JPH09229834A - Sample supporting device for x-ray device - Google Patents

Sample supporting device for x-ray device

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Publication number
JPH09229834A
JPH09229834A JP8056753A JP5675396A JPH09229834A JP H09229834 A JPH09229834 A JP H09229834A JP 8056753 A JP8056753 A JP 8056753A JP 5675396 A JP5675396 A JP 5675396A JP H09229834 A JPH09229834 A JP H09229834A
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JP
Japan
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sample
ray
sample support
support device
support member
Prior art date
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Pending
Application number
JP8056753A
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Japanese (ja)
Inventor
Takahisa Sato
貴久 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Rigaku Denki Co Ltd, Rigaku Corp filed Critical Rigaku Denki Co Ltd
Priority to JP8056753A priority Critical patent/JPH09229834A/en
Publication of JPH09229834A publication Critical patent/JPH09229834A/en
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a lot of frost from sticking of an amount more than the amount affecting measurement to a sample holding member which supports a sample, relating to a sample supporting device used for x-ray device which performs measurement by blowing a low temperature gas to the sample. SOLUTION: The sample supporting device is used for an x-ray device wherein a sample S is irradiated with the x-ray from an x-ray source F, and the x-ray coming out of the sample S is detected with an x-ray detector 4. The sample S is fixed to and supported by the upper end of a sample supporting member 9 which is formed by applying the outside periphery surface of a glass rod 11 with a silver paste 12 of high thermal conductivity. When coolant gas G1 and G2 blowing off from a nozzle 15 is blown to the sample S so that the temperature of the sample S is kept at low, thanks to the function of the thermal conductivity of the silver paste 12, large frost is prevented from growing such part of the sample supporting member 9 as hit by coolant gas.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線装置において
試料を支持するために用いられる試料支持装置に関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a sample support device used for supporting a sample in an X-ray apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】X線を用いて試料の結晶構造等を解析す
るX線装置は広く知られている。このX線装置におい
て、低温状態下での試料の構造変化を測定したい場合が
ある。この場合従来は、図4に示すように、ガラス棒5
1によって支持された試料Sに低温ガスGを吹き付けて
試料Sを低温状態に保持しながら、X線源Fから放射さ
れたX線を試料Sに照射し、試料Sで回折、反射などを
したX線をX線検出器52によって検出する。
2. Description of the Related Art An X-ray apparatus for analyzing a crystal structure of a sample using X-ray is widely known. In this X-ray apparatus, it may be desired to measure the structural change of the sample under a low temperature condition. In this case, conventionally, as shown in FIG.
While holding the sample S in a low temperature state by blowing the low temperature gas G onto the sample S supported by 1, the sample S is irradiated with the X-rays emitted from the X-ray source F, and the sample S diffracts and reflects the light. The X-ray is detected by the X-ray detector 52.

【0003】この従来の試料支持装置において、試料S
を支持する棒材として金属ではなくてガラスを用いるの
は、次の理由による。すなわち、金属を用いると、試料
に向けてX線を照射するとき、その金属棒材にもX線が
当たって散乱X線が発生し、その散乱X線がノイズ成分
としてX線検出器52に検出されてしまうからである。
In this conventional sample support device, the sample S
The reason why glass is used instead of metal as a rod material for supporting is because of the following reasons. That is, when a metal is used, when irradiating the sample with X-rays, the X-rays also hit the metal rod to generate scattered X-rays, and the scattered X-rays are transmitted to the X-ray detector 52 as noise components. This is because it will be detected.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の試料支持装置では、試料を低温に冷却して測定を行う
場合、試料を支持しているガラス棒の外周面、特に冷媒
ガスの外縁部分に霜Zが付着し、さらにそれが成長す
る。霜Zの付着量が所定量を超えると、X線がその霜Z
に当たって散乱X線が発生し、その結果、測定精度が劣
化するおそれがあった。
However, in the above-described conventional sample support device, when the sample is cooled to a low temperature for measurement, frost is formed on the outer peripheral surface of the glass rod supporting the sample, particularly on the outer edge portion of the refrigerant gas. Z attaches and grows further. When the amount of adhered frost Z exceeds a predetermined amount, X-rays generate the frost Z.
On the other hand, scattered X-rays are generated, and as a result, the measurement accuracy may deteriorate.

