JPH09245628A - Manufacture of plasma display panel and device therefor - Google Patents

Manufacture of plasma display panel and device therefor

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JPH09245628A
JPH09245628A JP5713096A JP5713096A JPH09245628A JP H09245628 A JPH09245628 A JP H09245628A JP 5713096 A JP5713096 A JP 5713096A JP 5713096 A JP5713096 A JP 5713096A JP H09245628 A JPH09245628 A JP H09245628A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
material layer
transparent sheet
transparent
plasma display
Prior art date
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Pending
Application number
JP5713096A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Tsuchida
謙一 土田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Diavac Ltd
Original Assignee
Diavac Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Diavac Ltd filed Critical Diavac Ltd
Priority to JP5713096A priority Critical patent/JPH09245628A/en
Publication of JPH09245628A publication Critical patent/JPH09245628A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a plasma display panel with high accuracy and at low cost by forming a material layer by application of a raw photo-curing material to the surface of a flexible sheet, forming a component element such as a barrier by selective exposure of the material layer while holding the layer in close contact with a glass substrate, and removing the uncured material thereafter. SOLUTION: A material, obtained by blending a component-element forming material into a photo-curing resin, is applied to the top of a transparent seatbelt 11 for formation of a material layer P, and the curved position of the transparent seatbelt 11 is moved so that the material layer P is put into close contact with a glass substrate G which a worktable 25 positions and holds on its lower surface, after which the material layer P is exposed via a mask 31 to form a component element. Thereafter, the curved position is moved in the opposite direction so that the transparent seatbelt 11, together with the uncured material layer P, is peeled form the component element supported on the glass substrate G.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの作製方法およびその作製装置に関し、詳し
くは、ガラス基板上に障壁や蛍光体等の構成要素を高精
度に、かつ、安価に作製することの可能なものに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel and an apparatus for manufacturing the same, and more specifically, to manufacture components such as barriers and phosphors on a glass substrate with high accuracy and at low cost. About what is possible.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、ディスプレイの薄型化が進められ
ており、大型のものもプラズマディスプレイにより実用
化されつつある。このプラズマディスプレイは、前面ガ
ラス基板と背面ガラス基板との間に3原色毎に区画した
セルを並設し、そのセル毎の内部に電極および蛍光体等
を印刷すると共に希ガスを充填して蛍光灯と同様な放電
現象により発光させるようになっている。
2. Description of the Related Art In recent years, displays have been made thinner, and large ones are being put to practical use by plasma displays. In this plasma display, cells divided into three primary colors are arranged side by side between a front glass substrate and a back glass substrate, electrodes and phosphors are printed inside each cell, and a rare gas is filled in to fluoresce. It is designed to emit light by the same discharge phenomenon as a lamp.

【0003】このプラズマディスプレイパネルは、3原
色のセルを例えば、1.0mm×0.3mm程度の大き
さの中に作製しており、セル毎には障壁によって区画し
その中に3原色の蛍光体等を形成している。これら障壁
や蛍光体等のプラズマディスプレイパネルの構成要素の
作製方法としては、スクリーン印刷法やサンドブラスト
法などが検討されている。
In this plasma display panel, cells of three primary colors are produced in a size of, for example, about 1.0 mm × 0.3 mm, each cell is divided by a barrier, and fluorescence of the three primary colors is contained therein. It forms the body etc. A screen printing method, a sand blast method, and the like have been studied as a method of manufacturing the constituent elements of the plasma display panel such as the barrier and the phosphor.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プラズ
マディスプレイパネルは大面積のガラス基板にセルを細
密に精度よく並設しなければならず、障壁や蛍光体等の
構成要素の形成にはかなりの精度が要求され、さらに障
壁においては、100μm〜200μm程度の高さに形
成する必要がある。このため、スクリーン印刷法などで
は要求される精度で構成要素を作製するのが困難であっ
た。
However, in the plasma display panel, the cells must be arranged side by side on a large-area glass substrate with high precision, and the precision of forming the components such as barriers and phosphors is considerably high. Is required, and it is necessary to form the barrier to a height of about 100 μm to 200 μm. For this reason, it has been difficult to manufacture the constituent elements with the required accuracy by the screen printing method or the like.

【0005】具体的には、スクリーン印刷法にあって
は、スクリーンのメッシュを介してペースト状の材料を
押し出し厚膜を印刷するが、この印刷時にはスクリーン
が変形するため、大面積を高精度に印刷するのは困難で
ある。また、細密なパターンを作製する際には1回の印
刷により形成可能な厚さが薄くなるため、印刷回数が多
くなってパターンずれが発生したり、誤差の積算により
精度が低下する。また、気泡によるピンホールが発生し
易いという問題もある。
Specifically, in the screen printing method, a paste-like material is extruded through a mesh of the screen to print a thick film, but the screen is deformed at the time of printing, so that a large area can be accurately formed. Difficult to print. Further, when forming a fine pattern, the thickness that can be formed by one printing becomes thin, so that the number of times of printing increases and the pattern shift occurs, or the accuracy decreases due to error integration. There is also a problem that pinholes due to bubbles are likely to occur.

【0006】また、サンドブラスト法にあっては、障壁
の高さに相当する厚膜を形成しその表面にフォトプロセ
スによりレジストを形成した後に、研磨材を吹き付けそ
のレジスト以外の部分を除去するが、薄い障壁を作製す
ることが困難であると共に時間が掛かるという問題があ
る。なお、他にも障壁を作製する方法としては、感光性
材料(シート)などにより厚膜を形成した後に、フォト
プロセスにより障壁に相当する部分を除去して空間を形
成し、その空間に材料を埋め込み再度感光性材料を除去
することにより障壁を形成する方法(埋め込み法)や、
フォトプロセスにより障壁に相当する部分の感光性材料
自体を硬化させその部分以外の感光性材料を除去するこ
とにより障壁を形成する方法も検討されている。しか
し、厚膜を感光性材料のシートにより形成する場合には
そのシートが高価であり、またフォトプロセス工程と別
個に不要な部分を除去する工程が必要となり手間が掛か
るという問題がある。
Further, in the sandblast method, a thick film corresponding to the height of the barrier is formed, a resist is formed on the surface by a photo process, and then an abrasive is sprayed to remove the portion other than the resist. There are problems that it is difficult and time-consuming to fabricate a thin barrier. As another method of forming the barrier, after forming a thick film of a photosensitive material (sheet) or the like, a portion corresponding to the barrier is removed by a photo process to form a space, and the material is placed in the space. Embedding A method of forming a barrier by removing the photosensitive material again (embedding method),
A method of forming a barrier by curing the photosensitive material itself in a portion corresponding to the barrier by a photo process and removing the photosensitive material other than the portion is also under study. However, when the thick film is formed of a sheet of a photosensitive material, the sheet is expensive, and a step of removing an unnecessary portion is required separately from the photo process step, which is troublesome.

【0007】そこで、本発明は、生の光硬化性材料を可
撓性を有するシート表面に塗布して形成した材料層をガ
ラス基板に密着させた状態で選択露光して構成要素を形
成した後に未硬化の材料を除去することにより、1回の
操作で任意の厚さの構成要素を精度よく形成できるよう
にして、高精度かつ安価なプラズマディスプレイパネル
の作製を実現することを目的とする。
Therefore, according to the present invention, a raw material layer formed by applying a raw photocurable material to the surface of a flexible sheet is selectively exposed in a state where the material layer is brought into close contact with a glass substrate to form components. It is an object of the present invention to realize a highly accurate and inexpensive production of a plasma display panel by removing the uncured material so that a component having an arbitrary thickness can be accurately formed by one operation.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、請
求項1記載の発明は、ガラス基板上にプラズマディスプ
レイパネルの構成要素を作製する方法であって、光硬化
性樹脂に構成要素の構成材料を必要に応じて混合したペ
ースト状の未硬化材料を可撓性を有する透明シートベル
ト表面に塗布して材料層を形成する第1の工程と、位置
決め保持するガラス基板の一面側に透明シートベルト表
面の材料層を密着させる第2の工程と、ガラス基板およ
び透明シートベルトの間の材料層を構成要素のマスクパ
ターンを介して露光し硬化させ該構成要素を形成する第
3の工程と、硬化してガラス基板に支持された構成要素
から透明シートベルトと共に未硬化の材料層を剥離する
第4の工程と、を含むことを特徴としている。
In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 is a method for producing a constituent element of a plasma display panel on a glass substrate, wherein the constituent element is a photocurable resin. A first step of forming a material layer by applying a paste-like uncured material in which materials are mixed as needed to a flexible transparent sheet belt surface, and a transparent sheet on one side of a glass substrate for positioning and holding. A second step of adhering the material layer on the surface of the belt, and a third step of exposing and curing the material layer between the glass substrate and the transparent sheet belt through the mask pattern of the constituent element to form the constituent element, A fourth step of peeling the uncured material layer together with the transparent sheet belt from the component that is cured and supported by the glass substrate.

