JPH09319090A - Photosensitive resin composition, photosensitive laminate and manufacture of flexible printing plate - Google Patents

Photosensitive resin composition, photosensitive laminate and manufacture of flexible printing plate

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JPH09319090A
JPH09319090A JP13340096A JP13340096A JPH09319090A JP H09319090 A JPH09319090 A JP H09319090A JP 13340096 A JP13340096 A JP 13340096A JP 13340096 A JP13340096 A JP 13340096A JP H09319090 A JPH09319090 A JP H09319090A
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JP
Japan
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photosensitive
resin composition
flexible printed
weight
printed board
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Pending
Application number
JP13340096A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumihiko Ota
文彦 太田
Ritsuko Obata
立子 小畑
Shinji Tsuchikawa
信次 土川
Hitoshi Amanokura
仁 天野倉
Kenji Suzuki
健司 鈴木
Hiroshi Nishizawa
広 西沢
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition superior in sensitivity and photocurability, capable of forming a pattern in high precision by photolithography and superior in folding resistance, solder resistance, flame retardancy, and coating operability on a film, and to provide a photosensitive laminate using this composition. SOLUTION: This photosensitive composition and the photosensitive laminate having a layer of this composition contain (A) an epoxy group-containing polyamide resin obtained by allowing a carboxylic acid-containing polyamide resin (c), obtained by reaction of a polycarboxylic acid component (a) composed essentially of polycarbonatediol-modified dicarboxylic acid and a diisocyanate (b), to react with an epoxy resin (d) in an equivalent ratio (d)/(c) of >=1, and (B) an epoxy resin, and (C) a cationic photopolymerization initiator.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成
物、これを用いた感光性積層体及びフレキシブルプリン
ト板の製造法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive laminate using the same, and a method for producing a flexible printed board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、フレキシブルプリント板の外層回
路保護には、ポリイミドフィルムを金型で打抜き、熱圧
着するカバーレイ、又はポリイミド樹脂のインクをスク
リーン印刷するカバーコートが用いられているが、前者
の場合、打抜きパターンの微細化に限界があり、狭ピッ
チ化するQFPパッド間のソルダダムへ適用できない、
また、張り合わせ時の位置精度にも限界があり、位置ず
れ裕度を考慮した回路設計が必要であるため、フレキシ
ブルプリント板を高密度化及び小型化できないという問
題があった。また、後者の場合、スクリーン印刷のため
同様にパターンの微細化に限界があり、また、作業性が
悪いという問題がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, a cover lay for punching a polyimide film with a die and thermocompression bonding or a cover coat for screen-printing an ink of a polyimide resin has been used for protecting an outer layer circuit of a flexible printed board. In the case of, there is a limit to the miniaturization of the punching pattern, and it cannot be applied to the solder dam between the QFP pads which has a narrow pitch.
Further, there is a limit to the positional accuracy at the time of laminating, and it is necessary to design a circuit in consideration of the positional deviation margin. Therefore, there is a problem that the flexible printed board cannot be made high in density and miniaturized. Further, in the latter case, there is a limit to pattern miniaturization due to screen printing, and there is a problem that workability is poor.

【0003】これらの問題を解決する方法として、各種
ポリアミック酸(ポリイミド前駆体)とエチレン性不飽
和基含有光橋架け剤と光重合開始剤とからなる感光性樹
脂組成物の層をフレキシブルプリント板上に形成し、露
光、現像、加熱により微細パターンを有するカバーレイ
を形成する方法が特開昭64−2037号、特開昭64
−484893号、特開平5−158237号及び特開
平6−298935号公報などに提案されている。しか
しながら、光線透過率の点からカバーレイに必要な十分
な厚みを確保できない、最終的にポリアミック酸を閉環
してポリイミド骨格にするため250℃以上の高温で加
熱する工程が必要であり、銅回路の酸化、接着剤層の劣
化、基板の反り等の問題があった。
As a method for solving these problems, a layer of a photosensitive resin composition comprising various polyamic acids (polyimide precursors), an ethylenically unsaturated group-containing photocrosslinking agent and a photopolymerization initiator is formed on a flexible printed board. A method of forming a cover lay having a fine pattern on the surface by exposing, developing and heating is disclosed in JP-A-64-2037 and JP-A-64-2037.
-484893, JP-A-5-158237 and JP-A-6-298935. However, from the viewpoint of light transmittance, a sufficient thickness required for the coverlay cannot be secured, and a step of heating at a high temperature of 250 ° C. or higher is required in order to finally ring-close the polyamic acid to form a polyimide skeleton. However, there are problems such as oxidation of the resin, deterioration of the adhesive layer and warpage of the substrate.

【0004】また、フレキシブルプリント板に熱可塑性
ポリイミドと非熱可塑性ポリイミドの二層構造のカバー
レイを熱圧着で形成し、その上にスクリーン印刷でレジ
ストパターンを形成してカバーレイをアルカリエッチで
パターニングする方法が特開平5−183260号公報
に、ポリアミック酸(ポリイミド前駆体)層と感光性樹
脂層の二層型フィルムをフレキシブルプリント板上にラ
ミネートし、まず、感光性樹脂層を露光、現像してパタ
ーンを形成した後、感光性樹脂層をエッチングレジスト
とし、引き続きポリアミック酸層をアルカリエッチでパ
ターニングする方法が特開平5−254064号公報に
提案されている。しかしながら、前者の方法では、スク
リーン印刷のためパターンの微細化に限界があり、また
作業性が悪く、二層構造のポリイミドフィルムのためコ
ストが高いという問題があり、後者の方法ではいわゆる
ウエットラミネーションが必要である、感光性樹脂層と
ポリアミック酸層の2回の現像プロセスが必要であるな
ど、作業性に問題があり、さらに最終的にポリアミック
酸を閉環してポリイミド骨格にするため250℃以上の
高温に加熱する工程が必要であり、銅回路の酸化、接着
剤層の劣化、基板の反り等の問題がある。
A cover layer having a two-layer structure of thermoplastic polyimide and non-thermoplastic polyimide is formed on a flexible printed board by thermocompression bonding, a resist pattern is formed on the cover layer by pattern printing, and the cover layer is patterned by alkali etching. The method described in JP-A-5-183260 discloses that a two-layer type film of a polyamic acid (polyimide precursor) layer and a photosensitive resin layer is laminated on a flexible printed board, and first, the photosensitive resin layer is exposed and developed. JP-A-5-254064 proposes a method in which a photosensitive resin layer is used as an etching resist after the pattern is formed, and then the polyamic acid layer is patterned by alkali etching. However, in the former method, there is a limit to the miniaturization of the pattern due to screen printing, and the workability is poor, and there is a problem that the cost is high because of the polyimide film having a two-layer structure. In the latter method, so-called wet lamination occurs. There is a problem in workability, such as the necessity of two development processes of the photosensitive resin layer and the polyamic acid layer, and moreover, in order to finally ring-close the polyamic acid into a polyimide skeleton, the temperature should be 250 ° C or higher. A step of heating to a high temperature is required, and there are problems such as oxidation of the copper circuit, deterioration of the adhesive layer, and warpage of the substrate.

【0005】一方、従来印刷配線板分野で主流を占めて
いるアクリル樹脂系の感光性フィルムをカバーレイに用
いたフレキシブルプリント板の製造方法が特開昭56−
6498号、特開昭59−230014号(特公昭61
−10484号)公報に提案されている。この方法で
は、従来の印刷配線板の分野で用いられてきたドライフ
ィルムタイプの永久マスクレジストと同様のプロセスで
容易にカバーレイを形成でき、かつ安価であるが、可撓
性と耐熱性、或いは可撓性と耐溶剤性の両立が十分でな
い。また、アクリル樹脂と特定のウレタンモノマーを組
み合わせてなる感光性フィルムをカバーレイフィルムに
用いることが特願平5−117523号公報に開示され
ているが、耐溶剤性、電気的信頼性が十分でない。さら
に、アクリル樹脂系感光性フィルムではいずれも難燃性
が十分でない。
On the other hand, there is disclosed a method for producing a flexible printed board using an acrylic resin type photosensitive film as a cover lay, which has been the mainstream in the conventional printed wiring board field.
6498, JP-A-59-230014 (JP-B-61)
-10484). In this method, a coverlay can be easily formed by a process similar to a dry film type permanent mask resist used in the field of conventional printed wiring boards, and it is inexpensive, but flexibility and heat resistance, or Compatibility between flexibility and solvent resistance is not sufficient. Further, it is disclosed in Japanese Patent Application No. 5-117523 that a photosensitive film formed by combining an acrylic resin and a specific urethane monomer is used as a coverlay film, but the solvent resistance and electrical reliability are not sufficient. . Furthermore, all of the acrylic resin type photosensitive films have insufficient flame retardancy.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】請求項1記載の発明
は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーに
よりパターンを効率よく形成でき、かつ、耐折性、はん
だ耐熱性、耐溶剤性、密着性及び難燃性に優れ、フィル
ム上への塗布作業性に優れた感光性樹脂組成物を提供す
るものである。請求項2記載の発明は、請求項1記載の
発明の効果を奏し、より耐折性、はんだ耐熱性に優れた
感光性樹脂組成物を提供するものである。
The invention according to claim 1 is excellent in sensitivity and photocurability, can form a pattern efficiently by photolithography, and has folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance, and adhesion. Provided is a photosensitive resin composition which has excellent properties and flame retardancy and is excellent in workability in coating on a film. The invention according to claim 2 provides the photosensitive resin composition which exhibits the effect of the invention according to claim 1 and is more excellent in folding resistance and solder heat resistance.

【0007】請求項3記載の発明は、感度及び光硬化性
に優れ、フォトリソグラフィーによりパターンを効率よ
く形成でき、かつ、耐折性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、
密着性及び難燃性に優れ、取扱性、基板への積層作業性
に優れた感光性積層体を提供するものである。請求項4
記載の発明は、感度及び光硬化性に優れ、フォトリソグ
ラフィーによりパターンを効率よく形成でき、かつ、耐
折性、はんだ耐熱性及び難燃性に優れ、また、取扱性に
優れ、フレキシブルプリント板の製造作業性に優れた感
光性積層体を提供するものである。請求項5記載の発明
は、感度及び光硬化性に極めて優れ、フォトリソグラフ
ィーによりパターンを効率よく形成でき、かつ、耐折
性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、密着性及び難燃性に優
れ、また、取扱性に極めて優れ、フレキシブルプリント
板の製造作業性に優れた感光性積層体を提供するもので
ある。
The invention according to claim 3 is excellent in sensitivity and photocurability, can form a pattern efficiently by photolithography, and has folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance,
It is intended to provide a photosensitive laminated body which is excellent in adhesion and flame retardancy, and is excellent in handleability and workability for laminating on a substrate. Claim 4
The invention described is excellent in sensitivity and photocurability, can efficiently form a pattern by photolithography, and is excellent in folding resistance, solder heat resistance and flame retardancy, and is also excellent in handleability, and flexible printed board It is intended to provide a photosensitive laminate having excellent manufacturing workability. The invention according to claim 5 is extremely excellent in sensitivity and photocurability, can efficiently form a pattern by photolithography, and is excellent in folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance, adhesion and flame retardancy, Further, the present invention provides a photosensitive laminate which is extremely easy to handle and has excellent workability in manufacturing a flexible printed board.

【0008】請求項6記載の発明は、耐折性、はんだ耐
熱性、耐溶剤性及び難燃性に優れ、また、高密度実装性
及び電気的信頼性に優れたフレキシブルプリント板を作
業性、歩留まりよく製造できるフレキシブルプリント板
の製造法を提供するものである。請求項7記載の発明
は、請求項6記載の発明の効果を奏し、よりはんだ耐熱
性に優れたフレキシブルプリント板の製造法を提供する
ものである。
The invention according to claim 6 provides a flexible printed board excellent in folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance and flame retardancy, and also excellent in high-density mounting property and electrical reliability. It is intended to provide a method for manufacturing a flexible printed board that can be manufactured with high yield. The invention according to claim 7 provides the method of manufacturing a flexible printed board having the effect of the invention according to claim 6 and having more excellent solder heat resistance.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、(A)ポリカ
ーボネートジオール変性ジカルボン酸を必須成分として
含んでなる多価カルボン酸成分(a)とジイソシアネー
ト(b)とを当量比〔(a)のカルボキシル基/(b)
のイソシアネート基〕が1を超える条件で反応させて得
られるカルボン酸含有ポリアミド系樹脂(c)に対し
て、エポキシ樹脂(d)を当量比〔(d)のエポキシ基
/(c)のカルボキシル基〕が1以上となる条件で反応
させて得られるエポキシ基含有ポリアミド系樹脂、
(B)エポキシ樹脂及び(C)光カチオン重合開始剤を
含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物に関す
る。
The present invention provides a polyvalent carboxylic acid component (a) containing (A) a polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid as an essential component and a diisocyanate (b) in an equivalent ratio [(a)]. Carboxyl group / (b)
Of the carboxylic acid-containing polyamide-based resin (c) obtained by reacting the isocyanate group of [1] with the carboxylic acid-containing polyamide resin (c) in an equivalent ratio [(d) epoxy group / (c) carboxyl group] ] Epoxy group-containing polyamide-based resin obtained by reacting under conditions of 1 or more,
It relates to a photosensitive resin composition comprising (B) an epoxy resin and (C) a cationic photopolymerization initiator.

【0010】また、本発明は、(A)酸無水物変性ポリ
アミド系樹脂が、20〜95重量部、(B)光重合性不
飽和化合物が、5〜80重量部(ただし(A)成分及び
(B)成分の総量を100重量部とする)並びに(C)
光重合開始剤が、0.01〜20重量部(ただし(A)
成分及び(B)成分の総量を100重量部に対して)の
配合割合とした前記感光性樹脂組成物に関する。
In the present invention, 20 to 95 parts by weight of (A) acid anhydride-modified polyamide resin and 5 to 80 parts by weight of (B) photopolymerizable unsaturated compound (provided that component (A) and (The total amount of component (B) is 100 parts by weight) and (C)
0.01 to 20 parts by weight of the photopolymerization initiator (however, (A)
The total amount of the component and the component (B) is 100% by weight), and the photosensitive resin composition.

