JPH09286100A - Ink jet printing head - Google Patents

Ink jet printing head

Info

Publication number
JPH09286100A
JPH09286100A JP10013496A JP10013496A JPH09286100A JP H09286100 A JPH09286100 A JP H09286100A JP 10013496 A JP10013496 A JP 10013496A JP 10013496 A JP10013496 A JP 10013496A JP H09286100 A JPH09286100 A JP H09286100A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle holes
pressure chambers
ink supply
substrate
head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10013496A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshio Amano
敏男 天野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP10013496A priority Critical patent/JPH09286100A/en
Publication of JPH09286100A publication Critical patent/JPH09286100A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419Manifold
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491Electrical connection

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To more miniaturize a head substrate to reduce the production cost thereof and to avoid the generation of crack inferiority in a vibration plate to the utmost. SOLUTION: In an ink jet printing head equipped with a head substrate 25 having a passage substrate 32 having a plurality of nozzle orifices 34 formed thereto on the surface side thereof and having a plurality of pressure chambers 29 communicating with the nozzle orifices and the ink supply passages 31Y, 31M, 31C communicating with the pressure chambers formed thereto in a depressed state and the vibration plate bonded to the rear surface of the passage substrate 25, the nozzle orifices 34 are linearly arranged in one row or two rows. The pressure chambers 29 are formed on both sides of the row of the nozzle orifices 34 so as to extend parallelly toward the outside of the head substrate 25 at a definite angle with respect to the row of the nozzle orifices and the ink supply passages 31Y, 31M, 31C are formed so as to communicate with the outward ends of a plurality of the adjacent pressure chambers 29 on both sides of the row of the nozzle orifices 34.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本願発明は、ノズル列からイ
ンク滴を記録紙に向けて吐出させて印字を行うインクジ
ェットプリントヘッドに関し、とくに、カイザー型の圧
電式プリントヘッドに分類されるものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet print head which prints by ejecting ink droplets from a nozzle array toward a recording paper, and more particularly to an ink jet print head classified as a Kaiser type piezoelectric print head.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のこの種のインクジェットプリント
ヘッドの構造例を図10および図11に示す。図10
は、上記ヘッド基板1の平面視形態を示している。この
ヘッド基板1の中央部には、複数のノズル孔2が2列斜
状に配置されており、このノズル孔配置領域の周囲領域
には、各ノズル孔に連通する複数の圧力室3が放射状に
延びるようにして配置されている。各圧力室3の外方端
は、狭窄通路4を介してインク供給路5につながってい
る。このインク供給路5は、全体として、上記放射状に
配置された複数の圧力室3の周囲を環状に取り巻いてい
るが、カラー用のヘッドを構成する場合には、図10に
表れているように、Y(イエロー)、M(マゼンタ)、
C(シアン)、あるいはこれに加えてB(ブラック)用
に分断されている。各インク供給路5は、ヘッド基板の
適部に形成されたインク供給口6を介して、ヘッドフレ
ームに保持されたインクタンク(図示略)に連通させら
れる。
2. Description of the Related Art An example of the structure of a conventional ink jet print head of this type is shown in FIGS. FIG.
Shows a plan view of the head substrate 1. A plurality of nozzle holes 2 are obliquely arranged in two rows in the center of the head substrate 1, and a plurality of pressure chambers 3 communicating with the nozzle holes are radially arranged in the peripheral area of the nozzle hole arrangement area. It is arranged so as to extend. The outer end of each pressure chamber 3 is connected to the ink supply passage 5 through the narrow passage 4. The ink supply passage 5 surrounds the plurality of radially arranged pressure chambers 3 in an annular shape as a whole, but when a color head is constructed, as shown in FIG. , Y (yellow), M (magenta),
It is divided for C (cyan) or B (black) in addition to this. Each ink supply path 5 is connected to an ink tank (not shown) held by the head frame via an ink supply port 6 formed in an appropriate portion of the head substrate.

【0003】図11は、図10に示されるヘッド基板1
の断面構造を示している。上記ヘッド基板1は、感光性
板ガラスからなる流路基板7の裏面側に、薄板ガラスか
らなる振動板8を貼着して構成されている。前述した圧
力室3ないしこれにつながるインク供給路5は、上記流
路基板7の裏面側にエッチングを施すことによって凹陥
状に形成されている。ノズル孔2は、上記圧力室3を構
成する凹陥部の適部から流路基板7の表面側に貫通する
ようにして形成されている。上記振動板8の裏面側に
は、各圧力室3と対応させるようにして、圧電素子9が
設けられている。各圧電素子9への給電は、振動板8の
裏面側に形成されたITO膜をグランドとし、フレキシ
ブル基板10に形成した個別電極を各圧電素子9の表面
電極に接触させることにより行われる。
FIG. 11 shows the head substrate 1 shown in FIG.
2 shows the cross-sectional structure of the device. The head substrate 1 is configured by adhering a vibrating plate 8 made of thin plate glass to the back surface side of a flow path substrate 7 made of photosensitive plate glass. The pressure chamber 3 or the ink supply path 5 connected to the pressure chamber 3 is formed in a concave shape by etching the back surface side of the flow path substrate 7. The nozzle hole 2 is formed so as to penetrate from an appropriate portion of the concave portion forming the pressure chamber 3 to the front surface side of the flow path substrate 7. A piezoelectric element 9 is provided on the back surface side of the vibration plate 8 so as to correspond to each pressure chamber 3. The power supply to each piezoelectric element 9 is performed by using the ITO film formed on the back surface side of the diaphragm 8 as a ground and bringing the individual electrodes formed on the flexible substrate 10 into contact with the surface electrodes of each piezoelectric element 9.

【0004】選択した圧力室3に対応する圧電素子9に
電圧を印加すると、この圧電素子9の変形にともなって
上記振動板8が凹に撓み、これによる圧力室3の容積減
少に相当する量のインク滴がノズル孔2から外部に吐出
させられる。圧電素子9および振動板8が復元すると、
インク供給路5から狭窄通路4を介して圧力室3へイン
クが補給され、次回の印字動作に備えられる。
When a voltage is applied to the piezoelectric element 9 corresponding to the selected pressure chamber 3, the vibrating plate 8 is bent in a concave manner due to the deformation of the piezoelectric element 9, and an amount corresponding to a reduction in the volume of the pressure chamber 3 due to the deformation. Ink droplets are ejected from the nozzle hole 2 to the outside. When the piezoelectric element 9 and the diaphragm 8 are restored,
Ink is replenished from the ink supply path 5 to the pressure chamber 3 through the narrowed path 4 to prepare for the next printing operation.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のインクジェット
プリントヘッドにおいては、上述のように、各圧力室3
が放射状に形成されているとともに、インク供給路5が
上記放射状に配置された圧力室3を取り囲むように環状
に配置されていることから、ヘッド基板1の平面部が比
較的大きい。そのため、流路基板7に貼着される薄板状
振動板8にクラックが入る等の不具合が発生しやすい。
すなわち、感光性板ガラスからなる流路基板7と、通常
のガラスからなる薄板の振動板8とでは、熱膨張係数が
相違し、これらが接着等によって一体化されてヘッド基
板1が構成されているが、平面部が比較的大きい上記構
成のインクジェットプリントヘッドにおいては、振動板
8に熱応力によるクラックが入る不具合が発生しやす
い。また、とくに流路基板7は、感光性板ガラスを用い
たエッチング工程を経て製造されるが、従来のインクジ
ェットプリントヘッドでは、そのヘッド基板が比較的大
きな面積を有していることから、1個のヘッド基板1の
材料コストおよび加工コストが比較的高くつく。
In the above ink jet print head, as described above, each pressure chamber 3
Are formed radially and the ink supply passages 5 are annularly arranged so as to surround the radially arranged pressure chambers 3, the head substrate 1 has a relatively large flat portion. Therefore, problems such as cracks are likely to occur in the thin diaphragm 8 attached to the flow path substrate 7.
That is, the flow path substrate 7 made of photosensitive plate glass and the thin diaphragm 8 made of ordinary glass have different coefficients of thermal expansion, and these are integrated by bonding or the like to form the head substrate 1. However, in the inkjet print head having the above-described configuration having a relatively large flat portion, the diaphragm 8 is apt to suffer from cracks due to thermal stress. Further, the flow path substrate 7 is manufactured through an etching process using a photosensitive plate glass. However, in the conventional inkjet print head, the head substrate has a relatively large area, and therefore, one The material cost and processing cost of the head substrate 1 are relatively high.

