JPH09219077A - Magnetic head and magnetic recorder - Google Patents
Magnetic head and magnetic recorderInfo
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- JPH09219077A JPH09219077A JP2501296A JP2501296A JPH09219077A JP H09219077 A JPH09219077 A JP H09219077A JP 2501296 A JP2501296 A JP 2501296A JP 2501296 A JP2501296 A JP 2501296A JP H09219077 A JPH09219077 A JP H09219077A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータシス
テム等に用いられる磁気記録装置及び磁気ヘッドに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording device and a magnetic head used in a computer system or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年の情報量の増大に伴いコンピュータ
システムの外部記録装置としての磁気記録装置の重要度
は益々高まり、その記録容量は、常に高密度化が要求さ
れている。磁気記録装置は、磁気ディスク装置を例に取
ると、図１に示すように磁気記録媒体１と磁気ヘッド２
を主構成要素とし、磁気記録媒体の回転制御機構（スピ
ンドルモータ３他）、ヘッドの位置決め機構（ボイスコ
イルモータ４他）及び記録再生信号の処理回路（リード
ライトアンプ５他）等から構成されている。2. Description of the Related Art With the increase in the amount of information in recent years, the importance of a magnetic recording device as an external recording device of a computer system is increasing more and more, and its recording capacity is always required to have a high density. Taking a magnetic disk device as an example, the magnetic recording device has a magnetic recording medium 1 and a magnetic head 2 as shown in FIG.
, A magnetic recording medium rotation control mechanism (spindle motor 3, etc.), head positioning mechanism (voice coil motor 4, etc.), and recording / reproducing signal processing circuit (read / write amplifier 5, etc.). There is.
【０００３】一般に磁気ディスク装置は、磁気記録媒体
に同心円状又はらせん状に設けられた多数のトラックに
情報を記録する。ここで記録密度を向上させるため、ト
ラック内の円周方向の情報密度（線記録密度）を大きく
することが必要となって来る。線記録密度は、磁気記録
媒体の磁性膜の特性（保磁力、膜厚等）、ヘッド特性
（周波数特性、ギャップ長等）及び磁気記録媒体の磁性
膜と磁気ヘッドの間の間隔等に依存している。近年この
磁気ヘッドと磁気記録媒体の間隔（以下、浮上量と称す
る）は急激に小さくなってきており、０．０５〜０．１
μｍが通常となっている。磁気記録装置としてはその記
録密度の高密度化のためには、磁気ヘッドと磁気記録媒
体の間隔を小さくしたまま接触摺動信頼性を確保するこ
とが最も大事な技術である。In general, a magnetic disk device records information on a large number of tracks provided concentrically or spirally on a magnetic recording medium. Here, in order to improve the recording density, it is necessary to increase the information density (linear recording density) in the track in the circumferential direction. The linear recording density depends on the characteristics of the magnetic film of the magnetic recording medium (coercive force, film thickness, etc.), head characteristics (frequency characteristics, gap length, etc.), and the distance between the magnetic film of the magnetic recording medium and the magnetic head. ing. In recent years, the distance between the magnetic head and the magnetic recording medium (hereinafter referred to as the flying height) has rapidly decreased, and it is 0.05 to 0.1.
μm is usual. In order to increase the recording density of a magnetic recording device, the most important technique is to secure contact sliding reliability while keeping the distance between the magnetic head and the magnetic recording medium small.
【０００４】従来の磁気ディスク装置は、磁気記録媒体
と磁気ヘッドが接触して磁気ヘッドの浮上面又は摺動接
触面（以下、スライダ面という）が摩耗して記録再生が
不可能となる、いわゆるヘッドクラッシュという問題が
あった。また、これを避けるために、より平坦な表面粗
さをもつ磁気記録媒体と磁気ヘッドとを組み合わせると
磁気ヘッドの吸着が起こるという問題があった。In the conventional magnetic disk apparatus, the magnetic recording medium and the magnetic head come into contact with each other, and the air bearing surface or sliding contact surface (hereinafter referred to as the slider surface) of the magnetic head is abraded and recording / reproduction becomes impossible. There was a problem of head crash. Further, in order to avoid this, when a magnetic recording medium having a flatter surface roughness is combined with a magnetic head, there is a problem that the magnetic head is attracted.
【０００５】上記についてさらに詳しく説明する。一般
の磁気ディスク装置は、浮上量が極めて小さい状態や、
磁気記録媒体と磁気ヘッドが直接接触するようなコンタ
クト、ニアコンタクトの状態では、磁気ヘッドのスライ
ダ面が摩耗して摩耗粉が発生したり、磁気ヘッドの記録
再生を行う素子部が摩耗して記録再生を行うことが不可
能となったり、スライダ面に形成した保護膜が摩耗して
素子部が放電しやすく、また腐食しやすくなったりす
る。特に、コンタクト状態では磁気ヘッドの摩耗は非常
に大きい。従来、この磁気ヘッドの摩耗を低減させるた
めに、磁気記録媒体表面の面粗さを低減することが必要
であると考えられていた。しかし、実際には磁気記録媒
体表面の面粗さをその全域にわたって均一に低減するこ
とは困難であると共に磁気ヘッドと磁気記録媒体の吸着
が生じることがあった。The above will be described in more detail. In a general magnetic disk device, the flying height is extremely small,
When the magnetic recording medium and the magnetic head are in direct contact or near contact, the slider surface of the magnetic head is abraded and abrasion powder is generated, or the recording / reproducing element of the magnetic head is abraded and recorded. Reproduction cannot be performed, or the protective film formed on the slider surface is worn away, and the element portion is easily discharged and corroded. In particular, the wear of the magnetic head is very large in the contact state. Conventionally, it has been considered necessary to reduce the surface roughness of the magnetic recording medium surface in order to reduce the wear of the magnetic head. However, in practice, it is difficult to uniformly reduce the surface roughness of the surface of the magnetic recording medium, and the magnetic head and the magnetic recording medium may be attracted to each other.
【０００６】そこで、平坦な表面形状をもつ磁気記録媒
体と組み合わせて使用する磁気ヘッドとして、例えば、
特開平４−２１６３７７には、スライダ面を面荒らしし
た磁気ヘッドが記載されている。また、特開平６−８９
４２１、４−３２４１０９等には、同様にスライダ面の
面粗さを大きくして吸着現象を回避する技術が記載され
ている。Therefore, as a magnetic head used in combination with a magnetic recording medium having a flat surface shape, for example,
Japanese Patent Laid-Open No. 4-216377 discloses a magnetic head having a slider surface roughened. In addition, JP-A-6-89
421, 4-324109 and the like similarly describe a technique for increasing the surface roughness of the slider surface to avoid the adsorption phenomenon.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記特開平４−２１６
３７７に記載の従来技術は、スライダ面の面粗さが粗い
ために接触点での接触面圧が高くなり、スライダ面の突
起が摩耗してしまい、接触を繰り返すことで面粗さが小
さくなり、磁気記録媒体と磁気ヘッド間の摩擦力が増大
してしまうという問題があった。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
In the conventional technique described in 377, since the surface roughness of the slider surface is rough, the contact surface pressure at the contact point becomes high, the protrusions on the slider surface are worn, and the surface roughness becomes small by repeating the contact. However, there is a problem that the frictional force between the magnetic recording medium and the magnetic head increases.
