JPH09303307A - Control device of hydraulic cylinder - Google Patents

Control device of hydraulic cylinder

Info

Publication number
JPH09303307A
JPH09303307A JP14996196A JP14996196A JPH09303307A JP H09303307 A JPH09303307 A JP H09303307A JP 14996196 A JP14996196 A JP 14996196A JP 14996196 A JP14996196 A JP 14996196A JP H09303307 A JPH09303307 A JP H09303307A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid pressure
cylinder
control
fluid
control device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14996196A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomiichi Sakaguchi
富一 坂口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Keyence Corp
Original Assignee
Keyence Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Keyence Corp filed Critical Keyence Corp
Priority to JP14996196A priority Critical patent/JPH09303307A/en
Publication of JPH09303307A publication Critical patent/JPH09303307A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a control device of a hydraulic cylinder capable of drive- control of a working part of the hydraulic cylinder in the arbitrary axial direction with excellent accuracy with simple constitution. SOLUTION: Individual solenoid valves 11, 12 are arranged to forward and rear cylinder chambers 7, 8 of a pneumatic cylinder 1, and the pumping volume of the compressed air to the cylinder chambers 7, 8 is individually controlled. The solenoid valves 11, 12 are drive-controlled while the axial direction of a piston rod 3 is detected, and the pneumatic pressure of the cylinder chambers 7, 8 is also controlled with the original pressure of a pneumatic pressure supply source 10 as a control parameter, and the speed when the piston rod 3 is advanced/retracted and the stop position can be precisely controlled with excellent accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は流体圧シリンダの
制御装置に関し、さらに詳細には、例えば流体圧シリン
ダのピストンの位置を検出して、その作動部であるピス
トンロッドまたはスライダを任意の軸方向位置に駆動制
御する制御技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control device for a fluid pressure cylinder, and more specifically, it detects the position of a piston of a fluid pressure cylinder and determines the piston rod or slider, which is the operating portion, in an arbitrary axial direction. The present invention relates to a control technique for controlling driving to a position.

【0002】[0002]

【従来の技術】流体圧シリンダ装置は、その作動流体の
流体圧の特徴を生かして、あらゆる産業分野において広
く使用されている。例えば、空気圧シリンダ装置の一般
的構成は、空気圧回路に配された方向制御弁の切換え動
作により、空気圧シリンダの前後シリンダ室に対する圧
縮空気の給排気量が制御され、これにより、ピストンロ
ッドが突出し退入して直線往復運動をするように構成さ
れている。
2. Description of the Related Art A fluid pressure cylinder device is widely used in all industrial fields by taking advantage of the characteristics of fluid pressure of its working fluid. For example, a general structure of a pneumatic cylinder device is that the supply / exhaust amount of compressed air to / from the front and rear cylinder chambers of the pneumatic cylinder is controlled by the switching operation of a directional control valve arranged in the pneumatic circuit, which causes the piston rod to project and retract. It is configured to enter and make a linear reciprocating motion.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の空気
圧シリンダ装置においては、上記前後シリンダ室に対す
る圧縮空気の給排気量が単一の方向制御弁により制御さ
れる構成であることから、上記直線往復運動は、上記ピ
ストンロッドがその作動ストローク全長にわたって突出
したり退入したりするだけの単純な直線運動、つまり作
動ストロークのストロークエンドで停止する場合に限ら
れており、ピストンロッドを作動ストロークにおける任
意の軸方向中間位置に停止させることはできなかった。
By the way, in the conventional pneumatic cylinder device, since the amount of compressed air supplied to and exhausted from the front and rear cylinder chambers is controlled by a single directional control valve, the linear reciprocation is performed. The motion is limited to a simple linear motion in which the piston rod projects or retracts over the entire working stroke, that is, when it stops at the stroke end of the working stroke, and the piston rod moves at any point in the working stroke. It was not possible to stop at the intermediate position in the axial direction.

【0004】これは、作動流体である圧縮空気の特性に
大きく起因しており、つまり、空気には圧縮と膨張の性
質があるため、ピストンロッドの突出退入動作にムラが
あって、精密な速度制御が困難であるとともに、精密な
位置決めが難しいという問題があったからである。
This is largely due to the characteristics of the compressed air which is the working fluid, that is, since the air has the properties of compression and expansion, there is unevenness in the projecting / retracting movement of the piston rod, and the precise This is because speed control is difficult and precise positioning is difficult.

【0005】したがって、ピストンロッドを対象となる
機器装置における全作動ストロークの軸方向中間位置で
も止めようとする場合には、上記のような構成の空気圧
シリンダを直列に複数台組み合わせて、各空気圧シリン
ダの作動ストロークの総和が上記全作動ストロークとな
るように構成することにより、各空気圧シリンダの作動
ストロークのストロークエンドを上記軸方向中間位置と
する方式、換言すれば、止めようとする軸方向中間位置
と同数の空気圧シリンダを組み合わせるという方式が採
用されていた。
Therefore, when it is desired to stop the piston rod at the axial intermediate position of the entire working stroke in the target equipment, a plurality of pneumatic cylinders having the above-mentioned configuration are combined in series to each pneumatic cylinder. The operation stroke of each pneumatic cylinder is set to the above-mentioned total stroke, so that the stroke end of the working stroke of each pneumatic cylinder is set to the intermediate position in the axial direction, in other words, the intermediate position in the axial direction to be stopped. The method of combining the same number of pneumatic cylinders was adopted.

【0006】しかしながら、このような構成では、装置
全体が複雑化、大型化するとともに、装置コストも大幅
に上昇してしまうという問題があった。
However, with such a configuration, there is a problem in that the apparatus as a whole becomes complicated and large, and the apparatus cost increases significantly.

【0007】本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、小型軽量
かつ単純な構成で、流体圧シリンダの作動部を高い精度
をもって任意の軸方向位置に駆動制御することができる
制御装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to make a working portion of a fluid pressure cylinder highly accurate in an arbitrary axial direction with a small size, a light weight and a simple structure. It is an object of the present invention to provide a control device that can drive and control a position.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の流体圧シリンダの制御装置は、流体圧シリ
ンダの後側シリンダ室に対する作動流体の流れを制御す
る第1の電磁弁と、上記流体圧シリンダの前側シリンダ
室に対する作動流体の流れを制御する第2の電磁弁と、
上記流体圧シリンダの作動部の軸方向位置を検出する位
置検出センサと、上記流体圧シリンダの後側シリンダ室
内の流体圧を検出する第1の流体圧検出センサと、上記
流体圧シリンダの前側シリンダ室内の流体圧を検出する
第2の流体圧検出センサと、流体圧供給源の流体圧を検
出する元圧検出センサと、上記位置検出センサ、上記第
1および第2流体圧検出センサ、ならびに上記元圧検出
センサからの検出信号に応じて、上記第1および第2の
電磁弁を駆動制御する制御部とを備えてなることを特徴
とする。
In order to achieve the above object, a control device for a fluid pressure cylinder according to the present invention comprises a first solenoid valve for controlling a flow of a working fluid to a rear cylinder chamber of the fluid pressure cylinder, A second solenoid valve for controlling the flow of the working fluid to the front cylinder chamber of the fluid pressure cylinder;
A position detection sensor that detects the axial position of the working portion of the fluid pressure cylinder, a first fluid pressure detection sensor that detects the fluid pressure in the rear cylinder chamber of the fluid pressure cylinder, and a front cylinder of the fluid pressure cylinder. A second fluid pressure detection sensor for detecting the fluid pressure in the room, a source pressure detection sensor for detecting the fluid pressure of the fluid pressure supply source, the position detection sensor, the first and second fluid pressure detection sensors, and the above It is characterized by comprising a control unit for driving and controlling the first and second electromagnetic valves according to a detection signal from the source pressure detection sensor.