【0005】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであって、試料に低温ガスを吹き付けて測定を行う
X線装置に用いられる試料支持装置において、試料を支
持するための試料支持部材に測定を害する程度以上の多
量の霜が付着するのを防止することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and in a sample support device used in an X-ray apparatus for measuring a sample by spraying a low temperature gas, the sample support for supporting the sample The purpose is to prevent a large amount of frost from adhering to the member from damaging the measurement.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る試料支持装置は、試料を支持する試料
支持部材と、試料支持部材の外周面に積層されていて試
料支持部材よりも熱伝導率の高い被覆材料とを有するこ
とを特徴とする。この試料支持装置によれば、試料支持
部材の外周面に少量の霜が付着するが、それが大きく成
長することがなくなって散乱X線の発生もなくなり、そ
の結果、高精度のX線測定結果を得ることができる。こ
れは、被覆材料の働きによって試料支持部材に生じる熱
勾配が緩やかになるからであると考えられる。
In order to achieve the above object, a sample supporting device according to the present invention comprises a sample supporting member for supporting a sample and a sample supporting member which is laminated on an outer peripheral surface of the sample supporting member. Also has a coating material having a high thermal conductivity. According to this sample support device, a small amount of frost adheres to the outer peripheral surface of the sample support member, but it does not grow much and the generation of scattered X-rays also disappears. As a result, highly accurate X-ray measurement results are obtained. Can be obtained. It is considered that this is because the thermal gradient generated in the sample support member becomes gentle by the action of the coating material.

【0007】試料支持部材は試料を支持できる任意の形
状に形成されるが、例えば、棒材や管材等によって構成
できる。棒材とした場合には、その先端に試料が固着さ
れる。また、管材とした場合には、その管内部に試料が
格納される。また、試料支持部材の材質としては、X線
が照射されたときに散乱X線を発生することの少ない材
質、例えばガラス等が好ましい。
The sample support member is formed in an arbitrary shape capable of supporting the sample, and can be formed of, for example, a rod or a tube. When the rod is used, the sample is fixed to the tip of the rod. In the case of a pipe material, the sample is stored inside the pipe. The material for the sample support member is preferably a material that does not generate scattered X-rays when irradiated with X-rays, such as glass.

【0008】被覆材料を試料支持部材の外周面に積層す
るための処理方法は種々考えられ、特定の方法に限定さ
れない。例えば、刷毛などの塗布具によって塗布する方
法、スプレーで吹き付けて塗布する方法、被覆材料を貯
留したタンク内に試料支持部材を浸漬する方法、その
他、試料支持部材の外周面に被覆材料を薄い層状に密着
して固着できる処理方法であれば任意の処理方法を用い
ることができる。なお、被覆材料としては、金属ペース
ト、金属を含んだ塗料等を用いることができる。金属ペ
ーストとしては銀ペーストなどが考えられる。
Various treatment methods for laminating the coating material on the outer peripheral surface of the sample support member are conceivable and are not limited to specific methods. For example, a method of applying with a coating tool such as a brush, a method of applying by spraying, a method of immersing the sample support member in a tank storing the coating material, and a method of applying a thin layer of the coating material to the outer peripheral surface of the sample support member. Any treatment method can be used as long as it can be adhered to and fixed to. As the coating material, metal paste, paint containing metal, or the like can be used. The metal paste may be silver paste or the like.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】図1は、本発明に係る試料支持装
置を用いたX線装置の一実施形態を示している。このX
線装置は、試料支持装置3の一方の側に設置されたX線
源Fと、試料支持装置3の他方の側に設置されたX線検
出器としてのX線フィルム4とを有している。X線フィ
ルム4は、X線を平面的に検出できる二次元X線検出器
であるが、これに代えて、X線を点状に検出する一次元
X線検出器を設置してこれをX線回折方向に移動させる
ことできる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an embodiment of an X-ray apparatus using a sample support device according to the present invention. This X
The X-ray device has an X-ray source F installed on one side of the sample support device 3 and an X-ray film 4 as an X-ray detector installed on the other side of the sample support device 3. . The X-ray film 4 is a two-dimensional X-ray detector that can detect X-rays in a plane, but instead of this, a one-dimensional X-ray detector that detects X-rays in a dot shape is installed and the X-ray film is used as an X-ray film. It can be moved in the line diffraction direction.

