JPH0929602A - Polishing device - Google Patents

Polishing device

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JPH0929602A
JPH0929602A JP20758995A JP20758995A JPH0929602A JP H0929602 A JPH0929602 A JP H0929602A JP 20758995 A JP20758995 A JP 20758995A JP 20758995 A JP20758995 A JP 20758995A JP H0929602 A JPH0929602 A JP H0929602A
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polishing
shaft
drive shaft
eccentric
rotary drive
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Yoshihiko Kami
良彦 上
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Amitec Corp
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent Generation of abnormal noise as well as oscillation of a device resulting from the eccentric rotation of its polishing mechanism. SOLUTION: On a rotation drive shaft 30 a polishing mechanism 39 is mounted which is provided with a polishing pad 42 on an eccentric shaft 40 rotating integrally with the shaft 30 while thereon a balancer 81 is mounted whose position of the center of gravity is set eccentrically on the opposite side to the eccentric direction of the pad 42 with respect to the axis of the shaft 30. When the shaft 30 is rotated the mechanism 39 and the balancer 81 is eccentrically rotated in an integrated manner to thereby cancel the centrifugal force by the eccentric rotation of the two 39, 81. No lateral dislocation of the shaft 30 caused by the eccentric rotation of the mechanism 39 is therefore generated and no abnormal noise or oscillation of a device caused thereby is also generated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨パッドを偏心
回転させながら研磨を行う研磨装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing apparatus that performs polishing while eccentrically rotating a polishing pad.

【0002】[0002]

【従来の技術】一方向に搬送されるワークに対してその
搬送方向と同方向に走行するサンディングベルトで研磨
を行った場合には、ワークに対するサンディングベルト
の研磨方向が一定であるため、ワークの表面には微細で
はあるが互いに平行な多数の筋状の傷が残ってしまう。
そこで、このような傷をなくすために、ワークに対する
研磨方向が一定にならないような研磨を施してワークの
表面を仕上げるということが行われる。
2. Description of the Related Art When a work conveyed in one direction is polished by a sanding belt that travels in the same direction as the conveying direction, the sanding belt polishing direction with respect to the work is constant. On the surface, many streaky scratches that are minute but parallel to each other remain.
Therefore, in order to eliminate such scratches, the surface of the work is finished by polishing such that the polishing direction of the work is not constant.

【0003】このような仕上げのために用いられる研磨
装置として、ワークを水平に搬送するコンベアの上方に
モータによって回転される回転駆動軸を設けると共に、
この回転駆動軸と一体回転する偏心軸に研磨パッドを取
り付けた構成になる研磨機構を設けたものがある。回転
駆動軸を回転駆動するとその回転駆動軸を中心として研
磨パッドが偏心回転し、この偏心回転する研磨パッドに
よってワークが仕上げ研磨されるようになっている。か
かる研磨装置では、仕上がりの滑らかさを向上させるた
めに研磨パッドを高速で回転させるようになっている。
As a polishing device used for such finishing, a rotary drive shaft rotated by a motor is provided above a conveyor for horizontally transporting a work, and
There is one in which a polishing mechanism having a structure in which a polishing pad is attached to an eccentric shaft that rotates integrally with the rotary drive shaft is provided. When the rotary drive shaft is rotationally driven, the polishing pad is eccentrically rotated about the rotary drive shaft, and the work is finish-polished by the eccentrically rotating polishing pad. In such a polishing apparatus, the polishing pad is rotated at a high speed in order to improve the smoothness of the finish.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】このような研磨装置で
は、研磨機構が偏心回転することによって回転駆動軸に
は回転速度の2乗に比例する遠心力が作用するのである
が、上記のように回転速度が高速に設定されることから
その遠心力は相当に大きくなる。そして、この大きな遠
心力により回転駆動軸の軸心がブレを生じてしまい、こ
のために装置が振動したり異音が発生するという不具合
があった。
In such a polishing apparatus, due to the eccentric rotation of the polishing mechanism, a centrifugal force proportional to the square of the rotation speed acts on the rotary drive shaft. Since the rotation speed is set to a high speed, the centrifugal force becomes considerably large. Then, due to the large centrifugal force, the shaft center of the rotary drive shaft is deviated, which causes a problem that the device vibrates or an abnormal noise occurs.

【0005】本願発明は上記事情に鑑みて創案されたも
のであって、研磨機構の偏心回転に起因する装置の振動
や異音の発生を防止することを目的とするものである。
The present invention was devised in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to prevent vibration and abnormal noise of the apparatus due to eccentric rotation of the polishing mechanism.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、ワークを搬送
するコンベアと、回転駆動軸と一体回転する偏心軸に研
磨パッドを取り付けてなる研磨機構とを備え、搬送され
るワークに対して研磨パッドが偏心回転することにより
研磨するものにおいて、回転駆動軸に、その軸心に関し
て研磨機構の重心位置と反対側に偏心した位置に重心を
配したバランサを一体回転可能に設けた構成としたとこ
ろに特徴を有する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises a conveyer for conveying a work, and a polishing mechanism in which a polishing pad is attached to an eccentric shaft that rotates integrally with a rotary drive shaft. In the case of polishing by the eccentric rotation of the pad, the rotary drive shaft is integrally rotatable with a balancer having a center of gravity at a position opposite to the center of gravity of the polishing mechanism with respect to the shaft center. It is characterized by

【0007】かかる発明においては、研磨機構の偏心回
転による遠心力とバランサの偏心回転による遠心力との
均衡が図られるから、回転駆動軸の軸心のブレが抑えら
れる。
In this invention, since the centrifugal force due to the eccentric rotation of the polishing mechanism and the centrifugal force due to the eccentric rotation of the balancer are balanced, the axial center of the rotary drive shaft can be prevented from deviating.

【0008】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、バランサの重量と重心位置の偏心量が、その重量と
偏心量とを乗じたモーメントの値が研磨機構の重量と重
心位置の偏心量とを乗じたモーメントの値にほぼ等しく
なるように設定される構成としたところに特徴を有す
る。かかる構成の発明においては、研磨機構とバランサ
のモーメントがほぼ等しくなることによって遠心力もほ
ぼ等しくなる。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the eccentricity between the weight of the balancer and the center of gravity is the eccentricity between the weight and the center of gravity of the polishing mechanism, and the moment value obtained by multiplying the weight and the eccentricity is It is characterized in that it is set so as to be substantially equal to the value of the moment multiplied by the quantity. In the invention having such a configuration, the centrifugal force is also substantially equalized by substantially equalizing the moments of the polishing mechanism and the balancer.

