JPH09228029A - Production of magnetic recording medium - Google Patents

Production of magnetic recording medium

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JPH09228029A
JPH09228029A JP3481296A JP3481296A JPH09228029A JP H09228029 A JPH09228029 A JP H09228029A JP 3481296 A JP3481296 A JP 3481296A JP 3481296 A JP3481296 A JP 3481296A JP H09228029 A JPH09228029 A JP H09228029A
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JP
Japan
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magnetic
circuit
vapor deposition
data
recording medium
Prior art date
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JP3481296A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazunobu Chiba
一信 千葉
Jota Ito
条太 伊藤
Tsutomu Takeda
勉 武田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production method of a magnetic recording medium having excellent electromagnetic conversion characteristics and magnetic characteristics and a small error rate by using Co as the vapor deposition source. SOLUTION: In the production method of a magnetic recording medium by forming a ferromagnetic metal thin film as a magnetic layer by vacuum vapor deposition on a nonmagnetic base body, Co is used as the vapor deposition source material. The ferromagnetic metal thin film is formed on a nonmagnetic base body by specifying the total amt. of C, Si, Mn, Al and Ti in the vapor deposition source material to <=0.2wt.%.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、真空蒸着により強
磁性金属薄膜を磁性層として非磁性支持体上に成膜する
いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体の製造方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer on a non-magnetic support by vacuum evaporation.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の
粉未磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、ポ
リエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等の
有機結合剤中に分散せしめた磁性塗料を塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a powder non-magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder on a non-magnetic support is used as a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyester resin, urethane resin. A coating type magnetic recording medium prepared by coating and drying a magnetic coating material dispersed in an organic binder such as polyurethane resin is widely used.

【0003】これに対して、高密度磁気記録への要求の
高まりと共に、Co−Ni系合金、Co−Cr系合金、
Co−O等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手
段(真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティ
ング法等)によってポリエステルフィルムやポリアミ
ド、ポリイミドフィルム等非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案され
注目を集めている。
On the other hand, with the increasing demand for high density magnetic recording, Co--Ni type alloys, Co--Cr type alloys,
A magnetic metal material such as Co—O was directly deposited on a non-magnetic support such as a polyester film, polyamide, or polyimide film by plating or vacuum thin film forming means (vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, etc.), A so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium has been proposed and attracted attention.

【0004】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできるため、
記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性
層中に非磁性材であるバインダー(結合剤)を混入する
必要が無いため磁性材料の充填密度を高めることが出来
ることなど、数々の利点を有している。
This metal magnetic thin film type magnetic recording medium is excellent not only in coercive force and squareness ratio but also in electromagnetic conversion characteristics at a short wavelength, and because the magnetic layer can be extremely thin,
There are a number of things such as remarkably small thickness loss during recording demagnetization and reproduction, and increasing the packing density of magnetic materials because there is no need to mix a binder (binder) that is a non-magnetic material in the magnetic layer. Have advantages.

【0005】このような磁気記録媒体の強磁性金属薄膜
を成膜する場合については、電磁変換特性を向上させ、
より大きな出力を得ることが出来るようにするために、
磁性材料を斜めに蒸着する斜方蒸着が提案され実用化さ
れている。この斜方蒸着により作製された磁気テープで
は、磁性粒子が非磁性支持体上の表面に対して斜めに配
向しており、磁性粒子を長手方向に配向させた従来の磁
気テープに比べて高密度な記録が可能となる。
When forming a ferromagnetic metal thin film of such a magnetic recording medium, the electromagnetic conversion characteristics are improved,
In order to get a larger output,
Oblique evaporation, which obliquely evaporates magnetic materials, has been proposed and put to practical use. In the magnetic tape manufactured by this oblique deposition, the magnetic particles are oriented obliquely with respect to the surface of the non-magnetic support, and the magnetic particles have a higher density than the conventional magnetic tape in which the magnetic particles are oriented in the longitudinal direction. Various recordings are possible.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、斜法蒸着で
使用される蒸着源材料としては、Co−Ni系合が代表
的であり、特開昭63−195234号公報、特開平7
−54069号公報等に示されるように、これに含まれ
るカーボン、Al、Mn、酸素等の不純物の量を厳しく
規制しようとするものが提案されている。
By the way, as a vapor deposition source material used in the oblique vapor deposition, a Co--Ni system is representative, and it is disclosed in JP-A-63-195234 and JP-A-7-195234.
As disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 54069, there has been proposed one in which the amount of impurities such as carbon, Al, Mn and oxygen contained therein is strictly regulated.

【0007】一方、DV(Digital Video)方式のディ
ジタルビデオ用蒸着テープ(DVカセット)の開発に見
られるように、磁気記録媒体に記録される情報信号は、
近年、ディジタル化の傾向にある。
On the other hand, as seen in the development of a DV (Digital Video) type vapor tape (DV cassette) for digital video, an information signal recorded on a magnetic recording medium is
In recent years, there is a tendency toward digitalization.

【0008】このような蒸着テープにおいては、電磁変
換特性向上の点から、磁気的エネルギー積(Br×H
c)を大きくすることが必要となり、そのためには、N
iに比べより高い磁化をもつCoの組成比率を高めるこ
とが望まれる。
In such a vapor-deposited tape, from the viewpoint of improving electromagnetic conversion characteristics, the magnetic energy product (Br × H)
It is necessary to increase c), and for that purpose, N
It is desired to increase the composition ratio of Co having a higher magnetization than that of i.

【0009】しかし、Coの組成比率を高めた場合に
は、電磁変換特性の向上とともにエラーレートの改善が
大きなポイントとなっている。このエラーレートを改善
する手法として、蒸着テープのドロップアウトを改善す
ることが有効であるが、このドロップアウトは、真空蒸
着時の蒸着源材料から発生するスプラッシュが原因の多
くを占める。
However, when the composition ratio of Co is increased, the improvement of the electromagnetic conversion characteristics and the improvement of the error rate are important points. As a method for improving this error rate, it is effective to improve the dropout of the vapor deposition tape, but this dropout is mostly caused by the splash generated from the vapor deposition source material during vacuum vapor deposition.

【0010】したがって、Coを蒸着源材料として用い
る場合には、スプラッシュの抑制が必須であるが、その
ために技術は確立されていないのが実情である。
Therefore, when Co is used as the vapor deposition source material, it is essential to suppress the splash, but the technology is not established for that reason.

【0011】そこで、本発明は、かかる従来の実情に鑑
みて提案されたものであり、蒸着源材料としてCoを用
いながら、電磁変換特性、磁気特性に優れ、しかも、エ
ラーレートの小さな磁気記録媒体を提供することを課題
とする。
Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and uses Co as a vapor deposition source material and is excellent in electromagnetic conversion characteristics and magnetic characteristics, and has a small error rate. The challenge is to provide.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、上記課題を解決するために、非磁性支持体
上に真空蒸着により強磁性金属薄膜を磁性層として成膜
する磁気記録媒体の製造方法において、蒸着源材料とし
てCoを用いるとともに、この蒸着源材料に含まれる
C、Si、Mn、Al、及びTiの含有量を総量で0.
2重量%以下として、非磁性支持体上に強磁性金属薄膜
を成膜することを特徴とする。 また、前記蒸着源材料
を一度真空蒸着に使用したものを回収し、再度溶解し
て、真空蒸着により強磁性金属薄膜を磁性層として成膜
することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention is a magnetic recording in which a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer on a non-magnetic support by vacuum evaporation. In the method for producing a medium, Co is used as a vapor deposition source material, and the total content of C, Si, Mn, Al, and Ti contained in the vapor deposition source material is 0.
It is characterized in that a ferromagnetic metal thin film is formed on a non-magnetic support with a content of 2% by weight or less. Further, the evaporation source material once used for vacuum evaporation is recovered, dissolved again, and a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer by vacuum evaporation.

【0013】本発明は、蒸着源材料としてCoを用いる
とともに、この蒸着源材料に含まれるC、Si、Mn、
Al、及びTiの含有量を総量で0.2重量%以下に規
制する。これにより、非磁性支持体上に真空蒸着により
強磁性金属薄膜を磁性層として成膜する場合、スプラッ
シュの抑制が図られる。
In the present invention, Co is used as the vapor deposition source material, and C, Si, Mn,
The total content of Al and Ti is restricted to 0.2% by weight or less. Thereby, when a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer on the non-magnetic support by vacuum deposition, splash can be suppressed.

【0014】したがって、本発明によれば、蒸着源材料
としてCoを用いながらも、電磁変換特性、磁気特性に
優れ、エラーレートの小さな磁気記録媒体を提供するこ
とができる。
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic recording medium excellent in electromagnetic conversion characteristics and magnetic characteristics and having a small error rate, even though Co is used as a vapor deposition source material.

