JP2635197B2 - Magnetic disk device, magnetic recording medium, and method of manufacturing magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic disk device, magnetic recording medium, and method of manufacturing magnetic recording medium

Info

Publication number
JP2635197B2
JP2635197B2 JP4928190A JP4928190A JP2635197B2 JP 2635197 B2 JP2635197 B2 JP 2635197B2 JP 4928190 A JP4928190 A JP 4928190A JP 4928190 A JP4928190 A JP 4928190A JP 2635197 B2 JP2635197 B2 JP 2635197B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
magnetic
substrate
layer
protective layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP4928190A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH03252922A (en
Inventor
秀明 田中
憲一 五味
昇一 沢畠
麻希 近藤
正樹 大浦
芳彦 三宅
義喜 加藤
東洋治 奥脇
紀明 岡本
宣雄 中川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP4928190A priority Critical patent/JP2635197B2/en
Priority to DE69026182T priority patent/DE69026182T2/en
Priority to EP90119497A priority patent/EP0422640B1/en
Priority to US07/595,414 priority patent/US5285343A/en
Publication of JPH03252922A publication Critical patent/JPH03252922A/en
Priority to US08/077,874 priority patent/US5504646A/en
Priority to US08/625,159 priority patent/US5930073A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2635197B2 publication Critical patent/JP2635197B2/en
Priority to US09/313,283 priority patent/US6303205B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気デイスク装置及びそれに用いられる磁気
記録媒体と磁気記録媒体の製造方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk device, a magnetic recording medium used for the same, and a method of manufacturing a magnetic recording medium.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、コンピユータシステムの外部記憶装置としての
磁気デイスク装置の重要度は益々高まり、その記録密度
は年々著しい向上が図られている。In recent years, the importance of a magnetic disk device as an external storage device of a computer system has been increasing more and more, and its recording density has been significantly improved year by year.

磁気デイスク装置の記録密度を向上させるためには、
記録再生時の磁気ヘツドの浮上量を小さくするのが良
く、その際の磁気ヘツドの浮上安定性を確保するため
に、磁気記録媒体の表面はできるだけ平坦であることが
要求される。To improve the recording density of a magnetic disk device,
The flying height of the magnetic head at the time of recording / reproducing is preferably reduced, and the surface of the magnetic recording medium is required to be as flat as possible in order to secure the flying stability of the magnetic head at that time.

ところで、磁気デイスク装置の起動時及び停止時にお
いて磁気ヘツドと磁気記録媒体の間に生ずる摩擦力は、
両者の摩耗を引き起こし、書き込み特性或いは読み出し
特性等の特性劣化の原因となる。さらに、磁気記録媒体
が静止している状態で磁気ヘツドと磁気記録媒体の間に
水分等が介在すると、両者が強固に吸着し、この状態で
起動すると磁気ヘツドと磁気記録媒体の間に大きな力が
生じ、磁気ヘツドや磁気記録媒体の損傷を招く恐れがあ
る。この様な摩擦力や吸着力は、磁気記録媒体の表面が
平坦であるほど大きくなる傾向があり、前記した記録密
度の向上に伴う磁気ヘツドの浮上安定性に対する要求と
相反する。By the way, the frictional force generated between the magnetic head and the magnetic recording medium at the time of starting and stopping the magnetic disk device is:
It causes wear of both, and causes deterioration of characteristics such as writing characteristics or reading characteristics. Furthermore, if moisture or the like is present between the magnetic head and the magnetic recording medium while the magnetic recording medium is stationary, the two strongly adhere to each other, and when the magnetic head is started in this state, a large force is applied between the magnetic head and the magnetic recording medium. This may cause damage to the magnetic head and the magnetic recording medium. Such a frictional force and an attractive force tend to increase as the surface of the magnetic recording medium becomes flat, which conflicts with the requirement for the floating stability of the magnetic head accompanying the improvement in the recording density.

このような摩擦力や吸着力を低減するために、磁気記
憶媒体の表面に微小凹凸を形成することが知られてい
る。It is known to form fine irregularities on the surface of a magnetic storage medium in order to reduce such frictional force and attraction force.

一例として、特開平１−134720号公報には、磁気記録
媒体の表面に島状に突起を設けることが示されている。As an example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-134720 discloses that island-like projections are provided on the surface of a magnetic recording medium.

特開平１−12208号公報には、磁気記録媒体の磁性層
表面に金属アルコキシド溶液を塗布し、急速加熱して磁
性層表面に凹凸を有する保護層を形成することが示され
ている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-12208 discloses that a metal alkoxide solution is applied to the surface of a magnetic layer of a magnetic recording medium, and is rapidly heated to form a protective layer having irregularities on the surface of the magnetic layer.

特開昭57−20925号公報には、磁性層又は保護層の表
面に直径が0.03〜0.1mm、高さが約0.05μｍの円柱状の
突起部を設けることが示されている。JP-A-57-20925 discloses that a columnar projection having a diameter of 0.03 to 0.1 mm and a height of about 0.05 μm is provided on the surface of a magnetic layer or a protective layer.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

上記従来技術は、いずれも磁気記録媒体に対する磁気
ヘツドの浮上量を小さくすること、およびその場合に磁
気記録媒体に磁気ヘツド支持用スライダーが吸着するの
を防止することを狙つている。The above prior arts all aim to reduce the flying height of the magnetic head with respect to the magnetic recording medium, and to prevent the magnetic head supporting slider from adsorbing to the magnetic recording medium in that case.

磁気ヘツドの浮上安定性を長期にわたつて持続するこ
とについては、配慮していない。No consideration is given to maintaining the flying stability of the magnetic head over a long period of time.

本発明の目的は、磁気ヘツドの浮上安定性を持続でき
るようにした磁気記録媒体を提供することにある。An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium capable of maintaining the flying stability of a magnetic head.

本発明の他の目的は、上記目的を達成する磁気記憶媒
体を備えた磁気デイスク装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a magnetic disk device having a magnetic storage medium that achieves the above object.

本発明の更に他の目的は、磁気ヘツドの浮上量を0.2
μｍ以下にでき、なお且つ浮上安定性を長期にわたつて
持続することができる磁気デイスク装置、およびそのた
めの磁気記録媒体を提供することにある。Still another object of the present invention is to reduce the flying height of the magnetic head by 0.2.
It is an object of the present invention to provide a magnetic disk device which can be set to be equal to or less than μm and which can maintain flying stability over a long period of time, and a magnetic recording medium therefor.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の磁気デイスク装置は、本質的には、基板上に
磁性層と表面保護層を有する少なくとも一枚の磁気デイ
スク、回転中の前記磁気デイスクと微小間隙をもつて対
向し、スライダーによつて支持されている磁気ヘツド、
前記磁気デイスクを回転する回転手段、および前記磁気
ヘツドを前記磁気デイスク上の所定の位置に移動し位置
決めする磁気ヘツド位置決め手段、を具備する磁気デイ
スク装置において、前記磁気デイスクの表面に下記
（イ）と（ロ）を具備する多数の表面平坦な凸部を有す
ることを特徴とする。The magnetic disk device of the present invention is essentially composed of at least one magnetic disk having a magnetic layer and a surface protective layer on a substrate, facing the rotating magnetic disk with a small gap, and using a slider. Supported magnetic heads,
A magnetic disk device comprising: a rotating means for rotating the magnetic disk; and a magnetic head positioning means for moving and positioning the magnetic head to a predetermined position on the magnetic disk. And (b) a large number of flat projections having a flat surface.

（イ）該磁気デイスクの同一円周上および同一半径上で
凸部が分断されており該凸部間に凹部を有し、該磁気デ
イスクの最も近接している該凸部間の間隔が0.2〜50μ
ｍである、 （ロ）該磁気デイスク上の任意の位置に前記スライダー
を置いて該磁気デイスクを一回転したときに該スライダ
ーの全面に前記凸部が接触するように該凸部が配置され
ている。(A) A convex portion is divided on the same circumference and the same radius of the magnetic disk, has a concave portion between the convex portions, and a distance between the convex portions closest to the magnetic disk is 0.2. ~ 50μ
(b) the projection is arranged such that the projection is in contact with the entire surface of the slider when the slider is placed at an arbitrary position on the magnetic disk and the magnetic disk is rotated once. I have.

本発明は、磁気記録媒体の表面に表面平坦な凸部を多
数備えると共に、該凸部に前記（イ），（ロ）の要件を
具備させることによつて、磁気ヘツドの浮上量を小さく
し且つ浮上安定性を持続できるという事実の究明に基づ
いている。The present invention reduces the flying height of the magnetic head by providing a large number of convex portions having a flat surface on the surface of the magnetic recording medium, and by providing the convex portions with the requirements (a) and (b). And it is based on the investigation of the fact that flying stability can be maintained.

前記（ロ）の要件を備えることによつて、磁気ヘツド
およびスライダーに付着する塵埃を凸部によつてかき落
とすことができる。With the requirement (b), dust adhering to the magnetic head and the slider can be scraped off by the projection.

前記（イ）の要件を備えることによつて、磁気ヘツド
およびスライダーからかき落とした塵埃を、磁気記録媒
体表面の凸部間の凹みを利用してスライダー外部へ排出
できるようになる。By satisfying the requirement (a), dust scraped off from the magnetic head and the slider can be discharged to the outside of the slider by using the recesses between the protrusions on the surface of the magnetic recording medium.

この（イ）と（ロ）に基づく効果により、磁気ヘツド
の浮上量を著しく小さく設定することが可能となり、し
かも磁気ヘツド浮上量をほぼ一定に保持することができ
るようになる。With the effects based on (a) and (b), the flying height of the magnetic head can be set to be extremely small, and the flying height of the magnetic head can be kept substantially constant.

なお、本明細書において、磁気デイスクと磁気記録媒
体とは、同一である。In this specification, a magnetic disk and a magnetic recording medium are the same.

発明者らは磁気記録媒体に形成する種々の凹凸形状に
ついて検討を行つた結果、長期にわたる磁気ヘツドの浮
上安定性を確保するためには、基板上に磁性層及び表面
保護層を形成し、表面保護層の表面に凹凸形状を与える
に際し、その凹凸の配置が磁気ヘツド又は磁気記録媒体
に付着した微小塵埃を速やかに除去しうるような作用を
有することが極めて重要であることを見出した。The present inventors have studied various irregularities formed on a magnetic recording medium, and found that a magnetic layer and a surface protective layer were formed on a substrate to secure the floating stability of the magnetic head over a long period of time. It has been found that when providing the surface of the protective layer with irregularities, it is extremely important that the arrangement of the irregularities has an action capable of quickly removing fine dust adhering to the magnetic head or the magnetic recording medium.

従来技術の特開平１−134720号公報、特開平１−1220
28号公報及び特開昭57−20925号公報のいずれにも、磁
気記録媒体表面の凹凸によつて塵埃除去作用を持たせる
ことは記載されていない。又、塵埃除去作用を有するよ
うな凹凸形状或いは凹凸配置になつていない。Prior art JP-A-1-134720 and JP-A-1-1220
Neither JP-A-28-209 nor JP-A-57-20925 does not disclose that the irregularities on the surface of the magnetic recording medium have a dust removing effect. In addition, the projections and depressions do not have an irregular shape or an irregular arrangement having a dust removing action.

本発明において、磁気記録媒体表面の凸部は、表面平
坦であることが望ましく、特に前ての凸部がほぼ一定の
高さに保たれていることが望ましい。In the present invention, it is desirable that the convex portion on the surface of the magnetic recording medium is flat, and it is particularly desirable that the preceding convex portion be maintained at a substantially constant height.

凸部表面が鋭くとがつていたり或いは平坦な凸部表面
に部分的に鋭い突起があると、磁気ヘツドの浮上安定性
が悪くなり、最悪の場合には磁気ヘツドと磁気記録媒体
が接触することにより磁気記録媒体又は磁気ヘツドの破
損を引き起こす恐れがある。If the surface of the convex portion is sharp and sharp, or if there is a partly sharp protrusion on the surface of the flat convex portion, the floating stability of the magnetic head deteriorates. In the worst case, the magnetic head comes into contact with the magnetic recording medium. This may cause damage to the magnetic recording medium or the magnetic head.

更に凹凸形状の不均一は、磁気ヘツドの浮上安定性に
影響し、たとえ磁気ヘツドと磁気記録媒体とが接触しな
くとも、浮上量が変化しやすくなるという問題点があ
る。したがつて、凸部は規則的に或いはほぼ規則的に配
置されていることが、望ましい。Further, the unevenness of the uneven shape affects the flying stability of the magnetic head, and there is a problem that the flying height is easily changed even if the magnetic head does not contact the magnetic recording medium. Therefore, it is desirable that the convex portions are arranged regularly or almost regularly.

磁気ヘツドの浮上量の変動は、記録再生時の出力変動
を引き起こし、S/N比低下の一因となる。さらに浮上量
の変動によつては、磁気ヘツドの位置決めのためのサー
ボ信号の出力も変動するため、磁気ヘツドの位置決め制
度が低下するという問題点もある。このような磁気ヘツ
ドの浮上量変動による問題点は、磁気デイスク装置の高
記録密度化のために浮上量を小さくするほど、例えば浮
上量を0.2μｍ以下とした場合に特に顕著になる。Fluctuations in the flying height of the magnetic head cause fluctuations in output during recording and reproduction, and contribute to a reduction in the S / N ratio. Further, the output of the servo signal for positioning the magnetic head also fluctuates due to the fluctuation of the flying height, and thus there is a problem that the accuracy of positioning the magnetic head is reduced. Such a problem caused by the fluctuation of the flying height of the magnetic head becomes particularly remarkable as the flying height is reduced to increase the recording density of the magnetic disk device, for example, when the flying height is set to 0.2 μm or less.