【0006】本願発明は、このような事情のもとで考え
だされたものであって、ヘッド基板をより小型化するこ
とができて、その製造コストを低減することができると
ともに、あわせて、振動板のクラック不良の発生を極力
回避することができるインクジェットプリントヘッドを
提供することをその課題としている。
The present invention was devised under such circumstances, and the head substrate can be further downsized, the manufacturing cost thereof can be reduced, and at the same time, It is an object of the present invention to provide an inkjet print head that can avoid the occurrence of crack defects in the diaphragm as much as possible.

【0007】[0007]

【発明の開示】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
DISCLOSURE OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention employs the following technical means.

【0008】本願発明によれば、表面側に複数のノズル
孔が開口しているとともに、裏面側に上記各ノズル孔に
それぞれ連通する複数の圧力室ないし各圧力室に連通す
るインク供給路が凹陥状に形成された流路基板と、この
流路基板の裏面側に貼着される振動板とをもつヘッド基
板を備えるインクジェットプリントヘッドであって、上
記ノズル孔は、直線状に1列または2列に配列されてお
り、上記各圧力室は、上記ノズル孔の列の両側におい
て、このノズル孔の列に対して一定角度をもってヘッド
基板の外方に向けて互いに平行に延びるように形成され
ており、上記インク供給路は、上記ノズル孔の列の各側
において、隣接する複数の圧力室の外方端に共通的に連
通するように形成されていることに特徴づけられるイン
クジェットプリントヘッドが提供される。
According to the present invention, a plurality of nozzle holes are opened on the front surface side, and a plurality of pressure chambers respectively communicating with the respective nozzle holes or ink supply paths communicating with the respective pressure chambers are recessed on the rear surface side. An ink jet print head comprising: a head substrate having a flow path substrate formed in a striped shape, and a vibrating plate attached to the back surface side of the flow path substrate, wherein the nozzle holes are linearly arranged in one row or two. The pressure chambers are arranged in rows and are formed on both sides of the row of nozzle holes so as to extend parallel to each other toward the outside of the head substrate at a constant angle with respect to the row of nozzle holes. And an ink jet print characterized in that the ink supply path is formed so as to be commonly communicated with the outer ends of a plurality of adjacent pressure chambers on each side of the row of nozzle holes. Head is provided.

【0009】本願発明のインクジェットプリントヘッド
においては、そのヘッド基板に形成される複数の圧力室
は、従来のようにノズル孔形成領域から放射状に延びる
ように形成されるのではなく、直線状のノズル列の両側
において、ノズルの列に対して一定角度をもってヘッド
基板の外方に向けて延びるように形成されている。した
がって、圧力室の形成領域は、原則的にノズル孔の列の
長さ範囲に限定され、圧力室の長さを適正長さに設定す
れば、従来と同一数で同一配置のノズル孔を有するヘッ
ド基板を構成するに際しても、ヘッド基板の面積は、従
来のヘッド基板に比較して、著しく小さなものとするこ
とができる。その結果、感光性板ガラスにエッチング加
工を施して凹陥状の圧力室、インク供給路等を形成する
が故に製造コストが高いヘッド基板を、一定の材料から
より多く製造することができるようになり、その結果と
して、ヘッド基板の製造コストが低減される。また、ヘ
ッド基板の平面形状を従来に比較して著しく小型化する
ことができるので、熱応力によって振動板にクラックが
生じる等の不具合の発生を効果的に回避することも可能
となり、インクジェットプリントヘッドの心臓部ともい
えるヘッド基板の強度、寿命および性能が安定する。
In the ink jet print head of the present invention, the plurality of pressure chambers formed on the head substrate are not formed so as to extend radially from the nozzle hole forming region as in the conventional case, but are linear nozzles. It is formed so as to extend toward the outside of the head substrate on both sides of the row at a constant angle with respect to the row of nozzles. Therefore, the formation area of the pressure chambers is basically limited to the length range of the row of nozzle holes, and if the length of the pressure chambers is set to an appropriate length, the same number of nozzle holes and the same arrangement as in the conventional case are provided. Also when forming the head substrate, the area of the head substrate can be made significantly smaller than that of the conventional head substrate. As a result, since the photosensitive plate glass is subjected to the etching process to form the concave pressure chambers, the ink supply paths, etc., the head substrate, which has a high manufacturing cost, can be manufactured more from a certain material. As a result, the manufacturing cost of the head substrate is reduced. Further, since the planar shape of the head substrate can be remarkably miniaturized as compared with the conventional one, it becomes possible to effectively avoid the occurrence of defects such as cracks in the vibration plate due to thermal stress. The strength, life and performance of the head substrate, which can be said to be the heart of the product, are stabilized.