【0010】試料支持装置3は、ゴニオメータ5と、そ
のゴニオメータ5上に搭載されたゴニオメータヘッド6
と、ゴニオメータヘッド6に取り付けられた試料ユニッ
ト7とを有する。ゴニオメータヘッド6は、ゴニオメー
タ5の上に配設されたYステージ13yと、そのYステ
ージ13yの上に搭載されたXステージ13xと、その
Xステージ13xの上に搭載されたY方向アークステー
ジ14yと、そしてそのY方向アークステージ14yの
上に搭載されたX方向アークステージ14xとを有して
いる。
The sample support device 3 includes a goniometer 5 and a goniometer head 6 mounted on the goniometer 5.
And a sample unit 7 attached to the goniometer head 6. The goniometer head 6 includes a Y stage 13y arranged on the goniometer 5, an X stage 13x mounted on the Y stage 13y, and a Y direction arc stage 14y mounted on the X stage 13x. , And an X-direction arc stage 14x mounted on the Y-direction arc stage 14y.

【0011】Yステージ13yは、それに搭載したXス
テージ13xを図の紙面垂直方向へ平行移動自在に支持
する。Xステージ13xは、矢印Aで示すように、それ
に搭載されたY方向アークステージ14yを図の紙面左
右方向へ平行移動自在に支持する。Y方向アークステー
ジ14yは、それに搭載されたX方向アークステージ1
4xを試料Sを中心として図の紙面垂直方向へ自由にア
ーク運動、すなわち円弧運動できるように支持する。そ
して、X方向アークステージ14xは、それに搭載され
た試料ユニット7を矢印Bで示すように試料Sを中心と
して図の紙面左右方向へ自由にアーク運動できるように
支持する。
The Y stage 13y supports the X stage 13x mounted on the Y stage 13y so as to be movable in parallel in the direction perpendicular to the plane of the drawing. As indicated by an arrow A, the X stage 13x supports a Y-direction arc stage 14y mounted on the X-stage 13x so that the Y-direction arc stage 14y can move in parallel in the left-right direction of the drawing. The Y-direction arc stage 14y is an X-direction arc stage 1 mounted on it.
4x is supported so that it can freely perform an arc motion, that is, an arc motion centered on the sample S in the direction perpendicular to the plane of the drawing. Then, the X-direction arc stage 14x supports the sample unit 7 mounted on the sample unit 7 so that the sample unit 7 can be freely arc-moved in the left-right direction of the drawing sheet around the sample S as shown by an arrow B.

【0012】このように構成されたゴニオメータヘッド
6の働きにより、試料Sは、直交2方向へ平行移動する
ことによって平面内で位置移動でき、さらに、直交2方
向へアーク運動することによりX線ビームに対する方位
を変化させることができる。本実施形態で用いたゴニオ
メータヘッド6は上記の通り試料Sを平面内及び直交2
方向のアーク方向へ移動できる形式のものであるが、こ
れ以外に平面内移動だけができるもの、あるいは、アー
ク運動だけができるものなど種々の形式のゴニオメータ
ヘッドを用いることもできる。
By the function of the goniometer head 6 configured as described above, the sample S can be moved in the plane by parallel movement in the two orthogonal directions, and further, the X-ray beam can be moved by the arc movement in the two orthogonal directions. The azimuth can be changed. The goniometer head 6 used in the present embodiment uses the sample S in the plane and orthogonally 2
Although it is a type that can move in the direction of the arc, various types of goniometer heads, such as a type that can move only in a plane or a type that can perform only arc movement, can be used.

