JPH09251849A - Mass spectrometer - Google Patents
Mass spectrometerInfo
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- JPH09251849A JPH09251849A JP8058949A JP5894996A JPH09251849A JP H09251849 A JPH09251849 A JP H09251849A JP 8058949 A JP8058949 A JP 8058949A JP 5894996 A JP5894996 A JP 5894996A JP H09251849 A JPH09251849 A JP H09251849A
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- mass
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、比較的高い圧力の
もとで生成したイオンを真空室内へ導入して質量分析す
るようにした質量分析装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mass spectrometer in which ions generated under a relatively high pressure are introduced into a vacuum chamber for mass analysis.
【0002】[0002]
【従来の技術】質量分析装置の内部は真空排気され、1
0-5Torr程度あるいはそれ以下の圧力に維持されてい
る。一方、大気圧あるいはそれに近い圧力の質量分析で
イオンを生成する大気圧イオン源が存在する。この大気
圧イオン源を質量分析装置と組み合わせる場合、小さな
導入穴を備えたサンプリングコーン及びスキマーコーン
を介して、大気圧で生成されたイオンを圧力差を維持し
つつ高真空の質量分析装置に導入することが行われてい
る。2. Description of the Related Art The interior of a mass spectrometer is evacuated to 1
It is maintained at 0 -5 Torr about or less pressure. On the other hand, there are atmospheric pressure ion sources that generate ions by mass spectrometry at or near atmospheric pressure. When this atmospheric pressure ion source is combined with a mass spectrometer, the ions generated at atmospheric pressure are introduced into a high-vacuum mass spectrometer through a sampling cone and skimmer cone with small inlet holes while maintaining a pressure difference. Is being done.
【0003】また、サンプリングコーン及びスキマーコ
ーンを介して真空中へ導入されたイオンを質量分析系へ
輸送する際のイオンのロスを防ぐため、例えば高周波電
圧を印加した4本の棒状電極から構成されるイオン輸送
用レンズを設置することが行われている。Further, in order to prevent the loss of ions when the ions introduced into the vacuum through the sampling cone and the skimmer cone are transported to the mass spectrometry system, for example, it is composed of four rod-shaped electrodes to which a high frequency voltage is applied. A lens for ion transport is installed.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このイオン
輸送用レンズを備えた質量分析装置においても避けられ
なかった、イオン輸送用レンズに到達するまでのイオン
のロスを防止することにより、高い感度が得られる質量
分析装置を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is highly effective in preventing the loss of ions until reaching the lens for ion transport, which is inevitable even in the mass spectrometer equipped with the lens for ion transport. An object is to provide a mass spectrometer that can obtain sensitivity.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の質量分析装置は、大気圧イオン源と、該大
気圧イオン源で生成されたイオンを真空室内へ導入する
ための穴を備えた導入手段と、真空室内へ導入されたイ
オンを質量分析するための質量分析器と、質量分析器と
導入手段との間に配置されるイオン輸送用レンズと、前
記導入手段と前記イオン輸送用レンズとの間のイオン通
路に配置され、イオンをその内部を通して前記導入手段
から前記イオン輸送用レンズへ導くイオン輸送管を備え
た事を特徴としている。To achieve this object, the mass spectrometer of the present invention comprises an atmospheric pressure ion source and a hole for introducing ions generated by the atmospheric pressure ion source into a vacuum chamber. Introducing means provided, a mass analyzer for mass-analyzing the ions introduced into the vacuum chamber, an ion transport lens arranged between the mass analyzer and the introducing means, the introducing means and the ion transporting It is characterized in that it has an ion transport tube which is arranged in an ion passage between the lens for use and an ion, and which guides ions through the inside from the introducing means to the ion transport lens.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を詳説する。図1は、本発明を実施した質量分
析装置の一例を示す図である。図1において、大気圧イ
オン源1は例えばエレクトロスプレイイオン化の原理に
より大気圧のもとでイオンIを生成する。生成されたイ
オンは、サンプリングコーン2及びスキマーコーン3に
開けられた導入穴を介して真空排気された領域へ導入さ
れ、四重極型あるいは磁場型の質量分析系4に導入され
て質量分析される。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an example of a mass spectrometer according to the present invention. In FIG. 1, an atmospheric pressure ion source 1 produces ions I under atmospheric pressure by the principle of electrospray ionization, for example. The generated ions are introduced into the vacuum-exhausted region through the introduction holes formed in the sampling cone 2 and the skimmer cone 3, and are introduced into the quadrupole type or magnetic field type mass analysis system 4 for mass analysis. It
【0007】イオンが通過する各領域は、例えば、サン
プリングコーン2とスキマーコーン3の間の領域Aで1
Torr程度、スキマーコーン3と質量分析系4との間の領
域Bで10-3Torr程度、質量分析系4のある領域Cで1
0-6Torr程度にそれぞれ維持されるよう、適宜な真空ポ
ンプにより真空排気されている。Each region through which the ions pass is, for example, 1 in the region A between the sampling cone 2 and the skimmer cone 3.
