【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料を支持するための試料ホルダ及びそれを用いたＸ線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線装置や、その他の測定装置においては、測定対象である試料を所定の位置に置かなければならない。例えば、Ｘ線装置においては、Ｘ線の光路上の所定位置に試料を置かなければならない。また、Ｘ線装置を用いた測定においては、微小な試料、例えば一辺が０．３ｍｍ程度の立方体又はそれよりも小さい試料に関して測定を行う場合がある。
【０００３】
従来、このような微小な試料に関して測定を行う場合、その試料が固形状態であれば、図７（ａ）に示すようにガラス等から成る試料支持棒５１の先端に試料Ｓを接着剤等によって固着し、その試料支持棒５１を試料ホルダ５２に接着剤等によって固着し、その試料ホルダ５２をＸ線装置等といった測定装置の所定位置に装着するという方法が知られている。
【０００４】
また、試料が粉末状態であれば、図７（ｂ）に示すように、ガラス等によって形成されたキャピラリチューブ５３内の適宜の位置に試料Ｓを詰め込み、そのキャピラリチューブ５３を試料ホルダ５２に接着剤等によって固着し、その試料ホルダ５２を測定装置の所定位置に装着するという方法が知られている。以上のように微小な試料を測定対象とするのは、試料が微小量しか得られない場合があったり、試料によってＸ線が吸収されてしまうことが無視できない場合があったりするからである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図７において、試料支持棒５１やキャピラリチューブ５３を試料ホルダ５２に装着する際には、試料支持棒５１等の下端を基台５６の上に載せ、試料支持棒５１等の側面を衝立部５４に設けた溝５７に挿入し、この状態で接着剤等によって試料支持棒５１等を試料ホルダ５２に取り付けていた。
【０００６】
従来用いられていた試料ホルダ５２は、一般に、測定装置の所定位置に装着される部分の外径がＤ５１＝３ｍｍ程度で、高さがＨ５１＝１２ｍｍ程度であった。また、試料支持棒５１やキャピラリチューブ５３を受ける衝立部５４の高さはＨ５２＝３〜４ｍｍ程度であった。このように、従来の試料ホルダ５２はその外形形状が非常に小さくて、作業者がこれを手で取り扱うことが非常に難しかった。
【０００７】
また、従来の試料ホルダ５２の衝立部５４に設けられる溝５７は、その断面形状がＵ字形状であった。このＵ字形状は、試料支持棒５１等を収容する必要性から試料支持棒５１等よりもわずかに大きい寸法に形成されていたので、試料支持棒５１等はどうしてもその溝５７の中で位置的に動く可能性があった。
【０００８】
図７において、微小試料Ｓを支持する試料支持棒５１やキャピラリチューブ５３は、試料Ｓが微小であるが故に、それら自体非常に細く形成されており、従って、作業者がこれらを手で取り扱うことが非常に難しかった。また、従来の試料ホルダ５２においては、その外形形状が非常に小さい上、溝５７の断面形状がＵ字形状であったので、試料支持棒５１等は溝５７の中で傾いてしまい、それを基台５６上に真直ぐに立てた状態で固着することが非常に難しかった。
【０００９】
なお、本明細書では、微小試料Ｓを固着した細い試料支持棒５１や、粉末試料Ｓを詰め込んだ細いキャピラリチューブ５３等といった線状の物体を「線状試料物」ということにする。このような線状試料物には、上記のような試料支持棒５１を用いるものや，キャピラリチューブ５３を用いるものの他、繊維試料のように、試料それ自体が線状に細い物質も含まれる。
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、上記の線状試料物を作業者の手によって極めて簡単に且つ希望通りの姿勢で試料ホルダに取り付けることができるようにすることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
（１）上記の目的を達成するため、本発明に係る試料ホルダは、線状試料物を支持する試料ホルダにおいて、前記線状試料物の側面を受ける衝立部と、該衝立部に設けられていて前記線状試料物の側面に接触する断面Ｖ字状の溝とを有することを特徴とする。
【００１２】
線状試料物としては、例えば、ガラス等から成る細長い支持棒の先端に試料を固着した物、ガラス等から成る細長いキャピラリチューブの中に粉末試料を詰め込んだ物、繊維試料のようにそれ自体が細長い試料、等が考えられる。
【００１３】
上記構成の試料ホルダによれば、線状試料物の試料ホルダ上における位置を決めるための溝の断面形状をＶ字形状にしたので、線状試料物の側面をこの溝に入れれば、該線状試料物の位置は自動的に決められ、該線状試料物が溝の中で位置的に動くということがなくなる。これにより、作業者は線状試料物を手によって試料ホルダ上における希望位置に希望する姿勢で簡単に取り付けることができる。
【００１４】
（２） 上記の試料ホルダにおいて、前記衝立部における前記線状試料物を受ける面の反対側の面は方形の平らな面であることが望ましい。図７に示した従来の試料ホルダ５２では、衝立部５４における線状試料物を受ける面の反対側の面は、平面ではなく、曲面であった。このため、従来の試料ホルダ５２を横に倒してテーブル上に置いた場合には、その試料ホルダ５２はテーブルの上で転がってしまい、取り扱いが非常に難しかった。これに対し、本実施態様のように、衝立部の裏面を方形の平らな面に形成すれば、試料ホルダを横にしてテーブル上に置いた場合、その試料ホルダはテーブル上で転がることがなくなるので、その取り扱いが非常に容易になる。
【００１５】
（３） 上記構成の試料ホルダにおいては、前記溝部に前記衝立部を貫通する穴を設けることが望ましい。こうすれば、衝立部に溝を形成する際の加工が容易になる。
【００１６】
（４） 上記構成の試料ホルダは、Ｘ線装置の試料支持部に取り付けられる被取付け部を、さらに有することが望ましい。こうすれば、試料ホルダをＸ線装置に簡単に取り付けることができる。なお、試料支持部としては、例えば、ゴニオメータヘッドが考えられる。
【００１７】
（５） 次に、本発明に係るＸ線装置は、試料に照射するＸ線を発生するＸ線発生手段と、該試料から出る散乱Ｘ線を検出するＸ線検出手段とを有するＸ線装置において、以上に記載した構成の試料ホルダを支持する試料支持手段を有することを特徴とする。この試料支持手段によって試料ホルダを支持したとき、その試料ホルダによって支持される試料が本Ｘ線装置における所定位置に置かれる。
【００１８】
本発明に係るＸ線装置によれば、試料ホルダへの試料の取り付けを簡単且つ高い位置精度で行うことができるので、Ｘ線装置を用いた測定を高い信頼性で行うことができる。