【0015】ここで、非磁性支持体上には、上記のよう
な強磁性金属材料を直接被着することにより金属磁性薄
膜が磁性層として形成されているが、この磁性層は、単
層膜であってもよいし多層膜であってもよい。さらに
は、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、あるいは多層膜の
場合には、各層間の付着力向上、並びに抗磁力の制御等
のため、下地層、又は、中間層を設けてもよい。また、
例えば磁性層表面近傍が耐蝕性改善等のために酸化物と
なっていてもよい。
Here, a metal magnetic thin film is formed as a magnetic layer on the non-magnetic support by directly depositing the above-mentioned ferromagnetic metal material. The magnetic layer is a single layer film. Or may be a multilayer film. Furthermore, an underlayer or an intermediate layer may be provided between the non-magnetic support and the metal magnetic thin film, or in the case of a multilayer film, for improving the adhesive force between the layers and controlling the coercive force. Also,
For example, the vicinity of the surface of the magnetic layer may be an oxide to improve the corrosion resistance.

【0016】金属磁性薄膜形成の手段としては、真空下
で強磁性材料を加熱蒸発させ非磁性支持体上に沈着させ
る真空蒸着法による。
As a means for forming the metal magnetic thin film, a vacuum vapor deposition method in which a ferromagnetic material is heated and evaporated under vacuum to deposit it on a non-magnetic support.

【0017】また、上記非磁性支持体上に形成された強
磁性金属材料上には保護膜層が形成されていても良い。
この材料としては、通常の金属磁性薄膜用保護膜として
一般に使用されるものであれば如何なるものであっても
よい。例示すれば、カーボンCrO2,AI23,B
N,Co酸化物、MgO,SiO2,Si34,Si
x,SiC,SiNx−SiO2,ZrO2,TiO2
TiC等が挙げられる。これらの単層膜であってもよい
し多層膜であってもよい。
A protective film layer may be formed on the ferromagnetic metal material formed on the non-magnetic support.
As this material, any material may be used as long as it is generally used as a protective film for an ordinary metal magnetic thin film. For example, carbon CrO 2 , AI 2 O 3 , B
N, Co oxide, MgO, SiO 2 , Si 3 O 4 , Si
N x, SiC, SiN x -SiO 2, ZrO 2, TiO 2,
TiC and the like. These may be a single layer film or a multilayer film.

【0018】もちろん、本発明にかかる磁気テープの構
成はこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲での変更、例えば必要に応じてバックコー
ト層を形成したり、非磁性支持体上に下塗層を形成した
り、潤滑剤、防錆剤などの層を形成することは何等差し
支えない。この場合、バックコート塗料に含まれる非磁
性顔料、あるいは潤滑剤、防錆剤に含まれる材料として
は従来公知のものがいずれも使用できる。
Of course, the structure of the magnetic tape according to the present invention is not limited to this, and may be changed without departing from the scope of the present invention, for example, a back coat layer may be formed or a non-magnetic layer may be formed if necessary. There is no problem in forming an undercoat layer on the support or forming a layer of a lubricant, a rust preventive, or the like. In this case, as the non-magnetic pigment contained in the back coat paint, or the material contained in the lubricant or the rust preventive, any conventionally known material can be used.

【0019】このような磁気記録媒体は、例えば、入力
ディジタル画像信号を複数の画素データからなるブロッ
ク単位のデータに変換してブロック化し、該ブロック化
されたデータをブロック単位に圧縮符号化し、該圧号化
されたデータをチャンネル符号化し、該チャンネル符号
化されたデータを回転ドラムに装着され去気ヘッドによ
り磁気記録媒体に記録するようにしたディジタル画像信
号記録用に用いられて好適なものである。
In such a magnetic recording medium, for example, an input digital image signal is converted into block data composed of a plurality of pixel data, and the data is divided into blocks. The block data is compression-encoded in block units. It is suitable for digital image signal recording, in which compressed data is channel-encoded, and the channel-encoded data is mounted on a rotary drum and recorded on a magnetic recording medium by a deaeration head. is there.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態について説明するが、本発明がこの実施の形態に限定
されるものではない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these embodiments.

【0021】1.蒸着製造装置 まず、本発明実施の形態において使用した蒸着製造装置
の構成について説明する。
1. Vapor Deposition Manufacturing Apparatus First, the structure of the vapor deposition manufacturing apparatus used in the embodiment of the present invention will be described.

【0022】図1に示すように、この製造装置において
は、頭部と低部にそれぞれ設けられた排気口81から排
気されて内部が真空状態となされた真空室82内に、図
中の反時計回り方向に定速回転する送りロール83と、
図中の時計回り方向に定速回転する巻取りロール84と
が設けられ、これら送りロール83から巻取りロール8
4にテープ状の非磁性支持体85が順次走行するように
なされている。
As shown in FIG. 1, in this manufacturing apparatus, the inside of the vacuum chamber 82 is evacuated from the exhaust ports 81 provided at the head and the lower portion, and the inside of the vacuum chamber 82 is in a vacuum state. A feed roll 83 that rotates at a constant speed in a clockwise direction,
A winding roll 84 that rotates at a constant speed in the clockwise direction in the drawing is provided.
4, a tape-shaped non-magnetic support 85 is sequentially run.

【0023】これら送りロール83から巻取りロール8
4側に上記非磁性支持体85が走行する中途部には、各
ロール83,84の径よりも大径となされた冷却キャン
86が設けられている。この冷却キャン86は、非磁性
支持体85を図中下方に引き出すように設けられ、図中
の時計回り方向に定速回転する構成とされる。尚、上記
送りロール83、巻取りロール84、及び、冷却キャン
86は、それぞれ非磁性支持体85の幅と略同じ長さか
らなる円筒状をなすものであり、また、冷却キャン86
には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、上記非磁
性支持体85の温度上昇による変形等を抑制し得るよう
になされている。
From the feed roll 83 to the take-up roll 8
A cooling can 86 having a diameter larger than the diameter of each of the rolls 83 and 84 is provided in the middle of the non-magnetic support 85 running on the fourth side. The cooling can 86 is provided so as to draw the non-magnetic support member 85 downward in the drawing, and is configured to rotate at a constant speed in the clockwise direction in the drawing. The feed roll 83, the take-up roll 84, and the cooling can 86 each have a cylindrical shape having a length substantially the same as the width of the non-magnetic support 85, and the cooling can 86 also has the same shape.
Is provided with a cooling device (not shown) inside so that deformation of the non-magnetic support 85 due to temperature rise can be suppressed.

【0024】したがって、非磁性支持体85は、送りロ
ール83から順次送り出され、さらに上記冷却キャン8
6の周面を通過し、巻取りロール84に巻取られていく
ようになされている。尚、上記送りロール83と記冷却
キャン86との間及び該冷却キャン86と上記巻取りロ
ール84との問にはそれぞれガイドロール87、88が
配設され、上記送りロール83から冷却キャン86及び
該冷却キャン86から券取りロール84にわたって走行
する非磁性支持体85に所定のテンションをかけ、該非
磁性支持体85が円滑に走行するようになされている。
Therefore, the non-magnetic support member 85 is sequentially fed from the feed roll 83, and the cooling can 8 is further fed.
It passes through the peripheral surface of No. 6 and is wound up by the winding roll 84. Guide rolls 87 and 88 are provided between the feed roll 83 and the cooling can 86 and between the cooling can 86 and the take-up roll 84, respectively. A predetermined tension is applied to the non-magnetic support member 85 running from the cooling can 86 to the ticket collecting rolls 84 so that the non-magnetic support member 85 runs smoothly.

【0025】また、上記真空室82内には、上記冷却キ
ャン86の下方にルツボ89が設けられ、このルツボ8
9内に金属磁性材料90が充填されている。このルツボ
89は、冷却キャン86の長手方向の幅と略同一の幅を
有してなる。
In the vacuum chamber 82, a crucible 89 is provided below the cooling can 86, and the crucible 8 is provided.
A magnetic metal material 90 is filled in the inside 9. The crucible 89 has substantially the same width as the longitudinal width of the cooling can 86.

【0026】一方、上記真空室82の側壁部には、上記
ルツボ89内に充填された金属磁性材料90を加熱蒸発
させるための電子銃91が取り付けられる。この電子銃
91は、当該電子銃91より放出される電子線Xが上記
ルツボ89内の金属磁性材料90に照射されるような位
置に配設される。そして、この電子銃91によって蒸発
した金属磁性材料90が上記冷却キャン86の周面を定
速走行する非磁性支持体85上に磁性層として被着形成
されるようになっている。
On the other hand, an electron gun 91 for heating and evaporating the metallic magnetic material 90 filled in the crucible 89 is attached to the side wall of the vacuum chamber 82. The electron gun 91 is arranged at a position such that the electron beam X emitted from the electron gun 91 irradiates the metallic magnetic material 90 in the crucible 89. Then, the metallic magnetic material 90 evaporated by the electron gun 91 is deposited and formed as a magnetic layer on the non-magnetic support 85 that runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 86.