【0009】また、請求項5記載の発明は、ガラス基板
上にプラズマディスプレイパネルの構成要素を作製する
装置であって、ガラス基板を位置決め保持する基板保持
手段と、光硬化性樹脂に構成要素の構成材料を必要に応
じて混合したペースト状の未硬化材料を可撓性を有する
透明シートベルト表面に塗布して材料層を形成する材料
層形成手段と、透明シートベルトを移動させ該表面の材
料層を位置決めされたガラス基板の一面側との対面位置
に搬送する材料層搬送手段と、位置決めされたガラス基
板に透明シートベルトを近接させ該表面の材料層を密着
させる密着手段と、位置決めされたガラス基板に対応す
るように構成要素のマスクパターンを位置決め保持する
マスク保持手段と、ガラス基板および透明シートベルト
の間の材料層を位置決めされたマスクパターンを介して
露光して硬化させ該構成要素を形成する露光手段と、硬
化してガラス基板に支持された構成要素から透明シート
ベルトと共に未硬化の材料層を剥離する剥離手段と、を
備えたことを特徴とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for producing a constituent element of a plasma display panel on a glass substrate, which comprises substrate holding means for positioning and holding the glass substrate, and the constituent element of the photocurable resin. Material layer forming means for forming a material layer by applying a paste-like uncured material in which constituent materials are mixed as necessary to a flexible transparent sheet belt surface, and a material for the surface by moving the transparent sheet belt. Material layer conveying means for conveying the layer to a position facing the one surface side of the positioned glass substrate, and adhesion means for adhering the transparent sheet belt to the positioned glass substrate to bring the material layer on the surface into close contact The material layer between the glass substrate and the transparent sheet belt is positioned between the mask holding means for positioning and holding the mask pattern of the component so as to correspond to the glass substrate. An exposing unit that exposes and cures through a predetermined mask pattern to form the constituent element; and a peeling unit that cures and separates the uncured material layer together with the transparent sheet belt from the constituent member supported by the glass substrate. , Is provided.

【0010】これら請求項1、5記載の発明では、透明
シートベルト表面に塗布され形成された光硬化性材料の
材料層が、ガラス基板に対面する位置に搬送された後
に、または搬送と同時に密着され、構成要素に対応する
マスクパターンを介して選択露光されることにより硬化
されてガラス基板が支持する構成要素が形成され、この
後にその構成要素から透明シートベルトと共に未硬化の
材料層が剥離される。このとき、材料層は可撓性を有す
る透明シートベルト上に塗布するだけなので、1回の塗
布により層厚を精度よく形成することができ、透明シー
トベルトを屈曲(湾曲)などさせガラス基板に容易に密
着させることができる。また、材料層の層厚はガラス基
板への密着時に絞るなどして精度を出すようにもするこ
とができる。そして、構成要素は材料層を選択露光する
だけで容易に精度よく形成(硬化)することができ、未
硬化の材料層は屈曲などさせる透明シートベルトと共に
容易に剥離することができる。
According to the first and fifth aspects of the invention, the material layer of the photocurable material applied and formed on the surface of the transparent sheet belt is brought into close contact with the glass substrate after being conveyed to a position facing the glass substrate or simultaneously with the conveyance. Then, a component supported by the glass substrate is formed by being selectively exposed through a mask pattern corresponding to the component to form a component supported by the glass substrate, and thereafter, the uncured material layer is peeled from the component together with the transparent sheet belt. It At this time, since the material layer is simply applied on the flexible transparent sheet belt, the layer thickness can be accurately formed by a single application, and the transparent sheet belt is bent (curved) or the like to be applied to the glass substrate. It can be easily attached. In addition, the layer thickness of the material layer can be made precise by squeezing it at the time of contact with the glass substrate. The constituent elements can be easily (accurately) formed (cured) simply by selectively exposing the material layer, and the uncured material layer can be easily peeled off together with the transparent seat belt to be bent.

【0011】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明の構成に加え、前記第2の工程では、透明シートベル
トをガラス基板の一端側で離隔する方向に湾曲させ該ガ
ラス基板の一面側を開放する状態から、該透明シートベ
ルトの湾曲位置をガラス基板の一端側から他端側へと移
動させることにより、透明シートベルトをガラス基板に
順次近接させ未硬化の材料層を該ガラス基板の一面側に
密着させ、前記第4の工程では、透明シートベルトをガ
ラス基板の他端側で離隔する方向に湾曲させ該ガラス基
板の一面側に近接する状態から、該透明シートベルトの
湾曲位置をガラス基板の他端側から一端側へと移動させ
ることにより、透明シートベルトをガラス基板から順次
離隔させ未硬化の材料層と共に該ガラス基板が支持する
構成要素から剥離することを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect of the invention, in the second step, the transparent sheet belt is curved in a direction separating from one end side of the glass substrate, and one surface of the glass substrate is curved. By moving the curved position of the transparent sheet belt from one end side to the other end side of the glass substrate from the state in which the transparent side is opened, the transparent sheet belt is sequentially brought close to the glass substrate and the uncured material layer is formed on the glass substrate. In the fourth step, the transparent sheet belt is curved in a direction in which it is separated from the other end of the glass substrate, and the transparent sheet belt is bent from the state of being close to the one surface side of the glass substrate. Is moved from the other end side to the one end side of the glass substrate, so that the transparent sheet belt is sequentially separated from the glass substrate and separated from the components supported by the glass substrate together with the uncured material layer. It is characterized in Rukoto.

【0012】この請求項2記載の発明では、ガラス基板
の一面側を開放するようにその一端側で離隔方向に湾曲
する透明シートベルトがその湾曲位置を他端側へと移動
される、つまり透明シートベルトはガラス基板に対する
平行方向への相対的な位置は変えることなく離隔してい
た部位が一端側から徐々に近接されることにより、材料
層がガラス基板の一面側に密着される。このとき、材料
層はガラス基板に一端側から他端側へと湾曲位置を変え
ながら密着するので間に空気を挟み込んでしまうことが
ない。一方、材料層が選択露光され構成要素がガラス基
板に支持された後には透明シートベルトは湾曲位置を移
動されることにより逆にガラス基板から徐々に離隔さ
れ、未硬化の材料層も構成要素から剥離される。このと
き、剥離時に透明シートベルトは徐々に離隔するので材
料層の未硬化部分は容易に剥離される。
According to the second aspect of the present invention, the transparent seat belt, which is curved on one end side in the separating direction so as to open one surface side of the glass substrate, is moved to the other end side at the curved position, that is, the transparent sheet belt. The seat belt is gradually brought closer to the glass substrate from one end side without changing the relative position in the parallel direction to the glass substrate, so that the material layer is brought into close contact with the one surface side of the glass substrate. At this time, since the material layer adheres to the glass substrate while changing the curved position from one end side to the other end side, air is not trapped between them. On the other hand, after the material layer is selectively exposed and the component is supported on the glass substrate, the transparent sheet belt is gradually separated from the glass substrate by moving the curved position, and the uncured material layer is also separated from the component. It is peeled off. At this time, since the transparent sheet belt is gradually separated during peeling, the uncured portion of the material layer is easily peeled off.

【0013】また、請求項6記載の発明は、請求項5記
載の発明の構成に加え、前記材料層搬送手段を、透明シ
ートベルトの材料層を形成する面の裏面に接しガラス基
板の一面側に近接する位置の該ガラス基板の一端側およ
び他端側の間を往復する湾曲面と、ガラス基板を一端側
外方に延長した位置に設けられ透明シートベルトの一端
側を支持する第1の支持部と、ガラス基板の一面側から
離隔する位置に設けられ第1の支持部が支持する透明シ
ートベルトの他端側を湾曲面を介して支持する第2の支
持部と、から構成し、該材料層搬送手段が密着手段およ
び剥離手段を兼ねることを特徴とするものである。
According to a sixth aspect of the invention, in addition to the configuration of the fifth aspect of the invention, the material layer conveying means is in contact with the back surface of the surface of the transparent seat belt on which the material layer is formed, and the one surface side of the glass substrate. A curved surface that reciprocates between one end side and the other end side of the glass substrate at a position close to the first end, and a first surface supporting the one end side of the transparent seat belt provided at a position where the glass substrate is extended outward on the one end side. A support part and a second support part provided at a position separated from one surface side of the glass substrate and supporting the other end side of the transparent seat belt supported by the first support part via a curved surface, It is characterized in that the material layer conveying means also serves as an adhesion means and a peeling means.

【0014】この請求項6記載の発明では、透明シート
ベルトはガラス基板の一端側外方で支持されるととも
に、材料層の形成面の裏面側に湾曲面が接する状態でガ
ラス基板の一面側から離隔する位置で支持され、これら
の間の湾曲面はガラス基板の一端側と他端側との間を往
復する。したがって、上記請求項2記載の発明と同様に
透明シートベルトは湾曲面により湾曲される位置を移動
されつつ表面の材料層がガラス基板に徐々に近接/離隔
されてガラス基板の一面側に密着される一方、未硬化の
材料層が硬化された構成要素から剥離される。
According to the invention of claim 6, the transparent seat belt is supported on the outer side of one end of the glass substrate, and from the one surface side of the glass substrate with the curved surface in contact with the back surface of the material layer forming surface. It is supported at positions separated from each other, and the curved surface between them reciprocates between one end side and the other end side of the glass substrate. Therefore, similarly to the invention described in claim 2, the transparent sheet belt is moved to a position where it is curved by the curved surface, and the material layer on the surface is gradually approached / separated from the glass substrate to be closely attached to one surface side of the glass substrate. Meanwhile, the uncured material layer is stripped from the cured component.

