JPH09274195A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JPH09274195A
JPH09274195A JP8182396A JP8182396A JPH09274195A JP H09274195 A JPH09274195 A JP H09274195A JP 8182396 A JP8182396 A JP 8182396A JP 8182396 A JP8182396 A JP 8182396A JP H09274195 A JPH09274195 A JP H09274195A
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JP
Japan
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liquid crystal
crystal display
display device
metal layer
groove
Prior art date
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Application number
JP8182396A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideki Matsukawa
秀樹 松川
Isao Ota
勲夫 太田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP8182396A priority Critical patent/JPH09274195A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain high-grade display images free from unequal display, to enhance workability and to reduce a cost by embedding a part or the whole of transparent electrodes on at least one substrate of substrates into the thickness direction of the substrates. SOLUTION: This liquid crystal display device is constituted by digging grooves 13 of the line width equal to the line width of the transparent electrodes 3 in the positions to be provided with the transparent electrodes 3 as wiring electrodes on the glass substrate 1 and embedding the transparent electrodes 3 into these grooves 13. The grooves 13 are otherwise so formed that the transparent electrodes 3 are only partly embedded into the positions corresponding to the transparent electrodes 3 disposed as the wiring electrodes on the glass substrate 1. The thin-film materials used for the transparent electrodes 3 are generally transparent ITO having high electric conductivity. A method for forming the thin film by a sputtering method or EB and pattering the film by photolithography is possible as the method for forming the transparent electrodes 3 in the position of the grooves 13. On the other hand, a screen printing method is possible as well. In such a case, the device is suitable for a liquid crystal module for products, such as monitors.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板間に液
晶を挟持してなる液晶パネルに画像を表示する液晶表示
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device for displaying an image on a liquid crystal panel having a liquid crystal sandwiched between glass substrates.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶表示素子は、陰極線管(以
下、CRTと呼ぶ)に比べて、画面サイズや画素数にお
いて劣っているが、その反面、重量や体積において優れ
ており、携帯性を重視した製品分野に位置することがで
きた。現在では、ノート型パソコンやワープロで用いら
れている液晶表示装置として、10〜12インチサイズ
程度で640×480ドット、又は600×800ドッ
トの画素数のものが用意されており、CRTの画素数に
は劣るがディスプレイとして十分優れた表示性能を示す
ことができる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a liquid crystal display device is inferior in screen size and the number of pixels to a cathode ray tube (hereinafter, referred to as CRT), but on the other hand, it is excellent in weight and volume, and thus is portable. I was able to be positioned in a product field that I emphasized. At present, as liquid crystal display devices used in notebook type personal computers and word processors, there are prepared 10 to 12 inch size pixels with 640 x 480 dots or 600 x 800 dots, and the number of CRT pixels. However, the display performance is sufficiently excellent as a display.

【0003】しかし、単純マトリクス型の液晶表示装置
では、液晶パネルや駆動回路の設計によってはクロスト
ークという現象が発生し、表示するパターンの種類によ
ってクロストークの度合いに差が生じる。このクロスト
ークとは、映し出された画像の縦横方向に影が確認され
る状態(シャドウイング)になることであり、これは、
液晶パネルの駆動方法として線順次方式により、ある画
素を点灯するように電圧印加すると、点灯させる画素以
外にも多少の電圧が加わって、正規と違う表示を行うた
めに発生する。また、交流化信号の際にも信号波形の歪
み分が発生し、その電圧分の印加によってもクロストー
クが発生する。さらにまた、液晶材料やセルギャップな
どによって発生する液晶パネルの容量成分や透明電極の
配線抵抗値によっても、その発生が大きく左右される。
However, in the simple matrix type liquid crystal display device, a phenomenon called crosstalk occurs depending on the design of the liquid crystal panel and the drive circuit, and the degree of crosstalk varies depending on the type of pattern to be displayed. This crosstalk is a state in which shadows are confirmed in the horizontal and vertical directions of the projected image (shadowing).
When a voltage is applied so as to turn on a certain pixel by a line-sequential method as a driving method of the liquid crystal panel, a slight voltage is applied to the pixel other than the turned-on pixel, which causes a display different from the normal display. Further, distortion of the signal waveform is generated even in the case of an alternating signal, and crosstalk is also generated by application of the voltage. Furthermore, the generation is greatly influenced by the capacitance component of the liquid crystal panel generated by the liquid crystal material, the cell gap, and the like and the wiring resistance value of the transparent electrode.

【0004】図1は上記のような従来の単純マトリクス
型液晶表示装置におけるカラーSTN液晶表示素子の構
成を示す断面図である。図1において、一方側には、ガ
ラス基板1と、その上に形成された透明電極3とで構成
された基板K1が設けられ、さらに基板K1の上にポリ
イミドなどからなる配向膜4が形成されている。反対側
には、ガラス基板2と、その上に形成されたカラーフィ
ルタ層6と、その上に平滑性を得るために形成された有
機物から成るトップコート層7と、その上に形成された
透明電極8とで構成された基板K2が設けられ、さらに
基板K2の上に配向膜4と同様ポリイミドなどからなる
配向膜9が形成されている。上記のように構成された基
板K1と基板K2とは、スペーサ10を介し、少なくと
も一方の基板の周辺に印刷されたシール樹脂11によ
り、それらのギャップを一定に保つように接着されてお
り、そのギャップ中に液晶12を封入してカラーSTN
液晶表示素子を構成している。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a color STN liquid crystal display element in the conventional simple matrix type liquid crystal display device as described above. In FIG. 1, a substrate K1 including a glass substrate 1 and a transparent electrode 3 formed thereon is provided on one side, and an alignment film 4 made of polyimide or the like is further formed on the substrate K1. ing. On the opposite side, a glass substrate 2, a color filter layer 6 formed thereon, a top coat layer 7 made of an organic substance formed thereon for obtaining smoothness, and a transparent film formed thereon. A substrate K2 including an electrode 8 is provided, and an alignment film 9 made of polyimide or the like is formed on the substrate K2 similarly to the alignment film 4. The substrate K1 and the substrate K2 configured as described above are adhered to each other with the seal resin 11 printed on the periphery of at least one of the substrates via the spacer 10 so as to keep their gaps constant. Color STN with liquid crystal 12 sealed in the gap
It constitutes a liquid crystal display element.