【０００８】また、上記特開平６−８９４２１、４−３
２４１０９に記載の従来技術は、磁気ヘッドのスライダ
面の面粗さを大きくすることで、吸着現象を回避しよう
とするものであるが、磁気ヘッドスライダ面の摩耗を増
大させることになり、最終的に摩擦力の増大を引き起こ
すという問題があった。Further, the above-mentioned JP-A-6-89421 and 4-3.
The prior art described in No. 24109 attempts to avoid the adsorption phenomenon by increasing the surface roughness of the slider surface of the magnetic head, but it increases wear of the slider surface of the magnetic head, and finally There was a problem of causing an increase in frictional force.
【０００９】本発明の第１の目的は、磁気ヘッドのスラ
イダ面の摩耗を防止し、かつ、摩擦力を低減した磁気ヘ
ッドを提供することにある。本発明の第２の目的は、そ
のような磁気ヘッドを用いた、信頼性の高い磁気記録装
置を提供することにある。A first object of the present invention is to provide a magnetic head in which the slider surface of the magnetic head is prevented from being worn and the frictional force is reduced. A second object of the present invention is to provide a highly reliable magnetic recording device using such a magnetic head.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、本発明の磁気ヘッドは、スライダの浮上面又
は摺動接触面を多角形又は多角形の角部が所望の曲率を
持つ形状の凹部よりなるハニカム形状のテクスチュアと
したものである。この磁気ヘッドは、上記凹部の底部の
少なくとも一部を、上記磁気ヘッドが情報の記録、再生
を行う磁気記録媒体の表面に配置される潤滑剤の表面張
力より小さい表面エネルギーを持つようにすることが好
ましい。一般的に磁気記録媒体に使用される潤滑剤の表
面張力は、２５ｄｙｎ／ｃｍ（２５×１０-2Ｎ／ｍ）程
度であるため、底部の表面エネルギーをこの値未満とす
ることが好ましい。In order to achieve the first object, in the magnetic head of the present invention, the air bearing surface or the sliding contact surface of the slider is polygonal or the corners of the polygon have a desired curvature. This is a honeycomb-shaped texture composed of concave portions having the same shape. In this magnetic head, at least a part of the bottom of the concave portion has a surface energy smaller than the surface tension of a lubricant arranged on the surface of a magnetic recording medium on which the magnetic head records and reproduces information. Is preferred. Generally, the surface tension of the lubricant used for the magnetic recording medium is about 25 dyn / cm (25 × 10 −2 N / m), and therefore the surface energy of the bottom is preferably less than this value.
【００１１】また、上記第１の目的を達成するために、
本発明の磁気ヘッドは、スライダの浮上面又は摺動接触
面に複数の凹部を設け、この凹部の底部の少なくとも一
部を、上記磁気ヘッドが情報の記録、再生を行う磁気記
録媒体の表面に配置される潤滑剤の表面張力より小さい
表面エネルギーを持つようにしたものである。この磁気
ヘッドは、上記凹部が多角形又は多角形の角部が所望の
曲率を持つ形状の凹部よりなるハニカム形状のテクスチ
ュアを構成することが好ましい。Further, in order to achieve the first object,
The magnetic head of the present invention is provided with a plurality of recesses on the air bearing surface or sliding contact surface of the slider, and at least a part of the bottom of the recesses is formed on the surface of the magnetic recording medium on which the magnetic head records and reproduces information. It has a surface energy smaller than the surface tension of the lubricant to be arranged. It is preferable that this magnetic head constitutes a honeycomb-shaped texture in which the concave portions are polygonal or polygonal corner portions are concave portions having a desired curvature.
【００１２】いずれの磁気ヘッドもテクスチュアを構成
する多角形としては、三角形から八角形が好ましく、六
角形が最も好ましい。角部が所望の曲率を持つ形状の多
角形の場合も同じである。また、磁気抵抗素子（ＭＲ素
子）を持った磁気ヘッドは、一般的にスライダ面に保護
膜を形成しているので、この保護膜にテクスチュアを形
成すればよい。In any of the magnetic heads, the polygon forming the texture is preferably triangular to octagonal, and most preferably hexagonal. The same applies to the case where the corner portion is a polygonal shape having a desired curvature. In addition, since a magnetic head having a magnetoresistive element (MR element) generally has a protective film formed on the slider surface, a texture may be formed on this protective film.
【００１３】テクスチュアの凸部の面積の割合は、０％
より大きく、３０％以下とすることが好ましい。磁気記
録媒体と磁気ヘッドとの真実接触面積（凸部の表面積）
を低減することが可能となり、摩擦力を低減することが
できるためである。しかし、凸部の面積の割合が０％に
近いと、凸部にかかる接触応力が大きくなるため凸部の
摩耗が早くなるので、この割合を０．５％以上とするこ
とがより好ましい。The area ratio of the convex portion of the texture is 0%.
It is more preferably 30% or less. Actual contact area between magnetic recording medium and magnetic head (surface area of convex portion)
This is because the frictional force can be reduced and the frictional force can be reduced. However, when the ratio of the area of the convex portion is close to 0%, the contact stress applied to the convex portion becomes large and the abrasion of the convex portion is accelerated.
【００１４】さらに、この凸部の高さは２０ｎｍ以下と
することが好ましい。磁気ヘッドと磁気記録媒体が激し
く接触することを回避し、磁気ヘッドの浮上を安定にす
ると共に、凹部にたまった潤滑剤を凸部に供給しやすく
して、磁気ヘッドの摩耗を抑制できるためである。ま
た、凸部の高さは７ｎｍ以上とすることが好ましい。磁
気記録媒体に数ｎｍレベルの潤滑剤が塗布されていても
磁気記録媒体と磁気ヘッド間の摩擦力を小さくすること
ができるためである。Further, it is preferable that the height of the convex portion is 20 nm or less. This is because it is possible to prevent the magnetic head and the magnetic recording medium from coming into contact with each other, stabilize the floating of the magnetic head, and easily supply the lubricant accumulated in the concave portion to the convex portion, thereby suppressing the wear of the magnetic head. is there. The height of the convex portion is preferably 7 nm or more. This is because the frictional force between the magnetic recording medium and the magnetic head can be reduced even if the magnetic recording medium is coated with a lubricant of several nm level.
