JPH09286100A - Ink jet printing head - Google Patents

Ink jet printing head

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Publication number
JPH09286100A
JPH09286100A JP10013496A JP10013496A JPH09286100A JP H09286100 A JPH09286100 A JP H09286100A JP 10013496 A JP10013496 A JP 10013496A JP 10013496 A JP10013496 A JP 10013496A JP H09286100 A JPH09286100 A JP H09286100A
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JP
Japan
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ink supply
nozzle holes
formed
ink
head substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP10013496A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshio Amano
敏男 天野
Original Assignee
Rohm Co Ltd
ローム株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd, ローム株式会社 filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP10013496A priority Critical patent/JPH09286100A/en
Publication of JPH09286100A publication Critical patent/JPH09286100A/en
Application status is Pending legal-status Critical

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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419Manifold
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491Electrical connection

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To more miniaturize a head substrate to reduce the production cost thereof and to avoid the generation of crack inferiority in a vibration plate to the utmost. SOLUTION: In an ink jet printing head equipped with a head substrate 25 having a passage substrate 32 having a plurality of nozzle orifices 34 formed thereto on the surface side thereof and having a plurality of pressure chambers 29 communicating with the nozzle orifices and the ink supply passages 31Y, 31M, 31C communicating with the pressure chambers formed thereto in a depressed state and the vibration plate bonded to the rear surface of the passage substrate 25, the nozzle orifices 34 are linearly arranged in one row or two rows. The pressure chambers 29 are formed on both sides of the row of the nozzle orifices 34 so as to extend parallelly toward the outside of the head substrate 25 at a definite angle with respect to the row of the nozzle orifices and the ink supply passages 31Y, 31M, 31C are formed so as to communicate with the outward ends of a plurality of the adjacent pressure chambers 29 on both sides of the row of the nozzle orifices 34.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本願発明は、ノズル列からインク滴を記録紙に向けて吐出させて印字を行うインクジェットプリントヘッドに関し、とくに、カイザー型の圧電式プリントヘッドに分類されるものに関する。 The present invention relates to relates to an ink jet print head for printing by ejecting toward the ink droplets to the recording paper from the nozzle row, in particular, relates to those classified into Kaiser type piezoelectric printheads.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来のこの種のインクジェットプリントヘッドの構造例を図10および図11に示す。 BACKGROUND ART The conventional structure of this type of ink jet printhead shown in FIGS. 10 and 11. 図10 Figure 10
は、上記ヘッド基板1の平面視形態を示している。 Shows a plan view form of the head substrate 1. このヘッド基板1の中央部には、複数のノズル孔2が2列斜状に配置されており、このノズル孔配置領域の周囲領域には、各ノズル孔に連通する複数の圧力室3が放射状に延びるようにして配置されている。 The central portion of the head substrate 1, a plurality of nozzle holes 2 are arranged in two rows slant, the area around the nozzle hole arrangement region, a plurality of pressure chambers 3 for communicating with the nozzle holes radially It is arranged so as to extend. 各圧力室3の外方端は、狭窄通路4を介してインク供給路5につながっている。 Outer end of each of the pressure chambers 3 is connected to the ink supply path 5 via a constricted passage 4. このインク供給路5は、全体として、上記放射状に配置された複数の圧力室3の周囲を環状に取り巻いているが、カラー用のヘッドを構成する場合には、図10に表れているように、Y(イエロー)、M(マゼンタ)、 The ink supply path 5 as a whole, as the periphery of the plurality of pressure chambers 3 arranged on the radially but surrounds annularly, when configuring the head for color is evident in FIG. 10 , Y (yellow), M (magenta),
C(シアン)、あるいはこれに加えてB(ブラック)用に分断されている。 C (cyan), or in addition to being separated for B (black). 各インク供給路5は、ヘッド基板の適部に形成されたインク供給口6を介して、ヘッドフレームに保持されたインクタンク(図示略)に連通させられる。 Each ink supply path 5 through the ink supply port 6 formed on the proper portion of the head substrate, are communicated with the ink tank held in the head frame (not shown).

【0003】図11は、図10に示されるヘッド基板1 [0003] Figure 11 is a head substrate 1 shown in FIG. 10
の断面構造を示している。 It shows a cross-sectional structure. 上記ヘッド基板1は、感光性板ガラスからなる流路基板7の裏面側に、薄板ガラスからなる振動板8を貼着して構成されている。 The head substrate 1, on the back side of the channel substrate 7 made of photosensitive glass plate is constituted by sticking the diaphragm 8 made of thin glass. 前述した圧力室3ないしこれにつながるインク供給路5は、上記流路基板7の裏面側にエッチングを施すことによって凹陥状に形成されている。 Ink supply path 5 pressure chamber leading 3 or to that described above, is formed on the concave shape by etching the back surface side of the channel substrate 7. ノズル孔2は、上記圧力室3を構成する凹陥部の適部から流路基板7の表面側に貫通するようにして形成されている。 Nozzle hole 2 is formed so as to penetrate the surface side of the channel substrate 7 from suitable portions of recessed portions constituting the pressure chamber 3. 上記振動板8の裏面側には、各圧力室3と対応させるようにして、圧電素子9が設けられている。 On the back side of the diaphragm 8 is made to correspond to each pressure chamber 3, the piezoelectric element 9 is provided. 各圧電素子9への給電は、振動板8の裏面側に形成されたITO膜をグランドとし、フレキシブル基板10に形成した個別電極を各圧電素子9の表面電極に接触させることにより行われる。 Power supply to the piezoelectric element 9, the ITO film formed on the rear surface side of the diaphragm 8 and the ground is carried out by contacting the individual electrodes formed on the flexible substrate 10 to the surface electrodes of the piezoelectric element 9.

【0004】選択した圧力室3に対応する圧電素子9に電圧を印加すると、この圧電素子9の変形にともなって上記振動板8が凹に撓み、これによる圧力室3の容積減少に相当する量のインク滴がノズル孔2から外部に吐出させられる。 [0004] When voltage is applied to the piezoelectric element 9 which corresponds to the pressure chamber 3 which is selected, the amount of the diaphragm 8 along with the deformation of the piezoelectric element 9 is bent in a concave, corresponding to the volume reduction of the pressure chamber 3 by this ink droplets are discharged to the outside from the nozzle hole 2. 圧電素子9および振動板8が復元すると、 When the piezoelectric element 9 and the diaphragm 8 is restored,
インク供給路5から狭窄通路4を介して圧力室3へインクが補給され、次回の印字動作に備えられる。 Ink is supplied from the ink supply path 5 to the pressure chamber 3 through the constricted passage 4 is provided for the next printing operation.