【0005】次に、基板K1および基板K2について説
明する。図8(a)および図8(b)は、それぞれ基板
K1および基板K2の断面図であり、透明電極3、8と
カラーフィルタ層6、トップコート層7とが、図のよう
に形成されている。ここでの透明電極3、8の成膜法と
しては、In−Sn酸化物(ITO)ターゲットによる
スパッタリング成膜技術が最も多く採用されているのが
現状である。実際にITO膜を形成する方法には色々あ
り、従来法、すなわち印刷法によってもITO膜は形成
でき、一定の成果も上がっている。しかし、薄膜の形成
が困難で厚膜しか形成できないことや、細線パターンが
作れないことなどが、この印刷法の欠点として挙げられ
る。また、焼成温度は400〜600℃でガラス基板の
方からの制約もある。
Next, the substrates K1 and K2 will be described. 8A and 8B are cross-sectional views of the substrate K1 and the substrate K2, respectively, in which the transparent electrodes 3 and 8, the color filter layer 6 and the top coat layer 7 are formed as shown in the figure. There is. As a film forming method of the transparent electrodes 3 and 8 here, the sputtering film forming technique using an In—Sn oxide (ITO) target is most often adopted at present. There are various methods for actually forming the ITO film, and the ITO film can be formed by the conventional method, that is, the printing method, and a certain result has been achieved. However, it is difficult to form a thin film, only a thick film can be formed, and a thin line pattern cannot be formed. Further, the firing temperature is 400 to 600 ° C., and there is a restriction from the glass substrate.

【0006】一方、スパッタ法やEB(エレクトロンビ
ーム)法によりITO膜を形成する方法では、その焼成
温度が200〜400℃と低く、ガラス基板1、2への
ダメージがない。電気抵抗値も約2,000Åで10オ
ーム/□程度になり、膜質も密に詰まっているために結
晶粒自体は小さくても電気伝導性が確保される事にな
る。また、大面積のガラス基板に均一な電気特性の膜を
形成するには、装置やターゲットに依存するものの量産
性に優れている。透明電極の配線パターンを作るにはフ
ォトリソグラフィを用いれば、20μmの抜き幅から数
μmまで達成でき、抜き幅が狭いものほど高細精化やパ
ネル透過率を高めることができる。
On the other hand, in the method of forming the ITO film by the sputtering method or the EB (electron beam) method, the baking temperature is as low as 200 to 400 ° C. and the glass substrates 1 and 2 are not damaged. The electric resistance value is about 2,000 Å, which is about 10 ohm / □, and the film quality is closely packed, so that the electric conductivity can be secured even if the crystal grains themselves are small. Further, in order to form a film having uniform electric characteristics on a large-area glass substrate, it depends on a device and a target, but is excellent in mass productivity. If a photolithography is used to form the wiring pattern of the transparent electrode, it is possible to achieve a punching width of 20 μm to several μm, and the narrower the punching width, the higher the fineness and the panel transmittance can be increased.

【0007】このような透明電極を用いた10型カラー
STN(640×480ドット)でユーザーを満足させ
るような製品に仕立てるには、面積抵抗値で7〜10オ
ーム/□が必要とされている。それ以上大きな面積抵抗
値では液晶パネルにクロストークが増大し、液晶パネル
の中のしきい値電圧値で左右の領域で差が生じて輝度傾
斜と呼ぶ現象も発生する。このクロストークは、階調や
文字パターンなどの表示パターンによる縦線、横線の影
(シャドウイング)のことである。
A sheet resistance of 7 to 10 ohms / □ is required to make a product that satisfies users with a 10-inch color STN (640 × 480 dots) using such a transparent electrode. . If the area resistance value is larger than that, crosstalk increases in the liquid crystal panel, and the threshold voltage value in the liquid crystal panel causes a difference between the left and right regions, which causes a phenomenon called luminance inclination. This crosstalk is a shadow of a vertical line or a horizontal line due to a display pattern such as gradation or a character pattern.

【0008】図9は液晶表示素子における液晶モジュー
ル18上に四角形19を表示した時のクロストーク20
の出具合いを示すものである。今後、カラーSTN液晶
表示素子では、12型から17型の画面サイズが考えら
れており、表示容量としてSVGAからXGA,SXG
Aなどに対応できるものがCRT代替モニターとして注
目されている。
FIG. 9 shows a crosstalk 20 when a quadrangle 19 is displayed on a liquid crystal module 18 in a liquid crystal display device.
It shows the appearance of. In the future, in the color STN liquid crystal display element, screen sizes of 12 type to 17 type are considered, and SVGA to XGA, SXG as display capacities.
A monitor compatible with A or the like is receiving attention as a CRT alternative monitor.

【0009】このような傾向に対しても、さらにクロス
トークや輝度傾斜の増大による表示ムラの発生が懸念さ
れており、表示パターンに合わせて補正する電圧印加波
形を考慮した駆動回路の採用や、透明電極の面積抵抗値
を小さくすることなどにより、液晶パネルのC(容量成
分)とR(抵抗成分)を下げることが求められている。
Against such a tendency, there is a concern that display unevenness may occur due to an increase in crosstalk and a luminance gradient. Therefore, a drive circuit that takes into consideration a voltage application waveform to be corrected according to a display pattern is adopted, It is required to reduce C (capacitance component) and R (resistance component) of the liquid crystal panel by reducing the sheet resistance value of the transparent electrode.