【００１５】凹部の底部の表面エネルギーは、一般的に
磁気記録媒体に使用される潤滑剤の表面張力が２５ｄｙ
ｎ／ｃｍ（２５×１０-2Ｎ／ｍ）程度であるため、この
値未満とすることが好ましい。この値は、小さければ小
さい程よいが、表面エネルギーを小さくするために用い
られる材料の制限から、１０ｄｙｎ／ｃｍ以上とするこ
とが好ましい。凹部の底部の表面エネルギーをこのよう
な値にするには、例えば、凹部の底部を主に炭素、水素
よりなる炭化水素膜又は主にフッ素、炭素よりなるフッ
化炭素膜とすればよい。これらの膜は、その溶液に浸漬
又は塗布したり、蒸着或いはスパッタにより形成するこ
とができる。その後加熱して磁気ヘッド表面と反応させ
た後、溶剤にて余分な膜を洗い流す等の方法により均一
な膜とすることができる。なお、凹部の底部の表面エネ
ルギーを上記のような値としたとき、凸部の上の表面エ
ネルギーは、潤滑剤の表面張力より大きくすることが好
ましい。The surface energy of the bottom of the recess is 25 dy when the surface tension of the lubricant generally used in the magnetic recording medium is 25 dy.
Since it is about n / cm (25 × 10 -2 N / m), it is preferable to set it below this value. The smaller the value, the better, but it is preferably 10 dyn / cm or more due to the limitation of the material used for reducing the surface energy. In order to make the surface energy of the bottom of the recess have such a value, for example, the bottom of the recess may be a hydrocarbon film mainly composed of carbon or hydrogen or a fluorocarbon film mainly composed of fluorine or carbon. These films can be formed by dipping or coating in the solution, vapor deposition or sputtering. Then, after heating and reacting with the surface of the magnetic head, a uniform film can be formed by a method such as washing away excess film with a solvent. When the surface energy of the bottom of the concave portion is set to the above value, the surface energy of the convex portion is preferably larger than the surface tension of the lubricant.
【００１６】また、上記第２の目的を達成するために、
本発明の磁気記録装置は、情報を記録する磁気記録媒体
と、磁気記録媒体に情報の記録、再生を行うために、磁
気記録媒体に対向して配置された磁気ヘッドと、磁気記
録媒体の回転制御機構と、磁気ヘッドの位置決め機構
と、記録再生信号の処理回路を有し、この磁気ヘッドと
して、上記いずれか一に記載の磁気ヘッドを用いるよう
にしたものである。この磁気記録媒体は、表面粗さＲｐ
を１３ｎｍ以下とすることが好ましい。また、表面粗さ
Ｒｐは０．５ｎｍ以上であることが好ましい。高記録密
度に適した構成となるからである。また、前記の磁気ヘ
ッドに形成したテクスチュアの形状は、そのまま磁気記
録媒体に形成されるテクスチュアとしても使用可能であ
り同様の効果があると推定される。In order to achieve the second object,
The magnetic recording apparatus of the present invention includes a magnetic recording medium for recording information, a magnetic head arranged to face the magnetic recording medium for recording and reproducing information on the magnetic recording medium, and rotation of the magnetic recording medium. It has a control mechanism, a magnetic head positioning mechanism, and a recording / reproducing signal processing circuit, and the magnetic head described in any one of the above is used as this magnetic head. This magnetic recording medium has a surface roughness Rp.
Is preferably 13 nm or less. Further, the surface roughness Rp is preferably 0.5 nm or more. This is because the structure is suitable for high recording density. Further, the shape of the texture formed on the magnetic head can be used as it is as a texture formed on the magnetic recording medium, and it is presumed that the texture has the same effect.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】図２（ａ）は、本発明の磁気ヘッ
ドの斜視図であり、図２（ｂ）〜（ｆ）は、そのスライ
ダ面の拡大図である。図２（ａ）に示すように、磁気ヘ
ッドのスライダにはリードライト素子１５が取り付けら
れ、スライダ面６には図２（ｂ）〜（ｆ）に拡大して示
したような形状の凹部８と凸部７からなるハニカム構造
のテクスチュアが形成されている。図２（ａ）の左方が
磁気ヘッドの流入側、右方が流出側である。磁気ヘッド
は浮上型ヘッドでも直接接触型の磁気ヘッドでもよい。
また、ハニカム構造とは、凹部が入り組んだ構造を意味
する。2A is a perspective view of a magnetic head of the present invention, and FIGS. 2B to 2F are enlarged views of the slider surface thereof. As shown in FIG. 2 (a), a read / write element 15 is attached to the slider of the magnetic head, and the slider surface 6 is provided with a recessed portion 8 having an enlarged shape as shown in FIGS. 2 (b) to 2 (f). A honeycomb-structured texture composed of the convex portions 7 and the convex portions 7 is formed. The left side of FIG. 2A is the inflow side of the magnetic head, and the right side is the outflow side. The magnetic head may be a flying head or a direct contact magnetic head.
Further, the honeycomb structure means a structure in which concave portions are complicated.
【００１８】テクスチュアとして、図２（ｂ）は、凹部
８が３角形の例を、図２（ｃ）、（ｅ）、（ｆ）は６角
形の例を、図２（ｄ）は４角形の角部が曲率を持った形
状の例を示す。多角形としては３角形から８角形が好ま
しい。また、形状の異なる多角形の組み合わせでもかま
わない。As a texture, FIG. 2 (b) shows an example in which the concave portion 8 has a triangular shape, FIGS. 2 (c), 2 (e) and 2 (f) show a hexagonal example, and FIG. 2 (d) shows a quadrangular shape. An example of a shape in which the corners of each have a curvature is shown. The polygon is preferably a triangle to an octagon. Also, a combination of polygons having different shapes may be used.