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のインクジェットプリントヘッドにおいては、上述のように、各圧力室3 In the above inkjet printhead INVENTION SUMMARY is], as described above, each of the pressure chambers 3
が放射状に形成されているとともに、インク供給路5が上記放射状に配置された圧力室3を取り囲むように環状に配置されていることから、ヘッド基板1の平面部が比較的大きい。 There together are formed radially, since the ink supply path 5 is arranged in an annular shape so as to surround the pressure chambers 3 arranged on the radially relatively large flat portion of the head substrate 1. そのため、流路基板7に貼着される薄板状振動板8にクラックが入る等の不具合が発生しやすい。 Therefore, inconveniences are liable to occur such as cracking of a thin plate diaphragm 8 which is attached to the channel substrate 7.
すなわち、感光性板ガラスからなる流路基板7と、通常のガラスからなる薄板の振動板8とでは、熱膨張係数が相違し、これらが接着等によって一体化されてヘッド基板1が構成されているが、平面部が比較的大きい上記構成のインクジェットプリントヘッドにおいては、振動板8に熱応力によるクラックが入る不具合が発生しやすい。 That is, a channel substrate 7 made of photosensitive glass plate, in the diaphragm 8 of thin plate made of ordinary glass, thermal expansion coefficient different, they are the head substrate 1 is integrated by an adhesive or the like is constituted but in the ink jet print head having a relatively large the structure is planar portion, a problem that a crack due to thermal stress enters is likely to occur in the diaphragm 8. また、とくに流路基板7は、感光性板ガラスを用いたエッチング工程を経て製造されるが、従来のインクジェットプリントヘッドでは、そのヘッド基板が比較的大きな面積を有していることから、1個のヘッド基板1の材料コストおよび加工コストが比較的高くつく。 Further, in particular channel substrate 7 is manufactured through the etching process using the photosensitive glazing, in the conventional ink jet printhead, since the head substrate has a relatively large area, one material cost and processing cost of the head substrate 1 is relatively expensive.

【0006】本願発明は、このような事情のもとで考えだされたものであって、ヘッド基板をより小型化することができて、その製造コストを低減することができるとともに、あわせて、振動板のクラック不良の発生を極力回避することができるインクジェットプリントヘッドを提供することをその課題としている。 [0006] The present invention, which has been Dasa considered in view of the foregoing circumstances, and it is possible to further reduce the head substrate, it is possible to reduce the manufacturing cost, together, and as its object to provide an ink jet print head capable of avoiding occurrence of crack defect of the diaphragm as much as possible.

【0007】 [0007]

【発明の開示】上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。 To solve the above problems DISCLOSURE OF THE INVENTION In the present invention takes the following technical means.

【0008】本願発明によれば、表面側に複数のノズル孔が開口しているとともに、裏面側に上記各ノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力室ないし各圧力室に連通するインク供給路が凹陥状に形成された流路基板と、この流路基板の裏面側に貼着される振動板とをもつヘッド基板を備えるインクジェットプリントヘッドであって、上記ノズル孔は、直線状に1列または2列に配列されており、上記各圧力室は、上記ノズル孔の列の両側において、このノズル孔の列に対して一定角度をもってヘッド基板の外方に向けて互いに平行に延びるように形成されており、上記インク供給路は、上記ノズル孔の列の各側において、隣接する複数の圧力室の外方端に共通的に連通するように形成されていることに特徴づけられるインクジェットプリント [0008] According to the present invention, a plurality of nozzle holes are opened on the front side, the ink supply path communicating the pressure chambers to the pressure chambers respectively communicating with the respective nozzle holes on the back side recessed a channel substrate formed Jo, an ink jet printhead comprising a head substrate having a vibration plate which is stuck on the back side of the channel substrate, the nozzle holes, one row in a straight line or 2 columns are arranged in said respective pressure chamber, both sides of rows of the nozzle holes, are formed so as to extend parallel to each other toward the outside of the head substrate with a predetermined angle with respect to the column of the nozzle holes cage, the ink supply path, each side of the row of the nozzle holes, ink jet printing characterized in that it is formed to communicate commonly outward ends of a plurality of adjacent pressure chambers ッドが提供される。 Head is provided.

【0009】本願発明のインクジェットプリントヘッドにおいては、そのヘッド基板に形成される複数の圧力室は、従来のようにノズル孔形成領域から放射状に延びるように形成されるのではなく、直線状のノズル列の両側において、ノズルの列に対して一定角度をもってヘッド基板の外方に向けて延びるように形成されている。 [0009] In the ink jet print head of the present invention, a plurality of pressure chambers formed on the head substrate, rather than as in the prior art from the nozzle hole forming region being formed so as to extend radially, straight nozzle both sides of the column, are formed to extend outward of the head substrate with a certain angle to the row of nozzles. したがって、圧力室の形成領域は、原則的にノズル孔の列の長さ範囲に限定され、圧力室の長さを適正長さに設定すれば、従来と同一数で同一配置のノズル孔を有するヘッド基板を構成するに際しても、ヘッド基板の面積は、従来のヘッド基板に比較して、著しく小さなものとすることができる。 Therefore, forming areas of the pressure chamber is essentially limited to the range of the length of the column of the nozzle holes is set to be a proper length to the length of the pressure chamber, having a nozzle hole of the same arrangement in the conventional same number in constituting the head substrate is also the area of ​​the head substrate can be compared with conventional head substrate, and considerably small. その結果、感光性板ガラスにエッチング加工を施して凹陥状の圧力室、インク供給路等を形成するが故に製造コストが高いヘッド基板を、一定の材料からより多く製造することができるようになり、その結果として、ヘッド基板の製造コストが低減される。 As a result, concave-shaped pressure chamber is subjected to etching in the photosensitive glass plate to form an ink supply path or the like, but because production costs high head substrate, it becomes possible to increase production from a certain material, as a result, manufacturing cost of the head substrate is reduced. また、ヘッド基板の平面形状を従来に比較して著しく小型化することができるので、熱応力によって振動板にクラックが生じる等の不具合の発生を効果的に回避することも可能となり、インクジェットプリントヘッドの心臓部ともいえるヘッド基板の強度、寿命および性能が安定する。 Also, since the planar shape of the head substrate can be significantly downsized compared to the conventional, it becomes possible to effectively avoid the occurrence of defects such as cracks in the vibrating plate due to thermal stress, inkjet printhead strength of the head substrate can say the heart, life and performance is stable.