凸部表面が平坦であることの目安として、触針式粗さ
計で磁気デイスク表面の円周方向の任意長さ例えば100
μｍの長さの凸部高さ（凸部上面の中心線から隣接する
凹部の中心線までの高さ）を測定したときに、最大凸部
高さの30％を超える高さの突出部を凸部表面に有しない
ことが望ましい。As an indication that the surface of the convex portion is flat, an arbitrary length in the circumferential direction of the surface of the magnetic disk, for example, 100
When measuring the height of a convex part with a length of μm (the height from the center line of the upper surface of the convex part to the center line of the adjacent concave part), the protruding part whose height exceeds 30% of the maximum convex part height It is desirable not to have it on the convex surface.

又、凸部高さがほぼ一定であることを目安として、触
針式粗さ計で任意長さ例えば100μｍの凸部高さを測定
したときに、最大凸部高さの50％以上の高さ凸部につい
て、その高さの平均値に対して30％を超える高さ或いは
30％を下回る高さの凸部が存在しないことが望ましい。In addition, when the height of the convex portion is almost constant, when measuring the height of the convex portion with an arbitrary length, for example, 100 μm using a stylus type roughness meter, the height of the convex portion is 50% or more of the maximum height. The height of the convex portion exceeds 30% of the average of the height or
It is desirable that there is no projection having a height of less than 30%.

磁気デイスクすなわち磁気記録媒体の最も近接してい
る凸部間の間隔は0.2〜50μｍであることが望ましい。It is desirable that the interval between the closest protrusions of the magnetic disk, that is, the magnetic recording medium is 0.2 to 50 μm.

凸部の個数は400個/mm2以上あり、250,000個/mm2を超
えないことが望ましい。The number of protrusions is 400 / mm 2 or more, and desirably does not exceed 250,000 / mm 2 .

凸部がまばらに存在すると空気流の乱れが生じやすく
なり、磁気ヘツドの浮上量変動が起こりやすい。一方、
凸部が密に存在しすぎると塵埃が排出されにくくなる。If the protrusions are sparse, the air flow is likely to be turbulent, and the flying height of the magnetic head is likely to fluctuate. on the other hand,
If the protrusions are too dense, dust is difficult to be discharged.

凸部一個当りの大きさは、磁気デイスクの半径方向の
幅で0.1μｍ以上、10μｍ以下、磁気デイスクの円周方
向の幅で0.5μｍ以上、1mm以下であることが望ましい。It is desirable that the size of each protrusion is 0.1 μm or more and 10 μm or less in the radial width of the magnetic disk, and 0.5 μm or more and 1 mm or less in the circumferential width of the magnetic disk.

半径方向の幅で0.1μｍよりも小さいと塵埃が凸部に
衝突したときに、凸部が強度的に持たず破損したりする
おそれがある。半径方向の凸部の幅が10μｍよりも大き
いと、塵埃が凸部の左右両側に移動しにくくなり、塵埃
をかみ込んでしまうおそれがある。When the width in the radial direction is smaller than 0.1 μm, when the dust collides with the convex portion, the convex portion may not have strength and may be damaged. If the width of the convex portion in the radial direction is larger than 10 μm, it becomes difficult for dust to move to the left and right sides of the convex portion, and there is a possibility that dust may be trapped.

円周方向の凸部の幅が0.5μｍよりも小さいと塵埃が
衝突したときに強度的に弱く、1mmよりも大きいと塵埃
が磁気デイスクの半径方向へ排出されにくくなるおそれ
がある。If the width of the convex portion in the circumferential direction is smaller than 0.5 μm, the strength is weak when dust collides, and if it is larger than 1 mm, the dust may not be easily discharged in the radial direction of the magnetic disk.

凸部の高さは5nmよりも高く、40nmよりも低く、その
範囲内でほぼ一定の高さを有することが望ましい。The height of the projection is higher than 5 nm and lower than 40 nm, and it is desirable that the height be substantially constant within the range.

更に、凸部は磁気デイスク表面の凸部形成領域内にお
いて、一平方ミリメートル当りの凸部総面積の面積比率
が0.1％以上,80％以下になるように備えられていること
が望ましい。Further, it is preferable that the projections are provided so that the area ratio of the total area of the projections per square millimeter is 0.1% or more and 80% or less in the projection forming region on the surface of the magnetic disk.

凸部は、磁気デイスク表面に同一円周上での前記凸部
の面積比率の偏差が一平方ミリメートル当り20％以内に
なれるように規則的に或いはほぼ規則的に配置されてい
ることが望ましい。The projections are preferably arranged regularly or almost regularly on the surface of the magnetic disk such that the deviation of the area ratio of the projections on the same circumference is within 20% per square millimeter.

凸部の分布が著しくばらつくと、磁気ヘツドの浮上量
の変動をきたすおそれがある。If the distribution of the protrusions varies significantly, the flying height of the magnetic head may fluctuate.

塵埃を磁気デイスク表面の凸部間の凹みを利用して磁
気デイスクの外部へ排出しやすくなるために、凹部の底
面もできるだけ平坦面とすることが望ましい。It is desirable that the bottom surface of the concave portion be as flat as possible so that dust can be easily discharged to the outside of the magnetic disk using the concave portion between the convex portions on the magnetic disk surface.

凹部底面が平坦面であることの目安として、触針式粗
さ計で測定した任意長さ、例えば100μｍの長さにおけ
る最大凸部高さの30％を超える高さの凸部を凹み部に有
しないことが望ましい。As an indication that the bottom surface of the concave portion is a flat surface, a convex portion having an arbitrary length measured by a stylus type roughness meter, for example, a convex portion having a height exceeding 30% of the maximum convex portion height at a length of 100 μm is formed in the concave portion. It is desirable not to have.

更に、塵埃を磁気デイスクの外周に向けて排出しやす
くするために、磁気デイスクを回転したときに磁気ヘツ
ドに対し凸部を順次外周側にずれて位置するように配置
することが望ましい。Further, in order to facilitate the discharge of dust toward the outer periphery of the magnetic disk, it is desirable that the convex portions are sequentially shifted to the outer peripheral side with respect to the magnetic head when the magnetic disk is rotated.

本発明によれば、磁気ディスクと磁気ヘツドとの間隙
を0.02〜0.2μｍという今までに例のない微小間隙に設
定し、なお且つ浮上量を安定に維持することができる。According to the present invention, the gap between the magnetic disk and the magnetic head can be set to an unprecedented minute gap of 0.02 to 0.2 μm, and the flying height can be maintained stably.

磁気デイスク表面の凸部は、例えば下記，及び
の方法によつて形成することができる。The projection on the surface of the magnetic disk can be formed, for example, by the following methods.

基板表面に直接又は下地層を有する基板表面に凸部
を形成，磁性層表面に凸部を形成，保護層表面に凸
部を形成。Protrusions are formed directly on the surface of the substrate or on the surface of the substrate having an underlayer, protrusions are formed on the surface of the magnetic layer, and protrusions are formed on the surface of the protective layer.

磁気ヘツドの浮上量を0.02〜0.2μｍと著しく小さく
する場合には、磁性層表面に凹凸があると、それがS/N
比の低下に影響しやすい。従つて、磁気ヘツドの浮上量
をこのように著しく小さくする場合には、磁性層を平坦
面とし、その上の表面保護層に凸部を形成することが望
ましい。When the flying height of the magnetic head is significantly reduced to 0.02 to 0.2 μm, if the surface of the magnetic layer has irregularities, the S / N
It is easy to affect the ratio. Therefore, when the flying height of the magnetic head is to be significantly reduced in this manner, it is desirable to make the magnetic layer a flat surface and form a convex portion on the surface protective layer thereon.

ただし、前記およびのように基板表面あるいは磁
性層表面に凸部を形成した場合でも、形成した凸部の形
状が磁気デイスク表面まで実質的に維持されている場合
には、浮上量の安定維持に対しては十分に効果がある。However, even when the convex portion is formed on the substrate surface or the magnetic layer surface as described above, if the shape of the formed convex portion is substantially maintained up to the surface of the magnetic disk, the flying height can be stably maintained. It is effective enough.

一般の磁気記録媒体の基板はアルミニウム合金円板
と、その上に形成された硬質な下地層より成る。アルミ
ニウム合金の代りにガラス，セラミツクス等硬度の高い
円板材料を用いた場合には下地層が省略されることもあ
る。本発明ではこれらを含めて基板と総称する。基板の
上には磁性層が形成されるが、この両者の間には、密着
性向上や磁性層の特性向上を目的として中間層が形成さ
れる場合もある。磁性層の上には保護層さらには必要に
応じて潤滑層が形成されて、磁気記録媒体が構成され
る。The substrate of a general magnetic recording medium comprises an aluminum alloy disk and a hard underlayer formed thereon. When a disc material having high hardness such as glass or ceramics is used instead of the aluminum alloy, the underlayer may be omitted. In the present invention, these are collectively referred to as a substrate. A magnetic layer is formed on the substrate, and an intermediate layer may be formed between the two for the purpose of improving adhesion and improving characteristics of the magnetic layer. A protective layer and, if necessary, a lubricating layer are formed on the magnetic layer to form a magnetic recording medium.

本発明では、保護層と潤滑層とを含めて表面保護層と
総称する。In the present invention, the term “surface protective layer” includes the protective layer and the lubricating layer.

保護層は、一層だけに限らず、多層に形成してもよ
い。The protective layer is not limited to a single layer, and may be formed in multiple layers.

磁気記録媒体の製造方法としては、下記（イ）〜
（ニ）の方法が好ましい。The following methods (a) to (b) are used for producing a magnetic recording medium.
The method (d) is preferred.

（イ）表面保護層として潤滑層およびその下層の保護層
を備えた磁気記録媒体の製造方法において、前記保護層
表面にマスクパターンを形成し、該保護層をその膜厚の
範囲内で該マスクパターンに従つてエツチングしたの
ち、該マスクパターンを除去することにより、所望の形
状，寸法の凸部を形成し、その後その上に前記潤滑層を
形成する。(A) In a method of manufacturing a magnetic recording medium having a lubricating layer and a lower protective layer as a surface protective layer, a mask pattern is formed on the surface of the protective layer, and the mask is formed within the thickness range of the protective layer. After etching according to the pattern, the mask pattern is removed to form a projection having a desired shape and dimensions, and then the lubricating layer is formed thereon.

（ロ）表面保護層として潤滑層およびその下層の保護層
を備えた磁気記録媒体の製造方法において、前記保護層
表面にリソグラフイー技術によりマスクパターンを形成
し、該保護層をその膜厚の範囲内で該マスクパターンに
従つてエツチングしたのち、該マスクパターンを除去す
ることにより、所望の寸法，形状の凸部を形成し、その
後その上に前記潤滑層を形成する。(B) In a method for manufacturing a magnetic recording medium having a lubricating layer and a lower protective layer as a surface protective layer, a mask pattern is formed on the surface of the protective layer by lithography, and the protective layer is formed in a thickness range. After etching according to the mask pattern, the mask pattern is removed to form a projection having a desired size and shape, and thereafter the lubricating layer is formed thereon.

（ハ）表面保護層として潤滑層およびその下層の保護層
を備えた磁気記録媒体の製造方法において、前記保護層
表面に光，レーザ、又は荷電粒子のビーム照射により硬
化しうる物質を膜状に形成し、該膜面に光，レーザ、又
は荷電粒子のビームを選択的に照射して部分的に硬化さ
せたのち未硬化部を除去することにより、所望の寸法，
形状の凸部を形成し、その後その上に前記潤滑層を形成
する。(C) In a method for producing a magnetic recording medium having a lubricating layer and a lower protective layer as a surface protective layer, a material curable by irradiation of light, laser, or charged particle beam onto the surface of the protective layer is formed into a film. After being formed, the film surface is selectively irradiated with a beam of light, laser, or charged particles to partially cure the film surface, and then the uncured portion is removed to obtain a desired size,
A convex portion having a shape is formed, and then the lubricating layer is formed thereon.

（ニ）表面保護層として潤滑層と二層の保護層を形成し
磁気記録媒体を製造する方法において、前記二層の保護
層を形成したのち表面にマスクパターンを形成し、上層
に当たる第二層目の該保護層を該マスクパターンに従つ
てエツチングしたのち、該マスクパターンを除去するこ
とにより、第一層目の保護層の表面に所望の寸法，形状
の凸部を形成し、その後潤滑層を形成する。(D) In a method of manufacturing a magnetic recording medium by forming a lubricating layer and a two-layer protective layer as a surface protective layer, a mask pattern is formed on the surface after forming the two-layer protective layer, and a second layer corresponding to an upper layer is formed. After the protective layer of the first layer is etched in accordance with the mask pattern, the mask pattern is removed to form a projection having a desired size and shape on the surface of the first protective layer. To form

磁気記録媒体の表面に凹凸を形成した従来技術として
は、先に示した３件の公開特許公報のほかに下記があ
る。As a prior art in which unevenness is formed on the surface of a magnetic recording medium, there are the following in addition to the above three published patent publications.

特開昭55−84045号公報：鏡面基板上に表面粗さ20〜50n
mの保護層を形成する。JP-A-55-84045: Surface roughness of 20 to 50 n on a mirror-finished substrate
An m protective layer is formed.

特開昭58−53026号公報：保護層表面に気体イオンを照
射して面粗度50〜100nmまでエツチングする。JP-A-58-53026: Irradiation of the surface of the protective layer with gaseous ions to etch to a surface roughness of 50 to 100 nm.

特開昭62−22241号公報：保護層にその膜厚を超えない
範囲の凹凸を形成する。JP, 62-22241, A: Unevenness is formed on a protective layer in a range not exceeding its thickness.

特開昭62−231427号公報：保護層表面に同心円状の溝を
形成する。JP-A-62-231427: Concentric grooves are formed on the surface of a protective layer.

特開昭62−222435号公報：金属アルコキシドの硬化膜保
護層にレーザを部分照射して凹凸を形成する。JP-A-62-222435: Irradiation is partially applied to a protective layer of a cured metal alkoxide layer with a laser to form irregularities.

特開昭63−188821号公報：保護層状にシリコンオイル膜
を形成し、部分的にエキシマレーザで硬化してスパイラ
ル状，同心円状或いはスポット状の凹凸を形成する。JP-A-63-188821: A silicon oil film is formed on a protective layer and partially cured by excimer laser to form a spiral, concentric or spot-like unevenness.