【0010】本願発明によればまた、表面側に複数のノ
ズル孔が開口しているとともに、裏面側に上記各ノズル
孔にそれぞれ連通する複数の圧力室ないし各圧力室に連
通するインク供給路が凹陥状に形成された流路基板と、
この流路基板の裏面側に貼着される振動板とをもつヘッ
ド基板を備えるインクジェットプリントヘッドであっ
て、上記ノズル孔は、直線状に2列千鳥状に配列されて
おり、上記ノズル孔の各列に対応する圧力室は、上記ノ
ズル孔の列に対して外方に向けて直角をなしつつ互いに
平行に延びるように形成されており、上記複数のノズル
孔および上記圧力室は、ノズル孔の配列方向について複
数にグループ分けされており、上記インク供給路は、上
記ノズル孔の列の各側において、同一グループの圧力室
の外方端に共通的に連通するように形成されていること
に特徴づけられるインクジェットプリントヘッドが提供
される。
According to the present invention, a plurality of nozzle holes are opened on the front surface side, and a plurality of pressure chambers communicating with the nozzle holes or ink supply paths communicating with the pressure chambers are formed on the back surface side. A flow path substrate formed in a concave shape,
An ink jet print head comprising a head substrate having a vibrating plate attached to the back surface side of the flow path substrate, wherein the nozzle holes are linearly arranged in two rows in a staggered pattern. The pressure chambers corresponding to the respective rows are formed so as to extend outwardly at right angles to the rows of the nozzle holes and extend parallel to each other, and the plurality of nozzle holes and the pressure chambers are the nozzle holes. The ink supply passages are formed so as to be commonly communicated with the outer ends of the pressure chambers of the same group on each side of the row of nozzle holes. An inkjet printhead characterized by:

【0011】好ましい実施形態においては、上記複数の
グループは、Y、M、Cに対応するグループであり、各
グループにつき、上記ヘッド基板における上記ノズル孔
の列の両側に2箇所のインク供給路が形成されている。
In a preferred embodiment, the plurality of groups are groups corresponding to Y, M, and C, and each group has two ink supply paths on both sides of the row of nozzle holes on the head substrate. Has been formed.

【0012】上記構成によれば、同一グループに分類さ
れるノズル孔からノズル孔の列の両側に複数の圧力室が
延び、しかも、ノズル孔の列の両側において、各圧力室
の外方端に共通的に連通させられるインク供給路が各2
箇所形成されることになる。したがって、インク供給路
が環状に引き回されていた従来に比較し、各インク供給
路は、短く、かつ細幅で足りることになる。そのため、
インク供給路の形成領域もまたそれだけ節約することが
できるので、ヘッド基板の平面的な形状は、より小型化
が可能となる。そして、インク供給路を細幅化すること
が可能となることから、熱応力によって振動板にクラッ
クが発生するといった不具合もまた、より効果的に回避
することができるようになる。
According to the above structure, the plurality of pressure chambers extend from the nozzle holes classified into the same group to both sides of the row of nozzle holes, and further, to the outer end of each pressure chamber on both sides of the row of nozzle holes. Two ink supply paths that are commonly communicated
It will be formed in some places. Therefore, each ink supply path is short and narrow in width as compared with the conventional one in which the ink supply path is laid out in an annular shape. for that reason,
Since the formation area of the ink supply path can be saved accordingly, the planar shape of the head substrate can be further downsized. Further, since it becomes possible to narrow the ink supply path, it is possible to more effectively avoid the problem that cracks are generated in the diaphragm due to thermal stress.

【0013】好ましい実施形態においては、上記ヘッド
基板の裏面側には、流路プレートが配置されており、こ
の流路プレートは、裏面側のY、M、C用の各1つのイ
ンク供給口から供給されるインクを上記ヘッド基板の各
2箇所のインク供給路に分配するように構成される。
In a preferred embodiment, a flow path plate is disposed on the back surface side of the head substrate, and the flow path plate is provided from each of the Y, M, and C ink supply ports on the back surface side. It is configured to distribute the supplied ink to each of the two ink supply paths of the head substrate.

【0014】このように構成すれば、メインフレームに
装着するべきインクタンクとして、Y、M、C各色のイ
ンクを貯蔵するものを使用する場合において、各色のイ
ンクのタンクからの吐出口が各1箇所であっても、問題
なく各色のインクを上記ヘッド基板における各2箇所の
インク供給路に供給することができる。しかも、上記流
路プレートは、ヘッド基板の裏面側に積層配置されるの
で、この流路プレートがヘッド基板ないしこれを取付け
るためのヘッドフレーム等を大型化することはなく、イ
ンクジェットプリントヘッドの小型化を阻害することは
ない。
According to this structure, when an ink tank for storing Y, M, and C colors is used as the ink tank to be mounted on the main frame, each of the ink tanks of the respective colors has one ejection port. Even at the location, the ink of each color can be supplied to the ink supply paths at two locations on the head substrate without any problem. Moreover, since the flow path plate is laminated on the back surface side of the head substrate, the flow path plate does not increase the size of the head substrate or the head frame for mounting the flow path plate, and the inkjet print head is downsized. Does not interfere with.

【0015】本願発明のその他の特徴および利点は、図
面を参照して以下に行う詳細な説明から、より明らかと
なろう。
Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the drawings.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本願発明に係るインクジェ
ットプリントヘッド20の好ましい実施形態を、図面を
参照しつつ具体的に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of an ink jet print head 20 according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【0017】このインクジェットプリントヘッド20
は、カイザー型の圧電式プリントヘッドに分類されるも
のであって、図1および図2に示されるように、ボック
ス状のメインフレーム21と、このメインフレーム21
の前面部に取付けられた2個のヘッドフレーム22,2
3とを備える。メインフレーム21のボックス状部の内
部には、インクカートリッジ23(図5)が装着され
る。本実施形態においてメインフレーム21の前面部に
左右2個設けられているヘッドフレーム22の一方はカ
ラープリント用であり、他方はモノクロプリント用であ
る。
This ink jet print head 20
Is classified into a Kaiser type piezoelectric print head, and as shown in FIGS. 1 and 2, a box-shaped main frame 21 and this main frame 21.
Head frames 22, 2 mounted on the front of the vehicle
3 is provided. An ink cartridge 23 (FIG. 5) is mounted inside the box-shaped portion of the main frame 21. In the present embodiment, one of the two head frames 22 provided on the front surface of the main frame 21 on the left and right is for color printing, and the other is for monochrome printing.

【0018】ヘッドフレーム22は、前面に斜めに傾斜
した矩形の段付き開口窓24を有するボックス状をして
おり、上記段付き開口窓24にはヘッド基板25が、ヘ
ッドフレーム22の内部には、上記インクカートリッジ
23からのインクをヘッド基板25に供給するためのイ
ンク供給プレート26,27が、上記ヘッド基板25と
上記インク供給プレート26,27との間には、ヘッド
基板25に給電するためのフレキシブル基板28が、そ
れぞれ装着される。以下、これらを詳細に説明する。
The head frame 22 is in the form of a box having a rectangular stepped opening window 24 that is inclined at the front, and a head substrate 25 is provided in the stepped opening window 24, and a head substrate 22 is provided inside the head frame 22. The ink supply plates 26 and 27 for supplying the ink from the ink cartridge 23 to the head substrate 25 supply power to the head substrate 25 between the head substrate 25 and the ink supply plates 26 and 27. The flexible boards 28 are attached respectively. Hereinafter, these will be described in detail.

【0019】図4ないし図8には、上記ヘッド基板25
の構成が表れている。このヘッド基板25は、感光性板
ガラスの裏面側にエッチング加工によって複数の圧力室
29ないし各圧力室29に連通するインク供給路3
Y ,31M ,31C が凹陥状に形成されるとともに、
上記各圧力室29の適部から表面側に貫通するノズル孔
が形成された流路基板32と、この流路基板32の裏面
側に貼着された薄板ガラス製の振動板33とを備えて構
成されている。
4 to 8 show the head substrate 25.
The composition of is shown. The head substrate 25 has a plurality of pressure chambers 29 or an ink supply path 3 communicating with each pressure chamber 29 by etching on the back surface side of the photosensitive plate glass.
1 Y , 31 M , 31 C are formed in a concave shape,
A flow path substrate 32 having nozzle holes penetrating from the appropriate portions of the pressure chambers 29 to the front surface side is provided, and a thin glass vibrating plate 33 attached to the back surface side of the flow path substrate 32. It is configured.

