JPH09232655A - Light pulse generating device - Google Patents

Light pulse generating device

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JPH09232655A
JPH09232655A JP8039166A JP3916696A JPH09232655A JP H09232655 A JPH09232655 A JP H09232655A JP 8039166 A JP8039166 A JP 8039166A JP 3916696 A JP3916696 A JP 3916696A JP H09232655 A JPH09232655 A JP H09232655A
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JP
Japan
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optical
light
output
pulse
electric pulse
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JP8039166A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideki Takakura
秀基 高倉
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TERA TEC KK
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TERA TEC KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a light pulse generating device which is capable of outputting light pulses which are the same in repetition frequency and variable and narrow in pulse width. SOLUTION: An electric pulse A1 out of electric pulses A1 and A2 of the same phase generated by a pulse generator is turned to an electric pulse A delayed in phase by a prescribed time through a line, and the electric pulse A2 is turned to an electric pulse B passing through a variable delay device, and a phase difference Δt occurs between the electric pulses A and B. The pulses A and B are used as drive signals for a first and a second light modulators 3 and 4, and a light input is turned into a light signal which is of pulse width tw and delayed by T+Δt through the first light modulator, and the light signal is modulated by the second light modulator 4 into a light signal of pulse width tw-Δt.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光パルス発生装置に係
り、特に超高速の光パルス発生において、光パルスの繰
り返し周波数を変化させず、パルス幅のみを可変可能と
する光パルス発生装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical pulse generator, and more particularly to an optical pulse generator capable of varying only the pulse width without changing the repetition frequency of the optical pulse in the generation of an ultrafast optical pulse. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、超高速パルス発生において用いら
れるリングレーザ発振器(以下、単にリングレーザとい
う)は、図4の構成をとる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a ring laser oscillator (hereinafter, simply referred to as a ring laser) used in ultrahigh-speed pulse generation has a structure shown in FIG.

【0003】図4において、1はパルス発生器、3は光
変調器で、パルス発生器1からの電気パルス信号により
光を変調する。5は前記光変調器3の出力を受けて増幅
を行う光増幅器、6は前記光増幅器5の出力を受け出力
波長以外の波長をカットするための可変波長の光バンド
パスフィルタ、7は前記光バンドパスフィルタ6の出力
を受け、光パルス信号出力とリング用出力に分岐して出
力端子C,Dから出力する光カプラ、8はモード同期が
かかるようにリング全体の長さを調整する可変光遅延器
である。
In FIG. 4, reference numeral 1 is a pulse generator, and 3 is an optical modulator, which modulates light by an electric pulse signal from the pulse generator 1. Reference numeral 5 is an optical amplifier for receiving and amplifying the output of the optical modulator 3, 6 is an optical bandpass filter of variable wavelength for receiving the output of the optical amplifier 5 and cutting wavelengths other than the output wavelength, and 7 is the optical An optical coupler which receives the output of the bandpass filter 6 and branches it into an optical pulse signal output and a ring output and outputs it from the output terminals C and D. Reference numeral 8 is a variable light for adjusting the length of the entire ring so that mode synchronization is applied. It is a delay device.

【0004】図4の従来のリングレーザの動作を図5を
参照して説明する。
The operation of the conventional ring laser shown in FIG. 4 will be described with reference to FIG.

【0005】図5における発振しきい値はリングレーザ
の構成によって決まる。ピーク値を1として正規化する
と0.9程度となる。リングレーザのパルス幅は図5の
幅aで決まる。したがって細いパルス幅を得るには繰り
返し周波数が高い高周波を光変調器3に入力すればよ
い。
The oscillation threshold in FIG. 5 is determined by the structure of the ring laser. When the peak value is set to 1 and normalized, it becomes about 0.9. The pulse width of the ring laser is determined by the width a in FIG. Therefore, in order to obtain a narrow pulse width, a high frequency wave having a high repetition frequency may be input to the optical modulator 3.