【0011】また、本発明は、前記感光性樹脂組成物の
層と該層を支持する支持体フィルムとを有する感光性積
層体に関する。また、本発明は、フレキシブルプリント
板用基板の表面に前記感光性樹脂組成物の層を有する感
光性積層体に関する。また、本発明は、前記感光性樹脂
組成物の層の片面にフレキシブルプリント板、他方の表
面に支持体フィルムを有する感光性積層体に関する。
The present invention also relates to a photosensitive laminate having a layer of the above-mentioned photosensitive resin composition and a support film supporting the layer. The present invention also relates to a photosensitive laminate having a layer of the photosensitive resin composition on the surface of a flexible printed board substrate. The present invention also relates to a photosensitive laminate having a flexible printed board on one surface of the layer of the photosensitive resin composition and a support film on the other surface.

【0012】また、本発明は、前記感光性積層体を活性
光で像的に照射し、現像することによりフレキシブルプ
リント板の表面上に感光性樹脂組成物のパターンを形成
することを特徴とするフレキシブルプリント板の製造法
に関する。また、本発明は、現像後に活性光を照射する
工程と後加熱する工程を含む前記フレキシブルプリント
板の製造法に関する。
Further, the present invention is characterized in that a pattern of the photosensitive resin composition is formed on the surface of the flexible printed board by imagewise irradiating the photosensitive laminate with active light and developing. A method for manufacturing a flexible printed board. The present invention also relates to the method for manufacturing the flexible printed board, which includes a step of irradiating active light after development and a step of post-heating.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の感光性樹脂組成物は、
(A)ポリカーボネートジオール変性ジカルボン酸を必
須成分として含んでなる多価カルボン酸成分(a)とジ
イソシアネート(b)とを当量比〔(a)のカルボキシ
ル基/(b)のイソシアネート基〕が1を超える条件で
反応させて得られるカルボン酸含有ポリアミド系樹脂
(c)に対して、エポキシ樹脂(d)を当量比〔(d)
のエポキシ基/(c)のカルボキシル基〕が1以上とな
る条件で反応させて得られるエポキシ基含有ポリアミド
系樹脂、(B)エポキシ樹脂及び(C)光カチオン重合
開始剤を必須成分とする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photosensitive resin composition of the present invention comprises
(A) The polycarboxylic acid component (a) containing the polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid as an essential component and the diisocyanate (b) have an equivalent ratio [carboxy group of (a) / isocyanate group of (b)] of 1. The epoxy resin (d) is used in an equivalent ratio [(d) with respect to the carboxylic acid-containing polyamide resin (c) obtained by the reaction under the conditions exceeding the above.
The epoxy group-containing polyamide resin, (B) epoxy resin and (C) photocationic polymerization initiator, which are obtained by reacting under the condition that [Epoxy group / (c) carboxyl group] is 1 or more, are essential components.

【0014】本発明において(A)成分であるエポキシ
基含有ポリアミド系樹脂の製造原料である多価カルボン
酸成分(a)は、ポリカーボネートジオール変性ジカル
ボン酸を必須成分として含んでなる。多価カルボン酸成
分(a)中のポリカーボネートジオール変性ジカルボン
酸の配合量は、10〜100重量%とすることが好まし
く、30〜90重量%とすることがより好ましく、50
〜80重量%とすることが特に好ましい。配合量が10
重量%未満であるとフレキシブルプリント板用カバーレ
イとしての耐折性が得られなくなる傾向がある。
In the present invention, the polyvalent carboxylic acid component (a), which is a raw material for producing the epoxy group-containing polyamide resin as the component (A), contains a polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid as an essential component. The content of the polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid in the polycarboxylic acid component (a) is preferably 10 to 100% by weight, more preferably 30 to 90% by weight, and 50
It is particularly preferable that the content be ˜80% by weight. The amount is 10
If the content is less than wt%, the folding resistance as a cover lay for flexible printed boards may not be obtained.

【0015】ポリカーボネートジオール変性ジカルボン
酸は、ポリカーボネートジオールとジカルボン酸とを当
量比(ジカルボン酸のカルボキシル基/ポリカーボネー
トジオールの水酸基)が1を超える条件で反応(脱水エ
ステル化)させることにより合成することができる。こ
の当量比(ジカルボン酸のカルボキシル基/ポリカーボ
ネートジオールの水酸基)は、1.1〜3とすることが
好ましく、1.3〜2.5とすることがより好ましく、
1.5〜2とすることが特に好ましい。この当量比が1
未満では、片末端にしかカルボキシル基を持たないもの
(他方の片末端に水酸基を有するもの)や両末端ともカ
ルボキシル基を持たないもの(両末端に水酸基を有する
もの)が生成し易く、3を超えるとジカルボン酸が未反
応物として残存しやすく、フレキシブルプリント板用カ
バーレイとしての耐熱性が低下する傾向がある。
The polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid can be synthesized by reacting (dehydrating esterification) the polycarbonate diol and the dicarboxylic acid under the condition that the equivalent ratio (carboxyl group of dicarboxylic acid / hydroxyl group of polycarbonate diol) exceeds 1. it can. This equivalent ratio (carboxyl group of dicarboxylic acid / hydroxyl group of polycarbonate diol) is preferably 1.1 to 3, more preferably 1.3 to 2.5,
It is particularly preferable to set it to 1.5 to 2. This equivalence ratio is 1
If it is less than 3, it is easy to generate a compound having a carboxyl group only at one end (having a hydroxyl group at the other end) or a compound not having a carboxyl group at both ends (having a hydroxyl group at both ends). If it exceeds, the dicarboxylic acid tends to remain as an unreacted product, and the heat resistance of the cover lay for a flexible printed board tends to decrease.

【0016】ポリカーボネートジオール変性ジカルボン
酸を合成するためのポリカーボネートジオールとして
は、特に制限はなく、例えば、ダイセル化学工業(株)製
の商品名プラクセルCDシリーズ、プラクセルCD−P
Lシリーズ、日本ポリウレタン工業(株)製の商品名ニッ
ポラン980、981などが挙げられる。これらのポリ
カーボネートジオールは、単独で又は2種類以上組み合
わせて用いられる。なお、ポリカーボネートジオールの
分子量(水酸価からの算出値)は、200〜5,000
とすることが好ましく、500〜4,000とすること
がより好ましく、1,000〜3,000とすることが
特に好ましい。分子量が200未満であると、フレキシ
ブルプリント板用カバーレイとしての耐折性が得られな
くなる傾向があり、分子量が5,000を超えると、耐
熱性が得られなくなる傾向がある。
The polycarbonate diol for synthesizing the polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid is not particularly limited, and examples thereof include Praxel CD series and Praxel CD-P manufactured by Daicel Chemical Industries Ltd.
L series, Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd. product name Niprolan 980, 981 etc. are mentioned. These polycarbonate diols are used alone or in combination of two or more. The molecular weight of the polycarbonate diol (calculated from the hydroxyl value) is 200 to 5,000.
Is more preferable, 500 to 4,000 is more preferable, and 1,000 to 3,000 is particularly preferable. When the molecular weight is less than 200, folding resistance as a cover lay for flexible printed boards tends to be unobtainable, and when the molecular weight exceeds 5,000, heat resistance tends to be unobtainable.

【0017】また、ポリカーボネートジオール変性ジカ
ルボン酸を合成するためのジカルボン酸としては、特に
制限はなく、例えば、コハク酸、グルタル酸、アジピン
酸、ピメリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ドデカン
二酸、エイコサン二酸等の脂肪族ジカルボン酸、ダイマ
ー酸、1,4−シクロヘキサンジカルボン酸等の脂環式
ジカルボン酸、イソフタル酸、テレフタル酸、フタル
酸、1,5−ナフタレンジカルボン酸、4,4−ジフェ
ニルエーテルジカルボン酸、4,4−ジフェニルスルホ
ンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸などが挙げられ
る。これらのジカルボン酸は、単独で又は2種類以上組
み合わせて用いられる。
The dicarboxylic acid for synthesizing the polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid is not particularly limited, and examples thereof include succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, azelaic acid, sebacic acid, dodecanedioic acid and eicosane. Aliphatic dicarboxylic acids such as diacids, dimer acids, alicyclic dicarboxylic acids such as 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, phthalic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 4,4-diphenyletherdicarboxylic acid Examples thereof include acids and aromatic dicarboxylic acids such as 4,4-diphenylsulfone dicarboxylic acid. These dicarboxylic acids are used alone or in combination of two or more.

【0018】多価カルボン酸成分(a)において、ポリ
カーボネートジオール変性ジカルボン酸と併用できる他
の多価カルボン酸としては、特に制限はなく、例えば、
上記ポリカーボネートジオール変性ジカルボン酸を合成
するためのジカルボン酸、トリメリット酸無水物、ピロ
メリット酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二
無水物、s−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、メチルシ
クロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリ
コールビスアンヒドロトリメリテート等の多価カルボン
酸無水物、ポリエチレングリコール変性ジカルボン酸、
ポリプロピレングリコール変性ジカルボン酸、ポリテト
ラメチレングリコール変性ジカルボン酸などが挙げられ
る。これらの他の多価カルボン酸は、単独又は2種類以
上組み合わせて用いられる。
In the polyvalent carboxylic acid component (a), the other polyvalent carboxylic acid which can be used in combination with the polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid is not particularly limited, and for example,
Dicarboxylic acid, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, s-biphenyltetracarboxylic dianhydride, diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride for synthesizing the above polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid Anhydrides, methylcyclohexene tetracarboxylic dianhydride, polyvalent carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bisanhydrotrimellitate, polyethylene glycol modified dicarboxylic acid,
Examples thereof include polypropylene glycol-modified dicarboxylic acid and polytetramethylene glycol-modified dicarboxylic acid. These other polyvalent carboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

【0019】本発明の感光性樹脂組成物の(A)成分で
あるエポキシ基含有ポリアミド系樹脂の製造中間体であ
るカルボン酸含有ポリアミド系樹脂(c)は、上記多価
カルボン酸成分(a)とジイソシアネート(b)とを、
当量比〔(a)のカルボキシル基/(b)のイソシアネ
ート基〕が1を超える条件で反応(脱炭酸アミド化)さ
せて得られる。この当量比〔(a)のカルボキシル基/
(b)のイソシアネート基〕は、1.03〜3とするこ
とが好ましく、1.05〜1.5とすることがより好ま
しく、1.1〜1.3とすることが特に好ましい。この
当量比〔(a)のカルボキシル基/(b)のイソシアネ
ート基〕が1.03未満であると、カルボキシル基を持
たないものが生成し易く、また、反応を制御しにくい
(反応系がイソシアネート基の副反応によりゲル化し易
い)、一方、当量比が3を超えると、多価カルボン酸が
未反応物として残存しやすく、フレキシブルプリント板
用カバーレイとしての耐熱性が低下する傾向がある。
The carboxylic acid-containing polyamide resin (c), which is an intermediate for producing the epoxy group-containing polyamide resin that is the component (A) of the photosensitive resin composition of the present invention, is the polyvalent carboxylic acid component (a). And diisocyanate (b),
It can be obtained by reacting (decarboxylation amidation) under a condition that the equivalent ratio [carboxyl group of (a) / isocyanate group of (b)] exceeds 1. This equivalent ratio [(a) carboxyl group /
The isocyanate group of (b)] is preferably 1.03 to 3, more preferably 1.05 to 1.5, and particularly preferably 1.1 to 1.3. If this equivalent ratio [carboxyl group of (a) / isocyanate group of (b)] is less than 1.03, those having no carboxyl group are likely to be generated and the reaction is difficult to control (the reaction system is isocyanate). On the other hand, when the equivalent ratio exceeds 3, polyvalent carboxylic acid tends to remain as an unreacted product, and the heat resistance of the cover lay for a flexible printed board tends to decrease.

【0020】ジイソシアネート(b)としては、特に制
限はなく、例えば、4,4′−ジフェニルメタンジイソ
シアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、2,
4−トリレンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジ
イソシアネート、トリジンジイソシアネート、p−フェ
ニレンジイソシアネート、4,4′−ジフェニルエーテ
ルジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネー
ト、m−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の
芳香族ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネ
ート、2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシ
アネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイ
ソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ジイ
ソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4′
−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート(水添化
4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート)、トラ
ンスシクロヘキサン−1,4−ジイソシアネート、水添
化m−キシリレンジイソシアネート等の脂環式ジイソシ
アネート、3,9−ビス(3−イソシアネートプロピ
ル)−2,4,8,10−テトラスピロ〔5,5〕ウン
デカン等の複素環式ジイソシアネートなどが挙げられ、
なかでも、カバーレイとしての耐熱性の点で芳香族ジイ
ソシアネートが好ましい。これらのジイソシアネート
(b)は、単独で使用してもよいが、2種類以上組み合
わせて使用する方が、エポキシ基含有ポリアミド系樹脂
(A)の溶剤溶解性向上などの点で好ましい。
The diisocyanate (b) is not particularly limited and includes, for example, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 2,
Aromatic diisocyanates such as 4-tolylene diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, tolidine diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, 4,4'-diphenyl ether diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, m-tetramethyl xylylene diisocyanate, hexamethylene Aliphatic diisocyanates such as diisocyanate, 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate and lysine diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4 '
Alicyclic diisocyanates such as dicyclohexylmethane diisocyanate (hydrogenated 4,4′-diphenylmethane diisocyanate), transcyclohexane-1,4-diisocyanate, hydrogenated m-xylylene diisocyanate, 3,9-bis (3-isocyanate) Propyl) -2,4,8,10-tetraspiro [5,5] undecane and other heterocyclic diisocyanates, and the like.
Of these, aromatic diisocyanates are preferable in terms of heat resistance as a coverlay. These diisocyanates (b) may be used alone, but it is preferable to use two or more kinds in combination in order to improve the solvent solubility of the epoxy group-containing polyamide resin (A).