【0020】図4に表れているように、上記ヘッド基板
25は、上記ヘッドフレーム22の段付き開口窓24に
収容されうるように矩形状の平面形態を有しており、そ
の長手方向中心線にほぼ沿うようにして、複数の上記の
ノズル孔34が2列千鳥状に配列されている。ただし、
上記ヘッドフレーム22は、上述したように、メインフ
レーム21の走査方向(図に矢印Aで示す)に対して傾
斜しているため、上記ヘッド基板25の上記ノズル孔3
4の列は、メインフレーム21の走査方向Aに対して所
定角度で傾斜することになる。
As shown in FIG. 4, the head substrate 25 has a rectangular planar shape so that it can be accommodated in the stepped opening window 24 of the head frame 22, and its longitudinal center line. The plurality of nozzle holes 34 are arranged in a zigzag pattern in two rows so as to be substantially aligned with. However,
As described above, since the head frame 22 is inclined with respect to the scanning direction of the main frame 21 (indicated by the arrow A in the drawing), the nozzle hole 3 of the head substrate 25 is formed.
The rows 4 are inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction A of the main frame 21.

【0021】上記各圧力室29は、図5および図7に表
れているように、ヘッド基板25の正面視において、上
記ノズル孔34の列に対して直交する方向に、各ノズル
孔34からヘッド基板25の外方に向けて延出させられ
ている。各圧力室29の外方端は、狭窄通路30を介し
て、インク供給路31Y ,31M ,31C に連通させら
れている。なお、前述したように、各圧力室29ないし
インク供給路31Y ,31M ,31C は、流路基板32
の裏面側に凹陥状に形成されたものであり、これらの凹
陥部の開口が上記振動板33によって塞がれた恰好とな
っていることは、前述したとおりである。
As shown in FIG. 5 and FIG. 7, each pressure chamber 29 extends from each nozzle hole 34 in a direction orthogonal to the row of the nozzle holes 34 in the front view of the head substrate 25. It extends toward the outside of the substrate 25. The outer end of each pressure chamber 29 is connected to the ink supply passages 31 Y , 31 M , and 31 C via a narrow passage 30. As described above, the pressure chambers 29 or the ink supply passages 31 Y , 31 M , and 31 C are connected to the flow path substrate 32.
As described above, the openings are formed in the concave shape on the back surface side of the above, and the openings of these concave portions are closed by the diaphragm 33.

【0022】図に示す形態のインクジェットプリントヘ
ッド20は、カラープリント用であり、上記ノズル孔3
4およびこれに対応する圧力室29は、カラープリント
のための3原色であるY(イエロー)、M(マゼン
タ)、およびC(シアン)に対応して3つにグループ分
けされている。すなわち、ヘッド基板25の長手方向
に、端から、Y用、M用およびC用にグループ分けされ
ている。そして、上記ノズル孔34の列の両側におい
て、同一グループに属する圧力室が、上記インク供給路
31Y ,31M ,31C に共通に連通させられている。
したがって、図に示す実施形態の場合、上記インク供給
路31Y ,31M ,31C は、ヘッド基板の幅方向両側
にそれぞれ3箇所ずつ、合計6箇所形成されており、そ
して、Y、M、C各色につき、それぞれ、ヘッド基板2
5の幅方向両側に2箇所ずつのインク供給路が形成され
ていることになる。
The ink jet print head 20 shown in the figure is for color printing, and has the nozzle holes 3
4 and corresponding pressure chambers 29 are grouped into three groups corresponding to three primary colors Y (yellow), M (magenta), and C (cyan) for color printing. That is, the head substrate 25 is divided into groups for Y, M, and C in the longitudinal direction from the end. Then, on both sides of the row of the nozzle holes 34, the pressure chambers belonging to the same group are commonly communicated with the ink supply passages 31 Y , 31 M and 31 C.
Therefore, in the case of the embodiment shown in the drawing, the ink supply passages 31 Y , 31 M , and 31 C are formed in three places on each side of the head substrate in the width direction, and six places in total, and Y, M, and C head substrate 2 for each color
Two ink supply passages are formed on both sides of the width direction 5 of the ink.

【0023】上記各インク供給路31Y ,31M ,31
C は、担当するグループに属する所定数の圧力室29に
不都合なくインクを供給するに必要充分な幅をもったも
のとしてあり、かつ、その適所には、ヘッド基板の幅方
向外方に延出する延出部35が形成されている。そし
て、振動板33における上記延出部35を覆う部位に
は、図6および図8に表れているように、インク供給口
36が開口させられている。
Each of the ink supply paths 31 Y , 31 M , 31
C has a width sufficient and sufficient for supplying ink to a predetermined number of pressure chambers 29 belonging to the group in charge without any inconvenience, and at a suitable position thereof, extends outward in the width direction of the head substrate. The extending portion 35 is formed. An ink supply port 36 is opened in a portion of the vibration plate 33 that covers the extending portion 35, as shown in FIGS. 6 and 8.

【0024】ヘッド基板25の裏面、すなわち、振動板
33の裏面側には、ITO膜からなるグランド電極被膜
(図示略)が形成され、かつ、このグランド電極被膜上
には、各圧力室29と対応させるようにして、圧電素子
37が取付けられている。
A ground electrode film (not shown) made of an ITO film is formed on the back surface of the head substrate 25, that is, the back surface of the vibration plate 33, and the pressure chambers 29 and the pressure chambers 29 are formed on the ground electrode film. The piezoelectric element 37 is attached in a corresponding manner.

【0025】また、上記ヘッド基板25の表面には、図
8に示すように、通常、流路基板32にエッチングによ
って開口させた各ノズル孔34と対応するようにして、
正確な位置および径を有するインク吐出孔38を精密加
工によって形成した金属製ノズルプレート39が貼着さ
れる。
Further, on the surface of the head substrate 25, as shown in FIG. 8, in general, the head substrate 25 is made to correspond to the nozzle holes 34 formed by etching in the flow path substrate 32.
A metal nozzle plate 39 having an ink ejection hole 38 having an accurate position and diameter formed by precision processing is attached.

【0026】さらに、上記ヘッドフレーム22の段付き
開口窓24の内向フランジ部52には、ヘッド基板25
の振動板33に形成した6箇所のインク供給口36と対
応するインク通孔53が貫通状に形成されている。
Further, the head substrate 25 is provided on the inward flange portion 52 of the stepped opening window 24 of the head frame 22.
Ink through holes 53 corresponding to the six ink supply ports 36 formed in the vibration plate 33 are formed in a penetrating manner.