【0006】しかし、光変調器3の周波数帯域は現状で
は70GHz程度が限界である。70GHzの正弦波を
入力した時、パルス幅は(1)式によって求められる。
However, the frequency band of the optical modulator 3 is currently limited to about 70 GHz. When a 70 GHz sine wave is input, the pulse width is calculated by the equation (1).

【0007】[0007]

【数1】 よって(1)式よりパルス出力は2.5psの半値幅と
なる。現状のリングレーザではこれが出力パルス幅の限
界となる。
[Equation 1] Therefore, the pulse output has a full width at half maximum of 2.5 ps from the equation (1). In the current ring laser, this is the limit of the output pulse width.

【0008】このように従来のリングレーザでは、光出
力のパルス幅は駆動信号の周波数に依存しており、短い
パルス幅の出力を得るには駆動信号の周波数を高くする
ことになり、そのため駆動信号の周波数によって決まる
パルスの繰り返し周波数が変化してしまっていた。周波
数を上げていくと光変調器3が動作しなくなることがあ
り駆動信号の周波数の上限でリングレーザの光パルス出
力のパルス幅が制限されていた。
As described above, in the conventional ring laser, the pulse width of the optical output depends on the frequency of the drive signal, and the frequency of the drive signal is increased in order to obtain an output with a short pulse width. The pulse repetition frequency, which is determined by the signal frequency, has changed. When the frequency is increased, the optical modulator 3 may not operate, and the pulse width of the optical pulse output of the ring laser is limited by the upper limit of the frequency of the drive signal.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
リングレーザでは、パルス幅を細くしようとするとパル
スの繰り返し周波数が変わってしまう。また、光パルス
発生装置を外部信号に同期させて信号観測を行う場合に
は、繰り返し周波数は外部信号によって決まるので、パ
ルス幅が変わってしまい最高性能(出力パルス幅が最
短)で信号観測を行うことができなくなってしまう。さ
らに、遅い繰り返し周波数で細い光パルス出力を得るこ
とは困難である。
As described above, in the conventional ring laser, the pulse repetition frequency is changed when the pulse width is narrowed. Also, when performing signal observation by synchronizing the optical pulse generator with an external signal, the repetition frequency is determined by the external signal, so the pulse width changes and signal observation is performed with the best performance (shortest output pulse width). I will not be able to. Furthermore, it is difficult to obtain a thin optical pulse output at a slow repetition frequency.

【0010】本発明は、2つの光変調器を用いて駆動信
号の位相を変えることにより、等価的に従来のリングレ
ーザにおける駆動信号のパルス幅を短くしたものと見な
せることに着目し、同じ繰り返し周波数において光パル
ス出力のパルス幅を可変とする光パルス発生器を提供す
ることを目的とする。
The present invention focuses on the fact that the pulse width of the drive signal in the conventional ring laser can be equivalently shortened by changing the phase of the drive signal using two optical modulators, and the same repetition is repeated. An object of the present invention is to provide an optical pulse generator capable of varying the pulse width of the optical pulse output depending on the frequency.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明にかかる光パルス
発生装置は、光の入力端子,出力端子を持ち、前記可変
遅延器の電気パルス信号(B)を受け、光の入力端子か
ら入力された光を前記可変遅延器の電気パルス信号に従
って強度変調し、光の出力端子に出力する第1の光変調
器(3)と、光の入力端子,出力端子を持ち、前記電気
パルス信号(A1)が線路により固定遅延された電気パ
ルス信号(A)を受け、光の入力端子から入力された光
を前記電気パルス信号(A)に従って強度変調し、光の
出力端子に出力する第2の光変調器(4)と、この第2
の光変調器の出力を増幅する光増幅器(5)と、前記光
増幅器の出力のうち所望の波長のみ透過し、他の波長を
カットする光バンドパスフィルタ(6)と、光入力端子
と2つの光出力端子(C),(D)をもつ光カプラ
(7)と、モード同期をかけるための可変光遅延器
(8)とを備え、これらをリング状に接続したものであ
る。
An optical pulse generator according to the present invention has an optical input terminal and an output terminal, receives an electric pulse signal (B) from the variable delay device, and is inputted from the optical input terminal. The optical pulse signal (A1) has a first optical modulator (3) that intensity-modulates the emitted light according to the electric pulse signal of the variable delay device and outputs it to the output terminal of the light, and an input terminal and an output terminal of the light. ) Receives the electric pulse signal (A) fixedly delayed by the line, intensity-modulates the light input from the light input terminal according to the electric pulse signal (A), and outputs the second light to the light output terminal. Modulator (4) and this second
An optical amplifier (5) for amplifying the output of the optical modulator, an optical bandpass filter (6) for transmitting only a desired wavelength of the output of the optical amplifier and cutting other wavelengths, an optical input terminal and 2 An optical coupler (7) having two optical output terminals (C) and (D) and a variable optical delay device (8) for mode-locking are provided, and these are connected in a ring shape.