特開平１−13227号公報：潤滑層の厚さよりも大きく保
護層の厚さよりも小さい同心円状の保護層を形成する。JP-A-1-13227: A concentric protective layer is formed which is larger than the thickness of the lubricating layer and smaller than the thickness of the protective layer.

特開昭62−107427号公報：炭素を主とする潤滑膜（保護
層）を研磨により粗面化する。JP-A-62-107427: A lubricating film (protective layer) mainly composed of carbon is roughened by polishing.

特開昭63−191312号公報：保護層表面を円周方向に研磨
し、凹凸を形成する。JP-A-63-191312: The surface of the protective layer is polished in the circumferential direction to form irregularities.

特開昭61−120344号公報：磁気ヘツドよりも硬い物質を
含む保護層を形成後、一部をスパツタエツチングして微
小突起を形成する。JP-A-61-120344: After forming a protective layer containing a substance harder than a magnetic head, a part thereof is sputter-etched to form minute projections.

特開昭63−29320号公報：磁性層上に島状に硬い物質を
固定する。JP-A-63-29320: An island-like hard substance is fixed on a magnetic layer.

特開昭61−216114号公報：有機化合物のプラズマ重合保
護層に凹凸を形成する。JP-A-61-216114: Irregularities are formed on a plasma polymerization protective layer of an organic compound.

特開昭62−24423号公報：保護層にその膜厚を超えない
範囲で凹凸を形成する。JP-A-62-24423: Unevenness is formed on a protective layer within a range not exceeding its thickness.

特開昭63−168830号公報：二層構造の保護層表面をプラ
ズマエツチングして凹凸を形成する。JP-A-63-168830: The surface of a protective layer having a two-layer structure is plasma-etched to form irregularities.

特開平１−109527号公報：磁気記録媒体表面の低硬度保
護層にスタンプで凹凸を形成する。Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 1-109527: Unevenness is formed on a low hardness protective layer on the surface of a magnetic recording medium by a stamp.

これらの技術は、いずれも磁気ヘツド支持用スライダ
ーに付着した塵埃を磁気デイスクの外部へ排出するよう
に凹凸を形成することは開示していないし、又、そのよ
うな機能を有していない。None of these techniques disclose forming irregularities so as to discharge dust adhering to the magnetic head supporting slider to the outside of the magnetic disk, and do not have such a function.

〔作用〕[Action]

本発明によれば、第一に、表面保護層の表面に凸部を
備えることにより、凸部分のみが磁気ヘツドと直接対向
し、磁気記録媒体の磁気ヘツドと接触する面積比率を小
さくできるため、磁気ヘツドとの摩擦力や吸着力を低く
することができる。第二に、表面保護層に形成される凸
部を規則的或いはほぼ規則的に配置することにより、磁
気ヘツドの浮上量変動が少なく、磁気記録媒体の全面に
亘つて磁気ヘツドの浮上安定性を確保でき、浮上量変動
による出力変動を防止できる。第三に、平坦に加工され
た基板上に磁性層を形成した場合には、磁性層もほぼ平
坦となり、磁性層の凹凸による記録再生時の出力変動を
小さくすることができる。According to the present invention, first, by providing a convex portion on the surface of the surface protective layer, only the convex portion directly faces the magnetic head, and the area ratio of contact with the magnetic head of the magnetic recording medium can be reduced. The frictional force and the attraction force with the magnetic head can be reduced. Second, by arranging the projections formed on the surface protective layer regularly or almost regularly, the fluctuation of the flying height of the magnetic head is small, and the flying stability of the magnetic head over the entire surface of the magnetic recording medium is improved. As a result, output fluctuation due to flying height fluctuation can be prevented. Third, when a magnetic layer is formed on a flat processed substrate, the magnetic layer is also substantially flat, and output fluctuations during recording and reproduction due to unevenness of the magnetic layer can be reduced.

以上のように本発明によれば、磁気ヘツドとの摩擦力
や吸着力を低くし、出力変動を防止し、磁気ヘツドの安
定浮上を確保できるため、高い記録再生精度を有し、ま
た高記録密度化に伴う磁気ヘツドの低浮上量化に対応で
きる磁気記録媒体及びそれを用いた磁気デイスク装置を
得ることができる。As described above, according to the present invention, the frictional force and the attraction force with the magnetic head are reduced, the output fluctuation is prevented, and the stable floating of the magnetic head can be ensured. It is possible to obtain a magnetic recording medium and a magnetic disk device using the same, which can cope with a low flying height of the magnetic head accompanying the increase in density.

さらに第四に、表面保護層に備えられる凸部を、磁気
ヘツド又は磁気記録媒体に付着した微小塵埃を速やかに
除去しうるように配置することにより、微小塵埃による
磁気ヘツドクラツシユを起こりにくくし、長期にわたつ
て磁気ヘツドの浮上安定性を確保することができる。Fourth, by arranging the protrusions provided on the surface protective layer so that the magnetic head or the fine dust adhering to the magnetic recording medium can be quickly removed, the magnetic head crash due to the fine dust is less likely to occur, and the long-term Over time, the flying stability of the magnetic head can be ensured.

以上のように本発明によれば、長期にわたる磁気ヘツ
ドの安定浮上を確保できるため、高い記録再生精度を有
し、また高記録密度化に伴う磁気ヘツドの低浮上量化に
対応でき、かつ長期の耐久性を有する磁気記録媒体及び
それを用いた磁気デイスク装置を得ることができる。As described above, according to the present invention, stable floating of the magnetic head can be ensured for a long time, so that it has high recording / reproducing accuracy, and can cope with a low flying height of the magnetic head accompanying a high recording density, A durable magnetic recording medium and a magnetic disk device using the same can be obtained.

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明を、具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described specifically.

表面保護層表面に備えられる凸部は、特許請求の範囲
に記載の（イ），（ロ）の要件を具備し、且つ規則的に
配置されていることが望ましい。これにより、磁気記憶
媒体の全面において磁気ヘツドの浮上量を安定に制御で
き、浮上量変動による出力変動を抑えることができる。
特に、少なくとも磁気記録媒体の回転中心に対する同一
円周上の任意の点では、単位面積当り、例えば一平方ミ
リメートル当りの凸部の面積比率がほぼ一定となるよう
にすれば、磁気ヘツドをあるトラツク位置に静止して磁
気記録媒体を回転させた場合に、磁気ヘツドはスライダ
ーの大きさの範囲内で常にほぼ同一の面積比率で凸部に
対することになり、浮上量変動を低く抑えることができ
る。また、凸形成部の全面にわたり、単位面積当り、例
えば一平方ミリメートル当りの凸部の面積比率がほぼ一
定となるようにすれば、磁気記録媒体を回転させて磁気
ヘツドを移動させた場合でも、磁気ヘツドはスライダー
の大きさの範囲内で常にほぼ同一の面積比率で凸部に対
することになり、全面に亘つて浮上量変動を低く抑える
ことができる。ただし、磁気記録媒体の回転によつて
は、内周部と外周部では線速度が異なるため、必要に応
じて内周側から外周側にかけて凸部の面積比率を連続的
に少しずつ変化させてもよい。The protrusions provided on the surface of the surface protective layer preferably satisfy the requirements (a) and (b) described in the claims and are arranged regularly. As a result, the flying height of the magnetic head can be controlled stably over the entire surface of the magnetic storage medium, and output fluctuations due to flying height fluctuations can be suppressed.
In particular, at least at an arbitrary point on the same circumference with respect to the rotation center of the magnetic recording medium, if the area ratio of the convex portion per unit area, for example, per square millimeter is made substantially constant, the magnetic head can be moved to a certain track. When the magnetic recording medium is rotated while stopped at the position, the magnetic head always has the same area ratio with respect to the convex portion within the range of the size of the slider, so that the fluctuation of the flying height can be suppressed low. In addition, if the area ratio of the protrusions per unit area, for example, per square millimeter, is made substantially constant over the entire surface of the protrusion formation portion, even when the magnetic head is moved by rotating the magnetic recording medium, The magnetic head always has the same area ratio with respect to the convex portion within the range of the size of the slider, so that the variation in the flying height can be suppressed over the entire surface. However, depending on the rotation of the magnetic recording medium, the linear velocity differs between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion. Therefore, if necessary, the area ratio of the convex portion is continuously changed little by little from the inner peripheral side to the outer peripheral side. Is also good.

表面保護層表面に備えられる凸部は、少なくとも磁気
記録媒体の同一円周上で不連続とする。これは、磁気ヘ
ツドを静止して磁気記録媒体を回転させた場合、磁気ヘ
ツドのある一点からみると断続的に凸部に対することに
なり、これにより磁気ヘツドに微小塵埃が付着した場合
でも容易に除去されるためである。The protrusions provided on the surface of the surface protective layer are discontinuous at least on the same circumference of the magnetic recording medium. This is because when the magnetic recording medium is rotated while the magnetic head is stopped, the magnetic head intermittently contacts the convex portion from a certain point of the magnetic head. This is because it is removed.

また表面保護層表面に備えられる凸部は、不連続な線
状またはピツト状であつて、凸のない部分の少なくとも
一部が磁気ヘツドの移動領域内において、磁気記録媒体
の内周から外周にかけてなめらかに連続していることが
望ましい。これは、磁気ヘツドと磁気記録媒体の間に微
小塵埃が侵入した場合でも、凸未形成部に沿つて遠心力
により微小塵埃が外周側に除去されやすいためである。The convex portion provided on the surface of the surface protective layer is discontinuous linear or pit-like, and at least a part of the non-convex portion extends from the inner periphery to the outer periphery of the magnetic recording medium within the magnetic head moving region. It is desirable that they are smoothly continuous. This is because, even when minute dust enters between the magnetic head and the magnetic recording medium, the minute dust is easily removed to the outer peripheral side by the centrifugal force along the non-convex portion.

上記のような条件を全て満足する、最も好適な凸部の
配置は以下のようなものである。例えば、磁気記録媒体
の回転中心又は回転中心から意図的にずらしたパターン
中心に対して同心円又はらせん状の円弧の一部よりなる
線状またはピツト状の凸部を全面に亘つて規則的に配置
したものであつて、凸部のない部分の少なくとも一部が
磁気ヘツドの移動領域内において、磁気記録媒体の内周
から外周にかけてなめらかに連続するように凸部が配置
されている。より具体的に例を述べれば、例えば幅２μ
m,ピツチ６μｍで磁気記録媒体の回転中心に対して同心
円状の円弧上に、例えば中心角で0.02度分の円弧状の凸
部を中心角で0.03度おきに磁気デイスクの回転方向に向
つて順次内周側に２μｍずつずらして全面に形成したも
のである。ここに示した凸部の配置パターンの例を模式
的に第４図に示す。この具体例では、磁気デイスク上に
スライダーを置いて磁気デイスクを回転させた場合、凸
部が順次外周側にずれながらスライダー全面に対するた
め、スライダーに付着した塵埃を除去する硬化が大き
い。また凸部７の切り裂き部分が磁気記録媒体（磁気デ
イスク）14の内周から外周にかけて直線的に連続するた
め、磁気ヘツドと磁気記録媒体の間に微小塵埃が侵入し
た場合でも、遠心力により微小塵埃が外周側に除去され
やすい。なお、実際には第４図のような円弧状の凸部が
全面に多数配置された形状をとる。磁気デイスクの半径
50mmの位置における、実縮尺での本具体例の凸部配置を
200μｍ四方の面積について示したものが第９図であ
る。The most preferable arrangement of the convex portions that satisfies all of the above conditions is as follows. For example, linear or pit-shaped convex portions formed of a part of a concentric or spiral arc are regularly arranged over the entire surface with respect to the center of rotation of the magnetic recording medium or the center of the pattern intentionally shifted from the center of rotation. The protrusions are arranged such that at least a part of the portion without the protrusions is smoothly continuous from the inner periphery to the outer periphery of the magnetic recording medium in the magnetic head moving region. More specifically, for example, for example, a width of 2 μm
m, pitch 6 μm, on a concentric arc with respect to the rotation center of the magnetic recording medium, for example, an arc-shaped convex portion having a central angle of 0.02 degrees at a central angle of 0.03 degrees toward the rotational direction of the magnetic disk. It is formed on the entire surface sequentially shifted by 2 μm toward the inner peripheral side. FIG. 4 schematically shows an example of the arrangement pattern of the protrusions shown here. In this specific example, when the slider is placed on the magnetic disk and the magnetic disk is rotated, since the convex portions are sequentially shifted toward the outer peripheral side and extend over the entire surface of the slider, the degree of hardening that removes dust attached to the slider is large. Further, since the cut portion of the convex portion 7 is linearly continuous from the inner circumference to the outer circumference of the magnetic recording medium (magnetic disk) 14, even if minute dust enters between the magnetic head and the magnetic recording medium, the minute part is minute by centrifugal force. Dust is easily removed to the outer peripheral side. It should be noted that, as shown in FIG. 4, the shape is such that a large number of arc-shaped protrusions are arranged on the entire surface. Magnetic disk radius
At the position of 50 mm, the projection arrangement of this specific example at the actual scale is
FIG. 9 shows an area of 200 μm square.

この例では、一平方ミリメートル当りの凸部の面積比
率は磁気デイスク全面に亘って薬22％であり、一平方ミ
リメートル当りの凸部の個数は、半径50mmの位置で約6,
500個である。In this example, the area ratio of the protrusions per square millimeter is 22% of the drug over the entire surface of the magnetic disk, and the number of protrusions per square millimeter is about 6,
500 pieces.

本具体例の変形例としては凸部の大きさやピツチを変
えた第５図の配置や、凸部の配置をななめにずらした第
10図のような例がある。As a modified example of this specific example, the arrangement shown in FIG. 5 in which the size and pitch of the convex portions are changed, and the arrangement in which the arrangement of the convex portions is shifted
There is an example as shown in Figure 10.