【0009】好ましい実施態様として、上記制御部は、
上記流体圧供給源の流体圧の大きさおよび変動に応じ
て、上記流体圧シリンダの前後両シリンダ室の流体圧を
調整しながら、上記第1および第2の電磁弁を駆動制御
して、上記作動部の進退速度および軸方向位置を制御す
るように構成される。
In a preferred embodiment, the control section is
The first and second solenoid valves are drive-controlled while adjusting the fluid pressures in the front and rear cylinder chambers of the fluid pressure cylinder in accordance with the magnitude and fluctuation of the fluid pressure of the fluid pressure supply source. It is configured to control the advancing / retreating speed and the axial position of the actuator.

【0010】本発明の制御装置においては、流体圧シリ
ンダの後側シリンダ室と前側シリンダ室に対して、別個
独立の電磁弁がそれぞれ配されて、前後両シリンダ室に
対する圧縮空気の給排気量が個別に制御される構成とさ
れているから、上記流体圧シリンダの作動部例えばピス
トンロッドの軸方向位置を検出しながら、電磁弁を駆動
制御して、前後両シリンダ室の流体圧を調整することに
より、上記ピストンロッドを任意の軸方向位置に駆動制
御する。
In the control device of the present invention, separate and independent solenoid valves are respectively arranged for the rear cylinder chamber and the front cylinder chamber of the fluid pressure cylinder, so that the amount of compressed air supplied to and exhausted from the front and rear cylinder chambers can be increased and decreased. Since it is configured to be controlled individually, it is possible to adjust the fluid pressures in the front and rear cylinder chambers by drivingly controlling the solenoid valve while detecting the axial position of the working portion of the fluid pressure cylinder, for example, the piston rod. Thus, the piston rod is drive-controlled to an arbitrary axial position.

【0011】この場合、前後両シリンダ室の流体圧が制
御されるとともに、この制御が上記流体圧供給源の流体
圧つまり元圧の検出結果に応じて行われるから、流体圧
シリンダ装置の設置時における制御装置の初期設定は、
入力すべき制御パラメータも少なく簡単容易であるとと
もに、適用すべき流体圧シリンダの仕様にも制限を受け
ない。また、上記元圧の大きさ(能力)に適したシリン
ダ室の流体圧の制御が可能であるとともに、元圧の変動
にもかかわらず、ピストンロッドの駆動制御は誤差を生
ずることなく高い精度をもって行われる。
In this case, since the fluid pressures of the front and rear cylinder chambers are controlled and this control is performed according to the detection result of the fluid pressure of the fluid pressure supply source, that is, the original pressure, when the fluid pressure cylinder device is installed. The initial setting of the controller in
The number of control parameters to be input is small and it is simple and easy, and the specifications of the fluid pressure cylinder to be applied are not limited. In addition, it is possible to control the fluid pressure in the cylinder chamber that is suitable for the magnitude (capacity) of the source pressure, and the piston rod drive control can be performed with high accuracy without causing an error in spite of fluctuations in the source pressure. Done.

【0012】すなわち、上記空気圧シリンダ装置は、そ
の空気圧回路の制御を電気信号によって処理するいわゆ
る電気空気圧制御であるところ、従来の同種の空気圧シ
リンダ装置にあっては、前後両シリンダ室に対する給排
気量の制御は単に流量を制御するだけのものであった。
これがため、空気圧シリンダ装置の設置時における制御
装置の初期設定に際しては、ピストンロッドの突出退入
動作が円滑にかつ安定して行われるようにするために、
作動対象の負荷、空気圧供給源の空気圧(元圧)の大き
さ、シリンダチューブの内径および長さ等の非常に多く
の各種制御パラメータを入力設定する必要があり、上記
初期設定作業は作業工数が多く複雑で長時間を要した。
That is, the above pneumatic cylinder device is so-called electro-pneumatic control in which the control of the pneumatic circuit thereof is processed by an electric signal. The control of was only to control the flow rate.
Therefore, at the time of initial setting of the control device at the time of installation of the pneumatic cylinder device, in order to allow the projecting and retracting operation of the piston rod to be performed smoothly and stably,
It is necessary to input and set a large number of various control parameters such as the load to be operated, the air pressure (source pressure) of the air pressure supply source, the inner diameter and length of the cylinder tube, etc. Many were complicated and took a long time.

【0013】そればかりか、このように初期設定が完璧
に行われたとしても、単に圧縮空気の流量を制御するだ
けの従来方式においては、元圧の変動があると、ピスト
ンロッドの動きがきわめて不安定な状態となって、その
駆動制御に誤差を生じやすく、精密で高精度な制御が行
えなかった。
Not only that, even if the initial setting is perfectly performed in this way, in the conventional method of simply controlling the flow rate of the compressed air, if the source pressure fluctuates, the movement of the piston rod becomes extremely large. It became an unstable state, and an error was likely to occur in its drive control, and precise and high-precision control could not be performed.

【0014】これに対して、本発明のように、前後両シ
リンダ室に対する給排気量の制御を、前後両シリンダ室
の流体圧に加えて元圧も検出して行う構成とすることに
より、上記初期設定時に入力すべき制御パラメータは基
本的な必要最小限度のものだけでよく、あとは制御装置
自体が実際の動作時における流体圧および元圧を検出し
ながら制御を行うことになる。したがって、上記初期設
定は、入力すべき制御パラメータが少なく容易であると
ともに、元圧の変動にもかかわらず、ピストンロッドの
突出退入動作が円滑にかつ安定して行われ、誤差も生じ
難い。
On the other hand, as in the present invention, the control of the supply / exhaust amount for both the front and rear cylinder chambers is performed by detecting the original pressure in addition to the fluid pressures in the front and rear cylinder chambers. The control parameters to be input at the time of initial setting need only be the minimum necessary basic parameters, and the control device itself then performs control while detecting the fluid pressure and the original pressure during actual operation. Therefore, the above-mentioned initial setting is easy with few control parameters to be input, and in spite of the fluctuation of the original pressure, the projecting and retracting operation of the piston rod is smoothly and stably performed, and an error is hard to occur.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0016】本発明に係る流体圧シリンダ装置を図1に
示し、この流体圧シリンダ装置は、具体的には流体圧と
して空気圧を利用した空気圧シリンダ装置であって、ア
クチュエータである複動ロッドタイプの空気圧シリンダ
1と、この空気圧シリンダ1を駆動制御する制御装置2
を主要部として備えてなり、空気圧シリンダ1の作動部
であるピストンロッド3を任意の軸方向位置に駆動制御
する構成とされている。
FIG. 1 shows a fluid pressure cylinder device according to the present invention. Specifically, this fluid pressure cylinder device is a pneumatic cylinder device utilizing air pressure as fluid pressure, and is of a double-acting rod type which is an actuator. Pneumatic cylinder 1 and control device 2 that drives and controls this pneumatic cylinder 1.
Is provided as a main part, and the piston rod 3, which is the operating part of the pneumatic cylinder 1, is driven and controlled to an arbitrary axial position.