【0012】[0012]

【作用】本発明においては、2つの光変調器に入力する
変調用の電気パルス信号の位相差を変化させることによ
り、光変調器の動作周波数は変化させずに出力パルス幅
が変化する。
In the present invention, the output pulse width changes without changing the operating frequency of the optical modulator by changing the phase difference between the electric pulse signals for modulation input to the two optical modulators.

【0013】[0013]

【実施例】図1は、本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention.

【0014】図1において、1は同期した2つの電気パ
ルス信号A1,A2を繰り返し発生させるパルス発生
器、2は電気の線路長を変化させ、電気パルス信号A2
に可変遅延を生じさせ電気パルス信号Bとする可変遅延
器、3はリングレーザを構成する第1の光変調器で、可
変遅延器2の電気パルス信号Bを高周波分とし、DCバ
イアス分(図示せず)とを合わせて、光の入力を光強度
変調し出力する。4はリングレーザを構成する第2の光
変調器で、電気パルス信号A1が線路により固定遅延さ
れた電気パルス信号Aを高周波分とし、DCバイアス分
(図示せず)とを合わせて、光の入力を光強度変調し出
力する。5はリングレーザを構成する光増幅器で、エル
ビウム添加ファイバアンプ等が用いられる。6はリング
レーザを構成する光バンドパスフィルタで、リングレー
ザにおける発振波長を透過中間波長とする。7はリング
レーザを構成する光カプラで、リングレーザから光出力
信号を分岐する。8はリングレーザを安定に動作させる
ようにリング長を調整するための可変光遅延器である。
In FIG. 1, 1 is a pulse generator that repeatedly generates two synchronized electric pulse signals A1 and A2, and 2 is a pulse generator that changes the electric line length to generate an electric pulse signal A2.
A variable delay device 3 that produces a variable delay in the electric pulse signal B is a first optical modulator that constitutes a ring laser. The electric pulse signal B of the variable delay device 2 is a high frequency component and a DC bias component (Fig. (Not shown) to modulate the light intensity of the light input and output it. Reference numeral 4 denotes a second optical modulator that constitutes a ring laser. The electric pulse signal A1 is a high frequency component of the electric pulse signal A which is fixed and delayed by a line, and is combined with a DC bias component (not shown) to generate a light beam. It modulates the light intensity of the input and outputs it. An optical amplifier 5 constitutes a ring laser, and an erbium-doped fiber amplifier or the like is used. Reference numeral 6 is an optical bandpass filter that constitutes a ring laser, and the oscillation wavelength of the ring laser is the transmission intermediate wavelength. An optical coupler 7 constitutes a ring laser, which branches an optical output signal from the ring laser. Reference numeral 8 is a variable optical delay device for adjusting the ring length so that the ring laser operates stably.

【0015】次に、図1の実施例の動作について、図
2,図3を参照して説明する。
Next, the operation of the embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS.