【0015】請求項3記載の発明は、請求項1記載の発
明の構成に加え、前記第2の工程において、ガラス基板
は搬送路から吹き出す流体により浮上させた状態でスラ
イドさせ搬入した後に真空吸着して位置決め保持し、前
記第4の工程の後にも、ガラス基板は構成要素を形成し
た一面側を上面側として搬送路から吹き出す流体により
浮上させた状態でスライドさせ搬出することを特徴とし
ている。
According to a third aspect of the present invention, in addition to the structure of the first aspect of the invention, in the second step, the glass substrate is slid in a state of being floated by the fluid blown out from the transfer path, is carried in, and is then vacuum-adsorbed. The glass substrate is characterized in that it is positioned and held, and after the fourth step, the glass substrate is slid out in a state of being floated by the fluid blown out from the transport path with the one surface side on which the constituent elements are formed being the upper surface side and carried out.

【0016】また、請求項7記載の発明は、請求項5記
載の発明の構成に加え、前記ガラス基板を吹き出す流体
により浮上させた状態でスライドさせ搬送する搬送路
と、該搬送路上を搬入されてきたガラス基板を位置決め
する位置決め手段と、を設け、前記基板保持手段を、位
置決め手段により位置決めされたガラス基板を真空吸着
して材料層を密着する位置に位置決め保持するように構
成したことを特徴とするものである。
In addition to the configuration of the invention according to claim 5, the invention according to claim 7 is such that, in addition to the configuration of the invention according to claim 5, a transport path for sliding and transporting the glass substrate in a state of being floated by a fluid blowing out, and the transport path is carried in on the transport path. A positioning means for positioning the glass substrate, and the substrate holding means is configured to position and hold the glass substrate positioned by the positioning means by vacuum suction to bring the material layer into close contact. It is what

【0017】これら請求項3、7記載の発明では、ガラ
ス基板は吹き出す流体により浮上され、例えばエアース
ライドにより搬送路上を搬入および搬出され、材料層を
密着させる際には真空吸着され位置決め保持される。し
たがって、大面積のガラス基板であっても容易に搬送す
ることができ、ずれないように位置決め保持することが
できる。
In the inventions according to claims 3 and 7, the glass substrate is floated by the fluid to be blown out, and is carried in and out of the carrying path by, for example, an air slide, and when the material layers are brought into close contact with each other, they are vacuum-adsorbed and positioned and held. . Therefore, even a large-area glass substrate can be easily transported and can be positioned and held so as not to shift.

【0018】請求項4記載の発明は、請求項3記載の発
明の構成に加え、前記第2の工程では、ガラス基板は搬
送路上で位置決めした後に上面を真空吸着して該搬送路
上から材料層を密着させる位置に移送し一面側を下面と
し位置決め保持し、前記第4の工程の後には、ガラス基
板は構成要素を形成した一面側を反転して上面側とし搬
送路上に送り出すことを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the third aspect of the invention, in the second step, the glass substrate is positioned on the transport path and then the upper surface is vacuum-sucked to form the material layer on the transport path. Characterized in that the glass substrate is transferred to a position where it is brought into close contact with one surface side as a lower surface and is positioned and held, and after the fourth step, the glass substrate is turned over to the upper surface side by reversing the one surface side on which the constituent elements are formed. There is.

【0019】また、請求項8記載の発明は、請求項7記
載の発明の構成に加え、前記位置決め手段を、搬送路上
の材料層を密着する位置近傍で位置決めするように構成
し、前記基板保持手段を、位置決め手段により位置決め
されたガラス基板は上面を真空吸着して材料層の密着位
置に移送し下面を一面側として位置決め保持し、構成要
素を一面側に形成されたガラス基板は反転して該一面側
を上面とし搬送路上に送り出すように構成したことを特
徴とするものである。
Further, in the invention described in claim 8, in addition to the configuration of the invention described in claim 7, the positioning means is configured to position the material layer on the transport path in the vicinity of a position where the material layer is in close contact with the substrate holding means. The upper surface of the glass substrate positioned by the positioning means is vacuum-sucked and transferred to the contact position of the material layer, the lower surface is positioned and held with the lower surface as one surface side, and the glass substrate formed on one surface side is inverted. It is characterized in that the one surface side is an upper surface and is configured to be sent out on a conveying path.

【0020】これら請求項4、8記載の発明では、ガラ
ス基板は搬送路上で位置決めされた後に真空吸着され下
面を一面側として移送され材料層を密着させる位置に位
置決め保持され、構成要素を形成した後には反転され一
面側が上面とされて搬送路に送り出される。したがっ
て、ガラス基板は搬送路上で装置に対して相対的に位置
決めされ材料層を密着する位置でも精度よく位置決めす
ることができる。この材料層に密着させる位置ではガラ
ス基板は真空吸着され一面側を下面として位置決めされ
るので、自重により撓んでしまうこともなく、透明シー
トベルトの上面に材料層を形成し下方から密着すること
ができ、材料層の透明シートベルトからの脱落を考慮す
る必要がない。この後の搬出時にはガラス基板は反転さ
れるので流体により浮上させた状態でスライドさせ搬出
することができる。
In the inventions of claims 4 and 8, the glass substrate is positioned on the transport path, then vacuum-adsorbed, transferred with the lower surface as one surface side, and positioned and held at a position where the material layer is brought into close contact, thereby forming the constituent elements. After that, the sheet is turned upside down and one surface side is made the upper surface and is sent out to the conveying path. Therefore, the glass substrate can be accurately positioned even at the position where the glass substrate is positioned relative to the device on the transport path and the material layer is in close contact with the device. At the position where the glass substrate is brought into close contact with the material layer, the glass substrate is vacuum-adsorbed and positioned with one surface as the lower surface. Therefore, it is not necessary to consider the fall of the material layer from the transparent seat belt. At the time of carrying out after that, since the glass substrate is inverted, it can be carried out by sliding while being floated by the fluid.

【0021】請求項9記載の発明は、請求項5記載の発
明の構成に加え、前記露光手段として、ガラス基板の一
端から他端に向かう方向と直交する方向に延在し該ガラ
ス基板と平行な光源と、該光源をガラス基板の一端から
他端またはその逆方向へ移送する移送手段と、を設けた
ことを特徴とするものである。この請求項9記載の発明
では、材料層はガラス基板の一端側および他端側の間を
移送されるとともにその移送方向と直交する方向に延在
する光源により露光される。したがって、材料層は均一
な光量により露光される。
According to a ninth aspect of the present invention, in addition to the structure of the fifth aspect, the exposing means extends in a direction orthogonal to the direction from one end to the other end of the glass substrate and is parallel to the glass substrate. And a transfer means for transferring the light source from one end of the glass substrate to the other end or the opposite direction. In the invention according to claim 9, the material layer is transferred between one end side and the other end side of the glass substrate and is exposed by a light source extending in a direction orthogonal to the transfer direction. Therefore, the material layer is exposed with a uniform amount of light.

【0022】請求項10記載の発明は、請求項9記載の
発明の構成に加え、前記ガラス基板の下面側に透明シー
トベルトが位置し前記露光手段が該透明シートベルトお
よびマスクパターンを介して材料層を露光するように構
成され、前記移送手段に、ガラス基板と平行に移動して
マスクパターンの該ガラス基板までの距離を一定に矯正
する距離矯正手段を設けたことを特徴とするものであ
る。
According to a tenth aspect of the present invention, in addition to the structure of the ninth aspect, a transparent sheet belt is located on the lower surface side of the glass substrate, and the exposing means is a material through the transparent sheet belt and a mask pattern. It is characterized in that it is configured to expose a layer, and the transfer means is provided with a distance correcting means which moves in parallel with the glass substrate and corrects the distance of the mask pattern to the glass substrate to a constant value. .

【0023】この請求項10記載の発明では、ガラス基
板の一面側に密着する材料層を透明シートベルトを介し
て露光する際に、光源の移送に伴ってマスクパターンの
ガラス基板までの距離が一定に矯正される。したがっ
て、ガラス基板に下面側から対面することによるマスク
パターンの撓みが少なくとも露光する部位毎に矯正され
高精度に材料層が硬化され構成要素が形成される。
According to the tenth aspect of the present invention, when the material layer adhered to one side of the glass substrate is exposed through the transparent sheet belt, the distance of the mask pattern to the glass substrate is constant along with the movement of the light source. Be corrected to. Therefore, the bending of the mask pattern caused by facing the glass substrate from the lower surface side is corrected at least at each exposed portion, and the material layer is hardened with high accuracy to form the component.

【0024】ここで、前記構成要素とは、プラズマディ
スプレイパネルの障壁、蛍光体、あるいは絶縁膜等のこ
とをいう。また、ガラス基板および透明シートベルト
は、特に示さない限り、どの様な位置関係および姿勢で
あってもよく、例えば、ガラス基板の上面を一面側とす
る場合には透明シートベルトの下面に材料層を位置させ
て密着させ、透明シートベルトまたはガラス基板の何れ
か側から露光すればよい。また、ガラス基板および透明
シートベルトが鉛直方向に位置する姿勢であってもよ
い。なお、材料層の形成および剥離を考慮すると請求項
4、8、10に記載の発明のように、ガラス基板の下面
を一面側とするのが好適である。
Here, the above-mentioned constituent elements refer to a barrier of a plasma display panel, a phosphor, an insulating film, or the like. Further, the glass substrate and the transparent seat belt may have any positional relationship and posture unless otherwise specified. For example, when the upper surface of the glass substrate is one side, the material layer is formed on the lower surface of the transparent seat belt. May be positioned and brought into close contact, and exposure may be performed from either side of the transparent sheet belt or the glass substrate. Further, the glass substrate and the transparent seat belt may be vertically positioned. In consideration of the formation and peeling of the material layer, it is preferable that the lower surface of the glass substrate is one surface side as in the invention described in claims 4, 8 and 10.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。図1〜図10は本発明に係るプラズマディスプレ
イパネルの作製方法を実施するその作製装置の一実施形
態を示す図である。まず、作製装置の構成を図1および
図2を用いて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 10 are views showing an embodiment of a manufacturing apparatus for carrying out a method for manufacturing a plasma display panel according to the present invention. First, the structure of the manufacturing apparatus will be described with reference to FIGS.