【００１９】図２（ｂ）〜（ｆ）も図の左方が磁気ヘッ
ドの流入側、右方が流出側である。図２（ｅ）は、流入
側から流出側の方向に対して、直角方向に凹部８がつな
がっている。また、図２（ｆ）は、流入側から流出側の
方向に対して、直角方向及び約３０度の方向に凹部８が
つながっている。このように凹部８は連結していてもよ
いが、流入側から流出側の方向には連結するのは好まし
くない。凹部８の流入側から流出側の方向の大きさは
０．５μｍから５０μｍであることが好ましいが、流入
側から流出側の方向に凹部が連結すると、凹部の大きさ
が５０μｍを越えたと同様の結果になるためである。そ
れ故凹部が小さいとき、その２個や３個が流入側から流
出側の方向には連結していても、その連結した凹部の合
計の長さが５０μｍ以下であるならば差し支えない。2B to 2F, the left side of the drawing is the inflow side of the magnetic head, and the right side is the outflow side. In FIG. 2E, the recesses 8 are connected in a direction perpendicular to the direction from the inflow side to the outflow side. In addition, in FIG. 2F, the recesses 8 are connected in a direction at a right angle and about 30 degrees with respect to the direction from the inflow side to the outflow side. Although the recesses 8 may be connected in this way, it is not preferable to connect them in the direction from the inflow side to the outflow side. The size of the recess 8 in the direction from the inflow side to the outflow side is preferably 0.5 μm to 50 μm, but when the recesses are connected in the direction from the inflow side to the outflow side, the same size as that of the recess exceeds 50 μm. This is because it will result. Therefore, when the recess is small, two or three of them may be connected in the direction from the inflow side to the outflow side as long as the total length of the connected recesses is 50 μm or less.
【００２０】このようなハニカム構造のテクスチュア
は、その凹部に磁気記録媒体表面に塗布されている潤滑
剤をためることができるので、磁気ヘッド進行方向の凸
部前部の潤滑膜厚が厚くなると共に、潤滑剤が凸部に供
給されやすくなり、テクスチュアの凸部の摩耗を防止す
ることができる。In such a texture having a honeycomb structure, the lubricant applied to the surface of the magnetic recording medium can be stored in the recesses, so that the lubricating film thickness in front of the protrusions in the magnetic head traveling direction becomes thicker. The lubricant can be easily supplied to the convex portions, and the convex portions of the texture can be prevented from wearing.
【００２１】すなわち、ハニカム構造は、磁気ヘッドの
流入側より流出側に凸部が入り組んだ構造であり、磁気
ヘッドに付着した潤滑剤はその方向に流れるため、潤滑
剤の流れが凹部で分断されて凹部に溜まりやすくなる。
これが磁気ヘッドの流入側から流出側まで突起が入り組
まない構造のテクスチュアの場合には、潤滑剤の流れに
対し分断する凸部又は凹部がないため、磁気ヘッドの摩
耗が進行しやすくなる。このハニカム構造は、凸部の一
部が切断された形状でもある程度の効果があるので、凸
部の面積の割合を考慮し、例えば図に示したように、そ
の一部を切断して使用することもできる。That is, the honeycomb structure is a structure in which convex portions are intruded from the inflow side to the outflow side of the magnetic head, and since the lubricant adhering to the magnetic head flows in that direction, the flow of the lubricant is divided by the concave portions. Will easily accumulate in the recess.
In the case of a texture having a structure in which protrusions do not enter from the inflow side to the outflow side of the magnetic head, there is no convex portion or concave portion that divides the flow of the lubricant, so that the wear of the magnetic head easily progresses. Since this honeycomb structure has a certain effect even in a shape in which a part of the convex portion is cut, in consideration of the area ratio of the convex portion, for example, as shown in the figure, a part of the convex portion is cut and used. You can also
【００２２】また、多角形又は多角形の角部が所望の曲
率を持つ形状のハニカム構造テクスチュアを磁気ヘッド
素子部の流入側前部に又は素子部表面に形成すると、素
子部の上には潤滑剤が常に供給され易くなり、素子部の
摩耗を低減することが可能となる。ＭＲ素子を有する磁
気ヘッドがこのような構成をとれば、この磁気ヘッドで
問題となるＭＲ素子部と磁気記録媒体が接触時に発生す
る熱により生じるエラー、いわゆるサーマルアスペリテ
ィの発生確立を低減することができる。If a polygonal structure or a honeycomb structure texture having polygonal corners having a desired curvature is formed on the front side of the inflow side of the magnetic head element part or on the element part surface, lubrication is provided on the element part. It becomes easier to always supply the agent, and it becomes possible to reduce the wear of the element portion. If the magnetic head having the MR element has such a configuration, it is possible to reduce the occurrence of so-called thermal asperity, which is an error caused by heat generated when the MR element portion and the magnetic recording medium contact each other, which is a problem in the magnetic head. it can.
【００２３】テクスチュアの凹部底部の表面エネルギー
を低下させると、磁気記録媒体上の潤滑剤が凹部に溜ま
った場合にもその潤滑剤と凹部底部の表面は濡れ難いの
で、潤滑剤ははじかれ、流出側の凸部に流れやすくな
る。そのため凸部は摩耗し難くなる。さらに潤滑剤と凹
部底部は濡れにくいため、潤滑剤が磁気ヘッドと磁気記
録媒体との間に多量にあったとしても、磁気ヘッドと磁
気記録媒体表面の接触部で潤滑剤のメニスカスを形成す
る面積が凸部の面積に近いものとなるため摩擦力が小さ
くなる。When the surface energy of the bottom of the recess of the texture is lowered, even if the lubricant on the magnetic recording medium is accumulated in the recess, the lubricant and the surface of the bottom of the recess are difficult to wet, so that the lubricant is repelled and flows out. It becomes easy to flow to the convex portion on the side. Therefore, the convex portion is less likely to be worn. Further, since the lubricant and the bottom of the concave portion are hard to get wet, even if a large amount of the lubricant is present between the magnetic head and the magnetic recording medium, the area where the meniscus of the lubricant is formed at the contact portion between the magnetic head and the surface of the magnetic recording medium is formed. Is close to the area of the convex portion, and the frictional force is small.
【００２４】凹部底部の表面エネルギーを低下させるに
は、表面エネルギーの小さい物質の膜を凹部底部の少な
くとも一部に設ければよい。仮りにこのような物質で凸
部の表面部分、つまり直接磁気記録媒体と接する部分が
形成されていると、このような物質は、一般的に耐摩耗
性が劣るため、すぐ摩耗してしまい、長時間の信頼性を
維持することは難しい。しかし、凹部にそのような表面
エネルギーが小さい物質の膜を形成すると、その膜と磁
気記録媒体表面は直接接触しないため、表面エネルギー
を低下させるための膜は摩耗しない。それ故長時間の信
頼性を維持することができる。In order to reduce the surface energy of the bottom of the recess, a film of a substance having a small surface energy may be provided on at least a part of the bottom of the recess. If such a substance forms a surface portion of the convex portion, that is, a portion in direct contact with the magnetic recording medium, such a substance generally has poor wear resistance, so that it is immediately worn, Maintaining long-term reliability is difficult. However, when such a film of a substance having a small surface energy is formed in the recess, the film and the surface of the magnetic recording medium do not come into direct contact with each other, so that the film for reducing the surface energy is not worn. Therefore, long-term reliability can be maintained.