【００１９】
（６） 上記の試料ホルダにおいて、前記衝立部における前記線状試料物を受ける面は方形の平らな面であることが望ましい。ここで、「方形」とは、長方形又は正方形のことである。図７に示す従来の試料ホルダ５２では、衝立部５４の受け面が上方へ向かってすぼまる形状で、しかもその面積が非常に小さかったので、線状試料物を衝立部５４に載せるという作業が難しかった。これに対し、本実施態様のように衝立部の受け面を方形の平らな面にすれば、線状試料物を衝立部に取り付ける作業を行い易くできる。
【００２０】
（７） 上記構成の試料ホルダにおいて、前記衝立部における前記線状試料物を受ける面の幅は５ｍｍ以上であることが望ましい。図７に示す従来の試料ホルダ５２においては、衝立部５４の受け面の幅は、せいぜい、３ｍｍ程度であった。これでは、作業者がこの試料ホルダ５２を手でつまもうとした場合に、それを正確につまめないということがあった。これに対し、本実施態様のように、衝立部の受け面の幅を５ｍｍ以上にすれば、作業者が手で取り扱う際の作業性が非常に向上する。
【００２１】
（８） 上記構成の試料ホルダにおいて、前記衝立部の長さは１０ｍｍ以上であることが望ましい。図７に示した従来の試料ホルダ５２においては、衝立部５４の長さはＨ５２＝３〜４ｍｍ程度であった。これでは、作業者が手で線状試料物を衝立部５４の受け面上に載せようとするとき、線状試料物をその受け面上に安定して載せることが難しかった。これに対し、本実施態様のように衝立部の受け面の長さを１０ｍｍ以上とすれば、線状試料物を衝立部の受け面上に安定して置くことができる。
【００２２】
（９） 上記構成の試料ホルダにおいて、前記衝立部は基台の上に設けることが望ましい。基台を設けておけば線状試料物をその基台上に立てることができるので好都合である。また、作業者はその基台を持って作業ができるので、試料ホルダに関する作業性が向上する。
【００２３】
（１０） 基台を設けた上記構成の試料ホルダにおいて、前記基台は円柱形状又は角柱形状とすることができる。基台を円柱形状にすれば、作業者が試料ホルダを手でつまむときの感触が向上する。また、基台を角柱形状にすれば、試料ホルダをテーブル上で横に置いたとき、試料がテーブル上で転がることを防止できるので、試料ホルダに線状試料物を装着する際の作業が行い易くなったり、その他の際の試料ホルダの取り扱いが簡単になる。
【００２４】
（１１） 上記構成の試料ホルダにおいては、前記溝の途中に前記衝立部を貫通する穴を設けることが望ましい。このような貫通穴は、例えばＸ線装置を用いた測定を行う場合を考えれば、その貫通穴の部分に試料を置くことにより、試料にＸ線を透過させて行う測定を行うことができる。そしてその際、貫通穴の径をできるだけ試料の大きさに近づけることにより、貫通穴を形成している試料ホルダの部分を試料以外の部分で散乱された散乱線が通過することを防止するための隔壁部として活用できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る試料ホルダをＸ線装置に用いる場合を例に挙げて説明する。図１は、単結晶試料Ｓに連続Ｘ線を照射して行う、ラウエ法に従ったＸ線回折法を実行するＸ線装置を示している。
【００２６】
ここに示すＸ線装置１は、Ｘ線を発生するＸ線発生装置２と、単結晶試料Ｓを支持する試料支持手段としてのゴニオメータヘッド３と、単結晶試料Ｓから出たＸ線を検出するＸ線検出手段としての２次元Ｘ線検出器４とを有する。Ｘ線発生装置２とゴニオメータヘッド３との間には、発散するＸ線を平行ビームに形成するためのコリメータ６が配置されている。
【００２７】
なお、実際のＸ線光学系においては、Ｘ線発生装置２から出たＸ線や、試料Ｓから散乱されたＸ線の進行方向を規制するために各種のスリットが用いられる場合もあるが、図１ではそれらのスリットについての図示は省略してある。また、実際の測定の場合には、Ｘ線が外部へ漏れ出ることを防止するための防Ｘ線カバーがＸ線光学系の全体を覆うように設けられることが多いが、図１ではその防Ｘ線カバーの図示も省略してある。
【００２８】
２次元Ｘ線検出器４としては、例えば、Ｘ線フィルム、蓄積性蛍光体を用いたＸ線検出器、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ：電荷結合素子）を平面的に並べて成るＸ線検出器等を用いることができる。例えば、このＸ線検出器４を蓄積性蛍光体を用いたＸ線検出器によって構成すれば、このＸ線検出器４にＸ線が当たると、その当たった部分にエネルギが蓄積される。当たったＸ線の強度が強ければ強い程、蓄積されるエネルギ量が大きくなる。Ｘ線検出器４に蓄積されたエネルギは、図１には示していない読取り装置の読取り位置に装着され、この読取り装置により、エネルギが蓄積された位置及び蓄積量が読み取られる。
【００２９】
図１において、Ｘ線発生装置２は、例えば、通電によって発熱して熱電子を放出するフィラメント７と、該フィラメント７に対向して配置されたターゲット８とを有する。フィラメント７とターゲット８との間には、通常、高電圧が印加されており、フィラメント７から放出された熱電子は、高速度でターゲット８の表面に衝突する。このようにして電子が衝突した領域がＸ線焦点であり、このＸ線焦点からＸ線が発生する。Ｘ線焦点が衝突するターゲット８の表面は、例えばＣｕ（銅）によって形成される。
【００３０】
このＸ線装置１によれば、Ｘ線発生装置２から発生した連続Ｘ線、すなわち白色Ｘ線がコリメータ６によって微小径の平行Ｘ線ビームに形成され、このＸ線ビームが単結晶試料Ｓに入射する。ここで、Ｘ線の波長（λ）と格子面角度（θ）とが、いわゆるブラッグの回折条件を満足すると、Ｘ線の回折が生じ、この回折線がＸ線検出器４に到達してこれを露光し、その露光位置に回折線の強度に応じたエネルギ量の潜像を形成する。
【００３１】
Ｘ線検出器４の全面にわたって上記のエネルギ潜像の形成位置及びエネルギ強度を測定すれば、回折線を発生した試料２についての結晶方位が特定できたり、結晶の特性を判断できる。
【００３２】
単結晶試料Ｓは、図２に示すように、試料ホルダ９に固着された試料支持棒１１の先端に接着剤等によって接着されて固着されている。この単結晶試料Ｓの大きさは、１辺が０．３ｍｍの立方体程度、またはそれ以下であって、非常に小さい。試料ホルダ９は、図３に示すように、円柱形状の被取付け部１２と、その被取付け部１２の上に設けられた円柱形状の基台１３と、その基台１３の上に設けられた平板状の衝立部１４とを有する。これらの各部１２，１３，１４は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）の棒材を切削加工することによって一体の構造物として形成できる。もちろん、各部をそれぞれに形成した後にそれらを接着することによっても形成できる。