【0009】請求項3の発明は、請求項1又は請求項2
の発明において、回転駆動軸が、ワークの搬送経路を横
切る方向への往復移動可能に設けた可動ベースに支持さ
れている構成としたところに特徴を有する。かかる構成
の発明においては、研磨パッドが往復移動と偏心回転と
を組み合わせた複雑な軌跡を描きながらワークに接触す
る。
[0009] The invention of claim 3 is claim 1 or claim 2.
The invention is characterized in that the rotation drive shaft is supported by a movable base provided so as to be capable of reciprocating in a direction traversing a work transfer path. In the invention of such a configuration, the polishing pad contacts the work while drawing a complicated trajectory combining reciprocating movement and eccentric rotation.

【0010】[0010]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、研磨機構の偏
心回転に起因する回転駆動軸のブレによる装置の振動や
異音の発生を防止することができる。
According to the first aspect of the present invention, it is possible to prevent vibration and abnormal noise of the apparatus due to the shake of the rotary drive shaft due to the eccentric rotation of the polishing mechanism.

【0011】請求項2の発明によれば、バランサの重量
と偏心量を最適な条件で設定することができるから、回
転駆動軸のブレ防止の効果が高い。
According to the second aspect of the present invention, the weight and eccentricity of the balancer can be set under optimum conditions, so that the effect of preventing the rotation of the rotary drive shaft is high.

【0012】請求項3の発明によれば、研磨パッドが複
雑な動きをしながら研磨するようになっているから、研
磨効果が高い。
According to the third aspect of the invention, since the polishing pad polishes while performing complicated movements, the polishing effect is high.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を図1乃至図5を参照して説明する。基台1の上面
には、水平方向に間隔を空けた一対のロール3,3の間
に無端状のコンベアベルト4を掛け渡してなるコンベア
2が設けられており、このコンベア2によってワークW
が図1の右から左へ向かって搬送されるようになってい
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. On the upper surface of the base 1, there is provided a conveyor 2 in which an endless conveyor belt 4 is spanned between a pair of rolls 3 which are horizontally spaced from each other.
Are conveyed from right to left in FIG.

【0014】基台1にはその上面から突出する4本の昇
降脚5が設けられ、昇降ハンドル6の回転操作によって
4本の昇降脚5が一体的に昇降駆動される。これらの4
本の昇降脚5はコンベア2の上方に位置する昇降フレー
ム7を下から支えている。この昇降フレーム7は、水平
な板状をなす昇降ベース8とこの昇降ベース8の周囲を
囲むハウジング9とからなる。ハウジング9の正面には
操作パネル10が設けられている。
The base 1 is provided with four elevating legs 5 protruding from the upper surface thereof, and the four elevating legs 5 are integrally driven up and down by rotating the elevating handle 6. These four
The elevating legs 5 of the book support an elevating frame 7 located above the conveyor 2 from below. The elevating frame 7 is composed of an elevating base 8 having a horizontal plate shape and a housing 9 surrounding the elevating base 8. An operation panel 10 is provided on the front surface of the housing 9.

【0015】昇降ベース8の上面には、コンベア2によ
るワークWの搬送方向と直交する方向の4条のガイドレ
ール11が固定されている。これらのガイドレール11
には、水平な板状をなす可動ベース12がその下面に固
定したスライダ13を嵌装することにより移動可能に案
内されている。
On the upper surface of the elevating base 8, four guide rails 11 are fixed in a direction orthogonal to the direction in which the work W is conveyed by the conveyor 2. These guide rails 11
A horizontal plate-shaped movable base 12 is movably guided by a slider 13 fixed to the lower surface thereof.

【0016】この可動ベース12の図2における左側の
側縁に取り付けたブラケット14には、鉛直軸回りの回
転可能な従動連結子15が取り付けられている。一方、
昇降ベース8には、スライド用モータ16によって鉛直
軸回りに回転される駆動プーリ17と、この駆動プーリ
17と同じく鉛直軸回りの回転可能な従動プーリ18が
設けられており、この両プーリ17,18の間にタイミ
ングベルト19が掛け渡されている。さらに、従動プー
リ18には偏心軸20が一体回転可能に取り付けられて
おり、この偏心軸20には相対的回転可能に駆動連結子
21が取り付けられている。そして、この駆動連結子2
1と上記従動連結子15とはねじ棒からなるリンクバー
22によって連結されている。かかる構成により、スラ
イド用モータ16を駆動すると駆動連結子21の偏心回
転運動が従動連結子15の直線運動に変換されて伝達さ
れ、可動ベース12がガイドレール11に沿ってワーク
Wの搬送方向と直交する方向に往復移動するようになっ
ている。
A bracket 14 attached to the left side edge of the movable base 12 in FIG. 2 is attached with a driven connector 15 rotatable about a vertical axis. on the other hand,
The elevating base 8 is provided with a drive pulley 17 that is rotated around a vertical axis by a sliding motor 16 and a driven pulley 18 that is rotatable around a vertical axis like the drive pulley 17. A timing belt 19 is stretched between 18 and. Further, an eccentric shaft 20 is integrally rotatably attached to the driven pulley 18, and a drive connector 21 is rotatably attached to the eccentric shaft 20. And this drive connector 2
1 and the driven connector 15 are connected by a link bar 22 formed of a screw rod. With this configuration, when the sliding motor 16 is driven, the eccentric rotational motion of the drive connector 21 is converted into the linear motion of the driven connector 15 and transmitted, so that the movable base 12 moves along the guide rail 11 in the conveyance direction of the work W. It is designed to reciprocate in the orthogonal directions.