また他の例としては、規則的な格子模様の頂点に対応
する部分にピツト状の凸部を全面に亘つて規則的に配置
したものが好適である。より具体的に例を述べれば、例
えば４μｍピツチの四角格子の交点に対応する部分に、
例えば直径２μｍのピツト状の凸部を全面に配置したも
のである。ここで示した凸部の配置パターンの例を模式
的に第６図に示す。なお、実際には第６図のようなピツ
ト状の凸部７が全面に多数配置された形状をとる。ここ
で用いられる格子模様としては、上記したような四角格
子の他に三角格子，六角格子等規則的に描かれるもので
あれば良い。このように凸部を配置した場合には、スラ
イダーを静止して磁気記録媒体を回転させた場合、凸部
が断続的にスライダー全面に対するため、スライダーに
付着した微小塵埃を除去する効果が大きい。またこの例
の場合には、凸部間のすきまは、磁気記録媒体の内周か
ら外周にかけて直線的に連続するため、磁気ヘツドと磁
気記録媒体の間に微小塵埃が侵入した場合でも、遠心力
により微小塵埃が外周側に除去されやすい。この例で
は、一平方ミリメートル当りの凸部の面積比率は磁気デ
イスク全面に亘つて約20％であり、一平方ミリメートル
当りの凸部の個数は磁気デイスク全面に亘つて62,500個
である。As another example, it is preferable that pit-shaped protrusions are regularly arranged over the entire surface at portions corresponding to the vertices of the regular lattice pattern. More specifically, for example, at a portion corresponding to an intersection of a square lattice of 4 μm pitch,
For example, a pit-shaped protrusion having a diameter of 2 μm is arranged on the entire surface. FIG. 6 schematically shows an example of the arrangement pattern of the projections shown here. In practice, a pit-like projection 7 as shown in FIG. The lattice pattern used here may be any pattern that is regularly drawn such as a triangular lattice, a hexagonal lattice, etc. in addition to the square lattice described above. When the magnetic recording medium is rotated while the slider is stationary when the convex portions are arranged as described above, the convex portions intermittently cover the entire surface of the slider, so that there is a great effect of removing minute dust attached to the slider. In this case, the gap between the convex portions is linearly continuous from the inner circumference to the outer circumference of the magnetic recording medium. Therefore, even when minute dust enters between the magnetic head and the magnetic recording medium, the centrifugal force is applied. Thereby, minute dust is easily removed to the outer peripheral side. In this example, the area ratio of the protrusions per square millimeter is about 20% over the entire surface of the magnetic disk, and the number of protrusions per square millimeter is 62,500 over the entire surface of the magnetic disk.

なお、上記以外でも、磁気ヘツドに付着した微小塵埃
を除去する作用及び磁気記録媒体と磁気ヘツドの間に介
在する微小塵埃を磁気記録媒体の外周方向に排除する作
用を有するように配置された凸部であれば、他の配置で
もかまわない。In addition, in addition to the above, a convex arranged so as to have an action of removing minute dust attached to the magnetic head and an action of removing minute dust interposed between the magnetic recording medium and the magnetic head in the outer peripheral direction of the magnetic recording medium. If it is a part, other arrangements are possible.

表面保護層表面に具備される凸部の高さは、5nm以
上、40nm以下の範囲でほぼ一定であることが望ましい。
凸部の高さが5nmよりも低くなると磁気ヘツドと磁気記
録媒体の摩擦力及び吸着力低減の効果が小さくなつてく
る。凸部の高さが40nmよりも高くなると記録再生時に磁
気ヘツドと凸部間の凹部の磁性層との距離が大きくなる
ため出力が低下し、また磁気ヘツドの浮上安定性が損な
われてくる。また、凸部の高さが不均一であると高い部
分が突起となるため浮上安定性に対して好ましくない。It is desirable that the height of the convex portion provided on the surface of the surface protective layer is substantially constant in the range of 5 nm or more and 40 nm or less.
If the height of the projections is less than 5 nm, the effect of reducing the frictional force and the attraction force between the magnetic head and the magnetic recording medium decreases. If the height of the convex portion is higher than 40 nm, the output will decrease because the distance between the magnetic head and the magnetic layer in the concave portion between the convex portions at the time of recording and reproduction decreases, and the flying stability of the magnetic head is impaired. Further, if the height of the convex portion is not uniform, the high portion becomes a projection, which is not preferable for the floating stability.

表面保護層表面に具備される凸部の半径方向での幅は
0.1μｍ以上、10μｍ以下、好ましくは0.3μｍ以上、３
μｍ以下が望ましい。凸部の幅が0.3μｍよりも小さく
なると凸部形成時の精度が得られにくくなるおそれがあ
る。凸部の幅が３μｍよりも大きくなると、磁気ヘツド
と磁気記録媒体の摩擦力及び吸着力低減の効果が小さく
なつてくるおそれがある。The width in the radial direction of the protrusion provided on the surface protective layer surface is
0.1 μm or more, 10 μm or less, preferably 0.3 μm or more, 3
μm or less is desirable. If the width of the convex portion is smaller than 0.3 μm, accuracy in forming the convex portion may not be easily obtained. If the width of the projection is larger than 3 μm, the effect of reducing the frictional force and the attraction force between the magnetic head and the magnetic recording medium may be reduced.

表面保護層表面に具備される凸部の面積比率は、0.1
％以上、80％以下、好ましくは0.5％以上、70％以下が
望ましい。凸部の面積比率が0.5％よりも小さいと、僅
かな面積で磁気ヘツドを支えることになるため凸部の部
分が摩擦しやすく、長期にわたる摺動耐久性が低下す
る。また凸部の面積比率が小さくなるとヘツドの浮上安
定性が損なわれる恐れがある。凸部の面積比率が70％よ
りも大になると、磁気ヘツドと磁気記録媒体の摩擦力及
び吸着力低減の効果が小さくなつてくる。The area ratio of the convex portions provided on the surface protective layer surface is 0.1%.
% Or more and 80% or less, preferably 0.5% or more and 70% or less. If the area ratio of the protrusion is smaller than 0.5%, the magnetic head is supported by a small area, so that the protrusion is easily rubbed, and the long-term sliding durability is reduced. In addition, when the area ratio of the projections is reduced, the flying stability of the head may be impaired. When the area ratio of the protrusions is larger than 70%, the effect of reducing the frictional force and the attraction force between the magnetic head and the magnetic recording medium decreases.

表面保護層の凸部が形成される範囲は、磁気記録媒体
の全面としてもよいが、磁気記録媒体が組み込まれる磁
気デイスク装置の仕様により、コンタクト・スタート・
ストツプ（CSS）ゾーンが専用に設けられる場合には、
その部分のみに形成してもよい。その理由は、これまで
述べてきたように磁気ヘツドとの摩擦力や吸着力、微小
塵埃の影響等は、主に磁気デイスク装置の起動，停止時
に問題となるもので、磁気ヘツドが安定に浮上している
状態では凸部を形成する効果が比較的少ないためであ
る。The area in which the convex portion of the surface protective layer is formed may be the entire surface of the magnetic recording medium. However, depending on the specifications of the magnetic disk device in which the magnetic recording medium is incorporated, contact start / stop may be performed.
If the Stop (CSS) zone is dedicated,
It may be formed only in that part. The reason for this is that, as described above, the frictional force and the attraction force with the magnetic head, and the effects of minute dust, etc. are mainly problems when starting and stopping the magnetic disk device, and the magnetic head stably floats. This is because the effect of forming the protruding portion is relatively small in the state in which it is performed.

保護層の材料は、耐摩耗性の観点から硬度の高いもの
が望ましい。このような材料としては、例えばAl,Si,T
i,V,Cr,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,W等の金属の酸化物，窒化物，
炭化物、及びC,BN等を単独又は二種以上複合にしたもの
が望ましい。また磁気デイスク装置としてみた場合に
は、磁気記録媒体の保護層材料の硬度は、組み合わされ
る磁気ヘツドのスライダー材料の硬度に比べて同等以上
であることが望ましい。これは、摺動によつて摩耗が発
生した場合、保護層が摩耗すると磁気記憶媒体の特性劣
化を起こしやすいが、スライダー側の微小な摩耗は磁気
ヘツドの特性には比較的影響しにくいためである。その
ような組み合わせの具体例としては、例えば上記の保護
層材料とMn−Znフエライトスライダーの組み合わせ等が
考えられる。It is desirable that the material of the protective layer has high hardness from the viewpoint of wear resistance. Such materials include, for example, Al, Si, T
oxides, nitrides of metals such as i, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, etc.
It is desirable to use one or a combination of two or more of carbide, C, and BN. When viewed as a magnetic disk device, it is desirable that the hardness of the protective layer material of the magnetic recording medium is equal to or higher than the hardness of the slider material of the magnetic head to be combined. This is because, when abrasion occurs due to sliding, when the protective layer is worn, the characteristics of the magnetic storage medium are liable to deteriorate, but the slight abrasion on the slider side has relatively little effect on the characteristics of the magnetic head. is there. As a specific example of such a combination, for example, a combination of the above protective layer material and a Mn-Zn ferrite slider can be considered.

本発明による磁気記録媒体を形成する具体的な方法は
以下の通りである。鏡面加工された非磁性円板状の基板
に磁性層及び保護層を形成する。基板と磁性層のあいだ
には中間層を形成する場合もある。保護層の表面に凸部
を形成する方法としては、保護層表面に所望のマスクパ
ターンを例えばリングラフイー技術により形成した後、
エツチングを行ない、マスクパターンで覆われなかつた
部分のみを選択的に均一エツチングして保護層の膜厚以
下で一定深さまで除いた後、マスクパターンを除去する
方法が好ましい。ここで用いられるエツチング方法は、
イオンミリングや反応性プラズマ処理等のドライエツチ
ングや湿式のエツチング等の中から保護層の材料に応じ
て選択される。また、ここで用いられる保護層は、均一
な一層構造として上層のみがエツチングされる条件で上
記のパターン形成を行えば、一定膜厚の下層保護層上に
一定高さの上層保護層材料よりなる凸部を形成すること
ができる。The specific method for forming the magnetic recording medium according to the present invention is as follows. A magnetic layer and a protective layer are formed on a mirror-finished nonmagnetic disk-shaped substrate. An intermediate layer may be formed between the substrate and the magnetic layer. As a method of forming a convex portion on the surface of the protective layer, after forming a desired mask pattern on the surface of the protective layer by, for example, a linguistic technique,
It is preferable to perform etching, selectively and uniformly etch only portions not covered with the mask pattern to remove the mask pattern to a certain depth or less, and then remove the mask pattern. The etching method used here is
It is selected from dry etching such as ion milling and reactive plasma treatment, wet etching, and the like according to the material of the protective layer. Further, the protective layer used here is made of a material of the upper protective layer having a constant height on the lower protective layer having a constant thickness if the above-mentioned pattern formation is performed under the condition that only the upper layer is etched as a uniform single layer structure. Protrusions can be formed.

凸部を形成する他の方法としては、保護層の表面に
光，レーザ又は荷電粒子のビーム照射により硬化しうる
物質を膜状に形成し、この膜面に光，レーザ又は荷電粒
子のビームを所望の位置に規則的に照射して部分的に硬
化させた後、未硬化部を除去することによつても同様に
形成できる。As another method of forming the convex portion, a material curable by irradiation of a beam of light, laser or charged particles is formed in a film shape on the surface of the protective layer, and a beam of light, laser or charged particles is formed on the film surface. It can also be formed in the same manner by regularly irradiating a desired position to partially cure and then removing the uncured portion.

なお、上記方法以外でも、最終的に得られる凸部の形
状が所望のものであれば、他の方法を用いても構わな
い。例えば、鏡面加工された非磁性円板上に磁性層及び
保護層を形成した円板上に、光分解性の有機金属ガスを
導入して、レーザビームを円板上に周期的且つ規則的に
照射して、選択的に金属を析出させる方法（レーザCVD
法）等によつても同様な形状の凸部を形成することがで
きる。In addition, other than the above method, other methods may be used as long as the shape of the finally obtained convex portion is desired. For example, a photodegradable organometallic gas is introduced on a disk on which a magnetic layer and a protective layer are formed on a mirror-finished non-magnetic disk, and a laser beam is periodically and regularly irradiated on the disk. Irradiation to selectively deposit metal (Laser CVD
A convex portion having a similar shape can be formed by the method.

上記のように表面に凸部を形成した保護層の上には、
必要に応じて潤滑層が形成されて磁気記録媒体となる。On the protective layer having the convex portions formed on the surface as described above,
A lubricating layer is formed as needed to provide a magnetic recording medium.

なお、上記製造方法では、保護層の表面に凸部を形成
する方法を示したが、同様な方法によつて例えば鏡面加
工された基板上に凸部を形成した後、中間層，磁性層，
保護層および潤滑層を各々一定厚さで形成すれば、基板
上に形成した凸部形状は磁気デイスク表面まで実質的に
維持されるため、同様な表面形状を有する磁気記録媒体
を得ることができる。In the above-described manufacturing method, a method of forming a convex portion on the surface of the protective layer has been described. However, after forming a convex portion on a mirror-finished substrate by a similar method, for example, an intermediate layer, a magnetic layer,
If the protective layer and the lubricating layer are each formed to have a constant thickness, the shape of the convex portion formed on the substrate is substantially maintained up to the surface of the magnetic disk, so that a magnetic recording medium having a similar surface shape can be obtained. .

第８図は、本発明の一実施例による磁気デイスク装置
の構成を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing the configuration of a magnetic disk device according to one embodiment of the present invention.

磁気デイスク装置は、第８図に示す符号11〜18の構成
要素及びボイスコイルモータ制御回路を含む。The magnetic disk device includes components 11 to 18 shown in FIG. 8 and a voice coil motor control circuit.

符号11はベース、符号12はスピンドルである。 Reference numeral 11 denotes a base, and reference numeral 12 denotes a spindle.

一つのスピンドルに図のように複数枚の円板板状の磁
気デイスク14が取り付けられる。A plurality of disk-shaped magnetic disks 14 are attached to one spindle as shown in the figure.