【0026】両図において、11は透明シートベルトであ
り、透明シートベルト11は可撓性を有し光を透過する厚
さが20〜50μmの例えば、透明ポリエステル等から
なり、機械的な力を加えられても伸びないように予め延
ばされ、その表面は後述する樹脂材料が所定の付着力で
付着し、またその樹脂材料が硬化した硬化物からは容易
に剥離するよう表面処理されている。なお、透明シート
ベルト11は、不図示のボビンから未使用のものを引き出
して供給し、使用後にはボビンに捲き取って再生使用す
ることができる。また、ボビンに捲き取らずに循環させ
使用するようにしてもよい。
In both figures, reference numeral 11 denotes a transparent seat belt, and the transparent seat belt 11 is made of, for example, transparent polyester having a thickness of 20 to 50 μm which is flexible and transmits light, and has a mechanical force. It is stretched in advance so that it will not stretch even when added, and its surface is surface-treated so that the resin material described below adheres with a predetermined adhesive force and is easily separated from the cured product of the cured resin material. . The transparent seat belt 11 can be used by pulling out an unused one from a bobbin (not shown) and winding it up on the bobbin for reuse after use. Alternatively, the bobbin may be circulated and used without being wound up.

【0027】12は供給ローラ対であり、供給ローラ対12
は一方が駆動/停止し他方が従動回転することにより互
いの間で圧接し挟持する透明シートベルト11を一定速度
で送り出すとともに、停止時には透明シートベルト11の
位置がずれないように保持する。13〜16は移動ローラで
あり、移動ローラ13〜16は供給ローラ対12から供給され
る透明シートベルト11を周面に捲き掛けられた状態で各
々上下方向に異なる高さを維持したまま水平方向に移動
するようになっており、移動ローラ13はその周面の最上
部(湾曲面)が供給ローラ対12のニップ部の高さおよび
後述する露光位置Bのガラス基板Gの一面側に近接する
高さを移動するように設けられている。したがって、移
動ローラ13は供給ローラ対12が停止している際に水平方
向に移動することによりその周面で湾曲させる透明シー
トベルト11の位置(湾曲位置)を図中右側と左側との間
で移動させることができ、その表面の材料層Pを移動さ
せ徐々に水平または鉛直にして露光位置Bに位置するガ
ラス基板Gに近接または離隔させることができる。すな
わち、供給ローラ対12が第1の支持部を、移動ローラ13
の周面が湾曲面を、移動ローラ14〜16が第2の支持部を
構成しており、これらローラ群12〜16は材料層搬送手段
を構成するとともに、密着手段および剥離手段をも構成
している。なお、このときに透明シートベルト11の張力
は、供給時/停止時に拘らず一定となるように巻取側の
前記ボビンの巻取トルクを変化させるなどすればよい。
Reference numeral 12 denotes a pair of supply rollers, and the pair of supply rollers 12
One of them drives / stops one of them and the other rotates following them, so as to feed out the transparent seat belts 11 which are pressed against each other and sandwiched at a constant speed, and hold the transparent seat belts 11 so that the position of the transparent seat belts 11 does not shift when stopped. Reference numerals 13 to 16 denote moving rollers, and the moving rollers 13 to 16 are arranged in a horizontal direction while maintaining different heights in the vertical direction in a state where the transparent seat belt 11 supplied from the supply roller pair 12 is wound around the peripheral surface. The uppermost portion (curved surface) of the peripheral surface of the moving roller 13 is close to the height of the nip portion of the supply roller pair 12 and one surface side of the glass substrate G at the exposure position B described later. It is provided to move the height. Therefore, the moving roller 13 moves in the horizontal direction when the supply roller pair 12 is stopped to bend the position of the transparent seat belt 11 (curved position) between the right side and the left side in the figure. It can be moved, and the material layer P on the surface thereof can be moved and gradually made horizontal or vertical to be brought close to or separated from the glass substrate G located at the exposure position B. That is, the supply roller pair 12 functions as the first supporting portion and the moving roller 13
Has a curved surface, and the moving rollers 14 to 16 constitute a second supporting portion. These roller groups 12 to 16 constitute not only material layer conveying means but also contact means and peeling means. ing. At this time, the winding torque of the bobbin on the winding side may be changed so that the tension of the transparent seat belt 11 becomes constant regardless of the supply / stop.

【0028】17はコンマ型のボトムコータであり、ボト
ムコータ17は一定粘度のペースト状樹脂材料を自動供給
し貯留量が一定量にされており、貯留する樹脂材料は最
下のスリットを介し透明シートベルト11の移動に伴って
その表面(上面)上に押出または引出され任意(例え
ば、障壁を形成する際には100μm〜200μm)か
つ一定の層厚で塗布し材料層Pを形成する。すなわち、
ボトムコータ17は材料層形成手段を構成している。
Reference numeral 17 is a comma-type bottom coater, and the bottom coater 17 automatically supplies a paste-like resin material having a constant viscosity to make the storage amount constant, and the storage resin material is transparent sheet belt through the bottom slit. Along with the movement of 11, the material layer P is formed by being extruded or drawn out on the surface (upper surface) thereof and arbitrarily (for example, 100 μm to 200 μm when forming a barrier) and applied with a constant layer thickness. That is,
The bottom coater 17 constitutes a material layer forming means.

【0029】この材料層Pを形成する樹脂材料は、公知
の光硬化性樹脂液、例えば可視光(又は紫外線領域ある
いは赤外線領域の光等であってもよい)で硬化する未硬
化樹脂液に、形成するプラズマディスプレイパネルの構
成要素(障壁や蛍光体など)の構成材料を必要に応じて
混合し、つまり障壁を形成する際にはある程度の高さの
必要なので強度を向上させるために露光に対しては非収
縮性を有しその光エネルギを透過する直径10〜30μ
m程度のガラスビーズを適当(例えば、混合率40%〜
80%)に混合してもよく、蛍光体を形成する際には3
原色の何れかの蛍光材料を混合する。なお、ガラスビー
ズを混合する場合には混合率を調整することによって使
用する際の粘度(流動性)を調整することもできる。ま
た、材料層Pは所定粘度のペースト状にすることによっ
て、透明シートベルト11が鉛直にするなど姿勢が変化し
たとしてもその表面で流動せずに形状(層厚)を維持す
ることができる。
The resin material forming the material layer P is a known photocurable resin liquid, for example, an uncured resin liquid which is cured by visible light (or light in the ultraviolet region or infrared region). The constituent materials of the constituent elements of the plasma display panel to be formed (barriers, phosphors, etc.) are mixed as necessary, that is, a certain height is required when forming the barriers, so exposure to increase strength is required. Is non-contracting and has a diameter of 10 to 30μ that transmits its light energy.
Glass beads of about m are suitable (for example, a mixing ratio of 40% to
80%) and 3% when forming the phosphor.
Mix the fluorescent materials of any of the primary colors. When glass beads are mixed, the viscosity (fluidity) at the time of use can be adjusted by adjusting the mixing ratio. Further, by forming the material layer P into a paste having a predetermined viscosity, the shape (layer thickness) can be maintained without flowing on the surface even if the posture of the transparent seat belt 11 changes such as being vertical.

【0030】また、21、22は上、下搬送路であり、この
上下搬送路21、22は、図2に示すように、平滑に表面加
工された上面に複数の空気孔23が穿孔されており、その
空気孔23からは空気(流体)を吹き出すことによりその
上面からガラス基板Gを浮き上がらせた状態でスライド
させ搬送することができ、所謂、エアースライダに構成
されている。また、下搬送路22は、図中最左方に移動し
た移動ローラ13に近接する位置まで少なくともガラス基
板Gの長さ以上延長してその上方が開放されており、そ
の延長部分A(後述する搬出入位置A)の空気孔23は空
気を吹き出すのに加え吸引することもでき、この位置A
に位置するガラス基板Gを移動不能に位置決め保持する
ことができる。また、この下搬送路22の位置Aの先端辺
および一側辺には一対の位置決めクッション(位置決め
手段)24が立設されており、搬入されてきたガラス基板
Gを装置本体に対して一定の位置に停止させる。なお、
流体として水などを用い大きな浮上させる力を得るよう
にしてもよい。
Further, reference numerals 21 and 22 denote upper and lower conveying paths, respectively. As shown in FIG. 2, the upper and lower conveying paths 21 and 22 have a plurality of air holes 23 perforated on a smooth surface-treated upper surface. By blowing out air (fluid) from the air holes 23, the glass substrate G can be slid and conveyed while being floated from the upper surface thereof, which is a so-called air slider. Further, the lower conveyance path 22 extends at least the length of the glass substrate G to a position close to the moving roller 13 that has moved to the leftmost side in the drawing, and the upper side thereof is open, and an extension portion A (described later). The air hole 23 at the carry-in / carry-out position A) can suck air in addition to blowing air.
It is possible to position and hold the glass substrate G positioned at the position immovably. Further, a pair of positioning cushions (positioning means) 24 are erected on the leading end side and one side side of the position A of the lower conveyance path 22, and the glass substrate G carried in is fixed to the apparatus main body. Stop in position. In addition,
Water or the like may be used as the fluid to obtain a large floating force.