【0010】本願発明によればまた、表面側に複数のノズル孔が開口しているとともに、裏面側に上記各ノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力室ないし各圧力室に連通するインク供給路が凹陥状に形成された流路基板と、 [0010] According to the present invention, a plurality of nozzle holes are opened on the front side, the ink supply path communicating the pressure chambers to the pressure chambers respectively communicating with the respective nozzle holes on the back side a channel substrate formed in concave shape,
この流路基板の裏面側に貼着される振動板とをもつヘッド基板を備えるインクジェットプリントヘッドであって、上記ノズル孔は、直線状に2列千鳥状に配列されており、上記ノズル孔の各列に対応する圧力室は、上記ノズル孔の列に対して外方に向けて直角をなしつつ互いに平行に延びるように形成されており、上記複数のノズル孔および上記圧力室は、ノズル孔の配列方向について複数にグループ分けされており、上記インク供給路は、上記ノズル孔の列の各側において、同一グループの圧力室の外方端に共通的に連通するように形成されていることに特徴づけられるインクジェットプリントヘッドが提供される。 An inkjet printhead comprising a head substrate having a diaphragm and which is stuck to the back surface side of the channel substrate, the nozzle holes are arranged in two rows staggered straight, of the nozzle hole the pressure chambers corresponding to each column is formed so as to extend in parallel with each other while a right angle outward with respect to rows of the nozzle holes, the plurality of nozzle holes and said pressure chamber, a nozzle hole for the arrangement direction are grouped plurality, the ink supply path, each side of the row of the nozzle holes, commonly it is formed so as to communicate with the outer end of the pressure chambers in the same group inkjet print head is provided, characterized in.

【0011】好ましい実施形態においては、上記複数のグループは、Y、M、Cに対応するグループであり、各グループにつき、上記ヘッド基板における上記ノズル孔の列の両側に2箇所のインク供給路が形成されている。 [0011] In a preferred embodiment, the plurality of groups, Y, M, is a group corresponding and C, for each group, the ink supply path in two places on each side of the row of the nozzle holes in the head substrate It is formed.

【0012】上記構成によれば、同一グループに分類されるノズル孔からノズル孔の列の両側に複数の圧力室が延び、しかも、ノズル孔の列の両側において、各圧力室の外方端に共通的に連通させられるインク供給路が各2 With the above arrangement, extend a plurality of pressure chambers from the nozzle holes which are classified into the same group on either side of the row of nozzle holes, moreover, on both sides of the row of nozzle holes, the outer ends of the pressure chambers commonly ink supply path are communicated with each 2
箇所形成されることになる。 It will be places formed. したがって、インク供給路が環状に引き回されていた従来に比較し、各インク供給路は、短く、かつ細幅で足りることになる。 Therefore, compared with the prior art in which the ink supply path has been routed to the annular, the ink supply path would suffice short and narrow. そのため、 for that reason,
インク供給路の形成領域もまたそれだけ節約することができるので、ヘッド基板の平面的な形状は、より小型化が可能となる。 It is possible also to correspondingly save formation region of the ink supply path, the planar shape of the head substrate, and more miniaturization becomes possible. そして、インク供給路を細幅化することが可能となることから、熱応力によって振動板にクラックが発生するといった不具合もまた、より効果的に回避することができるようになる。 Then, since it is possible to narrow the ink supply path, problems such cracks occur in the diaphragm by thermal stress also becomes possible to more effectively avoid.

【0013】好ましい実施形態においては、上記ヘッド基板の裏面側には、流路プレートが配置されており、この流路プレートは、裏面側のY、M、C用の各1つのインク供給口から供給されるインクを上記ヘッド基板の各2箇所のインク供給路に分配するように構成される。 In a preferred embodiment, the back surface side of the head substrate, the flow path plate is disposed, the flow path plate, the back surface side Y, M, from each one of the ink supply ports for C constructed ink supplied to dispense the ink supply path of each two positions of the head substrate.

【0014】このように構成すれば、メインフレームに装着するべきインクタンクとして、Y、M、C各色のインクを貯蔵するものを使用する場合において、各色のインクのタンクからの吐出口が各1箇所であっても、問題なく各色のインクを上記ヘッド基板における各2箇所のインク供給路に供給することができる。 [0014] With this structure, as the ink tank to be mounted to the main frame, Y, M, in the case of using those to store C color inks, discharge port from the tank of each color ink is the 1 even locations, each color of ink without problems can be supplied to the ink supply path of each two positions in the head substrate. しかも、上記流路プレートは、ヘッド基板の裏面側に積層配置されるので、この流路プレートがヘッド基板ないしこれを取付けるためのヘッドフレーム等を大型化することはなく、インクジェットプリントヘッドの小型化を阻害することはない。 Moreover, the flow path plate, because they are stacked on the back surface of the head substrate is not that the channel plate is to increase the size of the head frame or the like for attaching the head substrate to which, miniaturization of the ink jet printhead It is not to inhibit.

【0015】本願発明のその他の特徴および利点は、図面を参照して以下に行う詳細な説明から、より明らかとなろう。 [0015] Other features and advantages of the present invention, with reference to the drawings from the detailed description given below, will become more apparent.

【0016】 [0016]

【発明の実施の形態】以下、本願発明に係るインクジェットプリントヘッド20の好ましい実施形態を、図面を参照しつつ具体的に説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the ink jet print head 20 according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0017】このインクジェットプリントヘッド20 [0017] The ink-jet print head 20
は、カイザー型の圧電式プリントヘッドに分類されるものであって、図1および図2に示されるように、ボックス状のメインフレーム21と、このメインフレーム21 Is, there is classified into Kaiser type piezoelectric printheads, as shown in FIGS. 1 and 2, a box-shaped main frame 21, the main frame 21
の前面部に取付けられた2個のヘッドフレーム22,2 Two head frame attached to the front portion of the 22, 24, 32
3とを備える。 Equipped with a 3 and. メインフレーム21のボックス状部の内部には、インクカートリッジ23(図5)が装着される。 Inside the box-like portion of the main frame 21, the ink cartridge 23 (FIG. 5) is mounted. 本実施形態においてメインフレーム21の前面部に左右2個設けられているヘッドフレーム22の一方はカラープリント用であり、他方はモノクロプリント用である。 One of the head frame 22 provided two left and right front portions of the main frame 21 in this embodiment is for color printing, one for monochrome printing.