【0027】また、上記冷却キャン86とルツボ89と
の間であって該冷却キャン86の近傍には、シャッタ9
2が配設されている。このシャッタ92は、上記冷却キ
ャン86の周面を定速走行する非磁性支持体85の所定
領域を覆う形で形成され、このシャッタ92により上記
蒸発せしめられた金属磁性材料90が上記非磁性支持体
85に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるように
なっている。さらに、このような蒸着に際し、上記真空
室82の側壁部を貫通して設けられる酸素ガス導入口9
4を介して非磁性支持体85の表面に酸素ガスが供給さ
れ、磁気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られてい
る。
A shutter 9 is provided between the cooling can 86 and the crucible 89 and near the cooling can 86.
2 are provided. The shutter 92 is formed so as to cover a predetermined region of the non-magnetic support member 85 that runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 86, and the metal magnetic material 90 evaporated by the shutter 92 is supported by the non-magnetic support member. The vapor deposition is performed obliquely with respect to the body 85 within a predetermined angle range. Further, in the case of such vapor deposition, the oxygen gas introduction port 9 is provided which penetrates the side wall of the vacuum chamber 82.
Oxygen gas is supplied to the surface of the non-magnetic support member 85 via 4 to improve the magnetic properties, durability and weather resistance.

【0028】2.磁気記録媒体の構成 次に、本発明の磁気記録媒体について説明する。[0028] 2. Configuration of Magnetic Recording Medium Next, the magnetic recording medium of the present invention will be described.

【0029】本実施の形態の磁気記録媒体の製造方法
は、非磁性支持体上に真空蒸着により強磁性金属薄膜が
磁性層として成膜される磁気記録媒体の製造方法におい
て、Coと総量0.2重量%以下であるC、Si、M
n、Al、及びTiとからなる蒸着源材料として非磁性
支持体上に強磁性金属薄膜を成膜することを特徴とす
る。
The method of manufacturing a magnetic recording medium of the present embodiment is the same as the method of manufacturing a magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer on a non-magnetic support by vacuum deposition. 2% by weight or less of C, Si, M
It is characterized in that a ferromagnetic metal thin film is formed on a non-magnetic support as a vapor deposition source material consisting of n, Al and Ti.

【0030】この本実施の形態にて使用したテープのお
もな製造条件を以下に示す。
The main manufacturing conditions of the tape used in this embodiment are shown below.

【0031】まず、非磁性支持体であるベースフィル
ムは、ポリエチレンテレフタレートを厚さ10μmで,
150mm幅のものを使用した。また、下塗り層は、ア
クリル酸エステルを主成分とする水溶性ラテックスを密
度1000万個/mm2で塗布した。
First, the base film, which is a non-magnetic support, is made of polyethylene terephthalate with a thickness of 10 μm.
The one having a width of 150 mm was used. The undercoat layer was formed by coating a water-soluble latex containing acrylic acid ester as a main component at a density of 10 million pieces / mm 2 .

【0032】 上記蒸着装置による磁性層の蒸着条件 インゴット :Co99重量%(詳細は表1に記載) 入射角 :45〜90° 非磁性支持体の送り速度 :25m/分 磁性層の厚さ :200nm 導入酸素量 :250cc/分 蒸着時真空度 :7×10-2Pa 次に、バックコート層は、カーボン、及び、ウレタン
バインダーを混合したものを0.6μm厚で塗布した。
Deposition conditions of magnetic layer by the above-mentioned vapor deposition apparatus Ingot: Co99 wt% (details are shown in Table 1) Incident angle: 45 to 90 ° Feed rate of non-magnetic support: 25 m / min Magnetic layer thickness: 200 nm Introduced oxygen amount: 250 cc / min Deposition degree of vacuum: 7 × 10 −2 Pa Next, the backcoat layer was applied by mixing carbon and a urethane binder to a thickness of 0.6 μm.

【0033】トップコートは、磁性面にパーフルオロ
ポリエーテルを塗布した。また、裁断幅は、8mm幅で
ある。
As the top coat, perfluoropolyether was applied to the magnetic surface. The cutting width is 8 mm.

【0034】このようなサンプルテープを作成した。ま
た、今回の各比較例、実施の形態で使用した合金の不純
物含有量を表1に示す。
A sample tape like this was prepared. Table 1 shows the impurity contents of the alloys used in each of the comparative examples and the embodiments of this time.

【0035】ここで、合金組成の測定は、島津製作所製
のIPC発光分光式測定器、及び、燃焼赤外線吸収法等
を用いて行った。すなわち、金属の分析はIPC発光分
光式測定器により、又、カーボンの測定は燃焼赤外線吸
収法を用いて行った。
Here, the alloy composition was measured by using an IPC emission spectrophotometer manufactured by Shimadzu Corporation, a combustion infrared absorption method and the like. That is, the metal was analyzed by an IPC emission spectrophotometer, and the carbon was measured by a combustion infrared absorption method.

【0036】ドロップアウトの測定はソニー製EV−S
900改造機を用い、再生出力レベルから−16dB、
10μsec以上の出力落ちをドロップアウトとして、
10分間測定を行い1分間当たりのドロップアウト数を
求めた。また、磁気特性の劣化の測定はガス腐食試験機
を用いSO2 ガス0.6ppm.を含む35°C90%
RH雰囲気中で24時間保存後の磁気特性(φs)の劣
化量(Δφs)を測定し、次式(1)により求めた。
Dropout is measured by Sony EV-S
Using a 900 modified machine, the playback output level is -16 dB,
Output drop of 10 μsec or more is used as dropout,
The measurement was performed for 10 minutes, and the number of dropouts per minute was calculated. Further, the deterioration of magnetic properties was measured by using a gas corrosion tester with SO 2 gas of 0.6 ppm. Including 35 ° C 90%
The deterioration amount (Δφs) of the magnetic property (φs) after storage in an RH atmosphere for 24 hours was measured and determined by the following equation (1).

【0037】 Δφs=(φs−φs’)/φs×100(%)・・・(1) φs :保存テスト前測定値 φs’:保存テスト前測定値3.実験結果 上述しように、島津製作所製のIPC発光分光式測定器
と燃焼赤外線吸収法を用いて測定した結果を、表1、表
2に示す。
Δφs = (φs−φs ′) / φs × 100 (%) (1) φs: measured value before storage test φs ′: measured value before storage test 3. Experimental Results As described above, Tables 1 and 2 show the results of measurement using the IPC emission spectrophotometer manufactured by Shimadzu Corporation and the combustion infrared absorption method.

【0038】この実験では、蒸着源材料の溶解は、1回
目は大気中で行い、2回目の真空中で行ったが、Al等
の脱酸剤をMgO容器に少しづつ入れて行き、MgO容
器の表面に膜をはったように存在する酸化物は、MgO
容器を傾けて合金を外に流して蒸着源原料を得る際に、
るつぼ壁面に付着させて除去した。
In this experiment, the evaporation source material was dissolved in the air the first time and in the second vacuum, but a deoxidizing agent such as Al was gradually added to the MgO container to gradually dissolve it. The oxide existing as if a film was formed on the surface of MgO was MgO.
When tilting the container and flowing the alloy out to obtain the vapor deposition source material,
It was attached to the wall of the crucible and removed.

【0039】そして、ここでの蒸着源材料は、一度蒸着
源原料として使用したものを回収し、再度溶解して蒸着
時に供給する形状に加工し直したものを使用した。この
ような手法を採用することにより、電磁変換特性に優
れ、エラーレートに優れた蒸着テープが実現することが
できる。
The vapor deposition source material used here was one that was once used as a vapor deposition source material, recovered, melted again, and reprocessed into a shape to be supplied at the time of vapor deposition. By adopting such a method, a vapor deposition tape having excellent electromagnetic conversion characteristics and an excellent error rate can be realized.

【0040】他方、Coは、産出後に簡単な精錬が行わ
れたままのNi,Fe等の不純物を含んだCoを用いて
も良い。しかし、Coの純度を高めるために、不純物を
除去すべく溶解を数回実施することが好ましい。なお、
産出後に簡単な精錬が行われたままのNi,Fe等の不
純物を含んだCoを用いると、製造コストが安価となる
が、不純物を取り除くために溶解を数回実施すると製造
コストが高価となる。
On the other hand, as Co, Co containing impurities such as Ni and Fe which have been subjected to simple refining after production may be used. However, in order to enhance the purity of Co, it is preferable to carry out dissolution several times to remove impurities. In addition,
If Co containing impurities such as Ni and Fe that have been subjected to simple refining after production is used, the manufacturing cost will be low, but if melting is performed several times to remove impurities, the manufacturing cost will be high. .

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】なお、Coの成分は、他の微量な不純物成
分を差し引いた値となる。表1中、「BAL」は、この
他の微量な不純物成分を差し引いた「残部(Balan
ce)」を意味する。
The Co component has a value obtained by subtracting other trace impurities. In Table 1, "BAL" means "balance (Balan)" after subtracting other trace impurities.
ce) ”.

