JPH09225668A - Laser beam machining head - Google Patents

Laser beam machining head

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Publication number
JPH09225668A
JPH09225668A JP8035917A JP3591796A JPH09225668A JP H09225668 A JPH09225668 A JP H09225668A JP 8035917 A JP8035917 A JP 8035917A JP 3591796 A JP3591796 A JP 3591796A JP H09225668 A JPH09225668 A JP H09225668A
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JP
Japan
Prior art keywords
sleeve
laser beam
face
end surface
laser light
Prior art date
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Pending
Application number
JP8035917A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Minoru Uehara
実 上原
Akihiro Nishimi
昭浩 西見
Keinosuke Maeda
圭之介 前田
Yuko Kanazawa
祐孝 金澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ishikawajima Syst Tech
ISHIKAWAJIMA SYST TECHNOL KK
IHI Corp
Original Assignee
Ishikawajima Syst Tech
ISHIKAWAJIMA SYST TECHNOL KK
IHI Corp
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Publication date
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Priority to JP8035917A priority Critical patent/JPH09225668A/en
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  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reflect laser beams made incident on the end face of a sleeve. SOLUTION: In this laser beam machining head 1 having a copper sleeve 6 which is provided inside with a passage 7 for transmitting a laser beam 4, which is connected to an optical fiber 3 at one end face 6a in the passage opening, and which emits a laser beam 4 at the other end face 6b from the passage opening, and having a condensing lens 8 which is provided on the other end face 6b side of this sleeve 6 and which converges the laser beam 4 for emitting to an object 5 to be machined, the reflectance at the other end face 6b of the sleeve 6 is made higher than at the opposite face of the sleeve 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はレーザ光加工ヘッド
に係わり、特に加工対象物からの反射光を受けるスリー
ブ端面の構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser beam processing head, and more particularly to a structure of an end surface of a sleeve which receives reflected light from an object to be processed.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ光を加工対象物5に照射する加工
ヘッドは、図1に示すようにレーザ光を伝達する光ファ
イバ3と光ファイバ3のレーザ光を直線状に整形するス
リーブ6と、スリーブ6からのレーザ光を集光して加工
対象物5に照射する集光レンズ8から構成されている。
2. Description of the Related Art A processing head for irradiating a processing object 5 with a laser beam includes an optical fiber 3 for transmitting the laser beam and a sleeve 6 for linearly shaping the laser beam of the optical fiber 3 as shown in FIG. It is composed of a condenser lens 8 which condenses the laser light from the sleeve 6 and irradiates the object 5 to be processed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】加工対象物5に照射さ
れたレーザ光の一部は反射されて集光レンズ8を通り、
スリーブ6の端面6bに当たり吸収されるものがある。
従来、レーザ光発生装置の出力が1〜2kwのときは、
この吸収されたエネルギにより端面6bが溶融すること
はなかったが、最近3〜4kwの出力によるレーザ加工
が行われるようになると、端面6bが溶融し、溶融が進
むとレーザ光の出射口が変形し、適切なレーザ光を出射
できなくなったり、スリーブ6を保持すると共に冷却す
るホルダ9から着脱できないという問題が発生してい
る。このため溶融が進行しない内にスリーブ6を頻繁に
交換しなければならない。
A part of the laser beam applied to the object 5 is reflected and passes through the condenser lens 8,
Some are absorbed by the end face 6b of the sleeve 6.
Conventionally, when the output of the laser light generator is 1-2 kw,
Although the end face 6b was not melted by the absorbed energy, when the laser processing with the output of 3 to 4 kw has recently been performed, the end face 6b is melted, and the laser light emission port is deformed as the melting progresses. However, there is a problem in that proper laser light cannot be emitted or the sleeve 6 cannot be detached from the holder 9 that holds and cools the sleeve 6. For this reason, the sleeve 6 must be replaced frequently without melting progressing.