【0018】ヘッドフレーム22は、前面に斜めに傾斜した矩形の段付き開口窓24を有するボックス状をしており、上記段付き開口窓24にはヘッド基板25が、ヘッドフレーム22の内部には、上記インクカートリッジ23からのインクをヘッド基板25に供給するためのインク供給プレート26,27が、上記ヘッド基板25と上記インク供給プレート26,27との間には、ヘッド基板25に給電するためのフレキシブル基板28が、それぞれ装着される。 The head frame 22 has a box shape having a rectangular stepped opening window 24 which is inclined obliquely to the front, the head substrate 25 in the stepped opening window 24, the inside of the head frame 22 , the ink supply plate 26, 27 for supplying ink from the ink cartridge 23 to the head substrate 25, is between the head substrate 25 and the ink supply plate 26, for supplying power to the head substrate 25 of the flexible substrate 28 is mounted, respectively. 以下、これらを詳細に説明する。 Hereinafter, we explained them in detail.

【0019】図4ないし図8には、上記ヘッド基板25 [0019] FIGS. 4-8 are the head substrate 25
の構成が表れている。 Configuration is a sign of. このヘッド基板25は、感光性板ガラスの裏面側にエッチング加工によって複数の圧力室29ないし各圧力室29に連通するインク供給路3 The head substrate 25, the ink supply path 3 communicating with the plurality of pressure chambers 29 to the pressure chambers 29 on the back side by an etching process of the photosensitive sheet glass
Y ,31 M ,31 Cが凹陥状に形成されるとともに、 With 1 Y, 31 M, 31 C are formed in concave shape,
上記各圧力室29の適部から表面側に貫通するノズル孔が形成された流路基板32と、この流路基板32の裏面側に貼着された薄板ガラス製の振動板33とを備えて構成されている。 It includes a channel substrate 32 in which the nozzle holes are formed to penetrate the surface side from the suitable portions of the respective pressure chambers 29, and the flow path diaphragm 33 made of thin glass adhered to the back surface side of the substrate 32 It is configured.

【0020】図4に表れているように、上記ヘッド基板25は、上記ヘッドフレーム22の段付き開口窓24に収容されうるように矩形状の平面形態を有しており、その長手方向中心線にほぼ沿うようにして、複数の上記のノズル孔34が2列千鳥状に配列されている。 [0020] As reflected in FIG. 4, the head substrate 25 has a rectangular planar form so that it can be accommodated in the stepped opening window 24 of the head frame 22, the longitudinal center line as approximately along, they are arranged a plurality of the nozzle holes 34 are in two rows staggered. ただし、 However,
上記ヘッドフレーム22は、上述したように、メインフレーム21の走査方向(図に矢印Aで示す)に対して傾斜しているため、上記ヘッド基板25の上記ノズル孔3 The head frame 22, as described above, since the inclined with respect to the scanning direction of the main frame 21 (indicated by arrow A in FIG.), The nozzle hole 3 of the head substrate 25
4の列は、メインフレーム21の走査方向Aに対して所定角度で傾斜することになる。 4 columns would be inclined at a predetermined angle to the scanning direction A of the main frame 21.

【0021】上記各圧力室29は、図5および図7に表れているように、ヘッド基板25の正面視において、上記ノズル孔34の列に対して直交する方向に、各ノズル孔34からヘッド基板25の外方に向けて延出させられている。 [0021] The pressure chambers 29, as is evident in FIGS. 5 and 7, in a front view of the head substrate 25, in a direction orthogonal to the column of the nozzle hole 34, the head from the nozzle holes 34 It is is extended toward the outside of the substrate 25. 各圧力室29の外方端は、狭窄通路30を介して、インク供給路31 Y ,31 M ,31 Cに連通させられている。 Outer end of each pressure chamber 29 via the constriction passage 30 and is communicated with the ink supply path 31 Y, 31 M, 31 C . なお、前述したように、各圧力室29ないしインク供給路31 Y ,31 M ,31 Cは、流路基板32 As described above, the pressure chambers 29 through the ink supply path 31 Y, 31 M, 31 C, the flow path substrate 32
の裏面側に凹陥状に形成されたものであり、これらの凹陥部の開口が上記振動板33によって塞がれた恰好となっていることは、前述したとおりである。 Of has been formed in a concave shape on the back side, the opening of these recess is in the dressed that closed by the diaphragm 33 are as described above.

【0022】図に示す形態のインクジェットプリントヘッド20は、カラープリント用であり、上記ノズル孔3 The ink jet print head 20 in the form shown in the figures is for color printing, the nozzle hole 3
4およびこれに対応する圧力室29は、カラープリントのための3原色であるY(イエロー)、M(マゼンタ)、およびC(シアン)に対応して3つにグループ分けされている。 4 and the pressure chamber 29 corresponding thereto, are grouped into three so as to correspond to the three primary colors for color printing Y (yellow), M (magenta), and C (cyan). すなわち、ヘッド基板25の長手方向に、端から、Y用、M用およびC用にグループ分けされている。 That is, in the longitudinal direction of the head substrate 25, from the end, are grouped for a Y, and for M C. そして、上記ノズル孔34の列の両側において、同一グループに属する圧力室が、上記インク供給路31 Y ,31 M ,31 Cに共通に連通させられている。 Then, both sides of rows of the nozzle hole 34, the pressure chambers belonging to the same group, are communicated in common with the ink supply path 31 Y, 31 M, 31 C .
したがって、図に示す実施形態の場合、上記インク供給路31 Y ,31 M ,31 Cは、ヘッド基板の幅方向両側にそれぞれ3箇所ずつ、合計6箇所形成されており、そして、Y、M、C各色につき、それぞれ、ヘッド基板2 Therefore, the embodiment shown in FIG, the ink supply path 31 Y, 31 M, 31 C are each respectively three places on both sides in the width direction of the head substrate are a total of six formed, and, Y, M, C for each color, respectively, the head substrate 2
5の幅方向両側に2箇所ずつのインク供給路が形成されていることになる。 The ink supply channel of each two positions will have been formed on both sides in the width direction of 5.

【0023】上記各インク供給路31 Y ,31 M ,31 [0023] each of the ink supply path 31 Y, 31 M, 31
Cは、担当するグループに属する所定数の圧力室29に不都合なくインクを供給するに必要充分な幅をもったものとしてあり、かつ、その適所には、ヘッド基板の幅方向外方に延出する延出部35が形成されている。 C is located as having the required width sufficient to supply ink without inconvenience to a predetermined number of pressure chambers 29 belonging to the group in charge, and, in its place, extending outward in the width direction of the head substrate extending portion 35 which is formed. そして、振動板33における上記延出部35を覆う部位には、図6および図8に表れているように、インク供給口36が開口させられている。 Then, at a portion covering the extending portion 35 of the vibration plate 33, as appears in FIGS. 6 and 8, the ink supply port 36 is allowed to open.

