャ
ケットを比較的簡単に形成することができるため低コス
ト化を達成することができ、かつ被洗浄物全体に蒸気が
当たりやすくなるため高度な蒸気洗浄を実現することが
できる。
According to the second aspect of the present invention, since the cooling jacket can be formed relatively easily, the cost can be reduced, and the entire object to be cleaned is likely to be exposed to steam, so that it is highly advanced. It is possible to realize excellent steam cleaning.

【0056】請求項3に記載の発明によれば、被洗浄物
に対する汚れの再付着が防止されるため、より高度な蒸
気洗浄を実現することができる。
According to the third aspect of the present invention, since redeposition of dirt on the object to be cleaned is prevented, it is possible to realize a higher degree of steam cleaning.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は一実施形態における連続蒸気洗浄装置
の冷却手段の正面図、(b)はその平面図。
FIG. 1A is a front view of a cooling means of a continuous steam cleaning apparatus according to an embodiment, and FIG. 1B is a plan view thereof.

【図2】連続蒸気洗浄装置の全体概略図。FIG. 2 is an overall schematic view of a continuous steam cleaning apparatus.

【図3】被洗浄物の斜視図。FIG. 3 is a perspective view of an object to be cleaned.

【図4】被洗浄物を冷却手段に固定して洗浄を実施して
いる状態を示す要部拡大断面図。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of an essential part showing a state in which an object to be cleaned is fixed to a cooling unit and cleaning is performed.

【図5】別例の連続蒸気洗浄装置の要部を示す概略正面
図。
FIG. 5 is a schematic front view showing a main part of another example of a continuous steam cleaning apparatus.

【図6】同連続蒸気洗浄装置の要部を示す概略断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the main parts of the continuous steam cleaning apparatus.

【図7】従来例の蒸気洗浄装置を示す概略図。FIG. 7 is a schematic diagram showing a conventional vapor cleaning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,31…(連続)蒸気洗浄装置、18,32…被洗浄
物、21,33…冷却手段としての冷却ジャケット、P
1 …冷却媒体循環用のパイプ、G1 …格子部、W1 …洗
浄液。
1, 31 ... (Continuous) steam cleaning device, 18, 32 ... Object to be cleaned, 21, 33 ... Cooling jacket as cooling means, P
1 ... Pipe for circulating the cooling medium, G1 ... Lattice part, W1 ... Cleaning liquid.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被洗浄物を洗浄液の蒸気で洗浄する蒸気洗
浄装置において、洗浄時に前記被洗浄物に対して冷却媒
体を間接的に接触させることにより同被洗浄物を冷却す
る冷却手段を備えたことを特徴とする蒸気洗浄装置。
1. A steam cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned with a cleaning liquid vapor, comprising cooling means for cooling the object to be cleaned by indirectly contacting a cooling medium with the object to be cleaned at the time of cleaning. A steam cleaning device characterized in that
【請求項2】前記冷却手段は中空状のパイプを略格子状
に屈曲形成してなる冷却ジャケットであって、前記被洗
浄物は洗浄時においてその冷却ジャケットの格子部に脱
落不能に保持されることを特徴とする請求項1に記載の
蒸気洗浄装置。
2. The cooling means is a cooling jacket formed by bending a hollow pipe into a substantially grid shape, and the object to be cleaned is held in a grid part of the cooling jacket in a non-detachable manner during cleaning. The steam cleaning apparatus according to claim 1, wherein the steam cleaning apparatus is a steam cleaning apparatus.
【請求項3】前記冷却手段は洗浄時に揺動されることを
特徴とする請求項1または2に記載の蒸気洗浄装置。
3. The steam cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cooling means is swung during cleaning.
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