【００３３】
被取付け部１２に関しては、その長さはＬ１＝３〜４ｍｍ程度に形成し、その外形はφ１＝３ｍｍ程度に形成する。また、基台１３に関しては、その外形はφ２＝６〜８ｍｍ、望ましくは７ｍｍ程度に形成し、その高さはＨ２＝３〜５ｍｍ、望ましくは４ｍｍ程度に形成する。
【００３４】
衝立部１４の試料受け面１４ａは長方形状の平らな面に形成されており、その反対側の面１４ｂも長方形状の平らな面に形成されている。これらの面は、正方形状とすることもできる。衝立部１４の試料受け面１４ａの幅はＷ３＝５ｍｍ以上、望ましくは６〜８ｍｍ、より望ましくは７ｍｍ程度に形成される。また、その高さはＨ３＝１０ｍｍ以上、望ましくは１１〜１３ｍｍ、より望ましくは１２．５ｍｍ程度に形成される。
【００３５】
衝立部１４の試料受け面１４ａの略中央の基台１３との境界部には、衝立部１４を貫通する貫通穴１６が形成されている。そして、この貫通穴１６の上端から衝立部１４の上端辺にわたって溝１７が形成されている。この溝１７は、図４に示すように断面Ｖ字形状に形成されている。この溝１７の寸法は特定の値に限定されないが、例えば溝１７の角度はα＝９０°程度に設定できる。図３において、溝１７の下端部に穴１６を設けることにより、溝１７を加工によって形成する際にその加工が行い易くなる。
【００３６】
図３において、単結晶試料Ｓを試料支持棒１１に固着して成る線状試料物１８は、試料支持棒１１の下端を試料ホルダ９の基台１３の上に載せ、試料支持棒１１の側面を図４に示すように衝立部１４の溝１７に接触させた状態で、接着剤等によって衝立部１４に接着によって固着され、これにより、図２に示す状態となる。
【００３７】
図２において、ゴニオメータヘッド３は、昇降部１９と、その昇降部１９に載置された平行移動部２１と、その平行移動部２１に載置された円弧移動部２２と、その円弧移動部２２に載置されたヘッド２３とを有する。昇降部１９は、ネジ入力部２４を回すことにより、その上に載置された要素を図２の上下方向へ移動、すなわち昇降移動させることができる。
【００３８】
また、平行移動部２１においては、Ｘテーブル２１ｘのネジ入力部２６を回すことにより、その上に載置された要素をＸ方向へ平行移動させることができる。また、Ｙテーブル２１ｙのネジ入力部２７を回すことにより、その上に載置された要素をＸ方向と直交するＹ方向へ平行移動させることができる。
【００３９】
また、円弧移動部２２においては、Ｘ方向アークテーブル２２ｘのネジ入力部２８を回すことにより、その上に載置された要素をＸ方向へ円弧移動させることができる。また、Ｙ方向アークテーブル２２ｙのネジ入力部２９を回すことにより、その上に載置された要素、すなわちヘッド２３をＸ方向に直交するＹ方向へ円弧移動させることができる。なお、Ｘ方向アークテーブル２２ｘ及びＹ方向アークテーブル２２ｙの円弧移動の中心点は、図１におけるＸ線光軸Ｘ０上であって試料Ｓを置くべき位置である。
【００４０】
ゴニオメータヘッド３のヘッド２３の上面には取付け用穴３１が設けられている。試料ホルダ９は、その被取付け部１２をその取付け用穴３１に挿入し、さらに適宜の締結手段、例えば止めネジで固定することによって、図１に示すように、ゴニオメータヘッド３のヘッド２３に固定される。この固定状態で、ゴニオメータヘッド３が置かれたベース面３２から試料Ｓまでの距離Ｈ５が決められた高さ、例えば、ＩＵＣｒ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｕｎｉｏｎ ｏｆ Ｃｒｙｓｔａｌｌｏｇｒａｐｈｙ：国際結晶学連合）の規格に規定される高さになる。
【００４１】
なお、試料ホルダ９をヘッド２３に取り付けただけでは、必ずしも、試料ＳをＸ線光軸Ｘ０（図１参照）上であって、且つＨ５の高さに一致する点に会わせることができないことがある。一般的には、このような場合の方が多いかもしれない。この場合には、ゴニオメータヘッド３の昇降部１９、平行移動部２１及び円弧移動部２２のいずれか又は全部を操作して、ヘッド２３を動かすことにより、試料ＳをＸ線光軸Ｘ０上であって高さＨ５の点に合わせることができる。
【００４２】
以上に説明した本実施形態に係る試料ホルダ９によれば、図３において、線状試料物１８の試料支持棒１１に嵌合する溝１７の断面形状がＶ字形状になっているので、図４に示すように、試料支持棒１１は必ず１つの決められた位置に置かれることになる。このため、図３において、線状試料物１８を衝立部１４に取り付ける際、線状試料物１８が溝１７の中で位置的に動くということがなくなり、常に、一定位置に置くことが可能となる。
【００４３】
また、図３において、衝立部１４の試料受け面１４ａは長方形状に平面であるので、図７のような方形状でない場合に比べて、線状試料物１８の取り付けが容易である。
【００４４】
また、図７に示す従来例では、衝立部５４の試料受け面の反対面は曲面となっていた。このため、試料ホルダ５２を横にしてテーブル上に置くと試料ホルダ５２は転がってしまって安定しなかった。これに対し、図３に示す本実施形態では、衝立部１４の試料受け面１４ａの反対面１４ｂも方形状の平面に形成したので、試料ホルダ９を横にしてテーブル上に置いた場合、その試料ホルダ９は反対面１４ｂの働きのために転がることなく、安定状態を維持する。これにより、試料ホルダ９の取り扱いが容易になる。また、試料ホルダ９をテーブル（図示せず）上で横にして線状試料物１８をその衝立部１４上に装着する際には、その作業を極めて容易に行うことが可能となる。
【００４５】
また、衝立部１４の試料受け面１４ａの幅はＷ３＝５ｍｍ以上、望ましくは６〜８ｍｍ、より望ましくは７ｍｍ程度に形成されるので、図７に示した従来例に比べて横幅が大きくなり、作業者が手でつまみ易くなっている。これにより、線状試料物１８の装着作業も非常に行い易くなる。
【００４６】
また、衝立部１４の長さはＨ３＝１０ｍｍ以上、望ましくは１１〜１３ｍｍ、より望ましくは１２．５ｍｍ程度に形成されるので、図７に示した従来例に比べて、線状試料物１８を受ける面が広くなっており、このため、線状試料物１８を受け面１４ａに載せる作業が非常に行い易くなる。なお、衝立部１４の長さＨ３は、それに取り付けられる線状試料物１８の長さの１／２よりも長いことが望ましい。こうすれば、線状試料物１８を衝立部１４に載せる作業が行い易くなる。
【００４７】
また、衝立部１４と被取付け部１２との間には基台１３が設けられているので、作業者はこの基台１３をつまむことにより、試料ホルダ９を容易に取り扱うことができる。また、基台１３によって線状試料物１８の試料支持棒１１の下端を支持することができるようになる。