【0024】ヘッド基板25の裏面、すなわち、振動板33の裏面側には、ITO膜からなるグランド電極被膜(図示略)が形成され、かつ、このグランド電極被膜上には、各圧力室29と対応させるようにして、圧電素子37が取付けられている。 The surface of the head substrate 25, i.e., on the back surface side of the diaphragm 33, is a ground electrode coating made of an ITO film (not shown) is formed, and, in the ground electrode on the film, and the pressure chambers 29 made to correspond, the piezoelectric element 37 is attached.

【0025】また、上記ヘッド基板25の表面には、図8に示すように、通常、流路基板32にエッチングによって開口させた各ノズル孔34と対応するようにして、 Further, on the surface of the head substrate 25, as shown in FIG. 8, usually so as to correspond to each nozzle hole 34 is opened to the flow path substrate 32 by etching,
正確な位置および径を有するインク吐出孔38を精密加工によって形成した金属製ノズルプレート39が貼着される。 Metallic nozzle plate 39 formed by precision machining the ink discharge hole 38 with the correct position and size are attached.

【0026】さらに、上記ヘッドフレーム22の段付き開口窓24の内向フランジ部52には、ヘッド基板25 Furthermore, the inward flange portion 52 of the stepped opening window 24 of the head frame 22, the head substrate 25
の振動板33に形成した6箇所のインク供給口36と対応するインク通孔53が貫通状に形成されている。 Ink holes 53 corresponding are formed in a penetrating manner as the ink supply port 36 of six formed in the vibration plate 33 of.

【0027】ヘッドフレーム22の内部において、上記ヘッド基板25の裏面側に配置されるインク供給プレート26,27は、図3、図4および図6に表れているように、それぞれ上記ヘッドフレーム22の内部空間の平面形態と対応した平面形態を有する第1プレート26と第2プレート27とを積層して構成されており、第1プレート26は、その長手方向に3つのインク導入孔40 [0027] In the interior of the head frame 22, the ink supply plate 26, 27 is arranged on the back side of the head substrate 25, FIG. 3, as appears in FIGS. 4 and 6, each of the head frame 22 a first plate 26 having a planar form corresponding to the plane form of the internal space is configured by laminating a second plate 27, the first plate 26, three ink introduction hole in the longitudinal direction 40
が貫通状に形成されている。 There are formed in a penetrating manner. 第2プレート27は、裏面側に、上記第1プレート26の3つのインク導入孔40 The second plate 27 is, on the back side, three ink introduction hole of the first plate 26 40
を介して導入されるインクをそれぞれ第2プレート27 The respective ink introduced through the second plate 27
の幅方向2箇所に振り分けるための3本のインク溝41 Three ink channels 41 for distributing the widthwise two locations
が形成され、各インク溝41の両端位置には、表面側に貫通するインク供給孔42が形成されている。 There are formed, in the end positions of the respective ink channels 41, the ink supply hole 42 that penetrates the surface side is formed. このインク供給孔42の表面側開口は、この第2プレート27の表面側に形成した膨出部55上に開口している。 The top-side opening of the ink supply hole 42 is opened on the bulge portion 55 formed on the surface side of the second plate 27. 各インク供給孔42の平面的な位置は、前述のヘッド基板25 Planar position of each ink supply hole 42, above the head substrate 25
の裏面側振動板33に形成した各インク供給口36、およびヘッドフレーム22の段付き開口窓24の内向フランジ部52に形成したインク通孔53の位置と対応させられている。 Are in correspondence with the position of each ink supply port 36, and the ink holes 53 formed in the inward flange portion 52 of the stepped opening window 24 of the head frame 22 is formed on the back side diaphragm 33. なお、上記第1プレート26に形成した3 The three formed in the first plate 26
つのインク導入孔40は、メインフレーム21に形成した3つのインク供給口43と対応させられており、このメインフレーム21に挿着されるカラー用のインクカートリッジ23に形成されるY、M、C各色用のインクノズル44は、シールブッシュ45を介して上記インク供給口43からインク供給プレート26の各インク導入孔40に連通させられる。 One of the ink introduction hole 40 is provided in correspondence with three ink supply ports 43 formed in the main frame 21, Y formed on the ink cartridge 23 for color that is inserted into the main frame 21, M, C the ink nozzles 44 for each color is through a sealing bushing 45 communicated with the respective ink introduction hole 40 of the ink supply plate 26 from the ink supply port 43.

【0028】さらに、上記ヘッド基板25と上記インク供給プレート26,27との間には、ヘッド基板25の裏面に取付けた各圧電素子37に給電を行うためのフレキシブル基板28が介装される。 Furthermore, between the said head substrate 25 and the ink supply plate 26 and 27, the flexible substrate 28 for feeding current to the piezoelectric elements 37 mounted on the rear surface of the head substrate 25 is interposed. フレキシブル基板28 Flexible substrate 28
は、ポリイミドフィルムのベースにパターン化された導体箔を形成するとともにこの導体箔を端子部を残して絶縁フィルムで覆ったものである。 Is the conductor foil to form a base patterned conductor foil of the polyimide film, leaving the terminal portions of those covered with an insulating film. 図9に詳示するように、この実施形態においてこのフレキシブル基板28 As shown in detail in FIG. 9, the flexible substrate 28 in this embodiment
は、一端部に個別電極用の端子パッド45が配列されているとともに、各個別電極は、上記ヘッド基板25上の各圧電素子37の配列と対応した櫛歯状の端子部46まで導通させられている。 , Together with the terminal pads 45 are arranged for the individual electrodes at one end, each individual electrode is brought into conduction until the comb-shaped terminal portions 46 which correspond to the arrangement of the piezoelectric elements 37 on the head substrate 25 ing. そして、上記個別電極用の配線パターンの束の周囲を迂回するようにして、グランド用の配線パターン47が引き回されている。 Then, so as to bypass the periphery of the bundle of the wiring pattern for said individual electrodes, the wiring pattern 47 for grounding are routed. また、このフレキシブル基板28の適部には、上記第2プレート27 In addition, the suitable portion of the flexible substrate 28, the second plate 27
の表面側膨出部55に嵌合する開口56が形成されている。 Opening 56 to be fitted on the front side bulged portion 55 of is formed.