【0017】空気圧シリンダ1の基本構造は従来周知の
ものであるため、その具体的な説明は省略するが、後述
する制御装置2の位置検出センサ13との関係で、シリ
ンダチューブ4がアルミニウム合金や黄銅等の非磁性体
で形成されるとともに、ピストン5が磁性体で形成され
ている。このピストン5の具体的構造としては、図示の
ごとく非磁性体ピストン5に永久磁石6が一体的に組み
込まれたり、あるいはピストン5自体が永久磁石で形成
される。
Since the basic structure of the pneumatic cylinder 1 is well known in the art, a detailed description thereof will be omitted. However, due to the relationship with the position detection sensor 13 of the control device 2 described later, the cylinder tube 4 is made of aluminum alloy or the like. The piston 5 is made of a magnetic material while being made of a non-magnetic material such as brass. As a concrete structure of the piston 5, a permanent magnet 6 is integrally incorporated in the non-magnetic piston 5 as shown in the figure, or the piston 5 itself is formed of a permanent magnet.

【0018】また、上記シリンダチューブ4内は、ピス
トン5により後側シリンダ室7と前側シリンダ室8に区
画形成されるとともに、これら両シリンダ室7,8が給
排ポート7a,8aをそれぞれ介して空気圧回路9に接
続されている。
Further, the inside of the cylinder tube 4 is divided into a rear cylinder chamber 7 and a front cylinder chamber 8 by a piston 5, and these cylinder chambers 7 and 8 are respectively connected via supply / discharge ports 7a and 8a. It is connected to the pneumatic circuit 9.

【0019】この空気圧回路9は、大気の空気を吸い込
んで圧縮空気を作る流体圧供給源としての空気圧供給源
10と、この空気圧供給源10から供給される圧縮空気
を上記空気圧シリンダ1に供給する第1および第2の電
磁弁11,12を主要部として構成されている。上記空
気圧供給源10の具体的構成は従来周知のもので、空気
圧縮機、冷却器および空気タンク等を備えてなる。
The air pressure circuit 9 supplies an air pressure supply source 10 as a fluid pressure supply source for sucking atmospheric air to produce compressed air, and the compressed air supplied from the air pressure supply source 10 to the pneumatic cylinder 1. The first and second solenoid valves 11 and 12 are configured as main parts. The specific structure of the air pressure supply source 10 is well known in the art, and includes an air compressor, a cooler, an air tank, and the like.

【0020】制御装置2は、上記空気圧回路9に設けら
れた上記第1および第2の電磁弁11,12、ピストン
ロッド3の軸方向位置を検出する位置検出センサ13、
上記両シリンダ室7,8内の空気圧を検出する第1およ
び第2の空気圧検出センサ14,15、上記空気圧供給
源10の空気圧を検出する元圧検出センサ16および制
御部としてのコントローラ17等を主要部として構成さ
れている。
The control device 2 includes a position detection sensor 13 for detecting the axial positions of the first and second solenoid valves 11 and 12 provided in the pneumatic circuit 9 and the piston rod 3,
The first and second air pressure detection sensors 14 and 15 that detect the air pressure in the cylinder chambers 7 and 8, the source pressure detection sensor 16 that detects the air pressure of the air pressure supply source 10, the controller 17 as a control unit, and the like. It is composed as the main part.

【0021】第1および第2の電磁弁11,12は、そ
れぞれ空気圧シリンダ1の両シリンダ室7,8に対する
圧縮空気の流れを制御するもので、コントローラ17に
電気的に接続されている。図示のものにおいては、これ
ら電磁弁11,12としてパイロット形3位置電磁弁が
使用されている。
The first and second solenoid valves 11 and 12 control the flow of compressed air to both cylinder chambers 7 and 8 of the pneumatic cylinder 1, and are electrically connected to the controller 17. In the illustrated example, pilot type three-position solenoid valves are used as these solenoid valves 11 and 12.

【0022】これら電磁弁11,12の具体的構造は図
示しないが、例えば二つのパイロット弁(電磁弁)と主
弁とからなり、パイロット弁のON−OFF制御によ
り、上記主弁が切換動作するように構成されている。こ
の主弁の切換位置は、空気圧シリンダ1のシリンダ室
7,8を上記空気圧供給源10に連通する供給位置と、
上記シリンダ室7,8との連通をブロックする閉止位置
と、上記シリンダ室7,8を排出口19に連通する排出
位置との3位置とされている。なお、図示しないが、上
記両電磁弁11,12は一体化された一ブロック構造と
されて、構造のコンパクト簡素化が図られているが、も
ちろん別個独立した構造としてもよい。
Although the specific structure of the solenoid valves 11 and 12 is not shown, it is composed of, for example, two pilot valves (solenoid valves) and a main valve, and the main valve is switched by the ON / OFF control of the pilot valve. Is configured. The main valve switching position is a supply position where the cylinder chambers 7 and 8 of the pneumatic cylinder 1 communicate with the pneumatic supply source 10, and
There are three positions, a closed position that blocks communication with the cylinder chambers 7 and 8 and a discharge position that communicates the cylinder chambers 7 and 8 with a discharge port 19. Although not shown, the two solenoid valves 11 and 12 have an integrated one-block structure in order to make the structure compact and simple, but of course, separate structures may be used.

【0023】位置検出センサ13は、空気圧シリンダ1
のピストンロッド3の軸方向位置を検出するもので、具
体的には、前述したピストン5に設けられた永久磁石6
の軸方向位置を検出する磁歪式リニア変位センサが用い
られている。
The position detection sensor 13 is the pneumatic cylinder 1
Is for detecting the axial position of the piston rod 3, and specifically, the permanent magnet 6 provided in the piston 5 described above.
A magnetostrictive linear displacement sensor for detecting the axial position of the is used.

【0024】この磁歪式リニア変位センサ13は、その
検出部として直線状のプローブ13aを備えるととも
に、ゲートアレー25を介してコントローラ17に電気
的に接続されている。上記プローブ13aは、強磁性体
からなる磁歪線を構成要素とした直線棒状のもので、空
気圧シリンダ1のシリンダチューブ4外周に軸方向へ延
びて取り付けられており、上記永久磁石6の軸方向位置
を検出して、この検出信号が上記ゲートアレー25で電
気的に処理された後コントローラ17へ送られる。
The magnetostrictive linear displacement sensor 13 has a linear probe 13a as its detecting portion and is electrically connected to the controller 17 via a gate array 25. The probe 13a is a linear rod having a magnetostrictive wire made of a ferromagnetic material as a constituent element, and is attached to the outer periphery of the cylinder tube 4 of the pneumatic cylinder 1 so as to extend in the axial direction and the axial position of the permanent magnet 6. Is detected and the detected signal is electrically processed by the gate array 25 and then sent to the controller 17.