第８図では、１つのスピンドルに五枚の磁気デイスク
14を設けた例が示されているが、五枚に限るものではな
い。In FIG. 8, five magnetic disks are mounted on one spindle.
Although an example with 14 is shown, the number is not limited to five.

また、このように一つのスピンドル12に複数枚の磁気
デイスク14を設けたものを複数個設置してもよい。A plurality of magnetic disks 14 provided on one spindle 12 may be provided.

符号13はスピンドル12を駆動し、磁気デイスクを回転
するためのモータすなわち磁気デイスク回転制御手段で
ある。Reference numeral 13 denotes a motor for driving the spindle 12 to rotate the magnetic disk, that is, magnetic disk rotation control means.

符号15はデータ用磁気ヘツドを示し、符号15aは位置
決め用磁気ヘツドを示している。Reference numeral 15 indicates a magnetic head for data, and reference numeral 15a indicates a magnetic head for positioning.

符号16はキヤリツジ、符号17はボイスコイル、符号18
はマグネツトである。Reference numeral 16 denotes a carriage, reference numeral 17 denotes a voice coil, reference numeral 18
Is a magnet.

ボイスコイル17とマグネツト18によりボイスコイルモ
ータが構成される。The voice coil 17 and the magnet 18 constitute a voice coil motor.

そして符号16,符号17,符号18の要素によりヘツドの位
置決めがなされる。従つて符号16,17,18を含めて磁気ヘ
ツド位置決め機構と総称する。The head is positioned by the elements denoted by reference numerals 16, 17, and 18. Therefore, the magnetic head positioning mechanism including the reference numerals 16, 17, and 18 is collectively referred to.

ボイスコイル17と磁気ヘツド15及び15aとは、ボイス
コイルモータ制御回路を介して接続されている。The voice coil 17 and the magnetic heads 15 and 15a are connected via a voice coil motor control circuit.

第８図において、上位装置とは例えばコンピユータシ
ステムを示し、磁気デイスク装置に記録された情報を処
理する機能を有するものである。その記録再生方法は、
操作開始前には磁気ヘツドと磁気記録媒体が接触状態で
あるが、磁気記録媒体を回転させることにより磁気ヘツ
ドと磁気記録媒体の間に空間を作り、この状態で記録再
生を行なう。操作終了時には磁気記録媒体の回転が止ま
り、磁気ヘツドと磁気記録媒体は再び接触状態となる。
これをコンタクト・スタート・ストツプ方式、以下CSS
方式と称する。In FIG. 8, the host device is, for example, a computer system and has a function of processing information recorded on the magnetic disk device. The recording and playback method is
Before the start of the operation, the magnetic head and the magnetic recording medium are in contact with each other. By rotating the magnetic recording medium, a space is created between the magnetic head and the magnetic recording medium, and recording and reproduction are performed in this state. At the end of the operation, the rotation of the magnetic recording medium stops, and the magnetic head and the magnetic recording medium come into contact again.
This is called the contact start stop method, hereafter CSS
It is called a system.

第９図と第10図および第11図は、磁気記録媒体表面の
平面図であり、凸部の配置の例を示している。第９図お
よび第10図は本発明であり、第11図は比較例である。FIGS. 9, 10, and 11 are plan views of the surface of the magnetic recording medium, showing examples of the arrangement of the protrusions. 9 and 10 show the present invention, and FIG. 11 shows a comparative example.

正方形の枠は磁気記録媒体表面の200μｍ四方の範囲
を示している。The square frame indicates a 200 μm square area on the surface of the magnetic recording medium.

第11図の比較例は、円周方向に連続した凸部を形成し
た例を示している。The comparative example in FIG. 11 shows an example in which convex portions continuous in the circumferential direction are formed.

以下より具体的な実施例により、本発明をさらに詳細
に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to more specific examples.

＜実施例１＞ 外径5.25インチのアルミニウム合金円板の表面に無電
解めつき法によりNi−Ｐ下地膜を15μｍ厚さに形成し、
下地膜を10μｍまで研磨して、触針式表面粗さ計で測定
した平均粗さ（Ra）3nm以下、最大粗さ（Pmax）7nm以下
になるように鏡面加工した。<Example 1> A Ni-P base film was formed to a thickness of 15 µm on a surface of an aluminum alloy disk having an outer diameter of 5.25 inches by an electroless plating method.
The base film was polished to 10 μm and mirror-finished to have an average roughness (Ra) of 3 nm or less and a maximum roughness (P max ) of 7 nm or less measured by a stylus type surface roughness meter.

こうして得られた基板上に、スパツタ法によりCr中間
層を0.2μｍ厚さ、Co−Ni磁性層を40nm厚さ、Ｃ保護層
を20nm厚さに形成した。Ｃ保護層の表面にポジ型レジス
ト（東京応化、OFPR800）を約0.5μｍ厚さに塗布し、第
４図に示した形状で凸部分のみが光が透過しないように
形成したフオトマスクを密着させて露光した後現像し、
Ｃ保護層の表面に、第４図に示した形状で凸部分のみレ
ジストが残つているマスクパターンを形成した。On the substrate thus obtained, a Cr intermediate layer was formed to a thickness of 0.2 μm, a Co—Ni magnetic layer was formed to a thickness of 40 nm, and a C protective layer was formed to a thickness of 20 nm by a spatter method. A positive resist (Tokyo Ohka, OFPR800) is applied to the surface of the C protective layer to a thickness of about 0.5 μm, and a photomask formed in the shape shown in FIG. After exposure, develop
On the surface of the C protective layer, a mask pattern was formed having the shape shown in FIG.

この円板を、イオンミリング装置を用いてアルゴンイ
オンビームを30秒間全面に照射して、マスクパターンを
形成していない部分を均一にエツチングした後、レジス
ト除去液によりマスクパターンを除去して、保護層表面
に規則的に配置された凸部を形成した。The disk is irradiated with an argon ion beam over the entire surface for 30 seconds using an ion milling device to uniformly etch portions where no mask pattern is formed, and then the mask pattern is removed with a resist removing solution to protect the disk. Protrusions regularly arranged were formed on the layer surface.

こうして得られた円板の表面に、潤滑層としてパーフ
ルオロポリエーテル系の潤滑剤を約5nm厚さに塗布して
磁気記録媒体を作製した。形成した凸部の高さを、磁気
記録媒体表面の任意の10点で、走査型トンネル顕微鏡
（Scanning Tunne−ling Microscope,STM）及び触針式
表面粗さ計により測定した結果、いずれの測定点でも凸
部の高さは10nmであつた。オージエ電子分光法により得
られた磁気記録媒体の表面を測定したところ、Co及びNi
は検出されず、磁性層の露出部分のないことを確認し
た。凸部の大きさ及び凸部間の間隔は、第４図に示すと
おりである。A perfluoropolyether-based lubricant was applied as a lubricating layer to a thickness of about 5 nm on the surface of the disk thus obtained to produce a magnetic recording medium. As a result of measuring the height of the formed protrusions at arbitrary 10 points on the surface of the magnetic recording medium using a scanning tunneling microscope (STM) and a stylus type surface roughness meter, any of the measurement points was obtained. However, the height of the projection was 10 nm. When the surface of the magnetic recording medium obtained by Auger electron spectroscopy was measured, Co and Ni were measured.
Was not detected, and it was confirmed that there was no exposed portion of the magnetic layer. The size of the projections and the spacing between the projections are as shown in FIG.

本実施例の磁気記録媒体の、半径方向での断面構造の
模式図を第１図に示す。第１図において、符号１はアル
ミニウム合金円板、２は下地層、３は中間層、４は磁性
層、５は保護層、６は潤滑層を示す。円板１と下地層２
によつて基板が構成される。なお本実施例では、凸部の
面積比率は全面にわたり約22％である。FIG. 1 shows a schematic diagram of a cross-sectional structure in the radial direction of the magnetic recording medium of the present embodiment. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an aluminum alloy disk, 2 denotes an underlayer, 3 denotes an intermediate layer, 4 denotes a magnetic layer, 5 denotes a protective layer, and 6 denotes a lubricating layer. Disk 1 and base layer 2
Constitutes a substrate. In this embodiment, the area ratio of the convex portion is about 22% over the entire surface.

＜実施例２＞ フオストマスクとして第５図に示した形状で凸部のみ
光が透過しないように形成した物を用い、Ｃ保護層の厚
さを30nmとし、凸部を形成するためのイオンミリングに
よるエツチング時間を１分としたほかは、実施例１と同
様な方法で磁気記録媒体を作製した。走査型トンネル顕
微鏡及び触針式表面粗さ計により磁気記録媒体表面の任
意の10点で凸部の高さを測定した結果、いずれの測定点
でも凸部の高さは20nmであつた。凸部の大きさ及び凸部
間の間隔は第５図に示すとおりである。第７図に本実施
例による磁気記録媒体表面の凸形成部を、半径方向で触
針式表面粗さ計により測定した結果の一例を示す。なお
本実施例では、凸部の面積比率は全面にわたり約19％で
ある。<Example 2> A thing as shown in Fig. 5 was used as the first mask, which was formed so that only the convex portions did not transmit light, the thickness of the C protective layer was 30 nm, and ion milling was performed to form the convex portions. A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the etching time was 1 minute. As a result of measuring the height of the protrusion at any 10 points on the surface of the magnetic recording medium using a scanning tunneling microscope and a stylus type surface roughness meter, the height of the protrusion was 20 nm at any measurement point. The size of the projections and the spacing between the projections are as shown in FIG. FIG. 7 shows an example of the results obtained by measuring the protrusions on the surface of the magnetic recording medium according to the present embodiment in the radial direction with a stylus type surface roughness meter. In this embodiment, the area ratio of the convex portion is about 19% over the entire surface.

＜実施例３＞ フオトマスクとして、第６図に示した形状で凸部分の
み光が透過しないように形成した物を用いた他は実施例
１と同様な方法で磁気記録媒体を作製した。STM及び触
針式表面粗さ計により磁気記憶媒体表面の任意の10点で
丘の高さを測定した結果、いずれの測定点でも、凸部の
高さは10nmであつた。凸部の大きさ及び凸部間の間隔は
第６図に示すとおりである。<Example 3> A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that a photomask having a shape shown in Fig. 6 and formed so that light was not transmitted through only the convex portions was used. As a result of measuring the height of the hill at any 10 points on the surface of the magnetic storage medium using the STM and the stylus type surface roughness meter, the height of the projection was 10 nm at any of the measurement points. The size of the projections and the spacing between the projections are as shown in FIG.

本実施例の磁気記録媒体の、半径方向での断面構造の
模式図を第２図に示す。なお本実施例では、凸部の面積
比率は全面にわたり約20％である。FIG. 2 shows a schematic diagram of the cross-sectional structure in the radial direction of the magnetic recording medium of this embodiment. In this embodiment, the area ratio of the convex portion is about 20% over the entire surface.

＜実施例４＞ 保護層としてSiCをスパツタ法で20nm厚さに形成し、
凸部を形成するためのイオンミリングによるエツチング
時間を20秒としたほかは、実施例１と同様な方法で磁気
記録媒体を作製した。触針式表面粗さ計により磁気記録
媒体表面の任意の10点で凸部の高さを測定した結果、い
ずれの測定点でも凸部の高さは10nmであつた。<Example 4> SiC was formed to a thickness of 20 nm as a protective layer by a sputter method,
A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the etching time by ion milling for forming the convex portions was set to 20 seconds. As a result of measuring the height of the protrusion at any 10 points on the surface of the magnetic recording medium by using a stylus type surface roughness meter, the height of the protrusion was 10 nm at any measurement point.

＜実施例５＞ 保護層として、メタン−水素混合ガスを原料としたプ
ラズマCVD法で20nm厚さに形成したＣ膜（いわゆるｉ−
Ｃ）を用い、凸部を形成するためのイオンミリングによ
るエツチング時間を１分としたほかは、実施例１と同様
な方法で磁気記録媒体を作製した。触針式表面粗さ計に
より磁気記録媒体表面の任意の10点で凸部の高さを測定
した結果、いずれの測定点でも凸部の高さは10nmであつ
た。<Example 5> As a protective layer, a C film (so-called i-film) formed to a thickness of 20 nm by a plasma CVD method using a methane-hydrogen mixed gas as a raw material.
A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the etching time by ion milling for forming the projections was 1 minute using C). As a result of measuring the height of the protrusion at any 10 points on the surface of the magnetic recording medium by using a stylus type surface roughness meter, the height of the protrusion was 10 nm at any measurement point.

＜実施例６＞ 実施例１と同様の基板上に、スパツタ法によりCr中間
層を0.2μｍ厚さ、Co−Ni磁性層を40nm厚さ、第一保護
層としてSiCを10nm厚さ、第二保護層としてＣを10nm厚
さに形成した。Ｃ第二保護層の表面に実施例１と同様の
方法でマスクパターンを形成し、酸素アツシヤー装置を
用いて酸素プラズマ１分間さらした後、レジスト除去液
によりマスクパターンを除去した。得られた円板表面を
分析したところ、マスクパターンのなかつた部分では、
Ｃは酸素プラズマのエツチングにより消失してSiCが露
出し、マスクパターンの部分のみにＣが凸状に残存して
いることがわかつた。触針式表面粗さ計により円板表面
の任意の10点で凸部の高さを測定した結果、いずれの測
定点でも凸部の高さは10nmであつたことから、酸素プラ
ズマによつてSiCはほとんどエツチングされていないこ
とがわかる。Example 6 On the same substrate as in Example 1, a Cr intermediate layer was 0.2 μm thick, a Co—Ni magnetic layer was 40 nm thick, SiC was 10 nm thick as a first protective layer, and a second C was formed to a thickness of 10 nm as a protective layer. C. A mask pattern was formed on the surface of the second protective layer in the same manner as in Example 1, and exposed to oxygen plasma for 1 minute using an oxygen asher apparatus, and then the mask pattern was removed with a resist removing solution. When the obtained disk surface was analyzed,
It was found that C disappeared due to the etching of the oxygen plasma to expose SiC, and that C remained in the mask pattern only in a convex shape. The height of the protrusions was measured at any 10 points on the disk surface using a stylus-type surface roughness meter, and the height of the protrusions was 10 nm at any measurement point. It turns out that SiC is hardly etched.