【0029】上記このフレキシブル基板28の基端部はまた、駆動IC60を不都合なく安定的に搭載するためにガラスエポキシなどでできた補強板48によってバックアップされており、この補強板48によってバックアップされた部位に搭載される駆動IC60の各出力パッドと上記各個別電極用の端子パッド45との間は、ワイヤボンディングによって結線される。 [0029] The proximal end portion of the flexible substrate 28 can also be used to mount the drive IC60 without inconvenience stably is backed up by a reinforcing plate 48 made of such as glass epoxy, which is backed by the reinforcing plate 48 between the terminal pads 45 for each output pad and the respective individual electrodes of the drive IC60 mounted on a site is connected by wire bonding. 上記フレキシブル基板28の基端部にはまた、上記駆動IC60に電力、 Also at the proximal end portion of the flexible board 28, the power to the drive IC 60,
制御信号、印字データ信号等を入力するための配線パターン49が形成されており、各配線パターンと駆動IC Control signal, the wiring pattern 49 for inputting a print data signal and the like are formed, and each wiring pattern drive IC
60上の所定のパッド間はまた、ワイヤボンディングによって結線される。 Between predetermined pads on 60 may also be connected by wire bonding. なお、上記駆動IC60ないしこれと各配線パターンや端子パッド間を結線するボンディングワイヤは、エポキシ樹脂等からなる保護コート50によって覆われる。 Incidentally, the bonding wire for connecting between the driving IC60 to this and the wiring patterns and terminal pads is covered by a protective coat 50 made of epoxy resin or the like.

【0030】上記フレキシブル基板28は、上述のように、各個別電極を形成する櫛歯状の端子部46がそれぞれヘッド基板25の裏面側に取付けられた圧電素子37 [0030] The flexible substrate 28, as described above, the piezoelectric element 37 which comb-shaped terminal portion 46 for forming the individual electrodes is attached on the back side of the head substrate 25, respectively
に接触するようにして、上記ヘッド基板25の裏面側と上記インク供給プレート26,27との間に介装される。 So as to contact the, it is interposed between the back side and the ink supply plate 26, 27 of the head substrate 25. なお、上記個別電極46と各圧電素子37との間の接触を確実にするために、上記フレキシブル基板28の一部が、スポンジ状の弾性部材51によってヘッド基板25の裏面に向けて弾性押圧されている。 In order to secure the contact between the individual electrodes 46 and the piezoelectric element 37, a portion of the flexible board 28 is elastically pressed toward the surface of the head substrate 25 by a sponge-like elastic member 51 ing. なお、この弾性部材25は、フレキシブル基板25上に形成したグランド用配線パターン47をヘッド基板25のグランド電極被膜(図示略)に確実に接触させる役割をも果たす。 Incidentally, the elastic member 25 also serves to reliably contact with the ground electrode coating of the head substrate 25 to the ground wiring pattern 47 formed on the flexible substrate 25 (not shown).
なお、組立て状態において上記フレキシブル基板28のIC搭載部は、メインフレーム21の側面適部にたとえば接着等によって固定される。 Incidentally, IC mounting portion of the flexible board 28 in the assembled state is fixed by for example adhesive or the like on the side surface suitable portion of the main frame 21.

【0031】以上の構成を備えるインクジェットプリントヘッド20は、図1および図5に示す走査方向に移動しながら、次のような動作によって記録紙に対する印字を行う。 The ink jet print head 20 having the above configuration, while moving in the scanning direction shown in FIG. 1 and FIG. 5, to print on the recording paper by the following operation.

【0032】印字データにしたがって、駆動ICは、選択したノズル孔34に対応する圧電素子37に電圧印加を行うべく、対応する個別電極46をオンする。 [0032] In accordance with the print data, driver IC, to perform the voltage applied to the piezoelectric element 37 corresponding to the nozzle holes 34 selected to turn on the corresponding individual electrode 46. こうして電圧印加された圧電素子37は、これが変形することにより、振動板33を凹に撓ませる。 The piezoelectric element 37 energized in this way, this is by deforming, to bend the vibrating plate 33 to the concave. そうすると、当該圧力室29の容積がそれだけ強制的に減少させられ、その容積減少に相当する量のインク滴がノズル孔34ないしノズルプレートのインク吐出孔38から外部に吐出させられる。 Then, the volume is much forced to decrease in the pressure chamber 29, the ink droplets in an amount corresponding to the volume reduction is discharged to the outside from the nozzle hole 34 to the nozzle plate of the ink discharge holes 38. 圧電素子37および振動板33が復元すると、毛管圧力により、インク供給路31 Y ,31 M ,3 When the piezoelectric element 37 and the vibration plate 33 is restored, the capillary pressure, the ink supply path 31 Y, 31 M, 3
Cのインクが狭窄通路30を介して圧力室29に補給され、次の印字動作に備えられる。 1 C of the ink is supplied to the pressure chamber 29 through the constriction passage 30 and is ready for the next printing operation.

【0033】上記構成のインクジェットプリントヘッド20においては、そのヘッド基板25に形成される複数の圧力室29は、図10に示される従来のこの種のインクジェットプリントヘッドのようにノズル孔形成領域から放射状に延びるように形成されるのではなく、直線状のノズル列の両側において、ノズルの列に対して直角に外方に向けて延びるように形成されている。 [0033] Radial in the inkjet printhead 20 configured as described above, a plurality of pressure chambers 29 formed on the head substrate 25, a conventional nozzle hole formation area, as this kind of ink jet print head shown in FIG. 10 rather than being formed so as to extend in, on both sides of the linear nozzle arrays are formed so as to extend outwardly at right angles to the row of nozzles. したがって、圧力室29の形成領域は、原則的にノズル孔34の列の長さ範囲に限定され、圧力室29の長さを適正長さに設定すれば、従来と同一数で同一配置のノズル孔を有するヘッド基板を構成するに際しても、ヘッド基板の面積は、従来のヘッド基板に比較して、著しく小さなものとすることができる。 Therefore, forming areas of the pressure chamber 29, essentially limited to the range of the length of the column of the nozzle holes 34, by setting the length of the pressure chamber 29 to a proper length, the same arrangement in the conventional same number of nozzles even when constituting a head substrate having a hole, the area of ​​the head substrate can be compared with conventional head substrate, and considerably small. その結果、感光性板ガラスにエッチング加工を施して凹陥状の圧力室、インク供給路等を形成するが故に製造コストが高いヘッド基板を、一定の材料からより多く製造することができるようになり、その結果として、ヘッド基板の製造コストが低減される。 As a result, concave-shaped pressure chamber is subjected to etching in the photosensitive glass plate to form an ink supply path or the like, but because production costs high head substrate, it becomes possible to increase production from a certain material, as a result, manufacturing cost of the head substrate is reduced.
また、ヘッド基板の平面形状を従来に比較して著しく小型化することができるので、熱応力によって振動板にクラックが生じる等の不具合の発生を効果的に回避することも可能となり、インクジェットプリントヘッドの心臓部ともいえるヘッド基板の強度、寿命および性能が安定する。 Also, since the planar shape of the head substrate can be significantly downsized compared to the conventional, it becomes possible to effectively avoid the occurrence of defects such as cracks in the vibrating plate due to thermal stress, inkjet printhead strength of the head substrate can say the heart, life and performance is stable.