【００４８】
（第２実施形態）
図１に示した実施形態では、図３（ａ）に示すように、単結晶資料Ｓを試料支持棒１１の先端に固着した。これに代えて、図３（ｂ）に示すように、粉末試料Ｓをガラス等によって形成されたキャピラリチューブ１５に詰め込むことによって線状試料物３８を構成し、この線状試料物３８を図３の試料ホルダ９の衝立部１４の溝１７に固定することができる。そして、その試料ホルダ９を図１のようにゴニオメータヘッド３に取り付けて、Ｘ線測定を行うことができる。
【００４９】
なお、この場合には、粉末法に従ったＸ線回折法が実行されることになり、粉末試料Ｓには特性Ｘ線、例えばＣｕＫα線を照射する必要がある。そのため、図１においてＸ線発生装置２とコリメータ６との間には、連続Ｘ線から特定Ｘ線を取り出すためのモノクロメータが配設される。この粉末法に従った測定の場合には、Ｘ線検出器４には、いわゆるデバイ環が得られる。
【００５０】
さらに、本実施形態では、図３（ａ）に示すような、試料支持棒１１の先端に試料Ｓを固着して成る線状試料物や、図３（ｂ）に示すような、粉末試料Ｓをキャピラリチューブ１５の中に詰め込んで成る線状試料物３８を線状試料物として供することができる他に、繊維試料のように試料自体が細くて長いものを線状試料物として供することもできる。
【００５１】
（第３実施形態）
図５は、本発明に係る試料ホルダの他の実施形態を示している。ここに示す試料ホルダ３９が図３に示した試料ホルダ９と異なる点は、基台３３が角柱形状に形成されている点である。こうすれば、試料ホルダ３９を横にしてテーブル上に置いたとき、この試料ホルダ３９がテーブル上で転がることを防止できるので、作業者による取り扱いが非常に容易になる。また、横にした試料ホルダ３９は転がり難いので、試料ホルダ３９を横にして行う線状試料物の衝立部１４への装着作業が非常に簡単になる。
【００５２】
（第４実施形態）
図６は、本発明に係る試料ホルダのさらに他の実施形態を示している。ここに示す試料ホルダ４９が、図３に示した試料ホルダ９と異なる点は、溝１７の端部に貫通穴１６を設けることに加えて、溝１７の途中にも衝立部１４を貫通する穴４６を設けたことである。
【００５３】
この試料ホルダ４９は、線状試料物としてキャピラリチューブ１５の内部の適所に粉末試料Ｓを詰め込んだ構造の線状試料物を用いる場合に有利である。何故ならば、線状試料物４８を衝立部１４に取り付けたときに、粉末試料Ｓが穴４６の所に来るようにしておけば、Ｘ線が試料Ｓを通過できるからである。なお、このときには、穴４６の径は、できるだけ、試料Ｓに近い寸法に設定することが望ましい。こうすれば、余分なＸ線が試料Ｓの周りを通過してＸ線検出器に向かうことを衝立部１４によって遮蔽できる。
【００５４】
なお、試料ホルダ４９や試料Ｓを高温や低温に保持するために試料ホルダ４９等を高温装置や低温装置等といったアタッチメントに収容するような場合には、コリメータ６を試料位置に十分に近づけることができないので、入射Ｘ線は試料Ｓに到達する前に空気やその他の散乱体にぶつかって散乱することが考えられる。そして、この散乱Ｘ線が検出器によって検出されると、いわゆるバックグラウンドを高めるおそれがある。これに対し、上記のように、穴４６の径を試料Ｓに近い寸法に設定すれば、それらの散乱Ｘ線を衝立部１４によって遮蔽できる。
【００５５】
なお、溝１７の下端に穴１６を設けると、溝１７の加工が容易になることは既に説明したが、場合によっては、この穴１６に位置的に合うように試料Ｓをキャピラリチューブ１５の中に詰め込み、この穴１６をＸ線通過用の穴として使うこともできる。
【００５６】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【００５７】
例えば、以上の説明では、本発明に係る試料ホルダをＸ線回折装置に適用したが、その試料ホルダはＸ線回折装置以外のＸ線装置に用いることもできるし、あるいは、Ｘ線装置以外の測定装置に用いることもできる。
【００５８】
また、図１の実施形態では、昇降移動系１９、面内移動系２１及び円弧移動系２２といった各移動系を有するゴニオメータヘッド３に試料ホルダ９を取り付ける場合を例示したが、試料ホルダ９はその他の構成のゴニオメータヘッドに取り付けることもできるし、あるいは、ゴニオメータヘッド以外の任意の試料支持手段に取り付けることもできる。
【００５９】
また、本発明に係る試料ホルダを用いる場合には、図２に示したような、昇降部１９、平行移動部２１及び円弧移動部２２の各移動部を備えたゴニオメータヘッド３は、必ずしも必要ではない。これに代えて、Ｙ移動とＲｘ傾斜移動だけを備えた簡単なゴニオメータヘッドを用いることもできる。こうすれば、コストの削減ができ、さらに操作が簡単になる等といったメリットが得られる。
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、線状試料物が挿入される溝を断面Ｖ字形状にしたので、線状試料物を作業者の手によって極めて簡単に且つ希望通りの姿勢で試料ホルダに取り付けることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る試料ホルダ及びＸ線装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線装置の試料支持部を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る試料ホルダの一実施形態を示す斜視図である。
【図４】図３に示す試料ホルダの平面図である。
【図５】本発明に係る試料ホルダの他の実施形態を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る試料ホルダのさらに他の実施形態を示す斜視図である。
【図７】従来の試料ホルダの一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ Ｘ線装置（測定装置）
２ Ｘ線発生装置
３ ゴニオメータヘッド（試料支持部，試料支持手段）
４ Ｘ線検出器
６ コリメータ
９，３９，４９ 試料ホルダ
１１ 試料支持棒
１２ 被取付け部
１３ 基台
１４ 衝立部
１４ａ 試料受け面
１４ｂ 反対面
１６ 貫通穴
１７ 溝
１８，４８ 線状試料物
１９ 昇降部
２１ 平行移動部
２２ 円弧移動部
２３ ヘッド
３２ ベース面
４３ キャピラリチューブ
４６ 穴
Ｓ 試料[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a sample holder for supporting a sample and an X-ray apparatus using the same.