【0027】ヘッドフレーム22の内部において、上記
ヘッド基板25の裏面側に配置されるインク供給プレー
ト26,27は、図3、図4および図6に表れているよ
うに、それぞれ上記ヘッドフレーム22の内部空間の平
面形態と対応した平面形態を有する第1プレート26と
第2プレート27とを積層して構成されており、第1プ
レート26は、その長手方向に3つのインク導入孔40
が貫通状に形成されている。第2プレート27は、裏面
側に、上記第1プレート26の3つのインク導入孔40
を介して導入されるインクをそれぞれ第2プレート27
の幅方向2箇所に振り分けるための3本のインク溝41
が形成され、各インク溝41の両端位置には、表面側に
貫通するインク供給孔42が形成されている。このイン
ク供給孔42の表面側開口は、この第2プレート27の
表面側に形成した膨出部55上に開口している。各イン
ク供給孔42の平面的な位置は、前述のヘッド基板25
の裏面側振動板33に形成した各インク供給口36、お
よびヘッドフレーム22の段付き開口窓24の内向フラ
ンジ部52に形成したインク通孔53の位置と対応させ
られている。なお、上記第1プレート26に形成した3
つのインク導入孔40は、メインフレーム21に形成し
た3つのインク供給口43と対応させられており、この
メインフレーム21に挿着されるカラー用のインクカー
トリッジ23に形成されるY、M、C各色用のインクノ
ズル44は、シールブッシュ45を介して上記インク供
給口43からインク供給プレート26の各インク導入孔
40に連通させられる。
Inside the head frame 22, the ink supply plates 26 and 27 arranged on the back surface side of the head substrate 25 are respectively arranged in the head frame 22 as shown in FIGS. 3, 4 and 6. The first plate 26 and the second plate 27, which have a planar shape corresponding to the planar shape of the internal space, are stacked, and the first plate 26 has three ink introduction holes 40 in the longitudinal direction.
Are formed in a penetrating manner. The second plate 27 has three ink introduction holes 40 of the first plate 26 on the back surface side.
Ink introduced through the second plate 27
Ink grooves 41 for distributing to two positions in the width direction of the
Are formed, and ink supply holes 42 penetrating to the front surface side are formed at both ends of each ink groove 41. The front surface side opening of the ink supply hole 42 is opened on the bulging portion 55 formed on the front surface side of the second plate 27. The planar position of each ink supply hole 42 is determined by the head substrate 25 described above.
The positions of the ink supply ports 36 formed in the back side vibration plate 33 and the positions of the ink through holes 53 formed in the inward flange portion 52 of the stepped opening window 24 of the head frame 22 are made to correspond. In addition, 3 formed on the first plate 26
The one ink introduction hole 40 corresponds to the three ink supply ports 43 formed in the main frame 21, and Y, M, C formed in the color ink cartridge 23 inserted into the main frame 21. The ink nozzles 44 for the respective colors are communicated with the respective ink introduction holes 40 of the ink supply plate 26 from the ink supply port 43 via the seal bush 45.

【0028】さらに、上記ヘッド基板25と上記インク
供給プレート26,27との間には、ヘッド基板25の
裏面に取付けた各圧電素子37に給電を行うためのフレ
キシブル基板28が介装される。フレキシブル基板28
は、ポリイミドフィルムのベースにパターン化された導
体箔を形成するとともにこの導体箔を端子部を残して絶
縁フィルムで覆ったものである。図9に詳示するよう
に、この実施形態においてこのフレキシブル基板28
は、一端部に個別電極用の端子パッド45が配列されて
いるとともに、各個別電極は、上記ヘッド基板25上の
各圧電素子37の配列と対応した櫛歯状の端子部46ま
で導通させられている。そして、上記個別電極用の配線
パターンの束の周囲を迂回するようにして、グランド用
の配線パターン47が引き回されている。また、このフ
レキシブル基板28の適部には、上記第2プレート27
の表面側膨出部55に嵌合する開口56が形成されてい
る。
Further, between the head substrate 25 and the ink supply plates 26 and 27, a flexible substrate 28 for supplying electric power to each piezoelectric element 37 mounted on the back surface of the head substrate 25 is interposed. Flexible substrate 28
Is a patterned conductor foil formed on the base of a polyimide film and covered with an insulating film while leaving the terminal portion. As shown in detail in FIG. 9, in this embodiment, the flexible substrate 28
Has terminal pads 45 for individual electrodes arranged at one end, and each individual electrode is electrically connected to a comb-teeth-shaped terminal portion 46 corresponding to the arrangement of the piezoelectric elements 37 on the head substrate 25. ing. The ground wiring pattern 47 is routed around the bundle of individual electrode wiring patterns. Further, the second plate 27 is provided on an appropriate portion of the flexible substrate 28.
An opening 56 that fits into the front side bulging portion 55 is formed.

【0029】上記このフレキシブル基板28の基端部は
また、駆動IC60を不都合なく安定的に搭載するため
にガラスエポキシなどでできた補強板48によってバッ
クアップされており、この補強板48によってバックア
ップされた部位に搭載される駆動IC60の各出力パッ
ドと上記各個別電極用の端子パッド45との間は、ワイ
ヤボンディングによって結線される。上記フレキシブル
基板28の基端部にはまた、上記駆動IC60に電力、
制御信号、印字データ信号等を入力するための配線パタ
ーン49が形成されており、各配線パターンと駆動IC
60上の所定のパッド間はまた、ワイヤボンディングに
よって結線される。なお、上記駆動IC60ないしこれ
と各配線パターンや端子パッド間を結線するボンディン
グワイヤは、エポキシ樹脂等からなる保護コート50に
よって覆われる。
The base end portion of the flexible substrate 28 is also backed up by a reinforcing plate 48 made of glass epoxy or the like in order to mount the drive IC 60 stably and without any inconvenience. Each output pad of the drive IC 60 mounted on the part and the terminal pad 45 for each individual electrode are connected by wire bonding. At the base end of the flexible substrate 28, power is supplied to the driving IC 60.
Wiring patterns 49 for inputting control signals, print data signals, etc. are formed, and each wiring pattern and drive IC
The predetermined pads on 60 are also connected by wire bonding. The drive IC 60 or the bonding wires connecting the wiring patterns and the terminal pads to each other are covered with a protective coat 50 made of epoxy resin or the like.

【0030】上記フレキシブル基板28は、上述のよう
に、各個別電極を形成する櫛歯状の端子部46がそれぞ
れヘッド基板25の裏面側に取付けられた圧電素子37
に接触するようにして、上記ヘッド基板25の裏面側と
上記インク供給プレート26,27との間に介装され
る。なお、上記個別電極46と各圧電素子37との間の
接触を確実にするために、上記フレキシブル基板28の
一部が、スポンジ状の弾性部材51によってヘッド基板
25の裏面に向けて弾性押圧されている。なお、この弾
性部材25は、フレキシブル基板25上に形成したグラ
ンド用配線パターン47をヘッド基板25のグランド電
極被膜(図示略)に確実に接触させる役割をも果たす。
なお、組立て状態において上記フレキシブル基板28の
IC搭載部は、メインフレーム21の側面適部にたとえ
ば接着等によって固定される。
As described above, the flexible substrate 28 has the piezoelectric element 37 having the comb-teeth-shaped terminal portions 46 forming the individual electrodes attached to the back surface side of the head substrate 25.
And is interposed between the back surface side of the head substrate 25 and the ink supply plates 26 and 27. In order to ensure the contact between the individual electrode 46 and each piezoelectric element 37, a part of the flexible substrate 28 is elastically pressed toward the back surface of the head substrate 25 by the sponge-like elastic member 51. ing. The elastic member 25 also plays a role of surely bringing the ground wiring pattern 47 formed on the flexible substrate 25 into contact with the ground electrode coating (not shown) of the head substrate 25.
In the assembled state, the IC mounting portion of the flexible board 28 is fixed to an appropriate side surface portion of the main frame 21 by, for example, bonding.