【0004】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされた
もので、レーザ光の反射光が当たるスリーブ端面をレー
ザ光を反射できる構造とすることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a structure in which the laser light can be reflected on the end surface of the sleeve which is reflected by the reflected light of the laser light.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明では、内部にレーザ光を伝送する通
路を有し、一方の端面で通路開口が光ファイバと接続
し、他方の端面で通路開口よりレーザ光を照射する金属
製のスリーブと、このスリーブの他方の端面側に設けら
れレーザ光を集光して加工対象物に照射する光学系とを
備えたレーザ光加工ヘッドにおいて、前記スリーブの他
方の端面がスリーブの他の面よりも反射率が高くなって
いる。
In order to achieve the above object, the invention of claim 1 has a passage for transmitting a laser beam therein, one end face of which has a passage opening connected to an optical fiber and the other end. A laser beam processing head comprising a metal sleeve for irradiating a laser beam from a passage opening at an end face, and an optical system provided on the other end face side of the sleeve for condensing the laser beam and irradiating the object to be processed. The other end surface of the sleeve has a higher reflectance than the other surface of the sleeve.

【0006】スリーブの他方の端面の反射率をスリーブ
の他の面より高くすることにより、加工対象物からの反
射レーザ光の吸収を少なくし、溶融を少なくする。
By making the reflectance of the other end surface of the sleeve higher than that of the other surface of the sleeve, absorption of reflected laser light from the object to be processed is reduced and melting is reduced.

【0007】請求項2の発明では、前記スリーブの他方
の端面は鏡面加工とする。スリーブの他方の端面を鏡面
加工とすると、レーザの反射光を再び反射させスリーブ
に吸収されないようにしてスリーブの溶融を防止する。
In the invention of claim 2, the other end surface of the sleeve is mirror-finished. If the other end surface of the sleeve is mirror-finished, the reflected light of the laser is reflected again so that it is not absorbed by the sleeve and melting of the sleeve is prevented.

【0008】請求項3の発明では、前記鏡面加工は使用
するレーザ光の波長以下の算術平均粗さに加工されてい
る。使用するレーザ波長と同じくらいの算術平均粗さに
仕上げ加工すると反射率は大きくなり、これよりさらに
滑らかに仕上げ加工してゆけば、それに応じて反射率は
さらに大きくなり、吸収されるエネルギは減少するの
で、スリーブの他方の端面の溶融の可能性は少なくな
る。
In the third aspect of the invention, the mirror surface processing is processed to have an arithmetic average roughness equal to or less than the wavelength of the laser light used. Finishing to an arithmetic average roughness similar to the laser wavelength used will increase the reflectance, and if finishing is smoother than this, the reflectance will increase accordingly and the energy absorbed will decrease. Therefore, the possibility of melting of the other end surface of the sleeve is reduced.

【0009】請求項4の発明では、前記スリーブの他方
の端面はスリーブの材料よりも高い反射率の材料でコー
ティングされている。
In the invention of claim 4, the other end surface of the sleeve is coated with a material having a higher reflectance than the material of the sleeve.

【0010】スリーブの材料よりも高い反射率の材料で
スリーブの他方の端面をコーティングすることにより、
この端面から吸収されるレーザ光のエネルギは少なくな
り端面の溶融は少なくなる。
By coating the other end surface of the sleeve with a material having a higher reflectivity than the material of the sleeve,
The energy of the laser light absorbed from this end face is reduced, and the melting of the end face is reduced.

【0011】請求項5の発明では、前記スリーブの他方
の端面はスリーブの材料よりも高い反射率の材料により
製作された鏡が設けられている。
According to the invention of claim 5, the other end surface of the sleeve is provided with a mirror made of a material having a higher reflectance than the material of the sleeve.

【0012】スリーブの材料よりも高い反射率を有する
材料により製作された鏡を他方の端面に設けることによ
り、この端面から吸収されるレーザ光のエネルギが少な
くなり、溶融も少なくなる。
By providing the other end face with a mirror made of a material having a higher reflectance than the sleeve material, the energy of the laser light absorbed from this end face is reduced and the melting is also reduced.

【0013】請求項6の発明では、請求項4または5に
おいて、前記材料は、金、銀、モリブデン、アルミニウ
ム、クロム、MgF2 ,Si 2 のいずれかとする。
According to a sixth aspect of the present invention, in the fourth or fifth aspect, the material is any one of gold, silver, molybdenum, aluminum, chromium, MgF 2 , and S i O 2 .