【0017】かかる可動ベース12にはワークWに対し
て研磨を行うための駆動機構が設けられている。以下、
この駆動機構について説明する。可動ベース12の下面
には取付けベース23が固定されており、可動ベース1
2と取付けベース23には、双方のベース12,23同
士の間で互いに整合する取付孔12A,23Aがワーク
Wの搬送方向と直交する方向に間隔を空けた2カ所に形
成されている。この2カ所の取付孔12A,23Aに
は、夫々、シャフトケース24が取り付けられている。
シャフトケース24は、図4に示すように、釣り鐘状の
上部ケース24Uとこの上部ケース24Uの下面の開口
を閉塞する板状の下部ケース24Lとからなり、下部ケ
ース24Lの貫通孔25に下から通したボルト26を上
部ケース24Uのネジ孔27に螺合することによって一
体に組み付けられている。そして、上記ネジ孔27に
は、可動ベース12に取り付ける前に予め取付けベース
23の貫通孔28に上から通したボルト29が螺合され
ており、これによってシャフトケース24が取付けベー
ス23を介して可動ベース12に一体に取り付けられて
いる。このようにして取り付けられたシャフトケース2
4は可動ベース12を上下に貫通している。
The movable base 12 is provided with a drive mechanism for polishing the work W. Less than,
This drive mechanism will be described. A mounting base 23 is fixed to the lower surface of the movable base 12,
2 and the mounting base 23 are provided with mounting holes 12A and 23A, which are aligned with each other between the bases 12 and 23, at two positions spaced from each other in the direction orthogonal to the conveyance direction of the work W. A shaft case 24 is attached to each of the two mounting holes 12A and 23A.
As shown in FIG. 4, the shaft case 24 includes a bell-shaped upper case 24U and a plate-shaped lower case 24L that closes an opening on the lower surface of the upper case 24U. The bolt 26 passed through is screwed into the screw hole 27 of the upper case 24U to be integrally assembled. A bolt 29, which has been passed through the through hole 28 of the mounting base 23 from above, is screwed into the screw hole 27 before being mounted on the movable base 12, whereby the shaft case 24 is mounted via the mounting base 23. It is integrally attached to the movable base 12. Shaft case 2 attached in this way
Reference numeral 4 vertically penetrates the movable base 12.

【0018】各シャフトケース24には、夫々、軸線を
上下方向に向けた回転駆動軸30が回転自由に支持され
ている。回転駆動軸30は下側から下部ケース24Lの
軸受孔31に貫通され、回転駆動軸30の上端部は上部
ケース24Uの軸受孔32に貫通されている。上下双方
の軸受孔31,32内においては、夫々、スラストボー
ルベアリング33とラジアルボールベアリング34とに
よって回転駆動軸30が円滑に回転するように支持され
ている。
Each shaft case 24 rotatably supports a rotary drive shaft 30 with its axis oriented in the vertical direction. The rotary drive shaft 30 penetrates the bearing hole 31 of the lower case 24L from below, and the upper end of the rotary drive shaft 30 penetrates the bearing hole 32 of the upper case 24U. In each of the upper and lower bearing holes 31 and 32, a rotary drive shaft 30 is supported by a thrust ball bearing 33 and a radial ball bearing 34 so as to rotate smoothly.

【0019】また、上部ケース24Uの軸受孔32内の
両ベアリング33,34はベアリング受け部35によっ
て下から支えられている。さらに、回転駆動軸30の上
端部に形成した雄ネジ部36にはベアリングナット37
が螺合され、このベアリングナット37がベアリングワ
ッシャ38を介してラジアルボールベアリング34のイ
ンナレース34Aに対して上から係合されており、これ
によって回転駆動軸30がシャフトケース24に対して
下方への脱落不能に支持されている。一方、下部ケース
24Lの軸受孔31内においては、両ベアリング33,
34が回転駆動軸30の下端部に形成されている偏心軸
40の鍔部41によって下から支えられており、これに
よって両ベアリング33,34の脱落が防止されてい
る。
Both bearings 33 and 34 in the bearing hole 32 of the upper case 24U are supported from below by a bearing receiving portion 35. Further, a bearing nut 37 is attached to the male screw portion 36 formed on the upper end of the rotary drive shaft 30.
Is engaged with the inner race 34A of the radial ball bearing 34 via the bearing washer 38 from above, whereby the rotary drive shaft 30 moves downward with respect to the shaft case 24. Is supported by the infallible. On the other hand, in the bearing hole 31 of the lower case 24L, both bearings 33,
34 is supported from below by a collar portion 41 of an eccentric shaft 40 formed at the lower end of the rotary drive shaft 30, and this prevents both bearings 33, 34 from falling off.

【0020】回転駆動軸30の下端部には上記のように
偏心軸40が形成されている。この偏心軸40は断面が
円形をなしており、その中心位置Psは回転駆動軸30
の回転中心Pから例えば数ミリ程度の僅かな寸法だけ偏
心している。この偏心量は双方の偏心軸40,40同士
で互いに同じ寸法となるように設定されている。偏心軸
40はその上記した鍔部41よりも下方へ突出してお
り、この突出した偏心軸40には研磨パッド42が取り
付けられている。この偏心軸40と研磨パッド42によ
って本発明の研磨機構39が構成されている。
The eccentric shaft 40 is formed at the lower end of the rotary drive shaft 30 as described above. The eccentric shaft 40 has a circular cross section, and its center position Ps is the rotational drive shaft 30.
The center of rotation P is eccentric by a slight dimension such as several millimeters. The amount of eccentricity is set so that both eccentric shafts 40, 40 have the same size. The eccentric shaft 40 projects downward from the above-mentioned collar portion 41, and a polishing pad 42 is attached to the projected eccentric shaft 40. The eccentric shaft 40 and the polishing pad 42 constitute the polishing mechanism 39 of the present invention.

【0021】研磨機構39の取付け構造は次のようにな
る。回転駆動軸30をシャフトケース24に取り付ける
前に、予め、偏心軸40には下から2つのラジアルボー
ルベアリング43,43を上下に並べて嵌装すると共
に、偏心軸40の下端の雄ネジ部44にベアリングナッ
ト45を螺合してそのベアリングナット45をベアリン
グワッシャ46を介して下側のラジアルボールベアリン
グ43のインナレース43Aに下から係合させておく。
これにより、両ベアリング43,43が偏心軸40に脱
落不能に取り付けられている。
The mounting structure of the polishing mechanism 39 is as follows. Before the rotary drive shaft 30 is attached to the shaft case 24, two radial ball bearings 43, 43 are vertically fitted from the bottom to the eccentric shaft 40, and the male screw portion 44 at the lower end of the eccentric shaft 40 is fitted in advance. The bearing nut 45 is screwed, and the bearing nut 45 is engaged with the inner race 43A of the lower radial ball bearing 43 from below through the bearing washer 46.
As a result, both bearings 43, 43 are attached to the eccentric shaft 40 so as not to fall off.