【0021】多価カルボン酸成分(a)とジイソシアネ
ート(b)から、カルボン酸含有ポリアミド系樹脂
(c)を得る反応(脱炭酸アミド化)は、有機溶媒中で
実施することができる。有機溶媒としては、特に制限は
なく、例えば、γ−ブチロラクトン等のラクトン類、シ
クロヘキサノン等のケトン類、ジグライム、トリグライ
ム、テトラグライム等のグライム類、N−メチル−2−
ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−
ジメチルホルムアミド等のアミド類、N,N−ジメチル
エチレンウレア、N,N−ジメチルプロピレンウレア、
テトラメチルウレア等のウレア類、スルホラン等のスル
ホン類などが挙げられ、なかでも、γ−ブチロラクトン
を主成分とするのが、感光性カバーレイフィルム製造プ
ロセスにおける残存溶剤低減の点で好ましい。
The reaction (decarboxylation amidation) for obtaining the carboxylic acid-containing polyamide resin (c) from the polycarboxylic acid component (a) and the diisocyanate (b) can be carried out in an organic solvent. The organic solvent is not particularly limited, and examples thereof include lactones such as γ-butyrolactone, ketones such as cyclohexanone, glymes such as diglyme, triglyme and tetraglyme, and N-methyl-2-.
Pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-
Amides such as dimethylformamide, N, N-dimethylethyleneurea, N, N-dimethylpropyleneurea,
Examples thereof include ureas such as tetramethylurea and sulfones such as sulfolane. Among them, it is preferable to use γ-butyrolactone as a main component in order to reduce the residual solvent in the photosensitive coverlay film manufacturing process.

【0022】本発明の感光性樹脂組成物の(A)成分で
あるエポキシ基含有ポリアミド系樹脂は、上記カルボン
酸含有ポリアミド系樹脂(c)に対して、エポキシ樹脂
(d)を当量比〔(d)のエポキシ基/(c)のカルボ
キシル基〕が1以上となる条件で反応(ヒドロキシエチ
ルエステル化)させて得られる。この当量比〔(d)の
エポキシ基/(c)のカルボキシル基〕は、1〜3とす
ることが好ましく、1.05〜1.5とすることがより
好ましく、1.1〜1.3とすることが特に好ましい。
当量比〔(d)のエポキシ基/(c)のカルボキシル
基〕が1未満であると、エポキシ基を持たないものが生
成し易く、一方、当量比が3を超えると、過剰に残存す
るエポキシ樹脂により、カバーレイの橋架け密度が高く
なり、耐折性が低下する傾向がある。また、(A)成分
であるエポキシ基含有ポリアミド系樹脂のエポキシ当量
は、1000〜40000とすることが好ましく、30
00〜20000とすることがより好ましく、5000
〜15000とすることが特に好ましい。エポキシ当量
が1000未満であるとフィルム形成性が低下する傾向
にあり、40000を超えると感光性樹脂組成物の現像
性が低下する傾向にある。
The epoxy group-containing polyamide resin which is the component (A) of the photosensitive resin composition of the present invention has an equivalent ratio of the epoxy resin (d) to the carboxylic acid-containing polyamide resin (c) [( It can be obtained by reaction (hydroxyethyl esterification) under the condition that the ratio of (d) epoxy group / (c) carboxyl group] is 1 or more. The equivalent ratio [epoxy group of (d) / carboxyl group of (c)] is preferably 1 to 3, more preferably 1.05 to 1.5, and 1.1 to 1.3. Is particularly preferable.
When the equivalent ratio [epoxy group of (d) / carboxyl group of (c)] is less than 1, epoxy compounds having no epoxy group are easily generated, while when the equivalent ratio exceeds 3, excess epoxy remains. The resin tends to increase the bridging density of the coverlay and reduce the folding endurance. The epoxy equivalent of the epoxy group-containing polyamide resin that is the component (A) is preferably 1000 to 40000, and 30
More preferably, it is from 00 to 20000, and it is 5000.
It is particularly preferable to set it to ˜15000. If the epoxy equivalent is less than 1000, the film-forming property tends to decrease, and if it exceeds 40,000, the developability of the photosensitive resin composition tends to decrease.

【0023】ここで用いられるエポキシ樹脂(d)とし
ては、特に制限はなく、例えば、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂、テトラブロモビスフェノールA型エポキシ
樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルAD型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等の
2官能芳香族グリシジルエーテル、フェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、ジシクロペンタジエン−フェノール型エポキシ樹
脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂等の多官
能芳香族グリシジルエーテル、ポリエチレングリコール
型エポキシ樹脂、ポリプロピレングリコール型エポキシ
樹脂、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂、ヘキサ
ンジオール型エポキシ樹脂等の2官能脂肪族グリシジル
エーテル、水添化ビスフェノールA型エポキシ樹脂等の
2官能脂環式グリシジルエーテル、トリメチロールプロ
パン型エポキシ樹脂、ソルビトール型エポキシ樹脂、グ
リセリン型エポキシ樹脂等の多官能脂肪族グリシジルエ
ーテル、フタル酸ジグリシジルエステル等の2官能芳香
族グリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシ
ジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエス
テル等の2官能脂環式グリシジルエステル、N,N−ジ
グリシジルアニリン、N,N−ジグリシジルトリフルオ
ロメチルアニリン等の2官能芳香族グリシジルアミン、
N,N,N′,N′−テトラグリシジル−4,4−ジア
ミノジフェニルメタン、1,3−ビス(N,N−グリシ
ジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N,O−トリ
グリシジル−p−アミノフェノール等の多官能芳香族グ
リシジルアミン、アリサイクリックジエポキシアセター
ル、アリサイクリックジエポキシアジペート、アリサイ
クリックジエポキシカルボキシレート、ビニルシクロヘ
キセンジオキシド等の2官能脂環式エポキシ樹脂、ジグ
リシジルヒダントイン等の2官能複素環式エポキシ樹
脂、トリグリシジルイソシアヌレート等の多官能複素環
式エポキシ樹脂、オルガノポリシロキサン型エポキシ樹
脂等の2官能又は多官能ケイ素含有エポキシ樹脂などが
挙げられる。これらのうちでは、反応の制御し易さの点
などで2官能エポキシ樹脂が好ましく、2官能エポキシ
樹脂のなかでも、カバーレイとしての耐熱性向上の点で
2官能芳香族グリシジルエーテルがより好ましく、その
なかでも廉価等の点でビスフェノールA型エポキシ樹脂
が特に好ましく、難燃性向上の点でテトラブロモビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂が特に好ましい。これらのエ
ポキシ樹脂(d)は、単独で又は2種類以上組み合わせ
て用いられる。
The epoxy resin (d) used here is not particularly limited, and examples thereof include bisphenol A type epoxy resin, tetrabromobisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, and naphthalene type. Bifunctional aromatic glycidyl ether such as epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene-phenol type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin and other polyfunctional aromatic glycidyl ether, polyethylene glycol Type epoxy resin, polypropylene glycol type epoxy resin, neopentyl glycol type epoxy resin, hexanediol type epoxy resin and other bifunctional aliphatic glycidyl ether, hydrogenated vinyl Bifunctional alicyclic glycidyl ether such as phenol A type epoxy resin, trimethylolpropane type epoxy resin, sorbitol type epoxy resin, polyfunctional aliphatic glycidyl ether such as glycerin type epoxy resin, and difunctional fragrance such as phthalic acid diglycidyl ester Group glycidyl ester, tetrahydrophthalic acid diglycidyl ester, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester and other bifunctional alicyclic glycidyl ester, N, N-diglycidylaniline, N, N-diglycidyltrifluoromethylaniline and other bifunctional Aromatic glycidyl amine,
N, N, N ', N'-tetraglycidyl-4,4-diaminodiphenylmethane, 1,3-bis (N, N-glycidylaminomethyl) cyclohexane, N, N, O-triglycidyl-p-aminophenol, etc. Polyfunctional aromatic glycidyl amine, alicyclic diepoxy acetal, alicyclic diepoxy adipate, alicyclic diepoxy carboxylate, vinylcyclohexene dioxide and other bifunctional alicyclic epoxy resins, diglycidyl hydantoin and other 2 Examples thereof include functional heterocyclic epoxy resins, polyfunctional heterocyclic epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate, and bifunctional or polyfunctional silicon-containing epoxy resins such as organopolysiloxane type epoxy resins. Among these, a bifunctional epoxy resin is preferable in terms of easiness of reaction control, and among the bifunctional epoxy resins, a bifunctional aromatic glycidyl ether is more preferable in terms of improving heat resistance as a coverlay, Among them, the bisphenol A type epoxy resin is particularly preferable in terms of low price, and the tetrabromobisphenol A type epoxy resin is particularly preferable in terms of flame retardancy improvement. These epoxy resins (d) are used alone or in combination of two or more.

【0024】本発明の感光性樹脂組成物に(B)成分と
して用いられるエポキシ樹脂としては、特に制限はな
く、上記のエポキシ樹脂(d)として列挙したものが挙
げられ、同様に、反応の制御し易さの点などで2官能エ
ポキシ樹脂が好ましく、2官能エポキシ樹脂のなかで
も、カバーレイとしての耐熱性向上の点で2官能芳香族
グリシジルエーテルがより好ましく、そのなかでも廉価
等の点でビスフェノールA型エポキシ樹脂が特に好まし
く、難燃性向上の点でテトラブロモビスフェノールA型
エポキシ樹脂が特に好ましい。(B)成分のエポキシ樹
脂は、単独で又は2種類以上組み合わせて用いられ、エ
ポキシ樹脂(d)と同一であっても異なっていてもよ
い。(B)成分のエポキシ樹脂の配合量は、(A)成分
であるエポキシ基含有ポリアミド系樹脂100重量部に
対して5〜50重量部とすることが好ましく、10〜3
0重量部とすることがより好ましい。この配合量が5重
量部未満であると、感度、解像度、はんだ耐熱性及び耐
溶剤性が低下する傾向があり、50重量部を超えると解
像度、耐折性及び保存安定性が低下する傾向にある。
The epoxy resin used as the component (B) in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, and those listed as the above-mentioned epoxy resin (d) can be mentioned. A bifunctional epoxy resin is preferable in terms of ease of use, and among the bifunctional epoxy resins, a bifunctional aromatic glycidyl ether is more preferable from the viewpoint of improving heat resistance as a coverlay, and among them, in terms of low price, etc. A bisphenol A type epoxy resin is particularly preferable, and a tetrabromobisphenol A type epoxy resin is particularly preferable from the viewpoint of improving flame retardancy. The epoxy resin as the component (B) is used alone or in combination of two or more kinds, and may be the same as or different from the epoxy resin (d). The blending amount of the epoxy resin as the component (B) is preferably 5 to 50 parts by weight, and 10 to 3 parts by weight based on 100 parts by weight of the epoxy group-containing polyamide resin as the component (A).
More preferably, it is 0 parts by weight. If the amount is less than 5 parts by weight, the sensitivity, resolution, solder heat resistance and solvent resistance tend to decrease, and if it exceeds 50 parts by weight, the resolution, folding endurance and storage stability tend to decrease. is there.

【0025】本発明の感光性樹脂組成物に(C)成分と
して用いられる光カチオン重合開始剤としては、例え
ば、アリールジアゾニウム塩、ジアリールヨードニウム
塩、トリアリールスルホニウム塩、トリアリールセレノ
ニウム塩、ジアルキルフェナジルスルホニウム塩、ジア
ルキル−4−ヒドロキシフェニルスルホニウム塩及びス
ルホン酸エステルなどが挙げられる。
Examples of the photocationic polymerization initiator used as the component (C) in the photosensitive resin composition of the present invention include aryl diazonium salts, diaryliodonium salts, triaryl sulfonium salts, triaryl selenonium salts and dialkylphenas. Examples thereof include dilsulfonium salt, dialkyl-4-hydroxyphenylsulfonium salt and sulfonic acid ester.

【0026】アリールジアゾニウム塩は、一般式(I)The aryldiazonium salt has the general formula (I)

【化1】 〔式中、Ar1はアルキル基、ニトロ基、アルコキシ基、
モルホリノ基及び塩素のうちから選ばれる1種若しくは
2種以上の置換基を有する1〜3置換のフェニル基又は
無置換のフェニル基であり、(X1)- は(PF6)- 、(As
6)- 、(SbF6)- 、(SbCl6)- 、(BF4)- 又は(Fe
Cl4)- である〕で示され、光照射によりルイス酸を発
生する。アリールジアゾニウム塩の具体的な化合物とし
ては、例えば、4−モルホリノ−2,5−ジブチロキシ
ベンゼンジアゾニウムホウフッ化塩、フェニルジアゾニ
ウムヘキサフロロホスホニウム塩、フェニルジアゾニウ
ムホウフッ化塩、フェニルジアゾニウムヘキサフロロア
ンチモネート塩などが挙げられる。
Embedded image [In the formula, Ar 1 is an alkyl group, a nitro group, an alkoxy group,
A ( 1 ) to ( 3 ) substituted or unsubstituted phenyl group having one or more kinds of substituents selected from a morpholino group and chlorine, and (X 1 ) - Is (PF 6 ) - , (As
F 6 ) - , (SbF 6 ) - , (SbCl 6 ) - , (BF 4 ) - Or (Fe
Cl 4 ) - The Lewis acid is generated by light irradiation. Specific examples of the aryldiazonium salt include 4-morpholino-2,5-dibutyroxybenzenediazonium borofluoride salt, phenyldiazonium hexafluorophosphonium salt, phenyldiazonium borofluoride salt, phenyldiazonium hexafluoroantimonate salt, and the like. Is mentioned.