【0014】金、銀、モリブデン、アルミニウム、クロ
ムはいずれも反射率の大きな金属である。また、MgF
2 ,SiO2 も反射率の大きな化合物である。これらの
いずれかを用いることにより、他方の端面からのレーザ
光の吸収は少なくなり、溶融も少なくなる。
Gold, silver, molybdenum, aluminum and chromium are all metals having a high reflectance. In addition, MgF
2 and SiO 2 are also compounds with high reflectance. By using any of these, absorption of laser light from the other end face is reduced, and melting is also reduced.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は実施の形態のレーザ
光加工ヘッドの構成を示す断面図である。レーザ光加工
ヘッド1は、レーザ発生装置2で発生し光ファイバ3で
伝送されたレーザ光4を集光して加工対象物5へ照射す
る装置である。レーザ光加工ヘッド1において、スリー
ブ6は銅製の円筒形よりなり、軸心にはレーザ光の通路
7が設けられている。スリーブ6は光ファイバ3を固定
し、光ファイバ3から入射するレーザ光4の光軸を円筒
軸方向に整える働きをする。スリーブ6の一方の端面6
aは光ファイバ3と接続し、他方の端面6bの通路7開
口よりレーザ光4を出射する。スリーブ6の他方の端面
6b側には複数の集光レンズ8が設けられ、端面6bよ
り出射したレーザ光4を集光して加工対象物5に照射す
る。スリーブ6は外周と嵌合する円筒形のホルダ9によ
って保持される。ホルダ9も銅製で内部に冷却水路10
を有し、図示しない冷却水管により冷却水を供給され、
スリーブ6を冷却する。集光レンズ8およびホルダ9は
ケーシング11に納められている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing the configuration of the laser beam processing head according to the embodiment. The laser beam processing head 1 is a device that condenses a laser beam 4 generated by a laser generator 2 and transmitted by an optical fiber 3 and irradiates the laser beam 4 to a workpiece 5. In the laser beam processing head 1, the sleeve 6 has a cylindrical shape made of copper, and a passage 7 for the laser beam is provided at the axis. The sleeve 6 has a function of fixing the optical fiber 3 and adjusting the optical axis of the laser beam 4 incident from the optical fiber 3 in the cylindrical axis direction. One end face 6 of the sleeve 6
a is connected to the optical fiber 3 and emits the laser light 4 from the opening of the passage 7 of the other end face 6b. A plurality of condenser lenses 8 are provided on the other end surface 6b side of the sleeve 6, and collect the laser light 4 emitted from the end surface 6b and irradiate the processing object 5. The sleeve 6 is held by a cylindrical holder 9 that fits around the outer circumference. The holder 9 is also made of copper and has a cooling water channel 10 inside.
And is supplied with cooling water by a cooling water pipe (not shown),
Cool the sleeve 6. The condenser lens 8 and the holder 9 are housed in a casing 11.

【0016】第1実施の形態はスリーブ6の他方の端面
6bを鏡面加工したものである。銅は材料自体反射率が
大きい材料であるので、これを鏡面加工することによ
り、加工対象物5で反射され集光レンズ8で集光されて
他方の端面6bに当たったレーザ光4は鏡面で反射され
る。これによりスリーブ6の加熱が防止される。鏡面加
工の算術平均粗さRa(JIS B0601)は使用す
るレーザ光4の波長に応じて決められ、レーザ光4の波
長をλとして算術平均粗さRaを0.1λ〜λの範囲と
する。望ましくは0.2λを中心として0.1λ〜0.
3λの範囲がよい。なお、0.1λより小さい方が反射
率は大きくなるが、コストが上昇するのでコストとのバ
ランスより0.1λとしている。性能的には0.1λ以
下の方がよい。なお、算術平均粗さ以外の単位を用いる
場合は、同程度の粗さとする。
In the first embodiment, the other end surface 6b of the sleeve 6 is mirror-finished. Since copper itself is a material having a high reflectance, the laser beam 4 reflected by the object 5 to be processed, condensed by the condenser lens 8 and hitting the other end face 6b is a mirror surface by subjecting this to mirror finishing. Is reflected. This prevents heating of the sleeve 6. The arithmetic mean roughness Ra (JIS B0601) of mirror surface processing is determined according to the wavelength of the laser light 4 used, and the arithmetic mean roughness Ra is in the range of 0.1λ to λ, where the wavelength of the laser light 4 is λ. Desirably, centering on 0.2λ, 0.1λ to 0.
A range of 3λ is preferable. It should be noted that the reflectance is larger when the thickness is smaller than 0.1λ, but the cost increases, so the value is set to 0.1λ from the balance with the cost. In terms of performance, 0.1λ or less is better. In the case where a unit other than the arithmetic average roughness is used, the same roughness is used.