【0022】さらに、鍔部41には上からホルダプレー
ト47の貫通孔48を相対回転可能に嵌装して、そのホ
ルダプレート47を上側のラジアルボールベアリング4
3のアウタレース43Bに係合させておく。そして、各
偏心軸40に別々に嵌装された2枚のホルダプレート4
7,47には1つの共通のパッドホルダ49がボルト
(図示せず)によって固定されている。尚、このとき、
双方の偏心軸40,40の回転駆動軸30に対する偏心
方向が互いに同じ方向となるようにしておく。
Further, a through hole 48 of a holder plate 47 is fitted in the flange portion 41 from above so as to be relatively rotatable, and the holder plate 47 is attached to the upper radial ball bearing 4.
The outer race 43B of No. 3 is engaged. Then, the two holder plates 4 that are separately fitted to the eccentric shafts 40, respectively.
One common pad holder 49 is fixed to the units 7 and 47 by bolts (not shown). At this time,
The eccentric directions of the eccentric shafts 40, 40 with respect to the rotary drive shaft 30 are set to be the same as each other.

【0023】パッドホルダ49は、全体としてワークW
の搬送方向に対して横切る方向に長い形状をなしてい
る。パッドホルダ49には上方に開口した2つの収容孔
51,51が形成され、これらの収容孔51内には偏心
軸40とラジアルボールベアリング43,43が収容さ
れている。かかるパッドホルダ49は、両偏心軸40,
40が偏心回転すると、ワークWの搬送方向に対して常
に一定の姿勢を保持しつつ円形軌跡を描いて移動するよ
うになっている。
The pad holder 49 is a work W as a whole.
It has a long shape in the direction transverse to the conveyance direction of. Two accommodating holes 51, 51 that open upward are formed in the pad holder 49, and the eccentric shaft 40 and the radial ball bearings 43, 43 are accommodated in these accommodating holes 51. The pad holder 49 includes the eccentric shafts 40,
When the eccentric 40 rotates, the workpiece W moves in a circular locus while always maintaining a constant posture in the transport direction of the workpiece W.

【0024】パッドホルダ49の下面には、その全長に
亘って開口する取付溝52が形成されている。この取付
溝52には、その両内側壁面の上部を凹ませることによ
って係止段部53が形成されている。かかる取付溝52
には、研磨パッド42が取り付けられている。
A mounting groove 52 is formed on the lower surface of the pad holder 49 and opens over the entire length thereof. A locking step 53 is formed in the mounting groove 52 by recessing the upper portions of both inner wall surfaces. Such mounting groove 52
A polishing pad 42 is attached to the.

【0025】研磨パッド42は、その水平な板状をなす
パッド本体42Aの下面にフェルトなどの研磨シート5
4を貼設してなり、この研磨シートがワークWの表面に
接触するようになる。また、パッド本体42Aの上面か
らは長さ方向に沿って延びるように取付部42Bが一体
に形成されており、この取付部42Bにはこの取付部4
2Bよりも幅の広い板状のパッドフランジ55がボルト
56によって固定されている。かかる研磨パッド42
は、その取付部42Bを上記パッドホルダ49の取付溝
52に嵌合させると共にパッドフランジ55を取付溝5
2の係止段部53に係合させることにより、パッドホル
ダ49に支持されている。
The polishing pad 42 has a horizontal plate-shaped pad body 42A and a polishing sheet 5 such as felt on the lower surface thereof.
4 is attached, and this polishing sheet comes into contact with the surface of the work W. A mounting portion 42B is integrally formed so as to extend along the length direction from the upper surface of the pad body 42A. The mounting portion 42B has the mounting portion 4B.
A plate-shaped pad flange 55 wider than 2B is fixed by bolts 56. Such polishing pad 42
Fits the mounting portion 42B into the mounting groove 52 of the pad holder 49 and mounts the pad flange 55 in the mounting groove 5
It is supported by the pad holder 49 by engaging with the two locking step portions 53.

【0026】さらに、パッドフランジ55の一方の(図
3における右側の)端部は、パッドホルダ49に固定し
たパッドストッパ57に傾斜面同士を係合させることに
よって係止されている。一方、パッドフランジ55の上
記と反対側の端部はパッドホルダ49から側方へ突出し
ており、この突出部分は、パッドホルダ49に設けたク
ランプ58によって保持されている。このクランプ58
のレバー58Aを操作してシャフト58Bを引き上げる
と、シャフト58Bの下端に螺合下したナット58Cの
係合によりパッドフランジ55が所定高さに持ち上げら
れると共に、圧縮コイルばね58Dによりパッドフラン
ジ55の浮き上がりが規制され、もって、パッドフラン
ジ55がパッドホルダ49に固定される。レバー58A
を上記とは逆方向に操作してシャフト58Bを下げる
と、パッドフランジ55が下降すると共に圧縮コイルば
ね58Dによる押圧が解除され、これによりパッドフラ
ンジ55をパッドホルダ49から取外し可能となる。
Further, one end (on the right side in FIG. 3) of the pad flange 55 is locked by engaging the inclined surfaces with the pad stopper 57 fixed to the pad holder 49. On the other hand, the end of the pad flange 55 on the opposite side to the above projects laterally from the pad holder 49, and this projecting portion is held by a clamp 58 provided on the pad holder 49. This clamp 58
When the lever 58A is operated to pull up the shaft 58B, the pad flange 55 is lifted to a predetermined height by the engagement of the nut 58C screwed on the lower end of the shaft 58B, and the pad flange 55 is lifted by the compression coil spring 58D. Is regulated, so that the pad flange 55 is fixed to the pad holder 49. Lever 58A
When the shaft 58B is lowered by operating in the direction opposite to the above, the pad flange 55 is lowered and the pressing by the compression coil spring 58D is released, whereby the pad flange 55 can be removed from the pad holder 49.