【0043】[0043]

【表2】 [Table 2]

【0044】表1,表2から明らかなように、蒸着源材
料としてCoを用いるが、この蒸着源材料に含まれる
C、Si、Mn、Al、及びTiの含有量が総量で0.
2重量%以上である比較例1〜比較例3は、蒸着時のス
プラッシュが多くエラーレートが悪い。特に、比較例1
は、蒸着時のるつぼ表面に酸化物が表面に膜をはったよ
うに存在し、電子銃のビームパワーを通常より多く投入
しないと蒸着レートがとれなかった。
As is clear from Tables 1 and 2, Co is used as the vapor deposition source material, and the total content of C, Si, Mn, Al, and Ti contained in the vapor deposition source material is 0.
Comparative Examples 1 to 3 in which the amount is 2% by weight or more has a large amount of splash during vapor deposition and has a poor error rate. In particular, Comparative Example 1
Had an oxide film on the surface of the crucible during vapor deposition as if it had a film on it, and the vapor deposition rate could not be obtained unless the beam power of the electron gun was higher than usual.

【0045】これに対して、蒸着源材料としてCoを用
いるとともに、この蒸着源材料に含まれるC、Si、M
n、Al、及びTiの含有量を総量で0.2重量%以下
の各実施例1〜6は、磁気劣化特性が少なく、又、電磁
変換特性の向上とともにエラーレートが改善されてい
る。
On the other hand, Co is used as the vapor deposition source material, and C, Si and M contained in the vapor deposition source material are used.
In each of Examples 1 to 6 in which the total content of n, Al, and Ti is 0.2% by weight or less, the magnetic deterioration characteristics are small, and the electromagnetic conversion characteristics are improved and the error rate is improved.

【0046】特に、実施例4、実施例6、実施例1の順
にみられるように不純物の総量が少ないほどエラーレー
トが良好となる傾向がある。これは不純物量が小さいこ
とで真空蒸着時に発生するスプラッシュが抑制されたこ
とに起因していると思われる。なお、実施例1は、Co
の純度を高めるために、不純物を除去すべく溶解を数回
実施したものである。
In particular, as seen in the order of Example 4, Example 6, and Example 1, the error rate tends to be better as the total amount of impurities is smaller. It is considered that this is because the amount of impurities was small and the splash generated during vacuum deposition was suppressed. In addition, in Example 1, Co
In order to improve the purity of the above, dissolution was carried out several times to remove impurities.

【0047】このような結果から、蒸着源材料としてC
oを用いるとともに、この蒸着源材料に含まれるC、S
i、Mn、Al、及びTiの含有量を総量で0.2重量
%以下として、非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を成膜
することにより、磁気劣化特性が少なく、又、電磁変換
特性の向上とともにエラーレートが改善される。
From the above results, C was selected as the vapor deposition source material.
is used, and C and S contained in this vapor deposition source material are used.
By forming the ferromagnetic metal thin film on the non-magnetic support with the total content of i, Mn, Al, and Ti being 0.2% by weight or less, the magnetic deterioration characteristic is small, and the electromagnetic conversion characteristic is small. And the error rate is improved.

【0048】4.記録再生装置の構成 次に、本発明はディジタル記録のの記録媒体として好適
なものであるから、エラーレートを測定したディジタル
VTRの記録再生系について説明する。
[0048] 4. Configuration of Recording / Reproducing Apparatus Next, since the present invention is suitable as a recording medium for digital recording, a recording / reproducing system of a digital VTR whose error rate is measured will be described.

【0049】カラービデオ信号をディジタル化して磁気
テープ等の記録媒体に記録するディジタルVTRとして
は、放送局用のフォーマットのコンポーネント形ディジ
タルVTR及びD2フォーマットのコンポジット形ディ
ジタルVTRが実用化されている。
As a digital VTR for digitizing a color video signal and recording it on a recording medium such as a magnetic tape, a component type digital VTR of a format for broadcasting stations and a composite type digital VTR of a D2 format have been put into practical use.

【0050】前者のD1フォーマットディジタルVTR
は、輝度信号及び第1,第2の色差信号をそれぞれ1
3.5MHz、6.75MHzのサンプリング周波数で
A/D変換した後、所定の信号処理を行って磁気テープ
上に記録するもので、これらコンポーネント成分のサン
プリング周波数が4:2:2であることから、4:2:
2方式とも称されている。
The former D1 format digital VTR
Is 1 for the luminance signal and the first and second color difference signals.
After A / D conversion at a sampling frequency of 3.5 MHz and 6.75 MHz, a predetermined signal processing is performed and recording is performed on a magnetic tape. Since the sampling frequency of these component components is 4: 2: 2. 4: 2:
It is also called two methods.

【0051】一方、後者のD2フォーマットディジタル
VTRは、コンポジットカラービデオ信号をカラー副搬
送波信号の周波数の4倍の周波数の信号でサンプリング
を行ってA/D変換し、所定の信号処理を行った後、磁
気テープに記録するようにしている。
On the other hand, in the latter D2 format digital VTR, the composite color video signal is sampled with a signal having a frequency four times the frequency of the color subcarrier signal, A / D-converted, and subjected to predetermined signal processing. , I try to record on a magnetic tape.

【0052】いずれにしても、これらのディジタルVT
Rは、共に放送局用に使用されることを前提に設計され
ているために、画質最優先とされ、1サンプルが例えば
8ビットにA/D変換されたディジタルカラービデオ信
号を実質的に圧縮することなしに記録するようになされ
ている。
In any case, these digital VTs are
Since R is designed on the premise that both are used for broadcasting stations, image quality is given the highest priority, and a digital color video signal in which one sample is A / D converted into, for example, 8 bits is substantially compressed. It is designed to record without doing anything.

【0053】したがって、例えばD1フォーマトのディ
ジタルVTRでは、大型のカセットテープを使用しても
高々1.5時間程度の再生時間しか得られず、一般家庭
用のVTRとして使用するには不適当である。
Therefore, for example, in the D1 format digital VTR, even if a large cassette tape is used, a reproduction time of at most about 1.5 hours can be obtained, which is unsuitable for use as a general household VTR. .

【0054】そこで本実施の形態においては、例えば5
μmのトラック幅に対し最短波長0.5μmの信号を記
録するようにし、記録密度1.25μm2 /bitを実
現するともに、記録情報を再生歪みが少ないような形で
圧縮する方法を併用することによって、テープ幅が8m
m、或いは、それ以下の幅狭の磁気テープを使用しても
長時間の記録・再生が可能なディジタルVTRに適用す
るものとする。そこで、以下、このディジタルVTRの
構成について説明する。
Therefore, in the present embodiment, for example, 5
A signal with a shortest wavelength of 0.5 μm is recorded for a track width of μm, a recording density of 1.25 μm 2 / bit is realized, and a method of compressing recorded information in a form with little reproduction distortion is also used. Depending on the tape width is 8m
The present invention is applied to a digital VTR capable of recording / reproducing for a long time even if a magnetic tape having a width of m or less is used. Therefore, the configuration of this digital VTR will be described below.

【0055】a.信号処理部 先ず、本実施の形態において用いたディジタルVTR信
号処理部について説明する。図2は記録側の構成全体を
示すものであり、1Y、1U、1Vでそれぞれ示す入力
端子に、例えばカラービデオカメラからの三原色信号
R,G,Bから形成されたディジタル輝度信号Y、ディ
ジタル色差信号U、Vが供給される。
A. Signal Processing Unit First, the digital VTR signal processing unit used in this embodiment will be described. FIG. 2 shows the entire structure on the recording side. Digital luminance signals Y and digital color difference signals formed from, for example, three primary color signals R, G, B from a color video camera are provided at input terminals indicated by 1Y, 1U, and 1V, respectively. The signals U and V are supplied.

【0056】この場合、各信号のクロックレートはD1
フォーマットの各コンポーネント信号の周波数と同一と
される。すなわち、それぞれのサンプリング周波数が1
3.5MHz、6.75MHzとされ、且つこれらの1
サンプル当たりのビット数が8ビットとされている。
In this case, the clock rate of each signal is D1.
It is the same as the frequency of each component signal of the format. That is, each sampling frequency is 1
3.5MHz and 6.75MHz, and these 1
The number of bits per sample is 8 bits.

【0057】したがって、入力端子1Y、1U、1Vに
供給される信号のデ一タ量としては、約216Mbps
となる。この信号のうちブランキング時間のデータを除
去し有効領域の情報のみを取り出す有効情報抽出回路2
によってデータ量が約167Mbpsに圧縮される。
Therefore, the data amount of the signals supplied to the input terminals 1Y, 1U, 1V is about 216 Mbps.
Becomes Effective information extraction circuit 2 for removing the blanking time data from this signal and extracting only the information of the effective area
The data amount is compressed to about 167 Mbps.