【0010】また、表示応答速度の高速化のための液晶
パネルの狭ギャップ化についても、液晶パネルの容量成
分が増大するため、同様にクロストークや輝度傾斜の増
大による表示ムラが発生する。例えば、パネルの応答速
度はギャップの二乗に比例しているので、CRTに近づ
けるために液晶パネルのギャップは狭くする傾向があ
り、ここ最近では、APT駆動のSTNで動画対応をね
らった4〜5μmのギャップが求められており、ここで
も同時に表示ムラが問題となる。
In addition, with respect to the narrowing of the gap of the liquid crystal panel in order to increase the display response speed, the capacitance component of the liquid crystal panel increases, so that crosstalk and display unevenness due to an increase in the luminance gradient similarly occur. For example, since the response speed of the panel is proportional to the square of the gap, the gap of the liquid crystal panel tends to be narrowed in order to bring it closer to the CRT. In recent years, 4 to 5 μm, which is aimed at moving images by the STN of APT drive, is used. The gap is required, and the display unevenness becomes a problem at this time as well.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来の液晶表示装置では、液晶パネルの大面積化、
高細精化、高速化の傾向はSTN、TFTでもあり、今
後もこれらの市場が拡大すると予測される中で、特に、
STNでは、大面積化のために表示面積を大きくしよう
とすると、透明電極の配線が長くなり、そのために配線
抵抗値が大きくなるため、液晶パネルのR成分が不均一
かつ増大し、クロストークや輝度傾斜の現象が現れ表示
ムラが発生するという問題点を有しており、また、高細
精化のために画素密度を増大すると、配線電極の線幅を
細くする必要があり、これによっても配線抵抗値が大き
くなって、同様にクロストークや輝度傾斜が増大し、表
示ムラが発生する傾向になるという問題点を有してい
た。このような表示ムラや均一性の問題はTFTにおい
ても同様に発生する。
However, in the conventional liquid crystal display device as described above, the area of the liquid crystal panel is increased,
The trend toward higher resolution and higher speed is also in STN and TFT, and in particular, while these markets are expected to expand in the future,
In STN, if an attempt is made to increase the display area in order to increase the area, the wiring of the transparent electrode becomes long, which increases the wiring resistance value, so that the R component of the liquid crystal panel becomes nonuniform and increases, and crosstalk and There is a problem in that the phenomenon of luminance inclination appears and display unevenness occurs. Also, when the pixel density is increased for higher resolution, it is necessary to reduce the line width of the wiring electrode. There has been a problem that the wiring resistance value becomes large, the crosstalk and the brightness gradient are also increased, and display unevenness tends to occur. Such display unevenness and uniformity problems also occur in TFTs.

【0012】また、表示応答速度の高速化のために液晶
パネルのギャップを小さくすると、液晶パネルの容量成
分が増大するため、同様に表示ムラが増大するという問
題点を有していた。
Further, if the gap of the liquid crystal panel is reduced in order to increase the display response speed, the capacitance component of the liquid crystal panel increases, which also causes the problem of uneven display.

【0013】本発明は、上記の問題点を解決するもの
で、大画面サイズのモニター装置における画像表示やS
TN型液晶表示装置における動画像表示において、表示
ムラのない高品位な表示画像を得ることができるととも
に、これらの特性が得られる製品の製造作業を簡略化し
てその作業性を向上し、低コスト化を実現することがで
きる液晶表示装置を提供する。
The present invention solves the above-mentioned problems, and displays an image or S in a large screen size monitor device.
In moving image display in a TN type liquid crystal display device, it is possible to obtain a high-quality display image without display unevenness, simplify the manufacturing work of a product that obtains these characteristics, and improve its workability, and reduce the cost. Provided is a liquid crystal display device that can realize the following.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の請求項1に記載の液晶表示装置は、少な
くとも一対の基板間に液晶を挟持して成る液晶表示装置
において、前記基板の少なくとも一方の基板上の透明電
極の一部または全部を基板の厚さ方向に埋め込んだ構成
とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a liquid crystal display device according to claim 1 of the present invention is a liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between at least a pair of substrates. A part or all of the transparent electrode on at least one of the substrates is embedded in the thickness direction of the substrate.

【0015】請求項2に記載の液晶表示装置は、少なく
とも一対の基板間に液晶を挟持して成る液晶表示装置に
おいて、前記基板の少なくとも一方の基板の透明電極を
形成する箇所の一部に溝を形成し、その溝に金属層を埋
め込み、その上に前記金属層と導通するように透明電極
を形成した構成とする。
A liquid crystal display device according to a second aspect is a liquid crystal display device in which a liquid crystal is sandwiched between at least a pair of substrates, and a groove is formed in a part of a portion of the substrate where a transparent electrode is formed. Is formed, a metal layer is embedded in the groove, and a transparent electrode is formed thereon so as to be electrically connected to the metal layer.

【0016】請求項5に記載の液晶表示装置は、少なく
とも一対の基板間に液晶を挟持して成る液晶表示装置に
おいて、前記基板の少なくとも一方の基板の透明電極を
形成する箇所の一部にサンドブラストにより溝を形成
し、その溝に金属層を埋め込み、その上に前記金属層と
導通した透明電極を形成した構成とする。
A liquid crystal display device according to a fifth aspect is a liquid crystal display device in which a liquid crystal is sandwiched between at least a pair of substrates, and sandblasting is performed on a part of a portion of the at least one substrate where a transparent electrode is formed. A groove is formed by, a metal layer is embedded in the groove, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed thereon.

【0017】請求項6に記載の液晶表示装置は、少なく
とも一対の基板間に液晶を挟持して成る液晶表示装置に
おいて、前記基板の少なくとも一方の基板の透明電極を
形成する箇所の一部にエッチングにより溝を形成し、そ
の溝に金属層を埋め込み、その上に前記金属層と導通し
た透明電極を形成した構成とする。
A liquid crystal display device according to a sixth aspect is a liquid crystal display device in which a liquid crystal is sandwiched between at least a pair of substrates, and a part of a portion of at least one of the substrates where a transparent electrode is formed is etched. A groove is formed by, a metal layer is embedded in the groove, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed thereon.

【0018】請求項7に記載の液晶表示装置は、少なく
とも一対の基板間に液晶を挟持して成る液晶表示装置に
おいて、前記基板の少なくとも一方の基板の透明電極を
形成する箇所の一部にダイシングソウにより溝を形成
し、その溝に金属層を埋め込み、その上に前記金属層と
導通した透明電極を形成した構成とする。
A liquid crystal display device according to a seventh aspect is a liquid crystal display device in which a liquid crystal is sandwiched between at least a pair of substrates, and at least one of the substrates is diced at a part of a portion where a transparent electrode is formed. A groove is formed by sawing, a metal layer is embedded in the groove, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed thereon.