【0027】ジアリールヨードニウム塩は、一般式(I
I)
The diaryliodonium salt has the general formula (I
I)

【化2】 〔式中、Ar2はアルキル基、ニトロ基、アルコキシ基、
モルホリノ基及び塩素のうちから選ばれる1種若しくは
2種以上の置換基を有する1〜3置換のフェニル基又は
無置換のフェニル基であり、(X2)- は(PF6)- 、(As
6)- 、(BF4)- 、(ClO4)- 、(CF3SO3)- 、(F
SO3)- 又は(F2PO2)- である〕で示される化合物で
ある。ジアリールヨードニウム塩の具体的な化合物とし
ては、例えば、ジフェニルヨードニウムヘキサフロロホ
スホニウム塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフロロア
ンチモネート塩などが挙げられる。
Embedded image[In the formula, ArTwoIs an alkyl group, a nitro group, an alkoxy group,
One selected from a morpholino group and chlorine, or
A 1-3-substituted phenyl group having two or more substituents, or
An unsubstituted phenyl group, (XTwo)- Is (PF6)- , (As
F6)- , (BFFour)- , (ClOFour)- , (CFThreeSOThree)- , (F
SOThree)- Or (FTwoPOTwo)- Is a compound represented by
is there. As a specific compound of diaryliodonium salt
For example, diphenyliodonium hexafluorophore
Sphonium salt, diphenyliodonium hexafluoroa
Examples include ntimonate salt.

【0028】トリアリールスルホニウム塩は、一般式
(III)
The triarylsulfonium salt has the general formula (III)

【化3】 〔式中、Ar3はアルキル基、ニトロ基、アルコキシ基、
モルホリノ基及び塩素のうちから選ばれる1種若しくは
2種以上の置換基を有する1〜3置換のフェニル基又は
無置換のフェニル基であり、(X3)- は(PF6)- 、(As
6)- 、(BF4)- 、(ClO4)- 、(CF3SO3)- 、(F
SO3)- 又は(F2PO2)- である〕で示される化合物で
ある。トリアリールスルホニウム塩の具体的な化合物と
しては、例えば、トリフェニルスルホニウムヘキサフロ
ロホスホニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフ
ロロアンチモネート塩、ジフェニル−4−チオフェノキ
シフェニルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート
塩、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニ
ウムヘキサフロロアンチモネート塩、ジフェニル−4−
チオフェノキシフェニルスルホニウムペンタフロロヒド
ロキシアンチモネート塩などが挙げられる。
[Chemical 3][In the formula, ArThreeIs an alkyl group, a nitro group, an alkoxy group,
One selected from a morpholino group and chlorine, or
A 1-3-substituted phenyl group having two or more substituents, or
An unsubstituted phenyl group, (XThree)- Is (PF6)- , (As
F6)- , (BFFour)- , (ClOFour)- , (CFThreeSOThree)- , (F
SOThree)- Or (FTwoPOTwo)- Is a compound represented by
is there. Specific compound of triarylsulfonium salt
For example, triphenylsulfonium hexafluoro
Rophosphonium salt, triphenylsulfonium hexaf
Loroantimonate salt, diphenyl-4-thiophenoki
Cyphenylsulfonium hexafluoroantimonate
Salt, diphenyl-4-thiophenoxyphenylsulfoni
Umhexafluoroantimonate salt, diphenyl-4-
Thiophenoxyphenyl sulfonium pentafluorohydride
Roxyantimonate salt etc. are mentioned.

【0029】トリアリールセレノニウム塩は、一般式
(IV)
The triarylselenonium salt has the general formula (IV)

【化4】 〔式中、Ar4はアルキル基、ニトロ基、アルコキシ基、
モルホリノ基及び塩素のうちから選ばれる1種若しくは
2種以上の置換基を有する1〜3置換のフェニル基又は
無置換のフェニル基であり、(X4)- は(PF6)- 、(As
6)- 、(BF4)- 、(ClO4)- 、(CF3SO3)- 、(F
SO3)- 又は(F2PO2)- である〕で示される化合物で
ある。トリアリールセレノニウム塩の具体的な化合物と
しては、例えば、トリフェニルセレノニウムヘキサフロ
ロホスホニウム塩、トリフェニルセレノニウムホウフッ
化塩、トリフェニルセレノニウムヘキサフロロアンチモ
ネート塩などが挙げられる。
Embedded image[In the formula, ArFourIs an alkyl group, a nitro group, an alkoxy group,
One selected from a morpholino group and chlorine, or
A 1-3-substituted phenyl group having two or more substituents, or
An unsubstituted phenyl group, (XFour)- Is (PF6)- , (As
F6)- , (BFFour)- , (ClOFour)- , (CFThreeSOThree)- , (F
SOThree)- Or (FTwoPOTwo)- Is a compound represented by
is there. Specific compounds of triarylselenonium salts and
For example, triphenylselenonium hexafluoro
Rophosphonium salt, triphenylselenonium borofluoride
Salt, triphenylselenonium hexafluoroantimo
Nate salts and the like.

【0030】フェナシルスルホニウム塩は、一般式
(V)
The phenacylsulfonium salt has the general formula (V)

【化5】 〔式中、Ar5はアルキル基、ニトロ基、アルコキシ基、
モルホリノ基及び塩素のうちから選ばれる1種若しくは
2種以上の置換基を有する1〜3置換のフェニル基又は
無置換のフェニル基であり、R1及びR2はアルキル基又
はベンジル基であり、(X5)- は(AsF6)- 、(SbF6)-
又は(PF6)- である。〕で示される化合物である。フ
ェナシルホルホニウム塩としては、例えば、ジメチルフ
ェナシルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート塩、
ジエチルフェナシルスルホニウムヘキサフロロアンチモ
ネート塩などが挙げられる。
Embedded image [In the formula, Ar 5 is an alkyl group, a nitro group, an alkoxy group,
A 1 to 3 substituted phenyl group having 1 or 2 or more substituents selected from morpholino groups and chlorine or an unsubstituted phenyl group, R 1 and R 2 are alkyl groups or benzyl groups, (X 5 ) - Is (AsF 6 ) - , (SbF 6 ) -
Or (PF 6 ) - It is. ] The compound shown by these. The phenacyl phosphonium salt, for example, dimethyl phenacyl sulfonium hexafluoroantimonate salt,
Examples thereof include diethylphenacylsulfonium hexafluoroantimonate salt.

【0031】4−ヒドロキシフェニルスルホニウム塩
は、一般式(VI)
The 4-hydroxyphenylsulfonium salt has the general formula (VI)

【化6】 〔式中、Ar6はアルキル基、ニトロ基、アルコキシ基、
モルホリノ基及び塩素のうちから選ばれる1種若しくは
2種以上の置換基を有する1〜3置換のフェニル基又は
無置換のフェニル基であり、R3及びR4はアルキル基又
はベンジル基であり、(X6)- は(AsF6)- 、(SbF6)-
又は(PF6)- である。〕で示される化合物である。4
−ヒドロキシフェニルスルホニウム塩としては、例え
ば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキ
サフロロアンチモネート塩、4−ヒドロキシフェニルベ
ンジルメチルスルホニウムヘキサフロロアンチモネート
塩などが挙げられる。
[Chemical 6] [In the formula, Ar 6 is an alkyl group, a nitro group, an alkoxy group,
A 1 to 3 substituted phenyl group or an unsubstituted phenyl group having 1 or 2 or more substituents selected from morpholino groups and chlorine, R 3 and R 4 are alkyl groups or benzyl groups, (X 6 ) - Is (AsF 6 ) - , (SbF 6 ) -
Or (PF 6 ) - It is. ] The compound shown by these. Four
Examples of the -hydroxyphenylsulfonium salt include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate salt, 4-hydroxyphenylbenzylmethylsulfonium hexafluoroantimonate salt and the like.

【0032】スルホン酸エステルとしては、下記の一般
式(VII)で示されるα−ヒドロキシメチルベンゾイン
スルホン酸エステル、下記の一般式(VIII)で示される
N−ヒドロキシイミドスルホネート、下記の一般式(I
X)で示されるα−スルホニロキシケトン、下記の一般
式(X)で示されるβ−スルホニロキシケトンなどがあ
る。
As the sulfonic acid ester, α-hydroxymethylbenzoin sulfonic acid ester represented by the following general formula (VII), N-hydroxyimide sulfonate represented by the following general formula (VIII), and the following general formula (I
Examples include α-sulfonyloxyketone represented by X) and β-sulfonyloxyketone represented by the following general formula (X).

【0033】[0033]

【化7】 〔式中、R5、R6、R7、R9、R10、R11、R12
13、R14及びR15は、それぞれ独立にアルキル基又は
アリール基を表す。〕
[Chemical 7] [In the formula, R 5 , R 6 , R 7 , R 9 , R 10 , R 11 , R 12 ,
R 13 , R 14 and R 15 each independently represent an alkyl group or an aryl group. ]

【0034】(C)成分である光カチオン重合開始剤の
使用量は、光感度及び得られる塗膜の耐熱性から(A)
成分のエポキシ基含有ポリアミド系樹脂100重量部に
対して0.01〜30重量部とすることが好ましく、
0.05〜10重量部とすることがより好ましい。この
使用量が0.01重量部未満あると、十分な感度が得ら
れず、30重量部を超えると、得られる塗膜の耐熱性が
低下する。本発明に用いられる光カチオン重合開始剤
(C)に光増感剤を併用することにより、さらに感光性
樹脂組成物の光硬化性を促進することができる。光増感
剤としては、例えば、エリスロシン、エオシン、ペリレ
ン、アントラセン、フェノチアジン、ピレン、コロネ
ン、1,2−ベンゾアントラセン、ベンゾフェノン、チ
オキサントン、2−クロルチオキサントン、9−フルオ
レノン、アントラキノンなどが挙げられる。光増感剤の
使用量は、光カチオン重合開始剤に対して2重量%以下
とすることが好ましい。
The amount of the photocationic polymerization initiator as the component (C) used depends on the photosensitivity and the heat resistance of the resulting coating film (A).
It is preferable to set 0.01 to 30 parts by weight to 100 parts by weight of the epoxy group-containing polyamide resin as a component,
More preferably, the amount is 0.05 to 10 parts by weight. If the amount used is less than 0.01 parts by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained, and if it exceeds 30 parts by weight, the heat resistance of the obtained coating film decreases. By using a photosensitizer together with the photocationic polymerization initiator (C) used in the present invention, the photocurability of the photosensitive resin composition can be further promoted. Examples of the photosensitizer include erythrosine, eosin, perylene, anthracene, phenothiazine, pyrene, coronene, 1,2-benzanthracene, benzophenone, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 9-fluorenone, and anthraquinone. The amount of the photosensitizer used is preferably 2% by weight or less based on the cationic photopolymerization initiator.

【0035】本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、ア
ミンベースの橋架け剤、例えば、メラミンを併用するの
が好ましい。好ましいアミンベースの橋架け剤として
は、例えば、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグ
アナミン−ホルムアルデヒド樹脂、尿素−ホルムアルデ
ヒド樹脂、グリコルリル−ホルムアルデヒド樹脂などが
挙げられ、これらを単独で又は2種以上組み合わせて用
いることができる。これらの樹脂は、アクリルアミド若
しくはメタクリルアミドコポリマーをアルコール含有溶
液中でホルムアルデヒドと反応させるか、又はN−アル
コキシメチルアクリルアミド若しくはメタクリルアミド
を別の適当なモノマーと共重合させることによって製造
することができる。特に適当なアミンベースの橋架け剤
としては、アメリカン・サイアナミド(American Cyana
mid )社製のメラミン、例えば、サイメル(登録商標)
300、301、303、350、370、380、1
116及び1130、サイメル(登録商標)1123及
び1125のようなベンゾグアナミン、グリコルリル樹
脂サイメル(登録商標)1170、1171及び117
2、並びに尿素ベースの樹脂ビートル(登録商標)6
0、65及び80が挙げられる。他にも多くの類似のア
ミンベースの橋架け剤が市販されている。
The photosensitive resin composition of the present invention is preferably further used in combination with an amine-based cross-linking agent such as melamine. Preferred amine-based cross-linking agents include, for example, melamine formaldehyde resin, benzoguanamine-formaldehyde resin, urea-formaldehyde resin, glycoluril-formaldehyde resin and the like, and these can be used alone or in combination of two or more kinds. These resins can be made by reacting an acrylamide or methacrylamide copolymer with formaldehyde in an alcohol-containing solution, or by copolymerizing N-alkoxymethyl acrylamide or methacrylamide with another suitable monomer. Particularly suitable amine-based cross-linking agents include American Cyanamid.
melamine manufactured by mid), for example, Cymel (registered trademark)
300, 301, 303, 350, 370, 380, 1
116 and 1130, benzoguanamines such as Cymel® 1123 and 1125, glycoluril resins Cymel® 1170, 1171 and 117
2, as well as the urea-based resin Beetle® 6
0, 65 and 80. Many other similar amine-based crosslinkers are commercially available.