【0025】この磁歪式リニア変位センサ13の基本的
な動作原理を、図2を参照して説明すると次のとおりで
ある。まず、上記プローブ13aの磁歪線にその始端側
から矢符A方向の電流パルスを与えると、この磁歪線に
図示のごとき円周方向の磁場が生じる。一方、上記ピス
トン5の永久磁石6は上記磁歪線に対して図示のように
配されており、この永久磁石6の部分には図示のごとき
軸方向磁場が与えられる。そして、永久磁石6が磁歪線
に接近すると、上記軸方向磁場には点線で示すような斜
めの磁場が生じ、このために上記磁歪線上の永久磁石6
の位置にはねじり歪が発生する(この現象をWiedemann
効果という) 。このねじり歪は一種の超音波振動である
から、金属である磁歪線上を音速で伝播することにな
り、この超音波の永久磁石6位置から磁歪線始端までの
伝播時間を計測することにより、上記ピストン5の軸方
向位置が検出される。
The basic operating principle of the magnetostrictive linear displacement sensor 13 will be described below with reference to FIG. First, when a current pulse in the direction of arrow A is applied to the magnetostrictive line of the probe 13a from the starting end side thereof, a magnetic field in the circumferential direction as shown in the figure is generated on this magnetostrictive line. On the other hand, the permanent magnet 6 of the piston 5 is arranged with respect to the magnetostrictive line as shown in the drawing, and an axial magnetic field as shown in the drawing is applied to the portion of the permanent magnet 6. When the permanent magnet 6 approaches the magnetostrictive line, an oblique magnetic field as shown by a dotted line is generated in the axial magnetic field, and for this reason, the permanent magnet 6 on the magnetostrictive line.
Torsional strain occurs at the position of (the phenomenon of Wiedemann
Effect). Since this torsional strain is a kind of ultrasonic vibration, it propagates on the magnetostrictive line which is a metal at the speed of sound, and by measuring the propagation time from the position of the permanent magnet 6 of this ultrasonic wave to the beginning of the magnetostrictive line, The axial position of the piston 5 is detected.

【0026】第1および第2の空気圧検出センサ14,
15は、空気圧シリンダ1の前後シリンダ室7,8内の
空気圧を検出するもので、具体的には、第1および第2
の電磁弁11,12の中に組み込まれるとともに、コン
トローラ17に電気的に接続されている。これら第1お
よび第2の空気圧検出センサ14,15は、第1および
第2の電磁弁11,12を流れる空気圧を検出して、こ
れから上記両シリンダ室7,8内の空気圧を間接的にそ
れぞれ検出するように構成されており、その検出信号が
上記コントローラ17へ送られる。
First and second air pressure detection sensors 14,
Reference numeral 15 is for detecting the air pressure in the front and rear cylinder chambers 7 and 8 of the pneumatic cylinder 1, and specifically, the first and second cylinder chambers.
It is incorporated into the solenoid valves 11 and 12 and is electrically connected to the controller 17. The first and second air pressure detection sensors 14 and 15 detect the air pressures flowing through the first and second electromagnetic valves 11 and 12, and indirectly detect the air pressures in the cylinder chambers 7 and 8 from the air pressures. It is configured to detect, and the detection signal is sent to the controller 17.

【0027】元圧検出センサ16は、空気圧供給源10
の空気圧を検出するもので、具体的には、空気圧供給源
10の供給口、例えば空気タンクの給気口部分に配され
るとともに、コントローラ17に電気的に接続されてい
る。この元圧検出センサ16は、上記空気タンク内に蓄
積される圧縮空気の空気圧を検出して、その検出信号が
上記コントローラ17へ送られる。
The source pressure detection sensor 16 is the air pressure supply source 10.
The air pressure is detected, and specifically, it is arranged at the supply port of the air pressure supply source 10, for example, at the air supply port portion of the air tank, and is electrically connected to the controller 17. The source pressure detection sensor 16 detects the air pressure of the compressed air accumulated in the air tank, and the detection signal is sent to the controller 17.

【0028】コントローラ17は、第1および第2の電
磁弁11,12を相互に連動して駆動制御するもので、
具体的には、CPU、ROM、RAMおよびI/Oポー
トなどからなるマイクロコンピュータで構成されたコン
トローラである。このコントローラ17には、前述した
ように、上記第1および第2の電磁弁11,12のほ
か、上記位置検出センサ13、空気圧検出センサ14,
15および元圧検出センサ16が電気的に接続されてい
る。
The controller 17 drives and controls the first and second solenoid valves 11 and 12 in conjunction with each other.
Specifically, it is a controller composed of a microcomputer including a CPU, a ROM, a RAM and an I / O port. As described above, the controller 17 includes the position detection sensor 13, the air pressure detection sensor 14, and the position detection sensor 13 in addition to the first and second solenoid valves 11 and 12.
15 and the source pressure detection sensor 16 are electrically connected.

【0029】図示の実施形態においては、上記コントロ
ーラ17の演算処理部(CPU)17aに、上記ゲート
アレー25で処理された位置検出センサ13の検出信号
と、A/D変換部17bでデジタル処理された空気圧検
出センサ14,15および元圧検出センサ16からの検
出信号が入力される。
In the illustrated embodiment, the arithmetic processing unit (CPU) 17a of the controller 17 digitally processes the detection signal of the position detection sensor 13 processed by the gate array 25 and the A / D conversion unit 17b. The detection signals from the air pressure detection sensors 14 and 15 and the original pressure detection sensor 16 are input.

【0030】そして、この演算処理部17aは、メモリ
に格納された制御プログラムに従って、上記各検出信号
について、演算式設定部17cの演算式に基づいた演算
処理を行うとともに、これらの演算結果つまり実際値と
目標値設定部17dで予め設定されたこれらの目標値と
を比較演算して、上記実際値を目標値に一致させるべ
く、制御信号を出力部17e,17fを介して第1およ
び第2の電磁弁11,12に送る。
Then, the arithmetic processing unit 17a performs arithmetic processing based on the arithmetic expression of the arithmetic expression setting unit 17c for each of the detection signals according to the control program stored in the memory, and at the same time, the arithmetic result, that is, the actual result. A control signal is output through the output units 17e and 17f so as to match the actual value with the target value by performing a comparison operation between the target value and the target value preset by the target value setting unit 17d. To the solenoid valves 11 and 12.

【0031】すなわち、コントローラ17は、空気圧供
給源10の空気圧(元圧)の大きさおよび変動に応じ
て、空気圧シリンダ1の前後両シリンダ室7,8の空気
圧を制御しながら、ピストンロッド3の進退速度および
軸方向位置を制御するように、第1および第2の電磁弁
11,12を駆動制御する。
That is, the controller 17 controls the air pressure in both the front and rear cylinder chambers 7, 8 of the pneumatic cylinder 1 in accordance with the magnitude and fluctuation of the air pressure (source pressure) of the air pressure supply source 10 while controlling the piston rod 3 The first and second solenoid valves 11 and 12 are drive-controlled so as to control the forward / backward speed and the axial position.