【0019】請求項8に記載の液晶表示装置は、少なく
とも一対の基板間に液晶を挟持して成る液晶表示装置に
おいて、前記基板の少なくとも一方の基板の透明電極を
形成する箇所の一部に金属ワイヤーを埋め込み、その上
に前記金属ワイヤーと導通した透明電極を形成した構成
とする。
The liquid crystal display device according to claim 8 is a liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between at least a pair of substrates, and a metal is formed at a portion of a portion of at least one of the substrates where a transparent electrode is formed. A wire is embedded, and a transparent electrode electrically connected to the metal wire is formed on the wire.

【0020】請求項9に記載の液晶表示装置は、少なく
とも一対の基板間に液晶を挟持して成る液晶表示装置に
おいて、前記基板の少なくとも一方の基板の透明電極を
形成する箇所の一部に金属層を形成して、それ以外の箇
所に前記金属層の厚み相当の絶縁層を設け、その上に前
記金属層と導通した透明電極を形成した構成とする。
A liquid crystal display device according to a ninth aspect is a liquid crystal display device in which a liquid crystal is sandwiched between at least a pair of substrates, and at least a part of a portion of the substrate where a transparent electrode is formed is a metal. A layer is formed, an insulating layer having a thickness corresponding to that of the metal layer is provided at other locations, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed thereon.

【0021】上記の構成によると、液晶素子における配
線抵抗値を小さくしてクロストークや輝度傾斜を抑え、
これらに起因する表示ムラを防止するとともに、表示サ
イズの大型化および表示画面の高細精化さらに表示応答
速度の高速化を容易に実現する。
According to the above arrangement, the wiring resistance value in the liquid crystal element is reduced to suppress crosstalk and luminance inclination,
In addition to preventing display unevenness due to these, it is possible to easily realize a large display size, a fine display screen, and a high display response speed.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を示す
液晶表示装置について、図面を参照しながら説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A liquid crystal display device showing an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0023】なお、本実施の形態の液晶表示装置として
も、図1に示す従来例と同様に、単純マトリクス型液晶
表示装置を例に挙げ、そのうちのカラーSTN液晶表示
素子について説明する。この説明にあたって、装置全体
の基本構成も、図1に示す従来例と同様であるものとす
る。
As the liquid crystal display device of the present embodiment, as in the conventional example shown in FIG. 1, a simple matrix type liquid crystal display device will be taken as an example, and the color STN liquid crystal display element will be described. In this explanation, it is assumed that the basic configuration of the entire apparatus is the same as that of the conventional example shown in FIG.

【0024】従って、本実施の形態の液晶表示装置の基
本構成を、図1を用いて以下に説明する。図1におい
て、一方側には、ガラス基板1と、その上に形成された
透明電極3とで構成された基板K1が設けられ、さらに
基板K1の上にポリイミドなどからなる配向膜4が形成
されている。反対側には、ガラス基板2と、その上に形
成されたカラーフィルタ層6と、その上に平滑性を得る
ために形成された有機物から成るトップコート層7と、
その上に形成された透明電極8とで構成された基板K2
が設けられ、さらに基板K2の上に配向膜4と同様ポリ
イミドなどからなる配向膜9が形成されている。上記の
ように構成された基板K1と基板K2とは、スペーサ1
0を介し、少なくとも一方の基板の周辺に印刷されたシ
ール樹脂11により、それらのギャップを一定に保つよ
うに接着されており、そのギャップ中に液晶12を封入
してカラーSTN液晶表示素子を構成している。
Therefore, the basic structure of the liquid crystal display device of this embodiment will be described below with reference to FIG. In FIG. 1, a substrate K1 including a glass substrate 1 and a transparent electrode 3 formed thereon is provided on one side, and an alignment film 4 made of polyimide or the like is further formed on the substrate K1. ing. On the opposite side, a glass substrate 2, a color filter layer 6 formed thereon, and a top coat layer 7 made of an organic substance formed thereon to obtain smoothness,
Substrate K2 composed of transparent electrode 8 formed thereon
Is provided, and an alignment film 9 made of polyimide or the like is formed on the substrate K2 similarly to the alignment film 4. The substrate K1 and the substrate K2 configured as described above are the spacer 1
A sealing resin 11 printed on the periphery of at least one of the substrates so as to maintain a constant gap therebetween, and a liquid crystal 12 is sealed in the gap to form a color STN liquid crystal display element. are doing.

【0025】以上のように、本実施の形態の液晶表示装
置の構成は、基本的には従来のものと同様であるが、基
板K1そのものの構成が従来のものとは異なっている。
従って、ここでは、基板K1についてのみ詳細に説明す
る。
As described above, the structure of the liquid crystal display device of this embodiment is basically the same as the conventional one, but the structure of the substrate K1 itself is different from the conventional one.
Therefore, here, only the substrate K1 will be described in detail.

【0026】第1の実施の形態を示す液晶表示装置にお
ける基板K1について説明する。図2および図3は本実
施の形態における基板K1の断面図である。図2は、ガ
ラス基板1上で配線電極として透明電極3が設けられる
位置に、その透明電極3と同等の線幅の溝13を掘り、
溝13に透明電極3を埋め込んだものである。一方、図
3の場合には、溝13は、ガラス基板1上で配線電極と
して設けられる透明電極3に対応する位置に、その透明
電極3の一部のみが埋め込まれるように、数十から数μ
m程度の幅で形成されている。
The substrate K1 in the liquid crystal display device showing the first embodiment will be described. 2 and 3 are cross-sectional views of the substrate K1 in the present embodiment. In FIG. 2, a groove 13 having a line width equivalent to that of the transparent electrode 3 is dug at a position where the transparent electrode 3 is provided as a wiring electrode on the glass substrate 1.
The transparent electrode 3 is embedded in the groove 13. On the other hand, in the case of FIG. 3, the groove 13 has several tens to several tens of holes so that only a part of the transparent electrode 3 is embedded at a position corresponding to the transparent electrode 3 provided as a wiring electrode on the glass substrate 1. μ
It is formed with a width of about m.