こうして得られた円板の表面に、潤滑層としてパーフ
ルオロポリエーテル系の潤滑剤を約5nm厚さに塗布して
磁気記録媒体を作製した。A perfluoropolyether-based lubricant was applied as a lubricating layer to a thickness of about 5 nm on the surface of the disk thus obtained to produce a magnetic recording medium.

＜実施例７＞ 実施例１と同様の基板上に、スパツタ法によりCr中間
層を0.2μｍ厚さ、Co−Ni磁性層を40nm厚さ、保護層と
してSiCを10nm厚さに形成した。SiC保護層の表面に、テ
トラヒドロキシシランの溶液を約15nm厚さにスピン塗布
した後、スポツト径２μｍに集光したArレーザを、第４
図に示したパターンで凸部分のみに選択的に照射して、
照射部のテトラヒドロキシシランをSiC2に変化させて硬
化した後、未硬化部のテトラヒドロキシシランを洗浄除
去して、第４図に示すように保護層表面に規則的に配置
された凸部を形成した。Example 7 On the same substrate as in Example 1, a Cr intermediate layer was formed to a thickness of 0.2 μm, a Co—Ni magnetic layer was formed to a thickness of 40 nm, and SiC was formed to a thickness of 10 nm as a protective layer by a spatter method. After spin-coating a solution of tetrahydroxysilane to a thickness of about 15 nm on the surface of the SiC protective layer, an Ar laser focused to a spot diameter of 2 μm is applied to the fourth laser.
By selectively irradiating only the convex part with the pattern shown in the figure,
After changing the irradiated portion of the tetrahydroxysilane to SiC 2 and curing, the uncured portion of the tetrahydroxysilane was washed away to remove the convex portions regularly arranged on the surface of the protective layer as shown in FIG. Formed.

こうして得られた円板の表面に、潤滑層としてパーフ
ルオロポリエーテル系の潤滑剤を約5nm塗布して磁気記
録媒体を作製した。形成した凸部の高さを、磁気記録媒
体表面の任意の10点で、触針式表面粗さ系により測定し
た結果、いずれの測定点でも凸部の高さは19nmであつ
た。On the surface of the disk thus obtained, a lubricant of about 5 nm was applied as a lubricating layer to form a magnetic recording medium. The height of the formed protrusions was measured at any 10 points on the surface of the magnetic recording medium by a stylus type surface roughness system. As a result, the height of the protrusions was 19 nm at any measurement point.

なお本実施例では、凸部の面積比率は全面にわたり約
22％である。In this embodiment, the area ratio of the convex portion is approximately
22%.

＜実施例８＞ 基板として、触針式表面粗さ計で測定した平均粗さ
（Ra）2nm以下、最大粗さ（Rmax）5nm以下になるように
鏡面加工した外径5.25インチの強化ガラス円板を用いた
ほかは、実施例１と同様な方法で磁気記録媒体を作製し
た。触針式表面粗さ計により磁気記録媒体表面の任意の
10点で凸部の高さを測定した結果、いずれの測定点でも
凸部の高さは10nmであつた。<Example 8> As a substrate, a tempered glass having an outer diameter of 5.25 inches, which was mirror-finished to have an average roughness (Ra) of 2 nm or less and a maximum roughness ( Rmax ) of 5 nm or less measured by a stylus type surface roughness meter. A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a disk was used. Any surface of the magnetic recording medium can be
As a result of measuring the height of the protrusion at 10 points, the height of the protrusion was 10 nm at any of the measurement points.

＜実施例９＞ 実施例１と同様の基板上に、直接実施例１と同様の方
法でマスクパターンを形成し、イオンミリング装置によ
りアルゴンイオンビームを10秒間全面に照射した後マス
クパターンを除去して、基板表面に規則的に配置された
凸部を形成した。触針式表面粗さ計により基板表面の任
意の10点で凸部の高さを測定した結果、いずれの測定点
でも凸部の高さは10nmであつた。<Example 9> A mask pattern was formed directly on the same substrate as in Example 1 by the same method as in Example 1, and the entire surface was irradiated with an argon ion beam for 10 seconds by an ion milling device, and then the mask pattern was removed. Thus, regularly arranged projections were formed on the substrate surface. As a result of measuring the height of the protrusion at any 10 points on the substrate surface using a stylus type surface roughness meter, the height of the protrusion was 10 nm at any measurement point.

この基板上に実施例１と同様な方法で中間層，磁性
層，保護層をスパツタ法で形成し、保護層の上にそのま
ま潤滑層としてパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤を
約5nm厚さに塗布して磁気記録媒体を作製した。触針式
表面粗さ計により磁気記録媒体表面の任意の10点で凸部
の高さを測定した結果、いずれの測定点でも凸部の高さ
は10nmであり、基板上に形成した凸部慶応が磁気記録媒
体表面まで実質的に維持されていることを確認した。On this substrate, an intermediate layer, a magnetic layer, and a protective layer are formed by the spatter method in the same manner as in Example 1, and a perfluoropolyether-based lubricant having a thickness of about 5 nm is directly formed on the protective layer as a lubricating layer. It was applied to produce a magnetic recording medium. As a result of measuring the height of the protrusion at any 10 points on the surface of the magnetic recording medium using a stylus type surface roughness meter, the height of the protrusion was 10 nm at any measurement point, and the protrusion formed on the substrate was It was confirmed that Keio was substantially maintained up to the surface of the magnetic recording medium.

本実施例の磁気記録媒体の、半径方向での断面構造の
模式図を第３図に示す。FIG. 3 shows a schematic diagram of the cross-sectional structure in the radial direction of the magnetic recording medium of this embodiment.

＜比較例１＞ 実施例１と同様の基板上に、実施例１と同様な方法で
中間層，磁性層，保護層をスパツタ法で形成し、保護層
の上にそのまま潤滑層としてパーフルオロポリエーテル
系の潤滑剤を約5nm厚さに塗布して磁気記録媒体を作製
した。凸部は形成しなかつた。<Comparative Example 1> An intermediate layer, a magnetic layer, and a protective layer were formed on the same substrate as in Example 1 by the same method as in Example 1 by a sputter method. An ether lubricant was applied to a thickness of about 5 nm to produce a magnetic recording medium. No projection was formed.

＜比較例２＞ 実施例１と同様の基板を回転させながら、研磨砥粒を
含ませたバフを押しつけて研磨し、ほぼ円周方向に沿つ
た連続溝を形成した。こうして得られた基板表面は、触
針式表面粗さ計で測定して平均粗さ（Ra）10nm、最大粗
さ（Rmax）35nmであつた。<Comparative Example 2> While rotating the same substrate as in Example 1, a buff containing abrasive grains was pressed against and polished to form a continuous groove along a substantially circumferential direction. The substrate surface thus obtained had an average roughness (Ra) of 10 nm and a maximum roughness ( Rmax ) of 35 nm as measured by a stylus type surface roughness meter.

この基板上に、実施例１と同様な方法で中間層，磁性
層，保護層をスパツタ法で形成し、保護層の上にそのま
ま潤滑層としてパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤を
約5nm厚さに塗布して磁気記録媒体を作製した。On this substrate, an intermediate layer, a magnetic layer, and a protective layer are formed by a spatter method in the same manner as in Example 1, and a perfluoropolyether-based lubricant having a thickness of about 5 nm is directly formed on the protective layer as a lubricating layer. To prepare a magnetic recording medium.

＜比較例３＞ 実施例１と同様の基板上に、スパツタ法によりCr中間
層を0.2μｍ厚さ、Co−Ni磁性層を40nm厚さ、保護層と
してＣを40nm厚さ形成した。この円板を回転させなが
ら、研磨砥粒を含ませたバフを押しつけてＣ保護層を約
10nm厚さに研磨し、ほぼ円周方向に沿つた溝を形成し
た。そして円板の表面に、潤滑層としてパーフルオロポ
リエーテル系の潤滑剤を悪5nm厚さに塗布して磁気記録
媒体を作製した。Comparative Example 3 On the same substrate as in Example 1, a Cr intermediate layer was formed to a thickness of 0.2 μm, a Co—Ni magnetic layer was formed to a thickness of 40 nm, and C was formed as a protective layer to a thickness of 40 nm by a spatter method. While rotating this disc, a buff containing abrasive grains was pressed against it to remove the C protective layer.
Polishing was performed to a thickness of 10 nm to form a groove substantially along the circumferential direction. Then, a perfluoropolyether-based lubricant was applied to the surface of the disk as a lubricating layer to a thickness of 5 nm to produce a magnetic recording medium.

こうして得られた磁気記録媒体表面は、触針式表面粗
さ計で測定して平均粗さ（Ra）10nm、最大粗さ（Rmax）
30nmであつた。The surface of the magnetic recording medium thus obtained was measured with a stylus type surface roughness meter to have an average roughness (Ra) of 10 nm and a maximum roughness ( Rmax ).
It was 30 nm.

＜比較例４＞ 実施例１と同様の基板上に、スパツタ法によりCr中間
層を0.2μｍ厚さ、Co−Ni磁性層に40nm厚さ、保護層と
してＣを30nm厚さに形成した。この円板をスパツタ装置
中で逆スパツタしてＣ保護層を約10nm厚さまでエツチン
グした。Comparative Example 4 On the same substrate as in Example 1, a Cr intermediate layer was formed to a thickness of 0.2 μm, a Co—Ni magnetic layer to a thickness of 40 nm, and C as a protective layer to a thickness of 30 nm by a spatter method. This disk was reversely sputtered in a sputter device to etch the C protective layer to a thickness of about 10 nm.

得られた円板の表面に、潤滑層としてパーフルオロポ
リエーテル系の潤滑剤を約5nm厚さに塗布して磁気記録
媒体を作製した。A perfluoropolyether-based lubricant was applied as a lubricating layer to a thickness of about 5 nm on the surface of the obtained disk to produce a magnetic recording medium.

こうして得られた磁気記録媒体表面は、触針式表面粗
さ計で測定して平均粗さ（Ra）8nm、最大粗さ（Rmax）1
5nmであつた。The surface of the magnetic recording medium thus obtained was measured with a stylus type surface roughness meter to have an average roughness (Ra) of 8 nm and a maximum roughness (R max ) of 1
It was 5 nm.

＜比較例５＞ フオトマスクとして、幅２μｍ、ピツチ10μｍの同心
円状の部分で光が透過しないように形成した物を用いた
他は実施例１と同様な方法で磁気記録媒体を作製した。
磁気記録媒体表面を電子顕微鏡により観察して、幅２μ
ｍ、ピツチ10μｍ同心円状の凸部が全面に形成されてい
ることを確認した。STM及び触針式表面粗さ計により磁
気記録媒体表面の任意の10点で凸部の高さを測定した結
果、いずれの測定点でも、凸部の高さは10nmであつた。
本比較例の凸部の配置は第11図に示すとおりである。<Comparative Example 5> A magnetic recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that a concentric portion having a width of 2 µm and a pitch of 10 µm was formed so as not to transmit light as a photomask.
Observe the surface of the magnetic recording medium with an electron microscope,
It was confirmed that concentric convex portions of m and pitch 10 μm were formed on the entire surface. As a result of measuring the height of the protrusions at any 10 points on the surface of the magnetic recording medium by using an STM and a stylus type surface roughness meter, the height of the protrusions was 10 nm at any of the measurement points.
The arrangement of the protrusions in this comparative example is as shown in FIG.

なお本実施例では、凸部の面積比率は全面にわたり20
％である。In this example, the area ratio of the convex portions was 20 over the entire surface.
%.

以上の実施例及び比較例により得られた磁気記録媒体
について、Mn−Znフエライト磁気ヘツドを用いて第８図
に示す磁気デイスク装置を構成し、CSS試験30,000回前
後でCSS領域内での外観検査，磁気ヘツドとの吸着
力，摩擦力の測定，磁気ヘツドの最低浮上保証高さの
測定，記録再生試験を行つた。なお定常回転時の磁気
ヘツドの浮上量は、0.1μｍで行つた。試験結果を表１
に示す。Using the magnetic recording media obtained in the above Examples and Comparative Examples, a magnetic disk device shown in FIG. 8 was constructed using a Mn-Zn ferrite magnetic head, and a visual inspection in a CSS area was performed after about 30,000 CSS tests. , The measurement of the attraction force to the magnetic head and the frictional force, the measurement of the minimum flying height of the magnetic head, and the recording / reproducing test. The flying height of the magnetic head during steady rotation was 0.1 μm. Table 1 shows the test results.
Shown in

表１に示すように、凹凸を形成していない比較例１で
は、初期の吸着力， 摩擦力が大きく、CSS後の増加も
大きい。このためCSS後に表面に線状の摺動痕が発生し
ており、この損傷により浮上特性試験及び記録再生試験
での特性劣化が著しい。 As shown in Table 1, in Comparative Example 1 in which no irregularities were formed, the initial attraction force and frictional force were large, and the increase after CSS was large. For this reason, linear sliding marks are generated on the surface after CSS, and the damage significantly deteriorates the characteristics in the flying characteristics test and the recording / reproducing test.

基板上に研磨法で凹凸を形成した比較例２では、比較
例１に比べればCCS後の特性劣化は小さいが依然として
特性劣化がかなりあり、初期にも浮上特性が悪く、記録
再生試験でエラーが発生している。これは比較例２にお
いては研磨過程で局部的突起を生成しやすいための考え
られ、この部分がCSS後のピツト状の剥離を引き起こし
たと考えられる。また比較例２では、基板上に凹凸を形
成しているため、上に形成される磁性層も凹凸をもち、
初期でもS/N比が低い。In Comparative Example 2 in which the unevenness was formed on the substrate by the polishing method, the characteristic degradation after CCS was smaller than that in Comparative Example 1, but the characteristic degradation was still considerable, the flying characteristics were poor even in the initial stage, and an error occurred in the recording / reproduction test. It has occurred. This is considered to be because local protrusions are easily generated in the polishing process in Comparative Example 2, and it is considered that this portion caused pit-like peeling after CSS. In Comparative Example 2, since the unevenness was formed on the substrate, the magnetic layer formed thereon also had the unevenness,
S / N ratio is low even at the beginning.