【0013】試料ユニット7は、図2に示すように、金
属棒8と、その金属棒8の上端にロー付け等によって固
着された棒状の試料支持部材9と、そして、その試料支
持部材9の上端にグリース、樹脂などによって接着され
た試料Sとによって構成される。金属棒8の下端は、ゴ
ニオメータヘッド6のX方向アークステージ14xの上
端に接着剤によって固着されたり、ネジ止めによって固
着される。試料支持部材9は、ガラス棒11の外周表面
にガラスよりも熱伝導率の高い被覆材料12、例えば銀
ペーストを塗布することによって形成されている。
As shown in FIG. 2, the sample unit 7 includes a metal rod 8, a rod-shaped sample support member 9 fixed to the upper end of the metal rod 8 by brazing, and the sample support member 9. The sample S is bonded to the upper end with grease, resin, or the like. The lower end of the metal rod 8 is fixed to the upper end of the X-direction arc stage 14x of the goniometer head 6 with an adhesive or with a screw. The sample support member 9 is formed by applying a coating material 12 having a higher thermal conductivity than glass, for example, a silver paste, to the outer peripheral surface of the glass rod 11.

【0014】図1に戻って、試料Sの近傍にガス吹付け
ノズル15が配設される。このガス吹付けノズル15は
図2に示すように内管15a及び外管15bから成る2
重管によって構成され、さらに図1に示すように、その
ガス吹付けノズル15は低温ガス供給装置16に接続さ
れる。低温ガス供給装置16は、低温空気、低温窒素ガ
ス等の冷媒ガスをガス吹付けノズル15へ高圧で送り込
み、その送り込まれたガスがノズル15から試料Sへ吹
き付けられる。
Returning to FIG. 1, a gas blowing nozzle 15 is arranged near the sample S. As shown in FIG. 2, the gas spray nozzle 15 comprises an inner pipe 15a and an outer pipe 15b.
It is composed of a heavy pipe, and as shown in FIG. 1, the gas spray nozzle 15 is connected to a low temperature gas supply device 16. The low-temperature gas supply device 16 sends a refrigerant gas such as low-temperature air or low-temperature nitrogen gas to the gas spray nozzle 15 at high pressure, and the supplied gas is sprayed from the nozzle 15 to the sample S.

【0015】図2に示すように、内管15aからはガス
主流G1が噴射されて主にこれによって試料Sが冷却さ
れる。そして、外管15bからはガス副流G2が噴射さ
れてこれによってガス主流G1のまわりにガスカーテン
が形成される。このガスカーテンによって試料Sの冷却
効率が高められる。なお、ガスカーテンが必要となるの
は、試料Sを非常に低い低温度に設定するときであり、
例えば−20゜C以上の比較的高い温度に設定するとき
には、ガスカーテンは不要である。
As shown in FIG. 2, the main gas flow G1 is injected from the inner pipe 15a, and the sample S is mainly cooled by this. Then, the gas auxiliary flow G2 is injected from the outer pipe 15b, thereby forming a gas curtain around the gas main flow G1. The gas curtain enhances the cooling efficiency of the sample S. The gas curtain is required when the sample S is set to a very low temperature,
When setting a relatively high temperature, for example, -20 ° C or higher, the gas curtain is not necessary.