【0027】図2および図3において、透明電極3に用
いられる薄膜材料としては、透明で導電率の高いITO
が一般的である。そして、溝13の位置に透明電極3を
形成する方法としては、従来と同様にスパッタ法やEB
で薄膜形成して、フォトリソグラフィでパターニングす
る方法が可能である。一方、スクリーン印刷法も可能で
あり、このスクリーン印刷法は、ピッチの大きな時にパ
ターニング性を考えると非常に作業性が良好であり、透
過率の問題があるものの、バックライトの光量を増大さ
せてもさしつかえのないモニターなどの製品用の液晶モ
ジュールに適している。
2 and 3, the thin film material used for the transparent electrode 3 is transparent and highly conductive ITO.
Is common. As a method of forming the transparent electrode 3 at the position of the groove 13, a sputtering method or an EB is used as in the conventional method.
It is possible to use a method of forming a thin film with and patterning by photolithography. On the other hand, a screen printing method is also possible. This screen printing method has very good workability in consideration of patterning properties when the pitch is large, and although it has a problem of transmittance, it increases the light amount of the backlight. Suitable for LCD modules for products such as monitors, which can be used for a while.

【0028】第2の実施の形態を示す液晶表示装置にお
ける基板K1について説明する。図4は本実施の形態に
おける基板K1の断面図である。図4において、13は
ガラス基板1上に形成した溝であり、さらに、この溝1
3には金属層14が埋められている。そして、ガラス基
板1上の溝13に対応した位置に透明電極3がパターニ
ングされている。
The substrate K1 in the liquid crystal display device showing the second embodiment will be described. FIG. 4 is a sectional view of the substrate K1 in the present embodiment. In FIG. 4, reference numeral 13 denotes a groove formed on the glass substrate 1, and further, the groove 1
A metal layer 14 is buried in the layer 3. Then, the transparent electrode 3 is patterned at a position corresponding to the groove 13 on the glass substrate 1.

【0029】このように、基板K1が液晶表示装置にお
ける液晶表示素子を構成するものであるために、ガラス
基板1上の溝13は、液晶表示素子の表示容量や画面サ
イズにより、その電極配線に合わせた溝ピッチや溝幅が
求められる。たとえば、10型のVGA(640×48
0ドット)では、溝13の溝ピッチは約0.1mm、溝
幅は数μm〜30μm程度が要求される。そして、今後
製品化される画面サイズや表示容量(ドット数)によっ
ては、溝ピッチや溝幅のさらに狭いものが必要となる。
As described above, since the substrate K1 constitutes a liquid crystal display element in the liquid crystal display device, the groove 13 on the glass substrate 1 is formed in the electrode wiring depending on the display capacity and screen size of the liquid crystal display element. The combined groove pitch and groove width are required. For example, a 10-inch VGA (640 x 48
With 0 dots, the groove pitch of the grooves 13 is required to be about 0.1 mm, and the groove width is required to be about several μm to 30 μm. Further, depending on the screen size and the display capacity (the number of dots) to be commercialized in the future, it is necessary to have a narrower groove pitch or groove width.

【0030】そこで、溝13を形成する方法としてはサ
ンドブラスト、エッチング、ダイシングソウが考えられ
るが、まずはじめに、サンドブラスト法について以下に
説明する。
Therefore, sand blasting, etching, and dicing saw can be considered as the method for forming the groove 13. First, the sand blasting method will be described below.

【0031】図5はサンドブラスト法によるガラス基板
1の製造プロセスを示すのフロー図である。まず、図5
(a)のガラス基板1上に、図5(b)に示すようにレ
ジスト15を塗布して、フォトリソグラフィにより図5
(c)のレジストパターンPを形成する。ガラス基板1
においてレジストパターンPのレジスト15部分に覆わ
れていない部分1aには、サンドブラスト加工の細かい
硬質粒子で一定の条件で掘削すれば、図5(d)に示す
溝13が形成される。その後、ガラス基板1上のレジス
トパターンPを除去すれば、図5(e)に示すように溝
13が形成されたガラス基板1が得られる。
FIG. 5 is a flow chart showing the manufacturing process of the glass substrate 1 by the sandblast method. First, FIG.
As shown in FIG. 5B, a resist 15 is applied on the glass substrate 1 shown in FIG.
A resist pattern P of (c) is formed. Glass substrate 1
In the portion 1a of the resist pattern P which is not covered with the resist 15 portion, the groove 13 shown in FIG. 5D is formed by excavating the hard sand fine particles under a certain condition. Then, if the resist pattern P on the glass substrate 1 is removed, the glass substrate 1 in which the groove 13 was formed as shown in FIG.5 (e) is obtained.

【0032】また、ファインなレジストパターンPを求
める場合には、プラズマディスプレイでよく使われてい
るガラスペーストでできたフィルムをガラス基板1に張
り付けてから、レジスト15を塗布してレジストパター
ンPを形成する方法がある。その後、図5により示した
ものと同様の製造プロセスを施すことができる。この方
法ではフォトマスクを用いるので安定して大面積に微細
パターンを作ることができる。
When a fine resist pattern P is required, a film made of glass paste often used in plasma displays is attached to the glass substrate 1 and then a resist 15 is applied to form the resist pattern P. There is a way to do it. Thereafter, a manufacturing process similar to that shown by FIG. 5 can be performed. Since a photomask is used in this method, a fine pattern can be stably formed in a large area.

【0033】次に、溝13を形成する方法としてエッチ
ング法について説明する。このエッチング法において使
用するエッチングマスクとしては、無機質膜や感光性レ
ジストやその他に、あらかじめフォトリソグラフィによ
りパターニングされた耐HF性のあるクロム膜がある。
Next, an etching method will be described as a method of forming the groove 13. As an etching mask used in this etching method, there is an inorganic film, a photosensitive resist, or a chromium film having HF resistance which is patterned by photolithography in advance.

【0034】これらのマスクパターンは求める溝13の
ピッチや幅に合わせて設計される。そして、ガラス基板
1に対してHF系エッチャントを用いてエッチングを行
う。このとき、レジストとガラス基板1の密着性が十分
でないと、ピンホールの欠陥が起こったり、ガラス基板
1の表面が極薄く溶けて解像度を劣化させる。
These mask patterns are designed according to the desired pitch and width of the grooves 13. Then, the glass substrate 1 is etched using an HF-based etchant. At this time, if the adhesiveness between the resist and the glass substrate 1 is not sufficient, a pinhole defect may occur, or the surface of the glass substrate 1 may be melted extremely thin to deteriorate the resolution.