【0016】図2は、本発明の動作原理図で、例えば、
図2(a)のように、第2の光変調器4にパルス幅tw
の駆動用の電気パルス信号Aを入力すると、それに応じ
た光出力が第2の光変調器4から出る。図2(b)のよ
うに、第1の光変調器3に電気パルス信号Aより位相が
Δt遅れた電気パルス信号Bを入力すると、第1の光変
調器3から光出力が出るが、この光出力の位相は第2の
光変調器4から出る光出力より位相がΔt遅れた光出力
となる。そこで、図2(c)のように、図2(a),
(b)を合成した光変調器等価ブロック10を考える
と、丁度、駆動信号AとBとの重なる幅tw−Δtの駆
動用の電気パルス信号を入力したのと等価となり、狭い
パルス幅の光信号が得られる。Δtを大きくするほどパ
ルス幅は狭くなる。
FIG. 2 is a diagram showing the operating principle of the present invention.
As shown in FIG. 2A, the second optical modulator 4 has a pulse width tw.
When the electric pulse signal A for driving is input, an optical output corresponding to the electric pulse signal A is output from the second optical modulator 4. As shown in FIG. 2B, when the electric pulse signal B whose phase is delayed by Δt from the electric pulse signal A is input to the first optical modulator 3, the first optical modulator 3 outputs an optical output. The phase of the optical output is an optical output whose phase is delayed by Δt from the optical output from the second optical modulator 4. Therefore, as shown in FIG.
Considering the optical modulator equivalent block 10 in which (b) is combined, it is equivalent to inputting an electric pulse signal for driving, which has a width tw-Δt in which the driving signals A and B are overlapped with each other. The signal is obtained. The larger Δt is, the narrower the pulse width becomes.

【0017】以上の原理を用いた図1の実施例の構成の
要部を抜き出したのが図3のブロック図である。この図
で、遅延時間Tはケーブル等で生じる固定遅延である。
したがって、可変遅延器2側においても遅延時間Tは当
然に生じる。要は第1,第2の光変調器3と4に入力す
る駆動用の電気パルス信号A,B間に位相差を与えるた
めに、可変遅延器2を用いている。第1の光変調器3に
おいて、可変遅延器2でT+Δtの遅延時間が与えられ
た(Δtは可変)電気パルス信号Bにより第1の光変調
器3において光入力は変調を受け、パルス幅twで、基
準時間t=0に対してt=T+Δtだけ遅れた光パルス
に光入力を変調する。第1の光変調器3で変調を受けた
光信号は次段の第2の光変調器4で再び変調を受け、図
2の原理図で説明したように、パルス幅tw−Δtの光
信号が得られる。このようにして得られた光信号は光カ
プラ7の出力端子Cから出力される。なお、図1の出力
端子Dから得られる光信号は、再びリングレーザ中の光
入力として用いられる。
FIG. 3 is a block diagram showing the main part of the configuration of the embodiment of FIG. 1 using the above principle. In this figure, the delay time T is a fixed delay that occurs in a cable or the like.
Therefore, the delay time T naturally occurs also on the variable delay device 2 side. In short, the variable delay device 2 is used to provide a phase difference between the driving electric pulse signals A and B input to the first and second optical modulators 3 and 4. In the first optical modulator 3, the optical input is modulated in the first optical modulator 3 by the electric pulse signal B to which the delay time of T + Δt is given by the variable delay device 2 (Δt is variable), and the pulse width tw Then, the optical input is modulated into an optical pulse delayed by t = T + Δt with respect to the reference time t = 0. The optical signal modulated by the first optical modulator 3 is again modulated by the second optical modulator 4 in the next stage, and as described in the principle diagram of FIG. 2, the optical signal having the pulse width tw-Δt. Is obtained. The optical signal thus obtained is output from the output terminal C of the optical coupler 7. The optical signal obtained from the output terminal D of FIG. 1 is used again as an optical input in the ring laser.

【0018】実際のパルス幅の最小値は、第1,第2の
光変調器3,4の変調帯域と電気パルス信号B,Aの立
ち上がり時間tr および立ち下がり時間tf で決まる。
よってダブラ等を使用して電気パルス信号のt,t
を短くした時と比べて短いパルスが発生するとは限らな
いが、パルスの幅を掃引させることが可能であるので、
パルス幅の変化部を用いて新しい測定法に応用できる可
能性がある。
The minimum value of the actual pulse width is determined by the first modulation bandwidth and an electric pulse signal B of the second optical modulator 3 and 4, the rise of the A time t r and fall time t f.
Therefore, of the electrical pulse signal by using the doubler such as t r, t f
A short pulse is not always generated compared to when the pulse width is shortened, but since the pulse width can be swept,
There is a possibility that it can be applied to a new measurement method by using the pulse width changing part.