【0036】前記のアミンベースの橋架け剤のうち、メ
ラミンがより好ましく、メラミンホルムアルデヒド樹
脂、即ち、メラミンとホルムアルデヒドとの反応生成物
が特に好ましい。これらの樹脂は、通常、トリアルキロ
ールメラミン及びヘキサアルキロールメラミンのような
エーテルである。アルキル基は、炭素原子を1〜8個有
するものが好ましく、メチル基であるのがより好まし
い。反応条件及びホルムアルデヒド濃度次第で、メチル
エーテルを相互に反応させてより複雑な単位を形成して
もよい。橋架け剤の使用量は、前記(A)、(B)及び
(C)成分の総量に対して30重量%以下とすることが
好ましい。
Of the above amine-based cross-linking agents, melamine is more preferred, and melamine formaldehyde resin, ie the reaction product of melamine and formaldehyde, is particularly preferred. These resins are usually ethers such as triacylol melamine and hexaalkylol melamine. The alkyl group preferably has 1 to 8 carbon atoms, and more preferably a methyl group. Depending on the reaction conditions and the formaldehyde concentration, the methyl ethers may react with each other to form more complex units. The amount of the cross-linking agent used is preferably 30% by weight or less based on the total amount of the components (A), (B) and (C).

【0037】本発明の感光性樹脂組成物には、難燃性を
さらに向上させるために、例えば、テトラブロモビスフ
ェノールA、テトラブロモビスフェノールAオキシエチ
レンジ(メタ)アクリレート、テトラブロモビスフェノ
ールAビスアリルエチルエーテル、ポリテトラブロモビ
スフェノールA末端ブロモエトキシ化物等の難燃剤を添
加することができる。また、同様に三酸化アンチモン、
五酸化アンチモン、硼酸バリウム、水酸化アルミニウム
等の難燃助剤を添加することもできる。この難燃剤の使
用量は、前記(A)、(B)及び(C)成分の総量に対
して30重量%以下とすることが好ましい。また、難燃
助剤の使用量は、前記(A)、(B)及び(C)成分の
総量に対して15重量%以下とすることが好ましい。本
発明の感光性樹脂組成物には、さらに、染料、発色剤、
可塑剤、顔料、密着性付与剤などを必要に応じて添加し
てもよい。これらの使用量は、前記(A)、(B)及び
(C)成分の総量に対して2重量%以下とすることが好
ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains, for example, tetrabromobisphenol A, tetrabromobisphenol A oxyethylene di (meth) acrylate, tetrabromobisphenol A bisallylethyl ester in order to further improve flame retardancy. A flame retardant such as ether or polytetrabromobisphenol A-terminated bromoethoxy compound can be added. Similarly, antimony trioxide,
Flame retardant aids such as antimony pentoxide, barium borate, aluminum hydroxide can also be added. The amount of the flame retardant used is preferably 30% by weight or less based on the total amount of the components (A), (B) and (C). The amount of the flame retardant aid used is preferably 15% by weight or less with respect to the total amount of the components (A), (B) and (C). The photosensitive resin composition of the present invention further includes a dye, a color former,
You may add a plasticizer, a pigment, an adhesion promoter, etc. as needed. The amount of these used is preferably 2% by weight or less based on the total amount of the components (A), (B) and (C).

【0038】本発明の感光性樹脂組成物は、前記
(A)、(B)及び(C)成分を溶解しうる溶剤、例え
ば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリド
ン、N,N−ジメチルホルムアミド、テトラメチルスル
ホン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、クロロ
ホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、エチルアル
コール等に溶解、混合させることにより、均一な溶液と
することができる。本発明の感光性樹脂組成物は、前記
のように溶液状態とすることによって液状コーティング
組成物としてスクリーン印刷、フローコーティング、ロ
ーラー塗布、スロットコーティング、スピンコーティン
グ、カーテンコート、スプレーコーティング、浸漬コー
ティングを含む一般的な方法を用いて基板や支持体上に
塗布することができる。この際、液状コーティング組成
物の粘度は、必要に応じて溶剤、増粘剤、充填剤などを
用いて各塗布法の要件を満たすように調整できる。基板
又は支持体上に塗布した後、液状コーティング層を乾燥
し溶剤を除去する。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a solvent capable of dissolving the components (A), (B) and (C), such as toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, Gamma-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, tetramethylsulfone, diethylene glycol dimethyl ether, chloroform, methylene chloride, methyl alcohol, ethyl alcohol, etc. are dissolved and mixed to form a uniform solution. be able to. The photosensitive resin composition of the present invention includes screen printing, flow coating, roller coating, slot coating, spin coating, curtain coating, spray coating and dip coating as a liquid coating composition by bringing it into a solution state as described above. It can be coated on a substrate or a support using a general method. At this time, the viscosity of the liquid coating composition can be adjusted by using a solvent, a thickener, a filler and the like as necessary to meet the requirements of each coating method. After coating on the substrate or support, the liquid coating layer is dried to remove the solvent.

【0039】本発明の感光性樹脂組成物を支持体上に塗
布、乾燥し、感光性エレメント(積層体)を得ることが
できる。支持体としては、重合体フィルム、例えば、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチ
レン等からなるフィルムが用いられ、これらのうちポリ
エチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これらの
重合体フィルムは、後に感光層から除去可能でなくては
ならないため、除去が不可能となるような表面処理が施
されたものであったり、材質であったりしてはならな
い。これらの重合体フィルムの厚さは、通常、5〜10
0μm、好ましくは10〜30μmである。これらの重
合体フィルムの一つは、感光層の支持フィルムとして、
他の一つは感光層の保護フィルムとして感光層の両面に
積層してもよい。また、本発明の感光性樹脂組成物を上
記のように支持体上に塗布、乾燥して感光層を形成し、
この感光層に配線を形成されたフレキシブルプリント板
を圧着させて積層体を得ることもできる。さらに、本発
明の積層体はロール状に巻き取って貯蔵することもでき
る。
The photosensitive resin composition of the present invention can be coated on a support and dried to obtain a photosensitive element (laminate). As the support, a polymer film, for example, a film made of polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene or the like is used, and among these, a polyethylene terephthalate film is preferable. Since these polymer films must be removable from the photosensitive layer later, they must not have been subjected to a surface treatment or made of a material that cannot be removed. The thickness of these polymer films is usually 5 to 10
0 μm, preferably 10 to 30 μm. One of these polymer films, as a support film of the photosensitive layer,
The other one may be laminated on both sides of the photosensitive layer as a protective film for the photosensitive layer. Further, the photosensitive resin composition of the present invention is coated on a support as described above and dried to form a photosensitive layer,
It is also possible to obtain a laminate by pressing a flexible printed board having wiring formed on the photosensitive layer. Furthermore, the laminate of the present invention can be wound into a roll and stored.

【0040】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造するに際しては、前記の保護フィル
ムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感
光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層す
る。フレキシブルプリント板を製造する場合、積層する
表面は、通常、エッチング等により配線が形成されたフ
レキシブルプリント板であるが、特に制限はない。感光
層の加熱圧着は、通常、温度90〜130℃、圧着圧力
3.0×105Paで行われるが、フレキシブルプリント
板に対する感光層の追従性をさらに向上させるために、
4000Pa以下の減圧下で上記の条件で加熱圧着するこ
とが好ましい。減圧下で加熱圧着する場合は、真空チャ
ンバ内で感光層を加熱圧着できる構造の真空ラミネータ
を使用することが好ましい。さらに、感光層を前記のよ
うに加熱すれば、予め基板を予熱処理する必要はない
が、追従性をさらに向上させるために基板の予熱処理を
行うこともできる。また、ロール状のフレキシブルプリ
ント板シートを連続的に繰り出して、感光層をこのフレ
キシブルプリント板シートに加熱圧着させることにより
連続的に積層する工程を経て、感光層を積層したフレキ
シブルプリント板シートをロール状に巻き取ることもで
きる。感光層を連続的に積層する工程において、フレキ
シブルプリント板に対する感光層の追従性をさらに向上
させるために、真空ラミネータを用いて4000Pa以
下の減圧下で加熱圧着することが好ましい。
In producing a photoresist image using the photosensitive element of the present invention, when the above-mentioned protective film is present, the protective film is removed and then the photosensitive layer is pressed against the substrate while heating. By doing so. When manufacturing a flexible printed board, the surface to be laminated is usually a flexible printed board on which wiring is formed by etching or the like, but there is no particular limitation. The thermocompression bonding of the photosensitive layer is usually performed at a temperature of 90 to 130 ° C. and a pressure bonding pressure of 3.0 × 10 5 Pa, but in order to further improve the followability of the photosensitive layer to the flexible printed board,
It is preferable to perform thermocompression bonding under the above conditions under a reduced pressure of 4000 Pa or less. When thermocompression bonding is performed under reduced pressure, it is preferable to use a vacuum laminator having a structure capable of thermocompression bonding the photosensitive layer in a vacuum chamber. Further, if the photosensitive layer is heated as described above, it is not necessary to preheat the substrate in advance, but the substrate can be preheated in order to further improve the followability. In addition, a flexible printed board sheet in which a photosensitive layer is laminated is rolled through a process of continuously feeding out a roll-shaped flexible printed board sheet and continuously laminating the photosensitive layer by thermocompression bonding to the flexible printed board sheet. It can also be wound into a shape. In the step of continuously stacking the photosensitive layers, in order to further improve the followability of the photosensitive layers to the flexible printed board, it is preferable to use a vacuum laminator and perform thermocompression bonding under a reduced pressure of 4000 Pa or less.

【0041】このようにして積層が完了した感光層は、
次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光
で画像的に露光される。この際感光層上に存在する重合
体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよい
が、不透明の場合には、当然除去する必要がある。感光
層の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、こ
の重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光
することが好ましい。活性光としては、公知の活性光
源、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノ
ンアーク、その他から発生する光が用いられる。感光層
に含まれる光開始剤の感受性は、通常、紫外線領域にお
いて最大であるので、その場合は活性光源は紫外線を有
効に放射するものにすべきである。もちろん、光開始剤
が可視光線に感受性のもの、例えば、9,10−フェナ
ンスレンキノン等である場合には、活性光として可視光
が用いられ、その光源としては前記のもの以外に写真用
フラッド電球、太陽ランプなども用いられる。
The photosensitive layer thus laminated is
It is then imagewise exposed to actinic light using a negative or positive film. At this time, if the polymer film present on the photosensitive layer is transparent, it may be exposed as it is, but if it is opaque, it must be removed. From the viewpoint of protection of the photosensitive layer, the polymer film is transparent, and it is preferable to expose the polymer film while leaving the polymer film remaining. As the active light, a light generated from a known active light source, for example, a carbon arc, a mercury vapor arc, a xenon arc, or the like is used. The sensitivity of the photoinitiator contained in the photosensitive layer is usually maximum in the UV region, in which case the actinic light source should be one which emits UV radiation effectively. Of course, when the photoinitiator is one that is sensitive to visible light, for example, 9,10-phenanthrenequinone, visible light is used as the active light, and the light source is photographic light other than those mentioned above. Flood bulbs and sun lamps are also used.

【0042】活性光で画像的に露光した感光性樹脂組成
物の層は、露光部分の橋架けを誘起又は促進するため
に、露光後に加熱するのが普通である。露光後の加熱
は、例えば、約85〜110℃の温度で約5分〜60分
加熱する。
The layer of the photosensitive resin composition which has been imagewise exposed to actinic light is usually heated after exposure in order to induce or accelerate the crosslinking of the exposed portion. The heating after the exposure is, for example, heating at a temperature of about 85 to 110 ° C. for about 5 to 60 minutes.

【0043】露光後、感光層上に重合体フィルムが存在
している場合には、これを除去した後、適当な現像液を
用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、
スクラッビング等の公知方法により未露光部を除去して
現像する。現像液としては、例えば、三アセトンアルコ
ール、アセトン、酢酸エチル、炭素数1〜4のアルコキ
シ基を有するアルコキシエタノール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル、1,1,1−トリクロロエタン、N−
メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミ
ド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ−
ブチロラクトンなどが挙げられる。これらは、単独で又
は2種以上組み合わせて用いることができる。また、そ
の温度は感光層の現像性に合わせて調整することができ
る。この現像液中に界面活性剤、消泡剤などを少量混入
させてもよい。これらの現像液には、引火防止の目的で
1〜30容量%の範囲で水を添加することもできる。
After the exposure, if a polymer film is present on the photosensitive layer, it is removed, and then, using a suitable developing solution, for example, spraying, rocking dipping, brushing,
The unexposed portion is removed by a known method such as scrubbing and development is performed. Examples of the developer include triacetone alcohol, acetone, ethyl acetate, alkoxyethanol having an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether. , 1,1,1-trichloroethane, N-
Methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, γ-
Examples include butyrolactone. These can be used alone or in combination of two or more. The temperature can be adjusted according to the developability of the photosensitive layer. A small amount of a surfactant, a defoaming agent or the like may be mixed in this developing solution. Water may be added to these developers in the range of 1 to 30% by volume for the purpose of preventing ignition.

【0044】さらに、現像後、フレキシブルプリント板
用カバーレイのはんだ耐熱性、耐薬品性などを向上させ
る目的で、高圧水銀ランプ等による活性光の照射を行っ
てもよい。活性光の照射量は、一般的に、0.2〜10
J/cm2程度であり、照射の際に60〜180℃の加熱を
行ってもよい。また、同様の目的で現像後、加熱を行っ
てもよい。加熱は、100〜180℃程度の範囲で15
〜90分行うことが好ましい。これらの活性光を照射す
る工程と加熱する工程を両方行ってもよく、その場合、
両工程を任意の順序で行うことができる。
Further, after the development, for the purpose of improving the solder heat resistance, chemical resistance, etc. of the cover lay for the flexible printed board, active light may be irradiated by a high pressure mercury lamp or the like. The irradiation amount of actinic light is generally 0.2 to 10
It is about J / cm 2 , and heating at 60 to 180 ° C. may be performed during irradiation. In addition, heating may be performed after development for the same purpose. Heating is 15 within the range of 100 to 180 ° C.
It is preferably carried out for 90 minutes. You may perform both the process of irradiating these active lights and the process of heating, in that case,
Both steps can be performed in any order.