【0031】25はワークテーブルであり、ワークテーブ
ル25は上下面に空気孔23を穿孔され何れでも空気を吹き
出し/吸引してガラス基板Gをスライドおよび保持でき
るようになっており、その両側面に設けられた一対の車
輪26により下搬送路22の位置Aから平行移動して隣接す
る露光位置Bにガラス基板bを下面側で保持するととも
に、位置Bから反転して下搬送路22の延長部分Aに下面
(先の動作中では上面)を対面させ、同時に上搬送路21
に上面(先の動作中では下面)を隣接させるようになっ
ている。このワークテーブル25は、下搬送路22の位置A
では先端辺に立てられている一対の位置決めピン28を上
下双方の対向位置に穿孔されている位置決め穴29に嵌挿
させることによりガラス基板Gの装置本体に対する位置
決め精度を保持したまま位置Bへ吸着移送することがで
きる。すなわち、ワークテーブル25が基板保持手段を構
成している。
Reference numeral 25 denotes a work table. The work table 25 is provided with air holes 23 on its upper and lower surfaces so that the glass table G can be slid and held by blowing / sucking air on either side, and on both side surfaces thereof. The pair of wheels 26 provided in parallel move the position A of the lower transport path 22 to hold the glass substrate b on the lower surface side at the adjacent exposure position B, and reverse the position B to extend the lower transport path 22. The lower surface (upper surface during the previous operation) faces A, and at the same time, the upper conveyance path 21
The upper surface (the lower surface in the previous operation) is adjacent to. This work table 25 is located at the position A of the lower transport path 22.
Then, by inserting a pair of positioning pins 28 standing on the tip side into positioning holes 29 drilled at the upper and lower opposing positions, the glass substrate G is sucked to the position B while maintaining the positioning accuracy of the glass substrate G with respect to the apparatus main body. Can be transferred. That is, the work table 25 constitutes a substrate holding means.

【0032】31はマスクパターンであり、マスク31はプ
ラズマディスプレイの構成要素に対応する部分のみ光を
通過させるパターンが形成されており、その厚さを均一
に形成されている。このマスク31は、移動ローラ13に供
給ローラ対12側で隣接する状態で同一方向に移動するよ
うに図示していない保持手段により保持されており、移
動ローラ13が図中最左方に位置したときにはワークテー
ブル25が露光位置Bに位置して下面に位置決め保持する
ガラス基板Gに透明シートベルト11および材料層Pを介
して対面する。
Reference numeral 31 is a mask pattern, and the mask 31 is formed with a pattern that allows light to pass through only the portions corresponding to the constituent elements of the plasma display, and the thickness thereof is made uniform. This mask 31 is held by a holding means (not shown) so as to move in the same direction in a state of adjoining the moving roller 13 on the supply roller pair 12 side, and the moving roller 13 is positioned on the leftmost side in the drawing. Occasionally, the work table 25 is located at the exposure position B and faces the glass substrate G positioned and held on the lower surface via the transparent sheet belt 11 and the material layer P.

【0033】32は紫外線ランプユニットであり、ランプ
ユニット32はマスク31の下方に位置するように支持手段
により支持され同様に移動ローラ13に隣接する状態で同
一方向に移動するが、内部にはその移動方向と直交する
方向でマスク31と平行に延在する紫外線ランプ33を内蔵
しており、この紫外線ランプ33はレール等により案内さ
れる移送手段により独自に移動することができ、同一方
向にガラス基板Gの一端側外方から他端側外方まで移動
してマスク31および透明シートベル11を介し材料層Pに
1ラインの光を照射(露光)しつつ移動する。また、こ
の紫外線ランプ33には、マスク31の下面に摺接しつつ移
動する矯正ローラ34が一体に移動するように固設されて
おり、材料層Pを露光するために移動する際には矯正ロ
ーラ34も一定の高さで移動して透明シートベルト11に近
接するマスク31の撓みを矯正しガラス基板Gとの距離を
均一にする。すなわち、紫外線ランプ33が光源を、ラン
プユニット32が露光手段を構成しており、矯正ローラ34
が距離矯正手段を構成している。なお、マスク31は露光
時に透明シートベルト11に接するように配設してもよ
く、矯正ローラ34がマスク31および透明シートベルト11
を介して材料層Pの層厚を均一にするようにしてもよ
い。
Reference numeral 32 is an ultraviolet lamp unit. The lamp unit 32 is supported by a supporting means so as to be located below the mask 31, and similarly moves in the same direction as being adjacent to the moving roller 13, but inside the lamp unit 32, It has a built-in ultraviolet lamp 33 extending parallel to the mask 31 in a direction orthogonal to the moving direction, and the ultraviolet lamp 33 can be moved independently by a transfer means guided by a rail or the like, and the glass can be moved in the same direction. The substrate G moves from one end side to the other end side to the outside while irradiating (exposing) one line of light on the material layer P through the mask 31 and the transparent sheet bell 11. A correction roller 34 that moves while slidingly contacting the lower surface of the mask 31 is fixed to the ultraviolet lamp 33 so as to move integrally. When the material layer P is moved for exposure, the correction roller 34 is moved. 34 also moves at a constant height to correct the bending of the mask 31 near the transparent seat belt 11 and make the distance from the glass substrate G uniform. That is, the ultraviolet lamp 33 constitutes the light source, the lamp unit 32 constitutes the exposure means, and the correction roller 34
Constitutes the distance correction means. Note that the mask 31 may be disposed so as to contact the transparent seat belt 11 during exposure, and the correction roller 34 causes the mask 31 and the transparent seat belt 11 to move.
The layer thickness of the material layer P may be made uniform via the.

【0034】35はスクレーパ、36はスクレーパサポート
であり、スクレーパ35は移動ローラ14、15の間で材料層
P側表面を下方に面する状態で斜行する透明シートベル
ト11に摺接しその表面に残留する未硬化の樹脂材料(材
料層P)を掻き取るようになっており、サポート36は透
明シートベルト11の裏面をスクレーパ35方向に付勢して
確実に摺接させる。なお、このスクレーパ35およびサポ
ート36は、移動ローラ13〜16と位置関係を維持しつつ同
一方向に移動するように設けられており、樹脂材料を掻
き取る必要のないタイミングでは互いに離隔して透明シ
ートベルト11に負荷を与えないようになっている。ま
た、このスクレーパ35により回収した未硬化の樹脂材料
はボトムコータ17へ自動供給して再使用するようにした
り、溜め込んでおくようにしてもよい。
Reference numeral 35 is a scraper, and 36 is a scraper support. The scraper 35 is slidably contacted with the transparent sheet belt 11 which is inclined between the moving rollers 14 and 15 while facing the material layer P side surface downward. The remaining uncured resin material (material layer P) is scraped off, and the support 36 urges the back surface of the transparent seat belt 11 toward the scraper 35 to surely make sliding contact. The scraper 35 and the support 36 are provided so as to move in the same direction while maintaining the positional relationship with the moving rollers 13 to 16, and are separated from each other at a timing when it is not necessary to scrape the resin material, and the transparent sheet. The belt 11 is not loaded. Further, the uncured resin material collected by the scraper 35 may be automatically supplied to the bottom coater 17 for reuse or may be stored.

【0035】次に、作製方法を図3〜図10を用いて工程
毎に作用と共に説明する。 ○第1の工程(材料層形成、材料層回収、ガラス基板移
送:図3〜図6) まず、移動ローラ13〜16を図中最右方に位置させた状態
で供給ローラ対12を駆動し透明シートベルト11を一定速
度で送り出すと共にボトムコータ17から一定量の樹脂材
料を押し出す。したがって、透明シートベルト11上には
樹脂材料が均一に塗布され層厚精度の高い材料層Pがそ
の表面に形成される。このとき透明シートベルト11は、
ガラス基板Gの一端側外方で移動ローラ13の周面により
離隔する方向に湾曲されその一面側を開放する状態とな
っている。
Next, the manufacturing method will be described with reference to FIGS. First step (material layer formation, material layer recovery, glass substrate transfer: FIG. 3 to FIG. 6) First, the supply roller pair 12 is driven with the moving rollers 13 to 16 positioned on the rightmost side in the drawing. The transparent seat belt 11 is fed at a constant speed and a fixed amount of resin material is pushed out from the bottom coater 17. Therefore, the resin material is uniformly applied onto the transparent seat belt 11, and the material layer P having a high layer thickness accuracy is formed on the surface thereof. At this time, the transparent seat belt 11 is
The glass substrate G is curved outward from one end side by the peripheral surface of the moving roller 13 and is in a state in which one side thereof is open.

【0036】このとき、先に構成要素の形成を行なって
いる場合には、透明シートベルト11の表面に残留してい
る未硬化の材料層Pは、図3〜図6に示すように、透明
シートベルト11と共に送られ、その表面に摺接するスク
レーパ35が掻き取って回収する。また、ワークテーブル
25は、図3、図4に示すように、構成要素を形成した一
面側を上面としてガラス基板Gを保持し下搬送路22の位
置Aに下降した後に、真空吸着を解除するとともに空気
孔23から空気を吹き出して上面のガラス基板Gをエアー
スライドにより上搬送路21上に送り出す。また上搬送路
21も同様にエアースライドによりそのガラス基板Gを装
置外に搬出する。
At this time, when the constituent elements are first formed, the uncured material layer P remaining on the surface of the transparent seat belt 11 is transparent as shown in FIGS. The scraper 35, which is sent together with the seat belt 11 and is in sliding contact with the surface thereof, scrapes and collects. Also work table
As shown in FIGS. 3 and 4, the reference numeral 25 holds the glass substrate G with one surface side on which the constituent elements are formed as an upper surface and lowers it to the position A of the lower transport path 22 and then releases the vacuum suction and air holes 23. The glass substrate G on the upper surface is blown out from the above to send it onto the upper conveyance path 21 by the air slide. Upper transport path
Similarly, 21 also carries the glass substrate G out of the apparatus by air slide.