【００２５】次に、ハニカム構造のテクスチュアの形状
を多角形又は多角形の各部が曲率を持った形状にするこ
とについて説明する。ある面積すなわち磁気ヘッドのス
ライダ面に対して凹部の数を最も多くすると共に、その
凹部の面積に対し凸部の面積の比率を小さくするには上
記の形状とすることが好ましい。凹部の数を多くするこ
との理由は、凹部のサイズを小さくすることで、その凹
部に潤滑剤が蓄積したとき、蓄積量が少なくても潤滑剤
が凸部に供給されるようにするためである。従って、そ
れだけ凸部の摩耗を低減することが可能である。また凸
部の面積の比率を小さくすることの理由は、磁気記録媒
体との真実接触面積を低減し、磁気記録媒体との摩擦力
を低減するためである。しかしながら凸部の幅は、現状
では技術的に１００ｎｍレベルが限度であり、凹部の数
を多くした上で凸部の面積比率を小さくするためには前
述したような形状とすること、特に六角形とすることが
好ましい。Next, a description will be given of making the texture of the honeycomb structure into a polygon or a shape in which each part of the polygon has a curvature. In order to maximize the number of recesses with respect to a certain area, that is, the slider surface of the magnetic head, and reduce the ratio of the area of the projections to the area of the recesses, the above-mentioned shape is preferable. The reason for increasing the number of recesses is to reduce the size of the recesses so that when the lubricant accumulates in the recesses, the lubricant is supplied to the protrusions even if the accumulated amount is small. is there. Therefore, it is possible to reduce the wear of the convex portion to that extent. The reason for reducing the area ratio of the convex portions is to reduce the true contact area with the magnetic recording medium and the frictional force with the magnetic recording medium. However, the width of the convex portion is technically limited to the level of 100 nm at present, and in order to reduce the area ratio of the convex portion after increasing the number of concave portions, the shape as described above, especially the hexagonal shape, is used. It is preferable that
【００２６】次ぎに、本発明の磁気ヘッドの作成方法の
一例を図３、図４を用いて説明する。まずアルミナチタ
ンカーバイド（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ）１１よりなる磁気ヘ
ッドのスライダ表面に、厚さ５ｎｍのシリコン（Ｓｉ）
１０の膜を、次に厚さ１５ｎｍのカーボン（Ｃ）９の膜
をスパッタ法により形成する。このときの断面構造を図
３に示す。Next, an example of a method of producing the magnetic head of the present invention will be described with reference to FIGS. First, on a slider surface of a magnetic head made of alumina titanium carbide (Al 2 O 3 —TiC) 11, silicon (Si) having a thickness of 5 nm is formed.
Then, a film of 10 and a film of carbon (C) 9 having a thickness of 15 nm are formed by the sputtering method. The cross-sectional structure at this time is shown in FIG.
【００２７】次に、図４に示すように、希望する形状の
凹部を形成するためのマスク１２を形成した後、酸素に
よりスライダ表面のカーボンの一部１３をエッチングす
る。シリコン１０の膜に到達する前にエッチングを止め
てもかまわないが、シリコン１０の膜に到達すると、そ
れ以上はエッチング速度が異なるため、エッチング量の
コントロールが容易にできる。このようにして用いたマ
スクの形状の多角形の凹部がスライダ表面に形成され
る。Next, as shown in FIG. 4, after forming a mask 12 for forming a recess having a desired shape, a part 13 of carbon on the slider surface is etched by oxygen. The etching may be stopped before reaching the film of silicon 10, but when the film of silicon 10 is reached, the etching rate is further different, and thus the etching amount can be easily controlled. Polygonal recesses in the shape of the mask used in this way are formed on the slider surface.
【００２８】カーボン膜の膜厚を変化させることでスラ
イダ表面の凸部高さは任意に設定することが可能であ
る。またマスクの形状を変えることで凸部の面積比率、
凹部の個数、多角形の形状を任意に設定することが可能
である。本実施例は保護膜を形成した磁気ヘッドへのテ
クスチュアの形成方法を示しているが、保護膜を形成し
ていない磁気ヘッドに対してもエッチングのガス種の変
更や、イオンビームによるエッチングを行うことで同様
の形状を作成できる。By changing the film thickness of the carbon film, the height of the convex portion on the slider surface can be arbitrarily set. Also, by changing the shape of the mask, the area ratio of the convex portion,
The number of recesses and the polygonal shape can be arbitrarily set. This embodiment shows a method of forming a texture on a magnetic head having a protective film formed thereon. However, even for a magnetic head having no protective film formed, the gas species for etching is changed and the etching is carried out by an ion beam. By doing so, a similar shape can be created.
【００２９】このような方法で作成したサンプルの一覧
表を表１に示す。表のローマ数字は比較例を示す。ま
た、テクスチュア形状の六角形凹とは図２（ｃ）の形状
であり、三角形凹とは図２（ｂ）の形状であり、四角形
凹とは図２（ｄ）の形状である。比較例のテクスチュア
形状の線状凸、四角形凸を図１３（ａ）、（ｂ）に示
す。なお、Ｎｏ．９の凸部ピッチは５５μｍであるが、
凹部の磁気ヘッドの流入側から流出側方向の大きさは、
約５０μｍである。また、凸部の面積比率は光学顕微鏡
により算出し、凸部の高さは接触式面粗さ計にて測定し
た。Table 1 shows a list of samples prepared by such a method. Roman numerals in the table indicate comparative examples. The textured hexagonal concave is the shape of FIG. 2C, the triangular concave is the shape of FIG. 2B, and the square concave is the shape of FIG. 2D. 13A and 13B show the texture-shaped linear protrusions and quadrangular protrusions of the comparative example. In addition, No. 9 has a pitch of 55 μm,
The size of the recess from the inflow side to the outflow side of the magnetic head is
It is about 50 μm. Further, the area ratio of the convex portions was calculated by an optical microscope, and the height of the convex portions was measured by a contact type surface roughness meter.