【0031】以上の構成を備えるインクジェットプリン
トヘッド20は、図1および図5に示す走査方向に移動
しながら、次のような動作によって記録紙に対する印字
を行う。
The ink jet print head 20 having the above-described structure moves in the scanning direction shown in FIGS. 1 and 5 and prints on the recording paper by the following operation.

【0032】印字データにしたがって、駆動ICは、選
択したノズル孔34に対応する圧電素子37に電圧印加
を行うべく、対応する個別電極46をオンする。こうし
て電圧印加された圧電素子37は、これが変形すること
により、振動板33を凹に撓ませる。そうすると、当該
圧力室29の容積がそれだけ強制的に減少させられ、そ
の容積減少に相当する量のインク滴がノズル孔34ない
しノズルプレートのインク吐出孔38から外部に吐出さ
せられる。圧電素子37および振動板33が復元する
と、毛管圧力により、インク供給路31Y ,31M ,3
C のインクが狭窄通路30を介して圧力室29に補給
され、次の印字動作に備えられる。
According to the print data, the drive IC turns on the corresponding individual electrode 46 to apply a voltage to the piezoelectric element 37 corresponding to the selected nozzle hole 34. The piezoelectric element 37 to which a voltage is applied in this manner causes the diaphragm 33 to bend in a concave manner due to its deformation. Then, the volume of the pressure chamber 29 is forcibly reduced by that amount, and ink droplets of an amount corresponding to the volume reduction are ejected to the outside from the nozzle holes 34 or the ink ejection holes 38 of the nozzle plate. When the piezoelectric element 37 and the vibration plate 33 are restored, the ink supply paths 31 Y , 31 M , 3 are generated due to the capillary pressure.
1 C of ink is replenished to the pressure chamber 29 through the constriction passage 30 to prepare for the next printing operation.

【0033】上記構成のインクジェットプリントヘッド
20においては、そのヘッド基板25に形成される複数
の圧力室29は、図10に示される従来のこの種のイン
クジェットプリントヘッドのようにノズル孔形成領域か
ら放射状に延びるように形成されるのではなく、直線状
のノズル列の両側において、ノズルの列に対して直角に
外方に向けて延びるように形成されている。したがっ
て、圧力室29の形成領域は、原則的にノズル孔34の
列の長さ範囲に限定され、圧力室29の長さを適正長さ
に設定すれば、従来と同一数で同一配置のノズル孔を有
するヘッド基板を構成するに際しても、ヘッド基板の面
積は、従来のヘッド基板に比較して、著しく小さなもの
とすることができる。その結果、感光性板ガラスにエッ
チング加工を施して凹陥状の圧力室、インク供給路等を
形成するが故に製造コストが高いヘッド基板を、一定の
材料からより多く製造することができるようになり、そ
の結果として、ヘッド基板の製造コストが低減される。
また、ヘッド基板の平面形状を従来に比較して著しく小
型化することができるので、熱応力によって振動板にク
ラックが生じる等の不具合の発生を効果的に回避するこ
とも可能となり、インクジェットプリントヘッドの心臓
部ともいえるヘッド基板の強度、寿命および性能が安定
する。
In the ink jet print head 20 having the above structure, the plurality of pressure chambers 29 formed in the head substrate 25 are radially arranged from the nozzle hole forming region like the conventional ink jet print head of this type shown in FIG. Instead of being formed so as to extend in a straight line, it is formed so as to extend outward at a right angle to the nozzle rows on both sides of the linear nozzle row. Therefore, the formation region of the pressure chambers 29 is basically limited to the length range of the row of the nozzle holes 34, and if the length of the pressure chambers 29 is set to an appropriate length, the same number of nozzles and the same arrangement of nozzles as in the conventional case are formed. Even when the head substrate having the holes is formed, the area of the head substrate can be made significantly smaller than that of the conventional head substrate. As a result, since the photosensitive plate glass is subjected to the etching process to form the concave pressure chambers, the ink supply paths, etc., the head substrate, which has a high manufacturing cost, can be manufactured more from a certain material. As a result, the manufacturing cost of the head substrate is reduced.
Further, since the planar shape of the head substrate can be remarkably miniaturized as compared with the conventional one, it becomes possible to effectively avoid the occurrence of defects such as cracks in the vibration plate due to thermal stress. The strength, life and performance of the head substrate, which can be said to be the heart of the product, are stabilized.

【0034】また、上記形態のインクジェットプリント
ヘッド20においては、Y、M、Cの各色について、各
圧力室の外方端に共通的に連通させられるインク供給路
31 Y ,31M ,31C が2箇所形成されることにな
る。したがって、インク供給路が環状に引き回されてい
た従来に比較し、各インク供給路は、短く、かつ細幅で
足りることになる。そのため、インク供給路の形成領域
もまたそれだけ節約することができるので、ヘッド基板
の平面的な形状は、より小型化が可能となる。そして、
インク供給路を細幅化することが可能となることから、
熱応力によって振動板にクラックが発生するといった不
具合もまた、より効果的に回避することができるように
なる。
Further, the ink jet print of the above-mentioned form
In the head 20, for each color of Y, M and C,
An ink supply path commonly connected to the outer end of the pressure chamber
31 Y, 31M, 31CWill be formed in two places
You. Therefore, the ink supply path is looped around.
Each ink supply path is shorter and narrower than the conventional one.
Will be enough. Therefore, the formation area of the ink supply path
Can also save that much, so the head substrate
The planar shape of can be further miniaturized. And
Since it is possible to narrow the ink supply path,
The thermal stress may cause cracks on the diaphragm.
The condition can also be avoided more effectively
Become.

【0035】実際のところ、同一個数のノズル孔を有す
るヘッド基板を形成する場合、本願発明のようなノズル
孔34、圧力室29およびインク供給路31Y ,3
M ,31C の配置をとると、ヘッド基板の平面的な大
きさが、図10および図11に示したような従来の構成
に比較し、約1/4以下となった。
Actually, when forming a head substrate having the same number of nozzle holes, the nozzle holes 34, the pressure chamber 29 and the ink supply paths 31 Y , 3 as in the present invention are formed.
When the arrangement of 1 M and 31 C is taken, the planar size of the head substrate is about 1/4 or less as compared with the conventional configuration as shown in FIGS.