【0037】○第2の工程(材料層密着(ラミネー
ト)、ガラス基板移送:図5〜図7) 一方、下搬送路22の位置Aにはエアースライドにより搬
入されてきた未使用のガラス基板Gがクッション24に衝
止されて真空吸着により位置決めされており、ワークテ
ーブル25は位置Aに位置する際に下搬送路22のピン28を
穴29に嵌挿して位置決めされた状態でそのガラス基板G
を下面に真空吸着し保持する。したがって、ワークテー
ブル25はガラス基板Gを位置決めを維持したまま保持す
ることができ、図5、図6に示すように、一面側を下面
とする状態のままガラス基板Gを露光位置Bに移送して
保持することができる。なお、下搬送路22によるガラス
基板Gの真空吸着はワークテーブル25により保持された
後に解除する。
Second step (material layer adhesion (laminating), glass substrate transfer: FIGS. 5 to 7) On the other hand, an unused glass substrate G which has been carried in by air slide to the position A of the lower transport path 22. Is positioned against the cushion 24 by vacuum suction, and when the work table 25 is positioned at the position A, the pin 28 of the lower transport path 22 is inserted into the hole 29 and positioned so that the glass substrate G is positioned.
Is vacuum-adsorbed and held on the lower surface. Therefore, the work table 25 can hold the glass substrate G while maintaining the positioning, and as shown in FIGS. 5 and 6, the glass substrate G is transferred to the exposure position B while keeping one surface as the lower surface. Can be held. The vacuum suction of the glass substrate G by the lower transport path 22 is released after being held by the work table 25.

【0038】次いで、供給ローラ対12の駆動を停止して
透明シートベルト11の位置がずれないようにその一端側
を保持するとともに移動ローラ13〜16を図中左側方向へ
移動させることによって、図7に示すように、ガラス基
板Gに対する平行方向への相対的な位置関係を維持した
まま透明シートベルト11の移動ローラ13の周面による湾
曲位置を一端側から他端側(図中左側)に移動させ一端
側からガラス基板Gの一面側に徐々に近接させる。した
がって、透明シートベルト11表面の材料層Pはガラス基
板Gとの間に空気を挟み込むことなく密着させることが
できる。なお、次のガラス基板Gがあるときには、この
ときに下搬送路22のエアースライドにより位置Aへの搬
入を開始しておく。
Next, the driving of the supply roller pair 12 is stopped, one end of the transparent seat belt 11 is held so that the position of the transparent seat belt 11 is not displaced, and the moving rollers 13 to 16 are moved to the left side in the drawing. As shown in FIG. 7, the curved position by the peripheral surface of the moving roller 13 of the transparent sheet belt 11 is changed from one end side to the other end side (left side in the drawing) while maintaining the relative positional relationship in the parallel direction with respect to the glass substrate G. The glass substrate G is moved and gradually approached from the one end side to the one surface side of the glass substrate G. Therefore, the material layer P on the surface of the transparent seat belt 11 can be brought into close contact with the glass substrate G without interposing air. When there is the next glass substrate G, the carry-in to the position A is started by the air slide of the lower transport path 22 at this time.

【0039】○第3の工程(露光、ガラス基板移送:図
8) 次いで、移動ローラ13〜16が図中最左方に移動してガラ
ス基板Gに材料層Pを密着させたときには、その下方に
位置するランプユニット32の紫外線ランプ33をガラス基
板Gの他端側外方から一端側外方まで移動させマスク31
および透明シートベルト11を介して材料層Pを選択露光
する。このとき、矯正ローラ34は、紫外線ランプ33と共
に移動してマスク31の撓みを矯正しガラス基板Gまでの
距離を一定にする。したがって、材料層Pを高精度に選
択露光して硬化させた構成要素をガラス基板Gに支持さ
せることができる。なお、紫外線ランプ33は光が漏れな
いように予め点灯して光量を安定させておくのが好適で
ある。
Third step (exposure, glass substrate transfer: FIG. 8) Next, when the moving rollers 13 to 16 move to the leftmost side in the figure to bring the material layer P into close contact with the glass substrate G, the lower side thereof. The ultraviolet lamp 33 of the lamp unit 32 located at the position is moved from the outside of the other side of the glass substrate G to the outside of the one side of the mask 31.
Then, the material layer P is selectively exposed through the transparent sheet belt 11. At this time, the correction roller 34 moves together with the ultraviolet lamp 33 to correct the bending of the mask 31 and keep the distance to the glass substrate G constant. Therefore, the constituent elements obtained by selectively exposing the material layer P with high precision to cure the material layer P can be supported on the glass substrate G. It is preferable to turn on the ultraviolet lamp 33 in advance so as to prevent light from leaking and stabilize the amount of light.

【0040】○第4の工程(剥離:図9、図10) 次いで、上述した第2の工程とは逆に、図9に示すよう
に、移動ローラ13〜16を図中右側方向へ移動させること
によって、ガラス基板Gの他端側(図中左側)で湾曲す
る透明シートベルト11の湾曲位置を一端側(図中右側)
に移動させ、透明シートベルト11を他端側からガラス基
板Gより徐々に離隔させる。したがって、未硬化の材料
層Pを透明シートベルト11とともにガラス基板Gに支持
された構成要素から剥離させることができる。
Fourth Step (Peeling: FIG. 9, FIG. 10) Next, as shown in FIG. 9, the moving rollers 13 to 16 are moved rightward in the figure, contrary to the above-described second step. As a result, the bending position of the transparent seat belt 11 that bends on the other end side (left side in the drawing) of the glass substrate G is changed to one end side (right side in the drawing).
And the transparent sheet belt 11 is gradually separated from the glass substrate G from the other end side. Therefore, the uncured material layer P can be separated from the components supported by the glass substrate G together with the transparent seat belt 11.

【0041】次いで、構成要素を形成したガラス基板G
を下面側に保持するワークテーブル25は、図10に示すよ
うに、上昇させた後に反転させ下面側のガラス基板Gを
上面側に保持する状態にして下搬送路22の位置Aに移動
し、第1の工程から同様な動作を繰り返す。なお、次の
ガラス基板Gがある場合には、このときには下搬送路22
の位置Aに位置決めされている。
Next, the glass substrate G on which the constituent elements are formed
As shown in FIG. 10, the work table 25 that holds the lower surface of the work table 25 is moved to the position A of the lower transport path 22 in a state where it is raised and then inverted to hold the lower surface glass substrate G on the upper surface side. The same operation is repeated from the first step. If there is the next glass substrate G, the lower transport path 22 is used at this time.
Is positioned at position A.

【0042】このように本実施形態においては、一定速
度で搬送する透明シートベルト11上に材料層Pをボトム
コータ17による1回の塗布で構成要素の高さとなる層厚
に精度よく形成することができる。そして、供給ローラ
対12を停止した状態で移動ローラ13〜16をガラス基板G
の一端側および他端側の間を移動させ透明シートベルト
11の湾曲位置を移動させることにより、透明シートベル
ト11をガラス基板Gの一端側から徐々に近接させ材料層
Pを空気を挟み込むことなく密着させることができ、ま
た露光終了後には透明シートベルト11をガラス基板Gの
他端側から徐々に離隔させ未硬化の材料層Pと共に構成
要素から剥離することができる。また、露光時には、紫
外線ランプ33が矯正ローラ34と共に移動してマスク31の
撓みを矯正しつつ材料層Pを1ラインの均一な光量によ
り面積方向にムラなく高精度に選択露光し硬化させるこ
とができ、構成要素を高精度に形成しガラス基板Gに支
持させることができる。この未硬化の材料層Pはスクレ
ーパ35により回収して再使用することができる。したが
って、ガラス基板Gの一面側に高精度な構成要素を容易
かつ安価に形成することができる。
As described above, in the present embodiment, the material layer P can be accurately formed on the transparent sheet belt 11 which is conveyed at a constant speed so as to have a layer thickness which becomes the height of the constituent elements by one application by the bottom coater 17. it can. Then, while the supply roller pair 12 is stopped, the moving rollers 13 to 16 are moved to the glass substrate G.
The transparent seat belt by moving between one end side and the other end side of
By moving the curved position of 11, the transparent sheet belt 11 can be gradually brought close to one end side of the glass substrate G and the material layer P can be brought into close contact with the glass substrate G without interposing air therebetween. Can be gradually separated from the other end side of the glass substrate G and can be separated from the constituent elements together with the uncured material layer P. Further, at the time of exposure, the ultraviolet lamp 33 moves together with the correction roller 34 to correct the flexure of the mask 31, and the material layer P can be selectively exposed and cured in the area direction with high accuracy by the uniform light amount of one line. Therefore, the constituent elements can be formed with high precision and supported on the glass substrate G. The uncured material layer P can be recovered by the scraper 35 and reused. Therefore, it is possible to easily and inexpensively form high-precision components on one surface side of the glass substrate G.