【0017】第2実施の形態はスリーブ6の他方の端面
6bを高反射材料でコーティングしたものである。高反
射材料として、金、銀、モリブデン、アルミニウム、ク
ロムのいずれかを用い金属コーティングを行う。また高
反射材料としてMgF2 またはSi 2 を用い、誘電体
コーティングを行う。このコーティングにより加工対象
物5で反射され集光レンズ8で集光されて他方の端面6
bに当たったレーザ光4は大部分反射される。これによ
りスリーブ6の加熱が防止される。
In the second embodiment, the other end surface 6b of the sleeve 6 is coated with a highly reflective material. Metal coating is performed using any of gold, silver, molybdenum, aluminum, and chromium as a highly reflective material. Also the MgF 2 or S i O 2 used as the highly reflective material, performing dielectric coating. By this coating, the light is reflected by the object to be processed 5 and is condensed by the condenser lens 8 to form the other end surface 6
Most of the laser beam 4 which hits b is reflected. This prevents heating of the sleeve 6.

【0018】第3実施の形態はスリーブ6の他方の端面
6bに高反射率材料で製作された鏡を取り付けたもので
ある。高反射率材料としては、コーティングの場合に示
したと同じもので、金属単体では金、銀、モリブデン、
アルミニウム、クロムのいずれか、化合物ではMgF2
またはSi 2 などが用いられる。鏡の製作は、これら
の金属または化合物を鏡面加工する。加工粗さは第1実
施の形態と同様である。またガラスなどに上記金属の金
属コーティングまたは化合物の誘電体コーティングを行
い鏡を製作する。このようにして製作された鏡をスリー
ブ6の他方の端面6bに接着剤等により取り付ける。こ
の鏡により加工対象物5で反射され集光レンズ8で集光
されて他方の端面6bに当たったレーザ光4は大部分反
射される。これによりスリーブ6の加熱が防止される。
In the third embodiment, a mirror made of a high reflectance material is attached to the other end surface 6b of the sleeve 6. The high-reflectance material is the same as that shown in the case of coating, and when the metal alone is gold, silver, molybdenum,
Either aluminum or chromium, or MgF 2 as a compound
Alternatively, S i O 2 or the like is used. In the manufacture of a mirror, these metals or compounds are mirror-finished. The processing roughness is similar to that of the first embodiment. In addition, a mirror is manufactured by subjecting glass or the like to metal coating of the above metal or dielectric coating of the compound. The mirror thus manufactured is attached to the other end surface 6b of the sleeve 6 with an adhesive or the like. The laser light 4 reflected by the object 5 to be processed by the mirror, condensed by the condenser lens 8 and impinging on the other end face 6b is largely reflected. This prevents heating of the sleeve 6.

【0019】第1〜第3実施の形態において、スリーブ
6の他方の端面6bの形状は平面としている。これによ
り反射光はその一部が再び集光レンズ8により加工対象
物5に照射されるが、大部分は周囲に拡散される。この
拡散された反射光は集光レンズにより集光されないので
そのエネルギは小さく、この反射光が当たっても加熱の
程度は小さい。なお端面6bの形状を凹面とし、反射光
が再び集光レンズ8によって加工対象物5へ戻すように
してもよい。
In the first to third embodiments, the other end surface 6b of the sleeve 6 is flat. As a result, a part of the reflected light is again irradiated onto the object to be processed 5 by the condenser lens 8, but most of the reflected light is diffused to the surroundings. Since the diffused reflected light is not condensed by the condenser lens, its energy is small, and even if the reflected light hits, the degree of heating is small. The shape of the end face 6b may be concave, and the reflected light may be returned to the workpiece 5 by the condenser lens 8 again.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は、スリーブの端面に対して、鏡面加工、または高反射
率材料によるコーティング、または鏡を取り付けること
により加工対象物から反射されて戻ってくるレーザ光を
反射するので、スリーブの加熱が少なくなり、溶融の発
生を防止できる。これによりスリーブの寿命も延び信頼
性も向上する。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the end surface of the sleeve is mirror-finished or coated with a high-reflectance material, or a mirror is attached to the end surface of the sleeve so that the end-face is reflected and returned. Since the incoming laser light is reflected, heating of the sleeve is reduced and melting can be prevented. This extends the life of the sleeve and improves its reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態の構成を示す断面図であ
る。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザ光加工ヘッド 2 レーザ光発生装置 3 光ファイバ 4 レーザ光 5 加工対象物 6 スリーブ 6a 一方の端面 6b 他方の端面 7 通路 8 集光レンズ 9 ホルダ 10 冷却水路 11 ケーシング 1 Laser Light Processing Head 2 Laser Light Generation Device 3 Optical Fiber 4 Laser Light 5 Object to be Processed 6 Sleeve 6a One End Face 6b Other End Face 7 Passage 8 Condenser Lens 9 Holder 10 Cooling Water Passage 11 Casing