【0058】そして、上記有効情報抽出回路2の出力の
うちの輝度信号Yが周波数変換回路3に供給され、サン
プリング周波数が13.5MHzからその3/4に変換
される。周波数変換回路3としては、例えば間引きフィ
ルタが使用され、折り返し歪みが生じないようになされ
ている。この周波数変換回路3の出力信号はブロック化
回路5に供給され、輝度データの順序がブロックの順序
に変換される。ブロック化回路5は、後段に設けられた
ブロック符号化回路8のために設けられている。 図4
は、符号化の単位のブロックの構造を示す。この例は、
3次元ブロックであって、例えば2フレームに跨がる画
面を分割することによ、同図に示すように(4ライン×
4画素×2フレーム)の単位ブロックが多数形成され
る。なお、図4において実線は奇数フィールドのライン
を示し、破線は偶数フィールドのラインを示す。
Then, the luminance signal Y of the output of the effective information extraction circuit 2 is supplied to the frequency conversion circuit 3, and the sampling frequency is converted from 13.5 MHz to 3/4 thereof. As the frequency conversion circuit 3, for example, a thinning filter is used so that aliasing distortion does not occur. The output signal of the frequency conversion circuit 3 is supplied to the blocking circuit 5, and the order of luminance data is converted into the order of blocks. The block forming circuit 5 is provided for the block encoding circuit 8 provided in the subsequent stage. FIG.
Shows the structure of a block as a unit of coding. This example
By dividing a screen that is a three-dimensional block and extends over two frames, as shown in FIG.
A large number of unit blocks of 4 pixels × 2 frames) are formed. In addition, in FIG. 4, a solid line indicates an odd field line, and a broken line indicates an even field line.

【0059】また、有効情報抽出回路2の出力のうち、
2つの色差信号U、Vがサブサンプリング及びサプライ
ン路4に供給され、サンプリング周波数がそれぞれ6.
75MHzからその半分に変換された後、2つのディジ
タル色差信号が互いにライン毎に選択され、1チャンネ
ルのデータサブサンプリング及びサプライン回路4から
は線順次化されたディジタ合成される。したがって、こ
の色差信号が得られる。このサブサンプリング及びサブ
ライン回路4によってサプサンプ及びサブライン化され
た信号の画素構成を図5に示す。図5中、○は第1の色
差信号Uのサブサンプリング画素を示し、△は第2の色
素信号Vのサンプリング画素を示し、×はサブサンプル
によって間引かれた画素の位置を示す。
Of the outputs of the effective information extraction circuit 2,
The two color difference signals U and V are supplied to the sub-sampling and supply line 4, and the sampling frequencies are 6.
After being converted from 75 MHz to a half thereof, two digital color difference signals are selected line by line with each other and subjected to line-sequential digitization synthesis from the data sub-sampling and supply circuit 4 of one channel. Therefore, this color difference signal is obtained. FIG. 5 shows the pixel configuration of the signal that has been subsumed and sublined by the subsampling and subline circuit 4. In FIG. 5, ◯ indicates a sub-sampling pixel of the first color difference signal U, Δ indicates a sampling pixel of the second dye signal V, and x indicates a pixel position thinned by the sub-sample.

【0060】上記サブサンプリング及びサブライン回路
4からの線順次化出力信号は、ブロック化回路6に供給
される。ブロック化回路6では一方のブロック化回路5
と同様に、テレビジョン信号の走査の順序の色差データ
がブロックの順序でデータに変換される。このブロック
化回路6は、一方のブロック化回路5と同様に、色差デ
ータを(4ライン×4画素×2フレーム)のブロック構
造に変換する。そしてこれらブロック化回路5及びブロ
ック化回路6の出力信号が合成回路7に供給される。
The line-sequential output signal from the sub-sampling and sub-line circuit 4 is supplied to the blocking circuit 6. In the blocking circuit 6, one blocking circuit 5
Similarly, the color difference data in the scanning order of the television signal is converted into the data in the block order. Like the one blocking circuit 5, the blocking circuit 6 converts the color difference data into a block structure of (4 lines × 4 pixels × 2 frames). The output signals of the blocking circuit 5 and the blocking circuit 6 are supplied to the synthesizing circuit 7.

【0061】合成回路7では、ブロックの順序に変換さ
れた輝度信号及び色差信号が1チャンネルの信号に変換
され、この合成回路7の出力信号がブロック符号化回路
8に供給される。ブロック符号化回路8としては、後述
するようにブロック毎のダイナミックレンジに適応した
符号化回路(ADRCと称する。)、DCT(Disc
rete Cosine Trasform)回路等が
適用できる。前記ブロック符号化回路8からの出力信号
は、さらにフレーム化回路9に供給され、フレーム構造
のデータに変換される。このフレーム化回路9では、画
素系のクロックと記録系のクロックへの乗り換えが行わ
れる。
In the synthesizing circuit 7, the luminance signal and chrominance signal converted in the order of blocks are converted into one-channel signals, and the output signal of this synthesizing circuit 7 is supplied to the block coding circuit 8. As the block coding circuit 8, as will be described later, a coding circuit (referred to as ADRC) adapted to the dynamic range of each block, a DCT (Disc).
A rete cosine transform circuit or the like can be applied. The output signal from the block encoding circuit 8 is further supplied to the framing circuit 9 and converted into frame structure data. In the framing circuit 9, switching between the pixel clock and the recording clock is performed.

【0062】次いで、フレーム化回路9の出力信号がエ
ラー訂正符号のパリティ発生回路10に供給され、エラ
ー訂正符号のパリティが生成される。パリティ発生回路
10の出力信号はチャンネルエンコーダ11に供給さ
れ、記録データの低域部分を減少させるようなチャンネ
ルコーディングがなされる。チャンネルエンコーダ11
の出力信号が記録アンプ12A,12Bと回転トランス
(図示は省略する。)を介して一対の磁気ヘッド13
A,13Bに供給され、磁気テープに記録される。な
お、オーディオ信号と、ビデオ信号とは別に圧縮符号化
され、チャンネルエンコーダ11に供給される。
Then, the output signal of the framing circuit 9 is supplied to the error correction code parity generation circuit 10 to generate the error correction code parity. The output signal of the parity generation circuit 10 is supplied to the channel encoder 11, and channel coding is performed so as to reduce the low frequency part of the recording data. Channel encoder 11
Output signal of the pair of magnetic heads 13 via recording amplifiers 12A and 12B and a rotary transformer (not shown).
It is supplied to A and 13B and recorded on the magnetic tape. The audio signal and the video signal are separately compression-coded and supplied to the channel encoder 11.

【0063】上述の信号処理によって、入力のデータ量
216Mbpsが有効走査期間のみを抽出することによ
って約167Mbpsに低減され、さらに周波数変換と
サブサンプルとサブラインとによってこれが84Mbp
sに減少される。このデータは、ブロック符号化回路8
で圧縮符号化することにより、約25Mbpsに圧縮さ
れ、その後のパリティ、オーディオ信号等の付加的な情
報を加えて、記録データ量としては31.56Mbps
となる。
By the above-mentioned signal processing, the input data amount of 216 Mbps is reduced to about 167 Mbps by extracting only the effective scanning period, and further it is 84 Mbps by the frequency conversion, the sub-sample and the sub-line.
s. This data is the block coding circuit 8
The data is compressed and encoded to about 25 Mbps. Then, additional information such as parity and audio signal is added, and the recording data amount is 31.56 Mbps.
Becomes

【0064】次に、再生側の構成について図3を参照し
ながら説明する。再生の際には、図3に示すように、先
ず磁気ヘッド13A,13Bからの再生データが回転ト
ランス及び再生アンプ14A、14Bを介してチャンネ
ルデコーダ15に供給される。チャンネルデコーダ15
において、チャンネルコーディングの復調がされ、チャ
ンネルデコーダ15の出力信号がTBC回路(時間軸補
正回路)16に供給される。このTBC回路16におい
て、再生信号の時間軸変動成分が除去される。TBC回
路16からの再生データがECC回路17に供給され、
エラー訂正符号を用いたエラー訂正とエラー修正が行わ
れる。ECC回路17の出力信号がフレーム分解回路1
8に供給される。
Next, the structure on the reproducing side will be described with reference to FIG. At the time of reproduction, as shown in FIG. 3, reproduction data from the magnetic heads 13A and 13B is first supplied to the channel decoder 15 via the rotary transformer and the reproduction amplifiers 14A and 14B. Channel decoder 15
At, the channel coding is demodulated, and the output signal of the channel decoder 15 is supplied to the TBC circuit (time base correction circuit) 16. In this TBC circuit 16, the time-axis fluctuation component of the reproduction signal is removed. The reproduction data from the TBC circuit 16 is supplied to the ECC circuit 17,
Error correction and error correction using the error correction code are performed. The output signal of the ECC circuit 17 is the frame decomposition circuit 1
8 is supplied.

【0065】フレーム分解回路18によって、ブロック
符号かデータの各成分がそれぞれ分離されるとともに、
記録系のブロックから画素のクロックへの乗り換えがな
される。フレーム分解回路18で分離された各データが
ブロック複号回路19に供給され、各ブロック単位に原
データと対応する復元データが複号され、複号データが
分配回路20に供給される。この分配回路20で複号デ
ータが輝度信号と色差信号に分離される。輝度信号及び
色差信号がブロック分解回路21,22にそれぞれ供給
される。
The frame decomposing circuit 18 separates each component of the block code or the data, and
The transfer from the block of the recording system to the clock of the pixel is performed. The respective data separated by the frame decomposing circuit 18 are supplied to the block decoding circuit 19, the restored data corresponding to the original data is decoded for each block, and the decoding data is supplied to the distribution circuit 20. The distribution circuit 20 separates the decoded data into a luminance signal and a color difference signal. The luminance signal and the color difference signal are supplied to the block decomposition circuits 21 and 22, respectively.