【0043】[0043]

【発明の効果】請求項1、5記載の発明によれば、光硬
化性材料の材料層を可撓性を有する透明シートベルト表
面に形成し、この材料層をガラス基板に密着する状態で
マスクパターンを介して選択露光し硬化させることによ
りガラス基板上に構成要素を形成し、この後に構成要素
から透明シートベルトと共に未硬化の材料層を剥離する
ので、材料層は光硬化性材料の生材料を透明シートベル
ト上に1回塗布するだけで層厚を精度よく形成すること
ができ、構成要素はその材料層を選択露光するだけで容
易に精度よく形成することができる。また、材料層は透
明シートベルトを屈曲(湾曲)などさせることにより容
易にガラス基板に密着させ、また構成要素から剥離する
ことができる。また、透明シートベルトは再生または循
環して使用することができ、未硬化の材料層も洗い流す
等せずに回収して使用することができる。したがって、
プラズマディスプレイパネルの構成要素を高精度かつ安
価に作製することができる。
According to the first and fifth aspects of the invention, a material layer of a photocurable material is formed on the surface of a flexible transparent seat belt, and the material layer is adhered to a glass substrate in a mask. The material layer is a raw material of a photocurable material because a component is formed on a glass substrate by selective exposure through a pattern and curing, and then the uncured material layer is peeled off together with the transparent sheet belt from the component. The layer thickness can be accurately formed by coating the transparent sheet belt once on the transparent sheet belt, and the constituent element can be easily and accurately formed by selectively exposing the material layer. In addition, the material layer can be easily adhered to the glass substrate by bending (curving) the transparent sheet belt or the like, and can be peeled from the constituent elements. In addition, the transparent seat belt can be recycled or used again, and the uncured material layer can be recovered and used without being washed away. Therefore,
The components of the plasma display panel can be manufactured with high accuracy and at low cost.

【0044】請求項2、6記載の発明によれば、透明シ
ートベルトの湾曲する位置をガラス基板に対する相対的
な位置は変えることなく移動させるので、透明シートベ
ルトを端部側から徐々に近接/離隔させることができ、
材料層をガラス基板との間に空気を挟み込むことなく密
着させる一方、材料層の未硬化部分を容易に剥離するこ
とができる。したがって、材料層を密着/剥離する特別
な装置が必要なく簡易で安価な装置とすることができ
る。
According to the second and sixth aspects of the present invention, since the curved position of the transparent sheet belt is moved without changing the relative position with respect to the glass substrate, the transparent sheet belt is gradually approached from the end side. Can be separated,
While the material layer is brought into close contact with the glass substrate without interposing air, the uncured portion of the material layer can be easily peeled off. Therefore, there is no need for a special device for adhering / peeling the material layer, and a simple and inexpensive device can be obtained.

【0045】請求項3、4、7、8記載の発明によれ
ば、ガラス基板を、例えばエアースライドにより搬送路
上を搬入および搬出し、真空吸着により位置決め保持す
るので、大面積のガラス基板であっても容易に搬送する
ことができるとともに、撓みやずれ等なく位置決め保持
することができる。また、ガラス基板の下面を一面側と
して構成要素を形成する場合には、反転することにより
構成要素を形成した一面側を上面として搬送路に送り出
すので、構成要素の形成後でも同様な方式(例えば、エ
アースライド)により搬出することができる。したがっ
て、大型のプラズマディスプレイ用の大面積のガラス基
板の作製にも適用することができ、大面積のガラス基板
上に構成要素を精度よく形成することができる。
According to the invention described in claims 3, 4, 7 and 8, since the glass substrate is carried in and out of the carrying path by, for example, an air slide and is positioned and held by vacuum suction, it is a large area glass substrate. However, it can be easily transported and can be positioned and held without bending or misalignment. Further, when forming a component with the lower surface of the glass substrate as one surface side, the one surface side on which the constituent element is formed is sent up to the conveyance path as the upper surface by reversing, so that a similar method (for example, , Air slide). Therefore, it can be applied to the production of a large-sized glass substrate for a large-sized plasma display, and the constituent elements can be accurately formed on the large-area glass substrate.

【0046】請求項9記載の発明によれば、一方向に延
在する光源をその直交方向に移送して材料層を露光する
ので、材料層を均一に露光することができる。したがっ
て、寸法精度に面積方向のムラがなくなり、構成要素を
精度よく形成することができる。請求項10記載の発明
によれば、光源の移送と共にマスクパターンのガラス基
板までの距離を一定に矯正するので、ガラス基板の下方
に透明シートベルトが位置する装置構成であっても撓み
のないマスクパターンを介して材料層を選択露光するこ
とができる。したがって、構成要素を高精度にガラス基
板上に形成することができる。
According to the ninth aspect of the present invention, the light source extending in one direction is transferred in the orthogonal direction to expose the material layer, so that the material layer can be uniformly exposed. Therefore, the dimensional accuracy does not vary in the area direction, and the constituent elements can be accurately formed. According to the tenth aspect of the invention, since the distance of the mask pattern to the glass substrate is corrected to a constant value as the light source is moved, a mask that does not bend even in a device configuration in which the transparent sheet belt is located below the glass substrate. The material layer can be selectively exposed through the pattern. Therefore, the constituent elements can be formed on the glass substrate with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの作
製方法を実施するその作製装置の一実施形態を示す図で
あり、その概念全体構成図である。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a manufacturing apparatus for carrying out a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, and is a conceptual overall configuration diagram thereof.

【図2】その一部を示す拡大斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a part thereof.

【図3】その作製方法を説明する動作状態図である。FIG. 3 is an operation state diagram illustrating a manufacturing method thereof.

【図4】その作製方法を説明する図3に続く動作状態図
である。
FIG. 4 is an operation state diagram following FIG. 3 for explaining the manufacturing method.

【図5】その作製方法を説明する図4に続く動作状態図
である。
5 is an operation state diagram following FIG. 4 for explaining the manufacturing method. FIG.

【図6】その作製方法を説明する図5に続く動作状態図
である。
FIG. 6 is an operation state diagram following FIG. 5 for explaining the manufacturing method.

【図7】その作製方法を説明する図6に続く動作状態図
である。
FIG. 7 is an operation state diagram following FIG. 6 for explaining the manufacturing method.

【図8】その作製方法を説明する図7に続く動作状態図
である。
FIG. 8 is an operation state diagram following FIG. 7 for explaining the manufacturing method.

【図9】その作製方法を説明する図8に続く動作状態図
である。
9 is an operation state diagram following FIG. 8 for explaining the manufacturing method.

【図10】その作製方法を説明する図9に続く動作状態図
である。
FIG. 10 is an operation state diagram following FIG. 9 for explaining the manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 透明シートベルト 12 供給ローラ対(第1の支持部、材料層搬送手段) 13 移動ローラ(湾曲面、材料層搬送手段、密着手
段、剥離手段) 14〜16 移動ローラ(第2の支持部、材料層搬送手
段、密着手段、剥離手段) 17 ボトムコータ(材料層形成手段) 21、22 搬送路 23 空気孔 24 位置決めクッション(位置決め手段) 25 ワークテーブル 31 マスクパターン 32 紫外線ランプユニット(露光手段) 33 紫外線ランプ(光源) 34 矯正ローラ(距離矯正手段) G ガラス基板 P 材料層
11 Transparent Seat Belt 12 Supply Roller Pair (First Supporting Part, Material Layer Conveying Means) 13 Moving Roller (Curved Surface, Material Layer Conveying Means, Adhering Means, Peeling Means) 14-16 Moving Rollers (Second Supporting Part, Material layer transfer means, contact means, peeling means) 17 Bottom coater (material layer forming means) 21, 22 Transfer path 23 Air holes 24 Positioning cushion (positioning means) 25 Work table 31 Mask pattern 32 Ultraviolet lamp unit (exposure means) 33 Ultraviolet Lamp (light source) 34 Straightening roller (distance straightening means) G Glass substrate P Material layer