【0032】この場合、第1および第2の電磁弁11,
12を繰り返しON−OFF制御することにより、空気
圧シリンダ1の前後両シリンダ室7,8の空気圧を調整
するように構成されている。換言すれば、前後両シリン
ダ室7,8の空気圧調整は、電磁弁11,12を適宜の
パルス幅や周期をもって開閉制御(全開、全閉)するこ
とにより、つまりパルス幅制御することにより、両シリ
ンダ室7,8に圧縮空気を断続的に給排気して行われ
る。このような構成とすることにより、制御装置2から
の制御信号に対する空気圧シリンダ1の応答速度が早
く、遅れのない正確な駆動制御が確保される。
In this case, the first and second solenoid valves 11,
The air pressure in both the front and rear cylinder chambers 7 and 8 of the pneumatic cylinder 1 is adjusted by repeatedly performing ON-OFF control of 12. In other words, the air pressure in the front and rear cylinder chambers 7 and 8 is adjusted by controlling the solenoid valves 11 and 12 to open and close with a proper pulse width or cycle (fully open or fully closed), that is, by controlling the pulse width. The compressed air is intermittently supplied to and exhausted from the cylinder chambers 7 and 8. With such a configuration, the response speed of the pneumatic cylinder 1 to the control signal from the control device 2 is fast, and accurate drive control without delay is secured.

【0033】しかして、以上のように構成された空気圧
シリンダ装置において、制御装置2の第1および第2の
電磁弁11,12により、空気圧供給源10からの圧縮
空気が空気圧シリンダ1の前後シリンダ室7,8に適宜
給排気されて、ピストンロッド3は、予め設定された速
度経路(加速→等速→減速)をもって進退動作されると
ともに、任意の軸方向位置に停止される。
In the pneumatic cylinder device configured as described above, the compressed air from the pneumatic pressure supply source 10 is transferred to the front and rear cylinders of the pneumatic cylinder 1 by the first and second solenoid valves 11 and 12 of the control device 2. The piston rod 3 is moved forward / backward along a preset speed path (acceleration → constant speed → deceleration), and is stopped at an arbitrary axial position, by supplying / exhausting air to / from the chambers 7 and 8 as appropriate.

【0034】この場合、空気圧シリンダ1の前後両シリ
ンダ室7,8に対して、別個独立の電磁弁11,12が
それぞれ配されて、前後両シリンダ室7,8に対する圧
縮空気の給排気量が個別に制御される構成とされている
から、ピストンロッド3の軸方向位置を検出しながら、
電磁弁11,12を駆動制御して、前後両シリンダ室
7,8の空気圧を調整することにより、上記ピストンロ
ッド3の進退動作時の速度制御および停止位置の制御を
高い精度をもって精密に行うことができる。
In this case, separate and independent solenoid valves 11 and 12 are provided for the front and rear cylinder chambers 7 and 8 of the pneumatic cylinder 1, respectively, so that the supply and exhaust amounts of compressed air to and from the front and rear cylinder chambers 7 and 8 are increased. Since it is configured to be controlled individually, while detecting the axial position of the piston rod 3,
By controlling the solenoid valves 11 and 12 by driving to adjust the air pressures in the front and rear cylinder chambers 7 and 8, the speed control and stop position control of the piston rod 3 at the time of advancing and retreating can be performed with high accuracy and precision. You can

【0035】また、前後両シリンダ室7,8の空気圧を
調整するに際して、空気圧供給源10の流体圧つまり元
圧も制御パラメータとして検出しているから、空気圧シ
リンダ装置の設置時における制御装置2の初期設定は、
入力すべき制御パラメータが少なく容易であるととも
に、適用すべき空気圧シリンダ1の仕様にも制限を受け
ない。また、元圧の大きさ(能力)に適したシリンダ室
7,8の空気圧の制御が可能であるとともに、元圧の変
動にもかかわらず、ピストンロッド3の駆動制御が誤差
を生ずることなく高い精度をもって精密に行われる。
Further, when adjusting the air pressures of the front and rear cylinder chambers 7 and 8, the fluid pressure of the air pressure supply source 10, that is, the original pressure is also detected as a control parameter, so that the control device 2 when the pneumatic cylinder device is installed is used. The initial setting is
The number of control parameters to be input is small and easy, and the specifications of the pneumatic cylinder 1 to be applied are not limited. Further, it is possible to control the air pressure in the cylinder chambers 7 and 8 suitable for the magnitude (capacity) of the source pressure, and the drive control of the piston rod 3 is high without causing an error despite the variation of the source pressure. It is done with precision and precision.

【0036】すなわち、空気圧シリンダ装置は、その空
気圧回路9の制御を電気信号によって処理するいわゆる
電気空気圧制御であるところ、従来の同種の空気圧シリ
ンダ装置にあっては、空気圧シリンダの前後両シリンダ
室に対する給排気量の制御は単に流量を制御するだけの
ものであった。これがため、空気圧シリンダの設置時に
おける制御装置の初期設定に際しては、ピストンロッド
の突出退入動作が円滑にかつ安定して行われるようにす
るために、作動対象の負荷、空気圧供給源の空気圧(元
圧)の大きさ、あるいはシリンダチューブの内径および
長さ等の非常に多くの各種制御パラメータを入力設定す
る必要があり、初期設定作業は作業工数が多く複雑で長
時間を要した。
That is, the pneumatic cylinder device is so-called electro-pneumatic control in which the control of the pneumatic circuit 9 is processed by an electric signal. In the conventional pneumatic cylinder device of the same type, the cylinder chambers for the front and rear of the pneumatic cylinder are provided. The control of the supply / exhaust amount was merely to control the flow rate. Therefore, at the time of initial setting of the control device at the time of installation of the pneumatic cylinder, in order to allow the projecting and retracting operation of the piston rod to be performed smoothly and stably, the load to be operated and the air pressure of the air pressure supply source ( It is necessary to input and set a large number of various control parameters such as the magnitude of the original pressure), the inner diameter and the length of the cylinder tube, and the initial setting work requires a lot of man-hours and requires a long time.

【0037】そればかりか、このように初期設定が完璧
に行われたとしても、単に圧縮空気の流量を制御するだ
けの方式においては、元圧の変動があると、ピストンロ
ッドの動きがきわめて不安定な状態となって、その駆動
制御に誤差を生じ、高い精度の制御が行えなかった。
Not only that, even if the initial setting is perfected as described above, in the method of simply controlling the flow rate of the compressed air, if the source pressure fluctuates, the movement of the piston rod becomes extremely unsatisfactory. In a stable state, an error occurred in the drive control, and high precision control could not be performed.