[0002]
[Prior art]
In an X-ray apparatus and other measurement apparatuses, a sample to be measured must be placed at a predetermined position. For example, in an X-ray apparatus, a sample must be placed at a predetermined position on an X-ray optical path. In the measurement using an X-ray apparatus, a measurement may be performed on a minute sample, for example, a cube having a side of about 0.3 mm or a sample smaller than the cube.
[0003]
Conventionally, when such a minute sample is measured, if the sample is in a solid state, the sample S is attached to the tip of a sample support rod 51 made of glass or the like with an adhesive or the like as shown in FIG. A method is known in which the sample support bar 51 is fixed to a sample holder 52 with an adhesive or the like, and the sample holder 52 is attached to a predetermined position of a measuring device such as an X-ray device.
[0004]
If the sample is in a powder state, the sample S is packed in an appropriate position in a capillary tube 53 made of glass or the like as shown in FIG. 7B, and the capillary tube 53 is bonded to the sample holder 52. There is known a method in which the sample holder 52 is fixed to a predetermined position of a measuring device by being fixed by an agent or the like. The reason why a minute sample is measured as described above is that there are cases where only a very small amount of the sample is obtained, and cases where X-rays are absorbed by the sample cannot be ignored.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
7, when the sample support rod 51 or the capillary tube 53 is mounted on the sample holder 52, the lower end of the sample support rod 51 or the like is placed on the base 56, and the side surface of the sample support rod 51 or the like is set on the partition 54. The sample support rod 51 and the like were attached to the sample holder 52 with an adhesive or the like in this state.
[0006]
Generally, the sample holder 52 used conventionally has an outer diameter of about D51 = 3 mm and a height of about H12 = 12 mm at a portion mounted on a predetermined position of the measuring apparatus. The height of the partition 54 for receiving the sample support rod 51 and the capillary tube 53 was about H2 = 3 to 4 mm. As described above, the external shape of the conventional sample holder 52 is very small, and it is very difficult for an operator to handle it by hand.
[0007]
The groove 57 provided in the partition 54 of the conventional sample holder 52 has a U-shaped cross section. Since the U-shape was formed to be slightly larger than the sample support rods 51 and the like because of the necessity of accommodating the sample support rods 51 and the like, the sample support rods 51 and the like were inevitably positioned in the grooves 57. Could move.
[0008]
In FIG. 7, the sample support rod 51 and the capillary tube 53 that support the minute sample S are formed very thin themselves because the sample S is minute, and therefore, an operator can handle them by hand. Was very difficult. Further, in the conventional sample holder 52, the outer shape is very small, and the cross-sectional shape of the groove 57 is U-shaped. Therefore, the sample support rod 51 and the like are inclined in the groove 57, It was very difficult to fix the base 56 upright on the base 56.
[0009]
In this specification, a linear object such as a thin sample support rod 51 to which the micro sample S is fixed, a thin capillary tube 53 packed with the powder sample S, and the like are referred to as a “linear sample object”. Such a linear sample includes a sample using the sample support rod 51 as described above, a sample using the capillary tube 53, and a material such as a fiber sample, which itself has a thin line shape.
[0010]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and enables the above-mentioned linear sample to be attached to a sample holder in an extremely easy and desired posture by an operator. The purpose is to:
[0011]
[Means for Solving the Problems]
(1) In order to achieve the above object, a sample holder according to the present invention is provided in a sample holder for supporting a linear sample, the screen receiving a side surface of the linear sample, and the screen holder. And a groove having a V-shaped cross section that contacts a side surface of the linear sample.
[0012]
Examples of the linear sample include a sample in which a sample is fixed to the tip of an elongated support rod made of glass, a powder sample packed in an elongated capillary tube made of glass, and a fiber sample itself. Elongated samples are possible.
[0013]
According to the sample holder having the above-described configuration, the cross-sectional shape of the groove for determining the position of the linear sample on the sample holder is V-shaped. The position of the linear sample is automatically determined, so that the linear sample does not move in the groove. Thus, the operator can easily attach the linear sample to a desired position on the sample holder in a desired posture by hand.
[0014]
(2) In the sample holder described above, it is preferable that a surface of the screen portion opposite to a surface receiving the linear sample is a rectangular flat surface. In the conventional sample holder 52 shown in FIG. 7, the surface of the screen 54 opposite to the surface receiving the linear sample is not a flat surface but a curved surface. Therefore, when the conventional sample holder 52 is placed on a table with the sample holder 52 lying down sideways, the sample holder 52 rolls on the table, and handling is extremely difficult. On the other hand, if the back surface of the partition is formed as a flat rectangular surface as in this embodiment, the sample holder does not roll on the table when the sample holder is placed on the table with the sample holder placed sideways. Therefore, the handling becomes very easy.