Torr, about 10 −3 Torr in region B between skimmer cone 3 and mass spectrometer 4, 1 in region C with mass spectrometer 4
It is evacuated by an appropriate vacuum pump so as to be maintained at about 0 -6 Torr.
【0008】スキマーコーン3と質量分析系4の間の領
域Bには、イオンの拡散による損失を防止するため、イ
オン輸送用レンズ5が配置されている。レンズ5は、イ
オン通路に平行で且つイオン通路を囲む様に90°間隔
で配置された4本の棒状電極から構成され、各電極に高
周波電圧が印加されている。In a region B between the skimmer cone 3 and the mass analysis system 4, an ion transport lens 5 is arranged in order to prevent a loss due to diffusion of ions. The lens 5 is composed of four rod-shaped electrodes arranged parallel to the ion passage and at 90 ° intervals so as to surround the ion passage, and a high frequency voltage is applied to each electrode.
【0009】そして、スキマーコーン3のレンズ5側に
は、図2に示すように、導入穴と連通するように例えば
ステンレス製のパイプ6が例えば溶接などにより取り付
けられている。このパイプ6の他端は、レンズ5の内部
まで届いている。On the lens 5 side of the skimmer cone 3, as shown in FIG. 2, a pipe 6 made of, for example, stainless steel is attached by, for example, welding so as to communicate with the introduction hole. The other end of the pipe 6 reaches the inside of the lens 5.
【0010】上述した構成において、イオン源1で生成
され、サンプリングコーン2及びスキマーコーン3を介
して領域Bに導入されたイオンは、パイプ6の内部を通
ってレンズ5へ到達するため、このパイプが設けられて
いなかった従来に比べ、スキマーコーン3とレンズ5の
間を通る際の損失を極めて少なくし得る。従って、質量
分析を高感度で行うことが可能となった。In the above-mentioned structure, the ions generated by the ion source 1 and introduced into the region B through the sampling cone 2 and the skimmer cone 3 reach the lens 5 through the inside of the pipe 6, and therefore this pipe is used. The loss when passing between the skimmer cone 3 and the lens 5 can be made extremely small as compared with the conventional case in which the lens is not provided. Therefore, it became possible to perform mass spectrometry with high sensitivity.
【0011】なお、上述した実施の形態ではパイプをス
キマーコーン3に直接取り付けるようにしたが、必ずし
もその必要はない。例えば、別の保持手段を用いること
により、スキマーコーン3とは離して配置することがで
きる。パイプとスキマーコーンとの距離は10mm以内が
好ましく、更に好ましくは、5mm以内に設定することが
隙間からのイオン及びガス分子の漏洩を防ぐ意味で好ま
しい。この様にパイプをスキマーコーンから離す場合、
パイプに適宜な電圧を印加することにより、イオンの通
過効率を更に高めることが可能である。Although the pipe is directly attached to the skimmer cone 3 in the above-mentioned embodiment, it is not always necessary. For example, by using another holding means, it can be arranged apart from the skimmer cone 3. The distance between the pipe and the skimmer cone is preferably within 10 mm, and more preferably within 5 mm in order to prevent leakage of ions and gas molecules from the gap. When separating the pipe from the skimmer cone like this,
By applying an appropriate voltage to the pipe, it is possible to further increase the ion passing efficiency.