【００３０】[0030]
【表１】 [Table 1]
【００３１】こうして形成したサンプルの一部をステア
リン酸を蒸着してその後１５０度、１時間加熱後アルコ
ールにて不要な膜を除去した。このサンプルの断面拡大
図を図５に示す。凹部底部のシリコン１０上に、ステア
リン酸１４の膜が形成されている。また、熱重合性のフ
ッ素系潤滑剤（ＰＦＰＥ）の１ｗｔ％溶液中に、上記サ
ンプルの一部を浸漬した後に、１５０度にて１時間加熱
し、さらに溶剤にて不要な膜を除去した。これらの材料
は、加熱することによりその表面エネルギーが磁気記録
媒体に塗布されている液体潤滑剤の表面張力（通常２５
ｄｙｎ／ｃｍ）より小さくなる。A portion of the sample thus formed was vapor-deposited with stearic acid and then heated at 150 ° C. for 1 hour, and then an unnecessary film was removed with alcohol. An enlarged cross-sectional view of this sample is shown in FIG. A film of stearic acid 14 is formed on the silicon 10 at the bottom of the recess. In addition, a part of the above sample was immersed in a 1 wt% solution of a heat-polymerizable fluorine-based lubricant (PFPE), and then heated at 150 ° C. for 1 hour, and an unnecessary film was removed with a solvent. When heated, the surface energy of these materials is the surface tension of the liquid lubricant applied to the magnetic recording medium (usually 25
dyn / cm).
【００３２】表面エネルギーの小さい膜の製造の際に加
熱等により原料を磁気ヘッドスライダ面と反応させた
り、また、余分な材料を溶剤により洗い流したりするの
は、磁気ヘッドが磁気ディスクに組み込まれて使用され
たとき、装置の使用環境が５０〜６０度程度であるの
で、表面エネルギーの小さい膜が蒸発等により減少して
その効果を維持できなくなることを防止し、また、余分
な材料が蒸発や脱落することでヘッドの安定浮上、安定
接触を阻害することを防止するためである。When manufacturing a film having a small surface energy, the raw material is reacted with the slider surface of the magnetic head by heating or the excess material is washed away with a solvent because the magnetic head is incorporated in the magnetic disk. When used, the environment in which the device is used is about 50 to 60 degrees, so that it is possible to prevent the film having a small surface energy from being reduced due to evaporation or the like and not being able to maintain its effect. This is to prevent the head from flying stably and obstructing stable contact by falling off.
【００３３】これらのサンプルの特性を表２に示す。ロ
ーマ数字で示した比較例は、加熱しなかった場合となに
も処理しない場合である。なお、これらの処理をしない
とき、つまり凹部底部が保護膜のカーボンやシリコンで
あるとき、その表面エネルギーは約４０ｄｙｎ／ｃｍ以
上で、液体潤滑剤の表面張力より大きくなる。なお、表
面エネルギーはスライダをマスクなしでエッチングして
同様の処理を行った後、そのスライダ面に各種の液滴を
滴下したときの接触角よりジスマンプロットを求め、臨
界表面エネルギーという形で示した。The characteristics of these samples are shown in Table 2. Comparative examples indicated by Roman numerals are the case without heating and the case without any treatment. When these treatments are not performed, that is, when the bottom of the recess is carbon or silicon of the protective film, the surface energy is about 40 dyn / cm or more, which is larger than the surface tension of the liquid lubricant. The surface energy is expressed in the form of the critical surface energy by obtaining a Zisman plot from the contact angle when various droplets are dropped on the slider surface after etching the slider without a mask and performing the same treatment. It was
【００３４】[0034]
【表２】 [Table 2]
【００３５】上記の磁気ヘッド又は同様の方法で凸部高
さ等を変えて作成した種々の磁気ヘッドについて、テク
スチュアの効果を検討した。図２（ｃ）に示した六角形
のテクスチュアを形成した磁気ヘッドに、液体潤滑剤を
約２０Ａ塗布した磁気記録媒体を組み合わせて１０ｒｐ
ｍで回転させたときの摩擦係数を、凸部高さＲａ（アト
ミックフォースマイクロスコープ；ＡＦＭにて測定）を
約５ｎｍとし、凸部面積比率をパラメータとして測定し
た。その結果を図６に示す。また、凸部高さを変えた場
合の摩擦係数を図７に示す。凸部面積比率を０％より大
きく、３０％以下とすることで摩擦係数は著しく低下し
ている。また凸部高さを７〜２０ｎｍとすることで摩擦
係数は低くなっている。The effect of the texture was examined on the above magnetic head or various magnetic heads produced by changing the height of the convex portions by the same method. The magnetic head having the hexagonal texture shown in FIG. 2C is combined with a magnetic recording medium coated with about 20 A of liquid lubricant to obtain 10 rp.
The coefficient of friction when rotated at m was measured with the convex portion height Ra (atomic force microscope; measured by AFM) set to about 5 nm and the convex portion area ratio as a parameter. FIG. 6 shows the result. FIG. 7 shows the coefficient of friction when the height of the convex portion is changed. The friction coefficient is remarkably reduced by setting the area ratio of the convex portions to be greater than 0% and 30% or less. Further, the friction coefficient is lowered by setting the height of the convex portion to 7 to 20 nm.
【００３６】次に、テクスチュアの形状の比較のために
表１の各種の形状をした磁気ヘッドにより摩耗試験を行
った。摩耗試験は前述した磁気記録媒体と同じもので、
周速１３ｍ／ｓ、ヘッド浮上量３ｎｍの条件で同一トラ
ックを１０００００パス摺動させた後、面粗さ計により
磁気ヘッドの凸部の高さを測定して摩耗量を算出した。
その結果を図８に示す。Next, for comparison of texture shapes, wear tests were conducted by using magnetic heads having various shapes shown in Table 1. The abrasion test is the same as the magnetic recording medium described above,
After sliding the same track for 100,000 passes under the conditions of a peripheral speed of 13 m / s and a head flying height of 3 nm, the height of the convex portion of the magnetic head was measured with a surface roughness meter to calculate the wear amount.
FIG. 8 shows the result.
【００３７】この結果より比較例として挙げた凸部が磁
気ヘッド流入側より流出側に連なっているタイプのテク
スチュア（Ｎｏ．Ｖ）、凸部に囲まれた凹部を形成して
いないドット状のテクスチュア（Ｎｏ．VI）を有する磁
気ヘッドは、保護膜凸部の摩耗量が大きい。また、比較
例のテクスチュアを形成していない（Ｎｏ．VII）磁気
ヘッドは、接触面積が大きいため、摩擦力が大きく、摩
耗が激しい。一方、本発明のハニカム状、すなわち凹部
が入り組んだ形状をしたテクスチュアを有する磁気ヘッ
ドは摩耗が小さいことが判った。From these results, the texture (No. V) of the type in which the convex portion described as the comparative example extends from the magnetic head inflow side to the outflow side, and the dot-shaped texture in which the concave portion surrounded by the convex portion is not formed The magnetic head having (No. VI) has a large amount of wear of the convex portion of the protective film. Further, the magnetic head in which the texture of the comparative example is not formed (No. VII) has a large contact area, so that the frictional force is large and the wear is severe. On the other hand, it was found that the honeycomb-shaped magnetic head of the present invention, that is, the magnetic head having the texture having the intricate recesses had a small wear.