【0038】これに対して、本発明例えば上述した実施
形態においては、前後両シリンダ室7,8に対する給排
気量の制御を、前後両シリンダ室7,8の空気圧と元圧
を検出して行う構成とすることにより、上記初期設定時
に入力すべき制御パラメータは基本的なものだけでよ
く、あとは制御装置2自体が実際の動作時における空気
圧と元圧を検出しながら制御を行う、つまり元圧に応じ
て第1および第2の電磁弁11,12のON−OFF時
間を制御することになる。したがって、上記初期設定
は、入力すべき制御パラメータが少なく容易であるとと
もに、元圧の変動にもかかわらず、ピストンロッド3の
突出退入動作が円滑にかつ安定して行われ、誤差も生じ
難く、正確でかつ精密な制御が高い精度をもって行い得
る。
On the other hand, in the above-described embodiment of the present invention, the supply / exhaust amounts of the front and rear cylinder chambers 7, 8 are controlled by detecting the air pressure and the original pressure of the front and rear cylinder chambers 7, 8. With the configuration, the control parameters to be input at the time of the initial setting need only be basic, and the control device 2 itself performs control while detecting the air pressure and the original pressure during the actual operation, that is, the original The ON-OFF time of the first and second solenoid valves 11 and 12 is controlled according to the pressure. Therefore, the above-mentioned initial setting is easy because there are few control parameters to be input, and in spite of the fluctuation of the source pressure, the projecting / withdrawing operation of the piston rod 3 is smoothly and stably performed, and an error is hard to occur. Accurate and precise control can be performed with high accuracy.

【0039】なお、上述した実施形態はあくまでも本発
明の好適な具体例を示すものであって、本発明はこれに
限定されることなくその範囲内で適宜設計変更可能であ
る。
The above-described embodiment merely shows a preferred specific example of the present invention, and the present invention is not limited to this, and the design can be appropriately changed within the range.

【0040】例えば、アクチュエータとしての空気圧シ
リンダ1は図示の実施形態に限定されず、従来の各種の
仕様寸法や形式(ロッドタイプ、ロッドレスタイプ)の
空気圧シリンダが適宜使用可能である。
For example, the pneumatic cylinder 1 as an actuator is not limited to the illustrated embodiment, and conventional pneumatic cylinders of various specifications and types (rod type, rodless type) can be used as appropriate.

【0041】また、図示の実施形態における電磁弁1
1,12としてパイロット形3位置電磁弁が使用されて
いるが、同様な機能(シリンダ室7,8に対する給気、
連通ブロックおよび排気等)を有する限り図示の構造に
限定されるものではなく、対象となる空気圧シリンダ1
の仕様や用途等に応じて適宜設計変更できる。
Further, the solenoid valve 1 in the illustrated embodiment
Pilot type 3-position solenoid valves are used as 1 and 12, but similar functions (supply of air to cylinder chambers 7 and 8,
The structure is not limited to the illustrated structure as long as it has a communication block, an exhaust gas, etc., and the target pneumatic cylinder 1
The design can be changed as appropriate according to the specifications and uses.

【0042】また、図示の実施形態においては、制御装
置2を空気圧シリンダ1と独立したユニット構造とし
て、あらゆる種類・寸法の空気圧シリンダに広く適用可
能なものとする等の目的から、空気圧検出センサ14,
15が、電磁弁11,12を流れる空気圧を検出して、
空気圧シリンダ1の前後両シリンダ室7,8内の空気圧
を間接的に検出する構成とされているが、もちろん、前
後両シリンダ室7,8内の空気圧を直接検出する構成と
して、より高精度な制御を確保することも可能である。
Further, in the illustrated embodiment, the air pressure detection sensor 14 is used for the purpose of making the control device 2 as a unit structure independent of the air pressure cylinder 1 and widely applicable to air pressure cylinders of all kinds and sizes. ,
15 detects the air pressure flowing through the solenoid valves 11 and 12,
The air pressure in the front and rear cylinder chambers 7 and 8 of the pneumatic cylinder 1 is indirectly detected, but of course, the air pressure in the front and rear cylinder chambers 7 and 8 is directly detected to achieve higher accuracy. It is also possible to ensure control.

【0043】さらに、位置検出センサ13は、図示のよ
うな磁歪式位置検出センサと同様な機能を持つものであ
れば、他の形式のセンサを採用することも可能である。
一例として、ホール素子やMR素子等の磁気抵抗素子
を、上記磁歪式リニア変位センサ13のプローブ13a
と同様、空気圧シリンダ1のシリンダチューブ4外周に
軸方向へ直線状にかつ連続的に多数配列して、ピストン
5の永久磁石6の軸方向位置を検出する構成が採用可能
である。
Further, the position detecting sensor 13 may be any other type of sensor as long as it has the same function as the magnetostrictive position detecting sensor shown in the figure.
As an example, a magnetoresistive element such as a Hall element or an MR element may be used as the probe 13a of the magnetostrictive linear displacement sensor 13 described above.
Similarly to the above, it is possible to adopt a configuration in which a large number of linearly and continuously arranged in the axial direction on the outer circumference of the cylinder tube 4 of the pneumatic cylinder 1 to detect the axial position of the permanent magnet 6 of the piston 5.

【0044】また、本発明に係る空気圧シリンダ装置
は、空気圧シリンダ1のピストンロッド3の進退動作を
利用する本来の用途のほか、空気圧シリンダ1の前後両
シリンダ室7,8内の空気圧を検出する制御方法をとっ
ていることから、一例として、図3に示すような圧力調
整装置としての適用も可能である。
The pneumatic cylinder device according to the present invention is used not only for its original purpose of utilizing the forward / backward movement of the piston rod 3 of the pneumatic cylinder 1, but also for detecting the air pressure in the front and rear cylinder chambers 7, 8 of the pneumatic cylinder 1. Since the control method is adopted, as an example, application as a pressure adjusting device as shown in FIG. 3 is also possible.

【0045】すなわち、この圧力調整装置は、ロール5
0に対して幅広の布体51を巻装または引出動作する場
合の布体51にかかる張力を調整するためのテンション
コントローラである。このテンションコントローラは、
2台の空気圧シリンダ装置を組み合わせてなり、上記ロ
ール50の支軸50aを軸承する軸受52,53が、空
気圧シリンダ1a,1bのピストンロッド3,3によ
り、所定の押圧力をもってそれぞれ支持される構成とさ
れている。
That is, this pressure adjusting device is provided with the roll 5
It is a tension controller for adjusting the tension applied to the cloth body 51 when the cloth body 51 having a wider width than 0 is wound or pulled out. This tension controller is
A configuration in which two pneumatic cylinder devices are combined, and bearings 52 and 53 that support the spindle 50a of the roll 50 are respectively supported by the piston rods 3 of the pneumatic cylinders 1a and 1b with a predetermined pressing force. It is said that.

【0046】そして、布体51に作用する張力が幅方向
で異なる結果、上記ロール50の支軸50a両端位置に
偏りが生じて、空気圧シリンダ1a,1bのシリンダ室
7,8内の空気圧のバランスが相対的にくずれると、こ
のバランスを取り戻すようにピストンロッド3,3の突
出退入量が調整されて、上記張力の偏りが補正される。
As a result of the tension acting on the cloth 51 being different in the width direction, the both ends of the support shaft 50a of the roll 50 are deviated, and the air pressures in the cylinder chambers 7, 8 of the pneumatic cylinders 1a, 1b are balanced. When the relative deviation of the piston rods is relatively lost, the projecting and retracting amounts of the piston rods 3, 3 are adjusted so as to restore this balance, and the bias of the tension is corrected.