【0016】図1に戻って、ゴニオメータ5は、試料S
を中心軸線ωを中心として所定の角速度で連続的又は間
欠的に回転、いわゆるθ回転させる。このゴニオメータ
5は、例えば、動力源としてのパルスモータと、そのパ
ルスモータの回転をゴニオメータヘッド6へ伝える動力
伝達系とによって構成できる。その動力伝達系は、例え
ば、互いに噛み合うウオームとウオーム歯車とによって
構成できる。
Returning to FIG. 1, the goniometer 5 is a sample S.
Is continuously or intermittently rotated around a central axis ω at a predetermined angular velocity, so-called θ rotation. The goniometer 5 can be configured by, for example, a pulse motor as a power source and a power transmission system that transmits the rotation of the pulse motor to the goniometer head 6. The power transmission system can be composed of, for example, a worm and a worm gear that mesh with each other.

【0017】本実施形態のX線装置及び試料支持装置は
以上のように構成されているので、まず、図1におい
て、ゴニオメータヘッド6を調節して試料Sを正確にX
線光軸上に位置させる。その後、図2において、ガス吹
付けノズル15から冷媒ガスを連続的に噴射して試料S
を希望の低温に設定してその温度を保持する。そして、
図1において、X線源FからX線を放射し、そのX線を
必要に応じてX線フィルタやモノクロメータ等によって
加工してから試料Sに照射する。
Since the X-ray apparatus and the sample support apparatus of this embodiment are constructed as described above, first, in FIG. 1, the goniometer head 6 is adjusted to accurately measure the sample S in the X-ray direction.
Position on the line optical axis. After that, in FIG. 2, the refrigerant gas is continuously jetted from the gas spray nozzle 15 so that the sample S
To the desired low temperature and hold that temperature. And
In FIG. 1, an X-ray is emitted from an X-ray source F, the X-ray is processed by an X-ray filter, a monochromator, or the like as necessary, and then the sample S is irradiated.

【0018】照射されたX線と試料Sの結晶格子面との
間でX線の回折条件が満足されるとその結晶格子面でX
線が回折し、その回折X線がX線フィルム4に到達して
それを露光し、その結果、X線フィルム4上に回折X線
に対応したX線像が記録される。このX線像を観察する
ことにより、試料Sに関する結晶構造等が解析される。
When the X-ray diffraction condition is satisfied between the irradiated X-ray and the crystal lattice plane of the sample S, X is generated at the crystal lattice plane.
The rays are diffracted and the diffracted X-rays reach the X-ray film 4 to expose it, and as a result, an X-ray image corresponding to the diffracted X-rays is recorded on the X-ray film 4. By observing this X-ray image, the crystal structure or the like of the sample S is analyzed.

【0019】本実施形態では、図2に示すように、試料
Sを支持する試料支持部材9をガラス棒11及びそれを
被覆する被覆材料12によって構成し、さらにその被覆
材料12としてガラスよりも熱伝導率の高い銀ペースト
を使った。従って、試料支持部材9に冷媒ガスG1及び
G2が吹き付けられるとき、その試料支持部材9に少量
の霜が形成されることはあるが、その霜が大きく成長す
ることがない。よって、試料SにX線を照射したとき、
散乱X線の発生の少ない高精度の測定を行うことができ
る。
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the sample support member 9 for supporting the sample S is composed of a glass rod 11 and a coating material 12 for coating the glass rod 11. A silver paste with high conductivity was used. Therefore, when the refrigerant gases G1 and G2 are blown to the sample support member 9, a small amount of frost may be formed on the sample support member 9, but the frost does not grow greatly. Therefore, when the sample S is irradiated with X-rays,
It is possible to perform highly accurate measurement with less generation of scattered X-rays.