【0036】もちろん、この発明は、上述した実施形態
に限定されるものではない。図に示す実施形態において
は、カラー用のプリントヘッドの構成について述べた
が、モノクロ用のプリントヘッドについても、本願発明
を同様に適用することができる。この場合、カラー用の
場合には、ノズル列を挟む各側において、3つのグルー
プに対応させてインク供給路31Y ,31M ,31C
3箇所形成したが、これを、ヘッド基板の幅方向各側に
ついて、圧力室のすべてに共通に連通するインク供給路
をそれぞれ形成すればよい。この場合、インクカートリ
ッジ23は、1つのインクノズルが設けられることにな
るが、これに対応して、インク供給プレート26,27
は、1つのインク供給口からヘッド基板の上記インク供
給路に分配するように構成すればよい。
Of course, the present invention is not limited to the above embodiment. Although the configuration of the color print head is described in the embodiment shown in the drawings, the present invention can be similarly applied to a monochrome print head. In this case, in the case of a color printer, three ink supply paths 31 Y , 31 M , and 31 C are formed on each side of the nozzle row so as to correspond to the three groups. On each side of the direction, ink supply passages that are commonly communicated with all the pressure chambers may be formed. In this case, the ink cartridge 23 is provided with one ink nozzle, and the ink supply plates 26 and 27 are correspondingly provided.
May be configured to be distributed from one ink supply port to the ink supply path of the head substrate.

【0037】また、図に示す実施形態と全く同様のヘッ
ド基板25を使用する場合であっても、インク供給プレ
ート26,27を、1つのインク供給口からヘッド基板
の6箇所のインク供給路にインク経路を分配するように
すればよい。
Even when the same head substrate 25 as that of the embodiment shown in the figure is used, the ink supply plates 26 and 27 are connected from one ink supply port to six ink supply passages of the head substrate. The ink paths may be distributed.

【0038】更に、図に示す実施形態においては、ヘッ
ド基板に設けるノズル孔は、2列千鳥状に配列している
が、千鳥状に配列する必要はかならずしもない。また、
1列に配列したとしても、奇数番目のノズル孔について
は圧力室をヘッド基板の幅方向一側に延出させ、偶数番
目のノズル孔については圧力室をヘッド基板の幅方向他
側に延出させるようにすれば、上述したのと同様の利点
を享受することができる。
Further, in the embodiment shown in the figure, the nozzle holes provided in the head substrate are arranged in a staggered pattern in two rows, but it is always necessary to arrange them in a staggered pattern. Also,
Even if they are arranged in one row, the pressure chambers are extended to one side in the width direction of the head substrate for the odd-numbered nozzle holes, and the pressure chambers are extended to the other side in the width direction of the head substrate for the even-numbered nozzle holes. By doing so, the same advantages as described above can be enjoyed.

【0039】さらに、図に示した実施形態は、1つのメ
インフレームに、カラー用のヘッドとモノクロ用のヘッ
ドを並設しているが、このようにすることが本願発明の
趣旨ではなく、カラー用のヘッドまたはモノクロ用のヘ
ッドのみを搭載するようにメインフレームを構成するこ
とも、もちろん本願発明の範囲に含まれる。
Further, in the embodiment shown in the figure, a color head and a monochrome head are provided side by side on one main frame, but this is not the gist of the present invention, and the color It is, of course, within the scope of the present invention to configure the main frame so that only the head for monochrome or the head for monochrome is mounted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本願発明に係るインクジェットプリントヘッド
の一実施形態の全体外観斜視図。
FIG. 1 is an overall external perspective view of an embodiment of an inkjet printhead according to the present invention.

【図2】本願発明に係るインクジェットプリントヘッド
の一実施形態の一部を分解して示す斜視図。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a part of an embodiment of an inkjet print head according to the present invention.

【図3】図1および図2に示すインクジェットプリント
ヘッドのうち、ヘッドフレームに装着される部品を分解
して示す斜視図。
FIG. 3 is a perspective view showing the components mounted on the head frame of the inkjet print head shown in FIGS. 1 and 2 in an exploded manner.

【図4】図3に示される部品中、インク供給プレートの
構成を示す分解斜視図。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a configuration of an ink supply plate in the parts shown in FIG.

【図5】上記ヘッドフレームの拡大正面図。FIG. 5 is an enlarged front view of the head frame.

【図6】図5のVI−VI線に沿う断面図。FIG. 6 is a sectional view taken along the line VI-VI of FIG. 5;

【図7】ヘッド基板の部分拡大平面図。FIG. 7 is a partially enlarged plan view of a head substrate.

【図8】図7のVIII−VIII線に沿う断面図。FIG. 8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in FIG. 7;

【図9】フレキシブル基板の平面図。FIG. 9 is a plan view of a flexible substrate.

【図10】従来例に係るインクジェットプリントヘッド
の正面図。
FIG. 10 is a front view of an inkjet print head according to a conventional example.

【図11】図10のXI−XI線に沿う拡大断面図。11 is an enlarged sectional view taken along line XI-XI of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 インクジェットプリントヘッド 21 メインフレーム 22 ヘッドフレーム 23 インクカートリッジ 25 ヘッド基板 26 インク供給プレート 27 インク供給プレート 28 フレキシブル基板 29 圧力室 30 狭窄通路 31Y ,31M ,31C インク供給路 32 流路基板 33 振動板 34 ノズル孔 37 圧電素子20 inkjet print head 21 main frame 22 head frame 23 ink cartridge 25 head substrate 26 ink supply plate 27 ink supply plate 28 flexible substrate 29 pressure chamber 30 narrow passages 31 Y , 31 M , 31 C ink supply passage 32 flow passage substrate 33 vibration Plate 34 Nozzle hole 37 Piezoelectric element