【0027】上記のようにして研磨パッド42はパッド
ホルダ49を介して2本の偏心軸40,40に取り付け
られている。かかる研磨パッド42は、両偏心軸40,
40を互いに同じ速度で回転させることにより、コンベ
ア2に対して一定の姿勢を保持したままで偏心寸法を半
径とする円の軌跡を描くように回転駆動される。尚、昇
降ベース8には、研磨パッド42の移動を許容するため
の研磨パッド用開口59が形成されている。
As described above, the polishing pad 42 is attached to the two eccentric shafts 40, 40 via the pad holder 49. The polishing pad 42 includes the eccentric shafts 40,
By rotating 40 at the same speed, they are rotationally driven so as to draw a locus of a circle having a radius of an eccentric dimension while maintaining a constant posture with respect to the conveyor 2. The lifting base 8 has a polishing pad opening 59 for allowing the polishing pad 42 to move.

【0028】次に、双方の偏心軸40,40を回転駆動
するための機構について図2及び図3を参照して説明す
る。可動ベース12の図2における両シャフトケース2
4,24よりも上方の位置には、スライドベース60が
ボルト61によって取り付けられている。ボルト61は
スライドベース60の長孔62を貫通して可動ベース1
2に螺合されているため、スライドベース60の可動ベ
ース12に対する取付け位置は図2における上下方向の
一定範囲内において任意に調節することができるように
なっている。かかるスライドベース60には、その下方
へ突出するように研磨用モータ63が固定されている。
研磨用モータ63の上下方向の出力軸64はスライドベ
ース60から上方へ突出しており、この出力軸64には
これと一体回転する駆動プーリ65が取り付けられてい
る。
Next, a mechanism for rotationally driving both eccentric shafts 40, 40 will be described with reference to FIGS. 2 and 3. Both shaft cases 2 of the movable base 12 in FIG.
A slide base 60 is attached by bolts 61 at positions above 4, 24. The bolt 61 penetrates the long hole 62 of the slide base 60 to move the movable base 1.
Since the slide base 60 is screwed into the movable base 12, the mounting position of the slide base 60 with respect to the movable base 12 can be arbitrarily adjusted within a certain range in the vertical direction in FIG. A polishing motor 63 is fixed to the slide base 60 so as to project downward.
A vertical output shaft 64 of the polishing motor 63 projects upward from the slide base 60, and a drive pulley 65 that rotates integrally with the output shaft 64 is attached to the output shaft 64.

【0029】可動ベース12の図2において両シャフト
ケース24,24の中間位置よりも右方の位置には、ス
ライドベース66がボルト67によって取り付けられて
いる。ボルト67はスライドベース66の長孔68を貫
通して可動ベース12に螺合されているため、スライド
ベース66の可動ベース12に対する取付け位置は図2
における左右方向の一定範囲内において任意に調節する
ことができるようになっている。かかるスライドベース
66には、上記駆動プーリ65と同じ高さの従動プーリ
69が取り付けられており、この従動プーリ69と駆動
プーリ65との間にはタイミングベルト70が掛け渡さ
れている。これにより、研磨用モータ63を駆動する
と、従動プーリ69が高速で回転されるようになる。
尚、タイミングベルト70は、研磨用モータ63を支持
するスライドベース60の位置を調整することによって
緊張状態に保つことができる。
A slide base 66 is attached by a bolt 67 to a position to the right of the intermediate position between the shaft cases 24, 24 of the movable base 12 in FIG. Since the bolt 67 penetrates the elongated hole 68 of the slide base 66 and is screwed into the movable base 12, the mounting position of the slide base 66 to the movable base 12 is as shown in FIG.
Can be arbitrarily adjusted within a certain range in the left-right direction. A driven pulley 69 having the same height as the drive pulley 65 is attached to the slide base 66, and a timing belt 70 is stretched between the driven pulley 69 and the drive pulley 65. As a result, when the polishing motor 63 is driven, the driven pulley 69 is rotated at high speed.
The timing belt 70 can be kept in a tension state by adjusting the position of the slide base 60 that supports the polishing motor 63.

【0030】さらに、この従動プーリ69には、これと
一体回転する駆動プーリ71が取り付けられている。そ
して、2本の回転駆動軸30,30の上端には、夫々、
これらと一体回転する従動プーリ72,72が取り付け
られている。この駆動プーリ71と従動プーリ72,7
2との間にはタイミングベルト73が三角形状に掛け渡
されている。これにより、上記研磨用モータ63を駆動
すると、2本の回転駆動軸30,30が互いに同じ速度
で高速回転し、同時に2本の偏心軸40,40が互いに
同じ速度で高速回転される。尚、タイミングベルト73
は、従動プーリ69と駆動プーリ71を支持するスライ
ドベース66の位置を調整することによって緊張状態に
保つことができる。
Further, the driven pulley 69 is provided with a drive pulley 71 which rotates integrally with the driven pulley 69. And, at the upper ends of the two rotary drive shafts 30, 30, respectively,
Driven pulleys 72, 72 that rotate integrally with these are attached. The drive pulley 71 and the driven pulleys 72, 7
A timing belt 73 is stretched between the two in a triangular shape. As a result, when the polishing motor 63 is driven, the two rotary drive shafts 30, 30 rotate at the same speed and high speed, and at the same time, the two eccentric shafts 40, 40 rotate at the same speed and high speed. The timing belt 73
Can be kept in tension by adjusting the position of the slide base 66 that supports the driven pulley 69 and the drive pulley 71.

【0031】上記構成になる本実施形態の研磨装置にお
いては、ワークWの厚さ寸法に合わせて昇降フレーム7
を上下動させることにより研磨パッド42がワークWに
適切な押圧力で接触するように設定し、かかる状態でス
ライド用モータ16と研磨用モータ63を駆動すると共
に、ワークWを搬送する。すると、搬送されるワークW
の表面に対して研磨パッド42が研磨を施し、ワークW
の表面の筋状の多数の傷が消失する。
In the polishing apparatus of this embodiment having the above structure, the elevating frame 7 is adjusted according to the thickness of the work W.
Is set up so that the polishing pad 42 comes into contact with the work W with an appropriate pressing force, and the slide motor 16 and the polishing motor 63 are driven in this state, and the work W is transported. Then, the workpiece W to be transported
The polishing pad 42 polishes the surface of the
A number of streaky scratches on the surface of the skin disappear.