【0045】[0045]

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳しく説
明するが、本発明はこれらによって制限されるものでは
ない。
Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, which should not be construed as limiting the present invention.

【0046】合成例1(ポリカーボネートジオール変性
ジカルボン酸の合成) 攪拌機、温度計、冷却管、留出管及び窒素ガス導入管を
装備したフラスコに、ポリカーボネートジオール(ダイ
セル化学工業(株)製の商品名プラクセルCD210、平
均分子量1,000)を1000重量部(1モル)、セ
バシン酸を405重量部(2モル)仕込み、窒素ガス通
気下、途中、副生してくる縮合水をトルエンで共沸させ
て留去しながら、1時間かけて200℃に昇温した。同
温度で3時間保温して脱水エステル化反応を完結させた
後、冷却し、酸価82.5、分子量(酸価からの算出
値)1,360のポリカーボネートジオール変性ジカル
ボン酸(以下、P−1と記す)を得た。
Synthesis Example 1 (Synthesis of Polycarbonate Diol-Modified Dicarboxylic Acid) A flask equipped with a stirrer, a thermometer, a cooling pipe, a distilling pipe, and a nitrogen gas introducing pipe was charged with polycarbonate diol (trade name of Daicel Chemical Industries, Ltd.). 1000 parts by weight (1 mol) of Praxel CD210 and 1,000 parts by weight of average molecular weight and 405 parts by weight (2 mol) of sebacic acid were charged, and the condensed water produced as a by-product was azeotropically distilled with toluene under nitrogen gas ventilation. Then, the temperature was raised to 200 ° C. over 1 hour. After keeping the temperature at the same temperature for 3 hours to complete the dehydration esterification reaction, the mixture was cooled and then cooled with a polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid having an acid value of 82.5 and a molecular weight (calculated from the acid value) of 1,360 (hereinafter referred to as P- 1).

【0047】合成例2(ポリカーボネートジオール変性
ジカルボン酸の合成) ポリカーボネートジオールとして、ダイセル化学工業
(株)製の商品名プラクセルCD220、平均分子量2,
000)を2000重量部使用し、セバシン酸の代わり
にアジピン酸292重量部を用いた以外は、合成例1と
同様の操作により、酸価49.6、分子量2,260の
ポリカーボネートジオール変性ジカルボン酸(以下、P
−2と記す)を得た。
Synthesis Example 2 (Synthesis of Polycarbonate Diol-Modified Dicarboxylic Acid) As a polycarbonate diol, Daicel Chemical Industries Ltd.
Brand name Praxel CD220 manufactured by K.K., average molecular weight 2,
2000 parts by weight and 292 parts by weight of adipic acid instead of sebacic acid were used, and a polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid having an acid value of 49.6 and a molecular weight of 2,260 was obtained by the same operation as in Synthesis Example 1. (Hereafter, P
-2) was obtained.

【0048】合成例3(ポリカーボネートジオール変性
ジカルボン酸の合成) ポリカーボネートジオールとして、ダイセル化学工業
(株)製の商品名プラクセルCD220、平均分子量2,
000)を2000重量部使用した以外は、合成例1と
同様の操作により、酸価47.0、分子量2,390の
ポリカーボネートジオール変性ジカルボン酸(以下、P
−3と記す)を得た。
Synthesis Example 3 (Synthesis of Polycarbonate Diol-Modified Dicarboxylic Acid) As a polycarbonate diol, Daicel Chemical Industries Ltd.
Brand name Praxel CD220 manufactured by K.K., average molecular weight 2,
2,000) and a polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid having an acid value of 47.0 and a molecular weight of 2,390 (hereinafter, referred to as P
-3).

【0049】合成例4(エポキシ基含有ポリアミド系樹
脂の合成) 攪拌機、温度計、冷却管及び窒素ガス導入管を装備した
フラスコに、多価カルボン酸成分(a)として合成例1
で得たポリカーボネートジオール変性ジカルボン酸(P
−1)57.7重量部(42.4ミリモル)、アジピン
酸4.9重量部(33.6ミリモル)、セバシン酸6.
8重量部(33.7ミリモル)及びイソフタル酸11.
2重量部(67.5ミリモル)の計177.2ミリモ
ル、ジイソシアネート(b)として4,4′−ジフェニ
ルメタンジイソシアネート(以下、MDIと記す)2
2.1重量部(88.4ミリモル)及びトリレンジイソ
シアネート(以下、TDIと記す。2,4−異性体/
2,6−異性体=80/20モル%)10.3重量部
(59.2ミリモル)の計147.6ミリモル及び反応
溶媒としてγ−ブチロラクトン150重量部を仕込み、
窒素ガス通気下、途中、副生してくる炭酸ガスを系外に
排気しながら200℃に昇温した。同温度で3時間保温
して脱炭酸アミド化反応を完結させた後、150℃まで
冷却し、加熱残分(220℃/1時間)40重量%、酸
価(樹脂分換算)40.2、分子量(酸価からの算出
値)2,790のカルボン酸含有ポリアミド系樹脂(以
下、c−1と記す)100重量部(樹脂分換算、35.
8ミリモル)を得た。
Synthesis Example 4 (Synthesis of Epoxy Group-Containing Polyamide Resin) Synthesis Example 1 was used as a polycarboxylic acid component (a) in a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a cooling pipe and a nitrogen gas introducing pipe.
Polycarbonate diol modified dicarboxylic acid (P
-1) 57.7 parts by weight (42.4 mmol), adipic acid 4.9 parts by weight (33.6 mmol), sebacic acid 6.
8 parts by weight (33.7 mmol) and isophthalic acid 11.
27.2 parts by weight (67.5 mmol), 177.2 mmol in total, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (hereinafter referred to as MDI) 2 as diisocyanate (b) 2
2.1 parts by weight (88.4 mmol) and tolylene diisocyanate (hereinafter referred to as TDI. 2,4-isomer /
2,6-isomer = 80/20 mol%) 10.3 parts by weight (59.2 mmol) in total 147.6 mmol and 150 parts by weight of γ-butyrolactone as a reaction solvent were charged,
The temperature was raised to 200 ° C. while venting the carbon dioxide gas generated as a by-product during the ventilation of nitrogen gas. After keeping the temperature at the same temperature for 3 hours to complete the decarboxylation amidation reaction, the mixture was cooled to 150 ° C., the heating residue (220 ° C./hour) 40% by weight, acid value (resin content conversion) 40.2, 100 parts by weight of a carboxylic acid-containing polyamide resin (hereinafter referred to as c-1) having a molecular weight (calculated from an acid value) of 2,790 (hereinafter, referred to as c-1) (converted into resin content, 35.
8 mmol) was obtained.

【0050】次いで、150℃で保温状態にある(c−
1)に、エポキシ樹脂(d)としてビスフェノールA型
エポキシ樹脂であるエポミックR140P(三井石油化
学工業(株)製商品名)16.2重量部(43.1ミリモ
ル)及び反応溶媒としてN,N−ジメチルホルムアミド
66.7重量部を添加し、同温度で3時間保温してヒド
ロキシエチルエステル化反応を完結させた後、冷却し、
加熱残分(220℃/1時間)35重量%、エポキシ当
量(樹脂分換算)8100、水酸当量(樹脂分換算)1
620、分子量(設計値)16,200のエポキシ基含
有ポリアミド系樹脂(以下、A−1と記す)を得た。
Next, it is kept warm at 150 ° C. (c-
In 1), 16.2 parts by weight (43.1 mmol) of Epomic R140P (trade name of Mitsui Petrochemical Industry Co., Ltd.), which is a bisphenol A type epoxy resin, as the epoxy resin (d) and N, N- as the reaction solvent. 66.7 parts by weight of dimethylformamide was added, and the mixture was kept at the same temperature for 3 hours to complete the hydroxyethyl esterification reaction, and then cooled,
Heating residue (220 ° C / 1 hour) 35% by weight, epoxy equivalent (resin equivalent) 8100, hydroxyl equivalent (resin equivalent) 1
An epoxy group-containing polyamide resin (hereinafter referred to as A-1) having a molecular weight (design value) of 620 and 16,200 was obtained.

【0051】また、同様の操作により、表1に示す配合
(樹脂分換算)、性状のカルボン酸含有ポリアミド系樹
脂(c−2、c−3及びc−4で示す)及び比較用カル
ボン酸含有ポリアミド系樹脂(c−5及びc−6で示
す)を得た後、表2に示す配合(樹脂分換算)、性状の
エポキシ基含有ポリアミド系樹脂(A−2、A−3及び
A−4で示す)及び比較用エポキシ基含有ポリアミド系
樹脂(A−5及びA−6で示す)を得た。なお、表1中
のIPDIはイソホロンジイソシアネートであり、表2
中のエピコート1001は、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(油化シェルエポキシ(株)社製)であり、表1及
び表2中の配合量の単位は重量部である。
By the same operation, the carboxylic acid-containing polyamide resin (shown as c-2, c-3 and c-4) having the composition (converted to resin content) shown in Table 1 and the carboxylic acid for comparison were contained. After obtaining a polyamide-based resin (indicated by c-5 and c-6), the epoxy group-containing polyamide-based resin (A-2, A-3 and A-4) having the composition (converted to a resin content) and properties shown in Table 2 is obtained. And a comparative epoxy group-containing polyamide resin (shown by A-5 and A-6). In addition, IPDI in Table 1 is isophorone diisocyanate, and Table 2
Epicoat 1001 therein is a bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), and the unit of the blending amount in Tables 1 and 2 is parts by weight.

【0052】[0052]

【表1】 [Table 1]

【0053】[0053]

【表2】 [Table 2]

【0054】実施例1 表3の材料を配合して感光性樹脂組成物の溶液を調製し
た。
Example 1 The materials shown in Table 3 were blended to prepare a solution of a photosensitive resin composition.

【表3】 [Table 3]

【0055】得られた感光性樹脂組成物の溶液を180
メッシュステンレススクリーン版使用のスクリーン印刷
機を用いて、35μm厚の銅箔をポリイミド基材に積層
したフレキシブルプリント板用基板(ニッカン工業(株)
製、商品名F30VC125RC11)の銅箔を常法に
従ってエッチングし、ライン/スペース(μm)=16
5/165、318/318、636/636の3つの
テストパターン銅回路を形成したフレキシブルプリント
板上に、乾燥後の膜厚が約40μmとなるように全面に
印刷した後、約100℃で30分間予備乾燥して試料を
作製した。この試料を用い、下記の方法で特性評価を行
い、結果を表4に示す。
The solution of the obtained photosensitive resin composition was added to 180
Using a screen printing machine using a mesh stainless screen plate, a flexible printed board substrate in which a copper foil having a thickness of 35 μm is laminated on a polyimide substrate (Nikan Kogyo Co., Ltd.)
(Trade name: F30VC125RC11) manufactured by Japan, and etched according to a conventional method to obtain a line / space (μm) = 16.
5/165, 318/318, 636/636 test patterns were printed on the entire surface of a flexible printed board on which a copper circuit was formed so that the film thickness after drying was about 40 μm, and then at about 100 ° C. for 30 minutes. A sample was prepared by predrying for 1 minute. Using this sample, characteristics were evaluated by the following methods, and the results are shown in Table 4.

【0056】 感光特性 試料の上にコダックステップタブレットNo.2(イース
トマンコダック(株)製の21段ステップタブレット)を
密着させ、(株)オーク製作所製HMW−201GX型露
光機を使用し、所定量露光し、続いて100℃で10分
間加熱した。その後、N−メチルピロリドン/水=80
/20(容量比)からなる現像液で40℃で70秒間ス
プレー現像し、ステップタブレット段数8段を得るため
に必要な露光量を感度とした。また、フォトツール(コ
ダックステップタブレットNo.2とライン/スペース
(μm)=30/30〜250/250(解像度)、及
びライン/スペース(μm)=30/400〜250/
400(密着性)のネガパターンを有するフォトツー
ル)を得られた試料のポリエチレンテレフタレートフィ
ルムの上から密着させ、ステップタブレット段数8段を
得るために必要な露光量で露光、現像したときに、矩形
のレジスト形状が得られる最も小さい解像度パターンの
ライン/スペースの値を解像度とした。
Photosensitivity Kodak step tablet No. 2 (21-step step tablet manufactured by Eastman Kodak Co., Ltd.) was brought into close contact with the sample, and a HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. was used. It was quantitatively exposed and subsequently heated at 100 ° C. for 10 minutes. Then, N-methylpyrrolidone / water = 80
/ 20 (volume ratio) was spray-developed at 40 ° C. for 70 seconds, and the exposure amount required to obtain 8 step tablet stages was taken as the sensitivity. Also, photo tools (Kodak Step Tablet No. 2 and line / space (μm) = 30/30 to 250/250 (resolution), and line / space (μm) = 30/400 to 250 /
When a photo tool having a negative pattern of 400 (adhesiveness) is adhered from the polyethylene terephthalate film of the obtained sample and exposed and developed with an exposure amount necessary to obtain 8 step tablet steps, a rectangle is formed. The value of the line / space of the smallest resolution pattern that can obtain the resist shape is defined as the resolution.