【0035】その他の溝13を形成する方法であるダイ
シングソウによる方法について説明する。このダイシン
グソウによる方法は、ガラス基板1を機械的な手法で掘
るものであり、ダイシングソウの刃先によって溝幅が決
まる。また、正確な溝ピッチを得るために、精度の良い
機構が構成できる精密パルスモーターなどが使用され
る。
Another method of forming the groove 13 using a dicing saw will be described. In the method using the dicing saw, the glass substrate 1 is dug by a mechanical method, and the groove width is determined by the cutting edge of the dicing saw. Further, in order to obtain an accurate groove pitch, a precision pulse motor or the like that can configure an accurate mechanism is used.

【0036】しかし、カラーフィルター基板やフィルム
基板の場合では、ダイシングソウやサンドブラストで溝
を掘ることは困難であり、これらの基板に対してはエッ
チング方式が最も適している。
However, in the case of a color filter substrate or a film substrate, it is difficult to dig a groove by dicing saw or sandblast, and the etching method is most suitable for these substrates.

【0037】次に、金属層14の形成方法について述べ
る。図3に示すように、透明電極3などの配線電極の一
部だけを溝13に埋め込む場合には、その部分は遮光性
を有していてもよく、配線電極の溝13に埋め込まれた
部分を、図4に示す金属層14で構成することができ
る。この金属層14は、メタルを用いてスパッタ法やE
Bなどにより薄膜形成した後、フォトリソグラフィでパ
ターニングして溝13内に形成する。上記のようにスパ
ッタ法やEBなどにより薄膜形成する以外に、無電解メ
ッキで薄膜を形成することもでき、このようにして薄膜
を形成した後、その薄膜に対してフォトリソグラフィで
パターン化し金属層14を形成してもよい。このように
金属層14を無電解メッキによる薄膜から形成する場合
には、その金属層14として数μmの膜厚のものでも形
成可能となる。金属層14の形成方法として上記の他に
印刷法も考えられる。
Next, a method of forming the metal layer 14 will be described. As shown in FIG. 3, when only a part of the wiring electrode such as the transparent electrode 3 is embedded in the groove 13, that part may have a light-shielding property, and the part embedded in the groove 13 of the wiring electrode Can be composed of the metal layer 14 shown in FIG. This metal layer 14 is formed by using a metal by sputtering or E
After forming a thin film with B or the like, patterning is performed by photolithography to form in the groove 13. Besides forming the thin film by the sputtering method or EB as described above, the thin film can be formed by electroless plating. After the thin film is formed in this way, the thin film is patterned by photolithography to form a metal layer. 14 may be formed. When the metal layer 14 is formed of a thin film by electroless plating as described above, the metal layer 14 having a thickness of several μm can be formed. As a method of forming the metal layer 14, a printing method may be considered in addition to the above.

【0038】以上の各方法により形成した金属層14の
上に透明電極3を設けて、これら金属層14と透明電極
3との間は電気的導通をとる。この際に、溝13の深さ
に対して金属層14の方が厚い場合、研磨工程を通して
導通が取れるように平坦化しなければならない。
The transparent electrode 3 is provided on the metal layer 14 formed by each of the above methods, and electrical conduction is established between the metal layer 14 and the transparent electrode 3. At this time, if the metal layer 14 is thicker than the depth of the groove 13, the metal layer 14 must be planarized so that conduction can be obtained through the polishing process.

【0039】第3の実施の形態を示す液晶表示装置にお
ける基板K1について説明する。図6は本実施の形態に
おける基板K1の断面図であり、図4に示す金属層14
の代わりに金属ワイヤー16をガラス基板1中に埋め込
んで構成されている。この基板K1では、図6に示すよ
うに、金属ワイヤー16を透明電極3などの配線電極の
一部に位置するように設ける。金属ワイヤー16の材質
としてはTi、Cr、Auなどが適している。
The substrate K1 in the liquid crystal display device showing the third embodiment will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view of the substrate K1 according to the present embodiment, and the metal layer 14 shown in FIG.
Instead of, the metal wire 16 is embedded in the glass substrate 1. In this substrate K1, as shown in FIG. 6, the metal wire 16 is provided so as to be located at a part of the wiring electrode such as the transparent electrode 3. As the material of the metal wire 16, Ti, Cr, Au or the like is suitable.

【0040】以上のように構成される基板K1の形成方
法について以下に説明する。まず、上記で述べたような
サンドブラスト、エッチング、ダイシングソウによる方
法で、ガラス基板1に金属ワイヤー16の線径と相当幅
の溝を掘り、この溝に金属ワイヤー16を埋め込む。金
属ワイヤー16の埋め込んだ後の固定方法としては、金
属ワイヤー16に機械的に圧力を加えて埋め込むか、又
は、金属ワイヤー16と溝との隙間にガラスペーストや
アクリル系の透明な接着性樹脂などを充填し硬化させて
金属ワイヤー16を固定する。金属ワイヤー16は、そ
の一弧を、図6に示すように、ガラス基板1の表面上に
位置させて、その上の配線電極となる透明電極3と電気
的導通が得られるように形成される。
A method of forming the substrate K1 having the above structure will be described below. First, a groove having a wire diameter and a corresponding width of the metal wire 16 is dug in the glass substrate 1 by the method using sandblasting, etching, and dicing saw as described above, and the metal wire 16 is embedded in this groove. As a fixing method after embedding the metal wire 16, mechanical pressure is applied to the metal wire 16 to embed it, or a glass paste, an acrylic transparent adhesive resin, or the like in the gap between the metal wire 16 and the groove. Is filled and cured to fix the metal wire 16. The metal wire 16 is formed so that one arc thereof is located on the surface of the glass substrate 1 as shown in FIG. 6 so as to be electrically connected to the transparent electrode 3 serving as a wiring electrode thereon. .

【0041】また、ガラス基板1を製造する際に金属ワ
イヤー16を埋め込んでしまうことも可能であるが、従
来のガラス基板の製造方式のコルバンやフュージョンで
はインラインなので金属ワイヤーを用いた生産は困難で
ある。
Although it is possible to embed the metal wire 16 when manufacturing the glass substrate 1, it is difficult to produce the metal wire 16 because it is in-line in the conventional glass substrate manufacturing method such as corban and fusion. is there.