【0066】ブロック分解回路21,22は、送信側の
ブロック化回路5,6とは逆に、ブロックの順序の複号
データをラスター走査の順に変換する。
The block decomposing circuits 21 and 22 convert the decoding data in the order of blocks into the order of raster scanning, contrary to the blocking circuits 5 and 6 on the transmitting side.

【0067】ブロック分解回路21からの複号輝度信号
が補間フィルタ23に供給される。補間フィルタ23で
は、輝度信号のサンプリングレートが3fsから4fs
(4fs:13.5MHz)に変換される。補間フィル
タ23からのディジタル輝度信号Yは出力端子26Yに
取り出される。
The decoded luminance signal from the block decomposition circuit 21 is supplied to the interpolation filter 23. In the interpolation filter 23, the sampling rate of the luminance signal is 3 fs to 4 fs.
(4 fs: 13.5 MHz). The digital luminance signal Y from the interpolation filter 23 is taken out to the output terminal 26Y.

【0068】一方、ブロック分解回路22からのディジ
タル色差信号が分配回路24に供給され、線順次化され
たディジタル色差信号U,Vがディジタル色差信号U及
びVにそれぞれ分離される。分配回路24からのディジ
タル色差信号U,Vが補間回路25に供給され、それぞ
れ補間される。補間回路25は、復元された画素データ
を用いて間引かれたライン及び画素のデータを補間する
もので、補間回路25からはサンプリングレートが2f
sのディジタル色差信号U及びVが得られ、出力端子2
6U,26Vにそれぞれ取り出される。
On the other hand, the digital color difference signal from the block decomposition circuit 22 is supplied to the distribution circuit 24, and the line-sequential digital color difference signals U and V are separated into the digital color difference signals U and V, respectively. The digital color difference signals U and V from the distribution circuit 24 are supplied to the interpolation circuit 25 and are interpolated. The interpolation circuit 25 interpolates the data of the thinned lines and pixels by using the restored pixel data, and the sampling rate from the interpolation circuit 25 is 2f.
s digital color difference signals U and V are obtained and output terminal 2
6U and 26V are taken out respectively.

【0069】b.ブロック符号化 図2におけるブロック符号化回路8としては、ADRC
(AdaptiveDynamic Range Co
ding)エンコーダが用いられる。このADRCエン
コーダは、各ブロックに含まれる複数の画素データの最
大値MAXと最小値MINを検出し、これら最大値MA
X及び最小値MINからブロックのダイナミックレンジ
DRを検出し、このダイナミックレンジDRに適応した
符号化を行い、原画素データのビット数よりも少ないビ
ット数により、再量子化を行うものである。ブロック符
号化回路8の他の例としては、各ブロックの画素データ
をDCT(Discrete Cosine Tran
sform)した後、このDCTで得られた係数データ
を量子化し、量子化データをランレングス・ハフマン符
号化して圧縮符号化する構成を用いてもよい。
B. Block Coding As the block coding circuit 8 in FIG.
(Adaptive Dynamic Range Co
ding) encoder is used. The ADRC encoder detects the maximum value MAX and the minimum value MIN of a plurality of pixel data included in each block, and detects the maximum value MA.
The dynamic range DR of the block is detected from X and the minimum value MIN, the coding adapted to this dynamic range DR is performed, and the requantization is performed with the number of bits smaller than the number of bits of the original pixel data. As another example of the block encoding circuit 8, pixel data of each block is converted into DCT (Discrete Cosine Tran).
After sform), the coefficient data obtained by this DCT may be quantized, and the quantized data may be run-length Huffman encoded and compression-encoded.

【0070】ここでは、ADRCエンコーダを用い、さ
らにマルチダビングした時にも画質劣化が生じないエン
コーダの例を図6を参照しながら説明する。
Here, an example of an encoder that uses an ADRC encoder and in which image quality deterioration does not occur even when multi-dubbing is performed will be described with reference to FIG.

【0071】図6において、入力端子27に例えば1サ
ンプルが8ビットに量子化されたディジタルビデオ信号
(或いはディジタル色差信号)が合成回路7より入力さ
れる。入力端子27からのブロック化データが最大値,
最小値検出回路29及び遅延回路30に供給される。最
大値,最小値検出回路29は、ブロック毎に最小値MI
N、最大値MAXを検出する。遅延回路30からは、最
大値及び最小値が検出されるのに要する時間、入力デー
タを遅延させる。遅延回路30からの画素データが比較
回路31及び比較回路32に供給される。
In FIG. 6, a digital video signal (or digital color difference signal) in which one sample is quantized into 8 bits is input from the synthesizing circuit 7 to the input terminal 27. The blocked data from the input terminal 27 is the maximum value,
It is supplied to the minimum value detection circuit 29 and the delay circuit 30. The maximum value / minimum value detection circuit 29 determines the minimum value MI for each block.
N, maximum value MAX is detected. From the delay circuit 30, the input data is delayed for the time required to detect the maximum value and the minimum value. The pixel data from the delay circuit 30 is supplied to the comparison circuit 31 and the comparison circuit 32.

【0072】最大値,最小値検出回路29からの最大値
MAXが減算回路33に供給され、最小値MINが加算
回路34に供給される。これらの減算回路33及び加算
回路34には、ビットシフト回路35から4ビット固定
長でノンエッジマッチング量子化した場合の1量子化ス
テップ幅の値(△=1/16DR)が供給される。ビッ
トシフト回路35は、(1/16)の割算を行うよう
に、ダイナミックレンジDRを4ビットシフトする構成
とされている。減算回路33からは(MAX−△)のし
きい値が得られ、加算回路34からは(MIN+△)の
しきい値が得られる。これらの減算回路33及び加算回
路34からのしきい値が比較回路31,32にそれぞれ
供給される。なお、このしきい値を規定する値△は、量
子化ステップ幅に限らず、ノイズレベルに相当する固定
値としてもよい。
The maximum value MAX from the maximum / minimum value detection circuit 29 is supplied to the subtraction circuit 33, and the minimum value MIN is supplied to the addition circuit 34. The subtractor circuit 33 and the adder circuit 34 are supplied from the bit shift circuit 35 with a value of one quantization step width (Δ = 1 / 16DR) when non-edge matching quantization is performed with a fixed length of 4 bits. The bit shift circuit 35 is configured to shift the dynamic range DR by 4 bits so as to perform division by (1/16). The subtraction circuit 33 obtains a threshold value of (MAX-Δ), and the addition circuit 34 obtains a threshold value of (MIN + Δ). The threshold values from the subtraction circuit 33 and the addition circuit 34 are supplied to the comparison circuits 31 and 32, respectively. The value Δ defining this threshold is not limited to the quantization step width and may be a fixed value corresponding to the noise level.

【0073】比較回路31の出力信号がANDゲート3
6に供給され、比較回路32の出力信号がANDゲート
37に供給される。ANDゲート36及びANDゲート
37には、遅延回路30からの入力データが供給され
る。比較回路31の出力信号は、入力データがしきい値
より大きい時にハイレベルとなり、したがってANDゲ
ート36の出力端子には、(MAX〜MAX−△)の最
大レベル範囲に含まれる入力データの画素データが抽出
される。一方、比較回路32の出力信号は、入力データ
がしきい値より小さい時にハイレベルとなり、したがっ
てANDゲート37の出力端子には、(MIN〜MIN
+△)の最小レベル範囲に含まれる入力データの画素デ
ータが抽出される。
The output signal of the comparison circuit 31 is the AND gate 3
6 and the output signal of the comparison circuit 32 is supplied to the AND gate 37. The input data from the delay circuit 30 is supplied to the AND gate 36 and the AND gate 37. The output signal of the comparison circuit 31 becomes high level when the input data is larger than the threshold value. Therefore, the output terminal of the AND gate 36 has the pixel data of the input data included in the maximum level range of (MAX to MAX-Δ). Is extracted. On the other hand, the output signal of the comparison circuit 32 becomes high level when the input data is smaller than the threshold value. Therefore, the output terminal of the AND gate 37 is (MIN to MIN).
Pixel data of the input data included in the minimum level range of + Δ) is extracted.