【0012】また、上述した実施の形態ではパイプ先端
をレンズ内部へ挿入するようにしたが、レンズの入り口
近傍まで先端が到達していれば、必ずしも内部まで先端
が届いていなくても良い。In the above embodiment, the tip of the pipe is inserted into the inside of the lens. However, if the tip reaches near the entrance of the lens, the tip does not necessarily reach inside.
【0013】さらに、上述した実施の形態では4本の電
極から構成されるイオン輸送用レンズを用いたが、更に
電極の数の多いイオン輸送用レンズを用いても良い。Furthermore, in the above-described embodiment, the ion transport lens composed of four electrodes is used, but an ion transport lens having a larger number of electrodes may be used.
【0014】[0014]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明では、イオ
ン源からのイオンを真空室内へ導入するための導入手段
とイオン輸送用レンズとの間のイオン通路に、イオンを
その内部を通して前記導入手段から前記イオン輸送用レ
ンズへ導くイオン輸送管を設けたため、イオンの拡散に
よる損失を防ぐことができ、感度の高い質量分析装置を
実現することができる。As described in detail above, according to the present invention, the ions are passed through the inside of the ion passage between the introducing means for introducing the ions from the ion source into the vacuum chamber and the ion transport lens. Since the ion transport tube leading from the introducing means to the lens for ion transport is provided, it is possible to prevent the loss due to the diffusion of the ions and realize the mass spectrometer with high sensitivity.
【図1】 本発明を実施した質量分析装置の一例を示す
図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of a mass spectrometer according to the present invention.
【図2】 図1の装置におけるパイプ部分の構造を示す
拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view showing a structure of a pipe portion in the apparatus of FIG.
1:大気圧イオン源 2:サンプリングコーン
3:スキマーコーン 4:質量分析系 5:レンズ 6:パイプ1: Atmospheric pressure ion source 2: Sampling cone
3: Skimmer cone 4: Mass spectrometric system 5: Lens 6: Pipe
Claims (2)
オンを真空室内へ導入するための穴を備えた導入手段
と、真空室内へ導入されたイオンを質量分析するための
質量分析器と、質量分析器と導入手段との間に配置され
るイオン輸送用レンズと、前記導入手段と前記イオン輸
送用レンズとの間のイオン通路に配置され、イオンをそ
の内部を通して前記導入手段から前記イオン輸送用レン
ズへ導くイオン輸送管を備えたことを特徴とする質量分
析装置。1. An ion source, an introduction means having a hole for introducing ions generated by the ion source into the vacuum chamber, and a mass analyzer for mass-analyzing the ions introduced into the vacuum chamber. An ion transport lens disposed between the mass spectrometer and the introduction means, and an ion passage disposed between the introduction means and the ion transport lens, through which ions pass from the introduction means to the ions. A mass spectrometer comprising an ion transport tube leading to a transport lens.
段の導入穴に接続するように導入手段に取り付けられ、
他端が前記イオン輸送用レンズ内へ挿入されている請求
項1記載の質量分析装置。2. One end of the ion transport pipe is attached to the introducing means so as to be connected to an introducing hole of the introducing means,
The mass spectrometer according to claim 1, wherein the other end is inserted into the lens for ion transport.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8058949A JPH09251849A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8058949A JPH09251849A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Mass spectrometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09251849A true JPH09251849A (en) | 1997-09-22 |
Family
ID=13099090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8058949A Withdrawn JPH09251849A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Mass spectrometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09251849A (en) |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP8058949A patent/JPH09251849A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |