JPH09215299A

JPH09215299A - 単相リニアモータ

Info

Publication number: JPH09215299A
Application number: JP4537296A
Authority: JP
Inventors: Nobushige Korenaga; 伸茂是永
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-02-07
Filing date: 1996-02-07
Publication date: 1997-08-15

Abstract

(57)【要約】【目的】ストローク全長にわたって配置されたヨーク
およびヨークの周りに巻き回したストローク全体にわた
って配置される単相コイルとからなる固定子の中を磁石
のみが移動するタイプの単相リニアモータにおいて、磁
石が移動したときの粘性抵抗を低減できる単相リニアモ
ータを提供する。また、冷却ジャケット付き単相リニア
モータにおいて、最適な冷却ジャケット構造を提供す
る。【構成】ストローク全長にわたって配置されたヨーク
およびヨークの周りに巻き回したストローク全体にわた
って配置される単相コイルとからなる固定子の中を磁石
のみが移動するタイプの単相リニアモータにおいて、磁
石と対面するヨークを積層鋼板で構成する。また、冷却
ジャケットのフタをその平面部分で支持するためのつば
をヨークに設けることにより、冷却ジャケットのフタと
ヨークのシールの信頼性、固定の強度、位置決めの精度
を向上させるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、単相リニアモータに関
する。

【０００２】

【従来の技術】ある観点から１つの従来例を示す図８に
おいて、ステージベース（図示せず）上にガイド１０が
固定され、ガイド１０上に空気膜等の潤滑手段を介して
ステージ１２が走査方向に潤滑自在に支持されている。
またステージ１２の両側には保持枠１４に保持された左
右各々２枚の可動磁石１６が固定される。可動磁石１６
に対応する固定子としてステージ１２の全ストロークに
わたってセンターヨーク１８、上ヨーク２０、下ヨーク
２０が設けられており、センターヨーク１８にはストロ
ーク全長にわたる単相コイル２４が巻き回したものがス
テージベースに固定されている。

【０００３】磁石１６は厚み方向に着磁されている。単
相リニアモータの左右各々において上下２枚の可動磁石
１６はステージ１２の全ストロークにわたり、上の磁石
１６は上ヨーク２０と単相コイル２４の間にあり、下の
磁石１６は下ヨーク２２と単相コイル２４の間にあって
リニアモータの固定子と非接触状態を保つようになって
いる。単相コイルに電流を流すと、フレミングの法則に
より走査方向に推力を発生するようになっている。

【０００４】また、他の観点から他の従来例を見ると、
図１１において、ステージベース（図示せず）上にガイ
ド１０が固定され、ガイド１０上に空気膜等の潤滑手段
を介してステージ１２が走査方向に潤滑自在に支持され
ている。またステージ１２の両側には保持枠に保持され
た可動磁石１６が左右各々２枚の固定されている。可動
磁石１６に対応する固定子がステージの全ストロークに
わたってセンターヨーク１８、センターヨーク１８を上
下からはさむように設けられるサイドヨーク（即ち、上
ヨーク２０、下ヨーク２２）、センターヨーク１８のま
わりに巻き回される単相コイル２４（図９、図１０参
照）、単相コイル２４およびセンターヨーク１８をカバ
ーする冷却ジャケット２９で構成されている。

【０００５】可動磁石１６はステージの全ストロークに
わたり、リニアモータの固定子と被接触状態を保つよう
になっている。単相コイル２４に電流を流すとフレミン
グの法則により走査方向に推力を発生するようになって
いる。この単相リニアモータではストローク全体にわた
りコイル切り替えがないので推力が均一である。

【０００６】冷却ジャケット外筒およびフタから成る冷
却ジャケット２９、単相コイル２４、センターヨーク１
８の詳細な分解斜視図を図９に、断面図を図１０に示
す。センターヨーク１８の周りには単相コイル２４が巻
き回され、その外側には単相コイル２４の表面とすきま
を介して冷却ジャケット外筒３０が設けられる。センタ
ーヨーク１８の前後から、前後各々１つずつの冷却ジャ
ケットフタ３２が冷却ジャケット外筒３０にかぶさるよ
うになっている。冷却ジャケットフタ３２の中央にはセ
ンターヨーク１８を通すための穴３２ａが設けられてい
る。この穴３２ａは加工上の理由で４隅がまるくなって
いる。

【０００７】また、冷却ジャケットフタ３２の４隅には
冷却ジャケット２９の中に冷却媒体３６（図１０参照）
を導入したり排出したりするためのニップル３４が設け
られている。図９に示す例では前方の４つのニップル３
４から冷却媒体３６を導入し、後方の４つのニップル３
４から冷却媒体３６を排出するようになっている。冷却
媒体３６は冷却ジャケット２９の前後のフタ３２と冷却
ジャケット外筒３０、および単相コイル２４との間に充
填され導入から排出までの間に単相コイル２４の熱を奪
う。

【０００８】センターヨーク１８の上下には各々サイド
ヨーク（上ヨーク２０、下ヨーク２２）が設けられ、サ
イドヨーク２０、２２の内側と冷却ジャケット外筒３０
との間にはステージ１２に滑動自在に固定された可動磁
石１６が配置され、ストローク方向に移動するようにな
っている。磁石１６は図１０に示すように鉛直方向に着
磁され、Ｎ極からでた磁束はセンターヨークに入り前後
に分かれてながれ、前後端でサイドヨークにはいり、サ
イドヨークの両端から磁石の位置に向かい、磁石の位置
でＳ極にはいる。

【０００９】このような磁束を循環させるには冷却ジャ
ケット２９はサイドヨーク２０、２２より完全に内側に
ある必要があり、また上記可動磁石１６のストローク方
向の運動を実現するには冷却ジャケット２９は可動磁石
１６よりもセンターヨーク側にある必要がある。従っ
て、図９、図１０に示すような配置になる。

【００１０】冷却ジャケットから外に冷却媒体３６を漏
らさないために、図１０のシール１（３８）、シール２
（４０）の部分にアラルダイト等のエポキシ樹脂系接着
剤が塗布されている。これらの接着剤は冷却媒体３６の
シール機能と同時に冷却ジャケット２９をセンターヨー
ク１８に固定する機能もはたしている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】前者の従来例では、単
相リニアモータの左右各々において、厚み方向に着磁さ
れた上下２枚の磁石１６の極性は図７のようになってお
り、この構成において、磁束の流れは以下のようにな
る。上下の磁石のＮ極からでた磁束は上下からセンター
ヨーク１８にはいり、センターヨーク１８の中を前後へ
分かれて流れ、両端部に達する。両端部で磁束はまた上
下に分かれ、各々上ヨーク２０、下ヨーク２２にはい
る。上ヨーク２０、下ヨーク２２の各々において両端部
からの磁束は磁石のＳ極のあるところへと上ヨーク２
０、下ヨーク２２の中を流れ、磁石のＳ極の付近にくる
と上ヨーク２０、下ヨーク２２から空気の層を経て、Ｓ
極へはいる。

【００１２】ところで、本発明の単相リニアモータは可
動子である磁石が固定子であるヨークに対して相対運動
をすることが必要である。相対運動を行うために磁石が
動くことにより、上ヨーク２０、下ヨーク２２、センタ
ーヨーク１８の磁石付近の部分において磁束の変化が生
ずる。上記のように磁石１６付近でのヨーク内の磁束は
磁石１６の極からヨークに出入りする成分、つまり磁石
１６の着磁方向の成分と、ヨーク内で磁石１６付近位置
とヨーク端部とを行き来する成分つまり磁石の移動方向
の成分とがあり、磁石１６が動くとその両方の成分の磁
束が変化する。

【００１３】これらの磁束を打ち消すためにヨーク内に
磁束変化方向回りの渦電流が発生し、磁石駆動力に対し
て抵抗となり、駆動電源の大型化やそれにともなう発熱
の増加をまねく。

【００１４】したがって、本発明の第１の目的は、スト
ローク全長にわたって配置されたヨークおよびヨークの
周りに巻き回したストローク全体にわたって配置される
単相コイルとからなる固定子の中を磁石のみが移動する
タイプの単相リニアモータにおいて、磁石が移動したと
きの粘性抵抗を低減できる単相リニアモータを提供する
ことにある。

【００１５】また、後者の従来例において、シール２
（４０）であるが、ここでは、冷却ジャケット２９のフ
タ３２のエッジとセンターヨーク１８の平面部が対面し
ている。ここを接着剤で固定及びシールしようとする
と、シールの信頼性、位置決め精度、固定強度の点で問
題がある。

【００１６】フタ３２の中央のセンターヨーク１８を通
す角状の穴３４ａの４隅は加工上の理由でまるくなって
いるが、センターヨーク１８の断面は矩形であるので穴
とセンターヨークの間には寸法交差の程度をこえた隙間
が生ずる。よって、位置決め基準がなく、片側につきあ
てることもできない。またエッジと平面とのすきまに充
填された接着剤のみで固定するため固定強度が弱くな
る。また接着剤が乾くまでの間４方向に接着剤がたれな
いようにしないと、乾いたときにフタ３２とヨークとの
間にすきまができて冷却媒体３６が漏れる。

【００１７】したがって、本発明の第２の目的は、単相
リニアモータにおいて、最適な冷却ジャケット構造を提
供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】前述の第１の目的を達成
するために、本発明は、ストローク全長にわたって配置
されたヨークおよびヨークの周りに巻き回したストロー
ク全体にわたって配置される単相コイルとからなる固定
子の中を磁石のみが移動するタイプの単相リニアモータ
において、磁石と対面するヨークを積層鋼板で構成す
る。

【００１９】また、第２の目的を達成するために、本発
明は、冷却ジャケットのフタをその平面部分で支持する
ためのつばをヨークに設けることにより、冷却ジャケッ
トのフタとヨークのシールの信頼性、固定の強度、位置
決めの精度を向上させる。

【００２０】

【実施例】

（実施例１）図１において、ステージベース（図示せ
ず）上にガイド１０が固定され、ガイド１０上に空気膜
等の潤滑手段を介してステージ１２が走査方向に潤滑自
在に支持されている。またステージ１２の両側には保持
枠１４に保持された左右各々２枚の可動磁石１６が固定
される。可動磁石１６に対応する固定子としてステージ
の全ストロークにわたってセンターヨーク１８、上ヨー
ク２０、下ヨーク２２が設けられており、センターヨー
ク１８にはストローク全長にわたる単相コイル２４が巻
き回したものがステージベースに固定されている。

【００２１】上ヨーク２０、下ヨーク２２、センターヨ
ーク１８は、それぞれ、図１に示すように薄い鋼板を積
層してつくってある。上ヨーク２０、下ヨーク２０はコ
の字形の薄板を、センターヨークはＩの字形の薄板を積
層してあり、薄板同士は電気的に絶縁されている。薄い
鋼板の厚みの方向、換言すると鋼板の平たい面の放線方
向は、磁石の着磁方向と、磁石の移動方向の両方に直交
するようになっている。また薄板の材質は無方向性の珪
素鋼板が用いられている。

【００２２】磁石１６は厚み方向に着磁されている。単
相リニアモータの左右各々において上下２枚の可動磁石
１６はステージ１２の全ストロークにわたり、上の磁石
１６は上ヨーク２０と単相コイル２４の間にあり、下の
磁石１６は下ヨーク２２と単相コイル２４の間にあって
リニアモータ固定子と非接触状態を保つようになってい
る。単相コイル２４に電流を流すとフレミングの法則に
より走査方向に推力を発生するようになっている。

【００２３】上記構成において、磁石１６がヨークに対
して相対運動すると、従来例と同様に磁石の着磁方向と
磁石の移動方向とで磁束が変化する。しかし、本実施例
においては、ヨークを厚み方向が磁石の着磁方向と、磁
石の移動方向の両方に直交する薄板で構成したので、磁
石の移動方向に変化する磁束を打ち消そうとする渦電流
も、磁石の着磁方向に変化する磁束を打ち消そうとする
渦電流も薄板にさえぎられてヨークの断面全体を流れる
ことができず、渦電流のループは各々の薄板内に制限さ
れる。渦電流の大きさは概ね薄板の厚さに比例して低減
され、渦電流による損失エネルギーは薄板の厚さの自乗
に比例して低減される。定速走行したときの抵抗力は損
失エネルギーに比例するので、抵抗は概ね薄板の厚さの
自乗に比例して低減される。

【００２４】またヨークの材質を無方向性珪素鋼板で構
成したので通常の構造用鋼に比べてヒステリシス損が少
なく、磁石がいなくなったときにヨークに磁化が残るこ
とによる抵抗力も低減することができる。

【００２５】（実施例２）図２において、ステージベー
ス上にガイド１０が固定され、ガイド１０上に空気膜等
の潤滑手段を介してステージが走査方向に潤滑自在に支
持されている。またステージ１２の両側には保持枠１４
に保持された左右各々２枚の可動磁石１６が固定され
る。可動磁石１６に対応する固定子としてステージの全
ストロークにわたって上ヨーク２０、下ヨーク２２、セ
ンターヨーク１８が設けられており、センターヨーク１
８にはストローク全長にわたる単相コイル２４が巻き回
したものがステージベースに固定されている。上ヨーク
２０、下ヨーク２２とセンターヨーク１８との間には中
間ヨーク２６が設けられる。中間ヨーク２６の部分は磁
石移動によって磁束の変化が生じない部分なので積層す
る必要はない。

【００２６】上ヨーク２０、下ヨーク２２、センターヨ
ーク１８は、それぞれ、図２に示すように薄い鋼板を積
層してつくってある。上ヨーク２０、下ヨーク２２、セ
ンターヨーク１８はともにＩの字形の薄板を積層してあ
り、薄板同士は電気的に絶縁されている。薄い鋼板の厚
みの方向、換言すると鋼板の平たい面の放線方向は、磁
石の着磁方向と、磁石の移動方向の両方に直交するよう
になっている。

【００２７】磁石１６は厚み方向に着磁される。単相リ
ニアモータの左右各々において上下２枚の可動磁石１６
はステージ１２の全ストロークにわたり、上の磁石１６
は上ヨーク２０と単相コイル２４の間にあり、下の磁石
１６は下ヨーク２２と単相コイル２４の間にあってリニ
アモータ固定子と非接触状態を保つようになっいる。単
相コイルに電流を流すとフレミングの法則により走査方
向に推力を発生するようになっている。

【００２８】上記構成において、磁石１６がヨークに対
して相対運動すると、従来例と同様に磁石の着磁方向と
磁石の移動方向とで磁束が変化する。しかし、本実施例
においては、ヨークを厚み方向が磁石の着磁方向と、磁
石の移動方向の両方に直交する薄板で構成したので、磁
石の移動方向に変化する磁束を打ち消そうとする渦電流
も、磁石の着磁方向に変化する磁束を打ち消そうとする
渦電流も薄板にさえぎられてヨークの断面全体を流れる
ことができず、渦電流のループは各々の薄板内に制限さ
れる。渦電流の大きさは概ね薄板の厚さに比例して低減
され、渦電流による損失エネルギーは薄板の厚さの自乗
に比例して低減される。定速走行したときの抵抗力は損
失エネルギーに比例するので、抵抗は概ね薄板の厚さの
自乗に比例して低減される。さらに本実施例においては
薄板の形状を全てＩの字形としたので、薄板をコイル状
に巻いてある材料から長手方向の寸法に切断するだけで
製作することができ、製造コストも低減できる。

【００２９】（実施例３）図３において、ステージベー
ス上にガイド１２が固定され、ガイド１２上に空気膜等
の潤滑手段を介してステージが走査方向に潤滑自在に支
持されている。またステージ１２の両側には保持枠１４
に保持された左右各々２枚の可動磁石１６が固定され
る。可動磁石１６に対応する固定子としてステージの全
ストロークにわたって上ヨーク２０、下ヨーク２２、セ
ンターヨーク１８が設けられており、センターヨーク１
８にはストローク全長にわたる単相コイル２４が巻き回
したものがステージベースに固定されている。上ヨーク
２０、下ヨーク２２とセンターヨーク１８との間には中
間ヨーク２６が設けられている。中間ヨーク２６の部分
は磁石の移動によって磁束の変化が生じない部分なので
積層する必要はない。

【００３０】上ヨーク２０、下ヨーク２２、センターヨ
ーク１８は、それぞれ、図３に示すように薄い鋼板を積
層してつくってある。上ヨーク２０、下ヨーク２２、セ
ンターヨーク１８はともにＩの字形の薄板を積層してあ
り、薄板同士は電気的に絶縁されている。

【００３１】さらに、上ヨーク２０と下ヨーク２２は断
面寸法が同一の薄板を積層してあるのだが、センターヨ
ーク１８は上ヨーク２０、下ヨーク２２と同じものを２
コ（１８ａ、１８ｂ）用いて構成されている。センター
ヨーク１８は上ヨーク２０、下ヨーク２２に比べて２倍
の磁束を通さなければならないので鉛直方向の厚みが上
ヨーク２０、下ヨーク２２の２倍いることに対応するた
め、寸法を２倍にするのではなく、同じ寸法のものを２
コ用いた。

【００３２】薄い鋼板の厚みの方向、換言すると鋼板の
平たい面の放線方向は、磁石の着磁方向と、磁石の移動
方向の両方に直交するようになっている。

【００３３】磁石は厚み方向に着磁される。左右各々に
おいて上下２枚の可動磁石１６はステージの全ストロー
クにわたり、上の磁石１６は上ヨーク２０と単相コイル
２４の間にあり、下の磁石１６は下ヨーク２２と単相コ
イル２４の間にあってリニアモータ固定子と非接触状態
を保つようになっいる。単相コイル２４に電流を流すと
フレミングの法則により走査方向に推力を発生するよう
になっている。

【００３４】上記構成において、磁石がヨークに対して
相対運動すると、従来例と同様に磁石の着磁方向と磁石
の移動方向とで磁束が変化する。しかし、本実施例にお
いては、ヨークを厚み方向が磁石の着磁方向と、磁石の
移動方向の両方に直交する薄板で構成したので、磁石の
移動方向に変化する磁束を打ち消そうとする渦電流も、
磁石の着磁方向に変化する磁束を打ち消そうとする渦電
流も薄板にさえぎられてヨークの断面全体を流れること
ができず、渦電流のループは各々の薄板内に制限され
る。渦電流の大きさは概ね薄板の厚さに比例して低減さ
れ、渦電流による損失エネルギーは薄板の厚さの自乗に
比例して低減される。定速走行したときの抵抗力は損失
エネルギーに比例するので、抵抗は概ね薄板の厚さの自
乗に比例して低減される。

【００３５】さらに本実施例においては薄板の形状を全
てＩの字形としたので、薄板をコイル状に巻いてある材
料から長手方向の寸法に切断するだけで製作することが
でき、製造コストも低減できる。さらに本実施例におい
てはセンターヨークを上ヨーク、下ヨークと同じものを
２コ用いて構成したので、コイル状の材料が１種類のみ
ですむ。また上ヨーク、下ヨークの分をセンターヨーク
に流用することができるので、更に製造コストが低減で
きる。

【００３６】（実施例４）冷却ジャケット外筒およびフ
タから成る冷却ジャケット、単相コイル、センターヨー
クの詳細な分解斜視図を図４に、断面図を図５に示す。

【００３７】センターヨーク１８の周りには単相コイル
２４が巻き回され、その外側には単相コイル２４の表面
とすきまを介して冷却ジャケット外筒３０が設けられ
る。センターヨーク１８の前後から、前後各々１つずつ
の冷却ジャケットフタ３２が冷却ジャケット外筒３０に
かぶさるようになっている。冷却ジャケットフタ３２の
中央にはセンターヨーク１８を通すための穴３２ａが設
けられている。この穴３２ａは加工上の理由で４隅がま
るくなっている。

【００３８】また、冷却ジャケットフタ３２の４隅には
冷却ジャケット２９の中に冷却媒体３６（図５参照）を
導入したり排出したりするためのニップル３４が設けら
れている。図４の例では前方の４つのニップル３４から
冷却媒体３６を導入し、後方の４つのニップル３４から
冷却媒体３６を排出するようになっている。冷却媒体３
６は冷却ジャケット２９の前後のフタ３２と冷却ジャケ
ット外筒３０、および単相コイル２４との間に充填され
導入から排出までの間に単相コイルの熱を奪う。

【００３９】センターヨーク１８の上下には各々サイド
ヨーク２０、２２が設けられ、サイドヨーク２０、２２
の内側と、冷却ジャケット外筒３０との間にはステージ
１２に滑動自在に固定された可動磁石（図４、図５に
は、図示せず）が配置され、ストローク方向に移動する
ようになっている。磁石は鉛直方向に着磁され、Ｎ極か
らでた磁束はセンターヨークに入り前後に分かれて流
れ、前後端でサイドヨークにはいり、サイドヨークの両
端から磁石の位置に向かい、磁石の位置でＳ極にはい
る。

【００４０】本発明では従来例に比べセンターヨーク１
８につば４２が設けられている。さらにつば４２には図
５に示すように段差１（４４）、段差２（４６）、およ
び接着面４８が設けてある。接着剤はまず、つば４２の
接着面４８とフタ３２の裏面との間に塗布されこの部分
で十分な接着強度を実現する。また段差２（４６）の側
部はＣ面とりが施され、寸法的にはフタのエッジ部とし
っくりはめあうようになっており、ここで位置決めの機
能を果たす。

【００４１】段差１（４４）の側部とフタ３２のエッジ
部とは従来例と同様に寸法公差の程度を越えた隙間があ
るが、ここに接着剤を充填する。この場合、つば４２が
あるのでセンターヨーク１８を鉛直方向にしておけば接
着剤が乾くまでの間も接着剤がたれて逃げることはな
く、乾燥した後は確実なシールが実現できる。

【００４２】これによって冷却ジャケット２９のフタ３
２とヨークのシールの信頼性、固定の強度、位置決めの
精度を向上する。

【００４３】（実施例５）つば４２の段差の形状は実施
例に限定されず、またその位置も段差１（４４）をつば
に、段差２（４６）を図６のようにフタ３２に設けても
よい。また、つば４２とセンターヨーク１８は一体でつ
くっても、別体でつくってもよい。別体の場合はつばの
内側とセンターヨークとでできる隅部に接着剤を塗布し
てシールする必要がある

【００４４】

【発明の効果】単相リニアモータにおいて磁石とヨーク
の相対運動に伴う粘性抵抗を低減することができる。

【００４５】冷却ジャケットのフタとヨークのシールの
信頼性、固定の強度、位置決めの精度を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施例１の単相リニアモータ
の分解斜視図である。

【図２】図２は、本発明の実施例２の単相リニアモータ
の分解斜視図である。

【図３】図３は、本発明の実施例３の単相リニアモータ
の分解斜視図である。

【図４】図４は、本発明の実施例４の単相リニアモータ
の分解斜視図である。

【図５】図５は、本発明の実施例４の断面図である。

【図６】図６は、本発明の実施例５の断面図である。

【図７】図７は、１つの従来例の単相リニアモータを示
す断面図である。

【図８】図７は、１つの従来例の単相リニアモータの斜
視図である。

【図９】図９は、他の従来例の単相リニアモータの分解
斜視図である。

【図１０】図１０は、他の従来例の単相リニアモータの
断面図である。

【図１１】図１１は、他の従来例の単相リニアモータの
斜視図である。

【符号の説明】

１０ガイド１２ステージ１４保持枠１６磁石１８センターヨーク２０上ヨーク２２下ヨーク２４単相コイル２９冷却ジャケット３０冷却ジャケット外筒３２冷却ジャケットフタ３２ａ穴３６冷却媒体３８シール１４０シール２４２つば４４段差１４６段差２

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ストローク全長にわたって配置されたヨ
ークおよびヨークの周りに巻き回したストローク全体に
わたって配置される単相コイルとからなる固定子の中を
磁石のみが移動するタイプの単相リニアモータにおい
て、磁石と対面するヨークを積層鋼板で構成したことを
特徴とする単相リニアモータ。
【請求項２】請求項１記載の単相リニアモータにおい
て、積層板の厚み方向が磁石の着磁方向と磁石の移動方
向の両方に直行することを特徴とする単相リニアモー
タ。
【請求項３】請求項１記載の単相リニアモータにおい
て、積層板が無方向性ケイ素鋼板であることを特徴とす
る単相リニアモータ。
【請求項４】請求項１記載の単相リニアモータにおい
て、積層板がＩの字形断面のものであることを特徴とす
る単相リニアモータ。
【請求項５】請求項１記載の単相リニアモータにおい
て、積層板が１種類の寸法の断面形状のものであること
を特徴とする単相リニアモータ。
【請求項６】ストローク全長にわたって配置されたヨ
ークおよびヨークの周りに巻き回したストローク全体に
わたって配置される単相コイルとからなる固定子の中を
磁石のみが移動しかつ単相コイルを冷却する冷却ジャケ
ットが単相コイルの周りに設けられたタイプの冷却ジャ
ケット付き単相リニアモータにおいて、周囲にコイルが
巻き回されるヨークに、冷却ジャケットのフタを固定す
るためのつばを設けたことを特徴とする単相リニアモー
タ。
【請求項７】請求項６記載の単相リニアモータにおい
て、冷却ジャケットのフタを位置決めするための位置決
め段差を設けたことを特徴とする単相リニアモータ。
【請求項８】請求項７記載の単相リニアモータにおい
て、前記位置決め段差で冷却ジャケットのフタをつばに
位置決めしたとき冷却ジャケットのフタとつばの間にシ
ール材充填用のみぞを形成するための段差を前記つばに
設けたことを特徴とする単相リニアモータ。