【0020】図3は、本発明に係る試料支持装置の他の
実施形態を示している。この実施形態が図2に示した実
施形態と異なる点は、試料支持部材19を、ガラス管2
1及びそのガラス管21の外周面に塗布された被覆材料
12によって構成したことである。この実施形態では、
ガラス管21の内部に試料S及び母液17を収納し、そ
の後にガラス管21の開口部をロー付けRなどによって
封止する。また、ガラス管21の下端を金属棒8の上端
にロー付け等によって固着する。母液17は結晶溶媒で
あって、試料Sの乾燥等を防止する。また、試料Sは、
母液、グリス、エポキシ系樹脂などによってガラス管2
1の内壁に固着される。
FIG. 3 shows another embodiment of the sample support device according to the present invention. This embodiment differs from the embodiment shown in FIG. 2 in that the sample support member 19 is replaced by the glass tube 2
1 and the coating material 12 applied to the outer peripheral surface of the glass tube 21. In this embodiment,
The sample S and the mother liquor 17 are stored inside the glass tube 21, and then the opening of the glass tube 21 is sealed by brazing R or the like. The lower end of the glass tube 21 is fixed to the upper end of the metal rod 8 by brazing or the like. The mother liquor 17 is a crystallization solvent and prevents the sample S from drying or the like. The sample S is
Glass tube with mother liquor, grease, epoxy resin, etc. 2
It is fixed to the inner wall of 1.

【0021】被覆材料12としては、やはり銀ペースト
が用いられ、それをガラス管21の外周表面に塗布す
る。但し、試料Sへ十分量のX線を照射するため、試料
SのまわりのX線通路に相当する部分のガラス管壁には
銀ペーストを塗布しない。この実施形態の場合でも、被
覆材料12を設けたことにより、ガス吹付けノズル15
から冷媒ガスG1及びG2が吹き付けられるとき、試料
支持部材19のうち冷媒ガスが吹き付けられ所、特にそ
の外縁部分に大きな霜が成長することを防止できる。
A silver paste is also used as the coating material 12, and the silver paste is applied to the outer peripheral surface of the glass tube 21. However, since the sample S is irradiated with a sufficient amount of X-rays, the silver paste is not applied to the glass tube wall around the sample S corresponding to the X-ray passage. Even in the case of this embodiment, the gas spray nozzle 15 is provided by providing the coating material 12.
When the refrigerant gases G1 and G2 are blown from the above, it is possible to prevent a large amount of frost from growing on the portion of the sample support member 19 where the refrigerant gas is blown, particularly the outer edge portion thereof.

【0022】以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を
説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるも
のではなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々
に改変可能である。例えば、本発明の試料支持装置は、
図1に示した構造のX線装置以外の任意の構造のX線装
置に対しても適用できる。また、被覆材料12として
は、銀ペースト以外の適宜の金属ペーストを使用でき、
その他、金属を含んだ塗料などを使用することもでき
る。また、被覆部材12は、塗布以外の任意の成膜方法
を用いてガラス棒、ガラス管等の外周面に積層できる。
また、試料支持部材の基材はガラスによって形成される
のが一般的であると考えられるが、もちろん、それ以外
の適宜の材料を用いてそれを形成することも可能であ
る。
The present invention has been described above with reference to the preferred embodiments, but the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims. . For example, the sample support device of the present invention is
The present invention can be applied to an X-ray device having any structure other than the X-ray device having the structure shown in FIG. Further, as the coating material 12, an appropriate metal paste other than silver paste can be used,
In addition, a paint containing metal can be used. Further, the covering member 12 can be laminated on the outer peripheral surface of a glass rod, a glass tube or the like by using any film forming method other than coating.
It is generally considered that the base material of the sample support member is formed of glass, but it is of course possible to form it by using an appropriate material other than that.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明の試料支持装置によれば、試料支
持部材の外周面に熱伝導率の高い被覆部材を積層、すな
わち密着状態で固着したので、その試料支持部材に冷媒
ガスが吹き付けられても、その試料支持部材の表面にX
線測定を害する程度以上の多量の霜が付着するのを防止
できる。
According to the sample support device of the present invention, since the coating member having a high thermal conductivity is laminated on the outer peripheral surface of the sample support member, that is, adhered in close contact with the sample support member, the refrigerant gas is blown to the sample support member. However, on the surface of the sample support member, X
It is possible to prevent a large amount of frost from adhering to the line measurement which is harmful.