【0034】また、上記形態のインクジェットプリントヘッド20においては、Y、M、Cの各色について、各圧力室の外方端に共通的に連通させられるインク供給路31 Further, in the ink jet print head 20 of the above embodiment, Y, M, for each color and C, the ink supply path is brought commonly communicated with an outer end of the pressure chamber 31 Y ,31 M ,31 Cが2箇所形成されることになる。 Y, 31 M, 31 C will be formed in two places. したがって、インク供給路が環状に引き回されていた従来に比較し、各インク供給路は、短く、かつ細幅で足りることになる。 Therefore, compared with the prior art in which the ink supply path has been routed to the annular, the ink supply path would suffice short and narrow. そのため、インク供給路の形成領域もまたそれだけ節約することができるので、ヘッド基板の平面的な形状は、より小型化が可能となる。 Therefore, it is possible also to correspondingly save formation region of the ink supply path, the planar shape of the head substrate, and more miniaturization becomes possible. そして、 And,
インク供給路を細幅化することが可能となることから、 Since it is possible to narrow the ink supply path,
熱応力によって振動板にクラックが発生するといった不具合もまた、より効果的に回避することができるようになる。 Inconvenience cracks occur in the diaphragm by thermal stress also becomes possible to more effectively avoid.

【0035】実際のところ、同一個数のノズル孔を有するヘッド基板を形成する場合、本願発明のようなノズル孔34、圧力室29およびインク供給路31 Y ,3 [0035] In fact, when forming a head substrate having a nozzle hole of the same number, the nozzle holes 34, such as in the present invention, the pressure chamber 29 and the ink supply path 31 Y, 3
M ,31 Cの配置をとると、ヘッド基板の平面的な大きさが、図10および図11に示したような従来の構成に比較し、約1/4以下となった。 Taking the arrangement of 1 M, 31 C, planar size of the head substrate, as compared with the conventional structure shown in FIGS. 10 and 11 was about 1/4 or less.

【0036】もちろん、この発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。 [0036] Naturally, the invention is not limited to the embodiments described above. 図に示す実施形態においては、カラー用のプリントヘッドの構成について述べたが、モノクロ用のプリントヘッドについても、本願発明を同様に適用することができる。 In the embodiment shown in the figures, the configuration has been described in the printhead for color, for the printhead for monochrome, it is possible to apply the present invention likewise. この場合、カラー用の場合には、ノズル列を挟む各側において、3つのグループに対応させてインク供給路31 Y ,31 M ,31 Cを3箇所形成したが、これを、ヘッド基板の幅方向各側について、圧力室のすべてに共通に連通するインク供給路をそれぞれ形成すればよい。 In this case, in the case of the color in each side to sandwich the nozzle array, but in correspondence with the three groups were formed ink supply path 31 Y, a 31 M, 31 C 3 positions, which, in the head substrate width direction each side, an ink supply path communicating commonly to all the pressure chambers may be formed, respectively. この場合、インクカートリッジ23は、1つのインクノズルが設けられることになるが、これに対応して、インク供給プレート26,27 In this case, the ink cartridge 23 is so that one ink nozzles are provided and, correspondingly, the ink supply plate 26, 27
は、1つのインク供給口からヘッド基板の上記インク供給路に分配するように構成すればよい。 It may be configured to dispense from one of the ink supply port to the ink supply path of the head substrate.

【0037】また、図に示す実施形態と全く同様のヘッド基板25を使用する場合であっても、インク供給プレート26,27を、1つのインク供給口からヘッド基板の6箇所のインク供給路にインク経路を分配するようにすればよい。 Further, even when using exactly the same head substrate 25 and the embodiment shown in FIG, the ink supply plate 26 and 27, the ink supply path of six of the head substrate from one ink supply ports it is sufficient to distribute the ink path.

【0038】更に、図に示す実施形態においては、ヘッド基板に設けるノズル孔は、2列千鳥状に配列しているが、千鳥状に配列する必要はかならずしもない。 [0038] Further, in the illustrated embodiment, the nozzle hole provided in the head substrate is are arranged in two rows staggered, not necessarily need to be arranged in a staggered manner. また、 Also,
1列に配列したとしても、奇数番目のノズル孔については圧力室をヘッド基板の幅方向一側に延出させ、偶数番目のノズル孔については圧力室をヘッド基板の幅方向他側に延出させるようにすれば、上述したのと同様の利点を享受することができる。 Even if arranged in a row, the odd-numbered by extending the pressure chamber in the width direction on one side of the head substrate for the nozzle holes, extending the pressure chamber in the width direction the other side of the head substrate for the even-numbered nozzle openings if so as to, it is possible to receive the same benefits as described above.

【0039】さらに、図に示した実施形態は、1つのメインフレームに、カラー用のヘッドとモノクロ用のヘッドを並設しているが、このようにすることが本願発明の趣旨ではなく、カラー用のヘッドまたはモノクロ用のヘッドのみを搭載するようにメインフレームを構成することも、もちろん本願発明の範囲に含まれる。 [0039] Moreover, the embodiments shown in the figures, one of the main frame, while juxtaposed the head of the head and monochrome color, rather than the purpose of it is the present invention to such a color it is also of course included in the scope of the present invention which constitutes a main frame so that only the mounting head or heads for monochrome use.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本願発明に係るインクジェットプリントヘッドの一実施形態の全体外観斜視図。 [1] the overall external perspective view of one embodiment of an inkjet printhead according to the present invention.

【図2】本願発明に係るインクジェットプリントヘッドの一実施形態の一部を分解して示す斜視図。 It exploded perspective view showing one embodiment of a portion of an inkjet printhead according to Figure 2 the present invention.