【0074】ANDゲート36の出力信号が平均化回路
38に供給され、ANDゲート37の出力信号が平均化
回路39に供給される。これらの平均化回路38,39
は、ブロック毎に平均値を算出するもので、端子40か
らブロック周期のリセット信号が平均化回路38,39
に供給されている。平均化回路38からは、(MAX〜
MAX−△)の最大レベル範囲に属する画素データの平
均値MAX´が得られ、平均化回路39からは(MIN
〜MIN+△)の最小レベル範囲に属する画素データの
平均値MIN´が得られる。平均値MAX´から平均値
MIN´が減算回路41で減算され、この減算回路41
からダイナミックレンジDR´が得られる。
The output signal of the AND gate 36 is supplied to the averaging circuit 38, and the output signal of the AND gate 37 is supplied to the averaging circuit 39. These averaging circuits 38, 39
Is for calculating an average value for each block, and the reset signal of the block cycle is inputted from the terminal 40 to the averaging circuits 38, 39.
Is supplied to From the averaging circuit 38, (MAX ~
The average value MAX ′ of the pixel data belonging to the maximum level range of (MAX−Δ) is obtained, and the averaging circuit 39 outputs (MIN).
The average value MIN ′ of the pixel data belonging to the minimum level range of ˜MIN + Δ) is obtained. The subtraction circuit 41 subtracts the average value MIN ′ from the average value MAX ′.
From the dynamic range DR '.

【0075】また、平均値MIN´が減算回路42に供
給され、遅延回路43を介された入力データから平均値
MIN´が減算回路42において減算され、最小値除去
後のデータPDIが形成される。このデータPDI及び
修整されたダイナミックレンジDR´が量子化回路44
に供給される。この実施の形態では、量子化に割り当て
られるビット数nが0ビット(コード信号を転送しな
い)、1ビット、2ビット、3ビット、4ビットの何れ
かとされる可変長のADRCであって、エッジマッチン
グ量子化がなされる。割り当てビット数nは、ブロック
毎にビット数決定回路45において決定され、ビット数
nのデータが量子化回路44に供給される。
Further, the average value MIN 'is supplied to the subtraction circuit 42, and the average value MIN' is subtracted from the input data passed through the delay circuit 43 in the subtraction circuit 42 to form the data PDI after removal of the minimum value. . The data PDI and the modified dynamic range DR ′ are used by the quantization circuit 44.
Is supplied to. In this embodiment, the number n of bits assigned to quantization is 0 bit (no code signal is transferred), 1 bit, 2 bits, 3 bits, or 4 bits, which is a variable-length ADRC. Matching quantization is performed. The allocated bit number n is determined for each block in the bit number determination circuit 45, and the data of the bit number n is supplied to the quantization circuit 44.

【0076】可変長ADRCは、ダイナミックレンジD
R’が小さいブロックでは、割り当てビット数nを少な
くし、ダイナミックレンジDR’が大きいブロックで
は、割り当てビット数nを多くすることで、効率の良い
符号化を行うことができる。すなわち、ビット数nを決
定する際のしきい値をT1〜T4(T1<T2<T3<
T4)とすると、(DR’<T1)のブロックは、コー
ド信号が転送されず、ダイナミックレンジDR’の情報
のみが転送され、(T1≦DR’<T2)のブロック
は、(n=1)とされ、(T2≦DR<T3)のブロッ
クは、(n=2)とされ、(T3≦DR’<T4)のブ
ロックは、(n=3)とされ、(DR’≧T4)のブロ
ックは、(n=4)される。
The variable length ADRC has a dynamic range D
Efficient encoding can be performed by reducing the number of allocated bits n in a block having a small R ′ and increasing the number of allocated bits n in a block having a large dynamic range DR ′. That is, the threshold values for determining the number of bits n are set to T1 to T4 (T1 <T2 <T3 <
T4), the code signal is not transferred to the block of (DR ′ <T1), only the information of the dynamic range DR ′ is transferred, and the block of (T1 ≦ DR ′ <T2) is (n = 1). The block of (T2 ≦ DR <T3) is set to (n = 2), the block of (T3 ≦ DR ′ <T4) is set to (n = 3), and the block of (DR ′ ≧ T4) is set to Is (n = 4).

【0077】かかる可変長ADRCではしきい値T1〜
T4を変えることで、発生情報量を制御すること(いわ
ゆるバッファリング)ができる。したがって、1フィー
ルド或いは、1フレーム当たりの発生情報量を所定値に
することが要求されるこの発明のディジタルビデオテー
プレコーダのような伝送路に対しても可変長ADRCを
適用できる。
In such variable length ADRC, the threshold values T1.about.
By changing T4, the generated information amount can be controlled (so-called buffering). Therefore, the variable length ADRC can be applied to a transmission line such as the digital video tape recorder of the present invention which requires that the amount of generated information per field or frame be a predetermined value.

【0078】発生情報量を所定値にするためのしきい値
T1〜T4を決定するバッファリング回路46では、し
きい値の組(T1、T2、T3、T4)が複数例えば3
2組用意されており、これらのしきい値の組がパラメー
タコードPi(i=0、1、2・・・・31)により区
別される。パラメータコードPiの番号iが大きくなる
に従って、発生情報量が単調に減少するように設定され
ている。ただし、発生情報量が減少するに従って、復元
画像の画質が劣化する。
In the buffering circuit 46 which determines the threshold values T1 to T4 for making the generated information amount a predetermined value, a plurality of threshold value groups (T1, T2, T3, T4), for example, 3 are set.
Two sets are prepared, and these sets of thresholds are distinguished by the parameter code Pi (i = 0, 1, 2, ... 31). The generated information amount is set to monotonically decrease as the number i of the parameter code Pi increases. However, the quality of the restored image deteriorates as the amount of generated information decreases.

【0079】バッファリング回路46からのしきい値T
1〜T4が比較回路47に供給され、遅延回路48を介
されたダイナミックレンジDR’が比較回路47に供給
される。遅延回路48は、バッファリング回路46でし
きい値の組が決定されるのに要する時間、DR’を遅延
させる。比較回路47では、ブロックのダイナミックレ
ンジDR’としきい値とがそれぞれ比較され、比較出力
がビット数決定回路45に供給され、そのブロックの割
り当てビット数nが決定される。
Threshold value T from buffering circuit 46
1 to T4 are supplied to the comparison circuit 47, and the dynamic range DR ′ through the delay circuit 48 is supplied to the comparison circuit 47. The delay circuit 48 delays DR ′ by the time required for the buffering circuit 46 to determine the set of threshold values. In the comparison circuit 47, the dynamic range DR ′ of the block is compared with the threshold value, the comparison output is supplied to the bit number determination circuit 45, and the allocated bit number n of the block is determined.

【0080】量子化回路44では、ダイナミックレンジ
DR’と割り当てビット数nとを用いて遅延回路49を
介された最小値除去後のデータPDIがエッジマッチン
グの量子化により、コード信号DTに変換される。量子
化回路44は、例えばROMで構成されている。
In the quantizing circuit 44, the data PDI after removal of the minimum value, which has passed through the delay circuit 49, is converted into the code signal DT by the edge matching quantization using the dynamic range DR ′ and the number of allocated bits n. It The quantization circuit 44 is composed of, for example, a ROM.

【0081】遅延回路48、50をそれぞれ介して修整
されたダイナミックレンジDR’、平均値MIN’が出
力され、さらにコード信号DTとしきい値の組を示すパ
ラメータコードPiが出力される。この例では、一旦ノ
ンエッジマッチ量子化された信号が新たにダイナミック
レンジ情報に基づいて、エッジマッチ量子化されている
ためにダビングした時の画像劣化は少ないものとされ
る。
The modified dynamic range DR 'and average value MIN' are output via the delay circuits 48 and 50, respectively, and the parameter code Pi indicating the set of the code signal DT and the threshold value is output. In this example, the signal that has been non-edge-match quantized is edge-match quantized newly based on the dynamic range information, so that image deterioration when dubbing is small.

【0082】c.チャンネルエンコーダ及びチャンネル
デコーダ 次に、図3のチャンネルエンコーダ11及びチャンネル
デコーダ15について説明する。
C. Channel Encoder and Channel Decoder Next, the channel encoder 11 and the channel decoder 15 of FIG. 3 will be described.

【0083】チャンネルヱンコーダ11においては、図
7に示すように、パリティ発生回路10の出力が供給さ
れる適応型スクランブル回路で、複数のM系列のスクラ
ンブル回路51が用意され、その中で入力信号に対し最
も高周波成分及び直流成分の少ない出力が得られるよう
なM系列が選択されるように構成されている。
As shown in FIG. 7, the channel coder 11 is an adaptive scramble circuit to which the output of the parity generation circuit 10 is supplied, and a plurality of M-sequence scramble circuits 51 are prepared. On the other hand, the M series is selected so that an output with the least high frequency component and DC component can be obtained.

【0084】パーシャルレスポンス・クラス4検出方式
のためのプリコーダ52で、1/1−D2 (Dは単位遅
延用回路)の演算処理がなされる。このプリコーダ52
の出力を記録アンプ12A,13Aを介して磁気ヘッド
13A,13Bにより、記録再生し、再生出力を再生ア
ンプ14A,14Bによって増幅するようになされてい
る。
The precoder 52 for the partial response class 4 detection method performs arithmetic processing of 1 / 1-D 2 (D is a unit delay circuit). This precoder 52
Is recorded and reproduced by the magnetic heads 13A and 13B via the recording amplifiers 12A and 13A, and the reproduced output is amplified by the reproducing amplifiers 14A and 14B.