【0042】第4の実施の形態を示す液晶表示装置にお
ける基板K1について説明する。図7は本実施の形態に
おける基板K1の断面図であり、ガラス基板1上に金属
層14および平滑層17を形成した上に、配線電極であ
る透明電極3を形成して構成されている。
The substrate K1 in the liquid crystal display device showing the fourth embodiment will be described. FIG. 7 is a cross-sectional view of the substrate K1 in the present embodiment, which is formed by forming the metal layer 14 and the smoothing layer 17 on the glass substrate 1 and then forming the transparent electrode 3 which is a wiring electrode.

【0043】以上のように構成される基板K1の形成方
法について以下に説明する。まず、ガラス基板1の上に
金属層14を形成する。この形成方法としては、スクリ
ーン印刷法でパターニングしたり、スパッタ法やEBに
よる薄膜や無電解メッキによる膜を形成してフォトリソ
グラフィでパターニングする方法がある。また、金属層
14の形成位置は透明電極3などの配線電極の形成位置
でその一部に対応する箇所とし、金属層14の幅は数μ
m〜数十μmが適当である。この場合、ガラス基板1の
上の金属層14は突起状態であり、金属層14の厚み分
を埋めるように、平滑層17を設ける。平滑層17の材
料としては、熱硬化型や紫外線硬化型のアクリル系樹脂
が用いられ、この樹脂をスピンコートやロールコートで
塗布する場合は、コート後研磨工程により金属層14の
表面上の樹脂を削り落とすか、またはフォトリソグラフ
ィでパターン化するとよい。
A method of forming the substrate K1 having the above structure will be described below. First, the metal layer 14 is formed on the glass substrate 1. As a forming method, there is a method of patterning by a screen printing method, or a method of forming a thin film by sputtering or EB or a film by electroless plating and then patterning by photolithography. Further, the formation position of the metal layer 14 is a position corresponding to a part of the formation position of the wiring electrode such as the transparent electrode 3, and the width of the metal layer 14 is several μm.
m to several tens of μm is suitable. In this case, the metal layer 14 on the glass substrate 1 is in a protruding state, and the smoothing layer 17 is provided so as to fill the thickness of the metal layer 14. As the material of the smooth layer 17, a thermosetting or ultraviolet curing acrylic resin is used. When this resin is applied by spin coating or roll coating, the resin on the surface of the metal layer 14 is subjected to a polishing step after coating. May be scraped off or patterned by photolithography.

【0044】その他の塗布方法には、平滑層17用の樹
脂をスクリーン印刷で金属層14以外の部分に埋める方
法があり、この塗布の後表面性が良くない場合は研磨工
程を通すことが望ましい。以上のような工程の後に、さ
らに、金属層14と電気的導通を取るように透明電極3
を形成する。
As another coating method, there is a method of burying the resin for the smooth layer 17 in a portion other than the metal layer 14 by screen printing, and if the surface property is not good after this coating, it is desirable to pass through a polishing step. . After the above steps, the transparent electrode 3 is further provided so as to be electrically connected to the metal layer 14.
To form

【0045】ここでは、基板としてガラス基板1を用い
た場合を説明したが、カラーフィルタやフィルムなどを
用いた場合についても、同様に実施できる。上記の各構
成により、液晶素子における配線抵抗値を小さくしてク
ロストークや輝度傾斜を抑え、これらに起因する表示ム
ラを防止するとともに、表示サイズの大型化および表示
画面の高細精化さらに表示応答速度の高速化を容易に実
現することができる。
Although the case where the glass substrate 1 is used as the substrate has been described here, the same can be applied to the case where a color filter or a film is used. With each of the above configurations, the wiring resistance value in the liquid crystal element is reduced to suppress crosstalk and luminance inclination, and display unevenness due to these is prevented, and the display size is increased and the display screen is highly refined. Higher response speed can be easily realized.

【0046】そのため、大画面サイズのモニター装置に
おける画像表示やSTN型液晶表示装置における動画像
表示において、表示ムラのない高品位な表示画像を得る
ことができるとともに、これらの特性が得られる製品の
製造作業を簡略化してその作業性を向上し、低コスト化
を実現することができる。
Therefore, in the image display on the monitor device having a large screen size and the moving image display on the STN type liquid crystal display device, it is possible to obtain a high-quality display image without display unevenness and to obtain a product having these characteristics. The manufacturing work can be simplified, the workability can be improved, and the cost can be reduced.

【0047】なお、上記の各実施の形態の説明では、対
をなす基板K1と基板K2との間に液晶を挟持してなる
液晶素子を一組だけ備えた液晶表示装置を例に挙げて説
明したが、この液晶素子を複数組備えた液晶表示装置に
おいても、各液晶素子を上記の各実施の形態と同様の構
成にすることにより、同様の効果を得ることができる。
In the description of each of the above-described embodiments, a liquid crystal display device having only one set of liquid crystal elements in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates K1 and K2 will be described as an example. However, also in a liquid crystal display device including a plurality of sets of this liquid crystal element, the same effect can be obtained by configuring each liquid crystal element with the same configuration as in each of the above embodiments.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、液晶素子
における配線抵抗値を小さくしてクロストークや輝度傾
斜を抑え、これらに起因する表示ムラを防止するととも
に、表示サイズの大型化および表示画面の高細精化さら
に表示応答速度の高速化を容易に実現することができ
る。
As described above, according to the present invention, the wiring resistance value in the liquid crystal element is reduced to suppress the crosstalk and the luminance gradient, and display unevenness due to these is prevented, and the display size is increased and It is possible to easily realize a finer display screen and a higher display response speed.

【0049】そのため、大画面サイズのモニター装置に
おける画像表示やSTN型液晶表示装置における動画像
表示において、表示ムラのない高品位な表示画像を得る
ことができるとともに、これらの特性が得られる製品の
製造作業を簡略化してその作業性を向上し、低コスト化
を実現することができる。
Therefore, in the image display on the monitor device having a large screen size and the moving image display on the STN type liquid crystal display device, it is possible to obtain a high-quality display image without display unevenness and to obtain a product having these characteristics. The manufacturing work can be simplified, the workability can be improved, and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】一般的なカラーSTN液晶表示素子の構成を示
す断面図
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a general color STN liquid crystal display device.

【図2】本発明の第1の実施の形態における基板K1の
構成を示す断面図
FIG. 2 is a sectional view showing a configuration of a substrate K1 according to the first embodiment of the present invention.