[0015]
(3) In the sample holder having the above-described configuration, it is preferable that a hole that penetrates the partition is provided in the groove. This facilitates the processing for forming the groove in the partition.
[0016]
(4) It is preferable that the sample holder having the above-described configuration further has an attached portion that is attached to the sample support portion of the X-ray apparatus. In this case, the sample holder can be easily attached to the X-ray device. Note that, for example, a goniometer head is conceivable as the sample support.
[0017]
(5) Next, an X-ray apparatus according to the present invention includes an X-ray generation unit that generates X-rays for irradiating a sample, and an X-ray detection unit that detects scattered X-rays emitted from the sample. And a sample supporting means for supporting the sample holder having the above-described configuration. When the sample holder is supported by the sample support means, the sample supported by the sample holder is placed at a predetermined position in the X-ray apparatus.
[0018]
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the X-ray apparatus concerning this invention, since attachment of a sample to a sample holder can be performed easily and with high positional accuracy, measurement using an X-ray apparatus can be performed with high reliability.
[0019]
(6) In the sample holder described above, it is preferable that a surface of the screen portion that receives the linear sample is a rectangular flat surface. Here, "square" means a rectangle or a square. In the conventional sample holder 52 shown in FIG. 7, the receiving surface of the partition portion 54 has a shape that narrows upward and has a very small area, so that the work of placing the linear sample on the partition portion 54 is performed. Was difficult. On the other hand, if the receiving surface of the partition is a square flat surface as in this embodiment, the work of attaching the linear sample to the partition can be facilitated.
[0020]
(7) In the sample holder having the above-described configuration, it is preferable that a width of a surface of the screen portion that receives the linear sample object is 5 mm or more. In the conventional sample holder 52 shown in FIG. 7, the width of the receiving surface of the partition portion 54 was at most about 3 mm. In this case, when the operator tries to pinch the sample holder 52 by hand, the pinch may not be pinched accurately. On the other hand, when the width of the receiving surface of the partition portion is set to 5 mm or more as in the present embodiment, the workability when the operator handles by hand is greatly improved.
[0021]
(8) In the sample holder having the above configuration, it is preferable that the length of the partition is 10 mm or more. In the conventional sample holder 52 shown in FIG. 7, the length of the partition 54 was about H2 = 3 to 4 mm. In this case, when the operator attempts to place the linear sample on the receiving surface of the partition portion 54 by hand, it is difficult to stably place the linear sample on the receiving surface. On the other hand, when the length of the receiving surface of the partition is 10 mm or more as in the present embodiment, the linear sample can be stably placed on the receiving surface of the partition.
[0022]
(9) In the sample holder having the above configuration, it is preferable that the partition is provided on a base. Providing a base is advantageous because the linear sample can be set up on the base. Further, since the operator can work while holding the base, the workability of the sample holder is improved.
[0023]
(10) In the sample holder having the above-described configuration provided with a base, the base can be formed in a cylindrical shape or a prism shape. If the base is formed in a cylindrical shape, the feel when the operator grips the sample holder by hand is improved. In addition, if the base is shaped like a prism, the sample can be prevented from rolling on the table when the sample holder is placed sideways on the table. And the handling of the sample holder at other times is simplified.
[0024]
(11) In the sample holder having the above configuration, it is preferable to provide a hole that penetrates the partition in the middle of the groove. For such a through hole, for example, when a measurement using an X-ray apparatus is performed, a measurement can be performed by placing a sample in the portion of the through hole and transmitting the X-ray through the sample. At that time, by making the diameter of the through hole as close as possible to the size of the sample, it is possible to prevent the scattered radiation scattered by the portion other than the sample from passing through the portion of the sample holder forming the through hole. It can be used as a partition.
[0025]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
(1st Embodiment)
Hereinafter, a case where the sample holder according to the present invention is used for an X-ray apparatus will be described as an example. FIG. 1 shows an X-ray apparatus that executes an X-ray diffraction method according to the Laue method, which is performed by irradiating a single crystal sample S with continuous X-rays.
[0026]
The X-ray apparatus 1 shown here includes an X-ray generator 2 for generating X-rays, a goniometer head 3 as a sample supporting means for supporting a single crystal sample S, and an X-ray emitted from the single crystal sample S. A two-dimensional X-ray detector 4 as X-ray detection means. A collimator 6 for forming divergent X-rays into a parallel beam is arranged between the X-ray generator 2 and the goniometer head 3.
[0027]
In an actual X-ray optical system, various slits may be used to regulate the traveling direction of X-rays emitted from the X-ray generator 2 and X-rays scattered from the sample S, In FIG. 1, illustration of these slits is omitted. In the case of actual measurement, an X-ray protection cover for preventing X-rays from leaking out is often provided so as to cover the entire X-ray optical system. The illustration of the X-ray cover is also omitted.
[0028]
Examples of the two-dimensional X-ray detector 4 include an X-ray film, an X-ray detector using a stimulable phosphor, and an X-ray detector in which CCDs (Charge Coupled Devices) are arranged in a plane. Can be used. For example, if the X-ray detector 4 is constituted by an X-ray detector using a stimulable phosphor, when the X-ray detector 4 is irradiated with X-rays, energy is stored in the irradiated portion. The higher the intensity of the applied X-ray, the greater the amount of energy stored. The energy stored in the X-ray detector 4 is attached to a reading position of a reading device (not shown in FIG. 1), and the reading position and the amount of stored energy are read by the reading device.
[0029]
In FIG. 1, the X-ray generator 2 includes, for example, a filament 7 that generates heat and emits thermoelectrons when energized, and a target 8 that is arranged to face the filament 7. Usually, a high voltage is applied between the filament 7 and the target 8, and thermoelectrons emitted from the filament 7 collide with the surface of the target 8 at a high speed. The region where the electrons collide in this way is the X-ray focal point, and X-rays are generated from this X-ray focal point. The surface of the target 8 on which the X-ray focus collides is formed of, for example, Cu (copper).
[0030]
According to the X-ray apparatus 1, continuous X-rays, that is, white X-rays, generated from the X-ray generator 2 are formed into a small-diameter parallel X-ray beam by the collimator 6, and this X-ray beam is formed on the single crystal sample S. Incident. Here, when the wavelength (λ) of the X-rays and the lattice plane angle (θ) satisfy the so-called Bragg diffraction condition, diffraction of the X-rays occurs, and the diffracted rays reach the X-ray detector 4 and Is exposed, and a latent image having an energy amount corresponding to the intensity of the diffraction line is formed at the exposure position.