【0019】このように、パルス幅twの電気パルス信
号をΔt秒ずらして第1の光変調器3に加えることによ
り2つの光変調器3,4を通った光出力はtw−Δtの
幅になり、Δtを変化させることにより0〜twの間の
任意のパルス幅の光変調を行うことができる。この結果
光パルス出力も(1)式により変化する。
As described above, by shifting the electric pulse signal having the pulse width tw by Δt seconds and applying it to the first optical modulator 3, the optical output passing through the two optical modulators 3 and 4 has a width of tw-Δt. Therefore, by changing Δt, optical modulation with an arbitrary pulse width between 0 and tw can be performed. As a result, the optical pulse output also changes according to equation (1).

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明は光の入力
端子,出力端子を持ち、前記可変遅延器の電気パルス信
号(B)を受け、光の入力端子から入力された光を前記
可変遅延器の電気パルス信号に従って強度変調し、光の
出力端子に出力する第1の光変調器(3)と、光の入力
端子,出力端子を持ち、前記電気パルス信号(A1)が
線路により固定遅延された電気パルス信号(A)を受
け、光の入力端子から入力された光を前記電気パルス信
号(A)に従って強度変調し、光の出力端子に出力する
第2の光変調器(4)と、この第2の光変調器の出力を
増幅する光増幅器(5)と、前記光増幅器の出力のうち
所望の波長のみ透過し、他の出力をカットする光バンド
パスフィルタ(6)と、光入力端子と2つの光出力端子
(C),(D)をもつ光カプラ(7)と、モード同期を
かけるための可変光遅延器(8)とを備え、これらをリ
ング状に接続したので、第1と第2の光変調器を駆動す
る2つの電気信号パルス間の位相差を変えることで繰り
返し周波数を変えずにパルス幅を変化させることが可能
であり、光信号観測に用いるサンプリング光を用いるパ
ルス光源として利用すると、長い周期の信号を観測する
際でも短いサンプリングパルス光を発生することが可能
になり、光の波形観測を、正確に行うことができる。
As described above, the present invention has the optical input terminal and the output terminal, receives the electric pulse signal (B) of the variable delay device, and receives the light input from the optical input terminal by the variable delay. Has a first optical modulator (3) that intensity-modulates according to an electric pulse signal of the device and outputs it to an output terminal of light, and an input terminal and an output terminal of the light, and the electric pulse signal (A1) is fixedly delayed by a line. A second optical modulator (4) for receiving the generated electric pulse signal (A), intensity-modulating the light input from the light input terminal according to the electric pulse signal (A), and outputting the intensity-modulated light to the light output terminal. An optical amplifier (5) for amplifying the output of the second optical modulator, an optical bandpass filter (6) for transmitting only a desired wavelength of the output of the optical amplifier and cutting other outputs, Also has an input terminal and two optical output terminals (C) and (D) Since the optical coupler (7) and the variable optical delay device (8) for mode-locking are provided and connected in a ring shape, two electric signal pulses for driving the first and second optical modulators are provided. It is possible to change the pulse width without changing the repetition frequency by changing the phase difference between them, and when used as a pulse light source using sampling light used for optical signal observation, even when observing a signal with a long period, it is short Sampling pulse light can be generated, and the waveform of light can be observed accurately.

【0021】また、パルス幅を掃引させるパルス光源と
して使用することにより、サンプリングパルス幅掃引光
サンプリング装置のように時間分解能をサンプリングパ
ルス幅の安定度の限界まで上げることが可能な波形観測
装置が実現できる。
Further, by using it as a pulse light source for sweeping the pulse width, a waveform observing device capable of increasing the time resolution to the limit of the stability of the sampling pulse width like a sampling pulse width sweeping optical sampling device is realized. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の動作原理を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the operating principle of the present invention.

【図3】図1の実施例の要部を示した動作説明のための
図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the main part of the embodiment of FIG.