保護層上に研磨法で凹凸を形成した比較例３では、比
較例２と同様に研磨過程での局部的突起によると考えら
れる浮上特性の不良や、エラーが初期にも発生してい
る。比較例３では、磁性層はほぼ平坦のため、比較例２
に比べれば初期のS/N比が高いが、それでも不十分であ
る。これは保護層に形成した凹凸の形状が不均一である
ため、磁気ヘツドの浮上安定性が十分でないためであ
る。またCSS後の特性劣化も大きく、これは剥離部等の
発生により磁気ヘツドの浮上安定性がさらに損なわれた
ためと考えられる。In Comparative Example 3 in which the concavities and convexities were formed on the protective layer by the polishing method, as in Comparative Example 2, a defect in the floating characteristics and an error, which are considered to be caused by local projections in the polishing process, also occurred in the initial stage. In Comparative Example 3, since the magnetic layer was almost flat, Comparative Example 2
Although the initial S / N ratio is high compared to, it is still insufficient. This is because the floating stability of the magnetic head is not sufficient because the unevenness formed on the protective layer is not uniform. In addition, the characteristic deterioration after CSS was large, and it is considered that the floating stability of the magnetic head was further impaired due to the occurrence of peeled portions and the like.

保護層上に逆スパツタで凹凸を形成した比較例４で
は、初期にはエラーがみられないが、浮上特性は依然と
して不十分であり、S/N比もやはり若千低くなつてい
る。これは比較例３と同様に保護層に形成した凹凸の形
状が不均一であるため、磁気ヘツドの浮上安定性が十分
でないためである。またCSS後の特性劣化がかなりある
が、この原因を解明するためCSS後の剥離部を分析した
ところ、微小塵埃が食い込んで剥離が発生していること
がわかつた。このため、比較例４では磁気ヘツドと磁気
記録媒体の間に微小塵埃が介在することによる剥離部の
発生により、磁気ヘツドと浮上安定性がさらに損なわれ
特性が劣化したものと考えられる。なお比較例2,3の場
合もCSS後の剥離部を分析したところ、同様に微小塵埃
が食い込んで剥離が発生している部分が見出された。In Comparative Example 4 in which irregularities were formed on the protective layer with an inverted spatter, no error was observed at the initial stage, but the flying characteristics were still insufficient, and the S / N ratio was also slightly lower. This is because the floating stability of the magnetic head is not sufficient because the shape of the unevenness formed on the protective layer is non-uniform as in Comparative Example 3. In addition, although there was considerable deterioration in the characteristics after CSS, analysis of the peeled part after CSS to elucidate the cause revealed that peeling occurred due to the penetration of fine dust. For this reason, in Comparative Example 4, it is considered that the magnetic head and the flying stability were further impaired and the characteristics were degraded due to the occurrence of a peeling portion due to the presence of minute dust between the magnetic head and the magnetic recording medium. In the case of Comparative Examples 2 and 3, when the peeled portion after the CSS was analyzed, similarly, a portion where the fine dust penetrated and peeled was found.

保護層上に同心円状の規則的な凸部を形成した比較例
５では、初期の特性は良好であるが、CSS後の特性劣化
が大きい。この原因を解明するためCSS後の剥離部を分
析したところ、剥離部周辺に微小塵埃が堆積しており、
その一部が食い込んで剥離が発生していることがわかつ
た。このため比較例５では磁気ヘツドの浮上安定性が損
なわれ特性が劣化したものと考えられる。In Comparative Example 5, in which concentric regular protrusions were formed on the protective layer, the initial characteristics were good, but the characteristics deteriorated significantly after CSS. Analyzing the peeled part after CSS to elucidate the cause, fine dust has accumulated around the peeled part,
It was found that a part of the material was cut off and peeling occurred. Therefore, in Comparative Example 5, it is considered that the flying stability of the magnetic head was impaired and the characteristics were degraded.

これに対し本実施例による磁気記録媒体は、CSS前に
良好な特性を示し、CSS後の特性劣化も小さい。これ
は、本実施例で形成した規則的な凹凸形状が、局部的突
起を持たないため、磁気ヘツドの浮上安定性が良好なた
めである。On the other hand, the magnetic recording medium according to the present embodiment shows good characteristics before CSS, and the characteristic deterioration after CSS is small. This is because the regular unevenness formed in the present embodiment does not have local protrusions, so that the floating stability of the magnetic head is good.

特に、実施例１から実施例８の場合のように、平坦な
基板上に中間層，磁性層及び保護層を形成し、保護層の
表面にヘツド又は磁気記録媒体に付着した微小塵埃を速
やかに除去しうるように規則的に配置された微小凹凸形
状を与え、保護層上に潤滑層を形成した場合には、磁気
ヘツドとの摩擦力や吸着力が低く、記録再生特性が良好
であり、磁気ヘツドの浮上安定性を保証し、長期に亘つ
て特性劣化の小さい磁気記録媒体を得ることができる。In particular, as in Examples 1 to 8, an intermediate layer, a magnetic layer, and a protective layer are formed on a flat substrate, and heads or fine dust adhering to a magnetic recording medium are quickly deposited on the surface of the protective layer. In the case of providing fine irregularities regularly arranged so that they can be removed and forming a lubricating layer on the protective layer, the frictional force and adsorption force with the magnetic head are low, and the recording and reproducing characteristics are good, The flying stability of the magnetic head is guaranteed, and a magnetic recording medium with small characteristic deterioration over a long period of time can be obtained.

また実施例９のように基板上に上記作用を有する微小
凹凸形状を与え、その上に中間層，磁性層，保護層及び
潤滑層を形成した場合でも、磁性層が凹凸をもつことに
より実施例１から実施例８に比べてS/N比の若千の低下
が見られるものの、凹凸の大きさが小さいため、S/N比
の低下量は小さく、またそれ以外の特性は良好である。Further, even when a fine unevenness having the above-mentioned action is provided on the substrate as in the ninth embodiment, and the intermediate layer, the magnetic layer, the protective layer and the lubricating layer are formed thereon, the magnetic layer has the unevenness. Although the S / N ratio was slightly lower than that of Example 1 to Example 8, the amount of reduction in the S / N ratio was small due to the small size of the unevenness, and the other characteristics were good.

上記した様に本実施例によれば、磁気記録媒体の表面
に磁気ヘツド又は磁気記録媒体に付着した微小塵埃を速
やかに除去しうるように規則的に配置された微小凹凸形
状を与えることにより、磁気ヘツドとの摩擦力や吸着力
が低く、記録再生特性が良好であり、磁気ヘツドの浮上
安定性を保証し、長期に亘つて特性劣化の小さい磁気記
録媒体を得ることができる。As described above, according to the present embodiment, by providing the magnetic recording medium with fine irregularities regularly arranged on the surface thereof so that the magnetic head or fine dust attached to the magnetic recording medium can be quickly removed, It is possible to obtain a magnetic recording medium which has a low frictional force and an attractive force with the magnetic head, has good recording / reproducing characteristics, guarantees the flying stability of the magnetic head, and has a small characteristic deterioration over a long period of time.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、磁気ヘツドとの摩擦力や吸着力が低
く、低浮上量においても磁気ヘツドの浮上安定性を保証
し、長期に亘つて特性劣化の小さい磁気記録媒体を再現
性良く提供することができる。ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the frictional force and attraction force with a magnetic head are low, the floating stability of a magnetic head is guaranteed even at a low flying height, and a magnetic recording medium with little characteristic deterioration over a long period of time is provided with good reproducibility. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図，第２図及び第３図は、本発明の一実施例による
磁気記録媒体の、半径方向での断面構造を示す斜視図、
第４図，第５図及び第６図は、本発明の一実施例の磁気
記録媒体表面に形成する凸部の配置を示す一部平面図、
第７図は、本発明の一実施例による磁気記録媒体の凸形
成部を、半径方向で触針式表面粗さ計で測定した結果の
一例を示すグラフ、第８図は、本発明の磁気デイスク装
置の一実施例を示す概略構成図、第９図と第10図および
第11図は磁気記録媒体表面の凸部の形状，分布の一例を
示す平面図である。 １……アルミニウム合金円板、２……下地層、３……中
間層、４……磁性層、５……保護層、６……潤滑層、７
……凸部、13……磁気デイスク回転制御手段、14……磁
気記録媒体（磁気デイスク）、15……磁気ヘツド。FIGS. 1, 2, and 3 are perspective views showing a cross-sectional structure in a radial direction of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 4, 5, and 6 are partial plan views showing the arrangement of convex portions formed on the surface of a magnetic recording medium according to one embodiment of the present invention;
FIG. 7 is a graph showing an example of the results obtained by measuring the protrusions of the magnetic recording medium according to one embodiment of the present invention in the radial direction with a stylus type surface roughness meter, and FIG. 8 is a graph showing the magnetic properties of the present invention. FIG. 9, FIG. 10, and FIG. 11 are schematic plan views showing an embodiment of the disk device, and FIG. 9 is a plan view showing an example of the shape and distribution of the projections on the surface of the magnetic recording medium. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Aluminum alloy disk, 2 ... Underlayer, 3 ... Intermediate layer, 4 ... Magnetic layer, 5 ... Protective layer, 6 ... Lubricating layer, 7
... Protrusions, 13 magnetic disk rotation control means, 14 magnetic recording media (magnetic disks), 15 magnetic heads.

フロントページの続き (72)発明者 近藤 麻希 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 大浦 正樹 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 三宅 芳彦 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 加藤 義喜 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 奥脇 東洋治 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 岡本 紀明 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社 日立製作所機械研究所内 (72)発明者 中川 宣雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭57−20925（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−5423（ＪＰ，Ａ) 特公 昭58−45089（ＪＰ，Ｂ２)Continued on the front page (72) Inventor Maki Kondo 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture, Hitachi Research Laboratory, Hitachi, Ltd. Inventor Yoshihiko Miyake 2880 Kokuzu, Odawara City, Kanagawa Prefecture Inside the Odawara Plant, Hitachi, Ltd. 1-280 Higashi Koigakubo, Hitachi Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Noriaki Okamoto 502, Kandatecho, Tsuchiura, Ibaraki Pref. Machinery Research Laboratory, Hitachi, Ltd. 292 Hitachi Manufacturing Co., Ltd. (56) Reference JP-A-57-20925 (JP, A) JP-A-60-5423 (JP, A) JP-B-58-45089 (JP, B2 )