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ガラス基板上にプラズマディスプレイパネ
ルの構成要素を作製する方法であって、 光硬化性樹脂に構成要素の構成材料を必要に応じて混合
したペースト状の未硬化材料を可撓性を有する透明シー
トベルト表面に塗布して材料層を形成する第1の工程
と、 位置決め保持するガラス基板の一面側に透明シートベル
ト表面の材料層を密着させる第2の工程と、 ガラス基板および透明シートベルトの間の材料層を構成
要素のマスクパターンを介して露光し硬化させ該構成要
素を形成する第3の工程と、 硬化してガラス基板に支持された構成要素から透明シー
トベルトと共に未硬化の材料層を剥離する第4の工程
と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの作製方法。
1. A method for producing a constituent element of a plasma display panel on a glass substrate, which comprises flexibly forming a paste-like uncured material in which a constituent material of the constituent element is mixed with a photocurable resin as needed. And a second step of applying a material layer on the surface of the transparent sheet belt to one surface side of the glass substrate to be positioned and held, and a glass substrate and a transparent substrate. The third step of exposing and curing the material layer between the seat belts through the mask pattern of the component to form the component, and the curing and uncuring with the transparent seat belt from the component supported on the glass substrate. And a fourth step of peeling off the material layer of (4).
【請求項2】前記第2の工程では、透明シートベルトを
ガラス基板の一端側で離隔する方向に湾曲させ該ガラス
基板の一面側を開放する状態から、該透明シートベルト
の湾曲位置をガラス基板の一端側から他端側へと移動さ
せることにより、透明シートベルトをガラス基板に順次
近接させ未硬化の材料層を該ガラス基板の一面側に密着
させ、 前記第4の工程では、透明シートベルトをガラス基板の
他端側で離隔する方向に湾曲させ該ガラス基板の一面側
に近接する状態から、該透明シートベルトの湾曲位置を
ガラス基板の他端側から一端側へと移動させることによ
り、透明シートベルトをガラス基板から順次離隔させ未
硬化の材料層と共に該ガラス基板が支持する構成要素か
ら剥離することを特徴とする請求項1記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの作製方法。
2. In the second step, the transparent sheet belt is bent at one end of the glass substrate in a direction in which it is separated from one side of the glass substrate, and the curved position of the transparent sheet belt is changed to a glass substrate. By moving from one end side to the other end side of the transparent sheet belt to the glass substrate in order to bring the uncured material layer into close contact with the one surface side of the glass substrate, and in the fourth step, the transparent sheet belt From a state of being curved in a direction away from the other side of the glass substrate and being close to one surface side of the glass substrate, by moving the curved position of the transparent sheet belt from the other side of the glass substrate to the one side, The plasma display according to claim 1, wherein the transparent sheet belt is sequentially separated from the glass substrate and is separated from the component supported by the glass substrate together with the uncured material layer. How to make a panel.
【請求項3】前記第2の工程において、ガラス基板は搬
送路から吹き出す流体により浮上させた状態でスライド
させ搬入した後に真空吸着して位置決め保持し、 前記第4の工程の後にも、ガラス基板は構成要素を形成
した一面側を上面側として搬送路から吹き出す流体によ
り浮上させた状態でスライドさせ搬出することを特徴と
する請求項1記載のプラズマディスプレイパネルの作製
方法。
3. In the second step, the glass substrate is slid in a state of being floated by a fluid blown out from a transfer path, carried in, and then vacuum-adsorbed to position and hold the glass substrate, and the glass substrate is also held after the fourth step. 2. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the one surface side on which the constituent elements are formed is an upper surface side, and is slid out in a state of being levitated by a fluid blown out from the conveying path.
【請求項4】前記第2の工程では、ガラス基板は搬送路
上で位置決めした後に上面を真空吸着して該搬送路上か
ら材料層を密着させる位置に移送し一面側を下面とし位
置決め保持し、 前記第4の工程の後には、ガラス基板は構成要素を形成
した一面側を反転して上面側とし搬送路上に送り出すこ
とを特徴とする請求項3記載のプラズマディスプレイパ
ネルの作製方法。
4. In the second step, after the glass substrate is positioned on the transfer path, the upper surface is vacuum-sucked and transferred from the transfer path to a position where the material layer is brought into close contact, and one surface side is positioned and held as the lower surface, 4. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 3, wherein after the fourth step, one side of the glass substrate on which the constituent elements are formed is inverted and the glass substrate is turned to the upper side and sent out onto the transport path.
【請求項5】ガラス基板上にプラズマディスプレイパネ
ルの構成要素を作製する装置であって、 ガラス基板を位置決め保持する基板保持手段と、 光硬化性樹脂に構成要素の構成材料を必要に応じて混合
したペースト状の未硬化材料を可撓性を有する透明シー
トベルト表面に塗布して材料層を形成する材料層形成手
段と、 透明シートベルトを移動させ該表面の材料層を位置決め
されたガラス基板の一面側との対面位置に搬送する材料
層搬送手段と、 位置決めされたガラス基板に透明シートベルトを近接さ
せ該表面の材料層を密着させる密着手段と、 位置決めされたガラス基板に対応するように構成要素の
マスクパターンを位置決め保持するマスク保持手段と、 ガラス基板および透明シートベルトの間の材料層を位置
決めされたマスクパターンを介して露光して硬化させ該
構成要素を形成する露光手段と、 硬化してガラス基板に支持された構成要素から透明シー
トベルトと共に未硬化の材料層を剥離する剥離手段と、
を備えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の作製装置。
5. An apparatus for producing constituent elements of a plasma display panel on a glass substrate, comprising substrate holding means for positioning and holding the glass substrate, and a constituent material of the constituent elements in a photocurable resin, if necessary. A material layer forming means for forming a material layer by applying the pasty uncured material on the surface of a flexible transparent sheet belt; and a glass substrate on which the material layer on the surface is moved by moving the transparent sheet belt. Material layer conveying means for conveying to a position facing one surface side, adhering means for bringing a transparent sheet belt close to a positioned glass substrate to bring the material layer on the surface into close contact, and configured to correspond to the positioned glass substrate Mask holding means for positioning and holding the mask pattern of the element, and mask pattern for positioning the material layer between the glass substrate and the transparent sheet belt. An exposure means for forming the component was cured by exposure through a separating means for separating the material layer of uncured with transparent seat belt from supported components to the glass substrate cures
An apparatus for manufacturing a plasma display panel, comprising:
【請求項6】前記材料層搬送手段を、透明シートベルト
の材料層を形成する面の裏面に接しガラス基板の一面側
に近接する位置の該ガラス基板の一端側および他端側の
間を往復する湾曲面と、ガラス基板を一端側外方に延長
した位置に設けられ透明シートベルトの一端側を支持す
る第1の支持部と、ガラス基板の一面側から離隔する位
置に設けられ第1の支持部が支持する透明シートベルト
の他端側を湾曲面を介して支持する第2の支持部と、か
ら構成し、 該材料層搬送手段が密着手段および剥離手段を兼ねるこ
とを特徴とする請求項5記載のプラズマディスプレイパ
ネルの作製装置。
6. The material layer conveying means reciprocates between one end side and the other end side of the glass substrate at a position in contact with the rear surface of the surface of the transparent sheet belt on which the material layer is formed and close to one surface side of the glass substrate. To the curved surface, a first support portion that is provided at a position where the glass substrate is extended outward at one end side and supports one end side of the transparent seat belt, and a first support portion that is provided at a position separated from one surface side of the glass substrate. A second supporting portion that supports the other end of the transparent seat belt supported by the supporting portion via a curved surface, and the material layer conveying means also serves as a contacting means and a peeling means. Item 5. A plasma display panel manufacturing apparatus according to Item 5.
【請求項7】前記ガラス基板を吹き出す流体により浮上
させた状態でスライドさせ搬送する搬送路と、該搬送路
上を搬入されてきたガラス基板を位置決めする位置決め
手段と、を設け、 前記基板保持手段を、位置決め手段により位置決めされ
たガラス基板を真空吸着して材料層を密着する位置に位
置決め保持するように構成したことを特徴とする請求項
5記載のプラズマディスプレイパネルの作製装置。
7. A transport path for sliding and transporting the glass substrate in a state of being floated by a fluid blowing out, and a positioning means for positioning the glass substrate carried in on the transport path, the substrate holding means being provided. The apparatus for manufacturing a plasma display panel according to claim 5, wherein the glass substrate positioned by the positioning means is vacuum-sucked to position and hold the material layer in a position where the material layer is in close contact.
【請求項8】前記位置決め手段を、搬送路上の材料層を
密着する位置近傍で位置決めするように構成し、 前記基板保持手段を、位置決め手段により位置決めされ
たガラス基板は上面を真空吸着して材料層の密着位置に
移送し下面を一面側として位置決め保持し、構成要素を
一面側に形成されたガラス基板は反転して該一面側を上
面とし搬送路上に送り出すように構成したことを特徴と
する請求項7記載のプラズマディスプレイパネルの作製
装置。
8. The positioning means is configured to position the material layer on the conveying path in the vicinity of a position where the material layer is in close contact with the substrate holding means, and the glass substrate positioned by the positioning means is vacuum-adsorbed on the upper surface of the material to hold the material. It is characterized in that it is configured so that it is transferred to the layer contact position and positioned and held with the lower surface as the one surface side, and the glass substrate formed with the one surface side is inverted and the one surface side is the upper surface and is delivered onto the transport path. The apparatus for manufacturing a plasma display panel according to claim 7.
【請求項9】前記露光手段として、ガラス基板の一端か
ら他端に向かう方向と直交する方向に延在し該ガラス基
板と平行な光源と、該光源をガラス基板の一端から他端
またはその逆方向へ移送する移送手段と、を設けたこと
を特徴とする請求項5記載のプラズマディスプレイパネ
ルの作製装置。
9. The light source that extends in a direction orthogonal to the direction from one end to the other end of the glass substrate and is parallel to the glass substrate as the exposing means, and the light source from one end to the other end of the glass substrate or vice versa. 6. The apparatus for manufacturing a plasma display panel according to claim 5, further comprising: a transfer unit that transfers in a direction.
【請求項10】前記ガラス基板の下面側に透明シートベ
ルトが位置し前記露光手段が該透明シートベルトおよび
マスクパターンを介して材料層を露光するように構成さ
れ、前記移送手段に、ガラス基板と平行に移動してマス
クパターンの該ガラス基板までの距離を一定に矯正する
距離矯正手段を設けたことを特徴とする請求項9記載の
プラズマディスプレイパネルの作製装置。
10. A transparent sheet belt is located on the lower surface side of the glass substrate, and the exposing means is configured to expose a material layer through the transparent sheet belt and a mask pattern. 10. The apparatus for manufacturing a plasma display panel according to claim 9, further comprising a distance correcting unit that moves in parallel to correct a distance of the mask pattern to the glass substrate.
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