【００３８】次に表面エネルギーを低下させる膜を凹部
に形成した表２の磁気ヘッドを、突起高さ約５ｎｍで、
表面張力が２５（ｄｙｎ／ｃｍ）の液体潤滑剤を６０Ａ
塗布した磁気記録媒体で摩擦力を測定した。その結果を
図９に示す。この結果から表面エネルギーを小さくする
ことで摩擦係数が小さくなることが判る。そして表面エ
ネルギーが２５ｄｙｎ／ｃｍ以下となることでその効果
が大きくなっている。すなわち、凹部の底部の表面エネ
ルギーを、磁気記録媒体に塗布されている潤滑剤の表面
張力以下とすると摩擦力を低減できる。この場合、潤滑
剤は凹部に濡れ拡がることがなく、磁気ヘッドと磁気記
録媒体との間に潤滑剤によるメニスカスを形成しないた
め摩擦力が低減するものと推定される。Next, the magnetic head shown in Table 2 in which a film for lowering the surface energy is formed in the concave portion, the projection height is about 5 nm,
60A liquid lubricant with surface tension of 25 (dyn / cm)
The frictional force was measured on the coated magnetic recording medium. The result is shown in FIG. From this result, it is understood that the friction coefficient becomes smaller by reducing the surface energy. The surface energy is 25 dyn / cm or less, which enhances the effect. That is, the frictional force can be reduced by setting the surface energy of the bottom of the recess to be equal to or less than the surface tension of the lubricant applied to the magnetic recording medium. In this case, it is presumed that the lubricant does not wet and spread in the recesses and a meniscus is not formed between the magnetic head and the magnetic recording medium by the lubricant, so that the frictional force is reduced.
【００３９】さらに、実際の磁気ディスク装置としての
信頼性を確認するため、表１、２で示した磁気ヘッドを
磁気ディスク装置に組み込み、突起高さ約５ｎｍ、潤滑
膜厚２０Ａの磁気記録媒体との組み合わせで、５００時
間に及ぶ寿命試験を行った。この試験は磁気ヘッドをフ
ルトラックに渡り常時シークさせるものであり、１０
０、２００、３００、４００、５００時間後に４８時間
停止させ静止摩擦力を測定し、５００時間後のヘッド保
護膜の摩耗量を測定した。その結果の静止摩擦力の測定
結果を図１０に示す。Further, in order to confirm the reliability as an actual magnetic disk device, the magnetic heads shown in Tables 1 and 2 were incorporated in the magnetic disk device to obtain a magnetic recording medium having a protrusion height of about 5 nm and a lubricating film thickness of 20 A. The combination was used to perform a life test for 500 hours. This test always seeks the magnetic head over the full track.
After 0, 200, 300, 400, 500 hours, it was stopped for 48 hours, the static frictional force was measured, and the amount of wear of the head protective film after 500 hours was measured. The result of measurement of the resulting static friction force is shown in FIG.
【００４０】この結果から本発明のハニカム構造テクス
チュアの磁気ヘッドは、比較例の磁気ヘッドと比較し
て、静止摩擦力の増加が１００時間程度まで小さいこと
が判る。また、テクスチュアの凹部の底部の表面エネル
ギーを低減した磁気ヘッドは、５００時間後でも静止摩
擦力の増加が見られない。しかし、比較例の磁気ヘッド
は静止摩擦力が増加している。次に、磁気ヘッドの保護
膜の摩耗量を測定した結果を図１１に示す。本発明の磁
気ヘッドは、比較例の磁気ヘッドと比較して摩耗量が著
しく小さいことが判る。From these results, it is understood that the magnetic head of the honeycomb structure texture of the present invention has a small increase in static friction force up to about 100 hours as compared with the magnetic head of the comparative example. Further, in the magnetic head in which the surface energy at the bottom of the concave portion of the texture is reduced, the static friction force does not increase even after 500 hours. However, the magnetic head of the comparative example has an increased static friction force. Next, the result of measuring the amount of wear of the protective film of the magnetic head is shown in FIG. It can be seen that the magnetic head of the present invention has a significantly smaller amount of wear than the magnetic head of the comparative example.
【００４１】これらの結果を総合すると、本発明のハニ
カム構造テクスチュアの磁気ヘッドを使用することで、
磁気ヘッドの保護膜の摩耗量を著しく小さくできると共
に、さらに、テクスチュアの凹部の底部の表面エネルギ
ーを低減することにより、長期稼働後の静止摩擦力を低
減できることが判った。Summarizing these results, by using the magnetic head of the honeycomb structure texture of the present invention,
It has been found that the wear amount of the protective film of the magnetic head can be remarkably reduced and the static frictional force after long-term operation can be reduced by further reducing the surface energy of the bottom of the concave portion of the texture.
【００４２】次に、本発明の磁気ヘッドと組み合わせる
磁気記録媒体の面粗さを変化させた場合について、前述
の磁気ディスク装置で検討した。磁気記録媒体の面粗さ
は、突起高さで約５、１０、１３、１６ｎｍとし、磁気
ヘッドは表１のＮｏ．３と比較例の表１のＮｏ．VIIを
用いた。５００時間後の磁気ヘッドの保護膜の摩耗量を
図１２に示す。Next, the case where the surface roughness of the magnetic recording medium combined with the magnetic head of the present invention was changed was examined in the above magnetic disk device. The surface roughness of the magnetic recording medium is about 5, 10, 13, 16 nm in terms of protrusion height, and the magnetic head is No. 1 in Table 1. No. 3 in Table 1 of Comparative Example. VII was used. FIG. 12 shows the amount of wear of the protective film of the magnetic head after 500 hours.
【００４３】その結果、比較例では磁気記録媒体の面粗
さが１３ｎｍ以下から急激に摩耗が増加するが、本実施
例の磁気ヘッドを用いれば摩耗が増加しない。すなわ
ち、従来の磁気ヘッドでは使用できなかった突起高さ１
３ｎｍ以下の非常に平坦な磁気記録媒体を使用すること
が可能になり、そのため磁気ヘッドの浮上量を下げるこ
とができる。従って高密度記録が可能となる。As a result, in the comparative example, the wear abruptly increases from the surface roughness of the magnetic recording medium of 13 nm or less, but the wear does not increase when the magnetic head of this embodiment is used. That is, the protrusion height 1 which could not be used in the conventional magnetic head
It becomes possible to use a very flat magnetic recording medium having a thickness of 3 nm or less, and thus the flying height of the magnetic head can be reduced. Therefore, high density recording becomes possible.