Claims (19)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】基板上に磁性層と保護層を有する磁気ディ
スクにおいて、 前記磁気ディスクの表面の少なくとも一部領域に高さが
5nm以上40nm以下でほぼ一定である多数の凸部を有し、 該凸部の密度が400個/mm2以上、該凸部の大きさが前記
磁気ディスクの半径方向の幅で0.1μｍ以上10μｍ以下
であり、 該凸部以外の前記磁気ディスクの表面はほぼ平坦である
ことを特徴とする磁気ディスク。1. A magnetic disk having a magnetic layer and a protective layer on a substrate, wherein the height of at least a part of the surface of the magnetic disk is
It has a number of protrusions that are almost constant at 5 nm or more and 40 nm or less, the density of the protrusions is 400 / mm 2 or more, and the size of the protrusions is 0.1 μm or more and 10 μm or more in the radial width of the magnetic disk. The magnetic disk according to claim 1, wherein a surface of the magnetic disk other than the convex portion is substantially flat. 【請求項２】前記凸部の高さのばらつきがその平均値に
対して±30％以内であることを特徴とする請求項１記載
の磁気ディスク。2. The magnetic disk according to claim 1, wherein a variation in height of the projection is within ± 30% of an average value thereof. 【請求項３】最も近接した前記凸部間の間隔が0.2μｍ
以上50μｍ以下であることを特徴とする請求項１または
２記載の磁気ディスク。3. The distance between the closest protruding portions is 0.2 μm.
3. The magnetic disk according to claim 1, wherein the thickness of the magnetic disk is not less than 50 μm. 【請求項４】前記磁気ディスクの表面の前記凸部形成領
域内１平方ミリメートル当りの前記凸部の総面積の面積
比率が0.1％以上80％以下であることを特徴とする請求
項１乃至３記載の磁気ディスク。4. The magnetic disk according to claim 1, wherein an area ratio of a total area of the protrusions per square millimeter in the protrusion formation region on the surface of the magnetic disk is 0.1% or more and 80% or less. The magnetic disk as described. 【請求項５】前記凸部の表面はほぼ平坦であることを特
徴とする請求項１乃至４記載の磁気ディスク。5. The magnetic disk according to claim 1, wherein the surface of the projection is substantially flat. 【請求項６】前記凸部は前記保護層の表面に形成される
ことを特徴とする請求項１乃至５記載の磁気ディスク。6. The magnetic disk according to claim 1, wherein said convex portion is formed on a surface of said protective layer. 【請求項７】前記凸部は前記基板の表面に形成され、前
記磁性層及び保護層の表面形状は該基板の表面の凸部形
状に対応していることを特徴とする請求項１乃至５記載
の磁気ディスク。7. The semiconductor device according to claim 1, wherein said convex portions are formed on a surface of said substrate, and surface shapes of said magnetic layer and said protective layer correspond to convex shapes of said substrate surface. The magnetic disk as described. 【請求項８】前記磁気ディスクはその表面にコンタクト
スタートストップ領域と記録再生領域を有し、 該コンタクトスタートストップ領域に前記凸部を有する
ことを特徴とする請求項１乃至７記載の磁気ディスク。8. The magnetic disk according to claim 1, wherein the magnetic disk has a contact start / stop area and a recording / reproducing area on a surface thereof, and has the protrusion in the contact start / stop area. 【請求項９】非磁性円板よりなる磁気ディスク用基板に
おいて、 前記基板の表面の少なくとも一部領域に高さが5nm以上4
0nm以下でほぼ一定である多数の凸部を有し、 該凸部の密度が400個/mm2以上、該凸部の大きさが前記
基板の半径方向の幅で0.1μｍ以上10μｍ以下であり、 該凸部以外の前記基板の表面はほぼ平坦であることを特
徴とする磁気ディスク用基板。9. A magnetic disk substrate comprising a nonmagnetic disk, wherein at least a part of the surface of the substrate has a height of 5 nm or more.
It has a number of protrusions that are almost constant at 0 nm or less, the density of the protrusions is 400 / mm 2 or more, and the size of the protrusions is 0.1 μm or more and 10 μm or less in the radial width of the substrate. A substrate for a magnetic disk, wherein the surface of the substrate other than the projections is substantially flat. 【請求項１０】前記凸部の高さのばらつきがその平均値
に対して±30％以内であることを特徴とする請求項９記
載の磁気ディスク用基板。10. The magnetic disk substrate according to claim 9, wherein the height variation of the projections is within ± 30% of the average value. 【請求項１１】最も近接した前記凸部間の間隔が0.2μ
ｍ以上50μｍ以下であることを特徴とする請求項９また
は10記載の磁気ディスク用基板。11. The distance between the closest protruding portions is 0.2 μm.
11. The magnetic disk substrate according to claim 9, wherein the thickness is not less than m and not more than 50 μm. 【請求項１２】前記基板の表面の前記凸部形成領域内１
平方ミリメートル当りの前記凸部の総面積の面積比率が
0.1％以上80％以下であることを特徴とする請求項９乃
至11記載の磁気ディスク用基板。12. The semiconductor device according to claim 1, wherein said projection is formed in a region on said surface of said substrate.
The area ratio of the total area of the protrusions per square millimeter is
12. The magnetic disk substrate according to claim 9, wherein the substrate content is 0.1% or more and 80% or less. 【請求項１３】前記凸部の表面はほぼ平坦であることを
特徴とする請求項９乃至12記載の磁気ディスク用基板。13. The magnetic disk substrate according to claim 9, wherein the surface of the projection is substantially flat. 【請求項１４】基板上に磁性層と保護層を有する磁気デ
ィスクの製造方法において、 基板上に磁性層を形成し、 該磁性層上に保護層を形成し、 該保護層の表面の少なくとも一部領域にマスクパターン
を形成し、該マスクパターンを介して該保護層の表面を
エッチングし、該マスクパターンを除去することによ
り、 高さが5nm以上40nm以下でほぼ一定である多数の凸部で
あって、 密度が400個/mm2以上、大きさが前記磁気ディスクの半
径方向の幅で0.1μｍ以上10μｍ以下である凸部を形成
し、 該凸部以外の前記保護層の表面はほぼ平坦に形成するこ
とを特徴とする磁気ディスクの製造方法。14. A method of manufacturing a magnetic disk having a magnetic layer and a protective layer on a substrate, comprising: forming a magnetic layer on the substrate; forming a protective layer on the magnetic layer; A mask pattern is formed in the partial region, the surface of the protective layer is etched through the mask pattern, and the mask pattern is removed. Forming a convex portion having a density of 400 pieces / mm2 or more and a size of 0.1 μm or more and 10 μm or less in a radial width of the magnetic disk, and a surface of the protective layer other than the convex portion being substantially flat. A method for manufacturing a magnetic disk. 【請求項１５】基板上に磁性層と保護層を有する磁気デ
ィスクの製造方法において、 基板の表面の少なくとも一部領域にマスクパターンを形
成し、該マスクパターンを介して該基板の表面をエッチ
ングし、該マスクパターンを除去することにより、 高さが5nm以上40nm以下でほぼ一定である多数の凸部で
あって、 密度が400個/mm2以上、大きさが前記磁気ディスクの半
径方向の幅で0.1μｍ以上10μｍ以下である凸部を形成
し、 該凸部以外の前記基板の表面にほぼ平坦に形成し、 該基板上にその表面形状が該基板の表面の凸部形状に対
応するよう磁性層を形成し、 該磁性層上にその表面形状が該基板及び磁性層の凸部形
状に対応するよう保護層を形成することを特徴とする磁
気ディスクの製造方法。15. A method of manufacturing a magnetic disk having a magnetic layer and a protective layer on a substrate, wherein a mask pattern is formed on at least a part of the surface of the substrate, and the surface of the substrate is etched through the mask pattern. By removing the mask pattern, it is possible to obtain a large number of convex portions having a height of 5 nm or more and 40 nm or less, which are almost constant, a density of 400 / mm2 or more, and a size in a radial width of the magnetic disk. Forming a convex portion having a size of 0.1 μm or more and 10 μm or less, forming a substantially flat surface on the surface of the substrate other than the convex portion, and forming a magnetic layer on the substrate such that the surface shape corresponds to the convex shape of the surface of the substrate. A method for manufacturing a magnetic disk, comprising: forming a layer; and forming a protective layer on the magnetic layer such that the surface shape corresponds to the shape of the protrusions of the substrate and the magnetic layer. 【請求項１６】基板上に磁性層と保護層を有する磁気デ
ィスクの製造方法において、 基板上に磁性層を形成し、 該磁性層上に保護層を形成し、 該保護層の表面の少なくとも一部領域にエネルギービー
ムを選択的に照射することにより、 高さが5nm以上40nm以下でほぼ一定である多数の凸部で
あって、 密度が400個/mm2以上、大きさが前記磁気ディスクの半
径方向の幅で0.1μｍ以上10μｍ以下である凸部を形成
し、 該凸部以外の前記保護層の表面にほぼ平坦に形成するこ
とを特徴とする磁気ディスクの製造方法。16. A method for manufacturing a magnetic disk having a magnetic layer and a protective layer on a substrate, comprising: forming a magnetic layer on the substrate; forming a protective layer on the magnetic layer; By selectively irradiating the energy beam to the region, a large number of convex portions having a height of approximately 5 nm to 40 nm and being substantially constant, a density of 400 / mm2 or more, and a size of the radius of the magnetic disk A method of manufacturing a magnetic disk, comprising: forming a convex portion having a width in a direction of 0.1 μm or more and 10 μm or less, and forming a substantially flat surface of the protective layer other than the convex portion. 【請求項１７】基板上に磁性層と保護層を有する磁気デ
ィスクの製造方法において、 基板の表面の少なくとも一部領域にエネルギービームを
選択的に照射することにより、 高さが5nm以上40nm以下でほぼ一定である多数の凸部で
あって、 密度が400個/mm2以上、大きさが前記磁気ディスクの半
径方向の幅で0.1μｍ以上10μｍ以下である凸部を形成
し、 該凸部以外の前記基板の表面はほぼ平坦に形成し、 該基板上にその表面形状が該基板の表面の凸部形状に対
応するよう磁性層を形成し、 該磁性層上にその表面形状が該基板及び磁性層の凸部形
状に対応するよう保護層を形成することを特徴とする磁
気ディスクの製造方法。17. A method for manufacturing a magnetic disk having a magnetic layer and a protective layer on a substrate, wherein at least a part of the surface of the substrate is selectively irradiated with an energy beam so that the height is 5 nm or more and 40 nm or less. Forming a plurality of projections that are substantially constant, the projections having a density of 400 / mm2 or more and a size of 0.1 μm or more and 10 μm or less in a radial width of the magnetic disk; A surface of the substrate is formed substantially flat, and a magnetic layer is formed on the substrate so that a surface shape thereof corresponds to a convex shape of the surface of the substrate. A method for manufacturing a magnetic disk, comprising forming a protective layer so as to correspond to the shape of a convex portion of a layer. 【請求項１８】少なくとも１枚の磁気ディスク、該磁気
ディスクを回転する回転手段、回転中の前記磁気ディス
クと微少間隔をもって対向する磁気ヘッドおよび該磁気
ヘッドを前記磁気ディスク上の所定の位置に移動し位置
決めする磁気ヘッド位置決め手段を具備する磁気ディス
ク装置において、 前記磁気ディスクはその表面の少なくとも一部領域に高
さが5nm以上40nm以下でほぼ一定である多数の凸部を有
し、 該凸部の密度が400個/mm2以上、該凸部の大きさが前記
磁気ディスクの半径方向の幅で0.1μｍ以上10μｍ以下
であり、 該凸部以外の前記磁気ディスクの表面にほぼ平坦である
ことを特徴とする磁気ディスク装置。18. At least one magnetic disk, rotating means for rotating the magnetic disk, a magnetic head facing the rotating magnetic disk at a small interval, and moving the magnetic head to a predetermined position on the magnetic disk In a magnetic disk drive comprising magnetic head positioning means for positioning and positioning, the magnetic disk has a number of convex portions having a height that is substantially constant at 5 nm or more and 40 nm or less in at least a partial area of the surface thereof, The density of the protrusions is not less than 400 / mm2, the size of the protrusions is not less than 0.1 μm and not more than 10 μm in the radial width of the magnetic disk, and the surface of the magnetic disk other than the protrusions is substantially flat. Characteristic magnetic disk drive. 【請求項１９】前記磁気ディスクに対する前記磁気ヘッ
ドの浮上量は0.2μ以下であることを特徴とする請求項1
8記載の磁気ディスク装置。19. The flying height of the magnetic head relative to the magnetic disk is 0.2 μm or less.
8. The magnetic disk drive according to 8.
JP4928190A 1989-10-13 1990-03-02 Magnetic disk device, magnetic recording medium, and method of manufacturing magnetic recording medium Expired - Lifetime JP2635197B2 (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4928190A JP2635197B2 (en) 1990-03-02 1990-03-02 Magnetic disk device, magnetic recording medium, and method of manufacturing magnetic recording medium
EP90119497A EP0422640B1 (en) 1989-10-13 1990-10-11 Magnetic disk apparatus and magnetic disk
US07/595,414 US5285343A (en) 1989-10-13 1990-10-11 Magnetic disk with surface protective layer having convex portions and magnetic disk apparatus including such a magnetic disk
DE69026182T DE69026182T2 (en) 1989-10-13 1990-10-11 Magnetic disk device and magnetic disk
US08/077,874 US5504646A (en) 1989-10-13 1993-06-18 Magnetic disk including protective layer having surface with protusions and magnetic disk apparatus including the magnetic disk
US08/625,159 US5930073A (en) 1989-10-13 1996-04-01 Magnetic disk including protective layer having surface with magnetic disk including protrusions, and magnetic disk apparatus including the magnetic disk
US09/313,283 US6303205B1 (en) 1989-10-13 1999-05-18 Magnetic disk including protective layer having surface with protrusions, and substrate therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4928190A JP2635197B2 (en) 1990-03-02 1990-03-02 Magnetic disk device, magnetic recording medium, and method of manufacturing magnetic recording medium

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8335291A Division JP2738394B2 (en) 1996-12-16 1996-12-16 Magnetic disk

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03252922A JPH03252922A (en) 1991-11-12
JP2635197B2 true JP2635197B2 (en) 1997-07-30

Family

ID=12826489

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4928190A Expired - Lifetime JP2635197B2 (en) 1989-10-13 1990-03-02 Magnetic disk device, magnetic recording medium, and method of manufacturing magnetic recording medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2635197B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2717048B2 (en) * 1992-11-12 1998-02-18 株式会社日立製作所 Method and apparatus for manufacturing magnetic disk
TW300879B (en) * 1993-11-10 1997-03-21 Ibm
US5879569A (en) * 1995-07-13 1999-03-09 Hitachi, Ltd. Magnetic disk and method of and apparatus for manufacturing magnetic disk
JP3719026B2 (en) 1998-12-28 2005-11-24 富士通株式会社 Magnetic recording medium and manufacturing method thereof
US6611400B1 (en) * 1999-01-22 2003-08-26 Seagate Technology Llc Texture structure for optimizing head disc interface
US6619105B1 (en) 2000-04-12 2003-09-16 Seagate Technology Llc Glide head with anti-collapsing protection feature

Also Published As

Publication number Publication date
JPH03252922A (en) 1991-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5504646A (en) Magnetic disk including protective layer having surface with protusions and magnetic disk apparatus including the magnetic disk
CN100350461C (en) Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device
US5285343A (en) Magnetic disk with surface protective layer having convex portions and magnetic disk apparatus including such a magnetic disk
JP3719026B2 (en) Magnetic recording medium and manufacturing method thereof
US7438982B2 (en) Magnetic recording medium including disk substrate, magnetic layer, and non-magnetic layer
JP4111276B2 (en) Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing apparatus
US5543203A (en) Magnetic recording medium having a protective layer which includes high and low surface energy regions and a lubricant
US6893702B2 (en) Magnetic recording medium substrate, method of producing the same, and method of evaluating magnetic recording medium
JP2635197B2 (en) Magnetic disk device, magnetic recording medium, and method of manufacturing magnetic recording medium
EP1204097B1 (en) Magnetic recording medium, method of manufacture thereof, and magnetic disk apparatus
JP2000099942A (en) Magnetic disk and substrate for magnetic disk
JP2738394B2 (en) Magnetic disk
JP2930060B2 (en) Magnetic disk, magnetic disk substrate, and method of manufacturing magnetic disk
JP2947863B2 (en) Magnetic disk device and magnetic recording medium
JPH09219077A (en) Magnetic head and magnetic recorder
JPH03127327A (en) Magnetic disk, manufacturing method and magnetic disk device
JP2001143426A (en) Magnetic head, magnetic head manufacturing method, and magnetic disk drive
JPH11191216A (en) Magnetic disk and substrate therefor
JP2635197C (en)
JPH0963030A (en) Magnetic head
KR20010040843A (en) Magnetic recording medium with patterned substrate
JPH10112001A (en) Hard disk drive
JPH0485725A (en) Magnetic disk device and magnetic recording medium
JPH09106538A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH10143860A (en) Burnishing head for inspecting magnetic disk

Legal Events

Date Code Title Description
R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 13

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425

EXPY Cancellation because of completion of term