【0085】一方、チャンネルデコーダ15において
は、図8に示すように、バーシャルレスポンス・クラス
4の再生側の演算処理回路53は、1+Dの演算が再生
アンプ14A.14Bの出力に対して行われる。また、
いわゆるビタビ複号回路54においては、演算処理回路
53の出力に対してデータの相関性や確からしさ等を用
いた演箕により、ノイズに強いデータの複号が行われ
る。このビタビ複号回路54の出力がディスクランブル
回路55に供給され、記録側のスクランブル処理によっ
て並び変えられたデータが元の系列に戻されて原データ
が復元される。この処理によって並び変えられたデータ
が元の系列に実施の形態において用いられるビタビ複号
回路54によって、ビット毎の複号を行う場合よりも、
再生C/N換算が3dBで改良が行われる。
On the other hand, in the channel decoder 15, as shown in FIG. 8, in the arithmetic processing circuit 53 on the reproducing side of the virtual response class 4, 1 + D arithmetic is applied to the reproducing amplifier 14A. 14B output. Also,
In the so-called Viterbi decoding circuit 54, the noise-resistant data is decoded by the deduction using the correlation and the certainty of the data with respect to the output of the arithmetic processing circuit 53. The output of the Viterbi decoding circuit 54 is supplied to the descrambling circuit 55, the data rearranged by the scrambling process on the recording side is returned to the original series, and the original data is restored. Compared to the case where the data rearranged by this process is subjected to bit-wise decoding by the Viterbi decoding circuit 54 used in the embodiment in the original series.
Improvement is performed with a reproduction C / N conversion of 3 dB.

【0086】d.走行系 磁気ヘッド13A及び磁気ヘッド13Bは、図9に示す
ように、一体構造とされた形でドラム76に取り付けら
れる。ドラム76の周面には、18O°よりやや大きい
か、あるいはやや小さい巻き付け角で磁気テープ(図示
せず。)が斜めに巻き付けられており、磁気ヘッド13
A及び磁気ヘッド13Bが同時に磁気テープを走査する
ように構成される。
D. As shown in FIG. 9, the traveling magnetic heads 13A and 13B are attached to the drum 76 in an integrated structure. A magnetic tape (not shown) is obliquely wound around the peripheral surface of the drum 76 at a winding angle slightly larger than 18 ° or slightly smaller than 18 °.
A and the magnetic head 13B are configured to scan the magnetic tape at the same time.

【0087】また、前記磁気ヘッド13A及び磁気ヘッ
ド13Bのギャップの向きは、互いに反対側に傾くよう
に(例えば磁気ヘッド13Aはトラック幅方向に対して
+20°、磁気ヘッド13Bは−20°傾斜するよに)
設定されており、再生時にいわゆるアジマス損失によっ
て隣接トラック間のクロストーク量を低減するようにな
されている。
The directions of the gaps of the magnetic head 13A and the magnetic head 13B are inclined to the opposite sides (for example, the magnetic head 13A is inclined + 20 ° with respect to the track width direction, and the magnetic head 13B is inclined -20 °. Anyway)
It is set so that the amount of crosstalk between adjacent tracks is reduced by so-called azimuth loss during reproduction.

【0088】図10及び図11は、磁気ヘッド13A,
13Bを一体構造(いわゆるダブルアジマスヘッド)と
した場合のより具体的な構成を示すもので、例えば高速
で回転される上ドラム76に一体構造の磁気ヘッド13
A,13Bが取り付けられ、下ドラム77が固定とされ
ている。ここで、磁気テープ78の巻き付け角は166
°、ドラム径φは16.5mmである。したがって、磁
気テープ78には、1フィールドのデータが5本のトラ
ックに分割して記録される。このセグメント方式によ
り、トラックの長さを短くすることができ、トラックの
直線性に起因するエラーを小さくすることができる。
10 and 11 show magnetic heads 13A,
This shows a more specific structure when 13B is an integral structure (so-called double azimuth head). For example, the magnetic head 13 integral with the upper drum 76 rotated at a high speed.
A and 13B are attached, and the lower drum 77 is fixed. Here, the winding angle of the magnetic tape 78 is 166.
The drum diameter φ is 16.5 mm. Therefore, on the magnetic tape 78, one field of data is divided into five tracks and recorded. With this segment system, the length of the track can be shortened, and the error due to the linearity of the track can be reduced.

【0089】上述のように、ダブルアジマスヘッドで同
時記録を行うようにすることで、180°の対向角度で
一対の磁気ヘッドが配置されたものと比較して直線性に
起因するエラー量を小さくすることができ、またへッド
間距離が小さいのでペアリング調整をより正確に行うこ
とができる。したがって、このような走行系により、幅
狭のトラックで記録・再生を行うことができる。
As described above, by performing the simultaneous recording with the double azimuth head, the error amount due to the linearity can be reduced as compared with the case where the pair of magnetic heads are arranged at the facing angle of 180 °. In addition, since the head-to-head distance is small, the pairing adjustment can be performed more accurately. Therefore, with such a traveling system, recording / reproducing can be performed on a narrow track.

【0090】[0090]

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体の製造方法は、蒸
着源材料としてCoを用いるとともに、この蒸着源材料
に含まれるC、Si、Mn、Al、及びTiの含有量を
総量で0.2重量%以下として、非磁性支持体上に強磁
性金属薄膜を成膜することにより、真空蒸着時に発生す
るスプラッシュが抑制されるために、電磁変換特性、磁
気特性に優れ、エラーレートの小さな磁気記録媒体を提
供することができる。
According to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, Co is used as the vapor deposition source material, and the total content of C, Si, Mn, Al, and Ti contained in the vapor deposition source material is 0. By forming a ferromagnetic metal thin film on a non-magnetic support at a content of 2% by weight or less, the splash generated during vacuum deposition is suppressed, so that it is excellent in electromagnetic conversion characteristics and magnetic characteristics, and has a small error rate. A recording medium can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】真空蒸着装置の一構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing one configuration of a vacuum vapor deposition device.

【図2】ディジタル画像信号を再生歪みが少ないような
形で圧縮して記録するディジタルVTRの信号処理部記
録側の構成を示すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration on a recording side of a signal processing unit of a digital VTR that compresses and records a digital image signal in a form such that reproduction distortion is small.

【図3】信号処理部の再生側の構成を示すブロック図で
ある。
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration on a reproduction side of a signal processing unit.

【図4】ブロック符号化回路のためのブロックの一例を
示す略線図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a block for a block encoding circuit.

【図5】サブサンプリング及びサブラインの説明のため
の略線図である。
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining subsampling and sublines.

【図6】ブロック符号化回路の一例を示すブロック図で
ある。
FIG. 6 is a block diagram showing an example of a block encoding circuit.

【図7】チャンネルエンコーダの一例の概略を示すブロ
ック図である。
FIG. 7 is a block diagram showing an outline of an example of a channel encoder.

【図8】チャンネルデコーダの一例の概略を示すブロッ
ク図である。
FIG. 8 is a block diagram showing an outline of an example of a channel decoder.

【図9】磁気ヘッドの配置の一例を模式的に示す平面図
である。
FIG. 9 is a plan view schematically showing an example of the arrangement of magnetic heads.

【図10】回転ドラムの構成例及び磁気テープの巻き付
け状態を示す平面図である。
FIG. 10 is a plan view showing a configuration example of a rotating drum and a winding state of a magnetic tape.

【図11】回転ドラムの構成例及び磁気テープの巻き付
け状態を示す正面図である。
FIG. 11 is a front view showing a configuration example of a rotating drum and a winding state of a magnetic tape.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1Y,1U,1V コンポーネント信号の入力端子 5,6 ブロック化回路 8 ブロック符号化回路 9 金属磁性体 11 チャンネルエンコーダ 13A,13B 磁気ヘッド 22 チャンネルデコーダ 26 ブロック復号回路 28 ブロック分解回路 1Y, 1U, 1V Component signal input terminals 5, 6 Blocking circuit 8 Block coding circuit 9 Metal magnetic material 11 Channel encoder 13A, 13B Magnetic head 22 Channel decoder 26 Block decoding circuit 28 Block decomposition circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体上に真空蒸着により強磁性
金属薄膜を磁性層として成膜する磁気記録媒体の製造方
法において、 蒸着源材料としてCoを用いるとともに、この蒸着源材
料に含まれるC、Si、Mn、Al、及びTiの含有量
を総量で0.2重量%以下として、 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を成膜することを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。
1. In a method for manufacturing a magnetic recording medium, wherein a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer on a non-magnetic support by vacuum evaporation, Co is used as an evaporation source material, and C contained in this evaporation source material is used. A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising: forming a ferromagnetic metal thin film on a non-magnetic support with the total content of Si, Mn, Al, and Ti being 0.2 wt% or less.
【請求項2】 前記蒸着源材料が、一度真空蒸着に使用
したものを回収し、再度溶解したものであることを特徴
とする請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法。
2. The method for producing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the vapor deposition source material is a material that has been once used for vacuum vapor deposition and recovered and redissolved.
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