【0024】[0024]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る試料支持装置を用いたX線装置の
一実施形態を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of an X-ray apparatus using a sample support device according to the present invention.

【図2】試料支持装置の一実施形態の要部を示す斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view showing a main part of an embodiment of a sample support device.

【図3】試料支持装置の他の実施形態の要部を示す斜視
図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a main part of another embodiment of the sample support device.

【図4】従来の試料支持装置の一例の要部を示す斜視図
である。
FIG. 4 is a perspective view showing a main part of an example of a conventional sample support device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 試料支持装置 4 X線フィルム 5 ゴニオメータ 6 ゴニオメータヘッド 7 試料ユニット 8 金属棒 9 試料支持部材 11 ガラス棒 12 被覆材料 15 冷媒ガス吹付けノズル 19 試料支持部材 21 ガラス管 F X線源 G1 冷媒ガス主流 G2 冷媒ガス副流 S 試料 Z 霜 3 sample support device 4 X-ray film 5 goniometer 6 goniometer head 7 sample unit 8 metal rod 9 sample support member 11 glass rod 12 coating material 15 refrigerant gas spray nozzle 19 sample support member 21 glass tube F X-ray source G1 refrigerant gas mainstream G2 Refrigerant gas sidestream S Sample Z Frost

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試料にX線を照射すると共に試料から出
たX線をX線検出手段によって検出するX線装置に用い
られる試料支持装置であって、 試料を支持する試料支持部材と、 試料支持部材の外周面に積層されていて試料支持部材よ
りも熱伝導率の高い被覆材料とを有することを特徴とす
るX線装置の試料支持装置。
1. A sample supporting device for use in an X-ray device for irradiating a sample with X-rays and detecting the X-rays emitted from the sample by an X-ray detecting means, the sample supporting member supporting the sample, A sample support device for an X-ray apparatus, comprising: a coating material laminated on the outer peripheral surface of the support member and having a higher thermal conductivity than the sample support member.
【請求項2】 請求項1記載のX線装置の試料支持装置
において、低温気体を試料へ向けて吹き付ける低温気体
吹付け手段を有することを特徴とするX線装置の試料支
持装置。
2. The sample support device for an X-ray apparatus according to claim 1, further comprising a low temperature gas spraying unit for spraying a low temperature gas toward the sample.
【請求項3】 請求項1又は請求項2記載のX線装置の
試料支持装置において、試料支持部材は棒材であること
を特徴とするX線装置の試料支持装置。
3. The sample support device for an X-ray apparatus according to claim 1, wherein the sample support member is a rod.
【請求項4】 請求項1又は請求項2記載のX線装置の
試料支持装置において、試料支持部材は管材であること
を特徴とするX線装置の試料支持装置。
4. The sample support device for an X-ray apparatus according to claim 1, wherein the sample support member is a tube material.
【請求項5】 請求項1から請求項4のうちのいずれか
1つに記載のX線装置の試料支持装置において、試料支
持部材はガラスによって構成されることを特徴とするX
線装置の試料支持装置。
5. The sample support device for an X-ray apparatus according to claim 1, wherein the sample support member is made of glass.
Line device sample support device.
【請求項6】 請求項1から請求項5のうちのいずれか
1つに記載のX線装置の試料支持装置において、被覆材
料は金属ペーストであることを特徴とするX線装置の試
料支持装置。
6. The sample support device for an X-ray apparatus according to claim 1, wherein the coating material is a metal paste. .
【請求項7】 請求項6記載のX線装置の試料支持装置
において、被覆材料は銀ペーストであることを特徴とす
るX線装置の試料支持装置。
7. The sample support device for an X-ray apparatus according to claim 6, wherein the coating material is silver paste.
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