【図3】同実施の形態における基板K1の別の構成を示
す断面図
FIG. 3 is a cross-sectional view showing another configuration of the substrate K1 in the same embodiment.

【図4】本発明の第2の実施の形態における基板K1の
構成を示す断面図
FIG. 4 is a sectional view showing a configuration of a substrate K1 according to a second embodiment of the present invention.

【図5】同実施の形態における基板K1の製造プロセス
を示すフロー図
FIG. 5 is a flowchart showing a manufacturing process of the substrate K1 in the same embodiment.

【図6】本発明の第3の実施の形態における基板K1の
構成を示す断面図
FIG. 6 is a sectional view showing the structure of a substrate K1 according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4の実施の形態における基板K1の
構成を示す断面図
FIG. 7 is a sectional view showing the structure of a substrate K1 according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】従来の液晶表示素子における各基板K1,K2
の構成を示す断面図
FIG. 8: Substrates K1 and K2 in a conventional liquid crystal display device
Sectional view showing the structure of

【図9】同従来例における液晶モジュールのクロストー
クの説明図
FIG. 9 is an explanatory diagram of crosstalk of the liquid crystal module in the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 透明電極 13 溝 14 金属層 15 レジスト 16 金属ワイヤー 17 平滑層 3 Transparent Electrode 13 Groove 14 Metal Layer 15 Resist 16 Metal Wire 17 Smooth Layer

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも一対の基板間に液晶を挟持し
て成る液晶表示装置において、前記基板の少なくとも一
方の基板上の透明電極の一部または全部を基板の厚さ方
向に埋め込んだことを特徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal sandwiched between at least a pair of substrates, wherein a part or all of transparent electrodes on at least one of the substrates is embedded in a thickness direction of the substrate. Liquid crystal display device.
【請求項2】 少なくとも一対の基板間に液晶を挟持し
て成る液晶表示装置において、前記基板の少なくとも一
方の基板の透明電極を形成する箇所の一部に溝を形成
し、その溝に金属層を埋め込み、その上に前記金属層と
導通するように透明電極を形成したことを特徴とする液
晶表示装置。
2. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal sandwiched between at least a pair of substrates, wherein a groove is formed at a portion of at least one substrate where a transparent electrode is formed, and the metal layer is formed in the groove. And a transparent electrode is formed thereon so as to be electrically connected to the metal layer.
【請求項3】 溝に埋め込まれる金属層を無電解メッキ
により形成した請求項2に記載の液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the metal layer embedded in the groove is formed by electroless plating.
【請求項4】 記溝に埋め込まれる金属層を印刷法によ
り形成した請求項2に記載の液晶表示装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the metal layer embedded in the groove is formed by a printing method.
【請求項5】 少なくとも一対の基板間に液晶を挟持し
て成る液晶表示装置において、前記基板の少なくとも一
方の基板の透明電極を形成する箇所の一部にサンドブラ
ストにより溝を形成し、その溝に金属層を埋め込み、そ
の上に前記金属層と導通した透明電極を形成したことを
特徴とする液晶表示装置。
5. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal sandwiched between at least a pair of substrates, wherein a groove is formed by sandblasting in a part of a portion of at least one of the substrates where a transparent electrode is formed, and the groove is formed in the groove. A liquid crystal display device, wherein a metal layer is embedded, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed on the metal layer.
【請求項6】 少なくとも一対の基板間に液晶を挟持し
て成る液晶表示装置において、前記基板の少なくとも一
方の基板の透明電極を形成する箇所の一部にエッチング
により溝を形成し、その溝に金属層を埋め込み、その上
に前記金属層と導通した透明電極を形成したことを特徴
とする液晶表示装置。
6. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal sandwiched between at least a pair of substrates, wherein a groove is formed by etching at a portion of a portion of at least one of the substrates where a transparent electrode is formed, and the groove is formed in the groove. A liquid crystal display device, wherein a metal layer is embedded, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed on the metal layer.
【請求項7】 少なくとも一対の基板間に液晶を挟持し
て成る液晶表示装置において、前記基板の少なくとも一
方の基板の透明電極を形成する箇所の一部にダイシング
ソウにより溝を形成し、その溝に金属層を埋め込み、そ
の上に前記金属層と導通した透明電極を形成したことを
特徴とする液晶表示装置。
7. A liquid crystal display device comprising liquid crystal sandwiched between at least a pair of substrates, wherein a groove is formed by dicing saw at a part of a portion of at least one substrate where a transparent electrode is formed, and the groove is formed. A liquid crystal display device, wherein a metal layer is embedded in the transparent layer, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed thereon.
【請求項8】 少なくとも一対の基板間に液晶を挟持し
て成る液晶表示装置において、前記基板の少なくとも一
方の基板の透明電極を形成する箇所の一部に金属ワイヤ
ーを埋め込み、その上に前記金属ワイヤーと導通した透
明電極を形成したことを特徴とする液晶表示装置。
8. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal sandwiched between at least a pair of substrates, wherein a metal wire is embedded in a portion of a portion of at least one of the substrates where a transparent electrode is formed, and the metal wire is formed thereon. A liquid crystal display device, characterized in that a transparent electrode is formed which is electrically connected to a wire.
【請求項9】 少なくとも一対の基板間に液晶を挟持し
て成る液晶表示装置において、前記基板の少なくとも一
方の基板の透明電極を形成する箇所の一部に金属層を形
成して、それ以外の箇所に前記金属層の厚み相当の絶縁
層を設け、その上に前記金属層と導通した透明電極を形
成したことを特徴とする液晶表示装置。
9. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal sandwiched between at least a pair of substrates, wherein a metal layer is formed on a part of a portion of at least one of the substrates where a transparent electrode is formed, and other than that. A liquid crystal display device, wherein an insulating layer having a thickness corresponding to that of the metal layer is provided at a position, and a transparent electrode electrically connected to the metal layer is formed thereon.
【請求項10】 前記金属層を無電解メッキ法により形
成した請求項9に記載の液晶表示装置。
10. The liquid crystal display device according to claim 9, wherein the metal layer is formed by an electroless plating method.
【請求項11】 前記金属層を印刷法により形成した請
求項9に記載の液晶表示装置。
11. The liquid crystal display device according to claim 9, wherein the metal layer is formed by a printing method.
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