【００４４】[0044]
【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドのスライダ
面の摩耗を防止した、静止摩擦力の小さい磁気ヘッドが
得られる。また、この磁気ヘッドを用いた磁気記録装置
は優れた信頼性を示す。また、表面粗さの小さい磁気記
録媒体と組み合わせることにより、高記録密度に適した
磁気記録装置とすることができる。According to the present invention, it is possible to obtain a magnetic head having a small static friction force, which prevents abrasion of the slider surface of the magnetic head. Moreover, a magnetic recording device using this magnetic head exhibits excellent reliability. Further, by combining with a magnetic recording medium having a small surface roughness, a magnetic recording device suitable for high recording density can be obtained.
【図１】本発明の磁気記録装置の模式図。FIG. 1 is a schematic diagram of a magnetic recording device of the present invention.
【図２】本発明の磁気ヘッドの斜視図及び磁気ヘッドス
ライダ面の拡大図。FIG. 2 is a perspective view of a magnetic head of the present invention and an enlarged view of a magnetic head slider surface.
【図３】本発明の磁気ヘッドのスライダ表面部分の拡大
断面図。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a slider surface portion of the magnetic head of the present invention.
【図４】本発明の磁気ヘッドの製造方法の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.
【図５】本発明の磁気ヘッドの製造方法の説明図。FIG. 5 is an explanatory view of a method of manufacturing a magnetic head of the present invention.
【図６】磁気ヘッドのスライダ面の凸部面積比率と摩擦
係数の関係図。FIG. 6 is a relational diagram of a friction coefficient and a convex area ratio of a slider surface of a magnetic head.
【図７】磁気ヘッドのスライダ面の凸部高さと摩擦係数
の関係図。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the height of the protrusion on the slider surface of the magnetic head and the coefficient of friction.
【図８】従来及び本発明の磁気ヘッドの保護膜摩耗量を
示す図。FIG. 8 is a diagram showing the amount of wear of a protective film of a conventional magnetic head and a magnetic head of the present invention.
【図９】表面エネルギーと摩擦係数の関係図。FIG. 9 is a relationship diagram of surface energy and friction coefficient.
【図１０】従来及び本発明の磁気ヘッドのシーク時間と
静止摩擦力の関係図。FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the seek time and the static friction force of the conventional magnetic head and the magnetic head of the present invention.
【図１１】従来及び本発明の磁気ヘッドの保護膜摩耗量
を示す図。FIG. 11 is a diagram showing the amount of wear of a protective film of a conventional magnetic head and that of the present invention.
【図１２】従来及び本発明の磁気ヘッドの保護膜摩耗量
と磁気ディスクの突起高さとの関係図。FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the amount of wear of the protective film of the conventional magnetic head and the magnetic head of the present invention and the protrusion height of the magnetic disk.
【図１３】比較例の磁気ヘッドスライダ面の拡大図。FIG. 13 is an enlarged view of a magnetic head slider surface of a comparative example.
１…磁気記録媒体 ２…磁気ヘッド ３…スピンドルモータ ４…ボイスコイルモータ ５…リードライトアンプ ６…スライダ面 ７…凸部 ８…凹部 ９…カーボン １０…シリコン １１…アルミナチタンカーバイド １２…マスク １３…カーボンの一部 １４…ステアリン酸 １５…リードライト素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic recording medium 2 ... Magnetic head 3 ... Spindle motor 4 ... Voice coil motor 5 ... Read / write amplifier 6 ... Slider surface 7 ... Convex portion 8 ... Recessed portion 9 ... Carbon 10 ... Silicon 11 ... Alumina titanium carbide 12 ... Mask 13 ... Part of carbon 14 ... Stearic acid 15 ... Read / write element
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白倉 高明 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takaaki Shirakura 2880 Kozu, Odawara City, Kanagawa Prefecture Storage Systems Division, Hitachi, Ltd.
Claims (6)
記録媒体に情報の記録、再生を行うための磁気ヘッドに
おいて、上記スライダの浮上面又は摺動接触面は、多角
形又は多角形の角部が所望の曲率を持つ形状の凹部より
なるハニカム形状のテクスチュアを有することを特徴と
する磁気ヘッド。1. A magnetic head having a slider and a read / write element for recording and reproducing information on a magnetic recording medium, wherein the air bearing surface or sliding contact surface of the slider is a polygon or a polygonal corner. A magnetic head having a honeycomb-shaped texture, the portion of which is formed of a concave portion having a desired curvature.
記録媒体に情報の記録、再生を行うための磁気ヘッドに
おいて、上記スライダの浮上面又は摺動接触面は、複数
の凹部を有し、該凹部の底部の少なくとも一部は、上記
磁気記録媒体の表面に配置される潤滑剤の表面張力より
小さい表面エネルギーを持つことを特徴とする磁気ヘッ
ド。2. A magnetic head having a slider and a read / write element for recording and reproducing information on a magnetic recording medium, wherein an air bearing surface or a sliding contact surface of the slider has a plurality of recesses, At least a part of the bottom of the recess has a surface energy smaller than the surface tension of the lubricant disposed on the surface of the magnetic recording medium.
凹部は、多角形又は多角形の角部が所望の曲率を持つ形
状の凹部よりなるハニカム形状のテクスチュアを構成す
ることを特徴とする磁気ヘッド。3. The magnetic head according to claim 2, wherein the concave portion constitutes a honeycomb-shaped texture comprising a polygonal portion or a concave portion having a polygonal corner portion having a desired curvature. head.
て、上記テクスチュアの凸部の面積の割合は、０％より
大きく、３０％以下であることを特徴とする磁気ヘッ
ド。4. The magnetic head according to claim 1 or 3, wherein the area ratio of the convex portions of the texture is greater than 0% and 30% or less.
媒体に情報の記録、再生を行うために、磁気記録媒体に
対向して配置された磁気ヘッドと、磁気記録媒体の回転
制御機構と、磁気ヘッドの位置決め機構と、記録再生信
号の処理回路を有する磁気記録装置において、上記磁気
ヘッドは、請求項１から４のいずれか一に記載の磁気ヘ
ッドであることを特徴とする磁気記録装置。5. A magnetic recording medium for recording information, a magnetic head arranged to face the magnetic recording medium for recording and reproducing information on the magnetic recording medium, and a rotation control mechanism for the magnetic recording medium. A magnetic recording apparatus having a magnetic head positioning mechanism and a recording / reproducing signal processing circuit, wherein the magnetic head is the magnetic head according to any one of claims 1 to 4. .
記磁気記録媒体は、表面粗さＲｐが、１３ｎｍ以下であ
ることを特徴とする磁気記録装置。6. The magnetic recording device according to claim 5, wherein the magnetic recording medium has a surface roughness Rp of 13 nm or less.
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