【図4】従来のリングレーザの構成例を示すブロック図
である。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration example of a conventional ring laser.

【図5】従来のリングレーザの動作説明のための波形図
である。
FIG. 5 is a waveform diagram for explaining the operation of the conventional ring laser.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パルス発生器 2 可変遅延器 3 第1の光変調器 4 第2の光変調器 5 光増幅器 6 光バンドパスフィルタ 7 光カプラ 8 可変光遅延器 A 電気パルス信号 A1 電気パルス信号 A2 電気パルス信号 B 電気パルス信号 1 pulse generator 2 variable delay device 3 first optical modulator 4 second optical modulator 5 optical amplifier 6 optical bandpass filter 7 optical coupler 8 variable optical delay device A electrical pulse signal A1 electrical pulse signal A2 electrical pulse signal B electric pulse signal

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 同期した2つの出力の電気パルス信号
(A1),(A2)を出力するパルス発生器(1)と、 前記パルス発生器の電気パルス信号(A2)を受け、可
変遅延を生じさせ電気パルス信号(B)を得る可変遅延
器(2)と、 光の入力端子,出力端子を持ち、前記可変遅延器の電気
パルス信号(B)を受け、光の入力端子から入力された
光を前記可変遅延器の電気パルス信号に従って強度変調
し、光の出力端子に出力する第1の光変調器(3)と、 光の入力端子,出力端子を持ち、前記電気パルス信号
(A1)が線路により固定遅延された電気パルス信号
(A)を受け、光の入力端子から入力された光を前記電
気パルス信号(A)に従って強度変調し、光の出力端子
に出力する第2の光変調器(4)と、 この第2の光変調器の出力を増幅する光増幅器(5)
と、 前記光増幅器の出力のうち所望の波長のみ透過し、他の
波長をカットする光バンドパスフィルタ(6)と、 光入力端子と2つの光出力端子(C),(D)をもつ光
カプラ(7)と、 モード同期をかけるための可変光遅延器(8)と、 を備え、前記第1,第2の光変調器,光増幅器,光バン
ドパスフィルタ,光出力端子(D)を用いる光カプラお
よび可変光遅延器をリング状に接続し、前記光カプラの
一方の光出力端子(C)より光パルス出力を得る構成と
したことを特徴とする光パルス発生装置。
1. A pulse generator (1) for outputting two synchronized electric pulse signals (A1), (A2), and an electric pulse signal (A2) from the pulse generator for generating a variable delay. A variable delay device (2) for obtaining an electric pulse signal (B), an optical input terminal and an output terminal for receiving the electric pulse signal (B) of the variable delay device, and a light input from the optical input terminal. Has a first optical modulator (3) for intensity-modulating according to the electric pulse signal of the variable delay device and outputting it to an output terminal of light, and an input terminal and an output terminal of the optical pulse, and the electric pulse signal (A1) is A second optical modulator for receiving the electric pulse signal (A) fixedly delayed by the line, intensity-modulating the light input from the light input terminal according to the electric pulse signal (A), and outputting the light to the light output terminal. (4) and the output of this second optical modulator Amplified optical amplifier (5)
An optical bandpass filter (6) that transmits only a desired wavelength of the output of the optical amplifier and cuts other wavelengths, and an optical input terminal and two optical output terminals (C) and (D) A coupler (7) and a variable optical delay device (8) for mode-locking are provided, and the first and second optical modulators, optical amplifiers, optical bandpass filters, and optical output terminals (D) are provided. An optical pulse generator characterized in that an optical coupler to be used and a variable optical delay device are connected in a ring shape, and an optical pulse output is obtained from one optical output terminal (C) of the optical coupler.
JP8039166A 1996-02-27 1996-02-27 Light pulse generating device Pending JPH09232655A (en)

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JP8039166A JPH09232655A (en) 1996-02-27 1996-02-27 Light pulse generating device

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006128157A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Komatsu Ltd Driver laser system for extremely ultraviolet optical source apparatus

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006128157A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Komatsu Ltd Driver laser system for extremely ultraviolet optical source apparatus

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