[0031]
By measuring the formation position and the energy intensity of the above-described energy latent image over the entire surface of the X-ray detector 4, the crystal orientation of the sample 2 that has generated the diffraction line can be specified, and the characteristics of the crystal can be determined.
[0032]
As shown in FIG. 2, the single crystal sample S is adhered and fixed to the tip of a sample support rod 11 fixed to the sample holder 9 with an adhesive or the like. The size of the single crystal sample S is very small, about a cube of 0.3 mm on a side or smaller. As shown in FIG. 3, the sample holder 9 is provided with a cylindrical mounting part 12, a cylindrical base 13 provided on the mounting part 12, and provided on the base 13. And a flat screen portion 14. These parts 12, 13, and 14 can be formed as an integral structure by, for example, cutting a bar of aluminum (Al). Of course, it can also be formed by forming each part and then bonding them.
[0033]
The length of the attached portion 12 is formed to be about L1 = 3 to 4 mm, and its outer shape is formed to be about φ1 = 3 mm. The base 13 has an outer shape of φ2 = 6 to 8 mm, preferably about 7 mm, and a height of H2 = 3 to 5 mm, preferably about 4 mm.
[0034]
The sample receiving surface 14a of the partition 14 is formed in a rectangular flat surface, and the opposite surface 14b is also formed in a rectangular flat surface. These faces can also be square. The width of the sample receiving surface 14a of the partition 14 is W3 = 5 mm or more, preferably 6 to 8 mm, and more preferably about 7 mm. Further, the height is formed to be H3 = 10 mm or more, preferably 11 to 13 mm, more preferably about 12.5 mm.
[0035]
A through hole 16 that penetrates the partition 14 is formed at the boundary between the partition 14 and the base 13 substantially at the center of the sample receiving surface 14a. A groove 17 is formed from the upper end of the through hole 16 to the upper end side of the partition 14. The groove 17 is formed in a V-shaped cross section as shown in FIG. Although the dimension of the groove 17 is not limited to a specific value, for example, the angle of the groove 17 can be set to about α = 90 °. In FIG. 3, by providing the hole 16 at the lower end of the groove 17, when the groove 17 is formed by processing, the processing becomes easier.
[0036]
In FIG. 3, a linear sample 18 in which a single crystal sample S is fixed to a sample support rod 11 has a lower end of the sample support rod 11 placed on a base 13 of a sample holder 9, and a side surface of the sample support rod 11. 4 is brought into contact with the groove 17 of the partition 14 as shown in FIG. 4, and is fixed to the partition 14 with an adhesive or the like by adhesion, whereby the state shown in FIG. 2 is obtained.
[0037]
In FIG. 2, the goniometer head 3 includes an elevating unit 19, a parallel moving unit 21 mounted on the elevating unit 19, an arc moving unit 22 mounted on the parallel moving unit 21, and an arc moving unit 22. And a head 23 placed on the head. By moving the screw input unit 24, the elevating unit 19 can move an element placed thereon in the vertical direction in FIG. 2, that is, move up and down.
[0038]
Further, in the translation unit 21, by turning the screw input unit 26 of the X table 21x, an element placed thereon can be translated in the X direction. Further, by turning the screw input section 27 of the Y table 21y, the element placed thereon can be translated in the Y direction orthogonal to the X direction.
[0039]
Further, in the arc moving unit 22, by turning the screw input unit 28 of the X-direction arc table 22x, the element placed thereon can be moved in the X direction by the arc. Further, by turning the screw input section 29 of the Y-direction arc table 22y, the element placed thereon, that is, the head 23 can be moved in an arc in the Y direction orthogonal to the X direction. The center point of the arc movement of the X-direction arc table 22x and the Y-direction arc table 22y is a position on the X-ray optical axis X0 in FIG. 1 where the sample S is to be placed.
[0040]
A mounting hole 31 is provided on the upper surface of the head 23 of the goniometer head 3. The sample holder 9 is fixed to the head 23 of the goniometer head 3 as shown in FIG. 1 by inserting the mounting portion 12 into the mounting hole 31 and fixing it with an appropriate fastening means, for example, a set screw. Is done. In this fixed state, the height H5 from the base surface 32 on which the goniometer head 3 is placed to the sample S is determined, for example, the height specified in the IUCr (International Union of Crystallography: International Union of Crystallography) standard. It will be.
[0041]
It should be noted that simply attaching the sample holder 9 to the head 23 cannot necessarily make the sample S meet the point on the X-ray optical axis X0 (see FIG. 1) and coincident with the height of H5. There is. In general, this may be the case. In this case, the sample S is moved on the X-ray optical axis X0 by operating any or all of the elevation unit 19, the parallel movement unit 21, and the arc movement unit 22 of the goniometer head 3 to move the head 23. To the point of height H5.
[0042]
According to the sample holder 9 according to the present embodiment described above, since the cross-sectional shape of the groove 17 fitted to the sample support rod 11 of the linear sample 18 is V-shaped in FIG. As shown in FIG. 4, the sample support bar 11 is always placed at one determined position. For this reason, in FIG. 3, when the linear sample 18 is attached to the partition portion 14, the linear sample 18 does not move in the groove 17, and can be always placed at a fixed position. Become.
[0043]
Further, in FIG. 3, the sample receiving surface 14a of the partition portion 14 is rectangular and flat, so that the linear sample 18 can be easily attached as compared with the case where the screen is not rectangular as shown in FIG.
[0044]
In the conventional example shown in FIG. 7, the surface of the partition 54 opposite to the sample receiving surface is a curved surface. For this reason, when the sample holder 52 was placed on a table with the sample holder 52 placed sideways, the sample holder 52 rolled and was not stable. On the other hand, in the present embodiment shown in FIG. 3, the opposite surface 14b of the sample receiving surface 14a of the screen portion 14 is also formed in a rectangular flat surface. The sample holder 9 maintains a stable state without rolling due to the function of the opposite surface 14b. Thereby, handling of the sample holder 9 becomes easy. Also, when the sample holder 9 is laid on a table (not shown) and the linear sample 18 is mounted on the partition 14, the operation can be performed very easily.
[0045]
Further, the width of the sample receiving surface 14a of the partition portion 14 is W3 = 5 mm or more, preferably 6 to 8 mm, and more preferably about 7 mm, so that the width becomes larger than that of the conventional example shown in FIG. It is easy for the operator to pick it up by hand. This makes it very easy to mount the linear sample 18.