【0032】このときのワークWに対する研磨パッド4
2の動きは、コンベア2によるワークWの直線移動と、
このワークWの移動方向と直交する方向への可動ベース
12の往復直線移動と、この可動ベース12に対して偏
心回転する研磨パッド42の回転移動とが複合した複雑
な軌跡を描くものとなる。したがって、研磨パッド42
のワークWに対する研磨方向が常に不特定の方向へ向き
を変えることになり、ワークWの表面の仕上がりが良好
なものとなる。
Polishing pad 4 for work W at this time
The movement of 2 is the linear movement of the work W by the conveyor 2,
A reciprocal linear movement of the movable base 12 in a direction orthogonal to the movement direction of the work W and a rotational movement of the polishing pad 42 that eccentrically rotates with respect to the movable base 12 form a complex trajectory. Therefore, the polishing pad 42
The polishing direction for the workpiece W always changes to an unspecified direction, and the surface finish of the workpiece W becomes good.

【0033】上記の研磨装置では、研磨パッド42が高
速で偏心回転されるために回転駆動軸30には大きな遠
心力が作用するが、本実施形態においては、その研磨パ
ッド42の遠心力に起因する回転駆動軸30の軸心Pの
ブレを防止するための手段が設けられている。以下、そ
の構成について説明する。
In the above polishing apparatus, since the polishing pad 42 is eccentrically rotated at a high speed, a large centrifugal force acts on the rotary drive shaft 30, but in the present embodiment, the centrifugal force of the polishing pad 42 causes it. Means for preventing the shaft center P of the rotary drive shaft 30 from moving are provided. Hereinafter, the configuration will be described.

【0034】回転駆動軸30を支持しているシャフトケ
ース24の内部は、回転駆動軸30と同心の円形断面の
収容空間80となっている。この収容空間80内におい
ては、回転駆動軸30と同じ素材からなり、全体として
円柱形をなすバランサ81が収容されている。このバラ
ンサ81には、その中心Gbから所定距離だけずれた位
置を中心とし、且つ、回転駆動軸30と同径の円形をな
す嵌通孔82が形成されており、バランサ81はその嵌
通孔82を嵌合させることによって回転駆動軸30に取
り付けられている。
The inside of the shaft case 24 supporting the rotary drive shaft 30 is a storage space 80 having a circular cross section that is concentric with the rotary drive shaft 30. In the housing space 80, a balancer 81 made of the same material as the rotary drive shaft 30 and having a columnar shape as a whole is housed. The balancer 81 is provided with a circular fitting hole 82 centered at a position displaced from the center Gb by a predetermined distance and having the same diameter as the rotary drive shaft 30. The balancer 81 has the fitting hole 82. It is attached to the rotary drive shaft 30 by fitting 82.

【0035】このバランサ81の取付け構造は次のよう
になっている。回転駆動軸30の外周にはその軸線と平
行なキー溝83が形成されていると共にバランサ81の
嵌通孔82の内周にもキー溝84が形成され、この両キ
ー溝83,84にキー85を嵌合させることによって回
転駆動軸30とバランサ81とが一体回転可能に連結さ
れる。さらに、バランサ81には、その外周から嵌通孔
82内に達する雌ねじ孔86が形成されており、この雌
ねじ孔86内にボルト87を螺合してそのボルト87の
先端をキー85に押圧することによりバランサ81が回
転駆動軸30に固定されている。かかるバランサ81は
回転駆動軸30が回転すると、収容空間内80において
回転駆動軸30と一体となって偏心回転する。
The mounting structure of the balancer 81 is as follows. A key groove 83 parallel to the axis of the rotary drive shaft 30 is formed on the outer circumference of the rotary drive shaft 30, and a key groove 84 is formed on the inner circumference of the fitting hole 82 of the balancer 81. By fitting 85, the rotary drive shaft 30 and the balancer 81 are integrally rotatably connected. Further, the balancer 81 is formed with a female screw hole 86 that reaches the fitting hole 82 from its outer circumference. A bolt 87 is screwed into the female screw hole 86 to press the tip of the bolt 87 against the key 85. As a result, the balancer 81 is fixed to the rotary drive shaft 30. When the rotary drive shaft 30 rotates, the balancer 81 rotates eccentrically together with the rotary drive shaft 30 in the accommodation space 80.

【0036】次に、バランサ81の重量と配置について
図5を参照して説明する。バランサ81は研磨パッド4
2の偏心回転によって生じる遠心力を打ち消すためのも
のであるから、重量と配置については、研磨パッド42
と偏心軸40を含む研磨機構39の重量と、その重心位
置Gsの回転駆動軸30の軸心Pからの偏心量とに基づ
いて設定されている。尚、研磨機構39は偏心軸40に
関して対称的な構造になっていることから、研磨機構3
9の重心Gsの位置は両偏心軸40,40の軸心Ps,
Psを結ぶ直線上にあり、その位置は両軸心Ps,Ps
のほぼ中間位置にある。
Next, the weight and arrangement of the balancer 81 will be described with reference to FIG. The balancer 81 is the polishing pad 4
Since it is for canceling the centrifugal force generated by the eccentric rotation of 2, the polishing pad 42 is used in terms of weight and arrangement.
It is set based on the weight of the polishing mechanism 39 including the eccentric shaft 40 and the amount of eccentricity of the center of gravity Gs from the axis P of the rotary drive shaft 30. Since the polishing mechanism 39 has a symmetrical structure with respect to the eccentric shaft 40, the polishing mechanism 3
The position of the center of gravity Gs of 9 is the axis Ps of both eccentric shafts 40, 40,
It is on a straight line connecting Ps, and its position is both axis centers Ps and Ps.
It is almost in the middle position.