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西見 昭浩 東京都江東区豊洲3丁目1番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 前田 圭之介 東京都品川区上大崎1丁目1番17号 石川 島システムテクノロジー株式会社内 (72)発明者 金澤 祐孝 東京都江東区豊洲3丁目1番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akihiro Nishimi 3-1-15-1 Toyosu, Koto-ku, Tokyo Ishikawajima Harima Heavy Industries Co., Ltd. Toji Technical Center (72) Inventor Keinosuke Maeda Shinagawa-ku, Tokyo 1-17 Osaki Ishikawajima System Technology Co., Ltd. (72) Inventor Yutaka Kanazawa 3-15-15 Toyosu, Koto-ku, Tokyo Ishikawajima Harima Heavy Industries Co., Ltd. Toji Technical Center

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 内部にレーザ光を伝送する通路を有し、
一方の端面で通路開口が光ファイバと接続し、他方の端
面で通路開口よりレーザ光を照射する金属製のスリーブ
と、このスリーブの他方の端面側に設けられレーザ光を
集光して加工対象物に照射する光学系とを備えたレーザ
光加工ヘッドにおいて、前記スリーブの他方の端面がス
リーブの他の面よりも反射率が高くなっていることを特
徴とするレーザ光加工ヘッド。
A path for transmitting laser light therein;
A metal sleeve in which the passage opening is connected to the optical fiber at one end face, and the other end face irradiates the laser light from the passage opening, and the laser light is provided on the other end face side of this sleeve to condense the laser light for processing. A laser beam processing head having an optical system for irradiating an object, wherein the other end surface of the sleeve has a higher reflectance than the other surface of the sleeve.
【請求項2】 前記スリーブの他方の端面は鏡面加工さ
れていることを特徴とする請求項1記載のレーザ光加工
ヘッド。
2. The laser beam processing head according to claim 1, wherein the other end surface of the sleeve is mirror-finished.
【請求項3】 前記鏡面加工は使用するレーザ光の波長
以下の算術平均粗さに加工されていることを特徴とする
請求項2記載のレーザ光加工ヘッド。
3. The laser beam processing head according to claim 2, wherein the mirror surface processing is processed to have an arithmetic average roughness equal to or less than a wavelength of a laser beam to be used.
【請求項4】 前記スリーブの他方の端面はスリーブの
材料よりも高い反射率の材料でコーティングされている
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ光加工ヘッド。
4. The laser beam machining head according to claim 1, wherein the other end surface of the sleeve is coated with a material having a reflectance higher than that of the material of the sleeve.
【請求項5】 前記スリーブの他方の端面にはスリーブ
の材料よりも高い反射率の材料により製作された鏡が設
けられていることを特徴とする請求項1記載のレーザ光
加工ヘッド。
5. The laser beam machining head according to claim 1, wherein a mirror made of a material having a reflectance higher than that of the sleeve is provided on the other end surface of the sleeve.
【請求項6】 前記材料は、金、銀、モリブデン、アル
ミニウム、クロム、MgF2 ,Si 2 のいずれかであ
ることを特徴とする請求項4または5記載のレーザ光加
工ヘッド。
Wherein said material is gold, silver, molybdenum, aluminum, chromium, MgF 2, a laser beam machining head according to claim 4 or 5, wherein the at S i either O 2.
JP8035917A 1996-02-23 1996-02-23 Laser beam machining head Pending JPH09225668A (en)

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