【0047】さらに、アクチュエータとしての流体圧シ
リンダも特に限定されず、本発明は、図示の実施形態の
ような空気圧シリンダ1のほか、油圧を作動流体とする
油圧シリンダにも適用可能である。
Further, the fluid pressure cylinder as the actuator is not particularly limited, and the present invention can be applied to not only the pneumatic cylinder 1 as in the illustrated embodiment but also a hydraulic cylinder using hydraulic pressure as a working fluid.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
流体圧シリンダの後側シリンダ室と前側シリンダ室に対
して、別個独立の電磁弁がそれぞれ配されて、前後両シ
リンダ室に対する圧縮空気の給排気量が個別に制御され
る構成とされているから、ピストンロッド等の作動部の
進退時の速度制御および停止位置の制御を高い精度をも
ってかつ精密に実行することが可能である。
As described in detail above, according to the present invention,
Separate and independent solenoid valves are provided for the rear cylinder chamber and the front cylinder chamber of the fluid pressure cylinder, respectively, so that the amount of compressed air supplied to and discharged from the front and rear cylinder chambers is individually controlled. It is possible to perform speed control and stop position control at the time of advancing and retreating an operating part such as a piston rod with high accuracy and precision.

【0049】また、前後両シリンダ室の流体圧を制御す
るに際して、流体圧供給源の流体圧つまり元圧も制御パ
ラメータとして検出するように構成されているから、流
体圧シリンダ装置の設置時における制御装置の初期設定
は、入力すべき制御パラメータが少なく容易であるとと
もに、適用すべき流体圧シリンダの仕様にも制限を受け
ず、汎用性に富む。
When controlling the fluid pressure in both the front and rear cylinder chambers, the fluid pressure of the fluid pressure supply source, that is, the original pressure is also detected as a control parameter. The initial setting of the device is easy with few control parameters to be input, and is not limited by the specifications of the fluid pressure cylinder to be applied, and is highly versatile.

【0050】さらに、流体圧供給源の元圧も制御パラメ
ータとして検出することにより、元圧の大きさ(能力)
に適した上記シリンダ室の流体圧の制御が可能であると
ともに、元圧の変動にもかかわらず、ピストンロッドの
駆動制御が誤差を生ずることはなく、上記の効果と相ま
ってより高精度な制御が可能となる。
Further, by detecting the source pressure of the fluid pressure supply source as a control parameter, the magnitude (capacity) of the source pressure can be obtained.
It is possible to control the fluid pressure in the cylinder chamber suitable for the above, and despite the fluctuation of the original pressure, the drive control of the piston rod does not cause an error, and in combination with the above effect, more precise control is possible. It will be possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る空気圧シリンダ装置の全体構成を
示す概略ブロック図である。
FIG. 1 is a schematic block diagram showing an overall configuration of a pneumatic cylinder device according to the present invention.

【図2】同空気圧シリンダ装置における制御装置の磁歪
式リニア変位センサの動作原理を説明するための斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view for explaining an operating principle of a magnetostrictive linear displacement sensor of a control device in the pneumatic cylinder device.

【図3】同空気圧シリンダ装置の適用例を示す概略平面
図である。
FIG. 3 is a schematic plan view showing an application example of the pneumatic cylinder device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 空気圧シリンダ(流体圧シリンダ) 2 制御装置 3 ピストンロッド(作動部) 4 シリンダチューブ 5 ピストン 6 永久磁石 7 後側シリンダ室 8 前側シリンダ室 9 空気圧回路 10 空気圧供給源(作動圧供給源) 11,12 電磁弁 13 磁歪式リニア変位センサ(位置検出
センサ) 14,15 空気圧検出センサ(流体圧検出セン
サ) 16 元圧検出センサ 17 コントローラ(制御部)
1 Pneumatic Cylinder (Fluid Cylinder) 2 Control Device 3 Piston Rod (Operating Part) 4 Cylinder Tube 5 Piston 6 Permanent Magnet 7 Rear Cylinder Chamber 8 Front Cylinder Chamber 9 Pneumatic Circuit 10 Air Pressure Supply Source (Operating Pressure Supply Source) 11, 12 Solenoid valve 13 Magnetostrictive linear displacement sensor (position detection sensor) 14, 15 Air pressure detection sensor (fluid pressure detection sensor) 16 Source pressure detection sensor 17 Controller (control unit)