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面側に複数のノズル孔が開口している
とともに、裏面側に上記各ノズル孔にそれぞれ連通する
複数の圧力室ないし各圧力室に連通するインク供給路が
凹陥状に形成された流路基板と、この流路基板の裏面側
に貼着される振動板とをもつヘッド基板を備えるインク
ジェットプリントヘッドであって、 上記ノズル孔は、直線状に1列または2列に配列されて
おり、 上記各圧力室は、上記ノズル孔の列の両側において、こ
のノズル孔の列に対して一定角度をもってヘッド基板の
外方に向けて互いに平行に延びるように形成されてお
り、 上記インク供給路は、上記ノズル孔の列の各側におい
て、隣接する複数の圧力室の外方端に共通的に連通する
ように形成されていることを特徴とする、インクジェッ
トプリントヘッド。
1. A plurality of nozzle holes are opened on the front surface side, and a plurality of pressure chambers communicating with the nozzle holes or ink supply paths communicating with the pressure chambers are formed in a concave shape on the back surface side. An ink jet print head comprising a head substrate having a flow channel substrate and a vibration plate attached to the back surface side of the flow channel substrate, wherein the nozzle holes are linearly arranged in one or two rows. The pressure chambers are formed on both sides of the row of nozzle holes so as to extend parallel to each other outward of the head substrate at a constant angle with respect to the row of nozzle holes. The inkjet print head is characterized in that the supply passage is formed so as to be commonly communicated with the outer ends of a plurality of adjacent pressure chambers on each side of the row of nozzle holes.
【請求項2】 表面側に複数のノズル孔が開口している
とともに、裏面側に上記各ノズル孔にそれぞれ連通する
複数の圧力室ないし各圧力室に連通するインク供給路が
凹陥状に形成された流路基板と、この流路基板の裏面側
に貼着される振動板とをもつヘッド基板を備えるインク
ジェットプリントヘッドであって、 上記ノズル孔は、直線状に2列千鳥状に配列されてお
り、 上記ノズル孔の各列に対応する圧力室は、上記ノズル孔
の列に対して外方に向けて直角をなしつつ互いに平行に
延びるように形成されており、 上記複数のノズル孔および上記圧力室は、ノズル孔の配
列方向について複数にグループ分けされており、 上記インク供給路は、上記ノズル孔の列の各側におい
て、同一グループの圧力室の外方端に共通的に連通する
ように形成されていることを特徴とする、インクジェッ
トプリントヘッド。
2. A plurality of nozzle holes are opened on the front surface side, and a plurality of pressure chambers communicating with the respective nozzle holes or ink supply paths communicating with the respective pressure chambers are formed in a concave shape on the rear surface side. An ink jet print head comprising a head substrate having a flow channel substrate and a vibrating plate attached to the back surface side of the flow channel substrate, wherein the nozzle holes are linearly arranged in two rows in a staggered pattern. The pressure chambers corresponding to the respective rows of the nozzle holes are formed so as to extend outwardly at right angles to the rows of the nozzle holes and extend parallel to each other. The pressure chambers are divided into a plurality of groups in the arrangement direction of the nozzle holes, and the ink supply path is commonly connected to the outer ends of the pressure chambers of the same group on each side of the row of nozzle holes. Formed into It is characterized in that is, an ink jet printhead.
【請求項3】 上記複数のグループは、Y、M、Cに対
応するグループであり、各グループにつき、上記ヘッド
基板における上記ノズル孔の列の両側に2箇所のインク
供給路が形成されている、請求項2に記載のインクジェ
ットプリントヘッド。
3. The plurality of groups are groups corresponding to Y, M, and C, and for each group, two ink supply passages are formed on both sides of the row of the nozzle holes on the head substrate. The inkjet printhead of claim 2.
【請求項4】 上記ヘッド基板の裏面側には、インク供
給プレートが配置されており、このインク供給プレート
は、裏面側のY、M、C用の各1つのインク供給口から
供給されるインクを上記ヘッド基板の各2箇所のインク
供給路に分配するものである、請求項3に記載のインク
ジェットプリントヘッド。
4. An ink supply plate is arranged on the back surface side of the head substrate, and the ink supply plate is supplied with ink from one ink supply port for each of Y, M, and C on the back surface side. The ink jet print head according to claim 3, wherein the ink is distributed to each of two ink supply paths on the head substrate.
【請求項5】 インクカートリッジを搭載するメインフ
レームを備え、このメインフレームにはまた、上記流路
プレートおよび上記ヘッド基板を収容するヘッドフレー
ムが取付けられている、請求項4に記載のインクジェッ
トプリントヘッド。
5. The ink jet print head according to claim 4, further comprising a main frame on which an ink cartridge is mounted, and the main frame is also mounted with a head frame that accommodates the flow path plate and the head substrate. .
JP10013496A 1996-04-22 1996-04-22 Ink jet printing head Pending JPH09286100A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10013496A JPH09286100A (en) 1996-04-22 1996-04-22 Ink jet printing head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10013496A JPH09286100A (en) 1996-04-22 1996-04-22 Ink jet printing head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09286100A true JPH09286100A (en) 1997-11-04

Family

ID=14265851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10013496A Pending JPH09286100A (en) 1996-04-22 1996-04-22 Ink jet printing head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09286100A (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11291465A (en) * 1998-04-08 1999-10-26 Seiko Epson Corp Ink jet head
US6457818B1 (en) 1998-12-24 2002-10-01 Seiko Epson Corporation Ink jet type recording head
JP2006068989A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 Seiko Epson Corp Liquid droplet ejecting head, liquid droplet ejecting apparatus, and manufacturing method for liquid droplet ejecting head
JP2006192686A (en) * 2005-01-13 2006-07-27 Seiko Epson Corp Droplet ejection head and droplet ejector
JP2007167727A (en) * 2005-12-20 2007-07-05 Seiko Epson Corp Droplet ejection head and droplet ejection apparatus
JP2009262573A (en) * 2009-07-09 2009-11-12 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer printing ink and fixative
JP2010524713A (en) * 2007-04-23 2010-07-22 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. Microfluidic device and fluid ejection device incorporating microfluidic device
JP2015033837A (en) * 2013-08-09 2015-02-19 セイコーエプソン株式会社 Liquid injection head and liquid injection device

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11291465A (en) * 1998-04-08 1999-10-26 Seiko Epson Corp Ink jet head
US6457818B1 (en) 1998-12-24 2002-10-01 Seiko Epson Corporation Ink jet type recording head
JP2006068989A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 Seiko Epson Corp Liquid droplet ejecting head, liquid droplet ejecting apparatus, and manufacturing method for liquid droplet ejecting head
JP2006192686A (en) * 2005-01-13 2006-07-27 Seiko Epson Corp Droplet ejection head and droplet ejector
JP4661228B2 (en) * 2005-01-13 2011-03-30 セイコーエプソン株式会社 Droplet discharge head and droplet discharge apparatus
JP2007167727A (en) * 2005-12-20 2007-07-05 Seiko Epson Corp Droplet ejection head and droplet ejection apparatus
JP2010524713A (en) * 2007-04-23 2010-07-22 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. Microfluidic device and fluid ejection device incorporating microfluidic device
JP2009262573A (en) * 2009-07-09 2009-11-12 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer printing ink and fixative
JP2015033837A (en) * 2013-08-09 2015-02-19 セイコーエプソン株式会社 Liquid injection head and liquid injection device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7438389B2 (en) Inkjet head
US7434914B2 (en) Inkjet recording head
US7900355B2 (en) Ink-jet head and method for manufacturing the same
JP4218594B2 (en) Inkjet head
JP4940672B2 (en) Inkjet recording head
JP2000158645A (en) Ink jet head
US6554409B2 (en) Ink-jet recording head
US7419245B2 (en) Ink-jet head
JP4581709B2 (en) Inkjet head
JP4810908B2 (en) Inkjet head
JPH09286100A (en) Ink jet printing head
JP2007196455A (en) Head module, liquid ejecting head and liquid ejector
JP4784191B2 (en) Ink jet head and manufacturing method thereof
JP2006062260A (en) Inkjet head
JP2007090870A (en) Liquid ejection head and its manufacturing process
US6869168B2 (en) Liquid ejection print head
US6220698B1 (en) Ink jet type recording head
JPH09286099A (en) Ink jet printing head, flexible substrate used therein and its production
US7731340B2 (en) Liquid jetting head and method for producing the same
JP4320619B2 (en) Inkjet head manufacturing method
JP2005219325A (en) Inkjet head
JP4622376B2 (en) Inkjet head
US20050237364A1 (en) Printed wiring board and electric device using the same
JP2006035571A (en) Inkjet head
CN110962457A (en) Liquid ejection head