【図3】図1および図2に示すインクジェットプリントヘッドのうち、ヘッドフレームに装着される部品を分解して示す斜視図。 [3] Among the ink-jet printhead shown in FIGS. 1 and 2, exploded perspective view showing the components to be mounted on the head frame.

【図4】図3に示される部品中、インク供給プレートの構成を示す分解斜視図。 [4] in the part shown in FIG. 3, an exploded perspective view showing the configuration of the ink supply plate.

【図5】上記ヘッドフレームの拡大正面図。 FIG. 5 is an enlarged front view of the head frame.

【図6】図5のVI−VI線に沿う断面図。 6 is a sectional view taken along line VI-VI in FIG.

【図7】ヘッド基板の部分拡大平面図。 Figure 7 is a partial enlarged plan view of the head substrate.

【図8】図7のVIII−VIII線に沿う断面図。 8 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII in FIG.

【図9】フレキシブル基板の平面図。 Figure 9 is a plan view of the flexible substrate.

【図10】従来例に係るインクジェットプリントヘッドの正面図。 Figure 10 is a front view of the ink jet print head according to a conventional example.

【図11】図10のXI−XI線に沿う拡大断面図。 Figure 11 is an enlarged sectional view taken along line XI-XI in FIG.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

20 インクジェットプリントヘッド 21 メインフレーム 22 ヘッドフレーム 23 インクカートリッジ 25 ヘッド基板 26 インク供給プレート 27 インク供給プレート 28 フレキシブル基板 29 圧力室 30 狭窄通路 31 Y ,31 M ,31 Cインク供給路 32 流路基板 33 振動板 34 ノズル孔 37 圧電素子 20 ink jet print head 21 a main frame 22 head frame 23 ink cartridge 25 the head substrate 26 an ink supply plate 27 ink supply plate 28 flexible board 29 pressure chamber 30 narrowing passage 31 Y, 31 M, 31 C ink supply path 32 flow path substrate 33 vibration plate 34 nozzle holes 37 piezoelectric element

Claims (5)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 表面側に複数のノズル孔が開口しているとともに、裏面側に上記各ノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力室ないし各圧力室に連通するインク供給路が凹陥状に形成された流路基板と、この流路基板の裏面側に貼着される振動板とをもつヘッド基板を備えるインクジェットプリントヘッドであって、 上記ノズル孔は、直線状に1列または2列に配列されており、 上記各圧力室は、上記ノズル孔の列の両側において、このノズル孔の列に対して一定角度をもってヘッド基板の外方に向けて互いに平行に延びるように形成されており、 上記インク供給路は、上記ノズル孔の列の各側において、隣接する複数の圧力室の外方端に共通的に連通するように形成されていることを特徴とする、インクジェットプリントヘッド。 A plurality of nozzle holes to 1. A surface side is opened, the ink supply path communicating the pressure chambers to the pressure chambers respectively communicating with the respective nozzle holes on the back side is formed on the concave shape and other channel substrate, an ink jet printhead comprising a head substrate having a vibration plate which is stuck on the back side of the channel substrate, the nozzle openings are arranged in one row or two rows in a straight line and, each of the pressure chambers, both sides of rows of the nozzle holes are formed so as to extend parallel to each other toward the outside of the head substrate with a predetermined angle with respect to the column of the nozzle holes, the ink supply passage, characterized in that at each side of the row of the nozzle holes are formed so as to communicate commonly outward ends of a plurality of adjacent pressure chambers, the ink-jet printhead.
  2. 【請求項2】 表面側に複数のノズル孔が開口しているとともに、裏面側に上記各ノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力室ないし各圧力室に連通するインク供給路が凹陥状に形成された流路基板と、この流路基板の裏面側に貼着される振動板とをもつヘッド基板を備えるインクジェットプリントヘッドであって、 上記ノズル孔は、直線状に2列千鳥状に配列されており、 上記ノズル孔の各列に対応する圧力室は、上記ノズル孔の列に対して外方に向けて直角をなしつつ互いに平行に延びるように形成されており、 上記複数のノズル孔および上記圧力室は、ノズル孔の配列方向について複数にグループ分けされており、 上記インク供給路は、上記ノズル孔の列の各側において、同一グループの圧力室の外方端に共通的に連通するように形成 A plurality of nozzle holes to 2. A surface side is opened, the ink supply path communicating the pressure chambers to the pressure chambers respectively communicating with the respective nozzle holes on the back side is formed on the concave shape and other channel substrate, an ink jet printhead comprising a head substrate having a vibration plate which is stuck on the back side of the channel substrate, the nozzle holes are arranged in two rows staggered straight cage, the pressure chamber corresponding to each row of the nozzle holes, the is formed so as to extend parallel to each other while a right angle outwardly relative to the rows of nozzle holes, the plurality of nozzle holes and the pressure chamber, the arrangement direction of the nozzle holes are grouped plurality, the ink supply path, each side of the row of the nozzle holes, so as to communicate commonly outward end of the pressure chambers in the same group formed in the れていることを特徴とする、インクジェットプリントヘッド。 It is characterized in that is, an ink jet printhead.
  3. 【請求項3】 上記複数のグループは、Y、M、Cに対応するグループであり、各グループにつき、上記ヘッド基板における上記ノズル孔の列の両側に2箇所のインク供給路が形成されている、請求項2に記載のインクジェットプリントヘッド。 Wherein said plurality of groups, Y, M, is a group corresponding and C, for each group, the ink supply path in two places on each side of the row of the nozzle holes in the head substrate is formed the inkjet printhead of claim 2.
  4. 【請求項4】 上記ヘッド基板の裏面側には、インク供給プレートが配置されており、このインク供給プレートは、裏面側のY、M、C用の各1つのインク供給口から供給されるインクを上記ヘッド基板の各2箇所のインク供給路に分配するものである、請求項3に記載のインクジェットプリントヘッド。 4. A back side of the head substrate, an ink supply plate is disposed, the ink supply plate, ink supplied from the back surface side of the Y, M, each one of the ink supply ports for C the is to distribute the ink supply path of each two positions of the head substrate, printhead of claim 3.
  5. 【請求項5】 インクカートリッジを搭載するメインフレームを備え、このメインフレームにはまた、上記流路プレートおよび上記ヘッド基板を収容するヘッドフレームが取付けられている、請求項4に記載のインクジェットプリントヘッド。 Provided 5. A main frame for mounting the ink cartridge, also in the main frame, the head frame for accommodating the flow path plate and the head substrate is mounted, the ink jet print head according to claim 4 .
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