[0046]
Further, the length of the partition portion 14 is H3 = 10 mm or more, preferably 11 to 13 mm, more preferably about 12.5 mm, so that the linear sample 18 is smaller than the conventional example shown in FIG. The receiving surface is wide, which makes it very easy to mount the linear sample 18 on the receiving surface 14a. The length H3 of the partition 14 is desirably longer than half the length of the linear sample 18 attached thereto. In this case, the operation of placing the linear sample 18 on the partition 14 becomes easy.
[0047]
Further, since the base 13 is provided between the partition 14 and the mounted part 12, the operator can easily handle the sample holder 9 by pinching the base 13. Further, the lower end of the sample support bar 11 of the linear sample 18 can be supported by the base 13.
[0048]
(2nd Embodiment)
In the embodiment shown in FIG. 1, the single crystal material S is fixed to the tip of the sample support rod 11 as shown in FIG. Instead, as shown in FIG. 3B, a linear sample 38 is formed by packing the powder sample S into a capillary tube 15 made of glass or the like. Can be fixed to the groove 17 of the partition 14 of the sample holder 9. Then, the sample holder 9 is attached to the goniometer head 3 as shown in FIG. 1, and X-ray measurement can be performed.
[0049]
In this case, an X-ray diffraction method according to the powder method is performed, and the powder sample S needs to be irradiated with characteristic X-rays, for example, CuKα rays. Therefore, a monochromator for extracting a specific X-ray from continuous X-rays is provided between the X-ray generator 2 and the collimator 6 in FIG. In the case of the measurement according to the powder method, a so-called Debye ring is obtained in the X-ray detector 4.
[0050]
Further, in the present embodiment, a linear sample formed by fixing the sample S to the tip of the sample support rod 11 as shown in FIG. 3A, or a powder sample S as shown in FIG. Can be provided as a linear sample in addition to the linear sample 38 obtained by packing the sample into the capillary tube 15. A thin and long sample such as a fiber sample can also be provided as a linear sample. .
[0051]
(Third embodiment)
FIG. 5 shows another embodiment of the sample holder according to the present invention. The sample holder 39 shown here differs from the sample holder 9 shown in FIG. 3 in that the base 33 is formed in a prismatic shape. This makes it possible to prevent the sample holder 39 from rolling on the table when the sample holder 39 is placed sideways on the table, so that handling by the operator becomes very easy. In addition, since the laid sample holder 39 is unlikely to roll, the work of mounting the linear sample on the partition portion 14 performed with the sample holder 39 laid down becomes very simple.
[0052]
(Fourth embodiment)
FIG. 6 shows still another embodiment of the sample holder according to the present invention. The difference between the sample holder 49 shown here and the sample holder 9 shown in FIG. 3 is that, in addition to the provision of the through hole 16 at the end of the groove 17, 46 is provided.
[0053]
The sample holder 49 is advantageous when a linear sample having a structure in which the powder sample S is packed in an appropriate position inside the capillary tube 15 is used as the linear sample. This is because the X-rays can pass through the sample S if the powder sample S is located at the hole 46 when the linear sample 48 is attached to the partition 14. At this time, it is desirable that the diameter of the hole 46 be set to a size as close to the sample S as possible. In this way, the extra X-rays passing around the sample S toward the X-ray detector can be shielded by the partitioning section 14.
[0054]
In the case where the sample holder 49 or the like is housed in an attachment such as a high-temperature device or a low-temperature device in order to hold the sample holder 49 or the sample S at a high or low temperature, the collimator 6 must be sufficiently close to the sample position. Since it is impossible, it is conceivable that the incident X-ray collides with air or another scatterer before reaching the sample S and is scattered. When the scattered X-rays are detected by the detector, there is a possibility that the background is increased. On the other hand, if the diameter of the hole 46 is set to a size close to the sample S as described above, those scattered X-rays can be shielded by the partition portion 14.
[0055]
It has already been described that the provision of the hole 16 at the lower end of the groove 17 facilitates the processing of the groove 17, but in some cases, the sample S is placed inside the capillary tube 15 so as to be positioned in the hole 16. And the holes 16 can be used as holes for passing X-rays.
[0056]
(Other embodiments)
As described above, the present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the embodiments, and can be variously modified within the scope of the invention described in the claims.
[0057]
For example, in the above description, the sample holder according to the present invention is applied to an X-ray diffractometer, but the sample holder can be used for an X-ray device other than the X-ray diffractometer, or other than the X-ray device. It can also be used for a measuring device.
[0058]
In the embodiment of FIG. 1, the case where the sample holder 9 is attached to the goniometer head 3 having each moving system such as the elevating and lowering moving system 19, the in-plane moving system 21, and the arc moving system 22 is exemplified. Can be attached to the goniometer head having the above structure, or can be attached to any sample supporting means other than the goniometer head.
[0059]
In the case where the sample holder according to the present invention is used, the goniometer head 3 including the moving units of the elevating unit 19, the parallel moving unit 21, and the arc moving unit 22 as shown in FIG. Absent. Alternatively, a simple goniometer head with only Y movement and Rx tilt movement can be used. In this case, advantages such as reduction of cost and simplification of operation can be obtained.
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since the groove into which the linear sample is inserted has a V-shaped cross section, the linear sample can be extremely easily and manually held by an operator in a desired posture. It can be attached to the sample holder.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a sample holder and an X-ray apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a sample support section of the X-ray apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing one embodiment of a sample holder according to the present invention.
FIG. 4 is a plan view of the sample holder shown in FIG.
FIG. 5 is a perspective view showing another embodiment of the sample holder according to the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing still another embodiment of the sample holder according to the present invention.
FIG. 7 is a perspective view showing an example of a conventional sample holder.
[Explanation of symbols]
1 X-ray equipment (measuring equipment)
2 X-ray generator
3 Goniometer head (sample support, sample support)
4 X-ray detector
6 Collimator
9,39,49 Sample holder
11 Sample support rod
12 Attached part
13 base
14 Partition
14a Sample receiving surface
14b Opposite side
16 Through hole
17 grooves
18,48 Linear sample
19 lifting section
21 Translation unit
22 Arc moving part
23 head
32 Base surface
43 Capillary tube
46 holes
S sample