【0057】 はんだ耐熱性 試料の上に試験用ネガマスクを密着させ、ステップタブ
レット段数8段が得られるように露光し、続いて100
℃で10分間加熱した。その後、N−メチルピロリドン
/水=80/20(容量比)からなる現像液で40℃で
70秒間スプレー現像し、80℃で10分間乾燥した。
次いで、東芝電材(株)製東芝紫外線照射装置を使用して
3J/cm2の紫外線照射を行い、さらに150℃で40分
間加熱処理を行い、レジストパターンを形成したフレキ
シブルプリント板を得た。次いで、ロジン系フラックス
MH−820V(タムラ化研(株)製)を塗布した後、2
60℃のはんだ浴中に30秒間浸漬してはんだ付け処理
を行った。このような操作の後、レジストのクラック発
生状況、基板からのレジストの浮きや剥がれの状況を目
視で次の基準で評価した。 良好:クラック、浮き及び剥がれがないもの 不良:クラック、浮き及び剥がれが発生したもの
Solder heat resistance A test negative mask was brought into close contact with the sample and exposed so that a step tablet number of 8 could be obtained.
Heated at 0 ° C for 10 minutes. Then, spray development was performed at 40 ° C. for 70 seconds with a developing solution composed of N-methylpyrrolidone / water = 80/20 (volume ratio), and dried at 80 ° C. for 10 minutes.
Next, a Toshiba ultraviolet ray irradiation device (Toshiba Denshi Co., Ltd.) was used to irradiate with 3 J / cm 2 of ultraviolet ray, and heat treatment was further performed at 150 ° C. for 40 minutes to obtain a flexible printed board on which a resist pattern was formed. Then, after applying rosin flux MH-820V (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), 2
A soldering treatment was performed by immersing the solder in a solder bath at 60 ° C. for 30 seconds. After such an operation, the state of cracking of the resist and the state of floating or peeling of the resist from the substrate were visually evaluated according to the following criteria. Good: No cracks, lifts or peels. Poor: Cracks, lifts or peels.

【0058】 耐溶剤性 上記のと同様の操作で得たレジストパターンを形成し
たフレキシブルプリント板を室温でメチルエチルケトン
及びイソプロピルアルコール中に10分間浸漬した後、
基板からのレジストの浮き及び剥がれの状況を目視で下
記の基準で評価した。 良好:浮き及び剥がれのないもの 不良:浮き及び剥がれがあるもの
Solvent resistance A flexible printed board having a resist pattern obtained by the same operation as above was immersed in methyl ethyl ketone and isopropyl alcohol at room temperature for 10 minutes, and then,
The state of floating and peeling of the resist from the substrate was visually evaluated according to the following criteria. Good: No floating or peeling Poor: Some floating or peeling

【0059】 耐折性 上記と同様の操作で得たレジストパターンを形成した
フレキシブルプリント板にロジン系フラックスMH−8
20V(タムラ化研(株)製)を塗布した後、260℃の
はんだ浴中に30秒間浸漬してはんだ付け処理を行っ
た。その試料をはぜ折りで180°折り曲げ、折り曲げ
た際のレジストのクラックの発生状況を目視で下記の基
準で評価した。 良好:クラックの発生がないもの 不良:クラックが発生したもの
Folding resistance A rosin-based flux MH-8 was applied to a flexible printed board having a resist pattern formed by the same operation as above.
After applying 20 V (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), it was dipped in a solder bath at 260 ° C. for 30 seconds for soldering treatment. The sample was bent by 180 ° by twist folding, and the occurrence of cracks in the resist when bent was visually evaluated according to the following criteria. Good: No cracks generated Bad: Cracks generated

【0060】 難燃性 上記と同様の操作で得たレジストパターンを形成した
フレキシブルプリント板について、UL94規格(VT
M法)に従って難燃性を評価した。
Flame Retardancy A flexible printed board on which a resist pattern obtained by the same operation as described above is formed is UL94 standard (VT
Flame retardancy was evaluated according to the M method).

【0061】実施例2〜4及び比較例1〜2 表4に示す配合(その他の成分は実施例1と同じ)の感
光性樹脂組成物の溶液を調製し、実施例1と同様の操作
でレジストパターンを形成したフレキシブルプリント板
を作製し、実施例1と同様に評価し、結果を表4に示
す。なお、表4における配合量の単位は重量部であり、
B−1はエポミックR140、B−2はエピコート10
01を意味し、C−1はトリフェニルスルホニウムヘキ
サフロロアンチモネート塩、C−2はジフェニルヨード
ニウムヘキサフロロホスホニウム塩を意味する。
Examples 2 to 4 and Comparative Examples 1 to 2 A solution of a photosensitive resin composition having the composition shown in Table 4 (other components are the same as in Example 1) was prepared and the same operation as in Example 1 was performed. A flexible printed board on which a resist pattern was formed was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 4. The unit of the compounding amount in Table 4 is parts by weight,
B-1 is Epomic R140, B-2 is Epicoat 10
C-1 means triphenylsulfonium hexafluoroantimonate salt, and C-2 means diphenyliodonium hexafluorophosphonium salt.

【0062】[0062]

【表4】 [Table 4]

【0063】実施例5 表5の成分を配合した感光性樹脂組成物の溶液を調製し
た。
Example 5 A solution of a photosensitive resin composition containing the components shown in Table 5 was prepared.

【表5】 [Table 5]

【0064】得られた感光性樹脂組成物の溶液6を図1
に示す装置を用いて20μmの厚さのポリエチレンテレ
フタレートフィルム12上に均一に塗布し、80〜11
0℃の熱風対流式乾燥機7で約10分間乾燥して溶剤を
除去した。感光性樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは、約
50μmであった。感光性樹脂組成物の層の上には、さ
らに図1に示したようにして厚さ約25μmのポリエチ
レンフィルム13を保護フィルムとして貼り合わせ、本
発明の感光性積層体(感光性エレメント)を得た。な
お、図1において、1はポリエチレンテレフタレートフ
ィルム繰り出しロール、2、3、4、9及び10はロー
ル、5はナイフ、8はポリエチレンフィルム繰り出しロ
ール、11は感光性エレメント巻き取りロールである。
The solution 6 of the obtained photosensitive resin composition is shown in FIG.
80 to 11 by uniformly coating on a polyethylene terephthalate film 12 having a thickness of 20 μm using the apparatus shown in FIG.
The solvent was removed by drying in a hot air convection dryer 7 at 0 ° C. for about 10 minutes. The thickness of the layer of the photosensitive resin composition after drying was about 50 μm. On the layer of the photosensitive resin composition, a polyethylene film 13 having a thickness of about 25 μm was attached as a protective film as shown in FIG. 1 to obtain a photosensitive laminate (photosensitive element) of the present invention. It was In FIG. 1, 1 is a polyethylene terephthalate film payout roll, 2, 3, 4, 9 and 10 are rolls, 5 is a knife, 8 is a polyethylene film payout roll, and 11 is a photosensitive element take-up roll.

【0065】得られた感光性エレメントの回路埋め込み
性及び感光特性、レジスト形成後のはんだ耐熱性、耐折
性、難燃性及び保存安定性について、下記の方法で評価
し、結果を表6に示す。なお、表6中の配合量の単位は
重量部である。
The circuit embedding property and photosensitive property of the obtained photosensitive element, solder heat resistance after resist formation, folding resistance, flame retardancy and storage stability were evaluated by the following methods, and the results are shown in Table 6. Show. The unit of the compounding amount in Table 6 is parts by weight.

【0066】 回路埋め込み性 35μm厚の銅箔をポリイミド基材に積層したフレキシ
ブルプリント板用基板(ニッカン工業(株)製、商品名F
30VC125RC11)の銅箔を常法に従ってエッチ
ングし、ライン/スペース(μm)=165/165、
318/318、636/636の3つのテストパター
ン銅回路を形成したフレキシブルプリント板上に連続式
真空ラミネータ(日立化成工業(株)製、商品名VLM−
1型)を用いて、ヒートシュー温度120℃、ラミネー
ト速度0.5m/s、気圧4000Pa以下、圧着圧力
3.0×105Paで前記感光性エレメントをポリエチレ
ンフィルムを剥がしながら積層した。
Circuit embedding property A substrate for a flexible printed board (made by Nikkan Industry Co., Ltd., trade name F, in which a copper foil having a thickness of 35 μm is laminated on a polyimide base material
30VC125RC11) copper foil was etched according to a conventional method, and line / space (μm) = 165/165,
Three test patterns of 318/318 and 636/636 A continuous vacuum laminator (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name VLM-) on a flexible printed board on which copper circuits are formed.
1 type), the above-mentioned photosensitive element was laminated while peeling the polyethylene film at a heat shoe temperature of 120 ° C., a laminating speed of 0.5 m / s, an atmospheric pressure of 4000 Pa or less, and a pressure bonding pressure of 3.0 × 10 5 Pa.

【0067】続いて、3つのテストパターン部分を実体
顕微鏡で外観観察し、銅回路周囲に気泡等の残留の有無
を調べるとともに、3つのテストパターン部分を切り出
し、エポキシ注型法で銅回路断面観察用のサンプルを作
製し、電子顕微鏡で銅回路周囲のカバーレイの追従状況
を調べて、回路埋め込み性の判定を行った。評価基準
は、次のとおりである。 良好:気泡の残留がなく、銅回路周囲での間隙がないも
の 不良:気泡の残留があるもの、又は銅回路周囲での間隙
があるもの
Subsequently, the appearance of the three test pattern portions is observed with a stereoscopic microscope to check for the presence of bubbles or the like around the copper circuit, and the three test pattern portions are cut out and the copper circuit cross section is observed by an epoxy casting method. Samples were prepared, and the follow-up situation of the coverlay around the copper circuit was examined by an electron microscope to determine the circuit embedding property. The evaluation criteria are as follows. Good: No air bubbles remain and no gap around the copper circuit Poor: Some air bubbles remain or gap around the copper circuit

【0068】 感光特性 35μm厚の銅箔をポリイミド基材に積層したフレキシ
ブルプリント板用基板(ニッカン工業(株)製、商品名F
30VC125RC11)の銅表面を砥粒ブラシで研磨
し、水洗後、乾燥した。このフレキシブルプリント板用
基板上に連続式真空ラミネータ(日立化成工業(株)製、
商品名VLM−1型)を用いて、ヒートシュー温度12
0℃、ラミネート速度0.5m/s、気圧4000Pa以
下、圧着圧力3.0×105Paで前記感光性エレメント
をポリエチレンフィルムを剥がしながら積層した。次
に、得られた試料のポリエチレンテレフタレートフィル
ムの上から、コダックステップタブレットNo.2(イー
ストマンコダック(株)製、21段ステップタブレット)
を密着させ、(株)オーク製作所製HMW−201GX型
露光機を使用して所定量露光した。続いて、100℃で
10分間加熱した後、N−メチル−2−ピロリドン/水
=80/20(容量比)からなる現像液で40℃で70
秒間スプレー現像し、ステップタブレット段数8段を得
るために必要な露光量を感度とした。
Photosensitive property A substrate for a flexible printed board (copper name F, manufactured by Nikkan Industry Co., Ltd.) in which a copper foil having a thickness of 35 μm is laminated on a polyimide base material.
The copper surface of 30VC125RC11) was polished with an abrasive grain brush, washed with water and dried. Continuous vacuum laminator (made by Hitachi Chemical Co., Ltd.) on this flexible printed circuit board
Using the product name VLM-1 type), heat shoe temperature 12
The photosensitive element was laminated while the polyethylene film was peeled off at 0 ° C., a laminating speed of 0.5 m / s, an atmospheric pressure of 4000 Pa or less, and a pressure bonding pressure of 3.0 × 10 5 Pa. Next, Kodak step tablet No. 2 (21-step step tablet manufactured by Eastman Kodak Co., Ltd.) was placed on the polyethylene terephthalate film of the obtained sample.
Were closely contacted with each other, and a predetermined amount of light was exposed using an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. Then, after heating at 100 ° C. for 10 minutes, a developing solution composed of N-methyl-2-pyrrolidone / water = 80/20 (volume ratio) was used at 70 ° C. at 70 ° C.
The sensitivity was defined as the exposure amount necessary to obtain 8 step tablet stages by carrying out spray development for 2 seconds.

【0069】また、フォトツール(コダックステップタ
ブレットNo.2とライン/スペース(μm)=30/3
0〜250/250(解像度)、及びライン/スペース
(μm)=30/400〜250/400(密着性)の
ネガパターンを有するフォトツール)を、得られた試料
のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から密着さ
せ、ステップタブレット段数8段を得られる露光量で露
光し、現像したときに矩形のレジスト形状が得られる最
も小さい解像度パターンのライン/スペースの値を解像
度とした。
Photo tool (Kodak Step Tablet No. 2 and line / space (μm) = 30/3
0 to 250/250 (resolution) and line / space (μm) = 30/400 to 250/400 (adhesion) a photo tool having a negative pattern) is adhered onto the polyethylene terephthalate film of the obtained sample. Then, the line / space value of the smallest resolution pattern that gives a rectangular resist shape when exposed and developed with an exposure amount that can obtain the number of steps of 8 step tablets was taken as the resolution.

【0070】 はんだ耐熱性 上記と同様に、フレキシブルプリント板用基板に感光
性エレメントを積層した試料のポリエチレンテレフタレ
ートフィルムの上から試験用ネガマスクを密着させ、ス
テップタブレット段数8段を得られる露光量で露光し
た。続いて、100℃で10分間加熱した後、試料のポ
リエチレンテレフタレートフィルムを剥がし、N−メチ
ルピロリドン/水=80/20(容量比)からなる現像
液で40℃で70秒間スプレー現像し、80℃で10分
間乾燥した。次いで、東芝電材(株)製紫外線照射装置を
使用して、3J/cm2の紫外線照射を行い、さらに150
℃で40分間加熱処理を行い、カバーレイを形成したフ
レキシブルプリント板を得た。
Solder heat resistance In the same manner as described above, a negative mask for testing was brought into close contact with the sample polyethylene terephthalate film in which a photosensitive element was laminated on a substrate for flexible printed board, and exposure was performed with an exposure amount that could obtain 8 step tablet steps. did. Subsequently, after heating at 100 ° C. for 10 minutes, the sample polyethylene terephthalate film was peeled off, and spray development was performed at 40 ° C. for 70 seconds with a developing solution consisting of N-methylpyrrolidone / water = 80/20 (volume ratio), and then 80 ° C. And dried for 10 minutes. Then, using an ultraviolet irradiation device manufactured by Toshiba Densa Co., Ltd., ultraviolet irradiation of 3 J / cm 2 was performed, and further 150
A heat treatment was performed at 40 ° C. for 40 minutes to obtain a flexible printed board on which a cover lay was formed.