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 流体圧シリンダの作動部を任意の軸方向
位置に駆動制御する装置であって、 前記流体圧シリンダの後側シリンダ室に対する作動流体
の流れを制御する第1の電磁弁と、 前記流体圧シリンダの前側シリンダ室に対する作動流体
の流れを制御する第2の電磁弁と、 前記作動部の軸方向位置を検出する位置検出センサと、 前記流体圧シリンダの後側シリンダ室内の流体圧を検出
する第1の流体圧検出センサと、 前記流体圧シリンダの前側シリンダ室内の流体圧を検出
する第2の流体圧検出センサと、 流体圧供給源の流体圧を検出する元圧検出センサと、 前記位置検出センサ、前記第1および第2流体圧検出セ
ンサ、ならびに前記元圧検出センサからの検出信号に応
じて、前記第1および第2の電磁弁を駆動制御する制御
部とを備えてなることを特徴とする流体圧シリンダの制
御装置。
1. A device for driving and controlling an operating portion of a fluid pressure cylinder to an arbitrary axial position, the first solenoid valve controlling a flow of a working fluid to a rear cylinder chamber of the fluid pressure cylinder, A second solenoid valve for controlling the flow of the working fluid to the front cylinder chamber of the fluid pressure cylinder, a position detection sensor for detecting the axial position of the working portion, and a fluid pressure in the rear cylinder chamber of the fluid pressure cylinder. A first fluid pressure detection sensor, a second fluid pressure detection sensor that detects a fluid pressure in the front cylinder chamber of the fluid pressure cylinder, and a source pressure detection sensor that detects a fluid pressure of a fluid pressure supply source. A position detection sensor, the first and second fluid pressure detection sensors, and a control unit that drives and controls the first and second solenoid valves according to detection signals from the source pressure detection sensor. Control device for a fluid pressure cylinder, characterized by comprising Te.
【請求項2】 前記制御部は、前記流体圧供給源の流体
圧の大きさおよび変動に応じて、前記流体圧シリンダの
前後両シリンダ室の流体圧を調整しながら、前記第1お
よび第2の電磁弁を駆動制御して、前記作動部の進退速
度および軸方向位置を制御するように構成されているこ
とを特徴とする請求項1に記載の流体圧シリンダの制御
装置。
2. The first and second control units adjust the fluid pressures in the front and rear cylinder chambers of the fluid pressure cylinder in accordance with the magnitude and fluctuation of the fluid pressure of the fluid pressure supply source. The control device for the fluid pressure cylinder according to claim 1, wherein the solenoid valve is driven and controlled to control the advancing / retreating speed and the axial position of the actuating portion.
【請求項3】 前記制御部は、前記第1および第2の電
磁弁を繰り返しON−OFF制御することにより、前記
流体圧シリンダの前後両シリンダ室の流体圧を調整する
ように構成されていることを特徴とする請求項1または
2に記載の流体圧シリンダの制御装置。
3. The control unit is configured to adjust the fluid pressure in both front and rear cylinder chambers of the fluid pressure cylinder by repeatedly performing ON-OFF control of the first and second solenoid valves. The control device for a fluid pressure cylinder according to claim 1 or 2, wherein:
【請求項4】 前記制御部は、前記流体圧供給源の流体
圧の大きさおよび変動に応じて、前記第1および第2の
電磁弁のON−OFF時間を制御するように構成されて
いることを特徴とする請求項3に記載の流体圧シリンダ
の制御装置。
4. The control unit is configured to control the ON-OFF time of the first and second solenoid valves according to the magnitude and fluctuation of the fluid pressure of the fluid pressure supply source. The control device for the fluid pressure cylinder according to claim 3, wherein:
【請求項5】 前記第1および第2の電磁弁は、前記流
体圧シリンダのシリンダ室を前記流体圧供給源に連通す
る供給位置と、前記流体圧シリンダのシリンダ室との連
通をブロックする閉止位置と、前記流体圧シリンダのシ
リンダ室を排出口に連通する排出位置との3位置に切換
動作するパイロット形3位置電磁弁であることを特徴と
する請求項1から4のいずれか一つに記載の流体圧シリ
ンダの制御装置。
5. The first and second solenoid valves are closed so as to block communication between a supply position for communicating the cylinder chamber of the fluid pressure cylinder with the fluid pressure supply source and communication with the cylinder chamber of the fluid pressure cylinder. 5. A pilot-type three-position solenoid valve that switches between three positions, a position and a discharge position where the cylinder chamber of the fluid pressure cylinder communicates with a discharge port, and is a pilot-type three-position solenoid valve. A control device for the fluid pressure cylinder described.
【請求項6】 前記位置検出センサは、前記流体圧シリ
ンダのピストンに設けられた永久磁石の軸方向位置を検
出する磁歪式リニア変位センサであり、 この磁歪式リニア変位センサのプローブは、前記流体圧
シリンダのシリンダチューブ外周に軸方向へ延びて取り
付けられることを特徴とする請求項1に記載の流体圧シ
リンダの制御装置。
6. The position detection sensor is a magnetostrictive linear displacement sensor that detects an axial position of a permanent magnet provided on a piston of the fluid pressure cylinder, and a probe of the magnetostrictive linear displacement sensor is the fluid displacement sensor. The control device for the fluid pressure cylinder according to claim 1, wherein the control device is attached to the outer circumference of the cylinder tube of the pressure cylinder so as to extend in the axial direction.
【請求項7】 前記第1および第2の流体圧検出センサ
は、前記第1および第2の電磁弁を流れる流体圧から前
記流体圧シリンダの前後両シリンダ室内の流体圧を間接
的にそれぞれ検出するように構成されていることを特徴
とする請求項1に記載の流体圧シリンダの制御装置。
7. The first and second fluid pressure detection sensors indirectly detect the fluid pressures in the front and rear cylinder chambers of the fluid pressure cylinder from the fluid pressures flowing in the first and second solenoid valves, respectively. The control device for a fluid pressure cylinder according to claim 1, wherein the control device is configured to:
JP14996196A 1996-05-20 1996-05-20 Control device of hydraulic cylinder Pending JPH09303307A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14996196A JPH09303307A (en) 1996-05-20 1996-05-20 Control device of hydraulic cylinder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14996196A JPH09303307A (en) 1996-05-20 1996-05-20 Control device of hydraulic cylinder

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09303307A true JPH09303307A (en) 1997-11-25

Family

ID=15486394

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14996196A Pending JPH09303307A (en) 1996-05-20 1996-05-20 Control device of hydraulic cylinder

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09303307A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002122102A (en) * 2000-10-10 2002-04-26 Asahi Enterp:Kk Pressing device
JP2002295404A (en) * 2001-03-30 2002-10-09 Sumitomo Heavy Ind Ltd Gas pressure actuator and its control method
US8146481B2 (en) 2008-05-02 2012-04-03 University Of Tsukuba, National University Corporation Actuator, actuator control method, and actuator control program
JP5244383B2 (en) * 2005-03-31 2013-07-24 独立行政法人科学技術振興機構 Actuator using fluid cylinder and control method thereof
JP2021049544A (en) * 2019-09-25 2021-04-01 住友重機械工業株式会社 Molding device
KR102351772B1 (en) * 2020-07-29 2022-01-17 주식회사 아노시스 Operating method for controlling a cylinder

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002122102A (en) * 2000-10-10 2002-04-26 Asahi Enterp:Kk Pressing device
JP2002295404A (en) * 2001-03-30 2002-10-09 Sumitomo Heavy Ind Ltd Gas pressure actuator and its control method
JP5244383B2 (en) * 2005-03-31 2013-07-24 独立行政法人科学技術振興機構 Actuator using fluid cylinder and control method thereof
US8146481B2 (en) 2008-05-02 2012-04-03 University Of Tsukuba, National University Corporation Actuator, actuator control method, and actuator control program
JP5164047B2 (en) * 2008-05-02 2013-03-13 国立大学法人 筑波大学 Actuator, actuator control method, and actuator control program
JP2021049544A (en) * 2019-09-25 2021-04-01 住友重機械工業株式会社 Molding device
KR102351772B1 (en) * 2020-07-29 2022-01-17 주식회사 아노시스 Operating method for controlling a cylinder

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7836690B2 (en) Positioning control mechanism for double-acting air cylinder
CN100545464C (en) The controlling method of cylinder and device
US4628499A (en) Linear servoactuator with integrated transformer position sensor
JP4353335B2 (en) Double-acting air cylinder positioning control mechanism
EP2523064A2 (en) Apparatus using electronically-controlled valves
JP2004286122A (en) High-speed driving method for pressure cylinder and its system
WO2019225022A1 (en) Drive method and drive device for fluid pressure cylinder
JP2008249026A (en) Positioning control mechanism of single acting air cylinder
JPH09303307A (en) Control device of hydraulic cylinder
US5529478A (en) Device for hydraulic drive of injection molding machines
JPH09303310A (en) Control device of hydraulic cylinder
TW202043657A (en) Vacuum opening and closing valve capable of suppressing vibration generated when the valve body is performing action
JP4198115B2 (en) Servo / valve controller
Linnett et al. An accurate low-friction pneumatic position control system
JP2008151184A (en) Speed control system for fluid pressure cylinder
KR20210083162A (en) Actuator control apparatus
JPH06241206A (en) Piston speed controller
JP2002276611A (en) Hydraulic operation system, sheet metal working machine and industrial machine
JPH0542242Y2 (en)
Pu et al. Steady state analysis of pneumatic servo drives
US20240117821A1 (en) Pneumatic cylinder system
JPH09189370A (en) Control method of solenoid change-over valve and control device
JP2001336504A (en) Method and apparatus for controlling gas pressure actuator
JPS6016480Y2 (en) pneumatic press equipment
JPH04357307A (en) Pneumatic cylinder positioning device

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050124

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050215

A02 Decision of refusal

Effective date: 20050621

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02