【0037】バランサ81の重心位置と重量の設定方法
として、本実施形態では、まず、バランサ81の重心G
bが回転駆動軸30の軸心Pを通る線Qに関して研磨機
構39の重心Gsの位置とは正反対の側に位置するよう
にした。さらに、研磨機構39の重心位置Gsの偏心量
と重量とを乗じて求められるモーメントの値と、バラン
サ81の重心位置Gbの偏心量と重量とを乗じて求めら
れるモーメントの値とがほぼ同じになるようにするよう
にし、これに基づいてバランサ81の重心位置Gsの偏
心量と重量とが設定されている。
As a method for setting the position of the center of gravity and the weight of the balancer 81, in the present embodiment, first, the center of gravity G of the balancer 81 is set.
b is located on the side opposite to the position of the center of gravity Gs of the polishing mechanism 39 with respect to the line Q passing through the axis P of the rotary drive shaft 30. Furthermore, the value of the moment obtained by multiplying the eccentric amount of the center of gravity position Gs of the polishing mechanism 39 and the weight is substantially the same as the value of the moment obtained by multiplying the eccentric amount of the center of gravity position Gb of the balancer 81 and the weight. Therefore, the eccentricity amount and the weight of the center of gravity position Gs of the balancer 81 are set based on this.

【0038】研磨機構39側とバランサ81側のモーメ
ントの関係式は後述のようになる。研磨機構39の回転
駆動軸30に対して偏心回転するものすべてを含んだ重
量をWsとし、その重心位置Gsの回転駆動軸30の軸
心Pからの偏心量をEsとする。一方、バランサ81の
重量はWbとし、その重心位置Gbの偏心量をEbとす
る(図5を参照)。但し、本実施形態では、上記のよう
にバランサ81が回転駆動軸30と同じ素材即ち同じ比
重であることから、バランサ81側のモーメントに関し
ては嵌通孔82内に存在する回転駆動軸30を含んだ円
柱形をなすものとして計算する。また、キー85及びボ
ルト87については回転駆動軸30及びバランサ81と
同じ素材であるものとしてバランサ81に含めることに
する。さらに、キー溝83内の空間と雌ねじ孔86内の
空間については、いずれも容積が無視し得る程度に小さ
いことから、計算上は考慮しない。
The relational expression of the moment between the polishing mechanism 39 side and the balancer 81 side will be described later. The weight including all of the polishing mechanism 39 that is eccentrically rotated with respect to the rotation drive shaft 30 is Ws, and the eccentric amount from the axis P of the rotation drive shaft 30 at the center of gravity position Gs is Es. On the other hand, the weight of the balancer 81 is Wb, and the eccentric amount at the center of gravity position Gb is Eb (see FIG. 5). However, in the present embodiment, since the balancer 81 is made of the same material as the rotary drive shaft 30 as described above, that is, has the same specific gravity, the moment on the balancer 81 side includes the rotary drive shaft 30 existing in the fitting hole 82. Calculated as having an elliptic shape. The key 85 and the bolt 87 are included in the balancer 81 as the same material as the rotary drive shaft 30 and the balancer 81. Further, the space in the key groove 83 and the space in the female screw hole 86 are not considered in the calculation because their volumes are so small that they can be ignored.

【0039】上記の条件により、研磨機構39側のモー
メントMsとバランサ81のモーメントMbは、夫々、 Ms=Ws×Es・・・・・・・(1) Mb=Wb×Eb・・・・・・・(2) となる。ここで、研磨機構39は2つのバランサ81,
81で分担されるため、この双方のモーメントの関係式
は、 Mb=Ms/2・・・・・・・・(3) となる。また、バランサ81の上下端面の面積Sとし、
高さをhとし、素材の比重をdとすると、バランサ81
の重量Wbは、 Wb=S×h×d・・・・・・・(4) となる。したがって、上式(2),(3),(4)によ
り、 S×h×Eb=Ms/2d・・・(5) となる。この式(5)において右項の値Ms/2dは予
め決められているから、バランサ81の面積Sと高さh
と重心位置の偏心量Ebは、同式(5)に基づいて任意
に設定することができる。
Under the above conditions, the moment Ms on the polishing mechanism 39 side and the moment Mb on the balancer 81 are Ms = Ws × Es (1) Mb = Wb × Eb.・ ・ (2) Here, the polishing mechanism 39 has two balancers 81,
Since it is shared by 81, the relational expression of both moments is Mb = Ms / 2 ... (3). Further, the area S of the upper and lower end surfaces of the balancer 81 is
If the height is h and the specific gravity of the material is d, the balancer 81
The weight Wb of Wb = S × h × d (4) Therefore, from the above equations (2), (3), and (4), S × h × Eb = Ms / 2d (5) In this equation (5), the value Ms / 2d of the right term is predetermined, so the area S and height h of the balancer 81 are
And the eccentric amount Eb of the center of gravity position can be arbitrarily set based on the equation (5).

【0040】上述のようにして重心位置の偏心量Ebと
重量Wbとを定めて設けた2つのバランサ81,81は
研磨機構39と一体となって偏心回転する。そして、こ
のバランサ81の偏心回転により、研磨機構39の偏心
回転によって生じる遠心力とほぼ同じ大きさの遠心力が
回転駆動軸30の軸心Pに関して正反対の方向に生じ
る。これにより、双方の遠心力が相殺され、回転駆動軸
30に横ブレを生じさせるような力が作用することが防
止される。したがって、バランサ81を設けない場合に
発生していた装置の振動や異音は、本実施形態では生じ
る虞がない。
The two balancers 81, 81 provided with the eccentric amount Eb and the weight Wb at the center of gravity as described above are eccentrically rotated together with the polishing mechanism 39. Due to the eccentric rotation of the balancer 81, a centrifugal force having substantially the same magnitude as the centrifugal force generated by the eccentric rotation of the polishing mechanism 39 is generated in the opposite direction with respect to the axis P of the rotary drive shaft 30. As a result, both centrifugal forces are canceled out, and a force that causes lateral shake on the rotary drive shaft 30 is prevented from acting. Therefore, there is no possibility that the vibration or the abnormal noise of the device that occurs when the balancer 81 is not provided is generated in this embodiment.