【0071】次いで、ロジン系フラックスMH−820
V(タムラ化研(株)製)を塗布した後、260℃のはん
だ浴中に30秒間浸漬してはんだ付け処理を行った。こ
のような操作の後、カバーレイのクラック発生状況、基
板からのカバーレイの浮きや剥がれの状況を目視で次の
基準で評価した。 良好:クラック、浮き及び剥がれがないもの 不良:クラック、浮き及び剥がれが発生したもの
Then, rosin flux MH-820
After applying V (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), it was dipped in a solder bath at 260 ° C. for 30 seconds for soldering treatment. After such an operation, the crack generation state of the coverlay and the floating state or peeling state of the coverlay from the substrate were visually evaluated according to the following criteria. Good: No cracks, lifts or peels. Poor: Cracks, lifts or peels.

【0072】 耐溶剤性 上記と同様の操作でカバーレイを形成したフレキシブ
ルプリント板を室温でメチルエチルケトン及びイソプロ
ピルアルコール中に10分間浸漬した後、基板からのカ
バーレイの浮き及び剥がれの状況を目視で下記の基準で
評価した。 良好:浮き及び剥がれのないもの 不良:浮き及び剥がれがあるもの
Solvent resistance A flexible printed board on which a cover lay was formed by the same operation as above was immersed in methyl ethyl ketone and isopropyl alcohol for 10 minutes at room temperature, and the state of floating and peeling of the cover lay from the substrate was visually observed as follows. It evaluated by the standard of. Good: No floating or peeling Poor: Some floating or peeling

【0073】 耐折性 上記と同様の操作で得たフレキシブルプリント板用基
板上にカバーレイを形成し、はんだ付け処理を行った試
料をはぜ折りで180°折り曲げ、折り曲げた際のカバ
ーレイのクラックの発生状況を目視で下記の基準で評価
した。 良好:クラックの発生がないもの 不良:クラックが発生したもの
Folding resistance A coverlay was formed on a substrate for flexible printed board obtained by the same operation as above, and the sample subjected to the soldering treatment was folded by 180 °, and the coverlay was bent. The crack generation status was visually evaluated according to the following criteria. Good: No cracks generated Bad: Cracks generated

【0074】 難燃性 上記と同様の操作で得たカバーレイを形成したフレキ
シブルプリント板について、UL94規格(VTM法)
に従って難燃性を評価した。
Flame Retardancy A flexible printed board having a cover lay obtained by the same operation as described above is UL94 standard (VTM method).
The flame retardancy was evaluated according to.

【0075】 保存安定性 ロール状に巻き取られた長さ90mの感光性エレメント
を温度23℃、湿度60%で保管し、ロール側面からの
感光層のしみ出しの様子を6ケ月間にわたって下記の基
準で目視で評価した。 良好:6ケ月後でも感光層のしみ出しがないもの 不良:6ケ月間の間に感光層のしみ出しが発生したもの
Storage stability A 90 m long photosensitive element wound in a roll shape was stored at a temperature of 23 ° C. and a humidity of 60%, and the state of the exudation of the photosensitive layer from the side surface of the roll was shown below for 6 months. It was visually evaluated according to the standard. Good: No bleeding of the photosensitive layer even after 6 months. Poor: No bleeding of the photosensitive layer during 6 months.

【0076】実施例6〜8及び比較例3〜4 実施例5で用いたエポキシ基含有ポリアミド系樹脂及び
エポキシ樹脂を表6に示すものに代えた以外は、実施例
5と同様に操作してレジストパターンを形成したフレキ
シブルプリント板を作製し、実施例5と同様にして諸特
性を評価し、結果を表6に示す。なお、表6において、
配合量の単位は重量部である。
Examples 6 to 8 and Comparative Examples 3 to 4 The procedure of Example 5 was repeated except that the epoxy group-containing polyamide resin and epoxy resin used in Example 5 were replaced by those shown in Table 6. A flexible printed board on which a resist pattern was formed was produced, various properties were evaluated in the same manner as in Example 5, and the results are shown in Table 6. In addition, in Table 6,
The unit of the compounding amount is parts by weight.

【0077】[0077]

【表6】 [Table 6]

【0078】表4及び表6から明らかなように、本発明
の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを用いること
によって、はんだ耐熱性及び耐折性がともに良好で、か
つ、難燃性が94V−1(UL規格)又は94V−0
(UL規格)であるフレキシブルプリント板用カバーレ
イが得られることが分かる。
As is clear from Tables 4 and 6, by using the photosensitive resin composition and the photosensitive element of the present invention, both the solder heat resistance and the folding resistance are good, and the flame retardancy is 94V. -1 (UL standard) or 94V-0
It can be seen that a cover lay for flexible printed boards that is (UL standard) is obtained.

【0079】[0079]

【発明の効果】請求項1記載の感光性樹脂組成物は、感
度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーによりパ
ターンを効率よく形成でき、かつ、耐折性、はんだ耐熱
性、耐溶剤性、密着性及び難燃性に優れ、フィルム上へ
の塗布作業性に優れる。請求項2記載の感光性樹脂組成
物は、請求項1記載の発明の効果を奏し、より耐折性、
はんだ耐熱性に優れる。
The photosensitive resin composition according to claim 1 has excellent sensitivity and photocurability, can form a pattern efficiently by photolithography, and has folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance, and adhesion. And flame retardancy, and excellent workability for coating on film. The photosensitive resin composition according to claim 2 exhibits the effect of the invention according to claim 1, and has more folding endurance,
Excellent solder heat resistance.

【0080】請求項3記載の感光性積層体は、感度及び
光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーによりパターン
を効率よく形成でき、かつ、耐折性、はんだ耐熱性、耐
溶剤性、密着性及び難燃性に優れ、取扱性、基板への積
層作業性に優れる。請求項4記載の感光性積層体は、感
度及び光硬化性に優れ、フォトリソグラフィーによりパ
ターンを効率よく形成でき、かつ、耐折性、はんだ耐熱
性及び難燃性に優れ、取扱性に優れ、フレキシブルプリ
ント板の製造作業性に優れる。請求項5記載の感光性積
層体は、感度及び光硬化性に極めて優れ、フォトリソグ
ラフィーによりパターンを効率よく形成でき、かつ、耐
折性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、密着性及び難燃性に優
れ、また、取扱性に極めて優れ、フレキシブルプリント
板の製造作業性に優れる。
The photosensitive laminate according to claim 3 is excellent in sensitivity and photocurability, can form a pattern efficiently by photolithography, and has folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance, adhesion and difficulty. It has excellent flammability, handleability, and workability for stacking on substrates. The photosensitive laminate according to claim 4 is excellent in sensitivity and photocurability, can efficiently form a pattern by photolithography, and is excellent in folding resistance, solder heat resistance and flame retardancy, and is excellent in handleability. Excellent workability in manufacturing flexible printed boards. The photosensitive laminate according to claim 5 is extremely excellent in sensitivity and photocurability, can form a pattern efficiently by photolithography, and has folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance, adhesion and flame retardancy. It is also excellent in handleability, and has excellent workability in manufacturing flexible printed boards.

【0081】請求項6記載のフレキシブルプリント板の
製造法により、耐折性、はんだ耐熱性、耐溶剤性及び難
燃性に優れ、また、高密度実装性及び電気的信頼性に優
れたフレキシブルプリント板を作業性、歩留まりよく製
造できる。請求項7記載のフレキシブルプリント板の製
造法は、請求項6記載の発明の効果を奏し、よりはんだ
耐熱性に優れる。
According to the method for manufacturing a flexible printed board according to claim 6, a flexible print excellent in folding resistance, solder heat resistance, solvent resistance and flame retardancy, and also excellent in high-density mounting property and electrical reliability. Plates can be manufactured with good workability and yield. The method for manufacturing a flexible printed board according to claim 7 achieves the effect of the invention according to claim 6, and is more excellent in solder heat resistance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例及び比較例で用いた感光性エレメントの
製造装置の略示系統図である。
FIG. 1 is a schematic system diagram of a photosensitive element manufacturing apparatus used in Examples and Comparative Examples.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロー
ル 2、3、4 ロール 5 ナイフ 6 感光性樹脂組成物の溶液 7 乾燥機 8 ポリエチレンフィルム繰り出しロール 9、10 ロール 11 感光性エレメント巻き取りロール 12 ポリエチレンテレフタレートフィルム 13 ポリエチレンフィルム
1 polyethylene terephthalate film feeding roll 2, 3, 4 roll 5 knife 6 solution of photosensitive resin composition 7 dryer 8 polyethylene film feeding roll 9, 10 roll 11 photosensitive element winding roll 12 polyethylene terephthalate film 13 polyethylene film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C08L 77/00 LQT C08L 77/00 LQT G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/029 7/029 7/032 501 7/032 501 7/40 501 7/40 501 H05K 1/03 670 H05K 1/03 670A 3/28 3/28 D (72)発明者 天野倉 仁 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 鈴木 健司 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 西沢 広 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location C08L 77/00 LQT C08L 77/00 LQT G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/029 7 / 029 7/032 501 7/032 501 7/40 501 7/40 501 H05K 1/03 670 H05K 1/03 670A 3/28 3/28 D (72) Inventor Hitoshi Amanokura 4-13, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture No. 1 Hitachi Chemical Co., Ltd. in Ibaraki Research Center (72) Inventor Kenji Suzuki 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. in Ibaraki Research Center (72) Inventor Hiroshi Nishizawa Hitachi City, Ibaraki Prefecture 4-13-1, Higashimachi Hitachi Chemical Co., Ltd. Ibaraki Research Center

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)ポリカーボネートジオール変性ジ
カルボン酸を必須成分として含んでなる多価カルボン酸
成分(a)とジイソシアネート(b)とを当量比
〔(a)のカルボキシル基/(b)のイソシアネート
基〕が1を超える条件で反応させて得られるカルボン酸
含有ポリアミド系樹脂(c)に対して、エポキシ樹脂
(d)を当量比〔(d)のエポキシ基/(c)のカルボ
キシル基〕が1以上となる条件で反応させて得られるエ
ポキシ基含有ポリアミド系樹脂、(B)エポキシ樹脂及
び(C)光カチオン重合開始剤を含有してなることを特
徴とする感光性樹脂組成物。
1. A polyvalent carboxylic acid component (a) comprising (A) a polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid as an essential component and a diisocyanate (b) in an equivalent ratio [(a) carboxyl group / (b) isocyanate). Group] is more than 1, the epoxy resin (d) is used in an equivalent ratio [epoxy group of (d) / carboxyl group of (c)] with respect to the carboxylic acid-containing polyamide resin (c) obtained. A photosensitive resin composition comprising an epoxy group-containing polyamide resin obtained by reacting under conditions of 1 or more, (B) an epoxy resin, and (C) a cationic photopolymerization initiator.
【請求項2】 (A)酸無水物変性ポリアミド系樹脂
が、20〜95重量部、(B)光重合性不飽和化合物
が、5〜80重量部(ただし(A)成分及び(B)成分
の総量を100重量部とする)並びに(C)光重合開始
剤が、0.01〜20重量部(ただし(A)成分及び
(B)成分の総量を100重量部に対して)の配合割合
とした請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The (A) acid anhydride-modified polyamide resin is 20 to 95 parts by weight, and the (B) photopolymerizable unsaturated compound is 5 to 80 parts by weight (provided that the (A) component and the (B) component are used. And (C) the photopolymerization initiator is 0.01 to 20 parts by weight (however, the total amount of the components (A) and (B) is 100 parts by weight). The photosensitive resin composition according to claim 1.
【請求項3】 請求項1記載の感光性樹脂組成物の層と
該層を支持する支持体フィルムとを有する感光性積層
体。
3. A photosensitive laminate having a layer of the photosensitive resin composition according to claim 1 and a support film supporting the layer.
【請求項4】 フレキシブルプリント板用基板の表面に
請求項1記載の感光性樹脂組成物の層を有する感光性積
層体。
4. A photosensitive laminate having a layer of the photosensitive resin composition according to claim 1 on the surface of a substrate for a flexible printed board.
【請求項5】 請求項1記載の感光性樹脂組成物の層の
片面にフレキシブルプリント板、他方の表面に支持体フ
ィルムを有する感光性積層体。
5. A photosensitive laminate having a flexible printed board on one side of the layer of the photosensitive resin composition according to claim 1 and a support film on the other side.
【請求項6】 請求項4又は5記載の積層体を活性光で
像的に照射し、現像することによりフレキシブルプリン
ト板の表面上に感光性樹脂組成物のパターンを形成する
ことを特徴とするフレキシブルプリント板の製造法。
6. A pattern of a photosensitive resin composition is formed on the surface of a flexible printed board by irradiating the laminate according to claim 4 or 5 imagewise with active light and developing. Flexible printed circuit board manufacturing method.
【請求項7】 現像後に活性光を照射する工程と後加熱
する工程を含む請求項6記載のフレキシブルプリント板
の製造法。
7. The method for manufacturing a flexible printed board according to claim 6, which includes a step of irradiating with active light after development and a step of post-heating.
JP13340096A 1996-05-28 1996-05-28 Photosensitive resin composition, photosensitive laminate and manufacture of flexible printing plate Pending JPH09319090A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016009188A (en) * 2014-06-25 2016-01-18 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. Method for forming photoresist pattern

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JP2016009188A (en) * 2014-06-25 2016-01-18 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. Method for forming photoresist pattern
CN105319837A (en) * 2014-06-25 2016-02-10 东友精细化工有限公司 Method of preparing photoresist pattern
CN105319837B (en) * 2014-06-25 2019-10-25 东友精细化工有限公司 Photoresist pattern forming method

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