【0041】上記実施形態では、バランサ81の比重を
回転駆動軸30と同じにしたため、モーメントの計算に
際してはバランサ81が回転駆動軸30の部分も含んだ
円柱体をなすものと想定した。これにより、バランサ8
1の円の中心Gbがそのまま重心位置となると共に、重
量の算出において回転駆動軸30の分を差し引くという
手間が省かれることになり、その結果、重心位置Gbの
偏心量Ebと重量Wbとを設定する際の計算式が単純化
されている。
In the above embodiment, since the specific gravity of the balancer 81 is the same as that of the rotary drive shaft 30, it is assumed that the balancer 81 forms a cylindrical body including the rotary drive shaft 30 when calculating the moment. As a result, the balancer 8
The center Gb of the circle 1 becomes the center of gravity position as it is, and the labor of subtracting the portion of the rotary drive shaft 30 in the calculation of the weight is omitted, and as a result, the eccentric amount Eb and the weight Wb of the center of gravity position Gb are calculated. The formula for setting is simplified.

【0042】尚、バランサ81を回転駆動軸30とは比
重の異なる素材のものとする場合には、回転駆動軸30
の部分を除いたバランサ81のみの重心位置と重量とを
算出する必要があるために計算が若干複雑になるが、そ
のバランサ81のみの重心位置の偏心量と重量とを乗じ
たモーメントの値が研磨機構39のモーメントの値と同
じになるように設定するという点については本実施形態
と同じである。
When the balancer 81 is made of a material having a specific gravity different from that of the rotary drive shaft 30, the rotary drive shaft 30 is used.
The calculation becomes a little complicated because it is necessary to calculate the center of gravity position and weight of only the balancer 81 excluding the part of. However, the moment value obtained by multiplying the eccentric amount of the center of gravity position of only the balancer 81 by the weight is It is the same as the present embodiment in that it is set to be the same as the value of the moment of the polishing mechanism 39.

【0043】<他の実施形態>本発明は上記記述及び図
面によって説明した実施形態に限定されるものではな
く、例えば次のような実施態様も本発明の技術的範囲に
含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内
で種々変更して実施することができる。
<Other Embodiments> The present invention is not limited to the embodiments described above and illustrated in the drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention. In addition to the above, various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

【0044】(1)上記実施形態では、研磨機構39が
姿勢を変えずに平行移動する場合について説明したが、
本発明は、研磨機構39が偏心軸40を中心として自転
する場合にも適用することができる。
(1) In the above embodiment, the case where the polishing mechanism 39 moves in parallel without changing its posture has been described.
The present invention can also be applied to the case where the polishing mechanism 39 rotates about the eccentric shaft 40.

【0045】(2)上記実施形態では、ワークWの搬送
経路を横切るように往復移動する可動ベース12を設け
た場合について説明したが、本発明によれば、このよう
な可動ベース12を設けずに回転駆動軸をコンベアに対
して一定の位置に支持する構成としてもよい。
(2) In the above embodiment, the case where the movable base 12 that reciprocates so as to traverse the conveyance path of the work W is provided has been described, but according to the present invention, such a movable base 12 is not provided. Alternatively, the rotary drive shaft may be supported at a fixed position with respect to the conveyor.

【0046】(3)上記実施形態では、バランサ81の
形状が全体として円柱形をなす場合について説明した
が、本発明によれば、バランサの形状は円柱形以外の他
の形状とすることもできる。
(3) In the above embodiment, the balancer 81 has a cylindrical shape as a whole, but according to the present invention, the balancer may have a shape other than the cylindrical shape. .

【0047】(4)上記実施形態では、研磨パッド42
が2本の回転駆動軸30,30によって支持されている
場合について説明したが、本発明は、研磨パッドが1本
の回転駆動軸によって支持されている場合や3本以上の
回転駆動軸に支持されている場合にも適用することがで
きる。
(4) In the above embodiment, the polishing pad 42
Has been described as being supported by two rotary drive shafts 30, 30, the present invention is not limited to the case where the polishing pad is supported by one rotary drive shaft or is supported by three or more rotary drive shafts. It can be applied even if it is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態の全体外観正面図FIG. 1 is an overall external front view of an embodiment of the present invention.

【図2】研磨機構の平面図FIG. 2 is a plan view of a polishing mechanism.

【図3】研磨機構の右側面図FIG. 3 is a right side view of the polishing mechanism.

【図4】図3のA−A断面図4 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図5】研磨機構とバランサの位置関係をあらわす平面
概略図
FIG. 5 is a schematic plan view showing the positional relationship between the polishing mechanism and the balancer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…コンベア 12…可動ベース 30…回転駆動軸 39…研磨機構 40…偏心軸 42…研磨パッド 81…バランサ 2 ... Conveyor 12 ... Movable base 30 ... Rotational drive shaft 39 ... Polishing mechanism 40 ... Eccentric shaft 42 ... Polishing pad 81 ... Balancer

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ワークを搬送するコンベアと、回転駆動
軸と一体回転する偏心軸に研磨パッドを取り付けてなる
研磨機構とを備え、搬送される前記ワークに対して前記
研磨パッドが偏心回転することにより研磨するものにお
いて、 前記回転駆動軸に、その軸心に関して前記研磨機構の重
心位置と反対側に偏心した位置に重心を配したバランサ
を一体回転可能に設けたことを特徴とする研磨装置。
1. A conveyor for conveying a work, and a polishing mechanism having a polishing pad attached to an eccentric shaft that rotates integrally with a rotary drive shaft, wherein the polishing pad eccentrically rotates with respect to the conveyed work. The polishing apparatus according to claim 1, wherein the rotary drive shaft is integrally rotatable with a balancer having a center of gravity at a position eccentric to a side opposite to the center of gravity of the polishing mechanism with respect to the axis of the rotary drive shaft.
【請求項2】 バランサの重量と重心位置の偏心量は、
その重量と偏心量とを乗じたモーメントの値が研磨機構
の重量と重心位置の偏心量とを乗じたモーメントの値に
ほぼ等しくなるように設定されることを特徴とする請求
項1記載の研磨装置。
2. The weight of the balancer and the eccentric amount of the center of gravity are
2. The polishing according to claim 1, wherein the value of the moment obtained by multiplying the weight by the amount of eccentricity is set to be substantially equal to the value of the moment obtained by multiplying the weight of the polishing mechanism by the amount of eccentricity at the center of gravity position. apparatus.
【請求項3】 回転駆動軸は、ワークの搬送経路を横切
る方向への往復移動可能に設けた可動ベースに支持され
ていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の研
磨装置。
3. The polishing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the rotary drive shaft is supported by a movable base provided so as to be capable of reciprocating in a direction traversing a work transfer path.
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